TWI424177B - Test device for flat plate-like specimen - Google Patents

Description

平板狀被檢查體之測試裝置

本發明係關於一種液晶顯示面板般平板狀被檢查體之測試裝置。

進行液晶顯示面板般顯示用面板之點燈測試之裝置，具備用以對被檢查體進行通電之探針單元、特別是對接觸子之針尖進行定位之定位功能(亦即，對準功能)。

此種裝置，一般而言，具備檢查載台或工件台般之面板承載部、在XYZ之3方向位移與繞延伸於Z方向之θ軸線位移之載台移動機構、及配置於面板承載部上方之探針單元。

當定位時，在將被檢查體可解除地吸附於面板承載部之狀態下，藉由載台移動機構使探針單元相對面板承載部位移，以使被檢查體之電極與接觸子之針尖接觸。

然而，此種測試裝置中，不僅是面板承載部，亦必須藉由載台移動機構使支承面板承載部之裝置、背光單元等位移，因此載台移動機構大型化，測試裝置價格變貴。

特別是，近年來進行大型被檢查體之測試之裝置，藉由載台位移之對象物之重量有超過一噸之情形，是以無法避免載台移動機構進一步大型化，測試裝置價格進一步變貴。

為了解決上述問題，提出一種藉由使被檢查體相對面板承載部位移，將被檢查體定位以使被檢查體之電極與接觸子之針尖接觸之對準裝置(專利文獻1)。

此對準裝置，在面板承載面之對向之一對邊分別配置於對應邊之延伸方向相距一間隔配置之一對第1推進器，在面板承載面之對向之另一對邊中一邊及另一邊分別配置第2推進器。各推進器具備按壓被檢查體之端面之按壓構件、及使該按壓構件相對被檢查體進退於X方向或Y方向之移動機構。

當定位時，藉由移動機構使各推進器之按壓構件按壓被檢查體之X方向或Y方向之端面，使被檢查體相對面板承載部位移，藉此進行定位，以使被檢查體之電極與接觸子之針尖接觸。

此種對準裝置中，作為各推進器之移動機構，使用藉由空氣或油般壓力流體使按壓構件進退之機構時，被檢查體藉由該等推進器被推向中心，相對面板承載部定位。

然而，此種對準裝置中，即使供應至配置在面板承載部之對向側之兩推進器、或於對應邊之延伸方向相距一間隔之推進器之流體之壓力僅有些微差異，推進器之按壓力亦產生差異。其結果，被檢查體無法正確地位移，無法進行正確之定位。

專利文獻1：日本特開2008-188727號公報

本發明提供一種可進行被檢查體之正確定位之廉價之測試裝置。

本發明之平板狀被檢查體之測試裝置，包含具有承接平板狀被檢查體之矩形面板承載面之面板承載部、具備按壓於該被檢查體之電極之複數個接觸子之探針單元、及使該面板承載部所承接之被檢查體相對該接觸子定位之對準裝置。

該對準裝置，包含分別配置在該面板承載面之對向之一對邊中一邊及另一邊之第1推進器機構及第1定位機構、及分別配置在該面板承載面之對向之另一對邊中一邊及另一邊之第2推進器機構及第2定位機構。

該推進器機構及該定位機構分別具備位於該面板承載面外側之至少一個按壓構件、及使該按壓構件在X方向或Y方向位移之至少一個驅動機構。各定位機構之該驅動機構，將該按壓構件在該X方向或Y方向之位置維持成可解除。

各定位機構可包含可控制旋轉角度位置之馬達。

各定位機構之該按壓構件，係以至少在其移動方向不易彈性變形或不會彈性變形之材料製作亦可。

各定位機構之該驅動機構可包含驅動源，及藉由該驅動源驅動、將該按壓構件在該X方向或Y方向之位置與該驅動源一起維持成可解除之機構。

各定位機構之該維持機構可具備從該驅動源延伸於該X方向或Y方向、藉由該驅動源旋轉之滾珠螺桿，及螺合於該滾珠螺桿、使該按壓構件在該X方向或Y方向位移之螺帽。

各推進器機構之該驅動機構之驅動源可包含使用壓力流體使該按壓構件進退之汽缸機構。

本發明之測試裝置可進一步包含壓力彼此不同之第1及第2壓力流體源、及將該第1及第2壓力流體源之壓力流體選擇性供應至該推進器機構之該驅動機構之驅動源之閥裝置。

本發明之測試裝置可進一步包含將壓力彼此不同之至少二個壓力流體選擇性供應至該推進器機構之該驅動機構之驅動源之電空調整器。

該推進器機構及該定位機構分別可進一步具備支承該按壓構件、藉由該驅動機構驅動而在該X方向或Y方向移動之配置於該面板承載部之移動體。

該按壓構件係以可繞延伸於Z方向之軸線旋轉之方式支承於該移動體亦可。

本發明之測試裝置可進一步包含使該面板承載部移動於Z方向之Z移動機構。

本發明之測試裝置可進一步包含配置於該面板承載部、當藉由該對準裝置使該被檢查體位移時使該被檢查體從該面板承載面浮起之浮起裝置。

該浮起裝置可包含一部分可相對該面板承載面突出及退縮、配置於該面板承載部之球體，及以使該球體之一部分從該面板承載面露出之方式彈壓之彈簧。

該面板承載部可包含在該面板承載面開放之開放部、及將該開放部選擇性連接於壓力流體之供應源及減壓槽之至少一者之閥件。

本發明之測試裝置可進一步包含配置有該面板承載部、具有矩形之第1開口之台座。又，該面板承載部可具備共同形成能與該第1開口對向之相似於該第1開口之矩形之第2開口且共同形成該面板承載面、以可改變該第2開口之大小之方式配置於該台座之四個移動片。

一對移動片在Y方向相距一間隔平行延伸於X方向，另一對移動片在X方向相距一間隔平行延伸於Y方向亦可。又，該等移動片共同形成該第2開口且共同形成該面板承載面，且以可改變該第2開口之大小之方式配置於該台座亦可。再者，相鄰之移動片，係以不妨礙往Y方向或X方向之獨立移動之方式結合亦可。

本發明之測試裝置可進一步包含配置有該面板承載部、具有矩形之第1開口之台座，及配置於該台座與該面板承載部之間、以能使該移動片在該X方向及Y方向移動之方式結合於該台座之結合機構。

本發明之測試裝置可進一步包含使各移動片透過該結合機構在該X方向或Y方向移動、配置於該台座之移動片移動機構。

各移動片移動機構可包含使該移動片移動之可控制旋轉角度位置之馬達。

本發明之測試裝置可進一步包含使該面板承載部及該探針單元在彼此接近分離方向移動之上下移動機構。

本發明之測試裝置可進一步包含以從上方拍攝該被檢查體之標記部之方式支承於該探針單元之攝影機裝置。

本發明之測試裝置可進一步包含支承該面板承載部之架台。又，該探針單元係支承於該架台或該面板承載部亦可。

本發明之測試裝置可進一步包含將該探針單元支承於該面板承載部之單元支承機構。該單元支承機構可具備以可在該X方向或Y方向移動之方式承接於該面板承載部、延伸於Y方向或X方向之第1移動體，以可斜向移動於X方向或Y方向與Z方向之方式結合於該第1移動體、延伸於該Y方向或X方向之第2移動體，規定該第2移動體之前進終端位置之制動件，及使該第1移動體在該X方向或Y方向移動、藉此使該第2移動體在該X方向或Y方向移動且在Z方向位移之探針移動機構。又，該探針單元係支承於該第2移動體亦可。

該單元支承機構可進一步包含延伸於該Y方向或X方向、以在該面板承載部可在該Y方向或X方向移動之方式支承於該面板承載部、使該第1移動體支承於該面板承載部之移動體承載件，及使該移動體承載件在其長邊方向移動、將在該Y方向或X方向上相對該面板承載部之位置維持成可解除之單元位置調整裝置。

