KR20230150196A - 액적 토출 장치, 액적 토출 방법 및 기억 매체 - Google Patents

Abstract

[과제] 건조에 의한 토출 불량을 억제한다.
[해결 수단] 본 개시에 의한 액적 토출 장치는 스테이지와, 토출 헤드와, 이동부와, 플러싱부를 구비한다. 토출 헤드는 기능액을 토출하는 복수의 노즐을 가지며, 노즐로부터 스테이지 상에 위치하는 기판에 대해 기능액을 토출한다. 이동부는 스테이지 상에 위치하는 기판과 토출 헤드를 상대 이동시킨다. 플러싱부는, 이동부에 의한 상대 이동 중에 있어서 토출 헤드가 기판의 상방에 위치하기 전에 토출 헤드로부터 토출된 기능액을 받는다. 플러싱부는 기능액을 받는 패드와, 패드에 의해 받아들여진 기능액을 배출하는 배액관을 구비한다.

Description

액적 토출 장치, 액적 토출 방법 및 기억 매체{DROPLET EJECTION APPARATUS, DROPLET EJECTION METHOD AND STORAGE MEDIUM}

본 개시는 액적 토출 장치, 액적 토출 방법 및 기억 매체에 관한 것이다.

종래, 반송되는 기판에 대해 기능액의 액적을 잉크젯 방식으로 토출하는 액적 토출 장치가 알려져 있다. 예를 들어, 기판을 흡착 보지하는 스테이지부와, 이러한 스테이지부에 보지되는 기판에 대해 상방으로부터 기능액의 액적을 적하하는 복수의 토출 헤드를 구비한 액적 토출 장치가 개시되어 있다.

일본 특허 공개 제 2021-007906 호 공보

본 개시는 건조에 의한 토출 불량을 억제할 수 있는 기술을 제공한다.

본 개시의 일 태양에 의한 액적 토출 장치는 스테이지와, 토출 헤드와, 이동부와, 플러싱부를 구비한다. 토출 헤드는 기능액을 토출하는 복수의 노즐을 가지며, 노즐로부터 스테이지 상에 위치하는 기판에 대해 기능액을 토출한다. 이동부는 스테이지 상에 위치하는 기판과 토출 헤드를 상대 이동시킨다. 플러싱부는 이동부에 의한 상대 이동 중에 있어서, 토출 헤드가 기판의 상방에 위치하기 전에 토출 헤드로부터 토출된 기능액을 받는다. 플러싱부는 기능액을 받는 패드와, 패드에 의해 받아들여진 기능액을 배출하는 배액관을 구비한다.

본 개시에 의하면, 건조에 의한 토출 불량을 억제할 수 있다.

도 1은 실시형태에 따른 액적 토출 장치의 개략 구성을 도시하는 좌측면도이다.
도 2는 실시형태에 따른 액적 토출 장치의 개략 구성을 도시하는 평면도이다.
도 3은 실시형태에 따른 캐리지의 평면도이다.
도 4는 실시형태에 따른 토출 헤드를 경사 하방으로부터 본 사시도이다.
도 5는 실시형태에 따른 플러싱부의 평면도이다.
도 6은 플러싱부의 일부를 확대한 사시도이다.
도 7은 실시형태에 따른 플러싱부의 일부를 도시하는 정면도이다.
도 8은 실시형태에 따른 플러싱부의 일부를 도시하는 정면도이다.
도 9는 실시형태에 따른 플러싱부의 일부를 도시하는 정면도이다.
도 10은 실시형태에 따른 액적 토출 장치가 실행하는 처리의 순서를 도시하는 흐름도이다.
도 11은 변형예에 따른 플러싱부의 평면도이다.
도 12는 도 11에 도시하는 ⅩⅡ부의 확대도이다.
도 13은 도 12에 도시하는 ⅩⅢ-ⅩⅢ선 화살표에서 본 단면도이다.
도 14는 플러싱부의 단부의 확대 사시도이다.

이하, 첨부 도면을 참조하여, 본원이 개시하는 액적 토출 장치, 액적 토출 방법 및 기억 매체의 실시형태를 상세하게 설명한다. 또한, 이하에 나타내는 실시형태에 의해 본 개시가 한정되는 것은 아니다. 또한, 도면은 모식적인 것이며, 각 요소의 치수의 관계, 각 요소의 비율 등은 현실과 상이한 경우가 있는 것에 유의할 필요가 있다. 또한, 도면의 상호 간에 있어서도, 서로의 치수의 관계나 비율이 상이한 부분이 포함되어 있는 경우가 있다.

잉크젯 방식으로 기능액을 토출하는 액적 토출 장치에서는, 묘화 패턴에 의존하여 미사용 노즐이 발생한다. 미사용 노즐은 액적의 토출이 실행되지 않는 노즐이다. 미사용 노즐의 미사용 시간이 길어지면, 미사용 노즐이 건조되고, 이어서, 그 미사용 노즐을 사용할 경우에 토출 불량이 발생할 우려가 있다. 이 때문에, 건조에 의한 토출 불량을 억제할 수 있는 기술이 기대되고 있다.

<액적 토출 장치의 구성>

우선, 실시형태에 따른 액적 토출 장치(1)의 구성에 대해, 도 1 및 도 2를 참조하면서 설명한다. 도 1은 실시형태에 따른 액적 토출 장치(1)의 개략 구성을 도시하는 좌측면도이며, 도 2는 실시형태에 따른 액적 토출 장치(1)의 개략 구성을 도시하는 평면도이다.

또한, 이하에 있어서는, 위치 관계를 명확하게 하기 위해, 서로 직교하는 X축방향, Y축방향 및 Z축방향을 규정하고, Y축방향을 기판(S)의 반송방향, Z축 정방향을 연직 상향방향으로 한다.

액적 토출 장치(1)는 기판(S)을 반송방향(Y축방향)을 따라서 반송하면서, 잉크젯 방식으로 기판(S)에 묘화를 실행하는 묘화 장치이다. 기판(S)은, 예를 들어 플랫 패널 디스플레이에 이용되는 기판이다.

액적 토출 장치(1)는 챔버 룸(100)에 수용된다. 챔버 룸(100)에는, 불활성 가스(예를 들어, 질소 가스 등)가 공급된다. 액적 토출 장치(1)는 불활성 가스 분위기로 기능액을 기판(S)에 토출하여, 기판(S)에 묘화를 실행한다. 또한, 액적 토출 장치(1)는 챔버 룸(100)에 수용되지 않는 장치여도 좋다.

기능액에는 잉크 외에, 예를 들어 정공 주입층(HIL: Hole Injection Layer)이나, 정공 수송층(HTL: Hole Transport Layer) 등을 형성하는 액이 포함된다. 또한, 기능액에는, 각각 색이 상이한 복수 종류의 잉크가 포함된다. 예를 들어, 기능액에는, R(빨강), G(초록), B(파랑)의 잉크가 포함된다.

도 2에 도시하는 바와 같이, 챔버 룸(100)에는, 제어 장치(9) 등이 수용되는 전기실(101)이 병설된다. 또한, 챔버 룸(100)에는, 기능액이 저장되는 도시하지 않은 기능액 탱크를 교환하기 위한 교환실(102)이 마련된다.

도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 액적 토출 장치(1)는 가대(2)와, 2개의 제 1 가이드 레일(3)과, 기판 반송 기구(4)와, 2개의 제 2 가이드 레일(5)과, 복수의 도포부(6)와, 검사 기구(7)와, 복수(여기에서는, 2개)의 플러싱부(8)와, 제어 장치(9)를 구비한다.

가대(2)는 기판(S)의 반송방향(Y축방향)을 따라서 연장되도록 배치된다. 가대(2)의 상면은 수평이다.

2개의 제 1 가이드 레일(3)은 가대(2)의 상면에 배치된다. 2개의 제 1 가이드 레일(3)은 기판(S)의 반송방향을 따라서 직선 형상으로 연장된다. 2개의 제 1 가이드 레일(3)은 반송방향과 직교하는 수평방향(X축방향)으로 간격을 두고 배치된다.

기판 반송 기구(4)는 기판(S)을 보지하고, 보지한 기판(S)을 반송방향(Y축방향)에 따라서 반송한다. 구체적으로, 기판 반송 기구(4)는 스테이지(40)와, 회전부(41)와, 이동부(42)를 구비한다.

