JP6410535B2 - 液受け装置及び塗布装置 - Google Patents

Description

本発明の実施形態は、液受け装置及び塗布装置に関する。

塗布装置は、表示装置や半導体装置などを製造する際に用いられている。例えば、表示装置の製造では、ガラス基板上に配向膜やカラーフィルタなどの機能性薄膜を形成する場合、また、半導体装置の製造では、半導体ウエハ上にレジストなどの機能性薄膜を形成する場合に塗布装置が用いられている。この塗布装置は、複数のノズル（吐出口）から塗布液を吐出するインクジェット方式の塗布ヘッドを備えており、その塗布ヘッドと塗布対象物とを相対移動させながら、各ノズルから塗布液を吐出させ、塗布対象物上の表面に塗布膜を形成する。

このような塗布装置では、塗布ヘッドのノズルへの液充填やノズルのコンディションメンテナンス、また、ダミー吐出やテスト吐出などの際に液を回収する上部開口のドレインパン（液受け部）が用いられている。ノズルへの液充填やノズルのコンディションメンテナンスにおいては、圧送によりノズルから液を排出させる方法が一般的である。この場合には、ノズルから大量の液が排出され、塗布ヘッドのノズル面（塗布ヘッドにおけるノズルが形成されている外面）に大量の液付着が生じ、これらの付着液の液溜まりが育つと、そこから液が垂れる。この液溜まりの形成は基本的に液の付着状態によって異なり、ノズル面の不特定部位で起こる。このため、通常、ドレインパンは塗布ヘッドのノズル面以上の大きさで設計されることが多い。

また、ダミー吐出やテスト吐出（吐出確認：一般的に液の飛翔をカメラで撮像して評価することが多い）では、ノズルから吐出された液の飛翔経路は基本的に固定であり、その液はドレインパンの底面の特定位置に着弾して回収される。この飛翔経路が長い場合、飛翔中に周囲の気流などの外乱の影響を受けやすく、また、飛翔液滴の分離が起こりやすいことから微小ミストが発生しやすくなる。このミストの発散防止の目的からドレインパンに排気機能を持たせることが多い。

ここで、ドレインパン上での吐出を行う場合、その吐出はドレインパン周囲の気流、特にドレインパン排気を行っている場合、その排気によって形成される気流の影響を強く受ける。これらの影響はノズル面とドレインパンの底面とのギャップが広いほど顕著になり、飛翔の曲がりやミストの舞いなどとして現れ、前者は吐出確認の撮像に悪影響を及ぼし、吐出確認結果の誤検出や誤判断の原因となる。特に、著しい気流の影響により通常の飛翔が曲がるレベルまで乱れるような場合、曲がった吐出液及びミストがノズル面に再付着することもある。さらに、吐出液及びミストがノズル近傍に付着すると、吐出不良を誘発することがある。また、後者のミストの舞い上がりについても、前述の吐出確認にとっての画像ノイズになる他、周囲への再付着による汚染の原因となる。

これらの対策としては、ノズル直下にスリットを有する蓋体を上部開口のドレインパン上に設けてドレインパンの開口を塞ぎ、塗布ヘッドのノズル面とドレインパンの底面との間の空間を二分することによって、ノズル面と蓋体との間で気流を整流し、ノズルから吐出された液の飛翔の乱れを防ぐことが有効である。

特開２０１１−１１１５２号公報

しかしながら、前述の蓋体を用いる方法では、吐出液の飛翔の乱れを抑止することは可能となるが、ノズル面の不特定位置から垂れる液の回収については、スリット上に垂れた液しか回収することができないという現状がある。このため、吐出液の飛翔の乱れを抑止することに加え、ノズル面から垂れる液の回収も良好に行うことが望まれている。

本発明が解決しようとする課題は、塗布ヘッドのノズルから吐出された液の飛翔の乱れを抑止することに加え、塗布ヘッドのノズル面から垂れる液を良好に回収することができる液受け装置及び塗布装置を提供することである。

実施形態に係る液受け装置は、液体を吐出するノズルが形成されたノズル面から垂れた液体を受ける外面となる液受け面及び前記ノズルから吐出された液体が通過する貫通孔を有する筐体と、液受け面に洗浄液を供給する液供給部を備え、液受け面は、受けた液体が筐体内に向かって流れるように傾斜している。

実施形態に係る液受け装置は、液体を吐出するノズルが形成されたノズル面から垂れた液体が通過する開口部及びその開口部を通過した液体を受ける内面となる液受け面を有するカップ体と、ノズルから吐出された液体が通過する貫通孔を有して開口部を塞ぐ蓋体と、蓋体を、開口部を塞ぐ閉塞位置及び開口部を塞がない未閉塞位置に移動させる移動機構とを備える。

実施形態に係る塗布装置は、液体を吐出するノズル及びそのノズルが形成されたノズル面を有する塗布ヘッドと、ノズル面から垂れた液体を受ける外面となる液受け面及びノズルから吐出された液体が通過する貫通孔を有する筐体と、液受け面に洗浄液を供給する液供給部と、を備え、液受け面は、受けた液体が筐体内に向かって流れるように傾斜している。

実施形態に係る塗布装置は、液体を吐出するノズル及びそのノズルが形成されたノズル面を有する塗布ヘッドと、ノズル面から垂れた液体が通過する開口部及びその開口部を通過した液体を受ける内面となる液受け面を有するカップ体と、ノズルから吐出された液体が通過する貫通孔を有して前記開口部を塞ぐ蓋体と、蓋体を、開口部を塞ぐ閉塞位置及び開口部を塞がない未閉塞位置に移動させる移動機構とを備える。

本発明の実施形態によれば、塗布ヘッドのノズルから吐出された液の飛翔の乱れを抑止することに加え、塗布ヘッドのノズル面から垂れる液を良好に回収することができる。

第１の実施形態に係る塗布装置の概略構成を示す図である。 第１の実施形態に係る液受け部の概略構成を示す斜視図である。 第１の実施形態に係る液受け部の変形例１を示す図である。 第１の実施形態に係る液受け部の変形例２を示す図である。 第１の実施形態に係る液受け部の変形例３を示す図である。 第２の実施形態に係る塗布装置の概略構成を示す図である。 第２の実施形態に係る液受け部の概略構成を示す平面図である。 第３の実施形態に係る塗布装置の概略構成を示す図である。 第３の実施形態に係る液受け部の概略構成を示す平面図である。 第４の実施形態に係る塗布装置の概略構成を示す図である。 第４の実施形態に係る液受け部及び移動機構の概略構成を示す平面図である。 第４の実施形態に係る塗布装置の変形例の概略構成を示す図である。 第４の実施形態に係る変形例の液受け部及び移動機構の概略構成を示す平面図である。

