1354188 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於一種將薄膜狀的膠片一塊塊地輸送至 曝光台，同時在曝光台上一塊塊地做曝光的曝光裝 光方法。 【先前技術】 一般而言，在行動電話及移動機器等的小也機器中所 使用的電路板的基材會使用薄膜狀的膠片。該薄膜狀的膠 片藉由可捲繞的捲軸而操作。 上述膠片為了可以穩定地被送出，從左右兩邊往内側 lmm至2咖附近形成等間隔、等大小的穿孔，經由扣鏈齒 (sprocket)輸送的構造。 在電路板的製造過程中，為了在上述膠片上形成圖案 而實施曝光製程，在該曝光製程中’冑片從捲軸被送至曝 光台，並固定於曝光台上（例如參照專利文獻丨）。又，提 出使用複數個電磁閥且將膠片固定於曲面狀的曝光台的方 法（例如參照專利文獻2)。 [專利文獻1]特許第2892079號公報（從第7欄的4〇 行至第47行與第2圖） [專利文獻1]特許第2793〇()()號公報（請求項丨、請求 項2與第1圖） 【發明内容】 2244-8606-PF;Chentf 5 !354188 . ·- 吸引力作用；接著，藉由第一泵與減壓後的減壓槽，使吸 引膠片的第一面的側邊區域且比第一吸引力還強的第二吸 引力作用。 根據本發明，藉由第一吸引力使膠片的中央區域固定 於曝光台上’此時，藉由膠片的彎曲，從曝光台浮起的膠 片的側邊區域在減壓槽降低内部壓力的狀態下，以吸引的 侧邊吸引口與比該側邊吸引口的吸引面積大的中央吸引口 鲁 吸引’藉此可藉由比中央的第一吸引力強的側邊部的第二 吸引力固定於曝光台上。根據此曝光方法，將電路圖案正 確地轉寫至膠片上。 該曝光方法在第二吸引力作用後且在曝光前，向與第 一面不同的第二面吹出氣體。在第二吸引力作用的狀態 下’藉由將氣體從相反側吹出，從曝光台浮起的膠片的側 邊區域膠片可被吸附於曝光台上。又，為了不影響曝光， 在曝光開始前最好停止喷氣。 φ [發明之效果] 以上，根據本發明，提供一種曝光裝置與曝光方法， 膠片的中央區域與側邊區域固定於曝光台上而正確地轉寫 【實施方式】 〈曝光裝置的整體構造〉 第1圖表示本發明之一實施形態的曝光裝置1。曝光 裝置1具有吸附膠片6的曝光台2、連接於曝 而 224 4-8 606-PF;Chentf 9 1354188 :“吸附於曝光台2的減壓裝置、朝向膠片“向曝光 △的方向吹出空氣4的送風機5、將膠片6輸送至曝光 口2的搬運部、照射光而使電子電路的電路圖案成像於曝 光台2上的膠片6的光學部以及控制曝光裝置1的控制部。 在曝光台2上設有複數個側邊吸引口 3。側邊吸引口 3 係分別經由連結孔12連結於側邊通道u。減壓裝置係由 連接於側邊^的聯結器7、連接於聯結器7的三向闕8、 連接於三向閥8的減壓i 10與減壓槽9所構成。三向閥8 從聯結器7的連結切換至與大氣的連接，或切換至與減壓 槽9及減壓泵1〇的連接。 搬運部具有捲繞膠片6的供給捲軸41、捲繞膠片6的 捲繞捲軸5卜調整.搬運中的膠片6的張力的充氣容器 dancer)43與49、導引膠片6的移動通路的導引滾子42、 44、48、50以及搬運滾子45、47。供給捲軸41係設於比 導引滾子42高的位置上，導引滚子42、44設於充氣容器 43的正上方。藉此，膠片6從供給捲軸41順利地輸送至 充氣容器43上，膠片6從充氣容器43順利地取出。搬運 滾子45在曝光台2的正上方，設置在比導引滾子44低的 位置’搬運滾子47係設於曝光台2的正下方。藉此，膜片 δ在曝光台2的鉛直方向46從上到下平順地被輸送。膠片 6配置成面向側邊吸引口 3。導引滾子48、50設於充氣容 器49的正上方’捲繞捲軸51係設於比導引滾子高的位 置。藉此，可將膠片6平順地輸送往充氣容器49,膠片6 從充氣容器49平順地掛在捲繞捲轴51上而捲繞。