JP5195473B2 - 吸液タンクおよびこれを備えた液滴吐出装置 - Google Patents

Description

本発明は、吸引装置により上部空間を負圧にすることで、吸液対象物から液体を吸引しトラップする吸液タンクおよびこれを備えた液滴吐出装置に関するものである。

従来、この種の吸液タンク（回収タンク）として、タンクの液中に連通する液体流入口と、吸引装置に接続されると共に液面の上部空間に連通する気体流出口とを有するものが知られている（特許文献１参照）。

特開２００８−８０２０９号公報

ところで、液体流入口を液中に浸漬した状態が続くと、液体流入口が腐食してしまう。そのため、吸液タンクにおける液面の上方（上部空間）に液体流入口を設け、液体を液面の上方から流下させて、回収する構造を用いている。
しかしながら、このような構成では、液体が液面に流下した際、液体が飛散（ミスト化）し、飛散したミスト状態の液体が気体流出口に入り込んで、吸引系の装置（特にシール部分等）を腐食させてしまうという問題があった。すなわち、流下する液体の流速や吸液タンク内での落下距離が許容範囲を超えてしまうと、液体の飛散が顕著になり支障が生じてしまう。なお、液体流入口と液面との距離を極力短くすることも考えられるが、かかる場合、液体回収により液面の高さが高くなってしまうと、液体流入口が液中に浸漬してしまう。

本発明は、上部空間に開口した液体流入口から液面に流下する液体の、飛散を抑制することができる吸液タンクおよびこれを備えた液滴吐出装置を提供することを課題としている。

本発明の吸液タンクは、液面の上部空間に連通する液体流入口が吸液対象物に接続されると共に上部空間に連通する気体流出口が吸引装置に接続され、吸引装置により上部空間を負圧にすることで、吸液対象物から液体を吸引しトラップする吸液タンクであって、上部空間に配設され、液体流入口から流入する液体が衝突する邪魔板と、邪魔板に衝突した液体を邪魔板から液面に導く導水壁を有する導水部材と、を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、液体流入口から流入した液体が邪魔板に衝突し、導水壁によって、液面に導かれる。このように、液体流入口から流入した液体の落下距離を短くすることができ、且つその流速を減じて液面に導くようにしているため、液面における液体の飛散を抑えることができる。また、液面の高さが高くなったとしても、液体流入口が液中に浸漬してしまうことがない。なお、ここにいう導水壁とは、厚みのない面を表す概念である。

上記の吸液タンクにおいて、液体流入口がタンク天壁に開口すると共に、邪魔板が液体流入口の直下に水平に配設され、導水部材が、所定の間隙を存して邪魔板を囲繞すると共に内面を導水壁とする筒体で構成されていることが好ましい。

この場合、導水部材の上端は、タンク天壁に固着されていることが好ましい。

これらの構成によれば、液体流入口をタンク天壁に設けることで、液体流入口の腐食を抑えることができる。また、液体流入口からの液体を受ける邪魔板が水平に設けられているため、これに流下した液体は、邪魔板上を放射状に流れることになる。このため、流下した液体の流速を極端に減じた後、導水壁に導くことができる。さらに、邪魔板を囲繞するように導水壁を設けることで、導水壁が防液カバーとなり、邪魔板に衝突した液体が、吸液タンク全体に飛散することを防止することができる。またさらに、導水部材をタンク天壁に固着しておくことで、防液カバーとしての機能を高めることができる。

この場合、導水部材の下端は、タンク底壁の近傍まで延在していることが好ましい。

この構成によれば、導水部材の下端が、タンク底壁の近傍まで延在しているため、液面の高低に係わらず、衝突した液体をゆっくりした速度のまま液面まで導くことができる。

この場合、導水部材には、導水部材の内外を連通する連通孔および／または切欠き部が形成されていることが好ましい。

この構成によれば、導水部材の内外を連通する連通孔および／または切欠き部を形成することで、導水部材の内外での圧力を均一化することができる。

この場合、導水部材と邪魔板との間の所定の間隙で構成される間隙面積と、液体流入口の断面積と、が略同一に形成されていることが好ましい。

この構成によれば、導水部材と邪魔板との間隙面積と、液体流入口の断面積と、を略同一に形成することで、液体流入口からの流入量と、導水部材と邪魔板との間隙からの流出量とが略同一となるため、液体の飛散を抑制しつつ、液面まで円滑に導くことができる。

