JP7169782B2

JP7169782B2 - 位置調整機構および検査装置

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Publication number: JP7169782B2
Application number: JP2018111886A
Authority: JP
Inventors: 知和細井
Original assignee: Enplas Corp
Current assignee: Enplas Corp
Priority date: 2018-06-12
Filing date: 2018-06-12
Publication date: 2022-11-11
Anticipated expiration: 2038-06-12
Also published as: JP2019215210A

Description

本開示は、位置調整機構および検査装置に関する。

従来、絶縁体と導電体とを交互に重ねて形成された積層体が知られている。

特開２０１４－１３５３７９号公報

積層体は、複数の板状部品を積層して形成される。そのため、積層方向と直交する方向への寸法誤差が大きくなる傾向にある。絶縁体と導電体とを交互に重ねて形成された積層体における導電体の導通検査を、積層体の積層方向に並べられた複数の検査部品を用いて行う場合、積層体に対してこれら複数の検査部品を適切に位置調整することが要求される。

本開示の目的は、検査対象に対する検査部品の位置調整を適切に行うことである。

本開示の一形態は、位置調整の基準となるシャフト部材と、前記シャフト部材が相対回転可能に挿通され、かつ、前記シャフト部材と同軸の雄ねじ部を有する筒部材と、突出部が設けられたベース部材と、前記ベース部材に対して前記シャフト部材の軸方向と直交する方向に移動可能に、前記ベース部材に載置され、前記雄ねじ部に螺合する雌ねじ部を有するプレート部材と、前記突出部が挿通される貫通孔と、前記筒部材が挿通される貫通孔とを有し、前記突出部の軸回りに回転して前記筒部材を押圧する調整部材と、を備える、位置調整機構である。

また、本開示の他の一形態は、上記位置調整機構と、上記プレート部材が載置されたベース部材に載置され、導電体と絶縁体とが積層されてなる積層体の導通状態を検査する検査部と、を備える、検査装置である。
また、本開示のさらに他の形態は、突出部が設けられたベース部材と、前記ベース部材を貫通し、位置調整の基準となる第一シャフト部材、前記第一シャフト部材が相対回転可能に挿通され、かつ、前記第一シャフト部材と同軸の第一雄ねじ部を有する第一筒部材、および、前記ベース部材に固定され、かつ、前記第一雄ねじ部に螺合する第一雌ねじ部を有する第一プレート部材、を備える第一の位置調整機構と、前記ベース部材を貫通し、位置調整の基準となる第二シャフト部材、前記第二シャフト部材が相対回転可能に挿通され、かつ、前記第二シャフト部材と同軸の第二雄ねじ部を有する第二筒部材、前記ベース部材に載置され、前記ベース部材に対して前記第二シャフト部材の軸方向と直交する方向に移動可能であり、かつ、前記第二雄ねじ部に螺合する第二雌ねじ部を有する第二プレート部材、および、前記突出部が挿通可能な貫通孔と、前記第二筒部材が挿通可能な貫通孔とを有し、前記突出部の軸回りに回転して前記第二筒部材を押圧する調整部材、を備える第二の位置調整機構と、前記ベース部材に載置され、導電体と絶縁体とが積層されてなる積層体の導通状態を検査する検査部と、を有し、前記第一シャフト部材および前記第二シャフト部材は、前記積層体が収納されるケースに固定される、検査装置である。

本開示によれば、検査対象に対する検査部品の位置調整を適切に行うことができる。

実施形態に係る検査装置の一例を模式的に示す平面図実施形態に係る検査装置の一例を模式的に示す正面図ベース部の一例を模式的に示す平面図図１ＣのＡ－Ａ断面図位置調整機構の一例を模式的に示す平面図図２ＡのＢ－Ｂ断面図シャフトの一例を示す正面図高さ調整ノブの一例を示す断面図固定ナットの一例を示す断面図保持プレートの一例を示す平面図調整プレートの一例を示す平面図調整プレートの一例を示す正面図押さえプレートの一例を示す平面図位置調整が行われた状態を模式的に示す平面図位置調整が行われた状態を模式的に示す正面図

