TWI399534B - And a defect inspection device for performing defect inspection using image analysis - Google Patents

And a defect inspection device for performing defect inspection using image analysis Download PDF

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TWI399534B
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Description

利用影像解析來進行缺陷檢查之缺陷檢查裝置
本發明，係有關一種利用影像解析來進行缺陷檢查之缺陷檢查裝置。
習知，在半導體基板或液晶基板之顯微鏡檢查等，已知有對檢查對象之影像訊號進行資料解析，藉此進行缺陷檢測的裝置(參照專利文獻1)。
專利文獻1日本特開2003－302354號公報
然而，因檢查對象的不同，會有在相同區域重複產生複數個缺陷之情形。上述習知技術，雖然可以檢測出缺陷部位，但很難判斷複數個缺陷在相同區域是否重複。
此外，因檢查對象的不同，會出現缺陷呈些微色變化之情形。上述習知技術，難以感度佳地檢測出此種些微顏色的變化，因此缺陷檢測上仍有待改善之處。
本發明之目的在於，針對檢查對象之缺陷部位，判定是否產生複數個缺陷。
此外，本發明之另一目的在於，提供能檢測出呈些微顏色變化之缺陷的技術。
《1》本發明之第一缺陷檢查裝置，係具備：照明部、影像取得部、以及缺陷檢測部；照明部，係用以照明檢查對象；影像取得部，係用以取得檢查對象之彩色影像訊號；缺陷檢測部，係根據影像取得部所取得的彩色影像訊號，來檢測檢查對象之缺陷。
又，該缺陷檢測部具備：成分取出部、檢測部、以及判定部；成分取出部，係根據構成彩色影像訊號之複數種訊號成分，而獲得複數個分析影像；檢測部，係對各複數分析影像進行檢查對象之缺陷檢測，且對各分析影像檢測疑似缺陷；判定部，係於複數個分析影像間進行疑似缺陷的相同性之判定，藉此判定該檢查對象之缺陷部位是否有複數個缺陷。
《2》又較佳係，成分取出部從以下6種訊號成分所構成的群組中，選出至少2種訊號成分作為像素值，而獲得至少2種分析影像：(1)構成彩色影像訊號之3種訊號成分；(2)從該訊號成分所得之色相/彩度/明度之3種訊號成分。
《3》又較佳係，檢測部，針對各分析影像，求出疑似缺陷之重心位置、縱方向的長度、以及橫方向的長度；判定部，針對各分析影像之疑似缺陷進行評價，當該重心位置、縱方向的長度、以及橫方向的長度皆評價為相等時，則判定檢查對象的缺陷部位中存在有一個缺陷。另一方面，當該重心位置、縱方向的長度、以及橫方向的長度任何一個評價為不同時，則判定檢查對象的缺陷部位中存在有複數個缺陷。
《4》又較佳係，檢測部，根據事先設定之參考影像之分析影像和檢查對象之分析影像的差異，來檢測疑似缺陷。
《5》又較佳係，檢測部，對檢查對象之分析影像作整體灰階校正，以縮小參考影像之分析影像和檢查對象之分析影像的影像全體差異。
《6》又較佳係，檢測部，在複數個分析影像預設有閾值；以該閾值來判定參考影像之分析影像和檢查對象之分析影像的差異，藉此檢測疑似缺陷。
《7》本發明之第二缺陷檢查裝置，係具備：照明部、影像取得部、以及缺陷檢測部；照明部，係用以照明檢查對象；影像取得部，係用以取得檢查對象之彩色影像訊號；缺陷檢測部，係根據影像取得部所取得的彩色影像訊號，來檢測檢查對象的缺陷。