（第１の実施形態）
第１の実施形態について図１及び図２を参照して説明する。

図１に示すように、第１の実施形態に係る塗布装置１は、塗布対象物Ｗを支持するステージ２と、そのステージ２上の塗布対象物Ｗの表面に沿うＸ軸方向及びＹ軸方向（Ｘ軸方向に直交する方向）にステージ２を移動させるステージ搬送部３と、ステージ２上の塗布対象物Ｗの表面に塗布液を吐出する塗布ヘッド４と、その塗布ヘッド４に塗布液を供給する塗布液供給部５と、塗布ヘッド４から吐出された液を検出する検出部６と、塗布ヘッド４から吐出された液や垂れた液を受ける液受け部（液受け装置）７と、その液受け部７内を吸引する吸引部８と、各部を制御する制御部９とを備えている。

ステージ２は、ガラス基板や半導体ウエハなどの塗布対象物Ｗが載置される載置面を有しており、ステージ搬送部３上に設けられている。このステージ２には、塗布対象物Ｗが自重により載置されるが、これに限るものではなく、例えば、その塗布対象物Ｗを保持するため、静電チャックや吸着チャックなどの機構を設けても良く、また、ステージ２上の支持ピンにより塗布対象物Ｗを支持するようにしても良い。

ステージ搬送部３は、ステージ２をＸ軸方向及びＹ軸方向に案内して移動させる移動機構であり、架台などの上面に固定されて設けられている。このステージ搬送部３は制御部９に電気的に接続されており、その駆動が制御部９により制御される。ステージ搬送部３としては、例えば、サーボモータを駆動源とする送りねじ式の移動機構やリニアモータを駆動源とするリニアモータ式の移動機構などを用いることが可能である。

塗布ヘッド４は、塗布液を個別に吐出する複数のノズル４ａを有するノズルプレート４ｂを下端に具備している。各ノズル４ａは塗布ヘッド４の長手方向（図１中の手前から奥に向かう方向）に所定間隔で直線状に並ぶようにノズルプレート４ｂに形成されており、このノズルプレート４ｂの下面（外面）がノズル面４ｃとなる。この塗布ヘッド４は、例えば、その長手方向がＸ軸方向に沿うように位置付けられ、コラムなどの支持部材（図示せず）によりステージ２の上方に支持されており、塗布時にステージ２上の塗布対象物Ｗの表面に各ノズル４ａから塗布液を液滴として吐出する。塗布ヘッド４は制御部９に電気的に接続されており、その駆動が制御部９により制御される。

このような塗布ヘッド４は、吐出対象のノズル４ａにつながる液室の容積を変え、その液室内の塗布液をノズル４ａから押し出して吐出する。このときの液室は塗布液によって満たされている。液室の容積を変える手段としては、例えば、各液室の容積を変化させる可撓板やその可撓板を変形させる圧電素子などを用いることが可能である。なお、塗布ヘッド４としては、インクジェット方式の塗布ヘッドを用いているが、これに限るものではなく、他の方式の塗布ヘッドを用いることも可能である。また、液体である塗布液としては、例えば、配向膜材料や顔料、接着剤など、塗布対象物Ｗの表面上に残留する溶質及びその溶質を溶解（分散）させる溶媒を含む溶液を用いることが可能である。

塗布液供給部５は、塗布ヘッド４に供給配管５ａを介して接続されており、塗布ヘッド４に供給配管５ａを介して塗布液を圧送する。例えば、塗布液供給部５は、塗布液を貯留する貯留タンクや押圧力を生じさせるポンプ、塗布液の供給量を調整する開閉弁などを有している。この塗布液供給部５は制御部９に電気的に接続されており、その駆動が制御部９により制御される。なお、貯留タンクの液面高さは、通常、塗布ヘッド４のノズル面４ｃの高さとの水頭差によって塗布液が各ノズル４ａから漏れ出さないように設定されている。

検出部６は、光を照射する照明部６ａ及び撮像を行う撮像部６ｂなどを有している。この検出部６は、照明部６ａにより塗布ヘッド４のノズル面４ｃの下側の空間を明るくし、その空間を塗布ヘッド４の吐出タイミングに合わせて撮像部６ｂにより連写することによって、塗布ヘッド４の各ノズル４ａから個別に吐出された飛翔中の各液滴を連続して撮像する。なお、検出部６としては、例えばレーザ光などを用いる検出部を用いることも可能である。

照明部６ａは、撮像部６ｂが塗布ヘッド４の各ノズル４ａから個別に吐出された各液滴を撮像することができるように光を照射する。例えば、照明部６ａは、撮像部６ｂにより撮像する画像にハレーションが発生しないよう、具体的には、液受け部７が塗布ヘッド４に対向する位置にある場合、照明部６ａからの直接光が撮像部６ｂに入射しないように設けられている。この照明部６ａは制御部９に電気的に接続されており、その駆動が制御部９により制御される。照明部６ａとしては、例えば、ＬＥＤ（発光ダイオード）照明装置などを用いることが可能である。なお、照明部６ａは、例えば、保持部材（図示せず）によって保持されており、その保持部材は塗布ヘッド４を支持するコラムなどに固定されている。

撮像部６ｂは、塗布ヘッド４のノズル面４ｃの下側の空間を塗布ヘッド４の吐出タイミングに合わせて連写し、塗布ヘッド４の各ノズル４ａから個別に吐出された飛翔中の各液滴の画像を連続して取得する。この撮像部６ｂは制御部９に電気的に接続されており、その駆動が制御部９により制御される。さらに、撮像部６ｂは、撮像した画像を制御部９に送る。撮像部６ｂとしては、例えば、ＣＣＤ（電荷結合素子）カメラなどを用いることが可能である。なお、撮像部６ｂは、照明部６ａと同じように、例えば、保持部材（図示せず）によって保持されており、その保持部材は塗布ヘッド４を支持するコラムなどに固定されている。

液受け部７は、図１及び図２に示すように、塗布ヘッド４のノズル面４ｃの長手方向（図１中の手前から奥に向かう方向）の長さ以上の長さを有する概略直方体形状の筐体７ａを備えている。この筐体７ａは、塗布ヘッド４のノズル面４ｃから垂れた液を受ける、筐体７ａの上側の外面となる液受け面１１と、その液受け面１１に形成されて各ノズル４ａから吐出された液（吐出液）が通過する貫通孔１２と、筐体７ａ内の気体や液体を排出する排出口１３とを有している。

