TWI335244B - - Google Patents

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1335244 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於塗佈裝置，更特定地說，本發明係關於從 喷嘴對台座上所載置之基板吐出液柱狀態之塗佈液並進 行塗佈之塗佈裝置。 【先前技術】 習知技術中，已開發出從喷嘴吐出塗佈液，並且連續以 鲁 筆畫之方式對基板將塗佈液予以塗佈之塗佈裝置。例 如在製造有機EL顯示裝置之裝置中，係對台座上所载 置之玻璃基板等基板主面，以既定之圖案形狀，將有機

EL材料進行喷嘴塗佈。例如日本專利特開2006—1814M 號公報（對應台灣申請案：TW94135829 ;以下稱為專利文 獻1)所揭示，此種塗佈裝置中，在將塗佈液塗佈於基板 時，為了回收喷嘴移動至基板外時對基板外所塗佈之塗佈 液與不需要㈣佈液’係於基板外配設有接受塗佈液之液 籲體接受部。 如圖13所示，塗佈裝置係具備有載置接受紅、綠及藍 色有機EL材料之塗佈的破璃基板p之台座1〇1。另外， 該製以裝置係具備.吐出紅色、綠色及藍色有機此材料 之任一者的複數根（圖13之例為3根）喷嘴1〇2〜1〇4; 以及回收吐出於基板p之外的有機EL材料之液體接受部 105。作為紅、綠及藍色之有機EL材料，例如係使用具有 可在基板P上形成為條狀之溝内進行擴散的流動程度之 黏!生的有機性之EL材料。另外，以既定之壓力及流量’ 96149871 5 1335244 由喷嘴102~1〇4將有機EL材料以直線棒狀（以下記 液柱狀態）吐出，塗佈於基板p上。另夕卜，液體接受部 .105係在基板P之兩邊外側（圖13中僅顯示一邊）對頂 面進行開口而配設。 喷嘴102〜104係以相對於後述之喷嘴彳±返移動方向斜 向地並列設置之狀態，由保持構件（未圖示）所支持，該 保持構件及台纟1G1係利用塗佈裝置之各驅動機構而動 作。驅動機構係使將喷嘴102〜1〇4支持於在既定方向橫斷 2板P之方向（係形成於基板p之條狀的溝方向為圖示 前碩F之方向；以下記載為喷嘴往返移動方向）上的保持 構件，進行往返移動。此時，驅動機構係使上述保持構件 彺返移動，移動範圍係從配設於基板p之一邊外侧的液體 接又邛105之上部空間，至橫斷基板p而配設於基板p之 另一邊外侧之液體接受部1〇5之上部空間為止❶又，驅動 機構在上述保持構件係配置於液體接受部1〇5之上部空 ，時，係使台座1〇1在與上述噴嘴往返移動方向垂直之既 ^方向（紙面垂直方向）上，僅移動既定的間距。在此種 驅動機構動作之同時，使有機EL材料從噴嘴1〇2〜1〇3以 液枉狀態吐出，藉此，在基板P上可形成紅、綠及藍色之 有機EL材料分別以條狀之溝以紅、綠、藍色之順序排列， 亦即所謂條狀排列。 <然而將液柱狀態之塗佈液對基板p外所設置之液體接 爻部1〇5吐出之情況，有以下之問題。由於喷嘴102-104 與液體接受部105之距離（圖13所示之hl+h2)變長， 96149871 1335244 液柱狀態之塗佈液會因表面張力而液滴化。例如，雖可將 喷嘴102〜104刖端部至基板ρ頂面之距離hi設定為 0.25-0.50mm左右之可保證為液柱狀態之距離，但距離 .hl+h2在20mm以上之情況，僅調整吐出壓力或流量，仍 難以防止液滴化。又，噴嘴102〜104往圖示F方向高速移 動之情況’隨著其速度而液滴化之塗佈液會進一步分裂為 細微的靄（mist)狀。另外，高速移動之噴嘴1〇2~1〇4的 _背後之空間成為負壓，成為靄狀之塗佈液會飛濺至喷嘴 102~ 104之附近。其結果，基板p外所產生之靄狀的塗佈 液落下至基板P上，並附著於頂面，因而成為塗佈不良的 原因。 又，可考慮在液柱狀態之塗佈液液滴化之前，將塗佈液 直接以液柱狀態塗附於平板等之構件的方式。然而，將塗 佈液以液柱狀態塗附之構件上，該塗佈液係以積存之狀態 (積液）殘存。另外，若進一步對於構件上所積存之積液 φ繼續塗附液柱狀態之塗佈液，則在液柱狀態之塗佈液進入 該積液之部位附近，會發生靄狀之塗佈液。 另一方面，如圖14所示，上述專利文獻丨所記載之塗 佈裝置上，設置有形成狹縫S之液體接受部1〇6。狹縫s 係與上述噴嘴往返移動方向平行地形成於液體接受部ι〇6 之頂面。又，狹縫S係形成於從台座1〇1上離開上述喷嘴 彺返移動方向之位置、以及由噴嘴1〇2〜1〇4之前端部開始 之垂直下方向之位置。另外，形成狹縫S之液體接受部 106的頂面係設置於與台座1〇1之頂面大致相同之高度 96149871 7 1335244 才即’距離h2為基板P厚度左右之偏小值），因此，通 過狹縫S之開口而從喷嘴吐出之液柱狀態的塗佈液係以 -.·液體接受部1〇6回收，可防止靄狀之塗佈液漏出至液體接 •觉部10 6之外部。 然而’塗佈裝置由其製造效率等方面而言，一般係使用 複數噴嘴。又’上述之複數喷嘴係以相對於喷嘴往返移動 方向斜向地並列設置之狀態而被支持，並往該喷嘴往返移 籲動方向而往返移動，因此，為了使來自所有喷嘴之塗佈液 通過，必須將狹縫S之開口寬度形成為較寬廣。