KR20160083431A - 헤드 세정 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 - Google Patents

헤드 세정 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치는 베이스, 기판 지지 유닛, 갠트리, 토출 헤드 및 헤드 세정 유닛) 등을 포함한다. 헤드 세정 유닛은 석션 노즐 및 기액 분리 부재를 포함한다. 기액 분리 부재는 내부에 공간을 가지는 외부 하우징을 포함하고, 외부 하우징의 내부에 제공된 충전재를 제공하여 외부 하우징 내로 유입된 혼합물에서 액체 성분을 걸러내고, 외부 하우징의 내부에 내부 하우징을 제공하여 유입된 혼합물의 경로를 길게 제공하여 기액 분리 효율을 증대시킨다.

Description

헤드 세정 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치{HEAD CLEANING UNIT AND SUBSTRATE TREATING APPARATUS INCLUDING THE SAME}
본 발명은 기판을 처리하는 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 잉크젯 방식으로 액을 토출하는 헤드를 세정하는 헤드 세정 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
영상을 표시하는 액정표시장치는 다양한 박막들이 증착된 두 장의 기판 및 두 장의 기판 사이에 개재된 액정층으로 이루어진다. 일반적으로, 각 기판에 형성된 박막들은 다양한 형상의 패턴을 가지므로, 패턴의 정밀도를 위해 증착 공정 및 사진 식각 공정을 통해 형성된다. 이와 같이, 하나의 박막을 형성하기 위해서는 고가의 마스크가 사용되는 사진 식각 공정이 이용되므로, 제조 원가가 상승하고, 제조 공정 시간이 증가한다.
최근, 이러한 박막 형성 방법의 대안으로 잉크젯 프린팅 방식을 이용한 박막 형성 방법이 사용되고 있다. 잉크젯 프린팅 방식은 기판의 특정 위치에 약액을 도포하여 박막을 형성하므로, 별도의 식각 공정을 필요로 하지 않는다. 이러한 잉크젯 프린팅 방식은 액정표시장치의 컬러필터 또는 배향막 등을 형성하는 데 사용될 수 있다.
일반적으로, 잉크젯 프린트 장치는 기판 상에 약액을 도포하는 헤드, 및 헤드를 세정하는 세정 유닛을 구비한다. 세정 유닛이 음압을 이용한 석션(Suction)을 동반하여 세정하는 경우, 석션에 의해 흡입된 약액과 기체의 혼합 물 중 약액이 펌프 등 음압 발생장치에 유입되는 경우 성능 저하가 발생되는 문제가 있다. 따라서 석션 노즐과 음압 발생 장치 사이에서 흡수된 혼합물로부터 약액을 분리하기 위한 유로를 늘리는 기액 분리 부재를 설치한다.
도 1은 일반적인 기판 처리 장치의 기액 분리 박스(1)를 나타낸 사시도이다. 도 1을 참고하면, 일반적으로, 유로를 늘리기 위해 기액 분리 박스(1) 내부에는 격판(4)이 제공되나, 이것 만으로는 기액 분리가 용이하지 않다. 또한, 기액 분리 박스(1)의 전면(6)이 개폐되도록 제공되므로 내부 세척 등을 위해 전면(6) 개방 시, 배출관(5)으로 배출되지 못한 약액이 누출될 수 있으며, 음압 발생장치가 연결된 흡기관(2) 및 석션 노즐이 연결된 복수개의 유입관(3)이 연결된 위치에 따라 유입관(3)들 간에 압력 차가 발생될 수 있다.