詳述すると、筐体７ａは、上部に開口部１４ａを有するカップ体１４と、矩形状の液受け面１１及びスリット状の貫通孔１２を有する傾斜体１５とを有している（図２参照）。この傾斜体１５は、例えば、二枚の板材１５ａ及び１５ｂにより構成されている。これらの板材１５ａ及び１５ｂは、カップ体１４の上部に位置付けられ、それらの隙間がスリット状の貫通孔１２となり、さらに、その貫通孔１２に向かって下り斜面となるように設けられている。

液受け面１１は、二枚の板材１５ａ及び１５ｂの個々の上面であり、面上の液体が貫通孔１２に向かって流れるように傾斜している。また、貫通孔１２は、筐体７ａの長手方向（図１中の手前から奥に向かう方向）に延びるスリット状に形成されている。排出口１３は筐体７ａの底面７ｂに形成されており、この底面７ｂはその面上の液が排出口１３に向かって流れるように傾斜している。

ここで、少なくとも液受け面１１には、液の回収を容易にするため、液をはじく撥液コーティング処理（例えば、フッ素樹脂（一例としてＰＴＦＥ）コーティング）が施されており、さらに、光の反射による画像の乱れを抑えるため、光の反射を防止する反射防止処理（例えば、黒色塗装）が施されている。また、液受け面１１には、液受け面１１の傾斜方向に沿う溝（傾斜の上側から下側方向に延びる溝）を複数平行に設けることも可能である。その溝の断面形状は、Ｖ字形状や半円形状、四角形状など、いずれの形状でも良い。

なお、貫通孔１２のスリット幅が狭すぎると、液の表面張力で貫通孔１２に液膜が形成されて残ってしまうことがある。このような場合には、液膜の形成及び残留を防止するため、液種によっても異なるが、貫通孔１２のスリット幅を少なくとも２ｍｍ以上とすることが望ましい。

この液受け部７は、ステージ２と共に移動するようにステージ２の側面、すなわちステージ２のＹ軸方向の一端面に設けられている。液受け部７は、塗布ヘッド４のノズル４ａへの塗布液の充填やノズル４ａのコンディションメンテナンス、また、ダミー吐出やテスト吐出（吐出確認）などを行う場合に、ステージ搬送部３によりステージ２と共に移動し、塗布ヘッド４に対向する位置、すなわち塗布ヘッド４の各ノズル４ａから個別に吐出された複数の液滴あるいはノズル面４ｃから垂れた液を受け取る位置（図１の位置参照）まで移動する。

図１に戻り、吸引部８は、液受け部７に排出配管８ａを介して接続されており、液受け部７内の気体を吸引して液受け部７内に存在する気体や液体を排出する排出部である。例えば、吸引部８は、吸引力を生じさせるポンプや吸引量を調整する開閉弁などを有している。この吸引部８は制御部９に電気的に接続されており、それらの駆動が制御部９により制御される。

制御部９は、各部を集中的に制御するマイクロコンピュータなどのコンピュータ、さらに、塗布パターンなどを含む各種情報及び各種プログラムを記憶する記憶部（いずれも図示せず）などを備えている。記憶部としては、メモリやハードディスクドライブ（ＨＤＤ）、ソリッドステートドライブ（ＳＳＤ）などを用いることが可能である。

例えば、制御部９は、塗布対象物Ｗに塗布を行う場合、ステージ搬送部３及び塗布ヘッド４を用いて、ステージ２上の塗布対象物Ｗと塗布ヘッド４を主走査方向（Ｙ軸方向）に相対移動させながら、塗布ヘッド４の各ノズル４ａから塗布液を吐出させてステージ２上の塗布対象物Ｗの表面に塗布する制御を行う。その後、塗布ヘッド４とステージ２上の塗布対象物Ｗを副走査方向（Ｘ軸方向）に所定ピッチだけ相対移動させて再び前述の主走査方向の塗布を行い、これらを繰り返して塗布対象物Ｗの表面の塗布対象領域全体に塗布液を塗布する制御を行う。

さらに、制御部９は、塗布ヘッド４のノズル４ａへの塗布液の充填やノズル４ａのコンディションメンテナンス、また、ダミー吐出やテスト吐出などを行う場合、ステージ搬送部３を用いて、ステージ２の側面に固定された液受け部７と塗布ヘッド４とを対向させ、塗布液供給部５により塗布液を圧送する制御、また、塗布ヘッド４による連続吐出及び検出部６による吐出液を検出する制御を行う。

次に、前述の塗布装置１において、塗布ヘッド４のノズル４ａへの塗布液の充填やノズル４ａのコンディションメンテナンス、また、ダミー吐出やテスト吐出（吐出確認）などを行う場合の動作について説明する。

まず、塗布ヘッド４のノズル４ａへの塗布液の充填やノズル４ａのコンディションメンテナンス、また、ダミー吐出やテスト吐出などを行う場合には、前述のように、液受け部７は、ステージ搬送部３によりステージ２と共に移動し、塗布ヘッド４に対向する位置、すなわち塗布ヘッド４のノズル面４ｃから垂れた液あるいはノズル４ａから吐出された液を受け取る位置まで移動する。

塗布ヘッド４のノズル４ａへの塗布液の充填やノズル４ａのコンディションメンテナンスを行う場合には、塗布液が塗布液供給部５によって各ノズル４ａに圧送される。なお、このとき、吸引部８を停止させていても、駆動させていても良い。この圧送時、各ノズル４ａから大量の塗布液が排出されるが、その塗布液の大部分は貫通孔１２を通過して筐体７ａ内に収容される。ところが、ノズル面４ｃには大量の液付着が生じるため、これらの付着液の液溜まりが育つと、そこから液が垂れる。この液溜まりの形成は基本的には液の付着状態によって異なるため、ノズル面４ｃの不特定部位で起こる。このノズル面４ｃから垂れた塗布液は、液受け部７の液受け面１１上に落ち、その液受け面１１の傾斜に従って、液受け面１１に形成された貫通孔１２に向かって流れていき、貫通孔１２から筐体７ａ内に流れ込む。したがって、ノズル面４ｃのどの位置から液が垂れたとしても、それらの液を液受け面１１により受け、その面上の液を貫通孔１２に向かって流して貫通孔１２から筐体７ａ内に収容することが可能となる。これにより、塗布ヘッド４のノズル面４ｃから垂れた液を良好に回収することができる。

