JPH11153855A

JPH11153855A - マスクケース、搬送装置及び搬送方法

Info

Publication number: JPH11153855A
Application number: JP25936398A
Authority: JP
Inventors: Shinichi Hirakawa; 伸一平川; Kanefumi Nakahara; 兼文中原; Yutaka Endo; 豊遠藤
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1997-08-29
Filing date: 1998-08-28
Publication date: 1999-06-08

Abstract

(57)【要約】【課題】簡素な構成でありながら、マスクケースを搬
送する際に、正確に位置決めを達成することのできるマ
スクケース、搬送装置及び搬送方法を提供する。【解決手段】凹部２１１の形状が三角錐状で、凹部２
１２の形状がＶ字溝形状であるので、かかる凹部２１
１，２１２に、２本のピン３１を挿入することにより、
ピン３１に対してマスクケース１１０が位置決めされる
こととなる。即ち、マスクケース１１０の底面２１０ｃ
に凹部２１１、２１２を設けることにより、かかるマス
クケース１１０をピン３１が配置された場所に載置する
だけで、その位置決めが達成されることとなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、マスクケース、搬
送装置及び搬送方法に関し、特に、半導体または、液晶
表示素子等をフォトリソグラフィ工程で製造する際に使
用されるマスクケース及びかかるマスクケースを搬送す
る搬送装置並びに搬送方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体素子等を製造するための
フォトリソグラフィ工程（マスクパターンのレジスト像
を基板上に形成する工程）では、マスクとしてのレチク
ルのパターンを投影光学系を介して、フォトレジストが
塗布された基板（又はウエハ等）上に露光する投影露光
装置（ステッパー等）が使用されている。

【０００３】かかるマスクをマスクケースに収納した状
態で、マスクの洗浄機、ゴミ検査機、ペリクル貼付機、
露光装置等の各種処理装置間を順次自動的に搬送する自
動搬送システムが考えられている。かかる自動搬送シス
テムによれば、各種装置間でマスクケースを搬送する場
合、一の処理装置内で処理が終了したマスクは、マスク
ケースに収納されて、その処理装置の搬送部により、処
理装置におけるマスクケースの受け渡し場所に搬送さ
れ、載置される。

【０００４】一の処理装置の受け渡し場所に載置された
マスクケースは、外部の搬送装置により他の処理装置の
受け渡し場所まで搬送され、載置される。他の処理装置
の受け渡し場所に載置されたマスクケースは、その処理
装置の搬送部により所定の処理場所まで搬送されるよう
になっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、マスクケー
スが各種処理装置間を搬送される際に、マスクケース受
け渡し時の位置ずれが問題となっている。一の処理装置
の搬送部が、その処理装置の受け渡し場所にある程度正
確にマスクケースを載置しなければ、外部の搬送装置が
かかるマスクケースを保持することができず、システム
にエラーが生じ、以降の処理が不可能となってしまう。

【０００６】このような問題に対し、処理装置の搬送部
が受け渡し場所に載置したマスクケースを、外部の搬送
装置が保持する前に予め位置決めする位置決め装置を、
かかる処理装置に別個設けることも考えられる。しかし
ながら、従来技術による位置決め装置は、移動可能なＸ
−Ｙステージや位置検出用のアライメントセンサを要す
るため、かかるＸ−Ｙステージ等を設けることにより、
装置が大型化しかつ製造コストが増大することとなる。

【０００７】同様の問題は、外部の搬送装置から処理装
置の受け渡し場所にマスクケースを搬送し、載置する場
合にも生じうる。

【０００８】そこで、本願発明は、簡素な構成でありな
がら、マスクケースを搬送する際に、正確に位置決めを
達成することのできるマスクケース、搬送装置及び搬送
方法を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成すべ
く、本願発明のマスクケースは、基板に転写すべきパタ
ーンが形成されたマスク（Ｍ）を収納するマスクケース
（２１０）であり、このマスクケース（２１０）の１つ
の外壁面（２１０ｃ）に第１及び第２凹部（２１１，２
１１ａ、２１２）が形成されており、第１凹部（２１
１，２１１ａ）の形状が、錐状の形状で、第２凹部（２
１２）の形状が、Ｖ字溝形状であることを特徴とする。

【００１０】本願発明のマスクケース（２１０）によれ
ば、第１凹部（２１１，２１１ａ）の形状が、錐状の形
状で、第２凹部（２１２）の形状が、Ｖ字溝形状である
ので、かかる第１凹部及び第２凹部（２１１，２１１
ａ、２１２）に、凸部として例えば２本のピン（３１）
を挿入することにより、ピン（３１）に対してマスクケ
ース（２１０）が位置決めされることとなる。従って、
例えばマスクケース（２１０）の底面に第１凹部（２１
１，２１１ａ）及び第２凹部（２１２）を設ければ、か
かるマスクケース（２１０）をピン（３１）が配置され
た場所に載置するだけで、その位置決めが達成されるこ
ととなる。

【００１１】本願発明のマスクケース（１０）は、基板
に転写すべきパターンが形成されたマスク（Ｍ）を収納
するマスクケース（１０）であり、マスクケース（１
０）の互いに対向する第１及び第２外壁面（１０ａ、１
０ｂ）に、凸部と凹部との少なくとも一方の形状の嵌合
部（１ｂ、１ｃ）があり、第１外壁面（１０ａ）には、
嵌合部（１ｂ、１ｃ）を少なくとも１つ有し、第２外壁
面（１０ｂ）には、嵌合部（１ｂ、１ｃ）を少なくとも
２つ有することを特徴とする。

【００１２】本願発明のマスクケースによれば、マスク
ケース（１０）の互いに対向する第１及び第２外壁面
（１０ａ、１０ｂ）に、凸部と凹部との少なくとも一方
の形状の嵌合部（１ｂ、１ｃ）があり、第１外壁面（１
０ａ）には、嵌合部（１ｂ、１ｃ）を少なくとも１つ有
し、第２外壁面（１０ｂ）には、嵌合部（１ｂ、１ｃ）
を少なくとも２つ有するので、第１及び第２外壁面（１
０ａ、１０ｂ）にそれぞれ対向する面に支持部材（２１
ａ、２２ａ）を形成した搬送装置（２０）により、両外
壁面（１０ａ、１０ｂ）を挟んで持ち上げれば、嵌合部
（１ｂ、１ｃ）と支持部材（２１ａ、２２ａ）が嵌合し
合い、それにより搬送装置（２０）に対してマスクケー
ス（１０）を位置決めすることができる。

