CN111496747A - 五轴调节滑台 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种调节滑台,包括:承载台;中间座,所述承载台设置在中间座上方;底座,所述中间座设置在底座上;W轴调整机构,设置在底座上并与中间座连接,所述调整中间座绕Z轴方向上的旋转位置;X轴调整机构,设置在中间座上并与承载台连接;Y轴调整机构,设置在中间座上并与承载台连接;U轴调整机构,设置在中间座上并与承载台抵接;V轴调整机构,设置在底座上并与X轴调整机构连接。本发明实现了滑台的五轴调节过程,设计合理巧妙,解决了现有生产过程中无法适应高精度光学仪器的生产问题,提高光学仪器的生产精度和生产及格率,为更高精度光学仪器的生产提供技术基础。
Description
技术领域
本发明涉及自动化生产技术领域,特别涉及一种五轴调节滑台。
背景技术
随着自动化设备的需求越来越高,工业发展越来越快速,对精度的要求也越来越精密。滑台在自动化设备中很是常见的一个组件,市面上的滑台一般只有两轴或者三轴调节,极少见到五轴调节的滑台。
随着工业自动化的发展,人们对于摄像头等光学仪器的要求越来越高,带动了关于光学仪器检测方面机台的发展。因为光学仪器的产品要求比较高,所以光学检测机台的精度要求也会相对比较高,而光学检测机台的精度最很大部分是取决于测试治具,在往后的发展之中测试治具也会在其中起到举足轻重的作用。但是现有的滑台已逐步跟不上高精度光学仪器的生产要求,限制了高精度光学仪器的生产精度和降低了产品的及格率。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本发明提出一种五轴调节滑台,能够适应高精度光学仪器的生产需求。
根据本发明的第一方面实施例的五轴调节滑台,包括:承载台;中间座,所述承载台设置在中间座上方;底座,所述中间座设置在底座上;W轴调整机构,设置在底座上并与中间座连接,所述调整中间座绕Z轴方向上的旋转位置;X轴调整机构,设置在中间座上并与承载台连接,能够推动承载台相对中间座沿X轴方向移动;Y轴调整机构,设置在中间座上并与承载台连接,能够推动承载台相对中间座沿Y轴方向移动;U轴调整机构,设置在中间座上并与承载台抵接,能够调整中间座沿U轴方向上的倾斜角度;V轴调整机构,设置在底座上并与X轴调整机构连接,能够调整承载台沿V轴方向上的倾斜角度。
根据本发明实施例的五轴调节滑台,至少具有如下有益效果:合理设计承载台-中间座-底座三层滑台结构,通过X轴调整机构和Y轴调整机构能够调整承载台的水平位置,利用W轴调整机构转动中间座,使得承载台沿着中间座一起转动,实现W轴调整过程,且利用分别设置在中间座和底座上的V轴调整机构和U轴调整机构调整倾斜度,实现了滑台的五轴调节过程,设计合理巧妙,解决了现有生产过程中无法适应高精度光学仪器的生产问题,提高光学仪器的生产精度和生产及格率,为更高精度光学仪器的生产提供技术基础。
根据本发明的一些实施例,所述W轴调整机构包括设置在底座上的旋转盘,所述中间座固定连接在旋转盘上,为W轴调整机构的优选结构之一,利用旋转台结构实现承载台的旋转调整过程。
根据本发明的一些实施例,所述X轴调整机构和Y轴调整机构之间设有调整台,所述X轴调整机构包括螺纹连接在调整台上并限位在承载台上的X调整轴,所述Y轴调整机构包括螺纹连接在调整台上并限位在中间座上的Y调整轴,为X轴调整机构和Y轴调整机构的优选结构之一,利用相互关联的X轴调整机构和Y轴调整机构,使得结构更加紧凑,调整精度更高。
根据本发明的一些实施例,所述X调整轴和Y调整轴均为长顶丝,所述调整台上固设有包裹长顶丝的保护套。
根据本发明的一些实施例,所述U轴调整机构包括穿设在中间座两侧的U轴调整轴、U轴调整钢球和U轴顶丝,所述U轴调整轴包括前调整轴和后调整轴,所述前调整轴和后调整轴相对设置在中间座内并设有相对设置的锥形面,所述前调整轴和后调整轴之间通过复位弹簧抵接,所述中间座的两侧设有调整轴孔且与调整轴孔相交的两个垂直圆通孔,所述U轴调整轴设置在调整轴孔内,所述垂直圆通孔内设有至少一个所述U轴调整钢球,所述垂直圆通孔的直径与U轴调整钢球直径相同,位于垂直圆通孔顶部的所述U轴调整钢球与承载台底部抵接,位于垂直圆通孔底部的所述U轴调整钢球与前调整轴或后调整轴的锥形面抵接,为U轴调整机构的优选结构之一,通过顶起的U轴调整钢球调整承载台的U轴倾斜度。
