TWI363256B - - Google Patents

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1363256 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於-種搬運裝置，從供給側將膜帶狀的 件搬運至處理-部’並將在該處理部被處理的工件搬至 捲繞側。 • 【先前技術】 φ 一般而言，用於行動電話、移動機器等的各種的小型 電氣機器的電路板（印刷電路板）的電氣回路基材令，由於 機體為輕薄短小’在其製程令，由於難以用厚板狀的操作， 必須用薄的高精度的薄膜狀的膠片（以下稱為工件）操作。 在如此的工件中，實際上使用的素材，在習知技術中， 其厚度大約為〇.lmm左右，在此數年中，有成為〇 〇6随的 薄型化的傾向。而且在最近，希望使用厚度在0.05酿以下 且寬度為100〜250mm的既薄又寬的帶狀工件。 • 由如此的帶狀的工件來製造電路板時，工件在搬運途 中由於鬆弛而發生左右的邊緣產生彎曲的問題。用於解決 該問題的搬運機構為了確實地處理工件，而使工件保持在 水平狀態下搬運的水平式搬運式的搬運機構是已知的（例 如參照專利文獻1)。 該搬運機構為用於製造電路板而搬運帶狀的工件的裝 置。在組裝於曝光裝置的狀態下使用，將一段段間歇地搬 運的工件在曝光台上以光罩的電路圖案曝光。 向曝光台送出的工件在水平搬運的位置上由於本身重 2244-8607-PF;Chentf 5 < S ) 1363256 量而鬆弛，在為了防止該鬆他的搬運機構上，設有保持機 構，由推壓滾子央持工件而調整鬆他度(例如，參照專利文 獻1)。 然後，在搬運機構中，在改變搬運方向的位置上，不 必將負荷施加於工件上。在搬運機構中，為了在曝光台上 *不對工件施加多餘的張力地輸送而靜止，設有調整工件張 .力的充氣谷器（專利文獻1的箱體41、51)。 • 纟如此的曝光裝置中’如專利文獻1所揭示，以水平 搬運垂直曝光裝置方式水平地搬運工件並照射曝光光線。 而且，為了防止空中的塵埃等附著於工件及光罩上而提高 解析度，使曝光台設於錯直方向而使工件於垂直方向搬運 的搬運機構也疋已知的（例如，參照專利文獻2〜專利文獻 4)〇 在專利文獻2〜專利文獻4的搬運機構中，使用滾子 將搬運來的工件供給至曝光台上。 ^ • 而且，由於工件的搬運方向係適當地送至處理部，使 搬運方向轉換的方向轉換裝置也是已知的。該方向轉換裝 置係從穿設於固定軸的表面的薄板的氣體噴出孔吹出空氣 而藉由空氣壓使工件浮起而轉換工件的搬運方向的裝置 (例如參照專利文獻5)。 [專利文獻1]特許第2836787號公報 [專利文獻2]特開第2005-326550號公報 [專利文獻3]特開2005-919 03號公報 [專利文獻4]特許第2798158號公報 2244-8607-PF;Chentf 6 1363256 [專利文獻5]特許第2788207號公報 【發明内容】 [發明所欲解決的問題] 但是在習知的搬運機構中，存在著以下的問題。 在如專利文獻1的搬運機構中，從供給捲軸送出的工 件由於本身重量鬆弛而施加過剩的張力，藉由充氣容器得 以減少。 但是在如此的搬運機構中，工件在曝光台上呈水平狀 態，而且因為光罩與工件接觸，由於工件為既薄且寬的物 體’容易因為本身的重量而增加鬆弛度，因此會有無法解 除鬆弛的問題。 而且在如此的搬運機構中，由於光罩與工件密合且密 接，塵埃等由靜電而附著於光罩及工件上而轉寫的情況， 曝光後的圖案的解析度有降低的問題。

又，在專利文獻2〜專利文獻4的搬運機構中，在曝 光台的前後位置上’以夾持工件的^的推^衰子而保 持，雖然光罩、光學系以及工件平順地對準，但藉由夹持 工件的兩面，有對工件施加必要以上的負荷的問題。 又，在-段段地搬運並處理工件的曝光裝置中，必須 解除在搬運通路中所產生的卫件的鬆弛的問題n塵 埃等無法轉寫至X件的情況下1 了進行高解析度的光罩 圖案的曝光，帝望不施加負荷地而在穩定的狀態下搬運。 於此，有鑑於此’本發明係提供一種不對帶狀的工件 2244-8607-PF;Chentf 7 施加負荷而可在穩定的狀態下搬運的搬運機構。 [解決問題的手段] 做為解決問題的手段，第一翻 工件在設;^直方…， 的搬運裝置將帶狀的 。直方向上的處理部上搬運而處理，包括.供 旋轉部，使輸送工件的供給捲轴旋轉；供給侧第： =與供給側第二導引滾子，導引藉由該供 :::從供給捲轴送出的工件;供給侧鬆他吸收裝置： =供給側第-導引滾子與供給側第二導引滾子之間的工 ㈣予張力；第-搬運滾子及第：搬運滾子，g己置於處理 ㈣上方及下方’使來自供給側第二導引滾子的工件^處 理部搬運；捲繞側第-導引滾子及捲繞侧第二導引滚^， 導引來自該第：搬運滾子的工件；捲繞側鬆他吸收襄置， 對在該捲繞侧第—㈣滾子與捲繞側第：㈣滾子之間的 工件賦予張力；以及捲繞捲轴旋轉部，使捲繞來自該捲繞 侧第二導引滾子的工件的捲繞捲轴旋轉，#中供給捲軸旋 轉部係配置於比供給侧第一導引滾子高的位置，供給侧第 二導引滾子係配置於與第一導引滚子相同或較低的位置， 同時供給側第二導引滾子配置於比第一搬運滾子高的位 置’捲繞捲軸旋轉部係配置於比捲繞侧第二導引滾子高的 位置，捲繞側第二導引滾子係配置於捲繞侧第一導引滾子 相同或較高的位置，同時捲繞侧第二導引滾子係配置於比 捲繞捲轴旋轉部低的位置。 根據如此的構造，搬運裝置中，捲繞於供給捲軸的帶 狀的工件藉由捲繞捲軸旋轉部以及供給側第一導引滾子而 224 4-8 607-PF；che'ntf 8 1363256 輸送至供給側鬆弛吸收裝置側’而且，藉由供給側第二導 引滾子、第一搬運滾子、第二搬運滾子以及捲繞側第一導 引滾子向處理部送出。又，搬運裝置將位於捲繞側鬆他吸 收裝置的工件藉由捲繞側第二導引滾子及捲繞捲轴旋轉部 捲繞於捲繞捲轴上。第一搬運滾子及第二搬運滾子當對準 •於在處理°卩處理工件的既定的節距而間歇地搬運時，將工 •件"'里由吸附孔吸附於滾子表面而於叙直方向搬運》 而且，在搬運路徑中，使在供給側鬆弛吸收裝置及捲 »繞側㈣吸收裝置的邊界上連續進行的工件的搬運不彼此 連動地輸送。 又，藉由從供給捲轴旋轉部至第一搬運滚子的位置關 係，由於工件於向下傾斜的方向搬運，由工件本身的重量 所造成的鬆弛得以解除。而且，藉由從第二搬運滾子到捲 繞捲軸旋轉㈣位置㈣，由於工件係、於向上傾斜的方向 搬運，由工件本身的重量所造成的鬆他得以解除。