【００１３】本願発明の搬送装置（２０）は、基板
（Ｍ）を収納し搬送可能な基板ケース（１０）の第１外
壁面（１０ａ、１０ｂ）と前記第１外壁面（１０ａ、１
０ｂ）に隣接する第２外壁面（１０ｃ）とに嵌合部（１
ｂ、１ｃ、１１）を設けた基板ケース（１０）を搬送す
る搬送装置（２０）であって、第１外壁面（１０ｂ、１
０ｃ）の第１嵌合部（１ｂ、１ｃ）と第２外壁面（１０
ｃ）の第２嵌合部（１１）との少なくとも一方を嵌合支
持する支持部材（２１ａ、２２ａ、３１）を有すること
を特徴とする。

【００１４】本願発明の搬送装置（２０）によれば、基
板ケース（１０）の第１外壁面（１０ａ、１０ｂ）の第
１嵌合部（１ｂ、１ｃ）と第２外壁面（１０ｃ）の第２
嵌合部（１１）との少なくとも一方を嵌合支持する支持
部材（２１ａ、２２ａ、３１）を有するので、かかる搬
送装置（２０）により、基板ケース（１０）の異なる外
壁面（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ）を支持することがで
き、それにより搬送装置（２０）同士で基板ケース（１
０）を、位置決めを行いつつその受け渡しを達成するこ
とができる。

【００１５】本願発明の搬送方法は、基板を収納し搬送
可能な基板ケース（１０）の第１外壁面（１０ａ、１０
ｂ）と、第１外壁面（１０ａ、１０ｂ）に隣接する第２
外壁面（１０ｃ）とに嵌合部（１ｂ、１ｃ、１１）を設
けた基板ケース（１０）を搬送する搬送方法であって、
第１外壁面（１０ａ、１０ｂ）の第１嵌合部（１ｂ、１
ｃ）を嵌合支持して基板ケース（１０）を位置決め搬送
し、第２外壁面（１０ｃ）の第２嵌合部（１１）を嵌合
支持して基板ケース（１０）を位置決め保持し、第１嵌
合部（１ｂ、１ｃ）と第２嵌合部（１１）との間で基板
ケース（１０）を受け渡しすることを特徴とする。

【００１６】本願発明の搬送方法によれば、第１外壁面
（１０ａ、１０ｂ）の第１嵌合部（１ｂ、１ｃ）を嵌合
支持して基板ケース（１０）を位置決め搬送し、第２外
壁面（１０ｃ）の第２嵌合部（１１）を嵌合支持して基
板ケース（１０）を位置決め保持し、第１嵌合部（１
ｂ、１ｃ）と第２嵌合部（１１）との間で基板ケース
（１０）を受け渡しするので、基板ケース（１０）の搬
送時及び受け渡し時に同時に位置決めが達成できる。そ
れにより基板ケース（１０）の搬送時又は受け渡し時に
位置決め動作を別個に行う必要がなくなり、処理の簡素
化が図れる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本願発明の実施の形態を、
図面を参照して以下に詳細に説明する。図１は、本発明
の実施の形態にかかるマスクケース１０の斜視図であ
り、図１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ異なる実施
の形態を示している。通常、マスクＭの大きさは、特定
の寸法に統一されている。また、回路パターン（不図
示）は、マスクの周囲に所定の余白を設けて描かれてい
る。

【００１８】さて、マスクＭは、図１（ａ）に示すチリ
トリ状の底蓋３の中に収納されるようになっている。こ
の底蓋３には、開口端面９以外の周囲に図のごとく壁１
ａが設けられている。この壁１ａの上部には、３つの段
部３ａ、３ｂが設けられている。この段部３ａは、レチ
クルの縁部を保持する。

【００１９】また、底蓋３には、開口端面９の反対側
に、ヒンジ７によって図中矢印Ａのように開閉自在に設
けられた上蓋２が取付けられていて、この上蓋２は底蓋
３の上面を閉じるようになっている。

【００２０】更に、上蓋２の開口端面９側には、開閉部
材１がヒンジ６を介して、図中矢印Ｂのように上蓋２に
対して回動可能に取り付けられている。開閉部材１が開
いた状態では、マスク取り出しアームＡＭにより、マス
クＭはマスクケース１０に対して出し入れ可能となって
いる。

【００２１】上蓋２が回動して段部３ｂに嵌合し、開閉
部材１が開口端面９を閉じることによって、マスクは、
ほぼ密閉状態で収納されることとなる。

【００２２】また、開閉部材１の側面部１０ａ、１０ｂ
には、後述するマスクケース搬送装置のアーム先端を受
容するため、図のごとく４つ（片側に２つずつ）の凹部
１ｂが形成されている。凹部１ｂは、矩形の上に二等辺
三角形を重ねた五角形断面形状を有している。凹部１ｂ
と搬送装置のアームとの関係については後述する。

【００２３】図２は、本発明の実施の形態にかかる搬送
装置２０を、不図示の保管場所からマスクケース１０を
保持し、かつステージ３０の上方に位置した状態で示す
斜視図である。搬送装置２０は、並行して延びる２本の
アーム２１、２２と、各アーム２１，２２を互いに近づ
く方向に、あるいは離れる方向に駆動するアクチュエー
タ２３，２４と、アクチュエータ２３，２４を支持する
支持部材２５を備える。アクチュエータ２３，２４及び
支持部材２５は、制御部ＣＴＬの制御下で駆動されるよ
うになっている。

【００２４】一方のアーム２１は２つの円筒部２１ａを
有し、他方のアーム２２も２つの円筒部２２ａを有す
る。円筒部２１ａ、２２ａは互いに対向している。円筒
部２１ａ同士及び円筒部２２ａ同士の間隔は、凹部１ｂ
同士の間隔に正確に一致している。