又，該缺陷檢測部具備：成分取出部、以及檢測部；成分取出部，根據彩色影像訊號之彩度，來獲得具有與彩度對應之像素值的彩度影像；檢測部，根據彩度影像來進行檢查對象之缺陷檢測，俾檢測疑似缺陷。
《8》又較佳係，在上述《1》~《7》中任何一項之缺陷檢查裝置，具備：顯微鏡光學系統、以及攝影部；顯微鏡光學系統，用以形成該檢查對象之放大像；攝影部，用以拍攝該放大像以產生彩色影像訊號；上述影像取得部，係用以取得攝影部所產生之彩色影像訊號。
本發明之第1缺陷檢查裝置，針對各分析影像檢測疑似缺陷。在該等複數個分析影像間進行疑似缺陷比較，藉此判定檢查對象之缺陷部位是否產生複數個缺陷。
此外，本發明之第2缺陷檢查裝置，可從彩度影像檢測疑似缺陷。因此，可將呈些微色變化之缺陷當作彩度變化而檢測出。
圖1，係表示本發明之一實施形態的說明圖。
彩色攝影機1係以接頭連接於顯微鏡100。此顯微鏡100之光源L，透過分色鏡M和物鏡H(顯微鏡光學系統)照明檢查對象T。檢查對象T之反射光，透過物鏡H和分色鏡M而形成檢查對象T之放大像。
控制部17從資料庫處理部15取得檢查條件檔案16。根據此檢查條件檔案16內之程式，控制部17可實施對檢查對象T之搬送控制、及檢查對象T之攝影部位的位置控制。
彩色攝影機1按照控制部17之指示，拍攝檢查對象T之放大像而產生檢查影像3a。
圖14，係表示此顯微鏡100之外觀圖。在顯微鏡100的框體101，設置可用馬達控制位置之載台部102。在此載台部102上設有檢查試料(對象)T設置用的保持具部103。在檢查試料T上方，設有裝配在可回轉驅動之旋轉器部104的物鏡H。光源L之照明光，通過物鏡H而照射於檢查試料T。從檢查試料T返回的光射入物鏡H之後，被導引到目鏡105及彩色攝影機1。在此光路上設置焦點控制部106。此焦點控制部106針對光學系統(或檢查對象T)進行光軸方向上的位置控制，藉此來實施焦點控制。此外，就顯微鏡系統而言，除了此顯微鏡100之外，亦設置檢查試料T之搬送裝置，及控制用及影像處理用的電腦等。
圖2，係表示此檢查影像3a之訊號處理步驟圖。
以下參照圖1及圖2，說明訊號處理之整體流程。
步驟S1：彩色攝影機1輸出由RGB構成之彩色影像訊號。影像記憶體2a，儲存從彩色攝影機1所輸出的檢查影像3a(例如，檢查對象為矽晶圓之彩色影像訊號)。
步驟S2：於影像記憶體2b，輸入作為基準之參考影像3b。
例如，以參考影像3b而言，較佳係將和檢查對象同種對象物(良品較佳)予以事先攝影而產生；又例如檢查對象若為如矽晶圓般具有週期性圖案時，亦可拍攝檢查影像3a之鄰接圖案，作為參考影像的3b。關於此種參考影像之取得步驟，亦可在檢查條件檔案16中予以程式化。
步驟S3：色校正處理部5，係檢測檢查影像3a和參考影像3b之影像整體之差異(色座標差、明度差)。色校正處理部5，在該色座標差及明度差兩者都是在容許範圍裡的情形，色校正處理部5係將動作移至步驟S5。另一方面，如果色座標差或明度差超出容許範圍，則將動作移至步驟S4。
步驟S4：在明度差超出容許範圍的情形，色校正處理部5將會進行光源L的明亮度之校正，再度進行對檢查對象T的攝影。
又，在色座標差超出容許範圍的情形，色校正處理部5會對檢查影像3a施以色校正(色座標轉換等)，以消除色座標差。
步驟S5：過濾處理部4處理檢查影像3a之訊號成分(RGB等)，以產生至少2種分析影像6a。
步驟S6：過濾處理部4，係和步驟S5同樣處理參考影像3b之訊號成分(RGB等)，以產生與分析影像6a對應之至少2種分析影像6b。
步驟S7：缺陷檢測處理部7，以在判別條件檔案8所設定的閾值條件，判定分析影像6a、6b之局部差異，以選別疑似缺陷。疑似缺陷影像6c係所選出之疑似缺陷影像。