一方、塗布ヘッド４のダミー吐出やテスト吐出を行う場合には、吸引部８が駆動され、塗布液が各ノズル４ａから液滴として連続して吐出される。各ノズル４ａから吐出された吐出液は、液受け面１１に形成された貫通孔１２を次々に通過していく。このとき、ノズル４ａから吐出された吐出液は、吸引部８による吸引力によって生じた気流に乗って貫通孔１２から吸い込まれるように筐体７ａ内に回収される。塗布ヘッド４のノズル面４ｃと液受け面１１とのギャップ（離間距離）は十分に小さく、その間で気流を整流して安定させ、吐出液の飛翔の乱れを抑えることが可能となる。これにより、吐出液の飛翔曲がりやミストの発生を抑止することができる。

なお、テスト吐出では、塗布ヘッド４のノズル面４ｃの下側の空間が照明部６ａにより明るく照らされ、各ノズル４ａから個別に吐出された飛翔中の各液滴は、塗布ヘッド４の吐出タイミングに合わせて、塗布ヘッド４と液受け面１１との間の空間を通過する際に、撮像部６ｂにより連続して撮像される。その後、テスト吐出の判定のため、撮像部６ｂにより撮像された画像が処理され、画像中に直線状に連続する液体像の他に点状の液体像があるか否かが判断され、画像中に点状の液体像があると判断された場合、吐出量不足や不吐出あるいは飛行曲がりなどの吐出不良が発生していると判定される。このような吐出液の飛翔観察を、前述のように吐出液の飛翔の曲がりやミストの舞い上がりなどを抑えた良好な状態で行うことが可能となるので、吐出確認の誤検出や誤判断を抑止することができる。

ここで、例えば、塗布ヘッド４の吐出が安定しているときには、ノズル４ａから吐出された液滴は一直線に下に向かって行くため、直線状の液体像のみが見えることになる。一方、塗布ヘッド４の吐出が不安定になっているときには、ノズル４ａから吐出された液滴は飛散するため、小さい粒状（点状）の液体像が見えることになる。すなわち、吐出が不安定であれば、液滴の速度が低くなり、液滴は液受け部７に到達する前に舞い上がって飛散する。この舞い上がりの有無を確認することにより吐出が安定しているか否かを判定する。なお、撮像部６ｂのシャッター速度は、設定された吐出周波数でノズル４ａから吐出される液滴が線状に見える状態で撮像されるように設定されている。

以上説明したように、第１の実施形態によれば、液受け面１１は、その面上の液が貫通孔１２に向けて流れるように傾斜している。このため、塗布ヘッド４のノズル面４ｃから液受け面１１上に垂れた液は液受け面１１の傾斜に従って流れていき、貫通孔１２から筐体７ａ内に流入するので、塗布ヘッド４のノズル面４ｃから垂れた液を良好に回収することができる。さらに、塗布ヘッド４のノズル面４ｃと液受け面１１とのギャップも十分に小さいため、その間で気流を整流して安定させ、吐出液の飛翔の乱れを抑えることが可能となり、吐出液の飛翔曲がりやミストの発生を抑止することができる。

次に、第１の実施形態に係る変形例１乃至３について図３乃至図５を参照して説明する。液受け面１１の傾斜の仕方は、その面上の液体が貫通孔１２に向って流れるような傾斜に限られるものではなく、以下の変形例１乃至３のような傾斜の仕方でも良い。

（変形例１：外側に向かって傾斜）
図３に示すように、液受け面１１は、二枚の板材１５ａ及び１５ｂの個々の上面であり、面上の液体が外側に向かって流れるように、図３の正面視で概略八の字形状（逆Ｖ字形状の頂に空間が存在する状態）となっている。二枚の板材１５ａ及び１５ｂの間に形成された空間が貫通孔１２となり、板材１５ａ及び１５ｂと筐体７ａの側壁との間には、隙間（貫通孔）１２ａが設けられている。板材１５ａの液受け面１１に付着した液体は、左側の隙間１２ａに向かって流れ、左側の隙間１２ａを通って筐体７ａの底面７ｂへと落ちる。板材１５ｂの液受け面１１に付着した液体は、右側の隙間１２ａに向かって流れ、右側の隙間１２ａを通って筐体７ａの底面７ｂへと落ちる。なお、液受け面１１は、二枚の板材１５ａ及び１５ｂに限らず、一枚の板材をへの字形状（逆Ｖ字形状の一方が短い形状）に折り曲げて形成されても良い。この場合には、折り曲げ部分に貫通孔１２を形成する。

（変形例２：片側に傾斜の例）
図４に示すように、液受け面１１は、筐体７ａの左側の側壁から右側の側壁に向って下り傾斜した板材（傾斜体１５）の上面である。貫通孔１２よりも左側の液受け面１１に付着した液体は、貫通孔１２に向って流れ、貫通孔１２を通って底面７ｂへと落ちる。貫通孔１２よりも右側の液受け面１１に付着した液体は、右側の側壁に向って流れ、右側の側壁との間の隙間（貫通孔）１２ａを通って底面７ｂへと落ちる。なお、液受け面１１（板材）の傾斜方向に限定はなく、筐体７ａの右側の側壁から左側の側壁に向って液受け面１１（板材）を下り傾斜としても良く、筐体７ａの長手方向に沿って下り傾斜としても良い。

（変形例３：左右に複数の傾斜板の例）
図５に示すように、筐体７ａの中心が境にされ、複数の板材１５ａ〜１５ｆが左右に複数枚（図５では、三枚）ずつ配置され、一部が上下に隙間を開けた状態で重なるように平行に傾斜配置、いわゆる、ルーバー状に設けられている。図５では、左側の各板材１５ａ〜１５ｃ及び右側の各板材１５ｄ〜１５ｆは、左側及び右側ともに、外側に向かって下り傾斜している。六枚の板材１５ａ〜１５ｆの上面がそれぞれ液受け面１１を構成する。液受け面１１に付着した液体は、各板材１５ａ〜１５ｆの板材同士の隙間（貫通孔）１２ａや左端の板材１５ａと筐体７ａの側壁との間の隙間（貫通孔）１２ａ、右端の板材１５ｆと筐体７ａの側壁との間の隙間（貫通孔）１２ａを通って底面７ｂへと落ちる。

なお、液受け面１１（板材）の傾斜方向に限定はなく、右側及び左側ともに貫通孔１２に向って液受け面１１（板材）を下り傾斜としても良いし、あるいは、右側及び左側ともに右から左への下り傾斜または上り傾斜としても良い。また、傾斜方向を交互に切り替えて、山と谷を繰り返す形状の液受け面１１としても良い。この場合には、谷の部分に隙間１２ａを設けて、液受け面１１に沿って流れた液体がその隙間１２ａを通って底面７ｂに落ちるようにする。

