CN221174359U - 一种标定调节机构及晶圆检测装置 - Google Patents

Abstract

一种标定调节机构及晶圆检测装置，涉及晶圆加工技术领域。本晶圆检测装置的标定调节机构用于使标定片的位姿与晶圆承载台匹配。标定调节机构包括调节机构本体和放置台。放置台可调节地安装在调节机构本体上且具有一安装平面。安装平面用于放置标定片。调节机构本体上设置有与放置台底面接触调节柱，通过调节柱在竖直方向上的位置变化对放置台调节，通过调节放置台与调节柱的相对角度关系调节放置台的平面安装姿态。本晶圆检测装置的标定调节机构交接步骤相对简单，无需多次往复调整，且调节精度高。

Description

一种标定调节机构及晶圆检测装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体而言，涉及一种标定调节机构及晶圆检测装置。

背景技术

机械标定组件作为整机设备光学检测必不可少的机械构件，标定的精度直接影响着整机设备精度尺寸，所以对于不同标定组件需要有专门的调节机构以满足光学检测精度要求。

经发明人研究发现，现有技术中主要通过调节机构实现标定片的多个位姿的调节，因为涉及到位姿的方向较多，在现有技术中需要配置多个调节部件实现对于标定片的多位姿的调节，其结构复杂调节精度较低，为了解决此现有技术问题，本申请提出一种晶圆检测装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种标定调节机构及晶圆检测装置，其能够调节标定片在各个方向的位置，使标定片的平面与晶圆的承载面共面，交接步骤相对简单，无需多次往复调整。

本实用新型的实施例是这样实现的：

第一方面，本实用新型提供一种标定调节机构，包括调节机构本体和放置台，所述放置台可调节地安装在所述调节机构本体上且具有一安装平面，所述安装平面用于放置标定片，所述调节机构本体上设置有与所述放置台底面接触调节柱，通过所述调节柱在竖直方向上的位置变化对所述放置台调节，通过调节所述放置台与所述调节柱的相对角度关系调节所述放置台的平面安装姿态。

在可选的实施方式中，所述放置台与所述调节柱接触的一端设置有调节空间，所述调节柱与所述调节空间相互配合以调节所述放置台在第一圆周方向、第二圆周方向和第三圆周方向上的位置，所述第一圆周方向、所述第二圆周方向和所述第三圆周方向的任意二者的轴线相互垂直。

在可选的实施方式中，所述调节柱的顶端为球面，所述调节空间为锥形凹槽。

在可选的实施方式中，所述标定调节机构还包括第一固定件，所述第一固定件用于固定所述放置台在所述第一圆周方向、所述第二圆周方向和所述第三圆周方向上的位置。

在可选的实施方式中，所述第一固定件为螺钉，所述第一固定件的轴线方向为竖直方向。

在可选的实施方式中，所述调节柱远离所述放置台的一端设有外螺纹，所述调节机构本体上设有与所述外螺纹配合的内螺纹。

在可选的实施方式中，所述标定调节机构还包括第二固定件，所述第二固定件用于调节并固定所述放置台在竖直方向上的位置。

在可选的实施方式中，所述调节机构本体上开设有竖直方向的条孔，所述第二固定件穿过所述条孔将所述调节机构本体和所述放置台固定，所述第二固定件能够在所述条孔中滑动。

在可选的实施方式中，所述第二固定件为螺钉，所述第二固定件的轴线方向位于水平面。

第二方面，本实用新型提供一种晶圆检测装置，包括晶圆承载台和前述实施方式任一项所述的标定调节机构，所述标定调节机构用于使所述标定片的位姿与所述晶圆承载台匹配。

本实用新型实施例的有益效果是：

本实用新型通过设置标定调节机构调节标定片的位置，使得标定片的平面与晶圆的承载面共面，交接步骤相对简单，无需多次往复调整，且调节精度高。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型实施例提供的晶圆检测装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的标定调节机构的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的标定调节机构的部分结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的调节柱和调节空间的关系示意图；

