TWI353954B - Reticle-carrying container - Google Patents

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丄 九、發明說明： 【夯明所屬之技術領域】 ^本發明係關於為了收容在搬運使用於在基板上轉印設 〇〇 、 *光機等時的標線片（r e t i c 1 e )之標線片搬運容 半導體元件或液晶顯示元件等之製造係以光微影術 片li::raphy)步驟所實施。在此步驟中，使形成在標線 —包3光罩）之圖案的圖像被以曝光機投影轉印至半導 =圓或麵板等的基板上。此時，在基板上被塗佈有感 先训，破投影之圖案和感光劑相反應，而經過其 則形成電路。 、 〇 乂驟中，為了防止因灰塵等所發生之污染或接觸等 而損傷標線片，其被收容在專用的標線片搬運容器 理。 心 此夺田所形成之電路複雜時，由於必須在基板上|y作 多數個電路圖案’因此’必須準備多數相應的標線片，、並 在基板上疊售多數個圖案而曝光。 【先前技術】 圖2表示在此光微影術步驟中所使用之裝置的一例。圖 中1係在基板上投影•轉印電路圖案之曝光機。2係 容保管多數個標線片之標線片貯存器。3係可收容標線片 之標線片搬運容器。4係被設在曝光機1#口標線片 2之間為了在此等之間以標線片搬運容器3收容標線 狀態的搬運用之搬運執。5係被設在搬運軌4可直接保持 312XP/發明說明書(補件)/95·02/94138349 6 1353954 標：：搬運容器3而搬送之搬送機構部。 、、係以控制裝置（未圖示）所控制 7K所必要之碑& u Y 、 此在電路圖 態藉由搬運^ 以被收容在標線片搬運容器3之狀 田搬運執4之搬送機構部5而 狀 曝光機1被搬運。暖本地】& '、、··良片貯存器2朝向 4之搬送機構部5 = 不要的標線片則藉由搬運執 ，稱口ρ 5而被运回到標線片貯存器卜 以上的步驟中所使用之標線片當因 而受損傷時則無法製成正確的電路圖 全且確實地支持標線片其為被收容在標線片搬 —日本專利特開平1(M63G94號公報為此—標 谷^之-例。此專利特開平1〇—163〇94號公報中標^ ^ t持手段係使用銷。作為自下側支持標線片之手：係在 角隅之位置設置標線片支持銷。作為自周圍支 持成在水平方Μ會使標線r 水平移動之止動銷。又，作為自士係。又置可抑制 作為自上側支持標線片之手段# f置標線片押板。由此，則可支持標線片之m方向而固 定之。 礴 在此一標線片搬運容器的下側面，通常設有活動銷槽 〇unematlc pin groove) ’而嵌合於裝置側之活動銷，如 此可正確地使標線片搬運容器定位。此活動銷槽及活動銷 大約在二等邊二角形的各頂點位置各設有3個。 但是’上述以往的標線片搬運容器3,在標線片貯存哭 2收容此標線片搬運容器3時，當標線片搬運容器3的； 312XP/發明說明書(補件>/95-〇2/941383抑 7 向¥更180。時，則活動 嵌合。因此，必須充八、卜/ 槽會變成相反而不能 嵌合，結果，二==搬運容器3的方向以作 【發明内容】吏作業效率減低之問題。 為了解決上述問題，本發明一 a 的方向誤差而謀求作業效率提高者。搬運容器 端具有開π而具有可收容 P =二具有： 開口將其塞住之門板(d〇〇r);及 内：Z覆盘上述 閉芙式容器（_)時可氣密地密封内部之H塞^上述密 的標線片搬運容器，其特徵 二材：二如此 被形成在上述門板的外側表面以上變更 活動銷槽。 