また、貫通孔１２となる部分を挟んで左右両側に、板材を筐体７ａの長手方向に沿って傾斜させてその長手方向に多数配置し、液受け面１１（板材）をルーバー状の液受け面１１としても良く、あるいは、山と谷を繰り返す形状の液受け面１１としても良い。これらの場合には、右側に配置した板材群と左側に配置した板材群の間が貫通孔１２となる。したがって、貫通孔１２としては、前述の板材に空けた孔や二枚の板材の隙間によって設けられる貫通孔に限られるものではなく、複数の板材で囲まれた空間によって設けられる貫通孔も含まれる。

（第２の実施形態）
第２の実施形態について図６及び図７を参照して説明する。なお、第２の実施形態では、第１の実施形態との相違点（液受け部７）について説明し、その他の説明は省略する。

図６及び図７に示すように、第２の実施形態では、液受け面１１は、受けた液体がスリット状の貫通孔１２に向かって流れるように傾斜する傾斜状態（図６及び図７中の実線参照）と、その傾斜状態よりノズル面４ｃとの間の空間が狭くなる別状態（図６及び図７中の二点鎖線参照）に変化する。この別状態の一例としては、受けた液体が貫通孔１２に向かって流れない水平状態がある。ただし、この水平状態とは、完全な水平状態に限るものではなく、略水平な状態であれば良い。

筐体７ａは、上部に開口部２１ａを有するカップ体２１と、矩形状の液受け面１１及びスリット状の貫通孔１２を有してカップ体２１の開口部２１ａを塞ぐ蓋体２２とにより構成されている。また、蓋体２２を上方向に押し上げる押し上げ機構２３と、蓋体２２の水平状態の位置を決める複数の位置決め部材２４と、筐体７ａや押し上げ機構２３などの各部を支持する台座２５と、液受け面１１に洗浄液を供給する複数の液供給部２６が設けられている。

カップ体２１は、塗布ヘッド４のノズル面４ｃの長手方向（図６中の手前から奥に向かう方向）の長さ以上の長さを有する概略直方体の、上面開口を有する箱形状に形成されており、その開口部２１ａの面積（開口面積）はノズル面４ｃ以上になっている。このカップ体２１は底面に排出口１３を有している。

蓋体２２は、液受け面１１が傾斜状態と水平状態に変化することが可能になる構造に形成されている。例えば、蓋体２２は、二枚の板材２２ａ及び２２ｂにより構成されている。これらの板材２２ａ及び２２ｂは、それらの隙間がスリット状の貫通孔１２となるようにカップ体２１の上部に配置され、その貫通孔１２を間にしてＶ字形状（Ｖ字形状の底に貫通孔１２が存在する状態）に変化するようにヒンジなどの複数の連結部材２７によりカップ体２１の上部に連結されている。

ここで、カップ体２１及び蓋体２２の間にヒンジなどの連結部材２７によって隙間が生じる場合には、吸引部８（図６においては、図示省略）の駆動に応じてその隙間部分から吸気することになるため、スリット状の貫通孔１２から吸気する力の低下や気流の乱れが生じてしまう。このため、少なくとも蓋体２２が水平状態である場合にパッキンや迷路構造などにより前述の隙間からの気体の流入を遮断することが望ましい。

なお、蓋体２２は、液受け面１１が傾斜状態となる第１態様（図６及び図７中の実線参照）及び液受け面１１が水平状態となる第２態様（図６及び図７中の二点鎖線参照）に変わるように形成されているが、液受け面１１と塗布ヘッド４のノズル面４ｃとの間の空間は、ダミー吐出やテスト吐出を行う場合の気流安定のため、できるだけ狭くなっている。一方で、この空間は検出部６による吐出液検出を可能にする大きさを必要としている。このため、蓋体２２が第２態様（水平態様）である場合には、検出部６による吐出液検出を可能にする空間が確保され、検出部６が吐出液を検出することは蓋体２２によって妨げられないが、前述の空間はできるだけ狭くなっているため、蓋体２２が第１態様（傾斜態様）となると、検出部６が吐出液を検出することは蓋体２２によって妨げられる。したがって、蓋体２２が第１態様である場合には、検出部６による吐出液検出は実行されない。

押し上げ機構２３は、蓋体２２（二枚の板材２２ａ及び２２ｂ）に当たるアームなどの押し上げ部材２３ａと、その押し上げ部材２３ａを昇降させる昇降機構２３ｂとを有している。押し上げ部材２３ａの蓋体２２側の先端には弾性体２３ｃが設けられており、その弾性体２３ｃにより蓋体２２との接触が緩和されている。昇降機構２３ｂとしては、例えばシリンダなどを用いることが可能であり、弾性体２３ｃとしては、例えばゴムなどを用いることが可能である。この押し上げ機構２３は、第１態様又は第２態様に蓋体２２（蓋体２２の態様）を変える可変機構として機能する。

各位置決め部材２４は、液受け面１１が水平状態（蓋体２２が第２態様）となった場合、蓋体２２の外縁側の端部に当たって蓋体２２（二枚の板材２２ａ及び２２ｂ）を支持するように設けられている。例えば、各位置決め部材２４は、押し上げ機構２３を挟むように主走査方向（Ｙ軸方向）に並べられ、台座２５上に設けられている。これらの位置決め部材２４は、液受け面１１が水平状態から前述の傾斜状態となる方向と逆方向に傾斜することを防止し、蓋体２２のスリットエッジ（二枚の板材２２ａ及び２２ｂの両方の内側の端部）が塗布ヘッド４のノズル面４ｃに衝突することを抑止するメカストッパとして機能する。これにより、塗布ヘッド４のノズル面４ｃの破損を防止することが可能となる。

台座２５は、ステージ２の側面、すなわちステージ２のＹ軸方向の一端面に固定されており、筐体７ａや押し上げ機構２３、各位置決め部材２４などを支持している。これにより、液受け部７はステージ２と共に移動することが可能となり、塗布ヘッド４のノズル４ａへの塗布液の充填やノズル４ａのコンディションメンテナンス、また、ダミー吐出やテスト吐出などを行う場合に、ステージ２と共に移動し、塗布ヘッド４に対向して液を受け取る位置まで移動することができる。