上記の吸液タンクにおいて、タンク内周壁が、導水壁の一部を兼ねていることが好ましい。

この構成によれば、吸液タンクのタンク内周壁と導水部材とを一体に形成（兼用）することができるため、吸液タンクを簡単な構成とすることができる。

上記の吸液タンクにおいて、邪魔板は、下り傾斜に配設されると共に下流端がタンク内周壁に所定間隙を存して対峙しており、タンク内周壁が導水部材を兼ねていることが好ましい。

この構成によれば、液体流入口から流入した液体が邪魔板に衝突し、その後、邪魔板に導かれて、タンク内周壁に達し、液面まで導かれる。このように、吸液タンクのタンク内周壁と導水部材とを一体に形成（兼用）することができるため、吸液タンクを簡単な構成とすることができる。

これらの場合、タンク内周壁の上下略中間位置に設けられ内側に突出する環状枠体を、更に備えることが好ましい。

この構成によれば、タンク自身の強度アップを図ることができ、薄手の板材でタンク容量を大きくすることができる。

これらの場合、吸液対象物が、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに離接自在に構成され、機能液滴吐出ヘッドから機能液を吸引する吸引キャップであり、吸引装置が、二次側を気体流出口に接続されたエジェクターであることが好ましい。

この構成によれば、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドの吸引システムに、上記の吸液タンクを適用することにより、機能液滴吐出ヘッドの吸引処置を精度良く実施することができる。また、吸引装置をエジェクターで構成することにより、吸引装置を簡単な構成とすることができる。

本発明の液滴吐出装置は、上記の吸液タンクと、吸液タンクに接続された吸引キャップと、吸引キャップが離接する機能液滴吐出ヘッドと、吸液タンクに接続されたエジェクターと、を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、液滴吐出装置の吸引システムに、上記の吸液タンクを適用することにより、機能液滴吐出ヘッドの吸引処置を精度良く実施することができ、ひいては、機能液滴吐出ヘッドによる描画処理を精度良く実施することができる。

本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の斜視図である。 本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の平面図である。 本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の側面図である。 機能液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニットを模式的に表した平面図である。 機能液滴吐出ヘッドの表裏外観斜視図である。 吸引ユニットの側面図である。 キャップユニットの平面図である。 吸引ユニットの配管系統図である。 廃液タンクの断面斜視図である。 廃液タンクの断面図（ａ）および平面図（ｂ）である。 第１変形例の廃液タンクの断面図（ａ）および平面図（ｂ）である。 第２変形例の廃液タンクの断面図（ａ）および縦断面図（ｂ）である。

以下、添付の図面を参照して、本発明の吸液タンクを適用した液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液（液体）を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、有機ＥＬ装置の各画素となる発光層やカラーフィルタのフィルタエレメント等を形成するものである。特に、この液滴吐出装置は、吸引ユニットに、機能液の飛散を抑制することができる廃液タンク（吸液タンク）を用いることで、機能液の飛散による不具合を抑制することができる。

図１ないし図３に示すように、液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース２１上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在してワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル２と、複数本の支柱１１を介してＸ軸テーブル２を跨ぐように架け渡された１対のＹ軸支持ベース３１上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル３と、Ｙ軸テーブル３に移動自在に吊設され、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド１３がそれぞれ搭載された１３個のキャリッジユニット４と、から構成されている。さらに、液滴吐出装置１は、これらの装置を、温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバー５と、チャンバー５を貫通して、機能液滴吐出ヘッド１３に機能液を供給する機能液供給ユニット６と、各ユニットを制御する制御装置（図示省略）と、を備えており、チャンバー５の側壁の一部には、機能液供給ユニット６の主要部を為すメインタンク６０等を収納するタンクキャビネット５０が設けられている。液滴吐出装置１は、Ｘ軸テーブル２およびＹ軸テーブル３の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド１３を吐出駆動させることにより、機能液供給ユニット６から供給された６色の機能液滴を吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンが描画される。