根据本发明的一些实施例,两个所述垂直圆通孔相对设置在中间座的一侧,每个所述垂直圆通孔内设置有两个U轴调整钢球,所述承载台的底部设有与U轴调整钢球相适配的球形凹面。
根据本发明的一些实施例,所述中间座的两侧还设有U轴微调机构,所述U轴微调机构包括微调顶丝、微调轴和顶升轴,所述微调顶丝限位在中间座内,所述V轴顶丝螺纹连接在底座内,所述微调轴的端部设有导向斜面,所述顶升轴抵接在导向斜面上,所述微调顶丝与微调轴螺纹连接并能够调整微调轴在Y轴方向上的位置,合理设计的微调结构实现了承载台的微调过程,避免误差过大。
根据本发明的一些实施例,所述V轴调整机构包括设置在穿设在底座一端的V轴调整轴、V轴调整块,所述V轴调整轴上设有锥形面,所述V轴调整块上设有与锥形面相抵接的球形面,所述V轴调整块的上端固接在中间座内,所述V轴调整轴螺纹连接在底座内并通过旋转运动沿X轴方向移动,为V轴调整机构的优选结构之一,通过球形面实现调整过程。
根据本发明的一些实施例,所述V轴调整机构还包括有设置在底座内的顶紧弹簧,所述顶紧弹簧一端抵接在底座内,另一端与V轴调整块的端部抵接,通过顶紧弹簧,令V轴调整机构更加紧凑,便于复位过程。
根据本发明的一些实施例,所述中间座和/或底座上设有与X轴调整机构、Y轴调整机构、W轴调整机构、U轴调整机构或V轴调整机构相配合的刻度尺,以配合五轴调整过程。
本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本发明的实践了解到。
附图说明
本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解,其中:
图1为本发明实施例的整体结构示意图;
图2为图1示出结构的俯视方向上的结构示意图,忽略承载台;
图3为图1示出结构沿着Y轴方向在U轴调整机构上的截面示意图;
图4为图1示出结构沿着Y轴方向在U轴微调机构上的截面示意图;
图5为图1示出结构沿着X轴方向在V轴调整机构上的截面示意图;
图6为本发明实施例的X轴调整机构和Y轴调整机构的分离结构示意图;
图7为本发明的实施例沿Z轴方向上的分离结构示意图。
附图标号:
承载台100、中间座200、凸部210、垂直圆通孔212、调整台220、保护套221、第一顶紧套222、第二顶紧套223、安装块230、底座300、X轴调整机构400、X调整轴410、第一顶紧弹簧420、Y轴调整机构500、Y调整轴510、固定块520、第二顶紧弹簧530、U轴调整机构600、U轴调整轴610、前调整轴611、后调整轴612、U轴调整钢球620、第三顶紧弹簧630、V轴调整机构700、V轴调整轴710、V轴调整块720、第四顶紧弹簧730、封堵顶丝740、U轴微调机构800、微调顶丝810、微调轴820、导向斜面821、顶升轴830、W轴调整机构900、旋转盘910、调整盘920
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本发明,而不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中,需要理解的是,涉及到方位描述,例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中,若干的含义是一个或者多个,多个的含义是两个以上,大于、小于、超过等理解为不包括本数,以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
本发明的描述中,除非另有明确的限定,设置、安装、连接等词语应做广义理解,所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本发明中的具体含义。
一并参照图1至图7,以下对本发明实施例的五轴调节滑台进行说明。
