TWI404880B - 流體輸送用之結合裝置之插入座 - Google Patents

Description

流體輸送用之結合裝置之插入座

本發明係關於一種將流體、即如半導體製造時所使用之蝕刻液般之高純度藥液等液體、氣體、其他流動體，自生產工廠之儲存槽輸送至輸送卡車之容器時所使用的流體輸送用之結合裝置之插入座。

於專利第2921654號中揭示有用於上述用途之結合裝置。如此結合裝置包含插入座(固定之母型結合器)與插入頭(可移動之公型結合器)。該等插入座及插入頭上分別連接有管道。

插入座於其周圍具有側邊凸緣，且藉由將該側邊凸緣安裝於安裝板上而使插入座以與管道連接之狀態固定。繼而，將與其他管道連接之插入頭插入插入座之插入口，且將該等插入頭及插入座配置於同一直線上。其後，使預先組裝於插入座中之內部機構部進行動作，以此使插入座及插入頭各自之管道彼此連通且輸送流體。

通常，為減小向安裝板外部突出之插入座之部分，而將側邊凸緣設置於插入口附近。因此，位於安裝板背面側之插入座之部分較長。進而，如上所述因於插入座上連接有管道，故自安裝板觀察時位於較遠位置之插入座之遠端承受有比較大的動量。藉此，有時因施加於安裝板與側邊凸緣之間之連結部的負荷增大，而產生因動量之作用所導致之密封性惡化。

尤其，於流通過結合裝置之流體之流量比較大時，施加於安裝板之負荷亦變大，故因動量之作用而導致結合裝置之中心偏移，並由此密封性惡化之可能性將進一步變大。

本發明係鑒於如此情形而完成者，其目的在於提供即使於流體之流量比較大之情形時亦可穩定地支撐於安裝板，並且亦可長期保持密封性之流體輸送用結合裝置之插入座。

為實現上述目的，根據第1態樣可提供一種流體輸送用之結合裝置之插入座，其係藉由使插入座與插入頭彼此連結，而使上述插入座及上述插入頭各自之流路彼此連通者，其中包含：安裝板安裝部，其設置於用以插入上述插入頭之上述插入座之插入口附近，且將上述插入座安裝於安裝板上；及支撐部，其設置於與上述插入口不同之位置上，且支撐上述插入座。

根據第2態樣可提供一種流體輸送用結合裝置之插入座，其係於外殻內，將支持波紋管之波紋管固持器與固定於上述波紋管固持器上之淋灑環設置為可於上述外殻之長度方向上滑動，上述波紋管於前端包含配置於上述淋灑環內之流通閥機構，上述淋灑環於前端包含剖面圓形清洗室，該清洗室係包含與上述流通閥機構對應之流通閥機構且應結合之插入頭之頭部進入，於上述清洗室之中途配備O型環等密封機構，並且於上述清洗室之側壁朝向上述清洗室之切線方向穿設噴射口，於上述外殻上設置有將清洗水供給至上述噴射口之淋灑噴嘴，並且形成有排出口者，其中包含：安裝板安裝部，其設置於用以插入上述插入頭之上述插入座之插入口附近，且將上述插入座安裝於安裝板上；及支撐部，其設置於與上述插入口不同之位置上，且支撐上述插入座。

即，於第1及第2態樣中，因設為如下構成，即除安裝板安裝部例如側邊凸緣之外，亦包含支撐插入座之支撐部，故即使於流體之流量比較大時亦可將插入座穩定地支撐於安裝板上，並且亦可長期保持密封性。

根據第3態樣，於第1或第2態樣之流體輸送用之結合裝置之插入座，其中上述插入座之至少一部分係以凹窩形式構成。

即，第3態樣中，組裝插入座時可易於對構成插入座之零件進行凹窩，由此可縮短製造時間。

根據第4態樣，於第2或第3態樣之流體輸送用之結合裝置之插入座，其中進而包含對上述波紋管固持器之位置進行檢測之位置感測器，且將該位置感測器配置於上述波紋管固持器滑動時壓力不會變化之部位。

即，第4態樣中，可防止因波紋管固持器滑動時所產生之壓力而導致位置感測器脫落，並且可防止因壓力等而導致位置感測器之靈敏度降低。

第5態樣係提供一種藉由使插入座與插入頭彼此連結，而使上述插入座及上述插入頭各自之流路彼此連通之流體輸送用結合裝置之插入座，且上述插入座之至少一部分係以凹窩形式構成。

