TWI471235B - Running the car system - Google Patents

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Description

行走車系統
本發明是關於行走車系統，特別是關於藉由非接觸供電方式來供電給行走車的行走車系統。
以往，在半導體製造工廠等塵埃的產生會造成問題的無塵室，為了搬運物品，讓搬運台車行走於軌道上的技術是已知的。作為搬運台車的驅動源，通常是使用馬達。另外，為了供應電力給馬達，是藉由沿著搬運台車的軌道架設的2根供電線所產生的電磁感應來進行。
以下說明利用電磁感應的非接觸供電方式。
2根供電線，是被沿著軌道設置的供電軌的供電線保持具所保持著。在搬運台車的電力接收單元，固設有截面近似「E」字型的鐵芯。在鐵芯中央的突出片，捲繞著線圈，而以非接觸方式插入2根供電線之間。使高頻電流流過供電線，所產生的磁場會作用於捲繞在鐵芯上的線圈，結果使感應電流流過線圈。如此，可從供電線以非接觸方式將電力供應給搬運台車的電力接收單元，而在馬達和控制機器上利用該電力(例如參照專利文獻1)。
在半導體製造工廠，配置有檢查、曝光、植入雜質、蝕刻等的各種處理裝置，行走車能讓半導體晶圓在附屬於各處理裝置的裝載埠間移動。
[專利文獻1]日本特開2002-234366號公報
如以上所述般，從行走車系統的非接觸供電方式的供電線會產生磁場，該磁場的一部分會從供電軌洩漏到外部。本發明人發現，在行走車系統運用於半導體工廠的情況，來自供電軌的洩漏磁場可能會影響處理裝置，特別是會影響檢查裝置。例如，在電子束式檢查裝置，利用雷射來檢查線距45nm的半導體晶圓的情況，來自供電線的磁場會影響檢查裝置的定位功能，而可能發生測定錯誤。特別是隨著半導體設計規則朝微小節點(node)化推進，測定錯誤的問題相當令人擔心。
本發明的課題是為了提供一種可抑制從供電線洩漏的磁場之非接觸供電方式的行走車系統。
本發明的一見解之非接觸供電系統，係具備交流電源、供電線、電力收集器、磁場減低部。供電線是連接於交流電源。電力收集器是以非接觸方式接收來自供電線的電力且設置於行走車。磁場減低部是具有線圈天線和電容器。在線圈天線，藉由流過供電線的電流所產生的磁場而有感應電流流過。線圈天線和電容器具有共振關係，而使流過線圈天線的感應電流，相對於流過供電線的電流的相位成為相反相位。
在本系統，是藉由電容器，使流過線圈天線的感應電流的相位成為和流過供電線的電流相位相反的相位。亦即，從線圈天線產生的磁場的相位，是和從供電線產生的磁場相位相反。結果，利用相反相位的磁場，可抵消來自供電線的洩漏磁場。所謂「抵消」是指，至少能消除磁場的一部分而減少對其他裝置的影響。
在本系統，用來使電流流過線圈天線之電源和拾波線圈等是不需要的。
另外，作為本發明的一態樣，線圈和電容器不是具有完全的共振關係，而是使用共振頻率附近的周圍頻率，再者，流過線圈天線的感應電流的相位，相對於流過供電線的電流相位不是成為完全相反的相位。在此，藉由偏離完全的共振狀態，可產生用來抵消來自線圈天線的洩漏磁場之適當的相反相位磁場。
電容器較佳為將共振關係調整成：使流過線圈天線的感應電流所產生的磁場可抵消流過供電線的電流所產生的磁場。
本發明的其他見解之非接觸供電系統的磁場減低方法，該非接觸供電系統是具備：交流電源、連接於交流電源的供電線、以非接觸方式接收來自供電線的電力且設置於行走車之電力收集器；該磁場減低方法具備以下的步驟。
◎準備線圈天線的步驟
◎準備電容器的步驟，藉由調整其和線圈天線的共振關係，以使流過線圈天線的感應電流所產生的磁場能抵消流過供電線的電流所產生的磁場。
在本方法，可更換電容器以調整其和線圈天線的共振關係。特別是，藉由更換電容器而偏離完全的共振狀態， 可產生適當的相反相位的磁場。