如图1至图7所示,一种五轴调节滑台,包括承载台100、中间座和底座300,中间座上设有X轴调整机构400、Y轴调整机构500和U轴调整机构600,底座300上设有W轴调整机构900和V轴调整机构700,X轴调整机构400和Y轴调整机构500均与承载台100连接,X轴调整机构400能够推动承载台100相对中间座沿X轴方向移动,从而调整承载台100沿X轴方向上的位置,Y轴调整机构500能够推动承载台100相对于中间座沿Y轴方向移动,从而调整承载台100沿Y轴方向上的位置,W轴调整机构900与中间座连接,能够推动中间座绕着Z中方形转动,从而调整中间座相对于底座300绕Z轴方向上的旋转位置,而承载台100通过X轴调整机构400和Y轴调整机构500与中间座连接,当中间座绕着底座300转动时,承载台100同样随着中间座绕着底座300转动,因此当W轴调整机构900转动中间座时,同样能够转动承载台100进而调整承载台100的旋转位置,即为沿W轴方向的调整过程。U轴调整机构600与承载台100抵接,能够抬升承载台100的左右两侧,调整承载台100沿着Z轴和X轴所组成竖直平面上的倾斜角度,绕着Y轴方向的旋转角度,即为U轴方向,从而调整承载台100沿着U轴方向的倾斜角度。V轴调整机构700与承载台100连接,连接的方式可以是直接连接的方式也可以是间接连接的方式,用能够抬升承载台100的前后两端,调整承载台100沿着Z轴和Y轴所组成竖直平面上的倾斜角度,绕着Y轴方向上的旋转角度,即V轴方向,从而调整承载台100沿着V轴方向的倾斜角度。
在本发明的一些实施例中,参照图7,W轴调整机构900包括设置在底座300上的旋转盘910,中间座固定连接在旋转盘910上,旋转盘910可通过螺钉连接的方式与中间座固定连接,其中,旋转盘910设置在底座300上时,应为活动连接关系,底座300上设有容置旋转盘910的盘孔,旋转盘910与盘孔的孔壁之间留有一定的空隙与间隔,具有活动间距,避免对其他轴的调整机构产生影响。此外,旋转盘910底部还固定设置有调整盘920,通过调整盘920对W轴的位置进行调整。
在本发明的一些实施例中,U轴调整机构600包括转动设置在底座300上的旋转盘910,中间座固定连接在旋转盘910上,旋转盘910可通过转动轴承转动连接在底座300的中部位置,中间盘可通过螺钉连接的方式固定连接在旋转盘910上,旋转盘910与底座300之间设有摩擦阻力,摩擦阻力用于防止中间座通过旋转盘910在底座300上自由转动,影响滑台的工作过程。此外,旋转盘910通过轴承转动连接在底座300时为自由转动,通过其他部件在转动的合适位置处进行卡紧或固定,其他部件可以为顶丝、紧固螺钉等,将旋转盘910固定在合适的位置。轴承的内圈上开设有若干个顶丝口或螺钉孔,顶丝或紧固螺钉通过穿过顶丝口或螺钉孔与底座300固定连接从而实现固定连接过程。
在本发明的一些实施例中,X轴调整机构400和Y轴调整机构500之间设有调整台220,X轴调整机构400包括螺纹连接在调整台220上并限位在承载台100上的X调整轴410,Y轴调整机构500包括螺纹连接在调整台220上并限位在中间座上的Y调整轴510,X调整轴410和Y调整轴510成直角布置在调整台220的周侧,由于X轴限位在承载台100上并沿着X轴方向设置,当X调整轴410旋转时,能够根据旋转方向调整调整台220相对于承载台100沿X轴方向移动位置,且由于Y调整轴510沿Y轴方向设置并螺纹连接承载台100,调整台220在移动过程中同样带动着中间座相对承载台100沿X轴移动,相对来说承载台100能够相对于中间座沿着X轴移动,进而调整承载台100的X轴方向。同样,由于Y轴限位在承载台100上并沿着Y轴方向设置,当Y调整轴510旋转时,能够根据旋转方向调整调整台220相对中间座沿Y轴方向移动位置,且由于X调整轴410沿X轴方向设置并螺纹连接承载台100,调整台220带动着承载台100相对中间座沿着Y轴移动,调整承载台100的Y轴方向位置。
具体的,X调整轴410和Y调整轴510均为长顶丝,中间轴左右两侧均设有凸部210,中间形成一放置调整台220的沟槽,两凸部210上均镶嵌有安装块230,X调整轴410的调整端部穿设在安装块230内,调整端部可通过轴承与凸部210转动连接,并实现在凸部210即中间座上的限位功能,限制X调整轴410在中间座上的相对位置,从而能够在旋转过程中拉动调整台220运动。承载台100前后两端的底部均设有设置在沟槽内的固定块520,Y调整轴510的调整端部穿设在其一固定块520内,限制Y调整轴510与承载台100的相对位置,从而实现X轴调整过程。此外,X调整轴410与承载台100之间、Y调整轴510与承载台100之间设有保护套221,用于保护X调整轴410和Y调整轴510,即保护长顶丝。
