CN1792742A

CN1792742A - 模版输送容器

Info

Publication number: CN1792742A
Application number: CNA2005101314810A
Authority: CN
Inventors: 松鸟千明; 柳原公一
Original assignee: Future Co Ltd
Current assignee: Miraial Co Ltd; Future Co Ltd
Priority date: 2004-12-14
Filing date: 2005-12-14
Publication date: 2006-06-28
Anticipated expiration: 2025-12-14
Also published as: JP2006173273A; EP1672428A2; KR101165855B1; US20060126052A1; US7420655B2; TW200621598A; TWI353954B; KR20060067855A; CN100564196C; EP1672428A3

Abstract

即使在模版输送容器(11)的方向不同的情况下，仍可将其安装于模版储存器2中。模版输送容器(11)备有：舱(12)，在一端具有开口，并具有收纳模版的内部；门(14)，通过覆盖而封闭上述开口；密封件(15)，在通过上述门(14)封闭上述舱(13)时，将内部气密地密封。以方向相差180°的方式设置有2组运动销槽(61)，所述2组运动销槽(61)形成于上述门(14)的外侧表面上，用于定位并安装于装置侧。在上述舱(13)的外侧表面中与上述运动销槽(61)相对应的位置上，配置有用于承接并保持上述运动销槽(61)的承接部(22)，所述承接部(22)配置成从任意方向均可嵌合上述两组运动销槽(61)。

Description

模版输送容器

技术领域

本发明涉及在输送模版时对其进行收纳的模版输送容器，所述模版是在将设定图案转印到基板上的曝光设备等中使用的模版。

背景技术

半导体元件或液晶显示元件等的制造在光刻工序中进行。在该工序中，形成于模版(包括光掩模)的图案的像由曝光设备投影转印到半导体晶片或玻璃板等基板上。此时，在基板上涂敷有感光剂，投影后的图案与感光剂反应，经过其后的处理而形成电路。

在该工序中，为了防止由灰尘等所引起的污染或由接触等所引起的损伤等，将模版收纳于专用的模版输送容器中进行处理。

此时，当形成的电路复杂时，由于必须在基板上作出很多的电路图案，从而必须与之相应地准备很多模版，在基板上重合很多图案而进行曝光。

图2表示在该光刻工序中使用的装置的一个例子。图中的附图标记1表示将电路图案投影·转印到基板上的曝光设备。附图标记2表示收纳并保管有多个模版的模版储存器。附图标记3是收纳有模版的模版输送容器。附图标记4是输送导轨，其设置于曝光设备1和模版储存器2之间，并对模版在收纳于模版输送容器3中的状态下于曝光设备1和模版储存器2之间进行输送。附图标记5是设置于输送导轨4上、用于直接把持并搬运模版输送容器3的输送机构部。

这些部件由控制装置(未图示)进行控制。由此，电路图案所必需的模版，在收纳于模版输送容器3的状态下，由输送导轨4的输送机构部5从模版储存器2输送到曝光设备1。曝光设备1中不再需要的模版借助输送导轨4的输送机构部5返回到模版储存器2中。

在上述工序中使用的模版，由于尘埃等引起的污染或接触等造成的损伤而无法形成准确的电路图案，所以为了安全且可靠地支承模版，将其收纳于模版输送容器3中。

日本特开平10-163094号公报公开了该模版输送容器3的一个例子。该日本特开平10-163094号公报中的模版的支承机构为销。作为用于从下侧支承模版的机构，在模版的4个角部的位置上设置有模版支承销。作为从周围支承模版而使其不会沿水平方向偏离的机构，设置有抑制水平移动的止动销。另外，作为从上侧支承模版的机构，设置有模版按压件。由此，沿XYZ方向支承并固定模版。

在该模版输送容器的下侧面上，通常设置有运动销槽，其与装置侧的运动销嵌合，由此，将模版输送容器准确地定位。该运动销槽和运动销各设置有三个，设置于大致等腰三角形的各顶点位置上。

