CN116922954A - 液滴释放装置、液滴释放方法和存储介质 - Google Patents

液滴释放装置、液滴释放方法和存储介质 Download PDF

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CN116922954A CN202310399543.4A CN202310399543A CN116922954A CN 116922954 A CN116922954 A CN 116922954A CN 202310399543 A CN202310399543 A CN 202310399543A CN 116922954 A CN116922954 A CN 116922954A
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林辉幸
三根阳介
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Abstract

本发明提供抑制由干燥导致的释放不良的液滴释放装置、液滴释放方法和存储介质。液滴释放装置具有工作台、释放头、移动部和冲流部。释放头具有释放功能液的多个喷嘴，从喷嘴对位于工作台之上的基片释放功能液。移动部使位于工作台之上的基片与释放头相对移动。冲流部在利用移动部进行的相对移动中在释放头位于基片的上方之前接收从释放头释放的功能液。冲流部具有：接收功能液的垫状物；和将由垫状物接收到的功能液排出的排液管。

Description

液滴释放装置、液滴释放方法和存储介质
技术领域
本发明涉及液滴释放装置、液滴释放方法和存储介质。
背景技术
一直以来，已知有对被输送的基片以喷墨方式释放功能液的液滴的液滴释放装置。例如，公开了一种液滴释放装置，其具有吸附保持基片的台部；和对被保持在该台部的基片从上方滴下功能液的液滴的多个释放头。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2021-007906号公报
发明内容
发明要解决的技术问题
本发明提供能够抑制由干燥导致的释放不良的技术。
用于解决技术问题的技术方案
本发明的一个方式的液滴释放装置具有工作台、释放头、移动部和冲流部。释放头具有释放功能液的多个喷嘴，从喷嘴对位于工作台之上的基片释放功能液。移动部使位于工作台之上的基片与释放头相对移动。冲流部在利用移动部进行的相对移动中在释放头位于基片的上方之前接收从释放头释放的功能液。冲流部具有：接收功能液的垫状物；和将由垫状物接收到的功能液排出的排液管。
发明效果
依据本发明，能够抑制由干燥导致的释放不良。
附图说明
图1是表示实施方式的液滴释放装置的概略结构的左侧视图。
图2是表示实施方式的液滴释放装置的概略结构的俯视图。
图3是实施方式的滑架的俯视图。
图4是从斜下方观察实施方式的释放头的立体图。
图5是实施方式的冲流部的俯视图。
图6是将冲流部的一部分放大的立体图。
图7是表示实施方式的冲流部的一部分的正视图。
图8是表示实施方式的冲流部的一部分的正视图。
图9是表示实施方式的冲流部的一部分的正视图。
图10是表示实施方式的液滴释放装置执行的处理的流程的流程图。
图11是变形例的冲流部的俯视图。
图12是图11所示的XII部的放大图。
图13是图12所示的XIII-XIII线向视的剖视图。
图14是冲流部的端部的放大立体图。
附图标记说明
1液滴释放装置
2架台
3第一导轨
4基片输送机构
5第二导轨
6涂敷部
7检查机构
8冲流部
9控制装置
40 工作台
41 旋转部
42 移动部
50 维护部
60 滑架板
61 滑架转动部
62 滑架
63 释放头
70 移动部
80 垫状物
81 壳体
82 漏液传感器
83 排液部
84 调节机构
85 台阶部
91 控制部
92 存储部
616 喷嘴
812 第一垫状物按压部
813 第二垫状物按压部
814 主体部
815 排液口
817 侧壁部
830 排液管
831 独立排液管
832 第一共用排液管
833 第二共用排液管
835 开闭阀
836 吸引部
S基片。
具体实施方式
以下，参照附图，对本申请公开的液滴释放装置、液滴释放方法和存储介质的实施方式详细地进行说明。此外，本发明不由以下给出的实施方式限定。另外，附图是示意性的图，应当注意各要素的尺寸关系、各要素的比例等存在与现实不同的情况。而且，在附图相互之间，也存在包括彼此的尺寸的关系或比率不同的部分的情况。
在以喷墨方式释放功能液的液滴释放装置中，取决于描绘图案而产生不使用喷嘴。所谓不使用喷嘴是指，不进行液滴的释放的喷嘴。当不使用喷嘴的不使用时间变长时，不使用喷嘴干燥，在下次使用该不使用喷嘴时，可能发生释放不良。因此，人们期望能够抑制由干燥导致的释放不良的技术。
<液滴释放装置的结构>
首先，参照图1和图2，对实施方式的液滴释放装置1的结构进行说明。图1是表示实施方式的液滴释放装置1的概略结构的左侧视图，图2是表示实施方式的液滴释放装置1的概略结构的俯视图。
此外，在下文中，为了使位置关系明确，规定彼此正交的X轴方向、Y轴方向和Z轴方向，将Y轴方向设为基片S的输送方向，将Z轴正方向设为铅垂向上方向。
