WO2011125096A1 - 搬送車用軌道 - Google Patents

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WO2011125096A1
WO2011125096A1 PCT/JP2010/002443 JP2010002443W WO2011125096A1 WO 2011125096 A1 WO2011125096 A1 WO 2011125096A1 JP 2010002443 W JP2010002443 W JP 2010002443W WO 2011125096 A1 WO2011125096 A1 WO 2011125096A1
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WO
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track
transport vehicle
rail
groove
guide rail
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Application number
PCT/JP2010/002443
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English (en)
French (fr)
Inventor
和田栄治
Original Assignee
ムラテックオートメーション株式会社
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Publication date
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60—VEHICLES IN GENERAL
    • B60L—PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
    • B60L5/00—Current collectors for power supply lines of electrically-propelled vehicles
    • B60L5/005—Current collectors for power supply lines of electrically-propelled vehicles without mechanical contact between the collector and the power supply line
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60—VEHICLES IN GENERAL
    • B60L—PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
    • B60L2200/00—Type of vehicles
    • B60L2200/26—Rail vehicles

Definitions

  • the present invention relates to a track for a transport vehicle, and more particularly, to a track used for a transport vehicle powered by a non-contact power feeding method.
  • the two power supply lines are held by a power supply line holder of a power supply rail provided along the track.
  • a ferrite core having a substantially “E” cross section is fixed to the power receiving unit of the carriage.
  • the protruding piece at the center of the core is wound with a coil, and is inserted between the two feeders in a non-contact manner.
  • the magnetic field generated there acts on the coil wound around the core, and as a result, an induced current flows through the coil.
  • electric power is supplied from the power supply line to the power receiving unit of the transport carriage in a non-contact manner, and the electric power is used in the motor and the control device (see, for example, Patent Document 1).
  • An object of the present invention is to reduce a leakage magnetic field from a feeder line with fewer members in a track for a transport vehicle than in the past.
  • a track for a transport vehicle is a track used for a transport vehicle in which electric power is supplied in a non-contact state from a power supply line, and includes a power supply unit, a support unit, and a storage unit. .
  • a part of the power supply line is arranged in the power supply unit.
  • the support unit supports the transport vehicle.
  • the housing portion includes a conductive and nonmagnetic material.
  • the accommodating part has a groove formed at a position different from that of the power feeding part. The groove is deeper than the cable diameter of the feeder line.
  • the groove accommodates an exposed portion that is not disposed in the power feeding portion of the power feeding line. Thereby, the leakage of the magnetic field from the part accommodated in the groove
  • a part of the feeder line is accommodated in the groove of the accommodating portion. Since the groove is deeper than the cable diameter of the feeder line, leakage of the magnetic field from the portion arranged in the groove of the feeder line is reduced.
  • the number of parts does not increase.
  • the power feeding unit, the support unit, and the housing unit may be suspended from the ceiling, and the groove may be formed on the upper surface of the housing unit.
  • the groove portion is formed on the upper surface of the housing portion, the influence of the magnetic field on the device disposed below the track is reduced.
  • the track for the transport vehicle may further include a guide rail that is a member for guiding the transport vehicle and having a housing portion, and a travel rail that has a travel surface on which the transport vehicle travels and has a support portion. .
  • a guide rail that is a member for guiding the transport vehicle and having a housing portion
  • a travel rail that has a travel surface on which the transport vehicle travels and has a support portion.
  • the track for the transport vehicle may further include a plurality of connecting members that are arranged at intervals in the track extending direction and connect the guide rail and the traveling rail.
  • the entire track is reduced in weight.
  • the guide rail has a plurality of protrusions that form grooves between each other, and the connecting member may be fixed to the protrusions.
  • the transport vehicle track may be further provided with a signal line holding member that is fixed to the guide rail and holds the signal line.
  • the guide rail may have a guide portion that protrudes from another portion and guides the guide roller of the transport vehicle.
  • the guide rail includes a thin plate-like main body extending in the track extending direction, a plurality of first protrusions that protrude upward from the main body to form a groove, and a second protrusion that protrudes downward from the main body to form a guide part. You may have.
  • the groove may consist of a plurality of grooves extending in the track extension direction. In this track, since a plurality of grooves are formed, there is a high degree of freedom in arranging the feeder lines.
  • a transport vehicle track is a track suspended from a ceiling, and is a track used for a transport vehicle in which power is supplied in a non-contact state from a power supply line.
  • the conveyance vehicle track includes a power feeding unit, a travel rail, and a guide rail. A part of the power supply line is arranged in the power supply unit.
  • the traveling rail is disposed above the power feeding unit.
  • the guide rail is a member that is disposed above the traveling rail and includes a conductive and non-magnetic material.
  • the guide rail has a main body, a plurality of first protrusions, and a second protrusion.
  • the main body is a thin plate-like member extending in the track extending direction.
  • the plurality of first protrusions form a groove that protrudes upward from the main body and further extends in the track extension direction therebetween.
  • the second protruding portion protrudes downward from the main body to form a guide portion.
  • the groove is deeper than the cable diameter of the feeder line.
  • the groove accommodates an exposed portion that is not disposed in the power feeding portion of the power feeding line. Thereby, the leakage of the magnetic field from the part accommodated in the groove
  • a part of the feeder line is accommodated in the groove of the accommodating portion, and the groove is deeper than the cable diameter of the feeder line, so that leakage of the magnetic field from the portion arranged in the groove of the feeder line is reduced.
  • the number of parts does not increase.
  • the track for the transport vehicle may further include a plurality of connecting members that are arranged at intervals in the track extending direction and connect the guide rail and the traveling rail.
  • the entire track is reduced in weight.
  • the connecting member may be fixed to the first protrusion of the guide rail.
  • the leakage magnetic field from the power supply line can be reduced with fewer members than in the conventional case.
  • the schematic plan view of a conveyance vehicle system The side view of a track and a conveyance vehicle. Sectional drawing of a track and a conveyance vehicle. The elements on larger scale of FIG. Sectional drawing of a track and a conveyance vehicle. Top view of the orbit. Sectional drawing of the track
  • Transport vehicle system as one embodiment of the present invention is a system for running a plurality of transport vehicles on a defined transport track.
  • the transport vehicle travels in one direction on the transport track, loads articles from the target location according to the transport command assigned by the host controller, then travels to the transport destination location and loads the articles at the transport destination location. put out.
  • the transport vehicle may reciprocate on the transport track.
  • the transport vehicle system is arranged using, for example, a ceiling space in a clean room, and transports articles such as FOUP containing semiconductor wafers between load ports such as processing apparatuses and inspection apparatuses.
  • the transport track is composed of two types, a U-shaped intra bay route in a bay in which processing devices are arranged, and an inter bay route that interconnects the intra bay routes.
  • FIG. 1 is a schematic plan view of a conveyance vehicle system.
  • the overhead conveyance vehicle system 1 is provided in a clean room or the like such as a semiconductor factory, and conveys a FOUP (Front Opening Unified Pod) described later.
  • the ceiling transport vehicle system 1 mainly includes a rail 3 and a ceiling transport vehicle 5 that travels along the rail 3.