各液供給部２６は、液体が溶液である場合、その溶液に含まれる溶媒と同じ種類の溶媒を洗浄液として液受け面１１に個別に供給する。例えば、液供給部２６は、液受け面１１の長手方向（図６中の手前から奥に向かう方向）に沿って延びるスリット状の供給口２６ａを有しており、その供給口２６ａから洗浄液を出して液受け面１１上に供給する。このときの液供給位置は、例えば、液体が傾斜状態の液受け面１１全体に行き渡るように液受け面１１の両端部（二枚の板材２２ａ及び２２ｂの両方の外側の端部）、すなわち傾斜状態の液受け面１１において他の位置に比べできるだけ高い位置である。なお、各液供給部２６は、例えば、塗布ヘッド４を支持するコラムなどに固定されて設けられている。

これらの液供給部２６は、液受け面１１が傾斜状態である場合に洗浄液を供給して液受け面１１を濡らすが、これに限るものではなく、例えば、液受け面１１が傾斜する前に洗浄液を供給し、事前に液受け面１１を濡らしておいていも良い（プリウエット）。このように洗浄液の供給、すなわちクリーニング機能の追加により液受け面１１が洗浄されるため、液受け面１１を清潔な状態に維持することができる。

このような構成において、塗布ヘッド４のノズル４ａへの塗布液の充填やノズル４ａのコンディションメンテナンスを行う場合、すなわち塗布液が塗布液供給部５によって各ノズル４ａに圧送される場合には、押し上げ部材２３ａが昇降機構２３ｂにより上昇し、蓋体２２の両端部を押し上げ、蓋体２２が平板形状からＶ字形状の態様（第２態様から第１態様）に変化し、液受け面１１が傾斜状態となる（図６及び図７中の実線参照）。この状態で、第１の実施形態と同様、ノズル面４ｃから垂れた塗布液は、液受け部７の液受け面１１上に落ち、その液受け面１１の傾斜に従って、液受け面１１に形成された貫通孔１２に向かって流れていき、貫通孔１２からカップ体２１内に流れ込む。したがって、ノズル面４ｃのどの位置から液が垂れたとしても、それらの液を液受け面１１により受け、その面上の液を貫通孔１２に向かって流して貫通孔１２から筐体７ａ内に収容することが可能となる。これにより、塗布ヘッド４のノズル面４ｃから垂れた液を良好に回収することができる。

一方、塗布ヘッド４のダミー吐出やテスト吐出を行う場合、すなわち塗布液が各ノズル４ａから液滴として連続して吐出される場合には、押し上げ部材２３ａが昇降機構２３ｂにより下降し、蓋体２２の両端部が下がって各位置決め部材２４に当たり、蓋体２２が元の平板形状の態様（第１態様から第２態様）に戻り、液受け面１１が水平状態となる（図６及び図７中の二点鎖線参照）。この状態で、第１の実施形態と同様、吸引部８が駆動され、塗布液が各ノズル４ａから液滴として連続して吐出されると、次々に蓋体２２の貫通孔１２を通過していく。このとき、ノズル４ａから吐出された吐出液は、吸引部８による吸引力によって生じた気流に乗って貫通孔１２から吸い込まれるようにカップ体２１内に収容される。塗布ヘッド４のノズル面４ｃと液受け面１１とのギャップ（離間距離）は十分に小さく、その間で気流を整流して安定させ、吐出液の飛翔の乱れを抑えることが可能となる。これにより、吐出液の飛翔曲がりやミストの発生を抑止することができる。

以上説明したように、第２の実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。すなわち、液受け面１１が傾斜状態である場合には、塗布ヘッド４のノズル面４ｃから液受け面１１上に垂れた液は液受け面１１の傾斜に従って流れていき、貫通孔１２から筐体７ａ内に流入するので、塗布ヘッド４のノズル面４ｃから垂れた液を良好に回収することができる。さらに、液受け面１１が水平状態である場合には、塗布ヘッド４のノズル面４ｃと液受け面１１とのギャップが十分に小さくなるため、その間で気流を整流して安定させ、吐出液の飛翔の乱れを抑えることが可能となり、吐出液の飛翔曲がりやミストの発生を抑止することができる。

なお、前述の第２の実施形態においては、蓋体２２の態様を変える可変機構として押し上げ機構２３を用いているが、これに限るものではなく、例えば、モータを用いて任意の角度に蓋体２２を変更する機構やカムを用いる機構、ストッパを用いる機構など、各種の機構を用いることが可能である。

また、前述の第２の実施形態においては、液供給部２６を固定しているが、これに限るものではなく、例えば、液受け面１１での液跳ねを抑えるため、液供給部２６と液受け面１１との離間距離を小さくするように液供給部２６を昇降機構により昇降させるようにしても良い。一例として、液供給部２６により液受け面１１上に液を供給する場合には、液供給部２６を下降させて液受け面１１に近づけ、撮像部６ｂによる撮像を行う場合には、その撮像部６ｂによる撮像を邪魔しない位置まで上昇させる。なお、このような液供給部２６を第１の実施形態に係る液受け面１１に対しても適用することができる。

（第３の実施形態）
第３の実施形態について図８及び図９を参照して説明する。なお、第３の実施形態では、第１の実施形態との相違点（液受け部７）について説明し、その他の説明は省略する。

図８及び図９に示すように、第３の実施形態に係る液受け部７の筐体７ａは、塗布ヘッド４のノズル面４ｃから垂れた塗布液が通過する開口部３１ａを上部に有するカップ体３１と、ノズル４ａから吐出された液が通過するスリット状の貫通孔１２を有する蓋体３２とにより構成されている。さらに、蓋体３２をカップ体３１の開口部３１ａを塞ぐ閉塞位置（図８及び図９中の実線参照）及び開口部３１ａを塞がない未閉塞位置（図８及び図９中の二点鎖線参照）に移動させる移動機構３３が設けられている。なお、蓋体３２が閉塞位置及び未閉塞位置のどちらにあっても、検出部６が吐出液を検出することを妨げることはない。

カップ体３１は、塗布ヘッド４のノズル面４ｃの長手方向（図８中の手前から奥に向かう方向）の長さ以上の長さを有する概略直方体の、上面開口を有する箱形状に形成されており、その開口部３１ａの面積（開口面積）はノズル面４ｃ以上になっている。このカップ体３１は、蓋体３２が未閉塞位置にある場合、塗布ヘッド４の各ノズル４ａから流れ出て、あるいは、ノズル面４ｃから垂れて開口部３１ａを通過した液体を受ける内面である液受け面３１ｂを有している。この液受け面３１ｂは、排出口１３を有する底面であり、受けた液体が排出口１３に向かって流れるように傾斜している。

蓋体３２は、カップ体３１の開口部３１ａを塞ぐ閉塞位置及び開口部３１ａを塞がない未閉塞位置に移動機構３３により移動することが可能となる構造に形成されている。例えば、蓋体３２は、一枚の板材により構成されており、その一枚の板材にスリット状の貫通孔１２が形成されている。