第6態樣係提供一種流體輸送用結合裝置之插入座，其係於外殻內，將支持波紋管之波紋管固持器與固定於上述波紋管固持器上之淋灑環設置為可於上述外殻之長度方向上滑動，上述波紋管於前端包含配置於上述淋灑環內之流通閥機構，且上述淋灑環於前端包含剖面圓形清洗室，該清洗室係包含與上述流通閥機構對應之流通閥機構且應結合之插入頭之頭部進入，於上述清洗室之中途配備O型環等密封機構，並且於上述清洗室之側壁朝向上述清洗室之切線方向穿設噴射口，於上述外殻上設置有將清洗水供給至上述噴射口之淋灑噴嘴，並且形成有排出口者，其中上述插入座之至少一部分係以凹窩形式構成。

即，於第5及第6態樣中，組裝插入座時可易於對構成插入座之零件進行凹窩，由此可縮短製造時間。

根據第7態樣，第5或第6態樣之流體輸送用結合裝置之插入座其中進而包含：安裝板安裝部，其設置於用以插入上述插入頭之上述插入座之插入口附近，且將上述插入座安裝於安裝板上；及支撐板，其設置於與上述插入口不同之位置上，且支撐上述插入座。

即，於第7態樣中，因設為如下構成，即除安裝板安裝部例如側邊凸緣之外，亦具有支撐插入座之支撐部，故即使於流體之流量比較大時亦可穩定地將插入座支撐於安裝板上。

根據第8態樣，於第6或第7態樣之流體輸送用之結合裝置之插入座，其中進而包含對上述波紋管固持器之位置進行檢測之位置感測器，且將該位置感測器配置於上述波紋管固持器滑動時壓力不會變化之部位。

即，於第8態樣中，可防止因波紋管固持器滑動時所產生之壓力而導致位置感測器脫落，並且可防止因壓力等而導致位置感測器之靈敏度降低。

第9態樣係提供一種流體輸送用結合裝置之插入座，其係於外殻內，將支持波紋管之波紋管固持器與固定於上述波紋管固持器上之淋灑環設置為可於上述外殻之長度方向上滑動，上述波紋管於前端包含配置於上述淋灑環內之流通閥機構者，其中包含對上述波紋管固持器之位置進行檢測之位置感測器，且將該位置感測器配置於上述波紋管固持器滑動時壓力不會變化之部位。

即，於第9態樣中，可防止因波紋管固持器滑動時所產生之壓力而導致位置感測器脫落，並且可防止因壓力等而導致位置感測器之靈敏度降低。

根據第10態樣，於第9態樣之流體輸送用結合裝置之插入座，其中進而包含：安裝板安裝部，其設置於用以插入上述插入頭之上述插入座之插入口附近，且將上述插入座安裝於安裝板上；及支撐部，其設置於與上述插入口不同之位置上，且支撐上述插入座。

即，於第10態樣中，因設為如下構成，即除安裝板安裝部例如側邊凸緣之外，亦具有支撐插入座之支撐部，故即使於流體之流量比較大時亦可將插入座穩定地支撐於安裝板上。

根據第11態樣，於第9或第10態樣之流體輸送用結合裝置之插入座，其中上述插入座之至少一部分係以凹窩形式構成。

即，於第11態樣中，組裝插入座時可易於對構成插入座之零件進行凹窩，由此可實現縮短製造時間。

根據第12態樣，於第9至第11態樣中任一態樣之流體輸送用結合裝置之插入座，其中上述淋灑環於前端包含剖面圓形清洗室，該清洗室係包含與上述流通閥機構對應之流通閥機構且應結合之插入頭之頭部進入，於上述清洗室之中途配備O型環等密封機構，並且於上述清洗室之側壁朝向上述清洗室之切線方向穿設噴射口，且於上述外殻上設置有將清洗水供給至上述噴射口之淋灑噴嘴，並且形成有排出口。

即，於第12態樣中，使插入頭之頭部進入清洗室內一半之後自淋灑噴嘴噴射清洗水，此時清洗水將沿圓形清洗室之內壁螺旋狀流動且清洗插入頭頭部之外周面，故可對插入頭頭部進行徹底地、可靠地清洗。

根據第13態樣，於第2、第6或第9態樣之流體輸送用結合裝置之插入座，其中進而包含洩漏感測器，該洩漏感測器對應藉由上述結合裝置而輸送之流體洩漏至上述波紋管固持器所滑動之滑動室之情形進行檢測。

以下，參照隨附圖式來說明本發明之實施形態。以下之圖式中，對相同之構件附上相同之參照符號。為便於理解，適當地變更該等圖式之比例。

圖1係本發明之流體輸送用結合裝置之插入座之長度方向剖面圖，圖2係本發明之流體輸送用結合裝置之插入座之端視圖。插入座10之外殻主要包含彼此組裝為一體之外殻構成部12、13、14、15。如圖所示，於外殻構成部12之一端固定有前蓋11，又，於另一外殻構成部15之一端固定有裏蓋16。本發明中，由前蓋11、外殻構成部12~15、及裏蓋16構成插入座10之外殻。較好的是該等外殻之構成零件係由具有耐化學性之樹脂材料、例如氟系樹脂所形成。