【００２５】不図示の保管場所に載置されたマスクケー
ス１０の側方にアーム２１，２２が位置する状態で、制
御部ＣＴＬの制御に基づきアクチュエータ２３，２４を
動作させることにより、アーム２１，２２を互いに近づ
く方向に移動させると、円筒部２１ａ、２２ａは、マス
クケース１０の凹部１ｂに侵入する。

【００２６】かかる状態から、制御部ＣＴＬの制御に基
づき支持部材２５を上昇させると、それと一体となって
アーム２１，２２も上昇する。このときマスクケース１
０は、凹部１ｂの上面が円筒部２１ａ、２２ａに押され
ることにより、アーム２１，２２と共に上昇する。この
動作により搬送装置２０は、マスクケース１０を保持
し、かつ搬送可能な状態となる。なお図２は、搬送装置
２０が搬送目的場所であるステージ３０の上方にマスク
ケース１０を搬送してきた状態を示している。

【００２７】次に、円筒部２１ａ、２２ａと凹部１ｂと
を用いて、マスクケース１０の位置決めを達成する実施
の形態について説明する。図３は、円筒部２１ａ（２２
ａ）と、マスクケース１０の凹部１ｂとの間の力関係を
示す図である。ここで、アーム２１，２２とマスクケー
ス１０との相対位置がわずかにずれていた（アーム２
１，２２に対してマスクケース１０が右方にシフトして
いた）とする。

【００２８】かかる状態において、マスクケース１０の
凹部１ｂに円筒部２１ａ（２２ａ）を挿入させ、アーム
２１，２２をマスクケース１０に対して上昇させると、
円筒部２１ａ（２２ａ）は凹部１ｂ内を上昇し、やがて
凹部１ｂの上部に形成された左方斜面１ｃに当たる。

【００２９】更にアーム２１，２２が上昇すると、円筒
部２１ａ（２２ａ）が左方斜面１ｃを押すが、マスクケ
ース１０の底面が保管場所の上面から離れることによ
り、その面間の摩擦力が低減し、それにより左方斜面１
ｃが円筒部２１ａ（２２ａ）から受ける法線方向の反力
と自重とに基づき、マスクケース１０はアーム２１，２
２に対して水平方向（図中左方）に移動する。

【００３０】更に、円筒部２１ａ（２２ａ）が、左方斜
面１ｃと交差する右方斜面１ｄに当たることにより、斜
面１ｃ、１ｄと円筒部２１ａ（２２ａ）との間に作用す
る反力と自重とが釣り合い、マスクケース１０は静止す
る。この段階で、アーム２１，２２に対するマスクケー
ス１０の正確な位置決めが達成されるのである。即ち、
アーム２１，２２によりマスクケース１０を持ち上げる
だけで、自動的にその位置決めが達成されるのである。
なお図２において、ステージ３０を他の搬送装置のアー
ム（不図示）に組み込めば、搬送装置２０との間でマス
クケース１０を受け渡す際における位置決めも行うこと
ができる。

【００３１】本実施の形態においては、凹部１ｂは、マ
スクケース１０の片側に２つずつ設けられていたが、一
方の側には２つの凹部を配置し、他方の側には１つの凹
部を一方の側の２つの凹部までの距離を等しくして配置
することも可能である。かかる配置によりマスクケース
は三点支持されるので、より安定して保持されることと
なる。

【００３２】更に、凹部１ｂはその断面が五角形でなく
ても良く、例えば図１（ｂ）に示すように、その断面が
三角形であってもよい。また、マスクケース１０の側面
部１０ａに常に凹部を設ける必要はなく、例えば図１
（ｃ）に示すように、側面部１０ａには円筒部１ｃを２
つ形成し、対するアーム２２には凹部２２ｂを形成し、
かつ反対側の側面部１０ｂには凹部１ｂを１つ形成し、
対するアーム（不図示）に円筒部を形成しても良い。あ
るいは、側面部１０ａに円筒部と凹部とを一つずつ設
け、アームに凹部と円筒部とを一つずつ設けても良い。

【００３３】図４は、別の実施の形態にかかるマスクケ
ース１１０を、片側のアーム１２２と共に示す斜視図で
ある。図４のマスクケース１１０は、図１のマスクケー
ス１０に対し、凹部１１０ｂの形状のみが異なってい
る。より具体的には、凹部１１０ｂは、矩形の横に三角
形を接合したような五角形断面形状（即ち、図２の実施
の形態の凹部１ｂを横倒しにしたような形状）を有して
おり、互いに離れ合う方向に尖端を向けている。

【００３４】一方、アーム１２２は、例えばエアシリン
ダを内蔵する本体１２２ｃと、エアシリンダにより長手
方向に移動する移動部１２２ｂとを有している。本体１
２２ｃと移動部１２２ｂとにそれぞれ円筒部１２２ａが
形成されている。本体１２２ｃに対して、移動部１２２
ｂを移動させることにより、円筒部１２２ａの間隔は変
更可能となっている。更に、アーム１２２は、マスクケ
ース１１０に向かって移動し、又はそこから離れるよう
に移動可能であり、また垂直方向にも移動可能となって
いる。なお、図示していないが、アーム１２２に対し、
マスクケース１１０を挟んで反対側には、同様なアーム
が形成されている。

【００３５】次に、円筒部１２２ａと凹部１１０ｂとを
用いて、マスクケース１１０の位置決めを達成する実施
の形態について説明する。ここで、アーム１２２とマス
クケース１１０とは、その相対位置がわずかにずれてい
るが、アーム１２２をマスクケース１１０に接近させて
いったときに、各円筒部１２２ａが凹部１１０ｂ内に侵
入可能な相対位置に配置されているものとする。

【００３６】かかる状態において、アーム１２２をマス
クケース１１０に接近させ、その凹部１１０ｂに円筒部
１２２ａを挿入させて、不図示のアームと共にマスクケ
ース１１０を挟んで上昇させる。この動作により、マス
クケース１１０は所定位置への搬送が可能となる。一
方、マスクケース１１０を持ち上げたまま、アーム１２
２の移動部１２２ｂを延ばすように移動させると、両円
筒部１２２ａは互いに離れ合い、やがて凹部１１０ｂの
尖端にそれぞれ当たって、アーム１２２によりマスクケ
ース１１０はしっかり保持されることとなる。