液滴释放装置1是一边将基片S沿着输送方向(Y轴方向)输送，一边用喷墨方式在基片S进行描绘的描绘装置。基片S例如是在平板显示器中使用的基片。
液滴释放装置1被收纳在腔室100中。对腔室100中供给非活性气体(例如氮气等)。液滴释放装置1在非活性气体气氛中将功能液释放到基片S，并在基片S进行描绘。此外，液滴释放装置1也可以是没有收纳在腔室100中的装置。
功能液中除了墨水以外，例如还含有形成空穴注入层(HIL：Hole InjectionLayer)、空穴输送层(HTL：Hole Transport Layer)等的液。此外，在功能液中，含有颜色各自不同的多个种类的墨水。例如，功能液中含有R(红色)、G(绿色)、B(蓝色)的墨水。
如图2所示，在腔室100附设有收纳控制装置9等的电气室101。另外，在腔室100设置有更换室102，其用于对贮存功能液的未图示的功能液罐进行更换。
如图1和图2所示，液滴释放装置1具有架台2、两个第一导轨3、基片输送机构4、两个第二导轨5、多个涂敷部6、检查机构7、多个(此处为两个)冲流部8和控制装置9。
架台2以沿着基片S的输送方向(Y轴方向)延伸的方式配置。架台2的上表面是水平的。
两个第一导轨3配置在架台2的上表面。两个第一导轨3沿着基片S的输送方向呈直线状延伸。两个第一导轨3在与输送方向正交的水平方向(X轴方向)上隔开间隔地配置。
基片输送机构4保持基片S，并将所保持的基片S沿着输送方向(Y轴方向)输送。具体而言，基片输送机构4具有工作台40、旋转部41和移动部42。
工作台40例如是真空吸附台，吸附基片S的下表面(位于被描绘的面的相反侧的面)。旋转部41设置在工作台40的下方，使工作台40绕铅垂轴(Z轴)转动。此外，在工作台40的上方设置有对工作台40上的基片S的对准标记(alignment mark)进行拍摄的工件对准摄像机(未图示)。旋转部41基于由工件对准摄像机拍摄到的图像而转动，由此修正基片S的位置。
移动部42设置在旋转部41的下方，支承旋转部41和工作台40。移动部42安装在两个第一导轨3，通过设置于两个第一导轨3中的至少一者的驱动部(未图示)、例如线性电动机，而能够沿着一对第一导轨3移动。
基片输送机构4通过使移动部42沿着两个第一导轨3移动，能够使工作台40和被吸附保持于工作台40的基片S沿着输送方向(Y轴方向)移动。
两个第二导轨5沿着与基片S的输送方向正交的方向(X轴方向)呈直线状延伸。两个第二导轨5在基片S的输送方向(Y轴方向)上隔开间隔地配置。两个第二导轨5配置在支承部5a上，该支承部5a配置在架台2的上方且比工作台40高的位置。
两个第二导轨5俯视时延伸至架台2的外侧(侧方)。在架台2的侧方且两个第二导轨5之间配置有例如维护部50。维护部50进行后述的释放头63的维护，消除或防止释放头63的释放不良等。后述的涂敷部6能够在架台2的上方位置即描绘位置、与维护部50的上方即维护位置之间移动。
涂敷部6沿着与基片S的输送方向正交的方向(X轴方向)配置有多个。例如，涂敷部6沿着X轴方向配置有三个。此外，涂敷部6的数量不限定于三个。各涂敷部6包括滑架板60、滑架转动部61、滑架(carriage)62和多个释放头63。释放头63是释放头的一例。
滑架板60安装在两个第二导轨5。滑架板60通过设置于两个第二导轨5中的至少一者的驱动部(未图示)、例如线性电动机，能够沿着两个第二导轨5移动。
滑架转动部61配置在滑架板60的下方。滑架转动部61安装在输送方向(Y轴方向)上的滑架板60的中央。在滑架转动部61的下端，安装有滑架62。滑架转动部61以滑架62能够绕铅垂轴(Z轴)转动的方式支承滑架62。
此外，滑架转动部61基于由设置于工作台40的滑架对准摄像机(未图示)拍摄到的图像，使滑架62以与上下方向平行的轴为中心转动。由此，能够修正滑架62的位置。
多个释放头63设置在滑架62。各释放头63经由未图示的供给管连接于未图示的功能液罐，从功能液罐经由供给管供给功能液，对基片S释放功能液的液滴。各释放头63例如能够释放多个种类的功能液。
多个释放头63在基片S的输送方向(Y轴方向)和与输送方向正交的方向(X轴方向)上隔开间隔地配置(参照图3)。
检查机构7利用检查膜73接收功能液的液滴，来检查液滴的释放状态。检查膜73为疏水性的检查膜。具体而言，检查膜73是表面(被释放液滴的面)具有疏水性的检查膜。
检查机构7具有移动部70、检查台71、膜输送部72、检查膜73和拍摄部74。
移动部70安装在两个第一导轨3。移动部70利用设置于两个第一导轨3中的至少一者的驱动部(未图示)，能够沿着两个第一导轨3移动。移动部70在沿着基片S的输送方向设定的释放位置、拍摄位置和待机位置间移动。释放位置为多个释放头63的下方的位置。拍摄位置是成为拍摄部74的下方的位置。待机位置为涂敷部6的外侧的位置。
检查台71安装在移动部70的上表面中央。检查台71与移动部70一起移动。即，检查台71在释放位置、拍摄位置和待机位置之间移动。检查台71的长度比利用涂敷部6向各检查膜73释放功能液的液滴的释放区域长。