스테이지(40)는, 예를 들어 진공 흡착 스테이지이며, 기판(S)의 하면(묘화 되는 면의 반대에 위치하는 면)을 흡착한다. 회전부(41)는 스테이지(40)의 하방에 마련되며, 연직축(Z축) 주위로 스테이지(40)를 회동시킨다. 또한, 스테이지(40)의 상방에는, 스테이지(40) 상의 기판(S)의 얼라인먼트 마크를 촬상하는 워크 얼라인먼트 카메라(도시하지 않음)가 마련된다. 회전부(41)는 워크 얼라인먼트 카메라에 의해 촬상된 화상에 기초하여 회동하는 것에 의해, 기판(S)의 위치를 보정한다.

이동부(42)는 회전부(41)의 하방에 마련되며, 회전부(41) 및 스테이지(40)를 지지한다. 이동부(42)는 2개의 제 1 가이드 레일(3)에 장착되며, 2개의 제 1 가이드 레일(3) 중 적어도 한쪽에 설치된 구동부(도시하지 않음), 예를 들어 리니어 모터에 의해 한쌍의 제 1 가이드 레일(3)을 따라서 이동 가능하다.

기판 반송 기구(4)는 이동부(42)를 2개의 제 1 가이드 레일(3)을 따라서 이동시키는 것에 의해, 스테이지(40) 및 스테이지(40)에 흡착 보지된 기판(S)을 반송방향(Y축방향)을 따라서 이동시킬 수 있다.

2개의 제 2 가이드 레일(5)은 기판(S)의 반송방향과 직교하는 방향(X축방향)을 따라서 직선 형상으로 연장된다. 2개의 제 2 가이드 레일(5)은 기판(S)의 반송방향(Y축방향)으로 간격을 두고 배치된다. 2개의 제 2 가이드 레일(5)은 가대(2)의 상방 및 스테이지(40)보다 높은 위치에 배치된 지지부(5a) 상에 배치된다.

2개의 제 2 가이드 레일(5)은 평면에서 본 가대(2)의 외측(측방)까지 연장되어 있다. 가대(2)의 측방 및 2개의 제 2 가이드 레일(5) 사이에는, 예를 들어 메인터넌스부(50)가 배치된다. 메인터넌스부(50)는 후술하는 토출 헤드(63)의 메인터넌스를 실행하여, 토출 헤드(63)의 토출 불량 등을 해소, 또는 방지한다. 후술하는 도포부(6)는 가대(2)의 상방 위치인 묘화 위치와, 메인터넌스부(50)의 상방인 메인터넌스 위치 사이에서 이동 가능하다.

도포부(6)는 기판(S)의 반송방향과 직교하는 방향(X축방향)을 따라서 복수 배치된다. 예를 들어, 도포부(6)는 X축방향을 따라서 3개 배치된다. 또한, 도포부(6)의 수는 3개로 한정되지 않는다. 각 도포부(6)는 캐리지 플레이트(60)와, 캐리지 회동부(61)와, 캐리지(62)와, 복수의 토출 헤드(63)를 구비한다. 토출 헤드(63)는 토출 헤드의 일 예이다.

캐리지 플레이트(60)는 2개의 제 2 가이드 레일(5)에 장착된다. 캐리지 플레이트(60)는, 2개의 제 2 가이드 레일(5) 중 적어도 한쪽에 마련된 구동부(도시하지 않음), 예를 들어 리니어 모터에 의해 2개의 제 2 가이드 레일(5)을 따라서 이동 가능하다.

캐리지 회동부(61)는 캐리지 플레이트(60)의 하방에 배치된다. 캐리지 회동부(61)는 반송방향(Y축방향)에 있어서의 캐리지 플레이트(60)의 중앙에 장착된다. 캐리지 회동부(61)의 하단에는 캐리지(62)가 장착된다. 캐리지 회동부(61)는 캐리지(62)를 연직축(Z축) 주위로 회동 가능하게 지지한다.

또한, 캐리지 회동부(61)는, 스테이지(40)에 마련된 캐리지 얼라인먼트 카메라(도시하지 않음)에 의해 촬상된 화상에 기초하여, 상하방향과 평행한 축을 중심으로 캐리지(62)를 회동시킨다. 이에 의해, 캐리지(62)의 위치가 보정된다.

복수의 토출 헤드(63)는 캐리지(62)에 마련된다. 각 토출 헤드(63)는 도시하지 않은 공급 튜브를 거쳐서 도시하지 않은 기능액 탱크에 접속되고, 기능액 탱크로부터 공급 튜브를 거쳐서 기능액이 공급되며, 기판(S)에 기능액의 액적을 토출한다. 각 토출 헤드(63)는, 예를 들어 복수 종류의 기능액을 토출할 수 있다.

복수의 토출 헤드(63)는 기판(S)의 반송방향(Y축방향) 및 반송방향과 직교하는 방향(X축방향)으로 간격을 두고 배치된다(도 3 참조).

검사 기구(7)는 검사 필름(73)에 의해 기능액의 액적을 받아, 액적의 토출 상태를 검사한다. 검사 필름(73)은 발수성의 검사 필름이다. 구체적으로, 검사 필름(73)은 표면(액적이 토출되는 면)이 발수성을 갖는 검사 필름이다.

검사 기구(7)는 이동부(70)와, 검사대(71)와, 필름 이송부(72)와, 검사 필름(73)과, 촬상부(74)를 구비한다.

이동부(70)는 2개의 제 1 가이드 레일(3)에 장착된다. 이동부(70)는 2개의 제 1 가이드 레일(3) 중 적어도 한쪽에 마련된 구동부(도시하지 않음)에 의해 2개의 제 1 가이드 레일(3)을 따라서 이동 가능하다. 이동부(70)는 기판(S)의 반송방향을 따라서 설정되는 토출 위치, 촬상 위치, 및 대기 위치 사이를 이동한다. 토출 위치는 복수의 토출 헤드(63)의 하방이 되는 위치이다. 촬상 위치는 촬상부(74)의 하방이 되는 위치이다. 대기 위치는 도포부(6)의 외측의 위치이다.

검사대(71)는 이동부(70)의 상면 중앙에 장착된다. 검사대(71)는 이동부(70)와 함께 이동한다. 즉, 검사대(71)는 토출 위치, 촬상 위치, 및 대기 위치 사이를 이동한다. 검사대(71)의 길이는, 도포부(6)에 의해 기능액의 액적이 각 검사 필름(73)에 토출되는 토출 영역보다 길다.

검사대(71)는 상면에 흡착판(도시하지 않음)을 갖는다. 검사대(71)의 흡착판은, 예를 들어 다공질의 부재에 의해 구성된다. 또한, 검사대(71)의 내부에는, 흡인 장치(도시하지 않음)가 수용된다. 검사대(71)는 흡인 장치에 의해 흡착판을 흡인하는 것에 의해, 검사 필름(73)을 흡착한다.

필름 이송부(72)는 이동부(70)의 상방에 마련된다. 필름 이송부(72)는 복수의 토출 헤드(63)로부터 토출되는 검사용의 액적을 받는 검사 필름(73)(검사용 매체)을 좌우방향(반송방향에 직교하는 방향)으로 이송한다.

촬상부(74)는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 제 2 가이드 레일(5)에 베이스(74a)를 거쳐서 장착된다. 베이스(74a)에는 촬상부(74)를 좌우방향으로 이동시키는 이동 기구(도시하지 않음)가 마련된다. 촬상부(74)는 2개의 제 2 가이드 레일(5) 중, 후방에 배치된 제 2 가이드 레일(5)에 장착된다.

촬상부(74)는 검사 필름(73)에 토출된 기능액의 액적을 촬상한다. 또한, 촬상부(74)를 복수 마련하여 검사 필름(73)에 토출된 기능액의 액적을 복수의 촬상부(74)에 의해 촬상하여도 좋다. 이 경우, 촬상부(74)를 좌우방향으로 이동 가능하게는 하지 않으며, 제 2 가이드 레일(5)에 고정하여도 좋다

검사 기구(7)에서는, 검사 필름(73)에 토출된 기능액의 액적을, 촬상부(74)에 의해 촬상한 결과에 기초하여, 토출 헤드(63)에 있어서의 액적의 토출 상태가 검사된다.

복수(여기에서는, 2개)의 플러싱부(8)는 기판(S)의 반송방향(Y축방향)에 있어서의 스테이지(40)의 양 단부에 각각 마련된다. 환언하면, 2개의 플러싱부(8)는 반송방향(Y축방향)에 있어서의 기판(S)의 양 단부측에 각각 마련되어 있다.