본 발명은 기액 분리의 효율을 증대시킬 수 있는 장치를 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명은 기액 분리 부재의 개방 시 액의 누출을 방지할 수 있는 장치를 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명은 복수개의 석션 노즐 간에 석션 압력 차이의 발생을 방지할 수 있는 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명은 기판 처리 장치를 제공한다. 기판 처리 장치는 베이스; 상기 베이스에 설치되고 기판이 놓이는 기판 지지 유닛; 상기 기판 지지 유닛에 놓인 기판 상에 액을 토출하는 토출 헤드; 상기 토출 헤드가 결합된 갠트리; 및 상기 토출 헤드의 노즐 또는 노즐 면을 세정하는 헤드 세정 유닛;을 포함하되, 상기 헤드 세정 유닛은, 상기 토출 헤드에 잔류하는 액을 흡입하는 석션 노즐; 및 상기 석션 노즐에 의해 흡입된 액이 포함된 혼합물을 기체와 액체로 분리하는 기액 분리 부재;를 가지고, 상기 기액 분리 부재는, 내부에 공간을 가지는 외부 하우징; 상기 공간에 음압을 발생시키는 음압 발생 부재; 및 상기 공간에 제공되고, 상기 석션 노즐에 의해 흡입된 액이 포함된 혼합물로부터 액체를 걸러내는 충전재;를 포함하되, 상기 외부 하우징의 외벽에는, 상기 음압 발생 부재와 연결되는 흡기구; 상기 석션 노즐과 연결되고 상기 석션 노즐이 흡입한 액이 포함된 혼합물이 상기 공간으로 유입되는 유입구; 및 상기 공간 내의 액체를 외부로 배출시키기 위한 배출구; 가 형성된다.
상기 기액 분리 부재는, 상기 외부 하우징의 내부에 제공되고, 그 상부가 개방되고 그 내외부를 연통시키는 개구가 형성된 내부 하우징;을 더 포함하되, 상기 흡기구는, 상기 외부 하우징의 상벽에 제공되고, 상기 내부 하우징은, 그 상단이 상기 외부 하우징의 상벽과 연결되고, 그 내부가 상기 내부 하우징의 상부를 통해 상기 흡기구와 연통되며, 상기 충전재는, 상기 내부 하우징의 내부에 제공되는 내부 충전재를 포함한다.
상기 개구는, 상기 내부 하우징의 하벽에 제공된다.
상기 유입구는, 상기 개구보다 높은 위치에 제공된다.
상기 기액 분리 부재는, 상기 외부 하우징의 내부에 제공되고, 그 상부 및 하부가 개방되는 내부 하우징;을 더 포함하되, 상기 흡기구는, 상기 외부 하우징의 상벽에 제공되고, 상기 내부 하우징은, 그 상단이 상기 외부 하우징의 상벽과 연결되고, 그 내부가 상기 내부 하우징의 상부를 통해 상기 흡기구와 연통되며, 상기 충전재는, 상기 내부 하우징의 내부에 제공되는 내부 충전재; 및 상기 내부 하우징의 하단에 연결되고, 상기 내부 하우징의 내부에 대향되게 제공된, 하부 충전재;를 포함한다.
상기 기액 분리 부재는, 상기 외부 하우징의 내부에 제공되고, 그 상부 및 하부가 개방되는 내부 하우징;을 더 포함하되, 상기 흡기구는, 상기 외부 하우징의 상벽에 제공되고, 상기 내부 하우징은, 그 상단이 상기 외부 하우징의 상벽과 연결되고, 그 내부가 상기 내부 하우징의 상부를 통해 상기 흡기구와 연통되며, 상기 충전재는, 상기 내부 하우징의 하단에 연결되고, 상기 내부 하우징의 내부에 대향되게 제공된, 하부 충전재;를 포함한다.
상기 하우징은, 그 상부가 개방되고, 상기 공간의 상부를 개폐하는 덮개;를 가진다.
상기 배출구는, 상기 외부 하우징의 하벽에 제공되고, 상기 외부 하우징의 하벽은, 그 가장자리 영역에서 상기 배출구를 향해 갈수록 하향 경사지게 제공된다.
상기 외부 하우징은, 길이 방향이 상하 방향인 원통형으로 제공되고, 상기 유입구는, 상기 외부 하우징의 측벽에 상기 외부 하우징의 둘레방향을 따라 복수개가 제공된다.
상기 충전재는, 메쉬(Mesh) 형태를 가진다.