以下、本開示の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は一例であり、本開示はこの実施形態により限定されるものではない。以下で説明する実施形態の構成要素は適宜組み合わせることができる。また、一部の構成要素を用いない場合もある。

図１Ａ、図１Ｂ、図１Ｃ、図１Ｄ、図２Ａ、図２Ｂ、図９Ａおよび図９Ｂには、説明の便宜上、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸からなる３次元直交座標系が描かれている。Ｘ軸の正方向を＋Ｘ方向、Ｙ軸の正方向を＋Ｙ方向、Ｚ軸の正方向を＋Ｚ方向（上方向）とそれぞれ定義する。

図１Ａおよび図１Ｂを参照して、検査装置１について説明する。図１Ａは、実施形態に係る検査装置１の一例を模式的に示す平面図である。図１Ｂは、実施形態に係る検査装置１の一例を模式的に示す正面図である。

図１Ａおよび図１Ｂに示すように、検査装置１は、検査対象である積層体２が収納されたケース３の上に載置されるベース部１０と、検査ユニット２０と、位置調整機構３０とを備える。

図１Ｃおよび図１Ｄを参照して、ベース部１０について説明する。図１Ｃは、ベース部１０の一例を模式的に示す平面図である。図１Ｄは、図１ＣのＡ－Ａ断面図である。

図１Ｃおよび図１Ｄに示すように、ベース部１０は、ＸＹ平面に延在する例えばアルミ等の金属材料からなる板状部品である。ベース部１０は、開口１１と、孔１２と、孔１３と、複数の円柱部品１４と、複数の円柱部品１５と、を備える。

開口１１は、ベース部１０の概略中央部に設けられている。開口１１は、ベース部１０をＺ方向に貫通している。開口１１には検査ユニット２０の検査部品２１（後述する。）が配置される。検査部品２１は、開口１１内を上下に移動する。

孔１２は、開口１１の－Ｘ方向側に設けられている。孔１２は、ベース部１０をＺ方向に貫通している。孔１３は、開口１１の＋Ｘ方向側に設けられている。孔１３は、ベース部１０をＺ方向に貫通している。孔１２および孔１３には、位置調整機構３０のシャフト３１（後述する。）および高さ調整ノブ３２（後述する。）が挿通される。

円柱部品１４は、孔１２を取り囲むようにして設けられ、ベース部１０の上面から＋Ｚ方向に延出している。本実施形態では、円柱部品１４は等間隔に４個設けられている。それぞれの円柱部品１４の先端（＋Ｚ端）には、雄ねじ部１４ａが設けられている。

円柱部品１５は、孔１３を取り囲むようにして設けられ、ベース部１０の上面から＋Ｚ方向に延出している。本実施形態では、円柱部品１５は等間隔に４個設けられている。それぞれの円柱部品１５の先端（＋Ｚ端）には、雄ねじ部１５ａが設けられている。

円柱部品１４および円柱部品１５には、位置調整機構３０の保持プレート３４（後述する。）、押さえプレート３６（後述する。）等が挿通される。

図１Ａおよび図１Ｂに示すように、検査ユニット２０は、複数（本実施形態では５個）の検査部品２１と、Ｘ方向に並んだ検査部品２１をＸ方向に貫通するシャフト２２と、シャフト２２の両端を支持する一対の上下動機構部２３とを備える。

検査部品２１は、例えば樹脂等の絶縁材料からなる部品である。検査部品２１には、Ｘ方向に貫通する貫通孔（不図示）が設けられている。この貫通孔内には、不図示のブシュが設けられていてもよい。検査部品２１は、シャフト２２に対して回動可能である。検査部品２１同士は、それぞれ、一定間隔で配置されている。

検査部品２１の下部（すなわち、－Ｚ側部）には、複数の検査ピン２１ｂが設けられている。検査ピン２１ｂは、導電体である。これらの検査ピン２１ｂをそれぞれ積層体２の導電体２ａと接触させることで、積層体２の導電体２ａの導通検査が行われる。導通検査の結果は、不図示の信号線により、不図示の検査制御部に送られる。