因此，在 上述專利文獻1所揭示之塗佈裝置中，必須將狹縫S之開 口面積形成為較大’結果使來自狹縫s之開口部的靄狀塗 佈液漏出至液體接受部106之外部。 【發明内容】 因此，本發明之目的在於提供一種塗佈裝置，其係於將 液柱狀態之塗佈液塗佈於基板時，吐出於基板外之塗佈液 籲不會對該基板造成影響。 為了達成上述目的’本發明具有下述特徵。 本發明之第1態樣係將朝垂直下方向之直線棒狀液柱 狀態的塗佈液吐出於基板上，並塗佈該塗佈液之塗佈裝 置。塗佈裝置係具備喷嘴、台座、喷嘴移動機構以及液體 接受部。喷嘴係將塗佈液以液柱狀態從其前端部吐出。台 座係將基板載置於其頂面。喷嘴移動機構係於台座上之空 間中，使喷嘴在橫斷該台座面之方向上往返移動。液體接 受部係在液體移動機構沿著橫斷方向而於離開台座上之 96149871 8 1335244 位置，由喷嘴吐出塗佈液並且移動該噴嘴時，接受 1吐出於台座外之塗佈液。液體接受部係包含傾斜面°。傾 八斜面係由離開台座上之位置所配置之喷嘴的前端部，於垂 •直下方向之位置向橫斷方向延伸言免置，相對於垂直於該橫 斷方向的水平方向傾斜。液體接受部係將從離開台座= 位置所配置之喷嘴吐出之塗佈液，以液柱狀態塗附於傾斜 面並回收 第2態樣係於上述第丨態樣中，液體接受部進—步包含 吸引手段。吸引手段係吸引傾斜面上塗附塗佈液之位置附 近的空間之氣體。 第3態樣係於上述第2態樣中，吸引手段具有至少1個 吸引口，其係於傾斜面上塗附塗佈液之位置的下方，吸引 該傾斜面上部空間之氣體。 第4態樣係於上述第3態樣中，液體接受部進一步包含 區隔構件。區隔構件係相對於傾斜面，介隔著既定的間 籲隙，平行地固定設置於傾斜面之上部空間的一部份。吸引 口係配設於傾斜面之下端與區隔構件之間。 第5態樣係於上述第2態樣中，吸引手段將傾斜面上塗 附塗佈液之位置附近的空間之氣體，朝沿著該傾斜面之頂 面的下方吸引。 第6態樣係於上述第1或第2態樣中，傾斜面係配設於 下述位置：塗佈液塗附之位置較喷嘴吐出之塗佈液從液柱 狀癌開始分裂之尚度更靠該噴嘴侧之垂直下方向位置。 第7態樣係於上述第6態樣中，傾斜面係由1個平面所 96149871 9 I335244 形成，該平面係相對於垂直於橫斷方向之水平方向，往一 個方向傾斜。 ’·第8態樣係於上述第6態樣中，傾斜面係由”固平面所 、·構成之谷型，該等平面係相對於垂直於橫斷方向之水平方 向’分別往雙方向傾斜。 第9態樣係於上述第6態樣中，傾斜面係由2個平面所 構成之山型，該等平面係相對於垂直於橫斷方向之水平方 •向’分別往雙方向傾斜。 根據上述第1態樣，從配置於離開台座 所吐出之液柱狀態的塗佈液，係在因表面張力 前，全部塗附於液體接受部之傾斜面。另外，塗附於傾斜 面上之塗佈液係於其傾斜方向上一邊流下一邊被回收。因 此’使塗佈液以液柱狀態塗附之傾斜面上，不會有該塗佈 液以積存之狀態（積液）而殘存之狀況。亦即，不會對於 積存在傾斜面上之積液進一步繼續塗附液柱狀態之塗佈 籲液，可防止液柱狀態之塗佈液進入該積液所造成之靄狀之 塗佈液的發生。因此’不會發生吐出至基板外之塗佈液飛 濺而落下至基板上並附著之狀況，可防止塗佈不良。 根據上述第2態樣’藉由吸引傾斜面上塗附塗佈液之部 位’可進一步確實地防止吐出至液體接受部之塗佈液向外 部漏出。 根據上述第3態樣，由於吸引口係設置於傾斜面上塗佈 液塗附之位置的下方，因此可沿著塗附於傾斜面並流下之 塗佈液的方向，吸引塗佈液。又，在傾斜面上產生露狀之 96149871 10 1335244 塗佈液的情況，可從塗附塗佈液之位置向下方有效率地吸 引靄化之塗佈液。又，吸引手段所吸引之空間係被傾斜面 限定之空間，因此可提升其吸引效率，可進一步有效率地 _ 回收不需要的塗佈液。 根據上述第4態樣，吸引手段所吸引之空間係被包夾於 傾斜面與區隔構件之狹窄空間。因此，藉由設置區隔構 件，吸引手段所吸引之空間被進一步限定，故可進一步提 •升吸引手段之吸引效率。 根據上述第5態樣，由於係朝沿著傾斜面頂面之下方進 行吸引，故可沿著塗附於傾斜面並流下之塗佈液的方向， 吸引塗佈液。又，當在傾斜面上產生靄狀之塗佈液的情 況，可有效率地朝沿著該頂面之下方，吸引靄化之塗佈 液。此外，吸引手段所吸引之空間係被傾斜面所限定之空 間，故可提升其吸引效率，並進一步有效率地回收不需要 的塗佈液。 • 根據上述第6態樣，從配置於離開台座上之位置的喷嘴 吐出之液柱狀態塗佈液係於分裂前塗附於傾斜面。因此， 可防止塗佈液成為細微的靄狀並落下至基板上。 根據上述第7態樣，可使塗附於由1個平面所構成之傾 斜面上的塗佈液，一邊在該傾斜方向上流下一邊進行回 收。 根據上述第8態樣，可使塗附於以谷型構成之傾斜面上 的塗佈液’ 一邊在該谷底方向上流下一邊進行回收。 根據上述第9態樣，可使塗附於以山型構成之傾斜面上 ( 96149871 11 丄〇说44 的塗佈液，一邊在該山裙方向上流下一邊進行回收。 本發明之上述及其他目的、特徵、態樣、效果，係可對 -、、後附圖式，由下述之詳細說明更為明確。 【實施方式】 _以下參照圖式，針對本發明之一實施形態的塗佈裝置進 行說月為了使s兒明較為具體，係使用該塗佈裝置係使用 有機EL材料或電洞輸送材料等作為塗佈液之應用於製造 鲁有機£1顯不裝置的塗佈裝置之例，進行以下說明。