你衷罝侧疋位文裝用之 即片貯存器裝著於前述標線片搬運容器時’ 二=，容器的方向誤差也可照樣地安裝，而不須 要過度地注思標線片搬運容器的方向者。 的^述枯密閉英式容器的外側表面對應於上述活動鎖槽 任行上述活動銷槽保持用之支承部配設成可自 方向均可嵌合上述二組活動銷槽如此為佳。 藉此，可層疊複數個標線片搬運容器而不須過度注意其 方向。 【實施方式】 /以下’—面參照附圖—面說明本發明之實施形態。圖1 係自其底面侧觀看門板之斜視圖’圖3表示本實施形態使 標線片搬運容器之密㈣式容器和門板互相分離之狀態 312XP/發明說明書(補件)/95-02/94138349 8 丄 的斜視圖，圖/生_ 剖面圖，圖，表示本貫施形態之標線片搬運容器的側視 份剖面圖，圖表β不本實施形態之標線片搬運容器的重要部 m 表示無線掉籤之^不薄膜過滤器之重要部份剖面圖，圖7 _ ν織之重要部份剖面圖。 容=:=:係二3及圖4所示，主要由可收 莢式容琴13在閉莢式合益（P〇d)13 ;及，可堵住此密閉 U和門Γ14之門板（d〇〇r)14;及，被設在密閉英式容器 構成。 間可氣密地密封内部之密封材料15;如此所 Η 了、：英：容器13係由在内部可收容標線片Μ本體部 被—體形成在該本體部17的外周且# Η之周緣嵌合部18;如此所構成。 “於門板 容;;被形成為淺盤狀’被設定成在内部可完全收 :;=2的深度。在本體部17的中央部，設有搬運用 伸之板狀水平延 結“可==運 在曝光=3。又’侧部操作凸緣21係被使用作 在曝光機内自密閉莢式衮哭n嬙 助支持手,。7 ^ 機械地分離門板W時之補 有後述之、:叙’在本體部17的外側表面之周緣部，設 對二Π銷槽61之支承部22在—邊各有3個部位而 2 2邊“十設有6個部位。此6個部位之支承部u係 ::於活動銷槽61之位置，而被配設成自任一方向均可 敢一組活動鎖槽6卜各支承部22係以半圓形的板材料 312ΧΡ/發明說明書(補件)/95-02/94138349 9 ^53954 被形成平面形狀。平面半圓形的各 向外側開口。平&车 。卩22被配設成朝 成比基端側更互相土 /、<承部22，其先端側被形 的標線片搬運容哭^ 朝内側傾斜。由此，在下側 月搬運容器u之；7部22則容易嵌合上側的標線 此，可容县日— 由於其可正確地定位，因 铁，此等支定地層疊複數個標線片搬運容器1卜當 形以外的形狀也可以。承又活動鋼槽的話構成半圓 在本體部17的内側之四角隅 25。此標線片保持 ^又有心線片保持裔 線月伴拉仰π 疋為了支持和後述門板14側的標 片保持益45形成成對之標線片 •持器25係，如圖4乃岡^ J稱仔此心線片保 持哭板邻由保持器支承部26及保 寺；板。”7所構成。保持器支承部 板部27之構件。徂姓时士 7如 ~ J又付保得盗 髀、由 ’、' 益支承邛26係和本體部1 7 —起一 體被形成於本體部17内側的四角隅附近。且體而士 _形成在本體部17的角隅角 八 °猎 的一邊抵接在標線片12的上側角 八 支持之傾斜面部28的一邊。在早m成為形成彈性 斜面部28之一邊的一端支承部26中形成傾 ^ 5又有保持器板部27之一端部嵌 二的-端側嵌合用缺口29。在保持器支承 =㈣的一邊之另一端則設有保持器板部_另一端 用缺口 3〇°又，在形成傾斜面部 ，-邊設有凹部31。此一凹部31是為了在設 。㈣之内側的標線片12之上側角部m抵接時可容許傾 312XP/發明說明書(補件)/95-02/9413 8349 10 1353954 斜面部2 8的彎曲之Αβ a — 具有緩衝之功能。