KR100869883B1 - 화상기록 장치 및 화상기록 방법 - Google Patents

화상기록 장치 및 화상기록 방법 Download PDF

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Abstract

화상기록 장치에 있어서, 공간광변조기의 각 광변조 소자에 접속된 구동 요소에 출력 개시 신호가 입력되고 나서부터의 상승시간(U1) 및 출력 정지 신호가 입력되고 나서부터의 하강시간(D1)을, 일정한 목표상승시간(U2) 및 목표하강시간(D2)으로 되도록 각 광변조 소자의 동작 타이밍을 시프트하는 시프트 시간을 구한다. 이것에 의해, 광량 보정에 의해 상승시간 및 하강시간이 변화되는 광변조 소자여도 광량 보정후의 상승시간 및 하강시간의 격차를 억제할 수 있고, 장치를 복잡화하는 일없이 적절하게 화상을 기록할 수가 있다.
광변조 소자, 시프트 시간 결정부

Description

화상기록 장치 및 화상기록 방법{IMAGE RECORDING APPARATUS AND IMAGE RECORDING METHOD}
도 1은, 제1의 실시형태에 관한 화상기록 장치의 구성을 나타내는 도면이다.
도 2는, 광학 헤드의 내부구성을 나타내는 도면이다.
도 3은, 배열 배치된 광변조 소자의 확대 도면이다.
도 4a는, 광변조 소자의 단면도면이다.
도 4b는, 광변조 소자의 단면도면이다.
도 5는, 광변조 소자를 구동하는 구성을 나타내는 도면이다.
도 6은, 디바이스 구동 회로의 구성을 신호처리부 및 공간광변조기와 함께 나타내는 블록 도면이다.
도 7은, 화상기록 장치의 동작의 흐름을 나타내는 도면이다.
도 8은, 검출부의 구성을 나타내는 도면이다.
도 9는, 광량측정의 동작을 나타내는 도면이다.
도 10은, 포토 센서의 출력 분포를 나타내는 도면이다.
도 11은, 광량측정의 결과를 나타내는 도면이다.
도 12는, 각 광변조 소자로부터의 광량이 조정된 모양을 나타내는 도면이다
도 13은, 세로만선(縱万線:an image of vertical 1-dot-on and 1-dot-off lines) 묘화시의 공간광변조기를 나타내는 도면이다.
도 14는, 세로만선을 나타내는 도면이다.
도 15는, 가로만선(橫万線:an image of horizontal 1-dot-on and 1-dot-off lines)을 나타내는 도면이다.
도 16은, 시프트 시간결정의 흐름을 나타내는 도면이다.
도 17은, 포토 센서의 출력 및 비교기의 출력을 나타내는 도면이다.
도 18은, 비교기로부터의 노이즈를 나타내는 도면이다.
도 19는, 각 광변조 소자의 응답시간의 취득과 가로만선(万線)의 묘화를 한줄로 세워서 나타내는 도면이고, 도 20은, 상승시간 및 하강시간을 나타내는 도면이다.
도 21은, 목표상승시간 및 목표하강시간을 나타내는 도면이다.
도 22는, 센서 출력과 가(假) 기준전압과의 관계를 나타내는 도면이다.
도 23은, 시험 묘화의 흐름을 나타내는 도면이다.
도 24은, 가(假) 시프트 시간과 응답시간과의 관계를 나타내는 도면이다.
도 25은, 시험 묘화의 결과를 나타내는 도면이다.
도 26은, 시프트 시간을 구하는 다른 동작을 나타내는 도면이다.
도 27은, 제2의 실시형태에 관한 화상기록 장치의 구성을 나타내는 도면이다.
도 28은, 화상기록 장치의 주요한 구성 요소를 나타내는 도면이다.
본 발명은, 복수의 광변조 소자를 이용해서 기록 매체에 화상을 기록하는 화상기록 장치 및 화상기록 방법에 관한 것이다.
반도체장치제조 기술을 이용해서 기판위로 고정 리본과 가요(可撓:구부러지는)리본과를 번갈아 형성하고, 가요리본을 고정 리본에 대하여 휘어지게 하는 것으로써 회절격자의 깊이를 변경할 수가 있는 회절격자형의 광변조 소자가 개발되어 있다. 이러한 회절격자에서는 홈의 깊이를 변경하는 것으로써 정(正)반사광이나 회절광의 강도가 변화되기 때문에, 광의 스위칭 소자로서 CTP(Computer to Plate)등의 기술에 있어서의 화상기록 장치에의 이용이 제안되어 있다.
예컨대, 화상기록 장치에 복수의 회절격자형의 광변조 소자를 설치해서 빛을 조사하고, 고정 리본과 가요리본과가 기준면에서 같은 높이에 위치하는 상태의 광변조 소자로부터의 반사광(0차광)을 기록 매체로 이끌고, 가요리본이 휜 상태의 광변조 소자로부터의 비(非) 0차 회절광 (주로 1차 회절광)을 차광하는 것으로써, 기록 매체에의 화상기록이 실현된다.
특개 2004-4525호 공보문헌1에서는, 이러한 화상기록 장치에 있어서, 광변조 소자가 ON-OFF사이에서 천이하는 타이밍을 보정함으로써, 광변조 소자가 OFF상태로부터 ON상태로 천이할 때와 ON상태로부터 OFF상태로 천이할 때의 비대칭성, 감광 재료마다의 특성의 상이, 및, 광변조 소자마다의 조사 영역의 주사 방향의 길이의 상이나 위치의 어긋남에 기인해서 생기는 묘화영역의 어긋남을 보정하는 기술이 나 타나 있다.
또한, 특개2001-150730호공보(문헌2)에서는, 화상형성 장치에 있어서 액정 셔터의 노광량의 격차나 액정 셔터의 과도응답의 상이의 영향을 제거하기 위해서, 메커니컬 셔터로 과도응답의 기간만 액정 셔터로부터의 광을 강제적으로 중단시키는 기술이 개시되어 있다.
그런데, 회절격자형의 광변조 소자에서는, 광원으로부터의 광의 불균일이나 광변조 소자간의 특성의 차이에 의해, 모든 광변조 소자를 ON상태로 하여 각 광변조 소자로부터 도출되는 빛의 양이 약간 흩어져버린다. 이러한 격차는 정교하고 치밀한 패턴의 화상을 묘화하는 때에는 줄기모양의 얼룩의 원인으로 되기 때문에, ON상태에 있어서의 가동 리본의 높이를 조정함으로써 각 광변조 소자로부터의 광량을 동일하게 하는 보정이 중요하게 된다.
그러나, ON상태에 있어서의 가동 리본의 높이가 광변조 소자마다 상이할 경우, ON-OFF간에 있어서의 가동 리본의 이동량이 불균일하기 때문에, ON을 지시하는 신호가 광변조 소자의 구동 요소에 입력되고부터 실제로 광변조 소자가 ON상태로 될 때까지의 시간 (이하, 「상승시간」이라고 부른다.), 및, OFF를 지시하는 신호가 광변조 소자의 구동 요소에 입력되고 나서 실제로 광변조 소자가 OFF상태가 될 때까지의 시간 (이하, 「하강시간」이라고 부른다.)이, 광변조 소자마다 상이하게 된다.
문헌1에서는 이러한 상승시간 및 하강시간의 격차, 즉, 구동을 지시하는 신호에 대한 광변조 소자의 거동의 시간적인 격차에 관해서는 고려되지 않고 있다. 그 결과, 부주사 방향으로 신장하는 일정 폭의 선을 묘화했을 때에, 간신히 선폭이 변화되는 것이 된다. 또한, 문헌2에서는 액정 셔터마다의 상승시의 과도응답의 격차의 영향을 메커니컬 셔터에 의해 제거하는 기술이 개시되어 있지만, 메커니컬로 빛을 차단하기 때문에, 장치의 기구가 복잡해지는 동시에 묘화의 고속화도 방해되어 버린다. 더욱이, 노광량을 동등하게 하기 위해서 하강시의 동작 타이밍을 제어하는 수법도 개시되어 있지만, 하강시의 과도응답의 격차에 관해서는 고려되지 않고 있다.