上下動機構部２３は、ベース部１０の上面に設けられている。上下動機構部２３は、例えば不図示のモータにより、シャフト２２を上下方向（Ｚ方向）に移動させる。これにより、検査部品２１も上下方向に移動する。

図１Ｂは、検査部品２１が上位置にある状態を示している。検査部品２１は、この状態から、上下動機構部２３により下方向へ移動される。これにより、検査ピン２１ｂがそれぞれ積層体２の導電体２ａと接触する。

位置調整機構３０は、積層体２の導電体２ａの導通検査に先立ち、積層体２に対する検査部品２１の位置調整を行う機能を有する。具体的には、＋Ｘ側に設けられている位置調整機構３０ａは、Ｚ方向の位置調整を行う機能を有する。また、－Ｘ側に設けられている位置調整機構３０ｂは、Ｚ方向および所定の回転軸（後述する）回りの回転方向の位置調整を行う機能を有する。なお、位置調整機構３０は、後述するように、ベース部１０に取り付けられるものである。そのため、「位置調整機構」には、ベース部１０が含まれる場合がある。

以下、図２Ａ～図８を参照して、位置調整機構３０ｂの構造について詳細に説明する。位置調整機構３０ａについては、位置調整機構３０ｂから一部の部品を取り除いたものであるため、詳細な説明を省略する。図２Ａは、ベース部１０に取り付けられた状態の位置調整機構３０ｂを示す平面図（上面図）である。図２Ｂは、図２ＡのＢ－Ｂ断面図である。

図２Ａおよび図２Ｂに示すように、位置調整機構３０ｂは、シャフト３１と、高さ調整ノブ３２と、固定ナット３３と、保持プレート３４と、調整プレート３５と、押さえプレート３６とを有する。

図３は、シャフト３１の正面図である。シャフト３１は、概略円柱状の部品である。シャフト３１の一端には、雄ねじ部３１ａが設けられている。シャフト３１の他端には、雄ねじ部３１ｂが設けられている。また、雄ねじ部３１ｂに隣接して、鍔部３１ｃが設けられている。雄ねじ部３１ａと鍔部３１ｃとの間は、円柱部３１ｄである。シャフト３１は、例えばステンレス鋼からなる部品である。

図４は、高さ調整ノブ３２の断面図である。高さ調整ノブ３２は、軸方向の一端側に雄ねじ部３２ａが設けられた円筒状の軸部３２ｂと、軸部３２ｂの雄ねじ部３２ａとは反対側の端部に設けられた円板状のフランジ部３２ｃとを有する。なお、軸部３２ｂのすべてに雄ねじ部３２ａが形成されていてもよい。高さ調整ノブ３２は、保持プレート３４と協働して、Ｚ方向の位置調整の機能を担う。

高さ調整ノブ３２には、軸方向に貫通する貫通孔３２ｄが設けられている。貫通孔３２ｄの中心軸は、高さ調整ノブ３２の中心軸と一致している。貫通孔３２ｄには、シャフト３１の円柱部３１ｄが挿通される。貫通孔３２ｄの直径は、円柱部３１ｄの直径よりも僅かに大きい。そのため、高さ調整ノブ３２は、シャフト３１に対して軸回りに回転可能である。高さ調整ノブ３２は、例えばステンレス鋼からなる部品である。

図５は、固定ナット３３の断面図である。固定ナット３３は、円筒状の軸部３３ａと、軸部３３ａの軸方向の端部に設けられた円板状のフランジ部３３ｂとを有する。固定ナット３３には、軸方向に貫通する雌ねじ部３３ｃが設けられている。雌ねじ部３３ｃの中心軸は、固定ナット３３の中心軸と一致している。雌ねじ部３３ｃは、シャフト３１の雄ねじ部３１ａと螺合する。固定ナット３３は、例えばステンレス鋼からなる部品である。