检查台71在上表面具有吸附板(未图示)。检查台71的吸附板例如由多孔材料构成。另外，在检查台71的内部收纳有吸引装置(未图示)。检查台71通过利用吸引装置吸引吸附板，来吸附检查膜73。
膜输送部72设置在移动部70的上方。膜输送部72在左右方向(与输送方向正交的方向)上输送检查膜73(检查用介质)，该检查膜73用于接收从多个释放头63释放的检查用的液滴。
拍摄部74如图1所示，经由基座74a安装在第二导轨5。在基座74a设置有使拍摄部74在左右方向上移动的移动机构(未图示)。拍摄部74安装在两个第二导轨5中的配置于后方的第二导轨5。
拍摄部74拍摄被释放到检查膜73的功能液的液滴。此外，也可以设置多个拍摄部74，利用多个拍摄部74拍摄被释放到检查膜73的功能液的液滴。在该情况下，也可以使拍摄部74在左右方向上不能移动，而固定在第二导轨5。
在检查机构7中，基于由拍摄部74对被释放到检查膜73的功能液的液滴进行拍摄的结果，来检查释放头63中的液滴的释放状态。
多个(此处为两个)冲流部8分别设置在基片S的输送方向(Y轴方向)上的工作台40的两端部。换言之，两个冲流部8分别设置在输送方向(Y轴方向)上的基片S的两端部侧。
冲流部8用于冲流处理。冲流处理为在对基片S的液滴释放处理中刚要对基片S释放功能液之前，换言之释放头63刚要位于基片S的上方之前，从释放头63释放功能液的处理。即，冲流部8为在冲流处理中接收从释放头63释放的功能液的部件。关于冲流部8的细节在后文说明。
控制装置9例如是计算机，具有控制部91和存储部92。存储部92例如由RAM(RandomAccess Memory：随机存取存储器)、闪存(Flash Memory)等半导体存储元件、或者硬盘、光盘等存储装置实现。
控制部91包括CPU(Central Processing Unit：中央处理器)、ROM(Read OnlyMemory：只读存储器)、RAM、输入输出端口等的微型计算机或各种电路。微计算机的CPU通过读取并执行存储在ROM中的程序，来实现液滴释放装置1内的各部的控制。
此外，程序记录也可以存储在计算机可读取的存储介质中，从存储介质安装到控制装置9的存储部92。作为计算机可读取的存储介质，例如有硬盘(HD)、软盘(FD)、光盘(CD)、磁光盘(MO)、存储卡等。
<滑架的结构>
接着，参照图3，对滑架62的结构进行说明。图3是实施方式的滑架62的俯视图。
如图3所示，滑架62是平板状的部件。滑架62具有多个开口部621。例如在图3所示的例子中，共计12个开口部621沿着主输送方向和副输送方向呈矩阵状设置于滑架62。此外，此处例示了在滑架62设置有12个开口部621的情况的例子，但开口部621的个数可以比12个多，也可以比其少。
在多个开口部621逐一地设置有释放头63。释放头63以覆盖开口部621的方式设置在滑架62。
<释放头的结构>
接着，参照图4，对释放头的结构例进行说明。图4是从斜下方观察实施方式的释放头63的立体图。
如图4所示，释放头63具有头主体602、从头主体602向侧方突出凸缘部603。释放头63例如从滑架62的上方被插入开口部621。由此，释放头63中的头主体602被配置在开口部621内。另外，释放头63中的凸缘部603与滑架62的上表面抵接。由此，释放头63成为卡止于滑架62的状态。另外，释放头63在卡止于滑架62的状态下，被设置于滑架62的未图示的固定部固定。
释放头63例如是压电式的喷头。在头主体602的下表面615形成有多个喷嘴616。多个喷嘴616例如沿着主输送方向(Y轴方向)形成为2排。另外，在各排中，多个喷嘴616沿着副输送方向(X轴方向)等间隔地配置。
头主体602具有未图示的泵部。泵部包括贮存功能液的空腔、使空腔的体积变化的压电元件或振动板等而构成，通过对压电元件施加电压而使振动板振动，从而使空腔的体积变化来使功能液的液滴从各释放孔释放。此外，在释放头63设置有经由供给管连接于功能液罐的功能液导入部、经由可挠性扁平电缆连接于控制装置9(参照图1)的头基板等。
<冲流部的结构例>
接着，参照图5和图6，对冲流部8的结构例进行说明。图5是实施方式的冲流部8的俯视图。图6是将冲流部8的一部分放大的立体图。
如图5所示，冲流部8包括多个垫状物(pad)80和收纳多个垫状物80的壳体81。
(关于垫状物)
垫状物80是在与输送方向正交的方向(X轴方向)上延伸的板状部件。多个垫状物80在壳体81内在彼此连接的状态下排列在与输送方向正交的方向(X轴方向)上。由此，多个垫状物80构成在与输送方向正交的方向(X轴方向)上延伸的实质一个长条状的垫状物。像这样，冲流部8具有将一个长条状的垫状物分割为多个垫状物80的结构。各个垫状物80与一个长条状的垫状物相比较，从例如容易确保直线度等的方面考虑，是容易制造的。
垫状物80接收从喷嘴616释放的功能液。垫状物80优选具有接收功能液的受液面与位于受液面的相反侧的排液面通过一个或者多个孔连通的结构。作为构成这样的垫状物80的部件，例如能够使用多孔体或者网状体。
多孔体例如可以是多孔树脂、金属多孔体(多孔金属)或者多孔陶瓷。多孔树脂与金属多孔体和多孔陶瓷相比较在成本方面更优越。作为多孔树脂，例如能够使用聚乙烯、聚丙烯、聚甲基丙烯酸甲酯、氟树脂等的塑料烧结多孔体。此外，它们之中，聚乙烯在成本方面较优越，氟树脂在耐药性方面较优越。