  • the semiconductor factory has a plurality of bays (processes), an interbay route 91 is provided for connecting remote bays, and each bay has an intrabay route 93.
  • Each of the routes 91 and 93 is constituted by the rail 3.
  • a plurality of processing devices 95 such as semiconductor processing devices are arranged along the intra-bay route 93. Further, a load port 97 is provided in the vicinity of the processing device 95. The load port 97 is provided immediately below the intra bay route 93. In the above configuration, the ceiling transport vehicle 5 travels on the rail 3 and transports a FOUP described later between the load ports 97.
  • FIG. 2 is a side view of the track and the transport vehicle.
  • the rail 3 mainly includes a first lower traveling rail 19, a second lower traveling rail 21, a guide rail 23, and a plurality of connecting members 25. Since the guide rail 23, the first lower traveling rail 19 and the second lower traveling rail 21 are thus divided and connected by the plurality of connecting members 25, the entire rail 3 is reduced in weight.
  • the first lower travel rail 19 and the second lower travel rail 21 are members arranged side by side and have a line-symmetric configuration. Yes. Therefore, in the following description, only the first downward traveling rail 19 will be described.
  • the second lower traveling rail 21 side is defined as the inner side and the opposite side is defined as the outer side as viewed from the first lower traveling rail 19.
  • the first lower traveling rail 19 includes a receiving surface portion 27, an intermediate portion 29, and a shielding portion 31, and in this embodiment, the first lower traveling rail 19 is made of aluminum and is integrally formed. Yes.
  • the receiving surface part 27 has a traveling surface 27a on which traveling wheels 51 (described later) of the ceiling transport vehicle 5 travel.
  • the shielding portion 31 is a flat portion that extends in parallel with the receiving surface portion 27 below the receiving surface portion 27.
  • the intermediate portion 29 is a portion that connects the outer sides of the receiving surface portion 27 and the shielding portion 31 to each other.
  • a plurality of feeder holders 33 are attached inside the intermediate portion 29.
  • the feeder holder 33 is made of resin.
  • a pair of power supply lines 35 made of a litz wire in which a conductive wire such as a copper wire is covered with an insulating material is disposed.
  • a power supply device (not shown) is provided at one end of the power supply line 35, and a high-frequency current is supplied to the pair of power supply lines 35.
  • the pair of power supply lines 35 is held at the tip of the power supply line holder 33 and is located at a deep position in the space between the protruding portions 59 a on both sides of the core 59 and the central protruding portion 59 b. Has been placed.
  • FIG. 4 is a partially enlarged view of FIG.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view of the track and the transport vehicle.
  • FIG. 6 is a top view of the track.
  • the guide rail 23 is a member for guiding the ceiling transport vehicle 5.
  • the guide rail 23 is disposed above the first lower traveling rail 19 and the second lower traveling rail 21.
  • the guide rail 23 is preferably made of a conductive and non-magnetic material, and is made of, for example, aluminum.
  • the guide rail 23 has a main body 23a, a plurality of first protrusions 23b, and two second protrusions 23c.
  • the main body 23a is a thin plate-like member extending in the extending direction of the rail 3 (that is, the traveling direction of the ceiling transport vehicle 5).
  • the plurality of first protrusions 23b protrude upward from the main body 23a and further extend in the rail extending direction to secure a groove 23d therebetween.
  • four grooves 23d are formed.
  • the groove 23d is provided to accommodate a part of the power supply line 35, and has a function of reducing leakage of a magnetic field from a portion disposed in the groove 23d of the power supply line 35.
  • corrugation part is formed in the guide rail 23 by the groove
  • the groove 23 d is open upward and is deeper than the cable diameter of the feeder line 35. More specifically, the depth of the groove 23 d is twice or more the cable diameter of the feeder line 35. Since a plurality of the grooves 23d are formed, the degree of freedom of arranging a part of the power supply line 35 is high.
  • a recess 23i is formed in the first protrusion 23b, and recesses 23h are formed in the left and right ends of the main body 23a. The recess 23i and the recess 23h are used for fixing the guide rail 23 to other members (described later).
  • the second protrusion 23c protrudes downward from the main body 23a by a predetermined length to form a guide part.
  • the inner surface of the second protrusion 23c is a first guide surface 23e
  • the outer surface of the second protrusion 23c is a second guide surface 23f.
  • a groove 23g extending in the track extending direction is formed in the second protrusion 23c.
  • the connecting member 25 is arranged at a predetermined interval in the rail extending direction.
  • the connecting member 25 is a U-shaped member having an inverted cross section, and has an upper surface portion 37, a first side portion 39, and a second side portion 41.
  • the upper surface portion 37 is disposed on the upper side of the guide rail 23 and extends in a direction orthogonal to the direction in which the guide rail 23 extends.
  • the upper surface portion 37 has a flange 37 a, and the flange 37 a is in contact with the upper surface of the guide rail 23. As shown in FIG.
  • a nut 42 is disposed in the recess 23 i formed in the first protrusion 23 b of the guide rail 23, and a bolt 43 passing through a hole formed in the flange 37 a is screwed into the nut 42. is doing. Thereby, the guide rail 23 is fixed to the connecting member 25.
  • the first side portion 39 and the second side portion 41 extend downward from both ends of the upper surface portion 37, and their lower ends are fixed to the upper portions of the first lower traveling rail 19 and the second lower traveling rail 21. . In this manner, the guide rail 23, the first lower traveling rail 19, and the second lower traveling rail 21 are coupled to each other by the plurality of coupling members 25.
  • the ceiling transport vehicle 5 mainly has a traveling unit 45, a power receiving unit 47, and a transport vehicle main body 49.
  • the traveling unit 45 is a mechanism for traveling on the rail 3.
  • the power receiving unit 47 is a mechanism that is disposed inside the first lower traveling rail 19 and the second lower traveling rail 21 and is supplied with electric power from the pair of power supply lines 35.
  • the transport vehicle main body 49 is a mechanism that is disposed below the rail 3 and holds the FOUP 4 and moves it up and down.
  • the traveling unit 45 is mainly disposed in the rail 3, and is provided with a motor (not shown) and traveling wheels 51 on the left and right.
  • the traveling unit 45 further includes a pair of guide rollers 55 in the upper portion and a pair of branching guide rollers 56 on both sides thereof.
  • the traveling wheels 51 are disposed on both lower sides of the traveling unit 45.
  • the traveling wheel 51 is placed on the traveling surface 27 a of the receiving surface portion 27 of the first lower traveling rail 19 and the second lower traveling rail 21.
  • the guide roller 55 is in contact with or close to the first guide surface 23e of the second protrusion 23c.
  • the branching guide roller 56 can be moved between a position where it abuts on the second guide surface 23f of the second projection 23c and a position where it abuts by a switching device (not shown).
  • a shaft 52 extends downward from the traveling unit 45. The shaft 52 is fixed to the upper surface of a main body frame 65 (described later) of the transport vehicle main body 49.
  • the power receiving unit 47 has a pair of pickup units 57 for obtaining power from the pair of power supply lines 35.
  • the pickup unit 57 is fixed to the left and right sides of the shaft 52 at the lower part of the traveling unit 45. Specifically, the pair of pickup units 57 are arranged side by side in the rail 3.