図６は、保持プレート３４の平面図である。図６に示すように、保持プレート３４は、概略矩形状の板状部品である。保持プレート３４は、高さ調整ノブ３２と協働して、Ｚ方向の位置調整の機能を担う。保持プレート３４には、中央部分を板厚方向に貫通する雌ねじ部３４ａが設けられている。雌ねじ部３４ａは、高さ調整ノブ３２の雄ねじ部３２ａと螺合する。

また、雌ねじ部３４ａを取り囲むように、円形状の複数（本実施形態では４個）の貫通孔３４ｂが等間隔に設けられている。貫通孔３４ｂには、それぞれ、上述の円柱部品１４が挿通される。貫通孔３４ｂの直径は、円柱部品１４の直径よりも大きい。そのため、各貫通孔３４ｂにベース部１０の円柱部品１４が挿通された状態で、保持プレート３４は、ベース部１０に対してＸ方向およびＹ方向に移動可能である。保持プレート３４は、例えばステンレス鋼からなる部品である。

図７Ａおよび図７Ｂは、調整プレート３５の平面図および正面図である。図７Ａおよび図７Ｂに示すように、調整プレート３５は、概略矩形状の板状部品である。調整プレート３５には、中央部分を板厚方向に貫通する貫通孔３５ａが設けられている。貫通孔３５ａは、例えば長円形状である。貫通孔３５ａの短軸の長さは、高さ調整ノブ３２の軸部３２ｂの直径よりも僅かに長い。貫通孔３５ａには、シャフト３１および高さ調整ノブ３２が挿通される。

また、貫通孔３５ａを取り囲むように、貫通孔３５ｂ、３５ｃ、３５ｄおよび３５ｅが設けられている。貫通孔３５ｂは、円形状である。貫通孔３５ｂの直径は、円柱部品１４の直径よりも僅かに大きい。

貫通孔３５ｃ、３５ｄおよび３５ｅは、いずれも、貫通孔３５ｂを中心とした円弧形状をなす。貫通孔３５ｂ、３５ｃ、３５ｄおよび３５ｅには、それぞれ、円柱部品１４が挿通される。貫通孔３５ｂ、３５ｃ、３５ｄおよび３５ｅに円柱部品１４が挿通された状態で、調整プレート３５は、貫通孔３５ｂを中心に、所定の角度範囲内で回転可能である。

調整プレート３５の外縁から、調整ツマミ３５ｆが調整プレート３５の延在方向に延出している。さらに、図７Ｂに示すように、調整ツマミ３５ｆの端部は、板厚方向へ屈曲されている。調整プレート３５の外形形状は、調整ツマミ３５ｆの部分を除き、保持プレート３４の外形形状と同じである。調整プレート３５は、例えばステンレス鋼からなる部品である。

図８は、押さえプレート３６の平面図である。図８に示すように、押さえプレート３６は、概略矩形状の板状部品である。押さえプレート３６の外形形状は、保持プレート３４の外形形状と同じである。押さえプレート３６には、中央部分を板厚方向に貫通する貫通孔３６ａが設けられている。貫通孔３６ａには、シャフト３１および高さ調整ノブ３２が挿通される。

貫通孔３６ａの直径は、高さ調整ノブ３２の軸部３２ｂの直径よりも大きい。そのため、貫通孔３６ａに高さ調整ノブ３２の軸部３２ｂが挿通された状態で、高さ調整ノブ３２は、貫通孔３６ａ内を押さえプレート３６の延在方向に移動可能である。

また、貫通孔３６ａを取り囲むように、円形状の複数（本実施形態では４個）の貫通孔３６ｂが設けられている。貫通孔３６ｂには、それぞれ、円柱部品１４が挿通される。貫通孔３６ｂの直径は、円柱部品１４の直径よりも僅かに大きい。

そのため、各貫通孔３４ｂに円柱部品１４が挿通された状態で、押さえプレート３６は、ベース部１０に対してＸ方向およびＹ方向に移動することができない。押さえプレート３６は、例えばステンレス鋼からなる部品である。