再具体的,调整台220相对于X调整轴410的另一侧设有X轴顶紧机构,相对于Y调整轴510的另一侧设有Y轴顶紧机构,X轴顶紧机构包括第一顶紧弹簧420,第一顶紧弹簧420的两端分别抵接在安装块230和调整台220上,该安装块230为相对于X调整轴410的另一固定块520,第一顶紧弹簧420同样沿X轴设置,与X调整轴410相配合实现在X轴方向上的调整过程,Y轴顶紧机构包括第二顶紧弹簧530,第二顶紧弹簧530的两端分别抵接在固定块520和调整台220上,该安装块230为相对于Y调整轴510的另一固定块520,第二顶紧弹簧530沿Y轴设置,与Y调整轴510向配合实现在Y轴方向上的调整过程。调整台220与抵接第一顶紧弹簧420的安装块230之间设有第一顶紧套222,第一顶紧套222固定连接在调整台220上,第一顶紧弹簧420穿设在第一顶紧套222内并与调整台220抵接,实现顶紧作用。同样,调整台220与抵接第二顶级弹簧的固定块520之间设有第二顶紧套223,第二顶紧套223固定连接在调整台220上,第二顶紧弹簧530穿设在第二顶紧套223上并实现顶紧功能。第一顶紧套222和第二顶紧套223用于保护第一顶紧弹簧420和第二顶紧弹簧530。调整台220的周侧固定设置有包裹长顶丝的保护套221,用于保护X调整轴410和Y调整轴510。
在本发明的一些实施例中,U轴调整机构600包括穿设在中间座两侧的U轴调整轴610、U轴调整钢球620和U轴顶丝,U轴调整轴610包括前调整轴611和后调整轴612,前调整轴611和后调整轴612相对设置在中间座内并设有相对设置的锥形面,前调整轴611和后调整轴612相对设置在中间座内并设有相对设置的锥形面,前调整轴611和后调整轴612之间通过复位弹簧抵接,前调整轴611和后调整轴612沿Y轴方向设置,穿设在中间座两侧的凸部210内,中间座两侧的凸部210内设有调整轴孔和与调整轴孔相交的两个相平行的垂直圆通孔212,U轴调整轴610设置在调整轴孔内,垂直圆通孔212内至少设有一个U轴调整钢球620,U轴调整钢球620的直径与垂直圆通孔212的直径相同,使得U轴调整钢球620能够在垂直圆通孔212内沿着孔壁运动,位于垂直圆通孔212顶部的U轴调整钢球620与承载台100的底部相抵接,位于垂直圆通孔212底部的U轴调整钢球620与前调整轴611或后调整轴612的锥形面相抵接。前调整轴611和后调整轴612均螺纹连接在调整轴孔内,通过旋转运动在调整轴孔内移动,前调整轴611与后调整轴612之间设有顶紧弹簧,该顶紧弹簧为第三顶紧弹簧630,使得前调整轴611和后调整轴612相顶紧在调整轴孔内,使得其内部结构紧凑,防止松动。两垂直圆通孔212与前调整轴611和后调整轴612分别对应,每一垂直圆通孔212内至少放置一个U轴调整钢球620,前调整轴611和后调整轴612通过螺纹在调整轴孔内运动,并通过锥形面带动相抵接的U轴调整钢球620向上或向下运动,从而顶起承载台100的一角,而两调整轴运动相同间隔,相互配合调整承载台100的左右两侧倾斜角度,即沿着X轴和Z轴组成平面,绕着Y轴的旋转方向进行调整过程,即为U轴方向的调整过程。需要说明的是,当垂直圆通孔212内仅设置一个U轴调整钢球620时,该U轴调整钢球620的上端抵接承载台100,下端抵接锥形面。
具体的,每个垂直圆通孔212内设有两个相互接触排列的U轴调整钢球620,前调整轴611和后调整轴612均为穿设在调整轴孔内的顶丝,利用旋转运动推动U型调整钢球向上或向下变动,实现承载台100沿U轴方向的调整过程。