  • the pickup unit 57 includes a ferrite core 59 having a substantially E-shaped cross section, and a pickup coil 61 wound around the core 59.
  • the core 59 has projecting portions 59a on both sides and a central projecting portion 59b therebetween, and the pickup coil 61 is wound around the projecting portion 59b in the center.
  • a pair of power supply lines 35 held by the power supply line holder 33 are respectively disposed between the protruding portions 59a on both sides and the central protruding portion 59b.
  • a magnetic field generated by flowing a high-frequency current through the pair of power supply lines 35 acts on the pickup coil 61, and an induction current is generated in the pickup coil 61.
  • electric power is supplied from the pair of power supply lines 35 to the pickup unit 57 in a non-contact manner, and a driving motor (not shown) is driven or electric power is supplied to the control device.
  • the non-contact power feeding unit 63 is configured by the pair of power feeding lines 35 of the rail 3 and the power receiving unit 47 of the ceiling transport vehicle 5.
  • the transport vehicle main body unit 49 mainly includes a main body frame 65, a lateral feed unit 67, a ⁇ drive 69, a hoist body 71, and a lifting platform 73. It has.
  • the main body frame 65 is a member fixed to the lower part of the power receiving unit 47.
  • a front frame 75 and a rear frame 77 are provided before and after the main body frame 65.
  • the lateral feed unit 67 can laterally feed the ⁇ drive 69, the hoist body 71, and the lifting platform 73 to the side, for example, and can deliver the FOUP 4 to and from a side buffer (not shown) provided on the side of the rail 3. .
  • the ⁇ drive 69 rotates the hoist body 71 in a horizontal plane to facilitate delivery of the FOUP 4.
  • lifting means (not shown) for lifting the lifting platform 73 is provided in the hoist body 71.
  • the lifting means is, for example, four sets of winding drums, and a belt (not shown) is wound around the winding drums.
  • a lifting platform 73 is attached to the end of the belt.
  • the FOUP 4 accommodates a plurality of semiconductor wafers inside and has a lid that can be opened and closed on the front surface.
  • a flange 81 is provided on the upper part of the FOUP 4, and the flange 81 is chucked by a lifting platform 73.
  • the second lower traveling rail 21 is provided with a feeding line unit 83.
  • the power supply line unit 83 is a member for wiring the power supply line 35 to the non-contact power supply unit 63.
  • the feeder line 35 extends further upward from the feeder line unit 83, and is subsequently disposed on the upper surface of the guide rail 23.
  • the power supply line 35 includes, on the upper surface of the guide rail 23, a linear first portion 35 ⁇ / b> A that extends to the upper side in the drawing, and a second portion 35 ⁇ / b> B that curves and then turns to the lower side in the drawing, It has the 3rd part 35C extended linearly in the figure lower side.
  • the first portion 35A is accommodated in the leftmost groove 23d in the drawing.
  • the second portion 35B extends above the three first protrusions 23b.
  • the third portion 35C is accommodated in the rightmost groove 23d in the drawing, and extends toward the next unit. In this way, most of the power supply line 35 disposed above the guide rail 23 is accommodated in the groove 23d.
  • a part of the power supply line 35 is accommodated in the groove 23d of the guide rail 23.
  • the groove 23 d is deeper than the cable diameter of the power supply line 35 and covers the lower side and the side of the power supply line 35. Therefore, the leakage of the magnetic field from these portions of the feeder line 35 to the outside is reduced. This is because an eddy current is generated in the guide rail 23 to constitute a magnetic shield. As a result, it is difficult for other devices to be adversely affected by the leakage magnetic field. Further, it is difficult for the power supply lines 35 to adversely affect the leakage magnetic field.
  • the guide rail 23 is made of aluminum (high conductivity), the effect of reducing leakage magnetic flux is high.
  • channel in which a part of feeder is accommodated is formed in the guide rail 23, the number of parts does not increase. As a result, the cost is reduced, and further, since no special member is provided, the vertical dimension of the track does not increase. Therefore, a sufficient space above the track can be secured, or the entire track can be made closer to the ceiling. Further, since the power supply line is arranged in the groove 23d of the guide rail 23, the workability at the time of assembly is improved.
  • a plurality of support members 101 are arranged on the upper surface of the guide rail 23 at intervals in the rail extension direction.
  • the support member 101 is an elongated member extending in a direction orthogonal to the rail extension direction.
  • the support member 101 is fixed to the recess 23 h at the left and right ends of the guide rail 23 by a plate or bolt / nut mechanism 98.
  • a plurality of grooves extending in the rail extension direction are formed on the upper surface of the support member 101.
  • a temperature detection signal line 85 is disposed in the groove 101a at the center.
  • the temperature detection signal line 85 extends from the temperature detection substrate 86.
  • a signal feeder line 87 is disposed in the groove 101b on the right side of the drawing among the plurality of grooves.
  • the feeder line 87 extends from a feeder line unit 88 provided on the first lower traveling rail 19.
  • the feeder line unit 88 is a member for wiring the feeder line 87 to the non-contact power feeding unit 63.
  • the traveling rail 111 is made of, for example, aluminum and is formed in an inverted U shape in a sectional view, and has an upper surface portion 111a and both side surface portions 111b. A pair of first traveling surfaces 111c extending inward is formed below the side surface portions 111b. Furthermore, a second traveling surface 111d is formed on the upper side of the inner side surface of both side surface portions 111b, and a third traveling surface 111e is formed on the lower side surface of the upper surface portion 111a.
  • the feeding rail 113 is mainly composed of a pair of feeding line holders 115 provided on both lower sides of the traveling rail 111.
  • a pair of power supply lines 117 made of a litz wire in which a conductive wire such as a copper wire is covered with an insulating material is disposed.
  • a power supply device (not shown) is provided at one end of the feeder line 117 so that a high-frequency current is supplied to the pair of feeder lines 117.
  • the ceiling transport vehicle 105 mainly includes a traveling unit 121, a power receiving unit 123, and an elevating drive unit (not shown).
  • the traveling unit 121 is a mechanism that is disposed in the traveling rail 111 and travels on the rail 103.
  • the power receiving unit 123 is a mechanism that is disposed in the power supply rail 113 and is supplied with power from the pair of power supply lines 117.
  • the traveling unit 121 is mainly disposed in the traveling rail 111, and includes a pair of first guide wheels 118, a pair of second guide wheels 119, a traveling drive wheel 120, and a motor (not shown).
  • the pair of first guide wheels 118 are disposed on both sides of the lower portion of the traveling unit 121, and are rotatably supported on an axle extending in the left-right direction.
  • the first guide wheel 118 is placed on the first traveling surface 111 c of the traveling rail 111.
  • the second guide wheels 119 are disposed on both sides of the upper portion of the traveling unit 121, and are rotatably supported on an axle extending in the vertical direction.
  • the second guide wheel 119 uses the second traveling surface 111d of the traveling rail 111 as a guide surface to prevent lateral displacement.
  • the traveling drive wheel 120 is disposed substantially at the center of the traveling unit 121 and is pressed against the third traveling surface 111e of the traveling rail 111 by a pressing means such as a spring. Traveling drive wheel 120 is driven by a motor (not shown). As a result, the ceiling transport vehicle 105 travels on the rail 103.