該探針單元可進一步包含沿著該矩形之邊延伸且支承於該單元支承機構之支承基座，及在該支承基座之長邊方向相距一間隔、以可在Z方向移動之方式支承於該支承基座、支承複數個該接觸子之探針塊。

該支承基座係以可繞延伸於Z方向之軸線角度性旋轉之方式支承於單元支承機構亦可。又，該探針單元進一步具備使該支承基座相對該面板承載部角度性旋轉、將該面板承載部與該探針單元繞延伸於該Z方向之軸線之位置關係維持成可解除之角度調整機構亦可。

探針移動機構可包含選擇性使該探針塊位移於從該面板承載面後退之退開位置、用以定位被檢查體之對準位置、使該接觸子接觸被檢查體之電極之接觸位置並維持成可解除之可控制位置之馬達。

該探針單元係分別配置於與該矩形之相鄰二邊對應之部位亦可。

該對準裝置可包含在該面板承載面之對向之一對邊中一邊及另一邊分別於對應邊之延伸方向相距一間隔配置之複數個該第1推進器機構及複數個該第1定位機構。

該對準裝置可包含在該面板承載面之對向之一對邊中一邊及另一邊分別於對應邊之延伸方向相距一間隔配置之一對該第1推進器機構及一對該第1定位機構。

該對準裝置可包含在該面板承載面之對向之一對邊中該另一邊於對應邊之延伸方向相距一間隔配置之一對該第1定位機構。

該第1推進器機構可具備於對應邊之方向相距一間隔之複數個該按壓構件。又，該第1推進器機構之該驅動機構可具備使該按壓構件在X方向或Y方向位移之驅動源，及將該複數個按壓構件在Y方向或X方向相距一間隔支承、以可繞延伸於Z方向之軸線旋轉之方式支承於該驅動源之支承構件。

當定位時，藉由使各推進器機構及各定位機構之各按壓構件按壓被檢查體之X方向或Y方向之端面，使被檢查體相對面板承載部位移，藉此進行定位，以使被檢查體之電極與接觸子之針尖接觸。

進行上述定位時，各定位機構之驅動機構將該按壓構件在X方向或Y方向之位置維持成可解除，因此各定位機構之按壓構件在X方向或Y方向之位置不會位移。因此，可將定位機構之按壓構件使用為決定被檢查體在X方向及Y方向之基準位置之構件。

上述結果，根據本發明，被檢查體與探針單元，係藉由推進器機構使定位機構之按壓構件按壓被檢查體之X方向及Y方向之端面，而可正確地定位。

又，各推進器機構及各定位機構只要為使輕重量之被檢查體位移之構造即可，因此重量輕，不需要使面板承載部或背光單元等重量大之對象物位移之大型對準裝置，因此測試裝置廉價。

再者，不僅是推進器機構側之按壓部，若能使決定基準位置之定位機構側之按壓構件相對被檢查體後退，則對面板承載部之被檢查體之交接作業變容易。

各定位機構之驅動機構將該按壓構件在X方向或Y方向之位置維持成可解除之驅動源若包含脈衝馬達般可控制位置之馬達，則各定位機構之按壓構件在X方向或Y方向之位置，只要馬達不旋轉即不會位移。

各定位機構之按壓構件只要以至少在其移動方向不易彈性變形或不會彈性變形之材料製作，則被檢查體之緣部在X方向或Y方向之位置，可藉由此種按壓構件正確地定位。

(用語之說明)

本發明中，圖2中，將上下方向(與面板承載部所承接之被檢查體垂直之方向)稱為Z方向或上下方向，將左右方向稱為X方向或左右方向，將紙背面方向稱為Y方向或前後方向。然而，此等方向依測試時被檢查體之姿勢而不同。

因此，本發明之測試裝置，藉由X方向及Y方向規定之XY面，使用在成為水平面之狀態、相對水平面成為傾斜之狀態等任一狀態皆可。

(實施例)

參照圖1～圖4，測試裝置10使用為以封入液晶之液晶顯示面板般顯示用面板為平板狀被檢查體12(參照圖4、7、9等)、將該被檢查體12連接於既定電路以進行點燈檢查般電氣測試之裝置。

被檢查體12具有矩形之形狀，且在與矩形之各邊對應之各緣部具備複數個電極。以下，為了容易理解，將被檢查體12說明為具有在X方向較長之長方形形狀者。圖示之例中，被檢查體12，在與矩形之相鄰邊對應之二個緣部分別在對應緣部之長邊方向相距一間隔具有複數個電極。

(關於測試裝置)

測試裝置10，包含機器基座亦即平台14，在平台14之上側相距一間隔配置之台座16，配置於台座16之上側、承接被檢查體12之面板承載部18，配置於面板承載部18之上側之複數個探針單元20，使各探針單元20支承於面板承載部18之單元支承機構22，從上方拍攝面板承載部18所承接之被檢查體12之標記部(之後說明)、安裝於探針單元20之複數個攝影機裝置24，及使面板承載部18所承接之被檢查體12相對面板承載部18定位、之後說明之對準裝置。

圖示之例中，探針單元20係配置於與矩形之相鄰二邊對應之各部位。然而，探針單元20之配置部位，係依據被檢查體12之電極之配置位置決定。

又，圖示之例中，單元支承機構22係配置於與矩形之邊對應之各部位。然而，單元支承機構22不配置在未配置探針單元20之部位亦可。

再者，圖示之例中，二個攝影機裝置24，在與矩形之相鄰二邊之一邊對應之部位，在該邊之長邊方向相距一間隔配置，且一個攝影機裝置24係配置於與相鄰二邊之另一邊對應之部位。然而，將二個攝影機裝置24於探針單元20之長邊方向相距一間隔配置於各探針單元20亦可。

平台14係支承於測試裝置10之架台25(參照圖4)。然而，平台14為架台25之一部分亦可。平台14與台座16具有矩形板之形狀，且台座16位於平台14之上方之狀態下，在Z(上下)方向相距一間隔。

台座16係藉由複數個支柱26(參照圖4)支承於平台14，且具有大於被檢查體12之矩形開口16a(參照圖1及圖4)。在平台14與台座16之間配置有已知之背光單元28(參照圖4)。

(關於面板承載部)

面板承載部18，如圖5所示，具備彼此組合成井字狀或卍字狀之四個移動片30。各移動片30，如圖4至圖10、圖12、圖13所示，在寬度尺寸小之長方形之第1片部30a與寬度尺寸小之長方形之第2片部30b中、第1片部30a成為水平、第2片部30b之寬度方向成為上下方向之狀態下，結合成L字狀。

一對移動片30在XY面內於Y方向相距一間隔平行延伸於X方向，另一對移動片30在XY面內於X方向相距一間隔平行延伸於Y方向。此等移動片30係藉由之後說明之結合機構62，在與台座16平行之面(XY面)內可二維(X方向及Y方向)移動地結合於台座16。

此等四個移動片30，共同形成與被檢查體12及開口16a相似之矩形開口32，且與矩形之面板承載面34共同形成於第2片部30b之頂面。開口16a及32彼此對向以允許來自背光單元28之光射進面板承載面34所承接之被檢查體12。

上述四個移動片30，係以可改變開口32之尺寸(亦即，可在XY面內二維移動)之方式，藉由之後說明之結合機構62結合於台座16。

相鄰之二個移動片30，係以在X方向(或Y方向)可一體移動及在Y方向(或X方向)可個別移動之方式，藉由適當之結合手段結合。藉此，相鄰之移動片30，在不妨礙對象移動片30在Y方向(或X方向)之獨立移動之方式結合。