作为金属多孔体，例如能够使用形成为多孔状的不锈钢(不锈钢多孔体)。此外，作为金属多孔体，不限于不锈钢多孔体，例如也可以是钛多孔体、镍多孔体、铝多孔体等。作为多孔陶瓷，例如能够使用多孔氧化铝陶瓷、多孔SiC陶瓷等。
作为网状体，例如能够使用不锈钢网。此外，网状体不限于不锈钢网，也可以是钛网、镍网、铝网。
垫状物80在输送方向(Y轴方向)上的宽度D例如可以为0.5mm以上。
工作台40的移动速度即扫描速度通常为300mm/sec。另外，功能液的释放频率的最大值例如为30kHz(1秒钟3万次喷射)。另外，在冲流处理中，为了抑制喷嘴616的干燥所需的来自各喷嘴616的最低限的释放次数(喷射次数)例如为50次喷射。在这些条件下进行冲流处理时所需的垫状物80的宽度D最小为0.5mm(50×(1/30000)×300＝0.5mm)。因此，通过使垫状物80的宽度D为0.5mm以上，能够适当地抑制喷嘴616的干燥。此外，图5所示的结构中的垫状物80的宽度D例如为20mm以上。
(关于壳体)
壳体81例如具有容器形状，该容器形状具有一个底部和四个侧壁部，并且上方开放。壳体81在由这些一个底部和四个侧壁部形成的收纳空间810中收纳多个垫状物80。具体而言，收纳空间810在与输送方向正交的方向(X轴方向)上延伸，多个垫状物80在该收纳空间810中以在与输送方向正交的方向(X轴方向)上无间隙地排列的状态被收纳。壳体81例如由金属形成。
如图5和图6所示，在壳体81的上缘面811设置有多个第一垫状物按压部812和多个第二垫状物按压部813。第一垫状物按压部812和第二垫状物按压部813以与收纳在收纳空间810中的垫状物80的上表面(受液面)相对的方式设置。具体而言，第一垫状物按压部812和第二垫状物按压部813设置在垫状物80的上方且俯视时与垫状物80重叠的位置。
例如在存在垫状物80的翘曲的情况下，由于垫状物80上突到比工作台40的上表面高的位置，而喷嘴616与垫状物80可能会接触。对此，通过设置第一垫状物按压部812和第二垫状物按压部813，即使在垫状物80存在翘曲的情况下，也能够利用第一垫状物按压部812和第二垫状物按压部813按压该垫状物80的翘曲。由此，能够适当地抑制垫状物80与喷嘴616的接触，并且能够将垫状物80配置在与工作台40大致相同的高度。另外，能够防止垫状物80的脱落。
第一垫状物按压部812例如设置于在与输送方向正交的方向(X轴方向)上延伸的两个侧壁部中的靠近工作台40的侧壁部的上缘面811，朝向另一(远离工作台40的)侧壁部水平地突出。第一垫状物按压部812与壳体81一体地形成。
第二垫状物按压部813设置于在与输送方向正交的方向(X轴方向)上延伸的两个侧壁部中的远离工作台40的侧壁部的上缘面811，向另一(靠近工作台40的)侧壁部水平地突出。第二垫状物按压部813具有与垫状物80的上表面抵接的第一部位813a和与垫状物80的侧面抵接的第二部位813b。由于具有第二部位813b，第二垫状物按压部813能够抑制垫状物80在输送方向(Y轴方向)上的位置偏移。
第一垫状物按压部812与第二垫状物按压部813配置在彼此相向的位置。在图5所示的例子中，壳体81中，对于一个垫状物80具有二组第一垫状物按压部812和第二垫状物按压部813。但不限于此，壳体81也可以对于一个垫状物80具有三组以上的第一垫状物按压部812和第二垫状物按压部813。另外，壳体81也可以对于一个垫状物80具有一组第一垫状物按压部812和第二垫状物按压部813。
第二垫状物按压部813能够从壳体81拆装。例如第二垫状物按压部813通过紧固部件813c(例如螺钉)被固定在壳体81。由此，壳体81中，垫状物80容易拆装。即，例如在进行垫状物80的更换时，通过从壳体81拆下第二垫状物按压部813，能够将已使用的垫状物80从壳体81容易地取出。另外，在将新的垫状物80收纳到壳体81中后，通过将第二垫状物按压部813安装到壳体81，能够将垫状物80容易地收纳到壳体81中。
如图6所示，液滴释放装置1具有漏液传感器82。漏液传感器82例如设置在壳体81的下方(正下)。漏液传感器82检测从冲流部8漏泄的功能液。作为漏液传感器82，能够使用光学式的漏液传感器或者电极间电阻检测方式的漏液传感器等。
由漏液传感器82产生的检测信号被输出到控制装置9。由此，控制部91能够检测来自冲流部8的功能液的漏液。
(关于排液部)
冲流部8还具有排出部，该排出部用于将由垫状物80接收到的功能液从壳体81排出。参照图7～图9，对该排出部的结构进行说明。图7～图9是表示实施方式的冲流部8的一部分的正视图。在图7～图9中，示出了冲流部8中的、X轴正方向侧的端部区域、X轴负方向侧的端部区域和X轴方向上各自的中央区域。
如图7～图9所示，排液部83具有排液管830。排液管830具有多个独立排液管831、多个第一共用排液管832和第二共用排液管833。
多个独立排液管831与多个垫状物80对应地设置。具体而言，在壳体81的底部设置有多个排液口815。各排液口815设置在与垫状物80的下表面(排液面)相对的位置。独立排液管831连接于排液口815。
