TWI392822B - 流體輸送用之結合裝置之插入頭 - Google Patents

Description

流體輸送用之結合裝置之插入頭

本發明係關於將流體、即如製造半導體時所使用之蝕刻液般之高純度藥液等液體、氣體、其他流動體，自生產工廠之儲存槽向輸送卡車之容器輸送時所使用的流體輸送用結合裝置之插入座之插入頭。

於日本專利第2921654號中，揭示有用於上述用途之結合裝置。如此之結合裝置包含插入座(固定之母型結合器)與插入頭(可移動之公型結合器)。於該等插入座及插入頭上分別連接有管路。

插入座於其周圍包含側邊凸緣，且藉由將該側邊凸緣安裝於安裝板上而使插入座於與管路連接之狀態下固定。其次，將與其他管路連接之插入頭插入插入座之插入口，以此將該等插入頭及插入座配置於同一直線上。其後，使預先組裝有插入座之內部機構部進行動作，以此使插入座及插入頭各自之管路彼此連通從而輸送流體。

然而，因管路連接於插入頭，故於插入頭插入插入座之狀態下長時間地輸送流體時，因安裝於插入頭後端之凸緣等之重量而導致插入頭自身承受動量，從而不僅導致插入頭自身之閥門密封性惡化，而且亦可能導致插入頭與插入座之密封性惡化。

又，亦包含如下問題，插入頭於每次要求輸送流體時才插入插入座，因此與插入座扣合之插入頭之一部分較容易磨損。

本發明係鑒於上述情形而完成者，尤其是其目的在於提供一種即使於流體之流量比較大時亦可牢固地支撐於插入座內之流體輸送用結合裝置之插入頭。

為達成上述目的，根據第1態樣可提供一種流體輸送用之結合裝置之插入頭，其係藉由使插入座與插入頭彼此連結，而使上述插入座及上述插入頭各自之流路彼此連通者，其中該插入頭之外周部之至少一部分由金屬形成。

根據第2態樣可提供一種流體輸送用之結合裝置之插入頭，其係藉由使插入座與插入頭彼此連結，而使上述插入座及上述插入頭各自之流路彼此連通者，其中上述插入頭至少包含：內部分隔件，其形成有流體所通過之內部通路；插入頭軸環，其覆蓋該內部分隔件之外周面；以及凸緣，其設置於上述插入頭之基端且使上述插入頭與管路連結；且上述插入頭軸環與上述凸緣由金屬形成。

即，於第1及第2態樣中，因插入頭之外周部由金屬補強，故插入頭整體之剛性提高，其結果，即使於流體之流量比較大時，亦可牢固地支撐插入頭，並且可防止插入頭破損。再者，於第2態樣中，較好的是內部分隔件係具有耐藥品性之樹脂製。

根據第3態樣，於第2態樣中，在上述內部分隔件之基端設置有於圓周方向延伸之環狀突起部，且該環狀突起部由上述插入頭軸環之基端與上述凸緣之環狀階差部所挾持。

即，於第3態樣中，內部分隔件由插入頭軸環之基端與凸緣之環狀階差部挾持，故可牢固地保持內部分隔件。又，根據第3態樣，無須設為兩個構成部分，而可將凸緣作為單一構件進行製造，其結果，亦可削減插入頭之製造費用。

根據第4態樣，於第2或第3態樣中，進而包含插入頭前端部，其具有與上述內部分隔件之上述內部通路連通之內部通路，且於該插入頭前端部與上述內部分隔件之間形成有密封部。

即，於第4態樣中，可防止流過插入頭內之流體自插入頭前端部與內部分隔件之間洩漏。

根據第5態樣，於第2至第4態樣中任一態樣中，當將上述插入頭連結於上述插入座時，於上述插入頭之上述凸緣與上述插入座之間形成有適合插入操作者手指之間隔。

即，於第5態樣中，操作者易於把持插入頭，故可易於進行插入頭之連接/解除。

根據第6態樣，於第2至第5態樣中任一態樣中，上述內部分隔件包含位於上述插入頭前端側之第一部分及配置於該第一部分與上述凸緣之間之第二部分，且可自處於組裝狀態之上述插入頭中，僅將上述第二部分及上述凸緣分離。