第二觀點的搬運裝置中，對應於處理部上的工件的位 置偏移量’供給側第二導引滾子以及捲繞側第一導引滾子 具備使工件往供給侧第二導弓丨滾子以及捲繞側第—導引滾 子的轴方向移動的工件位置調整裝置。 根據上述構造，搬運裝置藉由工件位置調整裝置，使 供給側第二導引滾子以及捲繞側第一導引滾子於軸方向上 移動’調整處理部上的工件的軸方向的位置及傾斜度，可 進行工件的高精度的定位。 一搬運滾子及第二 〉 第二觀點的搬運裝置的發明中，第 2244-8607-PF;Chentf 9 (S ) 1363256 搬運滚子中，其滾子本體係以合成樹脂成形。 根據上述構造，搬運裝置令，第一搬運滾子及第二搬 運滾子的滾子本體係以合成樹脂成形搬運的工件的微細 的振動係由樹脂製的滾子本體吸收。 、

一第四觀點的搬運裝置的發明中，在供給捲轴與供給侧 第-導引滾子之間’設有由處理部設置或任意移除的工件 連接裝f，該工件連接裝置將處理中的工件的最後尾端與 下一個新的工件的最前端部連接。 根據上述構造，搬運裝置藉由具備工件連接裝置，在 處理部處理t的帶狀的卫件的最後尾與下—次使用的新的 帶狀的工件的最前端以搬運路徑形狀連接。 第五觀點的搬運裝置的發明中，處理部為曝光台，將 光罩的圖案曝光於由搬運裝置所搬運的一段段的工件上。 根據上述構造，搬運裝置中’處理部是曝光台的情況 下，可將帶狀的工件配合曝光裝置的處理而使一段段工件 在穩定狀態下搬運，而將光罩的圖案曝光在工件上。 a第六觀點的搬運裝置的發明是在第五觀點中，當處理 部上的上述工件的位置偏移量在門檻值以下時，藉由移動 光罩使靜止於曝光台上的一段工件與工件的4立置偏移量 大約為零’當處理部上的工件的位置偏移量大於門檻值 時’使供給側第二導引滾子及捲繞側第—導引滚子於轴方 向上移動’而將靜止於曝光台上的_段工件的下一段移動 至曝光台上的既定位置上。 根據上述的構造，藉由供給側第二導引滾子及捲繞側 10 2244-8607-PF；Chentf 1363256 第一導引滾子於軸方向移動， 勢（傾斜）對準於曝光台上的既 台上的下一段工件與光罩的位 件的對位時間會縮短。 下個輪送的一段工件的姿 定位置。因此，輸送至曝光 置偏差量會變小，光罩與工 第七觀點的搬運裝置的發明是在第五觀點中 部上的工件的位置偏T i Μ 重在門檀值以下時，藉由移動另 罩，使靜止於曝光台上的一勁4 糾电恭, 1干畀工件的位置偏移量4 約為零，當處理部上的工件 π位置偏移篁大於門檻值時， 使供給側第二搬運滾子及捲繞側第-搬運滾子於轴方向上 移動，而將靜止於曝光台上的—段工件的下一段移動至上 述曝光台上的既定位置上。 根據上述構造，第-搬運滾子及第二搬運滚子設定成 在曝光台上靜止一段工件，因此’下一段輸送的工件係配 合曝光台的既定位置。因此，輸送至曝光台上的下一段工 件與光罩的位置㈣量變小，光罩與卫件的對料間縮短。