步驟S8：缺陷選別處理部9，針對該等複數個疑似缺陷影像6c之疑似缺陷進行形狀圖案和重心位置的檢測。比較檢測出之疑似缺陷影像6c彼此之形狀圖案和重心位置，若皆為相等的情形則判定為相同缺陷，若任一為相異情形，則判定為其他缺陷。此外，缺陷選別處理部9，根據判別結果來產生缺陷檢測影像12a。
步驟S9：缺陷分類處理部11，係把缺陷檢測影像12a的種參照分類條件檔案10，藉此來決定呈現於缺陷檢測影像12a之缺陷的缺陷要因，然後將其當作缺陷分類結果資訊12b而輸出。此外，缺陷分類部11係把缺陷檢測影像12a送到缺陷轉換處理部13。
步驟S10：缺陷轉換處理部13，係將於各分析影像之種類所產生之缺陷檢測影像12a進行影像合成，而產生在一張影像中顯示複數種缺陷的缺陷檢測影像12c。此外，缺陷轉換處理部13，係根據缺陷之形狀圖案，而將顯示缺陷之輪廓資訊的線圖案附加於檢測影像12a。進而，缺陷轉換處理部13，亦可在各缺陷的位置上施以顯示缺陷要因之色、標記、及連結資訊等標示。
步驟S11：缺陷轉換處理部13，進而，將於各分析影像的種類所產生的缺陷分類結果資訊12b作資料整合，而產生檢查結果資訊14。檢查結果資訊14中，儲存例如缺陷位置(例如，以檢查對象T的座標或晶粒座標所界定的位置)、缺陷的大小(X－Y－Diameter)、檢測的色成分、缺陷要因等之資料表。
步驟S12：控制部17，將缺陷檢測影像12c顯示在外部之螢幕畫面上。在螢幕畫面上顯示出施以上述標示的缺陷影像。
以下，說明本實施形態的特徵之各部動作。
[分析影像的產生]
接著，說明上述分析影像的產生動作。
過濾處理部4，係根據檢查影像3a之訊號成分，首先，產生以下3種分析影像。
(1)R影像...係以檢查影像3a之R(紅)的訊號成分為像素值的分析影像。
(2)G影像...係以檢查影像3a之G(綠)的訊號成分為像素值的分析影像。
(3)B影像...係以檢查影像3a之B(藍)的訊號成分為像素值的分析影像。
接著，過濾處理部4，根據RGB的訊號成分，實施例如下式之計算，以取出H(色相)、S(彩度)、I(明度)之訊號成分。
根據該等訊號成分，進一步產生以下3種分析影像。
(4)H影像...係以檢查影像3a之H(色相)的訊號成分為像素值的分析影像。
(5)S影像...係以檢查影像3a之S(彩度)的訊號成分為像素值的分析影像。
(6)I影像...係以檢查影像3a之I(明度)的訊號成分為像素值的分析影像。
過濾處理部4，針對參考影像3b的訊號成分，亦產生上述6種分析影像。
[缺陷要因和分析影像的關係]
圖3，係表示在缺陷要因別應該選擇哪種分析影像。此圖3中之○記號係表示應選擇的分析影像。圖3中的－記號係表示沒有特別需要選擇的分析影像。
例如，在檢查對象上附著的廢料，在檢查影像3a上產生局部的明暗變化。因此，藉由判定在R影像、G影像、B影像，及I影像所產生之局部差異，可檢測出廢料缺陷。
又例如在檢查對象表面上具有損傷，亦會在檢查影像3a上產生局部之明暗變化。因此，藉由判斷在R影像、G影像、B影像、及I影像所產生之局部差異，可檢測出損傷缺陷。
此外，關於廢料和損傷，局部所產生的明暗變化之值和該部位之輪廓形狀不同。因此，根據局部明暗變化之值、和明暗變化部位的輪廓形狀，可進行廢料與損傷的判別。
又，例如檢查對象表面之膜厚不均，由於會使反射光的干涉狀態產生變化，而使波長變化。因此，容易在檢查影像3a之H影像(色相)和S影像(彩度)產生顯著的變化。又，反射光波長變化的影響，容易在R影像(長波長域)上顯著地產生。因此，藉由判定在R影像、H影像、及S影像中所產生局部之差異，可以進行膜厚不均缺陷的判別。
又，例如檢查對象的異物(表面的材質變化等)，會使反射光的分光特性產生變化。此分光特性的變化很顯著地產生在檢查影像3a的H影像(色相)和S影像(彩度)上。此外，此分光特性的變化亦容易顯著地產生在G影像(中間波長域)上。因此，藉由判定在G影像、H影像、及S影像上所產生局部之差異，可進行因材質變化所造成的缺陷之判別。