また、液滴吐出装置１は、フラッシングユニット１５、吸引ユニット１６、ワイピングユニット１７、吐出性能検査ユニット１８から成るメンテナンス装置７を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド１３の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド１３の機能維持・機能回復を図るようになっている。本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｘ軸テーブル２とＹ軸テーブル３とが交わる部分にキャリッジユニット４を臨ませてワークＷの描画を行い、Ｙ軸テーブル３とメンテナンス装置７（吸引ユニット１６、ワイピングユニット１７）が交わる部分にキャリッジユニット４を臨ませて、機能液滴吐出ヘッド１３の機能維持・機能回復を行う。

図２および図３に示すように、Ｘ軸テーブル２は、ワークＷを吸着セットすると共にθ軸方向に補正可能な機構を有するセットテーブル２２と、セットテーブル２２をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第１スライダー２３と、上記のフラッシングユニット１５および吐出性能検査ユニット１８をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第２スライダー２４と、Ｘ軸方向に延在し、Ｘ軸第１スライダー２３およびＸ軸第２スライダー２４をＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモーター（図示省略）と、を備えている。

Ｙ軸テーブル３は、１３個のキャリッジユニット４をそれぞれ吊設した１３個のブリッジプレート３２と、１３個のブリッジプレート３２を両持ちで支持する１３組のＹ軸スライダー（図示省略）と、一対のＹ軸支持ベース３１上に設置され、ブリッジプレート３２をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモーター（図示省略）と、を備えている。また、Ｙ軸テーブル３は、各キャリッジユニット４を介して描画時に機能液滴吐出ヘッド１３を副走査するほか、機能液滴吐出ヘッド１３を吸引ユニット１６およびワイピングユニット１７に臨ませる。この場合、各キャリッジユニット４を独立させて個別に移動させることも可能であるし、１３個のキャリッジユニット４を一体として移動させることも可能である。

各キャリッジユニット４は、Ｒ・Ｇ・Ｂ・Ｃ・Ｍ・Ｙの６色、各２個（計１２個）の機能液滴吐出ヘッド１３と、１２個の機能液滴吐出ヘッド１３を６個ずつ２群に分けて支持するヘッドプレート４１と、から成るヘッドユニット４２を備えている（図４参照）。また、各キャリッジユニット４は、ヘッドユニット４２をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構４３と、θ回転機構４３を介して、ヘッドユニット４２をブリッジプレート３２に支持させる吊設部材４４と、を備えている。加えて、各キャリッジユニット４は、その上部にサブタンク４５が配設されており（実際には、ブリッジプレート３２上に配設）、このサブタンク４５から自然水頭を利用し、かつ圧力調整弁を介して各機能液滴吐出ヘッド１３に機能液が供給されるようになっている。なお、本実施形態においては、キャリッジユニット４の個数を１３個、各キャリッジユニット４に搭載される機能液滴吐出ヘッド１３の個数を１２個としたが、キャリッジユニット４の個数および各キャリッジユニット４に搭載される機能液滴吐出ヘッド１３の個数は任意である。

図５に示すように、機能液滴吐出ヘッド１３は、いわゆる２連のインクジェットヘッドであり、２連の接続針５４を有する機能液導入部５１と、機能液導入部５１に連なる２連のヘッド基板５２と、ヘッド基板５２の下方に連なり機能液を吐出するヘッド本体５３と、を備えている（図５（ａ）参照）。

機能液導入部５１は、一対の接続針５４を有しており、サブタンク４５から機能液の供給を受けるようになっている。また、ヘッド本体５３は、ピエゾ素子等で構成される２連のポンプ部５５と、複数の吐出ノズル５７が形成されたノズル面５８を有するノズルプレート５６と、を有している。ノズルプレート５６のノズル面５８に形成された多数の吐出ノズル５７は、相互に平行且つ半ノズルピッチ位置ズレして列設された２列のノズル列ＮＬを構成しており、各ノズル列ＮＬは、等ピッチで並べた１８０個の吐出ノズル５７で構成されている（図５（ｂ）参照）。ヘッド基板５２には、２連のコネクタ５９が設けられており、各コネクタ５９は、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介して上記の制御装置に接続されている。そして、この制御装置から出力された駆動波形が各コネクタ５９を介して各ポンプ部５５（圧電素子）に印加されることで、各吐出ノズル５７から機能液が吐出される。