但是，在上述以往的模版输送容器3中，在将该模版输送容器3收纳于模版储存器2中时，如果模版输送容器3的方向偏离180°，则运动销和运动销槽相反，无法安装。由此，必须足够注意模版输送容器3的方向而安装，其结果是，有作业效率变差的问题。

发明内容

为了解决上述课题，本发明的目的在于允许模版输送容器的方向的错误，而实现作业效率的提高。即，本发明的模版输送容器，备有：舱，在一端具有开口，并具有收纳模版的内部；门，通过覆盖而封闭上述开口；密封件，在通过上述门封闭上述舱时，将内部气密地密封，其特征在于，以方向相差180°的方式设置有2组运动销槽，所述2组运动销槽形成于上述门的外侧表面上，用于定位并安装于装置侧。

由此，在将上述模版输送容器安装于模版储存器时，即使在上述模版输送容器的方向错误仍可照样安装，不必过度地关注模版输送容器的方向。

希望在上述舱的外侧表面中与上述运动销槽相对应的位置上，配置有用于承接并保持上述运动销槽的承接部，所述承接部配置成从任意方向均可嵌合上述两组运动销槽。

由此，不必过度地关注其方向，即可将多个模版输送容器叠置。

附图说明

图1为表示从底面侧观察本发明的实施方式的门的立体图；

图2为表示光刻工序所采用的装置的一个实例的概略结构图；

图3为在舱和门相互分离的状态下表示本发明的实施方式的模版输送容器的立体图；

图4为表示本发明的实施方式的模版输送容器的侧剖视图；

图5为表示本发明的实施方式的模版输送容器的主要部分的剖视图；

图6为表示本发明的实施方式的膜式过滤器的主要部分的剖视图；

图7为表示本发明的实施方式的无线标签的主要部分的剖视图。

具体实施方式

下面参照附图，对本发明的实施方式进行说明。图1为表示从底面侧观察门的立体图，图3为在舱和门相互分离的状态下表示本实施方式的模版输送容器的立体图，图4为表示本实施方式的模版输送容器的侧剖视图，图5为表示本实施方式的模版输送容器的主要部分的剖视图，图6为表示膜式过滤器的主要部分的剖视图，图7为表示无线标签的主要部分的剖视图。

象图3和图4所示的那样，模版输送容器11主要包括收纳模版12的舱13、封闭该舱13的门14、和密封件15，该密封件15设置于该舱13和门14之间，将内部气密地密封。

舱13包括主体部17和周缘嵌合部18，在该主体部17的内部收纳模版12，该周缘嵌合部18与该主体部17的外周一体形成并与门14嵌合。

主体部17呈盘状形成，设定成可将模版12完全收纳在内部的深度。在主体部17的中央部，设置有输送用的中心操作凸缘20。在该主体部17的周缘部，设置有水平延伸的板状的侧面操作凸缘21。该中心操作凸缘20与输送装置的臂部(图中未示出)结合，将模版输送容器11或舱13上抬。另外，侧面操作凸缘21在曝光设备内将门14与舱13以机械方式分离时用作辅助支承机构。此外，在主体部17的外侧表面的周缘部上，后述的运动销槽(キネマテイツクピングル一ゲ)61的承接部22以每条边3个部位的方式，在对置的2条边上设置于共计6个部位上。这6个部位的承接部22配置在与运动销槽61对应的位置上，从任意方向均能嵌合两组运动销槽61。各承接部22由俯视形状呈半圆形的板材形成。该俯视形状呈半圆形的各承接部22按照向外侧开口的方式设置。俯视形状呈半圆形的各承接部22按照其前端侧比基端侧更相互靠近而稍稍向内侧倾斜的方式形成。由此，上侧的模版输送容器11的运动销槽61容易嵌合并准确定位在下侧的模版输送容器11的承接部22上，这样，能简单并且稳定地将多个模版输送容器11叠置。当然，这些承接部的形状只要是能够承接运动销槽，也可以是半圆形之外的形状。