移動機構３３は、回転軸３３ａ及び回転モータ３３ｂにより構成されており、回転軸３３ａの上端には蓋体３２の角部が連結されている。回転軸３３ａが回転モータ３３ｂによる回転力によって回転すると、蓋体３２も回転して未閉塞位置から閉塞位置に移動し、逆方向に回転すると、閉塞位置から未閉塞位置まで移動する。

このような構成において、ノズル４ａへの塗布液の充填やノズル４ａのコンディションメンテナンスを行う場合、すなわち塗布液が塗布液供給部５によって各ノズル４ａに圧送される場合には、蓋体３２が移動機構３３により未閉塞位置に移動し、カップ体３１の開口部３１ａが解放される（図８及び図９中の二点鎖線参照）。この状態で、各ノズル４ａから大量の塗布液が排出されるが、その塗布液の大部分は開口部３１ａを通過してカップ体３１内に収容される。また、ノズル面４ｃから垂れた塗布液は、開口部３１ａを通過してカップ体３１内の液受け面３１ｂ上に落ち、その液受け面３１ｂの傾斜に従って、液受け面３１ｂに形成された排出口１３に向かって流れていき、排出口１３に流れ込む。したがって、ノズル面４ｃのどの位置から液が垂れたとしても、それらの液をカップ体３１内の液受け面３１ｂにより受け、カップ体３１内に収容することが可能となる。これにより、塗布ヘッド４のノズル面４ｃから垂れた液を良好に回収することができる。

一方、塗布ヘッド４のダミー吐出やテスト吐出を行う場合、すなわち塗布液が各ノズル４ａから液滴として連続して吐出される場合には、蓋体３２が移動機構３３により閉塞位置に移動し、カップ体３１の開口部３１ａが蓋体３２により塞がれる（図８及び図９中の実線参照）。この状態で、第１の実施形態と同様、吸引部８（図８においては、図示省略）が駆動され、塗布液が各ノズル４ａから液滴として連続して吐出されると、次々に蓋体３２の貫通孔１２を通過していく。このとき、ノズル４ａから吐出された吐出液は、吸引部８による吸引力によって生じた気流に乗って貫通孔１２から吸い込まれるようにカップ体３１内に収容される。塗布ヘッド４のノズル面４ｃと液受け面１１とのギャップ（離間距離）は十分に小さく、その間で気流を整流して安定させ、吐出液の飛翔の乱れを抑えることが可能となる。これにより、吐出液の飛翔曲がりやミストの発生を抑止することができる。

以上説明したように、第３の実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。すなわち、蓋体３２が未閉塞位置にある場合には、塗布ヘッド４のノズル面４ｃから垂れた液はカップ体３１内の液受け面３１ｂ上に着弾し、カップ体３１内に収容されるので、塗布ヘッド４のノズル面４ｃから垂れた液を良好に回収することができる。さらに、蓋体３２が閉塞位置にある場合には、塗布ヘッド４のノズル面４ｃと液受け面１１とのギャップが十分に小さくなるため、その間で気流を整流して安定させ、吐出液の飛翔の乱れを抑えることが可能となり、吐出液の飛翔曲がりやミストの発生を抑止することができる。

（第４の実施形態）
第４の実施形態について図１０及び図１１を参照して説明する。なお、第４の実施形態では、第３の実施形態との相違点（蓋体３２及び移動機構３３）について説明し、その他の説明は省略する。

図１０及び図１１に示すように、第４の実施形態に係る蓋体３２は、二枚の板材３２ａ及び３２ｂにより構成されている。これらの板材３２ａ及び３２ｂは、それらの隙間をスリット状の貫通孔１２としてカップ体３１の開口部３１ａを塞ぐ閉塞位置（図１０及び図１１中の実線参照）及び開口部３１ａを塞がない未閉塞位置（図１０及び図１１中の二点鎖線参照）に移動機構３３により移動する。なお、蓋体３２（二枚の板材３２ａ及び３２ｂ）が閉塞位置及び未閉塞位置のどちらにあっても、検出部６が吐出液を検出することを妨げることはない。

移動機構３３は各板材３２ａ及び３２ｂを個別に主走査方向（Ｙ軸方向）に移動させる機構であり、例えば、各板材３２ａ及び３２ｂを互いに反対方向に移動させることで、各板材３２ａ及び３２ｂを未閉塞位置から閉塞位置に移動させ、また、閉塞位置から未閉塞位置まで移動させる。

なお、移動機構３３は各板材３２ａ及び３２ｂを個別に反対方向に移動させているが、これに限るものではなく、例えば、図１２及び図１３に示すように（第４の実施形態に係る変形例）、移動機構３３により各板材３２ａ及び３２ｂをそれぞれ同一方向に移動させることで、各板材３２ａ及び３２ｂを未閉塞位置から閉塞位置に移動させ、また、閉塞位置から未閉塞位置まで移動させるようにしても良い。

このような構成において、ノズル４ａへの塗布液の充填やノズル４ａのコンディションメンテナンスを行う場合、すなわち塗布液が塗布液供給部５によって各ノズル４ａに圧送される場合には、各板材３２ａ及び３２ｂが移動機構３３により未閉塞位置に移動し、カップ体３１の開口部３１ａが解放される（図１０乃至図１３中の二点鎖線参照）。この状態で、第３の実施形態と同様、各ノズル４ａから大量の塗布液が排出されるが、その塗布液の大部分は開口部３１ａを通過してカップ体３１内に収容される。また、ノズル面４ｃから垂れた塗布液は、カップ体３１の液受け面３１ｂ上に落ち、その液受け面３１ｂの傾斜に従って、液受け面３１ｂに形成された排出口１３に向かって流れていき、排出口１３に流れ込む。したがって、ノズル面４ｃのどの位置から液が垂れたとしても、それらの液をカップ体３１内の液受け面３１ｂにより受け、カップ体３１内に収容することが可能となる。これにより、塗布ヘッド４のノズル面４ｃから垂れた液を良好に回収することができる。