該塗 佈裝置係將有機EL材料或電洞輸送材料等以既定之圖案 形狀塗佈於台座上所載置之玻璃基板上，以製造有機 顯示裝置者。圖1係顯示塗佈裝置i之重要部位概略構成 之平面圖及正面圖。另外，塗佈裝置丨係如上所述般使用 有機EL材料或電洞輸送材料等之複數塗佈液，以有機ε[ 材料作為塗佈液之情況作為代表，進行說明。 圖1中，塗佈裝置1大致而言係具備基板載置裝置2及 鲁有機EL塗佈機構5。有機EL塗佈機構5係具有噴嘴移動 機構部51、噴嘴單元50、液體接受部53L以及531^喷 嘴移動機構部51中，導引構件511係延伸設置於圖示χ 軸方向，使噴嘴單元5〇沿著導引構件511而在圖示χ軸 方向移動。噴嘴單元50係以並列設置有吐出紅、綠及藍 色中任1色之有機EL材料的複數喷嘴52 (圖1中係3根 之嘴嘴52a、52b及52c)之狀態保持著。分別由供給部 (參照圖2 )對各喷嘴52a〜52c供給紅、綠及藍色中任1 色之有機EL材料。如此，係由複數之喷嘴52吐出同樣顏 96149871 12 1335244 色之有機EL材料，但為了使說明較為具體，係使用由^ 根之喷嘴52a〜52c吐出紅色的有機虹材料之例。 .基板載置裝置2係具有台座2卜旋轉部22、平行移動 台23、導引接受部24以及導引構件25。台座21係於其 台座頂面上载置作為被塗佈體之玻璃基板等之基板P。台 座21之下部係藉由旋轉部22而支持，係構成為利用旋轉 部22之旋轉動作，可於圖示Θ方向上使台座21旋轉。又， 口 j 21之内部中係設有用以使塗佈有機材料之基板p 在台座面上進行預備加熱處理之加熱機構或基板P之吸 附機構或授受銷機構等。 導引構件25係以通過有機EL塗佈機構5之下方的方 式伸叹置於與上述X軸方向垂直之圖示γ轴方向上， 並固疋為水平。平行移動台23之底面係固定設置有導引 接受部24，其係與導引構件25抵接並在導引構件25上 滑動：又，於平行移動台23之頂面係固定設置有旋轉部 22:藉此’平行移動台23可接受來自例如線性馬達（未 圖示）之驅動力，在沿著導引構件25之圖示¥軸方向上 移動，亦可使支持於旋轉部22之台座21進行水平移動。 基板Ρ係介隔授受銷機構而載置於台座21上，並吸附 固定該基板Ρ，當平行移動台23移動至有機^塗佈機構 5之下方時，該基板Ρ係位於從喷嘴52a〜52c接受紅色有 機EL材料之塗佈的位置。接著，控制部（參照圖〇 控制喷嘴移動機構部51，使喷嘴單元5〇在χ軸方向上往 返移動’並控制平行移動台23,使台座21"軸；向^ 96149871 13 5進行該直線移動時僅移動既Μ距，使既定流量之有機 L材料從喷嘴如〜伽吐出。又，於喷嘴仏仙之χ •办方向吐出位置’從載置於台座21之基板ρ鬆脫之兩側 ，·= ’係分別固定設置有液體接受部53L&53r，以接受 ’中？板離並吐出之有機乩材料。喷嘴移動機構部51 噴觜單元50進行往返移動，移動範圍係從配設於基 之側外側的液體接受部53 (例如液體接受部53L ) 修之上部空間，至橫斷基板p並配設於基板p之另一侧外側 ，液體接受部53 (例如液體接受部53R)之上部空間為 止。又，當噴嘴單元50係配置於液體接受部53之上部空 平行移動台23係使台座21在與喷嘴往返移動方向 之既定方向（圖示Υ軸方向）上僅移動既定間距。在 $種喷嘴移動機構部51以及平行移動台23之動作的同 、、從噴嘴52a〜52c以液柱狀態吐出有機EL材料，藉此， 於基板P上形成紅色有機EL材料形成於基板P上並排列 _於條狀的溝之所謂條狀排列。 a其次’參照圖2 ’針對塗佈裝置i之控制機能以及供給 P之概略構成進行說明。另外，圖2係顯示塗佈裝置1之 控制機能以及供給部之方塊圖。 圖2中’塗佈裝置i係除了上述之構成部以外，具備控 制。p 3、第1供給部54a、第2供給部54b以及第3供給 —部54c。第卜第3供給部5切〜54(：均係介隔配管，將紅^ 有機EL材料分別供給至喷嘴52a〜52c。 第1供給部54a係具備有機EL材料之供給源54u、用 96149871 1335244 以從供給源541a將有機EL材料取出之泵542a、以及檢 測有機EL材料之流量的流量計543a。又，第2供給部_ 係具備有機EL材料之供給源541b、用以從供給源54ib 將有機EL材料取出之栗542b、以及檢測有機el材料之 流量的流量計543b。第3供給部54c係具備有機此材料 之供給源541。、用以從供給源541c將有機此材料取出 之泵542c、以及檢測有機EL材料之流量的流量計543c。 另外，控制部3係分別控制第卜第3供給部54&〜54c、旋 轉部22、平行移動台23以及喷嘴移動機構部51之動作。 另外，從供給源541a〜541c至喷嘴52a〜52c之各配管，係 聚乙稀)、PP(聚丙烯"帆⑽(註冊商標) 專作為材料之管構件。 喷嘴52a係具有過遽部521a，其係用以除去從第！供 給部54a所供給之有機EL材料中的異物。 有過遽部521b，其係用以除去從第2供給 =EL材料中的異物。喷嘴52c係具有過遽部： ^ ^除去從第3供給部54g所供給之有機£ =物。另外，由於喷嘴52a〜也係分別為同—構造，因 m騎說明時，係賦予元件符號「52」而進行說明。 &紅色有機EL材料之塗佈的基板p之表面上，

