TWI424897B - 線切割放電加工方法與裝置、及線切割放電加工用程式製作裝置、以及記錄有製作線切割放電加工用程式的程式之可電腦讀取記錄媒體 - Google Patents

Description

線切割放電加工方法與裝置、及線切割放電加工用程式製作裝置、以及記錄有製作線切割放電加工用程式的程式之可電腦讀取記錄媒體

本發明係關於線切割放電加工方法、線切割放電加工裝置、線切割放電加工用程式製作裝置、以及記錄有製作線切割放電加工用程式的程式之可電腦讀取記錄媒體。

線切割放電加工機係使線電極在兩個線引導構件之間張緊移行，對該兩個線引導構件之間所配置的工件與線電極間的間隙施加電壓，來進行放電加工。

當線電極與工件之間的間隙大小比預定值小時，將更容易放電而放電頻率增大，其結果，工件與線電極之間的電壓降低，線電極以從被加工物側返向原來位置的方式移動。然後，反復產生這種移動的結果，係使加工面的形狀無法成為所希望之平滑面，而成為起伏不平的形狀。日本特開平11-170118號公報中，為防止加工面的起伏，揭示有以下技術：檢測出線切割放電加工機上線電極與工件之間的間隙電壓，並按照該電壓使線電極沿著與加工路徑垂直的方向相對移動。

另一方面，在線切割放電加工中，即便是精加工，也會發生工件被加工成中央部凹陷狀態的現象，而導致加工精度降低。日本特開平5-8122號公報中，為防止發生因加工引起的工件凹陷(indentation)，揭示有以下技術：控制加工速度，以使線切割放電加工機上的線電極與工件之間的間隙的檢測電壓恆定。

又，在線切割放電加工中，對於階梯狀外形的工件，會出現在成為階梯狀剖面的方向上進行切割的情形。此時，在階梯的段差部份形狀急遽變化，加工條件也大幅變化。因此，以習知的線切割放電加工機，將無法一致且穩定地進行加工，而工件的加工表面形成條狀的加工損傷，為其問題。日本特開平10-328938號公報中，作為因應工件段差部產生加工損傷的對策，揭示有使線電極傾斜的技術。

在習知的線切割放電加工機中，發生利用線電極對工件進行切割加工之加工槽的寬度係板厚之中央部較工件之上下端面寬的現象，並產生工件被加工成中央部凹陷狀態的現象，而導致加工精度的降低。尤其，在工件的板厚較大時，由於工件中之線電極的振動大，因此該工件被加工成中央部凹陷狀態的現象更加顯著。

圖9係利用線切割放電加工機的線電極4在X軸方向上對工件3進行放電加工。在加工處16中，線電極進行如圖10或圖11所示的動作。

圖10係說明線電極4在線電極相對於工件3的相對行進方向(與Y軸及Z軸二者垂直的X軸方向)上左右振動。

線電極4以上部線引導構件11及下部線引導構件12為波節，以工件3的中心部為波腹，相對於其行進方向在左右方向41上振動。同時，線電極4如圖11所示，其中央部(以虛線之橢圓42表示的部份)相對於工件3的加工方向往後撓曲。如此線電極4在對工件3加工的過程中相對於相對的行進方向往後(參照圖11之符號42)撓曲，同時還在左右方向上振動(參照圖10之符號41)。尤其，在利用該線電極4進行的加工中，由於在工件3的板厚中央部振幅較大，因此形成如圖12所示的加工形狀。

圖12係說明由於線電極4的振動而在工件之板厚方向的中央部形成凹陷。

又，在放電能量小的精加工中，當與工件3對向之線電極4的某一處發生強放電時，該強放電處隨著線電極4的移行狀態，而從工件3的上方往下方移動。

圖13係說明在放電能量小的精加工中產生加工條紋。圖13中，線電極4相對於工件3從該工件3的左側向右側相對地移動。

放電點36隨著線電極4的移動而向工件3的下方移動。因此，在工件3的加工表面，形成相對於線電極4之行進方向傾斜的條紋37。在線電極4的移行速度及加工速度恆定的情形下，會在工件3的加工表面大致均一地產生細微而傾斜的條紋37。該條紋37即放電槽的深度係大約為0.2μm～1.0μm之細微的深度。又，在圖13中，為了易於理解，將條紋37描繪為相對於與行進方向垂直的方向大幅傾斜，但在實際的加工面上，條紋37大體上呈垂直狀態。