即，於第6態樣中，可更換為尺寸不同之凸緣，而無須對插入頭整體進行分解。

根據第7態樣，於第6態樣中，於上述第一部分與上述第二部分之間形成有密封部。

即，於第7態樣中，可提高密封性能。

以下，參照隨附圖式說明本發明之實施形態。以下之圖式中，對相同構件附上相同參照符號。為便於理解，對該等圖式之比例進行適當變更。

圖1係本發明之流體輸送用結合裝置之插入座的長度方向剖面圖，圖2係本發明之流體輸送用結合裝置之插入座的端視圖。插入座10之外殻主要包含彼此組裝為一體之外殻構成部12、13、14、以及15。如圖所示，於外殻構成部12之一端上固定有前蓋11，又，於另一外殻構成部15之一端上固定有裏蓋16。本發明中由前蓋11、外殻構成部12~15、以及裏蓋16而構成插入座10之外殻。較好的是該等外殻之構成零件係由具有耐化學性之樹脂材料、例如氟系樹脂所形成。

又，如圖1所示，將側邊凸緣17配置於外殻構成部12與外殻構成部13之間。側邊凸緣17發揮將插入座10固定於安裝板18上之作用。再者，將下述之插入頭70插入由外殻構成部12及前蓋11等所形成之插入口19中。

於各外殻構成部12~15端面之外周面附近及側邊凸緣17端面之內周面附近，沿圓周方向等間隔地形成有複數個孔。組裝插入座10之外殻時，使外殻構成部14、15之定心部分對準，並且將連接棒分別插入外殻構成部14、15之複數個孔中。其次，將螺栓34插入側邊凸緣17及外殻構成部13之孔中並旋接於連接棒33之一端。繼而，將螺栓31插入裏蓋16及外殻構成部15之孔中並旋接於連接棒33之另一端。最後，將螺栓32插入外殻構成部12之孔中並旋接於側邊凸緣17。藉此，組裝插入座10之外殻。

較好的是連接棒由金屬形成。又，因插入座10整體之剛性提高，故即使於操作者使用插入座10時對側邊凸緣17施加比較大之負荷，側邊凸緣17亦不會旋轉，又，亦可防止插入座之外殻產生密封性降低或晃動。

如圖1所示，將波紋管固持器21配置為可沿外殻構成部14及外殻構成部15之內周面滑動。於波紋管固持器21之內側配置有波紋管23。波紋管23之一端與基端結合器22成為一體，該基端結合器22扣合於裏蓋16。如圖所示，基端結合器22之寬闊部分22a嵌入形成於裏蓋16內周面之凹部。因寬闊部分22a亦抵接於外殻構成部15之段部24，故基端結合器22將於固定狀態下配置於插入座10內。

於波紋管固持器21之前端側外周面一體性設置有形成為凸緣狀之活塞26。如圖所示，於外殻構成部15之前端15b與外殻構成部14之段部14a之間形成有滑動室27，與波紋管固持器21一體化之活塞26於該滑動室27內滑動。該等段部14a及前端15b發揮作為活塞26之擋板之作用，自段部14a與前端15b之間之距離減去活塞26之厚度後的長度相當於活塞26的衝程。

波紋管23之另一端連結於淋灑器25。將由氟系樹脂或氯乙烯等形成之淋灑器25固定於波紋管固持器21上。當活塞26滑動時，淋灑器25沿外殻構成部14及外殻構成部13之內周面滑動。再者，當活塞26滑動時，波紋管固持器21沿外殻構成部15之內周面滑動。進而，於該段部24附近形成排水口42，該排水口42將滯留於波紋管固持器21之滑動室21’內之流體排出。

進而，吸氣排氣口28a、29a分別自滑動室27之兩端部延伸至外殻構成部14之外周面，且分別與吸氣排氣噴嘴28、29連接。自圖1可瞭解到，活塞26於滑動室27內係配置於吸氣排氣口28a、29a之間。由此，於圖1所示之狀態下，當將空壓自供氣排氣口28供給至滑動室27內時，活塞26因空氣之擠壓而滑動至段部14a。此時，將滑動室27內之空氣自供氣排氣口29排出。而且，若變更供氣排氣口28、29之空壓出入關係，則活塞26及波紋管固持器21將分別向插入座10之基端移動並到達前端15b及段部24。

