TWI417422B - 功能性溶液供應系統及方法 - Google Patents
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Description
本發明是有關於一種功能性溶液的供應系統及方法，且特別是有關於一種可供應功能性溶液以作為清洗液的供應系統，此功能性溶液包含過硫酸。
作為一種將硫酸溶液電解以製成過硫酸溶液並且利用過硫酸溶液來對半導體晶圓進行去光阻的最簡單的系統構成，已知有圖2之(a)中所繪示的一種循環方式。在此系統中通過冷卻器24和儲存槽22而以循環通路31的流出通路來將洗淨機21的流出端與電解電池23的流入端予以連接。通過加熱器25而以循環通路31的回流通路來連接電解電池23的流出端與洗淨機21的流入端，此系統以一個循環來連接各個機器。
此系統具有節省幫浦或閥(valve)的優點，但是也具有下述之問題。
當洗淨機在單位時間的過硫酸量必需增加時，也就是施加於半導體晶圓的離子劑量(Ion Dose)較高、光阻層較厚、或是企圖縮短處理時間的時候，必須設置大量的電解電池來製造高濃度的過硫酸溶液。然而，若是增加硫酸溶液的循環量，冷卻器的冷卻負荷也會隨之提高，並且加熱器也會發生再加熱負荷變大的問題。又，在硫酸溶液循環量較少時，在電解電池內部無法保持硫酸溶液的適當流量分布。
為了解決上述之問題，提出如圖2之(b)與圖2之(c)所繪示的二循環方式或如圖2之(d)所繪示的三循環方式。(例如專利文獻1的圖2)
在圖2之(b)所示的系統中，循環通路31a的流出通路連接於洗淨機21與儲存槽22。循環通路31a的回流通路是通過加熱器25來連接該儲存槽22與洗淨機21。並且，循環通路31b的流出通路通過冷卻器26來連接儲存槽22與電解電池23。而循環通路31b的回流通路用來連接該電解電池23與儲存槽22。儲存槽22中設有加熱器27，以防止循環液的溫度下降。換言之，循環通路31a的流出通路與循環通路31a的回流通路形成一循環，並且循環通路31b的流出通路與循環通路31b的回流通路形成另一循環，此系統以這兩個循環來連接各個機器。
在圖2之(c)所示的系統中，循環通路31a的流出通路連接洗淨機21與儲存槽22。循環通路31a的回流通路通過加熱器25來連接該儲存槽22與洗淨機21。並且，循環通路31b通過冷卻機26來連接該儲存槽22與電解電池23。而循環通路31用來連接該電解電池23與洗淨機21。儲存槽22中設有加熱器27，以防止循環液的溫度下降。換言之，循環通路31a的流出通路與循環通路31a的回流通路形成一循環，並且循環通路31a的流出通路、循環通路31b與循環通路31形成另一循環，此系統以這兩個循環來連接各個機器。
在圖2之(d)所示的系統中，循環通路31a的流出通路連接該洗淨機21與儲存槽22。循環通路31a的回流通路通過加熱器25來連接該儲存槽22與洗淨機21。並且，循環通路31b的流出通路通過冷卻器26來連接該儲存槽22與電解電池23。而循環通路31b的回流通路連接該電解電池23與儲存槽22。更進一步地，循環通路31連接該電解電池53與洗淨機21。儲存槽22中設有加熱器27，以防止循環液的溫度下降。也就是說，循環通路31a的流出通路與循環通路31a的回流通路形成一循環，循環通路31b的流出通路與循環通路31b的回流通路形成另一循環，以及循環通路31a的流出通路、循環通路31b的流出通路與循環通路31又形成一循環，此系統以這三個循環來連接各個機器。