多个第一共用排液管832连接于多个独立排液管831中的两个以上的独立排液管831。在图示的例子中，第一共用排液管832连接于相邻的两个独立排液管831。不限定于该例，第一共用排液管832也可以连接于三个以上的独立排液管831。
在第一共用排液管832的中途部设置有开闭阀835。开闭阀835开闭第一共用排液管832。作为开闭阀835例如能够使用气动阀。
第二共用排液管833连接于多个第一共用排液管832。此处，例示了冲流部8具有三个第一共用排液管832，第二共用排液管833连接于这三个第一共用排液管832的情况的例子。此外，连接于第二共用排液管833的第一共用排液管832的数量，换言之，冲流部8具有的第一共用排液管832的数量不限于三个，可以是两个，也可以是四个以上。
第二共用排液管833连接于吸引部836。作为吸引部836，例如能够使用真空泵等。吸引部836和上述的多个开闭阀835由控制部91控制。
由垫状物80接收到的功能液通过垫状物80具有的孔从垫状物80的上表面(受液面)被引导到下表面(排液面)。之后，功能液从设置于壳体81的排液口815流入独立排液管831。流入到独立排液管831中的功能液通过第一共用排液管832，进而通过第二共用排液管833被排出到外部。
控制部91在将所有开闭阀835关闭了的状态下，使吸引部836驱动，由此使位于多个开闭阀835与吸引部836之间的多个第一共用排液管832和第二共用排液管833成为负压。然后，控制部91通过打开开闭阀835，利用负压将功能液吸引到位于已打开的开闭阀835的上游侧的独立排液管831中。
控制部91按每个开闭阀835进行准备处理和吸引处理，该准备处理将上述的处理、即在关闭了所有开闭阀835的状态下使吸引部836驱动而使比开闭阀835靠下游侧为负压，该吸引处理打开开闭阀835以将功能液吸引到独立排液管831中。由此，与将所有开闭阀835一起打开的情况相比较，能够更强力地对独立排液管831进行吸引，并且能够抑制在多个独立排液管831管中吸引力发生不均。
(关于高度调节机构)
如图7～图9所示，冲流部8还具有多个高度调节机构84。多个高度调节机构84沿着壳体81的长度方向即与输送方向正交的方向(X轴方向)彼此隔开间隔地配置。多个高度调节机构84设置在壳体81的下部，通过将壳体81的底部向上方上拉或者向下方下拉，能够调节壳体81和收纳在壳体81中的多个垫状物80的高度。
像这样，由于冲流部8具有多个高度调节机构84，能够抑制与输送方向正交的方向(X轴方向)上的壳体81和多个垫状物80的高度的不一致。即，能够将壳体81和多个垫状物80保持为水平，并且能够抑制壳体81和多个垫状物80与喷嘴616碰撞。
(液滴释放装置的动作)
接着，参照图10，对实施方式的液滴释放装置1的动作进行说明。图10是表示实施方式的液滴释放装置1执行的处理的流程的流程图。
图10所示的各处理流程按照控制装置9的控制来执行。此外，在图10中，示出了将液滴释放处理进行两次(第一液滴释放处理和第二液滴释放处理)的情况的例子。即，在图10中，例示了一边使基片S往复移动，一边在去程和回程的每一者中进行液滴释放处理的情况的例子。但不限于此，液滴释放处理的次数也可以是一次。另外，液滴释放处理的次数也可以是三次以上。
如图10所示，在液滴释放装置1中，首先进行送入处理(步骤S101)。
在送入处理开始时，基片输送机构4配置在比液滴释放处理的开始位置更靠输送方向上游的送入位置(参照图1)。在图1所示的例子中，送入位置为基片S的输送路径的最上游的位置。
在送入处理中，控制部91控制输送机器人等未图示的输送机构，将基片S载置在工作台40上。接着，控制部91控制工作台40使基片S吸附在工作台40的上表面。
接着，进行第一冲流处理(步骤S102)。在第一冲流处理中，控制部91控制基片输送机构4的移动部42，使工作台40向Y轴正方向移动。之后，控制部91在设置于工作台40的Y轴正方向侧的冲流部8到达释放头63的正下的时刻，控制释放头63，从位于垫状物80的正上的多个喷嘴616对垫状物80释放功能液。多个喷嘴616排列在输送方向(Y轴方向)和与输送方向正交的方向(X轴方向)上。功能液的释放例如按在与输送方向正交的方向(X轴方向)上排列的每一排喷嘴616进行。另外，功能液的释放从位于最靠Y轴负方向侧的排的喷嘴616起依次地进行。控制部91使功能液从所有喷嘴616释放。
功能液向垫状物80的释放位置(着落位置)可以在各喷嘴排中相同，也可以按每一喷嘴排而不同。在使着落位置按每一喷嘴排而不同的情况下，能够适当地抑制垫状物80的局部劣化或功能液的漏液。
接着，进行第一液滴释放处理(步骤S103)。在第一液滴释放处理中，控制部91在第一冲流处理后接着使工作台40向Y轴正方向移动，并且控制释放头63以从规定的喷嘴616对基片S释放功能液。在第一液滴释放处理中，使用涂敷部6具有的多个喷嘴616中的一部分的喷嘴616。在第一液滴释放处理中使用哪些喷嘴616取决于描绘图案。