位置調整機構３０ａについて、簡単に説明する。上述のとおり、位置調整機構３０ａは、位置調整機構３０ｂから一部の部品を取り除いたものである。具体的には、位置調整機構３０ａは、シャフト３１と、高さ調整ノブ３２と、固定ナット３３と、保持プレート３４と、押さえプレート３６とを有する。位置調整機構３０ａは、調整プレート３５を有しておらず、Ｚ方向の位置調整のみ可能となっている。

次に、位置調整機構３０による位置調整動作について詳細に説明する。なお、以下の工程は、あくまでも一例に過ぎず、以下の工程順序で部品の配置および位置調整動作が行われることは必須ではない。各工程は必要に応じて一度に行われてもよいし、各工程の順番を入れ替えることも可能である。また、一部の工程が省略されてもよいし、以下に説明しない工程を組み込むことも可能である。

［１．積層体側の準備］
積層体２が配置されたケース３に対して、シャフト３１が固定される。具体的には、ケース３の上面に設けられた雌ねじ部に、シャフト３１の雄ねじ部３１ｂがそれぞれ螺入される。シャフト３１は、鍔部３１ｃがケース３の上面に当接するまで、螺入される。

［２．検査装置側の準備］
ベース部１０に対して位置調整機構３０ａおよび３０ｂの構成部品の一部が配置される。具体的には、以下のとおりである。

［２．１．位置調整機構３０ａ］
保持プレート３４が、ベース部１０の上面に配置される。具体的には、保持プレート３４の貫通孔３４ｂ（４箇所）にそれぞれ円柱部品１５（４箇所）が挿通される。

次いで、押さえプレート３６が、保持プレート３４の上面に配置される。具体的には、押さえプレート３６の貫通孔３６ａ（４箇所）にそれぞれ円柱部品１５（４箇所）が挿通される。また、保持プレート３４の位置は、押さえプレート３６の位置と一致するように調整される。

この状態で、円柱部品１５は、押さえプレート３６の上面から突出している。円柱部品１５の先端には、上述のとおり、雄ねじ部１５ａが設けられており、この雄ねじ部１５ａに対してナットが螺入されることで、ベース部１０に対して保持プレート３４および押さえプレート３６が固定される。

次いで、高さ調整ノブ３２の雄ねじ部３２ａが、保持プレート３４の雌ねじ部３４ａに所定量だけ螺入される。

［２．２．位置調整機構３０ｂ］
保持プレート３４が、ベース部１０の上面に配置される。具体的には、保持プレート３４の貫通孔３４ｂ（４箇所）にそれぞれ円柱部品１４（４箇所）が挿通される。

次いで、１枚目の調整プレート３５が、保持プレート３４の上面に配置される。具体的には、調整プレート３５の調整ツマミ３５ｆが－Ｙ側となるように、貫通孔３５ｂ、３５ｃ、３５ｄおよび３５ｅにそれぞれ円柱部品１４（４箇所）が挿通される。すなわち、１枚目の調整プレート３５の貫通孔３５ｂには、－Ｘ側かつ＋Ｙ側に位置する円柱部品１４が挿通される。

さらに、２枚目の調整プレート３５が、１枚目の調整プレート３５の上面に配置される。具体的には、調整プレート３５の調整ツマミ３５ｆが＋Ｘ側となるように、貫通孔３５ｂ、３５ｃ、３５ｄおよび３５ｅにそれぞれ円柱部品１４（４箇所）が挿通される。すなわち、２枚目の調整プレート３５の貫通孔３５ｂには、－Ｘ側かつ－Ｙ側に位置する円柱部品１４が挿通される。

なお、１枚目の調整プレート３５と２枚目の調整プレート３５は入れ替えてもよい。また、貫通孔３５ｂにいずれの円柱部品１４を挿通させるかについても、上述の例にには限定されない。

次いで、押さえプレート３６が、２枚目の調整プレート３５の上面に配置される。具体的には、押さえプレート３６の貫通孔３６ａ（４箇所）にそれぞれ円柱部品１４（４箇所）が挿通される。また、保持プレート３４および調整プレート３５は、＋Ｚ側から見て押さえプレート３６からはみ出さないように調整される。

