CN220553083U - 一种调平器 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种调平器，包括调平组件和支调组件；所述支调组件包括Z轴向或X轴向的第二线性自由度，所述调平组件包括Y轴向的第一线性自由度；所述支调组件调节于所述调平组件作线性位置调节；所述调平组件包括线性定心系统，所述线性定心系统沿所述第一线性自由度的旋转周的圆周方向均匀排布若干个载荷传递部；一、载荷均衡和承载能力提升：通过线性定心系统的均衡载荷传递和支调组件的分散载荷设计，本实用新型的技术成功解决了传统技术中的载荷不均衡和承载能力限制问题。这提高了整体调平器的稳定性和可靠性。二、高精度调整：本实用新型的技术通过线性定心系统和螺纹杆的设计，实现了高精度的调整。

Description

一种调平器

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，特别涉及一种调平器。

背景技术

光刻机用的调平器是一种用于在光刻机的安装和装配阶段对其内部或外部的功能性部件进行调节和调平的装置。光刻机是半导体制造中至关重要的设备，用于将图案投影到半导体芯片上，从而制造微小的结构和电路。为了确保光刻机的正常运行以及产品质量，各个功能性部件需要在装配时保持准确的位置和平衡状态。调平器的作用就是实现这种精确的调节和调平。

具体来说，光刻机内部存在许多关键的部件，如光源、掩模、投影镜头等，它们需要在装配时被准确地放置和调整。调平器通过提供微小的、高度可控的调节能力，确保这些部件的位置和角度达到要求，从而保证成像的准确性和产品质量。光刻机的稳定性和精度与其支撑结构和连接组件的状态密切相关。调平器可以用来微调这些结构，以便在光刻过程中减少振动、位移等干扰，从而提高光刻的稳定性和重复性。

同时，光刻机内部的机构部件往往通过中继性组件相互连接。调平器可以对这些中继性组件进行微调，确保机构部件之间的传递和转换动作的精确性，进而保证整个光刻机的正常运行。

在现有技术中光刻机用的调平器通常是斜楔式调平器，斜楔式调平器是一种用于精确调节和平衡光刻机内部或外部功能性部件的装置，采用了日本仓敷化工(KURASHIKIKAKO)公司开发的技术。这种调平器以其独特的设计和优势在光刻机制造领域得到广泛应用。具体来说，斜楔式调平器采用了斜楔的设计原理。斜楔是一种具有楔形横截面的构件，其一个侧面倾斜，可用于实现微小的高度调整。通过微调斜楔的倾斜角度，可以实现微米级别的高度调节，使得光刻机内部的部件能够达到精确的位置和平衡状态。这种斜楔式调平器具有极高的精度。由于斜楔的倾斜角度可以微调，因此可以实现非常精确的高度调节。这种高精度调节非常重要，特别是在微米级别结构的制造中，以确保光刻机的成像精度和产品质量。斜楔式调平器通过其独特的斜楔设计和高精度调节能力，在光刻机的制造过程中发挥着关键的作用。它们提供了一种高效、稳定且精确的方法，用于确保光刻机内部部件的准确对位和平衡，从而实现半导体制造中所需的高精度成像。

但是，经过发明人长期工作与研究发现，传统的斜楔式调平器中存在如下的技术问题亟需解决：

(1)载荷不均衡：传统的斜楔式调平器在载荷传递时，由于其斜楔结构的特性，导致在调平过程中载荷分布不均衡。这导致一侧受力较大，而另一侧受力较小，影响了调平的稳定性和准确性。

(2)对载荷承受能力的限制：斜楔式调平器在一些高载荷环境中会受到承受能力的限制。由于斜楔的结构特点，其在承受较大载荷时不够稳定，容易产生变形或失效。

(3)难以实现多轴调整：传统斜楔式调平器通常在一个平面内进行调整，难以同时实现多个方向的调整。这在需要多轴对位的场景中会受到限制，无法满足复杂对位的要求。

为此，提出一种调平器。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例希望提供一种调平器，以解决或缓解现有技术中存在的技术问题，即载荷不均衡、对载荷承受能力限制和难以实现多轴调整，并对此至少提供一种有益的选择；

本实用新型实施例的技术方案是这样实现的：一种调平器，包括调平组件和支调组件；所述支调组件包括Z轴向或X轴向的第二线性自由度，所述调平组件包括Y轴向的第一线性自由度；所述支调组件调节于所述调平组件作线性位置调节；所述调平组件包括线性定心系统，所述线性定心系统沿所述第一线性自由度的旋转周的圆周方向均匀排布若干个载荷传递部；所述调平组件带动连接平台作高度调节。连接平台用于连接外部功能性设备。