條之方式’形成有對應於欲塗佈有機EL 既疋圖案形狀的條狀的溝。作為有機EL材料，例 如可使用具有可在其妬P L ^ ^例 ^. 土 之溝内以擴散方式流動之程 度的黏性之有機性EL材料，具體而言可使用各色之高分 96149871 15 1335244 子型有機EL材料。噴嘴單元5 〇係於既定之支持轴周圍被 支持為可自由轉動，藉由控制部3之控制而於該支持軸周 圍轉動’可藉以調整塗佈間距間隔。 控制部3係根據載置於台座21之基板ρ的位置或方 向’調整旋轉部22之角度，使形成於基板ρ之溝的方向 成為上述X軸方向，以算出塗佈之開始點（亦即在形成於 基板Ρ之溝的一端部側開始塗佈之塗佈開始位置）。另 外，上述塗佈開始位置係為一液體接受部53之上部空 間另外，控制部3係如上所述，驅動平行移動台23以 及喷嘴移動機構部51。 上述塗佈開始位置中，控制部3係對各泵542a〜542c指 示由各喷嘴52a〜52c開始有機EL材料之吐出。此時，控 制部3係以使條狀溝之各點的有機EL材料之塗佈量均勾 並以液柱狀態吐出有機EL材料之方

=处之移動速度而控制其塗佈量，並將㈣流= 3 a〜543c之流量資訊回饋而進行控制。另外，控制部3 係為了使有機EL材料流入基板ρ上之溝内，將 元 =制為沿著導引構件511而移動，俾使有機紅材料沿 者土板P上之溝並且流入該溝藉 態從各喷嘴52a~52c σ土出之红U ::作’以液柱狀 各自的溝中。& 土出之紅色有機EL材料係同時流入 於嘴單元5°橫斷基板P上並固定設置 噴嘴52a :2 之另一液體接受部53上，則在來自 噴實52a〜52c之有機EL材料之吐出繼續之情況下，停止 96149871 Ϊ335244 噴嘴移動機構部51所進行之噴嘴單元5〇之移 1次的移動，有機£L材料對3 # ^ θ 3由5玄 且士认叫々 丁份量之溝的塗佈結束。 乂、體而舌，由於從各嘴嘴52a〜52c吐出同色的有機 料，因此有機E)L·材料被塗佈# 材 * ^ 伸於母3仃中以1行溝作A冷 佈對象之總計3行份量的溝中。 為塗 其次’控制部3係將平行移動台23於γ軸正 移送既定距離（例如9行溝 6上僅 你u〜 仃，苒之伤里）的間距，接著進行對 乍為塗佈對象之溝的有機EL材料的塗佈。另外，控二 3係右使噴嘴單元50從另一 ^ 斷基板P上並位於-液體接受部53上，則在來嘴 :2:52c之有機EL材料之吐出繼續之情況下，停止喷 "動機構部51所進行之喷嘴單元5{)之移動。藉由該第2 -人之移動，結束有機EL材料對 藉由重籍分猛叙你,Λ 订份置之溝的塗佈〇 田重複此種動作，紅色有機EL材料 對量之溝中。 、巴為塗佈 接者，參照圖3〜圖6 ’針對液體接受部53進行說明， 另外，圖3係顯示液體接受部53之構造的立體圖 圖3…向所見之液體接受部⑽的側面概要圖。 二:顯示由噴嘴52a〜52c吐出之有機乩材料與液體接 又邻53之位置關係的立體圖。圖6係顯示與噴嘴 移動時之液體接受部53之位置關係的立體圖、。另外，相 對於台座21位於兩侧之液體接受部5礼及53R(參照圖^ ^具有對稱於台座21之相同構造’目3〜目6係顯示其 —者’作為液體接受部53。 96149871 17 比 5244 人圖3中，液體接受部53係具備下段接受部、上段 盒部532、上板構件533、上段支持構件534以及盒内吸 引部536。 奴接叉部531係例如連結於喷嘴移動機構部51，固 ^設置俾使其與喷嘴移動機構部51的位置關係值常固 定下奴接叉部531係被安裝於上段盒部532之台座21 的下^，其位置係當喷嘴他〜52。在基板ρ上與上段盒 部532上之間移動時，可接受從基板P與上段盒部532 2 縫隙漏出之有機EL材料等。吐出於上段盒部532之内部 ，有機EL材料’係經由設於上段盒部532之下部的排出 s線535 (參照圖7 ) ’流下到下部接受部531内。又，吐 出於下段接受部531内部之有機EL材料係透過從其最下 位置流出的流動路徑（未圖示），以排液槽（未圖示）回收。 又，下段接受部531内部中，亦可設置吸引台座21側面 附近空間之氣體的局部排氣部。此外，於下段接受部531 之上端面，係固定設置有用以支持上段盒部5犯之上 持構件534。 文 <上段盒部532係利用上段支持構件534而支持，並固定 ^置於下段接受部531之上部。上段盒部532係具有頂面 為開放的盒子形狀，上板構件533係以覆蓋該頂面之方式 设置’並被關閉。上板構件533係形成有以圖示1轴 作為長度開口方向之狹縫開口部灿。上板構件咖係 以成為上段盒部532之蓋的方式而被安裝，被嵌入為可從 上段盒部532取下。另夕卜’若上板構件533被安裝於上段 96149871 1335244 盒部532’則狹縫開π部533&係作用為上段盒部挪之 内部空間與外部空間的開孔。

上板構件533之頂面係被固定設置為與台座21之頂面 大致相同高度（參照圖4之高度d)e上段金部挪及上 板構件533之台座21侧的側面，係在該台座21附近形成 既定的間參照圖4之間隙a)並固定設置。另外，上 板構件533之頂面係相對於載置為從台座21之侧面往圖 :X轴正方向超出一部份（參照圖4之長度b)的基板p (圖3中係以虛線表示），配置為其一部份為重疊（參照 圖4之重疊長度c)。另外’上段盒部532之内部構造係 又，上段盒部532係於其侧面中央位置設置吸引口，盒 =吸引部5 3 6係從該吸引口吸引上段盒部5 3 2内部之氣體 各另外，攸上段盒部532内部被吸引之氣體（包含上段 ，部532内部所產生之霧狀有機EL材料）係藉由盒内吸 弓部536而從上述吸引口被吸引，以排液槽（未圖示）回 圖4中，上段盒部532及上板構件533之台座21侧之 侧面係設置為與台座21側面形成間隙a。此間隙a係藉 由台座21往圖示Y軸方向之平行移動動作或旋轉部22之 ::動作，設置為台座21與上段盒部532及上板構件533 山^之距離，例如為3mm。又，基板Ρ係相對於台座21 之端面僅於液體接受部53側超出長度b而載置。長度b 係設定為上板構件533之頂面與基板p僅重疊長度c，因 96149871 < 1335244 533之頂面Jn?、’重疊長度c=2mm。上板構件 .·較佳係以與台座21:=反？之端部往下方向之漏茂， 上所述m 同的高度而設置’但由於如 必彡旨卩太μ ;台座21之基板p會平行移動或轉動，因 因廿:、卜妃基板Ρ之底面與上板構件533之頂面的干涉。 僅低：庚Η構件533之頂面係以設置為較台座21之頂面 僅低间度d ’例如高度d:0.5〜3.0觀。 另外，為了防止基板P之底面與上板構件咖之頂面的 干涉，，以上板構件533之頂面設置為僅較台座21之頂 面低了面度d之例進行說明，但在不期待此種效果之情 況，^可將上板構件533之頂面設置為台座21之頂面以 上的问度。若上板構件533之頂面係設置為至少較喷嘴 52a〜52c之前端部更低，則可防止液體接受部53與喷嘴 52a〜52c之干涉。 其次，參照圖5，針對噴嘴52a〜52c與液體接受部53 φ之位置關係進行說明。另外，圖5中主要顯示噴嘴 52a〜52c、液體接受部53以及基板p，其他部位係省略表 示。又’液體接受部53僅圖示上段盒部532及上板構件 533。如上所述，當對於基板p塗佈有機EL材料時，在塗 佈開始及結束之時間點、或者X轴方向折返之時間點等， 喷嘴52a~52c係配置於液體接受部53之上部空間。此時， 噴嘴52a〜52c係從液體接受部53之上方，朝狹縫開口部 533a而吐出液柱狀態之有機EL材料。 設置液體接受部53，俾當喷嘴52a〜52c移動至液體接 < 96149871 20

:::3之上部空間時，由該噴嘴他〜52c吐出之有機EL 材枓會通過狹縫開口部 機EL 受。亦即，狹縫開口邱533 ^ 部532之内部接 X舳士人 邛533a係形成為當喷嘴52a〜52c朝 X軸方向移出基板P外時，包 C朝 部（吐出口）夕不匕各該贺嘴52a〜52c之各前端 之移動方6 U & 位置之全部。因此，喷嘴52a〜52c 方向m向）與狹縫開口部伽之長度形成 於嘖心 向）係為平行，狹縫開口部533a係在相對