또한, 본 발명은 헤드 세정 유닛을 제공한다. 헤드 세정 유닛은, 액을 토출하는 토출 헤드의 노즐 및 노즐 면을 세정하는 헤드 세정 유닛에 있어서, 상기 토출 헤드에 잔류하는 액을 흡입하는 석션 노즐; 및 상기 석션 노즐에 의해 흡입된 액이 포함된 혼합물을 기체와 액체로 분리하는 기액 분리 부재;를 가지고, 상기 기액 분리 부재는, 내부에 공간을 가지는 외부 하우징; 상기 공간에 음압을 발생시키는 음압 발생 부재; 및 상기 공간에 제공되고, 상기 석션 노즐에 의해 흡입된 액이 포함된 혼합물로부터 액체를 걸러내는 충전재;를 포함하되, 상기 외부 하우징의 외벽에는, 상기 음압 발생 부재와 연결되는 흡기구; 상기 석션 노즐과 연결되고 상기 석션 노즐이 흡입한 액이 포함된 혼합물이 상기 공간으로 유입되는 유입구; 및 상기 공간 내의 액체를 외부로 배출시키기 위한 배출구;가 형성된다.
상기 기액 분리 부재는, 상기 외부 하우징의 내부에 제공되고, 그 상부가 개방되고 그 내외부를 연통시키는 개구가 형성된 내부 하우징;을 더 포함하되, 상기 흡기구는, 상기 외부 하우징의 상벽에 제공되고, 상기 내부 하우징은, 그 상단이 상기 외부 하우징의 상벽과 연결되고, 그 내부가 상기 내부 하우징의 상부를 통해 상기 흡기구와 연통되며, 상기 충전재는, 상기 내부 하우징의 내부에 제공되는 내부 충전재를 포함한다.
상기 유입구는, 상기 개구보다 높은 위치에 제공된다.
상기 기액 분리 부재는, 상기 외부 하우징의 내부에 제공되고, 그 상부 및 하부가 개방되는 내부 하우징;을 더 포함하되, 상기 흡기구는, 상기 외부 하우징의 상벽에 제공되고, 상기 내부 하우징은, 그 상단이 상기 외부 하우징의 상벽과 연결되고, 그 내부가 상기 내부 하우징의 상부를 통해 상기 흡기구와 연통되며, 상기 충전재는, 상기 내부 하우징의 내부에 제공되는 내부 충전재; 및 상기 내부 하우징의 하단에 연결되고, 상기 내부 하우징의 내부에 대향되게 제공된, 하부 충전재;를 포함한다.
상기 기액 분리 부재는, 상기 외부 하우징의 내부에 제공되고, 그 상부 및 하부가 개방되는 내부 하우징;을 더 포함하되, 상기 흡기구는, 상기 외부 하우징의 상벽에 제공되고, 상기 내부 하우징은, 그 상단이 상기 외부 하우징의 상벽과 연결되고, 그 내부가 상기 내부 하우징의 상부를 통해 상기 흡기구와 연통되며, 상기 충전재는, 상기 내부 하우징의 하단에 연결되고, 상기 내부 하우징의 내부에 대향되게 제공된, 하부 충전재;를 포함한다.
상기 하우징은, 그 상부가 개방되고, 상기 공간의 상부를 개폐하는 덮개;를 가진다.
상기 배출구는, 상기 외부 하우징의 하벽에 제공되고, 상기 외부 하우징의 하벽은, 그 가장자리 영역에서 상기 배출구를 향해 갈수록 하향 경사지게 제공된다.
상기 외부 하우징은, 길이 방향이 상하 방향인 원통형으로 제공되고, 상기 유입구는, 상기 외부 하우징의 측벽에 상기 외부 하우징의 둘레방향을 따라 복수개가 제공된다.
상기 충전재는, 메쉬(Mesh) 형태를 가진다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 본 발명의 장치는 기액 분리의 효율을 증대시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 본 발명의 장치는 기액 분리 부재의 개방 시 액의 누출을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 본 발명의 장치는 복수개의 석션 노즐 간에 석션 압력 차이의 발생을 방지할 수 있다.
도 1은 일반적인 기판 처리 장치의 기액 분리 박스를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 헤드 세정 유닛의 개략적인 모습을 나타낸 사시도이다.
도 4는 도 3의 기액 분리 부재를 A-A'방향에서 바라본 단면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기액 분리 부재를 나타낸 단면도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 기액 분리 부재를 나타낸 단면도이다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 장치의 사시도이다.