於淋灑器25之中央附近形成有向內側突出之第一閥座41。而且，第一閥體39藉由配置於第一閥體39與波紋管23之間的彈簧38而向第一閥座41施壓，且通常將第一閥座41之開口部封閉。又，如圖所示，於第一閥體39上形成有連通孔40。而且，當以抵抗彈簧38之施壓動作之方式擠壓第一閥體39時，連通孔40及第一閥座41之開口部將打開。

於淋灑器25之前端側內側形成有剖面圓形清洗室25a。於清洗室25a之內面形成有向其切線方向開口之噴射口46。該噴射口46與固定於淋灑器25外周部之淋灑噴嘴43連通。進而，於清洗室25a之內周面配置有密封部47例如O型環，且清洗室25a自密封部47向前端側錐狀擴展。進而，於外殻構成部13上形成有自內周面延伸至外周面為止之排出孔50，自噴射口46噴射出之清洗液將自排出孔50排出。

如圖1所示，於波紋管固持器21之外周部形成有兩個位於彼此對向位置上之指示器55。圖示之實施形態中指示器55為缺口部。然而，只要不妨礙波紋管固持器21之滑動動作，亦可使用與缺口部不同之其他指示器55。

如圖2所示，於插入座10外殻之彼此對向之位置上安裝有對波紋管固持器21之位置進行檢測之位置感測器51、52。嚴格來說，將該等位置感測器51、52設置於外殻構成部15上，且位置感測器51、52之前端延伸至波紋管固持器21之滑動室21’之內周面為止，或延伸至該內周面之直前為止。因此，即使於波紋管固持器21滑動時，波紋管固持器21之圓周面亦不接觸於位置感測器51、52之前端。

本實施形態中，位置感測器51、52係對設置於波紋管固持器21上之指示器55進行檢測之光感測器。如上所述使波紋管固持器21與活塞26一體化，故可藉由通過指示器55對波紋管固持器21之位置進行檢測，而檢測活塞26之位置。

於未圖示之先前技術中，於活塞26滑動之滑動室27內配置有活塞26用位置感測器。然而，於滑動室27內配置有位置感測器之情形時，當藉由供氣排氣口28、29而對滑動室27進行加壓時，存在位置感測器脫落之危險性。又，即使於位置感測器不脫落之情形時亦有如下可能，即滑動室27內之空氣自該等位置感測器之安裝口洩漏，從而難以精密地調整滑動室27內之壓力。又，亦擔心因直接受到滑動室27內之加壓之影響等，而使位置感測器之靈敏度降低。

對此，本發明中，將位置感測器51、52之前端配置於不會受到滑動室27內之壓力之影響的部位，即波紋管固持器21用滑動室21'內。進而，於波紋管固持器21用滑動室21’形成有排水口42，故活塞滑動時波紋管固持器21用滑動室之壓力不會變化。因此，本發明中，即使於活塞26滑動時，滑動室27之壓力亦不會施加至位置感測器51、52。因此，併不會產生位置感測器之脫落及位置感測器之靈敏度降低。進而，本發明中，亦不會因活塞26之滑動而導致空氣自位置感測器51、52之安裝部位洩漏，從而可精密地控制滑動室27內之壓力。再者，如圖2所示，自內部通路20觀察時，位置感測器51、52設置於支撐板35之相反側。使用下述插入座10時，該等位置感測器51、52將位於插入座10之上方側。因此，亦將設置於波紋管固持器21外周部之指示器55設置於插入座10之上方側。於如此之情形時將減少如下之可能性，即可向下方流動之滑動室21’內之潤滑油流入指示器55(缺口部)、以及因所流入之潤滑油而導致位置感測器51、52產生故障。

進而，自圖1及圖2可瞭解到，支撐板35藉由兩個螺栓37而固定於裏蓋16之基端。於支撐板35上形成有兩個橢圓形開口部36。如下所述，將另一螺栓39b插入開口部36，由此可將支撐機械軸39c固定於支撐板35上。因此，較好的是支撐板35由剛性較高之材料形成。

構成本發明插入座10之外殻之零件中的至少一部分係以定心形式組裝。圖3a係表示將外殻之基端放大之局部放大圖。於圖3a所示之裏蓋16之周圍部預先形成有環狀突起16a。另一方面，於抵接於裏蓋16之外殻構成部15上，形成有扣合於環狀突起16a之環狀槽15a。

