CN219978373U - 一种芯片测试用的探针测试装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种芯片测试用的探针测试装置，包括工作台，在工作台上设有芯片固定机构，所述芯片固定机构，在芯片固定机构的下方设有探针座，所述探针座布置有多组探针，在探针座下方设有移动机构，所述移动机构包括在竖直方向上层叠的X轴移动组件和Y轴移动组件；本实用新型在探针座的下方设置移动机构，移动机构可以驱动探针座在X轴和Y轴上移动，在芯片固定机构上的芯片极点与探针存在错位时，移动机构能够将探针位置移动的准确的位置，保证了电连接的稳定。
Description
技术领域
本实用新型涉及芯片测试技术领域，尤其涉及一种芯片测试用的探针测试装置。
背景技术
随着科学技术的发展，电子芯片已经广泛应用于各种电子产品中。在完成芯片生产后，需要探针台对芯片的合格性进行检测，以此来挑选出不合格的芯片，而保留合格的芯片。
芯片的可靠性测试主要是通过探针对芯片施加电流，探针通过控制系统与显示屏电性相连，显示屏上显示相关检测数据，以完成对芯片的性能测试，在对半导体芯片进行测试的过程中，探针通常为固定不动，检测者通过调节半导体芯片在测试台上的位置以适应探针，来得出相关测试数据，由于半导体芯片的加工精度较高，反复调节半导体芯片的位置会造成半导体芯片的磨损，造成测试精度的偏差，此外，现有的测试装置探针与芯片电极之间容易形成错位关系，不能形成有效电连接，导致探测不能实现。
因此，需要设计一种芯片测试用的探针测试装置以解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型提供一种芯片测试用的探针测试装置，用于解决背景技术中所提及的技术问题。
为解决上述问题，本实用新型提供以下技术方案：芯片测试用的探针测试装置，包括工作台，在工作台上设有芯片固定机构，所述芯片固定机构，在芯片固定机构的下方设有探针座，所述探针座布置有多组探针，在探针座下方设有移动机构，所述移动机构包括在竖直方向上层叠的X轴移动组件和Y轴移动组件，所述X轴移动组件与探针座连接，所述X轴移动组件与Y轴移动组件之间、Y轴移动组件与工作台之间通过滑轨连接。
进一步的，在工作台上设有翻转机构，所述翻转机构包括固定在工作台的支撑架，以及可绕支撑架转动的盖板，所述盖板与芯片固定机构固定连接，所述翻转机构可控制芯片固定机构实现翻转动作。
进一步的，在工作台上还设有锁紧机构，所述锁紧机构包括竖直固定在工作台的限位杆，所述盖板设有与所述限位杆配合的通孔，以及可将盖板位置锁定的螺母。
进一步的，在所述盖板上还设有手柄。
进一步的，在所述盖板的后侧还设有支撑部件，所述支撑部件包括支撑杆，以及设置在盖板背面的固定块，盖板翻转角度大于90度时，支撑杆顶住固定块，阻止盖板继续下行。
进一步的，所述芯片固定机构设有若干吸附孔，通过抽真空的方式固定芯片。
进一步的，所述X轴移动组件和Y轴移动组件均由气缸驱动。
与现有技术相比，本实用新型至少具有以下有益效果：
本实用新型在探针座的下方设置移动机构，移动机构可以驱动探针座在X轴和Y轴上移动，在芯片固定机构上的芯片极点与探针存在错位时，移动机构能够将探针位置移动的准确的位置，保证了电连接的稳定。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型实施例工作状态示意图；
图2是本实用新型实施例非工作状态示意图；
图3是图2的侧视图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得所有其他实施例，都属于本实用新型的保护范围。可以理解的是，附图仅仅提供参考与说明用，并非用来对本实用新型加以限制。附图中显示的连接关系仅仅是为了便于清晰描述，并不限定连接方式。
需要说明的是，当一个组件被认为是“连接”另一个组件时，它可以是直接连接到另一个组件，或者可能同时存在居中组件。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。
还需要说明的是，本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
本实用新型公开了一种芯片测试用的探针测试装置，旨在提供一种芯片测试时探针能够与芯片电极准确对位的测试装置，具体公开内容如下：