而且， 2244-8606-PF；Chentf 10 C S ) 1354188 充氣谷器43、49在導弓丨滾子42、44之間以及在導引滚子 48、50之間給予膠片6張力而經常地調整膠片6的張力。 光學部具有照射既定波長之紫外線的燈34、將燈34 照射的光做反射的橢圓面鏡35、改變來自該橢圓面鏡35 的光線的方向的反射鏡33、配置在光軸上而調整光強度的 分佈的複眼透鏡32、配置於光轴上由光罩保持框所支持的 描繪電路圖案的光罩M、以及配置於光軸上並將電路圖案 投影至膠片6上的曝光光學系（例如戴森光學系）31。 控制部具有攝影裝置36、影像處理裝置37以及裝置 控制裝置38。攝影裝置36係配置於曝光台2與膠片6的 附近對在膠片6上既形成的對位用的標記以及由光罩μ 才又’iv在膠片6上的對位用的標記做攝影。影像處理裝置3 7 將所拍攝的影像資料由裝置控制裝置38轉換成可處理的 資料。裝置控制裝置38進行與在曝光裝置i相關的曝光方 法的全盤性的控制，由接收自影像處理裝置37的資料進行 膠片6在曝光台2上的對位的控制以及計算曝光次數而到 達既定的次數後停止曝光的控制。 〈由曝光台吸引〉 如第2a圖所示，在此所使用的膠片6為例如寬度約 1〇〇mm’在兩侧形成穿孔2〇的所謂的工件◊穿孔20係2左 右兩側邊往内们關i 2随的附近以等間隔與等大小形 成。在曝光台2上，膠片6在鉛直方向46上由上往下由搬 運滾子45與47運送。在膠片6的中央設有中央區域17, 電路圖案係轉寫於每一塊21的中央區域17。在中央區域 2244-8606-PF;Chentf 11 丄00 17的兩側，設有形成供 10 ^ ^ 适膠片6的穿孔20的穿孔區域 18。在穿孔區域18的外側，< Γ W ’設有寬度約lram以上2mm以下 的側邊區域19直到膠片6的側邊。 如第2a圖及2b圖所+ ^ ^ ^ 所不’在曝光台2上，雖然膠片6 的中央區域17與側邊區域] U破吸附，在吸附時，中央區 域17被吸附於曝光台？沾士丄 2的中央部22，側邊區域19被吸附 於曝光台2的側邊部23。力dr a 在中央部22的全體設有複數個， 中央吸引口 13分別經由造姓π i 4 士 ’由連結孔14連結於中央通道24。在 膝片6兩侧的側邊部23的令驴μ <女#虹v * 07王體上設有複數個侧邊吸引口 3 ’側邊吸引口 3分別經由造全士 Ή 1。土 t J、，主宙連結孔12連接於側邊通道11。 減壓裝置分別連接於巾止，s、* 带於〒央通道24與兩侧的侧邊通道 11的三個通道。在中央通道24上連接著第一減壓裝置， 其具備連接於令央通道24的聯結器25、連接於聯結器25 的三向閥15以及連接於三向閥15的減壓泵16。三向閥15 將與聯結器2 5的連接切拖5饱、由 刀換至與大氣的連接，或者是與減壓 泵16的連接。在侧邊通道u上連接有第二減壓裝置，其 具有連接於侧邊通道U的聯結器7、連接於聯結器7的三 向閥8以及連接於三向閥8的減壓泵1〇及減壓槽g。在連 接穿孔20的曝光台2上，由於既設有中央吸引口 13也設 有侧邊吸引口 3，大氣不會從穿孔2〇吸入中央吸引口 13 與側邊吸引口 3，而是強固地將膠片6吸附在曝光台2上。 接著’針對減壓槽9的功能做說明。減壓槽9由減壓 泵10吸引而降低内部壓力。在該減壓的狀態下，打開三向 閥8 ’當連通側邊吸引口 3與減壓槽9時，減壓槽9進行 2244-8606-PF;Chentf 12 1354188 所謂的吸引作用，吸引曝光台2附近的大氣的空氣。並行 的是減壓泵10也連通於側邊吸引口 3而進行相同的吸引作 用。藉由該等的吸引作用，比一般僅有減壓泵10的情況 下，增加吸引容量，單位時間内以可吸引的大氣壓換算可 增加空氣的體積。單位時間内以可吸引的大氣壓換算的空 氣的體積成為吸引力的指標，藉由採用減壓槽9而使吸引 力變大。 接著’當考慮膠片彎曲的情況，藉由該彎曲，膠片6 ® 的側邊區域19比中央區域17更遠離曝光台2。