上;2广之前端部的圖示2軸負方向（垂直方向） 在此’為了對χ軸方向所並列設置之3行份量的 β、塗佈有機EL材料’噴嘴52a〜版係往圖示？轴方 向猶微偏移而配置。狹縫開口部伽係具有由該等喷嘴 ，册以液柱狀態吐出之有機EL材料可全部通過的 度0 又，若如圖5所示般將喷嘴52a〜52c配置於液體接受部 53之上工間’則喷嘴52a〜52。會往屬於X軸負方向之 圖示c方向高速移動（圖6)。如圖6所示，當喷嘴5%〜5以 從液體接受部53之上部空間往圖示c方向移動時，從該 喷嘴52a〜52c吐出之有機EL材料至吐出於基板p上為 止，亦全部以液柱狀態通過狹縫開口部533a而回收至上 段盒部532中。 其次，參照圖7〜圖9，針對上段盒部532之内部構造進 行說明。另外，圖7係對圖3之剖面A_A由β方向看去之 上段盒部532之剖面圖。圖8係削除上段盒部532之一部 分的側面及上板構件533之一部分（具體而言為γ軸負方 96149871 21

(S γ° ]之側面、Χ軸正方向側之側面、以及上板構件533之 甚_、方向侧構件）的液體接受部53之立體圖。圖9係 _·.顯不喷嘴52卜52c與傾斜面537之位置關係的概要圖。 圖7及® 8巾，上段盒部532係於其内部固定設置有傾 f面537。傾斜面537係設置於上段盒部5犯中狹縫開口 部I33a^之下方位置，在喷嘴單元50往返移動之X軸方向 上I伸叹置。另外，傾斜面537係相對於喷嘴單元5〇往 籲返移動之方向的垂直水平方向（亦即γ軸正方向或γ轴負 方向）/往下方傾斜。傾斜面537係表面為平滑的板狀構 件，係由例如不銹鋼板或表面被氟樹脂被覆之板材所構 成。另外，傾斜面537並不限定於板狀構件，亦可以實心 構件或中空構件之一側面構成。

又，傾斜面537之下端係接合於上段盒部532之γ軸方 向側之側面。另外’圖7及圖8之—例中’由於傾斜面 537係往γ軸負方向側傾斜，故該傾斜面537之下端係接 籲合於上段盒部532之Υ軸負方向側之側面。又，傾斜面 537之兩側部係分別接合於上段盒部532之χ軸方向侧的 侧面（參照圖8)。另外，傾斜面537之下端與上段盒部 532之側面的接合部上侧附近，係設有排出管線535，沿 著傾斜面537而流下之有機EL材料係通過排出管線535, 流下至下段接受部531内。又，在有機EL材料塗覆於傾 -斜面537之位置的下方之上段盒部532之側面，係連接著 吸引傾斜面537之上部空間的氣體之盒内吸引部536之吸 引口。具體而言，盒内吸引部536之吸引口係較有機EL 96149871 22 1335244 材料塗覆之位置更低，較排出管線535所設置之位置更 高，設置於與傾斜面537之上部空間連通的上段盒部532 ，.之側面。因此，盒内吸引部536係於上段盒部532内部， .由該傾斜面537之下端側，沿著該傾斜面537吸引傾斜面 537之上部空間的氣體等。 藉由此種上段盒部532之構造，在液體接受部53之上 部空間中從喷嘴52a〜52c吐出之有機EL材料（圖7〜圖9 籲中係以塗佈液LI ~L3表示）係透過狹縫開口部533a，全 部塗覆於傾斜面537。另外，如圖8所示，塗覆於傾斜面 537之有機EL材料係沿著傾斜面537朝其傾斜方向流下， 由排出管線535流下至下段接受部531内。又，盒内吸引 部536係產生沿著傾斜面537而吸引之氣流，並在從喷嘴 52a〜52c吐出之有機EL材料所塗覆之部位附近，發生吸 引氣流。因此，當在傾斜面537上產生靄狀之有機£^材 料的情況，被靄化之有機EL材料係由盒内吸引部536之 φ吸引口被吸引。 在此，傾斜面537係配置於較液體接受部53之上部空 間t由喷嘴52a〜52c吐出之有機EL材料從液柱狀態開始 分裂之高度更為上方。另外，傾斜面537相對於水平方向 之傾斜角度α，為了使塗覆之有機EL材料迅速地流下， 較佳係儘量接近垂直方向。然而，如圖9所示由於為了 •確保塗佈間距間隔，使喷嘴52a〜5以朝¥軸方向若干偏移 而配置，故喷嘴52a〜52c各自的前端部與傾斜面537之距 離係分別不同。因此，傾斜面537之配置方式為，從喷嘴 ( 96149871 23 1335244 52a〜52c各自的前端部與傾斜面53?之距離為最長 52a〜52c所吐出之有趟，。 田機EL材枓（圖9之例中係從 ·.吐出之塗佈液L1)係以液柱狀態恆常塗 .傾斜面537之設置方式為，嗔嘴52a 二體而吕， Π: 未滿可保證所吐出之有機_ 的液柱狀態之距離（例如叫又，針對相對於傾斜面 537最為接近之喷嘴52a〜似（圖9之例中為喷嘴 必^防止與傾斜面537之干涉。亦即，最接近傾斜面挪 之喷嘴如〜52c之前端部與傾斜面537之距離们，某種 Γ度士 保。以滿足此種距離H1及H2之條件的範 圍’权置儘里接近垂直方向的傾斜角度 定為傾斜角度α=60。。 例如係。又 f由上述構成，吐出於基板^卜的有機此 ^柱狀態通過狹縫開口部伽，塗覆於傾斜面537並回 =532 ” n從嘴嘴52a~52c所吐出之液 的有機EL材料係在因表面張力而液滴化之前，全 =於傾斜面537。又’塗覆於傾斜面53?上之有機EL 二糸，其傾斜方向流下，並流下至下段接受部531内。 以液柱狀態塗覆有機EL材料之傾斜面537上， 材料不會以積存之狀態（積液）殘存。亦即， 對於積存於傾斜面537上之_. 柱狀態之有機EL材料叮積液，不會進一步繼續塗覆液 入兮接A機 防止液柱狀態之有機EL材料進 ^造成霞狀之有機EL材料的產生。又，於傾斜 生靄狀之有機EL材料的情況，亦被吸引至盒 (s 96149871 24 1335244 内吸引部536,故可確實防止靄狀之有機虹材料 液體接受部53外部。 ’出至 Ί’本實施形態之塗佈裝置的上段盒部532係於 枝有傾斜面537，故吐出至上段盒部532内之有機此 =不會再度往外部飛^又’藉由對傾斜面537塗覆有 機EL材料之部位進行吸引，當上段盒部532内進一 m el材料之情況，亦可確實防止往外部漏 ^在此’盒内吸引部536所吸引之上段盒部532之内部 =間係㈣斜面537所限定之空間，因此其吸引效率提 升，可進-步有效率地回收靄狀之有機EL材料。因此， 不ί發生吐出至基板外之有機EL材料落下至基板P上並 附著之情況，可防止塗佈不良。 /另卜上述傾斜面537之例係使用相對於噴嘴單元 4、移動之方向的垂直水平方向朝下方傾斜之1個傾斜 仁亦可。又置其他態樣之傾斜面。以下參照圖10及圖 斜面之其他態樣例進行說明。另外，圖10係顯 = >成為谷型之傾斜面538的一例之上段盒部532之剖面 Α圖11係顯不形成為山型之傾斜面539的一例之上段 益部5 3 2之剖面圖。 f 1 〇中’上段盒部532係於其内部固定設置有谷型的 5挪Γ。538 (没谷型的一傾斜面為538a，另一傾斜面為 却⑽ <頁斜面538係與傾斜面537同樣地設置於上段盒 、月政 < 狹縫開口部5338的下方位置，於喷嘴單元50往 ^動之X軸方向上延伸設置。另外，傾斜面⑽a係相