而且，以該等環狀突起15a、16a彼此扣合之方式對外殻構成部15與裏蓋16進行組裝。藉此，可易於進行外殻之定心。於其他零件、例如外殻構成部13、14上亦形成有同樣之環狀突起或環狀槽。因易於對該等零件進行定心，故繼而可以螺栓31、32來旋接該等零件12~16，藉此提高密封性並同時實現縮短外殻之製造時間。

進而，設插入座10內之滑動部例如淋灑器25與活塞26之間亦以同樣之定心形式進行組裝。當然，亦可以定心形式對插入座10所固定之所有零件進行組裝。

再者，雖未進行詳細說明，但可明確的是：為保持氣密及水密而適當地將密封部、例如O型環設置於插入座10之外殻與滑動部即活塞26以及淋灑器25等之間以及插入口19之內側。

進而，如圖1所示，具有凸緣3之管路2連接於插入座10之基端。插入座10與管路2之連接係藉由螺栓83與螺帽89而進行。本發明中對螺栓83之頂部進行斂合。即，如圖3b之詳細圖所示，螺栓83於組裝前插入裏蓋16之孔16b後，其頭部83a於孔16b內擠壓變形。

於不採用如此構成之情形時，因螺栓之頭部位於凸緣3與裏蓋16之間，故凸緣3與裏蓋16僅隔開螺栓頭部之大小。相對於此，本發明中，螺栓83之頭部83a位於裏蓋16內，並且對其頭部83a進行斂合。其結果，本發明中可使凸緣3與裏蓋16之間之距離盡可能地接近，從而可使組裝有管路2之插入座10整體小型化。可明確的是，藉由如此構成，可使施加於插入座10之遠端之動量更小。

圖4係本發明之流體輸送用結合裝置之插入頭之長度方向剖面圖。本發明之插入頭70包含形成有內部通路78之樹脂製內部分隔件74、及覆蓋內部分隔件74外周部之金屬製插入頭軸環73。自圖4可瞭解到，內部分隔件74於距其基端74b特定距離之部位具有凸緣74a。又，插入頭軸環73亦於其基端具有基端凸緣73a。進而，插入頭70包含金屬製插入頭凸緣75。於位於插入頭凸緣75之中心之開口部，形成有與內部分隔件74之凸緣74a及基端74b之形狀對應的段部75a。

因此，當內部分隔件74插入插入頭軸環73時，內部分隔件74之凸緣74a將抵接並停止於插入頭軸環73之基端凸緣73a。此時，內部分隔件74之前端將超過插入頭軸環73之前端而部分性地突出。繼而，使插入頭凸緣75自基端側向插入頭軸環73嵌入，並藉由螺栓76而使插入頭軸環73與插入頭凸緣75結合。藉此，可使內部分隔件74之凸緣74a挾持並固定於插入頭軸環73之基端凸緣73a與插入頭凸緣75之段部75a之間。繼而，將插入頭前端部71插入內部分隔件74之前端，並藉由雙螺帽72a、72b而使該插入頭前端部71固定。

於未圖示之先前技術中，插入頭凸緣係藉由將兩個半月型構件加以組裝而形成，但於本發明中，因上述構成故可將插入頭凸緣75作為單一構件而形成。即，本發明中，無須將插入頭凸緣75分為兩個部分，其結果亦可削減插入頭70之製造費用。進而，本發明中，因上述構成而於插入頭凸緣75破損時等可易於更換插入頭凸緣75，又，亦可易於更換為規格(外徑)不同之其他插入頭凸緣75'，例如JIS(Japanese Industrial Standard，日本工業規格)、ANSI(American National Standards Institute，美國國家標準學會)、DIN(Deutsche Industrie Normen，德國工業標準)。

又，本發明中，藉由金屬製插入頭軸環73及插入頭凸緣75，尤其是藉由插入頭軸環73，而加固插入頭70之外周部。藉此，本發明之插入頭70與先前技術之全樹脂製插入頭(未圖示)相比剛性較高。因此，如下所述，即使於將插入頭70插入插入座10後大流量地輸送流體之情形時，亦可將插入頭70牢固地支撐於插入座10內，又，亦可防止插入頭70破損。

又，如圖4所示，插入頭前端部71之前端形成為向內側突出之第二閥座77。第二閥體59藉由配置於第二閥體59與內部分隔件74前端之間之彈簧58而向第二閥座77施壓，通常將第二閥座77之開口部封閉。又，如圖所示，於第二閥體59上形成有連通孔60。並且，若以抵抗彈簧58之施壓動作之方式擠壓第二閥體59，則連通孔60及第二閥座77之開口部將打開。