在上述的实施方式中：这种调平器包括两个主要组件：调平组件和支调组件。调平组件具有沿Y轴向的第一线性自由度，而支调组件则具有沿Z轴向或X轴向的第二线性自由度。支调组件通过线性位置调节与调平组件相互作用。

其中在一种实施方式中：所述调平组件包括第一机架，第二机架沿所述第一机架的表面由低至高滑动配合或由高至低滑动配合；所述第一机架和所述第二机架之间的滑动面上开设有所述线性定心系统。第一机架和第二机架的外部对应可有高度指示表，便于工作人员进行调平。

在上述的实施方式中：调平器的调平组件包括第一机架和第二机架。第二机架沿着第一机架的表面滑动配合，可以由低至高或由高至低进行滑动。线性定心系统设置在第一机架和第二机架之间的滑动面上。

其中在一种实施方式中：所述线性定心系统包括第一花键面和第二花键面，所述第一花键面和所述第二花键面分别开设于所述第一机架和所述第二机架；所述载荷传递部优选为键齿，所述第一花键面和所述第二花键面均开设有所述键齿并依此相互滑动配合；还包括用于输出所述第一线性自由度的第一直线调节器，所述第一直线调节器配合连接于所述第一机架、所述所述第二机架所述第一花键面和所述第二花键面，旋转所述第一直线调节器控制所述第二机架沿所述第一机架升降调节；所述连接平台开设于所述第二机架上。

在上述的实施方式中：调平器的线性定心系统包括第一花键面和第二花键面。这两个花键面分别开设在第一机架和第二机架上。调平器中还包括用于输出第一线性自由度的第一直线调节器，该调节器连接到第一机架，并与第一花键面和第二花键面相互滑动配合。通过旋转第一直线调节器，可以控制第二机架沿第一机架升降，从而实现高度调节。连接平台开设在第二机架上，用于连接外部功能性设备。

其中在一种实施方式中：所述第一花键面和所述第二花键面均为弧形面，所述键齿以所述第一线性自由度的旋转轴为基准，依此环形阵列式开设于所述第一花键面和所述第二花键面上。

在上述的实施方式中：调平器的线性定心系统采用了弧形面的设计。第一花键面和第二花键面均为弧形的表面，以适应特定的调平需求。键齿按照第一线性自由度的旋转轴为基准，以环形阵列的形式开设在第一花键面和第二花键面上。

其中在一种实施方式中：所述第一花键面和所述第二花键面在所述第一线性自由度的旋转轴的铅垂面视角下呈椎形。

在上述的实施方式中：调平器的线性定心系统的第一花键面和第二花键面的设计呈现出椎形的外观，这种椎形设计在考虑了第一线性自由度的旋转轴的铅垂面视角下展现。

其中在一种实施方式中：所述键齿为矩形键齿或渐开线键齿。

在上述的实施方式中：调平器的键齿设计有两种选项：矩形键齿或渐开线键齿。其中，矩形键齿适用于载荷不强的环境，而渐开线键齿则适用于载荷较强的环境。

其中在一种实施方式中：所述第一直线调节器优选为第一螺纹杆，所述第一螺纹杆的轴头通过轴承转动配合并支撑于所述第一机架的内部，所述第一螺纹杆的螺身螺纹转动配合于所述第二机架的内侧壁。

在上述的实施方式中：螺纹杆的螺纹部分则与第二机架的内侧壁进行螺纹转动配合。第一螺纹杆还在延伸到第二机架的部分开设有内六槽，以便工人进行调节。

其中在一种实施方式中：所述第一机架和所述第二机架之间的滑动面相较于水平面为倾斜滑动面，所述第二机架沿所述第一机架的表面以倾斜的形式由低至高滑动配合或由高至低滑动配合。

在上述的实施方式中：调平器的第一机架和第二机架之间的滑动面被设计为相对于水平面倾斜的滑动面。第二机架沿着第一机架的表面以倾斜的方式，可以由低至高或由高至低进行滑动配合。

其中在一种实施方式中：所述支调组件包括第一板体和沿所述第一板体表面滑动配合的第二板体；所述第二板体的外部固设于所述调平组件的所述第一机架；所述第一板体的外部螺纹转动配合有用于输出所述第二线性自由度的第二螺纹杆，所述第二螺纹杆的轴头抵顶于所述第二板体。