【００３７】かかる場合、本体１２２ｃ側の円筒部１２
２ａは移動しないため、この円筒部１２２ａと凹部１１
０ｂとの相対位置は常に一義的に決定され、従ってアー
ム１２２に対するマスクケース１１０の正確な位置決め
が達成されるのである。即ち、アーム１２２によりマス
クケース１１０を持ち上げるだけで、自動的にその位置
決めが達成されるのである。なお、凹部１１０ｂは、そ
の尖端同士を互いに向かい合わせるようにして形成され
ていてもよく、この場合には、両円筒部１２２ａが互い
に近づく方向に移動することにより位置決めが達成され
る。

【００３８】図５は、別な実施の形態にかかる搬送装置
２２０の上面図である。図１のマスクケース１０を搬送
するのに適した搬送装置２２０は、本体２２１と、本体
２２１の両端近傍に対し、各一端を回転可能に取り付け
たアーム２２２，２２３とを有する。アーム２２２，２
２３は、それぞれ２つずつの円筒部２２２ａ、２２３ａ
を互いに対向させて形成している。円筒部２２２ａ同士
の間隔及び円筒部２２３ａ同士の間隔は、凹部１ｂ（図
１）同士の間隔に正確に一致している。

【００３９】本体２２１とアーム２２２，２２３とは、
アーム２２２、２２３の回転中心となる固定ピン２２２
ｃ、２２３ｃと、アクチュエータ２２４，２２５とより
連結されている。アクチュエータ２２４，２２５は、本
体２２１に固定されたシリンダ部２２４ａ、２２５ａ
と、アーム２２２，２２３に固定された駆動部２２４
ｂ、２２５ｂとを有する。本体２２１自体は、図２に示
す実施の形態と同様に、不図示の駆動機構により前後上
下左右等の方向に移動可能となっている。

【００４０】シリンダ部２２４ａ、２２５ａは、制御部
ＣＴＬを介して空圧源Ｐ（又は油圧源）に連結され、空
圧源Ｐからの空圧が、制御部ＣＴＬの制御下で導入され
るようになっている。導入された空圧に基づき、駆動部
２２４ｂ、２２５ｂは伸び縮み可能となっている。

【００４１】マスクケース１０（図１）を搬送しようと
するときは、アーム２２３，２２４を開いた状態（駆動
部２２４ｂ、２２５ｂを伸ばした状態）で、載置された
マスクケース１０に接近し、制御部ＣＴＬの制御に基づ
き、駆動部２２４ｂ、２２５ｂを縮める。かかる動作に
より、アーム２２２，２２３はマスクケース１０を挟み
込んで閉じる方向に回転し、それにより円筒部２２２
ａ、２２３ａは、マスクケース１０の凹部１ｂ（図１）
に侵入する。かかる状態から、搬送装置２２０を上昇さ
せれば、図２に示した実施の形態と同様に、マスクケー
ス１０の位置決めが達成されることとなる。なお図５で
は、アーム２２２、２２３は、固定ピン２２２ｃ、２２
３ｃを中心に回転する実施例を示したが、別の実施例と
して駆動部２２４ｂ、２２５ｂの伸び縮みの動作に伴
い、固定ピン２２２ｃ、２２３ｃが、本体２２１におい
てアーム２２２、２２３が開閉する方向にスライド移動
し、かかる動作によりアーム２２２、２２３がほぼ平行
な状態でマスクケース１０を把持する動作を行なう。そ
の後、上記説明と同様に搬送装置２２０を上昇させれ
ば、マスクケース１０の位置決めが達成されることとな
る。又、本発明では、アクチュエータ２２４、２２５と
して、空圧もしくは油圧により駆動されるシリンダ部を
用いたものを示したが、本発明はこれらに限るものでは
なく、例えばモータ（リニアモータ、静電モータ等を含
む）をアクチュエータとして採用することも可能であ
る。又、図５に示した実施例の変形例として、アクチュ
エータ２２４、２２５を固定ピン２２２ｃ、２２３ｃの
位置に取り付けることも可能である。この場合、例えば
アクチュエータとして回転モータを採用すれば、回転モ
ータの軸を中心に直接アーム２２２、２２３を回転駆動
させることができる。又、アクチュエータとしてリニア
モータを採用すれば、直接アーム２２２、２２３を開閉
する方向にスライド移動することが可能である。これら
のようにアーム２２２、２２３を駆動することもマスク
ケース１０を把持することが可能である。

【００４２】図２に戻って、本願発明の実施の形態につ
き更に説明を続ける。アーム２１，２２は、マスクケー
ス１０を保持して搬送し、ステージ３０の上方に位置し
ていることは上述したとおりであるが、アーム２１，２
２が、マスクケース１０をステージ３０に受け渡す動作
について以下に説明する。

【００４３】ここで、図２に示すように、ステージ３０
において垂直方向に延びる３本のピン３１が、１２０度
ずつ等間隔に配置されている。各ピン３１は、半球状の
頭部３１ａを有している。図６は、マスクケース１０の
底面図であり、図７は、図６のマスクケース１０におけ
る三角溝１１の断面図である。

【００４４】マスクケース１０の底面１０ｃには、図６
に示すように、互いに放射方向に延びる３つの三角溝１
１が、１２０度ずつ等間隔に配置されている。三角溝１
１は、図７に示すようにその断面が三角形状となってい
る。

【００４５】図２に示す状態からアーム２１，２２が下
降すると、マスクケース１０の底面１０ｃは、ステージ
３０に接近する。アーム２１，２２とステージ３０とは
予め粗い位置決めがなされているので、マスクケース１
０の下降に従い、かかる三角溝１１に、ステージ３０の
ピン３１がそれぞれ侵入するようになっている。

【００４６】三角溝１１に侵入したピン３１はその中心
がずれていると、三角溝１１の底部斜面の何れか一方に
当たることとなる。かかる場合ピン３１は、底部斜面か
ら反力を受け、その反力に基づきマスクケース１０は、
ステージ３０に対して移動する。