共振關係的調整，是根據線圈天線和電容器所構成的電路的阻抗Z=ω L-1/ω C、朝線圈天線的感應電壓Vc=-N．dΦ/dt、在線圈天線產生的感應電流I=Vc/Z、通過感應電流而在線圈天線產生的磁場H=I/(4 π r)．[J(J2 +r2 )-1/2 ]、感應電流的相位θ=cos-1 (R/Z)，來調整磁場H和感應電流的相位θ的步驟。
其中，ω=2 π f，f為頻率，L：線圈天線的電感，C：電容器的電容，N：線圈天線的匝數，dΦ/dt：通過線圈天線的磁通變化量，r：要降低的磁通和線圈天線的距離，J：線圈天線的長度，R：線圈天線的直流電阻。
依據此構成，事前即可設想線圈天線和電容器的值。
依據本發明的行走車系統，藉由從線圈天線產生的相反相位的磁場，可抵消從供電線產生的磁場。
參照圖式來說明本發明的一實施形態。
(1)高架行走車系統
第1圖係使用供電線之非接觸供電方式的高架行走車系統1的示意圖。高架行走車系統1，是設置於半導體工廠等的無塵室等，用來搬運後述的FOUP(Front Opening Unified Pod)。高架行走車系統1，主要是具有軌道3、沿著軌道3行走的高架行走車5。
接著說明半導體工廠內的構造。半導體工廠具有複數個迴圈(製程)，為了使遠離的迴圈互相連接而設有圈際路線51，再者，各迴圈都具有圈內路線53。各路線51、53是由軌道3所構成。
沿著圈內路線53配置有半導體處理裝置等的複數個處理裝置55、55。再者，在處理裝置55、55的附近，設有裝載埠57。裝載埠57是設置在圈內路線53的正下方。在以上的構造中，高架行走車5行走於軌道3上而在裝載埠57間搬運後述的FOUP。
(2)軌道
軌道3，如第2圖所示，是藉由複數個支柱7而吊掛於頂棚9。軌道3主要具有：行走用軌道11、設置於行走用軌道11的下部之供電軌13。
(a)行走用軌道
行走用軌道11，例如是鋁製，如第3圖所示，截面視呈倒U字狀，具有上面部11a、兩側面部11b。在兩側面部11b的下方，形成朝內側延伸的一對第1行走面11c。再者，在兩側面部11b的內側面的上部形成第2行走面11d，在上面部11a的下側面形成第3行走面11e。
(b)供電軌
供電軌13，主要是由設置在行走用軌道11的下部兩側的一對供電線保持具15、15所構成。在供電線保持具15、15，配置有李茲線(Litz wire，將銅線等的導電線用絕緣材料被覆而構成)所構成的一對供電線17、17。在供電線17的一端設置電力供應裝置(未圖示)，以朝一對供電線17、17供應高頻電流。
(3)高架行走車
高架行走車5，主要是具有行走部21、電力接收部23，昇降驅動部25。行走部21，是配置於行走用軌道11內而用來行走於軌道3上的機構。電力接收部23，是配置於供電軌13內，是用來從一對供電線17、17供應電力的機構。昇降驅動部25，是配置於供電軌13的下方，是用來保持FOUP4並使其上下昇降的機構。
(a)行走部
行走部21，主要配置於行走用軌道11內，而具有一對第1導輪18、18、一對第2導輪19、19、行走驅動輪20、馬達22。一對第1導輪18、18，是配置於行走部21的下部兩側，被沿左右方向延伸的車軸旋轉自如地支承著。第1導輪18、18是載置在行走用軌道11的第1行走面1lc上。
第2導輪19、19，是配置於行走部21的上部兩側，被沿垂直方向延伸的車軸旋轉自如地支承著。第2導輪19、19，是以行走用軌道11的第2行走面11d為導引面，來防止橫向(行進方向的左右方向)的位置偏移。
行走驅動輪20，是配置在行走部21的大致中央，是藉由彈簧等的推壓手段來推壓在行走用軌道11的第3行走面11e。行走驅動輪20，是被馬達22驅動。結果能使高架行走車5在軌道3上行走。
(b)電力接收部
電力接收部23，為了從一對供電線17、17取得電力而具有一對集電單元27。具體而言，一對集電單元27、27是在供電軌13內分別配置於左右。各集電單元27係具備：截面呈近似E字形的肥粒鐵製的鐵芯29、捲繞於鐵芯29的拾波線圈31。具體而言，鐵芯29是具有兩側的突出部29a、以及位於其間之中央的突出部29b，拾波線圈31是捲繞在中央的突出部29b。