又，如圖1所示，將側邊凸緣17配置於外殻構成部12與外殻構成部13之間。側邊凸緣17發揮將插入座10固定於安裝板18上之作用。再者，於由外殻構成部12及前蓋11等所形成之插入口19中插入有下述之插入頭70。

於各外殻構成部12~15端面之外周面附近及側邊凸緣17端面之內周面附近，在圓周方向上等間隔地形成有複數個孔。當組裝插入座10之外殻時，使外殻構成部14、15之凹窩部分對準，且將連接棒分別插入外殻構成部14、15之複數個孔中。其次，將螺栓34插入側邊凸緣17及外殻構成部13之孔中並旋接於連接棒33之一端。繼而，將螺栓31插入裏蓋16及外殻構成部15之孔中並旋接於連接棒33之另一端。最終，將螺栓32插入外殻構成部12之孔中併旋接於側邊凸緣17。藉此組裝插入座10之外殻。

較好的是連接棒由金屬形成。又，因插入座10整體之剛性提高，故即使於使用插入座10時操作者對側邊凸緣17施加比較大之負荷之情形時，側邊凸緣17亦不會旋轉，又亦可防止密封性降低或插入座之外殻產生晃動。

如圖1所示，將波紋管固持器21配置為可沿外殻構成部14及外殻構成部15之內周面滑動。於波紋管固持器21之內側配置有波紋管23。波紋管23之一端與基端結合器22成為一體，該基端結合器22與裏蓋16扣合。如圖所示，將基端結合器22之寬闊部分22a嵌入形成於裏蓋16內周面上之凹部。寬闊部分22a亦抵接於外殻構成部15之段部24，故將基端結合器22以固定狀態配置於插入座10內。

於波紋管固持器21之前端側外周面一體性地設置有形成為凸緣狀之活塞26。如圖所示，於外殻構成部15之前端15b與外殻構成部14之段部14a之間形成有滑動室27，與波紋管固持器21一體化之活塞26將於該滑動室27內滑動。該等段部14a及前端15b發揮作為活塞26之擋板之作用，且自段部14a與前端15b之間之距離減去活塞26之厚度後之長度，將相當於活塞26之衝程。

波紋管23之另一端連結於淋灑環25。將由氟系樹脂或氯乙烯等所形成之淋灑環25固定於波紋管固持器21上。於活塞26滑動時，淋灑環25將沿外殻構成部14及外殻構成部13之內周面滑動。再者，波紋管固持器21於活塞26滑動時將沿外殻構成部15之內周面滑動。進而，於該段部24附近形成有排水口42，該排水口42將滯留於波紋管固持器21之滑動室21'內之流體排出。

進而，吸氣排氣口28a、29a分別自滑動室27之兩端部延伸至外殻構成部14之外周面為止，並分別連接於吸氣排氣噴嘴28、29。自圖1可瞭解到，活塞26於滑動室27中配置於吸氣排氣口28a、29a之間。因此，圖1所示之狀態下，當自供氣排氣口28將空氣供給至滑動室27內時，活塞26受到空氣擠壓而滑動至段部14a。此時，將滑動室27內之空氣自供氣排氣口29排出。而且，若變更供氣排氣口28、29之空壓進出關係，則活塞26及波紋管固持器21將分別向插入座10之基端移動併到達前端15b及段部24。

於淋灑環25之中央附近形成有向內側突出之第一閥座41。而且，第一閥體39將藉由配置於第一閥體39與波紋管23之間之彈簧38而向第一閥座41施壓，通常將第一閥座41之開口部封閉。又，如圖所示，於第一閥體39上形成有連通孔40。而且，當以抵抗彈簧38之施壓作用之方式對第一閥體39進行擠壓時，連通孔40及第一閥座41之開口部將打開。

於淋灑環25之前端側內側形成有剖面圓形清洗室25a。於清洗室25a之內面形成有向其切線方向開口之噴射口46。該噴射口46與固定於淋灑環25外周部之淋灑噴嘴43連通。進而，於清洗室25a之內周面配置有密封部47例如O型環，且清洗室25a自密封部47向前端側錐狀擴展。進而，於外殻構成部13上形成有自內周面擴展至外周面為止之排出孔50，且將自噴射口46噴射之清洗液自排出孔50排出。

如圖1所示，於波紋管固持器21外周部之彼此對向之位置上形成有兩個指示器55。圖示之實施形態中指示器55為缺口部。其中，只要不妨礙波紋管固持器21之滑動作用，亦可使用與缺口部不同之其他指示器55。