因此，存 在於側邊區域19與曝光台2的側邊部2 3之間的空氣的體 積比存在於中央區域17與曝光台2的中央部22之間的空 氣的體積大。該等體積的空氣若分別由減壓泵1〇、16吸 引’膠片6的曝光台2侧的氣壓下降，由膠片6來自光學 部側的大氣壓推壓膠片6,膠片6朝曝光台2方向移動而 最後壓附於曝光台2上。但是，存在於側邊區域1 g與侧邊 _ 部23之間的空氣，以及存在於中央區域與中央部22之 間的空氣由於開放於大氣，因為吸引得慢的緣故，空氣從 大氣流入，膠片6不會產生前後壓力差。於此，在如此開 放的空氣中，有比其他空氣流入的速度快而吸引空氣的必 要0 即，必須要有減壓裝置，其具有吸引比其他空氣流 的體積大的體積的空氣的吸引力。於此，由於存在於側 區域19與側邊部23之間的空氣的體積比存在於中央區 17與中央部22之間的空氣的體積大，吸引存在於側邊 224 4-8606-PF;Ghentf 13 ^54188 • · 19與側邊部23之間的空氣的吸弓丨力必須比吸弓丨存在於中 - 央區域17與中央部22之間的空氣的吸引力大。於此，由 於使該吸引力增加，減壓槽9係連接於減壓泵1 〇。即藉 由設置減壓槽9，確保存在於侧邊區域丨9與側邊部23之 間的空氣比存在於中央區域17與中央部22之間的空氣還 快速地被吸引的吸引容量◊然後，該吸引容量的確保在曝 光台2吸附膠片6之前，由於使用減壓泵1〇，減壓泵1〇 不會過負荷。 _ 如此，相較於連接於中央吸引口 13的第一減壓裴置， 連接於側邊吸引口 3的第二減壓裝置之吸引力變大。因 此’相較於中央吸引口 13的某中央部22吸引膠片6的中 央區域1 7的第一力’侧邊吸引口 3的某側邊部23吸引膠 片6的侧邊區域19的第二力較大。根據如此的構造，膠片 6的中央區域17藉由第一力可固定於曝光台2上，此時， 藉由夥片6的彎曲，從曝光台2浮起的膠片6的側邊區域 φ 19以比第一力強的第二力固定於曝光台2上。 而且’如第1圖所示，在曝光台2吸附膠片6之際， 若以送風機5朝向膠片6而在曝光台2的方向上吹出空氣 4’由送風機5所吹出的空氣4，將膠片6往曝光台2的方 向吹出。由於膠片6與曝光台2的間隔小，膠片6與曝光 台2之間的空氣的體積也變小，將膠片6吸引至曝光台2 的空氣的體積也變小。然後，可迅速地吸引與吸附。而且， 藉由吹附的壓力變高，可使彎曲的膠片6與曝光台2的表 面的形狀一致。吹附的壓力與吸引力統合，固定膠片6的 2244-8606-PF;Chentf 14 1354188 力變大，使膠片6平面狀地固定於曝光台2上》相反地， 僅就送風機5吹附的壓力而言，由於第一減壓裝置與第二 減壓裝置的吸引力變小，減壓泵1 〇、16的容量也變小。 〈其他膠片的例子〉 在以上的實施例中是以在兩側形成穿孔2〇的膠片6為 例。但是，膠片6有各式各樣的形狀。 第3a圖表示不具穿孔20的膠片6-1被曝光台2吸附 的狀態。如此，即使對於不具穿孔20的膠片6-1，仍可將 膠片6-1的外側（端部）的彎曲部分充分地吸附。在膠片 的情況下’側邊區域19為膠片6的全體寬度的左右各1〇% 以下的區域。 第3b圖表示具有二對穿孔2〇的膠片6-2以曝光台2 吸附的狀態。如此具有二對穿孔20的膠片6-2在膠片6_2 全體寬度的中央形成穿孔20。因此，如此即使對於不具穿 孔20的膠片6-1，仍可將膠片6-1的外側（端部）的彎曲部 分充分地吸附。 在此情況下，由於二對穿孔20位於膠片的中央，在誃 穿孔20的位置上，無法設置中央吸引口 13。因此，在一 對穿孔20之間的中央區域17上形成中央吸引口 13。a 〇。由於 根據用途不同而使用膠片6’曝光台20對應於膠片R认办 /门0的穿 孔20的配列，適當地取代適合於於膠片6的令止 六说口 13以及側邊吸引口 3。 〈曝光裝置的動作〉 接著，針對使用曝光裝置1的曝光方法做說明。