藉由供電線保持具15來保持的一對供電線17、17，是分別配置在兩側的突出部29a各自和中央的突出部29b之間。藉由在該一對供電線17、17流過高頻電流而產生的磁場，會作用於拾訊線圈31，而在拾訊線圈31產生感應電流。如此，從一對供電線17、17以非接觸方式將電力供應給集電單元27，以驅動行走用的馬達22，或將電力供應給控制機器。如此般，藉由供電軌13的一對供電線17、17和高架行走車5的電力接收部23來構成非接觸供電部33。
(c)昇降驅動部
昇降驅動部(吊車)25，如第2圖所示，主要是具備：主體框架35、橫向移送部37、θ驅動器39、吊車主體41、昇降台43。
主體框架35，是固定在電力接收部23下部的構件。在主體框架35的前後設置前後框架45、47。
橫向移送部37，是將θ驅動器39、吊車主體41及昇降台43例如朝側方進行橫向移送，以在和設置於軌道3側方的側緩衝區(未圖示)之間進行FOUP4的收授。θ驅動器39，是用來使吊車主體41能在水平面內轉動，以讓FOUP4的收授變容易。在吊車主體41內設置用來讓昇降台43昇降的昇降手段(未圖示)。昇降手段，例如是4組的捲筒(winding drum)，而在捲筒上捲繞著帶體59。在帶體59的端部安裝昇降台43。第4圖係顯示，從捲筒送出帶體59而使昇降台43和FOUP4一起下降的狀態。
FOUP4，在內部收容複數個半導體晶圓，且在前面設有開閉自如的蓋體。在FOUP4的上部設置凸緣49，凸緣49是被昇降台43夾住。
(4)供電線保持具
使用第5圖至第7圖來說明供電線保持具15的構造。另外，由於一對電線保持具15的構造大致相同，因此僅說明一方的構造。
電線保持具15是由：外側保持具61、板構件62、內側保持具63所構成。外側保持具61和板構件62具有既定的對應長度，對應於其等的一對的組合，設置有複數個內側保持具63。
外側保持具61，是樹脂製的一體成形構件，主要是具有主面部65、以及從主面部65的端部往側方延伸的一對側面部67、68。主面部65，是朝第5、6圖的紙面厚度方向延伸，截面視是沿上下方向延伸。側面部67、68也是，沿著主面部65而朝紙面厚度方向延伸，截面視是從主面部65的端部往右方水平延伸。側面部67係具備：根側的第1部分67a、從第1部分67a延伸的第2部分67b。第2部分67b比第1部分67a更薄，其可撓性更高。在第2部分67b的前端，形成有朝內部彎折成鉤狀的彎折部67c。側面部68係具備：根側的第1部分68a、從第1部分68a延伸的第2部分68b。第2部分68b比第1部分68a更薄，其可撓性更高。在第2部分68b的前端，形成有朝內部彎折成鉤狀的彎折部68c。
另外，在外側保持具的側面部67形成卡合部67d，形成於行走用軌道11的下面之卡合部11f(第3圖)可和其卡合。依據此構造，來將供電軌13固定在行走用軌道11。
板構件62，是銅製的薄板，主要是具有：主面部69、從主面部69的端部往側方延伸的一對側面部71、73。板構件62的厚度，例如為0.3mm，宜在0.2~0.4mm的範圍。主面部69，是朝第5、6圖的紙面厚度方向延伸，截面視是沿上下方向延伸。側面部71、73也是，沿著主面部69而朝紙面厚度方向延伸，截面視是從主面部69的端部往右方水平延伸。板構件62，是和外側保持具61的內側面具有相同的形狀，而以密合在外側保持具61的內側面的狀態被保持著。亦即，板構件62的主面部69是密合於外側保持具61的主面部65的內側面。板構件62的側面部71是密合於外側保持具61的側面部67的內側面。板構件62的側面部73是密合於外側保持具61的側面部68的內側面。在裝設狀態下，板構件62的側面部71、73的前端進入彎折部67c、68c內。