본 발명은, 빛의 조사에 의해 기록 매체에 화상을 기록하는 화상기록 장치를 항해져 있고, 일정시간의 묘화가 각 광변조 소자에 지시되었을 때에 주사 방향으로 균일한 거리만 묘화를 한다, 즉, 주사 방향으로 수직한 방향으로 균일한 굵기의 직선을 그리는 것을 목적으로 하고 있다. 그 위에, 기록 매체의 감광 레벨이 미지일 경우에 있어서도 일정시간의 묘화가 각 광변조 소자에 지시되었을 때에 주사 방향에 균일한 거리만 묘화하는 것을 목적으로 하고 있다.
본 발명에 관한 화상기록 장치는, 소정방향으로 배열된 복수의 광변조 소자를 갖는 공간광변조기와, 상기 복수의 광변조 소자로부터의 신호광에 의해 화상이 기록되는 기록 매체를 유지하는 유지부와, 상기 복수의 광변조 소자로부터의 광이 조사되는 위치의 배열 방향에 대하여 교차하는 주주사 방향으로 상기 유지부를 상기 공간광변조기에 대하여 일정한 속도로 이동하는 동시에 상기 주주사 방향으로 교차하는 부주사 방향으로 이동하는 이동 기구와, 상기 공간광변조기 및 상기 이동 기구를 제어해서 기록 매체에의 화상기록을 하는 제어부와, 상기 복수의 광변조 소자의 각 소자로부터의 빛을 검출하는 광검출기와, 상기 각 소자에 신호광의 출력 개시를 지시하는 출력 개시 신호가 상기 각 소자에 접속된 구동 요소에 입력되고 부터의 상기 광검출기의 출력, 및, 신호광의 출력 정지를 지시하는 출력 정지 신호가 입력되고 부터의 상기 광검출기의 출력에 의거하여, 출력 개시 신호 또는 출력 정지 신호가 상기 구동 요소에 입력되고 나서부터의 상기 각 소자의 동작 타이밍의 시프트 시간을 결정하는 시프트 시간 결정부를 구비하고, 상기 구동요소가, 화상 기록시에 출력 개시 신호 또는 출력 정지 신호가 상기 구동 요소에 입력되었을 때의 상기 각 소자의 동작 타이밍을 상기 시프트 시간을 따라서 시프트하는 시프트부를 구비하고, 상기 시프트부에 의한 상기 각 소자의 동작 타이밍의 시프트에 의해, 일정 기간의 묘화가 지시되었을 경우에 상기 복수의 광변조 소자가 실제로 기록 매체 상에 묘화를 하는 상기 주주사 방향의 거리가 동일하게 된다.
시프트부를 설치하는 것으로써, 장치를 복잡화하는 일없이, 일정기간의 묘화가 지시되었을 경우에 복수의 광변조 소자가 실제로 기록 매체 상에 묘화를 하는 주주사 방향의 거리를 동일하게 할 수가 있고, 적절한 화상기록이 실현된다.
본 발명의 하나의 바람직한 형태로서는, 상기 시프트 시간 결정부가, 기준전압을 발생하는 회로와, 상기 광검출기로부터의 출력과 상기 기준전압과를 비교하는 비교기와, 샘플링 클록을 발생하는 클록 발생 회로와, 상기 샘플링 클록을 카운트함으로써, 상기 각 소자에 접속된 상기 구동 요소에 출력 개시 신호가 입력되고 나 서 상기 비교기에 의해 상기 광검출기로부터의 출력이 상기 기준전압을 넘은 것이 검출될 때까지의 상승시간과, 상기 구동 요소에 출력 정지 신호가 입력되고 나서 상기 비교기에 의해 상기 광검출기로부터의 출력이 상기 기준전압을 하회(下回)하는 것이 검출될 때까지의 하강시간을 취득하는 카운터를 구비하고, 상기 각 소자의 상기 시프트 시간이, 상기 상승시간 및 상기 하강시간에 의거해서 결정된다.
감광 재료의 감광 레벨이 기지(旣知)인 경우는, 상기 각 소자에 접속된 상기 구동 요소에 출력 개시 신호가 입력되고 나서 기록 매체의 감광이 개시할 때까지의 시간과 상기 상승시간이 같고, 상기 구동 요소에 출력 정지 신호가 입력되고 나서 상기 기록 매체의 감광이 정지할 때까지의 시간과 상기 하강시간이 같게 되어, 상기 시프트 시간 결정부에 있어서, 상기 각 소자의 상기 시프트 시간이, 상기 상승시간과 상기 하강시간과의 차와, 소정치와의 차이를 보상하는 시간으로서 결정되고, 이것으로써, 용이하게 시프트 시간이 결정된다.
감광 재료의 감광 레벨이 미지(未知)일 경우는, 상기 시프트 시간 결정부가, 상기 각 소자의 상기 상승시간과 상기 하강시간과의 차와, 소정치와의 차이를 복수의 보정 비율로 보상하는 복수의 가(假) 시프트 시간을 구하고, 상기 제어부 및 상기 시프트부에 의해, 상기 각 소자에 대하여 상기 복수의 가 시프트 시간을 순차 적용하면서 기록 매체상에 있어서 상기 부주사 방향으로 신장하는 선이 상기 기록 매체에 묘화된다. 그리고, 복수의 선 중 바람직한 선을 특별히 정함으로써, 상기 시프트 시간 결정부에, 상기 복수의 보정 비율 중 바람직한 선에 대응하는 보정 비율이 입력되고, 상기 보정 비율에 의거하여 상기 각 소자의 상기 시프트 시간이 결 정된다. 이것으로써, 비교적 용이하게 시프트 시간이 결정된다.
본 발명은, 신호광의 강도가 변경되었을 때에 상기 상승시간 및 상기 하강시간이 변화되는 소자를 갖는 공간광변조기를 구비하는 화상기록 장치에 적용되는 것이 바람직하고, 이러한 소자는, 띠형상의 고정 반사면과 가요(可撓)반사면이 번갈아 배열된 회절격자형의 광변조 소자를 들 수 있다.
본 발명은, 또한, 빛의 조사에 의해 기록 매체에 화상을 기록하는 화상기록 방법에도 적합하다.
도 1은, 본 발명의 제1의 실시형태에 관한 화상기록 장치(1)의 구성을 나타내는 도면이다. 화상기록 장치(1)는 화상기록용의 빛을 출사하는 광학 헤드(10) 및 화상이 기록되는 기록 매체(9)를 외측면에 유지하는 유지부인 유지 드럼(70)을 갖는다.
기록 매체(9)에는 광학 헤드(10)에 의한 빛의 조사(노광)에 의한 묘화에 의해 화상이 기록된다. 기록 매체(9)로서는, 예컨대, 인쇄판, 인쇄판 형성용의 필름 등을 이용할 수 있다. 또, 유지 드럼(70)으로서 무판인쇄용의 감광 드럼을 이용할 수 있게 되어도 좋고, 이 경우, 기록 매체(9)는 감광 드럼의 표면에 상당하고, 유지 드럼(70)이 기록 매체(9)를 일체적으로 유지하고 있다고 파악할 수 있다.
유지 드럼(70)은 원통면의 중심축을 중심으로 모터(81)에 의해 회전하고, 이것으로써, 광학 헤드(10)가 기록 매체(9)에 대하여 주주사(主走査) 방향으로 (후술하는 복수의 광변조 소자로부터의 광이 조사되는 위치의 배열 방향에 대하여 수직한 방향으로) 일정한 속도로 이동한다. 또한, 광학 헤드(10)는 모터(82)및 볼 나사(83)에 의해 유지 드럼(70)의 회전축에 평행한 (주주사 방향으로 수직한) 부주사(副走査) 방향으로 이동 가능하게 되어, 광학 헤드(10)의 위치는 인코더(84)에 의해 검출된다. 즉, 모터(81, 82), 볼 나사(83)를 포함하는 이동 기구에 의해, 유지 드럼(70)의 외측면 및 기록 매체(9)가, 공간광변조기를 갖는 광학 헤드(10)에 대하여 일정한 속도에서 주주사 방향으로 이동하는 동시에 주주사 방향으로 교차하는 부주사 방향으로도 이동한다. 모터(81, 82) 및 인코더(84)는 전체 제어부(21)에 접속되고, 전체 제어부(21)가 모터(81, 82) 및 광학 헤드(10)내의 공간광변조기로부터의 신호광의 출사를 제어함으로써, 유지 드럼(70)상의 기록 매체(9)에 빛에 의한 화상기록이 행하여진다.