플러싱부(8)는 플러싱 처리에 이용된다. 플러싱 처리는 기판(S)에 대한 액적 토출 처리에 있어서 기판(S)에 기능액이 토출되기 직전에, 환언하면, 토출 헤드(63)가 기판(S)의 상방에 위치하기 직전에, 토출 헤드(63)로부터 기능액을 토출하는 처리이다. 즉, 플러싱부(8)는 플러싱 처리에 있어서, 토출 헤드(63)로부터 토출된 기능액을 받는 부재이다. 플러싱부(8)의 상세에 대해서는 후술한다.

제어 장치(9)는, 예를 들어 컴퓨터이며, 제어부(91)와 기억부(92)를 구비한다. 기억부(92)는, 예를 들어 RAM(Random Access Memory), 플래시 메모리(Flash Memory) 등의 반도체 메모리 소자, 또는 하드 디스크, 광디스크 등의 기억 장치에 의해 실현된다.

제어부(91)는 CPU(Central Processing Unit), ROM(Read Only Memory), RAM, 입출력 포트 등을 포함하는 마이크로 컴퓨터나 각종 회로를 포함한다. 마이크로 컴퓨터의 CPU는, ROM에 기억되어 있는 프로그램을 판독하여 실행하는 것에 의해, 액적 토출 장치(1) 내의 각 부의 제어를 실현한다.

또한, 프로그램은 컴퓨터에 의해 판독 가능한 기억 매체에 기록되어 있으며, 기억 매체로부터 제어 장치(9)의 기억부(92)에 인스톨된 것이어도 좋다. 컴퓨터에 의해 판독 가능한 기억 매체로서는, 예를 들어 하드 디스크(HD), 플렉시블 디스크(FD), 콤팩트 디스크(CD), 마그넷 옵티컬 디스크(MO), 메모리 카드 등이 있다.

<캐리지의 구성>

다음에, 캐리지(62)의 구성에 대해 도 3을 참조하여 설명한다. 도 3은 실시형태에 따른 캐리지(62)의 평면도이다.

도 3에 도시하는 바와 같이, 캐리지(62)는 평판형상의 부재이다. 캐리지(62)는 복수의 개구부(621)를 갖는다. 예를 들어, 도 3에 도시하는 예에 있어서, 캐리지(62)에는, 합계 12개의 개구부(621)가 주 반송방향 및 부 반송방향을 따라서 매트릭스 형상으로 마련되어 있다. 또한, 여기에서는, 캐리지(62)에 12개의 개구부(621)가 마련되는 경우의 예를 도시했지만, 개구부(621)의 개수는 12개보다 많아도 좋고, 적어도 좋다.

복수의 개구부(621)에는, 토출 헤드(63)가 1개씩 수납되어 있다. 토출 헤드(63)는 개구부(621)를 덮도록 캐리지(62)에 설치된다.

<토출 헤드의 구성>

다음에, 토출 헤드의 구성예에 대해 도 4를 참조하여 설명한다. 도 4는 실시형태를 따른 토출 헤드(63)를 경사 하방으로부터 본 사시도이다.

도 4에 도시하는 바와 같이, 토출 헤드(63)는 헤드 본체(602)와, 헤드 본체(602)로부터 측방에 앞으로 밀어낸 플랜지부(603)를 구비한다. 토출 헤드(63)는, 예를 들어 캐리지(62)의 상방으로부터 개구부(621)에 삽입된다. 이에 의해, 토출 헤드(63) 중, 헤드 본체(602)가 개구부(621) 내에 배치된다. 또한, 토출 헤드(63) 중, 플랜지부(603)가 캐리지(62)의 상면에 접촉한다. 이에 의해, 토출 헤드(63)는 캐리지(62)에 걸림고정된 상태가 된다. 또한, 토출 헤드(63)는 캐리지(62)에 걸림고정된 상태에서, 캐리지(62)에 마련된 도시하지 않은 고정부에 의해 고정된다.

토출 헤드(63)는, 예를 들어 피에조 방식의 노즐 헤드이다. 헤드 본체(602)의 하면(615)에는 복수의 노즐(616)이 형성된다. 복수의 노즐(616)은, 예를 들면 주 반송방향(Y축방향)을 따라서 2열로 형성된다. 또한, 각 열에는 복수의 노즐(616)이 부 반송방향(X축방향)을 따라서 등간격으로 배치된다.

헤드 본체(602)는 도시하지 않은 펌프부를 갖는다. 펌프부는 기능액을 저장하는 캐비티, 캐비티의 체적을 변화시키는 압전 소자나 진동판 등을 포함하여 구성되며, 압전 소자에 전압을 인가하여 진동판을 진동시키는 것에 의해, 캐비티의 체적을 변화시켜 각 토출 구멍으로부터 기능액의 액적을 토출시킨다. 그 외, 토출 헤드(63)에는 공급 튜브를 거쳐서 기능액 탱크에 접속되는 기능액 도입부나, 플렉시블 플랫 케이블을 거쳐서 제어 장치(9)(도 1 참조)에 접속되는 헤드 기판 등이 마련되어 있다.

<플러싱부의 구성예>

다음에, 플러싱부(8)의 구성예에 대해 도 5 및 도 6을 참조하여 설명한다. 도 5는 실시형태에 따른 플러싱부(8)의 평면도이다. 도 6은 플러싱부(8)의 일부를 확대한 사시도이다.

도 5에 도시하는 바와 같이, 플러싱부(8)는 복수의 패드(80)와, 복수의 패드(80)를 수용하는 케이싱(81)을 구비한다.

(패드에 대해)

패드(80)는 반송방향과 직교하는 방향(X축방향)으로 연장되는 판형상 부재이다. 복수의 패드(80)는 케이싱(81) 내에서 서로 접한 상태로 반송방향과 직교하는 방향(X축방향)으로 나열되어 있다. 이에 의해, 복수의 패드(80)는 반송방향과 직교하는 방향(X축방향)으로 연장되는 실질적으로 1개의 장척 형상의 패드를 구성하고 있다. 이와 같이, 플러싱부(8)는 1개의 장척 형상의 패드를 복수의 패드(80)로 분할한 구성을 갖는다. 각각의 패드(80)는, 1개의 장척 형상의 패드와 비교하여, 예를 들어 진직도를 확보하기 쉬운 등의 점에서 제조가 용이하다.

패드(80)는 노즐(616)로부터 토출된 기능액을 받는다. 패드(80)는 기능액을 받는 액수면과, 액수면의 반대에 위치하는 배액면이 1개의 또는 복수의 구멍으로 연통한 구성을 갖는 것이 바람직하다. 이들 패드(80)를 구성하는 부재로서는, 예를 들어 다공질체 또는 망형상체를 이용할 수 있다.

다공질체는, 예를 들어 다공질 수지, 금속 다공질체(포러스 메탈) 또는 다공질 세라믹이어도 좋다. 다공질 수지는 금속 다공질체 및 다공질 세라믹과 비교하여 비용면에서 뛰어나다. 다공질 수지로서는, 예를 들어 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리메틸메타크릴레이트, 불소 수지 등의 플라스틱 소결 다공질체를 이용할 수 있다. 또한, 이들 중에서, 폴리에틸렌은 비용면에서 뛰어나며, 불소 수지는 내약성의 면에서 뛰어나다.

금속 다공질체로서는, 예를 들어 다공질 형상으로 형성된 스테인리스강(스테인리스 다공질체)을 이용할 수 있다. 또한, 금속 다공질체로서는, 스테인리스 다공질체로 한정되지 않으며, 예를 들어 티탄 다공질체, 니켈 다공질체, 알루미늄 다공질체 등이어도 좋다. 다공질 세라믹으로서는, 예를 들어 다공질 알루미나 세라믹, 다공질 SiC 세라믹 등을 이용할 수 있다.

망형상체로서는, 예를 들어 스테인리스 메시를 이용할 수 있다. 또한, 망형상체는 스테인리스 메시로 한정되지 않으며, 티탄 메시, 니켈 메시, 알루미늄 메시 등이어도 좋다.

반송방향(Y축방향)에 있어서의 패드(80)의 폭(D)은, 예를 들어 0.5㎜ 이상이어도 좋다.

스테이지(40)의 이동 속도 즉 스캔 속도는 일반적으로 300㎜/sec이다. 또한, 기능액의 토출 주파수의 최대값은, 예를 들어 30㎑(1초간에 3만 쇼트)이다. 또한, 플러싱 처리에 있어서, 노즐(616)의 건조를 억제하기 위해 필요한 각 노즐(616)로부터의 최저한의 토출 횟수(쇼트 수)는, 예를 들어 50쇼트이다. 이들 조건으로 플러싱 처리를 실행하는 경우에 필요한 패드(80)의 폭(D)은 최소로 0.5㎜인(50×(1/30000)×300=0.5㎜). 따라서, 패드(80)의 폭(D)을 0.5㎜ 이상으로 하는 것에 의해, 노즐(616)의 건조를 매우 바람직하게 억제할 수 있다. 또한, 도 5에 도시하는 구성에 있어서의 패드(80)의 폭(D)은, 예를 들어 20㎜ 이상이다.