도 2를 참조하면, 기판 처리 장치(10)는 베이스(B), 기판 지지 유닛(100), 갠트리(200), 토출 헤드(300), 그리고 헤드 세정 유닛(400)을 포함한다.
베이스(B)는 일정한 두께를 가지는 직육면체 형상으로 제공될 수 있다. 베이스(B)의 상면에는 기판 지지 유닛(100)이 설치된다.
기판 지지 유닛(100)에는 기판(S)이 놓인다. 예를 들면, 기판 지지 유닛(100)은 기판(S)이 놓이는 지지판(110)을 가진다. 지지판(110)은 사각형 형상의 판일 수 있다. 지지판(110)의 하면에는 회전 구동 부재(120)가 연결된다. 회전 구동 부재(120)는 회전 모터일 수 있다. 회전 구동 부재(120)는 지지판(110)에 수직한 회전 중심축을 중심으로 지지판(110)을 회전시킨다. 지지판(110)이 회전 구동 부재(120)에 의해 회전되면, 기판(S)은 지지판(110)의 회전에 의해 회전될 수 있다.
제 1 방향(Ⅰ)은 갠트리(210)의 길이 방향이다. 제 2 방향(Ⅱ)은 상부에서 바라볼 때, 제 1 방향(Ⅰ)에 수직한 방향이다. 제 3 방향(Ⅲ)은 제 1 방향(Ⅰ) 및 제 2 방향(Ⅱ)에 수직한 방향이다.
지지판(110)과 회전 구동 부재(120)는 직선 구동 부재(130)에 의해 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동될 수 있다. 직선 구동 부재(130)는 슬라이더(132)와 가이드 부재(134)를 포함한다. 회전 구동 부재(120)는 슬라이더(132)의 상면에 설치된다. 가이드 부재(134)는 베이스(B)의 상면 중심부에 제 2 방향(Ⅱ)으로 길게 연장된다. 슬라이더(132)에는 리니어 모터가 내장될 수 있으며, 슬라이더(132)는 리니어 모터에 의해 가이드 부재(134)를 따라 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동된다.
갠트리(200)는 지지판(110)이 이동되는 경로의 상부에 제공된다. 갠트리(200)는 베이스(B)의 상면으로부터 위방향으로 이격 배치되며, 갠트리(200)는 길이 방향이 제 1 방향(Ⅰ)을 향하도록 배치된다. 갠트리(200)는 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동이 가능하도록 제공된다.
토출 헤드(300)는 헤드 이동 유닛(500)에 의해 갠트리(200)에 결합된다. 토출 헤드(300)는 헤드 이동 유닛(500)에 의해 갠트리(200)의 길이 방향, 즉 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동하고, 또한 제3 방향(Ⅲ)으로 직선 이동될 수 있다. 헤드 세정 유닛(400)에 의한 토출 헤드(300) 세정을 위해, 토출 헤드(300)는 갠트리(200) 및 헤드 이동 유닛(500)에 의해 헤드 세정 유닛(400)의 상부에 위치된다.
토출 헤드(300)는 기판 지지 유닛(100)에 놓인 기판(S)에 액을 토출한다. 예를 들면, 액은 액정의 액적일 수 있다. 토출 헤드(300)는 복수 개가 제공될 수 있다. 본 실시예에서는 3개의 토출 헤드(310,320,330)가 제공된 예를 도시하였으나 이에 한정되는 것은 아니다. 토출 헤드(300)는 제 1 방향(Ⅰ)으로 일렬로 나란하게 배열될 수 있으며, 갠트리(200)에 결합된다.
토출 헤드(300)의 저면에는 액을 토출하는 복수 개의 노즐들이 제공된다. 예를 들어, 각각의 헤드들에는 128개 또는 256개의 노즐들이 제공될 수 있다. 노즐들은 일정 피치의 간격으로 일렬로 배치될 수 있다.