亦即，各移動片30，係結合於相鄰之一移動片30以能在該相鄰之一移動片30之長邊方向(Y方向或X方向)獨立移動，且結合於相鄰之另一移動片30以能在該相鄰之另一移動片30之長邊方向(Y方向或X方向)一體移動。

作為上述結合手段，可使用例如延伸於X方向(或Y方向)、在開口32之側開放且具有截頭四角錐形之截面形狀之所謂鳩尾槽、及可滑動地嵌合於該鳩尾槽、具有截頭四角錐形之截面形狀之所謂鳩尾座之組合。

鳩尾槽係形成於相鄰二個移動片30之一者之寬度方向上開口32側之端緣部，鳩尾座係形成於相鄰二個移動片30之另一者之長邊方向上之一端緣部。

然而，替代鳩尾槽與鳩尾座之組合，使用導軌與可滑動於該導軌及不能分離地結合之導引件之組合之其他結合手段亦可。

在各移動片30設有圖18及圖19所示之複數個浮起裝置36。浮起裝置36，當藉由該對準裝置使被檢查體12位移時，與被檢查體12一起從面板承載面34浮起，使對準時被檢查體12之移動順利。

圖18及圖19所示之例中，各浮起裝置36，包含埋入於第2片部30b以使開口部在第2片部30b之頂面(面板承載面34)開放之有底筒構件38、一部分可相對面板承載面34突出沒入地配置於筒構件38之球體40、彈壓以使球體40之一部分從面板承載面34露出之彈簧42、位於球體40與彈簧42之間且可上下方向移動地配置於筒構件38之圓板狀球體軸承44、及限制球體40在筒構件38內之位移之環46。

浮起裝置36，使被檢查體12承接於球體40，維持成從面板承載面34浮起之狀態。因此，彈簧42之彈壓力只要為能使被檢查體12從面板承載面34浮起之程度即可。

如圖23所示，面板承載部18，在各第2片部30b具備在面板承載面34開放之複數個開放部48、及連通該等開放部48之連通孔50。圖示之例中，各開放部48係孔，但為在面板承載面34開放、延伸於第2片部30b之長邊方向之槽之其他開放部亦可。

各第2片部30b之連通孔50，係藉由管件54導通/斷開地連接於閥件52。閥件52係連結於真空槽般減壓後之減壓槽56，藉由閥驅動裝置58驅動，選擇性導通/斷開減壓槽56與連通孔50之間之空氣流路。

上述空氣流路導通後，開放部48及連通孔50連接於減壓槽。藉此，被檢查體12抗衡浮起裝置36之彈簧42之彈壓力將球體40壓下，無法位移地真空吸附於面板承載面34。在此狀態下，進行被檢查體12之點燈測試。

與上述情形相反，上述空氣流路斷開後，開放部48及連通孔50從減壓槽56切離。藉此，解除被檢查體12對面板承載面34之吸附，球體40之一部分因彈簧42之彈壓力從面板承載面34稍微突出。

上述結果，被檢查體12從面板承載面34稍微浮起。在此狀態下，進行新舊被檢查體12之更換與新被檢查體12之對準。對準如後述說明般，係藉由對準裝置使被檢查體12位移來進行。對準時，被檢查體12僅抵接於球體40，從面板承載面34浮起，因此順利且輕易地位移。

如圖23所示，替代上述浮起裝置36，將壓縮空氣源般壓力流體源60連接於閥件52，使減壓槽56及壓力流體源60藉由閥件52選擇性連接於連通孔50亦可。

上述情形，作為閥件52係使用切換閥。被檢查體12，係藉由開放部48連接於壓力流體源60、來自壓力流體源60之壓力流體從開放部48噴出，從面板承載面34稍微浮起。

(關於結合機構)

如圖1、圖3、圖5所示，上述結合機構62，為了使四個移動片30可在X方向及Y方向移動地結合於台座16，配置於台座16與面板承載部18之間。

圖示之例中，結合機構62，具備在X方向相距一間隔平行延伸於Y方向、可移動於X方向地配置於台座16之帶狀之一對第1滑件64，及在第1滑件64之上方在Y方向相距一間隔平行延伸於X方向、可移動於Y方向地配置於台座16之帶狀之一對第2滑件66。

如圖5所示，一第2滑件66藉由結合構件68可移動於Y方向地結合於一第1滑件64，另一第2滑件66藉由另一結合構件68可移動於Y方向地結合於另一第1滑件64。

滑件64及66分別在台座16上面所具備之一對軌道70及70，可朝X方向(或Y方向)移動地，在各滑件之一端部及另一端部結合。

各結合構件68，可移動於Y方向地結合於設在對應之第1滑件64且延伸於該第1滑件64之長邊方向之一對軌道72，且可移動於X方向地結合於設在對應之第2滑件66且延伸於該第2滑件66之長邊方向之另一對軌道72。藉此，各結合構件68，可相對台座16在XY面內二維移動。

圖示之例中，延伸於Y方向之各移動片30，無法位移地結合於結合構件68，延伸於X方向之各移動片30，可移動於X方向地結合於延伸於X方向之第2滑件66之另一對軌道72。

滑件64及66分別藉由移動片移動機構74移動於X方向(或Y方向)，在上述移動方向之適當位置維持成可解除。

圖示之例中，作為各移動片移動機構74，使用下述機構，亦即使用設置於台座16上面之馬達，在延伸於X方向(或Y方向)之狀態下連結於該馬達、藉由該馬達旋轉之滾珠螺桿，及螺合於該滾珠螺桿且藉由連結具連結於滑件64或66之螺帽之機構。馬達係脈衝馬達般可將旋轉角度位置維持成可解除之可控制位置之馬達。

例如，一對第1滑件64藉由對應之移動片移動機構74在彼此接近分離方向(X方向)移動時，透過結合構件68連結於第1滑件64之一側之(延伸於Y方向)一對移動片30在彼此接近分離方向(X方向)與結合構件68一起移動，且在該一側之移動片30藉由上述鳩尾槽與鳩尾座等之結合手段連結之另一側之(延伸於X方向)一對移動片30與該一側之移動片30之移動一起移動於X方向。

又，一對第2滑件66藉由對應之移動片移動機構74在彼此接近分離方向(Y方向)移動時，連結於第2滑件66之該另一側之(延伸於X方向)一對移動片30在彼此接近分離方向(Y方向)與第2滑件66一起移動，且在該移動片30藉由上述鳩尾槽與鳩尾座等之結合手段連結之該一側之(延伸於Y方向)一對移動片30與該另一側之移動片30之移動一起移動於長邊方向(Y方向)。

因此，四個移動片30以開口32之尺寸成為圖3及圖6所示之尺寸之方式移動。其結果，可依據待測試之被檢查體12之尺寸改變開口32或面板承載面34之尺寸。此作業在被檢查體12之點燈測試前先進行。

(關於對準裝置)

參照圖2、圖4、圖7至圖10、圖16及圖17，上述對準裝置，包含在面板承載面34之對向之一對邊(X邊)中一邊及另一邊分別於對應邊之長邊方向相距一間隔配置之一對第1推進器機構80及一對第1定位機構82、及分別配置在面板承載面34之對向之另一對邊(Y邊)中一邊及另一邊之第2推進器機構84及第2定位機構86。

推進器機構80,84分別使被檢查體12相對配置在與推進器機構配置側相反側之定位機構82或86進退。相對於此，定位機構82,86分別決定被檢查體12在X方向(或Y方向)之基準位置。

如圖7至圖10所示，推進器機構80,84及定位機構82,86分別位於與面板承載面34相同高度位置，具備俯視時位於面板承載面34外側之按壓構件90、按壓構件90所支承之支柱狀移動體92、使移動體92或按壓構件90相對面板承載面34進退之驅動機構94、及支承該等之支承板96。