(케이싱에 대해)

케이싱(81)은, 예를 들어 1개의 바닥부 및 4개의 측벽부를 가지며, 상방이 개방된 용기 형상을 갖는다. 케이싱(81)은 이들 1개의 바닥부 및 4개의 측벽부에 의해 형성되는 수용 공간(810)에 복수의 패드(80)를 수용한다. 구체적으로, 수용 공간(810)은 반송방향과 직교하는 방향(X축방향)으로 연장되어 있으며, 복수의 패드(80)는 이들 수용 공간(810)에 있어서 반송방향과 직교하는 방향(X축방향)으로 간극없이 나열된 상태로 수용된다. 케이싱(81)은, 예를 들어 금속으로 형성된다.

도 5 및 도 6에 도시하는 바와 같이, 케이싱(81) 상연면(811)에는, 복수의 제 1 패드 억제부(812)와, 복수의 제 2 패드 억제부(813)가 마련되어 있다. 제 1 패드 억제부(812) 및 제 2 패드 억제부(813)는 수용 공간(810)에 수용된 패드(80)의 상면(액수면)과 대향하도록 마련되어 있다. 구체적으로, 제 1 패드 억제부(812) 및 제 2 패드 억제부(813)는 패드(80)의 상방에 있어서 평면에서 본 패드(80)와 중첩되는 위치에 마련되어 있다.

예를 들어, 패드(80)의 휨이 있는 경우, 패드(80)가 스테이지(40)의 상면보다 높은 위치로 솟아오르는 것에 의해, 노즐(616)과 패드(80)가 접촉해버릴 우려가 있다. 이에 대해, 제 1 패드 억제부(812) 및 제 2 패드 억제부(813)를 마련하는 것에 의해, 만일 패드(80)에 휨이 있는 경우여도, 이러한 패드(80)의 휨을 제 1 패드 억제부(812) 및 제 2 패드 억제부(813)에 의해 억제할 수 있다. 이에 의해, 패드(80)와 노즐(616)의 접촉을 매우 바람직하게 억제하면서, 패드(80)를 스테이지(40)와 거의 동일한 높이에 배치할 수 있다. 또한, 패드(80)의 탈락을 방지할 수 있다.

제 1 패드 억제부(812)는, 예를 들어 반송방향과 직교하는 방향(X축방향)으로 연장되는 2개의 측벽부 중, 스테이지(40)에 가까운 측벽부 상연면(811)에 마련되어 있으며, 한쪽의(스테이지(40)로부터 먼) 측벽부를 향하여 수평으로 돌출되어 있다. 제 1 패드 억제부(812)는 케이싱(81)과 일체적으로 형성되어 있다.

제 2 패드 억제부(813)는 반송방향과 직교하는 방향(X축방향)으로 연장되는 2개의 측벽부 중, 스테이지(40)로부터 먼 측벽부 상연면(811)에 마련되어 있으며, 다른쪽의(스테이지(40)에 가까운) 측벽부를 향하여 수평으로 돌출되어 있다. 제 2 패드 억제부(813)는 패드(80)의 상면에 접촉하는 제 1 부위(813a)와, 패드(80)의 측면에 접촉하는 제 2 부위(813b)를 갖는다. 제 2 부위(813b)를 갖는 것에 의해, 제 2 패드 억제부(813)는, 반송방향(Y축방향)에 있어서의 패드(80)의 위치 어긋남을 억제할 수 있다.

제 1 패드 억제부(812)와 제 2 패드 억제부(813)는 서로 마주 보는 위치에 배치되어 있다. 도 5에 도시하는 예에 있어서, 케이싱(81)은 1개의 패드(80)에 대해 2조의 제 1 패드 억제부(812) 및 제 2 패드 억제부(813)를 갖는다. 이것으로 한정되지 않으며, 케이싱(81)은, 1개의 패드(80)에 대해 3조 이상의 제 1 패드 억제부(812) 및 제 2 패드 억제부(813)를 갖고 있어도 좋다. 또한, 케이싱(81)은 1개의 패드(80)에 대해 1조의 제 1 패드 억제부(812) 및 제 2 패드 억제부(813)를 갖고 있어도 좋다.

제 2 패드 억제부(813)는 케이싱(81)으로부터 착탈 가능하다. 예를 들어, 제 2 패드 억제부(813)는 체결 부재(813c)(예를 들어, 나사)에 의해 케이싱(81)에 고정되어 있다. 이에 의해, 케이싱(81)은 패드(80)의 착탈이 용이하다. 즉, 예를 들어 패드(80)의 교환을 실행할 때, 제 2 패드 억제부(813)를 케이싱(81)으로부터 분리하는 것에 의해, 사용이 완료된 패드(80)를 케이싱(81)으로부터 용이하게 취출할 수 있다. 또한, 신품의 패드(80)를 케이싱(81)에 수용한 후에, 제 2 패드 억제부(813)를 케이싱(81)에 장착하는 것에 의해, 패드(80)를 케이싱(81)에 용이하게 수용할 수 있다.

도 6에 도시하는 바와 같이, 액적 토출 장치(1)는 누액 센서(82)를 구비한다. 누액 센서(82)는, 예를 들어 케이싱(81)의 하방(바로 아래)에 마련된다. 누액 센서(82)는 플러싱부(8)로부터 누설된 기능액을 검지한다. 누액 센서(82)로서는 광학식의 누액 센서 또는 전극간 저항 검지 방식의 누액 센서 등을 이용할 수 있다.

누액 센서(82)에 의한 검지 신호는 제어 장치(9)로 출력된다. 이에 의해, 제어부(91)는 플러싱부(8)로부터의 기능액의 누액을 검지할 수 있다.

(배액부에 대해)

플러싱부(8)는 추가로 패드(80)에 의해 받아들여진 기능액을 케이싱(81)으로부터 배출하기 위한 배출부를 구비한다. 이러한 배출부의 구성에 대해 도 7 내지 도 9를 참조하여 설명한다. 도 7 내지 도 9는 실시형태에 따른 플러싱부(8)의 일부를 도시하는 정면도이다. 도 7 내지 도 9에는 플러싱부(8) 중, 각각, X축 정방향측의 단부 영역, X축 부방향측의 단부 영역, 및 X축방향에 있어서의 중앙 영역을 도시하고 있다.

도 7 내지 도 9에 도시하는 바와 같이, 배액부(83)는 배액관(830)을 구비한다. 배액관(830)은 복수의 개별 배액관(831)과, 복수의 제 1 공통 배액관(832)과, 제 2 공통 배액관(833)을 구비한다.

복수의 개별 배액관(831)은 복수의 패드(80)에 대응하여 마련되어 있다. 구체적으로, 케이싱(81)의 바닥부에는 복수의 배액구(815)가 마련되어 있다. 각 배액구(815)는 패드(80)의 하면(배액면)과 대향하는 위치에 마련되어 있다. 개별 배액관(831)은 배액구(815)에 접속된다.

복수의 제 1 공통 배액관(832)은 복수의 개별 배액관(831) 중 2개 이상의 개별 배액관(831)에 접속된다. 도시의 예에서는, 제 1 공통 배액관(832)은 이웃하는 2개의 개별 배액관(831)에 접속된다. 이 예로 한정되지 않으며, 제 1 공통 배액관(832)은 3개 이상의 개별 배액관(831)에 접속되어도 좋다.

제 1 공통 배액관(832)의 중도부에는, 개폐 밸브(835)가 마련되어 있다. 개폐 밸브(835)는 제 1 공통 배액관(832)을 개폐한다. 개폐 밸브(835)로서는, 예를 들어 에어오퍼레이트 밸브를 이용할 수 있다.

제 2 공통 배액관(833)은 복수의 제 1 공통 배액관(832)에 접속된다. 여기에서는, 플러싱부(8)가 3개의 제 1 공통 배액관(832)을 구비하고 있으며, 제 2 공통 배액관(833)이 이들 3개의 제 1 공통 배액관(832)에 접속되는 경우의 예를 나타내고 있다. 또한, 제 2 공통 배액관(833)에 접속되는 제 1 공통 배액관(832)의 수, 환언하면, 플러싱부(8)가 구비하는 제 1 공통 배액관(832)의 수는, 3개로 한정되지 않으며, 2개여도 좋으며, 4개 이상이어도 좋다.