この状態で、円柱部品１４は、押さえプレート３６の上面から突出している。円柱部品１４の先端には、上述のとおり、雄ねじ部１４ａが設けられており、この雄ねじ部１４ａに対してナットが螺入されることで、ベース部１０に対して保持プレート３４、２枚の調整プレート３５および押さえプレート３６が固定される。

［３．位置調整動作］
位置調整機構３０ａおよび３０ｂの構成部品の一部が配置されたベース部１０を、ケース３に載置する。具体的には、それぞれの高さ調整ノブ３２の貫通孔３２ｄに、それぞれ対応するシャフト３１が挿通される。高さ調整ノブ３２の雄ねじ部３２ａの先端は、シャフト３１の鍔部３１ｃに当接する。

この状態での各検査部品２１の各検査ピン２１ｂと積層体２の導電体２ａとの位置関係は、図１Ａおよび図１Ｂに示すとおりである。図１Ａに示すように、積層体２の積層方向と、検査ユニット２０のシャフト２２の延在方向とは、一致していない。また、図１Ｂに示すように、各検査ピン２１ｂから積層体２の導電体２ａまでの距離は、同一でない。そのため、この状態で検査部品２１を下方向へ移動させても、検査ピン２１ｂのすべてを適切に導電体２ａと接触させることができない。

そこで、まず、積層体２に対するベース部１０の高さ方向の位置調整を行う。具体的には、位置調整機構３０ａおよび３０ｂのそれぞれについて、高さ調整ノブ３２を用いて、高さ調整を行う。高さ調整ノブ３２の下端はシャフト３１の鍔部３１ｃに当接している。そのため、高さ調整ノブ３２を軸回りに回転させることで、ケース３に対する高さ方向の位置、ひいては、積層体２に対する高さ方向の位置を調整することができる。

次に、ベース部１０を、位置調整機構３０ａのシャフト３１回りに回転させて、積層体２に対するベース部１０のＸＹ平面における位置調整を行う。この動作には、２枚の調整プレート３５を用いる。

上述のとおり、１枚目の調整プレート３５は、－Ｘ側かつ＋Ｙ側の円柱部品１４を中心に回動可能である。また、２枚目の調整プレート３５は、－Ｘ側かつ－Ｙ側の円柱部品１４を中心に回動可能である。

これら２枚の調整プレート３５をそれぞれ回動することで、調整プレート３５の貫通孔３５ａを形成する壁面が高さ調整ノブ３２と当接して高さ調整ノブ３２を押圧し、ベース部１０を位置調整機構３０ａのシャフト３１回りに回転させることができる。

図９Ａおよび図９Ｂは、位置調整機構３０ａおよび３０ｂを用いた位置調整が完了した状態を示している。図９Ａに示すように、積層体２の積層方向と、検査ユニット２０のシャフト２２の延在方向とが、略一致している。また、図９Ｂに示すように、各検査ピン２１ｂから積層体２の導電体２ａまでの距離が、それぞれ略同一となっている。位置調整が完了した後、固定ナット３３が締結されてシャフト３１と高さ調整ノブ３２との相対回転が規制され、位置固定が行われる。

そして、この状態で検査部品２１を下方向へ移動させることで、検査ピン２１ｂのすべてを適切に導電体２ａと接触させることができる。そのため、検査精度を向上させることができる。

以上説明したように、本実施形態に係る位置調整機構は、位置調整の基準となるシャフト部材と、前記シャフト部材が相対回転可能に挿通され、かつ、前記シャフト部材と同軸の雄ねじ部を有する筒部材と、前記雄ねじ部に螺合する雌ねじ部を有するプレート部材と、を備える、位置調整機構である。

そのため、積層体の導電体に対して、複数の検査部品を適切に当接させることができる。

なお、上述の実施形態では、高さ調整のみを行うことができる位置調整機構３０ａと高さ調整および所定の軸回りの回転調整を行うことができる位置調整機構３０ｂとをそれぞれ１個ずつ有するものを例に説明を行ったが、これに限定されない。例えば、位置調整機構３０ａおよび３０ｂを複数設けてもよい。