再者，具有凸緣4之管路1連接於插入頭70之基端。插入頭70與管路1之連接係藉由螺栓84與螺帽88而進行。將螺栓84之頭部配置於插入頭凸緣75之孔75b內，且以與參照圖3b所進行之說明相同之方式對該螺栓84之頭部進行斂合。其結果，於本發明中，可避免螺栓84之頭部自插入頭凸緣75之表面突出至插入頭70之前端側，由此操作者易於把持插入頭70。

圖5係表示將插入頭之一部分放大之局部放大圖。如圖5所示，於內部分隔74之外周面形成有環狀凹部85，且將密封部86例如O型環配置於環狀凹部85內。如圖所示，密封部86可防止流體自插入頭前端部71與內部分隔件74之間洩漏。

進而，於插入頭前端部71之基端71a，在圓周方向上形成有向軸線方向突出之環狀突起81。而且，亦可於與環狀突起81對應之內部分隔件74之部分，形成有收容環狀突起81之環狀凹部82。於如此情形時，如圖所示，該等環狀突起81及環狀凹部82較密封部86而形成於半徑方向之更外側。因此，即使於流體超過密封部86而洩漏之情形時，亦可藉由環狀突起81及環狀凹部82而防止流體洩漏至外部。

以下，說明本發明之流體輸送用結合裝置之動作。圖6及圖7係流體輸送用結合裝置之長度方向剖面圖，且分別表示插入頭與插入座連結之狀態及流體可流通之狀態。

首先，將插入座10之側邊凸緣17安裝於安裝板18上，併藉由螺栓/螺帽18a而固定。繼而，藉由螺栓/螺帽39b而將設置於裏蓋16上之支撐板35固定於支撐機械軸39c之一端。支撐機械軸39c為略L字狀構件，且藉由螺栓/螺帽39a而將支撐機械軸39c之另一端固定於安裝板18上。再者，可設為將支撐機械軸39c之另一端固定於未圖示之其他外部構件的構成，且支撐機械軸39c亦可為其他形狀。

繼而，將連接有管路1之插入頭70插入插入座10之插入口19。藉此，如圖所示，插入頭70之雙螺帽72a前端將抵接於外殻構成部13之端面，且插入頭70之插入頭前端部71將向外殻構成部13及淋灑器25內突出。

如圖所示，當插入頭70插入插入座10時，將於插入座10之前蓋11與插入頭70之插入頭凸緣75之間形成有特定間隙。該間隙充分大以便於插入人之手指。因此，本發明中操作者將易於把持插入頭，故可易於進行插入頭70之插入動作及解除動作。

繼而，當將空氣自供氣排氣口28供給至滑動室27內時，活塞26以及與該活塞26一體化之波紋管固持器21及淋灑器25將向前端側滑動。而且，插入頭前端部71之外周面抵接於密封部47之後，第一閥體39及第二閥體59彼此將以抵抗彈簧38、58之方式進行互相擠壓。藉此，第一閥座41與第二閥座77彼此抵接從而使連通孔40及連通孔60之兩者打開。其結果，通過管路1供給之流體，將通過基端結合器22之內部通路20而輸送至管路2。

如上所述，本發明中，將側邊凸緣17固定於安裝板18上，併且用支撐板35及支撐機械軸39c來支撐插入座10。因此，以如此方式輸送流體時，即使於流體之流量特別大之情形時，亦可將插入座10穩定地支撐於安裝板18上。因此，可藉由施加於側邊凸緣17與安裝板18之間之負荷，而使該等長期保持密封性。

當僅輸送所期望量之流體時，藉由將空氣自供氣排氣口29供給至滑動室27，而使活塞26、波紋管固持器21及淋灑器25向插入座10之基端滑動並返回至初始位置。其結果，第一閥體39及第二閥體59將彼此隔開，並將藉由彈簧38、58之施壓作用而到達並固定於第一閥座41及第二閥座77。藉此，將連通孔40及連通孔60封閉，結束流體之輸送。