在主体部17的内侧的4个角部附近，设置有模版保持器25。该模版保持器25为与后述门14侧的模版保持器45成对而用于支承模版12的部件。该模版保持器25象图4和图5所示的那样，包括保持器承接部26和保持器板部27。该保持器承接部26为用于支承保持器板部27的部件。该保持器承接部26在主体部17的内侧的四个角部附近，与主体部17一起一体地形成。具体来说，该保持器承接部26由形成于主体部17的角部的五边形的板材形成，其1条边为形成接触并弹性地支承模版12的上侧角部12A的倾斜面部28的边。在该保持器承接部26的、形成倾斜面部28的边的一端，设置有保持器板部27的一端部嵌合的一端侧嵌合用缺口29。在该保持器承接部26的、形成倾斜面部28的边的另一端，设置有保持器板部27的另一端部嵌合的另一端侧嵌合用缺口30。此外，在形成倾斜面部28的边上，设置有凹部31。该凹部31设置于倾斜面部28的内侧，为用于在模版12的上侧角部12A接触时允许倾斜面部28的挠曲的部位。通过该凹部31，使保持器板部27具有缓冲功能。即，具有下述的缓冲功能：由于保持器板部27本身具有的弹性，以及凹部31的作用，保持器板部27弹性地挠曲，由此，吸收从外部传递的振动等，弹性地支承模版12。凹部31的间隙可为1mm左右以上。

保持器板部27为形成接触并弹性地支承模版12的上侧角部12A的倾斜面部28的部件。保持器板部27由弹性高分子材料成形。具体来说，采用PEE(聚酯弹性体)、PBT(聚对苯二甲酸丁二醇酯)、PP(聚丙烯)等不发尘的弹性材料。保持器板部27包括接触面板33、一端嵌合部34与另一端嵌合部35，其侧面形状呈非规则的コ字状。该接触面板33为用于在保持器板部27与保持器承接部26嵌合的状态下构成倾斜面部28的部件。由于该接触面板33由具有弹性的合成树脂成形，故其本身弹性地变形，并且由于上述凹部31的作用而弹性地挠曲，倾斜地接触并弹性地支承模版12的上侧角部12A。

一端嵌合部34为用于与保持器承接部26的一端侧嵌合用缺口29嵌合、从而将保持器板部27安装于保持器承接部26上的部分。另一端嵌合部35为用于与保持器承接部26的另一端侧嵌合用缺口30嵌合、从而将保持器板部27安装于保持器承接部26上的部分。由此，一端嵌合部34和另一端嵌合部35与一端侧嵌合用缺口29和另一端侧嵌合用缺口30嵌合，这样，将该保持器板部27固定于保持器承接部26上。

在主体部17的内侧的四个角部附近，除上述模版保持器25外还设置有膜片保持器37。有在模版12上不设置膜片的情况、在下侧面上设置膜片46的情况、在上下两侧面上设置膜片46的情况。膜片保持器37为在模版12的上侧面上设置膜片时起作用的部件。该膜片保持器37具有与模版保持器25相同的结构。即，该膜片保持器37包括：结构与模版保持器25的保持器承接部26相同的保持器承接部38、和结构与模版保持器25的保持器板部27相同的保持器板部39。在保持器板部39的内侧，设置有结构与模版保持器25的凹部31相同的凹部(图中未示出)。

舱13的周缘嵌合部18象图3和图4所示的那样，按照从主体部17的周缘向周围伸出的方式形成为盘状。该盘状的周缘嵌合部18设定为可将门14的周围完全收纳的深度。在该周缘嵌合部18的对置的边上，设置有用于固定门14的门扣41。

