JP7058159B2 - 位置決め機構および検査装置 - Google Patents
位置決め機構および検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7058159B2 JP7058159B2 JP2018062836A JP2018062836A JP7058159B2 JP 7058159 B2 JP7058159 B2 JP 7058159B2 JP 2018062836 A JP2018062836 A JP 2018062836A JP 2018062836 A JP2018062836 A JP 2018062836A JP 7058159 B2 JP7058159 B2 JP 7058159B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- positioning
- inspection
- pressing
- pressing member
- positioning mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 84
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 17
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 3
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
Description
2 積層体
2a 導電体
2b 位置決め基準部
10 ベース部
11 開口
12、13 レール
14、15 ベースプレート
20 検査ユニット
21、21c 検査部品
21a 貫通孔
21b 検査ピン
22 シャフト
23 上下動機構部
24 弾性体
30 位置決め機構
31 押圧部材
31a レール部
31b 当接部
31c 押圧部
31d ばね当接部
32 位置決め部材
32a レール部
32b 当接部
32c 被押圧部
32d、32e ばね当接部
33 保持部材
33a 軸部
33b 当接部
33c 把持部
34、35 ばね
Claims (7)
- 導電体と絶縁体とが積層されてなる積層体の導通状態を複数の検査部品を用いて検査する際に、前記積層体に対して前記複数の検査部品を位置決めする位置決め機構であって、
基準位置に達するまで第一方向に移動し、前記基準位置に達した後、前記第一方向とは逆の第二方向に移動する押圧部材と、
前記押圧部材が前記第一方向へ移動する際に、前記押圧部材に押圧されて前記第一方向に移動し、前記複数の検査部品を押圧して前記第一方向へ移動させ、前記積層体に対する前記複数の検査部品の位置決めを行う位置決め部材と、
前記押圧部材が前記第二方向へ移動する際に、前記位置決め部材の前記第二方向への移動を妨げる保持部材と、を備える、
位置決め機構。 - 前記押圧部材は、前記基準位置において前記積層体と当接する、
請求項1に記載の位置決め機構。 - 前記保持部材は、前記位置決め部材と当接することで前記位置決め部材の位置を保持するねじ式の部材である、
請求項1または2に記載の位置決め機構。 - 前記押圧部材は、前記位置決め部材を押圧する押圧部を有し、
前記位置決め部材は、前記押圧部に押圧される被押圧部を有する、
請求項1ないし3のいずれか一項に記載の位置決め機構。 - 前記押圧部材と前記位置決め部材との間に、前記押圧部を前記被押圧部から離間させる方向へ付勢する第一の付勢部材が設けられている、
請求項4に記載の位置決め機構。 - 前記位置決め部材を前記複数の検査部品から離間させる方向へ付勢する第二の付勢部材が設けられている、
請求項1ないし5のいずれか一項に記載の位置決め機構。 - 請求項1に記載の位置決め機構を有する、
検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018062836A JP7058159B2 (ja) | 2018-03-28 | 2018-03-28 | 位置決め機構および検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018062836A JP7058159B2 (ja) | 2018-03-28 | 2018-03-28 | 位置決め機構および検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019174283A JP2019174283A (ja) | 2019-10-10 |
JP7058159B2 true JP7058159B2 (ja) | 2022-04-21 |
Family
ID=68168630
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018062836A Active JP7058159B2 (ja) | 2018-03-28 | 2018-03-28 | 位置決め機構および検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7058159B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7169782B2 (ja) * | 2018-06-12 | 2022-11-11 | 株式会社エンプラス | 位置調整機構および検査装置 |
JP7075835B2 (ja) * | 2018-06-28 | 2022-05-26 | 株式会社エンプラス | 検査ユニットおよび検査装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000338164A (ja) | 1999-05-28 | 2000-12-08 | Nidec-Read Corp | 基板検査装置 |
JP2001264375A (ja) | 2000-03-17 | 2001-09-26 | Enplas Corp | 表示パネル検査用ソケット |
WO2010113257A1 (ja) | 2009-03-31 | 2010-10-07 | 富士通株式会社 | 熱電変換モジュール及びその修復方法 |
JP2011085574A (ja) | 2009-05-01 | 2011-04-28 | Micronics Japan Co Ltd | 平板状被検査体の試験装置 |
JP2012091255A (ja) | 2010-10-26 | 2012-05-17 | Sharp Corp | 位置決め治具 |
JP2014135379A (ja) | 2013-01-10 | 2014-07-24 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 熱電モジュールおよびその製造方法ならびに熱電装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08313815A (ja) * | 1995-05-23 | 1996-11-29 | Olympus Optical Co Ltd | 基板部材の位置決め保持装置 |
-
2018
- 2018-03-28 JP JP2018062836A patent/JP7058159B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000338164A (ja) | 1999-05-28 | 2000-12-08 | Nidec-Read Corp | 基板検査装置 |
JP2001264375A (ja) | 2000-03-17 | 2001-09-26 | Enplas Corp | 表示パネル検査用ソケット |
WO2010113257A1 (ja) | 2009-03-31 | 2010-10-07 | 富士通株式会社 | 熱電変換モジュール及びその修復方法 |
JP2011085574A (ja) | 2009-05-01 | 2011-04-28 | Micronics Japan Co Ltd | 平板状被検査体の試験装置 |
JP2012091255A (ja) | 2010-10-26 | 2012-05-17 | Sharp Corp | 位置決め治具 |
JP2014135379A (ja) | 2013-01-10 | 2014-07-24 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 熱電モジュールおよびその製造方法ならびに熱電装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019174283A (ja) | 2019-10-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7118386B2 (en) | Socket for semiconductor device | |
US8570704B2 (en) | Substrate holder, substrate holder unit, substrate transport apparatus, and substrate bonding apparatus | |
JP7058159B2 (ja) | 位置決め機構および検査装置 | |
US9252515B2 (en) | Thin connector | |
TW202207543A (zh) | 連接器組件 | |
JP7042037B2 (ja) | 検査冶具の製造方法 | |
JP4326495B2 (ja) | 半導体基板用検査装置の組立方法 | |
JP6286371B2 (ja) | プローブユニット用ベース部材、プローブユニットおよびプローブユニット用ベース部材の製造方法 | |
JP2007109534A (ja) | Icソケット | |
JP5159670B2 (ja) | センタリング装置 | |
KR101176912B1 (ko) | 반도체칩 패키징 공정에서 사용되는 테이프들간을 접합시키는 접합장치 및 접합방법 | |
KR102429728B1 (ko) | 시험용 캐리어 | |
US12099077B2 (en) | Socket | |
KR102270396B1 (ko) | 반도체 칩 픽업 장치 | |
TW202136791A (zh) | 檢查治具、基板檢查裝置以及檢查裝置 | |
JP2020085460A (ja) | 基板検査装置、及び基板の位置決め方法 | |
JP7131813B2 (ja) | 可動プレート移動ガイド付きワーククランプトレイ | |
US11971320B2 (en) | Inspection jig | |
JP2020144039A (ja) | Icトレイおよびテスト治具 | |
JP2019215210A (ja) | 位置調整機構および検査装置 | |
JP6341693B2 (ja) | 基板保持装置および基板検査装置 | |
US10483743B2 (en) | Cable holding device | |
KR101446959B1 (ko) | 반도체용 패키지리드의 전단력 시험장치 | |
JP2019124575A (ja) | トレイ、パッケージ検査装置及び検査方法 | |
CN108306162B (zh) | 固定设备 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20190617 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20191030 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210205 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20211213 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211221 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220216 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220315 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220411 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7058159 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |