1333653 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明關於一種用以藉由使用複數個光調變器元件而 將影像記錄於記錄媒體上之影像記錄裝置及影像記錄方 法。 【先前技術】 已開發出一繞射格栅類型光調變器元件，其能夠藉由利 用半導體裝置製造技術而在基板上交替地形成固定帶狀 物與移動帶狀物且相對於固定帶狀物而下垂該移動帶狀 物來改變格栅之深度。建議將此繞射格栅作為光切換元件 而用於諸如電腦直接製版（CTP)之技術中的影像記錄裝 置，因為正常反射光及繞射光之強度係藉由改變如上之繞 射格柵上之凹槽的深度而改變。 舉例而言，利用光來照射設有於影像記錄裝置中之複數 個繞射格柵類型光調變器元件，且接著將來自在固定帶狀 物及移動帶狀物定位於距離一基底表面相同之高度處之 狀態下之光調變器元件的反射光（零級光）導引至記錄媒 體並阻斷來自在下垂該移動帶狀物之狀態下之光調變器 元件的非零級光（主要為一級光），以達成記錄媒體上之影 像記錄。 日本專利申請案特許公開公報第2004_4525號（文件n 揭不以下一種技術：其校正此影像記錄裝i中之光調變器 元件之ON與〇FF狀態之間的轉變之時序，以校正自〇吓 狀態至ON狀態之轉變與自0N狀態至〇FF狀態之轉變之間 95135087 1333653 •的不對稱性、每一感光性材料之特性之差異及由光調變器 元件之照射區域之掃描方向上的長度或位置之差異所引 起之寫入區域的位置移位。 日本專利申請案特許公開公報第2〇〇1_15〇73〇號（文件 2)揭示以下一種技術：其用以藉由一機械快門而在一暫態 .回應週期期間強制地中斷來自液晶快門之光以移除藉由 液晶快門之曝光中之不均勻性的效應及一影像形成^置 丨中之液晶快門之暫態回響的差異。 在繞射格柵類型光調變器元件中，因為存在來自光源之 光的不均勻性及光調變器元件之中之特性的差異，所以即 使使所有光調變器元件處於0N狀態，得自光調變器元件 之光量亦輕微地變化。由於此變化在寫入一精細圖案之影 像中導致條紋（striped mGire)，因而重要的是藉由控制 ⑽狀態下之移動帶狀物之高度而校正來自每 元件之光量以使其均勻。 然而’在GN狀態下之移動帶狀物之高度在光調變器元 件中不同的狀況下，由於移動帶狀物在⑽與㈣狀離之 的移動量不均勾，因而自當將一指示⑽之信號輸入至 '先調變Hit件之-驅動元件時至當使得光調變器元件實 際上處於GN狀態時的時間（以下稱為“上升時間，，）及告 =-，，之信號輸入至光調變器元件之該驅動： ^時至^吏得f調變器元件實際上處於㈣狀態時的時 間（以下稱為 下降時門T门 之上升時間及下降時/ 同於另—光調變器元❹ 95135087 7 丄 W3653 在文件1中’未考慮上升時間及下降時間之不均句性， 亦即’光調變H元件相對於⑼軸之信號之移動中的時 二不均勻性。因此’當寫人在次掃福方向上延伸之具有值 定f度之線時，線寬輕微地改變。儘管文件2揭示一種用 以藉由使用機械快門來移除在液晶快門中之上升處的暫 f響應中之不均勻性之效應的技術，但由於光被機械地阻 跅，因而裝置之機構變得複雜且寫入之加速被阻止。另 外’文件2亦揭示一種控制下降處之時序以使曝光量均勻 、技術然:而，未考慮下降處之暫態響應中之 【發明内容】 本發明意欲用於一種用以藉由利用光之照射而將影像 1錄於記錄媒體上之影像記錄裝置，且當對光調變器元件 指示-預定時間週期内之寫入時，本發明之一目的係執行 在一掃描方向上藉由—恆定距離之寫入，亦即，在一垂直 於該掃描方向之方向上寫入具有恆定寬度之線。另外，即 使未知„己錄媒體之感光程度，當對每一光調變器元件指示 預定時間週期内之寫人時，—目的係在該掃描方向上藉 由一恆定距離來寫入。 根據本發明之影像記錄裝置包含：一空間光調變器，其 具有排列於一預定方向上之複數個光調變器元件；一固定 部，其用以固定藉由來自該複數個光調變器元件之信號光 =在上面記錄有影像之記錄媒體；一移動機構，其用以在 一跨越利用纟自該i數個光調變器元件之光所照射的位 置之一排列方向之主掃描方向上以一恆定速度相對於該 95135087 13J3653 先調變II而移動該固^部，並在—跨越該主掃描 .二向上相對於該空間光調變器而移動該固： 其控制空間光調變器及移動機構，以對― ^媒體執行影像記錄；-光_器’其用以偵于 .:數個光調變器元件之每一元件的光;及_移： ^其用以基於該光_器在—輸出開始信號或—輪出: 。號之輸入之後的輸出而判斷每一元件在一指示 ::輸出之開始的輸出開始信號或一指示信號二： 之:r後的切換時序之移位時間，且在二置中3 :二;含：區段’該移位區段用以根據該移位時間而 至驅動元件時移位每-元件之切換時序，且；指；= 時間週期内之寫入時，藉由移位區段對每一 二吏藉由複數個光調變器元件而對記錄媒體實 ” 丁之寫入之主掃描方向上的距離恆定。 藉由設有移位區段’當指示 几件而對記錄媒體實際上執行之寫入之主掃描方向 •上的距離恆定並達成適當影像記錄。g方向 電ί據明之一較佳具體例’移位時間判斷部包含:-=二其—“ 取樣時脈;及一上^一時脈產生電路’其用以產生 ^數器，其用以計數該等取樣時脈，以獲 95135087 9 1333653 得自田將輸出開始信號輸入至連接至每一元件 疋件時至當比較器偵測到來自光摘測器之輸出古= 電壓時之上升時間及自當將—輸出停止信號輪二參考 70件時至當比較器偵測到來自光偵測器之輸出低於：： 電壓時之下降時間，且基於該上升時間及時門= 斷每-元件之移位時間。 降時間而判 ^知Μ性材料之感絲度之狀況下， 自當將-輸出開始信號輸入至連接至每一元件於 件時至當開始記錄媒體之感光時之時間，且下降時 = 出停止信號輸入至驅動元件時至當停止記錄 媒，之感光時之時間。將每一元件之移位時間判斷為用以 補償一預定值與移位時間判斷部中之上升時間與下降時 間之間的差之間的差之時間。此使得有可能容易判斷移位 時間。 在未知感光性材料之感光程度之狀況下，移位時間判斷 邛獲取用於以複數個校正比率來補償一預定值與每一元 件之上升時間與下降時間之間的差之間的差之複數個臨 時移位時間，且藉由控制部及移位區段而將在次掃描方向 上延伸之線寫入至記錄媒體上，同時將該複數個臨時移位 時間相繼施加至每一元件。藉由指定一來自複數個線之較 佳線’可選擇一來自複數個校正比率之對應於該較佳線之 权正比率並將其輸入至移位時間判斷部，且基於該校正比 率而判斷每一元件之移位時間。此使得有可能相對較容易 地判斷移位時間。 95135087 將本發明應用於—種包含—具有若干元件之空間 :調變器之影像記錄褒置，在該等元件中之每一元件中， ^升時間及下降時間在信號光之強度改變時而改變，且可 :繞射格柵類型之光調變器元件用作此元件，其中帶狀固 疋反射表面與帶狀移動反射表面係交替地排列。 本發明亦意欲甩於一種用以藉由利用光之照射而將影 像記錄於記錄媒體上之影像記錄方法。 本發明之此等及其他目的、特徵、態樣及優點在結合所 附圖式理解時將自本發明之以下詳細描述㈣得更加顯 而易見。 【實施方式】 圖1為顯不根據本發明之第一較佳具體例之影像記錄 裝置1之構造的視圖。影像記錄裝置1具有一發射光用以 »己錄衫像之光學讀寫頭1 〇及一為固定部之固定轉鼓， 該固定轉鼓70用以將記錄媒體9固定於其外表面上。藉 由執行利用來自光學讀寫頭1〇之光之照射（曝光）的寫^ .而將影像記錄於記錄媒體9上。舉例而言，將一印刷板、 /一用以形成該印刷板之薄膜及其類似物用作記錄媒體9。 \可將一用於無板印刷之感光性轉鼓用作固定轉鼓，且 •在該狀況下，應瞭解，記錄媒體9對應於該感光性轉鼓之 表面且固定轉鼓70固定記錄媒體9以作為一單元。 固定轉鼓70藉由一馬達81而圍繞該固定轉鼓之圓 柱體表面之中心軸線旋轉，且光學讀寫頭藉此在一主 掃描方向上（在一垂直於藉由來自稍後論述之複數個光調 95135087 1333653 ，器元件的光所照射之位置之排列方向的方向上）以一恆· =速度相對於記錄媒體9而行進。光學讀寫頭1〇可在一 掃指方向（垂直於主掃描方向）上藉由一馬達82及一滾 珠螺桿83平行於固定轉鼓70之旋轉軸線而移動。藉由. 編碼器84來偵測光學讀寫頭10之位置。換言之，一包括 馬達81及82與滾珠螺桿83之移動機構在主掃描方向上-以一值定速度相對於具有空間光調變器之光學讀寫頭-而f動固定轉鼓70之外表面及記錄媒體9，且亦在跨越 主^描方向之次掃描方向上相對於光學讀寫頭ι〇而移動籲 固f轉鼓70之外表面及記錄媒體9。馬達81及82與編 碼益84連接至一通用控制部2卜且通用控制部21控制 ，達81及82與信號光自光學讀寫頭1()中之空間光調變 斋之發射，以藉由光而將影像記錄於固定轉鼓70上之記 L號產生部23中預先製備待記錄於記錄媒體9上 邱？1的貝料> 且號處理部22基於—來自通用控制 ^。號而與信號產生部23同步地接收一影像信 二二^理部22將所接收之影像信號轉換為-用於光 學讀寫頭1G之信號並接著傳輸該信號。 1。在中固 '轉豉7〇旁邊’設有-用以偵測來自光學讀寫頭 ;:，中且之二光調變器之每-光調變咖 轉移直與馬達82及滾珠螺桿83而將光學讀寫頭10 來自偵測寫頭10將_部71所通過的位置。將-1 °之輸出輸人至―計算部24。計算部24藉 95135087 12
J JUJ J :之電Λ而執行計算，其產生用以藉由來自_ 24 之计异而控制光學讀寫頭10的資料。計算部 广用以儲存來自偵測部?1及哪之資訊的記憶體 旦憶體及其類似物實施經顯示為猶後所論述之校 :里判斷部241及移位時間判斷部⑽之功能…接收 ’使用者之輸入的輪入部25冑接至計算部24。 ! 2為顯示光學讀寫頭10之内部構造的示意圖。在光 子二寫頭1〇中裝設有：―光源u’其為條型半導體雷射， ，光源11纟有經對準之複數個發光點；& 一空間光調變 器1Y，其具有經對準之複數個繞射格柵類型光調變器元 件。藉由透鏡131 (實際上由聚光透鏡、圓柱體透鏡及其 類似物組成）及稜鏡132而將來自光源丨丨之光導引至空間 光調變益12。在該狀況下，來自光源u之光為線性光（具 有光通篁線性區段之光），並被施加於經線性排列之複數 個光調變器元件上。 基於一來自裝置驅動電路丨2〇之信號而個別地控制空 間光調變器12中之每一光調變器元件，並可在發射第零 ·-級光束（正常反射光束）之狀態與發射非零級繞射光束（主 --要為第一級繞射光束（（+丨）級繞射光束及（_丨）級繞射光 束））之狀‘4之間改變每一光調變器元件。將自光調變器元 件所發射之第零級光束返回至稜鏡132，並將第一級繞射 光束導引至與稜鏡132之方向不同的方向。第一級繞射光 束藉由未圖示之光阻斷部分而被阻斷以便成為雜散光。 來自每一光調變器元件之第零級光束藉由棱鏡丨32而 95135087 13 1333653 ^ ^ 變焦透鏡133而被導引至光學讀寫頭1〇之 :部的§己錄媒體9，且光調變器元件之複數個光點影像形 一於5己錄媒體9上以便排列於次掃描方向上。換言之，在 :::器：件121中，發射第零級光束之狀態為0N狀態， "、第一級繞射光束之狀態為〇FF狀態。變焦透鏡133 之放大率可藉由一變焦透鏡驅動馬達134而改變，且待夺 錄之影像的解析度藉此改變。 圖3為經排列之光調變器元件121的放大圖。光調變器 二牛21係藉由使用半導體裝置製造技術而加以製造，且 母I光調變器元件121為格柵深度變化之繞射格栅。在每 …調元件121中，複數個移動帶狀物i2ia與複數 =固疋v狀物^^^平行地交替排列，且移動帶狀物 可相對於其後面之一基底表面而垂直地移動且固定帶狀 物121b相對於該基底表面而固定。舉例而言，格栅光閥 (eGLV)(▲為加州桑尼維爾市之Si 1 icon Light Machine的商 標）被熟知為繞射格柵類型光調變器元件。 圖4A及圖4B為各顯示在垂直於移動帶狀物121a及固 定帶狀物121b之平面處之光調變器元件121之剖面的視 圖。如圖4A中所示，當將移動帶狀物121a及固定帶狀物 121b疋位於距離一基底表面丨21c相同之高度處（換言 之，移動帶狀物121a不下垂）時，光調變器元件121之表 面變得齊平，且導引出—人射光束L1之反射光束作為第 零級光束L2。另一方面，如圖4B中所示，當移動帶狀物 121a相對於固定帶狀物12ib而向基底表面121〇下垂時， 95135087 14 1333653 .移動帶狀物121a用作繞射格柵之凹槽的底部表面，且自 光調變器元件121導引出第一級繞射光束L3(另外，高級 繞射光束），且第零級光束L2消失。因此，每一光調變器 元件121藉由使用繞射格柵而執行光調變。 圖5為用以驅動每一光調變器元件121之構造的視圖， 其顯不一用以驅動該裝置驅動電路120之操作的元件（以 下稱為‘‘驅動元件12〇a”）。驅動元件120a具有一暫存 器441a、一時脈選擇部442a、一 d/A轉換器442b及一用 以將來自D/A轉換器442b之輸出轉換為光調變器元件i2i 之實際驅動電壓的電路。將表示實際驅動電壓隨時間逐漸 變化並最終達到之目標電壓（以下稱為“目標驅動電壓” 的驅動電壓資料301及用以控制光調變器元件i2i之切換 時序的時脈選擇資料303輸入至暫存器441a，並將一群 ^制時脈3G4輸人至時脈選擇部他。該群控制時脈3〇4 ::組被相繼移位一非常短之時間的控制時脈，且亦將一 曰不最早時間點之參考控制㈣3G4a輸人至暫存器 V:::參考控制時脈304a(其在前被輸入)而將臨時儲 &中之時脈選擇資料3G3輸人至時脈選擇 選槎之並藉此選擇該群控制時脈綱中之-者。將所 脈302 Γ制時脈輸出至D/A轉換器權以作為一更新時 44^驅曰動^壓資料3〇1自暫存器441a輸入至D/A轉換器 备將更新時脈302輸入至該D/A轉換器44如時， 95135087 15 1333653 輸出驅動電壓資料301之類比信號。用於每-更新時脈 302之驅動電壓資料3〇1對應於一用於驅動光調變器元件 121之一操作的目標驅動電壓，且將一來自d/a轉換器 442b之輸出輸入至一電流源犯並在其中進一步將該輸出 轉換為電流。電流源32之一末端透過一電阻33而連接至 南電位Vcc之侧，且另一末端接地。 電流源32之兩末端透過連接焊墊34而分別連接至光調 變器兀件121之移動帶狀物121a及基底表面121c。因此， 當將驅動電壓資料301透過D/A轉換器442b及電流源犯 而轉換為電流時，將該驅動電壓資料3〇1藉由利用電阻 33之電壓降而進一步轉換為兩個連接焊墊34之間的實際 驅動電壓。因此，驅動元件12〇a可基於時脈選擇資料303 而控制（移位）光調變器元件121之切換時序。 舉例而言，當如圖5中所示將八個控制時脈（自最早控 制時脈稱為“時脈〇，，、“時脈丨”.....“時脈7” 入至時脈選擇部442a時，將時脈4用作一原始切換時序， 且當意欲提前切換時序時，順序地使用時脈3、時脈2、 時脈1及時脈〇。當意欲延遲切換時序時，順序地使用時 脈5、時脈6及時脈7。 此處，由於參考控制時脈304a經產生作為一用作一用 以切換光調變器元件.121之參考的時脈，因而在將指示 ON狀態之驅動電壓資料301輸入至暫存器441&之狀態下 將參考控制時脈304a輸入至驅動元件120a的操作對應於 輸入一指示光調變器元件121開始信號光之輸出至連接 95135087 16 1333653 ，調變器元件121之驅動元件120a中之輸出開始信號 赵知作，且在將指示OFF狀態之驅動電壓資料3〇1輸入至 ，器441a之狀態下將參考控制時脈3〇4a輸入至驅動元 < i20a的操作對應於輸入一指示光調變器元件ΐ2ι停止 ::號光，輸出至驅動元件120a中之輸出停止信號的操 。接著，時脈選擇部442a根據預先獲取之移位時間而 選擇-控制時脈，且將在影像記錄中將一輸出開始信號或 —輸出停止信號輸入至驅動元件12Ga時移位光調變器元 件121的切換時序。簡言之，時脈選擇部442a為-用以 實質上移位光調變器元件121之切換時序的移位區段。 述操作t實際上，延遲處理經適當地執行用於控 制時脈之選擇，然而，為易於理解而簡化其說明。由於在 連接焊塾34之間存在雜散電容，因而連接焊塾％之間的 實際驅動電壓隨連接焊墊34之間所界定之時間常數而變 化並逐漸向目標驅動電壓移動。 圖6為顯示裝置驅動電路12〇(見圖2)以及 22(見圖2)與空間先調變器12之構造的方塊圖= •處理部22中儲存有：一驅動電壓表22卜其表示待指示 至0N狀態下之每—光調變器元件121之驅動元件12(^的 目標驅動電壓；—上升移位時間表222，其表示在每 調變器元件121自〇FF狀態改變為ON狀態時之切換時 的移位時間；及一下降移位時間表223 ’其表示在每 調變器兀件121自⑽狀態改變為講狀態時之切換時 的移位時間。此等表係藉由圖1之校正光量判斷部241及 95135087 17 :=〗:部242根據稱後論述之方法而預先產生並 复製備^ 243中’且將其自記憶體243讀出並藉此將 “毁備於信號處理部22中。 輸：之電路120具有一相繼儲存自信號處理部22所 ^之貧料的驅動電壓/控制時脈移位暫存器441及一驅 Φ邮兀442。驅動電壓/控制時脈移位暫存器441為圖5 ::斤不之暫存器441a之陣列，且驅動單元“2為時脈選 擇。P 442a及d/Α轉換器442b之陣列。 字表示衫像之影像信號511自信號產生部23(見圖}) 相繼輸人至信號處理部22以作為—指示每—光調變器元 件121執行寫入或不執行寫入之二進位信號。施加至每一 光調支器元件121之驅動元件i2〇a的驅動電壓資料3〇1 係基於影像信號511及驅動電壓表221而產生。與此操作 同時，時脈選擇資料303係基於影像信號511及上升移位 時間表222或下降移位時間表223而相繼產生。又，一群 控制時脈304係根據圖5中所示的自外部所輸入之時脈而 在k號處理部22中產生’並將該群控制時脈304輸入至 驅動單元442。 與一預定時脈信號同步地將驅動電壓資料301及時脈 選擇資料303相繼儲存於驅動電壓/控制時脈移位暫存器 441中。直至此點之操作為一連續過程，但當將與光調變 器元件121 —樣多之驅動電壓資料301及時脈選擇資料 303儲存於驅動電壓/控制時脈移位暫存器441中時，如 參照圖5所論述，回應於參考控制時脈304a而將此等資 95135087 18 1333653 料傳輸至驅動單元442，且接著將控制時脈根據時脈選擇 育料303而自該群控制時脈304中選出，並在所選擇之控 制時脈（更新時脈302)之時序將根據驅動電壓資料3〇1之 實際驅動電壓施加至每一光調變器元件121。 ▲藉由此操作，光調變器元件121之上升時序（自〇FF狀 態切換為ON狀態之時序）藉由關於上述光調變器元件】21 之上升之移位時間自原始切換時序（上文所論述之時脈4 魯之1序）而移位，且下降時序（自⑽狀態切換為〇ff狀態 之呀序）亦藉由下降之移位時間而移位。在光調變器元件 121自ON狀態至⑽狀態而改變並自〇FF狀態至〇FF狀態 文變（亦即，切換未在切換時序加以執行）之狀況下，由 於操作未受任一選擇控制時脈的影響，因而在信號處理部 22中未偵測到光調變器元件121之上升與下降之間的差 因此^衫像彳5號511指示on狀態時，移位時間係 僅選自上升移位時間表222，且當影像信號5ΐι指示〇吓 馨狀態時，移位時間係僅選自下降移位時間表奶。 ，圖7為_示影像記錄裝f工之操作流程的流程圖。當對 影像記，裝置！中之記錄媒體9執行影像之記錄（亦即， 首先’檢查一用於記錄媒體9之感光性材料的 =貝料疋否儲存於計算部24之記憶體243中（步驟 …該等校正資料為上文所論述之驅動電縣221、上 =位時間表222及下降移位時間表挪。#儲存校正資 =、，f查是否有必要確認校正資料之修改（步驟si2)。 + [J而。在存在影像記錄裝置j之狀態改變之可能性的 95135087 U03653 狀況下，諸如在自切執行校正資料之修 1 輯一職時間的狀況下，或在自校正資料之修改而= 預疋次數之寫入的狀況下，檢查校正資料 要的。當假定影像記錄襄置工之狀態不改變時 資料之修改的確認為不必要的。 叶d斷技正 在校正資料之修改的確認為不必要之狀況下， 圖1之記憶體243將校正資粗se 要自 22老 賣出至圖6之信號處理部 22並在k唬處理部22中製備驅動電壓表a〗、上 :時間表222及下降移位時間表m(步驟si3)。隨 ^通用控制部21及信號處理部22(特別地，時脈 邛442a)而執行根據驅動電録221之光量的校正與根據 上升移位時間表222及下降移位時間表223之上升及 處之切換時序的移位’藉以執行寫入(步驟S14)。 具體言之’記錄媒體9藉由旋轉固定轉鼓7〇在垂直 猎由來自光調變器元件121的光所照射之位置之排列方 向的方向上以—值定速度相對於複數個光調變器元件121 =移動’同時自複數個光調變器元件121輸出信號光，並 、d射同時執行光量之校正及切換時序之移位。接著，與 固定轉鼓70之旋轉同步，光學讀寫頭1G在次掃描方向^ 移動’以將影像記錄於整個記錄媒體9上。固定轉鼓7〇 之外表面的移動方向（主掃描方向）（亦即，記錄媒體9之 移動方向）不JT艮於垂直於藉由光所照射之位置之排列方 向，而可為跨越該排列方向之方向。 換言之，亦有可能將以除90度外之角度跨越照射位置 95135087 20 1333653 之排列方向之方向界定為主掃描方向並將垂直於主掃描 方向之方向界定為次掃描方向。在該狀況下，施加至每一 光調邊器元件121之影像信號51丨經控制以適當地延遲， :·以便補償相對於每一光調變器元件121 t主掃描方向的 位置Μ化’以執行與照射位置之排列方向平行於次掃描方 向之狀況相同的影像記錄。關於此控制方法，已知的為日 本專利申請案特許公開公報第6_91928號或曰本專利申 籲請案特許公開公報第6_3161〇6號或其類似公報中所揭示 之技術。如此等文件中所揭示，主掃描方向可相對於垂直 於照射位置之排列方向之方向而在很大程度上傾斜，且主 掃描方向與垂直於照射位置之排列方向之方向僅必須為 不同方向。 當在記錄媒體9上影像之記錄完成之後執行下一影像 之記錄時，以一新記錄媒體交換在固定轉鼓7〇上之記錄 媒體9，且操作返回至步驟S11(步驟S15)。 • 在過去尚未使用記錄媒體9上之感光性材料且用於該 .感光性材料之校正資料在影像之記錄中未儲存於記憶體 .243中之狀況下，首先，光學讀寫頭1〇移動直至如由圖i 中之雙虛線所指示之與偵測部71相對之位置，量測來自 每一光調變器元件121之信號光的光量（步驟S16)，並獲 取驅動電壓表221。其後，校正光量之不均勻性（步^ S19 )’藉由使用偵測部71而獲取個別光調變器元件121 之上升及下降處之切換時序的移位時間以作為上升移位 時間表222及下降移位時間表223(步驟S2)，並接著執行 95135087 21 1333653 寫入（亦即，影像記錄）（步驟SI4)。 243另’在詩感光性材料之校正#料儲存於記憶體 步驟S12中判斷校正資料之修改的確認為必要 ^況下’如同在步驟训中而執行光量之量測（步驟 容許产之t查來自每一光調變器元件121之光量是否落在 , 中（步驟S18)。當該等光量落在容許度之中時， 過=轉向步驟S13中之讀出校正資料，且當該等光量未落 、許之中時，執行光量之上述校正及移位時間之判斷 (步驟训、S2)，並接著執行影像之記錄（步驟su)。斷 圖8為顯示偵測部71之構造的方塊圖。偵測部7ι包含 「光感測器7U ’該光感測器711為用以將來自光學讀寫 頭1 〇之光轉換為電類比信號之光债測器，且一與光學讀 寫頭10相對之狹縫構件712藉由光感測器川之側而，定 L光感測器711連接至放大器72卜且放大器721順序 :也連接至A/D轉換器722、光量量測電路731及記憶體 ^ °放大器721亦連接至比較器m，並將來自參考電 塵產生電路723之參考電愿輸入於比較器724中。比較器 724、比較參考電麗與來自放大器721之輸出（亦即，來自 光感測器711之輸出），且將一比較結果輸入至計數器 將時脈產生電路733中所產生之取樣時脈輸入至計 益732 )且亦將用作上文所論述之輪出開始信號及輸出 停止信號之參考控制時脈3〇4a(見圖5)輸入至計數器 732可將°十數器732處之計數儲存於記憶體734中。 圖9為顯示影像記錄裝置！在圖7之步驟加中之光量 95135087 22 1333653 的量測中之操作的視圖。在光量之量測中，狹縫構件712 位於光感測器711與空間光調變器12之間的位置處，且 該位置透過變焦透鏡133及其類似物而與複數個光調變 器元件121結合（亦即，光調變器元件ι21之光點影像形 成於該位置處）。在使得所有光調變器元件121處於⑽狀 態之後，光學讀寫頭10在由一箭頭83a所指示之方向（其 為對應於光調變器元件121之排列方向的方向並為寫入 中之次掃描方向）上相對於狹缝構件712而移動。換言 之，圖1中所示之馬達82及滾珠螺桿83充當一用以相對 於光調變器元件121而移動該狹縫構件712之狹縫構件移 動機構。使形成於狹縫構件712中之間隙之寬度（準確地 說人掃描方向上之寬度）為一光調變器元件121之光點 一象在二掃描方向上之寬度的一半（該間隙之寬度不限於 與象之一半’而可窄於該光點影像之寬度）。當光 ::寫碩10移動了一光調變器元件ΐ2ι之光點影像之寬 ^時获？轉換器722兩次偵測到來自光感測器m之輸 喿作 於取之於屮之< 測人數表不自第一光調變器元件121所 二及4之摘測次數表示自第二光調變器元件
光調變器元件121所獲 貞測-人數表不自第N 在圖8之光量量測電路=出中=值為N之兩倍)。 兩個輸出之平均值並將其進一牛韓 1 取圖1〇中所說明之 器元件⑵之光量，且如圖/^換1自每一光調變 口 u十所不而獲取光調變器元 95135087 23 1333653 件121之每一數目中的光量（以下’將該數目稱為“通道 (ch)”）。將每一通道中所獲取之光量暫時儲存於記憶體 734中，且其後將該光量傳輸至圖1中所示之計算部24 之記憶體243。 在圖7中之光量之量測後的步驟S19中，計算部24之 校正光量判斷部241將一小於來自光調變器元件121之光 量中之最小光量的值判斷為圖11中所示之目標光量，並 獲取在來自個別光調變器元件121之光量變為目標光量 之情況下的目標驅動電壓。換言之，在光調變器元件121 ® 中’如圖4A中所示，儘管使移動帶狀物121a與固定帶狀 物121b距離基底表面i21c之高度相等且獲取第零級光束 以作為一信號光’但有可能藉由使移動帶狀物121a之高 度稱微低於固定帶狀物121b之高度而減少信號光之光 量’且藉由此特性，來自每一光調變器元件121之光量經 控制以成為目標光量。在圖1〇及圖11中，假定來自光調 變器元件121之光的光點尺寸恆定，然而，當光點尺寸不 _ 均勻時’在偵測部71中設有一用以偵測光點尺寸之機 構，且基於光點尺寸及施加至整個光點之光量，獲取一具 有預疋寬度之點寫入至記錄媒體9上所需之光量經以 作為目標光量。 ’ ，U為顯不控制來自每一光調變器元件121之光量之 狀二的視圖。在圖12中，寫入有通道數目之每一框符（b〇x) 表不移動帶狀物12ia距離光調變器元件ι21中之基底表 面121c的局度，且實線框符顯示移動帶狀物i2h在未發 95135087 24 1333653 射信號光時之高度，且雙點鏈線框符顯示移動帶狀物121a 在發射#號光時之高度。一元件符號12id顯示固定帶狀 物121b之上表面距離基底表面i2ic之高度。如圖I〗中 : 所示，藉由控制移動帶狀物l21a在發射信號光時之高 度’將來自每一光調變器元件121之光量校正至目標光 量。將在校正之後施加至所有光調變器元件121的目標驅 動電壓儲存於記憶體243中以作為驅動電壓表221。 Φ 透過光量之上述校正，例如，如圖13中所示，當寫入 藉由父替地保持於ON狀態與OFF狀態下之光調變器元件 121而執行時，將主掃描方向上之〇N之掃描線（記錄為可 見影像之線）及主掃描方向上之〇FF之掃描線（記錄為不 可見影像之線）在次掃描方向上交替地記錄於諸如印刷板 或其類似物之記錄媒體9上。圖14為顯示寫入於記錄媒 體9上之整個圖案及部分放大寫入圖案（一條區 (swath)，亦即，藉由光學讀寫頭1〇經由一路徑所掃描的 籲在次掃描方向上具有寬度W之曝光區域）的示意圖。如圖 14中所不，當寫入藉由交替地保持於〇N狀態與〇FF狀態 .下之光調變器元件121而執行時，寫入回應於〇N狀態之 •光調變器元件121而在主掃描方向（垂直方向）上延伸之 .複數個線。以下，將寫入於記錄媒體上之上述圖案稱為垂 直卜點-開啟（l-dot-οη)及卜點-關閉（卜dot_off)線之 影像，且此等線之寬度相同❶儘管條區在圖14中藉由粗 線來刀割，但此等圖案不出現於實際寫入中（圖15中之情 泥同樣如此）。較佳地，目標光量經設定以使得在圖14中 95135087 25 1333653 使線之每一寬度與空間（線之間）之每一寬度相等。圖14 中所示之T1至T8分別表不將參考控制時脈3〇4a輸入至 裝置驅動電路1 20時的時間點。 如圖12中所示，在移動帶狀物121a之高度在光調變器 元件121中不均勻之狀況下，即使將指示自〇FF狀態切換 為ON狀態之信號同時輸入至連接至光調變器元件121之 驅動元件120a，由於移動帶狀物121a之移動距離如由箭 頭121e所示在光調變器元件121中不均勻，因而自〇ff 狀態至ON狀態之轉變時間亦不均勻（亦即，彼此不同）。 又，在自ON狀態至狀態之切換中，丨現相同之不均 勻性。由於繞射格柵類型之光調變器元件121為機械操作 之類比元件，因而不僅光量之校正而且諸如製造中之溫度 或誤差之其他條件可導致不均勻性。 結果，當將在每一參考控制時脈3〇4a令於⑽狀態與 OFF狀1、之間改變之信號同時輸入至每一光調變器元件並 寫入在次掃描方向上延伸之線（以下稱為“水平卜點-開 啟及卜點-關閉線之影像，，）時，每一線之寬度如圖15中 :不不恆定。因此，如圖7中所示，在光量之校正之後， 订=文所論述之用以獲取上升移位時間表挪及下降 ^間表223的操作（步驟S19、S2)。圖15顯示如同— 圖14中之整個寫人圖案及其部分放大寫人圖案。 移於判斷每一光調變器元件121之切換時序之 位時門之極^ S2)的下—論述。® 16為顯示用以判斷移 、曰操作流程的流程圖。在此操作中，首先，檢查是 95135087 26 丄川()53 否已知用於記錄媒體9之感光性材料的感光程度(步驟 ^1)且其後視其是已知還是未知而定執行不同步驟。 冑已知感光性材料之感光程度時，根據感光程度 而設定 .圖8中所示之參考電壓產生電路723中所產生的參考電壓 (步驟S211)。目17為顯示當光調變器元件121每當將參 ，考控制時脈304a輸入至驅動元件12〇a時在⑽狀態與〇FF 狀態之間改變時的來自光感測器711之感測器輸出及比 籲較器724之輸出的視圖。儘管如參照圖5所描述，感測器 輸出恰好在圖17中之參考控制時脈3〇4a之輸入之後起 動但實際上，當移位時間為〇時，由於根據來自該群控 制時脈304之中心時序之控制時脈而將電壓施加至光調 變窃το件121，因而感測器輸出之上升在自參考控制時脈 304a之輸入經過非常小之時間之後精確地開始。 在寫入中’來自光調變器元件121之光量根據參考控制 時脈304a之輸入而增加，且感光性材料之光感測在光量 φ尚於感光程度時開始。實際光感測之開始不僅視感光性材 .料之類型而定，而且視記錄媒體9之掃描速度及來自光調 變器元件121之光的光點直徑而定，且亦視待寫入之線之 -·寬度及線之密度而定。參考電壓係基於已知之感光程度而 -设疋’以便成為假定將光感測開始時來自光調變器元件 121之光輸入至光感測器711所獲取之感測器輸出之電 壓。又’參考電壓為假定在光量低於感光程度時將來自光 調變器元件121之光輸入至光感測器711所獲取之電壓。 因此，在圖17中，來自比較器724之輸出為1之週期對 95135087 27 應於感光性材料經光感挪之週期β 在設定參考電壓之接 ^ 121 U OFF ，緊接著，量測將光調變器元件 器元件⑵自⑽狀雜改變狀之上升時間及將光調變 下，“上升 及W狀態中之下降時間（以 間，，）（步驟奶2)。在圖時間”總體稱為“響應時 17中，藉由箭頭91所指示之週 元件120二且該週期為自參考控制時脈3G4a至驅動 出開始信號5二·亦即’自指示信號光之輸出之開始的輸 m W兀件l20a之輸入）至當比較器724偵測 輸出變時之_ t 參考電廢且比較器724之 時門，輅由箭頭92所指示之週期為下降 夕 〜週』為自參考控制時脈304a至驅動元件i2〇a 节：二亦即’自指不信號光之輸出之停止的輸出停止信 :驅το件120a之輸入）至當比較器m偵測到來自光 感測器7U之輸出低於參考電麗且比較器似之輸出變為 〇時之週期。® 8中所示之計數器732藉由基於參考控制 時脈304a及來自比較器724之輸出來計數來自時脈產生 電路733之取樣時脈而量測一響應時間·。將所量測之經應 時間儲存於記憶體734中並將其進一步傳輸至圖i中；‘ 之計算部24之記憶體243。 由於光調變器元件121之移動帶狀物121a振盪，因而 當光調變器元件121之狀態改變（特別地，自〇FF狀態改 變至0N狀態）時，來自光感測器711之輸出如圖17中所 示而振盪，且因此，如圖18中所示，存在來自比較器724 95135087 28 1333653 =1ι出中出現雜訊之狀況。當將機械地調變光之元件用作 光調變器元件時會出現此現象。因此，在由一元件符號 93，示，在參考控制時脈3〇4a(亦即，輸出開始信號及輸 f停止信號）至驅動元件12〇a之輸入後的一預定時間週 』期間，在偵測部71中忽略來自比較器724之輸出。藉 由此操作，上升時間91及下降時間92得以精確地量測: 。在響應時間之實際量測中，光學讀寫頭1()在次掃描方 向上移動，而所有光調變器元件l2i根據參考控制時脈 % 士在0N狀態與〇FF狀態之間同時改變，藉以相繼量測 有光調變器元件m之響應時間。19為顯示每—光 二I器元件121之響應時間之獲得及經並排地排列之水 =^點-開啟及卜點-關閉線之影像之寫入的視圖。在圖 中’時間向下側經過’元件符號n至T16表示參考控 1、脈304a至驅動元件120a之輸入時間，且在比較器 之輪出及參考控制時脈30牦之波形中，右側為i。 圖19之右邊部分顯示根據參考控制時脈 :二啟及i'點-關閉線之影像的狀態，每心 /為寫入感光性材料之週期且亦對應於當來自比較器724 之：出為1時之週期。由一元件符號94所指示之斜線表 不狹縫構件712之根據時間之經過而移動的位置。具體言 升時間及下降時間之獲得中，光學讀寫頭i 得光調變器元件121之光點影像在光調變器元件 紝里之〇N 〇FF操作之一週期期間在狹縫構件712上移動。 、’° ，變得有可能相繼量測每一光調變器元件121之上升 95135087 29 丄 W653 ^間91與下降時間92以及狹縫構件712之移動。一光調 變器元件121之弁戥旦，你叮^丄 _ 尤點衫像可藉由較緩慢地移動光學讀寫 頭1〇而在光調變器元件121之ON-OFF操作之兩個週期期 ^在狹縫構件712上移動。在該狀況下，關於_光調變器 疋件121所獲取之複數個上升時間之平均值經判斷作為 最、；上升時間，且複數個下降時間之平均值經判斷作為最 、:下降時間。換言之，當狹縫構件7丨2之間隙在—光調變 器$件121之光點影像中移動時，可藉由至少一次執行來 自光調逢器元件之信號光之輸出之開始與停止而獲得 上升時間及下降時間。此使得有可能容易且快速地獲取上 升時間及下降時間。 在獲取，一光調變器元件121之響應時間之後，藉由圖 L中之計算部24之移位時間判斷部242而將每一光調變 器元件121之上升時間及下降時間（可藉由該上升時間及 該下降時間以相等間距而寫入具有一恆定寬度之水平1 一 點開啟及1 -點—關閉線的影像）設定為目標上升時間及目 裇下降時間（以下，總體稱為“目標響應時間，，）（步驟 S213)，並判斷上升處（自〇FF狀態至on狀態之轉變處） 之切換時序的移位時間及下降處（自ON狀態至OFF狀態之 轉變處）之切換時序的移位時間，使得每一光調變器元件 121之上升時間及下降時間變為目標上升時間及目標下降 時間（步驟S214)。將上升處之所有光調變器元件ι21之 移位時間及下降處之所有光調變器元件121之移位時間 作為上升移位時間表222及下降移位時間表223而儲存於 95135087 1333653 計算部24之記憶體243中。 Λ已4知上光性材料之感光程度之狀況下，由於來自比較 用，與感光性材料之光感測相同之方式而作 因而上升時間等於自當將一輪 元件㈣料讀人至驅動 丁政* 開 錄媒體9之光感測時之時間，且 降時間等於自當將一輪出停止芦沪輸人$ 12〇a時至當停止⑽評Q Τ^#υ輸入至驅動元件 時間之η 前之上升時間與目標上升 手1之間的差之時間及用以補償校正之前之下降 降時間之間的差之時間作為上升處之移位時間i 處之移位時間來適當地校正響應時間。 光==作，有可能容易判斷當已知感光性材料之感 的移位時間。舉例而言，即使步驟sm中所獲 :之士升時間及下降時間如圖20中之元件符號w及μ 所不在通道之間變化，如在寫入水平卜 關㈣象中由圖21中之元件符號_ = =反射移位時間而使上升時間及下降時間等於所有通 、十之目標上升時間及目標下降時間。 自然地’圖21顯示光調變器元件121之切換時序經理 : = 狀況，且實際上’在校正之後之上升時間及下 降時間中存在輕微不均句性。因此，在影像記錄裝置i 中’在移位時間之判斷之後，將儲存於記憶體243中之驅 動電壓表221、上升移位時間表222及下降移位時間表如 傳輸至信號處理部22,並在光學讀寫頭1〇盥偵測部71 95135087 31 I333653 相對之狀況下執行響應時間 啟及卜點-關閉線之影像 、=即，水平卜點-開 對於空間光調變器12 ^呆乍）及狹縫構件712相 -、上升時間及下降時間（步戰幻考^表2正光 正之後的上升時間之不均 接者，檢查在校 否落在容許度之中（步 及下降時間之不均勻性是 容許度之㈣，用於判斷移位時間之;：!：，落在 i 性未落在容許度之中時，操作返回至:：：當：均勻 移位時間。 驟S214以再判斷 在移位時間之再判斷中，_進 及下降時間盥目椤卜4M 戈補乜田刖上升時間 不升時間及目標下降時間之間之差的 新移位時間（步驟S2U) 產的 (步驟咖)。按需要重複步再:後 m:r在容許度之中時’用於判斷移位；之步 之=。’操作返回至圖7中之步驟Sl4並執行影像 =錄。此時’當對光調變器元件121指示一預定時間週 士主之寫入時’藉由每一光調變器元件121之切換時序藉 '脈選擇部442a之移位而使藉由複數個光調變器元件 21而對記錄媒體9實際上執行之寫入之主掃描方向上的_ 距離值定’藉此達成適當的影像記錄。 緊接著，將進行關於在判斷移位時間之過程中未知感光 性材料之感光程度之狀況下的影像記錄裝置丨之操作的 論述。 冨未知感光性材料之感光程度時，由於不能設定對應於 95135087 32 1333653 用以光感測該感光性材料之光量的參考電壓，因而在參考 電壓產生電路723中設定一預定臨時參考電壓（步驟 -S22l )。隨後，量測每一光調變器元件！ 21之響應時間， 亦即，上升時間及下降時間（步驟S222)。 圖22為顯示來自光感測器711之感測器輸出771與臨 _時參考電壓751之間之關係的視圖。感測器輸出771之波 形被簡化。 / _ 士在圖22中，當不執行上升及下降處之切換時序的校正 和，來自比較器724之輸出（其為基於臨時參考電壓75^ 之^出且以下稱為“臨時輸出，，）形成由一元件符號7託 所指示之波形。此處，在對應於水平卜點_開啟及卜點一 關閉線之理想影像之寫入的來自比較器724之輸出形成 由元件符號756所指示之波形的狀況下（以下，將該輸 出稱為理想輸出”），若計算係基於臨時參考電壓751 而執行，則將一臨時輸出755與一理想輸出756之間的差 籲判斷作為移料間，並使上料岐前—隸時間仙 且使下降時間延遲一移位時間dT12。因此，在切換時序 .之校正後之光感測器711的輸出形成由一元件符號了以所 ·.指示之波形。 然而，當感光性材料之實際感光程度為由一元件符號 752所指示之參考電壓時（以下，將該參考電壓稱為‘‘理 > 考電壓），若藉由移位時間dTl 1及dT12來校正響 -時間則在权正後之寫入中的感光性材料上之光感測範 圍（以下，稱為過度校正輸出”）係由一元件符號757所 95135087 33 1333653 指示，且光調變器元件121之切換時序被過度地校正。換 言之’在基於一理想參考電壓752而獲取理想輸出756時 的感測器輸出形成由一元件符號773所指示之波形，且需 要使上升處之移位時間為短於dT 11之dT21並使下降處之 移位時間為短於dT12之dT22以用於該狀況下之理想輸出 的獲得。 由於未知感光性材料之感光程度及理想參考電壓，因而 不能藉由理論計算而獲取移位時間dT21及dT22。因此， 在影像記錄裝置1中，在基於圖16之步驟S222中之臨時 參考電壓751而量測響應時間之後，計算部24之移位時 ]、j斷。卩242根據臨時參考電壓1而設定目標響應時間 並將為圖22中之移位時間之dTU及叮12判斷作為最大 臨時移位時間（步驟S223)e其後，假定理想移位時間㈣ :最大臨時移位時間dT1丨之比率及理想移位時間MM與 949 時移位時間叮1 2之比率相同，則移位時間判斷部 &1由以複數個比率乘最大臨時移位時間dT11及dT12 F ί*拉ί判斷複數對臨時移位時間。複數個實驗性寫入實 ^臨控制部21及信號處理部22之控制、同時使 來執行’使用者藉由目視檢查而確認結果 圖H最終移位時間（步驟S224至S226)。 圖23為顯示圖μ之+ 流程的流程圖。在該實二^8224中之實驗性寫入之操作 1中之輪入部25 者寫入中，首先，使用者藉由圖 錄裝置1t 〗入實驗性寫入之次數並藉由影像記 之移位時間_部242來接收（步驟S31)。緊接 95135087 34 1333653 著，在移位時間判斷部242中，根據寫入之次數，獲取圖 22中之關於上升處之最大臨時移位時間dTU與下降處之 •.最大臨時移位時間dT12的複數個比率以作為校正比率 :·(步驟S32)。舉例而言，當寫入之次數為5時，獲取〇%、 25%、50%、75%及1〇〇%以作為校正比率。當寫入之次數為 Π 時’獲取 0%、10%、20%.....80%、90%及 1〇〇%以作為 校正比率。 籲在獲取所有校正比率之後，選擇一校正比率（步驟幻3) 並藉由以校正比率乘最大臨時移位時間dTll及dT12(其 ，得自圖16之步驟S223中所獲取之目標響應時間）來^ 定上升及下降處之新臨時移位時間（步驟S34)。接著，在 移位時間判斷部242、通用控制部21及信號處理部22之 控制下執行水平卜點-開啟及卜點_關閉線之影像的寫 入^同時藉由新臨時移位時間而移位上升及下降處之光調 變器元件121之切換時序（步驟S35)。在一實驗性寫入完 #成之後’檢4是否執行與寫入之次數一樣多之寫入，亦 .即，檢查是否以所有校正比率而執行寫入（步驟S36)，且 若應執行下一寫入，則再次執行校正比率之選擇、臨時移 ..位時間之判斷及寫入（步驟S33至S35)。 .如上文所論述，在計算部24中，獲取用於以複數個校 正比率來補償每一光調變器元件121之上升時間與目標 上升時間之間的差及下降時間與目標下降時間之差的複 數個臨時移位時間，並將在記錄媒體9上之次掃描方向上 延伸之線寫入至記錄媒體9上，同時將該複數個臨時移位 95135087 35 1333653 時間相繼施加至每一本细銳 對應於該複數個臨時卜f由此操作，將 複數個線排列於主掃描方向上。 於-人掃描方向上的 圖24為顯示臨時移位 變 表。垂直軸線之塑庫時門#…時間之間之關係的圖 自比較哭724的示根據臨時參考電壓⑸之來 自比U24的輪出，且不對應於 感測中之響應時間。在圖 文：…實際光 示之線表示根據臨時參考電^751 由^件符號刚所指 121中之上井_ 51之所有光調變器元件 中 升時間，且由-元件符號D10所指示之綠矣- ^臨一時參考電壓751之所有光調變器元件121中之下^ :二目表示根據臨時參考電壓751所獲取 降時間。'' $ ’且一 70件符號_表示臨時目標下 舉例而言，當實驗性寫人之次數為4時（實際上 之更多次數被設定）’在步驟S32中獲取〇%、咖、仍及 100%以作為校正比率。在步驟S33中選擇⑽之校正 並在步驟S34中將上升及下降處之移位時間設定為〇，且 在由元件符號U10及D10所指示之上升時間及 控制切換時序。 千町间愿- 緊接著，在步驟S33中選擇33%之校正比率，且上 之移位時間為校正之前之上升時間ϋ1〇與臨時目俨上 時間_之間之差的頌亦即，該等差為最大臨^位 時間），且上升時序經移位以變為在寫入中由一元 ϋΐΐ所指示之上升時序。又，下降處之移位時間為校正^ 95135087 36 3:之下且降下：:〇與臨時目標下降時間D2。之間之差的 之下降時序時序經移位以變為由-元件符號叫所指示
在當在下一步驟Μ3中選擇67^校正比率時， 升時間為由一元件符號U 使下降時間為由一元件蒋辨ηι。 ΤΙ上开時間並 來執行寫入。最…所指示之下降時間之後 時間、田&擇1〇η之校正比率時，使上升 為由:杜Γ付號_所指示之上升時間並使下降時間 為、^ Χ件符號咖所指示之下降時間，並執行寫入。 過上述操作，將在個別校正比率之狀況下的水平卜 :幵’啟及1點-關閉線之影像寫入於記錄媒體9上。隨 操作返回至圖16中之步驟咖，且水平卜點一開啟 點關閉線之影像之寫入的狀態藉由目視檢查來確 認：圖25為說明在將寫入之次數設定為卩且校正比率以 母隔10/〇而改變之狀況下之記錄媒體9的視圖。在圖25 中，由元件符號_、90卜9〇2、9〇3、9〇4、…、91〇所 指示之區域表示以下區域：在其中之每一區域中，寫入水 平1-點-開啟及1-點-關閉線之影像以作為用以檢驗分別 在0/。、10%、20%、30%、40%.....100%之校正比率下之 不均勻性的貝驗性圖案。如上文所論述，由於將在複數個 校正比率下之水平i'點—開啟及卜點一關閉線之影像寫入 於-記錄媒體9上，因而有可能藉由目視檢查而容易掌握 寫入之狀態相對於校正比率之變化的變化。 校正比率可在一有限範圍（例如，自1〇%至9〇%)内變 95135087 37 匕在該狀况下，例如，在步驟sw 寫入開始時之校正比率 ^諸如在實驗性 寫入之變化量及實驗性窝入寫處該杈正比率自先前 24 〇 及實驗性寫入之次數的資訊輸入至計算部 在使用者藉由目視檢查來確認 最適當寫入處之-區域的校正比率之後選擇執行 242(S 率或號碼輸人至移位時間判斷部 正比率或號碼而判…移：：;2中基於所輸入之校 執行寫入⑽7:步1=移，驟且接著 心不-預定時間週期内之寫入 午一1:1 ⑵之切換時序藉由時 :二^件 數個光調變琴元件丨Μ &# a之移位而使糟由複 之主掃：=二 錄媒體9實際上執行之寫人 對於下：及怪定，藉此達成適當的影像記錄。 以作:是二rtr存於記憶體-中 正比率而非移位時間。存最大臨時移位時間及校. 如上文所論述，在影像記錄裝置〗_，♦ 9上之感光性材料之感光程度時，由於基：臨二考=.· 751而獲取複數個臨時移位時間並在 入 堊 最終移位時間，因而即使未知感光程度，亦=::= 間並適當地記錄影像。通常，若試圖獲 參考電避’則有必要藉由多次寫入而檢查寫入姓 95135087 38 1333653 果，同時藉由試驗及誤差而改變參考電壓或移位時間然 而，在上述實驗性寫入中，由於在不改變臨時參考電壓 751之情況下透過一寫入而獲取理想移位時間，因而有可 旎有效地執行適當寫入。亦可以說，改變校 假定…之複數個理想參考電壓752，且== 中，亦可認為，在估計感光性材料之感光程度的同時執行 實驗性寫入。 在改變校正比率之上述方法中，當理想參考電壓752低 於臨時參考電壓751時，如圖24中所示，有必要的是， 目標上升時間U20早於根據任一光調變器元件121中之臨 時參考電壓751的上升時間ul〇，且目標下降時間D2〇遲 於根據任一光調變器元件121中之臨時參考電壓75丨的下 降時間D10。相反地，當理想參考電壓752高於臨時參考 電壓751時，有必要的是，目標上升時間U2〇遲於任一 調變器元件121中之上升時間ul〇,且目標下降時間刚 φ早於任一光調變器元件121中之下降時間D1〇。 由於可預先知道一近似感光程度，因而臨時參考電壓 .751經設定以滿足影像記錄裝置丨中之上述條件。當在 ..驗性寫入中發現臨時參考電壓751不滿足上述條件曰時， -時參考電壓751經重設以滿足上述條件。 圖26為顯示圖16之步驟S213及S214中之另—接你 圖表。在目26 +，不校正上升時間π並如由一元件^ 匕2所指示來校正下降時間〇1，且下降處之移位時間“由 箭頭來顯示。由於在光調變器元件121中之校正後之^降 95135087 39 :寺=的不均勾性與上升時間W之不均勾性相同，因而 於次掃描方向上之每—㈣ws 像時’將延伸 線幸工微地扭曲’然而，使备一始十 寬度惶定。僅當線之寬度值定m合山而使母線之 之不良效應，因為水平:啟入品質 之拉曲為不可辨別的。結1二1 -點-:閉線之影像 而執行適當寫人。 有了㈣由僅移位上升時序 達位Γ間叹疋為上升時間且不改變下降時間，並可 違成具有一恆定寬度之水平卜 影像的寫人M m及卜點-關閉線之 輪出/tm 藉僅移位在將輸出開始信號及 rm中之一者輸入至連接至每-光調變器元件 庠\t兀件i2Ga之後的每―光調變器元件之切換時 缓#取^$易地校正切換時序。換言之，若移位時間 = = 補償1定值（惶定值）及上升時間與下 升時門及L ’之間的差之時間，則可能不設定目標上 升時間及目標下降時間。 移上升時間及下降時間中之一者的方法（亦即，僅. ^輸出開始信號及輸出停止信號中之一者輸入 切調變器^件121之驅動元件120a之後的 之方法）可用於實驗性寫入。在該狀況下，使上 時間^下降時間之間的差為m之最大臨時移位 ώ八丄Γ取以僅用於上升時間及下降時間中之一者，且藉 勃Ιι另/以複數個板正比率乘最大臨時移位時間而獲取複 故時移位時間。換言之，若臨時移位時間經獲取作為 95135087 1^^3653 用於以複數個板正比率炎姑乂木 時間與下降時間之間的差來補:門一 定目標上升時間及目標下降=㈣之_’則可能不設 圖27為顯示根據本發明之第二較佳具體例之 裝置la之外觀的立體圖， ’、象。己錄 立圖28為顯示影像記錄奘罟 1?機械主要部分及功能構造的視圖。圖28中之=
丨“ L號產生部23、計算部24及 輸入425與第-較佳具體例中之該等部件相同，且 於圖27中之一控制單元20中。 八U 安“己錄裝置la為用以將光罩、導線或其類似物之圖 案的影像記錄於玻璃基板9a上用以製造玻璃光罩、薄膜 電晶體（m)液日$面板或其類似物（亦即，藉由曝光之寫入） 的裝置’且在影像記錄裝置la中，在廣義上以感光性 材料來塗佈之玻璃基板9a為一記錄媒體，該記錄媒體為 =錄有影像之資訊的實體材料。影像記錄裝置la包含一 镰。板（table)72’該台板72用以在（+Z)側上將玻璃基板 -9a固定於其表面上’且在台板72之另一側上一用以在 ^方向（主掃描方向）上移動台板72之台板移動機構85固 .定於一基座部74上。一用以偵測台板72之位置的位置偵 測模、、且85a设於基座部74上。一用以向玻璃基板9a發射 光之光學讀寫頭l〇a位於台板72之上，且光學讀寫頭i〇a 藉由一頭部移動機構86來支撐，該頭部移動機構86可在 為次掃描方向之X方向上移動。換言之’主掃描方向及次 择描方向平行於台板72,且台板移動機構85及頭部移動 95135087 1333653 機構86充當一用以在主掃描方向上以一恆定速度相對於 包括空間光調變器12(見圖28)之光學讀寫頭1〇a而移動 台板72且亦在垂直於主掃描方向之次掃描方向上相對於 光學讀寫頭10a而移動台板72的機構。如圖27中所示'， 一框架75在台板72上方附著至基座部74，且頭部移動 機構86固定於框架75上。 如圖27中所示’在影像記錄裝置ia中，一光源Ua定 位於框架75上，並透過未圖示之光纖而將來自光源Ua 之光導向於光學讀寫頭l〇a中。在此較佳具體例中，將藉 由利用紫外線之照射而被光感測之感光性材料（亦即，光 阻）之薄膜先前形成於玻璃基板9a之（ + z)侧上之主表面 上。除光源Ua定位於外部之外，光學讀寫頭1〇a之組成 元件與圖2中之光學讀寫頭1G之組成元件相同。如圖28 中所示，儘管設於光學讀寫頭1〇a中之空間光調變器Μ 之複數個光調變器元件121(見圖3)的排列方向對應°於為 X方向之次掃描方向，但僅當排财向為跨越為光學讀寫 頭l〇a之Y方向的主掃描方向之方向時，複數個光調變器 το件121之排列方向才不用必須對應於次掃描方向。換今 在第—較佳具體例中，為玻璃基板9a之移動方二 的主知描方向僅必須為跨越藉由光所照射之位置的 V* JL·. 如圖27及圖28中所示，在台板72上，一偵 设於在台72的（-Υ)側及（_χ)侧上之角落上之位置中， 且該位置不與玻璃基板9a重疊。除_部化接收在（―Ζ) 95135087 42 1333653 方向上自光學讀寫頭10a發射之光以外，偵測部化 8中之俄測部Ή具有相同構造。使形成於價測部化 狹縫構件712(見圖8)中之間隙的寬度（對應於光調變器 兀件121的排列方向之方向上的寬度)為一光調變器 121之光點影像的次掃描方向上之寬度的—半。由於 部Ha之解析度與間隙之寬度成反比例地增加，因而間隙 可能：於一光調變器元件m之光點影像的次掃 描方向上之寬度的一半。 除玻璃基板9a上之光之照射位置的轉移路徑盘圖 影像記錄裂置1中的轉移路徑不同以外，用以將影像記錚 t影像記錄裝置U中之玻璃基板9a上的感光性材料i之 操作與圖7中之操作相同。具體言之，首先，在步驟su :产：儲存校正資料(步驟S11)，且當可在無修改 使用所儲存之校正資料時，執行寫入（步驟如 校正對應於待曝光之玻璃基板9a之感光性材料的 r作:二 '驟曰SU)時，執行光量之量測（步驟S16)，且 回至光量之校正（步驟幻9)。當儘管儲存了校正資 :料但檢查修改料必要（步驟S12)時，執行 = 驟S17)，且若譃π匕兩丄 j巧里 < 里冽C步 S14) w…、而校正，則執行寫入（步驟S18、S13、 驟⑽。為必要的，則操作返回至光量之校正(步 由步驟S16'S17)中’光學讀寫頭心藉 °移動機構85及頭部移動機構86而移動直至^ 95135087 43 1333653 偵測部71 a相對之位置，且如因埜 絲m & 且如门第一較佳具體例，透過狹 、朵旦712而相繼量測自每一光調變器元件i 2 j所發射之 而光學讀寫頭l〇a藉由頭部移動機構㈣以一低速 又在次掃描方向上移動。拖士夕 m換。之，頭部移動機構86充當 一用以相對於光調變器元#彳9〗 态兀仵121而移動狹縫構件712之狹 縫構件移動機構。 ^者在光量之量測之後的光量之校正（步驟si9)，執行 =位時間之判斷(步驟S2)，且操作返回至寫入(步驟 SH)。光量之校正及移位時間之判斷的操作與第一較佳且 體例中之操作相同。 〃 在玻璃基板9a上之寫入（藉由曝光之記錄步驟 中，首先，台板72藉由台板移動機構85在（_γ)方向上相 對於包括空間光調變器12之光學讀寫頭1〇a而移動，且 來自玻璃基板9a上之光學讀寫s貝！ 〇a之光的照射位置藉 此在（+Y)方向上相對於玻璃基板9a而繼續移動（亦即 行主掃描）。與台板72之移動同時’與一自位置偵測模組 85a所輸出之信號同步地執行寫入，且此時，通用控制部 21及信號處理部22執行根據驅動電壓表221(見圖㈧之 光量之校正及根據上升移位時間表222及下降移位時間 表223之上升及下降處之切換時序的移位。藉由此操作， 對以一對應於空間光調變器12之光點影像的尺寸之寬度 而延伸於γ方向上之帶狀區域（條區）執行適當寫入。又 當照射位置到達（+Y)側上之玻璃基板9a之一末端時， 光學讀寫頭l〇a在次掃描方向（X方向）上移動了一對鹿於 95135087 44 1333653 X方向上之帶狀區域之寬度的距離，且台板72之移動方 向反向。對與在一前向路徑中所寫入的帶狀區域之側相接 ，之新帶狀區域執行台板72之後向路徑中之寫入。接 著，在影像記錄裝置la中，光學讀寫頭1〇a在X方向上 間歇地移動，而台板72在Y方向上往復地移動，以將影 像記錄於整個平面玻璃基板9a上。 如上文所論述，在影像記錄裝置la中，當將光施加至 玻璃基板9a上用以製造玻璃光罩、TFT液晶面板或其類 似物時，由於使來自個別光調變器元件121之 使上升時間及下降時間均勻，因而有可能增加所記錄之影 像的品質。 儘管以上已論述了本發明之較佳具體例’但本發明不限 於上述較佳具體例，而允許各種變化。 記錄媒體9及玻璃基板9a僅當其可相對於光學讀寫頭 〇及10a而移動時才可藉由其他方法而行進。載運^像 資訊之記錄媒體可為以感光性材料來塗佈之其他材料（諸 如P刷電路板、半導體基板或其類似物），或可為具有感 光性的其他材料。 ' 儘管上述較佳具體例中將第零級光束用作信號光以用 於寫入，但可將第一級繞射光束用作信號光。不同於上述 較佳具體例中的未被下垂之移動帶狀物121a與固定帶狀 物121b之間的相對位置關係，可使用在移動帶狀物121& 下垂之狀態下發射第零級光束之光調變器元件121。在該 等狀況下，可藉由移位光調變器元件121之切換時序來達 95135087 45 1333653 成適當的影像記錄。 若可將移動帶狀物121a及固定帶狀物121b看作帶狀反 射表面，則此等表面在嚴格意義上不必為帶狀物形狀。舉 例而言，塊形狀之上表面可用作固定帶狀物之反射表面。 光調變器元件121不限於繞射格柵類型光調變器元 件，而僅當其為多通道類型時其才可為液晶快門或其類似 物另外，光調變器元件121不限於反射光之光調變器元 件，而一雷射陣列（例如）可執行作為光調變器元件121之 功此。又，在該等狀況下，藉由切換時序之移位而校正藉 由利用來自元件之光的照射之上升時間卩下降時間的不 均勻性，藉此達成適當的影像記錄。切換時序之上述校正 適用於上升時間及下降時間在光量之校正中（亦即， 田仏號光之強度改變時）改變之光調變器元件。 可使用二維空間光調變器，且在該狀況下，將上述較佳 中用於複數個光調變器元# 121的校正應用於光 調變器元件121之每一一維陣列 1 十算部24之魏的結構可經部分地或完全地建構作為 dm”㈣例中基於校正之前的上升時間及下 ^而X取母-光調變器元件121之移位時間，但可基 ;上升及下降處之來0 丨 如，輸出與時間之改變比率7U :輸出的狀態(例 其 率）而獲取移位時間。一般而言’ i二始信號或輸出停止信號之輸入之後的光感 、'”、光偵測器)之輸出而獲取在指示信號光之輸 95135087 46 1^^3653 =始的輸出開始信號或指示信號光之輸出之停止的 1;。停止信號至連接至光調變器元件121之驅動元件 睹二之輸入之後的光調變器元件121之切換時序之移位 士 Η，且藉此有可能藉由相對於信號控制輸出而校正切換 時序來達成適當寫入。 @ 雖然來自每一光調變器元件121《光量及上升時間與 下降時間在上述較佳具體例中係藉由在次掃描方向上移 動狹縫構件712來量測，但可藉由除狹縫構件以外之機構 (例如，具有在次掃描方向上較長之複數個光接收元件的 CCD或具有光接收元件之二維陣列的CCD)來量測。 儘管在上述較佳具體例中於圖16之步驟S212至s2i4 中的所有光調變器元件121之響應時間的量測之後獲取 移位時間，但可對每一光調變器元件121相繼執行響應時 間之量測及移位時間之判斷，且在該狀況下，相對於偵測 來自光調變器元件121之光的步驟S2i2,幾乎同時執行 (亦即，對每一元件交替地執行）獲取移位時間之步 S214。 儘管已詳細地顯示並描述了本發明，但先前描述在所有 態樣中均為說明性而非限制性的。因此，應瞭解，可在不 脫離本發明之範疇的情況下設計出眾多修改及變化。 【圖式簡單說明】 圖1為顯示根據第一較佳具體例之影像記錄裝置之構 造的視圖； 圖2為顯示光學讀寫頭之内部構造的示意圖； 95135087 47 1333653 圖3為經排列之光調變器元件的放大圖； 圖4A及圖4B為光調變器元件的剖面圖； 圖5為顯示用以驅動光調變器元件之構造的視圖； 圖6為顯示裝置驅動電路以及信號處理部與空間 憂器之構造的方塊圖； 圖7為顯示影像記錄裝置之操作流程的流程圖； 圖8為顯示偵測部之構造的方塊圖； 圖9為顯示光量之量測中之操作的視圖； 圖10為顯示光感測器之輸出分佈的圖表； 圖11為顯示光量之量測結果的圖表； 的I:.為顯示控制來自每一光調變器元件之光量之狀態 像顯不當寫入垂直卜點—開啟及1_點—關閉線之影 ’二間光調變器的視圖； 意ΐ 14為顯示垂直卜點-開啟及1 ~點-關閉線之影像的示 意二；為,Μ不水平卜點-開啟及卜點—關閉線之影像的示 圖 2 0 圖17=^示用以判斷移位時間之操作流程的流程圖； 圖18 1 ‘貝不光感測器之輸出及比較器之輸出的視圖； 圖來自比較器之雜訊的視圖； 地排列之調變器元件之響應時間之獲得及經並排 視圖；平卜點—開啟及卜點-關閉線之影像之寫入的 95135087 48 1333653 圖20為顯示上升時間及下降時間的圖表； 圖21為顯示目標上升時間及目標下降時間的圖表； .圖22為顯示感測器輸出與臨時參考電壓之間之關係的 視圖； 圖23為顯示實驗性寫入之操作流程的流程圖； 圖24為顯示臨時移位時間與響應時間之間之關係的圖 表； 圖25為顯示實驗性寫入之結果的視圖； 圖26為顯示用以獲取移位時間之另一操作的圖表； 圖2 7為顯示根據第二較佳具體例之影像記錄裝置之構 造的立體圖；且 圖28為顯示影像記錄裝置之主要組成元件的視圖。 【主 要元件符號說明】 1 影像記錄裝置 la 影像記錄裝置 9 記錄媒體 9a 玻璃基板 10 光學讀寫頭 10a 光學讀寫頭 11 光源 11a 光源 12 空間光調變器 20 控制單元 21 通用控制部 95135087 49 1333653 22 23 24 25 32 33 34 70 71 71a 72 74 75 81 82 83 83a 84 85 85a 86 91 92 93 信號處理部 信號產生部 計算部 輸入部 電流源 電阻 連接焊墊 固定轉鼓 偵測部 偵測部 台板 基座部 框架 馬達 馬達 滾珠螺桿 箭頭 編碼 台板移動機構 位置偵測模組 頭部移動機構 箭頭（上升時間） 箭頭（下降時間） 元件符號 95135087 50 1333653 94 元件符號 120 裝置驅動電路 120a 驅動元件
121 光調變器元件 121a 移動帶狀物 121b 固定帶狀物 121c 基底表面 121d 元件符號 121e 箭頭 131 透鏡 132 棱鏡 133 變焦透鏡 134 變焦透鏡驅動馬達 221 驅動電壓表 222 上升移位時間表 223 下降移位時間表 241 校正光量判斷部 242 移位時間判斷部 243 記憶體 301 驅動電壓資料 302 更新時脈 303 時脈選擇資料 304 控制時脈 304a 參考控制時脈 95135087 51 驅動電壓/控制時脈移位暫存器 暫存器 驅動單元 時脈選擇部 D/A轉換器 影像信號 光感測器 狹縫構件 放大器 A/D轉換器 參考電壓產生電路 比較器 光量量測電路 計數器 時脈產生電路 記憶體 臨時參考電壓 理想參考電壓 臨時輸出 理.想輸出 過度校正輸出 感測器輸出 元件符號 元件符號 52 1333653 900 區域 901 區域 ：.902 區域 …903 零 區域 904 區域 910 區域 D1 下降時間 D2 恆定目標下降時間 • D10 下降時間 Dll 下降時序 D12 下降時間 D20 臨時目標下降時間 dTll 最大臨時移位時間 dT12 最大臨時移位時間 dT21 理想移位時間 m dT22 理想移位時間 LI 入射光束 L2 第零級光束 .L3 第一級繞射光束 T1 時間點 T2 時間點 T3 時間點 T4 時間點 T5 時間點 95135087 53 1333653 T6 時間點 Τ7 時間點 Τ8 時間點 U1 上升時間 U2 恆定目標上升時間 U10 上升時間 U11 上升時序 U12 上升時間 U20 臨時目標上升時間
Vcc 高電位 W 寬度 X 方向 Y 方向 Z 方向 95135087 54