【００４７】一方、三角溝１１は放射方向に延びている
ため、全てのピン３１が対応する三角溝１１の中央に落
ち着く位置は一義的に決定される。この状態を図６，７
に示している。従って、ピン３１が三角溝１１の底部斜
面から受ける反力に基づき、マスクケース１０はステー
ジ３０に対して所定の位置に位置決めされることとな
る。すなわち、アーム２１，２２によりマスクケース１
０をステージ３０上に載置するだけで、マスクケース１
０の位置決めが行われることとなる。

【００４８】図８は、別の実施の形態にかかるマスクケ
ース２１０の底面図であり、図９は、図８のマスクケー
ス２１０における凹部２１１、２１２，２１３の断面図
であって、擬似的に平面化したものである。

【００４９】底面２１０ｃに形成された凹部２１１は三
角錐形状を有し、凹部２１２は三角溝であり、凹部２１
３は平面を有している。図８に示すように、各凹部２１
１，２１２，２１３は直線上に配置されていない。な
お、凹部２１１，２１２，２１３には、上述したステー
ジ３０のピン３１が挿入される。

【００５０】凹部２１１はピン３１をその中央に保持す
るが、ピン３１に対して相対的に回転できる。更に、凹
部２１２がピン３１をその中央に保持することにより、
ピン３１と各凹部２１１，２１２との配置は一義的に決
定される。凹部２１３は、ピン３１を平面で支持するた
め、マスクケース２１０の位置決めには関与しない。従
って、単に位置決めを達成するのであれば、凹部２１
１，２１２と、これに嵌合する２本のピンがあればたり
る。

【００５１】なお、凹部２１１は三角錐状に限られるも
のではなく、凹部２１１とピン３１との嵌合する位置が
常に一定位置になる形状であれば良い。例えば図１０に
示すように、円錐状であっても同様な効果が奏される。

【００５２】図１１は、図２の搬送装置をＡＧＶ（Ａｕ
ｔｏｍａｔｅｄＧｕｉｄｅｄＶｅｈｉｃｌｅ）に適
用した実施の形態を示す図である。図２に示す搬送装置
２０を備えたＡＧＶ３００は、無線誘導に基づき、案内
路３０１に沿って移動・停止可能となっている。案内路
３０１に対して、壁３０２に隔てられ、各種処理装置３
０３乃至３０５が配置されている。

【００５３】かかるＡＧＶ３００の動作について説明す
る。まずＡＧＶ３００は、不図示の保管場所からマスク
ケース１０を、搬送装置２０のアーム２１，２２（図
２）により保持しつつ、洗浄機３０３におけるマスクケ
ースの受け渡し場所３０３ａに搬送し、そこに載置す
る。かかる場合、受け渡し場所３０３ａには、３本のピ
ン（不図示）が配置され、受け渡し場所にマスクケース
１０を載置するだけで、マスクケース１０の位置決めが
達成されるようになっている。

【００５４】洗浄機３０３において、マスクケース１０
は、不図示の搬送部により内部の洗浄場まで搬送され、
マスクの洗浄が行われた後、再度受け渡し場所３０３ａ
まで戻される。

【００５５】ＡＧＶ３００は、洗浄の終了したマスクを
収納したマスクケース１０を、搬送装置２０により保持
し、隣接するペリクル貼付機３０４におけるマスクケー
スの受け渡し場所３０４ａに搬送し、そこに載置する。
受け渡し場所３０４ａには、同様に３本のピン（不図
示）が配置され、受け渡し場所にマスクケース１０を載
置するだけで、マスクケース１０の位置決めが達成され
るようになっている。

【００５６】ペリクル貼付機３０４において、マスクケ
ース１０は、不図示の搬送部により内部の処理場所まで
搬送され、ペリクルの貼付けが行われた後、再度受け渡
し場所３０４ａまで戻される。

【００５７】更に、ＡＧＶ３００は、同様にして位置決
めを行いながら、ペリクル貼付機３０４からゴミ検査装
置３０５の受け渡し場所３０５ａへとマスクケース１０
を搬送し、更に不図示の露光装置へとマスクケース１０
を搬送するようになっている。

【００５８】図１２は、図２の搬送装置をＯＨＴ（Ｏｖ
ｅｒＨｅａｄＴｒａｎｓｐｏｒｔａｔｉｏｎ）に適
用した実施の形態を示す図である。図２に示す搬送装置
２０を備えたＯＨＴ４００は、無線誘導に基づき、鉛直
方向に延びるポール４００ａに沿って上下移動可能であ
り、かつポール４００ａと共に案内レール４０１に沿っ
て移動・停止可能となっている。案内路４０１に沿っ
て、各種処理装置３０３乃至３０５が配置されている。

【００５９】なお、ＯＨＴ４００は、ＡＧＶ３００に対
し、案内レール４０１に沿って移動することのみが異な
るだけであるので、その動作については説明を省略す
る。

【００６０】ところで、マスクケースを受け渡し場所に
載置することなく、搬送装置同士で受け渡しを行う場合
もある。図１３，１４は、互いの間でマスクケースの受
け渡しを行える搬送装置の実施の形態を示す図であり、
図１３はその上面図、図１４はその斜視図である。

【００６１】図１３において、二点鎖線で示すマスクケ
ース３１０は、図５のマスクケース１０に対し、同じ断
面形状を有するが長手方向に長いＶ字溝３１０ａを３つ
有している。スコップ状のアームを有する第１の搬送装
置３２１は、１２０度等間隔にピン３２１ａを３本形成
している。Ｕ字状のアームを有する第２の搬送装置３２
２は、同位相で１２０度等間隔にピン３２２ａを３本有
している。なお、ピン３２１ａ、３２２ａの形状は、図
５，６のピン３１の形状と同じである。

