TWI359522B - - Google Patents

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TWI359522B
TWI359522B TW094102765A TW94102765A TWI359522B TW I359522 B TWI359522 B TW I359522B TW 094102765 A TW094102765 A TW 094102765A TW 94102765 A TW94102765 A TW 94102765A TW I359522 B TWI359522 B TW I359522B
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TW
Taiwan
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transparent conductive
dye
layer
conductive layer
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TW094102765A
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Inventor
Koji Kubo
Chiharu Hirose
Original Assignee
Teijin Dupont Films Japan Ltd
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Priority claimed from JP2004158976A external-priority patent/JP4456933B2/ja
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Description

1359522 (υ 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於色素敏化型太陽電池用層合薄 素敏化型太陽電池用電極與其製造方法。 【先前技術】 色素敏化型太陽電池,從使用色素敏化半導體 之光電轉換元件之提議(Nature第3 5 3卷,第73 7- ,(1991年))以來,已取代矽系太陽電池而爲受 新型太陽電池。尤以將塑膠薄膜用作支持體之色素 太陽電池,可予柔軟化、輕量化而多受探討。 【發明內容】 以塑膠薄膜用作支持體之色素敏化型太陽電池 難以形成多孔質半導體層於透明導電層上,難以確 導電層與多孔質半導體層之良好密合性。無法確保 密合性,則作爲太陽電池之光發電性能差。 本發明之目的在提供,可以製作透明導電層與 半導體層之密合性優良,光發電性能高之色素敏化 池的色素敏化型太陽電池用層合薄膜及色素敏化型 池用電極。 本發明之另一目的在提供’透明導電層與多孔 體層之密合性優良的色素敏化型太陽電池用電極之 法。 膜及色 微粒子 -740 頁 矚目之 敏化型 用者, 保透明 良好之 多孔質 太陽電 太陽電 質半導 造方 -4 - (2) 1359522 ' 亦即本發明係其特徵爲由聚酯薄膜及設於其一面之 • 明導電層所成,透明導電層之表面張力在40mN/ni以上 色素敏化型太陽電池用層合薄膜。 本發明並係,上述色素敏化型太陽電池用層合薄膜 設於其透明導電層上的多孔質半導體層所成之色素敏化 太陽電池用電極。 本發明更係,其特徵爲於2 00 °C經10分鐘處理時薄 φ 長方向及寬方向之熱收縮率之差的絕對値在0.8 %以下 聚酯薄膜的一面形成透明導電層,於其上以金屬氧化物 17 0〜2 5 0 °C燒附形成多孔質半導體層之色素敏化型太陽 池用電極之製造方法。 【實施方式】 以下詳細說明本發明。 φ <聚酯薄膜> <聚酯> 本發明中,構成聚酯薄膜之聚酯係由芳香族二元酸 其酯形成性衍生物及二醇或其酯形成性衍生物合成之線 飽和聚酯。 該聚酯之具體例有聚對酞酸乙二酯、聚異酞酸乙二 、聚對酞酸丁二酯、聚(1,4-環己二亞甲基對酞酸酯 、聚2,6-萘酸乙二酯。其中,聚對酞酸乙二酯、聚2, 萘酸乙二酯因力學物性及光學物性等之均衡良好而佳。 透 之 及 型 膜 之 於 電 或 狀 酯 ) 6 - 尤 -5- (3) 1359522 熱 加 小 率 縮 收 熱 高 度 強 械 機。 因佳 醒最 二而 乙少 酸量 萘生 6 產 ’ 物 2聚 聚低 以時 聚酯可係單聚物或共聚物,以單聚物爲佳。聚酯係共 聚物時’共聚成分以全部二羧酸成分或全部二醇成分之3 莫耳%以下的比率爲佳。 使用共聚成分時’二羧酸成分有例如酞酸、2,6·萘 二甲酸之芳香族二羧酸;己二酸、壬二酸 '癸二酸、1, φ 10 -癸二酸之脂肪族二羧酸。二醇成分有例如1,4 -丁二醇 、1 ’ 6 -己二醇、新戊二醇之脂肪族二醇;1,4 -環己二甲 醇之脂環族二醇。 聚酯可依習知方法製造。可例如以使二羧酸與二醇反 應直接得低聚合度聚酯之方法製造。又可依使二羧酸之低 級烷基酯與二醇用酯交換觸媒作酯交換反應,繼之於聚合 觸媒之存在下進行聚合反應得聚酯之方法製造。此際,酯 交換反應觸媒可用,例如鈉、鉀、鎂、鈣、鋅、緦、鈦、 φ 鉻、錳、鈷。聚合觸媒可用例如三氧化銻、五氧化銻、二 氧化鍺 '鈦酸四乙酯、鈦酸四丙酯、鈦酸四苯酯、草酸鈦 銨、草酸鈦鉀、鈦參乙醯丙酮根。 使之作酯交換反應,繼之進行聚合反應時,聚合反應 前以添加磷化合物使酯交換觸媒失活爲佳。該磷化合物可 用例如磷酸三甲酯、磷酸三乙酯、磷酸三正丁酯、正磷酸 聚酯之固有黏度以〇.40dl/g以上爲佳,0.4〇~〇.9〇dl/g 更佳。未達0.40dl/g則多有步驟切斷發生,超過〇.9dl/g (4) (4)1359522 則難以熔融擠出,聚合時間長,不經濟而不佳》 本發明之聚酯薄膜,以實質上不含粒子爲佳。含粒子 則有損於高透明性,表面粗面化難作透明導電層之加工。 <紫外線吸收劑> 本發明中之聚酯薄膜以含紫外線吸收劑爲佳。紫外線 吸收劑以用下述式(I )之化合物爲佳。