圖示之例中，移動體92具有延伸於上下方向之支柱狀形狀。按壓構件90係藉由安裝銷98以在移動體92之上端部可繞延伸於Z方向之軸線旋轉之方式安裝之輥，但亦可為其他構件。

支承板96，係以在設於面板承載部18之移動片30之第1片部30a之上面之一對軌道100可移動於第1片部30a之長邊方向(X方向或Y方向)之方式組裝。兩軌道100在第1片部30a之寬度方向(Y方向或X方向)相距一間隔平行延伸於長邊方向(X方向或Y方向)。

如圖7至圖10所示，支承板96係藉由導引件102組裝於一軌道100，且裝載於另一軌道100之上面。因此，一軌道100作用為導軌。另一軌道100，在X方向(或Y方向)之複數個部位分別具備在上方開放之母螺孔104。

在另一軌道100，裝載具有延伸於X方向(或Y方向)之長孔106之帶狀擋模108，且無法相對移動地設於支承板96。擋模108，從上方插入長孔106，藉由螺合於母螺孔104之螺栓110，可解除地安裝於另一軌道100。藉此，各支承板96，可解除地固定於X方向(或Y方向)之既定位置。

上述結果，推進器機構80,84及定位機構82,86分別可解除地固定於X方向(或Y方向)之既定位置。因此，另一軌道100，作用為將推進器機構及定位機構於X方向(或Y方向)之位置可解除地固定之固定軌道。

然而，推進器機構及定位機構於X方向(或Y方向)之位置，可藉由改變螺合螺栓110之母螺孔104與對螺栓110之擋模108之位置，依據被檢查體12之種類、尺寸等選擇。

各驅動機構94，具備在支承板96之寬度方向(Y方向或X方向)相距一間隔延伸於支承板96之長邊方向(X方向或Y方向)之一對軌道112、以可移動於支承板96之寬度方向之方式嵌合於各軌道112之滑件114、連結兩滑件114之連結板116、及使按壓構件90移動於支承板96之寬度方向之驅動源118。

滑件114係安裝於連結板116之下面。驅動源118係安裝於支承板96之上面。移動體92係以豎立狀態安裝於連結板116之上。然而，使移動體92與連結板116為一體構造亦可。

如圖9及圖10所示，推進器機構80,84之各驅動源118，係使用空氣壓汽缸或油壓汽缸之流體壓汽缸機構。此汽缸機構，其汽缸安裝於支承板96，活塞桿連結於滑件114。

因此，推進器機構80,84之各驅動機構94，藉由驅動源118使滑件114相對第2片部30b進退，據以使按壓構件90相對面板承載面34或被檢查體12進退於X方向或Y方向。

如圖7及圖8所示，定位機構82,86之各驅動源118，係使用脈衝馬達般可控制旋轉角度位置之馬達。因此，定位機構82,86之各驅動機構94進一步具備從對應之驅動源118延伸於支承板96之寬度方向(X方向或Y方向)、藉由對應之驅動源118旋轉之滾珠螺桿120，及螺合於滾珠螺桿120之螺帽122。螺帽122係安裝於連結板116。

定位機構82,86之各驅動機構94，係藉由驅動源118使滾珠螺桿120旋轉，據以使螺帽122相對第2片部30b進退，藉此使按壓構件90相對面板承載面34或被檢查體12進退於(X方向或Y方向)。

如圖20所示，推進器機構80,84之各驅動源(汽缸機構)118係藉由閥裝置128選擇性連接於二個壓力流體源124,126。壓力流體源124,126儲存具有彼此不同壓力之經壓縮之空氣或油般之壓力流體。

閥裝置128具備藉由閥驅動裝置129選擇性驅動之複數個閥件。閥裝置128內之各閥件係藉由閥驅動裝置129選擇性驅動，將推進器機構80,84之驅動源118之一個選擇性連接於壓力流體源124,126。藉此，上述汽缸機構之活賽桿相對汽缸進退，使按壓構件90相對面板承載面34或 被檢查體12進退。

又，如圖20所示，定位機構82,86之各驅動源(可控制位置之馬達)118，係藉由馬達驅動裝置130驅動，藉由對應之按壓構件90決定被檢查體12在X方向(或Y方向)之基準位置。各基準位置係藉由被檢查體12之種類、尺寸等預先決定。

具有上述構造之對準裝置，如圖20所示，使X方向用之定位機構86之按壓構件90進退於X方向，維持被檢查體12在X方向之基準位置，且藉由X方向用之推進器機構84之按壓構件90使被檢查體12相對X方向用之定位機構86之按壓構件90按壓。藉此，被檢查體12在X方向對準。

被檢查體12在Y方向之對準，係藉由使Y方向用之定位機構82,82及Y方向用之推進器機構80,80進行上述動作來進行。

被檢查體12在繞延伸於Z方向之θ軸線之對準，如圖21所示，可藉由使Y方向用之定位機構82,82及Y方向用之推進器機構80,84之按壓構件90分別移動於箭頭所示方向來進行。

進行上述對準時，各推進器機構之驅動源係連接於壓力低之壓力流體源124。藉此，被檢查體12係被按壓構件90以較弱力量挾持。其結果，被檢查體12與按壓構件90碰撞時作用於被檢查體12之衝擊小，可防止起因於該衝擊之被檢查體12之破損。

對準之期間，被檢查體12係藉由圖18及圖19所示之 浮起裝置36，從面板承載面34浮起。因此，進行對準時，被檢查體12順利移動，可進行正確之對準。

如上述，進行對準時，各定位機構之按壓構件90決定被檢查體12之基準位置，因此各定位機構之按壓構件90係以至少在其移動方向不易彈性變形或不會彈性變形、或不易磨耗或不會磨耗之材料、例如硬質樹脂製作。

藉此，定位機構之按壓構件90，即使被檢查體12被推進器機構之按壓構件90按壓，使用可控制位置之馬達作為驅動源亦可維持基準位置。又，不考慮按壓構件90之彈性變形即可決定作為驅動源之馬達之旋轉量，因此馬達之位置控制容易。

然而，考慮按壓構件90之彈性變形決定作為驅動源之馬達之旋轉量之情形，以可彈性變形之材料製作定位機構之按壓構件90亦可。

相對於此，推進器機構之按壓構件90，可為具有不使被檢查體12破損之程度之硬度之樹脂般材料。因此，推進器機構之按壓構件90，為不會彈性變形之材料及會彈性變形之材料之任一者皆可。

被檢查體12藉由推進器機構80,84按壓於定位機構82,86之按壓構件90時，滾珠螺桿120與螺帽122係藉由該等間之摩擦力，只要在驅動源118不被驅動之情況下，可阻止定位機構82,86之按壓構件90之後退。藉此，用於定位之基準位置不會位移。

如上述，定位機構82,86之各驅動機構94將按壓構件 90在X方向或Y方向之前進終端位置維持成可變更及可解除。X方向、Y方向及繞θ軸線之對準結束之狀態係如圖16及圖17所示。

對準結束後，各推進器機構之驅動源係連接於壓力高之壓力流體源126。藉此，被檢查體12係被按壓構件90以較強力量挾持。被檢查體12在點燈測試結束之前，維持被按壓構件90強力挾持之狀態。

(關於探針單元)

如圖7、圖11等所示，各探針單元20包含沿著矩形之邊(X方向或Y方向)延伸且支承於單元支承機構22之板狀支承基座132，在支承基座132之長邊方向相距一間隔、安裝於支承基座132之複數個支承塊134，以可在Z方向移動之方式支承於各支承塊134之移動塊136，及安裝於各移動塊136之探針塊138。

支承基座132係藉由複數個螺桿構件(未圖示)可移除地安裝於單元支承機構22之上面。各支承塊134具有從其上端部突出至面板承載面34側之突出部。

各移動塊136係藉由設於支承基座132之前側(開口32之側)延伸於上下方向之軌道140、及以可移動於軌道140之上下方向之方式結合之導引件142，組裝於支承基座132，且可藉由在上下方向貫通支承塊134之上述突出部、螺合於移動塊136之調整螺桿144調整在上下方向之位置。