图5为本实用新型实施例提供的标定片的竖直方向调节示意图。

图标:100-晶圆检测装置；10-固定板；11-固定孔；20-晶圆承载台；21-承载面；30-标定调节机构；31-调节机构本体；311-调节柱；312-底座；313-安装部；32-放置台；321-调节空间；33-第一固定件；34-第二固定件；35-条孔。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参照图1，本实施例提供一种晶圆检测装置100，其包括固定板10、晶圆承载台20和标定调节机构30。晶圆承载台20固定在固定板10上，晶圆承载台20具有放置晶圆的承载面21，具体地，在本实施例中，晶圆承载台20的底座312通过螺栓固定在固定板10上，晶圆承载台20的顶部为圆盘状的承载面21，晶圆能够放置在圆盘状的承载面21上。标定调节机构30固定在固定板10上且位于晶圆承载台20的侧面，标定调节机构30上固定有标定片(图未示)，标定调节机构30用于调节标定片在第一圆周方向、第二圆周方向、第三圆周方向和竖直方向的位置，以使标定片的平面与承载面21共面。具体地，在本实施例中，标定调节机构30的底部通过螺栓与固定板10固定连接，标定调节机构30的高度大致与承载面21的高度一致。

在本实施例中，固定板10上开设有若干固定孔11，标定调节机构30通过固定孔11在固定板10上自由安装。可以理解的是，标定调节机构30在固定板10上的位置可以通过不同的固定孔11自由调节，以实现标定片在水平方向上的位置调节。

进一步地，为了保证标定检测的精度，标定调节机构30的数量至少为两个。在本实施例中，标定调节机构30的数量为两个，均位于晶圆承载台20的同侧。在其他实施例中，标定调节机构30的位置可以围绕晶圆承载台20的对角设置，也可以设置三个、四个等多个标定调节机构30，共同围绕晶圆承载台20设置，本实用新型不做限定。

请参照图2，标定调节机构30包括调节机构本体31和放置台32。放置台32可调节地安装在调节机构本体31上且具有一安装平面。安装平面用于放置标定片。调节机构本体31上设置有与放置台32底面接触调节柱311，通过调节柱311在竖直方向上的位置变化对放置台32调节，通过调节放置台32与调节柱311的相对角度关系调节放置台32的平面安装姿态。

具体的，调节机构本体31固定在固定板10上。放置台32固定在调节机构本体31上。标定片放置在放置台32上。调节机构本体31包括底座312和安装部313，底座312支撑安装部313，底座312通过螺栓与固定板10固定连接。安装部313用于固定放置台32，与放置台32接触。可以理解的是，在本实施例中，通过调节放置台32的平面的位置以实现对标定片位置的调整。

请参照图3和图4，为了调节标定片在第一圆周方向、第二圆周方向和第三圆周方向上的位置，调节机构本体31上设置有调节柱311，放置台32背离标定片的一段设置有调节空间321，调节柱311与调节空间321相互配合。具体地，在本实施例中，调节柱311为圆柱状，其顶端为球面，调节柱311的高度高于调节机构本体31与放置台32接触的平面。调节空间321为锥形凹槽，其中，调节柱311顶端的球面与锥形凹槽的锥形面相互接触，通过调节柱311顶端的球面与锥形凹槽的锥形面相对滑动，能够实现放置台32在第一圆周方向、第二圆周方向和第三圆周方向上的位置调整，从而调节标定片在第一圆周方向、第二圆周方向和第三圆周方向上的位置。可以理解的是，在本实施例中，锥形凹槽的锥形面与调节柱311顶端的球面发现相对滑动，放置台32同时发生转动。需要注意的是，由于球形面和锥形平面的尺寸相对整个放置台32较小，发生转动的幅度也较小，用于微调标定片的位置。

请参照图2和图3，标定调节机构30还包括第一固定件33，第一固定件33用于固定标定片在第一圆周方向、第二圆周方向和第三圆周方向上的位置。具体地，在本实施例中，第一固定件33为三个螺钉，分别位于放置台32的两侧，一侧设置两个，另一侧设置一个，放置台32上开设有与螺钉相对应的孔，调节机构本体31上设有与螺钉相对应的丝口，螺钉穿过放置台32上的孔，拧入丝口将放置台32固定在调节机构本体31上。当需要对放置台32的水平位置调节时，松开螺钉，调节调节柱311顶端的球面与锥形凹槽的锥形面的相对位置，即实现放置台32和调节机构本体31的相对转动，当调节完毕时，拧紧螺钉，将放置台32的位置进行固定。在其他实施例中，螺钉的数量可以为四个，分别位于放置台32的两侧，分别设置两个，本实施例不做限定。

进一步地，请参照图4和图5，调节柱311的高度能够调节。具体地，在本实施例中，调节机构本体31的顶面设置有孔，孔内设有内螺纹(图未示)，调节柱311背离球面的一端设置有与内螺纹配合外螺纹(图未示)，通过旋转调节柱311来实现对调节柱311超出调节机构本体31顶面的高度的调节。