亦。即保持器板部27 彈性共同因凹部31而佯持1 /。板^ 27本身所具有的 自外部吸收傳導入之振動 <曲則其了 12之缓彳動專而具有可彈性地支持標線片 力月b°凹部31之縫隙只要！_程度即可。 成彈#岫古技·^, _接於軚線片12的上侧角部12A而形 地支持之傾斜面部28的構件，持器板 彈性高分子材料所形成 行-扳。”7為以 體）、PBT (聚對苯二甲酸;° ’用PEE (聚醋彈性 會發生灰塵之彈性材料：：：”、PP(聚丙稀）等不 H —山： 保持裔板部27係由:抵接面板 構成呈：：合部34;及，另-端嵌合部35;如此所 籌成而其：面形狀被形成不正常…狀。抵接面板

^為了以保持11板部27嵌合在保持器支承部26之狀 態構成傾斜面部2 8之i盖杜 M J h人上 構件。由於抵接面板33係以具有彈 广成树脂所形成’因此，其本身可彈性變形，同時， :性ί可彈性_曲，並成為自傾斜方向抵接而 弹性地支持私線月〗2的上側角部〗2Α。 一端嵌合部34是為了嵌合彳早拉：S^± 7 Α。 人用缺口 μ幻Γ 支承部26的一端側嵌 售 口二缺口 29，在保持器支承部26上安裝保持器板部27 ::伤。另一端嵌合部35是為了嵌合保持器支承部26的 另一端側嵌合用缺口 30，在保持器支承部 器板…部份。藉此，一端嵌合部34及另一端：::： 35後合於'端側嵌合用缺口 29及另—端側嵌合用缺口抑 時，在保持器支承部26則可固定保持器板部27。 312ΧΡ/發明說明書(補件)/95·〇2/94〗38；349 ] 3 1353954 ，在本體部17的内相,I + 也„„ ^ 9r 側之四角隅附近，和上述標線片俘牲 裔25—起也設有護 +描& 保持 士雀聪〆 保持益37。在標線片1 2有.夫吟古 相(pelUde)之情形，以及在下側面 二未-有 形，以及在上下兩側面設 ° 4膜46之情 37係在標線片12之上側面二有二情形。護膜保持器 護膜保持器37係具有# 具有機能之構件。 即，護膜保㈣3 7係^2 5㈣的構成。亦 义加n 由.和才示線月保持器25的俘掊if * 承部26同-構成之保持器支 的保持益支 器2 5之保姓。。加 ，及，和標線月保持 、保持。。板邛27同一構成之保持器板 所構成。在保持器板部39 * 25的凹邱Ή π頂惻貝】叹有和標線片保持器 二凹。Ρ 31 R—構成之凹部（未圖示）。 密閉莢式容器（p〇(j)i3的周緣嵌入 圖4所示，被形成自， 口 ° 8係’如圖3及 妝"邮 自本體17之周緣突出至周圍之淺盤 狀;此灸盤狀的周緣嵌合部18係被設定 = 的周圍之深度。在周緣嵌合部 收：： 固定門板14之扣具41。 遗汉有 =二係嵌合於密閉英式容器13的周緣银合部18， 部之構^ 藉由密封材料15氣密地密封内 約平拍狀二係’如圖3〜圖5所示，被形成為大 ^ _狀，在其周緣設有密封溝43。密封材料15 此祖封溝43 ’而可氣密地密封密 _ 、 之間。在門㈣的上面：，？=^ 持構件“。此門板侧支持構件、==門板側支 持互相結合在上述密閉英式容哭】上下兩側可支 13側的標線片保持器25 312XP/發明說明書(補件)/95-02/94138349 12 之標線片的標線片保持器45 片12之下側面的護 可支持被安裝在標線 支持此專之底座板部48，H 7,及，可-體 之構成係，保持器支承部5 。