(式中R]1係2價芳香烴餘基,Y>、Y2係碳原子數1〜1() 之烷基、碳原子數1〜3之烷氧基、鹵素、碳原子數2〜4之 醯基。) 紫外線吸收劑以式(I )化合物中之2,2'-對苯雙(3 ,1-苯並噁畊-4-酮)、2,21-對苯雙(6-甲-3,I-苯並囉 畊-4-酮)、2,2f-對苯雙(6-氯- 3,1-苯並噁畊-4-酮)、 2,2’-(4,4、二伸苯)雙(3,1-苯並噁畊-4·酮)及2, 2^ ( 2,6-伸萘)雙(3,1-苯并噁畊-4-酮)爲佳。 紫外線吸收劑之含量係,聚酯薄膜之聚酯每1〇〇重量 %,以0_1〜5重量%爲佳,0.2〜3重量%更佳。未達0.1 %則 波長370nm之光線透射率無法充分下降,超過5重量%貝|」 波長400nm之光線透射率不充分提高故不佳。 紫外線吸收劑可依例如,於聚酯之聚合步驟添加之方 (5) 1359522 法’薄膜製膜前之熔化步驟中混練於聚酯聚合物之方法, 浸滲於薄膜之方法,使之含於聚酯薄膜。其中較佳者爲, 薄膜製膜前之熔化步驟中混練於聚酯聚合物之方法。使用 該方法可防聚酯之聚合度下降。紫外線級收劑之混練於聚 酯聚合物’可依化合物粉體之直接添加法,母料法進行。 <光學特性> φ 本發明中之聚酯薄膜,波長370 nm之光線透射率以 3 %以下爲佳,2%以下更佳,且波長40 〇nm之光線透射率 以7 0%以上爲佳,75%以上更佳。波長3 70ηπι之光線透射 率超過3 %則紫外線遮蔽效果不足,製成色素敏化型太陽 電池時,歷時光發電效率下降而不佳。波長4 OOnm之光線 透射率未達70 %則因有助於光發電之可見光量下降,不得 充分之光發電效率故不佳。 本發明中,聚酯薄膜之霧度,爲以更佳效率進行光發 • 電’以1 .5%以下爲佳,1 ·0%以下更佳,0.5%以下尤佳。 <熱收縮率> 本發明中,聚酯薄膜於2 00 °C經10分鐘處理,薄膜長 方向與寬方向熱收縮率差之絕對値,以0.8%以下爲佳, 0.5°/。以下更佳,0.3 %以下尤佳。熱收縮率差之絕對値超過 0.8%則層合薄膜之透明導電層,與其上之多孔質半導體的 密合性差,製成色素敏化型太陽電池時不得充分之光發電 性能而不佳。 -8 - (6) (6)
1359522 本發明中,聚酯薄膜於2 00 °C經10分鐘處理, 方向之熱收縮率以0〜0.5%爲佳,0~0.3%更佳。長 熱收縮率超過0.5%則因熱處理層合薄膜之聚酯薄 明導電層之密合差,且透明導電層與其上之多孔隻 層的密合差,故不佳。 <表面粗度•厚度> 本發明中,聚酯薄膜之三維中心線平均粗度存 皆爲 0·000 1 〜0.02μπι 爲佳,0.0001~0.01 5μπι 0.0 0 0〗〜0.0 1 Ομιη尤佳。並且,以至少一面之三維cf 均粗度爲 0.000 1 〜0·005 μπι 爲佳,0.0 005〜0·004μπι 聚酯薄膜之厚度以10〜5 00μιη爲佳,20~400μιη 50〜3 00μηι尤佳。在該範圍,則透明導電層易於力丨 • <聚酯薄膜之製造方法> 具有上述特性之聚酯薄膜,可依例如下述方S 玻璃轉移溫度略作Tg。 本發明中,聚酯薄膜可將聚酯熔融擠出成薄膜 鑄輥冷卻固化成未延伸薄膜,將該未延伸薄膜在 Tg + 60) °C於長方向作1次或2次以上,合計倍率 〜6倍之延伸,然後在Tg〜(Tg + 60 ) °C於寬方向作 3〜5倍之延伸,必要時更於1 8 0 °C ~2 5 5 °C熱處理]~ 得。 薄膜長 方向之 膜與透 半導體 以兩面 €佳, 心線平 更佳。 更佳, 工故佳 製造。 狀,以 Tg~ ( 爲3倍 倍率爲 60秒而 -9- (7) (7)1359522 尤以聚酯薄膜長方向與寬方向熱收縮率之差,及長方 向熱收縮十分小,熱處理步驟中使之於縱向收縮,或將薄 膜於懸垂狀態作鬆弛熱處理即佳。熱處理步驟中使之於縱 向收縮之方法可用日本專利特開平57-57628號公報所記 載之方法。將薄膜於懸垂狀態作鬆弛熱處理之方法可用特 開平1-275031號公報記載之方法。 <透明導電層> 透明導電層可用導電性金屬氧化物,例如氟摻雜氧化 錫、銦-錫複合氧化物(IΤ Ο )。亦可用金屬之薄膜,例如 鉑、金、銀、銅'鋁。又,可用碳材料。 透明導電層可用1種’亦可層合2種以上使用,亦可 複合化使用。其中銦-錫複合氧化物(IΤ Ο )因光線透射率 高、電阻低而尤佳。 透明導電層之表面張力係40mN/m以上,65mN/m以 上較佳。表面張力未達40mN/m則透明導電層與多孔質半 導體之密合性差。表面張力在6 5 mN/m以上則經水性塗液 之塗敷多孔質半導體層之形成容易故佳。透明導電層之表 面張力實用上之上限係,完全水系塗劑易於塗敷之 75mN/m 左右。 透明導電層的表面電阻之範圍,以Ι00Ω/□以下爲佳 ’ 40Ω/□以下更佳。超過100Ω/□則電池內部電阻過大 ,光發電效率下降故不佳。 透明導電層之厚度以100〜500nm爲佳。未達lOOnm -10 - (8) (8)1359522 則表面電阻値無法充分降低,超過5 00nm則光線透射率低 且透明導電層易裂而不佳。 上述表面張力可依下述任一方法活化透明導電層之表 面而得。