제 2 공통 배액관(833)은 흡인부(836)에 접속된다. 흡인부(836)로서는, 예를 들어 진공 펌프 등을 이용할 수 있다. 흡인부(836) 및 상술한 복수의 개폐 밸브(835)는 제어부(91)에 의해 제어된다.

패드(80)에 의해 받아들여진 기능액은, 패드(80)가 갖는 구멍을 통하여 패드(80)의 상면(액수면)으로부터 하면(배액면)으로 안내된다. 그 후, 기능액은 케이싱(81)에 마련된 배액구(815)로부터 개별 배액관(831)에 유입된다. 개별 배액관(831)에 유입된 기능액은, 제 1 공통 배액관(832)을 통과하고, 또한, 제 2 공통 배액관(833)을 통과하여 외부로 배출된다.

제어부(91)는 전체 개폐 밸브(835)를 폐쇄한 상태에서, 흡인부(836)를 구동시키는 것에 의해, 복수의 개폐 밸브(835)와 흡인부(836) 사이에 위치하는 복수의 제 1 공통 배액관(832) 및 제 2 공통 배액관(833)을 부압으로 한다. 그리고, 제어부(91)는, 개폐 밸브(835)를 개방하는 것에 의해, 개방된 개폐 밸브(835)의 상류측에 위치하는 개별 배액관(831)에, 부압을 이용하여 기능액을 인입한다.

제어부(91)는 상술한 처리, 즉, 전체 개폐 밸브(835)를 폐쇄한 상태에서 흡인부(836)를 구동시켜 개폐 밸브(835)보다 하류측을 부압으로 하는 준비 처리와, 개폐 밸브(835)를 개방하고 기능액을 개별 배액관(831)으로 인입하는 흡인 처리를, 개폐 밸브(835)마다 실행한다. 이에 의해, 전체 개폐 밸브(835)를 일제히 개방하는 경우와 비교하여, 개별 배액관(831)을 보다 강력하게 흡인할 수 있는 동시에, 복수의 개별 배액관(831)관에서 흡인력에 불균일이 생기는 것을 억제할 수 있다.

(높이 조정 기구에 대해)

도 7 내지 도 9에 도시하는 바와 같이, 플러싱부(8)는 추가로 복수의 높이 조정 기구(84)를 구비한다. 복수의 높이 조정 기구(84)는, 케이싱(81)의 길이방향 즉, 반송방향과 직교하는 방향(X축방향)을 따라서 서로 간격을 두고 배치된다. 복수의 높이 조정 기구(84)는 케이싱(81)의 하부에 마련되어 있으며, 케이싱(81)의 바닥부를 상방으로 끌어올리거나, 하방으로 끌어내리는 것에 의해, 케이싱(81) 및 케이싱(81)에 수용된 복수의 패드(80)의 높이를 조정할 수 있다.

이와 같이, 플러싱부(8)는 복수의 높이 조정 기구(84)를 구비하는 것에 의해, 반송방향과 직교하는 방향(X축방향)에 있어서의 케이싱(81) 및 복수의 패드(80)의 높이의 불균일을 억제할 수 있다. 즉, 케이싱(81) 및 복수의 패드(80)를 수평으로 유지할 수 있는 동시에, 케이싱(81) 및 복수의 패드(80)가 노즐(616)과 충돌하는 것을 억제할 수 있다.

(액적 토출 장치의 동작)

다음에, 실시형태에 따른 액적 토출 장치(1)의 동작에 대해 도 10을 참조하여 설명한다. 도 10은 실시형태에 따른 액적 토출 장치(1)가 실행하는 처리의 순서를 도시하는 흐름도이다.

도 10에 도시하는 각 처리 순서는 제어 장치(9)에 의한 제어에 따라서 실행된다. 또한, 도 10에서는, 액적 토출 처리를 2회 실행하는(제 1 액적 토출 처리 및 제 2 액적 토출 처리) 경우의 예를 도시하고 있다. 즉, 도 10에서는 기판(S)을 왕복 이동시키면서, 왕로 및 귀로의 각각에 있어서, 액적 토출 처리를 실행하는 경우의 예를 도시하고 있다. 이것으로 한정되지 않으며, 액적 토출 처리의 횟수는 1회여도 좋다. 또한, 액적 토출 처리의 횟수는 3회 이상이어도 좋다.

도 10에 도시하는 바와 같이, 액적 토출 장치(1)에서는, 우선, 반입 처리가 실행된다(단계 S101).

반입 처리의 개시시에 있어서, 기판 반송 기구(4)는 액적 토출 처리의 개시 위치보다 더욱 반송방향 상류의 반입 위치에 배치되어 있다(도 1 참조). 도 1에 도시하는 예에 있어서, 반입 위치는 기판(S)의 반송 경로의 최상류의 위치이다.

반입 처리에 있어서, 제어부(91)는 반송 로봇 등의 도시하지 않은 반송 수단을 제어하여, 기판(S)을 스테이지(40) 상에 탑재한다. 이어서, 제어부(91)는 스테이지(40)를 제어하여 기판(S)을 스테이지(40)의 상면에 흡착시킨다.

계속해서, 제 1 플러싱 처리가 실행된다(단계 S102). 제 1 플러싱 처리에 있어서, 제어부(91)는 기판 반송 기구(4)의 이동부(42)를 제어하여, 스테이지(40)를 Y축 정방향으로 이동시킨다. 그 후, 제어부(91)는 스테이지(40)의 Y축 정방향측에 마련된 플러싱부(8)가 토출 헤드(63)의 바로 아래에 도달하는 타이밍에, 토출 헤드(63)를 제어하여, 패드(80)의 바로 상방에 위치하는 복수의 노즐(616)로부터 패드(80)에 대해 기능액을 토출시킨다. 복수의 노즐(616)은 반송방향(Y축방향) 및 반송방향과 직교하는 방향(X축방향)으로 나열되어 있다. 기능액의 토출은, 예를 들어 반송방향과 직교하는 방향(X축방향)으로 나열된 1열분의 노즐(616)마다 실행된다. 또한, 기능액의 토출은 가장 Y축 부방향측에 위치하는 열의 노즐(616)로부터 순서대로 실행된다. 제어부(91)는 전체 노즐(616)로부터 기능액을 토출시킨다.

기능액의 패드(80)로의 토출 위치(착탄 위치)는 각 노즐열에서 동일하여도 좋으며, 노즐열마다 상이하게 하여도 좋다. 착탄 위치를 노즐열마다 상이하게 한 경우, 패드(80)의 국소적인 열화나 기능액의 누액을 매우 바람직하게 억제할 수 있다.

이어서, 제 1 액적 토출 처리가 실행된다(단계 S103). 제 1 액적 토출 처리에 있어서, 제어부(91)는 제 1 플러싱 처리에 계속하여, 스테이지(40)를 Y축 정방향으로 이동시키면서, 토출 헤드(63)를 제어하여, 소정의 노즐(616)로부터 기판(S)에 대해 기능액을 토출시킨다. 제 1 액적 토출 처리에서는, 도포부(6)가 갖는 복수의 노즐(616) 중 일부의 노즐(616)이 사용된다. 제 1 액적 토출 처리에 있어서 어느 쪽의 노즐(616)이 사용될지는, 묘화 패턴에 따른다.

이어서, 제 2 플러싱 처리가 실행된다(단계 S104). 제 1 액적 토출 처리의 종료 시점에 있어서, 스테이지(40)는, 도포부(6)보다 Y축 정방향에 위치한 상태로 되어 있다. 제 2 플러싱 처리에 있어서, 제어부(91)는 기판 반송 기구(4)의 이동부(42)를 제어하여, 스테이지(40)를 Y축 부방향으로 이동시킨다. 그 후, 제어부(91)는 스테이지(40)의 Y축 부방향측에 마련된 플러싱부(8)가 토출 헤드(63)의 바로 아래에 도달하는 타이밍에, 토출 헤드(63)를 제어하여, 패드(80)의 바로 상방에 위치하는 복수의 노즐(616)로부터 패드(80)에 대해 기능액을 토출시킨다. 기능액의 토출은, 예를 들어 가장 Y축 정방향측에 위치하는 열의 노즐(616)로부터 순서대로 실행된다. 제어부(91)는 전체 노즐(616)로부터 기능액을 토출시킨다.