如圖2所示，將對波紋管固持器21之位置進行檢測之位置感測器51、52安裝於插入座10之外殻上的彼此對向之位置。嚴格而言，將該等位置感測器51、52設置於外殻構成部15，且位置感測器51、52之前端延伸至波紋管固持器21之滑動室21'之內周面、或擴展至該內周面之直前。因此，即使於波紋管固持器21滑動時，波紋管固持器21之圓周面亦不會接觸於位置感測器51、52之前端。

本實施形態中，位置感測器51、52係對設置於波紋管固持器21上之指示器55進行檢測之光感測器。如上所述，因使波紋管固持器21與活塞26一體化，故可藉由通過指示器55對波紋管固持器21之位置進行檢測，而檢測活塞26之位置。

於未圖示之先前技術中，於活塞26所滑動之滑動室27內配置有活塞26用位置感測器。然而，於將位置感測器配置於滑動室27內之情形時，若藉由供氣排氣口28、29而對滑動室27進行加壓，則有導致位置感測器脫落之危險。又，即使於位置感測器不脫落之情形時，亦存在如下可能性，即滑動室27之空氣自該等位置感測器之安裝口洩漏，從而難以精密地調整滑動室27之壓力。又，亦擔心因直接受到滑動室27內之加壓之影響等，而導致位置感測器之靈敏度降低。

對此，於本發明中，將位置感測器51、52之前端配置於滑動室27內之不受壓力影響之部位，即配置於波紋管固持器21用滑動室21'內。進而，因於波紋管固持器21用滑動室21'內形成有排水口42，故波紋管固持器21用滑動室之壓力於活塞滑動時併不變化。因此，於本發明中，即使於活塞26滑動時，滑動室27之壓力亦不會施加至位置感測器51、52。因此，不會產生位置感測器之脫落及位置感測器之靈敏度降低。進而，本發明中，不會因活塞26之滑動而導致空氣自位置感測器51、52之安裝部位洩漏，從而可精密地控制滑動室27之壓力。再者，如圖2所示，自內部通道20觀察時，位置感測器51、52設置於支撐板35之相反側。使用下述插入座10時，該等位置感測器51、52位於插入座10之上方側。因此，亦將設置於波紋管固持器21外周部之指示器55設置於插入座10之上方側。於如此之情形時，可使以下之可能性減小，即可向下方流動之滑動室21'內之潤滑油流入指示器55(缺口部)、以及因所流入之潤滑油而導致位置感測器51、52產生故障。

進而，自圖1及圖2可瞭解到，支撐板35係藉由兩個螺栓37而固定於裏蓋16之基端上。於支撐板35上形成有兩個橢圓形開口部36。如下所述，將另一螺栓39b插入開口部36，以此可將支撐機械軸39c固定於支撐板35上。因此，較好的是支撐板35由剛性較高之材料形成。

構成本發明插入座10之外殻之零件中的至少一部分係以凹窩形式組裝。圖3a係表示將外殻之基端放大之局部放大圖。於圖3a所示之裏蓋16之周圍部預先形成有環狀突起16a。另一方面，在抵接於裏蓋16之外殻構成部15上，形成有與環狀突起16a相扣合之環狀槽15a。

並且，以該等環狀突起15a、16a彼此扣合之方式組裝外殻構成部15與裏蓋16。藉此，可易於進行外殻之凹窩。於其他零件例如外殻構成部13、14上亦形成有同樣之環狀突起或環狀槽。因易於對該等零件進行凹窩，故繼而可藉由以螺栓31、32旋接該等零件12~16，而提高密封性，同時可實現縮短外殻之製造時間。

進而，設插入座10內之滑動部例如淋灑環25與活塞26之間亦以同樣之凹窩形式進行組裝。當然，亦可設插入座10上所固定之所有零件以凹窩形式組裝。

再者，雖未進行詳細說明，但可明確地是：為了保持氣密及水密，而於插入座10之外殻與滑動部即活塞26及淋灑環25等之間以及插入口19之內側，適當地設置有密封部例如O型環。

進而，如圖1所示，於插入座10之基端連接有具有凸緣3之管路2。插入座10與管路2之連接係藉由螺栓83與螺帽89而進行。本發明中對螺栓83之頭部進行斂合。即，如圖3b之詳細圖所示，螺栓83於組裝前插入裏蓋16之孔16b之後，其頭部83a將於孔16b內擠壓變形。