各探針塊138，如圖9及圖11所示，具有在X方向或Y方向相距一間隔排列之複數個接觸子146，且在將該等接 觸子146之針尖朝向面板承載部18之狀態下支承於移動塊136。

(單元支承機構)

如圖7、圖9、圖11至圖15等所示，單元支承機構22具備配置於面板承載部18之第1片部30a、延伸於第1片部30a之長邊方向之板狀移動體承載件150，配置於移動體承載件150之第1移動體152，以可移動於相對面板承載面34傾斜之方向之方式結合於第1移動體152之第2移動體154，安裝於第2移動體154之上端部之頂板156，使第1移動體152朝第1片部30a之寬度方向移動之探針移動機構158，及規定第2移動體154之前進終端位置(開口32側之位置)之制動件160。

移動體承載件150係藉由在移動體承載件150之寬度方向相距一間隔、平行延伸於移動體承載件150之長邊方向(X方向或Y方向)之狀態下設於第1片部30a之一對或複數對軌道162及以可移動於各軌道162之長邊方向之方式支承於各軌道162且組裝於移動體承載件150之下側之導引件164，結合於第1片部30a之上。因此，移動體承載件150可移動於第1片部30a之長邊方向。

第1移動體152係藉由在移動體承載件150(第1片部30a)之長邊方向相距一間隔、平行延伸於移動體承載件150之寬度方向之狀態下設於移動體承載件150之一對軌道166及以可移動於各軌道166之長邊方向之方式支承於各軌道166且組裝於第1移動體152之下側之導引件168，結合於 移動體承載件150之上。因此，第1移動體152可移動於移動體承載件150(或第1片部30a)之寬度方向。

第1及第2移動體152及154，斜向結合於面板承載面34，以使第2移動體154位於面板承載面34之側。因此，第1及第2移動體152及154，分別具有朝向斜下之面及朝向斜上之面。第2移動體154延伸於第1片部30a之長邊方向，且以愈上部愈接近面板承載面34之側之方式斜向延伸。

又，第2移動體154係藉由設於第1移動體152之朝向斜下之面、在第1片部30a之長邊方向相距一間隔、平行延伸於第1片部30a之寬度方向之一對軌道170及以可移動於各軌道170之長邊方向之方式結合於各軌道170且設於第2移動體154之朝向斜上之面之導引件172，結合於第1移動體152。因此，第2移動體154可移動於相對第1移動體152傾斜之方向。

頂板156具有在第1片部30a之長邊方向較長之長方形之形狀，且安裝於第2移動體154之頂部。探針單元20係安裝於頂板156之上，支承於第2移動體154。

各探針移動機構158係使用下述機構，亦即使用設置於移動體承載件150之上面之馬達174，在延伸於X方向(或Y方向)之狀態下連結於馬達174、藉由馬達174旋轉之滾珠螺桿176，螺合於滾珠螺桿176之螺帽178，及安裝於第2移動體154、支承螺帽178之結合具180之機構。

馬達174，係如脈衝馬達般可將旋轉角度位置維持成可解除之可控制位置之馬達，且透過拖架182支承於移動體承載件150。滾珠螺桿176係連結於馬達174之旋轉軸，且透過另一拖架184支承於移動體承載件150。

又，第1及第2移動體152及154係藉由以延伸於斜上方在上端開放之方式形成於第1移動體152之孔186、及從上方插入至孔186之桿件188，防止在朝向斜下之面及朝向斜上之面往垂直方向之相對位移，以及往第1及第2移動體152及154之長邊方向之相對位移。

第1及第2移動體152及154，係藉由配置於桿件188之周圍之壓縮螺旋彈簧190，以第1及第2移動體152及154在桿件188之長邊方向分離之方式相對彈壓。實際上，第1移動體152係藉由軌道166及導引件168防止往桿件188之長邊方向之位移，因此第2移動體154係藉由彈簧190往斜上方彈壓。

又，如圖11所示，單元支承機構22具備設於第1及第2移動體152及154之制動件191及193，以規定第2移動體154之上升終端位置。制動件191及193，以第2移動體154上升時彼此抵接、阻止第2移動體154之上升之方式，分別設於第1及第2移動體152及154之朝向斜下之面及朝向斜上之面。

在上述單元支承機構22，第1移動體152藉由馬達174之正轉移動向被檢查體12時，第2移動體154亦移動向相同方向。此時，使第2移動體154抗衡彈簧190之彈壓力位移至斜下方之位移產生機構192(參照圖7、圖11、圖13等)係設於第2移動機構154。

如圖7、圖11所示，位移產生機構192具備設於第2移動體154之被檢查體12之側之朝向斜下之面之字狀之拖架194、及以可繞延伸於第2移動體154之長邊方向之軸線旋轉及可抵接於制動件160之方式安裝於拖架194之輥196。

在單元支承機構22，第1及第2移動體152及154藉由馬達174移動向被檢查體12時，輥196抵接於制動件160。

第1及第2移動體152及154藉由馬達174進一步移動向被檢查體12時，第2移動體154之前進藉由制動件160阻止後，在軌道170及導引件172之嵌合部產生使第2移動體154位移至斜下方之位移力。

藉由上述位移力，隨著第1移動體152之進一步前進，第2移動體154移動至下方。其結果，探針單元20移動至下方，探針塊138所具備之接觸子之針尖按壓於被檢查體12之電極。

此時，被檢查體12，由於藉由按壓構件90以較強力量挾持且吸附於面板承載面34，因此即使接觸子之針尖按壓於被檢查體12之電極，亦可確實防止被檢查體12相對面板承載部18及探針單元20位移。

在上述狀態下，馬達174反轉時，在輥196抵接於制動件160之狀態下，第1移動體152相對面板承載面34及第2移動體154後退。此段期間，第2移動體154藉由彈簧190之力量相對第1移動體152上升，與被檢查體12在上方分離。

馬達174進一步反轉時，第1移動體152持續後退。然而，第2移動體154，由於制動件193抵接於制動件191而停止上升，在此狀態下與第1移動體152一起相對面板承載面34後退至退開位置。

如上述，第2移動體154及探針塊138，相對面板承載面34及被檢查體12，藉由馬達174之正轉前進及下降，在前進及下降之位置維持成可解除，又，藉由馬達174之反轉上升及後退，在退開位置維持成可解除。

在第2移動體154或探針塊138後退至退開位置之狀態下，對面板承載面34進行被檢查體12之更換。此時，由於被檢查體12從面板承載面34浮起且探針單元20從面板承載面34大幅後退，因此容易進行對面板承載面34之被檢查體12之交接。

(關於攝影機裝置)

如圖7、圖11至圖13等所示，各攝影機裝置24具備支承於探針單元20之支承基座132之倒L字狀之支承塊200、及以從上方拍攝標記部(未圖示)之方式支承於支承塊200之攝影機202。

標記部係設於被檢查體12之標記本身、為特定之接觸子之針尖等。攝影機202拍攝被檢查體12之標記部附近，為產生影像訊號之視訊攝影機般之區域感測器，可使用CCD區域感測器。

各攝影機202之輸出訊號，在未圖示之控制裝置進行影像處理，使用於求出被檢查體12相對測試裝置10、特別是面板承載部18或探針單元20等之位置偏移。求出之位置偏移係使用為使上述對準裝置驅動之訊號。

(關於角度調整裝置)