因此，為解決上述問題，本發明之目的為：提供線切割放電加工方法及實施該方法的線切割放電加工機，其能夠減少工件上形成之凹陷的加工量，而且能減少在放電能量小之精加工時產生的條紋。此外，本發明之另一目的為：提供可製作用來實施該線切割放電加工方法之加工程式的加工程式製作裝置，以及記錄有製作該加工程式之程式的可電腦讀取記錄媒體。

為達成上述目的，依本發明之線切割放電加工方法的第1形態包含一步驟，其根據事先設定的單位加工距離、及與該距離對應的線電極傾斜量，一面使線電極在與加工方向垂直的平面內連續地朝左右傾斜，一面進行加工。

又，線切割放電加工方法的第2形態包含一步驟，其根據事先設定的單位加工距離、及與該距離對應的線電極傾斜量，一面使線電極相對於加工方向連續地朝前後傾斜，一面進行加工。

依本發明之線切割放電加工機的第1形態包含下述機構，該機構根據事先設定的單位加工距離、及與該距離對應的線電極傾斜量，在加工中，使線電極在與加工方向垂直的平面內連續地朝左右傾斜。

依本發明之線切割放電加工機的第2形態包含下述機構，該機構根據事先設定的單位加工距離、及與該距離對應的線電極傾斜量，在加工中，使線電極相對於加工方向連續地朝前後傾斜。

依本發明之加工用程式製作裝置的第1形態用以製作下述加工程式，該加工程式根據事先設定的單位加工距離、及與該距離對應的線電極傾斜量，一面使線電極在與加工方向垂直的平面內連續地朝左右傾斜，一面進行加工。

依本發明之加工用程式製作裝置的第2形態用以製作下述加工程式，該加工程式根據事先設定的單位加工距離、及與該距離對應的線電極傾斜量，一面使線電極相對於加工方向連續地朝前後傾斜，一面進行加工。

又，依本發明的記錄有製作在線切割放電加工中使用之線切割放電加工用程式的程式之可電腦讀取記錄媒體，記錄有製作線切割放電加工用程式的程式；該放電加工用程式使用於線切割放電加工，係根據事先設定的單位加工距離、及與該距離對應的線電極傾斜量，一面使線電極連續地朝左右或前後傾斜，一面進行加工。

本發明由於具有上述構成，因此可提供線切割放電加工方法及實施該方法的線切割放電加工機，其能減少工件上形成之凹陷的加工量，且能減少在放電能量小之精加工時產生的條紋。而且，本發明可提供製作用來實施該線切割放電加工方法之加工程式的加工程式製作裝置、及記錄有製作該加工程式的程式之可電腦讀取記錄媒體。

(實施發明之最佳形態)

圖1係說明依本發明之線切割放電加工機的概略構成及其動作。圖1所示之線切割放電加工機的概略構成與習知的線切割放電加工機相同。符號1係用來設置並固定加工對象即工件3的工件載置台。該工件載置台1具有具備高精度之平坦度的載置面2。在線切割放電加工時，工件3以其底面與載置面2相接的方式設置並固定在工件載置台1上。

為了對工件3施以放電加工，將線電極4從線電極送出線軸(未圖示)經由供電滾輪15、上部導向滾輪13及上部線引導構件11供給到加工處16。在線切割放電加工時，線電極4經由接線操作而張緊在上部線引導構件11與下部線引導構件12之間，然後對線電極4與工件3之間的間隙施加用以引起放電的電壓。

線電極4經由工件3上的加工處16，再經由下部線引導構件12、下部導向滾輪14，而捲繞在以既定之張力拉緊線電極4的捲繞線軸上(未圖示)。又，也可不將使用後的線電極4捲繞在捲繞線軸上，而回收到線電極回收箱(未圖示)中。