又，例如檢查對象的圖案崩壞，會使反射光的擴散特性產生混亂。此擴散特性的混亂，顯著地產生在檢查影像3a之H影像(色相)和S影像(彩度)上。此外，此擴散特性的混亂，也會產生在G影像(中間波長域)和B影像(短波長域)上。因此，藉由判別在H影像、S影像、G影像、及B影像中所產生局部之差異，可進行圖案崩壞缺陷的判別。
又例如檢查對象的對準偏移，會呈現反射光的彩度變化和明度變化。因此，藉由判別在S影像及I影像中所產生局部之差異，可進行對準偏移缺陷的判別。
如上述，依圖3所示之選擇指標，過濾處理部4可以產生對應於應檢測之缺陷要因的適當分析影像。
[色校正處理部5之動作特徵]
檢查影像3a和參考影像3b，會因彩色攝影機1之攝影條件和照明條件等的不同而產生差異。因此，這種差異，必須和因缺陷要因所引起的差異有所區別，以決定疑似缺陷。
在此，攝影條件及照明條件的不同，會呈現出檢查影像3a之全體的差異。另一方面，疑似缺陷會呈現出檢查影像3a之部分的差異。針對此點，色校正處理部5，求出檢查影像3a和參考影像3b之訊號成分差的絕對值，並將該絕對值加算至影像全體。
色校正處理部5，以使該加算值所示的色座標差成為最小的方式，對檢查影像3a施以色校正。
又，色校正處理部5，會在檢查影象3a上作階調校正以縮小此加算值所顯示之明度差。
此外，加算值所示的明度差，若大於缺陷判別條件檔案8所設定的閾值時，則判斷為攝影條件和照明條件有變更的必要。在此情形，色校正處理部5，求出檢查影像3a和參考影像3b之間的明度差。色校正處理部5，調整光源L之亮度、或彩色攝影機1之曝光時間，以消除該明度差。在此狀態下，彩色攝影機1重新攝影檢查對象T，而產生新的檢查影像3a。又，在進行光源L的明亮度調整時，較佳係將H成分和S成分從加算值之閾值判定排除。
此外，即使重複既定次數之攝影，加算值仍大於缺陷判別條件檔案8之閾值時，較佳係將該檢查對象T從檢查對象中排除。此外，關於被排除的檢查對象T，將其作為排除紀錄而保存於檢查結果資訊14。
[缺陷檢測處理部7之動作特徵]
在缺陷判別條件檔案8，按照過濾處理部4所產生之各分析影像6a、6b的種類，而儲存用以進行分析影像6a、6b的差異之缺陷判別的閾值。此缺陷判別條件檔案8，較佳係對各檢查對象進行實驗性的決定。
缺陷檢測處理部7，係將分析影像6a、6b用像素單位作比較，來檢測局部的差異。缺陷選別處理部9，根據缺陷判別條件檔案8之閾值來判定該局部的差異，以進行疑似缺陷的選別。
[缺陷選別處理部9之動作特徵]
缺陷選別處理部9，係對各疑似缺陷影像6c作影像解析，以求出疑似缺陷之圖案形狀及重心位置。例如，缺陷選別處理部9，針對訊號成分R、G、B、H、S、I之疑似缺陷影像6c，於表示疑似缺陷的像素值(若為二進位影像例如為1)連續之像素區域，求出縱方向的長度、橫方向的長度、及重心位置。
此外，缺陷選別處理部9，將此疑似缺陷之圖案形狀及重心位置在不同的分析影像(R、G、B、H、S、I等)間作比較。當不同的分析影像間之圖案形狀及重心位置全部都一致時，缺陷選別處理部9則判定檢查對象之缺陷部位僅存在一個缺陷要因。另一方面，在不同的分析影像間如果評價其圖案形狀及重心位置之任何一個有不同的情形，缺陷選別處理部9則判定檢查對象之缺陷部位存在有複數個缺陷要因。
藉由此種處理，缺陷選別處理部9，可識別存在有單一疑似缺陷的部位，或是存在有複數個疑似缺陷重複的部位。
又，在關於圖案形狀之差異及重心位置的差異視為何種程度一致，亦可藉由在缺陷判別條件檔案8所事先設定的誤差容許值來決定。
實施例1
關於本實施形態之實施例1使用圖4~圖13來作說明。