一方、塗布ヘッド４のダミー吐出やテスト吐出を行う場合、すなわち塗布液が各ノズル４ａから液滴として連続して吐出される場合には、蓋体３２が移動機構３３により閉塞位置に移動し、カップ体３１の開口部３１ａが蓋体３２により塞がれる（図１０乃至図１３中の実線参照）。この状態で、第３の実施形態と同様、吸引部８（図１０や図１２においては、図示省略）が駆動され、塗布液が各ノズル４ａから液滴として連続して吐出されると、次々に蓋体３２の貫通孔１２を通過していく。このとき、ノズル４ａから吐出された吐出液は、吸引部８による吸引力によって生じた気流に乗って貫通孔１２から吸い込まれるようにカップ体３１内に収容される。塗布ヘッド４のノズル面４ｃと液受け面１１とのギャップ（離間距離）は十分に小さく、その間で気流を整流して安定させ、吐出液の飛翔の乱れを抑えることが可能となる。これにより、吐出液の飛翔曲がりやミストの発生を抑止することができる。

以上説明したように、第４の実施形態によれば、第３の実施形態と同様の効果を得ることができる。すなわち、塗布ヘッド４のノズル面４ｃから垂れた液を良好に回収することができ、さらに、吐出液の飛翔の乱れを抑えることが可能となり、吐出液の飛翔曲がりやミストの発生を抑止することができる。

以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

例えば、液受け面１１の外形形状を矩形形状した例で説明したが、これに限るものではなく、円形形状や楕円形状、矩形以外の多角形形状など、他の形状としても良い。また、液受け面１１をスリット状の貫通孔１２の両側に同じ傾斜角度で設けた例で説明したが、これに限るものではなく、貫通孔１２の両側で角度を変えて設けるようにしても良い。

また、液受け面１１の傾斜角度は、吐出液の粘度と吐出液と液受け面１１との接触角に応じて決定すれば良いが、２度以上の傾斜があれば液受け面１１の面上の液体が貫通孔１２に向かって流れることが確認できているので、２度以上であることが好ましい。また、第１の実施形態のように、液受け面１１を固定的に配置する場合には、塗布ヘッド４のノズル面４ｃと液受け面１１とのギャップが広がることを防止する観点から、傾斜角度は、２度以上で３０度以下とすることが好ましい。また、第２の実施形態のように、液受け面１１が傾斜状態と水平状態とに変化する場合には、２度以上で９０度以下の範囲であれば良い。

１ 塗布装置
４ 塗布ヘッド
４ａ ノズル
４ｃ ノズル面
６ 検出部
７ 液受け部
７ａ 筐体
１１ 液受け面
１２ 貫通孔
２１ カップ体
２１ａ 開口部
２２ 蓋体
２３ 押し上げ機構
２６ 液供給部
３１ カップ体
３１ａ 開口部
３１ｂ 液受け面
３２ 蓋体
３３ 移動機構

Claims (11)

1. 液体を吐出するノズルが形成されたノズル面から垂れた液体を受ける外面となる液受け面及び前記ノズルから吐出された液体が通過する貫通孔を有する筐体と、
   前記液受け面に洗浄液を供給する液供給部を備え、
   前記液受け面は、受けた前記液体が前記筐体内に向かって流れるように傾斜していることを特徴とする液受け装置。
2. 液体を吐出するノズルが形成されたノズル面から垂れた液体を受ける外面となる液受け面及び前記ノズルから吐出された液体が通過する貫通孔を有する筐体を備え、
   前記液受け面は、受けた前記液体が前記貫通孔に向かって流れるように傾斜する傾斜状態及びその傾斜状態と異なる別状態に変化することを特徴とする液受け装置。
3. 前記液受け面に洗浄液を供給する液供給部をさらに備えたことを特徴とする請求項２記載の液受け装置。
4. 前記別状態は、前記傾斜状態より前記液受け面と前記ノズル面との間の空間が狭くなる状態であることを特徴とする請求項２または３に記載の液受け装置。
5. 前記筐体は、開口部を有するカップ体と、前記液受け面及び前記貫通孔を有して前記開口部を塞ぐ蓋体とを具備しており、
   前記蓋体は、前記液受け面が前記傾斜状態となる第１態様及び前記液受け面が前記別状態となる第２態様に変わるように形成されており、
   前記第１態様又は前記第２態様に前記蓋体を変える可変機構をさらに備えることを特徴とする請求項２乃至４のいずれかに記載の液受け装置。
6. 前記ノズルから吐出された液体を検出する検出部をさらに備え、
   前記検出部は、前記蓋体が前記第１態様である場合、前記液体を検出することが前記蓋体により妨げられる位置であって、前記蓋体が前記第２態様である場合、前記液体を検出することが前記蓋体により妨げられない位置に設けられており、
   前記可変機構は、前記検出部が前記液体を検出しない場合に前記第１態様に前記蓋体を変え、前記検出部が前記液体を検出する場合に前記第２態様に前記蓋体を変えることを特徴とする請求項５に記載の液受け装置。
7. 液体を吐出するノズルが形成されたノズル面から垂れた液体が通過する開口部及びその開口部を通過した前記液体を受ける内面となる液受け面を有するカップ体と、
   前記ノズルから吐出された液体が通過する貫通孔を有して前記開口部を塞ぐ蓋体と、
   前記蓋体を、前記開口部を塞ぐ閉塞位置及び前記開口部を塞がない未閉塞位置に移動させる移動機構と、
   を備えることを特徴とする液受け装置。
8. 前記貫通孔は、スリット状であることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか一項に記載の液受け装置。
9. 液体を吐出するノズル及びそのノズルが形成されたノズル面を有する塗布ヘッドと、
   前記ノズル面から垂れた液体を受ける外面となる液受け面及び前記ノズルから吐出された液体が通過する貫通孔を有する筐体と、
   前記液受け面に洗浄液を供給する液供給部と、
   を備え、
   前記液受け面は、受けた前記液体が前記筐体内に向かって流れるように傾斜していることを特徴とする塗布装置。
10. 液体を吐出するノズル及びそのノズルが形成されたノズル面を有する塗布ヘッドと、
    前記ノズル面から垂れた液体を受ける外面となる液受け面及び前記ノズルから吐出された液体が通過する貫通孔を有する筐体と、
    を備え、
    前記液受け面は、受けた前記液体が前記貫通孔に向かって流れるように傾斜する状態及びその傾斜状態と異なる別状態に変化することを特徴とする塗布装置。
11. 液体を吐出するノズル及びそのノズルが形成されたノズル面を有する塗布ヘッドと、
    前記ノズル面から垂れた液体が通過する開口部及びその開口部を通過した前記液体を受ける内面となる液受け面を有するカップ体と、
    前記ノズルから吐出された液体が通過する貫通孔を有して前記開口部を塞ぐ蓋体と、
    前記蓋体を、前記開口部を塞ぐ閉塞位置及び前記開口部を塞がない未閉塞位置に移動させる移動機構と、
    を備えることを特徴とする塗布装置。

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