  • the power receiving unit 123 includes a pair of pickup units 127 for obtaining power from the pair of power supply lines 117. Specifically, the pair of pickup units 127 are arranged side by side in the power supply rail 113. Each pickup unit 127 includes a ferrite core 129 having a substantially E-shaped cross section, and a pickup coil 131 wound around the core 129. Specifically, the core 129 has projecting portions 129a on both sides and a central projecting portion 129b therebetween, and the pickup coil 131 is wound around the projecting portion 129b in the center.
  • a pair of power supply lines 117 held by the power supply line holder 115 are respectively disposed between the protrusions 129a on both sides and the protrusions 129b on the center.
  • a magnetic field generated by flowing a high-frequency current through the pair of feeder lines 117 acts on the pickup coil 131, and an induced current is generated in the pickup coil 131.
  • electric power is supplied from the pair of power supply lines 117 to the pickup unit 127 in a non-contact manner, and a driving motor (not shown) is driven or electric power is supplied to the control device.
  • the non-contact power feeding unit 133 is configured by the pair of power feeding lines 117 of the power feeding rail 113 and the power receiving unit 123 of the ceiling transport vehicle 105.
  • a plurality of protrusions 135 are formed on the upper surface portion 111 a of the traveling rail 111.
  • the plurality of projecting portions 135 protrude upward from the upper surface portion 111a and further extend in the rail extending direction to secure a groove 137 therebetween.
  • two grooves 137 are formed.
  • the groove 137 is provided to accommodate a part (117A, 117C) of the power supply line 117, and reduces leakage of a magnetic field from a portion disposed in the groove 137 of the power supply line 117.
  • the groove 137 is open upward and is deeper than the cable diameter of the feeder line 117. More specifically, the depth of the groove 137 is twice or more the cable diameter of the feeder line 117.
  • the effect of reducing the leakage of the magnetic field from the feeder line 117 by the groove 137 is the same as that of the above embodiment.
  • the guide rail is made of aluminum, but other materials may be used as long as they are non-magnetic and highly conductive.
  • a pair of feed lines may be provided in both feed line holders, or may be provided only in one of the feed line holders.
  • (7-6) Definition of protrusion and groove The groove formed in the guide rail is demarcated by high portions on both sides, and the high portion is a protrusion.
  • the shape of the protrusion is not particularly limited.
  • the present invention can be widely applied to a track for a transport vehicle, in particular, a track used for a transport vehicle powered by a non-contact power feeding method.

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Abstract

　レール３は、給電線３５から非接触状態で電力が供給される天井搬送車５に用いられる軌道であって、非接触給電部６３と、受け面部２７と、ガイドレール２３とを備えている。非接触給電部６３には、給電線３５の一部が配置される。受け面部２７は、天井搬送車５を支持する。ガイドレール２３は、導電性かつ非磁性の材料を含んでいる。ガイドレール２３は、非接触給電部と異なる位置に形成された溝２３ｄを有している。溝２３ｄは、給電線３５のケーブル径より深い。溝２３ｄは、給電線３５の非接触給電部６３に配置されておらず露出した部分（３５Ａ，３５Ｃ）を収容する。それにより、給電線３５の溝２３ｄ内に配置された部分からの磁界の漏れを減らしている。

Description

搬送車用軌道
　本発明は、搬送車用軌道、特に、非接触給電方式により給電される搬送車に用いられる軌道に関する。
　従来、半導体製造工場等、塵埃の発生が問題となるクリーンルームでは、物品を搬送するために、軌道上に搬送車を走行させるようにした技術が知られている。これら搬送車の駆動源としては、通常はモータが使用される。また、モータへの電力供給は、搬送車の軌道に沿って架設された２本の給電線からの電磁誘導によって行われる。