기록 매체(9)에 기록되는 화상의 데이터는 미리 신호생성부(23)에서 준비되고 있고, 신호처리부(22)가 전체 제어부(21)로부터의 제어 신호에 의거해서 신호생성부(23)와 동기하면서 화상신호를 받는다. 신호처리부(22)는 받은 화상신호를 광학 헤드(10)용의 신호로 변환해서 송신한다.
유지 드럼(70)의 측방에는, 광학 헤드(10)내의 공간광변조기의 각 광변조 소자로부터의 빛을 검출하는 검출부(71)가 배치되고, 광학 헤드(10)는 모터(82)및 볼 나사(83)에 의해 검출부(71)를 통과하는 위치까지 이동 가능하게 된다. 검출부(71)로부터의 출력은 연산부(24)에 입력된다. 연산부(24)는 CPU에 의해 연산 처리를 하고, 검출부(71)로부터의 출력을 연산 처리함으로써 광학 헤드(10)의 제어에 이용할 수 있는 데이터를 생성한다. 연산부(24)는 검출부(71)로부터의 정보를 기억하는 메 모리(243)를 갖고, CPU이나 메모리 등에 의해, 후술하는 보정 광량결정부(corrected light amount determining part)(241) 및 시프트 시간 결정부(242)로서 나타내지는 기능이 실현된다. 또한, 연산부(24)에는 유저로부터의 입력을 접수하는 입력부(25)가 접속된다.
도 2는 광학 헤드(10)의 내부구성의 개략을 나타내는 도면이다. 광학 헤드(10)내에는, 복수의 발광점을 일렬로 갖는 바 타입의 반도체 레이져인 광원(11), 및, 회절격자형의 복수의 광변조 소자를 일렬로 배열해서 갖는 공간광변조기(12)가배치되고, 광원(11)으로부터의 빛은, 렌즈(131)(실제로는, 집광 렌즈, 실린드리칼 렌즈 등에 의해 구성된다.)및 프리즘(132)을 통해서 공간광변조기(12)로 이끌어진다. 이 때, 광원(11)으로부터의 빛은 선상광(線狀光)(광속단면이 선상인 광)이라고 하고, 라인 모양으로 배열되는 복수의 광변조 소자위로 조사된다.
공간광변조기(12)의 각 광변조 소자는 디바이스 구동 회로(120)로부터의 신호에 의거해서 개별로 제어되고, 0 차 광(정(正)반사광)을 출사하는 상태와, 비(非) 0차 회절광 (주로 1차 회절광((+1)차 회절광 및 (-1)차 회절광))을 출사하는 상태의 사이에서 천이 가능하게 된다. 광변조 소자로부터 출사되는 0차광은 프리즘(132)으로 되돌려지고, 1 차 회절광은 프리즘(132)과는 다른 방향으로 이끌어진다. 또, 미광(迷光)이 되는 것을 방지하기 위해서 1차 회절광은 도시를 생략하는 차광부에 의해 차광된다.
각 광변조 소자로부터의 0차광은 프리즘(132)에서 반사되어, 줌렌즈(133)를 통해서 광학 헤드(10)밖의 기록 매체(9)로 이끌어져, 복수의 광변조 소자의 상이 부주사 방향으로에 나란하도록 기록 매체(9)위로 형성된다. 즉, 광변조 소자(121)는 0차광을 출사하는 상태가 ON상태이며, 1차 회절광을 출사하는 상태가 OFF상태가 된다. 줌렌즈(133)은 줌렌즈 구동 모터(134)로 배율이 가변으로 되어 있고, 이것에 의해, 기록되는 화상의 해상도가 변경된다.
도 3은 배열 배치된 광변조 소자(121)의 확대도이다.광변조 소자(121)는 반도체장치제조 기술을 이용해서 제조되고, 각 광변조 소자(121)는 격자의 깊이를 변경할 수가 있는 회절격자로 되어 있다. 광변조 소자(121)에는 복수의 가요(可撓)리본(121a) 및 고정 리본(121b)이 번갈아 평행으로 배열 형성되어, 가요리본(121a)은 배후의 기준면에 대하여 승강 이동 가능하게 되고, 고정 리본(121b)은 기준면에 대하여 고정된다. 회절격자형의 광변조 소자로서는, 예컨대, GLV(그레이팅·라이트·밸브) (실리콘·라이트·미신즈(서니벨, 캘리포니아)의 등록상표)가 알려져고 있다.
도 4a 및 도 4b는, 가요리본(121a) 및 고정 리본(121b)에 대하여 수직한 면에 있어서의 광변조 소자(121)의 단면을 나타내는 도면이다. 도 4a에 나타낸 바와 같이 가요리본(121a) 및 고정 리본(121b)이 기준면(121c)에 대하여 같은 높이에 위치하는(즉, 가요리본(121a)이 휘지 않는다.) 경우에는, 광변조 소자(121)의 표면은 면이 하나가 되고, 입사광L1의 반사광이 0차광L2로서 도출된다. 한편, 도 4b에 나타낸 바와 같이 가요리본(121a)이 고정 리본(121b)보다도 기준면(121c)측으로 휘는 경우에는, 가요리본(121a)이 회절격자의 홈의 저면이 되고, 1차 회절광 L3 (더욱이, 고차회절광)이 광변조 소자(121)로부터 도출되고, 0차광L2은 소멸한다. 이렇 게, 각 광변조 소자(121)는 회절격자를 이용한 광변조를 한다.
도 5는 각 광변조 소자(121)를 구동하는 구성을 나타내는 도면이며, 도 2중의 디바이스 구동 회로(120)의 구동에 관한 요소 (이하, 「구동 요소(120a) 」라고 한다.)를 나타내고 있다. 구동 요소(120a)는, 레지스터(441a), 클록 선택부(442a) 및 D/A컨버터(442b), 및, D/A컨버터(442b)으로부터의 출력을 광변조 소자(121)의 실제의 구동 전압 (이하, 「실제 구동 전압 actual driving voltage 」라고 한다.)으로 변환하는 회로를 갖는다. 레지스터(441a)에는 실제로 구동 전압이 시간과 함께 점차 변화해서 최종적으로 도달하는 목표가 되는 전압 (이하, 「목표구동 전압 target driving voltage 」라고 한다.)를 나타내는 구동 전압 데이터(301), 및, 광변조 소자(121)의 동작 타이밍을 조정하는 클록 선택 데이터(303)가 입력되고, 클록 선택부(442a)에는 조정 클록군(304)이 입력된다. 조정 클록군(304)은, 순차 근소한 시간만 어긋난 조정 클록의 집합이며, 가장 빠른 시점을 나타내는 기준조정 클록(304a)은 레지스터(441a)에도 입력된다.
클록 선택부(442a)에는, 레지스터(441a)에 일시적으로 기억되어 있는 클록 선택 데이터(303)가 (선행해서 입력된다) 기준조정 클록(304a)에 응답해서 입력되어, 조정 클록군(304) 중 하나의 조정 클록의 선택이 행하여진다. 선택된 조정 클록은 갱신 클록(302)으로서 D/A컨버터(442b)로 출력된다.
D /A컨버터(442b)에는 레지스터(441a)로부터 구동 전압 데이터(301)가 미리 입력되고 있고, 갱신 클록(302)이 입력되면 구동 전압 데이터(301)의 아날로그 신호가 출력된다. 갱신 클록(302)마다의 구동 전압 데이터(301)는 광변조 소자(121) 를 1회 구동할 때의 목표구동 전압에 대응하고 있으며, D /A컨버터(442b)로부터의 출력은 전류원(32)에 입력되어서 전류에로 더욱 변환된다. 전류원(32)은 일단이 저항(33)을 통해서 고전위Vcc측에 접속되고, 타단이 접지된다.
전류원(32)의 양단은, 접속 패드(34)를 통해서 광변조 소자(121)의 가요리본(121a) 및 기준면(121c)에 접속된다. 따라서, 구동 전압 데이터(301)가 D/A컨버터(442b) 및 전류원(32)을 통해서 전류로 변환되면, 저항(33)에 의한 전압강하에 의해 양 접속 패드(34)사이의 실구동 전압으로 변환된다. 이상과 같이, 구동 요소(120a)는 클록 선택 데이터(303)에 의거해서 광변조 소자(121)의 동작 타이밍을 조정(시프트) 시키는 것이 가능하게 되어 있다.