基於上述，在習知技術中儲存槽可作為以二次來進行光阻分解反應的反應場。
【專利文獻1】日本特開2007-266495號公報
圖2之(b)所示之系統中，洗淨機21排出的循環液含有殘留的光阻，由於電解電池23生成的過硫酸溶液會加入儲存槽22，使儲存槽22中的光阻可確實地分解完畢。並且，從儲存槽22通過電解電池23而循環的循環流量的調整，以及從洗淨機21通過儲存槽22而循環的循環流量調整，這兩者實質上能夠獨立運作，因此無關於流向洗淨機21的硫酸溶液循環量之增減，電解電池23內部均能夠保持適當的硫酸溶液之流量分布。
可是，由於洗淨機21流出的全部循環液都會通過儲存槽22而進行循環，使儲存槽22內的液體溫度已下降的儲存溶液送回洗淨機21的時候，為了減少加熱器25的負荷，必需在儲存槽內設置另一加熱器27。如此一來，儲存在儲存槽22內的硫酸溶液將保持在高溫狀態，使流入儲存槽22內的過硫酸會立刻自行分解，而面臨難以提供洗淨機21高濃度過硫酸溶液的問題。
圖2之(c)的系統中，從洗淨機21流出，通過儲存槽22與電解電池23而循環的循環流量的調整，以及從洗淨機21流出，通過儲存槽22而循環的循環流量的調整，前述之兩者實質上均能夠獨立運作，因此無關於流向洗淨機21的硫酸溶液循環量之增減，電解電池23內部中能夠保持適當的硫酸溶液之流量分布。並且，對冷卻過的硫酸溶液進行電解，則可使系統能夠以良好的電解效率來製造過硫酸溶液，且由於過硫酸溶液在循環通路31中不被加熱，則可在自行分解之前供應至洗淨機21。
可是，洗淨機21在單位時間內的過硫酸量必需較大，也就是施加於半導體晶圓的離子劑量較高、光阻層較厚、或是企圖縮短處理時間的時候，為了能在短時間內製造高濃度的過硫酸溶液，面臨必須設置大量的電解電池的問題。
圖2之(d)所示的系統中，洗淨機21排出的循環液含有殘留的光阻，由於電解電池23中生成的過硫酸溶液加入至儲存槽22中，使光阻可確實地分解。並且，從洗淨機21流出，通過儲存槽22與電解電池23而循環的循環流量調整，從儲存槽22流出，通過電解電池23而循環的循環流量調整，以及從洗淨機21流出，通過儲存槽22而循環的循環流量調整，前述之三者實質上均能夠獨立運作，因此，無關於流向洗淨機21的硫酸溶液循環量之增減，電解電池23內部中能夠保持適當的硫酸溶液之流量分布。更進一步地，因為電解冷卻過的硫酸溶液，使系統能夠以良好的電解效率來製造過硫酸溶液，且過硫酸溶液在循環通路31中不會被加熱，可在自行分解之前供應至洗淨機21。
不過，即使在上述情況下，在此系統中由於洗淨機21流出的循環液會全部循環至儲存槽22，而使儲存槽22內的儲存液的溫度下降。將儲存液送回洗淨機21時，為了減少加熱器25的負荷，必須在儲存槽內設置另一加熱器27。因此，儲存槽22內的硫酸溶液保持高溫，使流入儲存槽22內的過硫酸會立即自行分解，而難以提供洗淨機21高濃度的過硫酸溶液的問題依然存在。並且，洗淨機21在單位時間的過硫酸量必需增加時，也就是施加於半導體晶圓的離子劑量較高、光阻層較厚、或是企圖縮短處理時間的時候，為了製造高濃度的過硫酸溶液，必須設置大量的電解電池的問題依然存在。
本發明基於上述之狀況，提出一種功能性溶液供應系統，能夠減少電解電池的設置數量，並且能夠製造出高性能的功能性溶液以供應使用側利用。
因此，在本發明之功能性溶液供應系統中，本發明的第一項為一種功能性溶液供應系統，藉由電解硫酸溶液來製造出功能性溶液，並將功能性溶液供應給使用側。此功能性溶液供應系統的特徵是具有一儲存硫酸溶液的儲存槽、一電解硫酸溶液的電解裝置、一加熱硫酸溶液的加熱單元、一冷卻硫酸溶液的冷卻單元與以下三個循環線：