【００６２】ここで、第１の搬送装置３２１のみがマス
クケース３１０を、そのピン３２１ａをＶ字溝３１０ａ
に当てて保持しているものとする。かかる状態から、第
２の搬送装置３２２が下方からマスクケース３１０に接
近していくと、ピン３２１ａがＶ字溝３１０ａに当た
る。第２の搬送装置３２２の更なる上昇により、第１の
搬送装置３２１のピン２２１ａがＶ字溝３１０ａから離
れ、その段階で第２の搬送装置３２２にマスクケース３
１０が受け渡されることとなる。

【００６３】かかる場合、図５，６を参照して説明した
ように、球状頭部のピンとＶ字溝との関係から、第２の
搬送装置３２２とマスクケース３１０との位置決めが達
成されることとなる。従って、たとえ搬送装置３２１と
３２２との相対位置関係にずれが生じていたとしても、
第２の搬送装置３２２にマスクケース３１０が受け渡さ
れた瞬間に、マスクケース３１０の第２の搬送装置２２
２に対する位置決めが達成され、それにより以降の処理
が容易になる。なお、第２の搬送装置３２２から第１の
搬送装置３２１へとマスクケース３１０を受け渡す場合
にも、同様の作用がなされる。

【００６４】図１５乃至図２０は、別の実施形態に係る
マスクケース１０を示す。マスクケース１０は、下側ハ
ウジング４０３及び上蓋４０２を有している。下側ハウ
ジング４０３は、チリトリ状の形状をしており、その長
方形底板の３辺を構成する外縁に沿って立設した３つの
側壁を有している。下側ハウジング４０３の長方形底板
の残りの１辺上には側壁を有しておらず、この辺がマス
クケースの前面に位置する。

【００６５】下側ハウジング４０３の底板上には、左右
の側壁に平行に延びたガイド板４０３ａ，４０３ｂが立
設されている。ガイド板４０３ａ，４０３ｂの内側には
Ｒが形成されている。すなわち、対向するガイド板４０
３ａ，４０３ｂの内側面は、図１７に示すように、マス
クケース１０の前後方向をその曲率中心軸とする湾曲面
４１１を有している。ガイド板４０３ａ，４０３ｂの僅
かに内側には、底板の上面から立設した４つの支持部材
４０３ｖ，４０３ｗ，４０３ｘ，４０３ｙが固定されて
いる。

【００６６】したがって、フォーク（取出アームＡＭ）
（図１参照）上に支持されたホトマスク（レチクル）Ｍ
が、マスクケース１０の前面側から内部に挿入された
後、フオークが底板側に移動した場合には（図１５中、
白抜き矢印で示す）、多少その位置がずれていても、レ
チクルＭはガイド板４０３ａ，４０３ｂのマスクＭに隣
接した側となる湾曲面４１１に沿ってマスクケース１０
の内側方向にスライドし、支持部材４０３ｖ，４０３
ｗ，４０３ｘ，４０３ｙ上に載置される。支持部材４０
３ｖ，４０３ｗ，４０３ｘ，４０３ｙは、それぞれレチ
クルＭの前後方向の移動を規制するための段部を有して
おり、フォークの抜き差し時におけるレチクルＭの前後
方向移動が規制される。

【００６７】上蓋４０２は、下側ハウジング４０３の上
面開口端を覆うように、その背面側がピン４０７を有す
るヒンジを介して下側ハウジング４０３の背面側に固定
されている。すなわち、上蓋４０２は、適当なロック機
構を介して下側ハウジング４０３に固定されているが、
必要がある場合にはこのロックを解除し、上蓋４０２を
該ヒンジを中心に回動させることで、内部を開放状態に
することができる。

【００６８】上蓋４０２の前面側には、ピン４０８を有
するヒンジを介して前面蓋（可動壁）４０１が設けられ
ており、可動壁４０１は、図１８の矢印Ｂで示される方
向に沿って揺動する。この可動壁４０１は、レチクルＭ
の出し入れに連動して開閉し、開放状態においては、ハ
ウジング４０３すなわちマスクケース１０にレチクルＭ
の挿入口が形成される。

【００６９】ガイド板４０３ａ，４０３ｂと下側ハウジ
ング４０３の左右側壁との間には、背面側で閉塞する通
路４１２が形成されている。それぞれの通路４１２の下
には、底板の裏面側から表面側に向かって凹んだ凹部
（ピット）４１３，４１４が形成されている。凹部４１
３，４１４の内面は、それぞれ、Ｖ溝形状、四角錐形状
を構成している。この通路４１２の位置は、レチクルＭ
とは干渉しない位置である。凹部４１３，４１４直上の
底板の上面は、凹部４１３，４１４の最深部がケースの
内側に開放しないように、多少隆起している。

【００７０】凹部４１３，４１４を支持部材４０３ｖ，
４０３ｗ，４０３ｘ，４０３ｙよりも内側に形成した場
合には、この隆起部４１３ｐ，４１４ｐがレチクルＭを
搬送するフォークと干渉する恐れがある。また、この干
渉を抑制するためには、隆起部４１３ｐ，４１４ｐを設
けずに底板の厚みを増加させればよいが、この場合には
マスクケース１０の高さ（厚み）が増加し、特に、複数
のマスクケースを例えばレチクルライブラリ等の装置内
において積層させる場合においては、この増加量が積算
され、装置が大型化する。本実施形態においては、マス
クケースの位置決め用凹部４１３，４１４の最深部が、
レチクルＭを支する支持部材４０３ｖ，４０３ｗ，４０
３ｘ，４０３ｙよりもマスクケース１０の外側に位置す
るので、復数のマスクケース１０を積層させた時の全体
の高さを低減させることができる。

【００７１】位置決め用凹部４１３，４１４内には、基
準面ＳＰから所定高さの支持ピン４１３ｂ，４１４ｂの
先端部が嵌まる（図１７）。平面は３点で規定されるの
で、基準面ＳＰ上には更に支持ピンＦＬｂが設けられて
いる。支持ピンＦＬｂの高さは、残りの２つのいずれよ
りも低い。支持ピンＦＬｂは底板の裏面の前面側領域Ｆ
Ｌに当接する。前面側領域ＦＬは平面である。この領域
ＦＬは裏面の残りの領域よりも凹んでいてもよい。換言
すれば、結果的に３つの支持ピン４１３ｂ，４１４ｂ，
ＦＬｂが、それぞれの位置に当接することにより、底板
の上面が水平に維持されればよい。なお、基準面ＳＰ
は、例えばレチクルライブラリーの１つの棚の表面であ
る。