內側保持具63，是樹脂製的一體成形構件，如第7圖所示，相對於外側保持具61及板構件62的組合，是隔著既定間隔而配置有複數個。內側保持具63的節距(pitch)例如為250~300mm。各內側保持具63是由：主面部75、從主面部75的中間2處朝側方延伸的一對供電線保持部77、79、從主面部75的端部朝側方延伸的一對側面部81、83所構成。內側保持具63的外側面，是和外側保持具61的內側面具有大致相同的形狀。因此，內側保持具63是嵌合於外側保持具61的內側。另外，側面部81、83的前端，是抵接或接近外側保持具61的彎折部67c、68c的彎折前端面。在此狀態下，內側保持具63會產生些微的彈性變形，而利用本身的彈力來固定在外側保持具61。亦即，內側保持具63不僅將本身固定在外側保持具61，且在其和外側保持具61之間挾持板構件62，藉此將板構件62固定在外側保持具61。
一對供電線17，如第3圖所示，在被保持在供電線保持部77、79的前端的狀態下，配置在鐵芯29的突出部29a和突出部29b的空間內的深入位置。
藉由在局部配置有複數個內側保持具63，而使板構件62的主面部69的大部分成為露出狀態。因此，內側保持具63所造成的磁通降低作用不容易發生。
從第5圖可明顯看出，一對供電線17、17分別與鄰近側的板構件62的一對側面部67、68的距離L1、L2是相同的。在圖中，L1、L2是兩者的最短距離。由於板構件62為非磁性體，從一對供電線17、17產生的磁場不容易洩漏到外部。因此，不容易因洩漏磁場而造成對其他裝置的不良影響。特別是，由於板構件62為銅製(高導電性)，具有良好的洩漏磁通降低效果。另外，藉由配置板構件62，在利用電磁感應進行供電時，鐵芯29的磁迴路成為閉迴路，而能提昇供電效率。
另外，藉由使一對供電線17、17分別與鄰近側的板構件62的一對側面部67、68的距離L1、L2成為相同，可確保從一對供電線17、17分別產生的磁場的均衡。藉此，其抑制洩漏磁場所造成的對其他裝置的不良影響的效果提昇。
再者，板構件62的一對側面部71、73從主面部69延伸的長度L3、L4是相同的，一對側面部71、73的前端是延伸到覆蓋一對供電線17、17的位置。一對側面部71、73覆蓋一對供電線17、17是指，一對側面部71、73的前端是比一對供電線17、17的側方最外側部分位於更側方外側。在此情況，由於一對側面部67、68從主面部69延伸的長度是相同的，可確保從一對供電線17、17分別產生的磁場的均衡。藉此，抑制洩漏磁場對其他裝置造成不良影響的效果提昇。再者，由於板構件62的一對側面部71、73的前端延伸至覆蓋一對供電線17、17的位置，可進一步防止從一對供電線17、17產生的磁場洩漏至外部。
由於板構件62是配置在外側保持具61的一對供電線17、17側，亦即配置在外側保持具61的內側，即使行走車系統1和其他構件發生衝撞，來自板構件62的塵埃也不容易落入外部，結果，即使將本發明的一實施態樣的高架行走車系統運用到無塵室內，也不容易發生問題。
再者，由於內側保持具63具備板構件62的保持功能及一對供電線17、17的保持功能，可減少零件數目。
其次說明供電線保持具15的組裝、分解作業。最初，在外側保持具61的內側嵌入板構件62。這時，是使外側保持具61的側面部67的第2部分67b及側面部68的第2部分68b往外側變形，而使板構件62的前端進入彎折部67c、68c的內側。如此，板構件62成為暫時固定在外側保持具61的狀態。接著，將複數個內側保持具63嵌入外側保持具61的內側，亦即嵌入板構件62的內側。如此完成供電線保持具15的組裝。分解作業，是進行和上述組裝作業相反的作業。
由於內側保持具63是由複數個構件所構成，可提昇組裝、分解作業性。亦即，相對於外側保持具61和板構件62，內側保持具63是較小的構件，在進行嵌入時，不須相對於外側保持具61和板構件62進行嚴密的定位即可完成嵌入作業。另外，在將內側保持具63拆卸時，只要將小構件逐一卸下即可，其作業性良好。
(5)雜訊消除電路
如第8圖至第10圖所示，在軌道3裝設有雜訊消除電路85。雜訊消除電路85，具有能減低供電軌13所產生的磁場的功能。