図１ないし図３に示すように、フラッシングユニット１５は、一対の描画前フラッシングユニット６１,６１と、定期フラッシングユニット６２とを有し、描画処理直前や、ワークＷの載換え時等の描画処理休止時に行われる、機能液滴吐出ヘッド１３の捨て吐出を受ける。吸引ユニット１６は、１３台のキャップユニット７１を有し、各機能液滴吐出ヘッド１３の吐出ノズル５７から機能液を強制的に吸引すると共に、キャッピングを行う。ワイピングユニット１７は、吸引後の機能液滴吐出ヘッド１３のノズル面５８を拭取る。吐出性能検査ユニット１８は、機能液滴吐出ヘッド１３の吐出の有無および飛行曲りを検査する。

定期フラッシングユニット６２は、機能液を受ける定期フラッシングボックス６４と、上記のＸ軸第２スライダー２４に搭載され、定期フラッシングユニット６２の両端を高さ調整可能に支持する一対のボックス支柱部材６５と、を有している。定期フラッシングユニット６２は、ワークＷの載換え時等のように、描画処理を一時的に休止される時に、ヘッドユニット４２の全機能液滴吐出ヘッド１３を吐出駆動して行われる定期フラッシングの機能液を受けるためのものである。これにより、描画休止時の機能液滴吐出ヘッド１３の乾燥およびノズル詰まりを防止することができる。

描画前フラッシングユニット６１は、機能液を受ける一対の描画前フラッシングボックス６３と、一対の各描画前フラッシングボックス６３をセットテーブル２２に支持させる一対のボックス支持部材（図示省略）と、で構成されている。描画前フラッシングユニット６１は、ワークＷに機能液を吐出させる直前にヘッドユニット４２の全機能液滴吐出ヘッド１３を吐出駆動して行う、描画前フラッシングの機能液を受けるためのものである。これにより、描画直前の機能液滴吐出ヘッド１３の吐出を安定させることができ、ワークＷに対して精度良い描画処理を行うことができる。

次に、図６ないし図８を参照して、吸引ユニット１６について詳細に説明する。吸引ユニット１６は、１２個の機能液滴吐出ヘッド１３に対応する１２個のヘッドキャップ８１をキャッププレート８２に配置した１３台のキャップユニット７１と、支持部材８３を介して各キャップユニット７１を昇降させる１３台の昇降機構７３と、各キャップユニット７１に連なると共に機能液の吸引流路を有する１３個の吸引流路系７４と、各吸引流路系７４に連なると共に２つの圧力水準に対応した２つの廃液タンク１０１を有する吸引機構７５と、を備えている。また、吸引ユニット１６は、後述する圧力制御機構１０２等に制御用の圧縮エアーを供給する圧縮エアー供給設備７６と、各部から排気を行うための排気設備７７と、廃液タンク１０１に接続され、貯留された機能液を廃液する機能液廃液設備７８と、を備えている。

図７に示すように、キャップユニット７１は、各色２個、計１２個の機能液滴吐出ヘッド１３に対応したヘッドキャップ（吸引キャップ）８１と、これらを搭載したキャッププレート８２と、から成り、１２個のヘッドキャップ８１は、１２個の機能液滴吐出ヘッド１３と同じ並びで且つ同じ傾き姿勢で、キャッププレート８２に搭載されている。

図６に示すように、昇降機構７３は、支持部材８３を介してヘッドキャップ８１を直接昇降させる昇降シリンダー８４と、昇降シリンダー８４による昇降をガイドする一対のリニアガイド８５と、これらを支持するベース部８６と、を有している。支持部材８３は、上端にキャップユニット７１を支持する支持フレーム７２を有する支持部材本体と、１２個のヘッドキャップ８１の大気開放弁（図示省略）を一括して開放するための大気開放フレーム８８と、大気開放フレーム８８を下動させる一対のエアーシリンダー８９，８９と、を有している。昇降機構７３は、吸引用の密接位置と、フラッシング用の離間位置と、ヘッドユニット４２の交換やキャップユニット７１の消耗品交換（メンテナンス）用の交換位置との間でキャップユニット７１を３段階に昇降させる。