亦即,以酸性或鹼性溶液處理而活化之方法,以 紫外線或電子束照射而活化之方法,施以電暈處理或電漿 處理而活化之方法。其中,以電暈處理或電漿處理使表面 活化之方法,尤以電漿處理活化表面之方法,因可得高表 面張力而較佳。以電漿處理活化透明導電層表面時,可依 如下條件。亦即,使用常壓電漿表面處理裝置,在惰性氣 體或惰性氣體與氧之混合氣體的1〜2 00L/分鐘之氣流下, 以0·1〜〗0m/分鐘於透明導電層表面施行電漿處理。惰性氣 體可用例如氮。 <易接著層> 本發明之層合薄膜中,爲提升聚酯薄膜與其上的透明 導電層之密合性,以於聚酯薄膜與透明導電層之間有易接 著層爲佳。易接著層之厚度以10〜200nm爲佳,20〜150nm 更佳。易接著層之厚度未達〗Οηπι則欠缺提升密合性之效 果,超過200ηηι則易接著層易起凝集破壞,密合性差而不 佳。 易接著層以於聚酯薄膜之製程中塗敷而設爲佳。該塗 敷係以對於定向結晶結束前之聚酯薄膜行之爲佳。結晶定 向結束前之聚酯薄膜含,未延伸薄膜,將未延伸薄膜於縱 向或橫向任一方向定向之一軸延伸薄膜,於縱向及橫向二 -11 - (9) 1359522 方向低倍率延伸定向之二軸延伸薄膜(最終,於縱向或橫 向再延伸結束定向結晶前之二軸延伸薄膜)。其中,以於 未延伸薄膜或一軸延伸薄膜塗敷易接著層組成物之水性塗 液’直接進行縱延伸及/或橫延伸得二軸延伸薄膜,將之 施以熱固定爲佳^ 易接著層以由對於聚酯薄膜及透明導電層二者具優良 接著性之材料構成爲佳。材料之具體例有聚酯樹脂、丙烯 醯樹脂、氨酯丙烯醯樹脂、矽丙烯醯樹脂、三聚氰胺樹脂 、聚矽氧烷樹脂。這些樹脂可以單獨使用,亦可混合2種 以上使用。 <硬塗層> 本發明之層合薄膜,爲提升聚酯薄膜與其上之透明導 電層之密合性,尤以提升密合之耐久性,以於易接著層與 透明導電層之間有硬塗層爲佳。硬塗層可於設有易接著層 # 的聚醋薄膜上塗敷硬塗構成材料,使之硬化而設。硬塗層 之構成材料可用,與易接著層及透明導電層二者具密合性 者。可用例如樹脂與無機粒子之混合物。樹脂可用例如丙 烧酿系樹脂、氨酯系樹脂、矽系樹脂、UV硬化系樹脂、 環氧系樹脂。無機粒子可用例如氧化鋁、氧化矽、雲母。 硬塗層之厚度以〇 〇 ]〜2〇μΓη爲佳,丨〜]〇μηι更佳。 <反射防止層> 月之層合薄膜’爲提升光線透射率而提高光發電 -12- (10) 1359522 效率,以於與透明導電層反側之面有反射防止層爲佳。 該反射防止層可單層形成或多層形成折射率不同於聚 酯薄膜之折射率的原料之層而設。單層之反射防止層者, 可用折射率小於基材薄膜之原料。多層反射防止層者以與 層合薄膜鄰接層原料使用折射率N大於聚酯薄膜之原料, 層合於其上之層的原料選擇折射率NVj、於N之原料爲佳 〇 φ 構成反射防止層之原料可用滿足上述折射率之關係的 有機材料及/或無機材料。有例如 CaF2、MgF2、NaAlF4、 Si02 、 ThF4 、 Zr02 ' Nd203 、 Sn02 、 Ti02 、 Ce02 、 ZnS 、 ln203之介電體。 層合反射防止層之方法可用例如乾塗法、濕塗法《乾 塗法可用例如真空蒸鍍法、濺鍍法、CVD法、離子鍍敷法 。濕塗法可用例如凹輥方式、逆向方式、模口方式。 亦可於層合反射防止層之前,於設反射防止層之面, # 施以電暈放電處理、電漿處理、濺餘處理、電子束照射處 理、紫外線照射處理、底塗處理、易接著處理等前處理。 <多孔質半導體層> 本發明之色素敏化型太陽電池用電極,係由上述色素 敏化型太陽電池用層合薄膜及設於其透明導電層上之多孔 質半導體層所成。多孔質半導體層係將金屬氧化物以 17 0~2 5 0°C燒附於透明導電層上而形成。金屬氧化物構成n 型半導體的多孔質半導體層。亦可使用這些氧化物多數複 -13- (11) 1359522 合之材料。 本發明中,爲形成多孔質半導體層,係於形成在聚酯 薄膜之一面的透明導電層上,於1 70〜250 °c將金屬氧化物 燒附以形成多孔質半導體層。此時,聚酯薄膜以使用2 00 艺經10分鐘處理後薄膜長方向與寬方向熱收縮率差之絕 對値在0.8%以下者。 金屬氧化物以用選自氧化鈦(Ti02 )、氧化鋅(ZnO φ )及氧化錫(Si02 )所成群之至少1種金屬氧化物爲佳。 燒附係爲半導體粒子相互之電子接觸的強化,與透明 導電層之密合性的提升而作。燒附條件以170〜250 °C下 1〜120分鐘爲佳,180〜230°C下 3〜90分鐘更佳,190〜220 乞下5〜60分鐘尤佳。施行該燒附,可防聚酯薄膜因加熱 而變形,並縮小多孔質半導體層之電阻上升。燒附溫度未 達17CTC則無法充分強化半導體微粒子之電子接觸,製成 色素敏化型太陽電池時光發電效率低。超過2 5 0 °C則聚酯 φ 薄膜因加熱之變形顯著,透明導電層與多孔質半導體層之 密合力低。 該多孔質半導體層具有半導體超微粒之燒結或熔著構 造。該超微粒之粒徑,一次粒子之平均粒徑係以5〜10〇ηΐΏ 爲佳,5〜50nm尤佳。 半導體之超微粒亦可係粒徑分布不同之2種以上微粒 的混合物。爲使入射光散射而提升光捕捉率,亦可混合大 粒徑之半導體粒子。該半導體粒子可用例如一次粒子之平 均粒徑在300nm左右者。 -14 - (12) 1359522 構成多孔質半導體層之半導體 凝膠法、氣相熱分解法(參考2 001 行,柳田祥三監修「色素敏化太陽1 1 995年技術情報協會發行「溶膠-凝 j調製。 爲調製半導體超微粒之分散液, 微粒作爲化學反應之共沈澱產物析tt 射、機械式粉碎成超微粒而分散之方 多孔質半導體層以由塗敷法形试 爲,將含半導體超微粒之分散液塗憝 電層之上,加熱乾燥,將多孔質半導 層上。 分散媒體係用水或有機溶劑。分 量添加例如聚乙二醇、羥乙基纖維素 聚合物、界面活性劑、酸或螯合劑作 液。 