在上述的实施方式中：支调组件由两个部分组成：第一板体和第二板体。第二螺纹杆上同样设有内六槽，方便工人进行调节。

其中在一种实施方式中：所述支调组件的数量为两个，其中一个所述支调组件的所述第二板体不与所述调平组件的所述第一机架连接，而是与另一个所述支调组件的所述第一板体固定连接；两个所述支调组件各自的第二线性自由度分别为X轴向和Z轴向。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

一、载荷均衡和承载能力提升：通过线性定心系统的均衡载荷传递和支调组件的分散载荷设计，本实用新型的技术成功解决了传统技术中的载荷不均衡和承载能力限制问题。这提高了整体调平器的稳定性和可靠性。

二、高精度调整：本实用新型的技术通过线性定心系统和螺纹杆的设计，实现了高精度的调整。这对于一些需要精确对位的应用非常重要，确保了调平的精度和稳定性。

三、多轴调整能力：本实用新型的技术通过支调组件的布置，实现了X、Y和Z轴向的多轴调整能力。这使得调平器可以在不同方向上进行精确的线性自由度调整，适应复杂对位需求。

四、灵活性和适应性：本实用新型的技术通过多轴调整和支调组件的布置，增强了调平器的灵活性和适应性。它可以应对多样化的调平需求，包括不同方向的调整和各种形状的设备。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的立体示意图；

图2为本实用新型的装配有两个支调组件型号的立体示意图；

图3为本实用新型的支调组件立体示意图；

图4为本实用新型的调平组件立体示意图；

图5为本实用新型的线性定心系统立体示意图；

图6为本实用新型的线性定心系统立体示意图；

图7为本实用新型的线性定心系统立体示意图；

附图标记：1、调平组件；101、第一机架；102、第二机架；103、第一直线调节器；104、线性定心系统；1041、第一花键面；1042、第二花键面；2、连接平台；3、支调组件；301、第一板体；302、第二板体；303、第二螺纹杆；

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制；

需要注意的是，术语“第一”、“第二”、“对称”、“阵列”等仅用于区分描述与位置描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“对称”等特征的可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征；同样，对于未以“两个”、“三只”等文字形式对某些特征进行数量限制时，应注意到该特征同样属于明示或者隐含地包括一个或者更多个特征数量；

需要指出的是，“自由度”类的术语均指代至少一个部件的连接关系及施加作用力的关系，例如“线性自由度”指代某部件通过该线性自由度与另一个或多个部件相连并对其施加作用力，使得其能够在一个直线方向上滑动配合或施加力；“转动自由度”指代某个部件至少能够绕一个旋转轴自由旋转，并且可以施加扭矩或承受扭矩。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征；同时，所有的轴向描述例如X轴向、Y轴向、Z轴向、X轴向的一端、Y轴向的另一端或Z轴向的另一端等，均基于笛卡尔坐标系。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，“安装”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解；例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体成型；可以是机械连接，可以是直接相连，可以是焊接，也可以是通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据说明书附图结合具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在现有技术中，光刻机用的调平器在设计和制造时注重高度调节和调平的精度。它们通常使用微米级别的调节螺丝、螺母或其他精密机械装置，以实现极小的调整步长和高度控制，确保微小结构的精确对位和成像；斜楔式调平器通过其独特的斜楔设计和高精度调节能力，在光刻机的制造过程中发挥着关键的作用。它们提供了一种高效、稳定且精确的方法，用于确保光刻机内部部件的准确对位和平衡，从而实现半导体制造中所需的高精度成像；但是其也存在着载荷不均衡、对载荷承受能力限制和难以实现多轴调整的技术问题；为此，请参阅图1-7，本具体实施方式将提供相关技术方案以解决上述技术问题：一种调平器，包括调平组件1和支调组件3；支调组件3包括Z轴向或X轴向的第二线性自由度，调平组件1包括Y轴向的第一线性自由度；支调组件3调节于调平组件1作线性位置调节；调平组件1包括线性定心系统104，线性定心系统104沿第一线性自由度的旋转周的圆周方向均匀排布若干个载荷传递部；调平组件1带动连接平台2作高度调节。连接平台2用于连接外部功能性设备。连接平台2是开设有若干个连接槽或螺纹槽的平面体。

在本方案中：这种调平器包括两个主要组件：调平组件1和支调组件3。调平组件1具有沿Y轴向的第一线性自由度，而支调组件3则具有沿Z轴向或X轴向的第二线性自由度。支调组件3通过线性位置调节与调平组件1相互作用。