図８に示すように、各吸引流路系７４は、各キャップユニット７１に連なるキャップ側流路系９０と、キャップ側流路系９０に連なるタンク側流路系９１と、から構成されている。キャップ側流路系９０は、上流端を各ヘッドキャップ８１に接続した同種流路９２と、同種流路９２の下流側を合流継手１０８を介して機能液の色別に合流させた個別吸引流路９３と、合流させた個別吸引流路９３の下流端が接続される一次マニホールド９４と、から構成されている。すなわち、上記の６色、各２個（計１２個）の機能液滴吐出ヘッド１３に対応する１２個のヘッドキャップ８１に接続された各２本の同種流路９２が合流継手１０８を介して合流し、計６本の個別吸引流路９３に接続され、この６本の個別吸引流路９３が、その各下流端で一次マニホールド９４に接続されている。また、下流側において合流した個別吸引流路９３には、機能液の色別に個別吸引流路９３を開閉する個別流路開閉バルブ９５が介設されている。

タンク側流路系９１は、上流端を一次マニホールド９４に接続した複数の分配吸引流路９６と、複数の分配吸引流路９６の下流端が接続した２つの二次マニホールド９７と、上流端を各二次マニホールド９７に接続し、下流端を各廃液タンク１０１に接続した主吸引流路９８と、から構成されている。また、分配吸引流路９６は、２つの圧力水準に対応して、各キャップユニット７１当たり、２本ずつ接続されており、各分配吸引流路９６には、２つの圧力水準を選択的に切り換える分配流路開閉バルブ９９が介設されている。各主吸引流路９８には、各廃液タンク１０１に流入する機能液の流量を検出する流量計１００が介設されている。なお、個別流路開閉バルブ９５および分配流路開閉バルブ９９は、単なる開閉弁であり、一方を「開」、他方を「閉」とすることで、流路切換えができるものである。

一次マニホールド９４および二次マニホールド９７は、上端を円板状の蓋体により閉塞されたロート状に形成された円盤状マニホールドで構成されている。この場合、一次マニホールド９４では、６本の個別吸引流路９３の下流端が、円盤状マニホールドの周方向に均等配置するように、蓋体に接続されている。同様に、二次マニホールド９７では、１３本の分配吸引流路９６の下流端が、円盤状マニホールドの周方向に均等配置するように、或いは周方向に２重に且つ均等配置するように蓋体に接続されている。

吸引機構７５は、吸引した機能液を廃液（貯留）する２つの廃液タンク（吸液タンク）１０１と、各廃液タンク１０１の内部圧力を制御する一対の圧力制御機構１０２と、を備えており、圧力制御機構１０２により、廃液タンク１０１の内部圧力が個別に調整され、分配吸引流路９６を介して各ヘッドキャップ８１が負圧（吸引）に制御される。これによって、吸引した機能液が、廃液タンク１０１にトラップされる。

圧力制御機構１０２は、上流側を各廃液タンク１０１の上部空間Ｓに接続した連通流路１０９と、連通流路１０９、圧縮エアー供給設備７６および排気設備７７に接続されたエジェクター（吸引装置）１１０と、エジェクター１１０と圧縮エアー供給設備７６の間の流路に介設され、エジェクター１１０に供給される圧縮エアーの圧力を調整する電空レギュレーター１１１と、電空レギュレーター１１１に隣接して介設された流量センサー１１２と、を備えている。すなわち、エジェクター１１０は、圧縮エアー供給設備７６から一次側に圧縮エアーを導入すると共に、二次側を廃液タンク１０１の上部空間Ｓに接続している。電空レギュレーター１１１により圧力が調整され、エジェクター１１０に供給された圧縮エアーの随伴流によって、連通流路１０９中のエアーが排気設備７７側に引っ張られる形で、廃液タンク１０１の内部が減圧制御される。これにより、各廃液タンク１０１は、圧力制御機構１０２により個別に適正吸引圧力に圧力調整される。

２つの廃液タンク１０１は、一方を高圧用（第１水準）として用い、他方を低圧用（第２水準）として用いる。すなわち、高圧用の廃液タンク１０１と低圧用の廃液タンク１０１を適宜使い分けることで、効率良く吸引処理を実施している。