96149871 25 1335244 對於垂直於喷嘴單元50往返移動之方向的一水平方向 (圖10中為Y軸正方向），於下方傾斜。又，傾斜面· ..係相對於垂直於喷嘴單元5〇往返移動之方向的其他水平 .方向（圖10中為γ軸負方向），於下方傾斜。另外，利用 1組的傾斜面538a及538b，形成谷型之傾斜面538。傾 斜面538a及538b均為表面平滑的板狀構件，例如係由不 錄鋼板或表面被銳樹脂被覆之板材所構成。另外，傾斜面 538a及538b並不限於板狀構件，亦可由分別形成為實心 構件或中空構件之2個側面所構成。 又，傾斜面538a及538b之上端係分別接合於上板構件 533之底面或上段盒部532之¥軸方向側的側面。傾斜面 538a及538b之各兩侧部係分別接合於上段盒部532之χ 軸方向側的側面。另外，於傾斜面538a及53肋之下端之 間（亦即谷底部）係形成狹縫狀的間隙，從傾斜面538& 及538b之下端開始至氣液分離盒55為止，係由連接構件 •所連接。藉由該連接構件，形成於傾斜面538a及538b之 下端的狹縫狀間隙與氣液分離盒55被連通。另外，氣液 刀離孤55之上部係連接著盒内吸引部5%之吸引口，氣 液分離盒^5之下部係連接著朝下段接受部531之排出管 線535。藉此，介隔著氣液分離盒55及上述連接構件， 形成於傾斜面538a及538b之下端的狹縫狀的間隙與盒内 吸引部536之吸引口被連通。因此，盒内吸引部536係於 上段盒部532内部，將傾斜面538之上部空間的氣體等從 該傾斜面538之谷底側沿著該傾斜面538而吸引。 (s 96149871 26 藉由圖10所不之上段盒部532之構造，於液體接受部 53之上部空間中從嘴嘴他〜52c吐出之有機el材料（塗 佈液L1〜L3)係介隔著狹縫開口部5咖而全部塗覆於谷 :之傾斜面538上。另外，如圖1〇所示，塗覆於傾斜面 538之有機EL材料係沿著傾斜面538朝其谷底方向流下， 上述連接構件係介隔著氣液分離盒55以及排出管線 朝下段接受部531流下。又，存在於谷型之傾斜面 上的空間之氣體係介隔著上述連接構件及氣液分離盒 55，從盒内吸引部536之吸引口被吸引。亦即，盒内吸引 部536係產生沿著傾斜面⑽而吸引之氣流，於從嘴嘴 52a〜52c吐出之有機EL材料所塗覆之部 引氣流。 及 在此，傾斜面538亦配置於較液體接受部53之上部办 間中從噴嘴52a〜似吐出之有機此材料開始從液柱^ 刀裂之雨度更上方處。另外，傾斜面538相對於水平方向 =斜角度’為了使㈣之有機EL材料迅速地流下，亦以 可月b接近垂直方向為佳。然而，傾斜面538與上述傾斜 面/537相同，為了避免與喷嘴52a~52c之干涉，配置方式 f為從噴嘴52a〜52c各自的前端部與傾斜面538之距離 ^取長的喷嘴52a~52c所吐出之有機EL材料係以液柱狀 ‘U互常塗覆。因此’傾斜面咖亦在滿足此種條件之範圍 内，儘可能以接近垂直方向之傾斜角度設置。 圖11中，上段盒部532係於其内部固定設置有山型之 傾斜面539 (以山型之-傾斜面為5咖，另一傾斜面為 96149871 27 伽）。傾斜面539係與傾斜面 於上段各邱+朴μ 久ΰ抑问樣地，設置 .單元二 斜面539a#相對於。另外，傾 .直之一水平方向（圖、u 進⑩返移動之方向垂 、四J U T马γ軸負 又，傾斜面539b相對於與喷嘴單元 下方傾斜。 A子古> σ $嘴早70 50進行往返移動之方 ^直之另-水平方向（圖u中為Υ軸正方向 f斜。另外’藉由1組的傾斜面5咖及5_ 之傾斜面539。例如，傾qqQ 形成山型 表面平〜與、、Γ 斜面5孤及539b係由均形成於 構件件的2個側面所構成，例如係由不錄鋼 籌牛或表面被_脂被覆之構件所構成。另外， 539a及539b並不限於啻心错处 ’ 拓㈣杜w 件’亦可由形成於組合2個 板狀構件而成之構件或中空構件的2個側面所構成。 =斜面539之兩側部係分別接合於上段盒部 :軸側面。又，傾斜面539“ 539b之下端（亦 門隙i上段盒部5 3 2之Y轴方向側的侧面之間形成 ^隙。J隔著該間隙，於上段盒部532之内部空間中 =5咖及5咖之上部空間與上段盒部卿之下部空間 糸、通。另外，位於較傾斜面53如及53肋更為下方之 ，盒部532之側面（圖u中為γ軸負方向侧之側面），係 連接著盒内吸引部536之吸引口。又，位於較傾斜面539a ^㈣更為下方之上段盒部呢之側面係連接著排出管 線535。因此，盒内吸引部536係於上段盒部5犯内部中， 將相對於山型傾斜面539之下部空間的氣體等，從該傾斜 96149871 28 1335244 面^3!之山裙側進行吸引。又，從傾斜面53肫及539b朝 上段盒部532之底面流下之有機EL材料係從排出管線挪 .朝下段接受部531流下。 藉由圖11所示之上段盒部532之構造，液體接受部 之上部空間中，從喷嘴52a〜52c吐出之有機El材料（塗 佈液LI L3 )係介隔著狹縫開口部，全部塗覆於山型 之傾斜面539。另外，如圖u所示，塗覆於傾斜面⑽ 之有機EL材料係沿著傾斜面咖朝其山裙方向流下，從 =出管線535朝下段接受部531流下。又，當在傾斜面 上產生靄狀之有機EL材料之情況，被靄化之有機el 才斗係被朝上段盒部532之下部空間5|入，從盒内吸引部 536之吸引口被吸引。 