標線片保持器45 標線片保持器25的保持器板部27T^英式容器13側的 向偏離之鏡像對象所構成 ：圖5紙面垂直方 保持器支承部5〇及伴 軲線片保持器45係由 標線片保持器25的：;:=51所構成，此等係和上述 為如照鏡時之對象的構成。^二26，保持器板部2 7成 52也具有和標線片 $反部51的内側之凹部 即’保持器板部藉凹部52彈性地以=能。： 抵：：地支持標線片12的下側角部：傾斜方向 上述構成之標線片保持器45 在互相偏離之位置， 不、，，片保持盗25係被設 以此標輪持；25 :互不會干涉地支持標線片… 置。當二二挟持標線片12並支.持於規定位 田对卜在閉夾式容器】3後，庐 的標線片保持器45而自、Γ片也㈣板14 態被支持。護膜保持器47 :間隔規定的距離之狀 之《蒦膜支承部5 6也和资閉贫 容f 13側的護膜保持器37的保持器板部39成為：圖： 之二内：向偏離的鏡像對象之構成。亦即，護膜保持器 糸.饴閉夾式容器13側的護膜保持器37之保 承部38和鏡像對象的保持器支承部55;及，保持器板^ 39和鏡像對象之保持器板部56;如此所構成。在保持器 板部56之内側設有和護膜保持器37的凹部同-構成之凹 3 J 2XP/發明說明書(補件)/95-02/94138349 13 1353954 部（未圖示）。 在門板U的裏面’如圖“斤示，設有2組活動銷槽 (^細心抑。ve ριη)Η。此活動銷槽 光機定位安裝用之構件。活動銷槽61在大約二等邊= 狀頂^置設有3個—組，而在—之_ 二組（61A、61B)’合計設有6根。這是為了在裂置内1 二標線片搬運容器。llB夺，即使作業者將標線片搬運容器 之方向弄錯180。而裝著時，也可照樣地安裝者。 ” 6所示，在密閉芙式容器13形成 ，部62。_膜過據器安裝部62是為了可確實安裝= 二易卸下:專膜過滤n(membrane fnter)63用之部‘。此 ;4膜過濾、器安裝部6 2传由.道;^ β ς . n n 丨」係由.導官65,及，過濾器嵌合筒 4 66 ’及止動器67 ;如此所構成。 導b 65疋為了在内部收容固定薄膜過滤器 此導管65係被一體地設在 之间。p 導管65之外側係開σ且可；本體部17。 J裝卸涛膜過濾、器6 3。又，導瞢 =也m置換標線片搬運容器u内用的氣體之氣體 鬌 遽器嵌合筒部66。此一 4::之内側被塞住且設有過 』I的此過濾器嵌合筒部66是為 ===筒部71之筒部。過滤器嵌合_ 二=在:為自其内側底部朝一^ 1二在導官65的内側面之中間位置設 =止動器67是為了使裝在導管65内的薄膜過減器 63固疋成不會脫落之構件。 心 312XP/發明說明書(補件)/95_〇2/94138349 14 々溥膜過濾器63是為了在標線片搬運容器u的内外容許 氣體出入用之過濾器。此—薄膜過濾器Μ係在標線片搬 運容器的内外側間可防止灰塵等通過而僅容許氣體出 入者。薄膜過濾器63係由:過濾器本體7〇 ;及，嵌合筒 部71 ;及開口筒部72 ;如此所構成。 過漉器本體部70被形成為較厚之圓餘，在内部收容 有過_。過濾器本體部7G的直徑被設^成可繫止上述 止動器67之大小。嵌合筒部71是為了使過濾器本體部 内和標線片搬運容器u内連通之構件。嵌合筒部” 係以薄膜過;慮器63被裝在導管65内之狀態，嵌合在過遽 斋嵌合筒部66而使過遽器本體7〇内和標線片搬運容器 Π内連通者。開口筒部7? |^ 4A 门1 Z疋為了藉由過濾器而使標線片 :運容器11内和外部之筒部連通者。又，過遽器被填充 空氣中之灰塵成分。）而可除去惰性氣體或乾燥 如圖7所示’在門板14的外側表面設有無線標籤 (wlrelesstag)74。