　以下、電磁誘導による非接触給電方式について説明する。
　２本の給電線は、軌道に沿って設けられた給電レールの給電線ホルダに保持されている。搬送台車の電力受電ユニットには、断面がほぼ「Ｅ」字型したフェライト製のコアが固定されている。コアの中央の突出片は、コイルが巻かれており、２本の給電線の間に非接触で挿入されている。給電線に高周波電流を流すことで、そこに発生する磁界がコアに巻かれたコイルに作用して、その結果、コイルに誘導電流が流れる。以上のようにして、給電線から搬送台車の電力受電ユニットに非接触で電力が供給され、その電力がモータや制御機器で利用される（例えば、特許文献１を参照。）。
特開２００９－２８４６５６号公報
　以上に述べたように、走行車システムの非接触給電方式の給電線から磁界が発生しており、この磁界の一部が給電レールから外部に漏洩している。そして、搬送車システムが半導体工場に採用されている場合は、給電レールからの漏れ磁界が電子ビーム式検査装置に影響して誤測定を生じさせることがある。特に、半導体デザインルールにおける微小ノード化が進むにつれて誤測定の問題が懸念されている。
　本発明の目的は、搬送車用軌道において従来に比べて少ない部材で給電線からの漏れ磁界を低減させることにある。
　以下に、課題を解決するための手段として複数の態様を説明する。これら態様は、必要に応じて任意に組合せることができる。
　本発明の一見地に係る搬送車用軌道は、給電線から非接触状態で電力が供給される搬送車に用いられる軌道であって、給電部と、支持部と、収容部とを備えている。給電部には、給電線の一部が配置される。支持部は、搬送車を支持する。収容部は、導電性かつ非磁性の材料を含んでいる。収容部は、給電部と異なる位置に形成された溝を有している。溝は、給電線のケーブル径より深い。溝は、給電線の給電部に配置されておらず露出した部分を収容する。それにより、給電線の溝内に収容された部分からの磁界の漏れを減らしている。
　この軌道では、給電線の一部が収容部の溝に収容されている。溝は給電線のケーブル径より深いので、給電線の溝内に配置された部分からの磁界の漏れが低減される。また、給電線の一部が収容されているのは、軌道の一部である収容部の溝なので、部品点数が多くならない。
　給電部、支持部、および収容部は天井から吊り下げられており、溝は収容部の上面に形成されていてもよい。
　この軌道では、溝部が収容部の上面に形成されているので、軌道の下方に配置された装置に対する磁界の影響が低減される。
　搬送車用軌道は、搬送車をガイドするための部材であり収容部を有するガイドレールと、搬送車が走行する走行面を有する部材であり支持部を有する走行レールとをさらに備えていてもよい。
　この軌道では、収容部はガイドレールの一部であるので、溝を形成するための特別な部材は必要とされない。
　搬送車用軌道は、軌道延長方向に間隔を空けて配置され、ガイドレールと走行レールとを連結する複数の連結部材をさらに備えていてもよい。
　この軌道では、ガイドレールと走行レールが分割されてさらに複数の連結部材によって連結されているので、軌道全体が軽量化されている。
　ガイドレールは、溝を互いの間に形成する複数の突起部を有しており、連結部材は突起部に固定されていてもよい。
　搬送車軌道は、ガイドレールに固定され、信号線を保持するための信号線保持部材をさらに備えていてもよい。
　ガイドレールは、他の部分から突出して搬送車のガイドローラをガイドするガイド部を有していてもよい。
　ガイドレールは、軌道延長方向に延びる薄板状の本体と、本体から上方に突出して溝を形成する複数の第１突起部と、本体から下方に突出してガイド部を形成する第２突起部とを有していてもよい。
　溝は、軌道延長方向に延びる複数の溝からなっていてもよい。この軌道では、複数の溝が形成されているので、給電線を配置する自由度が高い。
　本発明の他の見地に係る搬送車軌道は、天井から吊り下げられた軌道であり、給電線から非接触状態で電力が供給される搬送車に用いられる軌道である。搬送車軌道は、給電部と、走行レールと、ガイドレールとを備えている。給電部には、給電線の一部が配置される。走行レールは、給電部より上方に配置されている。ガイドレールは、走行レールより上方に配置され、導電性かつ非磁性の材料を含んだ部材である。ガイドレールは、本体と、複数の第１突起部と、第２突起部とを有している。本体は、軌道延長方向に延びる薄板状の部材である。複数の第１突起部は、本体から上方に突出してさらに互いの間に軌道延長方向に延びる溝を形成する。第２突起部は、本体から下方に突出してガイド部を形成する。溝は、給電線のケーブル径より深い。溝は、給電線の給電部に配置されておらず露出した部分を収容する。それにより、給電線の溝内に収容された部分からの磁界の漏れを減らしている。
　この軌道では、給電線の一部が収容部の溝に収容されており、さらに溝は給電線のケーブル径より深いので、給電線の溝内に配置された部分からの磁界の漏れが低減される。また、給電線の一部が収容されているのは、軌道の一部であるガイドレールの溝なので、部品点数が多くならない。
　搬送車用軌道は、軌道延長方向に間隔を空けて配置され、ガイドレールと走行レールとを連結する複数の連結部材をさらに備えていてもよい。
　この軌道では、ガイドレールと走行レールが分割されてさらに複数の連結部材によって連結されているので、軌道全体が軽量化されている。
　連結部材はガイドレールの第１突起部に固定されていてもよい。
　本発明に係る搬送車用軌道では、給電線の一部が収容部の溝内に配置されているので、従来に比べて少ない部材で給電線からの漏れ磁界を低減させることができる。
搬送車システムの模式平面図。 軌道および搬送車の側面図。 軌道および搬送車の断面図。 図３の部分拡大図。 軌道および搬送車の断面図。 軌道の上面図。 他の実施形態における軌道および搬送車の断面図。
（１）搬送車システム
　本発明の一実施形態としての搬送車システムは、定められた搬送軌道上に複数の搬送車を走行させるためのシステムである。搬送車は、搬送軌道上を一方向に走行し、上位のコントローラによって割り付けられる搬送指令に従い、目的の場所から物品を積み込み、次に搬送先の場所まで走行して物品を搬送先の場所に積み出す。なお、搬送車は搬送軌道上を往復動してもよい。
　より具体的には、搬送車システムは、例えばクリーンルーム内の天井スペースを利用して配置され、半導体ウェハを収容したＦＯＵＰなどの物品を、処理装置や検査装置などのロードポート間で搬送する。搬送軌道は、処理装置を並べたベイ内のＵ字状のイントラベイルートと、イントラベイルートを相互に接続するインターベイルートの２種類で構成されている。
（２）天井搬送車システムのレイアウト
　図１は、搬送車システムの模式平面図である。天井搬送車システム１は、半導体工場などのクリーンルームなどに設けられ、後述するＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ　Ｏｐｅｎｉｎｇ　Ｕｎｉｆｉｅｄ　Ｐｏｄ）を搬送する。天井搬送車システム１は、主に、レール３と、レール３に沿って走行する天井搬送車５とを有している。
　半導体工場内の構成について説明する。半導体工場は、複数のベイ（工程）を有しており、遠隔のベイ同士を接続するためにインターベイルート９１が設けられており、さらに各ベイはイントラベイルート９３を有している。各ルート９１，９３はレール３により構成されている。
　イントラベイルート９３に沿って、半導体処理装置などの複数の処理装置９５が配置されている。さらに、処理装置９５の近傍には、ロードポート９７が設けられている。ロードポート９７は、イントラベイルート９３の直下に設けられている。以上の構成において、天井搬送車５は、レール３を走行して、ロードポート９７間で後述するＦＯＵＰを搬送する。
（３）レール