1.一第一循環線，由該儲存槽排出的該硫酸溶液不通過該加熱單元，而是通過該電解裝置以回到該儲存槽。
2.一第二循環線，由該使用側導入的該硫酸溶液不通過該加熱單元，而是依序通過該冷卻單元與該儲存槽後，回到該使用側。
3.一第三循環線，由該使用側導入的該硫酸溶液不通過該冷卻單元與該儲存槽，而是通過該加熱單元以回到該使用側。
在上述功能性溶液供應系統中，該第二循環線與該第三循環線在回到該使用側之前合併。
在上述功能性溶液供應系統中，該第二循環線與該第三循環線從該使用側導入後分歧。
在上述功能性溶液供應系統中，該第一循環線於該儲存槽之下流側更包括一第二冷卻單元，其位於該電解裝置之上流側。
在上述功能性溶液供應系統中，該第一循環線於該電解裝置之下流側更包括一第二冷卻裝置，其位於該儲存槽之上流側。
在上述功能性溶液供應系統中，該使用側為批次式基板清洗裝置。
本發明更提出一種功能性溶液供應方法，藉由電解硫酸溶液，以製造功能性溶液而供應至使用側。功能性溶液供應方法包括：第一~第三環工程。第一循環工程是由儲存硫酸溶液的儲存槽排出硫酸溶液，並在未通過加熱單元加熱的情況下被電解，並使電解後的硫酸溶液回到儲存槽。第二循環工程是從使用側導入的硫酸溶液在未通過加熱單元加熱的情況下，通過冷卻單元冷卻後被送到儲存槽，再從儲存槽排出硫酸溶液回到使用側。第三循環是從使用側導入的硫酸溶液在未通過冷卻單元冷卻的情況下，且在未通過儲存槽的情況下，通過加熱單元加熱以回到使用側。
在上述功能性溶液供應方法方法中，從使用側導入的硫酸溶液從儲存槽回到使用側的第二循環工程，與從使用側導入的硫酸溶液在未通過儲存槽的情況下回到使用側的第三循環工程，是在回到使用側之前把未被加熱的硫酸溶液與加熱過的硫酸溶液合流再回到使用者側。
【發明的效果】
根據本發明，功能性溶液供應系統可藉由電解硫酸溶液，以製造功能性溶液而供給至使用側，功能性溶液供應系統具有一儲存槽用以儲存硫酸溶液，一電解裝置用以電解硫酸溶液，一加熱單元用以加熱硫酸溶液，一冷卻單元用以冷卻硫酸溶液，以及
1.一第一循環線，由該儲存槽排出的該硫酸溶液不通過該加熱單元，而是通過該電解裝置以回到該儲存槽。
2.一第二循環線，由該使用側導入的該硫酸溶液不通過該加熱單元，而是依序通過該冷卻單元與該儲存槽後，回到該使用側。
3.一第三循環線，由該使用側導入的該硫酸溶液不通過該冷卻單元與該儲存槽，而是通過該加熱單元以回到該使用側。
基於上述，藉由設置第一循環線，即可以微小的電解能力使儲存槽內的過硫酸保持在高濃度狀態。並且藉由設置第二與第三循環線後，即可在短時間內使過硫酸溶液升溫，使過硫酸在自行分解之前，作為高性能之功能性溶液而供應給使用側利用。
為讓本發明之上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所附圖式說明如下。
以下將參照圖1之(a)來說明本發明之一實施例。
在本實施例中，功能性溶液供應系統具有一洗淨機1、一儲存槽2與一電解裝置3。使用側的洗淨機1可為批次式基板洗淨裝置，儲存槽2用以儲存硫酸溶液，電解裝置可為電解電池3，用以電解硫酸溶液。
然後，第一循環線11的流出通路連接儲存槽2的流出端與電解電池3的流入端，第一循環線11的回流通路連接電解電池3的流出端與儲存槽2的流入端。也就是說，第一循環線11連接該儲存槽2與電解電池3，使硫酸溶液能夠循環。