具体的：在这种调平器中，通过调平组件1的线性定心系统104来实现高精度的调平。线性定心系统104沿着第一线性自由度的旋转周围均匀排布着多个载荷传递部，这些部件承担着实现调平的关键作用。支调组件3具有第二线性自由度，它可以在Z轴向或X轴向上进行调节。通过控制支调组件3的位置，可以实现与调平组件1的线性位置调节相互作用，从而精确调整整个系统的水平性和平衡性。

可以理解的是，在本具体实施方式中：这种调平器的关键功能是在连接平台2上放置外部功能性设备时，通过调平组件1和支调组件3的协同作用来实现设备的精确调平。调平组件1的线性定心系统104通过多个载荷传递部分散地传递负荷，确保设备在Y轴向的平衡性。支调组件3的第二线性自由度允许在Z轴向或X轴向上进行微调，从而进一步优化设备的位置。连接平台2通过调平组件1的高度调节功能，使得外部功能性设备能够在精确的位置上进行操作，从而确保设备之间的对位精度和稳定性。在这个调平器中，通过调平组件1和支调组件3的结合，以及线性定心系统的设计，实现了对外部设备的高精度调平。这种设计可以在多种应用中发挥作用，特别是在需要稳定平衡操作的场景下，如半导体制造中的光刻机装配过程。

在本具体实施方式中，请参阅图3～6：调平组件1包括第一机架101，第二机架102沿第一机架101的表面由低至高滑动配合或由高至低滑动配合；第一机架101和第二机架102之间的滑动面上开设有线性定心系统104。第一机架101和第二机架102的外部对应可有高度指示表，便于工作人员进行调平。

在本方案中：调平器的调平组件1包括第一机架101和第二机架102。第二机架102沿着第一机架101的表面滑动配合，可以由低至高或由高至低进行滑动。线性定心系统104设置在第一机架101和第二机架102之间的滑动面上。

具体的：调平器通过第一机架101和第二机架102的相对滑动来实现调平。第二机架102可以在第一机架101的表面上由低至高或由高至低滑动，这种滑动配合的设计允许对调平进行微调。线性定心系统104位于第一机架101和第二机架102之间的滑动面上，通过多个载荷传递部分散地传递负荷，从而实现高精度的调平操作。

可以理解的是，在本具体实施方式中：调平组件1的第一机架101和第二机架102之间的滑动配合设计以及线性定心系统104的设置，共同实现了精确的调平功能。第二机架102的滑动运动允许在不同高度上进行微小的调整，以适应不同的工作要求。同时，第一机架101和第二机架102的外部可以配备高度指示表，这使得操作人员可以方便地监测和调整调平状态，确保设备达到所需的水平位置。调平器设计使得调平过程更加直观和可控，适用于需要频繁调整设备位置的场景。通过结合滑动配合、线性定心系统以及高度指示表，这种调平器可以提高工作效率，并确保外部设备的高精度对位。

在本具体实施方式中，请参阅图3～6：线性定心系统104包括第一花键面1041和第二花键面1042，第一花键面1041和第二花键面1042分别开设于第一机架101和第二机架102；载荷传递部优选为键齿，第一花键面1041和第二花键面1042均开设有键齿并依此相互滑动配合；还包括用于输出第一线性自由度的第一直线调节器103，第一直线调节器103配合连接于第一机架101、第二机架102第一花键面1041和第二花键面1042，旋转第一直线调节器103控制第二机架102沿第一机架101升降调节；连接平台2开设于第二机架102上。

在本方案中：调平器的线性定心系统104包括第一花键面1041和第二花键面1042。这两个花键面分别开设在第一机架101和第二机架102上。调平器中还包括用于输出第一线性自由度的第一直线调节器103，该调节器连接到第一机架101，并与第一花键面1041和第二花键面1042相互滑动配合。通过旋转第一直线调节器103，可以控制第二机架102沿第一机架101升降，从而实现高度调节。连接平台2开设在第二机架102上，用于连接外部功能性设备。

具体的：线性定心系统104由第一花键面1041和第二花键面1042组成。这两个花键面分别嵌入在第一机架101和第二机架102上，通过键齿的滑动配合，传递载荷并实现精确调平。第一直线调节器103用于调整第二机架102的位置，其通过连接第一机架101和第二机架102上的花键面来实现高度调节。通过旋转第一直线调节器103，可以精确控制第二机架102在垂直方向的升降。