當不採用如此構成時，因螺栓之頭部位於凸緣3與裏蓋16之間，故凸緣3與裏蓋16僅隔開螺栓頭部之大小。相對於此，本發明中螺栓83之頭部83a位於裏蓋16內，並且對該螺栓83之頭部83a進行斂合。其結果，本發明中可使凸緣3與裏蓋16之間之距離盡可能地接近，從而可使組裝有管路2之插入座10整體實現小型化。可明確的是，可藉由如此構成，而使施加於插入座10之遠端之動量更小。

圖4係本發明之流體輸送用結合裝置之插入頭之長度方向剖面圖。本發明之插入頭70包含形成內部通道78之樹脂製內部分隔件74、以及覆蓋內部分隔件74外周部之金屬製插入頭軸環73。自圖4可瞭解到，內部分隔件74於距其基端74b特定距離之部位具有凸緣74a。又，插入頭軸環73亦於其基端具有基端凸緣73a。進而，插入頭70包含金屬製插入頭凸緣75。於位於插入頭凸緣75之中心之開口部，形成有與內部分隔件74之凸緣74a及基端74b之形狀對應的階部75a。

因此，當將內部分隔件74插入插入頭軸環73時，內部分隔件74之凸緣74a將抵接並停止於插入頭軸環73之基端凸緣73a。此時，內部分隔件74之前端將超過插入頭軸環73之前端而部分性地突出。其次，將插入頭凸緣75自基端側向插入頭軸環73嵌入，且藉由螺栓76而使插入頭軸環73與插入頭凸緣75結合。藉此，可將內部分隔件74之凸緣74a挾持併固定於插入頭軸環73之基端凸緣73a與插入頭凸緣75之階部75a之間。繼而，將插入頭前端部71插入至內部分隔件74之前端，併藉由雙螺帽72a、72b而固定。

於未圖示之先前技術中，插入頭凸緣係藉由將兩個半月型構件加以組裝而形成，但於本發明中，因上述構成，故可將插入頭凸緣75作為單一構件而形成。即，本發明中，無須使插入頭凸緣75分為兩個部分，其結果亦可削減插入頭70之製造費用。進而，於本發明中，因上述構成，故當插入頭凸緣75破損時等易於更換插入頭凸緣75，又亦可易於更換為規格(外徑)不同之其他插入頭凸緣75'，例如JIS(Japanese Industrial Standard，日本工業規格)、ANSI(American National Standards Institute，美國國家標準學會)、DIN(Deutsche Industrie Normen，德國工業標準)。

又，本發明中，藉由金屬製插入頭軸環73及插入頭凸緣75，尤其是藉由插入頭軸環73，而加固插入頭70之外周部。藉此，本發明之插入頭70與先前技術中之全樹脂製插入頭(未圖示)相比剛性較高。因此，如下所述，即使於將插入頭70插入插入座10後以大流量輸送流體之情形時，亦可將插入頭70牢固地支撐於插入座10內，又，亦可防止插入頭70破損。

又，如圖4所示，插入頭前端部71之前端形成為向內側突出之第二閥座77。第二閥體59係藉由配置於第二閥體59與內部分隔件74前端之間之彈簧58而向第二閥座77施壓，通常係第二閥座77之開口部封閉。又，如圖所示，於第二閥體59上形成有連通孔60。並且，當以抵抗彈簧58之施壓動作之方式對第二閥體59進行擠壓時，連通孔60及第二閥座77之開口部將打開。

再者，於插入頭70之基端連接有具有凸緣4之管路1。插入頭70與管路1之連接係藉由螺栓84與螺帽88而進行。將螺栓84之頭部配置於插入頭凸緣75之孔75b內，並以與參照圖3b所進行之說明相同之方式對螺栓84之頭部進行斂合。其結果，於本發明中，可避免螺栓84之頭部自插入頭凸緣75之表面突出至插入頭70之前端側，操作者易於把持插入頭70。

圖5係表示將插入頭之一部分放大之局部放大圖。如圖5所示，於內部分隔件74之外周面形成有環狀凹部85，且將密封部86例如O型環配置於環狀凹部85內。如圖所示，密封部86可防止流體自插入頭前端部71與內部分隔件74之間洩漏。

進而，於插入頭前端部71之基端71a，在圓周方向上形成有向軸線方向突出之環狀突起81。並且，亦可於與環狀突起81之內部分隔件74對應之部分上，形成有收容環狀突起81之環狀凹部82。於如此之情形時，如圖所示，該等環狀突起81及環狀凹部82較密封部86而形成於半徑方向之更外側。因此，即使於流體超過密封部86而洩漏之情形時，亦可藉由環狀突起81及環狀凹部82而防止流體洩漏至外部。