並且，第二循環線12的流出通路連接該洗淨機1的流出端與前述儲存槽2之流入端，而第二循環線12的回流通路連接該儲存槽2的流出端與洗淨機1的流入端。也就是說第二循環線12連接該洗淨機1與儲存槽2，使硫酸溶液能夠循環。
更進一步地，洗淨機1連接有第三循環線13，其連接於洗淨機1的流出端且與前述之第二循環線12的流出通路的一部分共通，到流出通路之下流側才分歧。該第三循環線13連接於洗淨機1的流入端，並且在洗淨機1的流入端之前與前述的第二循環線12的回流通路合併。如同上述，本發明之功能性溶液供應系統是一種與習知技術不同的三循環式系統。
此外，第二循環線12設有一作為冷卻單元的冷卻器4，位於第二循環線12與第三循環線13之分歧位置之下流側，以及第二循環線12連接至儲存槽2的流入端的位置之上流側。第三循環線13設有一作為加熱單元的加熱器5，位於前述的第二循環線12與第三循環線13之分歧位置之下流側，以及第三循環線13與第二循環線12的合併點之前。
接下來，針對上述之功能性溶液供應系統的運作方式進行說明。
儲存槽2中存有硫酸溶液，其適當的儲存溫度為40~80℃。硫酸溶液通過第一循環線11而循環於儲存槽2與電解電池3之間且同時被電解成過硫酸，具有高濃度過硫酸的硫酸溶液會被儲存於儲存槽2中。本發明之電解電池的構造並無限定，但適當的方式是至少在陽極上設有鑽石電極。
具有高濃度過硫酸的硫酸溶液存放於儲存槽2，這些硫酸溶液將以第二循環線12的回流通路送往洗淨機1。另一方面，洗淨機1用過的硫酸溶液會通過第二循環線12的流出通路，經過冷卻器4而冷卻至儲存槽之溫度(約為40~80℃)並以較小的流量(至少小於第一循環線11之循環量量)送入至儲存槽2內。如此，可防止儲存槽2內的過硫酸濃度被洗淨機1排出的硫酸溶液稀釋。並且，硫酸溶液受到冷卻器4的冷卻，可防止儲存槽2內的溶液溫度上升造成過硫酸的自行分解。此外，本發明並無特別限定該冷卻器4的結構，也可利用熱交換器等其他適合的冷卻單元。
另一方面，從洗淨機1排出的硫酸溶液通過第二循環線12流出通路的上流側後，大量的硫酸溶液被導向分歧的第三循環線13。這些硫酸溶液受到加熱器5的加熱，此時藉由設定加熱器5的出口溫度高於洗淨機1的運作溫度，以補充必須的熱量。這些高溫的硫酸溶液與儲存槽2送出的硫酸溶液一起流入洗淨機1，使送入洗淨機1的溶液溫度達到運轉溫度。因此，如本實施例所示，第二循環線12與第三循環線13在向洗淨機1的流入端之前合併，經由第二循環線12送入的含有高濃度過硫酸之硫酸溶液能夠瞬間升溫並流入洗淨機1。由於過硫酸在高溫中短時間內就會自行分解，則含有高濃度過硫酸之硫酸溶液瞬間升溫，即可使過硫酸還來不及自行分解就送入洗淨機1。因此，能夠將儲存槽2存放的過硫酸毫不浪費地送至洗淨機1。此外，本發明並無限定上述的加熱器5的構造，也可利用加熱爐或是熱交換器做為加熱單元。
基於上述，本發明之目的在於保持儲存槽內的硫酸溶液具有高濃度之過硫酸。為了讓洗淨能在洗淨機內完成，系統會將功能性溶液的溫度與過硫酸濃度調整至最佳狀況。因此，與習知技術不同之處在於儲存槽內的溫度維持在規定的低溫。
此外，洗淨機1的溫度位於高溫狀態，例如是130度以上的狀況時，在洗淨機1內過硫酸的損失被認為與過硫酸的自行分解有關，事實上這並不是損失。過硫酸為了發揮氧化劑的功效，在高溫下會自行分解而產生硫酸根基(sulfate radical)，而硫酸根基會對有機物產生反應。因此，為了生成硫酸根基，必須使洗淨機1內保持高溫。由於硫酸根基的壽命很短，因此必須將洗淨機1內當作反應場來生成硫酸根基。