각각의 토출 헤드(300)에는 노즐들에 대응하는 수만큼의 압전 소자가 제공될 수 있으며, 노즐들의 액 토출량은 압전 소자들에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절될 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 헤드 세정 유닛(400)의 개략적인 모습을 나타낸 도면이다. 도 4는 도 3의 기액 분리 부재(420)를 A-A'방향에서 바라본 단면도이다. 도 3 및 도 4를 참고하면, 헤드 세정 유닛(400)은 석션 노즐(410) 및 기액 분리 부재(420)를 포함한다. 헤드 세정 유닛(400)은 토출 헤드(300)의 노즐 및/또는 노즐이 형성된 노즐 면에 잔류하는 액정 또는 세정액 등의 액을 세정한다.
석션 노즐(410)은 토출 헤드(300)의 노즐 및/또는 노즐 면의 세정 시, 노즐 면에 인접되도록 위치하여 음압 발생 부재(422)에 의해 발생된 음압에 의한 압력차이를 이용해 토출 헤드(300)에 잔류하는 액을 흡수한다. 액 흡수 시 액정 또는 세정액 등의 액체와 함께 토출 헤드(300) 주변의 기체가 혼합되어 흡수된다. 흡수된 액체와 기체의 혼합된 혼합물(이하 “혼합물”이라 한다.)은 기액 분리 부재(420)의 외부 하우징(421)으로 유입된다.
기액 분리 부재(420)는 석션 노즐(410)에 의해 흡입된 혼합물을 기체와 액체로 분리한다. 기액 분리 부재(420)는 외부 하우징(421), 음압 발생 부재(422), 충전재(423) 및 내부 하우징(424)을 포함한다.
외부 하우징(421)은 내부에 공간(421a)을 가진다. 외부 하우징(421)은 상부가 개방되고, 공간(421a)의 상부를 개폐하는 덮개(421e)를 포함할 수 있다. 덮개(421e)가 공간(421a)의 상부에 제공됨으로써, 공간(421a)의 개폐 시, 공간(421a)에 잔류하는 액이 외부로 누출되는 것을 방지할 수 있다. 외부 하우징(421)의 외벽에는 흡기구(421b), 유입구(421c) 및 배출구(421d)가 형성된다.
흡기구(421b)는 음압 발생 부재(422)와 연결된다. 흡기구(421b)는 외부 하우징(421)의 상벽 즉, 덮개(421e)에 형성된다. 예를 들면, 흡기구(421)는 덮개(421e)의 중심부에 형성될 수 있다. 음압 발생 부재(422)는 공간(421a)의 기체를 외부로 배출시킴으로써 공간(421a)에 음압을 발생시킨다.
유입구(421c)는 석션 노즐(410)과 연결된다. 석션 노즐(410)이 흡입한 혼합물은 유입구(421c)를 통해 공간(421a)으로 유입된다. 유입구(421c)는 개구(424a)보다 높은 위치에 제공된다. 일 실시 예에 따르면, 외부 하우징(421)은 길이 방향이 상하 방향인 원통형으로 제공되고, 유입구(421c)는 외부 하우징(421)의 측벽에 외부 하우징(421)의 둘레 방향을 따라 복수개가 제공된다.
상술한 바와 같이, 흡기구(421b)가 덮개(421e)의 중심부에 제공되고, 유입구(421c)가 외부 하우징(421)의 측벽에 외부 하우징(421)의 둘레 방향을 따라 제공됨으로써, 각각의 유입구(421c)로부터 흡기구(421b)까지의 경로의 길이 차가 균일하게 제공된다. 따라서, 각 유입구(421c)와 연결된 석션 노즐(410)들의 흡기 압력이 서로 균일하게 인가될 수 있다.
공간(421a) 내의 액체는 배출구(421d)를 통해 외부로 배출된다. 배출구(421d)는 외부 하우징(421)의 하벽에 제공된다. 예를 들면, 배출구(421d)는 외부 하우징(421)의 하벽의 중앙 영역에 제공될 수 있다. 외부 하우징(421)의 하벽은, 그 가장자리 영역에서 배출구(421d)를 향해 갈수록 하향 경사지게 제공된다. 따라서, 공간(421) 내에 흡수된 액이 배출구(421d)로 배출되지 않고 외부 하우징(421)의 하벽에 잔류되는 것을 최소화 시킨다.