可以理解的是，在本具体实施方式中：线性定心系统104的设计通过花键面和键齿的滑动配合，确保载荷在调平过程中得以传递，从而实现高精度的调平。第一直线调节器103充当调节机构，使得第二机架102可以在第一机架101的引导下进行升降调节。连接平台2作为外部功能性设备的支持平台，连接在第二机架102上，从而实现外部设备的精确对位和稳定支持。通过花键面、键齿、线性调节器和连接平台的结合，实现了一个具有高精度和可控性的调平器设计。该设计适用于需要频繁进行高度调节的场景，特别是在需要保持设备稳定性和对位精度的应用中。

在本具体实施方式中，请参阅图3～6：第一花键面1041和第二花键面1042均为弧形面，键齿以第一线性自由度的旋转轴为基准，依此环形阵列式开设于第一花键面1041和第二花键面1042上。

在本方案中：调平器的线性定心系统104采用了弧形面的设计。第一花键面1041和第二花键面1042均为弧形的表面，以适应特定的调平需求。键齿按照第一线性自由度的旋转轴为基准，以环形阵列的形式开设在第一花键面1041和第二花键面1042上。

具体的：弧形设计的第一花键面1041和第二花键面1042分别充当载荷传递的表面。键齿被布置成环形阵列，这些键齿以第一线性自由度的旋转轴为中心，并在环形方向上均匀分布。当调平组件1发生微小调整时，键齿在弧形花键面上滑动，从而实现载荷的传递和分散，以实现调平操作。

可以理解的是，在本具体实施方式中：弧形的第一花键面1041和第二花键面1042以及环形阵列的键齿设计使得线性定心系统104能够在特定的弧度范围内实现高精度的载荷传递。当调平组件1进行旋转调整时，载荷传递部分与支调组件3的键齿相互滑动配合。由于键齿的环形阵列设计，载荷在整个弧度范围内得到均匀传递，避免了传统斜楔式调平器可能出现的载荷集中或不均衡的情况。弧形设计和环形键齿的布置使得线性定心系统104在特定的弧度范围内实现了高精度的调整。这种设计确保了载荷传递部分的运动轨迹在精确的范围内，从而实现了调整的精确性。与传统的斜楔式调平器相比，这种设计避免了过大或过小的调整幅度，有助于提高调整的精度。

进一步的，弧形的设计和环形键齿的布置不仅在特定范围内实现了高精度调整，还有助于防止过载和损坏。载荷传递部分与键齿的配合机制在设计上具有一定的弹性，可以在一定程度上吸收和分散载荷。这有助于避免在调整过程中产生过大的力，从而减少了对调平组件1和支调组件3的损害风险。弧形的第一花键面1041和第二花键面1042的设计确保了载荷传递部分与键齿的稳定接触和传递。这种稳定的接触可以保证在调整过程中载荷的连续传递，从而实现平稳和精确的调整。

进一步的，这种设计适用于需要特定角度调平的场景，例如对弧形表面的外部功能性设备的调整。通过在弧形花键面上的滑动，键齿有效地分散载荷，从而保证了精确的调平过程。这一实施方式中的设计通过弧形面和环形阵列的键齿，为调平器增加了更多的灵活性和适应性。这种设计在一些特殊的调平需求中具有优势，能够确保外部设备在特定角度上实现高精度的对位。弧形的第一花键面1041和第二花键面1042以及环形阵列的键齿设计在线性定心系统104中为载荷传递提供了优化的方式，使得在特定的弧度范围内实现高精度的调整。这种设计不仅提高了调整的稳定性和精确性，还降低了过载和损坏的风险。

在本具体实施方式中，请参阅图3～6：第一花键面1041和第二花键面1042在第一线性自由度的旋转轴的铅垂面视角下呈椎形(图中未示出)。

在本方案中：调平器的线性定心系统104的第一花键面1041和第二花键面1042的设计呈现出椎形的外观，这种椎形设计在考虑了第一线性自由度的旋转轴的铅垂面视角下展现。

具体的：第一花键面1041和第二花键面1042的椎形设计是为了在旋转轴的铅垂面视角下实现最佳的载荷分布和传递。椎形形状的设计可以使得在调平操作时，载荷能够更加均匀地传递到键齿上，并保持更稳定的调平状态。

进一步的，椎形设计有助于减少载荷传递时的应力集中现象。相比于传统斜楔式调平器的直线接触面，椎形形状的设计在键齿上产生的接触点相对更大，从而分散了载荷的作用范围，减少了应力的集中。这有助于提高载荷传递的稳定性和可靠性。椎形形状的设计还有助于降低载荷传递部分与键齿之间的摩擦和磨损。由于载荷在键齿表面上均匀分布，摩擦和磨损也会更加均匀地发生。这有助于延长键齿和载荷传递部分的使用寿命，并减少维护需求。