以下，說明本發明之流體輸送用結合裝置之動作。圖6及圖7係流體輸送用結合裝置之長度方向剖面圖，且分別表示插入頭與插入座連結之狀態及流體可流通之狀態。

首先，將插入座10之側邊凸緣17安裝於安裝板18上，併藉由螺栓/螺帽18a而固定。其次，藉由螺栓/螺帽39b而將設置於裏蓋16上之支撐板35固定於支撐機械軸39c之一端。支撐機械軸39c係大致L字形構件，且藉由螺栓/螺帽39a而將支撐機械軸39c之另一端固定於安裝板18上。再者，可設為將支撐機械軸39c之另一端固定於未圖示之其他外部構件的構成，且支撐機械軸39c亦可為其他形狀。

繼而，將連接有管路1之插入頭70插入插入座10之插入口19。藉此，如圖所示，插入頭70之雙螺帽72a之前端將抵接於外殻構成部13之端面，且插入頭70之插入頭前端部71將向外殻構成部13及淋灑環25內突出。

如圖所示，當將插入頭70插入插入座10時，於插入座10之前蓋11與插入頭70之插入頭凸緣75之間將形成有特定之間隙。該間隙充分大以便於插入人的手指。因此，本發明中操作者易於把持插入頭，故可易於進行插入頭70之插入動作及解除動作。

繼而，當將空氣自供氣排氣口28供給至滑動室27內時，活塞26以及與該活塞26一體化之波紋管固持器21及淋灑環25將向前端側滑動。並且，當插入頭前端部71之外周面抵接於密封部47之後，第一閥體39及第二閥體59彼此以抵抗彈簧38、58之方式互相擠壓。藉此，第一閥座41與第二閥座77將彼此抵接且將連通孔40及連通孔60之兩者打開。其結果，通過管路1而供給之流體，將通過基端結合器22之內部通道20輸送至管路2。

如上所述，本發明中，將側邊凸緣17固定於安裝板18上，並且使用支撐板35及支撐機械軸39c支撐插入座10。因此，進行如此般之流體輸送時，即使於流體之流量比較大之情形時，亦可將插入座10穩定地支撐於安裝板18上。因此，可藉由施加於側邊凸緣17與安裝板18之間之負荷，而使該等長期保持密封性。

當僅輸送期望量之流體時，藉由將空氣自供氣排氣口29供給至滑動室27，而使活塞26、波紋管固持器21及淋灑環25向插入座10之基端滑動並返回至初始位置。其結果，第一閥體39及第二閥體59將彼此隔開，並藉由彈簧38、58之施壓動作而到達並固定於第一閥座41及第二閥座77上。藉此，將連通孔40及連通孔60封閉，結束流體之輸送。

當活塞26等位於初始位置時，亦可對淋灑環25之清洗室25a進行清洗。當清洗水自淋灑噴嘴43噴射出時，因噴射口46朝向淋灑環25之內側面之切線方向，故清洗水將一面沿其內側面螺旋狀旋轉，一面朝向前端部沿著插入頭70之外周面前進至錐形面。由此，可藉由水勢較強之清洗水而對插入頭70之外周面進行徹底地清洗。其後，將清洗水沿錐形面引導至前端側，並自排出孔50排出。

再者，自圖1可瞭解到，即使於活塞26位於後退位置時，清洗室25a亦位於自滑動室27之長度方向位置稍微遠離之部位。並且，當活塞26滑動至最遠方時(參照圖7)，清洗室25a將自滑動室27進一步隔開。因此，本發明中，滑動室27內中所使用之潤滑劑、例如潤滑油不會流入清洗室25a。

再者，於上述實施形態中，揭示有支撐板35與支撐機械軸39c為單獨構件者，但支撐板35與支撐機械軸39c為一體構件之情形亦包含於本發明之範圍。

圖8係配置本發明之結合裝置之流程圖。於圖8中，自插入座10延伸之管路2將經由供應閥2a而連接於藥液源。另一方面，自插入頭70延伸之管路1將經由閥門而連接於輸送槽99。因此，使用將插入頭70連接於插入座10之結合裝置時，藥液將通過插入座10及插入頭70供給至輸送槽99。再者，如圖所示，將供氣排氣口28、29經由速度控制器、氣缸操作用閥及壓力調節器而連接於空氣源。

於淋灑噴嘴43上連接有具有壓力感測器90a之配管90。如圖所示，配管90分支為氮氣用支管91及純水用支管92，且於支管91、92上分別設置止回閥95及停止閥93、以及止回閥96及停止閥94。又，於自排出孔50延伸之配管90'上設置有排泄閥97與疏水器98，且將配管90'連接於清洗水之排泄口。

當清洗插入座10之淋灑環25時，將停止閥94打開，使純水通過支管92及配管90而自淋灑噴嘴43供給至淋灑環25之清洗室25a。於本發明中，因於支管91、92之兩者上分別設置了止回閥95、96，因此清洗時流過支管92之純水不會超過止回閥95而流入支管91之上游。