此無線標籤74係以覆蓋板？5所覆宴 之狀態而安裝在門板14的相表面。覆蓋板75係以^ 覆蓋無線標籤74之狀態而料其全周且内部被密封 覆蓋板75形成有可收容無線標籤74之凹部μ 鐵74係以被收容在此覆蓋板75的凹部75a之i : 蓋板75之全周㈣著在門板14之外側表面。由此 標鐵74被密封收容於覆蓋板75内。這是因為 = 運容器η搬運中等，其可防止無線標鐵74脫 ： 312ΧΡ/發明說明書(補件)/95-02/94丨38349 1353954 壞用者。x，其亦可防 染。此一無線標ft 74传葬^身所致之裝置的污 非接觸狀態可寫人编= 外之^電磁波之變化 收藏有處理、保管等時所=之:件。此一無線標藏74 斤肩要之各種管理資訊。 又，此處：:兒Si:::片搬運容器11為如下而被使用。 in, 2 不、片搬運容器11使用於在半導體晶 ®上燒印電路圖案時的處理之例。 干令胆曰日 首先’在標線片搬運容哭〗1 ^ — 標線片12被載置在門板J :線片&此時’ 被安裝在密閉英式容器13之：且線:保持f 45上，而以 片12以門板14側的標線片 1口疋。由此’標線 =;保持_ 二 ί ^ 51" 1 ^ ^ # ^ # ^ ^ ^ 被抵接支持在標線片保持器“= 角部12A 由於在保持器板部…-之内 許保持器板部5卜27之彎曲，因此，其可彈性=谷 線片12。由此，標線片！ 2 Α表 、 支持私 全部的自由度並固定在標線片搬運容曰，而可抑制 線=樣1Γ有護膜46時’此護膜46係藉和上述桿 線片12同樣的作用’而藉由護臈保持器 /‘ 如此，標線月12在標線片搬運容器u内各=三一 片’而由作業者在標線片貯存器皮收谷- 量。此時，標線片搬運容器積:子女裝必要的數. 雖然以配合全部所設定的 312ΧΡ/發明說明書(補件)/95_〇2腕38349 ]6 丄 =向來收容較佳，但是即使方向不同時藉二組活動銷槽 其也可被安農。亦即，即使標線片搬運容器11的方向 t開180:時，二組中之-邊的活動銷㈣可嵌合安裝標 矣片貯存β 2的活動銷。又，在層疊複數個標線片搬運容 器11時，配合活動銷槽61被設在6個部位之支承部22 ，可和^線>|搬運容器丨丨的方向無關係地接受活動鎖槽 1而互相地嵌合，如此使各標線片搬運容器iijl確地定 位並安定地層疊。由此，作業者不必過度注意即可在標線 月貯存器2内安裝標線月搬運容器u。 >其後之標線片搬運容器n的搬運等則全部均以機械實 施二亦即，自標線片貯存器2取出標線片搬運容器U而 收容’以搬送起重機（crane)使其在搬運執上移動，使標 線片搬運容器11㈣標線片12定位（set)在曝光機^ 止之操作全部均以機械所實施（SMIF : Standard Mechanical Interface)〇 搬運執4之搬送機構5係以標線月貯存器2内的標線片 搬運容器11和其中央操作凸緣2〇互相被結合而舉起。然 後，以搬運軌4被移動至曝光機j。 其次，標線片搬運容器11被導入至曝光機丨内。然後 標線片12被移至曝光機丨之自動曝光台（未圖示）上， 其被正確地定位之狀態設置在已被安裝之半導體晶圓上 並自動實施曝光作業。 曝光終了後，標線片12被送回標線片搬運容器丨〗，再 以搬送機構部5移動搬運軌4回到標線片貯存器2。 312XP/發明說明書(補件)/95-02/94138349 ’在以上之處理步驟中，佑昭诎 訊作步 H己錄在無線標籤74之資 奸 L牵。