實施例1，係表示在檢查對象T為矽晶圓上設置光阻膜的情形，將膜厚不良、膜厚不均的區域當作缺陷畫素來檢測之例。模厚不良係指膜厚過厚或過薄。膜厚不均係指膜厚不均勻。
圖4，係表示以彩色攝影機1所拍攝的檢查影像(3a)及和參考影像(3b)作比較結果。從圖4可知，比較結果(疑似缺陷影像)並沒有發現缺陷。在此情形，係因在檢查影像的缺陷部分並沒有產生差異之故。
圖5[a]~[c]，係表示分離取出此檢查影像(3a)之訊號成分RGB，而產生R影像/G影像/B影像。圖5[a]~[c]所示的疑似缺陷影像，灰色~白色之區域，係表示產生差異的區域(疑似缺陷的範圍)。另一方面，疑似缺陷影像之黑色區域，係表示無產生差異之區域。圖6[a]~[c]，係表示該等R影像/G影像/B影像的訊號波形。
圖7的[a]~[c]，係將檢查影像之訊號成分RGB，代入上述式[1]~[3]，而產生H影像/I影像/S影像。在圖7[a]~[c]所示之疑似缺陷影像，灰色~白色之區域，係產生差異之區域(疑似缺陷的範圍)。另一方面，疑似缺陷影像之黑色區域，係表示無產生差異之區域。圖8[a]~[c]，係表示該等S影像/I影像/H影像之訊號波形。
檢查對象T之膜厚變化，會使反射光產生干涉狀態的變化，而使檢查影像產生色相(H)和彩度(S)的變化。此外，由於長波長域之反射特性亦產生變化，故在檢查影像中會產生紅色的變化。因此，如圖5~圖8所示，膜厚的缺陷可從H影像/S影像/R影像檢測出來。
特別重要之點，如圖8[c]所示，在檢查影像之H影像中，配線圖案(檢查影像的縱線)附近所產生局部的模厚不均明顯呈現之點。嚴格來說，關於檢查影像之S影像亦如圖8[a]所示，在配線圖案附近呈現出局部的膜厚不均。然而，關於S影像，由於隱藏於廣域產生的膜厚不均的彩度變化，因此無法單純區別此局部之膜厚不均。
本實施例，在R影像/S影像/H影像的疑似缺陷影像中，求出疑似缺陷之重心位置、縱方向的長度、及橫方向的長度。將該等疑似缺陷的特徵在R影像/S影像/H影像之間作比較。
結果，在R影像和S影像中，疑似缺陷之特徵完全一致。在此情形，關於共通之廣域疑似缺陷(膜厚不均)，判定為具有一個缺陷。
另一方面，關於H影像，和R影像及S影像比較結果，具有一個以上不同之疑似缺陷之特徵。因此，關於在H影像中局部產生之疑似缺陷(膜厚不均)，判別為有別於廣域膜厚不均的其他缺陷。
實施例2
關於本實施形態的實施例2使用圖9~圖13作說明。
實施例2，係以檢查對象T為矽晶圓，而在矽晶圓上配線圖案和配線圖案間設置氧化膜之情形為例。在此，係進行配線圖案之損傷、及膜厚不良之缺陷檢測。
圖9，係表示彩色攝影機1所拍攝的檢查影像(3a)和參考影像(3b)的比較結果。從圖9可知，在比較結果(疑似缺陷影像)中檢測出疑似缺陷。然而，在此情形，無法區別圖案的損傷和膜厚不良。
圖10[a]~[c]，係分離取出此檢查影像(3a)之訊號成分RGB，而產生R影像/G影像/B影像。在圖10[a]~[c]所示之疑似缺陷影像，灰色~白色的範圍，係產生差異之區域(疑似缺陷的範圍)。另一方面，疑似缺陷影像之黑色區域，係表示無產生差異之區域。在圖11[a]~[c]，係表示該等R影像/G影像/B影像之訊號波形。
圖12[a]~[c]，係將檢查影像之訊號成分RGB代入上述式[1]~[3]中，而產生H影像/I影像/S影像。在圖12[a]~[c]所示之疑似缺陷影像，白色~灰色之區域係表示產生差異之區域(疑似缺陷的範圍)。另一方面，疑似缺陷影像之黑色區域，係表示無產生差異之區域。圖13[a]~[c]，係表示該等H影像/S影像/I影像之訊號波形。