第八觀點的搬運裝置的發明中，第一搬運滾子與第二 搬運滾子具有使卫件吸附於滾子表面的吸附孔，同時連接 於經由吸附孔而吸附工件的吸附裝置。 根據上述之構造，搬運裝置由於工件在運送至處理部 之際係一邊吸附一邊搬運，工件不會在滾子表面滑動，可 正確地輸送一段段的輸送量。 第九觀點的搬運裝置的發明中，供給側第一導引滚 子、供給側第二導引滚子、捲繞側第一導引滾子以及捲繞 側第二導引滾子具有使工件吸附於滾子表面的吸附孔同 11 2244-8607-PF；Chentf 1363256 時連接於經由吸附孔而吸附工件的吸附裝置。 根據上述構造，搬運裝署由，山# 延哀置中，由於工件在供給側第一 導引滾子、供給側第二導引滚子、捲繞側第—導引滾子以 及捲繞侧第二㈣滾子上邊吸附邊搬運，工件不會在滚子 表面滑動，X件從供給捲抽平順地送出，同時卫件平順地 捲繞於捲繞捲轴上。 [發明之效果] 本發明之搬運裝置不夾持工件且不使工件鬆他，而從 供給捲軸搬運至處理部，從處理部搬運至捲繞捲軸，因此 不會有過剩的負荷施加於工件上’可在穩定的狀態下搬 運，而且，在處理部中可搬運至正確的位置上。 【實施方式】 接著，根據第i圖至第7圖說明本發明的實施形態的 搬運機構的一例。 首先，先說明本發明之實施形態的搬運機構A，然後 說明由搬運機構A所搬運的帶狀的工件τ(以下稱為「膠 片」）。 第1圖為本發明之實施形態的搬運機構的方塊圖。第 2圖為本發明之實施形態的搬運機構的概略立體圖。 〈膠片的構造〉 如第1圖及第2圖所示，膠片τ由電路板所使用的可 撓性基板以及將樹脂成形品做滾彎成形（h〇〇p)的捲材等的 薄膜狀膠片的素材所構成》該膠片τ由膠片寬16〇mm、膠 2244-8607-PF;Chentf 12 < S ) 1363256 片長20〇mm的既薄且寬的元件構成，捲繞於供給捲軸旋轉 部1上。在該膠片T的左右兩邊緣部側上，形成穿孔（未圖 示）或不形成穿孔。 而且，本發明之搬運機構A為搬運膠片τ的裝置，以 下以本發明的實施形態的_例，以作為搬運可撓性基板的 素材使用的膠片（薄膜狀膠片）τ的情況為例做說明。 <<搬運機構的構造〉〉 搬運機構Α為將膠片τ朝向設置於鉛直方向上的曝光 台51a(處理部51)’配合作為在曝光裝置5所處理的單位 的一塊塊的處理而一段段地做間歇地搬運。該搬運裝置A 包括安裝於膠片τ捲繞.的供給捲軸B1的令央的捲軸穴而使 供給捲軸B1旋轉的供給旋轉部！、導引被搬運的膠片τ的 供給側第一導引滾子2、以及供給侧第二導引滾子3。又， 搬運機構A包括配置於處理部51的土下位置而用於搬運膠 片τ的第-搬運滚子4以及第：搬運滾子6、捲繞側第— 導引滾子7以及捲繞側第：導引滾子8、以及使捲繞膠片τ 的捲繞軸B2旋轉的捲繞捲軸旋轉部9。搬運機構八更包括 吸收搬運中的膠片T的鬆弛度的供給侧鬆他吸收裝置以以 及捲繞侧鬆弛吸收裝置D2。 〈供給捲軸旋轉部的構造〉 供給捲軸旋轉部i為成為電路板的素材的膠片τ捲繞 的捲筒狀的供給捲轴B1樞接著而送出膠片τ的元件，以供 給捲轴Μ的轴筒部安裝的轴部為中心，可旋轉地配設於裝 置框體（未圖示）上’由未圖示的驅動馬達所驅動而旋轉。 2244-8607-PF；Ghentf 13 1363256 而且’供給捲抽B1由例如捲繞部分的直徑為750mm所 構成而在左右邊緣具有突緣部（未圖示）。捲繞在該供給捲 軸B1上的膠片T藉由第一搬運滾子4拉張，與供給捲軸旋 轉部1 一起旋轉而送出至供給側第一導引滾子2。 〈供給側第一導引滾子的構造〉 如第1圖及第2圖所示，供給側第一導引滚子2為使 捲繞在供給捲-B1上的膠片7向供給側鬆弛吸收裝置Μ 送出而捲掛的辅助滾子，以軸部為中心而可任意旋轉地配 設。該供給側第-導引滾子2配置於比供給滾子旋轉部】 還下方m滾子㈣部丨向下方傾斜而輸送來的膠片 τ配置成由於本身重量而從供給側第一導引滾子2略鉛直 地向下方垂下。 第3圖為本發明之實施形態的搬運機構中的供給側筹 一導引滾子2的放大剖視圖。 如第3圖所示，供給侧第-導引滾子2包括膠片 掛而做面接觸的滾子本體21、任意旋轉地檀支滾子本體2 的支轴22、可旋轉地設於該支軸22上的軸承㈡、保㈣ 轴承23的裝置框體21 而且，後述的捲繞側第二導引滾+ 8(參照第2圖）例 如與該供給侧[導引滾子2為相同的構造。 〈供給側鬆弛吸收裝置> 再度回到第1圖及第2圖，供給側鬆他吸收裝£D1 置於收納供給捲㈣轉部丨與供給側第二 的膠片T的位置上’為將張力給予從供給捲轴;:轉部; 2244-8607-PF;Chentf 14 1363256 給的勝片τ而吸收其鬆他度的裝置。更進一步詳述，該供 給側鬆他吸收裝置D1是當從供給捲轴旋轉部}送出的膠片 τ在供給捲軸旋轉部丨與供給側第一導引滾子2之間以及 在供給側第二導引滾子3與第一搬運滾子4之間搬運時， 為了不產生過度的負荷及鬆他，在箱體内以本身重量而鬆 他成U字形的給予張力的裝置。 • 繼側鬆弛吸收裝置Μ包括具有搬運空間的筒狀 _的箱體Dla，通過形成於上側的開口部上的膠片τ由於本 身重量在搬運空間中呈U字形下垂。在該箱體〇1内，通過 .形成於上侧的開口部上的膠片τ從膠片7的搬運方向的上 游向下側輸送而由於本身重量下垂，由第一搬運滾子*拉 張而朝膝片Τ的搬運方向的下游向上側輸送。箱體仏例 如由上下具有開口部的四角形的有底筒狀體所構成。 〈供給側第二導引滾子的構造〉 第4圖為本發明之實施形態的搬運機構的供給侧第二 導引滾子的放大剖視圖。 第4圖所示的供給侧第二導引滾子3係將膠片τ從供 給側鬆弛吸收裝置D1向卜搬運滾子4輸送之同時（參; 第1圖及第2圖），具備將膠片τ於箭號b的寬度方向(箭 谠3的軸方向)移動的工件位置調整裝置32的滾子。該供 給側第二導引滾子3包括馬達M卜保持該馬達Ml的裝置 框體33、固定於馬達軸—的導螺桿…又，供給側第二 導引滾子3包括用於搬運膠片τ而可任意旋轉的滾子本: 31、藉由導螺桿34的旋轉而於軸方向移動的螺帽35、與 2244-8607-PF/Chentf 15 1363256 該螺帽35 —體地软 # . ,7 移動的鍵軸36、與該鍵轴36 —體地移動 、設於該支軸37與滾子本體31之間的軸承38。 工件位置調整裝置32為使滾子本體31的位置在轴方 向(膠片T的寬度方向)移動，用於調整處理部51的膠片τ 的位置的裝置。該工件位置調整裝置32例如包括馬達心、 導螺桿34、螺帽35、鍵軸％、支軸37以及滾子本體η。

第4圖所不的馬達M1使滾子本體31旋轉且同時於箭 號a的軸方向（膠片τ的寬度方向）移動，由控制裝置1〇的 訊鮮控制而正轉*反轉，捲繞於滾子本體31上的膠片τ於 箭號b的寬度方向移動^供給侧第二導引滾子3被保持在 裝置框體33的既定位置上。 導螺桿34係連結於馬達M1的馬達軸—而一體地旋 轉。而且’在該導螺桿34與馬達轴Mia之間，也可存在減 速齒輪機構。螺帽35係螺合於導螺#34,並安裝於形成 有鍵槽的鍵軸36内。藉由該導螺桿34的旋轉，螺帽Μ係 於箭號a的轴方向移動。 鍵軸36與螺帽35 一體地旋轉之同時，於箭號&的軸 方向移動。支軸37被固定於鍵轴36的底面而與鍵轴⑽一 起於軸方向移動並旋轉，兩端部以軸承38軸支著。 轴承38可旋轉地安裝於支軸37之同時，安裝成與支 轴37冑地於抽方向（箭號a)的方向移動。滾子本體Μ 為與轴承38-起於箭號a的轴方向移動，且供膠片τ捲繞 的滾子，例如在兩端部具有突緣部的捲筒狀。該滾子本體 31至少滾子表面31“合成樹脂形成，吸收微振動。此時， 2244-8607-PF；Chentf 16 形成;衰子.表面31a的合成樹脂最好是具有緩衝性的批質樹 脂，又可覆蓋於滾子表面3la。 以上構造的供給側第二導引滾子3藉由使馬達mi旋 轉並使由導螺朴34、鍵轴36、支轴37以及轴承38構成 的中介構件旋轉及直進運動，藉此使滾子本體31於軸方向 移動，而可調整膠片T的位置。如此，具備可於轴方向移 動的滾子本體31的供給側第二導引滾子3使滾子本體31 的位置於軸方向移動而調整至適當的位置，藉此可正確地 對準於在處理部51中的膠片T較位中所希望的位置。 而且’第4圖所示的供給側第二導引滾子3為以馬達