在私線片搬運容器11的門板14之益綠姆 =’㈣有標線；^12的種類或作業經歷等各種資訊『 ::::光機1内的讀取裝f (未圖示）則以非接觸方式 二制箄㈣之資訊’依照該資訊而實施曝光機1内之 _專。曝光作業終了後’因應必要以寫入裝置（未圖 不-在無線標籤74上寫入標線片12或標線片搬運容器“ 之&歷、作業經歷等。由此’則可順利地實施曝光作章 或管理等。 $ 此時，由於無線標籤74係藉覆蓋板75所密閉收容，因 此除了不會使無線標籤74脫落或機械損傷外，也可防 -业無線標籤74本身所招致之裝置污染。 又，將標線片搬運容器丨丨置於壓力變動之環境時，例 如以飛機運送等，置放在上空比較低氣壓之環境及地上 比較向氣壓之環境時，標線片搬運容器丨丨的内壓有時會 鲁變成比外壓更低。在此情形下，雖然難以使密閉莢式容 益13和門板14分離，但由於薄膜過濾器63可容許氣體在 才不線片搬運谷益U的内外出入’因此’其可防止標線片 搬運谷裔11的内壓變成比外壓更低。由此，可容易使密 閉莢式容器13和門板14分離。 又’要置換標線片搬運容器11内的氣體時，可在薄膜 過;慮器女裝部6 2的導管6 5插入氣體供給管並接續，且對 導管65送入惰性氣體或乾燥空氣。 如上，由於錯開18 〇。設有二組活動銷槽61，因此，即 312χρ/發明說明書(補件)/95-02/94138349 18 丄 使標線片搬運容器n之方向錯誤安裝時，活動銷槽61也 f對2容許而使其安裝。由此，作業者不必過度注意即 可將軚線片搬運容器i i安裝在標線片貯存器2而提高其作 換σ之，作業者將上述標線片搬運容器11弄錯180。方 向之狀態而女裝在標線片貯存器2時，l8〇t>變更方向之二 二，銷^曰61也可谷许此種情形而使前述標線片搬運容 _器11安裝，其不必過度注意上述標線片搬運容器11的方 向即可使其層叠，在上述標線片㈣容器11安裝時則可 提面作業之效率化。 ，在岔閉莢式容器13的本體部17，由於配合活動銷 =61没有6個支承部22，目此，不必注意標線片搬運容器 的方向，即可堆積複數個標線片搬運容器1卜因此， 作業者不必過度注意即可提高其作業性。 山換言之，由於使上述支承部22配設成從任一方向均可 嵌合上述二組活動銷槽61，❿其不必過度注意其方向即 可複數個標線片搬運容器n，因此，其在標線片搬 運令裔11的層疊作業時可謀求作業效率化之提高。 又，標線片12等因標線片保持器25等不會損傷而可安 全且確實地被支持，而可更慎重地處理標線片12等。 又’由於在無線標籤74有記錄管理各種資訊，因此， ===可提高作業效率。此時，由於無線標籤74 係猎覆盍板75所密閉收容’因此，其除了 藏74脱落或機械損傷外，也可防止無線標籤74本;2 312XP/發明說明書(補件)/95-02/94】38349 19 1353954 之裝置污染。 又’由於藉薄膜過濾器63可容許氣體在標線片搬運容 器11的内外出入’因此，其可防止標線片搬運容器11的 内壓變成比外壓更低’而容易使密閉莢式容器13和門板 • 14分離。又，其可容易地置換標線片搬運容器11内的氣 體。 又’在上述實施形態中’雖然在密閉莢式容器13側設 鲁有1個薄膜過濾器63，但其也可設在門板丨4側。薄膜過 濾态6 3之設置個數也不限於1個，也可設置2個以上。 在密閉英式容器13或門板14之任一邊或雙方，設置1個 .或複數個薄膜過濾器63均可。在此情況下，係設在不會 有其他妨礙之位置。 又，在上述實施形態中，雖然使無線標籤74設在門板 14之外側表面的一個部位，但因應必要也可設置2個以 上。