예컨대, 도 5에 나타낸 바와 같이 8개의 조정 클록 (이하, 가장 이른 조정 클록으로부터 순차로 「클록0」, 「클록1」, …, 「클록7 」이라고 한다.)이 클록 선택부(442a)에 입력될 경우, 클록(4)이 본래의 동작 타이밍으로서 사용되고, 동작 타이밍을 보다 빠르게 할 때는, 클록3, 클록2, 클록1, 클록0이 순차 사용된다. 동작 타이밍을 보다 지연시키는 때에는, 클록5, 클록6, 클록7이 순차 사용된다.
여기에서, 기준조정 클록(304a)은 광변조 소자(121)의 동작의 기준이 되는 클록으로서 생성된 것이기 때문에, ON상태를 지시하는 구동 전압 데이터(301)가 레지스터(441a)에 입력된 상태에서 구동 요소(120a)에 기준조정 클록(304a)을 입력하는 동작은, 광변조 소자(121)에 신호광의 출력 개시를 지시하는 출력 개시 신호를 이 광변조 소자(121)에 접속된 구동 요소(120a)에 입력하는 동작에 상당하고, OFF 상태를 지시하는 구동 전압 데이터(301)가 레지스터(441a)에 입력된 상태에서 구동 요소(120a)에 기준조정 클록(304a)을 입력하는 동작은, 광변조 소자(121)에 신호광의 출력 정지를 지시하는 출력 정지 신호를 구동 요소(120a)에 입력하는 동작에 상당한다. 그리고, 클록 선택부(442a)가 미리 구해진 시프트 시간을 따라서 하나의 조정 클록을 선택하는 것으로써, 화상기록시에 출력 개시 신호나 출력 정지 신호가 구동 요소(120a)에 입력되었을 때의 광변조 소자(121)의 동작 타이밍이 시프트된다. 즉, 클록 선택부(442a)가 실질적으로 광변조 소자(121)의 동작 타이밍을 시프트 시키는 시프트부로 되어 있다.
또, 상기 동작에서는 실제로는 조정 클록의 선택 때문에 적당히 지연 처리가 행하여지지만, 이해를 용이하게 하기 위해서 간략히 설명하고 있다. 또한, 접속 패드(34)사이는 부유용량(浮遊容量)을 갖기 때문에, 접속 패드(34)사이의 실제의 구동 전압(실제로 구동 전압)은 접속 패드(34)사이의 시정수에 따른 변화를 하고, 시간과 함께 목표구동 전압으로 향한다.
도 6은 디바이스 구동 회로(120)(도 2참조)의 구성을 신호처리부(22)(도 2참조) 및 공간광변조기(12)와 함께 나타내는 블록도이다. 신호처리부(22)에는, ON상태일 때에 각 광변조 소자(121)의 구동 요소(120a)에 지시되는 목표구동 전압을 나타내는 구동 전압 테이블(221)이 기억되고, 더욱이, 각 광변조 소자(121)가 OFF상태로부터 ON상태로 천이할 때의 동작 타이밍의 시프트 시간을 나타내는 상승 시프트 시간 테이블 (rise shift-time table)(222) 및 ON 상태로부터 OFF상태로 천이할 때의 동작 타이밍의 시프트 시간을 나타내는 하강 시프트 시간 테이블 (fall shift-time table)(223)도 기억된다. 이것들의 테이블은 후술하는 수법으로 미리 도 1의 보정 광량결정부(241) 및 시프트 시간 결정부(242)에 의해 생성되어서 메모리(243)에 기억되고, 메모리(243)로부터 판독됨으로써 신호처리부(22)에서 준비된다.
디바이스 구동 회로(120)는, 신호처리부(22)로부터의 데이터를 순차 기억하는 구동 전압·조정 클록 쉬프트레지스터(441) 및 구동 유닛(442)을 갖는다.
구동 전압·조정 클록 쉬프트레지스터(441)는 도 5에 나타내는 레지스터(441a)의 배열이며, 구동 유닛(442)은 클록 선택부(442a) 및 D/A컨버터(442b)의 배열이다.
신호생성부(23)(도 1참조)로부터 신호처리부(22)에는, 화상을 나타내는 화상신호(511)가, 각 광변조 소자(121)에 관해서 묘화를 한다, 또는, 묘화를 하지 않는 것을 나타내는 2치(値)의 신호로서 순차 입력되어, 화상신호(511) 및 구동 전압 테이블(221)에 의거해서 각 광변조 소자(121)의 구동 요소(120a)에 주어지는 구동 전압 데이터(301)가 생성된다. 이것과 병행하여, 화상신호(511) 및 상승 시프트 시간 테이블(222) 또는 하강 시프트 시간 테이블(223)에 의거해서 클록 선택 데이터(303)가 순차 생성된다. 또한, 신호처리부(22)에서는 도 5에 나타내는 외부로부터 입력되는 클록을 따라서 조정 클록군(304)이 생성되고, 조정 클록군(304)은 구동 유닛(442)에 입력된다.
구동 전압 데이터(301) 및 클록 선택 데이터(303)는, 소정의 클록에 동기해서 구동 전압·조정 클록 쉬프트레지스터(441)에 순차 기억된다. 여기까지의 여러동작(諸動作)은 시리얼 처리이지만, 광변조 소자(121)의 수에 상당하는 구동 전압 데이터(301) 및 클록 선택 데이터(303)가 구동 전압·조정 클록 쉬프트레지스터(441)에 기억되면, 도 5에서 설명한 것 같이 기준조정 클록(304a)에 응답해서 이것들의 데이터가 구동 유닛(442)에 전송되어, 클록 선택 데이터(303)를 따라서 조정 클록군(304)으로부터 조정 클록이 선택되어, 선택된 조정 클록(갱신 클록(302))의 타이밍에서 각 광변조 소자(121)에 구동 전압 데이터(301)을 따른 실구동 전압이 주어진다.
이것에 의해, 광변조 소자(121)의 상승 타이밍(OFF상태로부터 ON상태로 천이하는 타이밍)이, 본래의 동작 타이밍(상술의 클록(4)의 타이밍)으로부터 이 광변조 소자(121)에 대응된 상승용의 시프트 시간만 시프트 되어, 하강 타이밍(ON상태로부터 OFF상태로 천이하는 타이밍)도 하강용의 시프트 시간만 시프트 된다. 또, ON상태로부터 ON상태로 이행할 경우나 OFF상태로부터 OFF상태로 이행할 경우는, 임의의 조정 클록이 선택되어도 동작에 영향은 없기 때문에, 신호처리부(22)에서는 광변조 소자(121)의 상승 및 하행의 구별이 검출되고 있지 않고, 단지 화상신호(511)가 ON상태를 나타낼 경우에 상승 시프트 시간 테이블(222)로부터 시프트 시간이 선택되어, OFF 상태를 나타낼 경우에 하강 시프트 시간 테이블(223)로부터 시프트 시간이 선택된다.
도 7은 화상기록 장치(1)의 동작의 흐름을 나타내는 도면이다. 화상기록 장치(1)에서 기록 매체(9)에 화상의 기록, 즉, 묘화가 행하여지는 때는, 우선, 기록 매체(9)에 사용되어 있는 감광 재료용의 보정 데이터(correction data)가 연산부(24)의 메모리(243)에 보존되어 있을 것인지 아닌지가 확인된다 (스텝S11).보정 데이터는, 기술의 구동 전압 테이블(221), 상승 시프트 시간 테이블(222) 및 하강 시프트 시간 테이블(223)이다. 보정 데이터가 보존되어 있을 경우, 그 보정 데이터의 수정의 확인이 필요한지 아닌지가 확인된다 (스텝S12). 예컨대, 보정 데이터의 수정 또는 그 확인이 전회(前回) 행해지고 나서 소정의 시간이 경과한 경우나, 보정 데이터의 수정이 행해지고 나서 묘화가 소정회수 행하여졌을 경우와 같이 , 화상기록 장치(1)의 상태에 변화가 생기고 있는 우려가 있을 경우에, 보정 데이터의 수정여부의 확인이 행해지고, 화상기록 장치(1)의 상태에 변화가 없다고 상정될 경우는, 보정 데이터의 수정의 확인이 불필요하다고 판단된다.