Ml使直接支軸37旋轉的元件，供給側第二導引滾子3全 體由其他馬達或線性滑動機構（未圖示）於軸方向移動的構 造。 又，後述的捲繞側第一導引滾子7(參照第2圖）例如 與該供給側第二導引滾子3為相同的構造。 〈第一搬運滾子的構造> 第5圖為本發明之實施形態的搬運機構中第一搬運滾 子的放大剖視圖。 第5圖所示的第一搬運滾子4為將膠片τ從供給側第 二導引滾子3向曝光台51a(處理部51)搬運的滾子（參照第 1圖及第2圖）’該第一搬運滾子4由馬達M2間歇地驅動， 而一段段地搬運膠片T。在第一該搬運滾子4上，具有膠 片T被滾子本體41的滚子表面41a所吸附的吸附孔41b， 同時經由吸附扎41b連接吸附膠片τ的吸附裝置42。因此， 224 4—8 607-PF;Ghentf 17 1363256 第一搬運滾子4藉由該第一搬運滾子4的旋轉而使被搬運 的膠片T不會空轉。 除此之外，第一搬運滾子4包括使滾子本體41旋轉的 馬達M2、支持該馬達M2及馬達軸M2a的裝置框體43、連 結於馬達軸M2a而具有吸附裝置42的吸氣路44a的旋轉轴 • 44、連通於吸氣路44a而連接於吸引泵（未圖示）的排氣部 • 45 〇 ‘然後’如第1圖所示’該第一搬運滾子4係配置於供 給侧鬆弛吸收裝置D1的搬運方向的下游測之同時，配置於 曝光台51a的正上方，使膠片τ位於曝光台51a的中央位 置且平行於曝光台51a的表面。 第5圖所示的滚子本體41係固定於由馬達2旋轉的旋 轉轴44而搬運勝片τ的中空狀的旋轉體，且成為在轴方向 的兩端具有突緣部的捲筒形。滾子本體41中，至少膠片τ 捲繞的滾子表面41a，為了易於吸收膠片τ的微振動以 • 具有緩衝性的軟質樹脂等的合成樹脂形成。 在該滾子表面41a，穿設有多數個吸附孔41b。因此， 膠片τ藉由空氣流過其所捲繞的滾子表面41&的吸附孔 41b’冷卻滾子表面4ia。 而且，滾子表面41a可由不銹鋼或不銹鋼的細線緊密 地捲繞。 · 吸附裝置42為藉由吸引泵（未圖示）的吸引力吸引捲 、’堯於滾子本體41的滾子表面41a的膠片τ，而密著於滾子 表面41a的裝置。該吸附裝置42具有吸引膠片T而使其密 18 224 4-8607-ΕΤ;chentf 1363256 著於滾子表面41a的用於吸入空氣的吸附孔41b、從該吸 附孔41b所吸引的空氣送入的滾子空間41c'連通於該滚 子空間41c的吸氣路44a、排氣部45以及吸引泵。 第一搬運滚子4具備如此的樹脂製的滾子本體41與吸 附裝覃42，將膠片T以空氣的負壓吸附於滾子表面41a並 . 平順地搬運的構造。 第5圖所示的馬達M2為了將捲繞於滾子本體41的膠 片τ做間歇地搬運，使滾子本體41旋轉的元件。馬達M2 籲電性地連接於控制裝置1 〇，而控制其旋轉（參照第1圖）。 裝置框體43為用於將馬達JJ2及馬達軸M2a支持在既 定位置的元件’由該裝置框體43，第一搬運滾子4係配設 於既定高度（參照第1圖）。 旋轉抽44為用於將馬達M2的旋轉傳遞至滾子本體41 而使滾子本體41旋轉的轴，而且具有將滾子本體41内的 空氣送至吸引泵（未圖示）配管的效果的元件。旋轉轴44之 # 一端連接著馬連軸M2a，另一端則設有吸附裝置42的排氣 部45。旋轉軸44在中央部穿設有吸引滾子本體41内的空 氣的吸引口 44b，在吸氣路44a的端部設有將空氣排出至 排氣部45的吐出口 44c，從吸引口 44b至吐出口 44c呈中 空狀。 而且’未圖示的吸引泵（真空泵）為經由配管及洩放閥 而連接於排氣部45 ’且經由吸氣路44a及吸附孔41 b而吸 入滾子表面41a的空氣之同時，藉由負壓吸引捲繞於滾子 表面41a的膠片τ的負壓產生裝置。 2244-8607-PF；Chentf 19 C S )