接着，进行第二冲流处理(步骤S104)。在第一液滴释放处理的结束的时间点，工作台40成为位于比涂敷部6靠Y轴正方向的状态。在第二冲流处理中，控制部91控制基片输送机构4的移动部42，使工作台40向Y轴负方向移动。之后，控制部91在设置于工作台40的Y轴负方向侧的冲流部8到达释放头63的正下的时刻，控制释放头63以从位于垫状物80的正上的多个喷嘴616对垫状物80释放功能液。功能液的释放例如从位于最靠Y轴正方向侧的排的喷嘴616起依次地进行。控制部91使功能液从所有喷嘴616释放。
接着，进行第二液滴释放处理(步骤S105)。在第二液滴释放处理中，控制部91在第二冲流处理后接着使工作台40向Y轴负方向移动，并且控制释放头63以从规定的喷嘴616对基片S释放功能液。在第二液滴释放处理中，使用涂敷部6具有的多个喷嘴616中的一部分喷嘴616。在第二液滴释放处理中使用哪些喷嘴616根据描绘图案而变化。
接着，进行送出处理(步骤S106)。在第二液滴释放处理结束的时间点，工作台40成为位于比涂敷部6更靠Y轴负方向的状态。在送出处理中，控制部91控制基片输送机构4的移动部42，使工作台40向Y轴正方向移动。由此，控制部91使工作台40配置在比涂敷部6更靠Y轴正方向的送出位置。接着，控制部91解除由工作台40进行的基片S的吸附保持。接着，控制部91控制未图示的输送机器人，将基片S从工作台40取出。之后，控制部91控制基片输送机构4的移动部42，使工作台40回到送入位置。
像这样，通过在刚要开始液滴释放处理之前进行冲流处理，能够抑制喷嘴616的干燥。因此，依照实施方式的液滴释放装置1，能够抑制喷嘴616的由干燥导致的释放不良。另外，从基片S位于释放头63的正下的时刻的规定时间之前起，开始功能液的液滴的释放，由此能够使液滴释放处理时的功能液的释放稳定。
另外，在冲流处理中接收功能液的冲流部8具有排液部83，能够将由垫状物80接收到的功能液从壳体81排出。因此，依照实施方式的冲流部8，例如能够减少由人工进行的排液操作。
冲流部8具有的垫状物80为多孔体。该垫状物80能够将由受液面接收到的功能液导向壳体81的底面。尤其是，由金属多孔体构成的垫状物80耐久性高，因此更换频率低，容易维护。
此处，在第一冲流处理和第二冲流处理的任一者中，均从所有喷嘴616释放功能液。但不限于此，也可以是，控制部91在第一冲流处理中使功能液从涂敷部6具有的所有喷嘴616中的一部分释放，在第二冲流处理中使功能液从其余的喷嘴616释放。即，可以使在第一冲流处理和第二冲流处理中释放功能液的喷嘴616分开。另外，也可以在第一冲流处理和第二冲流处理中释放不同种类的功能液。
(冲流部的变形例)
接着，对上述的冲流部8的变形例进行说明。图11是变形例的冲流部8A的俯视图。图12是图11所示的XII部的放大图。
如图11和图12所示，变形例的冲流部8A具有多个垫状物80A和壳体81A。
多个垫状物80A与从释放头63释放的不同种类的功能液对应。例如，在图11所示的例子中，冲流部8A具有三个垫状物80A。这三个垫状物80A例如分别与从释放头63释放的R(红色)的墨水、G(绿色)的墨水、B(蓝色)的墨水对应。
像这样，冲流部8A也可以具有接收不同种类的功能液的多个垫状物80A。根据功能液的种类，也存在由于与不同种类的功能液混合而凝胶化的情况。对此，依照变形例的冲流部8A，通过用不同的垫状物80A接收种类不同的功能液，能够抑制由功能液彼此混合而导致的功能液的凝胶化。
此外，此处虽然省略了图示，但冲流部8A具有与多个垫状物80A对应的多个排液部83。通过采用这样的结构，在排液部83中能够抑制不同种类的功能液混合的情况。
垫状物80A是在与输送方向正交的方向(X轴方向)上延伸的部件。垫状物80A能够使用上述的多孔体或者网状体。
垫状物80A的上表面(受液面)在输送方向(Y轴方向)上的宽度D例如为0.5mm以上。具体而言，如后文所述，在变形例的冲流部8A，采用从侧方将垫状物80A插入形成于壳体81A的主体部814的槽中的方式。通过采用该结构，不需要设置例如如实施方式的壳体81具有的第二垫状物按压部813那样能够拆卸的固定部。因此，即使使垫状物80A的宽度D形成为例如0.5mm以上且小于1mm的薄型的情况下，也能够以比较简单的结构来固定该薄型的垫状物80A。另外，由于能够将多个垫状物80A以比较狭窄的间隔配置，因此能够使冲流部8A整体薄型化。
壳体81A具有主体部814和两个侧壁部817。
主体部814是在与输送方向正交的方向(Y轴方向)上延伸的部件。主体部814具有多个槽部814a。各槽部814a在与输送方向正交的方向(Y轴方向)上延伸。槽部814a的一端到达主体部814的长度方向(Y轴方向)的一端，槽部814a的另一端到达主体部814的长度方向(Y轴方向)的另一端。多个槽部814a在输送方向(X轴方向)上彼此隔开间隔地排列。
此处，参照图13，对垫状物80A和槽部814a的结构例进行说明。图13是图12所示的XIII-XIII线向视的剖视图。
如图13所示，垫状物80A在上端具有台阶部85。台阶部85分别设置在垫状物80A的Y轴正方向侧的上端和Y轴负方向侧的端部。台阶部85沿着与输送方向正交的方向(X轴方向)延伸。