一般而言，損傷之缺陷，會使反射光之擴散狀況產生變化，在檢查影像中產生明暗變化。此外，檢查對象T之正規圖案雖也會在檢查影像中產生明暗變化，但藉由和參考影像作比較，可進行損傷的選別。因此，損傷之缺陷如圖9~圖13所示，可以從R影像/G影像/B影像/I影像中檢查出來。但，關於R影像，因為膜厚之缺陷重複，無法檢測出損傷之缺陷。此外，關於I影像亦會反映出R影像之變化，膜厚之缺陷和損傷之缺陷有一部分重複。因此，在關於和膜厚不良重複的損傷缺陷，可從G影像及B影像檢查出來。
本實施例，在被檢測出疑似缺陷之分析影像(R影像/G影像/B影像/H影像/S影像/I影像)中，求出疑似缺陷的重心位置、和縱方向的長度、及橫方向的長度。將該等疑似缺陷之特徵在分析影像間作比較。
結果，在G影像和B影像，疑似缺陷之特徵完全一致。在此情形，關於共通之疑似缺陷，判定為由於損傷所引起之缺陷。
此外，關於R影像、H影像、及S影像，疑似缺陷的特徵全部一致。在此情形，關於共通之疑似缺陷，判定為由於膜厚所產生的缺陷。
圖15，係表示圖案線寬之變化和分析影像(R影像/G影像/B影像/S影像)之對比變化的關係圖。由於檢查試料T之曝光量是以0.5mJ單位逐次變化，逐漸地改變檢查試料T的圖案線寬。在該等檢查試料T內，圖15橫軸中央所示的No.11，係表示以最佳曝光量所形成者。如圖15所示，若曝光量(圖案線寬)變化，在上述分析影像中，以S影像之對比為最敏感變化。因此，藉由檢測S影像之變化，可高感度地檢測出曝光量的缺陷和圖案線寬的缺陷。此外，對比之容許範圍(上限閾值、下限閾值等)如果事先設定，則可判別曝光量及圖案線寬之良否。
從上述的說明可知，若針對分解色空間資訊作分解來求出相異點，則稍微顏色的差異所導致之差異能以影像而明確顯示。此種情形未限於HSI之色空間。關於對HSV和HLS、CMY的色空間資訊作分解的情形亦同樣。此外，關於從各色空間資訊所檢測出之疑似缺陷，若求出連續之各疑似缺陷像素之像素群縱方向的像素數、橫方向的像素數及此區域的重心位置，且取邏輯和，則即使在相同部位有重複的缺陷，仍可進行分割或整合。
(附記事項)
藉由在各檢查點上重複以上之循環，可確實地檢測出在檢查對象T(例如，矽晶圓表面)所重複之複數個缺陷。亦即，可從一個彩色影像得到之複數個色空間資訊當作檢查資訊來使用，除了能將以人的肉眼可看得到之缺陷以檢查裝置檢測出之外，肉眼所難以分辨之缺陷檢測，亦可使用色空間資訊的差異當作檢查資訊來使用而檢查出來。
以上之例，雖以針對作為色空間資訊之RGB、HSI之色空間作分解為例作說明，如前述，亦可使用其他的色空間轉換、或使用將兩種以上的色成分以像素值單位作運算以更強調的過濾處理。
此外，本發明只要未脫離其精神或主要的特徵，能以其他各形態來實施。因此，前述的實施例在各點僅係例示，而非對其限定。本發明之範圍，係以申請專利範圍所示，在說明書中，並沒有作任何限制。進而，在屬於申請專利範圍之均等範圍的變形和變更，皆屬本發明的範圍。
如以上說明，本發明是在缺陷檢查裝置...等上可以利用到的技術。
1．．．彩色攝影機
2a、2b．．．影像記憶體
3a．．．檢查影像
3b．．．參考影像
4．．．過濾處理部
5．．．色校正處理部
6a、6b．．．分析影像
7．．．缺陷檢測處理部
8．．．缺陷判別條件檔案
9．．．缺陷選別處理部
10．．．分類條件檔案
11．．．缺陷分類處理部
12a．．．缺陷檢測影像
12b．．．缺陷分類結果資訊
13．．．缺陷轉換處理部
14．．．檢查結果資訊
15．．．資料庫處理部
16．．．檢查條件檔案
17．．．控制部
L．．．光源
M．．．分色鏡
H．．．物鏡
T．．．檢查對象(試料)
圖1，係表示本發明之實施形態的說明圖。
圖2，係說明實施形態之動作的流程圖。
圖3，係表示在檢查條件檔案16裡所收納缺陷別色空間選擇指針之一例圖。
圖4，係表示攝像影像的比較圖。