如圖15所示，各單元支承機構22進一步包含使移動體承載件150移動於其長邊方向，將相對面板承載部18之X方向(或Y方向)之位置維持成可解除之角度調整裝置。

上述角度調整裝置具備以使支承基座132可繞相對頂板156延伸於Z方向之軸線角度性旋轉之方式支承於頂板156之結合軸206，固定於頂板之長邊方向之端部上面之螺帽208，及螺合於螺帽208、將支承基座132之長邊方向之端部後面按壓至X方向(或Y方向)之一對調整螺桿210。

在上述角度調整裝置，使兩調整螺桿210對螺帽208之螺入量一者大一者小時，支承基座132繞結合軸206角度性旋轉，相對頂板156位移。因此，藉由調整兩調整螺桿210對螺帽208之螺入量，可調整支承基座132相對對應之移動片30之姿勢。

(關於單元位置調整裝置)

如圖12、圖13、圖15等所示，探針單元20藉由單元位置調整裝置相對面板承載部18之移動片30移動至X方向(或Y方向)，調整在X方向(或Y方向)之位置。

圖示之例中，單元位置調整裝置包含配置於第1片部30a之可控制位置之馬達212、藉由馬達212旋轉之滾珠螺桿214、螺合於滾珠螺桿214之螺帽216、及結合於螺帽216與移動體承載件150之結合具218。

馬達212正轉時，藉由螺帽216移動於X方向(或Y方向)，移動體承載件150移動於相同方向。馬達212反轉時，藉由螺帽216移動於Y方向(或X方向)，移動體承載件150移動於相同方向。

藉此，移動體承載件150或探針單元20相對移動片30之X方向(或Y方向)之位置被調整，可解除地維持在該位置，因此能使各接觸子146之針尖與被檢查體12之電極確實接觸。

(關於測試裝置之動作)

如圖22(A)所示，測試裝置10，在各探針單元20、各移動體92、各第2移動體154後退之狀態下，從上方進行對面板承載部18之被檢查體12之交接。

接著，如圖22(B)所示，各按壓構件90前進進行對準，且探針塊138前進各接觸子之針尖移動至被檢查體12之電極上方。此段期間，推進器機構80,84分別藉由低流體壓力作動，防止被檢查體12之破損。

接著，如圖22(C)所示，各探針塊138下降各接觸子之針尖按壓於被檢查體12之電極。此段期間，推進器機構80,84分別藉由高流體壓力作動，防止被檢查體12之位移。在此狀態下，使被檢查體12通電，進行被檢查體12之點燈測試。

上述點燈測試，為作業員從上方目視被檢查體12之目視點燈測試亦可，為使用視訊攝影機般區域感測器且在控制裝置進行影像處理之自動點燈測試亦可。

點燈測試之期間，被檢查體12係藉由對準裝置保持，且藉由接觸子146按壓於面板承載面34，因此不將開放部48連接於減壓槽56亦可。此時，不需要減壓槽56。

結束電氣測試後，各探針單元20、各第1移動體152、各第2移動體154後退至圖22(A)所示之位置，被檢查體12從面板承載面34浮起後，進行對面板承載部18之被檢查體12之交接。

(另一實施例)

參照圖24，測試裝置250，作為使面板承載部18及探針單元20移動於彼此接近分離方向之上下移動機構，替代單元支承機構22，使用以使面板承載部18移動於上下方向之方式藉由支柱26支承台座16之Z載台252。

Z載台252係所謂一般之升降機構，替代平台14而由裝置之架台25所支承。背光單元28係裝載於Z載台252。探針單元20係透過使探針單元20在XY面內移動之探針載台254支承於架台25。

測試裝置250，使面板承載部18藉由Z載台252相對探針單元20上下移動，除了使各探針單元20藉由探針載台254在XY面內移動之點外，與測試裝置10作用相同且同樣地使用。

(對準之另一實施例)

替代測試裝置250之Z載台252、或除了Z載台外，與習知測試裝置相同，具備使面板承載部18移動於X、Y或Z方向之機構、繞θ軸線角度性旋轉之機構等之情形，探針 單元20與被檢查體12之對準藉由上述以外之方法進行亦可。以下，針對此種對準之例進行說明。

具備θ移動機構之情形，在藉由推進器機構80,84及定位機構82,86保持被檢查體12之狀態下，使被檢查體12繞θ軸線角度性旋轉，且使面板承載部18與兩探針單元20一起藉由移動片移動機構74般適當之機構移動於X方向或Y方向。

具備θ移動機構與Y移動機構之情形，如圖25所示，在藉由推進器機構80,84及定位機構82,86保持被檢查體12之狀態下，使被檢查體12藉由θ移動機構繞θ軸線角度性旋轉，且藉由Y移動機構使被檢查體12相對兩探針單元20位移於Y方向，接著使兩探針單元20相對被檢查體12移動於X方向。

具備θ移動機構與X移動機構之情形，在藉由推進器機構80,84及定位機構82,86保持被檢查體12之狀態下，使被檢查體12藉由θ移動機構繞θ軸線角度性旋轉，且藉由X移動機構使被檢查體12相對兩探針單元20位移於X方向，接著使兩探針單元20相對被檢查體12移動於Y方向。

具備θ移動機構與XY移動機構之情形，如圖26所示，在藉由推進器機構80,84及定位機構82,86保持被檢查體12之狀態下，使被檢查體12藉由θ移動機構繞θ軸線角度性旋轉，且藉由XY移動機構使被檢查體12相對兩探針單元20位移於X方向。此時，不使兩探針單元20位移亦可。

替代在面板承載面34之對向之一對邊中一邊、將一對推進器機構84在對應邊之延伸方向相距一間隔配置，如圖27所示配置單一推進器機構84亦可，或雖未圖示，配置三個以上之推進器機構84亦可。

又，替代在面板承載面34之對向之一對邊中一邊、將一對推進器機構84在對應邊之延伸方向相距一間隔配置，如圖28所示，具備在對應邊之方向相距一間隔之複數個按壓構件90、將該等按壓構件90在Y方向(或X方向)相距一間隔支承之支承構件260、使支承構件260在X方向或Y方向位移之驅動源118、及以能使支承構件260繞延伸於Z方向之軸線旋轉之方式連結支承於驅動源118之樞軸銷262亦可。

圖28所示之實施例中，各按壓構件90係支承於上述移動體92，且移動體92係支承於支承構件260。

(結合機構之另一實施例)

參照圖29，結合機構之另一實施例，使用三對結合構件270,272,274。

各結合構件270，與圖5所示之結合構件68相同，以可移動於Y方向之方式結合於設在第1滑件64之一對軌道72，且以可移動於X方向之方式結合於設在第2滑件66之一對軌道72。

各結合構件272，以可移動於X方向之方式結合於設在第2滑件66之另一對軌道72。各結合構件274，以可移動於Y方向之方式結合於設在第1滑件64之一對軌道72，且 以無法移動之方式安裝於延伸於Y方向之移動片30。

延伸於Y方向之各移動片30，在設於其下面之一對軌道276，以可移動於Y方向之方式結合於結合構件270，且以無法移動之方式安裝於結合構件274。

延伸於X方向之各移動片30，在設於其下面之一對軌道278，以可移動於X方向之方式結合於結合構件272，且藉由以無法移動之方式設於下面之一對輔助結合構件280以可移動於X方向之方式結合於第2滑件66之軌道72。

在結合機構之另一實施例，一對第1滑件64在彼此接近分離方向(X方向)移動時，透過結合構件270使連結於第1滑件64之延伸於Y方向之一側移動片30與結合構件68一起在彼此接近分離方向(X方向)移動，且使藉由上述鳩尾槽與鳩尾座等之結合手段連結於該一側移動片30之延伸於X方向之另一側移動片30隨著該一側移動片30之移動移動於X方向。