雜訊消除電路85，如第10圖所示，是以共振電路的形式來構成，該共振電路是由線圈天線87和電容器89所組成。線圈天線87，是沿軌道3的長邊方向平行延伸的長帶狀的複數匝。如第8圖及第9圖所示，線圈天線87是配置於供電線保持具15的外側，亦即配置在供電線17的外側且接近供電線17。在第8圖及第9圖，線圈天線87是透過安裝構件93來固定在供電線保持具15。電容器89，能使流過線圈天線87的感應電流的相位，相對於流過供電線17的電流的相位成為相反相位。
線圈天線87，可遍及軌道3整體而設置，亦可僅對應於必要的處理裝置55來設置。使線圈天線對應於必要的處理裝置是指，使線圈天線的行走方向長度對應於處理裝置的行走方向長度70%以上來配置的狀態。
如第10圖所示，若從交流電源91將高頻電流供應給供電線17，在供電線17的周圍會產生磁場。藉由該磁場，捲繞在鐵芯20的拾訊線圈31會有感應電流流過。亦即進行非接觸供電。
另一方面，從供電線17產生的磁場會使雜訊消除電路85的線圈天線87產生感應電流，藉由該感應電流來從線圈天線87產生磁場。在該雜訊消除電路85，藉由電容器89和線圈天線87，使流過線圈天線87的感應電流相對於流過供電線17的電流相位成為相反相位，因此，從線圈天線87產生的磁場相位成為和從供電線17產生的磁場相位相反的相位。藉由該相反相位的磁場，來抵消從供電線17產生的磁場。在此，「抵消」是指，從流過供電線17的電流產生的磁場的至少一部分被消除。結果，從供電線17產生的磁場對檢查裝置等處理裝置55造成的影響變少。
另外，在本實施形態，如前述般，藉由板構件62能使洩漏到供電軌13外部的磁場變小，又藉由從流過線圈天線87的感應電流產生的相反相位的磁場能抵消漏出的磁場，因此能進一步減低不良影響。
由於線圈天線87有複數匝，即使流過其的感應電流小，也能獲得大的洩漏磁場減低效果。再者，由於線圈天線87的長方向和供電線17平行，對於沿著供電線17的寬廣範圍，可減低洩漏磁場。
由於供電線17本身是作為電源來使感應電流流過線圈天線87，不須另外準備電源，再者也不須另外設置拾訊線圈。
另外，線圈天線87和電容器89不是具有完全的共振關係，而是使用共振頻率附近的周圍頻率，再者，流過線圈天線87的感應電流的相位，相對於流過供電線17的電流相位不是成為完全相反的相位。在此，藉由偏離完全的共振狀態，從線圈天線87可產生用來抵消洩漏磁場之適當的相反相位磁場。
實際上用來減低磁場的作業，是執行以下的步驟。
◎準備線圈天線87的步驟
◎準備電容器89的步驟，藉由調整其和線圈天線87的共振關係，以使流過線圈天線87的感應電流所產生的磁場能抵消流過供電線17的電流所產生的磁場。
在本方法，可更換電容器89以調整其和線圈天線87的共振關係。特別是，藉由更換電容器89而偏離完全的共振狀態，可產生適當的相反相位的磁場。
更具體的說明，是根據線圈天線87和電容器89所構成的電路的阻抗Z=ωL-1/ωC、朝線圈天線87的感應電壓Vc=-N．dΦ/dt、在線圈天線87產生的感應電流I=Vc/Z、通過感應電流而在線圈天線87產生的磁場H=I/(4πr)．[J(J2 +r2 )-1/2 ]、感應電流的相位θ=cos-1 (R/Z)，來調整磁場H和感應電流的相位θ的步驟。
其中，L：線圈天線87的電感，C：電容器89的電容，N：線圈天線87的匝數，dΦ/dt：通過線圈天線87的磁通變化量，r：要降低的磁通和線圈天線87的距離，J：線圈天線87的長度，R：線圈天線87的直流電阻。
依據此構成，事前即可設想線圈天線87和電容器89的值。
(6)其他實施形態
以上是說明本發明的一實施形態，但本發明並不侷限上述實施形態，在不脫離發明主旨的範圍內可進行各種的改變。
在前述實施形態，板構件是由具有3面的一片板片所構成，但例如由3片板片組合而構成亦可。
在前述實施形態，雖是說明高架行走車，但本發明也能適用於地上行走車等的其他軌道行走車系統。
在前述實施形態，雖是說明半導體製造工廠的無塵室內的行走車系統，但本發明也能適用於其他種類的工廠。