보정 데이터의 수정의 확인이 불필요할 경우는, 필요에 따라 보정 데이터가 도 1의 메모리(243)로부터 도 6의 신호처리부(22)에 판독되어, 신호처리부(22)에 구동 전압 테이블(221), 상승 시프트 시간 테이블(222) 및 하강 시프트 시간 테이블(223)이 준비된다 (스텝S13). 그 후, 전체 제어부(21) 및 신호처리부(22) (특히 클록 선택부(442a))에 의해 구동 전압 테이블(221)을 따른 광량 보정, 및, 상승 시프트 시간 테이블(222) 및 하강 시프트 시간 테이블(223)을 따른 상승시 및 하강시의 동작 타이밍의 시프트가 행하여지면서 묘화가 행하여진다 (스텝S14).
구체적으로는, 복수의 광변조 소자(121)로부터 신호광을 출력하면서, 유지 드럼(70)이 회전하는 것으로써 광변조 소자(121)로부터의 광이 조사되는 위치의 배열 방향에 대하여 수직한 방향으로 일정한 속도로 기록 매체(9)가 복수의 광변조 소자(121)에 대하여 이동하고, 이 사이에 광량 보정 및 동작 타이밍의 시프트가 행하여진다. 그리고, 유지 드럼(70)의 회전에 동기해서 광학 헤드(10)가 부주사 방향으로 이동하고, 기록 매체(9)전체에 화상이 기록된다. 또, 기록 매체(9)의 이동 방향인 유지 드럼(70)의 측면의 이동 방향(주주사 방향)은, 빛이 조사되는 위치의 배열 방향에 대하여 수직일 필요는 없고, 교차하는 방향이면 좋다.
즉, 조사 위치의 배열 방향과 수직이외의 각도에서 교차하는 방향을 주주사 방향이라고 규정하고, 이 주주사 방향으로 수직한 방향을 부주사 방향이라고 규정하는 것도 가능하다. 이 경우에는, 각 광변조 소자(121)의 주주사 방향에 관한 위치의 격차가 보상되도록, 각 광변조 소자(121)에 주어지는 화상신호(511)를 적당히 지연 제어시키는 것으로써, 조사 위치의 배열 방향이 부주사 방향과 일치할 경우와 같은 기록이 행하여진다. 또, 이 제어에 관해서는, 본출원인에 의한 특개평6-91928호공보 혹은 특개평6-316106호공보에 기재의 기술등이 알려져 있다. 이것들의 문헌에 기재되어 있는 것 같이, 주주사 방향은, 조사 위치의 배열 방향으로 수직한 방향에 대하여 크게 경사하고 있어도 좋고, 주주사 방향과 조사 위치의 배열 방향으로 수직한 방향과는 서로 다르게 되어 있으면 좋다.
기록 매체(9)에의 화상의 기록이 완료하고, 다음 화상의 기록이 행하여질 경우에는, 유지 드럼(70)상의 기록 매체(9)가 교환되어서 스텝S11으로 되돌아간다 (스텝OS15).
화상의 기록에 있어서, 기록 매체(9)상의 감광 재료가 과거에 사용되는 것은 아니고, 이 감광 재료용의 보정 데이터가 메모리(243)에 기억되어 있지 않은 경우는, 우선, 광학 헤드(10)가 도 1 중에 2점 쇄선으로나타낸 바와 같이 검출부(71)에 대향하는 위치까지 이동해서 각 광변조 소자(121)로부터의 신호광의 광량이 측정되어 (스텝S16), 구동 전압 테이블(221)이 구하여진다. 그 후, 광량의 격차의 보정이 행해지고 나서 (스텝S19), 검출부(71)를 이용해서 각 광변조 소자(121)의 상승 및 하강시의 동작 타이밍의 시프트 시간이 상승 시프트 시간 테이블(222) 및 하강 시프트 시간 테이블(223)로서 구해지고 (스텝S2), 묘화 (즉, 화상기록)이 행하여진다 (스텝S14).
한편, 감광 재료용의 보정 데이터가 메모리(243)에 기억되고 있고, 또한, 스텝S12에서 그 보정 데이터의 수정의 확인이 필요하다고 판단된 경우는, 스텝S16의 경우와 같이 광량측정이 행하여지고 (스텝S17), 각 광변조 소자(121)로부터의 광량이 허용 범위내인지 아닌지 확인된다 (스텝SL]8). 광량이 허용 범위내의 경우는 스텝S13의 보정 데이터의 판독을 이행하고, 허용 범위내가 아닐 경우는 상술의 광량 보정 및 시프트 시간의 결정이 행하여지고 (스텝S19, S2), 그 후, 화상의 기록이 행하여진다 (스텝S14).
도 8은 검출부(71)의 구성을 나타내는 도면이다.검출부(71)는 광학 헤드(10)로부터의 광을 전기적 아날로그 신호 (electrical analog signal)로 변환하는 광검출기인 포토 센서 (Photo sensor)(711)을 구비하고, 포토 센서(711)의 광학 헤드(10)측에는 슬릿(712)이 설치된다. 포토 센서(711)는 증폭기(amplifier)(721)에 접속되어, 증폭기(721)는 A/D컨버터(722), 광량측정 회로 (light amount measuring circuit)(731) 및 메모리(734)에 순차로 접속된다. 증폭기(721)는 비교기(724)에도 접속되고, 비교기(724)에는 기준전압발생 회로 (reference voltage generating circuit)(723)로부터의 기준전압도 입력된다. 비교기(724)에서는 기준전압과 증폭기(721)로부터의 출력 (즉, 포토 센서(711)로부터의 출력)이 비교되어, 비교 결과 가 카운터(732)에 입력된다. 카운터(732)에는 클록 발생 회로(733)에서 발생되는 샘플링 클록이 입력되고, 기술의 출력 개시 신호 및 출력 정지 신호로서의 역할을 다 하는 기준조정 클록(304a)(도 5참조)도 입력된다. 그리고, 카운터(732)에서의 카운트수가 메모리(734)에 보존 가능하게 된다.
도 9는, 도 7의 스텝S16의 광량측정에 있어서의 화상기록 장치(1)의 동작을 나타내는 도면이다. 광량측정에서는 슬릿(712)은 포토 센서(711)와 공간광변조기(12)와의 사이에 있어서의 줌렌즈(133)등에 의한 복수의 광변조 소자(121)의 결상위치(image forming position)에 배치되어, 모든 광변조 소자(121)가 ON상태로 되고 나서 광학 헤드(10)가 화살표(83a)로 나타내는 방향(광변조 소자(121)의 배열 방향에 대응하는 방향이며, 묘화시의 부주사 방향)에 슬릿(712)에 대하여 이동한다. 즉, 도 1에 나타내는 모터(82)및 볼 나사(83)가 슬릿(712)을 광변조 소자(121)에 대하여 이동하는 슬릿 이동 기구로 되어 있다. 슬릿(712)에 형성되어 있는 간격의 폭 (정확하게는, 부주사 방향의 폭)은 하나의 광변조 소자(121)의 상의 부주사 방향의 폭의 반이 되고 (상의 폭보다도 좁으면, 간격의 폭은 상의 반에는 한정되지 않는다.), 광학 헤드(10)가 하나의 광변조 소자(121)의 상의 폭만큼 이동하는 사이에 A/D컨버터(722)가 포토 센서(711)로부터의 출력을 2회 검출한다. 이것에 의해, 도 10에 예시하는 출력 분포를 얻을 수 있다.도 10에 있어서 검출 회수1, 2가 최초의 광변조 소자(121)로부터 얻을 수 있는 출력을 나타내고, 검출 회수3, 4가 2번째의 광변조 소자(121)로부터 얻어진 출력을 나타내고, 검출 회수(M-1), M이 N번째(M은 N의 2배의 값이다.)의 광변조 소자(121)로부터 얻을 수 있는 출력을 나타낸다.
도 8의 광량측정 회로(731)에서는 도 10에 나타내는 출력의 2개씩의 평균을 구하고, 더욱이 광변조 소자(121)로부터의 광량으로 변환하는 것으로써, 도 11에 나타낸 바와 같이 광변조 소자(121)의 번호 (이하, 「채널(ch)」이라고 부른다.) 마다의 광량이 구하여진다. 구해진 채널마다의 광량은 메모리(734)에 일단 보존되고, 그 후, 도 1에 나타내는 연산부(24)의 메모리(243)에 전송된다.