又，一對第2滑件66在彼此接近分離方向(Y方向)移動時，透過結合構件272使連結於第2滑件66之延伸於X方向之該另一側移動片30與第2滑件66一起在彼此接近分離方向(Y方向)移動，且使藉由上述鳩尾槽與鳩尾座等之結合手段連結於該另一側移動片30之延伸於Y方向之該一側移動片30隨著該另一側移動片30之移動移動於長邊方向(Y方向)。

因此，四個移動片30以開口32之尺寸成為圖3及圖6所示之尺寸之方式移動。其結果，可依據待測試之被檢查 體12之尺寸變更開口32或面板承載面34之尺寸。

單元支承機構22、結合機構62、移動片移動機構74、定位機構82,86、探針移動機構158等，作為使二個構件相對移動之機構之驅動源之馬達，為旋轉式馬達及線性馬達之任一者皆可。

同樣地，各推進器機構之驅動源，在旋轉力或推進力小於定位機構之馬達之範圍內，為可二階段變更之旋轉式馬達及線性馬達之任一者皆可。

然而，壓縮空氣之體積隨壓力變化，因此作為推進器機構之驅動源，使用使用壓縮空氣之汽缸機構時，在對準時，可大幅減低按壓構件碰撞被檢查體時之衝擊。因此，較佳為，使用使用壓縮空氣之汽缸機構。

又，替代使用上述馬達(電動機)，特別是定位機構82,86之驅動源，為使用滾珠螺桿120與螺帽122之機構、使用齒輪齒條之機構等，且使用使該等機構驅動之油壓馬達般其他驅動源亦可。

面板承載部18具有無法變更開口32之尺寸之構造，例如相同尺寸之被檢查體專用之構造亦可。又，定位機構之構造亦可進行各種變更。

如上述實施例，替代二種類之壓力流體源124,126、閥裝置128及閥驅動裝置129，使用可藉由電壓控制輸出適當之壓力流體之電空調整器亦可。此時，電空調整器將彼此不同之至少二個壓力流體選擇性供應至推進器機構80,84之驅動機構之驅動源118。

本發明並不限於上述實施例，在未脫離申請專利範圍記載之旨趣之範圍內，可進行各種變更。

10,250．．．測試裝置

12．．．平板狀被檢查體

14．．．平台

16．．．台座

16a,32．．．開口

18．．．面板承載部

20．．．探針單元

22．．．單元支承機構

24．．．攝影機裝置

25．．．架台

26．．．支柱

28．．．背光單元

30．．．移動片

30a,30b．．．第1及第2片部

34．．．面板承載面

36．．．浮起裝置

40．．．球體

42．．．彈簧

48．．．開放部

50．．．連通孔

52．．．閥件

54．．．管件

56．．．減壓槽

58．．．閥驅動裝置

60．．．壓力流體源

62．．．結合機構

64,66．．．第1及第2滑件

68,270,272,274,276．．．結合構件

70,72,276,278．．．軌道

74．．．移動片移動機構

80,84．．．推進器機構

82,86．．．定位機構

90．．．按壓構件

92．．．移動體

94．．．驅動機構

96．．．支承板

98．．．安裝銷

114．．．滑件

116．．．連結板

118．．．驅動源

120．．．滾珠螺桿

122．．．螺帽

124,126．．．壓力流體源

128．．．閥裝置

129．．．閥驅動裝置

130．．．馬達驅動裝置

132．．．支承基座

134．．．支承塊

136．．．移動塊

138．．．探針塊

146．．．接觸子

150．．．移動體承載件

152,154．．．第1及第2移動體

156．．．頂板

158．．．探針移動機構

160．．．制動件

162,166,170．．．軌道

164,168,172．．．導引件

174．．．馬達

176．．．滾珠螺桿

178．．．螺帽

180．．．結合具

186．．．孔

188．．．桿件

190．．．壓縮螺旋彈簧

192．．．位移產生機構

194．．．拖架

196．．．輥

200．．．支承塊

202．．．攝影機

206．．．結合軸(角度調整裝置)

208．．．螺帽(角度調整裝置)

210．．．調整螺桿(角度調整裝置)

212．．．馬達(單元位置調整裝置)

214．．．滾珠螺桿(單元位置調整裝置)

216．．．螺帽(單元位置調整裝置)

218．．．結合具(單元位置調整裝置)

252．．．Z載台

260．．．支承構件

262．．．樞軸銷

圖1係顯示本發明之測試裝置之一實施例的立體圖。

圖2係圖1所示之測試裝置的前視圖。

圖3係圖1所示之測試裝置的俯視圖。

圖4係沿圖3中4-4線的截面圖。

圖5係為了說明結合機構及移動片移動機構之一實施例，將面板承載部及承接其之台座分解顯示的立體圖。

圖6係將圖1所示之測試裝置中探針單元除去顯示的俯視圖。

圖7係沿圖3中7-7線的截面圖，為省略面板承載部之下方構件的截面圖。

圖8係將定位機構之一實施例與面板承載部之移動片一起顯示的立體圖。

圖9係沿圖3中9-9線的截面圖，為省略面板承載部之下方構件的截面圖。

圖10係將推進器機構之一實施例與面板承載部之移動片一起顯示的立體圖。

圖11係將探針單元及其支承機構與面板承載部之移動片一起顯示的前視圖。

圖12係用以說明探針單元與被檢查體之關係的立體圖。

圖13係將探針單元及其支承機構分解顯示的立體圖。

圖14係從X方向中一方向觀察單元支承機構之一實施例的立體圖。

圖15係從與圖14相反之方向觀察圖14之單元支承機構的立體圖。

圖16係顯示進行定位時之推進器機構與定位機構之關係的圖。

圖17係顯示進行定位及接觸時之推進器機構、定位機構、及被檢查體之關係，為將一部分截面顯示的前視圖。

圖18係顯示面板承載部與浮起裝置之關係之一實施例的立體圖。

圖19係顯示浮起裝置之一實施例的截面圖。

圖20係用以說明圖1所示之測試裝置進行之定位的圖，為說明使被檢查體在X方向位移之狀態的圖。

圖21係用以說明圖1所示之測試裝置進行之定位的圖，為說明使被檢查體繞θ軸線角度性旋轉之狀態的圖。

圖22係說明探針單元之位移狀態的圖，(A)係顯示探針單元位於退開位置時之狀態，(B)係顯示探針單元位於中間位置時之狀態，(C)係顯示探針單元位於接觸位置時之狀態。

圖23係將面板承載部之開放部之一實施例與浮起裝置之另一實施例一起顯示的圖。

圖24係顯示本發明之測試裝置之另一實施例的圖。

圖25係用以說明另一定位方法的圖。

圖26係用以說明又一定位方法的圖。

圖27係顯示定位裝置之另一實施例的圖。

圖28係顯示定位裝置之又一實施例的圖。

圖29係為了說明結合機構之另一實施例，將面板承載部及承接其之台座分解顯示的立體圖。

10．．．測試裝置

18．．．面板承載部

22．．．單元支承機構

24．．．攝影機裝置

84．．．推進器機構

86．．．定位機構

132．．．支承基座

134．．．支承塊

150．．．移動體承載件

152,154．．．第1及第2移動體

156．．．頂板

158．．．探針移動機構

160．．．制動件

Claims (32)