충전재(423)는 상기 공간(421a)에 제공된다. 충전재(423)는 석션 노즐(410)에 의해 흡입된 혼합물로부터 액체를 걸러낸다. 충전재(423)는 내부 충전재(423a)를 포함한다. 내부 충전재(423a)는 내부 하우징(424)의 내부에 제공된다. 일 실시 예에 의하면, 내부 충전재(423a)는 메쉬(Mesh) 형태를 가지고, 내부 하우징(424) 및 덮개(421e)의 하면에 밀착되게 제공된다. 내부 충전재(423)는 그 상면이 흡기구(421b)에 대향되도록 제공된다. 따라서, 유입구(421c)로부터 흡수된 혼합물은 내부 충전재(423a)를 통과해 흡기구(421b)로 배출된다. 이 과정에서, 혼합물 내의 액체 성분은 내부 충전재(423a)의 조직에 부착되고, 부착된 액체 성분이 서로 뭉쳐 일정 중량을 가지는 경우, 액체 성분은 개구(424a)를 통해 공간(421a)으로 배출되고, 공간으로 배출된 액체 성분은 배출구(421d)를 통해 외부 하우징(421)의 외부로 배출된다.
내부 하우징(424)은 외부 하우징(421)의 내부에 제공된다. 내부 하우징(424)은 그 상부가 개방된다. 내부 하우징(424)에는 그 내외부를 연통시키는 개구(424a)가 형성된다. 개구(424a)는 내부 하우징(424)의 하벽에 제공된다. 내부 하우징(424)은 그 상단이 외부 하우징(421)의 상벽, 즉, 덮개(421e)와 연결된다. 내부 하우징(424)은 그 내부가 그 상부를 통해 흡기구(421b)와 연통된다. 상술한 바와 같이, 내부 하우징(424)이 제공됨으로써, 유입구(421c)를 통해 흡수된 혼합물이 내부 하우징(424)의 외벽을 지나 흡기구(421b)로 배출되므로, 혼합물이 지나는 경로가 길어진다. 따라서, 기액 분리 효율이 증대된다.
도 5는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기액 분리 부재(420)를 나타낸 단면도이다. 도 5를 참고하면, 내부 하우징(424)은 그 상부 및 하부가 개방된다. 충전재(423)는 하부 충전재(423b)를 포함한다. 하부 충전재(423b)는 내부 하우징(424)의 하단에 연결되고, 상기 내부 하우징(424)의 내부에 대향되게 제공된다. 하부 충전재(423b)는 메쉬(Mesh) 형태를 가진다. 따라서, 유입구(421c)로 유입된 혼합물은 하부 충전재(423b)를 지나 흡기구(421b)로 배출됨으로써, 하부 충전재(423b)는 도 4의 내부 충전재(423a)와 유사한 기능을 가진다. 그 외, 기액 분리 부재(420)의 구조, 구성 및 기능 등은 도 4의 기액 분리 부재(420)와 유사하다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 기액 분리 부재(420)를 나타낸 단면도이다. 도 6을 참고하면, 내부 하우징(424)은 그 상부 및 하부가 개방된다. 충전재(423)는 내부 충전재(423a) 및 하부 충전재(423b)를 포함한다. 내부 충전재(423a)는 내부 하우징(424) 내에 제공되고, 도 5의 내부 충전재(423a)와 그 구조, 구성 및 기능이 유사하다. 그 외, 기액 분리 부재(420)의 구조, 구성 및 기능 등은 도 4의 기액 분리 부재(420)와 유사하다.