槽部814a在剖视图中形成为与垫状物80A大致相同形状且比垫状物80A稍大。具体而言，壳体81A的主体部814具有垫状物按压部814b。垫状物按压部814b设置在槽部814a的上方开口边缘部。主体部814设置在输送方向(Y轴方向)上的两个开口边缘部中的正方向侧的开口边缘部。各垫状物按压部814b沿着与输送方向正交的方向(X轴方向)延伸，与垫状物80A的台阶部85相对。
像这样，通过在垫状物80A设置台阶部85，并且在壳体81A设置垫状物按压部814b，即使在垫状物80A存在翘曲的情况下，也能够利用槽部814a按压该垫状物80A的翘曲。由此，能够适当地抑制垫状物80A与喷嘴616的接触。
在各槽部814a的底部设置有至少一个排液口815，在排液口815连接有排液部83的独立排液管831。
如图11和图12所示，侧壁部817是用于封锁与输送方向正交的方向(X轴方向)上的槽部814a的开口端的部件。侧壁部817相对于主体部814能够拆装。例如，侧壁部817通过未图示的紧固部件(螺钉等)固定在主体部814。
图14是冲流部8A的端部的放大立体图。此外，在图14中示出了从主体部814拆下了侧壁部817的状态下的冲流部8A的端部。垫状物80A能够通过从主体部814拆下侧壁部817而从主体部814拆装。如图14所示，垫状物80A能够从与输送方向正交的方向(X轴方向)上的槽部814a的开口端插入到槽部814a中。
另外，垫状物80A可以被分割为多个垫状物片。通过采用该结构，能够减少垫状物80A的翘曲的影响。
(其它变形例)
在上述的实施方式中，对使用吸附式的工作台40保持基片S的情况的例子进行了说明，不过液滴释放装置1中也可以代替吸附式的工作台40而具有上浮式的工作台。作为具有上浮式的工作台的液滴释放装置，例如能够使用日本特开2022-11083号公报中记载的结构。在该情况下，例如也可以构成为能够使移动冲流部8沿着配置于上浮台的外侧的轨道移动。
液滴释放装置1也可以在工作台40的Y轴正方向侧的端部或者Y轴负方向侧的端部，按功能液的种类具有多个图5～图9所示的冲流部8。
如上所述，实施方式的液滴释放装置(作为一例，液滴释放装置1)具有工作台(作为一例，工作台40)、释放头(作为一例，释放头63)、移动部(作为一例，移动部42)和冲流部(作为一例，冲流部8、8A)。释放头具有释放功能液的多个喷嘴(作为一例，喷嘴616)，从喷嘴对位于工作台之上的基片(作为一例，基片S)释放功能液。移动部使位于工作台之上的基片和释放头相对移动。冲流部在利用移动部进行的相对移动中在释放头位于基片的上方之前接收从释放头释放的功能液。冲流部具有接收功能液的垫状物(作为一例，垫状物80、80A)和将由垫状物接收到的功能液排出的排液管(作为一例，排液管830)。
另外，实施方式的液滴释放装置具有工作台、释放头、移动部和冲流部。释放头具有释放功能液的多个喷嘴，从喷嘴对位于工作台之上的基片释放功能液。移动部使位于工作台之上的基片与释放头相对移动。冲流部在利用移动部进行的相对移动中在释放头位于基片的上方之前接收从释放头释放的功能液。冲流部具有接收功能液的垫状物。垫状物在利用移动部进行的相对移动的方向上的宽度为0.5mm以上。
另外，实施方式的液滴释放装置具有工作台、释放头、移动部和冲流部。释放头具有释放功能液的多个喷嘴，从喷嘴对位于工作台之上的基片释放功能液。移动部使位于工作台之上的基片与释放头相对移动。冲流部在利用移动部进行的相对移动中在释放头位于基片的上方之前接收从释放头释放的功能液。冲流部具有接收功能液的垫状物。垫状物为多孔体或者网状体。
因此，依照实施方式的液滴释放装置，能够抑制喷嘴的由干燥导致的功能液的释放不良。
也可以是，冲流部位于相对移动的方向(作为一例，Y轴方向)上的基片的两端部侧。通过采用该结构，例如在使基片相对于释放头往复来进行液滴释放处理的情况下，能够在去程和回程这两者中进行冲流处理。另外，也能够在去程和回程中将不同种类的功能液的冲流处理分开地实施。
也可以是，冲流部具有在相对移动的方向上排列的多个垫状物(作为一例，垫状物80A)。通过采用该结构，能够由不同的垫状物接收不同种类的功能液，由此，能够抑制例如由于功能液彼此混合而导致的功能液的凝胶化。
也可以是，冲流部具有收纳垫状物的壳体(作为一例，壳体81、81A)。也可以是，壳体在垫状物的上方且在俯视时与垫状物重叠的位置具有垫状物按压部(作为一例，第一垫状物按压部812、第二垫状物按压部813、垫状物按压部814b)。通过采用该结构，即使在垫状物存在翘曲的情况下，也能够利用垫状物按压部按压该垫状物的翘曲。由此，能够适当地抑制垫状物与喷嘴的接触，并且能够将垫状物配置在与工作台大致相同的高度。另外，能够防止垫状物的脱落。
也可以是，冲流部具有：收纳垫状物的壳体；和高度调节机构(作为一例，高度调节机构84)，其沿着壳体的长度方向(作为一例，X轴方向)设置有多个，能够调节壳体的高度。通过采用该结构，能够将壳体81和垫状物80保持为水平的，能够抑制壳体和垫状物与喷嘴发生碰撞。
也可以是，冲流部具有在与相对移动的方向正交的方向(作为一例，X轴方向)上排列的多个垫状物(作为一例，多个垫状物80)。由此，与使用一个长条状的垫状物的情况相比较，能够减小翘曲的影响。
也可以是，冲流部具有收纳垫状物的壳体。另外，实施方式的液滴释放装置也可以在壳体的下方具有检测从壳体泄漏的功能液的漏液传感器。由此，即使功能液从壳体泄漏，也能够立刻检测出该功能液的泄漏。