而且， 2244-8606-PF;Chentf 15 1354188 · 膠片6為了可以輸送，從供給捲轴41經由導引滚子42、 44、48、50與搬運滚子45、47到捲繞捲轴51而張緊。又， 在該曝光方法中，可適用於膠片6、膠片6-1以及膠片6-2。 首先，如第4圖所示，在步驟S1中，以減壓泵10減 少減壓槽9的内部塵力。 在步驟S2中，設於曝光台2的側邊吸引口 3與減壓後 的減壓槽9之間的三向閥8被打開、。又，中央吸引口 13 與減壓泵16之間的三向閥15被打開。 在步驟S3中，首先即使在膠片6彎曲的情況下，曝光 台2與勝片6的間隙變小且中央吸引口 13開始吸引。之 後’側邊吸引口 3與周邊的空氣一起吸引膠片6。而且， 由於中央吸引口 13及側邊吸引口 3開始吸引，為了以送風 機5將膠片6密合於曝光台2，空氣4被吹至膠片6的吸 附面與其他面上。即，從送風機5吹出的空氣4將膠片6 推向曝光台2的方向。 • 在步驟S4中，與步驟S3同步，使減壓槽9的内部壓 力仍保持減壓但上升。若減壓槽9在減壓狀態T，則吸引 可繼續。 在步驟S5中，側邊吸引口 3及中央吸引口 13保持明 附膠片6的侧邊區域19與中央區域17的狀態。另__方面 在對位前，為了不使送風機5吹出的空氣4影響對位，而 停止從送風機5吹出空氣4。即，在曝光開始前停止㈣ 風機5吹出空氣4。此時，側邊吸引…中央吸引口 是位在吸引的狀態。 2244-8606-PF/Chentf 16 13M188 在步驟S6中’在使用控制部而進行對位之後，使用光 學部，照射光而對膠片6的一塊21進行曝光將光罩m的 電路圖案成像於被吸附的膠片6上。 在步驟S7中’關閉二向閥8、】5，側邊吸引口 3與中 央吸引口 13經由三向閥8、15連接於大氣，使側邊吸引口 3與中央吸引口 13内的壓力成為大氣壓。 在步驟S8中，以減壓泵1〇使減壓槽9的内部壓力保 持在減壓狀態下而降低，減壓槽9恢復可吸引的容量。 在步驟S9中，使用搬運部，僅搬運膠片6的一塊2卜 在步驟sio中，藉由裝置控制裝置38，判斷曝光次數 是否達到既定的次數。在曝光次數未達到既定次數的情況 下，返回步驟S2,達到既定次數之前，重複從步驟S2至 步驟S1G的迴圈。當曝光次數達到既定次數時，用曝光裝 置1結束曝光方法。雖然減壓槽9補強了減壓泵丨〇的吸引 力，當減壓槽9持續吸引空氣時，内部壓力會上升，減壓 槽9的吸引力會降低。於此，每曝光一塊21膠片，使用減 壓泵10使減壓槽9的内部壓力下降，使減壓槽9的吸引力 恢復。每次每塊21以大的吸引力膠片6吸附於曝光台2上。 以上’根據曝光裝置i，即使是薄而彎曲的膠片6，也 可穩定地搬運並固定於曝光台2上，由於在曝光後可確實 地捲繞’可將係為的圖案穩定地轉寫至膠片6上。 【圖式簡單說明】 第1圖為本發明之一實施形態的曝光裝置的侧視圖。 2244-8606-PF;Chentf 17 明 4188 第2a圖為膠片吸附於本發明之曝光裝置的曝光台上 的狀癌從背面方向觀看的透視圖。 第2b圖為膠片吸附於曝光台的狀態下從第2a圖的A-A 方向的剖視圖》 第3a圖至第3b圖為其他膠片的實施例，其他的膠片 吸附於曝光台的狀態。 第4圖為本發明之一實施形態的曝光方法的流程圖。
【主要元件符號說明】 1〜曝光裝置； 3〜側邊吸引口； 6〜膠片； 9〜減壓槽； 13〜中央吸引口； 16〜減壓系； 18〜穿孔區域； 20〜穿孔； 2 2〜中央部； 41〜供給捲軸； 43、49〜充氣容器； 4 6〜鉛直方向； 2〜曝光台； 5〜送風機； 8〜三向閥； 10〜減壓泵； 1 5〜三向閥； 1 7〜中央區域； 19〜側邊區域； 21〜塊； 23〜侧邊部； 42 ' 44、48、50〜導引滾子； 45、47〜搬運滾子； 51〜捲繞捲軸。 18 2244-8606-PF;Chentf