圖5[a]~[c]，係表示RGB影像的比較圖。
圖6[a]~[c]，係表示RGB影像的訊號波形圖。
圖7[a]~[c]，係表示HSI(色相．彩度．明度)影像的比較圖。
圖8[a]~[c]，係表示HSI(色相．彩度．明度)影像的訊號波形圖。
圖9，係表示攝像影像的比較圖。
圖10[a]~[c]，係表示RGB影像的比較圖。
圖11[a]~[c]，係表示RGB影像的訊號波形圖。
圖12[a]~[c]，係表示HSI(色相．彩度．明度)影像的比較圖。
圖13[a]~[c]，係表示HSI(色相．彩度．明度)影像的訊號波形圖。
圖14，係顯微鏡100的外觀圖。
圖15，係表示圖案線寬和彩度變化間的關係圖。
1．．．彩色攝影機
2a．．．影像記憶體
2b．．．影像記憶體
3a．．．檢查影像
3b．．．參考影像
4．．．過濾處理部
5．．．色校正處理部
6a．．．分析影像
6b．．．分析影像
6c．．．疑似缺陷影像
7．．．缺陷檢測處理部
8．．．缺陷判別條件檔案
9．．．缺陷選別處理部
10．．．分類條件檔案
11．．．缺陷分類處理部
12a．．．缺陷檢測影像
12b．．．缺陷分類結果資訊
12c．．．缺陷檢測影像
13．．．缺陷轉換處理部
14．．．檢查結果資訊
15．．．資料庫處理部
16．．．檢查條件檔案
17．．．控制部
100．．．顯微鏡
M．．．分色鏡
L．．．光源
H．．．物鏡
T．．．檢查對象

Claims (7)

  1. 一種缺陷檢查裝置，具備：用以照明檢查對象之照明部；及影像取得部，用以取得該檢查對象之彩色影像訊號；根據該影像取得部所取得之該彩色影像訊號，來檢測該檢查對象之缺陷；其特徵在於，具備：分析影像取得部，根據構成該彩色影像訊號之複數種訊號成分，獲得複數個分析影像；檢測部，對該複數個分析影像進行該檢查對象之缺陷檢測，且對各該分析影像檢測疑似缺陷；及判定部，於該複數個分析影像間進行該疑似缺陷的相同性判定，藉此判定該檢查對象是否有複數個缺陷。
  2. 如申請專利範圍第1項之缺陷檢查裝置，其中，該分析影像取得部，係從構成該彩色影像訊號之3種訊號成分、與從該訊號成分所得之色相/彩度/明度之3種訊號成分所構成之群組中，選擇至少2種該訊號成分作為像素值，而獲得至少2種該分析影像。
  3. 如申請專利範圍第1或2項之缺陷檢查裝置，其中，該檢測部，根據各該分析影像，求出該疑似缺陷之重心位置、縱方向的長度、以及橫方向的長度；該判定部，針對各該分析影像之該疑似缺陷進行評價，當該重心位置、該縱方向的長度、以及該橫方向的長度皆評價為相等時，則判定該檢查對象的缺陷部位中存在 有一個缺陷；當該重心位置、該縱方向的長度、以及該橫方向的長度任何一個評價為不同時，則判定該檢查對象的缺陷部位中存在有複數個缺陷。
  4. 如申請專利範圍第1項之缺陷檢查裝置，其中，該檢測部，根據事先設定之參考影像之該複數種訊號成分之分析影像和該檢查對象之分析影像的差異，來檢測該疑似缺陷。
  5. 如申請專利範圍第4項之缺陷檢查裝置，其中，該檢測部，對該檢查對象之分析影像作整體校正，以縮小該參考影像之該分析影像和該檢查對象之分析影像的影像全體差異。
  6. 如申請專利範圍第4或5項之缺陷檢查裝置，其中，該檢測部，在複數個該分析影像預設有閾值，以該閾值來判定該參考影像之分析影像和該檢查對象之分析影像的差異，藉此檢測該疑似缺陷。
  7. 如申請專利範圍第1項之缺陷檢查裝置，其具備：顯微鏡光學系統，用以形成該檢查對象之放大像；及攝影部，用以拍攝該放大像以產生彩色影像訊號；該影像取得部，係用以取得該攝影部所產生之該彩色影像訊號。
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