【００７２】支持ピン４１３ｂ，４１４ｂ，ＦＬｂが、
それぞれの位置に当接した状態において、位置決めが正
確に行われるように、マスクケース１０は上方から押さ
えつけられる。マスクケース１０の左右の側壁のそれぞ
れには、ケースの前後方向に沿って延び、外側に向けて
突出した上側凸部４０９及び下側凸部４１０が設けられ
ている。これらの上側凸部４０９及び下側凸部４１０
は、補強用のリブとしても機能しており、側壁を強化し
ている。上側凸部４０９及び下側凸部４１０の上面に
は、ケースを押えつけるためのクランプ領域１ＸＬ及び
１ＸＵが設けられている。

【００７３】クランプ領城１ＸＬ及び１ＸＵは、下側に
向かって僅かに凹んでいる。この凹んだクランプ領域１
ＸＬ又は１ＸＵ上に、押え用ピン（図示せず）が上側か
ら当接し、これを付勢することにより、マスクケースを
基準面ＳＰに対して不動とする。また、クランプ領域１
ＸＬ及び１ＸＵの凹み領域は、その周囲との間に段部を
形成しており、この段部に上記押え用ピンが当接した場
合には、ケース前後方向の移動が規制される。

【００７４】図２１は、図１に示すマスクケースを変形
したものであり、マスクケース搬送用のアーム先端（図
２参照）を受容する凹部１ｂ間に、図１５に示すマスク
ケースと同様の下部クランプ領城１ＸＬが形成されてい
るものを示している。なお、位置決め用凹部は、種々の
位置に設けることができる。例えば、図２２に示すよう
に、Ｖ溝形状の３つの凹部４１３’を底板の裏面に設
け、Ｖ溝の伸延方向が互いに１２０度を成すように配置
する。このような場合において、上蓋４０２の上面に設
けられる円形の３つのクランプ領域１ＸＵ’は、それぞ
れ３つの凹部４１３’の直上に位置することとしてもよ
い。

【００７５】

【発明の効果】以上述べたように、本願発明のマスクケ
ースによれば、第１凹部の形状が、円錐状及び三角錐状
の何れか一方の形状で、第２凹部の形状が、Ｖ字溝形状
であるので、かかる第１凹部及び第２凹部に、凸部とし
て例えば２本のピンを挿入することにより、ピンに対し
てマスクケースが位置決めされることとなる。従って、
例えばマスクケースの底面に第１凹部及び第２凹部を設
ければ、かかるマスクケースをピンが配置された場所に
載置するだけで、その位置決めが達成されることとな
る。

【００７６】更に、本願発明のマスクケースによれば、
マスクケースの互いに対向する第１及び第２外壁面に、
凸部と凹部との少なくとも一方の形状の嵌合部があり、
第１外壁面には、嵌合部を少なくとも１つ有し、第２外
壁面には、嵌合部を少なくとも２つ有するので、第１及
び第２外壁面にそれぞれ対向する面に支持部材を形成し
た搬送装置により、両外壁面を挟んで持ち上げれば、嵌
合部と支持部材が嵌合し合い、それにより搬送装置に対
してマスクケースを位置決めすることができる。

【００７７】また本願発明の搬送装置によれば、基板ケ
ースの第１外壁面の第１嵌合部と第２外壁面の第２嵌合
部との少なくとも一方を嵌合支持する支持部材を有する
ので、かかる搬送装置により、基板ケースの異なる外壁
面を支持することができ、それにより搬送装置同士で基
板ケースを、位置決めを行いつつその受け渡しを達成す
ることができる。

【００７８】本願発明の搬送方法によれば、第１外壁面
の第１嵌合部を嵌合支持して基板ケースを位置決め搬送
し、第２外壁面の第２嵌合部を嵌合支持して基板ケース
を位置決め保持し、第１嵌合部と第２嵌合部との間で基
板ケースを受け渡しするので、基板ケースの搬送時及び
受け渡し時にと同時に位置決めが達成できる。それによ
り基板ケースの搬送時又は受け渡し時に位置決め動作を
別個に行う必要がなくなり、処理の簡素化が図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態にかかるマスクケース１０
の斜視図であり、図１（ａ）、図１（ｂ）、図１（ｃ）
はそれぞれ別な実施の形態を示す図である。

【図２】本発明の実施の形態にかかる搬送装置２０を、
不図示の保管場所からマスクケース１０を搬送し、かつ
搬送場所であるステージ３０の上方に位置した状態で示
す斜視図である。