门14为用于通过与舱13的周缘嵌合部18嵌合而将舱13封闭、并通过密封件15将内部气密地密封的部件。该门14象图3～图5所示的那样，形成为基本平坦状，在其周缘上开设有密封槽43。密封件15安装于该密封槽43中，将舱13和门14之间气密地密封。在门14的上侧面上，在其4个角部的位置上设置有门侧支承部件44。该门侧支承部件44包括模版保持器45、膜片保持器47和底座板部48，该模版保持器45与上述舱13侧的模版保持器25相配合，从上下两侧支承模版，该膜片保持器47支承安装于模版12的下侧面上的膜片46，该底座板部48一体地支承模版保持器45和膜片保持器47。该模版保持器45为下述结构，即、保持器承接部50与上述的舱13侧的模版保持器25的保持器承接部27在与图5的纸面相垂直的方向上错开的状态下镜面对称。即，模版保持器45包括保持器承接部50和保持器板部51，它们与上述的模版保持器25的保持器承接部26和保持器板部27，如映在镜中时那样成对称的结构。保持器板部51的内侧的凹部52也具有与模版保持器25的凹部31相同的功能。即，保持器板部51能通过凹部52而弹性地挠曲，倾斜接触并弹性地支承模版12的下侧角部12B。

上述结构的模版保持器45和模版保持器25设置于相互错开的位置，能相互不妨碍地支承模版12。通过该模版保持器25、45夹持模版12，于规定位置对其进行支承。即使在取下舱13后，该模版12仍能由门14的模版保持器45支承在与门14隔开规定距离的状态下。膜片保持器47的膜片承接部56，与舱13侧的膜片保持器37的保持器承接部39为在图5的纸面内横向上错开的镜面对称的结构。即，膜片保持器47包括与舱13侧的膜片保持器37的保持器承接部38镜面对称的保持器承接部55、与保持器板部39镜面对称的保持器板部56。在保持器板部56的内侧，设置有结构与膜片保持器37的凹部相同的凹部(图中未示出)。

在门14的背面上，象图1所示的那样，设置有2组运动销槽61。该运动销槽61为用于定位并安装于曝光设备上的部件。该运动销槽61以设置于大致等腰三角形的顶点的位置的3个为一组，在朝向相差180°的状态下，设置有2组(61A，61B)，共计6个。这样做的目的在于，在将模版输送容器11安装于装置内部时，即使在操作人员误将模版输送容器11的朝向改变了180°而安装的情况下，仍可直接安装。

在上述舱13中，象图6所示的那样，形成有膜式过滤器安装部62。该膜式过滤器安装部62是用于使得能可靠安装并且容易装卸膜式过滤器63的部分。该膜式过滤器安装部62包括：管导向件65、过滤器嵌合筒部66和止动器67。

该管导向件65为用于在内部收纳并固定膜式过滤器63的筒部。该管导向件65一体地设置于舱13的主体部17上。管导向件65的外侧开口，从而可装卸膜式过滤器63。另外，该管导向件65还构成用于与置换模版输送容器11内的气体用的气体供给管(图中未示出)连接的管。该管导向件65的内侧封闭，设置有过滤器嵌合筒部66。该过滤器嵌合筒部66为膜式过滤器63的嵌合筒部71嵌合用的筒部。该过滤器嵌合筒部66构成为在管导向件65的内部从其内侧底部向外侧延伸的小直径的筒部。在管导向件65的内侧面的中间位置上，设置有止动器67。该止动器67为用于固定安装于管导向件65内的膜式过滤器63而使其不会脱落的部件。

膜式过滤器63为用于允许气体进出模版输送容器11的内外的过滤器。该膜式过滤器63防止灰尘等的通过，仅仅允许气体在模版输送容器11的内外侧之间进出。该膜式过滤器63包括过滤器主体部70、嵌合筒部71、开口筒部72。

过滤器主体部70呈厚壁圆盘状形成，在其内部收纳过滤器。该过滤器主体部70的直径设定为与上述止动器67卡止的尺寸。嵌合筒部71为用于将过滤器主体部70的内部和模版输送容器11的内部连通的部件。嵌合筒部71在膜式过滤器63安装于管导向件65的内部的状态下，与过滤器嵌合筒部66嵌合，将过滤器主体部70的内部和模版输送容器11的内部连通。开口筒部72为用于通过过滤器将模版输送容器11的内部和外部连通的筒部。另外，作为过滤器，填充0.1～0.5μm的筛网，其将非活性气体或干燥空气中的灰尘成分去除。