當純水將清洗室25a及插入頭70之外周面等清洗之後，將純水自排出孔50通過配管90'供給至疏水器98。存在以下情形，即因輸送併供給有特定藥液，故於使用插入座10之後該藥液將作為殘渣而固著於清洗室25a之內壁或插入頭70之外周面等。於本發明中，如此殘渣將藉由純水沖走，且含有殘渣之廢液將藉由疏水器98而截留。

當清洗動作結束後，將支管92之停止閥94封閉，其次，將支管91之停止閥93打開。其後，將氮氣氣體通過支管91及配管90而自淋灑噴嘴43供給至清洗室25a。此時，亦可藉由支管92之止回閥96，而不使氮氣氣體超過止回閥96流入支管92之上游。藉由供給氮氣氣體而使清洗室25a內所殘留之清洗用純水，通過排出孔50沖走並於疏水器98處截留、或於清洗室25a內蒸發。其後，若將停止閥93封閉，則插入座10將再次成為可使用狀態。再者，明確的是：可同樣將來自輸送槽99之藥液供給至插入座10及插入座10側之構件。

圖9係本發明之其他實施形態之插入座之長度方向剖面圖，圖10係圖9所示之插入座之背視圖，圖11係圖9所示之插入座之端視圖。該等圖式所示之插入座10a中，於圖1所示之排水口42之位置上配置有洩漏感測器142a。該洩漏感測器142a對流入與活塞26之基端部分26a對應之滑動室27的一部分27a之流體進行檢測。即，於該實施形態中，可藉由洩漏感測器142a對該流體進行檢測，而代替將自內部通道20所洩漏之流體自排水口42排出。

又，如圖9所示，於滑動室27之一部分27a上，形成有貫通至插入座10a之外部之貫通孔105。該貫通孔105可避免活塞26之基端部分26a於滑動室27之一部分27a內滑動時於滑動室27的一部分27a內壓縮空氣。換言之，貫通孔105有助於活塞26之基端部分26a於滑動室27之一部分27a內的滑動作用。

進而，自圖9至圖11可瞭解到，將淋灑噴嘴43之噴射口46定位於插入座10a之背面側。眾所周知的是，通常將插入座10a以內部通道20為水平之方式進行配置。於插入座10a以此方式進行配置之情形時，淋灑噴嘴43之噴射口46將於清洗室25a內朝向側面開口。可瞭解到於採用如此構成之情形時，與噴射口46朝向上方開口之情形等相比，可抑制灰塵等異物自噴射口46進入淋灑噴嘴43。

進而，如圖9所示，於活塞26之外周面及外殻構成部15之內周面上分別設置有密封構件106、107。該等密封構件106、107防止活塞26滑動時產生空氣洩漏。較好的是該等密封構件106、107為剖面X字形狀。於如此之情形時，與密封構件為O型環之情形相比，可維持活塞26之滑動性併防止空氣洩漏。