在前述實施形態，供電線保持具雖是使用銅製的板構件，但本發明也能適用於不是使用板構件的供電線保持具。在此情況，雖可想像來自供電線保持具的洩漏磁場變大，但同時從線圈天線產生的相反相位的磁場也會變大，因此對處理裝置的影響，是和前述實施形態的情況同樣的會變少。
在前述實施形態，線圈天線雖是配置在最接近供電線處，但線圈天線在上下方向或側方向離供電線更遠亦可。
在前述實施形態，線圈天線雖是裝設於軌道的供電軌，但裝設於行走用軌道亦可。
在前述實施形態，線圈天線雖是裝設於軌道的側方向一側，但僅裝設於相反側亦可，裝設在兩側也可以。
一對供電線，可設置在兩方的供電線保持具，也能僅設置在任一方的供電線保持具。
本發明可廣泛適用於在軌道上行走的行走車系統。
1．．．高架行走車系統
3．．．軌道
4．．．FOUP
5．．．高架行走車
11．．．行走用軌道
13．．．供電軌道
15．．．供電線保持具
17．．．供電線
23．．．電力接收部
27．．．集電單元
29．．．鐵芯
31．．．拾訊線圈
33．．．非接觸供電部
61．．．外側保持具
62．．．板構件
63．．．內側保持具
65．．．主面部
67、68．．．側面部
69．．．主面部
71、73．．．側面部
75．．．主面部
77、79．．．供電線保持部
81、83．．．側面部
85．．．雜訊消除電路
87．．．線圈天線
89．．．電容器
第1圖係無塵室內的高架行走車系統的概略示意圖。
第2圖係高架行走車系統及高架行走車的局部側視圖。
第3圖係軌道內的縱截面概略圖。
第4圖係高架行走車系統及高架行走車的局部側視圖。
第5圖係供電單元的縱截面圖。
第6圖係將供電單元分解成各零件的狀態的縱截面圖。
第7圖係軌道的局部立體圖。
第8圖係顯示軌道和處理裝置和雜訊消除電路的位置關係的示意圖。
第9圖係安裝於軌道的天線的側視圖。
第10圖係非接觸供電部及雜訊消除電路的等效電路圖。
7．．．支柱
9．．．頂棚
11．．．行走用軌道
13．．．供電軌道
15．．．供電線保持具
17．．．供電線
55．．．處理裝置
57．．．裝載埠
85．．．雜訊消除電路
87．．．線圈天線
93．．．安裝構件

Claims (4)

  1. 一種非接觸供電系統，係具備：交流電源；供電線，是連接於前述交流電源；電力收集器，以非接觸方式接收來自前述供電線的電力且設置於行走車；磁場減低電路，是具有：藉由流過前述供電線的電流所產生的磁場而有感應電流流過的線圈天線、連接於前述線圈天線的電容器，前述線圈天線和前述電容器具有共振關係，使流過前述線圈天線的感應電流相對於流過前述供電線的電流相位成為相反相位。
  2. 如申請專利範圍第1項記載的非接觸供電系統，其中，前述電容器的共振關係是調整成：使流過前述線圈天線的感應電流所產生的磁場可抵消流過前述供電線的電流所產生的磁場。
  3. 一種非接觸供電系統的磁場減低方法，該非接觸供電系統是具備：交流電源、連接於前述交流電源的供電線、以非接觸方式接收來自前述供電線的電力且設置於行走車之電力收集器；該磁場減低方法具備以下的步驟：準備線圈天線的步驟；準備電容器的步驟，藉由調整其利前述線圈天線的共振關係，以使流過前述線圈天線的感應電流所產生的磁場能抵消流過前述供電線的電流所產生的磁場。
  4. 如申請專利範圍第3項記載的非接觸供電系統的磁場減低方法，其中，前述共振關係的調整，是根據前述線圈天線和前述電容器所構成的電路的阻抗Z=ωL-1/ωC、朝前述線圈天線的感應電壓Vc=-N．dΦ/dt、在前述線圈天線產生的感應電流I=Vc/Z、通過感應電流而在前述線圈天線產生的磁場H=I/(4πr)．[J(J2 +r2 )-1/2 ]、感應電流的相位θ=cos-1 (R/Z)，來調整磁場H和感應電流的相位θ的步驟；其中，L：線圈天線的電感，C：電容器的電容，N：線圈天線的匝數，dΦ/dt：通過線圈天線的磁通變化量，r：要降低的磁通和線圈天線的距離，J：線圈天線的長度，R：線圈天線的直流電阻。
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