　レール３は、図２に示すように、複数の支柱１６によって天井１７から吊り下げられている。図２は、軌道および搬送車の側面図である。レール３は、主に、第１下方走行レール１９と、第２下方走行レール２１と、ガイドレール２３と、複数の連結部材２５とから構成されている。このようにガイドレール２３と、第１下方走行レール１９および第２下方走行レール２１とが分割されて複数の連結部材２５によって連結されているので、レール３全体が軽量化されている。
（３－１）第１下方走行レールおよび第２下方走行レール
　第１下方走行レール１９と第２下方走行レール２１は、左右に並んで配置された部材であり、線対称の構成を有している。したがって、以下の説明では第１下方走行レール１９のみを説明する。なお、以下の説明では、第１下方走行レール１９からみて第２下方走行レール２１側を内側とし、反対側を外側とする。
　第１下方走行レール１９は、受け面部２７と、中間部２９と、遮蔽部３１とを有しており、この実施形態では、第１下方走行レール１９は、アルミニウム製であり、一体成形されている。受け面部２７は、天井搬送車５の走行車輪５１（後述）が走行する走行面２７ａを上面に有している。遮蔽部３１は、受け面部２７の下方において受け面部２７と平行に延びる平坦な部分である。中間部２９は、受け面部２７と遮蔽部３１の外側同士を連結する部分である。
　中間部２９の内側には、複数の給電線ホルダ３３が取り付けられている。給電線ホルダ３３は樹脂製である。給電線ホルダ３３には、銅線などの導電線を絶縁材料で被覆したリッツ線からなる一対の給電線３５が配置されている。給電線３５の一端には電力供給装置（図示せず）が設けられ、一対の給電線３５に高周波電流が供給されるようになっている。
　一対の給電線３５は、図３に示すように、給電線ホルダ３３の先端に保持された状態で、コア５９の両側の突出部５９ａと中央の突出部５９ｂの間の空間内の奥深い位置に配置されている。
（３－２）ガイドレール
　図４～図６を用いて、ガイドレール２３を説明する。図４は、図３の部分拡大図である。図５は、軌道および搬送車の断面図である。図６は、軌道の上面図である。
　ガイドレール２３は、天井搬送車５をガイドするための部材である。ガイドレール２３は、第１下方走行レール１９および第２下方走行レール２１の上方に配置されている。ガイドレール２３は、導電性かつ非磁性の材料からなることが好ましく、例えば、アルミニウム製である。
　ガイドレール２３は、本体２３ａと、複数の第１突起部２３ｂと、２つの第２突起部２３ｃとを有している。本体２３ａは、レール３の延長方向（つまり、天井搬送車５の走行方向）に延びる薄板状の部材である。
　複数の第１突起部２３ｂは、本体２３ａから上方に突出してさらにレール延長方向に延びて互いの間に溝２３ｄを確保している。この実施形態では、溝２３ｄは４本形成されている。溝２３ｄは、給電線３５の一部を収容するために設けられ、給電線３５の溝２３ｄ内に配置された部分からの磁界の漏れを減らす機能を有している。
　また、溝２３ｄによってガイドレール２３に凹凸部が形成されることで、ガイドレール２３の強度が向上している。
　溝２３ｄは、上方に開いており、給電線３５のケーブル径より深くなっている。より具体的には、溝２３ｄの深さは給電線３５のケーブル径の２倍以上である。溝２３ｄは複数形成されているので、給電線３５の一部を配置する自由度が高い。
　なお、第１突起部２３ｂには凹部２３ｉが形成されており、本体２３ａの左右両端には、凹部２３ｈが形成されている。凹部２３ｉおよび凹部２３ｈは、ガイドレール２３と他の部材との固定に使用される（後述）。
　第２突起部２３ｃは、本体２３ａから所定長さだけ下方に突出してガイド部を形成している。第２突起部２３ｃの内側面は第１ガイド面２３ｅであり、第２突起部２３ｃの外側面は第２ガイド面２３ｆである。さらに、第２突起部２３ｃには、軌道延長方向に延びる溝２３ｇが形成されている。
（３－３）連結部材
　連結部材２５は、レールの延長方向に所定の間隔を空けて配置されている。
　連結部材２５は、断面逆Ｕの字型の部材であり、上面部３７と、第１側方部３９と、第２側方部４１とを有している。上面部３７は、ガイドレール２３の上側に配置され、ガイドレール２３の延びる方向と直交する方向に延びている。上面部３７は、フランジ３７ａを有しており、フランジ３７ａはガイドレール２３の上面に当接している。図５に示すように、ガイドレール２３の第１突起部２３ｂに形成された凹部２３ｉにはナット４２が配置されており、フランジ３７ａに形成された孔を通ったボルト４３がナット４２に螺合している。これにより、ガイドレール２３は連結部材２５に固定されている。
　第１側方部３９および第２側方部４１は、上面部３７の両端から下方に延び、その下端が第１下方走行レール１９および第２下方走行レール２１の上部に対して固定されている。このようにして、複数の連結部材２５によって、ガイドレール２３と、第１下方走行レール１９および第２下方走行レール２１が互いに連結されている。
（４）天井搬送車
　図２および図３を用いて、天井搬送車５の構造について説明する。
　天井搬送車５は、主に、走行部４５と、受電部４７と、搬送車本体部４９とを有している。走行部４５は、レール３上を走行するための機構である。受電部４７は、第１下方走行レール１９および第２下方走行レール２１の内側に配置され、一対の給電線３５から電力を供給されるための機構である。搬送車本体部４９は、レール３の下方に配置され、ＦＯＵＰ４を保持すると共に上下に昇降させるための機構である。
（４－１）走行部
　走行部４５は、主に、レール３内に配置されており、モータ（図示せず）と、左右に走行車輪５１が設けられている。走行部４５は、さらに、上部に、一対のガイドローラ５５と、さらにその両側に一対の分岐用ガイドローラ５６とを有している。走行車輪５１は、走行部４５の下部両側に配置されている。走行車輪５１は、第１下方走行レール１９および第２下方走行レール２１の受け面部２７の走行面２７ａ上に載置されている。
　ガイドローラ５５は、第２突起部２３ｃの第１ガイド面２３ｅに当接または近接している。分岐用ガイドローラ５６は、切替装置（図示せず）によって、第２突起部２３ｃの第２ガイド面２３ｆに当接する位置と当接を外れる位置との間で移動可能である。
　走行部４５からは、下方にシャフト５２が延びている。シャフト５２は、搬送車本体部４９の本体フレーム６５（後述）の上面に固定されている。
（４－２）受電部
　受電部４７は、一対の給電線３５から電力を得るための一対のピックアップユニット５７を有している。ピックアップユニット５７は、走行部４５の下部においてシャフト５２の左右両側に固定されている。具体的には、一対のピックアップユニット５７は、レール３内で左右に並んで配置されている。ピックアップユニット５７は、断面が略Ｅ字型をしたフェライト製のコア５９と、コア５９に巻かれたピックアップコイル６１とを有している。具体的には、コア５９は、両側の突出部５９ａと、その間の中央の突出部５９ｂとを有しており、ピックアップコイル６１は中央の突出部５９ｂに巻かれている。
　給電線ホルダ３３に保持された一対の給電線３５が、両側の突出部５９ａと中央の突出部５９ｂとの間に、それぞれ配置されている。この一対の給電線３５に高周波電流を流すことによって発生する磁界がピックアップコイル６１に作用して、ピックアップコイル６１に誘導電流が発生する。このようにして、一対の給電線３５からピックアップユニット５７に非接触で電力を供給し、走行用のモータ（図示せず）を駆動したり、制御機器に電力を供給したりする。このようにレール３の一対の給電線３５と天井搬送車５の受電部４７とによって、非接触給電部６３が構成されている。
（４－３）昇降駆動部
　搬送車本体部４９は、図２に示すように、主に、本体フレーム６５と、横送り部６７と、θドライブ６９と、ホイスト本体７１と、昇降台７３とを備えている。
　本体フレーム６５は、受電部４７の下部に固定された部材である。本体フレーム６５の前後には、前側フレーム７５と後側フレーム７７が設けられている。