10: 기판 처리 장치 S: 기판
100: 기판 지지 유닛 200: 갠트리
300: 토출 헤드 400: 헤드 세정 유닛
410: 석션 노즐 420: 기액 분리 부재
421: 외부 하우징 422: 음압 발생 부재
423: 충전재 424: 내부 하우징

Claims (19)

  1. 베이스;
    상기 베이스에 설치되고 기판이 놓이는 기판 지지 유닛;
    상기 기판 지지 유닛에 놓인 기판 상에 액을 토출하는 토출 헤드;
    상기 토출 헤드가 결합된 갠트리; 및
    상기 토출 헤드의 노즐 또는 노즐 면을 세정하는 헤드 세정 유닛;을 포함하되,
    상기 헤드 세정 유닛은,
    상기 토출 헤드에 잔류하는 액을 흡입하는 석션 노즐; 및
    상기 석션 노즐에 의해 흡입된 액이 포함된 혼합물을 기체와 액체로 분리하는 기액 분리 부재;를 가지고,
    상기 기액 분리 부재는,
    내부에 공간을 가지는 외부 하우징;
    상기 공간에 음압을 발생시키는 음압 발생 부재; 및
    상기 공간에 제공되고, 상기 석션 노즐에 의해 흡입된 액이 포함된 혼합물로부터 액체를 걸러내는 충전재;를 포함하되,
    상기 외부 하우징의 외벽에는,
    상기 음압 발생 부재와 연결되는 흡기구;
    상기 석션 노즐과 연결되고 상기 석션 노즐이 흡입한 액이 포함된 혼합물이 상기 공간으로 유입되는 유입구; 및
    상기 공간 내의 액체를 외부로 배출시키기 위한 배출구; 가 형성되는 기판 처리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기액 분리 부재는,
    상기 외부 하우징의 내부에 제공되고, 그 상부가 개방되고 그 내외부를 연통시키는 개구가 형성된 내부 하우징;을 더 포함하되,
    상기 흡기구는, 상기 외부 하우징의 상벽에 제공되고,
    상기 내부 하우징은, 그 상단이 상기 외부 하우징의 상벽과 연결되고, 그 내부가 상기 내부 하우징의 상부를 통해 상기 흡기구와 연통되며,
    상기 충전재는, 상기 내부 하우징의 내부에 제공되는 내부 충전재를 포함하는 기판 처리 장치.
  3. 제 2 항 에 있어서,
    상기 개구는, 상기 내부 하우징의 하벽에 제공되는 기판 처리 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 유입구는, 상기 개구보다 높은 위치에 제공되는 기판 처리 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 기액 분리 부재는,
    상기 외부 하우징의 내부에 제공되고, 그 상부 및 하부가 개방되는 내부 하우징;을 더 포함하되,
    상기 흡기구는, 상기 외부 하우징의 상벽에 제공되고,
    상기 내부 하우징은, 그 상단이 상기 외부 하우징의 상벽과 연결되고, 그 내부가 상기 내부 하우징의 상부를 통해 상기 흡기구와 연통되며,
    상기 충전재는,
    상기 내부 하우징의 내부에 제공되는 내부 충전재; 및
    상기 내부 하우징의 하단에 연결되고, 상기 내부 하우징의 내부에 대향되게 제공된, 하부 충전재;를 포함하는 기판 처리 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 기액 분리 부재는,
    상기 외부 하우징의 내부에 제공되고, 그 상부 및 하부가 개방되는 내부 하우징;을 더 포함하되,
    상기 흡기구는, 상기 외부 하우징의 상벽에 제공되고,
    상기 내부 하우징은, 그 상단이 상기 외부 하우징의 상벽과 연결되고, 그 내부가 상기 내부 하우징의 상부를 통해 상기 흡기구와 연통되며,
    상기 충전재는,
    상기 내부 하우징의 하단에 연결되고, 상기 내부 하우징의 내부에 대향되게 제공된, 하부 충전재;를 포함하는 기판 처리 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 하우징은,
    그 상부가 개방되고,
    상기 공간의 상부를 개폐하는 덮개;를 가지는 기판 처리 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 배출구는, 상기 외부 하우징의 하벽에 제공되고,
    상기 외부 하우징의 하벽은, 그 가장자리 영역에서 상기 배출구를 향해 갈수록 하향 경사지게 제공된 기판 처리 장치.
  9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 하나에 있어서,
    상기 외부 하우징은, 길이 방향이 상하 방향인 원통형으로 제공되고,
    상기 유입구는, 상기 외부 하우징의 측벽에 상기 외부 하우징의 둘레방향을 따라 복수개가 제공되는 기판 처리 장치.
  10. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 하나에 있어서,
    상기 충전재는, 메쉬(Mesh) 형태를 가지는 기판 처리 장치.