其设置部位並不限於門板i 4也可設在密閉莢式容器 籲13。或設在雙方亦可。基於所被要求之功能、讀取裝置及 寫入裝置之關係，也有設在密閉莢式容器13側者。又， s己錄在無線標籤74之資訊也不限於作業經歷等，其也可 λ 記錄其他各種資訊。 【圖式簡單說明】 圖1(A)、（Β)係自其底面側觀看本發明實施形態之門板 的斜視圖。 圖2表示在光微影術步驟中所使用的裝置之一例的概 略構成圖。 312ΧΡ/發明說明書(補件)/95-〇2沙413 Μ49 20 1353954 .圖3表示使本發明之實施形態的標線月搬運容器使其密 閉莢式容器與門板互相分離狀態的斜視圖。 圖4表示本發明實施形態的標線片搬運容器之側視剖面 ， 圖。 圖5表示本發明實施形態的標線片搬運容器之重要部份 剖面圖。 圖6表示本發明實施形態的薄膜過濾器之重要部份剖面 圖。 圖7表示本發明實施形態的無線標籤之重要部份剖面 圖。 【主要元件符號說明】 1 曝光機 2 標線片貯存器 3、11 標線片搬運容II 4 搬運軌 5 搬送機構部 12 標線片 12A 上流側角部 12B 下流側角部 13 敌閉爽式容哭 14 門板 15 密封材料 17 本體部 18 周緣嵌合告|5 312XP/發明說明書(補件)/95-02/94138349 1353954

ψ 2Ό 中央操作凸緣 21 側部操作凸緣 22 支承部 25、45 標線片保持器 26、55 保持器支承部 27 ' 39 ' 51 保持器板部 28 傾斜面部 29 缺口 30 缺口 31 、 52 、 75Α 凹部 33 抵接面板 34 一端嵌合部 35 另一端嵌合部 37 護膜保持器 38、50 保持器支承部 41 扣具 43 密封溝 44 門板侧支持構件 46 護膜 47 護膜保持器 48 底座板部 56 護膜支承部 61 活動銷槽 61Α 、 61Β 2組活動銷槽 312ΧΡ/發明說明書(補件)/95-02/941383斗9 22 1353954 6-2 薄膜過濾器安裝部 63 薄膜過遽器 65 導管 66 過濾器嵌合筒部 67 止動器 70 過濾器本體部 71 嵌合筒部 72 開口筒部 74 無線標籤 75 覆蓋板 312XP/發明說明書(補件)/95-02/94138349 23

Claims (1)

1. 替換本 .十、申請專利範圍： 1. 一種標線片搬運容器，其具備有. (二有一方開口且可收容標線片之内部的密閉笑式容器 覆蓋前述開口之門板；及， 容器之開口的位置 器；其特徵為， 材枓，如此的標線片搬運容 安上述門板的外侧表面形成，以在裝置側定位 '裝用之活動銷槽(kineraatlcpingroove); • 该組活動銷槽之其中一组係A Μ番认± & ..約二等邊Κ…/係由6又置於朝第1方向之大 靜夕ί 之3個銷槽所構成，該組活動 组係由設置於從第1方向朝第2方向變更副。 方向之^約二等邊三角形的3個頂點之3個銷槽所構成。 2如申請專利範圍第i項之標線片搬運容器，其中，在 春的=閉:式容器外側表面中對應於上述活動銷槽位置 從上述黛並保持上述活動銷槽用之支承部，配設成 2方向中之任—方向均可將上述二组㈣ 料敗a至另-密閉英式容器外側表面之支承部。 3.如申請專利範圍第1項之標線片搬運容器，其中，上 述活動鎖槽係在上述門板的外側表面形成為圓筒突起狀。 4·如申請專利範圍第2項之標線片搬運容器，其中，上 係在上述密閉莢式容器之外側表面，形成為嵌合 同大起狀之上述活動銷槽的圓弧板狀。 94138349 24