在本发明的一些实施例中,中间座的两侧还设有U轴微调机构800,U轴微调机构800包括微调顶丝810、微调轴820和顶升轴830,微调轴820的端部设有导向斜面821,顶升轴830的底部抵接在导向斜面821上,微调顶丝810限位在中间座两侧的凸部210内,微调顶丝810的末端与微调轴820螺纹连接,凸部210内设有用于容置微调顶丝810和微调轴820的微调孔以及与微调孔垂直相交的顶升孔,顶升轴830设置在顶升孔内,微调轴820的端部设有导向斜面821,顶升轴830的顶部抵接在承载台100的底部,顶升轴830的底部设有与导向斜面821相抵接的顶升斜面,微调顶丝810在微调孔内运动时推动微调轴820运动进而驱使顶升轴830运动。需要说明的是,微调顶丝810和微调轴820均在同一条直线上且该直线方向沿Y轴方向,同样用于沿着U轴方向上的调整过程,微调轴820的直径比前调整轴611或后调整轴612的直径小,调整精度高,从而实现在U轴方向上的微调过程。需要说明的是,微调顶丝810限位在中间座两侧的凸部210内,可通过限位阶梯或通过轴承方式进行实现。此外,还可以为以下结构,微调顶丝810螺纹连接在微调孔内并沿着微调孔Y轴方向移动,推动顶紧在微调顶丝810末端的微调轴820运动,进而实现微调功能,需要说明的是,由于顶升轴830可通过导向斜面821回推微调轴820,因此微调轴820具有复位功能。
在本发明的一些实施例中,V轴调整机构700包括穿设在底座300一端的V轴调整轴710、V轴调整块720,V轴调整轴710螺纹连接在底座300内并沿着X轴方向设置,V轴调整轴710上设有锥形面,V轴调整块720底部设有与该锥形面相抵接的球形面,调整块的上端固接在中间座内,V轴调整轴710能够通过螺纹旋转运动进而沿着X轴方向移动,推动调整块向上或向下,实现承载台100前端的升降,绕着X轴方向倾斜,从而实现V轴方向的调整过程。V轴即为绕着X轴的旋转方向。当V轴调整轴710沿X轴方向运动时,V轴调整块720向上抵住中间座,中间座通过进而推动承载台100前端顶起或降下,实现V轴上的调节过程。
具体的,V轴调整机构700还包括设置在底座300内的顶紧弹簧,顶紧弹簧一端抵接在底座300内,另一端与V轴调整块720的端部抵接,实现V轴调整块720的顶紧过程。V轴调整块720可以为设有锥形面的顶丝结构,还可以为其他螺纹轴结构,调整过程。此外,在底座300的前端沿X轴方向打通一长通孔,安装V轴调整块720和顶紧弹簧,该顶紧弹簧为第四顶紧弹簧730,且通过封堵顶丝740堵住长通孔一端,V轴调整块720安装在相对的另一端,第四顶紧弹簧730顶紧在封堵顶丝740顶丝和V轴调整块720之间,实现顶紧过程。
在本发明的一些实施例中,中间座和/底座300上设有与X轴调整机构400、Y轴调整机构500、W轴调整机构900U轴调整机构600或V轴调整机构700相配合的刻度尺。中间座上设有与X轴调整机构400相配对的X刻度尺,与Y轴调整机构500相配对的Y刻度尺,与U轴调整机构600相配合的U刻度尺,底座300上设有与V轴调整机构700相配对的V刻度尺。
本发明设计承载台100-中间座-底座300三层结构,利用X轴调整机构400、Y轴调整机构500、V轴调整机构700、U轴调整机构600和W轴调整机构900实现了五轴方向上的调整过程,其中X轴和Y轴组成水平直角坐标系,W轴为环绕着垂直于水平平面坐标系Z轴的转动方向,U轴为环绕着Y轴的转动方向,V轴为环绕着X轴的转动方向,能够适用于更高精度光学仪器的生产测试要求。
上面结合附图对本发明实施例作了详细说明,但是本发明不限于上述实施例,在所述技术领域普通技术人员所具备的知识范围内,还可以在不脱离本发明宗旨的前提下作出各种变化。
Claims (10)
1.一种五轴调节滑台,其特征在于,包括:
承载台(100);
中间座(200),所述承载台(100)设置在所述中间座(200)上方;
底座(300),所述中间座(200)设置在所述底座(300)上;
W轴调整机构(900),设置在所述底座(300)上并与所述中间座(200)连接,所述W轴调整机构(900)调整所述中间座(200)绕Z轴方向上的旋转位置;
X轴调整机构(400),设置在所述中间座(200)上并与所述承载台(100)连接,能够推动所述承载台(100)相对所述中间座(200)沿X轴方向移动;
Y轴调整机构(500),设置在所述中间座(200)上并与所述承载台(100)连接,能够推动所述承载台(100)相对所述中间座(200)沿Y轴方向移动;