  11. 액을 토출하는 토출 헤드의 노즐 및 노즐 면을 세정하는 헤드 세정 유닛에 있어서,
    상기 토출 헤드에 잔류하는 액을 흡입하는 석션 노즐; 및
    상기 석션 노즐에 의해 흡입된 액이 포함된 혼합물을 기체와 액체로 분리하는 기액 분리 부재;를 가지고,
    상기 기액 분리 부재는,
    내부에 공간을 가지는 외부 하우징;
    상기 공간에 음압을 발생시키는 음압 발생 부재; 및
    상기 공간에 제공되고, 상기 석션 노즐에 의해 흡입된 액이 포함된 혼합물로부터 액체를 걸러내는 충전재;를 포함하되,
    상기 외부 하우징의 외벽에는,
    상기 음압 발생 부재와 연결되는 흡기구;
    상기 석션 노즐과 연결되고 상기 석션 노즐이 흡입한 액이 포함된 혼합물이 상기 공간으로 유입되는 유입구; 및
    상기 공간 내의 액체를 외부로 배출시키기 위한 배출구; 가 형성되는 헤드 세정 유닛.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 기액 분리 부재는,
    상기 외부 하우징의 내부에 제공되고, 그 상부가 개방되고 그 내외부를 연통시키는 개구가 형성된 내부 하우징;을 더 포함하되,
    상기 흡기구는, 상기 외부 하우징의 상벽에 제공되고,
    상기 내부 하우징은, 그 상단이 상기 외부 하우징의 상벽과 연결되고, 그 내부가 상기 내부 하우징의 상부를 통해 상기 흡기구와 연통되며,
    상기 충전재는, 상기 내부 하우징의 내부에 제공되는 내부 충전재를 포함하는 헤드 세정 유닛.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 유입구는, 상기 개구보다 높은 위치에 제공되는 헤드 세정 유닛.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 기액 분리 부재는,
    상기 외부 하우징의 내부에 제공되고, 그 상부 및 하부가 개방되는 내부 하우징;을 더 포함하되,
    상기 흡기구는, 상기 외부 하우징의 상벽에 제공되고,
    상기 내부 하우징은, 그 상단이 상기 외부 하우징의 상벽과 연결되고, 그 내부가 상기 내부 하우징의 상부를 통해 상기 흡기구와 연통되며,
    상기 충전재는,
    상기 내부 하우징의 내부에 제공되는 내부 충전재; 및
    상기 내부 하우징의 하단에 연결되고, 상기 내부 하우징의 내부에 대향되게 제공된, 하부 충전재;를 포함하는 헤드 세정 유닛.
  15. 제 11 항에 있어서,
    상기 기액 분리 부재는,
    상기 외부 하우징의 내부에 제공되고, 그 상부 및 하부가 개방되는 내부 하우징;을 더 포함하되,
    상기 흡기구는, 상기 외부 하우징의 상벽에 제공되고,
    상기 내부 하우징은, 그 상단이 상기 외부 하우징의 상벽과 연결되고, 그 내부가 상기 내부 하우징의 상부를 통해 상기 흡기구와 연통되며,
    상기 충전재는,
    상기 내부 하우징의 하단에 연결되고, 상기 내부 하우징의 내부에 대향되게 제공된, 하부 충전재;를 포함하는 헤드 세정 유닛.
  16. 제 11 항에 있어서,
    상기 하우징은,
    그 상부가 개방되고,
    상기 공간의 상부를 개폐하는 덮개;를 가지는 헤드 세정 유닛.
  17. 제 11 항에 있어서,
    상기 배출구는, 상기 외부 하우징의 하벽에 제공되고,
    상기 외부 하우징의 하벽은, 그 가장자리 영역에서 상기 배출구를 향해 갈수록 하향 경사지게 제공된 헤드 세정 유닛.
  18. 제 11 항 내지 제 17 항 중 어느 하나에 있어서,
    상기 외부 하우징은, 길이 방향이 상하 방향인 원통형으로 제공되고,
    상기 유입구는, 상기 외부 하우징의 측벽에 상기 외부 하우징의 둘레방향을 따라 복수개가 제공되는 헤드 세정 유닛.
  19. 제 11 항 내지 제 17 항 중 어느 하나에 있어서,
    상기 충전재는, 메쉬(Mesh) 형태를 가지는 헤드 세정 유닛.


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