도 7의 광량측정후의 스텝S19에서는, 연산부(24)의 보정 광량결정부(241)가, 각 광변조 소자(121)로부터의 광량 중 최소의 것보다도 작은 값을 도 11에 나타내는 목표광량 (target light amount)로서 결정하고, 각 광변조 소자(121)로부터의 광량이 목표광량이 될 때의 목표구동 전압을 구한다.즉, 광변조 소자(121)에서는 도 4a에 나타낸 바와 같이, 가요리본(121a)와 고정 리본(121b)과의 기준면(121c)으로부터의 높이를 동등하게 하는 것으로써, 0차광이 신호광으로서 얻어지나, 가요리본(121a)의 높이를 고정 리본(121b)의 높이보다도 약간 낮게 하는 것으로써 신호광의 광량을 저하시킬 수 있고, 이 성질을 이용해서 각 광변조 소자(121)로부터의 광량이 목표광량으로 조정된다. 또, 도 10 및 도 11에서는, 각 광변조 소자(121)로부터의 빛의 스폿의 크기가 일정한 것을 전제로 하고 있지만, 스폿의 크기에 격차가 있을 경우는, 검출부(71)에 스폿의 크기를 검출하는 기구를 설치하고 나서, 스폿의 크기 및 그 스폿 전체에 주어지는 광량에 의거해서 기록 매체(9)에 소정의 폭의 점을 묘화할 때에 필요한 광량이 목표광량으로서 구하여진다.
도 12는 각 광변조 소자(121)로부터의 광량이 조정된 모양을 나타내는 도면이다. 도 12에 있어서 채널을 기입한 박스는, 광변조 소자(121)에 있어서의 가요리 본(121a)의 기준면(121c)으로부터의 높이를 표현하고 있고, 실선의 박스는 신호광을 출사하지 않을 때의 가요리본(121a)의 높이를 나타내고, 2 점쇄선의 박스는 신호를 출사할 때의 가요리본(121a)의 높이를 나타내고 있다. 부호121d는 기준면(121c)으로부터의 고정 리본(121b)의 상면의 높이를 나타내고 있다.도 12에 나타낸 바와 같이, 신호광을 출사할 때의 가요리본(121a)의 높이를 조정함으로써, 각 광변조 소자(121)로부터의 광량이 목표광량에 보정된다. 그리고, 보정후의 모든 광변조 소자(121)에 주어지는 목표구동 전압이, 구동 전압 테이블(221)로서 메모리(243)에 보존된다.
이상의 광량 보정에 의해, 예컨대, 도 13에 나타낸 바와 같이 광변조 소자(121)를 하나 걸러서 ON상태로 고정해서 묘화를 하면, ON의 주사선 (scaming line)(가시상 (visible image)로서 기록되는 선)과 OFF의 주사선(불가시상 (invisible image)로서 기록되는 선)이 인쇄판 등의 기록 매체(9)위로 부주사 방향에 번갈아 기록된다. 도 14는, 기록 매체(9)위로 형성되는 묘화 패턴 전체와, 그 묘화 패턴의 일부(1스와스 분.즉, 광학 헤드(10)에 의해 한번에 주사될 수 있는 만큼의 부주사 방향폭 W의 노광 영역)의 묘화 패턴을 확대 표시한 것을 합쳐서 나타내는 개념도이다. 이 도면에 나타낸 바와 같이, 광변조 소자(121)를 1개 걸러서 ON상태로 고정해서 묘화를 하면, ON상태의 광변조 소자(121)에 대응해서 주주사 방향(세로방향)으로 신장하는 복수의 선이 묘화된다. 이하 기록매체상에 형성되는 이 묘화 패턴을 세로만선 (縱万線: an image of vertical 1-dot-on and 1-dot-off lines) 이라고 부른다. 또, 이것들의 선의 굵기는 동일하게 된다. 도 14에서는 스 와스 사이를 굵은 선으로 구분하고 있지만, 실제의 묘화에서는 이러한 패턴은 나타나지 않는다 (도 15에 있어서도 같음). 또, 바람직하게는, 도 14에 있어서 선의 폭과 스페이스(선의 사이)의 폭이 동등하게 되도록 목표광량이 설정된다. 또한, 도 14에 나타내는 T1∼T8은 기준조정 클록(304a)이 디바이스 구동 회로(120)에 입력되는 시점을 나타내고 있다.
그런데, 도 12에 나타낸 바와 같이, 광변조 소자(121) 마다 가요리본(121a)의 높이가 다른 경우, 동시에 OFF상태로부터 ON상태에의 천이를 지시하는 신호가 각 광변조 소자(121)에 접속된 구동 요소(120a)에 입력되었다고 하더라도, 화살표(121e)에서 나타낸 바와 같이 광변조 소자(121) 마다 가요리본(121a)이 이동하는 거리가 다르기 때문에 OFF상태로부터 ON상태로 천이할 시간이 불균일하게 된다.ON 상태로부터 OFF상태로 천이할 때에도 같은 격차가 생긴다. 또, 회절격자형의 광변조 소자(121)는 기계적으로 동작하는 아날로그 소자이기 때문에, 광량 보정뿐만 아니라, 온도나 제조 오차라는 다른 조건도 격차의 원인이 된다.
그 결과, 각 광변조 소자(121)에 기준조정 클록(304a) 마다 동시에 ON상태와 OFF상태와의 사이에서 천이하는 신호가 입력되어서 부주사 방향으로 신장하는 선(이하 가로만선(an image of horizontal 1-dot-on and 1-dot-off Lines)이라고 한다)의 묘화가 행하여졌을 경우에, 도 15에 나타낸 바와 같이 선의 굵기가 일정하지 않게 된다. 그래서, 도 7에 나타낸 바와 같이 광량 보정후에 기술의 상승 시프트 시간 테이블(222) 및 하강 시프트 시간 테이블(223)을 구하는 처리가 행하여진다 (스텝S19, S2). 또, 도 15에서는 도 14와 같이, 묘화 패턴 전체와 그 일부를 확대 한 것을 나타내고 있다.
다음에, 각 광변조 소자(121)의 동작 타이밍의 시프트 시간을 결정하는 처리(스텝S2)에 관해서 설명한다. 도 16은 시프트 시간을 결정하는 처리의 흐름을 나타내는 도면이며, 이 처리에서는, 기록 매체(9)에 사용되는 감광 재료의 감광 레벨이 기지인지 아닌지 확인되고 (스텝S201), 그 후, 기지의 경우와 기지가 아닌 경우로 다른 공정이 행하여진다.
감광 재료의 감광 레벨이 기지인 경우, 도 8에 나타내는 기준전압발생 회로(723)가 생성하는 기준전압이 감광 레벨에 맞춰서 설정된다 (스텝S211). 도 17은, 기준조정 클록(304a)이 구동 요소(120a)에 입력될 때마다 광변조 소자(121)를 ON상태와 OFF상태의 사이에서 천이시켰을 때의 포토 센서(711)로부터의 센서 출력 및 비교기(724)의 출력을 나타내는 도면이다. 또, 도 17에서는 기준조정 클록(304a)이 입력된 직후에 센서 출력이 상승하도록 나타내고 있으나, 도 5를 참조해서 설명한 것 같이, 실제로는 시프트 시간이 0의 경우는 조정 클록군(304) 중 중앙의 타이밍의 조정 클록에 따라서 광변조 소자(121)에 전압이 주어지기 때문에, 정확하게는 기준조정 클록(304a)의 입력으로부터 미소시간경과 후에 센서 출력의 상승을 개시한다.
묘화시에는, 기준조정 클록(304a)의 입력을 따라서 광변조 소자(121)로부터의 광량이 증대하고, 광량이 감광 레벨을 초과한 시점에서 감광 재료의 감광이 개시된다. 실제의 감광의 개시는, 감광 재료의 종류뿐만 아니라, 기록 매체(9)의 주사 속도, 광변조 소자(121)로부터의 광의 스폿 지름 (spot diameter)에 의존하고, 묘화하고 싶은 선의 폭, 선의 농도에도 의존한다. 기준전압은 이 감광이 개시하는 시점에서 임시로 광변조 소자(121)로부터의 빛을 포토 센서(711)에 입력했을 경우에 얻을 수 있는 센서 출력의 전압으로 되도록 기지의 감광 레벨에 의거해서 설정된 전압이다. 또한, 기준전압은 광량이 감광 레벨을 하회한 시점에서 임시로 광변조 소자(121)로부터의 빛을 포토 센서(711)에 입력했을 경우에 얻을 수 있는 전압이기도 하다. 따라서, 도 17에 있어서 비교기(724)로부터의 출력이 1로 되어 있는 기간은 감광 재료가 감광하는 기간에 상당한다.