亦可於活塞26等位於初始位置時，對淋灑器25之清洗室25a進行清洗。當自淋灑噴嘴43噴射出清洗水時，因噴射口46朝向淋灑器25內側面之切線方向，故清洗水將一面沿該淋灑器25之內側面螺旋狀旋轉，一面朝向前端部且沿插入頭70之外周面前進至錐形面。藉此，插入頭70之外周面將藉由水勢較強之清洗水而徹底地清洗。其後，清洗水將沿錐形面而引導至前端側，併自排出孔50排出。

再者，自圖1可知，即使於活塞26位於後退位置時，清洗室25a亦位於自滑動室27之長度方向位置稍微離開之部位。而且，當活塞26滑動至最遠方時(參照圖7)，清洗室25a將自滑動室27進一步隔開。因此，本發明中，於滑動室27內所使用之潤滑劑、例如潤滑油不會流入清洗室25a。

再者，於上述實施形態中，揭示有支撐板35與支撐機械軸39c為單獨構件，但亦可設支撐板35與支撐機械軸39c為一體構件之情形包含於本發明之範圍。

圖8係配置本發明之結合裝置之流程圖。於圖8中，自插入座10延伸之管路2將經由供應閥2a而連接於藥液源。另一方面，自插入頭70延伸之管路1將經由閥門而連接於輸送槽99。因此，使用插入頭70連接於插入座10之結合裝置時，藥液將通過插入座10及插入頭70而供給至輸送槽99。再者，如圖所示，供氣排氣口28、29將經由速度控制器、氣缸操作用閥及壓力調節器而連接於空氣源。

具有壓力感測器90a之配管90連接於淋灑噴嘴43。如圖所示，配管90將分支為氮氣用支管91及純水用支管92，且於支管91、92上分別設置有止回閥95及停止閥93、以及止回閥96及停止閥94。又，自排出孔50延伸之配管90'上設置有排泄閥97與疏水器98，且配管90'連接於清洗水之排水口。

當對插入座10之淋灑器25進行清洗時，將停止閥94打開，使純水通過支管92及配管90而自淋灑噴嘴43供給至淋灑器25之清洗室25a。於本發明中，因於支管91、92之兩者上分別設置有止回閥95、96，故清洗時流過支管92之純水倂不會超過止回閥95而流入支管91之上游。

當純水將清洗室25a及插入頭70之外周面等清洗之後，使純水自排出孔50通過配管90'而供給至疏水器98。存在以下情形，因輸送了特定藥液，故使用插入座10後該藥液將作為殘渣而固著於清洗室25a之內壁或插入頭70之外周面等。於本發明中，將如此殘渣用純水沖走，且將含有殘渣之廢液藉由疏水器98而截留。

當清洗動作結束後，將支管92之停止閥94封閉，繼而，將支管91之停止閥93打開。其後，將氮氣氣體通過支管91及配管90而自淋灑噴嘴43供給至清洗室25a。即使此時，亦可藉由支管92之止回閥96而不使氮氣氣體超過止回閥96流入支管92之上游。清洗室25a內所殘留之清洗用純水，將藉由供給氮氣氣體而通過排出孔50沖走併由疏水器98截留、或於清洗室25a內蒸發。其後，若將停止閥93封閉，則插入座10再次成為可使用狀態。再者，可明確的是：同樣可將來自輸送槽99之藥液供給至插入座10及插入座10側之構件。

圖9a係本發明之其他實施形態之插入頭之長度方向剖面圖，圖9b係圖9a所示之插入頭之端視圖。該等圖式所示之插入頭70a之內部分隔件74，包含插入頭70a前端側之第一內部分隔件部分741、以及插入頭70a基端側之第二內部分隔件部分742。如圖所示，將第二內部分隔件部分742配置於第一內部分隔件部分741與插入頭凸緣75之間。將第一內部分隔件部分741及第二內部分隔件部分742配置為於長度方向上彼此抵接，以此一併形成內部通路78。

如圖9a所示，於第一內部分隔件部分741之基端與第二內部分隔件部分742之前端之間，配置有密封部101例如O型環。嚴格而言，密封部101係配置於形成於第二內部分隔件部分742前端面上之環狀凹部內。又，於與內部分隔件部分741前端面扣合之插入頭前端部71之端面上配置有密封部102例如O型環。