U轴调整机构(600),设置在所述中间座(200)上并与所述承载台(100)抵接,能够调整所述承载台(100)沿U轴方向上的倾斜角度;
V轴调整机构(700),设置在所述底座(300)上并与所述承载台(100)连接,能够调整所述中间座(200)沿V轴方向上的倾斜角度。
2.根据权利要求1所述的五轴调节滑台,其特征在于,所述W轴调整机构(900)包括设置在所述底座(300)上的旋转盘(910),所述中间座(200)固定连接在所述旋转盘(910)上。
3.根据权利要求1所述的五轴调节滑台,其特征在于,所述X轴调整机构(400)和所述Y轴调整机构(500)之间设有调整台(220),所述X轴调整机构(400)包括螺纹连接在所述调整台(220)上并限位在所述承载台(100)上的X调整轴(410),所述Y轴调整机构(500)包括螺纹连接在所述调整台(220)上并限位在所述中间座(200)上的Y调整轴(510)。
4.根据权利要求3所述的五轴调节滑台,其特征在于,所述X调整轴(410)和所述Y调整轴(510)均为长顶丝,所述调整台(220)上固设有包裹长顶丝的保护套(221)。
5.根据权利要求1所述的五轴调节滑台,其特征在于,所述U轴调整机构(600)包括穿设在中间座(200)两侧的U轴调整轴(610)、U轴调整钢球(620),所述U轴调整轴(610)包括前调整轴(611)和后调整轴(612),所述前调整轴(611)和所述后调整轴(612)相对螺纹连接在所述中间座(200)内并设有相对设置的锥形面,所述前调整轴(611)和所述后调整轴(612)之间通过复位弹簧抵接,所述中间座(200)的两侧设有调整轴孔且与所述调整轴孔相交的两个垂直圆通孔(212),所述U轴调整轴(610)设置在所述调整轴孔内,所述垂直圆通孔(212)内设有至少一个所述U轴调整钢球(620),所述垂直圆通孔(212)的直径与所述U轴调整钢球(620)直径相同,位于所述垂直圆通孔(212)顶部的所述U轴调整钢球(620)与所述承载台(100)底部抵接,位于所述垂直圆通孔(212)底部的所述U轴调整钢球(620)与所述前调整轴(611)或所述后调整轴(612)的锥形面抵接。
6.根据权利要求5所述的五轴调节滑台,其特征在于,两个所述垂直圆通孔(212)相对设置在所述中间座(200)的一侧,每个所述垂直圆通孔(212)内设置有两个所述U轴调整钢球(620),所述承载台(100)的底部设有与所述U轴调整钢球(620)相适配的球形凹面。
7.根据权利要求5所述的五轴调节滑台,其特征在于,所述中间座(200)的两侧还设有U轴微调机构(800),所述U轴微调机构(800)包括微调顶丝(810)、微调轴(820)和顶升轴(830),所述微调顶丝(810)限位在所述中间座(200)内,所述微调轴(820)的端部设有导向斜面(821),所述顶升轴(830)抵接在所述导向斜面(821)上,所述微调顶丝(810)与所述微调轴(820)螺纹连接并能够调整所述微调轴(820)在Y轴方向上的位置。
8.根据权利要求1所述的五轴调节滑台,其特征在于,所述V轴调整机构(700)包括设置在穿设在所述底座(300)一端的V轴调整轴(710)、V轴调整块(720),所述V轴调整轴(710)上设有锥形面,所述V轴调整块(720)上设有与所述锥形面相抵接的球形面,所述V轴调整块(720)的上端固接在所述中间座(200)内,所述V轴调整轴(710)螺纹连接在所述底座(300)内并通过旋转运动沿X轴方向移动。
9.根据权利要求8所述的五轴调节滑台,其特征在于,所述V轴调整机构(700)还包括有设置在所述底座(300)内的顶紧弹簧,所述顶紧弹簧一端抵接在所述底座(300)内,另一端与所述V轴调整块(720)的端部抵接。
10.根据权利要求1至9任一项所述的五轴调节滑台,其特征在于,所述中间座(200)和/或所述底座(300)上设有与所述X轴调整机构(400)、所述Y轴调整机构(500)、所述W轴调整机构(900)、所述U轴调整机构(600)或所述V轴调整机构(700)相配合的刻度尺。
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