本次公开的实施方式在所有方面均为例示性的，而不应认为是限制性的。实际上，上述的实施方式能够以多种方式实现。另外，上述的实施方式只要不脱离所附的权利要求书及其主旨，就能够以各种方式进行省略、替换、变更。

Claims (16)

1.一种液滴释放装置，其特征在于，包括：
工作台；
释放头，其具有释放功能液的多个喷嘴，从所述喷嘴对位于所述工作台之上的基片释放所述功能液；
移动部，其使位于所述工作台之上的所述基片与所述释放头相对移动；和
冲流部，其在利用所述移动部进行的相对移动中在所述释放头位于所述基片的上方之前接收从所述释放头释放的所述功能液，
所述冲流部具有：
接收所述功能液的垫状物；和
将由所述垫状物接收到的所述功能液排出的排液管。
2.如权利要求1所述的液滴释放装置，其特征在于：
所述冲流部具有吸引部，
所述吸引部连接于所述排液管，利用负压将由所述垫状物接收到的所述功能液吸引到所述排液管中。
3.一种液滴释放装置，其特征在于，包括：
工作台；
释放头，其具有释放功能液的多个喷嘴，从所述喷嘴对位于所述工作台之上的基片释放所述功能液；
移动部，其使位于所述工作台之上的所述基片与所述释放头相对移动；和
冲流部，其在利用所述移动部进行的相对移动中在所述释放头位于所述基片的上方之前接收从所述释放头释放的所述功能液，
所述冲流部具有接收所述功能液的垫状物，
所述垫状物在利用所述移动部进行的相对移动的方向上的宽度为0.5mm以上。
4.一种液滴释放装置，其特征在于，包括：
工作台；
释放头，其具有释放功能液的多个喷嘴，从所述喷嘴对位于所述工作台之上的基片释放所述功能液；
移动部，其使位于所述工作台之上的所述基片与所述释放头相对移动；和
冲流部，其在利用所述移动部进行的相对移动中在所述释放头位于所述基片的上方之前接收从所述释放头释放的所述功能液，
所述冲流部具有接收所述功能液的垫状物，
所述垫状物为多孔体或者网状体。
5.如权利要求4所述的液滴释放装置，其特征在于：
所述垫状物为多孔树脂、金属多孔体或者多孔陶瓷。
6.如权利要求1～5中任一项所述的液滴释放装置，其特征在于：
所述冲流部位于所述相对移动的方向上的所述基片的两端部侧。
7.如权利要求1～5中任一项所述的液滴释放装置，其特征在于：
所述冲流部具有在所述相对移动的方向上排列的多个所述垫状物。
8.如权利要求7所述的液滴释放装置，其特征在于：
多个所述垫状物分别接收不同种类的功能液。
9.如权利要求1～5中任一项所述的液滴释放装置，其特征在于：
所述冲流部具有收纳所述垫状物的壳体，
所述壳体在所述垫状物的上方并且俯视时与所述垫状物重叠的位置具有垫状物按压部。
10.如权利要求1～5中任一项所述的液滴释放装置，其特征在于：
所述冲流部具有：
收纳所述垫状物的壳体；和
高度调节机构，其沿着所述壳体的长度方向设置有多个，能够调节所述壳体的高度。
11.如权利要求1～5中任一项所述的液滴释放装置，其特征在于：
所述冲流部具有在与所述相对移动的方向正交的方向上排列的多个所述垫状物。
12.如权利要求1～5中任一项所述的液滴释放装置，其特征在于：
所述冲流部具有收纳所述垫状物的壳体，
在所述壳体的下方具有检测从所述壳体泄漏的所述功能液的漏液传感器。
13.一种液滴释放方法，其特征在于，包括：
使位于工作台之上的基片与具有释放功能液的多个喷嘴的释放头相对移动的步骤；
在所述相对移动的步骤中，在所述释放头位于所述基片的上方之前使用冲流部接收从所述释放头释放的所述功能液的步骤；和
在所述相对移动的步骤中并且所述接收的步骤之后，从所述喷嘴对位于所述工作台之上的基片释放所述功能液的步骤，
所述冲流部具有：
接收所述功能液的垫状物；和
将由所述垫状物接收到的所述功能液排出的排液管。
14.一种液滴释放方法，其特征在于，包括：
使位于工作台之上的基片与具有释放功能液的多个喷嘴的释放头相对移动的步骤；
在所述相对移动的步骤中，在所述释放头位于所述基片的上方之前使用冲流部接收从所述释放头释放的所述功能液的步骤；和
在所述相对移动的步骤中并且所述接收的步骤之后，从所述喷嘴对位于所述工作台之上的基片释放所述功能液的步骤，
所述冲流部具有接收所述功能液的垫状物，
所述垫状物在所述相对移动的方向上的宽度为0.5mm以上。
15.一种液滴释放方法，其特征在于，包括：
使位于工作台之上的基片与具有释放功能液的多个喷嘴的释放头相对移动的步骤；
在所述相对移动的步骤中，在所述释放头位于所述基片的上方之前使用冲流部接收从所述释放头释放的所述功能液的步骤；和
在所述相对移动的步骤中并且所述接收的步骤之后，从所述喷嘴对位于所述工作台之上的基片释放所述功能液的步骤，
所述冲流部具有接收所述功能液的垫状物，
所述垫状物为多孔体或者网状体。
16.一种存储介质，其是计算机可读取的存储介质，存储有在计算机上工作并对液滴释放装置进行控制的程序，所述存储介质的特征在于：
所述程序在执行时使计算机控制所述液滴释放装置，以实施权利要求13～15中任一项所述的液滴释放方法。
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