於圖9a及圖9b所示之其他實施形態中，將與插入頭前端部71內周面之螺紋旋接之保持部103配置於插入頭前端部71內部之階差上。如圖所示，該保持部103發揮保持彈簧58之一端之作用。因此，於圖9a中，彈簧58保持於第二閥體59與保持部103之間。換言之，於圖9a及圖9b所示之其他實施形態中，內部分隔件74之前端並不保持彈簧58(參照圖4)。

於組裝其他實施形態之插入頭70a時，藉由保持部103而將第二閥體59及彈簧58保持於插入頭前端部71內。其次，自插入頭軸環73之前端側插入第一內部分隔件部分741。繼而，將插入頭前端部71組裝於第一內部分隔件部分741之前端上，並由雙螺帽72a、72b固定。其後，將第二內部分隔件部分742自基端凸緣73a側插入插入頭軸環73，並將插入頭凸緣75組裝於第二內部分隔件部分742上。最終，藉由螺栓76而使插入頭軸環73與插入頭凸緣75結合。

因組裝狀態下之插入頭70a係藉由雙螺帽72a及螺栓76而擰緊，故將第一及第二內部分隔件部分741、742彼此按壓至長度方向上，因此，可提高第一內部分隔件部分741與第二內部分隔件部分742之間之密封部101的密封性能。

根據相同理由可瞭解到，插入頭前端部71與第一內部分隔件部分741之間之密封部102的密封性能，高於圖4所示之插入頭前端部71與內部分隔件74之間之密封部的密封性能。

進而，於圖9a所示之實施形態中，當自插入頭70a上取下螺栓76時，僅使插入頭凸緣75及第二內部分隔件部分742自插入頭70a分離。即使於如此之狀態下，插入頭70a上之其他構件亦將保持彼此組裝之狀態而不分離。相反，於圖4所示之實施形態中，當取下螺栓76並使內部分隔件74自插入頭70分離時，彈簧58及第二閥體59亦將自插入頭70分離。

圖10a係與圖9a之情形不同之凸緣上所安裝之插入頭的長度方向剖面圖，圖10b係圖10a所示之插入頭之端視圖。除插入頭凸緣75及凸緣4之尺寸以外，圖10a所示之插入頭70a與圖9之情形相同。即，圖10a及圖10b所示之插入頭凸緣75a及凸緣4'的直徑，大於圖9a及圖9b所示之插入頭凸緣75及凸緣4的直徑。

可自插入頭70a取下圖9a所示之插入頭凸緣75及第二內部分隔件部分742，繼而，將如圖10a所示之大直徑插入頭凸緣75a與第二內部分隔件部分742一併組裝於插入頭70a上。即，於本實施形態中，可將尺寸不同之插入頭凸緣75a安裝於插入頭70a上，而無須對插入頭70a整體進行分解。可瞭解到，如此之構成，有利於將插入頭70a應用於安裝有尺寸不同之凸緣4'之其他管路1的情形。

再者，自圖9a可瞭解到，即使於取下插入頭凸緣75及第二內部分隔件部分742之情形時，彈簧58亦不會自插入頭70a分離。因此，於圖9a所示之其他實施形態中，亦可藉由第一內部分隔件部分741之前端而保持彈簧58，且如上所述之情形亦包含於本發明之範圍內。