기준전압이 설정되면, 다음에, 광변조 소자(121)를 OFF상태로부터 ON상태로 천이시킬 때의 상승시간과 ON상태로부터 OFF상태로 천이시킬 때의 하강시간 (이하, 「상승시간」 및 「하강시간」을 「응답 시간 (response times)」이라고 총칭한다.)가 측정된다 (스텝S212). 도 17에 있어서 부호91로 나타내는 화살표의 기간이 상승시간이며, 기준조정 클록(304a)의 구동 요소(120a)에의 입력, 즉, 신호광의 출력 개시를 지시하는 출력 개시 신호의 구동 요소(120a)에의 입력으로부터, 비교기(724)에 의해 포토 센서(711)로부터의 출력이 기준전압을 넘은 것이 검출되어서 비교기(724)의 출력이 1이 될 때까지의 기간으로 되어 있다. 또한, 부호92에서 나타내는 화살표의 기간이 하강시간이며, 기준조정 클록(304a)의 구동 요소(120a)에의 입력, 즉, 신호광의 출력 정지를 지시하는 출력 정지 신호의 구동 요소(120a)에의 입력으로부터, 비교기(724)에 의해 포토 센서(711)로부터의 출력이 기준전압을 하회하는 것이 검출되어서 비교기(724)의 출력이 0이 될 때까지의 기간으로 되어 있다. 응답 시간의 측정은 도 8에 나타내는 카운터(732)가 기준조정 클록(304a) 및 비교기(724)로부터의 출력에 의거해서 클록 발생 회로(733)로부터의 샘플링 클록을 카운트함으로써 행하여진다. 측정된 응답 시간은 메모리(734)에 기억되고, 다시, 도 1에 나타내는 연산부(24)의 메모리(243)에 전송된다.
또, 광변조 소자(121)의 상태가 천이할 (특히, OFF상태로부터 ON상태로 천이한다) 때에, 광변조 소자(121)의 가요리본(121a)이 진동하기 때문에 도 17에 나타낸 바와 같이 포토 센서(711)로부터의 출력이 진동하고, 그 결과, 도 18에 나타낸 바와 같이 비교기(724)로부터의 출력에 노이즈가 생기는 일이 있다. 이 현상은 광변조 소자로서 기계적으로 광을 변조하는 소자가 채용된 경우에 특히 생긴다. 그래서, 검출부(71)에서는 부호93으로 나타내는 기준조정 클록(304a) (즉, 출력 개시 신호 및 출력 정지 신호)의 구동 요소(120a)에의 입력으로부터 일정한 기간만 비교기(724)로부터의 출력이 무시된다. 이것으로써, 상승시간(91)및 하강시간(92)이 정확하게 측정된다.
실제의 응답 시간의 측정에서는, 모든 광변조 소자(121)가 기준조정 클록(304a)을 따라 동시에 ON상태와 OFF상태와의 사이에서 천이시키면서 광학 헤드(10)을 부주사 방향에 이동함으로써, 모든 광변조 소자(121)의 응답시간이 순차 측정된다. 도 19는 각 광변조 소자(121)의 응답 시간의 취득과 가로만선의 묘화를 한줄로 세워서 나타내는 도면이다. 도 19에서는 아래쪽을 향해서 시간이 경과하고, 부호T1∼T16은 기준조정 클록(304a)이 구동 요소(120a)에 입력되는 시간을 나타내고, 비교기(724)의 출력 및 기준조정 클록(304a)의 파형은 오른쪽이 1로 되어 있다.
도 19의 오른쪽은 기준조정 클록(304a)에 따라서 가로만선이 묘화되는 모양을 나타내고 있고, 평행 사선을 붙이는 기간은, 감광 재료가 묘화되는 기간이며, 비교기(724)로부터의 출력이 1이 되는 기간에 상당한다. 부호 94로 나타내는 사선은, 시간의 경과와 함께 이동하는 슬릿(712)의 위치를 나타낸다. 즉, 상승시간 및 하강시간의 취득에서는, 광변조 소자(121)의 ON-OFF동작의 1주기의 사이에 슬릿(712)상에서 1개분의 광변조 소자(121)의 상이 이동하도록 광학 헤드(10)가 이동한다. 그 결과, 각 광변조 소자(121)의 상승시간(91)및 하강시간(92)의 측정을 슬릿(712)의 이동과 함께 순차로 하는 것이 실현된다. 또, 광학 헤드(10)을 천천히 이동해서 광변조 소자(121)의 ON-OFF동작의 2주기의 사이에 슬릿(712)상에서 1개분의 광변조 소자(121)의 상(像)이 이동해도 좋다. 이 경우는, 하나의 광변조 소자(121)에 대하여 얻을 수 있는 복수의 상승시간의 평균이 최종적인 상승시간으로서 구할 수 있고, 복수의 하강시간의 평균이 최종적인 하강시간으로서 구하여진다. 즉 , 하나의 광변조 소자(121)의 상의 속을 슬릿(712)의 간격이 이동하는 사이에 하나의 광변조 소자(121)의 신호광의 출력의 개시 및 정지가 적어도 1회 행하여짐으로써 상승시간 및 하강시간이 취득 가능하게 된다. 이것으로써, 상승시간 및 하강시간을 이용하며 또한 신속하게 취득할 수가 있다.
각 광변조 소자(121)의 응답 시간이 구해지면, 도 1의 연산부(24)의 시프트 시간 결정부(242)에 의해, 일정한 폭의 가로만선을 동일한 간격으로 묘화할 때의 각 광변조 소자(121)의 상승시간 및 하강시간이 목표상승시간 (target rise time) 및 목표하강시간 (target fall time)(이하, 「목표응답시간 (target response times)」라고 총칭한다.)로서 설정되어 (스텝S213), 각 광변조 소자(121)의 상승시간 및 하강시간을 목표상승시간 및 목표하강시간이라고 하기 위한 상승 시 (OFF상태로부터 ON상태에의 천이시)의 동작 타이밍의 시프트 시간 및 하강 시 (ON상태로부터 OFF상태로의 천이시)의 동작 타이밍의 시프트 시간이 결정된다 (스텝S214). 상승시의 전광 변조 소자(121)의 시프트 시간은 상승 시프트 시간 테이블(222)로서, 하강시의 전광 변조 소자(121)의 시프트 시간은 하강 시프트 시간 테이블(223)로서, 연산부(24)의 메모리(243)에 보존된다.
또, 감광 재료의 감광 레벨이 기지의 경우는, 비교기(724)로부터의 출력이 감광 재료의 감광과 동일하게 행동하기 때문에, 구동 요소(120a)에 출력 개시 신호가 입력되고 나서 기록 매체(9)의 감광이 개시할 때까지의 시간과 상승시간이 같이, 구동 요소(120a)에 출력 정지 신호가 입력되고 나서 기록 매체(9)의 감광이 정지할 때까지의 시간과 하강시간이 같아진다. 그 결과, 보정전의 상승시간과 목표상승시간과의 차를 보상하는 시간을 상승 때의 시프트 시간으로 하고, 보정전의 하강시간과 목표하강시간과의 차를 보상하는 시간을 하강시의 시프트 시간으로서 결정하는 것만으로 응답 시간의 적절한 보정이 실현된다.
이상의 처리에 의해, 감광 재료의 감광 레벨이 기지의 경우에 용이하게 시프트 시간을 결정할 수가 있고, 예컨대, 스텝S212에서 취득되는 상승시간 및 하강시간이 채널간에서 도 20중에서 부호U1, D1로 나타낸 바와 같이 흩어지고 있는 경우라도, 시프트 시간을 반영한 가로만선(縱万線)의 묘화 동작에서는 도 21 중에 부호U2, D2로 나타낸 바와 같이, 모든 채널에서 상승시간 및 하강시간이 목표상승시간 및 목표하강시간과 동등하게 된다.