〜厶JO 而且’後述的第二搬運滾子6與例如該第—搬運滾子 4為相同的構造。 〈處理部的構造〉 於此，說明第2圖所示的處理部5卜處理部51係配 置於第-搬運滾子4的正下方，相對於從該第—搬運滾子 4供’-。的膠片τ而進行既定處理的裝置。該處理部η係沿 處理面配置於第―搬運滾子4與第二搬運滾子6之間的膠 片T於鉛直向下搬運的位置上。而且，在本實施形態中， =為對處理部51進行後述的曝光裝置5的曝光處理的曝光 。51a。而且，曝光台51a形成吸附未圖示的膠片τ的吸 附孔’保持一段段地吸附膠片T。 〈第二搬運滾子的構造〉 第二搬運滾子6係配置於曝光台51a的搬運方向的下 游測，將在該曝光台51a將所處理的膠片了搬運至捲繞側’ 而配置於第一搬運滾子4及曝光台51a(處理部51)的正下 方。該第二搬運滾子6與第5圖所示的第一搬運滾子4為 相同的構造，如第2圖所示，其具備使膠片τ吸附於滾子 本體61的滾子表面61a的吸附裝置62以及使滾子本體61 旋轉的馬達M3。 〈捲繞侧第一導引滚子的構造〉 捲繞側第一導引滾子7為配置於第二搬運滾子6的搬 運方向的下游測而將膠片τ輸送至捲繞側鬆弛吸收裝置D2 的滾子。捲繞側第一導引滾子7與第4圖所示的第二導引 泼子3為相同的構造，如第2圖所示，包括使膠片τ的位 2244-8607-PF;Chentf 20 1363256 置移動芬舍 I度方向（軸方向）而調整的工件位置調整裝置72 乂及成為該工件位置調整裝置72的動力源的馬達M4等。 〈捲繞側鬆弛吸收裝置〉 一捲繞側鬆弛吸收裝置D2係配置於可收納在捲繞側第 導引滾子7與捲繞側第二導引滾子8之間的膠片τ的位 置上。捲繞側鬆弛吸收裝置D2為吸收在第二搬運滾子6與 捲為側帛導引滾子7之間的膠片T的鬆弛以及在捲繞側 第二導引滾子8與捲繞捲軸B2之間的膠片τ的鬆弛的裝 置。在捲繞側鬆弛吸收裝置D2的搬運方向的上游侧配置有 捲’堯側第一導引滾子7，在捲繞侧鬆弛吸收裝置⑽的搬運 方向的下游侧配置有捲繞側第二導引滾子8。該捲繞側鬆 弛吸收裝置D2例如由與供給側鬆弛吸收裝置M相同的構 造，即具備箱體D2a。 通過捲繞側鬆弛吸收裝置D2的膠月τ從捲繞侧第一導 引滾子7送入’由於膠片7的本身的重量而在箱體咖内 下垂成u字形，而向上方的捲繞側第二導引滾子8搬運。 〈捲繞側第二導引滾子的構造〉 如第2圖所示，捲繞側第二導引滾子8係將捲繞於捲 繞捲轴B2的膠片T向該捲繞捲轴B2搬運的導引用的辅助 滾子，與第3圖所示的供給側第一導引滾子2為相同的構 造》該捲繞侧第二導引滾子8由未圆示的裝置框體以轴部 為中心可旋轉地配置於既定的位置上。捲繞側第二導引滾 子8將從捲繞側鬆弛吸收裝置D2搬運來的膠片丁從該捲繞 側第二導引滾子8傾斜向上輸送地配設著。 2244-8607-PF;Chentf JZ, J〇 〈捲繞捲軸旋轉部的構造〉 如第2圖所千， '、捲，姜捲軸旋轉部9為樞支著捲繞在處 理部51(曝光努署 、、 1 W處理的膠片T的捲繞捲軸B2的元件， i 乂捲’矣捲軸B2的轴筒部所安裝的軸部為中心可旋轉地 配設的驅動馬達（未圖示）所驅動。 . <<曝光裝置的構造>> .^回到第1圖，曝光裝置5將光罩Μ的圖案一塊塊地曝 _光在由搬運機構八一段段地搬運的膠片工上。該曝光裝置 5包括光源52、反射鏡53、複眼透鏡L、支持光罩Μ的支 持裝置54、投影光學系（例如戴森光學系或縮小投影光學 系）55、攝影裝置56以及曝光台51a。又，曝光裝置5包 括攝影機資料輸入裝置57、影像處理裝置58、記憶裝置 59、控制裝置1 〇以及開關裝置丨2。 光源5 2為照射包含既定波長的紫外線的光的元件，包 括燈52a、配置成覆蓋在該燈52a的後面的摘圓鏡52b。反 φ 射鏡5 3為將來自光源5 2照射的光向光罩Μ照射的平面 鏡。複眼透鏡L微調整來自反射鏡53的光的照度分佈的透 鏡0 如第1圖所示的光罩Μ 由支持裝置54所支持，設置 成正對於投影光學系55。該支持裳置54具備驅動機構（未 圖示），在垂直的平面内移動至投影光學系55的光軸。 投影光學系55中’於此其入射光轴以及出射光軸設置 成與裝置的設置面成平行，曝光台51a係配置成正對於其 前面側。該投影光學系55係由未圖示的複數個透鏡、面鏡 2244-8607-PF;Chentf 22 1363256 等組合而成。 第1圖所示的攝影裝置56在投影光學系55與曝光台 51a之間配傷有可於三維方向移動的驅動系，配置複數個 CCD攝影機。CCD攝影機對形成於靜止在曝光台51 a上的一 奴膠片T上的對位標記以及形成於光罩Μ上的對位標記做 攝景/。而且，曝光台51a中，如前所述，配設有經由未圖 不的吸附孔而吸附膠片T而真空排氣的排氣系以及用於輸 送壓縮空氣的壓縮空氣系。 攝影機資料輪入裝置57讀取由攝影裝置56所拍攝的 一段膠片T的對位標記與光罩M的對位標記。影像處理裝 置5 8係將對也標§己計算而用於曝光裝置5的控制用。在該 影像處理裝置58中，從攝影機資料輸入裝置57接受的對 5的位置資料，將其結果輸 5 9。§己憶裝置5 9係記憶由攝 位標S己被轉換成控制曝光裝置 送至控制裝置1 〇與記憶裝置 影裝置5 6所拍攝的位置資料。 Φ 控制裝置為控制搬運機構A及曝光裝置5全體的裝 置，由CPU所構成。該控制裝置10根據影像處理機構

2244-8607-PF；Chentf 23 供、-側第一導引滾子3、第_搬運滾子4、第二搬運滚子6 以及捲繞側第一導引滾子7。然後，使曝光台51a上的朦 片T的對位標記的位置進入門檻值$以内。 又，控制裝置1 〇控制供給側鬆弛吸收裝置D1及捲繞 側鬆弛吸收裝置D2的膠片τ的位亶的監視、曝光台51a中 膠片τ的放置與移除、攝影裝置56的移動、光源52的亮 滅及遮光的控制以及該等的監視等。而且，開關裝置12係 控制搬運機構A的馬達Ml、M2、M3及M4、吸引泵（未圖示）、 曝光裝置5等的ON、OFF。 〈各元件的位置關係的說明> 接著，參照第6圖說明搬運機構Λ的各元件的位置關 係。 第6圖為本發明之實施形態中的搬運機構的概略構造 圖。 如第6圖所示，供給捲軸旋轉部丨、供給側第一導引 滾子2、供給側第二導引滾子3、第一搬運滚子4、第二搬 運滾子6、捲繞側第一導引滾子7、.捲繞側第二導引滾子8 以及捲繞捲軸旋轉部9係配置於同一面上，從正面觀看， 在上下方向上分別配置於大約同一直線上。 從供給捲轴旋轉部丨至第一搬運滾子4之間，膠片τ 從側面觀看全體性地略傾斜而向下方搬運。從第一搬運芾 子4至第二搬運滾子6之間，膠片τ係於船直 ^ 且句下的方向 上搬運。從第二搬運滾子6至捲繞捲轴Β2之間，牒μ 膠片Τ從 側面觀看全體性地略傾斜而向上方搬運。 2244-8607-PF;Chentf 24 1363256 供給捲㈣轉部丨係配置於 給側第-導引滾子2古τ古“ η的下游侧的比供 4同了问度Η1的位置上。供仏相 引滾子2係配置於供拎 側第—導 供給捲轴奴轉部1的斜向下 側第二導引滾子3等古 一供給 等问，或者是配置於高的位置上，而Β 己置在供給側鬆弛吸收 方。 展1 D1的粕體Dia的開口部的上 ::側鬆他吸收裝置D1係設於收納在供給 =子2以及與該供給側第-導引滚子2等高的第二導I 滾子3之間下垂的膠片τ的位置上。 供給側第二導5ί滾子3配置於與供給側第一導引 2相等或較低的位置上，同時 " Η2的位置上。 第搬運痕子4尚了高度 第-搬運滾子4、曝光台51a(處理部51)與第二搬運 滾子6係配置於在錯直方向上略呈_直線的位置。通過第 一搬運滾子4的膠片τ從供給側第二導引滚子3傾斜而向 下方搬運，捲繞於第一搬運滾子4上，並向錯直方向的曝 光台51a而做方向轉換。 曝光台51a(處理部51)係配置於第-搬運滾子4與捲 繞侧第-導引滾子7之間的中間位置上。第二搬運滾子6 係配置於該曝光台51a的正下方。通過第二搬運滾子6的 勝片τ向錯直下方搬運’捲掛於第二搬運滾子6而傾斜向 上做方向轉換。 捲繞側第一導引滾子7配置於第二搬運滾子6的搬運 方向的下游測之同時，配置於比第二搬運滾子6高了高度 2244-8607-PF;Chentf 25 1^3256 H3的位置上。該捲繞側第一導引滾子7配置於比捲繞侧鬆 弛吸枚裝置D2的開口部高的位置上，同時比捲繞捲轴旋轉 部9尚了高度Η4的位置。 捲繞側第二導引滾子8係配置於比捲繞側第一導引滚 子7相等或較高的位置，同時配置於比捲繞捲軸旋轉部9 低了同度Η4的位置上，而配置於捲繞側鬆弛吸收裝置⑽ 的相體D2a的上方。捲繞捲轴旋轉部9係配置於捲繞側第 一導引滚子8的斜上方。 <〈搬運機構的作用>> 接著’主要是第7圖，參照各圖同時說明搬運機構a 的作用。 第7圖為本發明之實施形態的搬運機構的作動的流程 圖。