1、2．．．管路

3、4、4'、74a、75、75'．．．凸緣

5．．．流體輸送用之結合裝置

10．．．插入座

11．．．前蓋

12、13、14、15．．．外殻構成部

15a．．．環狀槽

15b．．．前端

16．．．裏蓋

16a．．．環狀突起

16b、75b．．．孔

17．．．側邊凸緣

18．．．安裝板

18a、39a．．．螺栓/螺帽

19．．．插入口

20、78．．．內部通路

21．．．波紋管固持器

21'、27．．．滑動室

22．．．基端結合器

22a．．．寬闊部分

23．．．波紋管

14a、24、75a．．．段部

25．．．淋灑器

25a．．．清洗室

26．．．活塞

28、28a、29、29a．．．吸氣排氣口

31、32、34、37、39b、76、83、84．．．螺栓

33．．．連接棒

35．．．支撐板

36．．．開口部

38、58．．．彈簧

39．．．第一閥體

39c．．．機械軸

40、60．．．連通孔

41．．．第一閥座

42．．．排水口

43．．．淋灑噴嘴

46．．．噴射口

47、86、101、102．．．密封部

50．．．排出孔

51、52．．．位置感測器

55．．．指示器

59．．．第二閥體

70、70a．．．插入頭

71．．．插入頭前端部

71a、74b．．．基端

72a、72b．．．雙螺帽

73．．．插入頭軸環

73a．．．基端凸緣

74．．．內部分隔件

741．．．第一內部分隔件部分

742．．．第二內部分隔件部分

77．．．第二閥座

81．．．收容環狀突起

82、85．．．環狀凹部

83a．．．頭部

88、89．．．螺帽

90、90'．．．配管

90a．．．壓力感測器

91．．．氮氣用支管

92．．．純水用支管

93、94．．．停止閥

95、96．．．止回閥

97．．．排泄閥

98．．．疏水器

99．．．輸送槽

103．．．保持部

圖1係本發明之流體輸送用結合裝置之插入座的長度方向剖面圖。

圖2係本發明之流體輸送用結合裝置之插入座之端視圖。

圖3a係表示將外殻之基端放大之局部放大圖。

圖3b係表示斂合構造之詳情之詳細圖。

圖4係本發明之流體輸送用結合裝置之插入頭之長度方向剖面圖。

圖5係表示將插入頭之一部分放大之局部放大圖。

圖6係表示插入頭與插入座連結之狀態下之流體輸送用結合裝置之長度方向剖面圖。

圖7係表示流體可流通之狀態下之流體輸送用結合裝置之長度方向剖面圖。

圖8係配置本發明之結合裝置之流程圖。

圖9a係本發明之其他實施形態之插入頭的長度方向剖面圖。

圖9b係圖9a所示之插入頭之端視圖。

圖10a係與圖9a之情形不同之凸緣上所安裝之插入頭的長度方向剖面圖。

圖10b係圖10a所示之插入頭之端視圖。

58．．．彈簧

59．．．第二閥體

60．．．連通孔

70．．．插入頭

71．．．插入頭前端部

72a、72b．．．雙螺帽

73．．．插入頭軸環

73a．．．基端凸緣

74．．．內部分隔件

74a、75、75'．．．凸緣

74b．．．基端

75b．．．孔

75a．．．段部

76、84．．．螺栓

77．．．第二閥座

78．．．內部通路

88．．．螺帽

Claims (6)

1. 一種流體輸送用之結合裝置之插入頭，其係藉由使插入座與插入頭彼此連結，而使上述插入座及上述插入頭各自之流路彼此連通者，其中上述插入頭至少包含：內部分隔件，其形成有流體所通過之內部通路；插入頭軸環，其覆蓋該內部分隔件之外周面；及凸緣，其設置於上述插入頭之基端且使上述插入頭連結於管路；且上述插入頭軸環與上述凸緣係由金屬形成；上述內部分隔件於距其基端特定距離之部位具有於圓周方向延伸之凸緣；上述插入頭軸環於其基端具有基端凸緣；上述插入頭於其基端具有插入頭凸緣，於位於上述插入頭凸緣之中心之開口部，形成有與上述內部分隔件之上述凸緣及上述內部分隔件之上述基端之形狀對應之環狀階差部；上述內部分隔件之上述凸緣係挾持並固定於上述插入頭軸環之上述基端凸緣與上述插入頭凸緣之上述環狀階差部之間。
2. 如請求項1之流體輸送用之結合裝置之插入頭，其中進而包含插入頭前端部，該插入頭前端部具有與上述內部分隔件之上述內部通路連通之內部通路，且於該插入頭前端部與上述內部分隔件之間形成有密封部。
3. 如請求項1之流體輸送用之結合裝置之插入頭，其中於使上述插入頭連結於上述插入座時，於上述插入頭之上述凸緣與上述插入座之間形成有適合於插入操作者之手指的間隔。
4. 如請求項2之流體輸送用之結合裝置之插入頭，其中於使上述插入頭連結於上述插入座時，於上述插入頭之上述凸緣與上述插入座之間形成有適合於插入操作者之手指的間隔。
5. 如請求項1~4任一項之流體輸送用之結合裝置之插入頭，其中上述內部分隔件包含位於上述插入頭前端側之第一部分及配置於該第一部分與上述凸緣之間之第二部分；且可自處於組裝狀態之上述插入頭上僅將上述第二部分及上述凸緣分離。
6. 如請求項5之流體輸送用之結合裝置之插入頭，其中於上述第一部分與上述第二部分之間形成有密封部。