ここで図８ないし図１０を参照して、廃液タンク１０１について説明する。図８ないし図１０に示すように、各廃液タンク１０１は、いわゆる密閉タンクで構成されたタンク本体１０５と、タンク本体１０５の上部空間Ｓに接続され、内部圧力を検出する圧力計１０６と、タンク本体１０５の側方に配設され、貯留された機能液の液位を検出する液位検出手段１０７と、を備えている。また、各廃液タンク１０１は、上記したように、主吸引流路９８、機能液廃液設備７８（連通流路１０９）および圧力制御機構１０２にそれぞれ接続されている。さらに、各廃液タンク１０１には、上記した定期フラッシングユニット６２および描画前フラッシングユニット６１が、フラッシング流路６６を介して接続されている。なお、各フラッシング流路６６は、流路切替バルブ６７を介して、高圧用の廃液タンク１０１および低圧用の廃液タンク１０１に、それぞれ接続されており、任意の１の廃液タンク１０１に接続を切り替えられるようになっている。

液位検出手段１０７は、上下端をタンク本体１０５に連通すると共に透過部１２０ａを有した液柱１２０と、液柱１２０の透過部１２０ａに臨む上限センサー１２１、下限センサー１２２およびオーバーフローセンサー１２３と、を備えている。上限センサー１２１は、タンク本体１０５の略中間位置に配設され、貯留した機能液の上限液位を検出する。下限センサー１２２は、上限センサー１２１の下方に配設され、貯留した機能液の下限液位を検出する。オーバーフローセンサー１２３は、上限センサー１２１の上方に配設され、貯留した機能液のオーバーフローの液位を検出する。制御装置は、上限液位を検出すると、機能液廃液設備７８側の流路に介設された廃液開閉弁７９を開放し機能液廃液設備７８に機能液を廃液する。一方、下限液位を検出すると、廃液開閉弁７９を閉弁して廃液を終了する。さらに、オーバーフローを検出すると、エラーと判断し、圧力制御機構１０２の駆動を停止して、吸引処理を停止する。

タンク本体１０５は、ロート状の底部１３１を有した略長方体に形成されており、「Ｌ」字状の一対の支持脚片１３２,１３２によって、直立支持されている。タンク本体１０５は、天壁（タンク天壁）１３３ａを形成する蓋部１３３と、周壁および底部１３１を形成する槽部１３４と、を備えており、槽部１３４に対し、蓋部１３３がネジ止め固定されている。

槽部１３４には、タンク内周壁１３４ａの上下略中間位置に設けられ内側に突出するリブ状の枠体（環状枠体）１４１と、機能液廃液設備７８が接続されると共に、底部１３１に開口した液体流出口１４２と、が設けられている。具体的には、液体流出口１４２は、ロート状の底部１３１の頂部に開口している。

枠体１４１は、タンク内周壁１３４ａに倣う環状の周縁枠１５１と、周縁枠１５１から延びタンク内の真ん中を横断する中桟１５２と、を備えている。このように、タンク内周壁１３４ａの上下略中間位置に環状の枠体１４１を設けることで、タンク自身の強度アップを図ることができ、薄手の板材でタンク容量を大きくすることができる。

蓋部１３３（タンク本体１０５の天壁１３３ａ）には、主吸引流路９８に接続されると共に、タンク本体１０５の天壁１３３ａに開口した第１液体流入口（液体流入口）１６１と、フラッシング流路６６に接続されると共に、タンク本体１０５の天壁１３３ａに開口した第２液体流入口（液体流入口）１６２と、圧力制御機構１０２に接続されると共に、タンク本体１０５の天壁１３３ａに開口した気体流出口１６３と、各液体流入口１６１,１６２の直下にそれぞれ配設した円形の２つの邪魔板１６４と、各邪魔板１６４を囲うように配設した円筒体の２つの導水部材１６５と、が設けられている。すなわち、主吸引流路９８、フラッシング流路６６および圧力制御機構１０２は、液面Ａの上部空間Ｓに連通されている。

各邪魔板１６４は、各液体流入口１６１,１６２から流入する機能液が衝突するものであり、液面Ａの上部空間Ｓで且つ、液体流入口１６１.１６２の直下に水平に配設されている。各邪魔板１６４は、各一対の支持ロッド１６６によって、タンク本体１０５の天壁１３３ａに吊設されている。