又，將放電加工用的電能從放電加工電源21經由供電滾輪15供給到線電極4。另外，採用在加工處16上注入冷卻水，或將工件3整體浸入加工液(例如純水)中等方法。

通常，工件載置台1的載置面2在水平方向上(與XY平面平行的面上)延伸。該工件載置台1可藉由X軸的伺服馬達5及Y軸的伺服馬達6，而在與XY平面平行的面上予以驅動。又，上部線引導構件11可藉由U軸的伺服馬達8及V軸的伺服馬達9，而在與XY平面平行的面上予以驅動，並且可藉由Z軸伺服馬達7，而在與XY平面垂直的方向上予以驅動。通常，在U軸上的移動方向與在X軸上的移動方向平行，又，在V軸上的移動方向與在Y軸上的移動方向平行。

變更加工處16的位置時，係根據從數值控制裝置20輸出之對各軸伺服馬達的指令(X軸指令、Y軸指令、U軸指令、V軸指令、Z軸指令)，來改變線電極4相對於工件3的相對位置。該指令的內容通常由加工程式決定。加工程式係用來決定對線電極4的移動指令，亦即對各軸伺服馬達的移動指令等，該加工程式被定義在與上述XY平面平行的面上。該被定義的平面可設定於Z軸方向上的任意位置。該可任意設定的平面稱為「程式面」。

接著，對於能減少工件上形成之凹陷的加工量的線切割放電加工方法進行說明。工件3係在圖1所示之「加工方向」上被加工。如圖2(a)及2(b)所示，為減少工件上形成之凹陷的加工量，一面使線電極4相對於工件3的加工方向連續交替地朝左右傾斜，一面對工件3進行加工。在此，程式面40設定在工件3之板厚方向的中央部。

圖2(a)係顯示下述狀態：令上部線引導構件11相對於工件頂面31相對地往圖2之紙面的右向移動，另一方面，令下部線引導構件12相對於工件底面32相對地往圖2之紙面的左向移動，藉以使線電極4相對於加工方向朝右側(朝順時針旋轉方向)傾斜。

另一方面，圖2(b)係顯示下述狀態：令上部線引導構件11相對於工件頂面31相對地往圖2之紙面的左向移動，另一方面，令下部線引導構件12相對於工件底面32相對地往圖2之紙面的右向移動，藉以使線電極4相對於加工方向朝左側(朝逆時針旋轉方向)傾斜的狀態。

而且，藉由使線電極4相對於加工方向連續地交替持續圖2(a)與2(b)的狀態而傾斜，來對工件3施予放電加工。藉此，對於工件3的上部33及下部35，能與中央部34同樣地利用線電極4來進行放電加工。

圖1所示之線切割放電加工機中，也可不藉由令上述的上部線引導構件11及下部線引導構件12移動以使線電極4傾斜，而利用加工程式來驅動X軸伺服馬達5以令工件載置台1移動，來使得線電極4在圖示之加工方向上相對於工件3而相對地移動，進一步也可分別驅動V軸伺服馬達9及Y軸伺服馬達6，以使線電極4相對於「加工方向」左右傾斜。

至於使線電極4相對於工件3傾斜到何種程度，可由加工程式根據從程式面40到工件頂面31的高度來設定。

圖3係說明藉由一面使線電極4相對於工件3的加工方向交替地朝左右擺動，一面對工件3進行加工，以減少加工量的不均勻，並減少工件上形成之凹陷的加工量。

如圖3所示，藉由令線電極4傾斜，能對工件3的上部33與下部35進行放電加工，而使工件3的上部33、中央部34及下部35的加工量分別大致相同，並減少工件上形成之凹陷的加工量。

在此，對於圖2所示之一面使線電極交替地朝左右傾斜，一面對工件3進行加工的加工程式的例子作說明。

G 01 X 10.