在门14的外侧表面上，象图7所示的那样，设置有无线标签(タグ)74。该无线标签74在由覆盖板75覆盖的状态下安装于门14的外侧表面上。在覆盖板75完全覆盖无线标签74的状态下熔接其全周，从而将其内部密封。在覆盖板75上，形成有收纳无线标签74的凹部75A。在无线标签74收纳于该覆盖板75的凹部75A中的状态下，将覆盖板75的全周熔接于门14的外侧表面上。由此，将无线标签74密封收纳于覆盖板75的内部。这样做的目的在于，在模版输送容器11的输送过程中等时，防止无线标签74的脱落或机械性损伤。另外，这样做的目的还在于防止无线标签本身造成的对装置的污染。该无线标签74是可以根据来自外部的电磁波的变化而在非接触状态下写入或读出信息的元件。在该无线标签74中，存储有处理、保管等时所需的各种管理信息。

象上述那样构成的模版输送容器11象下述这样使用。另外，在这里，以将模版输送容器11用于在半导体晶片上烧制电路图案时的处理的情况为例进行说明。

首先，模版12收纳于模版输送容器11内。此时，模版12载置于门14的模版保持器45上，安装舱13并利用门扣41进行固定。由此，由门14侧的模版保持器45和舱13侧的模版保持器25夹持并支承模版12。具体地说，模版12的下侧角部12B倾斜地接触并支承于模版保持器45的保持器板部51上，而模版12的上侧角部12A则倾斜地接触并支承于模版保持器25的保持器板部27上。此时，在保持器板部51、27的内侧具有凹部52、31而容许保持器板部51、27的挠曲，从而弹性地支承模版12。由此，在不损伤模版12的表面的情况下，抑制全部自由度地将该模版12固定于模版输送容器11内。

在模版12上设有膜片46的情况下，通过与上述模版12相同的作用由膜片保持器47固定该膜片46。

这样，在每个模版输送容器11内各收纳一个模版12，由操作人员以必要的数量码放并安装于模版储存器2内。此时，希望模版输送容器11能够全部按照设定的方向进行收纳，但即使在方向不同的情况下，也能够利用两组运动销槽61而不产生任何问题地进行安装。即、即使在模版输送容器1的朝向偏离了180°的情况下，两组中的一组运动销槽61也可以嵌合到模版储存器2内的运动销上而进行安装。另外，即使在叠置多个模版输送容器11的情况下，与运动销槽61相配合地设置在6个部位上的承接部22也会与模版输送容器11的朝向没有关系地承接在运动销槽61上并相互嵌合，从而将各模版输送容器11准确地定位，稳定地叠置。由此，操作人员不必加倍注意也能将模版输送容器11安装到模版储存器2内。

此后的模版输送容器11的输送等全部以机械方式来进行。也就是说，以机械方式来进行从模版储存器2取出并收纳模版输送容器11、然后采用输送升降设备使其在输送导轨上移动、再将模版输送容器11内的模版12设定在曝光设备1中这所有的操作(SMIF：标准机械界面)。

输送导轨4的输送机构部5与模版储存器2内的模版输送容器11以其中心操作凸缘20相结合，然后提升模版输送容器11。之后利用输送导轨4将其移动至曝光设备1。

接着，将模版输送容器11导入到曝光设备1中。此后，将模版12移送到曝光设备1的自动曝光台(未图示)上，设置为准确地定位到已经安装的半导体晶片上的状态，自动进行曝光作业。

曝光完成后，使模版12返回到模版输送容器11中，再次利用输送机构部5而在输送导轨4上移动，进而返回模版储存器2中。

在以上的处理工序中，根据记录在无线标签74中的信息进行工序控制。在模版输送容器11的门14的无线标签74中记录有模版12的种类和作业过程等各种信息，安装于曝光设备1中的读取装置(未图示)以非接触方式读取无线标签74的信息，并基于该信息来进行曝光设备1内的各种控制。在曝光作业完成后，根据需要采用写入装置(未图示)将模版12和模版输送容器11的过程、作业过程等写入无线标签74。由此，顺利地进行曝光作业或管理等。