首先，作為加工前的新素材的膠片τ係表示於第上 及第2圖’設置於搬運機構A而呈為可搬運的狀態。即 捲為新的膠片τ的供給捲軸B1設置於供給捲軸旋轉部】 拉出膠片T的前端部同時分別捲掛於供給側第一導引滾 2、供給側第二導引滾子3、第一搬運滾子4上，貫穿於θ 光台51a與攝影裝置_ 56之間。而且，將膠片T捲掛於第_ 搬運滾子6、捲繞側第-導引滾子7、捲繞側第二導引滾： 8’將膠片T的前端部卡合於安裝在捲繞捲軸旋轉部9的者

繞捲抽B2上。然後，供体彳日,丨步3L 八、·’。側鬆弛吸收裝置D1以及捲繞伯 鬆他吸收裝置D2上的膠片τ在箱體Dia、D2a内呈㈣开 鬆弛。 2244-8607-PF;Chentf 26 1363256 接著’使第1圖所示的開關裝置12的電源開關(未圖 示）ON而啟動曝光裝置5及搬運機構A(步驟si)〇然後’ 點亮曝光裝置5的燈52a(步驟S2)e此時藉由未圖示的 遮板機構將來自燈52a的光遮斷。 然後’配置於第2圖所示的第—搬運滾子4及第二搬 運滾子6的搬運驅動用的馬達M2、M3驅動之同時，吸引聚 (未圖示）也驅動，膠片了係吸附於滾子表面4ia 6U而進 行一塊塊輸送的動作。 如第2圖所供給捲軸旋轉部】的供給捲轴B卜由 馬達M2、M3驅動使第一搬運滾子4及第二搬運滾子6旋 轉’藉此由於膠片τ係拉張而搬運，旋轉而將膠片τ送出（步 驟 S3)。 該膠片τ從供給捲轴旋轉部1傾斜向下方輸送，在本 身具有重量的狀態下，捲掛於供給側第一導引滾子2上， 而由於本身重里輸送至供給側鬆弛吸收裝置W的箱體… 内（步驟S4)。 供、。側第導引滾子2與供給側第二導引滾子3之間 的供給側鬆弛吸從裝置D1中，膠片T由於膠片τ本身的重 面方向呈u子形下垂的H膠# τ由供給側鬆 他吸收裝置D卜調整從供給捲轴旋轉部工至第—搬運滚子 4之間的鬆弛度而給予張力的狀態下，往供給侧第二導引 滾子3搬運（步驟S5)。 即’在供給側鬆他吸收裝置M中，從供給侧第〆導弓丨 滾子2送入箱體Dla内的膠片T，如第6圖所示，由於膠 2244-8607-PF;Chentf 27 1363256 L匕身的重量於與搬運方向(箭號d方向)相同 的方向拉張，從供給捲 以目@的箭號e 2之間沒有㈣的現象=轉部1到供給側第-導引滾子 箱體IMa内輸送至供給側第：導：第-搬運滚子拉張而從 方向)輸送的膠片T由於膠;;本=子3广方向(箭號d的 反方向(箭號f方向)拉張二身的重里而往搬運方向的 ηι 張（給予張力的狀態），同時從笳舻 DJa搬運至供給侧第二滾子3及第-搬運滾子4，：！ 有鬆弛的現象。 史來于4,而沒

與供給侧第一導引滾 3與第一搬運滾子4 配置成不易鬆弛的狀 又’膠片T在供給捲軸旋轉部1 子2之間以及在供給側第二導引滾子 之間，由於分別傾斜而向下方輸送， 態0 第一搬運滾子4在膠片Τ由吸附裝置42吸附於滾子肩 面41a的狀態下，藉由馬達Μ2旋轉，使一段膠片τ於如遽 方向上做方㈣換而搬運。此時，第-搬運滚子4由^ 合成樹脂形成，因此可吸收膠片τ的振動。 由搬運機構Α所搬運的每—段膠片τ由曝^ 5ι&所 吸附，-段膠片τ係靜止於曝光台51a上。然後，投影光 學系55與曝光台51a之間移動的攝影裝置56對顯示於膠 片τ的曝光部分的對位標記（未圖示）與光罩M的對位標記 (未圖示）做攝影（步驟S6)。 從該攝影裝置56所拍攝的兩標記的影像計算出膠片τ 與光罩Μ的位置偏差量及姿勢偏差量而傳遞至控制裝置 10(步驟 S7)。 & 2244-8607-PF;Chentf 28 1363256 在步驟S8中，根據來自控制裝置1〇的位置偏差量， 由支持裝置54的驅動機構使光罩M ， 1做整合。 ㈣使光罩Μ與膠片 接著，在曝光台51a上可與光罩以整合的夥片τ — 性地固定在位於與投影光學系55(參照第相對的位^ 上的曝光台仏上，藉由開放未圖示的遮板機構，從投影 光學系55照射曝光光線而轉寫光罩Μ的圖案(步驟⑻^ 接著在步驟S10卜控制裝置判斯膠片T的對位標 記與光罩Μ的對位標記的位置偏差量是否在門榧$以下。 右位置偏差量在門植5以下’則進入牛膝 則進入步驟S13，若位置偏 差量在門播以上，則進入舟撕q 1 *1 幻進入步驟S11。即，當位置偏差量 大時，造成每一段膠片T無法準直地在曝光台51a上輸送 的原因很多。因此若控卿片T的輪送量與姿勢，靜止於 曝光台51a上的一段膠片τ的下一段膠片τ，可正確地送 進曝光台51a。若正確地搬運膠片Τ，以支持光罩Μ的支持 裝置54的驅動機構移動…的量很少或為零，可提升產 能。於此，在步驟10令，判斷位置偏差量是否在門… 以下’當位置偏差量比門檻5大時，移行至步驟⑴及步 驟S12’控制導引滚子使膠片τ的位置偏差量變小。 在步驟SI 1 t，控制裝置i 〇將驅動訊號送往馬達M1 及馬達M4，使供給側第二導引滾子3與捲繞侧第—導引滚 子7分別於膠片τ的寬度方向上移動，而使膠片T傾斜， 調整膠片τ的姿勢。 制裝置10例如如第2圖所示，使供給侧第二導引滾 29 2244-86〇7-PF；Chentf 1363256 子3及捲繞側第一導引滾子 太轳、71 的馬達M、M4旋轉，當滚子 本體1、71於箭號a的輪方向上 上移動時，膠片T於箭號b =度方向上移動。供給側第二導引滾子3、第一搬運滾 第二搬運滾子6以及捲繞側第—導引滾子7係分別 平订地配置，藉此當供給側第_ 波m， 側第-導引滾子3與捲繞侧第一 導引滾子7於箭號a的軸方向 移動時，在第-搬運滾子4 一第一搬運滾子6之間（曝井a u 、似κ 光σ 51a)搬運的膠片Τ於箭號c 的寬度方向上移動而調整膠片 } 旳買*度方向位置及傾斜度 (姿勢）。 而且，在步驟S12中，拎鈿驻里 控制裝置10控制第一搬運滾子 4的馬達M2以及第二搬運滾子6的馬達M3的轉數，調整 輸送量使光罩Μ的對位標記與膠片τ的對位標記整合，調 整搬運上下方向的位置。第一 乐搬運/袞子4與第二搬運滾子 6由於具有吸附裝置42,不會在乎 个霄隹展子表面滑動，可正確地 搬運一段膠片T。 如此’搬運機構A調整腺g π登膠片T的寬度方向與輸送量而 正確地搬運至曝光台上。 通過曝光台51a的膊η «η. Λ 幻膠片Τ由第一搬運滾子4與第二搬 運滾子6驅動之同時，由坌_ 田第一搬運滾子6的吸附裝置62吸 附於滾子表面61a，於鉛直方向拉張而將搬運方向大體上 轉換至水平方向上，經由捲繞侧第一導f/滾子7而輸送至 .捲繞側鬆他吸故裝置D2(步驟§】3)。 在捲繞側鬆他吸j/女据$ n0 士 h 卿及收裝置D2中，與供給側鬆弛吸收裝置 D1相同地調整張力的膠片τ’從捲繞側鬆弛吸收裝置⑽在 2244-8607-PF;Chentf 30 . ( i 1363256 8接文膠片Τ’安裝於捲繞捲軸旋轉部 而捲繞（步驟S14)。