X 10.01　V 0.1

X 10.02　V－0.1

X 10.03　V 0.1

X 10.04　V－0.1

‧‧‧‧

在上述程式例中，

第1行表示線電極4之目前位置移動到X 10mm的位置。其中，G 01為直線內插指令。

第2行表示一面令線電極4移動到X 10.01mm處，一面使線電極4的上側往Y軸正方向位移0.1mm。

第3行表示一面令線電極4移動到X 10.02mm處，一面使線電極4的上側往Y軸負方向位移0.1mm。

第4行表示一面令線電極4移動到X 10.03mm處，一面使線電極4的上側往Y軸正方向位移0.1mm。

第5行表示一面令線電極4移動到X 10.04mm處，一面使線電極4的上側往Y軸負方向位移0.1mm。

在上述加工程式例中，X係指令在程式面亦即工件3之板厚方向之中央部的位置。V係指令在輔助面上的偏差量即傾斜量，而且在此係指令線電極4在工件3之板厚方向的最上部即工件頂面31上的傾斜量。在線切割放電加工用程式製作裝置70(參照圖8)中，只要預先設定單位加工距離與線電極傾斜量，即可如上述加工程式例，自動地逐一按照單位加工距離而切換傾斜量來製作加工程式。上述加工程式例子中，單位加工距離為0.01mm，線電極傾斜量為0.1mm。

而且，該加工方法在對於斜齒輪的加工上同樣有效。圖5A及圖5B係說明利用線切割放電加工對於斜齒輪進行加工。

在線電極4與斜齒輪的原材料即圓柱狀之工件的上下表面的圓周部(半徑R)相抵接時，該工件之中央部(半徑r)的凹陷會被過度加工。如此在對斜齒輪進行線切割放電加工時，由於線電極被張緊成直線狀，而無論如何都會出現工件之板厚的中央部較窄(變細)的結果，但是若使用本發明之加工方法，便能減少變細量。

又，線切割放電加工用程式製作裝置或線切割放電加工用程式製作軟體，多數情況下內建有加工用條件。若在該條件的各要素中加入單位加工距離與線電極傾斜量，即可在加工程式製作時使用所選擇之條件內的單位加工距離與線電極傾斜量，來製作與上述程式相同的加工程式。

圖2及圖3中，將程式面40設定在工件3之板厚方向的中央部34。但是，程式面40的設定位置不限於工件3之板厚方向的中央部34。圖4係顯示程式面40設定在工件3上形成之凹陷最大的位置(該位置並非必與工件3之板厚方向的中央部一致)的例子。藉由將程式面40設定在該位置，能減少工件3之板厚方向的加工量不均勻。此時，在加工程式中，藉由將X軸指令於凹陷最大的位置，將V軸指令於工件3的工件底面32，而能得到所希望之結果。

再來，對於能減少在放電能量小之精加工時產生之條紋的線切割放電加工方法作說明。

如先前參照圖13所說明，在放電能量小的精加工中，當在線電極4的某一點發生強放電時，該點(以下，稱該點為「放電點」)隨著線電極4的移行，而從工件3的上側向下側移動，結果在工件3的表面產生條紋37。

因此，在本發明之加工方法中，為了抑制條紋37產生，藉由令線電極4相對於線電極4之移行方向(加工方向)的傾斜連續變換，而使放電點36所產生之單一方向的條紋相互交叉，使條紋37相互抵消，因此減少細微條紋的產生。

圖6(a)及6(b)係說明一面使線電極4相對於工件3的加工方向 連續地交替朝前方與後方傾斜，一面對工件3進行加工。程式面40設定在工件3之板厚方向的中央部，而且在圖1所示之「加工方向」上對工件3進行加工。

圖6(a)係顯示：令上部線引導構件11相對於工件頂面31相對地往圖6之紙面的右向移動，且令下部線引導構件12相對於工件底面32相對地往圖6之紙面的左向移動，藉以使線電極4成為相對於加工方向朝前方傾斜的狀態。另一方面，圖6(b)係顯示：令上部線引導構件11相對於工件頂面31相對地往圖6之紙面的左向移動，且令下部線引導構件12相對於工件底面32相對地往圖6之紙面的右向移動，藉以使線電極4成為相對於加工方向朝後方傾斜的狀態。並且，藉由使線電極4相對於加工方向連續地交替持續圖6(b)與圖6(b)的狀態而傾斜，來實行工件3的放電加工。藉此，放電點的移動方向並非恒定方向，而結果能減少在工件3之加工面上產生的條紋。