在此，傾斜面539亦配置於較液體接受部53之上部空 二:從?觜52a〜52c吐出之有機el材料從液柱狀態開始 二裂之馬度更為上方處。另外，傾斜面挪相對於水平方 ::傾斜角度，為了使塗覆之有機EL材料迅速流 二f接近垂直方向為佳1而，傾斜面剛 ^^面咖及538同樣，必須配置為迴避與喷嘴52&处 喷嘴52a〜52c各自的前端部與傾斜面咖之 嘴52a〜52c吐出之有機峨惶常以液柱 二進=塗覆。因此’傾斜面539亦在滿足此種條件之範 圍内，儘可能以接近垂直方向之傾斜角度設置。 如使’本案發明中所使用之卜 斜面，可以1個傾斜Γ二二T 532内所設置之傾 玉偵斜面以及山型傾斜面等各 96149871 29 5 1335244 、、樣的G斜面實現n本案發明所使用之傾斜面並 ::艮於相對於水平方向傾斜之！個平面（傾斜面聊）或 :個平面之組合（傾斜面538、539 )，亦可以相對於水 ”方向0斜之曲面構成。例如，如傾斜面哪般以Η固平 面構成之態樣中，亦可將該i個的平面以凸或凹形狀之工 固曲面構成而形成傾斜面。又，如傾斜面聊般將2個平 面組合為谷型而構成之態樣中，亦可將該2個平面以凹形 狀之1個曲面構成而形成傾斜面。又，如傾斜面娜般將 個平面、，且口為山型而構成之態樣甲，亦可將該2個平面 以凸形狀之1個曲面構成而形成傾斜面。 力又，藉由將上述傾斜面537設置於上段盒部挪之内 部，會成為對盒内吸引部536被傾斜面537限定之空間進 行吸引的狀態，故較不設置該傾斜面537而吸引上段盒部 532之内。p空間’可更為提升吸弓|效率。然而，藉由於上 段盒部532之内部中設置區隔構件54〇，可進一步提升盒 I内吸引部536之吸引效率。以下參照圖12，針對區隔構 件540進行說明。另外，圖12係顯示區隔構件54〇之一 例的上段盒部532之剖面圖。 圖12中，區隔構件540係固定設置於上段盒部5犯之 内部。區隔構件540係將上段盒部532之内部中的傾斜面 537之上部空間，進一步進行分割，更減小盒内吸引部挪 所吸引之空間。具體而言，區隔構件54〇係進一步具有第 1區隔面540a，其係設置於傾斜面537之上部，與^傾斜 面537平行地延伸設置於X軸方向上。第1區隔、面⑽ 96149871 30 丄 之'[端係接合於位在金内吸引# 536之吸引口的上部之 上奴现。卩532之Y軸方向侧的側面。又，第j區隔面54〇a -.之上端係以第1區隔面54〇a不進入狹縫開口部533a之下 '.·方位置的方式，配設於狹縫開口部533a之一端部（圖12 中為Y軸負方向側之端部）的垂直方向位置。另外，區隔 構件540係具有第2區隔面54〇b，其接合第j區隔面54〇a 之上端與狹縫開口部533a之上述一端部。 鲁人藉由將此種區隔構件540設置於上段盒部532之内部， ，内吸引部536所吸引之空間變成包夾於傾斜面537與區 隔構件540之狹窄空間。因此，藉由設置區隔構件540， 進步限疋了盒内吸引部536所吸引之空間，因此可提升 益内吸引部536之吸引效率。亦即，可以更大的吸引力對 傾斜面537上塗覆有機材料之部位進行吸引，即使於 有機EL材料在上段盒部532内靄化之情況，仍可更確實 地防止靄化之有機EL材料漏至外部。 • 又’雖如使用圖3等進行說明般，係將盒内吸引部536 從上段盒部532之内部進行吸引之吸引口於上段盒部532 之侧面中央位置附近設置1個，但吸引口之設置位置及數 量並不限定於此。例如’盒内吸引部536之吸引口亦可在 傾斜面537之下端與上段盒部532之側面之接合部上侧附 近且在有機EL材料塗覆於傾斜面537之位置的下方處， 沿著傾斜面537之下端而設置多個。此情況，只要是可在 有機EL材料塗覆在傾斜面537之部位有效率地產生吸引 氣流的位置，上述吸引口不設置於上段盒部532之側面中 96149871 31 1335244 央位置亦可。又，亦可形成於傾斜面537之下端與上段盒 部532之側面的接合部上側附近，且有機阢材料塗覆於 傾斜面537之位置的下方處’使盒内吸引部咖從具有盥 傾斜面537之下端長度同樣的長軸長度的狹縫狀吸^ 口’吸引上段盒部532内。 又上述實她形態中，係將上板構件533設置為覆蓋上 段盒部532之頂®，但亦可不設置上板構件挪。上板構 ^ 533係為了在上段盒部532内部產生靄狀之有機從材 枓時，防止該靄狀之有冑EL#料飛濺至上段盒部奶之 外β而β又置。又’藉由縮小開放上段盒部⑽之頂面的面 積，亦可期待提升盒内吸引部跳之吸引效率的效果。然 2 ’上述實施形態中’藉由設於上段盒部532之内部的傾 =抓539,可防止產生餘之有冑el材料，藉由盒 =引部挪，當產生霜狀之有機⑶材料時，霧化之有 3狀之有機EL材料仍不會飛濺至上段盒部532 之接纟不期待上述之上板構件533所造成之吸引效率 ^升效果的情況’亦可不設置上板構件533。 吉ΐ孩士述實施形態中，每當喷嘴單元50於X軸方向上 噴嘴單-Ζ使台座21朝Υ轴方向移動既定之間距，使 變化，台座21相對於該¥軸方向之相對位置關係 50於X-纟明並不限於此。例如亦可為每當喷嘴單元 向僅純方向上直線移動，便使該噴嘴單元5G朝Υ軸方 動既定間距（亦即使有機EL塗佈機構5朝γ軸方 96149871 32 1335244 向移動），使喷嘴單元5〇與台座21相對於該γ軸方向之