位置偏差量比門檻值5 A時’使光罩M移動的量變少而提 高產能之同時，可高精度地進行與光罩的整合。又，在曝 光台搬運路徑中，膠片T於略呈水平方向(斜向下方、斜向 上方)搬運的部位，由於膠片τ本身的重量而在搬運方向的 反方向上給予張力而吸收鬆弛度。結果’搬運機構Α在膠 片Τ穩定的狀態下搬運至曝光裝置5，正確地轉寫既定電 路圖案而輸送之同時，在曝光裝置5處理的膠片τ可平順 地捲繞於捲繞捲軸旋轉部9的捲繞捲軸Β2上。

捲繞側第二底滾子 的捲繞捲轴B2旋轉 ”’搬運機構Α藉由第_搬運滾子4與第二搬運滚 而調整曝光台…中的膠片T的上下方向的輸送量， 而且’藉由供、给側第二導引滾子3及捲繞侧第—導引滾子 7進仃曝光台51a中的膠片τ的傾斜方向的調整。因此， 而且，本發明並不限於實施形態，在其技術思想的範 圍内，可做各種的改造與變更，本發明當然也包括該等改 造與變更。 <<變形例〉〉 接著’參照第8圖’說明本發明的實施形態的搬運機 ‘構的變形例。 而且’在變形例申，與第1圖至第7圖所示的實施形 態的搬運機構Α具有相同的功能的元件係省略其說明。 第8圖為本發明之實施形態的搬運機構的變形例的 圖，表示工件連接裝置的設置狀態的主要部分的概略放大 2244-8607-PF；Chentf 31

貫施形態的搬運機構A(參照第i圖及第 圖所示的變形例的搬運機構M 第 給側第-導引滾子2之間，可設有工2料轉部1與供 °又有工件連接裝置11。 此時’工件連接裝置11<f、配置在供給側㈣㈣裝置 的搬運方向的上游側而位於 還高的位置上。 他吸收裝置D1 圖料，工件連接裝置丨〗為在曝光台仏（參 ，，，、第1圖)使處理中的谬片T2的最後尾T2a與下一段新的 膠片τι的最前端Tla連接的連接裝置。工件連接裝置η :括例如表面鍍上鐵弗龍(註冊商標)的台ua、配置於該 台lla上而保持膠片T1的保持部Uc、以及將滕片η虚 膠片Τ2做熱壓合的壓合部llb。 接著，針對膠片ΤΙ、T2的連接做說明。 膠片T2在一連串的處理工程中，在接近最終端時，調 指搬運機構A的動作，將捲繞於供給捲轴旋轉部i的勝片 T2的最後尾T2a载置於供給側鬆弛吸收裝置di的上方的 台11 a。台1 la配置的供給側鬆弛吸收裝置M的上方的位 置為現在處理的膠片T2捲掛於供給侧第一導引滾子2的附 近的位置，容易進行膠片T1、T2的連接作業。 該膠片Τ2的最後尾T2a係載置於台ua的中央，由保 持部11 c推壓該膠片T2。然後，新的膠片T1的最前端部 11a係重疊於處理中的膠片T2的最後尾T2a，壓附於膠片 ΤΙ、T2上以熱壓合而接合。 2244-8607-PF;Chentf 32 < S ) 1363256 如此的搬運機構A1由於在搬運路徑中具備工件連接 裝置11’可在短時間内連接膠片T1、T2,使作業效率提高。 <<其他的變形例〉〉 第1圖及第2圖所示的供給侧鬆他吸收裝置di及捲繞 側鬆弛吸收裝置D2吸收在搬運路徑中的膠片Τ的鬆弛，也 ' 可以是給予謬片Τ張力的裝置。例如’供給側鬆他吸收裝 • 置D1及捲繞侧鬆弛吸收裝置D2具有膠片Τ通過的箱體Dla 以及像該箱體Dla的開口部吹附空氣而使通過開口部上的 ® 膠片T呈U字形下垂的狀態的風扇。 又，供給側鬆弛吸收裝置D1及捲繞側鬆弛吸收裝置 1>2將可上下移動及任意旋轉的滚子載置於膠片τ的上方， 利用該滚子的重疊而將膠片T在搬運方向及搬運方向的反 方向上拉張而使膠片T呈U字形下垂的狀態，藉此可為吸 收膠片的鬆弛的滾子張力器。 又，在實施形態中’雖然是以供搬運膠片T的馬達M2、 φ M3設置於第一搬運滾子4與第二搬運滾子6時為例而做說 明’但是在其他所有的滾子及捲軸上設置搬運用的馬達亦 可。即’在供給捲轴旋轉部1、供給側第一導引滾子2、供 給側第二導引滚子3、捲繞側第一導引滚子7、捲繞側第二 導引滾子8以及捲繞捲軸9上，也可設置搬運用.馬達。 如此，從供給捲軸旋轉部1將膠片τ更平順地送出， 又，在捲繞捲軸旋轉部9中，可將膠片τ更平順地捲繞。 雖然在實拖形態中是以在第一及第二搬運滾子4、6設 置吸附孔41b、61b及吸附裝置42、62的情況為例做說明， 2244-8607-PF;Chentf 33 1363256 也可以在供給側第一及第二導引滾子2、3及捲繞側第一及 第一導引滾子7、8上設置相同的吸附孔及吸附裝置。如 此’可使膠片T更平順地被搬運。 而且，處理部51並不限定於曝光裝置5,例如膠片τ 的檢查裝置及滾彎成形裝置以及其他的機械也可以。 而且’在將處理部51當作滾彎成形裝置使用的情況 下’可以是將捲繞捲軸旋轉部9切斷成各部為一塊的切斷 裝置。 【圖式簡單說明】 第1圖為本發明之實施形態的搬運機構的方塊圖。 第2圖為本發明之實施形態的搬運機構的概略立體 圖。 第3圖為本發明之實施形態的搬運機構的供給側第一 導引滾子的放大剖視圖。 第4圖為本發明之實施形態的搬運機構的供給侧第二 導引滾子的放大剖視圖。 第5圖為本發明之實施形態的搬運機構的第一搬運滾 子的放大剖視圖》 第6圖為本發明之實施形態的搬運機構的概略構造 圖。 第7圖為本發明之實施形態的搬運機構的動作的流程 圖。 第8圖為本發明之實施形態的搬運機構的變形例的 2244-8607-PF;Chentf 34 ^63256 圖，表示表示工件連接裝置的設置狀態的主要部分的概略 放大圖。 【主要元件符號說明】 2〜供給側第一導引滾子； 1〜供給捲轴旋轉部 3〜供給側第二導引滾子； 4〜第一搬運滚子； 7〜捲繞側第一導引滾子； 5〜曝光裝置； 8〜捲繞侧第二導引滾子； 6〜第二搬運滾子； 9〜捲繞捲軸旋轉部； 11〜工件連接裝置； 32〜工件位置調整裝置； 41、61〜滚子本體； 41a、61a〜滾子表面； 41 b〜吸附孔； 42、62〜吸附裝置； 51〜處理部； 51a〜曝光台； 5 2〜光源； 53〜反射鏡； 54〜支持裝置； 5 5〜投影光學系； 56〜攝影裝置； 57〜攝影機資料輸入裝置； 58〜影像處理裝置； 5 9〜記憶裝置； A、A1〜搬運機構； B1〜供給捲軸； B2〜捲繞捲軸； D1〜供給側鬆他吸收裝置. Μ〜光罩； D 2〜捲繞側鬆他吸收裝置· Τ〜膠片（工件）； T1〜新的膠片（新的工件）； Tla〜最前端； T2a〜最後尾； T2〜處理_的膠片（處理中的工件）。 2244-8607~PF;Chentf 35