不過，在圖1之(a)所示的系統中，由於電解會發出發熱量，第一循環線11的循環液升溫而回到儲存槽2時，會使儲存槽2內的溫度上升。為了將儲存槽2內的溫度下降，必需藉由儲存槽2的前端的冷卻器4，以控制儲存槽2內的硫酸溶液的溫度。冷卻器4的負荷增加的同時，第二循環線12的流量也會隨之增加，使得控制變為更加困難。在這個狀況下，可如圖1之(b)所示之系統，較佳是在儲存槽2的後段設置作為第二冷卻單元的冷卻器6以改善此狀況。冷卻器4對第二循環線12中的循環液進行溫度控制，而冷卻器6對第一循環線11中的循環液進行溫度控制，兩者可獨立進行，以減輕冷卻器4的負荷，並且能夠減少第二循環線12的循環流量。並且，如果要對第一循環線11的循環液進行溫度調整的話，並不限於圖1之(b)所示之系統，例如圖1之(c)所示，在電解電池的後段設置作為第二冷卻單元的冷卻器7來進行冷卻也是可行的。
在本發明中，第一循環線連接於儲存槽，但是並不限定必須要直接回到儲存槽。也就是說，第一循環線可於儲存槽的上流側連接於冷卻器的下流測的第二循環線，第二循環線的回流通路(若是與第三循環線合併時，位於合併點的上流側)亦可分支以作為第一循環線的流出通路。
在上述的實施例中，功能性溶液的供應目標可為批次式基板洗淨裝置，然而本發明並不限於此，電解過的硫酸溶液可供給至各種不同用途的使用側以供利用。
藉由以下的實施例以及比較例，能更加清楚的表達本發明之系統的功效。
[實施例1](三循環方式)
以對應於圖1之(a)的系統來進行運作。此外，在以下的實施例中，第一循環線11是循環1、第二循環線12是循環2且第三循環線13是循環3。
(運作條件)
晶圓：300mmψ，光阻厚度：860nm
洗淨機1：溫度=140℃、溶液容量=50L，處理枚數=50枚/批次
所需處理時間=10分/批次
洗淨液：硫酸濃度=85wt%
洗淨機1的過硫酸必需量=11.9g/分(物質收支)
循環1：循環量=8L/分，電解電池3入口溫度=50℃電解電池3出口溫度=75℃
循環2：循環量=6L/分，冷卻器4出口溫度=19℃，儲存槽2溫度=50℃，儲存槽2出口過硫酸濃度=2.0g/L
(過硫酸循環量=12.0g/分)
循環3：循環量=19L/分，加熱器5出口溫度=174℃，加熱器5熱負荷=29.2kW
即，藉由設置該冷卻器4，則可將過硫酸12.0g/分在循環流量6L/分的流量下送入洗淨機1。並且送入洗淨機1之前的過硫酸溶液為50℃，幾乎不會自行分解而不浪費功能性溶液。
[實施例2](三循環方式)
以對應於圖1之(b)的系統來進行運作。
(運作條件)
晶圓：300mmψ，光阻厚度：860nm
洗淨機1：溫度=140℃、溶液容量=50L，處理枚數=50枚/批次
所需處理時間=10分/批次
洗淨液：硫酸濃度=85wt%
洗淨機1的過硫酸必需量=11.9g/分
(物質收支)
循環1：循環量=8L/分，電解電池3入口溫度=50℃電解電池3出口溫度=75℃
循環2：循環量=1L/分，冷卻器4出口溫度=40℃，儲存槽2溫度=72℃，儲存槽2出口過硫酸濃度=11.9g/L
(過硫酸循環量=11.9g/分)
循環3：循環量=24L/分，加熱器5出口溫度=143℃，加熱器5熱負荷=3.8kW
藉由設置冷卻器6，則可將過硫酸11.9g/分在循環流量1L/分的流量下送入洗淨機1。也就是說，因為設置了冷卻器6，而能夠降低冷卻器4的負荷，還能夠降低循環2的循環量。並且因為循環2的循環量降低，而能夠減低加熱器5的負荷。因此，本系統較容易進行溫度控制，並且能減輕加熱器或冷卻器的負荷。