1、2．．．管路

3、4、4'、74a、75、75'．．．凸緣

5．．．流體輸送用之結合裝置

10、10a．．．插入座

11．．．前蓋

12、13、14、15．．．外殻構成部

14a、24、75a．．．階部

15a．．．環狀槽

15b．．．前端

16．．．裏蓋

16a．．．環狀突起

16b、75b．．．孔

17．．．側邊凸緣

18．．．安裝板

18a、39a．．．螺栓/螺帽

19．．．插入口

20、78．．．內部通道

21．．．波紋管固持器

21'、27．．．滑動室

22．．．基端結合器

22a．．．寬幅部分

23．．．波紋管

25．．．淋灑環

25a．．．清洗室

26．．．活塞

28、28a、29、29a．．．吸氣排氣口

31、32、34、37、39b、76、83、84．．．螺栓

33．．．連接棒

35．．．支撐板

36．．．開口部

38、58．．．彈簧

39．．．第一閥體

39c．．．支撐機械軸

40、60．．．連通孔

41．．．第一閥座

42．．．排水口

43．．．淋灑噴嘴

46．．．噴射口

47、86．．．密封部

50．．．排出孔

51、52．．．位置感測器

55．．．指示器

59．．．第二閥體

70、70a．．．插入頭

71．．．插入頭前端部

71a、74b．．．基端

72a、72b．．．雙螺帽

73．．．插入頭軸環

73a．．．基端凸緣

74．．．內部分隔件

75．．．凸緣

77．．．第二閥座

81．．．收容環狀突起

82、85．．．環狀凹部

83a．．．頭部

88、89．．．螺帽

90、90'．．．配管

90a．．．壓力感測器

91．．．氮氣用支管

92．．．純水用支管

93、94．．．停止閥

95、96．．．止回閥

97．．．排泄閥

98．．．疏水器

99．．．輸送槽

105．．．貫通孔

106、107．．．密封構件

142a．．．洩漏感測器

圖1係本發明之流體輸送用結合裝置之插入座之長度方向剖面圖。

圖2係本發明之流體輸送用結合裝置之插入座之端視圖。

圖3a係表示將外殻之基端放大之局部放大圖。

圖3b係表示斂合構造之詳情之詳細圖。

圖4係本發明之流體輸送用結合裝置之插入頭之長度方向剖面圖。

圖5係表示將插入頭之一部分放大之局部放大圖。

圖6係表示使插入頭與插入座連結之狀態下之流體輸送用結合裝置的長度方向剖面圖。

圖7係表示流體可流通之狀態之流體輸送用結合裝置的長度方向剖面圖。

圖8係配置本發明之結合裝置之流程圖。

圖9係本發明之其他實施形態之插入座的長度方向剖面圖。

圖10係圖9所示之插入座之背視圖。

圖11係圖9所示之插入座之端視圖。

1、2．．．管道

3、4．．．凸緣

5．．．流體輸送用之結合裝置

10．．．插入座

11．．．前蓋

12、13．．．外殻構成部

16．．．裏蓋

17．．．側邊凸緣

18．．．安裝板

18a、39a．．．螺栓/螺帽

19．．．插入口

20、78．．．內部通道

21．．．波紋管固持器

22．．．基端結合器

23．．．波紋管

25．．．淋灑環

25a．．．清洗室

26．．．活塞

27．．．滑動室

28、29．．．吸氣排氣口

33．．．連接棒

35．．．支撐板

38、58．．．彈簧

39．．．第一閥體

39b、83、84．．．螺栓

39c．．．機械軸

40、60．．．連通孔

41．．．第一閥座

43．．．淋灑噴嘴

46．．．噴射口

47,86．．．密封部

50．．．排出孔

55．．．指示器

59．．．第二閥體

70．．．插入頭

75．．．凸緣

77．．．第二閥座

Claims (5)

1. 一種流體輸送用之結合裝置之插入座，其係藉由使插入座與插入頭彼此連結而使上述插入座及上述插入頭各自之流路彼此連通者，其包含：安裝板安裝部，其係設置於用以插入上述插入頭之上述插入座之插入口附近，且將上述插入座安裝於安裝板上；支撐部，其係設置於與上述插入座之上述插入口相反側之位置上，且支撐上述插入座；及支撐機械軸，其係連接上述支撐部與安裝於上述安裝板安裝部之安裝板；使當上述插入頭插入至上述插入座之上述插入口時，上述插入頭之前端部分係超過上述安裝板安裝部且延伸至上述插入座之內部。
2. 一種流體輸送用之結合裝置之插入座，其係於外殻內，將支持波紋管之波紋管固持器與固定於上述波紋管固持器上之淋灑環設置為可於上述外殻之長度方向上滑動，上述波紋管於前端包含配置於上述淋灑環內之流通閥機構，且上述淋灑環包含剖面圓形清洗室，於前端包含與上述流通閥機構對應之流通閥機構之應結合之插入頭的頭部進入該清洗室，於上述清洗室之中途配備O型環等密封機構，並且於上述清洗室之側壁朝向上述清洗室之切線方向穿設噴射口，於上述外殻上設置有將清洗水供給至上述噴射口之淋灑噴嘴，並且形成有排出口者，其 中包含：安裝板安裝部，其係設置於用以插入上述插入頭之上述插入座之插入口附近，且將上述插入座安裝於安裝板上；支撐部，其係設置於與上述插入座之上述插入口相反側之位置上，且支撐上述插入座；及支撐機械軸，其係連接上述支撐部與安裝於上述安裝板安裝部之安裝板；使當上述插入頭插入至上述插入座之上述插入口時，上述插入頭之前端部分係超過上述安裝板安裝部且延伸至上述插入座之內部；上述淋灑噴嘴之前端係定位於配置在上述淋灑環內之流通閥機構與插入至上述插入座之上述插入頭之流通閥機構之間。
3. 如請求項1或2之流體輸送用之結合裝置之插入座，其中上述插入座之至少一部分係以凹窩形式構成。
4. 如請求項2之流體輸送用之結合裝置之插入座，其中進而包含對上述波紋管固持器之位置進行檢測之位置感測器，且將該位置感測器配置於上述波紋管固持器滑動時壓力不變化之部位。
5. 如請求項2之流體輸送用之結合裝置之插入座，其中進而包含洩漏感測器，其係檢測藉由上述結合裝置而輸送之流體洩漏至上述波紋管固持器所滑動之滑動室的情形。