Claims (1)

1. 第09鑛056號中文申請專利範圍修正本 萍曰期：97.5-99 十、申請專利範園·· 1·-種搬運裝置，將帶狀 ί—iTml 處理部上搬運而處理，包括： -於錯 供給捲軸旋轉部，使送 供仏側® —道2丨 述工件的供給捲軸旋轉； ° 導滾子與供給側第二導引滾子，導引藓 :該供給捲轴旋轉部旋轉而從上述供給捲轴送:的::： 供給側鬆他吸收獎番 #,. J及收裝置，對在該供給 供給側第二導引滾子之巧W ㈣展子與 守W农千之間的上述工件賦予張力； 第-搬運滾子及第H袞子，配置於上述處理部的 L方及下方’使來自上述供給側第二導引滾子的上述工件 沿上述處理部搬運； 捲繞側第-導引滾子及捲繞側第二導引滾子，導引來 自該第二搬運滾子的上述工件； ,捲繞側鬆他吸收裝置’對在該捲繞側第一導引滾子與 捲繞側第二導引滾子之間的上述工件賦予張力；以及 捲繞捲轴旋轉部，使捲繞來自該捲繞側第二導引滾子 的上述工件的捲繞捲軸旋轉，其中上述供給捲軸旋轉部係 配置於比上述供給側第-導引滾子高的位S，上述供給側 第二導引滾子係配置於與上述第一導引滾子相同或較低的 位置，同時上述供給侧第二導引滾子配置於比上述第一搬 運滾子高的位置，上述捲繞捲軸旋轉部係配置於比上述捲 繞側第二導引滾子高的位置，上述捲繞側第二導引滾子係 配置於上述捲繞側第一導引滾子相同或較高的位置同時 2244-8607-PP1 36

   1363256 q q W η 修正補末. ..上述捲繞側第二導引滾子係配置於比上述捲繞捲轴旋轉部 低的位置。 2.如申請專利範圍第丨項所述之搬運裝置，其_對應 於上述處理部上的上述工件的位置偏移量，上述供給側第 二導引滾子以及上述捲繞側第一導引滚子具備使上述工件 往上述供給側第二導引滾子以及上述捲繞側第一導引滾子 的轴方向移動的工件位置調整裝置。 3. 如申請專利範圍第丨或2項所述之搬運裝置，其中 上述第-搬運滾子及上述第二搬運滾子中，其滾子本體係 以合成樹脂成形。 4. 如申請專利範圍第丨或2項所述之搬運裝置，其十 在上述供給捲軸與上述供給側第一導引滾子之間，設有由 上述處理料置或任意移除的工件連接裝置，該工件連接 裝置將處理中的工件的最後尾端與下一個新的工件的最前 端部連接。

   5. 如巾請專利範圍第丨或2項所述之搬運裝置，其令 理部料光台，❹罩的圖㈣光於由上述搬運裝 置所搬運的一段段的工件上。 6. 如申請專利範圍第5項所述之搬運裝置，μ當上 述處理部上的上述卫件的位置偏移量在⑽值以下田 由移動上述光罩，使靜止於上述曝光台上的—牛 述工件的位置偏移量大約為零，當” , m 〜理部上的上述工 件的位置偏移量大於門檻值時，使上 <贤、-口側第二導引遼 子及上述捲繞側第一導引滚子於轴 Π上移動，而將靜止 2244-8607-PF1 37 1363256

   巨修正補見 於上述曝光台上的 σ上的既定位置上 一段上述工件的下一段移動至上述曝光 7.如申請專㈣圍第5項所述之搬運裝置，其中去上 料理部上的上述工件的位置偏移量在門檻值以下時：藉 由移動上述光罩，使靜止於上述曝光台上的一段工件與上 述卫件的位置偏移量大約為零，當上述處理部上的上述工 件的位置偏移量大於門楹值時，設定由上述第一搬運滾子 籲 &第_搬運滾子所形成的工件的輸送量而將靜止於上述 曝光口上的-段上述工件的下一段移動至上述曝光台上的 既定位置上。 8. 如申請專利範圍第丨或2項所述之搬運裝置，其中 上述第-搬運滾子與上述第二搬運滾子具有使上述工件吸 附於滾子表面的吸附孔，同時連接於經由上述吸附孔而吸 附上述工件的吸附裝置。 9. 如申請專利範圍第1或2項所述之搬運裝置，其中 • 上述供給側第一導引滾子、供給側第二導引滾子以及I述 捲繞側帛-導引滾子以及上述捲繞側第二導引滾子具有使 上述工件吸附於滚子表面的吸附孔，同時連接於經由上述 吸附孔而吸附上述工件的吸附裝置。 2244-8607-PF1 38