圖1所示之線切割放電加工機中，也可不藉由令上述的上部線引導構件11及下部線引導構件12移動以使線電極4傾斜，而利用加工程式來驅動X軸伺服馬達5以令工件載置台1移動，來使得線電極4在圖示之加工方向上相對於工件3而相對地移動，進一步也可驅動U軸伺服馬達8，以使線電極4相對於「加工方向」左右傾斜。

至於使線電極4相對於工件3傾斜到何種程度，可由加工程式根據從程式面40到工件頂面31的高度來設定。

在此，對於圖6所示之一面使線電極交替地朝前後傾斜，一面對工件3進行加工的加工程式的例子作說明。

G 01 X 10.

X 10.01 U 0.1

X 10.02 U-0.1

X 10.03 U 0.1

X 10.04 U-0.1

....

在上述程式例中，

第1行表示線電極4之目前位置移動到X 10mm的位置。其中，G 01為直線內插指令。

第2行表示一面令線電極4移動到X 10.01mm處，一面使線電極4的上側往X軸正方向位移0.1mm。

第3行表示一面令線電極4移動到X 10.02mm處，一面使線電極4的上側往X軸負方向位移0.1mm。

第4行表示一面令線電極4移動到X 10.03mm處，一面使線電極4的上側往X軸正方向位移0.1mm。

第5行表示一面令線電極4移動到X 10.04mm處，一面使線電極4的上側往X軸負方向位移0.1mm。

在上述加工程式例中，X係指令在程式面亦即工件3之板厚方向之中央部的位置。U係指令在輔助面上的偏差量即傾斜量，而且在此係指令線電極4在工件3之板厚方向的最上部即工件頂面31上的傾斜量。在線切割放電加工用程式製作裝置70(參照圖8)中，只要預先設定單位加工距離與線電極傾斜量，即可如上述加工程式例，自動地逐一按照單位加工距離而切換傾斜量來製作加工程式。上述加工程式例中，單位加工距離為0.01mm，線電極傾斜量為0.1mm。

在藉由使上述線電極4在與加工方向垂直的面內左右傾斜，或者相對於加工方向前後傾斜，來對工件3進行加工時，於加工路徑的拐角前後，為了不損壞包含該拐角之拐角前後部份(拐角部)的形狀，對於從該拐角之前方與該拐角間隔事先設定之距離(L)的位置起，而經過該拐角到達上述設定距離(L)處的區域，也可不在該區域內進行使線電極4連續地交替向左右或前後傾斜的動作。

圖7係說明在對工件3的拐角部進行加工時，於事先設定之距離區間內，使線電極相對於工件3的加工方向既不交替地朝左右傾斜，也不交替地朝前後傾斜，而進行加工。

當線電極4到達拐角C之前方與拐角C間隔事先設定之距離(L)處，亦即點50時，便停止線電極4的傾斜操作，並且從拐角C起經過該設定距離(L)的點51之後，再度恢復所設定的傾斜操作。如此藉由控制線電極4的動作，能夠不損壞拐角部的形狀。

接下來，參照圖8說明線切割放電加工用程式製作裝置。

線切割放電加工用程式製作裝置70係由個人電腦或數值控制裝置等習知的資訊處理裝置所構成，其包含：CPU(中央處理器)71；記憶體72，由藉著匯流排76與該CPU71連接的ROM(唯讀記憶體)、RAM(隨機存取記憶體)等構成；顯示裝置73，由液晶顯示裝置等構成；輸入機構74，用來輸入資料或指令，如鍵盤等；以及介面75。