半導體超微粒之分散液係以半 lm2 〇·5〜5〜20g/m2之量塗敷爲佳,5〜 依目前慣用於塗敷加工之任意方法爲 、浸沾法、氣刀法、刮刀法、線棒法 幕塗法。又’亦可用泛用機之旋塗法 版、平版及凹版三大印刷法爲首的凹 之濕式印刷塗敷。從這些之中,隨液 佳製膜方法即可。 i微粒可依習知溶膠-年技術教育出版社發 :池之基礎及應用」或 膠法之薄膜被覆技術 亦可採用,溶劑中使 之方法,以超音波照 法。 爲佳。亦即,較佳者 於層合薄膜的透明導 體層固定於透明導電 散之際,必要時可少 、羧甲基纖維素等之 爲分散助劑製作分散 導體微粒以支持體每 1 Dg/m2更佳。塗敷可 之。可用例如輥塗法 、滑斗法 '擠出法、 、寬塗法。亦可用凸 版、橡膠版、網印等 體黏度、濕厚選擇較 -15- (13) (13)1359522 多孔質半導體層以形成爲1~30μηι之厚度爲佳, 2〜ΙΟμιη更佳’ 2~6μιη尤佳。在該範圍即可得高透明度。 亦可對於多孔質半導體層,以其超微粒強力吸收之光 ,例如紫外線照射,以微波照射,進行超微粒間物理接合 之加強處理。 載持多孔質半導體之透明導電層,爲防與相反極之電 短路’亦可預先於透明導電層之上設底塗層。此時,底塗 層之膜厚以5〜lOOOnm爲佳,10~500nm尤佳。底塗層原料 以用Ti02、Sn02、ZnO、Nb205爲佳,Ti02尤佳》底塗層 可依仿!|$口 Electrochim Acta 40, 643~652 ( 1995)言己載之 噴霧熱解法、濺鍍法設置。 <色素敏化型太陽電池之製作> 爲使用本發明之色素敏化型太陽電池用電極製作色素 敏化型太陽電池,可以利用有關色素敏化型太陽電池之製 造的習知方法。可用例如以下方法。 (1 )電極A之製造 使色素吸附於本發明之電極的多孔質半導體層。亦即 ,將釕聯吡啶系錯合物(釕錯合物)爲代表之有機金屬錯 合物色素、菁系色素、香豆素系色素、D山喔系色素、卟 啉系色素等,具有吸收可見光範圍及紅外光範圍之光的特 性之色素、溶解於乙醇、甲苯等溶劑製成色素溶液,將多 孔質半導體層浸泡於該色素溶液,或以該色素溶液噴霧或 -16- (14) 1359522 塗敷於多孔質半導體層。 (2)電極B (相反極)之製造 於本發明之層合薄膜之透明導電層側以濺鍍法形成薄 館層作爲相反極。 (3)電極之壓合 將上述電極A及電極B插入熱壓合性聚乙烯薄膜製框 型隔片(厚度20μιη)疊合,將隔片部加熱到120°C使彼等 壓合。所得構成體之邊緣部以環氧樹脂接著劑密封。 (4 )電解質之注入 通過預先設在上述構成體之角落部的電解液注入用小 孔,注入含碘化鋰及碘(莫耳比3 : 2 )以及間隔物,3重 量°/❶之平均粒徑20μηι的尼龍粒之電解質水溶液。然後, # 將內部充分脫氣’最後以環氧樹脂接著劑封合小孔。 使用本發明之色素敏化型太陽電池用層合薄膜及色素 敏化型太陽電池用電極,可依例如上述方法,製造色素敏 化型太陽電池。 實施例 其次舉實施例更詳細說明本發明。例中各特性値係依 以下方法測定。 -17 - (15) (15)1359522 (1 )固有黏度 固有黏度7? (dl/g)係以35°c之鄰氯酚溶液測定算出。 (2)薄膜厚度 使用測微計(ANRITSU (股)製K_402 B型)於薄膜 之連續製膜方向及寬方向各以1 Ocm間隔測定,全部測得 300處薄膜厚度。算出所得3 00處薄膜厚度之平均値作爲 薄膜厚度。 (3 )熱收縮率 溫度設定於200°C之烘箱中保持薄膜於無緊繃狀態10 分鐘,以薄膜長方向(MD)及寬方向(TD)各於加熱前 後之尺寸變化依下式算出作爲熱收縮率,求出長方向( MD)及寬方向(TD)之熱收縮率。
熱收縮率=((LO-L) /L0) xlOO 其中L0 :熱處理前標點間之距離,L :熱處理後標點 間之距離 (4 )塗層厚度 將小片薄膜包埋於環氧樹脂(REFINETEC (股)製 EPOMOUNT )中,使用 Reichert-Jung 公司製之 Microtome 2050切成各包埋樹脂厚度5 Onm,以穿透型電子顯微鏡( -18 - (16) 1359522 LEM-2000)於加速電壓10 0KV,倍率10萬倍觀察,測定 塗層厚度。 (5 )表面電阻値 使用4探針式表面電阻率測定裝置(三菱化學(股) 製,LORES TER GP )任意測定5次,以其平均値用作代表 値。 (6 )表面張力 表面張力係使用接觸角計(協和界面科學公司製, CA-X型)於25°C、50%RH之條件測定水及二碘甲烷對於 透明導電性薄膜之接觸角0w、0y;使用這些測定値如下 算出透明導電性薄膜之表面張力v s。 透明導電性薄膜之表面張力v s係分散性成分v sd g 極性成分U Sp之和。亦即, v s=v sd+v sp (式 1) 由 Young ϊζ v s = v sw+v w· COS0W (式 2) v s=v sy+v y · cos0 y (式 3) 其中V sw係透明導電性薄膜與水間之工作張力、 V SW係透明導電性薄膜與二碘甲烷間之工作張力,V W係 水之表面張力,V y係二碘甲烷之表面張力。 -19- (17) 1359522 由Fowkes式-,得 v sw= v s+ ν νν·2χ( v sd · v wd)l/2-2x( v sp · v wp)l/2 v sy= v s+ v y-2x( v sd · v yd)l/2-2x( v sp · v yp)l/2 。其中vwd係水的表面張力之分散性成分 表面張力之極性成分,v yd係二碘甲烷表面 0 成分,vyp係二碘甲院表面張力之極性成分 解式1〜5之聯立方程式,即可算出透明 表層張力vs=vsd+x>sp。