请参照图3、图4和图5，标定调节机构30还包括第二固定件34，第二固定件34用于并固定标定片在竖直方向上的位置。具体地，在本实施例中，第二固定件34为螺钉，其轴线方向位于水平面，通过调节机构本体31的孔拧入放置台32侧面的丝口中。

进一步地，调节机构本体31上开设有竖直方向的条孔35，第二固定件34穿过条孔35将调节机构本体31和放置台32固定，第二固定件34能够在条孔35中滑动。可以理解的是，当第二固定件34松开时，其可以在条孔35中滑动，当第二固定件34拧紧时，放置台32在竖直方向上进行固定，即标定片在竖直方向上的位置固定。

本实用新型实施例提供的晶圆检测装置100的工作原理和过程是：

当需要对放置台32的第一圆周方向、第二圆周方向和第三圆周方向的位置调节时，松开第一固定件33，调节调节柱311与调节空间321的相对位置，即实现放置台32和调节机构本体31的相对转动，当调节完毕时，拧紧第一固定件33，将放置台32的水平位置进行固定。

当需要对放置台32的竖直的位置调节时，松开第二固定件34，竖直方向上滑动放置台32的位置，当调节完毕时，拧紧第二固定件34，将放置台32的竖直位置进行固定。

通过调节放置台32的位置从而调节固定在放置台32上的标定片的位置。

当需要调整标定片水平方向的位置时，只需要调节标定调节机构30在固定板10上的位置，通过不同的固定孔11从而改变标定调节机构30的位置，实现标定片在水平方向的位置调整。

本实用新型实施例提供的晶圆检测装置100的有益效果是：

本实用新型通过设置标定调节机构30调节标定片在第一圆周方向、第二圆周方向、第三圆周方向和竖直方向的位置，使得标定片的平面与晶圆的承载面21共面，交接步骤相对简单，无需多次往复调整，通过独立调节方式，能够大大提高调节的便捷性及效率。

以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种标定调节机构，其特征在于，包括调节机构本体和放置台，所述放置台可调节地安装在所述调节机构本体上且具有一安装平面，所述安装平面用于放置标定片，所述调节机构本体上设置有与所述放置台底面接触调节柱，通过所述调节柱在竖直方向上的位置变化对所述放置台调节，通过调节所述放置台与所述调节柱的相对角度关系调节所述放置台的平面安装姿态。

2.根据权利要求1所述的标定调节机构，其特征在于，所述放置台与所述调节柱接触的一端设置有调节空间，所述调节柱与所述调节空间相互配合以调节所述放置台在第一圆周方向、第二圆周方向和第三圆周方向上的位置，所述第一圆周方向、所述第二圆周方向和所述第三圆周方向的任意二者的轴线相互垂直。

3.根据权利要求2所述的标定调节机构，其特征在于，所述调节柱的顶端为球面，所述调节空间为锥形凹槽。

4.根据权利要求3所述的标定调节机构，其特征在于，所述标定调节机构还包括第一固定件，所述第一固定件用于固定所述放置台在所述第一圆周方向、所述第二圆周方向和所述第三圆周方向上的位置。

5.根据权利要求4所述的标定调节机构，其特征在于，所述第一固定件为螺钉，所述第一固定件的轴线方向为竖直方向。

6.根据权利要求2所述的标定调节机构，其特征在于，所述调节柱远离所述放置台的一端设有外螺纹，所述调节机构本体上设有与所述外螺纹配合的内螺纹。

7.根据权利要求1所述的标定调节机构，其特征在于，所述标定调节机构还包括第二固定件，所述第二固定件用于调节并固定所述放置台在竖直方向上的位置。

8.根据权利要求7所述的标定调节机构，其特征在于，所述调节机构本体上开设有竖直方向的条孔，所述第二固定件穿过所述条孔将所述调节机构本体和所述放置台固定，所述第二固定件能够在所述条孔中滑动。

9.根据权利要求7所述的标定调节机构，其特征在于，所述第二固定件为螺钉，所述第二固定件的轴线方向位于水平面。

10.一种晶圆检测装置，其特征在于，包括晶圆承载台和权利要求1-9任一项所述的标定调节机构，所述标定调节机构用于使所述标定片的位姿与所述晶圆承载台匹配。