可以理解的是，在本具体实施方式中：椎形设计的第一花键面1041和第二花键面1042通过在铅垂面视角下的优化，实现了更均匀的载荷传递和更稳定的调平效果。这种设计适用于需要保持在旋转轴铅垂面上稳定调平的场景，如需要垂直调平的外部设备。通过椎形形状的表面设计，实现了高精度的调平操作，确保设备在垂直方向上的精确对位。这一实施方式中的设计通过考虑铅垂面视角，使得调平器能够在垂直方向上实现更加稳定和精确的调平操作。这种设计能够满足特定角度的调平需求，同时保持对外部设备的高度精确控制。

在本具体实施方式中，请参阅图3～6：键齿为矩形键齿或渐开线键齿。

在本方案中：调平器的键齿设计有两种选项：矩形键齿或渐开线键齿。其中，矩形键齿适用于载荷不强的环境，而渐开线键齿则适用于载荷较强的环境。

具体的：键齿的设计影响着载荷传递和调平的效果。矩形键齿采用小径定心，即以键齿的轴线为中心，在小径位置传递载荷。这种设计适用于相对较轻的载荷环境，能够提供足够的稳定性和准确性。而渐开线键齿采用齿侧定心，即以键齿的齿侧面为基准，在齿侧位置传递载荷。这种设计适用于承受更强载荷的情况，能够提供更大的稳定性和可靠性。

可以理解的是，在本具体实施方式中：调平器根据载荷环境的不同，提供了两种键齿设计选择。矩形键齿适用于轻载荷环境，通过小径定心传递载荷，保证了高度的调平精度。而渐开线键齿适用于承受更强载荷的情况，通过齿侧定心来实现更稳定的载荷传递，适应更苛刻的工作环境。这一实施方式中的键齿设计根据不同的应用需求提供了定制的选择。通过选择适合的键齿类型，可以在不同载荷条件下实现精确的调平操作，保证设备的稳定性和可靠性。

在本具体实施方式中，请参阅图3～6：第一直线调节器103优选为第一螺纹杆，第一螺纹杆的轴头通过轴承转动配合并支撑于第一机架101的内部，第一螺纹杆的螺身螺纹转动配合于第二机架102的内侧壁。

在本方案中：螺纹杆的螺纹部分则与第二机架102的内侧壁进行螺纹转动配合。第一螺纹杆还在延伸到第二机架102的部分开设有内六槽，以便工人进行调节。

具体的：第一螺纹杆被用作第一直线调节器103，用于实现第二机架102在垂直方向上的升降调节。第一螺纹杆的轴头通过轴承与第一机架101内部相连接，以确保稳定的转动。螺纹部分则通过螺纹转动与第二机架102内侧壁相配合，使得旋转螺纹杆可以引导第二机架102的上下运动。

可以理解的是，在本具体实施方式中：第一螺纹杆作为第一直线调节器103用于高度调节。通过轴承支撑，它在第一机架101内部实现稳定的转动。同时，螺纹杆的螺纹部分与第二机架102的内侧壁配合，使得螺纹杆的旋转引导第二机架102在垂直方向上进行升降调节。内六槽的设计方便工人使用六角工具进行调节，从而实现精确的高度调节。这一实施方式中的第一螺纹杆设计充分考虑了调平的需求，通过稳定的轴头连接和螺纹转动，实现了第二机架102在垂直方向上的高度调节。内六槽的设置则增加了操作的便利性，使得调整过程更加高效和精确。

在本具体实施方式中，请参阅图3～6：第一机架101和第二机架102之间的滑动面相较于水平面为倾斜滑动面，第二机架102沿第一机架101的表面以倾斜的形式由低至高滑动配合或由高至低滑动配合。

在本方案中：调平器的第一机架101和第二机架102之间的滑动面被设计为相对于水平面倾斜的滑动面。第二机架102沿着第一机架101的表面以倾斜的方式，可以由低至高或由高至低进行滑动配合。

具体的：滑动面的倾斜设计引入了一个新的维度，使得第二机架102的滑动不再仅限于垂直方向。相对于水平面的倾斜滑动面使得第二机架102能够在倾斜的平面上进行滑动。通过由低至高或由高至低的滑动配合，第二机架102可以在倾斜平面上实现精确的升降调节。