此時採用,水之衰 ):72.8mN/m,二碘甲院之表面張力(vy ,水表面張力之分散性成分(v wd ) : 21 面張力之極性成分(vwp) : 51.0mN/m, 張力之分散性成分(vyci) : 49.5mN/m,二 力之極性成分(vyp) : 1.3mN/m。 (7 )多孔質半導體層之密合性 多孔質半導體層表面以紗布經50g/cin2 ,依指標評估剝離程度。不見剝離者爲〇, 爲△,完全剝離者爲X。 (8 )光發電效率 形成2 5 m m2大之色素敏化型太陽電池, 光100mW/Cm2照射下測定Ι-V,求出斷路電 (式4) (式5) ,V wp係水的 張力之分散性 〇 導電性薄膜之 I面張力(v w ):50.5mN/m • 8 m N / m,水表 二碘甲烷表面 碘甲烷表面張 之重壓5往返 見部份剝離者 AM1 .5準太陽 壓,短路電流 -20- (18) (18)1359522 密度、曲線因子、光發電效率。測定係使用分光計器製 CEP-2000型分光感度測定裝置。 (9) Ι·ν特性(光電流-電壓特性) 形成25mm2大之色素敏化型太陽電池’依以下方法算 出光發電效率。於500W之氙燈(USIO電氣公司製)裝上 太陽光模擬用校正濾光器(ORIYEL公司製AM 1.5 Global ),對於上述光發電裝置,以入射光強度爲1 OOmW/em2 之模擬太陽光,多樣變化相對於水平面之入射角度作照射 。系統係靜置於室內,氣溫1 8 °C '濕度5 0 %之環境下。使 用電流電壓測定裝置(KAYSRAY製 SOURCE MEASURE UNIT 2 3 8型),將施加之DC電壓以10mV/秒之定速掃描 系統,計測元件輸出之光電流,測定光電流-電壓特性, 算出光發電效率。 (1 〇 )耐候促進試驗 使用日照耐候儀(SUGA試驗機(股)製,WEL-SUN-HCL型),依JIS-K-6783照射1000小時作曝晒促進 試驗。
實施例I (丙烯醯水分散體之調製) 於四口燒瓶饋入界面活性劑月桂磺酸鈉3重量份及離 子交換水1 8 1重量份,氮氣流下升溫至6 0。(:。其次添加聚 -21 - (19) (19)1359522 合引發劑過硫酸銨0.5重量份及亞硝酸氫鈉〇·2重量份。 其次滴入單體:甲基丙烯酸甲酯30.1重量份、2-異丙烯· 2-噁唑啉21.9重量份、聚氧化乙烯10)甲基丙烯酸 39.4重量份及丙烯醯胺8.6重量份之混合物。滴入係一面 調整反應系之液溫於60〜70 °C爲之,耗時3小時。滴入結 束後更以2小時保持反應系之液溫於60〜70°C之範圍一面 攪拌,繼續反應。其次冷卻得固體成分35重量%之丙烯醯 水分散體。 (氧化矽塡料水分散體之調製) 製作含有氧化矽塡料(日產化學(股)製,商品名 SNOWTEX ZL,平均粒徑1 〇〇nm ) 0.2重量%,潤濕劑聚氧 乙烯(n = 7 )月桂醚(三洋化成(股)製,商品名 NANOACTYN-70) 0.3重量%之氧化矽塡料水分散體。 (塗劑A之調製) 混合丙烯醯水分散體15重量份及氧化矽塡料水分散 體85重量份,調製塗劑A。 (薄膜用聚酯之製作) 使萘2, 6-二甲酸二甲酯1〇〇重量份及乙二醇60重量 份,以乙酸錳四水鹽0.03重量份用作酯交換觸媒,將反 應系之溫度由150°C慢慢升溫至2 3 8 °C—面於120分鐘進 行酯交換反應。當中,反應溫度達1 70°C時,添加三氧化 -22 - (20) 1359522 銻0.024重量份。酯交換反應結束後,以磷酸三甲酯之乙 二醇溶液添加磷酸三甲酯0.023重量份。磷酸三甲酯之乙 二醇溶液係,磷酸三甲酯於乙二醇中在135 °C 5小時, 0.11〜0_16MPa之加壓下加熱處理預先調製。將這些移入聚 合反應器’升溫至290 °C在27Pa以下的高真空下進行聚縮 合反應。得實質上不含粒子之聚2,6 -萘二甲酸乙二酯聚 合物(固有黏度〇.63dl/g )。 (二軸延伸薄膜之製作) 將該聚2,6-萘二甲酸乙二酯聚合物以粒料形態於 17〇°C乾燥6小時供給於擠出機料斗,以熔融溫度3 05 t熔 •化以平均網孔1 7μιη之不銹鋼細絲濾器過濾通過3mm之隙 狀模口,擠出於表面溫度60 °C之旋轉冷卻鼓上驟冷,得未 延伸薄膜。該未延伸薄膜於l2〇°C預熱,於低速輥與高速 輥之間從15mm上方以8 5 0 °C之IR加熱器加熱,於縱向延 φ 伸3.2倍,得縱延伸薄膜。於該縱延伸薄膜之一面,將預 先調製之塗劑A以輥塗機塗敷形成易接著層。此際調節塗 劑A之塗敷量,使乾燥後易接著層之厚度爲〇.2 μηι。將該 薄膜供給於拉幅機,140°C下於橫向延伸3.4倍,再以244 °C 5秒作熱固定,得具有易接著層之二軸延伸薄膜。該薄 膜固有黏度〇.59dl/g,厚度125μηι,於200°C熱處理10分 鐘時長方向之熱收縮率爲0.5 8%,寬方向之熱收縮率爲 0.12%,長方向與寬方向熱收縮率之差爲〇.46%。 -23- (21) 1359522 (硬塗層之形成) 具有該易接著層之二軸延伸薄膜的易接著層上,以 UV硬化性硬塗劑(JSR製,商品名DESOLITE R7501)塗 敷成厚度約5μιη,以紫外線照射硬化,形成硬塗層。得具 有硬塗層之層合薄膜。 (透明導電層之形成)