请参阅图1至图3，芯片测试用的探针测试装置，包括工作台100，在工作台100上设有芯片固定机构200，所述芯片固定机构200，在芯片固定机构200的下方设有探针座300，所述探针座300布置有多组探针301，在探针座300下方设有移动机构400，所述移动机构400包括在竖直方向上层叠的X轴移动组件401和Y轴移动组件402，所述X轴移动组件401与探针座300连接，所述X轴移动组件401与Y轴移动组件402之间、Y轴移动组件402与工作台100之间通过滑轨连接，本实施例中，移动机构能够驱动探针座300在X轴方向与Y轴方向上移动，当探针与芯片固定机构上的芯片电极存在位置错位时，通过调整探针座的位置，实现探针与电极的准确对位，提高了测试的稳定性，同时不对芯片的位置进行移动，避免芯片在移动过程中出现损坏。
在本实施例中，如图1所示，在工作台100上设有翻转机构500，所述翻转机构500包括固定在工作台的支撑架501，以及可绕支撑架501转动的盖板502，所述盖板502与芯片固定机构200固定连接，可通过紧固件实现两者的可拆卸连接，所述翻转机构500可控制芯片固定机构200实现翻转动作。
继续参阅图1，在工作台100上还设有锁紧机构600，所述锁紧机构600包括竖直固定在工作台的限位杆601，所述盖板502设有与所述限位杆601配合的通孔，以及可将盖板502位置锁定的螺母602，参阅图1可知，当盖板翻转至水平状态时，盖板与限位杆形成配合关系，在限位杆的外表面设有螺纹结构，通过螺母与限位杆的装配关系，将盖板的位置进行有效锁定。
在本实施例中，在所述盖板502上还设有手柄503。
如图3所示，在所述盖板502的后侧还设有支撑部件700，所述支撑部件700包括支撑杆701，以及设置在盖板502背面的固定块702，当盖板502翻转角度大于90度时，支撑杆701顶住固定块702，阻止盖板502继续下行，解放了双手，提高了操作的便捷性。
如图2所示，在本实施例中，所述芯片固定机构200设有若干吸附孔201，通过抽真空的方式固定芯片。
在本实施例中，所述X轴移动组件和Y轴移动组件均由气缸驱动，气缸驱动的速率高，易操作。
本实用新型通过设置的移动机构，实现了对探针座位置的移动，实现了探针座与芯片电极准确对位的目的，提高了测试的稳定性。
本申请的说明书和权利要求书中，词语“包括/包含”和词语“具有/包括”及其变形，用于指定所陈述的特征、数值、步骤或部件的存在，但不排除存在或添加一个或多个其他特征、数值、步骤、部件或它们的组合。
本实用新型的一些特征，为阐述清晰，分别在不同的实施例中描述，然而，这些特征也可以结合于单一实施例中描述。相反，本实用新型的一些特征，为简要起见，仅在单一实施例中描述，然而，这些特征也可以单独或以任何合适的组合于不同的实施例中描述。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包括在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种芯片测试用的探针测试装置，包括工作台，其特征在于，在工作台上设有芯片固定机构，所述芯片固定机构，在芯片固定机构的下方设有探针座，所述探针座布置有多组探针，在探针座下方设有移动机构，所述移动机构包括在竖直方向上层叠的X轴移动组件和Y轴移动组件，所述X轴移动组件与探针座连接，所述X轴移动组件与Y轴移动组件之间、Y轴移动组件与工作台之间通过滑轨连接。
2.根据权利要求1所述的芯片测试用的探针测试装置，其特征在于，在工作台上设有翻转机构，所述翻转机构包括固定在工作台的支撑架，以及可绕支撑架转动的盖板，所述盖板与芯片固定机构固定连接，所述翻转机构可控制芯片固定机构实现翻转动作。
3.根据权利要求2所述的芯片测试用的探针测试装置，其特征在于，在工作台上还设有锁紧机构，所述锁紧机构包括竖直固定在工作台的限位杆，所述盖板设有与所述限位杆配合的通孔，以及可将盖板位置锁定的螺母。
4.根据权利要求3所述的芯片测试用的探针测试装置，其特征在于，在所述盖板上还设有手柄。
5.根据权利要求2或3所述的芯片测试用的探针测试装置，其特征在于，在所述盖板的后侧还设有支撑部件，所述支撑部件包括支撑杆，以及设置在盖板背面的固定块，盖板翻转角度大于90度时，支撑杆顶住固定块，阻止盖板继续下行。
6.根据权利要求1所述的芯片测试用的探针测试装置，其特征在于，所述芯片固定机构设有若干吸附孔，通过抽真空的方式固定芯片。
7.根据权利要求1至4任一所述的芯片测试用的探针测试装置，其特征在于，所述X轴移动组件和Y轴移动组件均由气缸驱动。
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