【図３】円筒部２１ａと、マスクケース１０の凹部１ｂ
との間の力関係を示す図である。

【図４】別の実施の形態にかかるマスクケース１１０
を、片側のアーム１２２と共に示す斜視図である。

【図５】別な実施の形態にかかる搬送装置２２０の上面
図である。

【図６】マスクケース１０の底面図である。

【図７】図６のマスクケース１０における三角溝１１の
断面図である。

【図８】別の実施の形態にかかるマスクケース１１０の
底面図である。

【図９】図８のマスクケース１１０における凹部１１
１、１１２，１１３の断面図であって、擬似的に平面化
したものである。

【図１０】図９の実施の形態とは別な実施の形態にかか
るマスクケースの底面図である。

【図１１】図２の搬送装置をＡＧＶ（Ａｕｔｏｍａｔｅ
ｄＧｕｉｄｅｄＶｅｈｉｃｌｅ）に適用した実施の
形態を示す図である。

【図１２】図２の搬送装置をＯＨＴ（ＯｖｅｒＨｅａ
ｄＴｒａｎｓｐｏｒｔａｔｉｏｎ）に適用した実施の
形態を示す図である。

【図１３】互いの間でマスクケースの受け渡しを行える
搬送装置の実施の形態を示す上面図である。

【図１４】互いの間でマスクケースの受け渡しを行える
搬送装置の実施の形態を示す斜視図である。

【図１５】実施形態に係るマスクケース１０の斜視図で
ある。

【図１６】図１５に示したマスクケースの平面図であ
る。

【図１７】図１６に示したマスクケースのＩＩＩ−ＩＩ
Ｉ矢印断面図である。

【図１８】図１６に示したマスクケースの側面図であ
る。

【図１９】図１６に示したマスクケースの底面図であ
る。

【図２０】図１７に示したマスクケースのＶＩ−ＶＩ矢
印断面図である。

【図２１】マスクケースの変形例を示すマスクケースの
斜視図である。

【図２２】実施形態に係るマスクケースの斜視図であ
る。

【符号の説明】

１ｂ………凹部１０、１１０，２１０，３１０………マスクケース２０、２２１，２２２………搬送装置３１、２２１ａ、２２２ａ………ピン３００………ＡＧＶ４００………ＯＨＴ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板に転写すべきパターンが形成された
マスクを収納し、搬送装置に設けられたピンが嵌合され
る凹部を有するマスクケースにおいて、前記マスクケースの１つの外壁面に第１及び第２凹部が
形成されており、前記第１凹部の形状が、前記ピンと一定位置で嵌合する
形状で、前記第２凹部の形状が、Ｖ字溝形状であることを特徴と
するマスクケース。
【請求項２】前記第１凹部の形状は、錐状の形状であ
ることを特徴とする請求項１記載のマスクケース。
【請求項３】前記第１凹部の形状は、円錐状及び三角
錐状の何れか一方の形状であることを特徴とする請求項
２記載のマスクケース。
【請求項４】前記外壁面に第３の凹部を有することを
特徴とする請求項１記載のマスクケース。
【請求項５】基板に転写すべきパターンが形成された
マスクを収納するマスクケースにおいて、前記マスクケースの１つの外壁面に、該外壁面の任意の
一点を中心とし放射状に３つの溝部を設けたことを特徴
とするマスクケース。
【請求項６】前記溝部は、Ｖ字溝形状であることを特
徴とする請求項５記載のマスクケース。
【請求項７】基板に転写すべきパターンが形成された
マスクを収納するマスクケースにおいて、前記マスクケースの互いに対向する第１及び第２外壁面
に、凸部と凹部との少なくとも一方の形状の嵌合部があ
り、前記第１外壁面には、前記嵌合部を少なくとも１つ
有し、前記第２外壁面には、前記嵌合部を少なくとも２
つ有することを特徴とするマスクケース。
【請求項８】前記嵌合部の形状の組み合わせと前記嵌
合部の並び方と前記嵌合部の数との少なくとも１つを、
前記第１外壁面と前記第２外壁面とで異なったものとす
ることを特徴とする請求項７記載のマスクケース。
【請求項９】前記嵌合部の形状が、三角柱状の凹部と
五角柱状の凹部と円柱状の凸部との少なくとも１つの形
状であることを特徴とする請求項７又は８記載のマスク
ケース。
【請求項１０】前記第１外壁面と前記第２外壁面との
少なくとも１つの外壁面に、同一形状である第１嵌合部
と第２嵌合部とを有し、前記第１嵌合部と前記第２嵌合部との中間位置の点を通
り、前記第１嵌合部と前記第２嵌合部とを結ぶ線とは直
交した平面に対して、前記第１嵌合部と前記第２嵌合部
との形状が面対称の形状であることを特徴とする請求項
７又は９記載のマスクケース。
【請求項１１】前記嵌合部の形状は、円柱状の凸部で
あり、前記凸部の先端部は曲面であることを特徴とする
請求項７，８，９又は１０記載のマスクケース。
【請求項１２】基板を収納し搬送可能な基板ケースの
第１外壁面と前記第１外壁面に隣接する第２外壁面とに
嵌合部を設けた基板ケースを搬送する搬送装置であっ
て、前記第１外壁面の第１嵌合部と前記第２外壁面の第２嵌
合部との少なくとも一方を嵌合支持する支持部材を有す
ることを特徴とする搬送装置。
【請求項１３】前記支持部材は、前記基板ケースを載
置する載置面より突起した凸部であることを特徴とする
請求項１２記載の搬送装置。
【請求項１４】前記支持部材は、前記第１外壁面の第
１嵌合部を嵌合支持する第１支持部材を備え、前記基板
ケースを搬送する第１搬送部と、前記第２外壁面の第２
嵌合部を嵌合支持する第２支持部材と、前記第１搬送部
を用い前記第２支持部材で嵌合支持する位置に前記基板
ケースを搬入する動作と搬出する動作との少なくとも一
方の動作を制御する制御部とを有することを特徴とする
請求項１２又は１３記載の搬送装置。
【請求項１５】前記第２支持部材は、移動可能であっ
て前記基板ケースを搬送する第２搬送部に固定されてい
ることを特徴とする請求項１４記載の搬送装置。
【請求項１６】前記基板ケースは、前記第２外壁面に
隣接し前記第１外壁面に対向する第３外壁面とに嵌合部
を備え、前記第３外壁面の第３嵌合部を嵌合支持する第３支持部
材を更に有し、前記第１支持部と前記第３支持部とで基
板ケースを把持する基板ケース把持部を有することを特
徴とする請求項１２，１３，１４又は１５記載の搬送装
置。
【請求項１７】前記基板ケース把持部は、前記第１支
持部材と前記第３支持部材とを連動して把持動作させる
駆動部を有することを特徴とする請求項１６記載の搬送
装置。
【請求項１８】基板を収納し搬送可能な基板ケースの
第１外壁面と、前記第１外壁面に隣接する第２外壁面と
に嵌合部を設けた基板ケースを搬送する搬送方法であっ
て、前記第１外壁面の第１嵌合部を嵌合支持して前記基板ケ
ースを位置決め搬送し、前記第２外壁面の第２嵌合部を嵌合支持して前記基板ケ
ースを位置決め保持し、前記第１嵌合部と前記第２嵌合部との間で前記基板ケー
スを受け渡しすることを特徴とする搬送方法。
【請求項１９】前記位置決め保持した基板ケース内の
基板を、前記基板を処理する基板処理位置に搬送するこ
とを特徴とする請求項１８記載の搬送方法。