　横送り部６７は、θドライブ６９、ホイスト本体７１および昇降台７３を例えば側方に横送りし、レール３の側方に設けたサイドバッファ（図示せず）との間で、ＦＯＵＰ４を受け渡しできる。θドライブ６９は、ホイスト本体７１を水平面内で回動させて、ＦＯＵＰ４の受け渡しを容易にする。ホイスト本体７１内には、昇降台７３を昇降させるための昇降手段（図示せず）が設けられている。昇降手段は、例えば、４組の巻き取りドラムであり、巻き取りドラムにはベルト（図示せず）が巻きかけられている。ベルトの端部には昇降台７３が取り付けられている。
　ＦＯＵＰ４は、内部に複数の半導体ウェハを収容しており、前面に開閉自在の蓋が設けられている。ＦＯＵＰ４の上部にはフランジ８１が設けられており、フランジ８１は昇降台７３でチャックされている。
（５）給電線の配置構造
　図３および図６に示すように、第２下方走行レール２１には、給電線ユニット８３が設けられている。給電線ユニット８３は、給電線３５を非接触給電部６３に配線するための部材である。
　給電線３５は、給電線ユニット８３からさらに上方に延び、続いて、ガイドレール２３の上面に配置される。図６に示すように、給電線３５は、ガイドレール２３の上面において、図上側に延びる直線状の第１部分３５Ａと、次に湾曲して図下側に向きを変える第２部分３５Ｂと、図下側に直線状に延びる第３部分３５Ｃとを有している。第１部分３５Ａは、図の最も左側の溝２３ｄ内に収容されている。第２部分３５Ｂは、３本の第１突起部２３ｂの上方を延びている。第３部分３５Ｃは、図の最も右側の溝２３ｄ内に収容されており、次のユニットに向かって延びている。このようにして、ガイドレール２３の上方に配置される給電線３５の大半の部分は、溝２３ｄ内に収容されている。
　以上に述べたように、給電線３５の一部、より具体的には給電線３５の非接触給電部６３に配置されておらず露出している部分（例えば、第１部分３５Ａおよび第３部分３５Ｃ）が、ガイドレール２３の溝２３ｄ内に収容されている。さらに、溝２３ｄは、給電線３５のケーブル径より深くなっており、給電線３５の下方および側方を覆っている。したがって、給電線３５のこれら部分からの外部への磁界の漏れが少なくなる。ガイドレール２３に渦電流が発生することで、磁気シールドを構成するからである。以上の結果、漏洩磁界による悪影響を他の装置に与えにくい。また、給電線３５同士で漏洩磁界による悪影響を与えにくい。影響が特に、ガイドレール２３がアルミニウム製である（導電性が高い）ので、漏れ磁束の低減効果が高い。
　また、給電線の一部が収容される溝はガイドレール２３に形成されているので、部品点数が多くならない。これによりコストが下げられ、さらに、特別な部材が設けられないので軌道の上下方向寸法が大きくならない。そのため、軌道の上方におけるスペースを十分に確保できたり、または軌道全体を天井にさらに近づけたりできる。
　さらに、ガイドレール２３の溝２３ｄに給電線を配置しているので、組み立て時の作業性が向上している。
（６）温度検知用信号線およびフィーダ線の配置構造
　図４に示すように、ガイドレール２３の上面には、レール延長方向に間隔を空けて複数の支持部材１０１が配置されている。支持部材１０１は、レール延長方向と直交する方向に延びる細長い部材である。支持部材１０１は、プレートやボルト・ナット機構９８によってガイドレール２３の左右端部にある凹部２３ｈに固定されている。支持部材１０１の上面には、レール延長方向に延びる複数の溝が形成されている。
　複数の溝のうち中央部の溝１０１ａには、温度検知用信号線８５が配置されている。温度検知用信号線８５は、温度検知用基板８６から延びている。
　複数の溝のうち図右側の溝１０１ｂには、信号用のフィーダ線８７が配置されている。フィーダ線８７は、第１下方走行レール１９に設けられたフィーダ線ユニット８８から延びている。フィーダ線ユニット８８は、フィーダ線８７を非接触給電部６３に配線するための部材である。
（７）他の実施形態
　以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。特に、本明細書に書かれた複数の実施形態および変形例は必要に応じて任意に組合せ可能である。
（７－１）ガイドレールと走行レールが一体に形成された実施形態
　前記実施形態ではガイドレールと一対の走行レールと連結部材で互いに固定された３分割タイプのレールを説明したが、本発明はそのような実施形態に限定されない。以下、図７を用いてガイドイドレールと走行レールが一体に形成された実施形態を説明する。
　走行レール１１１は、例えばアルミニウム製であり、断面視逆Ｕ字状に構成されており、上面部１１１ａと、両側面部１１１ｂとを有している。両側面部１１１ｂの下には、内側に延びる一対の第１走行面１１１ｃが形成されている。さらに、両側面部１１１ｂの内側面の上部には第２走行面１１１ｄが形成され、上面部１１１ａの下側面に第３走行面１１１ｅが形成されている。
　給電レール１１３は、走行レール１１１の下部両側に設けられた一対の給電線ホルダ１１５から主に構成されている。給電線ホルダ１１５には、銅線などの導電線を絶縁材料で被覆したリッツ線からなる一対の給電線１１７が配置されている。給電線１１７の一端には電力供給装置（図示せず）が設けられ、一対の給電線１１７に高周波電流が供給されるようになっている。
　天井搬送車１０５は、主に、走行部１２１と、受電部１２３と、昇降駆動部（図示せず）とを有している。走行部１２１は、走行レール１１１内に配置され、レール１０３上を走行するための機構である。受電部１２３は、給電レール１１３内に配置され、一対の給電線１１７から電力を供給されるための機構である。
　走行部１２１は、主に、走行レール１１１内に配置されており、一対の第１ガイド輪１１８と、一対の第２ガイド輪１１９と、走行駆動輪１２０と、モータ（図示せず）とを有している。一対の第１ガイド輪１１８は、走行部１２１の下部両側に配置され、左右方向に延びる車軸に回転自在に支持されている。第１ガイド輪１１８は、走行レール１１１の第１走行面１１１ｃ上に載置されている。
　第２ガイド輪１１９は、走行部１２１の上部両側に配置され、垂直方向に延びる車軸に回転自在に支持されている。第２ガイド輪１１９は、走行レール１１１の第２走行面１１１ｄをガイド面として、横方向の位置ズレを防止している。
　走行駆動輪１２０は、走行部１２１の略中央に配置され、走行レール１１１の第３走行面１１１ｅに、スプリングなどの押圧手段により押圧されている。走行駆動輪１２０は、モータ（図示せず）によって駆動される。その結果、天井搬送車１０５はレール１０３上を走行する。
　受電部１２３は、一対の給電線１１７から電力を得るための一対のピックアップユニット１２７を有している。具体的には、一対のピックアップユニット１２７は、給電レール１１３内で左右に並んで配置されている。各ピックアップユニット１２７は、断面が略Ｅ字型をしたフェライト製のコア１２９と、コア１２９に巻かれたピックアップコイル１３１とを有している。具体的には、コア１２９は、両側の突出部１２９ａと、その間の中央の突出部１２９ｂとを有しており、ピックアップコイル１３１は中央の突出部１２９ｂに巻かれている。
　給電線ホルダ１１５に保持された一対の給電線１１７が、両側の突出部１２９ａと中央の突出部１２９ｂとの間に、それぞれ配置されている。この一対の給電線１１７に高周波電流を流すことによって発生する磁界がピックアップコイル１３１に作用して、ピックアップコイル１３１に誘導電流が発生する。このようにして、一対の給電線１１７からピックアップユニット１２７に非接触で電力を供給し、走行用のモータ（図示せず）を駆動したり、制御機器に電力を供給したりする。このように給電レール１１３の一対の給電線１１７と天井搬送車１０５の受電部１２３とによって、非接触給電部１３３が構成されている。