本開示に係る位置調整機構によれば、検査対象に対する位置調整を行うことができ、産業上の利用可能性は多大である。

１検査装置
２積層体
２ａ導電体
３ケース
１０ベース部
１１開口
１２、１３孔
１４、１５円柱部品
１４ａ、１５ａ雄ねじ部
２０検査ユニット
２１検査部品
２１ｂ検査ピン
２２シャフト
２３上下動機構部
３０、３０ａ、３０ｂ位置調整機構
３１シャフト
３１ａ、３１ｂ雄ねじ部
３１ｃ鍔部
３１ｄ円柱部
３２高さ調整ノブ
３２ａ雄ねじ部
３２ｂ軸部
３２ｃフランジ部
３２ｄ貫通孔
３３固定ナット
３３ａ軸部
３３ｂフランジ部
３３ｃ雌ねじ部
３４保持プレート
３４ａ雌ねじ部
３４ｂ貫通孔
３５調整プレート
３５ａ、３５ｂ、３５ｃ、３５ｄ、３５ｅ貫通孔
３５ｆ調整ツマミ
３６押さえプレート
３６ａ、３６ｂ貫通孔

Claims

位置調整の基準となるシャフト部材と、
前記シャフト部材が相対回転可能に挿通され、かつ、前記シャフト部材と同軸の雄ねじ部を有する筒部材と、
突出部が設けられたベース部材と、
前記ベース部材に対して前記シャフト部材の軸方向と直交する方向に移動可能に、前記ベース部材に載置され、前記雄ねじ部に螺合する雌ねじ部を有するプレート部材と、
前記突出部が挿通される貫通孔と、前記筒部材が挿通される貫通孔とを有し、前記突出部の軸回りに回転して前記筒部材を押圧する調整部材と、を備える、
位置調整機構。
前記シャフト部材と前記筒部材との相対回転を規制する固定部材をさらに備える、
請求項１に記載の位置調整機構。
前記シャフト部材は、導電体と絶縁体とが積層されてなる積層体が収納されるケースに固定される、
請求項２に記載の位置調整機構。
前記ベース部材には複数の前記突出部が設けられており、
前記調整部材は、複数の前記突出部のうち第一の突出部の軸回りに回転可能な第一の調整部材と、複数の前記突出部のうち第二の突出部の軸回りに回転可能な第二の調整部材と、を含む、
請求項１に記載の位置調整機構。
請求項１ないし４のいずれか一項に記載の位置調整機構と、前記ベース部材に載置され、導電体と絶縁体とが積層されてなる積層体の導通状態を検査する検査部と、を備える、検査装置。
突出部が設けられたベース部材と、
前記ベース部材を貫通し、位置調整の基準となる第一シャフト部材、
前記第一シャフト部材が相対回転可能に挿通され、かつ、前記第一シャフト部材と同軸の第一雄ねじ部を有する第一筒部材、および、
前記ベース部材に固定され、かつ、前記第一雄ねじ部に螺合する第一雌ねじ部を有する第一プレート部材、を備える第一の位置調整機構と、
前記ベース部材を貫通し、位置調整の基準となる第二シャフト部材、
前記第二シャフト部材が相対回転可能に挿通され、かつ、前記第二シャフト部材と同軸の第二雄ねじ部を有する第二筒部材、
前記ベース部材に載置され、前記ベース部材に対して前記第二シャフト部材の軸方向と直交する方向に移動可能であり、かつ、前記第二雄ねじ部に螺合する第二雌ねじ部を有する第二プレート部材、および、
前記突出部が挿通可能な貫通孔と、前記第二筒部材が挿通可能な貫通孔とを有し、前記突出部の軸回りに回転して前記第二筒部材を押圧する調整部材、を備える第二の位置調整機構と、
前記ベース部材に載置され、導電体と絶縁体とが積層されてなる積層体の導通状態を検査する検査部と、
を有し、
前記第一シャフト部材および前記第二シャフト部材は、前記積層体が収納されるケースに固定される、
検査装置。