이어서, 제 2 액적 토출 처리가 실행된다(단계 S105). 제 2 액적 토출 처리에 있어서, 제어부(91)는 제 2 플러싱 처리에 계속해서 스테이지(40)를 Y축 부방향으로 이동시키면서, 토출 헤드(63)를 제어하여, 소정의 노즐(616)로부터 기판(S)에 대해서 기능액을 토출시킨다. 제 2 액적 토출 처리에서는, 도포부(6)가 갖는 복수의 노즐(616) 중 일부의 노즐(616)이 사용된다. 제 2 액적 토출 처리에 있어서, 어느 쪽의 노즐(616)이 사용될지는, 묘화 패턴에 의해 변화한다.

이어서, 반출 처리가 실행된다(단계 S106). 제 2 액적 토출 처리의 종료 시점에서, 스테이지(40)는 도포부(6)보다 Y축 부방향에 위치한 상태로 되어 있다. 반출 처리에 있어서, 제어부(91)는 기판 반송 기구(4)의 이동부(42)를 제어하여, 스테이지(40)를 Y축 정방향으로 이동시킨다. 이에 의해, 제어부(91)는 도포부(6)보다 Y축 정방향에 위치하는 반출 위치로 스테이지(40)를 배치시킨다. 이어서, 제어부(91)는 스테이지(40)에 의한 기판(S)의 흡착 보지를 해제한다. 이어서, 제어부(91)는 도시하지 않은 반송 로봇을 제어하여, 기판(S)을 스테이지(40)로부터 취출한다. 그 후, 제어부(91)는 기판 반송 기구(4)의 이동부(42)를 제어하여, 스테이지(40)를 반입 위치로 복귀한다.

이와 같이, 액적 토출 처리가 개시되기 직전에 플러싱 처리를 실행하는 것에 의해, 노즐(616)의 건조를 억제할 수 있다. 따라서, 실시형태에 따른 액적 토출 장치(1)에 의하면, 노즐(616)의 건조에 의한 토출 불량을 억제할 수 있다. 또한, 기판(S)이 토출 헤드(63)의 바로 아래에 위치하는 타이밍보다 소정 시간 전부터, 기능액의 액적의 토출을 개시하는 것에 의해, 액적 토출 처리시에 있어서의 기능액의 토출을 안정화시킬 수 있다.

또한, 플러싱 처리에 있어서, 기능액을 받는 플러싱부(8)는 배액부(83)를 구비하고 있으며, 패드(80)에서 받은 기능액을 케이싱(81)으로부터 배출할 수 있다. 따라서, 실시형태에 따른 플러싱부(8)에 의하면, 예를 들어 인력에 의한 배액 작업을 줄일 수 있다.

플러싱부(8)가 구비하는 패드(80)는 다공질체이다. 이러한 패드(80)는 액수면에서 받은 기능액을 케이싱(81)의 바닥면에 인도할 수 있다. 특히, 금속 다공질체로 이루어지는 패드(80)는 내구성이 높아서, 교환 빈도가 낮기 때문에, 메인터넌스가 용이하다.

여기에서는, 제 1 플러싱 처리 및 제 2 플러싱 처리 어느 쪽에 있어서도, 전체 노즐(616)로부터 기능액을 토출하는 것으로 했다. 이것으로 한정되지 않으며, 제어부(91)는 제 1 플러싱 처리에 있어서, 도포부(6)가 구비하는 전체 노즐(616) 중 일부로부터 기능액을 토출시키고, 제 2 플러싱 처리에 있어서, 나머지의 노즐(616)로부터 기능액을 토출시켜도 좋다. 즉, 제 1 플러싱 처리와 제 2 플러싱 처리로 기능액을 토출시키는 노즐(616)을 나누어도 좋다. 또한, 제 1 플러싱 처리와 제 2 플러싱 처리에서 상이한 종류의 기능액을 토출시켜도 좋다.

(플러싱부의 변형예)

다음에, 상술한 플러싱부(8)의 변형예에 대해 설명한다. 도 11은 변형예에 따른 플러싱부(8A)의 평면도이다. 도 12는 도 11에 도시하는 ⅩⅡ부의 확대도이다.

도 11 및 도 12에 도시하는 바와 같이, 변형예에 따른 플러싱부(8A)는 복수의 패드(80A)와, 케이싱(81A)을 구비한다.

복수의 패드(80A)는 토출 헤드(63)로부터 토출되는 상이한 종류의 기능액에 대응하고 있다. 예를 들어, 도 11에 도시하는 예에 있어서, 플러싱부(8A)는 3개의 패드(80A)를 구비하고 있다. 이들 3개의 패드(80A)는, 예를 들어 토출 헤드(63)로부터 토출되는 R(빨강)의 잉크, G(초록)의 잉크, B(파랑)의 잉크에 각각 대응하고 있다.

이와 같이, 플러싱부(8A)는, 상이한 종류의 기능액을 받는 복수의 패드(80A)를 구비하고 있어도 좋다. 기능액의 종류에 따라서는, 상이한 종류의 기능액과 서로 섞이는 것에 의해 겔화되는 것이 있다. 이에 대해, 변형예에 따른 플러싱부(8A)에 의하면, 종류가 상이한 기능액을 상이한 패드(80A)로 받는 것에 의해, 기능액끼리가 서로 섞이는 것에 의한 기능액의 겔화를 억제할 수 있다.

또한, 여기에서는 도시를 생략하지만, 플러싱부(8A)는 복수의 패드(80A)에 대응하는 복수의 배액부(83)를 구비하고 있다. 이러한 구성으로 하는 것에 의해, 배액부(83)에 대해 상이한 종류의 기능액이 서로 섞이는 것을 억제할 수 있다.

패드(80A)는 반송방향과 직교하는 방향(X축방향)으로 연장되는 부재이다. 패드(80A)는 상술한 다공질체 또는 망형상체를 이용할 수 있다.

패드(80A)의 상면(액수면)의 반송방향(Y축방향)에 있어서의 폭(D)은, 예를 들어 0.5㎜ 이상이어도 좋다. 구체적으로 후술하는 바와 같이, 변형예에 따른 플러싱부(8A)에는, 케이싱(81A)의 본체부(814)에 형성된 홈에 패드(80A)를 측방으로부터 삽입하는 방식이 채용되어 있다. 이러한 구성으로 하는 것에 의해, 예를 들어 실시형태에 따른 케이싱(81)이 갖는 제 2 패드 억제부(813)와 같이 분리 가능한 고정부를 마련할 필요가 없어진다. 이 때문에, 패드(80A)의 폭(D)을, 예를 들어 0.5㎜ 이상 1㎜ 미만의 박형으로 형성한 경우여도, 이러한 박형의 패드(80A)를 비교적 간이한 구성으로 고정할 수 있다. 또한, 복수의 패드(80A)를 비교적 좁은 간격으로 배치하는 것이 가능해지기 때문에, 플러싱부(8A) 전체를 박형화할 수 있다.

케이싱(81A)은 본체부(814)와 2개의 측벽부(817)를 구비한다.

본체부(814)는 반송방향과 직교하는 방향(Y축방향)으로 연장되는 부재이다. 본체부(814)는 복수의 홈부(814a)를 갖는다. 각 홈부(814a)는 반송방향과 직교하는 방향(Y축방향)으로 연장되어 있다. 홈부(814a)의 일단은 본체부(814)의 길이방향(Y축방향)의 일단에 도달하고 있으며, 홈부(814a)의 타단은, 본체부(814)의 길이방향(Y축방향) 타단에 도달하고 있다. 복수의 홈부(814a)는 반송방향(X축방향)으로 서로 간격을 두고 나열되어 있다.

여기에서, 패드(80A) 및 홈부(814a)의 구성예에 대해 도 13을 참조하여 설명한다. 도 13은 도 12에 도시하는 ⅩⅢ-ⅩⅢ선 화살표에서 본 단면도이다.

도 13에 도시하는 바와 같이, 패드(80A)는 상단에 단차부(85)를 갖는다. 단차부(85)는 패드(80A)의 Y축 정방향측의 상단 및 Y축 부방향측의 단부에 각각 마련되어 있다. 단차부(85)는 반송방향과 직교하는 방향(X축방향)을 따라서 연장되어 있다.

홈부(814a)는 단면에서 본 패드(80A)와 대략 동일 형상 및 패드(80A)보다 약간 크게 형성된다. 구체적으로, 케이싱(81A)의 본체부(814)는, 패드 억제부(814b)를 갖는다. 패드 억제부(814b)는 홈부(814a)의 상방 개구 돌기부에 마련되어 있다. 본체부(814)는 반송방향(Y축방향)에 있어서의 양쪽의 개구 돌기부 정방향측의 개구 연부에 마련되어 있다. 각 패드 억제부(814b)는 반송방향과 직교하는 방향(X축방향)을 따라서 연장되어 있으며, 패드(80A)의 단차부(85)와 대향한다.