可以理解的是，在本具体实施方式中：通过倾斜的滑动面设计，调平器引入了一个非传统的调平维度。第二机架102的倾斜滑动使得调平可以在一个倾斜平面上进行，可以适应一些特殊的调平需求，例如需要在倾斜表面上进行对位的外部功能性设备。通过倾斜滑动，实现了更加多样化和灵活的调平操作。这一实施方式中的设计通过倾斜滑动面，为调平器增加了更多的调平选择。通过倾斜的滑动方式，实现了在倾斜平面上的高精度调平，满足了一些非传统调平需求。

在本具体实施方式中，请参阅图3～6：支调组件3包括第一板体301和沿第一板体301表面滑动配合的第二板体302；第二板体302的外部固设于调平组件1的第一机架101；第一板体301的外部螺纹转动配合有用于输出第二线性自由度的第二螺纹杆303，第二螺纹杆303的轴头抵顶于第二板体302。

在本方案中：支调组件3由两个部分组成：第一板体301和第二板体302。第二螺纹杆303上同样设有内六槽，方便工人进行调节。

具体的：支调组件3通过第一板体301和第二板体302的滑动和螺纹连接，实现了第二线性自由度的调节。第二板体302的外部被固定在调平组件1的第一机架101上，保持稳定。第一板体301上的螺纹与第二螺纹杆303的螺纹配合，通过旋转第二螺纹杆303，可以带动第一板体301的滑动，从而实现第二线性自由度的调节。

可以理解的是，在本具体实施方式中：通过第一板体301和第二板体302的组合，实现了第二线性自由度的调节功能。第一板体301的滑动和第二螺纹杆303的螺纹转动相结合，通过外部的调整方式，实现了支调组件3的精确控制。内六槽的设置提供了方便的调节手段，使得调整过程更加高效和精确。这一实施方式中的设计通过板体的滑动和螺纹杆的螺纹连接，实现了支调组件3的高精度调节。通过组件的配合，实现了第二线性自由度的控制，为调平提供了更加灵活和准确的解决方案。

在本具体实施方式中，请参阅图3～6：支调组件3的数量为两个，其中一个支调组件3的第二板体302不与调平组件1的第一机架101连接，而是与另一个支调组件3的第一板体301固定连接；两个支调组件3各自的第二线性自由度分别为X轴向和Z轴向。

在本方案中：支调组件3的数量为两个。一个支调组件的第二板体302不与调平组件1的第一机架101连接，而是与另一个支调组件3的第一板体301固定连接。这两个支调组件3分别提供X轴向和Z轴向的第二线性自由度。这样的布置模式使得整体调平器在X、Y和Z轴向上具备了线性自由度，可以对外部设备进行更加灵活的调整。同时，Y轴向的线性自由度由之前提到的调平组件1来进行高精度输出调节。

具体的：两个支调组件3分别提供X轴向和Z轴向的调节自由度。一个支调组件的第二板体302固定连接在另一个支调组件的第一板体301上，实现了两个支调组件之间的协同工作。通过分别控制两个支调组件的调节，可以在X轴向和Z轴向实现精确的平移调节，进一步调整外部设备的位置。

可以理解的是，在本具体实施方式中：通过两个支调组件的布置，调平器获得了X、Y和Z轴向的线性自由度。其中一个支调组件提供X轴向的调节，另一个支调组件提供Z轴向的调节，而Y轴向的调节则由调平组件1提供。这种组合使得调平器具备了更加灵活的多轴调节能力，可以适应不同方向上的调平需求。通过这个设计，调平器可以满足多种不同应用场景下的调平要求，从而实现高精度的外部设备对位和稳定性控制。这种综合调节方式在不同轴向上的自由度调节使得设备的对位更加灵活和可控。

总结性的，针对传统技术中的相关问题，本具体实施方式基于上述所提供的一种调平器，采用了如下的技术手段或特征实现了解决：

(1)解决载荷不均衡：调平组件1包括线性定心系统104，其中沿第一线性自由度的旋转周的圆周方向均匀排布了若干个载荷传递部。这种设计在调平组件1中引入了一个均衡的载荷传递机制。通过将若干个载荷传递部均匀分布，确保了调整过程中载荷在传递时更加均衡，从而有效地减轻了载荷不均衡问题的影响。这种设计增加了整个调平过程的稳定性和可控性，避免了传统斜楔式调平器可能出现的载荷不均衡情况。