首先，操作者操作輸入機構74，以輸入單位加工距離及線電極傾斜量，進一步輸入加工開始位置、加工結束位置、加工順序等之製作加工程式所必要的資料。於是，CPU71啟動事先存放於記憶體72的用來製作本發明之線切割放電加工用程式的程式，而根據所輸入的資料，產生線切割放電加工用程式。用來製作該線切割放電加工用程式的程式，存放於可電腦讀取的記錄媒體中，從該記錄媒體將該加工程式製作用的程式安裝在電腦等，且藉由輸入所需的資料，便能夠製作線切割放電加工用程式。

1．．．工件載置台

2．．．載置面

3．．．工件

4．．．線電極

5．．．X軸伺服馬達

6．．．Y軸伺服馬達

7．．．Z軸伺服馬達

8．．．U軸伺服馬達

9．．．V軸伺服馬達

11．．．上部線引導構件

12．．．下部線引導構件

13．．．上部導向滾輪

14．．．下部導向滾輪

15．．．供電滾輪

16．．．加工處

20．．．數值控制裝置

21．．．放電加工電源

31．．．工件頂面

32．．．工件底面

33．．．工件之上部

34．．．工件之中央部

35．．．工件之下部

36．．．放電點

37．．．條紋

40．．．程式面

41．．．左右方向

42．．．表示線電極之中央部的虛線橢圓

50．．．拐角之前方與拐角間隔設定距離L的點

51．．．從拐角起經過設定距離L的點

70．．．線切割放電加工用程式製作裝置

71．．．中央處理器(CPU)

72．．．記憶體

73．．．顯示裝置

74．．．輸入機構

75．．．介面

76．．．匯流排

C．．．拐角

L．．．設定距離

R．．．工件之上下表面圓周部的半徑

r．．．工件之中央部的半徑

圖1係說明依本發明之線切割放電加工機的概略構成及其動作。

圖2(a)、2(b)係說明使線電極一面相對於工件的加工方向連續地交替向右(2(a))及左(2(b))傾斜，一面對工件進行加工。

圖3係說明藉由一面使線電極相對於工件的加工方向交替地朝左右擺動，一面對工件進行加工，以減少加工量的不均勻，並減少工件上形成之凹陷的加工量。

圖4係顯示程式面可設定在工件中凹陷最大的位置(該位置並非必與工件之板厚方向的中央部一致)的例子。

圖5A、5B係說明利用線切割放電加工對於斜齒輪進行加工。

圖6(a)、6(b)係說明一面使線電極4相對於工件的加工方向連續地交替朝前方(6(a))與後方(6(b))傾斜，一面對工件進行加工。

圖7係說明在對工件的拐角部進行加工時，於事先設定之距離區間內，使線電極相對於工件的加工方向既不交替地朝左右傾斜，也不交替地朝前後傾斜，而進行加工。

圖8係顯示依本發明之線切割放電加工用程式製作裝置的一實施形態的主要部方塊圖。

圖9係利用線切割放電加工機的線電極在X軸方向上對工件進行放電加工。

圖10係說明線電極4在線電極相對於工件3的相對行進方向(與Y軸及Z軸二者垂直的X軸方向)上左右振動。

圖11係說明線電極相對於工件的加工方向往後方撓曲。

圖12係說明由於線電極的振動而在工件之板厚方向的中央部形成凹陷。

圖13係說明在放電能量小的精加工中產生加工條紋。

3．．．工件

4．．．線電極

11．．．上部線引導構件

12．．．下部線引導構件

31．．．工件頂面

32．．．工件底面

33．．．工件之上部

34．．．工件之中央部

35．．．工件之下部

40．．．程式面

Claims (4)