[比較例1](一循環方式)
利用對應於圖2之(a)的系統進行運作。
(運作條件)
與實施例1相同。但是循環的編號與循環的構造未必對應於實施例。(以下的比較例也是一樣)
(物質收支)
循環1：循環量=8L/分，電解電池23入口溫度=50℃電解電池23出口溫度=75℃，電解電池23出口的過硫酸濃度=1.49g/L(過硫酸循環量=11.9g/分)加熱器25的出口溫度=140℃，加熱器25熱負荷=28.5kW
換言之，為了滿足供給至洗淨機21的過硫酸必需量，加熱器25的熱負荷會變成相當大。此系統不但不實用，而且過硫酸會因為在加熱器25內的停留時間較長，而發生自行分解。
[比較例2](二循環方式)
以對應於圖2之(b)的系統來進行運作。
(運作條件)
與實施例1相同。
(物質收支)
循環1(循環通路31b)：循環量=8L/分，電解電池23入口溫度=50℃，電解電池23出口溫度=76℃，電解電池23出口的過硫酸濃度=1.49g/L，(過硫酸循環量=11.9g/分)冷卻器26出口溫度=50℃，儲存槽22溫度=125℃，
循環2(循環通路31a)：循環量=25L/分，加熱器25出口溫度=170℃，加熱器25熱負荷=20kW，儲存槽22的出口的過硫酸濃度=0g/L
換言之，相較於比較例1，加熱器25的熱負荷雖然略有減少，但是加熱器25的負荷依然過大而使系統不切實用，並且儲存槽22的出口的過硫酸濃度會變成0g/L。電解電池23供應給儲存槽22的循環液的過硫酸濃度為1.48g/L，但是由於儲存槽22的溫度調整為125℃，推定該儲存槽22內的過硫酸將由於自行分解而實質上完全消失。
[比較例3](二循環方式)
以對應於圖2之(c)的系統進行運作。
(運作條件)
與實施例1相同。
(物質收支)
循環1(循環通路31、31b)：循環量=8L/分，電解電池23入口溫度=50℃，電解電池23出口溫度=76℃，電解電池23出口的過硫酸濃度=1.49g/L，(過硫酸循環量=11.9g/分)冷卻器26出口溫度=50℃，儲存槽22溫度=140℃，
循環2(循環通路31a)：循環量=17L/分，加熱器25出口溫度=170℃，加熱器25熱負荷=26kW，洗淨機21入口的過硫酸濃度=0.48g/L
換言之，相較於比較例1，加熱器25的熱負荷幾乎沒有減少，加熱器25的負荷依然過大而不切實用。
[比較例4](三循環方式)
以對應於圖2之(d)的系統進行運作。
(運作條件)
與實施例1相同。不過，僅於各個循環與其他循環沒有合併的部份來表示循環量。
(物質收支)
循環1(循環通路31b)：循環量=3.2L/分，電解電池23入口溫度=50℃，電解電池23出口溫度=76℃，電解電池23出口的過硫酸濃度=1.49g/L，(過硫酸循環量=4.8g/分)儲存槽22溫度=133℃。
循環2(循環通路31)：循環量=4.8L/分，洗淨機21入口的過硫酸濃度=1.49g/L，(過硫酸循環量=7.2g/分)
循環3(循環通路31a)：循環量=21.8L/分，加熱器25出口溫度=155℃，加熱器25熱負荷=23.4kW，儲存槽22出口的過硫酸濃度=0g/L
換言之，相較於與比較例1，加熱器25的熱負荷略為降低，但是其熱負荷還是過大而不切實用。並且儲存槽22出口的硫酸濃度會變成0g/L。由電解電池23流出並供給儲存槽22的循環液之硫酸濃度為1.49g/L，但是由於儲存槽22之溫度調整為133℃，因此推定該儲存槽22內的過硫酸將由於自行分解而實質上完全消失。
雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作些許之更動與潤飾，故本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
1．．．洗淨機
2．．．儲存槽
3．．．電解電池
4．．．冷卻器
5．．．加熱器
6．．．冷卻器
7．．．冷卻器
11．．．第一循環線
12．．．第二循環線
13．．．第三循環線
圖1是依照本發明之一實施例的功能性溶液供應系統以及變化例的功能性溶液供應系統的示意圖。
圖2是習知技術中一循環式、二循環式以及三循環式的功能性溶液供應系統的示意圖。
1．．．洗淨機
2．．．儲存槽
3．．．電解電池
4．．．冷卻器
5．．．加熱器
6．．．冷卻器
7．．．冷卻器
11．．．第一循環線
12．．．第二循環線
13．．．第三循環線
Claims (8)
- 一種功能性溶液供應系統，藉由電解硫酸溶液，以製造含有過硫酸的功能性溶液而供應至一使用側，該功能性溶液供應系統之特徵為包括：一儲存槽，用以儲存硫酸溶液以及回流的含有過硫酸的硫酸溶液；一電解裝置，用以電解硫酸溶液；一加熱單元，用以加熱硫酸溶液；一冷卻單元，用以冷卻硫酸溶液；以及以下三個循環線，一第一循環線，由該儲存槽排出的該硫酸溶液不通過該加熱單元，而是通過該電解裝置以回到該儲存槽；一第二循環線，由該使用側導入的該硫酸溶液不通過該加熱單元，而是依序通過該冷卻單元與該儲存槽，回到該使用側；一第三循環線，由該使用側導入的該硫酸溶液不通過該儲存槽與該冷卻單元，而是通過該加熱單元以回到該使用側。
- 如申請專利範圍第1項所述之功能性溶液供應系統，其中該第二循環線與該第三循環線在回到該使用側之前合併。
- 如申請專利範圍第1或第2項所述之功能性溶液供應系統，其中該第二循環線與第三循環線從該使用側導入之後分歧。
- 如申請專利範圍第1項所述之功能性溶液供應系統，其中該第一循環線在該儲存槽之下流側更包括一第二冷卻單元，其用以冷卻硫酸溶液並位於該電解裝置之上流側。
- 如申請專利範圍第1項所述之功能性溶液供應系統，其中該第一循環線於該電解裝置之下流側更包括一第二冷卻單元，其用以冷卻硫酸溶液並位於該儲存槽之上流側。
- 如申請專利範圍第1項所述之功能性溶液供應系統，其中該使用側為批次式基板清洗裝置。
- 一種功能性溶液供應方法，藉由電解硫酸溶液，以製造含有過硫酸的功能性溶液而供應至一使用側，該功能性溶液供應方法之特徵為包括：一第一循環工程，由儲存硫酸溶液以及回流的含有過硫酸的硫酸溶液的一儲存槽排出該硫酸溶液，並在未通過加熱單元加熱的情況下被電解，並使電解後的該硫酸溶液回到該儲存槽；一第二循環工程，從該使用側導入的該硫酸溶液在未通過該加熱單元加熱的情況下，通過一冷卻單元冷卻後被送到該儲存槽，再從該儲存槽排出該硫酸溶液回到該使用側；一第三循環線，從該使用側導入的該硫酸溶液在未通過該冷卻單元冷卻的情況下，且在未通過該儲存槽的情況下，通過該加熱單元加熱以回到該使用側。
- 如申請專利範圍第7項所述之功能性溶液供應方法，其中從該使用側導入的該硫酸溶液從該儲存槽回到該使用側的第二循環工程，與從該使用側導入的該硫酸溶液在未通過該儲存槽的情況下回到該使用側的第三循環工程，是在回到該使用側之前把未被加熱的該硫酸溶液與加熱過的該硫酸溶液合流再回到該使用者側。
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