φ 於上述層合薄膜的硬塗層上,形成膜厚4 0 Onm之I TO 透明導電層。透明導電層之形成係以使用ITO標靶(錫濃 度以二氧化錫換算係1 0重量% )之直流磁控管濺鍍法爲之 。具體而言,電漿放電前將處理室內排氣至5x1 (T4Pa後 ,於處理室內導入氬及氧之混合氣體(氧濃度0.5體積% )使壓力爲〇.3Pa,於ITO標靶施加1000W爲之。所得透 明導電層之表面電阻値爲20 Ω /□。 其次,使用常壓電漿表面處理裝置(積水化學工業製 • AP-T03-L),氮氣流下(60L/分鐘),以lm/分鐘於透明 導電層表面施以電漿處理。電漿處理後透明導電層之表面 電阻値爲22Ω/□,表面張力72.3mN/m» (反射防止層之形成) 於層合薄膜之另一面(該面無透明導電層)形成厚 75nm折射率1.89之Y203層,於其上形成厚12〇nm折射 率2.3之Ti02層,更於其上形成厚90nm折射率].46之
Si 02層。這些層具反射防止層之作用。這些層係各以高頻 -24- (22) 1359522 濺鍍法形成,皆於真空度1 xlO-3 Torr,氣體入!··· 55sccm、〇2: 5sccm之流通下形成。其間不加熱不冷卻, 直接於室溫爲之。 (多孔質半導體層之形成) 於層合薄膜的透明導電層上,以棒塗機塗敷低溫形成 型多孔質二氧化鈦層形成用糊(昭和電工製,商品名SP-φ 200 ),大氣中於18(TC熱處理30分鐘,形成多孔質二氧 化鈦層。此際,調節塗敷量使多孔質二氧化鈦層之厚度爲 5μπι。得層合薄膜的透明導電層上具有多孔質二氧化鈦層 之色素敏化型太陽電池之電極。作該電極的多孔質半導體 -層之密合性評估,全不見剝離,評估爲〇》 (色素增感型太陽電池之製作) 將該電極浸泡於釘錯合物(Ru535 bis ΤΒΑ, φ Solaronix製)之300μΜ乙醇溶液中24小時,使釕錯合物 吸附於光作用電極表面。 另於層合薄膜的透明導電層上以濺鍍法沈積Pt膜, 得對置電極。 將該電極及該對置電極,介著熱壓合性聚乙烯薄膜製 框型隔片(厚20μπ〇疊合,隔片部以】20°C加熱,壓合電 極與對置電極。邊緣部以環氧樹脂接著劑密封。 將電解質液(含0.5M之碘化鋰、〇·〇5Μ之碘、0.5M 之三級丁吼啶以及平均粒徑2 0 μ m之尼龍粒3重量%之3 · -25- (23) 1359522 甲氧丙腈溶液)注入,以環氧系接著劑密封,得色素敏化 型太陽電池。該色素敏化型太陽電池經I-V特性(有效面 積25mm2 )評估,貝IJ斷路電壓爲0.72V,短路電流密度 6.3mA/cm2,曲線因子0.72,光發電效率3.2%。 實施例2、3及參考例1 除在二軸延伸薄膜的製作時,如表1變更縱延伸倍率 、橫延伸倍率、熱固定溫度以外,如同實施例1得層合薄 膜。用之如同實施例1製作電極,並製作色素敏化型太陽 電池。評估結果如表1。
表 I 實施 例1 實施 例2 實施 例3 參考 例1 縱延伸倍率 3.2 3 Π 3.4 3.2 橫延伸倍率 3.4 3.1 3 .3 熱固定溫度°c 244 245 24 0 2 3 5 2 00°C 縱向 0.58 0.3 6 0.84 1.2 1 1 〇分間熱處理之熱 橫向 0.12 0.08 0.3 1 0.35 收縮率 % 差 0.46 0.28 0 5 3 0 8 6 多孔質半導體層之密合性 〇 〇 〇 △ 光發電效率 % 3.2 3.4 2.8 1.8
實施例4 -26- (26)1359522 (丙烯醯水分散體之調製) 如同實施例1調製丙烯醯水分散體。 (氧化矽塡料水分散體之調製) 如同實施例1調製氧化矽塡料之水分散體。 (塗劑B之調製) φ 混合聚酯水分散體10重量份、丙烯醯水分散 量份及氧化矽塡料水分散體85重量份,調製塗劑 (二軸延伸薄膜之製作) 對酞酸 2 0〇C 之 將含下式(A )之紫外線吸收劑1重量%之夏 乙二酯(固有黏度〇.65dl/g)熔化,擠出於維持在 旋轉冷卻鼓上驟冷,得未延伸薄膜。
(A) 將該未延伸薄膜在]00°C於縱向延伸爲3.4 塗機均勻塗敷塗劑B於其兩面,得具有塗劑B之 的縱延伸薄膜。其次,於95 °C將該縱延伸薄膜ί 】2 0 °C於橫向延伸爲3.7倍,更以2 2 〇 °C使於縱向 -29- ,以輥 接著層 燥,在 收縮3 % (27) 1359522 作熱固定,得具有易接著層之二軸延伸 伸薄膜厚125μηι,易接著層厚0.08μπι, 之光線透射率爲0.5%,400nm之光線透 (硬塗層之形成) 於具有該易接著層之二軸延伸薄膜 以UV硬化性硬塗劑(JSR製,商品名 φ )塗敷至厚約5 μηι以紫外線照射硬化形 硬塗層之層合薄膜。 (透明導電層之形成) 於上述層合薄膜之硬塗層上形成膜 透明導電層。透明導電層之形成係如同: 得透明導電層之表面電阻値爲1 5 Ω /□。 其次,於透明導電層表面,如同實:! φ 理。電漿處理後透明導電層之表面電阻 面張力7〇.5mN/M。 (反射防止層之形成) 於層合薄膜之另一面(該面無透曰, 80nm折射率1.75之1'丨05(層,於其上形 2.1之Ti〇2層,更於其上形成厚95nm Si 02層。這些層具有反射防止層之作用 頻濺鍍法形成,皆係於真空度5 X 1 0_4 薄膜。所得二軸延 薄膜於波長370nm 射率爲83.9%。 的易接著層之上, DESOLITE R75 0 1 成硬塗層。得具有 厚 400nm 之 ITO t施例1進行。所 拒例1施以電漿處 値爲1 6 Ω / □,表 3導電層)形成厚 成厚70nm折射率 之折射率1 · 4 5的 。這些層各係以高 Torr,氣體 Ar : -30- (33) (33)1359522 (聚酯水分散體之調製) 將對酞酸二甲酯92重量份、異酞酸二甲酯12重量份 、5-鈉磺酸基異酞酸17重量份、乙二醇54重量份及二乙 二醇62重量份饋入反應器,於其添加四丁氧鈦0.05重量 份,在氮環境下將溫度控制爲2 3 (TC而加熱,餾除生成之 甲醇一面進行酯交換反應。其次將反應系之溫度慢慢上升 至2 5 5 °C,系內減壓爲lmmHg進行聚縮合反應,得聚酯。 