(2)提升载荷承受能力：调平组件1通过线性定心系统104的载荷传递部，将载荷传递到支调组件3中。支调组件3中的第一板体301通过与第二螺纹杆303相连，实现了与第一机架101的连接。而另一个支调组件的第二板体302则连接在这个支调组件的第一板体301上。这种布置将承载载荷的部分分散到两个支调组件中，实现了载荷的分担。这种分散的设计提高了整体的承载能力，避免了单个支调组件因为承受过大载荷而产生变形或失效的风险。通过支调组件3的分担载荷设计，调平组件1成功提升了整体调平器的载荷承受能力。

(3)多轴调整能力：通过支调组件的不同布置和多个线性自由度，本具体实施方式的技术在X、Y和Z轴向上实现了多轴调整能力。其中一个支调组件提供X轴向的调节，另一个支调组件提供Z轴向的调节，而Y轴向的调节由之前提到的调平组件1提供。这种多轴调整能力可以满足不同方向上的复杂调整需求，从而避免了传统技术在这方面的限制。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的相关实际应用的实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种调平器，其特征在于，包括调平组件(1)和支调组件(3)；

所述支调组件(3)包括Z轴向或X轴向的第二线性自由度，所述调平组件(1)包括Y轴向的第一线性自由度；

所述支调组件(3)调节于所述调平组件(1)作线性位置调节；

所述调平组件(1)包括线性定心系统(104)，所述线性定心系统(104)沿所述第一线性自由度的旋转周的圆周方向均匀排布若干个载荷传递部；

所述调平组件(1)带动连接平台(2)作高度调节。

2.根据权利要求1所述的调平器，其特征在于：所述调平组件(1)包括第一机架(101)，第二机架(102)沿所述第一机架(101)的表面由低至高滑动配合或由高至低滑动配合；

所述第一机架(101)和所述第二机架(102)之间的滑动面上开设有所述线性定心系统(104)。

3.根据权利要求2所述的调平器，其特征在于：所述线性定心系统(104)包括第一花键面(1041)和第二花键面(1042)，所述第一花键面(1041)和所述第二花键面(1042)分别开设于所述第一机架(101)和所述第二机架(102)；

所述载荷传递部为键齿，所述第一花键面(1041)和所述第二花键面(1042)均开设有所述键齿并依此相互滑动配合；

还包括用于输出所述第一线性自由度的第一直线调节器(103)，所述第一直线调节器(103)配合连接于所述第一机架(101)、所述第二机架(102)所述第一花键面(1041)和所述第二花键面(1042)，旋转所述第一直线调节器(103)控制所述第二机架(102)沿所述第一机架(101)升降调节；

所述连接平台(2)开设于所述第二机架(102)上。

4.根据权利要求3所述的调平器，其特征在于：所述第一花键面(1041)和所述第二花键面(1042)均为弧形面，所述键齿以所述第一线性自由度的旋转轴为基准，依此环形阵列式开设于所述第一花键面(1041)和所述第二花键面(1042)上。

5.根据权利要求4所述的调平器，其特征在于：所述第一花键面(1041)和所述第二花键面(1042)在所述第一线性自由度的旋转轴的铅垂面视角下呈椎形。

6.根据权利要求3所述的调平器，其特征在于：所述键齿为矩形键齿或渐开线键齿。

7.根据权利要求3所述的调平器，其特征在于：所述第一直线调节器(103)为第一螺纹杆，所述第一螺纹杆的轴头转动配合于所述第一机架(101)的内部，所述第一螺纹杆的螺身螺纹转动配合于所述第二机架(102)的内侧壁。

8.根据权利要求3～7任意一项所述的调平器，其特征在于：所述第一机架(101)和所述第二机架(102)之间的滑动面相较于水平面为倾斜滑动面，所述第二机架(102)沿所述第一机架(101)的表面以倾斜的形式由低至高滑动配合或由高至低滑动配合。

9.根据权利要求3～7任意一项所述的调平器，其特征在于：所述支调组件(3)包括第一板体(301)和沿所述第一板体(301)表面滑动配合的第二板体(302)；

所述第二板体(302)的外部固设于所述第一机架(101)；

所述第一板体(301)的外部螺纹转动配合有用于输出所述第二线性自由度的第二螺纹杆(303)，所述第二螺纹杆(303)的轴头抵顶于所述第二板体(302)。

10.根据权利要求9所述的调平器，其特征在于：所述支调组件(3)的数量为两个，其中一个所述支调组件(3)的所述第二板体(302)不与所述第一机架(101)连接，而是与另一个所述支调组件(3)的所述第一板体(301)固定连接；

两个所述支调组件(3)各自的第二线性自由度分别为X轴向和Z轴向。