相對位置關係變化。此情況，液體接受部53係與有機EL 塗佈機構5 —起朝γ軸方向僅移動間距。 . 又，上述實施形態中，於紅、綠及藍色中，係使紅色之 有機EL材料利用3個1組的喷嘴52a〜52c而流入基板p 之溝内，但該塗佈步驟係為製造有機EL顯示裝置之中間 步驟。製造有機EL顯示裝置時之處理順序為電洞輸送材 鲁料（PEDOT)塗佈乾燥—紅色有機EL材料塗佈—乾燥〜 綠色有機EL材料塗佈—乾燥—藍色有機乩材料塗佈—乾 燥之順序。此情況，本發明之塗佈裝置可使用於分別塗佈 電洞輸送材料、紅色有機EL材料、綠色有機此材料以及 藍色有機EL材料之步驟。

八π』伙Ma〜52c分別吐出紅、綠及藍色之有 EL材料。此情況，係以i個塗佈步驟來形成依紅、綠 藍色之順序排列之所謂條狀排列。又，上述實施形離中 係利用3個i組的噴嘴52a〜52c，使有機el材料^入 :反P之各溝内，亦可設置多組之該3個ι組的喷 若1二Λ有機EL材料流入基板p之各溝内。此情況 ::噴：組分別設置對應於朝x轴方向動作之位置的; 得本發明之效果。 ⑯胃之時間’並幻 入 工U㈣態中’舉出以有機EL材料作為塗佈 作為塗佈液之有機EL顯示裝置的製 裝置為例進以明，但本發明亦可應用於其他塗佈裝置 96149871 33 iD244 例如亦可應用於阻劑液或製造SOG (Spin On Glass，旋 塗式玻璃）液或PDP (電漿顯示器面板）所使用之塗佈榮 光材料的裝詈。7 _ m 又亦可應用於將製造用以對液晶彩色顯 不盗進订色彩顯示而構成於液晶單元内之彩色濾光片所 使用之色材予以塗佈之裝置。 本發明之塗佈裝置可確實回收吐出至作為被塗佈體之 基板之外的塗佈液，作為對基板塗佈液柱狀態之塗佈液的 裝置係為有用的。 以上係詳細說明本發明，但上述說明僅用以例示本發 明，並非用於限定其範圍。只要不脫離本發明之範圍，當 然可進行各種改良與變化。 【圖式簡單說明】 圖1係顯示本發明之一實施形態的塗佈裝置丨之重要部 位概略構成的平面圖及正面圖。 圖2係顯示圖丨之途佈裝置丨的控制機能的方塊圖。 圖3係顯示圖1之液體接受部53之構造的立體圖。 圖4係由圖3之D方向所見之液體接受部53之側面概 要圖。 圖5係顯示由喷嘴52a〜52c吐出之有機EL材料與液體 接受部53之位置關係的立體圖。 圖6係顯示喷嘴52a〜52c移動時與液體接受部53之位 置關係的立體圖。 圖7係圖3之剖面A-A由B方向所見之上段盒部532之 剖面圖。 96149871 34 1335244 圖8係削除上段盒部532之一部分的側面及上板構件 533之一部分的液體接受部53之立體圖。 圖9係顯示喷嘴52a〜52c與傾斜面537之位置關係的概 要圖。 圖1 〇係顯示形成為谷型之傾斜面538的一例之上段盒 部532之剖面圖。 圖11係顯示形成為山型之傾斜面539的一例之上段倉 部5 3 2之剖面圖。 圖12係顯示區隔構件54〇之一例的上段盒部532之剖 面圖。 圖13係顯示習知之塗佈裝置的喷嘴1〇2〜1〇4與液體接 爻部105之位置關係的側面概要圖。 圖14係顯示習知之液體接受部1〇6之構造的立體圖。 【主要元件符號說明】 1 塗佈裝置 2 基板载置裝置 3 控制部 5 有機EL塗佈機構 21 台座 22 旋轉部 23 平行移動台 24 導引接受部 25 導引構件 50 噴嘴單元 96149871 35 1335244

51 喷嘴移動機構部 52a 喷嘴 52b 喷嘴 52c 喷嘴 53 液體接受部 53L 液體接受部 53R 液體接受部 54a 第1供給部 54b 第2供給部 54c 第3供給部 55 氣液分離盒 101 台座 102 喷嘴 103 喷嘴 104 喷嘴 105 液體接受部 106 液體接受部 511 導引構件 521a 過濾部 521b 過濾部 521c 過遽部 531 下段接受部 532 上段盒部 533 上板構件 96149871 36 1335244

533a 狹縫開口部 534 上段支持構件 535 排出管線 536 盒内吸引部 537 傾斜面 538 傾斜面 538a 傾斜面 538b 傾斜面 539 傾斜面 539a 傾斜面 539b 傾斜面 540 區隔構件 540a 第1區隔面 540b 第2區隔面 541a 供給源 541b 供給源 541c 供給源 542a 泵 542b 泵 542c 泵 543a 流量計 543b 流量計 543c 流量計 LI 塗佈液 96149871 37 1335244

L2 塗佈液 L3 塗佈液 P 基板 S 狹縫 a 傾斜角度 96149871 38

Claims (1)

1335244 十、申請專利範園·· 1.種塗佈裝置，係將朝垂直下方向之直線棒狀液柱狀 .·態的塗佈液吐出於基板上，並塗佈該塗佈液者·其特徵為 .具備： 噴嘴，其係將上述塗佈液以上述液柱狀態自其前端部吐 出； 台座，其係將上述基板載置於其頂面； • 喷嘴移動機構，其係於上述台座上之空間中，於橫斷該 台座面之方向上，使上述喷嘴往返移動；以及 液體接受部，其係在上述喷嘴移動機構沿著上述橫斷方 向而於離開上述台座上之位置，由上述喷嘴吐出上述塗佈 液並移動該喷嘴時，接受由該喷嘴吐出至上述台座外之上 述塗佈液； 上述液體接受部係包含傾斜面，其係由離開上述台座上 之位置所配置之上述喷嘴的前端部，於垂直下方向之位置 籲向上述橫斷方向延伸設置，相對於垂直於該橫斷方向的水 平方向傾斜； 上述液體接受部係將從離開上述台座上之位置所配置 之上述喷嘴吐出之塗佈液，以上述液柱狀態塗附於上述傾 斜面並回收。 2.如申請專利範圍第1項之塗佈裝置，其中，上述液體 -接受部係進一步含有吸引手段，其係吸引上述傾斜面上塗 附塗佈液之位置附近的空間之氣體。 3·如申請專利範圍第2項之塗佈裝置，其中，上述吸引 96149871 39 1335244 手段係具有至少1個之吸引口，其係在上述傾斜面上塗附 塗佈液之位置的下方，吸引該傾斜面上部空間之氣體。 4.如申請專利範圍第3項之塗佈裝置，其中，上述液體 --·接又。卩係進一步含有區隔構件，其係相對於上述傾斜面， "隔既疋的空隙，平行地固設於上述傾斜面之上部空間的 一部份； 上述吸引口係配設於上述傾斜面之下端與上述區隔構 件之間。 5.如申請專利範圍第2項之塗佈裝置，其中，上述吸引 ^段係將上述傾斜面上塗附塗佈液之位置附近的空間之 氣體’朝沿著該傾斜面之頂面的下方吸引。 6·如申請專利範圍第1或2項之塗佈裝置，其中，上述 傾斜面係配設於下述位置：上述塗佈液塗附之位置較上述 喷嘴吐出之塗佈液從上述液柱狀態開始分裂之高度更靠 該喷嘴側之上述垂直下方向位置。 ♦ 7.如ΐ請專利範圍第6項之塗佈裝置，其中，上述傾斜 面係由1個+面所形成，該平面係相對於垂直於上述橫斷 方向之水平方向，往一個方向傾斜。 8·如申請專利範圍第6項之塗佈裝置，其中，上述傾斜 面係由2個+面所構成之谷型’該等平面係相對於垂直於 上述橫斷方向之水平方向，分別往雙方向傾斜。 9·如中請專利範圍第6項之塗佈裝置，其中，上述傾斜 面係由2個平面所構成之山型，該等平面係相對於垂直於 上述橫斷方向之水平方向，分別往雙方向傾斜。 96149871