이와 같이, 패드(80A)에 단차부(85)를 마련하는 동시에, 케이싱(81A)에 패드 억제부(814b)를 마련하는 것에 의해, 만일 패드(80A)에 휨이 있는 경우여도, 이러한 패드(80A)의 휨을 홈부(814a)에 의해 억제할 수 있다. 이에 의해, 패드(80A)와 노즐(616)의 접촉을 매우 바람직하게 억제할 수 있다.

각 홈부(814a)의 바닥부에는, 적어도 1개의 배액구(815)가 마련되어 있으며, 배액구(815)에는, 배액부(83)의 개별 배액관(831)이 접속된다.

도 11 및 도 12에 도시하는 바와 같이, 측벽부(817)는 반송방향과 직교하는 방향(X축방향)에 있어서의 홈부(814a)의 개구단을 봉쇄하는 부재이다. 측벽부(817)는 본체부(814)에 대해 착탈 가능하다. 예를 들어, 측벽부(817)는 도시하지 않은 체결 부재(나사 등)에 의해 본체부(814)에 고정된다.

도 14는 플러싱부(8A)의 단부의 확대 사시도이다. 또한, 도 14에서는, 본체부(814)로부터 측벽부(817)가 분리된 상태에 있어서의 플러싱부(8A)의 단부를 도시하고 있다. 패드(80A)는 본체부(814)로부터 측벽부(817)를 분리하는 것에 의해, 본체부(814)로부터 착탈이 가능하다. 도 14에 도시하는 바와 같이, 패드(80A)는 반송방향과 직교하는 방향(X축방향)에 있어서의 홈부(814a)의 개구단으로부터 홈부(814a)에 삽입할 수 있다.

또한, 패드(80A)는 복수의 패드편으로 분할되어 있어도 좋다. 이러한 구성으로 하는 것에 의해, 패드(80A)의 휨의 영향을 저감할 수 있다.

(그 외의 변형예)

상술한 실시형태에서는, 흡착식의 스테이지(40)를 이용하여 기판(S)을 보지하는 경우의 예에 대해 설명했지만, 액적 토출 장치(1)는 흡착식의 스테이지(40)를 대신하여, 부상식의 스테이지를 구비하고 있어도 좋다. 부상식의 스테이지를 구비한 액적 토출 장치로서는, 예를 들어 일본 특허 공개 제 2022-11083 호 공보에 기재된 구성을 이용할 수 있다. 이 경우, 예를 들어 부상 스테이지의 외측에 배치된 레일을 따라서 플러싱부(8)를 이동 가능하게 구성하여도 좋다.

액적 토출 장치(1)는, 스테이지(40)의 Y축 정방향측의 단부 또는 Y축 부방향측의 단부에, 도 5 내지 도 9에 도시하는 플러싱부(8)를 기능액의 종류마다 복수 구비하고 있어도 좋다.

상술한 바와 같이, 실시형태에 따른 액적 토출 장치(일 예로서, 액적 토출 장치(1))는 스테이지(일 예로서, 스테이지(40))와, 토출 헤드(일 예로서, 토출 헤드(63))와, 이동부(일 예로서, 이동부(42))와, 플러싱부(일 예로서, 플러싱부(8, 8A))를 구비한다. 토출 헤드는 기능액을 토출하는 복수의 노즐(일 예로서, 노즐(616))을 가지며, 노즐로부터 스테이지 상에 위치하는 기판(일 예로서, 기판(S))에 대해 기능액을 토출한다. 이동부는 스테이지 상에 위치하는 기판과 토출 헤드를 상대 이동시킨다. 플러싱부는 이동부에 의한 상대 이동 중에 있어서, 토출 헤드가 기판의 상방에 위치하기 전에 토출 헤드로부터 토출된 기능액을 받는다. 플러싱부는 기능액을 받는 패드(일 예로서, 패드(80, 80A))와, 패드에 의해 받아들여진 기능액을 배출하는 배액관(일 예로서, 배액관(830))을 구비한다.

또한, 실시형태에 따른 액적 토출 장치는 스테이지와, 토출 헤드와, 이동부와, 플러싱부를 구비한다. 토출 헤드는 기능액을 토출하는 복수의 노즐을 가지며, 노즐로부터 스테이지 상에 위치하는 기판에 대해 기능액을 토출한다. 이동부는 스테이지 상에 위치하는 기판과 토출 헤드를 상대 이동시킨다. 플러싱부는 이동부에 의한 상대 이동 중에 있어서 토출 헤드가 기판의 상방에 위치하기 전에 토출 헤드로부터 토출된 기능액을 받는다. 플러싱부는 기능액을 받는 패드를 구비한다. 이동부에 의한 상대 이동방향에 있어서의 패드의 폭은 0.5㎜ 이상이다.

또한, 실시형태에 따른 액적 토출 장치는 스테이지와, 토출 헤드와, 이동부와, 플러싱부를 구비한다. 토출 헤드는 기능액을 토출하는 복수의 노즐을 가지며, 노즐로부터 스테이지 상에 위치하는 기판에 대해 기능액을 토출한다. 이동부는 스테이지 상에 위치하는 기판과 토출 헤드를 상대 이동시킨다. 플러싱부는 이동부에 의한 상대 이동 중에 있어서 토출 헤드가 기판의 상방에 위치하기 전에 토출 헤드로부터 토출된 기능액을 받는다. 플러싱부는 기능액을 받는 패드를 구비한다. 패드는 다공질체 또는 망형상체이다.

따라서, 실시형태에 따른 액적 토출 장치에 의하면, 노즐의 건조에 의한 기능액의 토출 불량을 억제할 수 있다.

플러싱부는 상대 이동의 방향(일 예로서, Y축방향)에 있어서의 기판의 양 단부측에 위치하고 있어도 좋다. 이러한 구성으로 하는 것에 의해, 예를 들어 토출 헤드에 대해 기판을 왕복시켜 액적 토출 처리를 실행하는 경우에, 왕로 및 귀로의 양쪽에서 플러싱 처리를 실행할 수 있다. 또한, 상이한 종류의 기능액의 플러싱 처리를 왕로와 귀로로 나누어 실행하는 것도 가능하다.

플러싱부는 상대 이동의 방향으로 나열된 복수의 패드(일 예로서, 패드(80A))를 구비하고 있어도 좋다. 이러한 구성으로 하는 것에 의해, 종류가 상이한 기능액을 상이한 패드로 받을 수 있으며, 이에 의해, 예를 들어 기능액끼리가 서로 섞이는 것에 의한 기능액의 겔화를 억제할 수 있다.

플러싱부는 패드를 수용하는 케이싱(일 예로서, 케이싱(81, 81A))을 구비하고 있어도 좋다. 케이싱은 패드의 상방 및 평면에서 본 패드와 중첩되는 위치에 패드 억제부(일 예로서, 제 1 패드 억제부(812), 제 2 패드 억제부(813), 패드 억제부(814b))를 구비하고 있어도 좋다. 이러한 구성으로 하는 것에 의해, 만일 패드에 휨이 있는 경우여도, 이러한 패드의 휨을 패드 억제부에 의해 억제할 수 있다. 이에 의해, 패드와 노즐의 접촉을 매우 바람직하게 억제하면서, 패드를 스테이지와 거의 동일한 높이에 배치할 수 있다. 또한, 패드의 탈락을 방지할 수 있다.

플러싱부는 패드를 수용하는 케이싱과, 케이싱의 길이방향(일 예로서, X축방향)을 따라서 복수 마련되며, 케이싱의 높이를 조정하는 높이 조정 기구(일 예로서, 높이 조정 기구(84))를 구비하고 있어도 좋다. 이러한 구성으로 하는 것에 의해, 케이싱(81) 및 패드(80)를 수평으로 유지할 수 있어서, 케이싱 및 패드가 노즐과 충돌하는 것을 억제할 수 있다.

플러싱부는 상대 이동의 방향과 직교하는 방향(일 예로서, X축방향)으로 나열된 복수의 패드(일 예로서, 복수의 패드(80))를 구비하고 있어도 좋다. 이에 의해, 1개의 장척 형상의 패드를 이용하는 경우와 비교하여, 휨의 영향을 작게 할 수 있다.