1. 一種線切割放電加工方法，其特徵在於：根據事先設定的單位加工距離、及與該距離對應的線電極傾斜量，一面使線電極在與加工方向垂直的平面內連續地朝左右傾斜，一面進行加工；該線切割放電加工方法中所使用的線切割放電加工機包含：工件載置台，用來設置並固定加工對象；上部線引導構件及下部線引導構件；及數值控制裝置；該工件載置台的載置面在與XY平面平行的面上延伸，並可藉由X軸的伺服馬達及Y軸的伺服馬達，而在與XY平面平行的面上予以驅動；藉由該上部線引導構件及下部線引導構件使線電極傾斜，該上部線引導構件可藉由U軸的伺服馬達及V軸的伺服馬達，在與XY平面平行的面上予以驅動，並且可藉由Z軸伺服馬達，而在與XY平面垂直的方向上予以驅動；根據從該數值控制裝置輸出之對各軸伺服馬達的指令(X軸指令、Y軸指令、U軸指令、V軸指令、Z軸指令)，來改變線電極相對於工件的相對位置；在U軸上的移動方向與在X軸上的移動方向平行，又，在V軸上的移動方向與在Y軸上的移動方向平行。
2. 一種線切割放電加工方法，其特徵在於：根據事先設定的單位加工距離、及與該距離對應的線電極傾斜量，一面使線電極相對於加工方向連續地朝前後傾斜，一面進行加工；該線切割放電加工方法中所使用的線切割放電加工機包含：工件載置台，用來設置並固定加工對象；上部線引導構件及下部線引導構件；及 數值控制裝置；該工件載置台的載置面在與XY平面平行的面上延伸，並可藉由X軸的伺服馬達及Y軸的伺服馬達，而在與XY平面平行的面上予以驅動；藉由該上部線引導構件及下部線引導構件使線電極傾斜，該上部線引導構件可藉由U軸的伺服馬達及V軸的伺服馬達，在與XY平面平行的面上予以驅動，並且可藉由Z軸伺服馬達，而在與XY平面垂直的方向上予以驅動；根據從該數值控制裝置輸出之對各軸伺服馬達的指令(X軸指令、Y軸指令、U軸指令、V軸指令、Z軸指令)，來改變線電極相對於工件的相對位置；在U軸上的移動方向與在X軸上的移動方向平行，又，在V軸上的移動方向與在Y軸上的移動方向平行。
3. 一種線切割放電加工機，其包含下述機構；該機構根據事先設定的單位加工距離、及與該距離對應的線電極傾斜量，在加工過程中，使線電極在與加工方向垂直的平面內連續地朝左右傾斜；該線切割放電加工機包含：工件載置台，用來設置並固定加工對象；上部線引導構件及下部線引導構件；及數值控制裝置；該工件載置台的載置面在與XY平面平行的面上延伸，並可藉由X軸的伺服馬達及Y軸的伺服馬達，而在與XY平面平行的面上予以驅動；藉由該上部線引導構件及下部線引導構件使線電極傾斜，該上部線引導構件可藉由U軸的伺服馬達及V軸的伺服馬達，在與XY平面平行的面上予以驅動，並且可藉由Z軸伺服馬達，而在與XY平面垂直的方向上予以驅動；根據從該數值控制裝置輸出之對各軸伺服馬達的指令(X 軸指令、Y軸指令、U軸指令、V軸指令、Z軸指令)，來改變線電極相對於工件的相對位置；在U軸上的移動方向與在X軸上的移動方向平行，又，在V軸上的移動方向與在Y軸上的移動方向平行。
4. 一種線切割放電加工機，其包含下述機構；該機構根據事先設定的單位加工距離、及與該距離對應的線電極傾斜量，在加工過程中，使線電極相對於加工方向連續地朝前後傾斜；該線切割放電加工機包含：工件載置台，用來設置並固定加工對象；上部線引導構件及下部線引導構件；及數值控制裝置；該工件載置台的載置面在與XY平面平行的面上延伸，並可藉由X軸的伺服馬達及Y軸的伺服馬達，而在與XY平面平行的面上予以驅動；藉由該上部線引導構件及下部線引導構件使線電極傾斜，該上部線引導構件可藉由U軸的伺服馬達及V軸的伺服馬達，在與XY平面平行的面上予以驅動，並且可藉由Z軸伺服馬達，而在與XY平面垂直的方向上予以驅動；根據從該數值控制裝置輸出之對各軸伺服馬達的指令(X軸指令、Y軸指令、U軸指令、V軸指令、Z軸指令)，來改變線電極相對於工件的相對位置；在U軸上的移動方向與在X軸上的移動方向平行，又，在V軸上的移動方向與在Y軸上的移動方向平行。