　走行レール１１１の上面部１１１ａには、複数の突起部１３５が形成されている。複数の突起部１３５は、上面部１１１ａから上方に突出してさらにレール延長方向に延びて互いの間に溝１３７を確保している。この実施形態では、溝１３７は２本形成されている。溝１３７は、給電線１１７の一部（１１７Ａ、１１７Ｃ）を収容するために設けられ、給電線１１７の溝１３７内に配置された部分からの磁界の漏れを減らす。溝１３７は、上方に開いており、給電線１１７のケーブル径より深くなっている。より具体的には、溝１３７の深さは給電線１１７のケーブル径の２倍以上である。
　この実施形態でも、溝１３７による給電線１１７からの磁界の漏れを低減させる効果は前記実施形態と同様である。
（７－２）ガイドレールの材料
　前記実施形態ではガイドレールはアルミニウム製であったが、非磁性体でかつ導電性の高い材料であれば他の材料でもよい。
（７－３）工場の種類
　前記実施形態では、半導体製造工場のクリーンルーム内の走行車システムを説明したが、本発明は他の種類の工場にも適用可能である。
（７－４）軌道の種類
　前記実施形態では天井搬送車が下方に吊り下げられた軌道を説明したが、本発明は天井に設けられその上を搬送車が走行する軌道および地上に設けられた軌道にも適用可能である。
（７－５）給電線の配置
　一対の給電線は、両方の給電線ホルダに設けられていてもよいし、いずれか一方の給電線ホルダのみに設けられていてもよい。
（７－６）突起部と溝の定義
　ガイドレールに形成される溝は、両側の高い部分によって画定されており、その高い部分を突起部とする。突起部の形状については特に限定されない。
　本発明は、搬送車用軌道、特に、非接触給電方式により給電される搬送車に用いられる軌道に広く適用できる。
１　　　　天井搬送車システム
３　　　　レール（軌道）
４　　　　ＦＯＵＰ
５　　　　天井搬送車
１６　　　支柱
１７　　　天井
１９　　　第１下方走行レール
２１　　　第２下方走行レール
２３　　　ガイドレール
２３ａ　　本体（収容部）
２３ｂ　　第１突起部
２３ｃ　　第２突起部（ガイド部）
２３ｄ　　溝
２３ｅ　　第１ガイド面
２３ｆ　　第２ガイド面
２５　　　連結部材
２７　　　受け面部（支持部）
２７ａ　　走行面
２９　　　中間部
３１　　　遮蔽部
３３　　　給電線ホルダ
３５　　　給電線
３７　　　上面部
３７ａ　　フランジ
３９　　　第１側方部
４１　　　第２側方部
４２　　　ナット
４３　　　ボルト
４５　　　走行部
４７　　　受電部
４９　　　搬送車本体部
５１　　　走行車輪
５２　　　シャフト
５５　　　ガイドローラ
５６　　　分岐用ガイドローラ
５７　　　ピックアップユニット
５９　　　コア
５９ａ　　突出部
５９ｂ　　突出部
６１　　　ピックアップコイル
６３　　　非接触給電部
６５　　　本体フレーム
６７　　　横送り部
６９　　　θドライブ
７１　　　ホイスト本体
７３　　　昇降台
７５　　　前側フレーム
７７　　　後側フレーム
８１　　　フランジ
８３　　　給電線ユニット
８５　　　温度検知用信号線
８６　　　温度検知用基板
８７　　　フィーダ線
８８　　　フィーダ線ユニット
９１　　　インターベイルート
９３　　　イントラベイルート
９５　　　処理装置
９７　　　ロードポート
９８　　　ボルト・ナット機構
１０１　　支持部材
１０１ａ　溝
１０１ｂ　溝
１０３　　レール
１０５　　天井搬送車
１１１　　走行レール
１１１ａ　上面部
１１１ｂ　両側面部
１１１ｃ　第１走行面
１１１ｄ　第２走行面
１１１ｅ　第３走行面
１１３　　給電レール
１１５　　給電線ホルダ
１１７　　給電線
１１８　　第１ガイド輪
１１９　　第２ガイド輪
１２０　　走行駆動輪
１２１　　走行部
１２３　　受電部
１２７　　ピックアップユニット
１２９　　コア
１２９ａ　突出部
１２９ｂ　突出部
１３０　　突起部
１３１　　ピックアップコイル
１３３　　非接触給電部
１３５　　突起部
１３７　　溝

Claims (15)

  1. 　給電線から非接触状態で電力が供給される搬送車に用いられる軌道であって、
    　前記給電線の一部が配置される給電部と、
    　前記搬送車を支持する支持部と、
    　導電性かつ非磁性の材料を含んでおり、前記給電部と異なる位置に形成された溝であり前記給電線のケーブル径より深くさらに前記給電線の前記給電部に配置されておらず露出した部分を収容する溝を有しており、それにより前記給電線の前記溝内に収容された部分からの磁界の漏れを減らすための収容部と、
    を備えた、搬送車用軌道。
  2. 　前記給電部、前記支持部、および前記収容部は天井から吊り下げられており、
    　前記溝は前記収容部の上面に形成されている、請求項１に記載の搬送車用軌道。
  3. 　前記搬送車をガイドするための部材であり、前記収容部を有するガイドレールと、
    　前記搬送車が走行する走行面を有する部材であり、前記支持部を有する走行レールと、
    をさらに備えている、請求項１に記載の搬送車用軌道。
  4. 　軌道延長方向に間隔を空けて配置され、前記ガイドレールと前記走行レールとを連結する複数の連結部材をさらに備えている、請求項３に記載の搬送車用軌道。
  5. 　前記ガイドレールは、前記溝を互いの間に形成する複数の突起部を有しており、
    　前記連結部材は前記突起部に固定されている、請求項４に記載の搬送車用軌道。
  6. 　前記搬送車をガイドするための部材であり、前記収容部を有するガイドレールと、
    　前記搬送車が走行する走行面を有する部材であり、前記支持部を有する走行レールと、
    をさらに備えている、請求項２に記載の搬送車用軌道。
  7. 　軌道延長方向に間隔を空けて配置され、前記ガイドレールと前記走行レールとを連結する複数の連結部材をさらに備えている、請求項６に記載の搬送車用軌道。
  8. 　前記ガイドレールは、前記溝を互いの間に形成する複数の突起部を有しており、
    　前記連結部材は前記突起部に固定されている、請求項７に記載の搬送車用軌道。
  9. 　前記ガイドレールに固定され、信号線を保持するための信号線保持部材をさらに備えている、請求項３に記載の搬送車用軌道。
  10. 　前記ガイドレールは、他の部分から突出して前記搬送車のガイドローラをガイドするガイド部を有している、請求項３に記載の搬送車用軌道。
  11. 　前記ガイドレールは、軌道延長方向に延びる薄板状の本体と、前記本体から上方に突出して前記溝を形成する複数の第１突起部と、前記本体から下方に突出してガイド部を形成する第２突起部とを有する、請求項３に記載の搬送車用軌道。
  12. 　前記溝は、軌道延長方向に延びる複数の溝からなる、請求項１に記載の搬送車用軌道。
  13. 　天井から吊り下げられた軌道であり、給電線から非接触状態で電力が供給される搬送車に用いられる軌道であって、
    　前記給電線の一部が配置される給電部と、
    　前記給電部より上方に配置された走行レールと、
    　前記走行レールより上方に配置され導電性かつ非磁性の材料を含む部材であり、軌道延長方向に延びる薄板状の本体と、前記本体から上方に突出してさらに互いの間に軌道延長方向に延びる溝を形成する複数の第１突起部と、前記本体から下方に突出してガイド部を形成する第２突起部とを有しているガイドレールとを備え、
    　前記溝は、前記給電線のケーブル径より深くさらに前記給電線の前記給電部に配置されておらず露出した部分を収容しており、それにより前記給電線の前記溝内に収容された部分からの磁界の漏れを減らす、
    搬送車用軌道。
  14. 　軌道延長方向に間隔を空けて配置され、前記ガイドレールと前記走行レールとを連結する複数の連結部材をさらに備えている、請求項１３に記載の搬送車用軌道。
  15. 　前記連結部材は前記ガイドレールの前記第１突起部に固定されている、請求項１４に記載の搬送車用軌道。
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