導水部材１６５は、上端がタンク本体１０５の天壁１３３ａに固着されており、所定の間隙を存して邪魔板１６４を囲繞する円筒体で構成されている。すなわち、導水部材１６５の内周面（内面）１６５ａは、邪魔板１６４に衝突した機能液を邪魔板１６４から液面Ａに導く導水壁となる。また、導水部材１６５の下端は、略オーバーフローセンサー１２３の位置（オーバーフローの液位）となっている。なお、図示省略するが、導水部材１６５には、導水部材１６５の内外を連通する連通孔および／または切欠き部を形成しても良く、これにより、導水部材１６５の内外における圧力を均一化することができる。

液体流入口１６１,１６２から流入した機能液は、直下に配設された邪魔板１６４に衝突し、その後、導水部材１６５によって、邪魔板１６４から液面Ａに導かれる。

なお、導水部材１６５と邪魔板１６４との間の所定の間隙で構成される間隙面積と、液体流入口１６１,１６２の断面積と、が略同一に形成されていることが好ましい。これにより、液体流入口１６１,１６２からの流入量と、導水部材１６５と邪魔板１６４との間隙からの流出量とが略同一となるため、機能液の飛散を抑制しつつ、液面Ａまで円滑に導くことができる。

以上のような構成によれば、液体流入口１６１,１６２から流入した機能液の落下距離を短くすることができ、且つその流速を減じて液面Ａに導くようにしているため、液面Ａにおける機能液の飛散を抑えることができる。また、液面Ａの高さが高くなったとしても、液体流入口１６１,１６２が液面Ａ（液中）に浸漬してしまうことがない。

また、液体流入口１６１,１６２をタンク本体１０５の天壁１３３ａに設けることにより、液体流入口１６１,１６２の腐食を抑えることができる。また、液体流入口１６１,１６２からの機能液を受ける邪魔板１６４が水平に設けられているため、これに流下した機能液は、邪魔板１６４上を放射状に流れることになる。このため、流下した機能液の流速を極端に減じた後、導水壁に導くことができる。さらに、邪魔板１６４を囲繞するように導水壁（導水部材１６５）を設けることで、導水壁が防液カバーとなり、邪魔板１６４に衝突した機能液が、廃液タンク１０１全体に飛散することを防止することができる。またさらに、導水部材１６５を天壁１３３ａに固着しておくことで、防液カバーとしての機能を高めることができる。

なお、本実施形態においては、液面Ａの上部空間Ｓに導水部材１６５を配設したが、導水部材１６５の下端が、タンク底壁（底部１３１）の近傍まで延在する構成であっても良い。掛かる場合、導水部材１６５の下端が、タンク底壁（底部１３１）の近傍まで延在しているため、液面Ａの高低に係わらず、衝突した機能液をゆっくりした速度のまま液面Ａまで導くことができる。

次に、図１１および図１２を参照して、廃液タンク１０１の第１変形例および第２変形例について、異なる部分のみ説明する。図１１は、第１変形例の廃液タンク１０１の断面図（ａ）および平面図（ｂ）であり、図１２は、第２変形例の廃液タンク１０１の断面図（ａ）および縦断面図（ｂ）である。

図１１に示すように、第１変形例の廃液タンク１０１は、円筒状の導水部材１６５を排除したものである。第１変形例の廃液タンク１０１では、邪魔板１６４を方形に形成すると共に、その３辺を、タンク内周壁１３４ａに所定間隙で対峙するように形成する。具体的には、左側に設けられた第１液体流入口１６１の邪魔板１６４は、右辺を除く３辺をタンク内周壁１３４ａに対峙し、右側に設けられた第２液体流入口１６２の邪魔板１６４は、左辺を除く３辺をタンク内周壁１３４ａに対峙する。一方、導水部材１６５の一部として、各邪魔板１６４のタンク内周壁１３４ａに対峙しない辺に、所定間隙で対峙すると共に、天壁１３３ａに固着した２枚の導水平板１７１を有している。そのため、液体流入口１６１,１６２から流入した機能液は、邪魔板１６４に衝突し、その後、導水平板１７１およびタンク内周壁１３４ａによって、邪魔板１６４から液面Ａに導かれる。すなわち、タンク内周壁１３４ａが、導水部材１６５の一部を兼ねている構成となっている。この構成によれば、廃液タンク１０１のタンク内周壁１３４ａと導水部材１６５とを一体に形成（兼用）することができるため、廃液タンク１０１を簡単な構成とすることができる。