將該聚酯25重量份溶解於.四氫呋喃75重量份成溶液。於 所得溶液在1 0000轉/分鐘之高速攪拌下滴入水75重量份 ,得乳白色分散體,其次將該分散體於2 OmmHg之減壓下 蒸餾,餾除四氫呋喃,得固體成分25重量%之聚酯水分散 體。 (丙烯醯水分散體之調製) 於四口燒瓶饋入界面活性劑月桂磺酸鈉3重量份及離 子交換水181重量份,氮氣流下升溫至6 0 °C。其次添加聚 合引發劑過硫酸銨0.5重量份及亞硝酸氫鈉0.2重量份》 其次滴入單體:甲基丙烯酸甲酯70重量份、丙烯酸乙酯 25重量份及N-羥甲基丙烯醯胺之混合物。滴入係將液溫 調整爲60〜70°C —面以3小時爲之。滴入結束後更保持反 應系之液溫於60~70°C之範圍,一面攪拌2小時繼續反應 。其次,冷卻得固體成分35重量%之丙烯醯水分散體。 (氧化矽塡料水分散體之調製) -36- (34) 1359522 添加氧化矽塡料(平均粒徑:】〇〇nm )(日產化學( 股)製’商品名SNOWTEX ZL ) 0.3重量%,潤濕劑聚氧 乙烯(n = 9 )月桂醚(花王(股)製,商品名EMULGEN 1 0 9 P ) 0 · 4重量%製作水分散體。 (塗劑C之調製)
混合上述聚酯水分散體10重量份、丙烯醯水分散體3 重量份及氧化矽塡料之水分散體87重量份,調製塗劑C (聚酯水分散體之調製) 將2,6_萘二甲酸二甲酯66重量份、異酞酸二甲酯 47重量份、5-鈉磺酸基異酞酸二甲酯8重量份、乙二醇 54重量份及二乙二醇62重量份饋入反應器,於其添加四 丁氧鈦0.05重量份,在氮環境下控制溫度爲23 0 °C加熱, φ 餾除生成之甲醇一面進行酯交換反應。其次將反應系之溫 度慢慢上升至255 °C將系內減壓爲ImmHg進行聚縮合反應 得聚酯。將該聚酯25重量份溶解於四氫呋喃75重量份成 溶液。於所得溶液在10000轉/分鐘之高速攪拌下滴入水 75重量份得乳白色分散體,其次將該分散體於2 Omni Hg之 減壓下蒸餾,飽除四氫呋喃,得固體成分25重量%之聚酯 水分散體。 (丙烯醯水分散體之調製) -37 - (35) 1359522 如同實施例1調製丙烯醯之水分散體。 (氧化矽塡料水分散體之調製) 如同實施例1調製氧化矽塡料水分散體。 (塗劑D之調製) 混合上述聚酯水分散體8重量份,丙烯醯水分散體7 φ 重量份及氧化矽塡料水分散體85重量份,調製塗劑D。 (薄膜用聚酯之製作) 如同實施例1,製造薄膜用聚酯,聚2,6 -萘二甲酸 乙二酯。該聚2,6-蔡二甲酸乙二酯固有黏度〇.62dl/g, 係實質上不含粒子之聚合物。 (二軸延伸薄膜之製作) φ 將該聚2,6-萘二甲酸乙二酯聚合物,於粒料狀態以 1 7 0 °C乾燥6小時供給於擠出機料斗,於熔融溫度3 0 5 °C熔 化以平均開孔1 7μηι之不銹鋼細絲濾器過濾通過3mm之隙 狀模口,擠出於表面溫度60 °C之旋轉冷卻鼓上驟冷得未延 伸薄膜。 該未延伸薄膜於]20 °C預熱在低速輥及高速輥之間從 15mm上方以850°C之IR加熱器加熱’於縱向延伸爲3.2 倍。得縱延伸薄膜。於該縱延伸薄膜之一面’以輥塗機塗 敷塗劑C形成易接著層。此際,塗劑A之塗敷量係調節爲 -38- (36) (36)1359522 乾燥後易接著層之厚度爲〇.〇8μπι。將該薄膜供給於拉幅 機以140 °C於橫向延伸爲3.3倍,更於2441熱固定5秒 ’得具有易接著層之二軸延伸薄膜。該薄膜固有黏度 〇.58dl/g,厚125μιη,經200°C,10分鐘熱處理長方向之 熱收縮率0.58°/。,寬方向熱收縮率ο υ%,長方向與寬方 向熱收縮率之差爲0.46%。 (透明導電層之形成) 於二軸延伸薄膜之另一面(該面無透明導電層),依 特開昭63-908號公報實施例6之方法,形成膜厚280nm 的ITO透明導電層。得具有透明導電層之二軸延伸薄膜。 該透明導電層之表面電阻値爲18Ω/匚1。 其次,使用常壓電漿表面處理裝置(積水化學工業製 AP-T03-L),氮氣流下(60L/分鐘)以lm/分鐘於.透明導 電層表面施以電漿處理。電漿處理後透明導電層之表面電 阻値爲18Ω/□,表面張力71.5mN/m。 (反射防止層之形成) 如同實施例1形成反射防止層。 (多孔質半導體層之形成) 於薄膜的透明導電層上,將低溫形成型多孔質二氧化 鈦層形成用糊(昭和電工製SP-2 00 ),以棒塗機塗敷,大 氣中於20(TC作30分鐘之熱處理,形成多孔質二氧化鈦層 -39- (37) 1359522 。此際,調節塗敷量使多孔質二氧化鈦層之厚度 得二軸延伸薄膜上具有多孔質二氧化鈦層之色素 陽電池之電極。就該電極評估多孔質半導體層之 全不見剝離,評估爲〇。 (色素敏化型太陽電池之製作) 將該電極浸泡於钌錯合物(Ru5 3 5 bisTBA, 製)之3 00μΜ乙醇溶液中24小時,使釕錯合物 作用電極表面。 另於上述二軸延伸薄膜之透明導電層上以濺