此时，由于无线标签74由覆盖板75密闭收纳，所以，能够防止无线标签74的脱落和机械损伤，此外，还可以防止无线标签74自身造成的对装置的污染。

另外，在将模版输送容器11放置于压力变化的环境中的情况下，比如，象飞机进行的输送等那样，放置在高空的气压较低的环境、与地上的气压较高的环境的情况下，有时模版输送容器11的内压低于外压。在此情况下，难以将舱13和门14分离，但是，由于膜式过滤器63允许气体进出模版输送容器11的内外，故防止了模版输送容器11的内压低于外压的情况。由此，容易分离舱13和门14。

另外，在置换模版输送容器11内部的气体的情况下，将气体供给管插入而连接到膜式过滤器安装部62的管导向件65上，将非活性气体或干燥空气等供给管导向件65。

象上述那样，由于错开180°地设置有2组运动销槽61，故即使在搞错了模版输送容器11的方向而安装的情况下，运动销槽61也会允许该情况从而可以没有问题地安装。由此，操作人员无需加倍注意，便能将模版输送容器11安装于模版储存器2的内部，可提高作业性。

换言之，即使在操作人员在方向偏离了180°的状态下将上述模版输送容器11安装于模版储存器2中的情况下，方向相差180°的2组运动销槽61也会允许该情况，从而可安装上述模版输送容器11，故无需加倍注意上述模版输送容器11的方向便可进行叠置，在模版输送容器11的安装时，可谋求作业的高效化。

另外，在舱13的主体部17上，与运动销槽61相配合地在6个部位设置有承接部22，故可在不关注模版输送容器11的方向的情况下，将多个模版输送容器11叠置。由此，操作人员无需过度地关注，可提高作业性。

换言之，上述承接部22配置成从任意方向均可嵌合上述2组运动销槽61，不加倍注意其方向便能将多个模版输送容器11叠置，故可在模版输送容器11的叠置作业时，谋求作业的高效化。

此外，模版12等通过模版保持器25等，不会发生损伤地、安全且可靠地得到支承，可以更谨慎地对该模版12进行操作。

此外，由于将各种信息记录于无线标签74中而进行管理，故可根据该信息，提高作业效率。此时，由于无线标签74由覆盖板75密闭收纳，故可不使无线标签74脱落，不对其造成机械性损伤，还可防止无线标签74本身造成的对装置的污染。

还有，通过膜式过滤器63，允许气体进出模版输送容器11的内外，故可防止模版输送容器11的内压低于外压的情况，容易将舱13和门14分离。另外，可容易置换模版输送容器11内部的气体。

再有，在上述实施方式中，1个膜式过滤器63设置于舱13侧，但是其也可设置于门14侧。该膜式过滤器63的设置个数不限于1个，也可为2个以上。可在舱13、门14中的某一者或两者上，设置1个或多个膜式过滤器63。在此情况下，其设置于不会造成其它妨碍的位置上。

另外，在上述实施方式中，将无线标签74设置于门14的外侧表面的1个部位上，但是也可根据需要而设置于2个以上的部位上。所设置的部位不限于门14侧，也可设置于舱13上。还可设置于这两者上。还有根据所要求的功能、读取装置和写入装置的关系，设置于舱13侧的情况。此外，记录于无线标签74中的信息不限于作业过程等，可记录各种信息。

Claims

1.一种模版输送容器，备有：舱，在一端具有开口，并具有收纳模版的内部；门，通过覆盖而封闭上述开口；密封件，在通过上述门封闭上述舱时，将内部气密地密封，其特征在于，

以方向相差180°的方式设置有2组运动销槽，所述2组运动销槽形成于上述门的外侧表面上，用于定位并安装于装置侧。

2.根据权利要求1所述的模版输送容器，其特征在于，在上述模版输送容器的舱的外侧表面中与上述运动销槽相对应的位置上，配置有用于承接并保持上述运动销槽的承接部，所述承接部配置成从任意方向均可嵌合上述两组运动销槽。