図１２に示すように、第２変形例の廃液タンク１０１は、円筒体の導水部材１６５を排除すると共に、邪魔板１６４として、下り傾斜に配設される方形の平板を用いる構成である。当該邪魔板１６４は、下流端がタンク内周壁１３４ａに所定間隙を存して対峙させる。そのため、液体流入口１６１,１６２から流入した機能液は、邪魔板１６４に衝突し、その後、邪魔板１６４に導かれて、タンク内周壁１３４ａに達し、液面Ａに導かれる。すなわち、タンク内周壁１３４ａが導水壁を兼ねている構成である。この構成によれば、廃液タンク１０１のタンク内周壁１３４ａと導水部材１６５とを一体に形成（兼用）することができるため、廃液タンク１０１を簡単な構成とすることができる。

なお、第１変形例および第２変形例では、枠体１４１が、タンク内周壁１３４ａを伝わって流下する機能液の流速を減ずるように作用する。

なお、本実施形態においては、Ｒ（レッド）、Ｇ（グリーン）、Ｂ（ブルー）、Ｃ（シアン）、Ｍ（マゼンダ）、Ｙ（イエロー）の６色の機能液が供給される機能液滴吐出ヘッド１３を用いたものを使用しているが、供給される機能液の色数、色種は任意である。

１：液滴吐出装置、 １３：機能液滴吐出ヘッド、 ８１：ヘッドキャップ、 １０１：廃液タンク、 １１０：エジェクター、 １３１：底部、 １３３ａ：天壁、 １３４ａ：タンク内周壁、 １４１：枠体、 １６１：第１液体流入口、 １６２：第２液体流入口、 １６３：気体流出口、 １６４：邪魔板、 １６５：導水部材、 １６５ａ：内周面、 Ａ：液面、 Ｓ：上部空間

Claims (11)

1. 液面の上部空間に連通する液体流入口が吸液対象物に接続されると共に前記上部空間に連通する気体流出口が吸引装置に接続され、前記吸引装置により前記上部空間を負圧にすることで、前記吸液対象物から液体を吸引しトラップする吸液タンクであって、
   前記上部空間に配設され、前記液体流入口から流入する前記液体が衝突する邪魔板と、
   前記邪魔板に衝突した前記液体を前記邪魔板から前記液面に導く導水壁を有する導水部材と、を備えたことを特徴とする吸液タンク。
2. 前記液体流入口がタンク天壁に開口すると共に、前記邪魔板が前記液体流入口の直下に水平に配設され、
   前記導水部材が、所定の間隙を存して前記邪魔板を囲繞すると共に内面を前記導水壁とする筒体で構成されていることを特徴とする請求項１に記載の吸液タンク。
3. 前記導水部材の上端は、前記タンク天壁に固着されていることを特徴とする請求項２に記載の吸液タンク。
4. 前記導水部材の下端は、タンク底壁の近傍まで延在していることを特徴とする請求項２または３に記載の吸液タンク。
5. 前記導水部材には、前記導水部材の内外を連通する連通孔および／または切欠き部が形成されていることを特徴とする請求項４に記載の吸液タンク。
6. 前記導水部材と前記邪魔板との間の前記所定の間隙で構成される間隙面積と、前記液体流入口の断面積と、が略同一に形成されていることを特徴とする請求項２ないし５のいずれかに記載の吸液タンク。
7. タンク内周壁が、前記導水壁の一部を兼ねていることを特徴とする請求項１に記載の吸液タンク。
8. 前記邪魔板は、下り傾斜に配設されると共に下流端がタンク内周壁に所定間隙を存して対峙しており、
   前記タンク内周壁が前記導水部材を兼ねていることを特徴とする請求項１に記載の吸液タンク。
9. タンク内周壁の上下略中間位置に設けられ内側に突出する環状枠体を、更に備えたことを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載の吸液タンク。
10. 前記吸液対象物が、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに離接自在に構成され、前記機能液滴吐出ヘッドから機能液を吸引する吸引キャップであり、
    前記吸引装置が、二次側を前記気体流出口に接続されたエジェクターであることを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載の吸液タンク。
11. 請求項１０に記載の吸液タンクと、
    前記吸液タンクに接続された前記吸引キャップと、
    前記吸引キャップが離接する前記機能液滴吐出ヘッドと、
    前記吸液タンクに接続された前記エジェクターと、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。

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