Pt膜製作對置電極。 使用該電極與對置電極,如同實施例1得色 太陽電池。所得色素敏化型太陽電池經I - V特性 積25mm2)評估,則斷路電壓爲0.71V,短路 7.1 mA/cm2,曲線因子0.68,光發電效率3.4%。 實施例11、1 2及參考例7 製作二軸延伸薄膜時,如表3變更縱延伸倍 伸倍率、熱固定溫度以外,如同實施例〗〇得二 膜。使用這些如同實施例1〇得電極與色素敏化 池。二軸延伸薄膜之縱向' 橫向於200。(:、10分 之熱收縮率及其差,多孔質半導體層之密合性、 型太陽電池之光發電效宇如表3。 爲 5 μηι。 敏化型太 密合性, S ο 1 ar on i X 吸附於光 鍍法沈積 素敏化型 (有效面 電流密度 率、橫延 軸延伸薄 型太陽電 鐘處理後 色素_敏化 -40- (38)1359522 表 3 實施例 10 實施例 μ 1 1 實施例 1 9 參考 例7 縱延伸倍率 倍 3.2 3.0 ------- 3.3 3 4 橫延伸倍率 倍 3.3 3.1 J . Η 3.2 244 244 熱固定溫JE 隻。C 238 9 *5 A 2 00 °C > 10 分鐘 之熱收縮 率 % 縱向 0.55 0.37 0.89 1 17 橫向 0.10 0.09 ----- 0.32 差 0.45 0.28 0.53 0.85 多孔質半導體層之 密合性 〇 〇 ---- 〇 △ 光發電效率 % 3.4 3.7 --^-- — 1 .5 實施例1 3
(二軸延伸薄膜之製作) 用以形成易接著層之塗劑改爲塗劑D以外,如同實施 例1 〇製作二軸延伸薄膜後,將薄膜於懸垂狀態以鬆弛率 0.9% ’以溫度205 °C熱鬆弛。所得二軸延伸薄膜於2〇〇°c 處理1〇分鐘之際薄膜長方向之熱收縮率爲0.13%’寬方 向之熱收縮率0.03%,長方向與寬方向熱收縮率之差爲 0.10% « (硬塗層之形成) 於該二軸延伸薄膜上,如同實施例】形成硬塗層,得 -41 - (39) 1359522 具有硬塗層之層合薄膜。 (透明導電層之形成) 於層合薄膜的硬塗層上,如同實施例1設透明導胃胃 。所得透明導電層之表面電阻値爲1 9 Ω /□。 其次,如同實施例1於透明導電層表面施以電漿處$ 。電漿處理後透明導電層之表面電阻値爲20 Ω/□,表_ 張力 71.8mN/m。 (反射防止層之形成) 於層合薄膜另一面(該面無透明導電層)如同實施例 1 〇形成反射防止層。 (多孔質半導體層之形成) 二氧化鈦糊塗敷後之熱處理溫度改爲220。(:以外如同 φ 實施例形成多孔質半導體層,製作色素敏化型太陽電 池之電極。經密合性評估,則全無剝離可見,評估爲〇。 (色素敏化型太陽電池之製作) 使用該電極如同實施例10製作色素敏化型太陽電池 。所得色素敏化型太陽電池,經I-V特性(有效面積 2 5mm2 )評估’則斷路電壓爲0.70V,短路電流密度 8.5mA/cm2,曲線因子〇.72,光發電效率4.3%。 -42 - (40) 1359522 實施例14、1 5及比較例8、9 實JS例I 13中,多孔質半導體層之熱處理溫度如表4 變更以外’如同實施例13製作電極。多孔質半導體層之 密&使用該電極製成之色素敏化型太陽電池的光發電 效率如表4。 表 4 實施 實施 實施 比較 比較 例13 例14 例15 例8 例9 多孔質半導體之 220 180 240 1 60 255 熱處理溫度°c 密合性評價 〇 〇 〇 〇 X 光發電效率 % 4.3 3.4 4.0 1 .9 氺 * 電極之變形顯著,無法製作電池。
φ 發明效果 根據本發明可以製作,透明導電層與多孔質半導體層 之密合性優良,光發電性能高之色素敏化型太陽電池,可以 提供色素敏化型太陽電池用層合薄膜、色素敏化型太陽電 池用電極以及其製造方法》使用該色素敏化型太陽電池用 層合薄膜及色素敏化型太陽電池用電極之太陽電池,作爲 色素敏化型太陽電池長久暴露於太陽光仍可保持高光發電 效率。依本發明之製造方法,可以製造透明導電層與多孔 質半導體層之密合性優良的色素敏化型太陽電池用電極。 -43 -

Claims (1)

1359522 第094102765號專利申請案中文申請專利範圍修正本 民國100年6月9日修正 十、申請專利範圍 1. 一種色素敏化型太陽電池用層合薄膜,其特徵爲係 由聚酯薄膜及設於其一面之透明導電層所成’與聚酯所設 置之側爲反對側之透明導電層之表面的表面張力在65 mN/m以上,於200°C經10分鐘處理時之薄膜於長方向及 寬方向之熱收縮率差之絕對値在0.8%以下。 2. 如申請專利範圍第1項之色素敏化型太陽電池用層 合薄膜,其中聚酯薄膜之’波長3 70nm之光線透射率在 3 %以下且400nm之光線透射率在70%以上》 3. 如申請專利範圍第1項之色素敏化型太陽電池用層 合薄膜,其中聚酯薄膜之,於200°C經處理1〇分鐘時薄膜 長方向之熱收縮率爲〇〜0.5%。
4. 如申請專利範圍第1項之色素敏化型太陽電池用層 合薄膜,其中聚酯薄膜與透明導電層之間更具有,層厚度 10〜200nm之易接著層。 5. 如申請專利範圍第1項之色素敏化型太陽電池用層 合薄膜,其中易接著層與透明導電層之間更具有硬塗層。 6. 如申請專利範圍第1項之色素敏化型太陽電池用層 合薄膜,其中於層合薄膜之與透明導電層反側之面,更具 有反射防止層。 7·—種色素敏化型太陽電池用電極,其特徵爲係由如 申請專利範圍第1項之色素敏化型太陽電池用層合薄膜, 1359522 以及設於其透明導電層上之多孔質半導體層所成。 8. 如申請專利範圍第7項之色素敏化型太陽電池用電 極,其中多孔質半導體層係由選自氧化鈦、氧化鋅及氧化 鍚所成群之至少1種金屬氧化物所成。 9. 一種色素敏化型太陽電池用電極之製造方法,其特 徵爲於20 0°C經10分鐘處理時之薄膜於長方向及寬方向之 熱收縮率差絕對値在0.8%以下之聚酯薄膜之一面形成透 明導電層’對該透明導電層施行電漿處理,將透明導電層 之表面張力調整至65 mN/m以上之範圍,藉由於其上以 170~250 °C燒附金屬氧化物而形成多孔質半導體層。 1 〇.如申請專利範圍第9項之色素敏化型太陽電池用 電極之製造方法,其中金屬氧化物係選自氧化鈦、氧化鋅 及氧化錫所成群之至少1種金屬氧化物。 -2-
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