플러싱부는 패드를 수용하는 케이싱을 구비하고 있어도 좋다. 또한, 실시형태에 따른 액적 토출 장치는, 케이싱의 하방에 케이싱으로부터 누설된 기능액을 검지하는 누액 센서를 구비하고 있어도 좋다. 이에 의해, 만일 케이싱으로부터 기능액이 누설되었다고 해도, 이러한 기능액의 누설을 즉석에서 검지할 수 있다.

금회 개시된 실시형태는 전체 점에서 예시이며, 제한적인 것은 아니라고 고려되어야 한다. 실제로, 상기한 실시형태는 다양한 형태로 구현될 수 있다. 또한, 상기의 실시형태는, 첨부의 청구범위 및 그 취지를 일탈하는 일이 없이, 여러가지 형태로 생략, 치환, 변경되어도 좋다.

1: 액적 토출 장치 2: 가대
3: 제 1 가이드 레일 4: 기판 반송 기구
5: 제 2 가이드 레일 6: 도포부
7: 검사 기구 8: 플러싱부
9: 제어 장치 40: 스테이지
41: 회전부 42: 이동부
50: 메인터넌스부 60: 캐리지 플레이트
61: 캐리지 회동부 62: 캐리지
63: 토출 헤드 70: 이동부
80: 패드 81: 케이싱
82: 누액 센서 83: 배액부
84: 조정 기구 85: 단차부
91: 제어부 92: 기억부
616: 노즐 812: 제 1 패드 억제부
813: 제 2 패드 억제부 814: 본체부
815: 배액구 817: 측벽부
830: 배액관 831: 개별 배액관
832: 제 1 공통 배액관 833: 제 2 공통 배액관
835: 개폐 밸브 836: 흡인부
S: 기판

Claims (16)

1. 스테이지와,
   기능액을 토출하는 복수의 노즐을 가지며, 상기 노즐로부터 상기 스테이지 상에 위치하는 기판에 대해 상기 기능액을 토출하는 토출 헤드와,
   상기 스테이지 상에 위치하는 상기 기판과 상기 토출 헤드를 상대 이동시키는 이동부와,
   상기 이동부에 의한 상대 이동 중에 있어서 상기 토출 헤드가 상기 기판의 상방에 위치하기 전에 상기 토출 헤드로부터 토출된 상기 기능액을 받는 플러싱부를 구비하고,
   상기 플러싱부는,
   상기 기능액을 받는 패드와,
   상기 패드에 의해 받아들인 상기 기능액을 배출하는 배액관을 구비하는
   액적 토출 장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 플러싱부는, 상기 배액관에 접속되며, 상기 패드에 의해 받아들인 상기 기능액을 부압을 이용하여 상기 배액관으로 인입하는 흡인부를 구비하는
   액적 토출 장치.
3. 스테이지와,
   기능액을 토출하는 복수의 노즐을 가지며, 상기 노즐로부터 상기 스테이지 상에 위치하는 기판에 대해 상기 기능액을 토출하는 토출 헤드와,
   상기 스테이지 상에 위치하는 상기 기판과 상기 토출 헤드를 상대 이동시키는 이동부와,
   상기 이동부에 의한 상대 이동 중에 있어서, 상기 토출 헤드가 상기 기판의 상방에 위치하기 전에 상기 토출 헤드로부터 토출된 상기 기능액을 받는 플러싱부를 구비하고,
   상기 플러싱부는 상기 기능액을 받는 패드를 구비하고,
   상기 이동부에 의한 상대 이동의 방향에 있어서의 상기 패드의 폭은 0.5㎜ 이상인
   액적 토출 장치.
4. 스테이지와,
   기능액을 토출하는 복수의 노즐을 가지며, 상기 노즐로부터 상기 스테이지 상에 위치하는 기판에 대해 상기 기능액을 토출하는 토출 헤드와,
   상기 스테이지 상에 위치하는 상기 기판과 상기 토출 헤드를 상대 이동시키는 이동부와,
   상기 이동부에 의한 상대 이동 중에 있어서 상기 토출 헤드가 상기 기판의 상방에 위치하기 전에 상기 토출 헤드로부터 토출된 상기 기능액을 받는 플러싱부를 구비하고,
   상기 플러싱부는 상기 기능액을 받는 패드를 구비하고,
   상기 패드는 다공질체 또는 망형상체인
   액적 토출 장치.
5. 제 4 항에 있어서,
   상기 패드는 다공질 수지, 금속 다공질체 또는 다공질 세라믹인
   액적 토출 장치.
6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 플러싱부는 상기 상대 이동의 방향에 있어서의 상기 기판의 양 단부측에 위치하는
   액적 토출 장치.
7. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 플러싱부는 상기 상대 이동의 방향으로 나열된 복수의 상기 패드를 구비하는
   액적 토출 장치.
8. 제 7 항에 있어서,
   복수의 상기 패드는 각각 상이한 종류의 기능액을 받는
   액적 토출 장치
9. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 플러싱부는 상기 패드를 수용하는 케이싱을 구비하고,
   상기 케이싱은 상기 패드의 상방 및 평면에서 보아 상기 패드와 중첩되는 위치에 패드 억제부를 구비하는
   액적 토출 장치.
10. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 플러싱부는,
    상기 패드를 수용하는 케이싱과,
    상기 케이싱의 길이방향을 따라서 복수 마련되며, 상기 케이싱의 높이를 조정하는 높이 조정 기구를 구비하는
    액적 토출 장치.
11. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 플러싱부는 상기 상대 이동의 방향과 직교하는 방향으로 나열된 복수의 상기 패드를 구비하는
    액적 토출 장치.
12. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 플러싱부는 상기 패드를 수용하는 케이싱을 구비하고,
    상기 케이싱의 하방에, 상기 케이싱으로부터 누설된 상기 기능액을 검지하는 누액 센서를 구비하는
    액적 토출 장치.
13. 스테이지 상에 위치하는 기판과, 기능액을 토출하는 복수의 노즐을 갖는 토출 헤드를 상대 이동시키는 공정과,
    상기 상대 이동시키는 공정에 있어서, 상기 토출 헤드가 상기 기판의 상방에 위치하기 전에 상기 토출 헤드로부터 토출된 상기 기능액을 플러싱부를 이용하여 받는 공정과,
    상기 상대 이동시키는 공정 중 및 상기 받는 공정 후에, 상기 노즐로부터 상기 스테이지 상에 위치하는 기판에 대해 상기 기능액을 토출하는 공정을 포함하며,
    상기 플러싱부는,
    상기 기능액을 받는 패드와,
    상기 패드에 의해 받아들여진 상기 기능액을 배출하는 배액관을 구비하는
    액적 토출 방법.
14. 스테이지 상에 위치하는 기판과, 기능액을 토출하는 복수의 노즐을 갖는 토출 헤드를 상대 이동시키는 공정과,
    상기 상대 이동시키는 공정에 있어서, 상기 토출 헤드가 상기 기판의 상방에 위치하기 전에 상기 토출 헤드로부터 토출된 상기 기능액을 플러싱부를 이용하여 받는 공정과,
    상기 상대 이동시키는 공정 중 및 상기 받는 공정 후에, 상기 노즐로부터 상기 스테이지 상에 위치하는 기판에 대해 상기 기능액을 토출하는 공정을 포함하며,
    상기 플러싱부는 상기 기능액을 받는 패드를 구비하고,
    상기 상대 이동의 방향에 있어서의 상기 패드의 폭은 0.5㎜ 이상인
    액적 토출 방법.
15. 스테이지 상에 위치하는 기판과, 기능액을 토출하는 복수의 노즐을 갖는 토출 헤드를 상대 이동시키는 공정과,
    상기 상대 이동시키는 공정에 있어서, 상기 토출 헤드가 상기 기판의 상방에 위치하기 전에 상기 토출 헤드로부터 토출된 상기 기능액을 플러싱부를 이용하여 받는 공정과,
    상기 상대 이동시키는 공정 중 및 상기 받는 공정 후에, 상기 노즐로부터 상기 스테이지 상에 위치하는 기판에 대해 상기 기능액을 토출하는 공정을 포함하며,
    상기 플러싱부는 상기 기능액을 받는 패드를 구비하고,
    상기 패드는, 다공질체 또는 망형상체인
    액적 토출 방법.
16. 컴퓨터 상에서 동작하며, 액적 토출 장치를 제어하는 프로그램이 기억된 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체에 있어서,
    상기 프로그램은 실행시에, 제 13 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 기재된 액적 토출 방법이 실행되도록, 컴퓨터에 상기 액적 토출 장치를 제어시키는
    기억 매체.