1. 一種平板狀被檢查體之測試裝置，其包含具有承接平板狀被檢查體之矩形面板承載面之面板承載部、具備按壓於該被檢查體之電極之複數個接觸子之探針單元、及使該面板承載部所承接之被檢查體相對該接觸子定位之對準裝置；該對準裝置，包含分別配置在該面板承載面之對向之一對邊中一邊及另一邊之第1推進器機構及第1定位機構、及分別配置在該面板承載面之對向之另一對邊中一邊及另一邊之第2推進器機構及第2定位機構；該推進器機構及該定位機構分別具備位於該面板承載面外側之至少一個按壓構件、及使該按壓構件在X方向或Y方向位移之至少一個驅動機構；各定位機構之該驅動機構，將該按壓構件在該X方向或Y方向之位置維持成可解除。
2. 如申請專利範圍第1項之測試裝置，其中，各定位機構包含可控制旋轉角度位置之馬達。
3. 如申請專利範圍第1或2項之測試裝置，其中，各定位機構之該按壓構件，係以至少在其移動方向不易彈性變形或不會彈性變形之材料製作。
4. 如申請專利範圍第1項之測試裝置，其中，各定位機構之該驅動機構包含驅動源，及藉由該驅動源驅動、將該按壓構件在該X方向或Y方向之位置與該驅動源一起維持成可解除之機構。
5. 如申請專利範圍第4項之測試裝置，其中，各定位機構之該維持機構具備從該驅動源延伸於該X方向或Y方向、藉由該驅動源旋轉之螺桿，及螺合於該螺桿、使該按壓構件在該X方向或Y方向位移之螺帽。
6. 如申請專利範圍第1項之測試裝置，其中，各推進器機構之該驅動機構之驅動源包含使用壓力流體使該按壓構件進退之汽缸機構。
7. 如申請專利範圍第1項之測試裝置，其進一步包含壓力彼此不同之第1及第2壓力流體源、及將該第1及第2壓力流體源之壓力流體選擇性供應至該推進器機構之該驅動機構之驅動源之閥裝置。
8. 如申請專利範圍第1項之測試裝置，其進一步包含將壓力彼此不同之至少二個壓力流體選擇性供應至該推進器機構之該驅動機構之驅動源之電空調整器。
9. 如申請專利範圍第1項之測試裝置，其中，該推進器機構及該定位機構分別進一步具備支承該按壓構件、藉由該驅動機構驅動而在該X方向或Y方向移動之配置於該面板承載部之移動體。
10. 如申請專利範圍第9項之測試裝置，其中，該按壓構件係以可繞延伸於Z方向之軸線旋轉之方式支承於該移動體。
11. 如申請專利範圍第1項之測試裝置，其進一步包含使該面板承載部移動於Z方向之Z移動機構。
12. 如申請專利範圍第1項之測試裝置，其進一步包含配置於該面板承載部、當藉由該對準裝置使該被檢查體位移時使該被檢查體從該面板承載面浮起之浮起裝置。
13. 如申請專利範圍第12項之測試裝置，其中，該浮起裝置包含一部分可相對該面板承載面突出及退縮、配置於該面板承載部之球體，及以使該球體之一部分從該面板承載面露出之方式彈壓之彈簧。
14. 如申請專利範圍第1項之測試裝置，其中，該面板承載部包含在該面板承載面開放之開放部、及將該開放部選擇性連接於壓力流體之供應源及減壓槽之至少一者之閥件。
15. 如申請專利範圍第1項之測試裝置，其進一步包含配置有該面板承載部、具有矩形之第1開口之台座；該面板承載部具備共同形成能與該第1開口對向之相似於該第1開口之矩形之第2開口且共同形成該面板承載面、以可改變該第2開口之大小之方式配置於該台座之四個移動片。
16. 如申請專利範圍第15項之測試裝置，其中，一對移動片在Y方向相距一間隔平行延伸於X方向，另一對移動片在X方向相距一間隔平行延伸於Y方向；該等移動片共同形成該第2開口且共同形成該面板承載面，且以可改變該第2開口之大小之方式配置於該台座；相鄰之移動片，係以不妨礙往Y方向或X方向之獨立移動之方式結合。
17. 如申請專利範圍第1項之測試裝置，其進一步包含配置有該面板承載部、具有矩形之第1開口之台座，及配置於該台座與該面板承載部之間、以能使該移動片在該X方向及Y方向移動之方式結合於該台座之結合機構。
18. 如申請專利範圍第17項之測試裝置，其進一步包含使各移動片透過該結合機構在該X方向或Y方向移動、配置於該台座之移動片移動機構。
19. 如申請專利範圍第18項之測試裝置，其中，各移動片移動機構包含使該移動片移動之可控制旋轉角度位置之馬達。
20. 如申請專利範圍第1項之測試裝置，其進一步包含使該面板承載部及該探針單元在彼此接近分離方向移動之上下移動機構。
21. 如申請專利範圍第1項之測試裝置，其進一步包含以從上方拍攝該被檢查體之標記部之方式支承於該探針單元之攝影機裝置。
22. 如申請專利範圍第1項之測試裝置，其進一步包含支承該面板承載部之架台；該探針單元係支承於該架台或該面板承載部。
23. 如申請專利範圍第1項之測試裝置，其進一步包含將該探針單元支承於該面板承載部之單元支承機構；該單元支承機構具備以可在該X方向或Y方向移動之方式承接於該面板承載部、延伸於Y方向或X方向之第1移動體，以可斜向移動於該X方向或Y方向與Z方向之方式結合於該第1移動體、延伸於該Y方向或X方向之第2移動體，規定該第2移動體之前進終端位置之制動件，及使該第1移動體在該X方向或Y方向移動、藉此使該第2移動體在該X方向或Y方向移動且在Z方向位移之探針移動機構；該探針單元係支承於該第2移動體。
24. 如申請專利範圍第23項之測試裝置，其中，該單元支承機構進一步包含延伸於該Y方向或X方向、以在該面板承載部可在該Y方向或X方向移動之方式支承於該面板承載部、使該第1移動體支承於該面板承載部之移動體承載件，及使該移動體承載件在其長邊方向移動、將在該Y方向或X方向上相對該面板承載部之位置維持成可解除之單元位置調整裝置。
25. 如申請專利範圍第23項之測試裝置，其中，該探針單元進一步包含沿著該矩形之邊延伸且支承於該單元支承機構之支承基座，及在該支承基座之長邊方向相距一間隔、以可在Z方向移動之方式支承於該支承基座、支承複數個該接觸子之探針塊。
26. 如申請專利範圍第25項之測試裝置，其中，該支承基座係以可繞延伸於Z方向之軸線角度性旋轉之方式支承於單元支承機構；該探針單元進一步具備使該支承基座相對該面板承載部角度性旋轉、將該面板承載部與該探針單元繞延伸於該Z方向之軸線之位置關係維持成可解除之角度調整機構。
27. 如申請專利範圍第23項之測試裝置，其中，各探針移動機構包含選擇性使該探針塊位移於從該面板承載面後退之退開位置、藉由該對準裝置定位被檢查體之對準位置、使該接觸子接觸被檢查體之電極之接觸位置並維持成可解除之可控制位置之馬達。
28. 如申請專利範圍第1項之測試裝置，其中，該探針單元係分別配置於與該矩形之相鄰二邊對應之部位。
29. 如申請專利範圍第1項之測試裝置，其中，該對準裝置包含在該面板承載面之對向之一對邊中一邊及另一邊分別於對應邊之延伸方向相距一間隔配置之複數個該第1推進器機構及複數個該第1定位機構。
30. 如申請專利範圍第1項之測試裝置，其中，該對準裝置包含在該面板承載面之對向之一對邊中一邊及另一邊分別於對應邊之延伸方向相距一間隔配置之一對該第1推進器機構及一對該第1定位機構。
31. 如申請專利範圍第1項之測試裝置，其中，該對準裝置包含在該面板承載面之對向之一對邊中該另一邊於對應邊之延伸方向相距一間隔配置之一對該第1定位機構。
32. 如申請專利範圍第1項之測試裝置，其中，該第1推進器機構具備於對應邊之方向相距一間隔之複數個該按壓構件；該第1推進器機構之該驅動機構具備使該按壓構件在X方向或Y方向位移之驅動源，及將該複數個按壓構件在Y方向或X方向相距一間隔支承、以可繞延伸於Z方向之軸線旋轉之方式支承於該驅動源之支承構件。