물론, 도 21은 광변조 소자(121)의 동작 타이밍이 이상적으로 보정된 경우를 나타내고 있고, 실제로는 보정후의 상승시간 및 하강시간에는 약간의 격차가 남는다. 그래서, 화상기록 장치(1)에서는, 시프트 시간의 결정후에, 메모리(243)내의 구동 전압 테이블(221), 상승 시프트 시간 테이블(222) 및 하강 시프트 시간 테이블(223)이 신호처리부(22)로 전송되고, 이것들의 테이블을 참조해서 광량, 상승시간 및 하강시간을 보정하면서 응답 시간의 측정, 즉, 광학 헤드(10)를 검출부(71)에 대향시킨 상태에서 가로만선의 묘화 동작 및 슬릿(712)의 공간광변조기(12)에 대한 상대 이동이 행하여진다 (스텝S215). 그리고, 보정후의 상승시간 및 하강시간의 격차가 허용 범위내인지 아닌지 확인되어 (스텝S216), 허용 범위일 경우는, 시프트 시간을 결정하는 공정이 종료한다. 격차가 허용 범위내로 수습되지 않을 경우에는 스텝S214로 되돌아가서 시프트 시간의 재결정이 행하여진다.
시프트 시간의 재결정에서는, 현재의 상승시간 및 하강시간과 목표상승시간 및 목표하강시간과의 차의 분만 더욱이 변경된 새로운 시프트 시간이 결정되고 (스텝S214), 재차, 보정후의 응답 시간이 측정된다 (스텝S215). 필요에 따라 스텝S214, S215이 반복되어서 스텝S216에서 응답시간의 격차가 허용 범위로 되면, 시프트 시간을 결정하는 공정이 종료한다. 그 후, 도 7의 스텝S14으로 되돌아가서 화상의 기록이 행하여진다. 이 때, 광변조 소자(121)에 대하여 일정기간의 묘화가 지시되었을 경우에, 클록 선택부(442a)에 의한 각 광변조 소자(121)의 동작 타이밍의 시프트에 의해 복수의 광변조 소자(121)가 실제로 기록 매체(9)위로 묘화를 하는 주주사 방향의 거리가 일정하게 되고, 적절한 화상기록이 실현된다.
다음에, 시프트 시간을 결정하는 공정에 있어서 감광 재료의 감광 레벨이 미지일 경우의 화상기록 장치(1)의 동작에 대해서 설명한다.
감광 재료의 감광 레벨이 미지일 경우는, 감광 재료가 감광하는 광량에 대응하는 기준전압을 설정할 수가 없기 때문에 , 미리 정해진 가(假:임시)의 기준전압이 기준전압발생 회로(723)에 설정된다 (스텝S221). 그 후, 각 광변조 소자(121)의 응답시간, 즉, 상승시간 및 하강시간이 측정된다 (스텝S222).
도 22는, 포토 센서(711)로부터의 센서 출력(771)과 가기준전압 (provisional reference voltage)(751)과의 관계를 나타내는 도면이다. 또, 센서 출력(771)의 파형을 간략화하고 있다.
도 22에 있어서 상승시 및 하강시의 동작 타이밍의 보정이 행하여지지 않을 경우, 비교기(724)로부터의 출력(가기준전압(751)에 의거하는 출력이며, 이하, 「가출력 (provisional output)」이라고 부른다.)은 부호755에서 나타내는 파형이 된다. 여기에서, 이상적인 가로만선의 묘화에 상당하는 비교기(724)로부터의 출력 (이하, 「이상출력 (ideal output)」이라고 부른다.)이 부호756에서 나타내는 파형의 경우, 가기준전압(751)에 의거해서 연산을 하면, 가출력(755)과 이상출력(756)과의 차이가 시프트 시간으로서 구해지고, 상승시간은 시프트 시간(dT11)만 단축되어, 하강시간은 시프트 시간(dT12)만 연장되는 것이 된다. 그 결과, 동작 타이밍이 보정된 후의 포토 센서(711)의 출력은 부호772로 나타내는 것으로 된다.
그런데, 감광 재료의 실제의 감광 레벨이 부호752로 나타내는 기준전압 (이 하, 「이상기준전압」이라고 부른다.)인 경우, 시프트 시간(dT11, dT12)만 응답 시간을 보정하면, 보정후의 묘화에 의한 감광 재료의 감광 범위 (이하, 「과보정 출력 (excessively corrected output」이라 부른다.)은 부호757에서 나타내는 것으로 되고, 과잉하게 광변조 소자(121)의 동작 타이밍이 보정되게 된다. 즉, 이상기준전압(752)에 의거해서 이상출력(756)이 얻어진 때의 센서 출력은 부호773로 나타내는 파형으로 되고, 이 때에 이상출력을 얻기 위해서는, 상승시의 시프트 시간이 dT11보다도 짧은 dT21로 되고, 하강시의 시프트 시간이 dT12보다도 짧은 dT22로 될 필요가 있다.
감광 재료의 감광 레벨 및 이상기준전압이 미지이기 때문에, 시프트 시간(dT21, dT22)은 이론적인 연산에 의해 구할 수는 없다. 그래서, 화상기록 장치(1)에서는, 도 16의 스텝S222에서 가기준전압(751)에 의거해서 응답 시간을 측정한 후, 연산부(24)의 시프트 시간 결정부(242)가 가기준전압(751)에 따른 목표응답시간을 설정해서 도 22에 있어서의 시프트 시간인 dT11, dT12를 최대 가 시프트 시간 (maximum provisional shift times)으로 결정한다 (스텝S223). 그 후, 최대 가시프트 시간(dT11)에 대한 이상적인 시프트 시간(dT21)의 비율, 및, 최대 가시프트 시간dT12에 대한 이상적인 시프트 시간(dT22)의 비율이 같다고 가정하여, 최대 가시프트 시간(dT11, dT12)에 복수대로의 비율을 곱하여 복수조의 가 시프트 시간을 시프트 시간 결정부(242)가 더 결정한다. 전체 제어부(21) 및 신호처리부(22)의 제어에 의해 가 시프트 시간을 이용하면서 복수회의 시험 묘화가 실제로 행해지고, 그 결과를 유저가 육안으로 확인하는 것으로써 최종적인 시프트 시간이 결정된다 (스텝S224∼S226).
도 23은, 도 16의 스텝S224에 있어서의 시험 묘화의 흐름을 나타내는 도면이다. 시험 묘화에서는, 우선, 시험 묘화의 회수가 도 1의 입력부(25)를 통해서 유저에 의해 입력되고, 화상기록 장치(1)의 시프트 시간 결정부(242)에서 접수할 수 있다 (스텝S31). 다음에, 시프트 시간 결정부(242)에서, 묘화회수에 따라, 도 22의 상승시의 최대 가시프트 시간(dT11), 및, 하강시의 최대 가시프트 시간(dT12)의 복수대로의 비율이, 보정 비율로서 구하여진다 (스텝S32). 예컨대, 묘화회수가 5회인 경우, 0％、25％、50％、75％、100％가 보정 비율로서 구해진다. 묘화회수가 11회인 경우는, 0％、10％、20％…80％、90％、100％가 보정 비율로서 구하여진다.
모든 보정 비율이 구해지면, 하나의 보정 비율이 선택되고 (스텝S33), 도 16의 스텝S223에서 구해진 목표응답시간으로부터 이끌어지는 최대 가시프트 시간(dT11, dT12)에 보정 비율을 곱하는 것으로써, 상승시 및 하강시의 새로운 가 시프트 시간이 결정된다 (스텝S34). 그리고, 시프트 시간 결정부(242) 및 전체제어부(21) 및 신호처리부(22)의 지시 아래, 새로운 가 시프트 시간만 상승시 및 하강시의 광변조 소자(121)의 동작 타이밍이 시프트 되면서 가로만선의 묘화가 행하여진다 (스텝S35). 1 회의 시험 묘화가 완료하면, 묘화회수분만 묘화가 행하여졌는지, 즉, 모든 보정 비율로 묘화가 행하여졌는지 확인되어 (스텝S36), 다음 묘화를 할 경우에는, 재차, 보정 비율의 선택, 가 시프트 시간의 결정 및 묘화가 행하여진다 (스텝S33∼S35).
이상과 같이, 연산부(24)에서는 각 광변조 소자(121)의 상승시간과 목표상승 시간과의 차이, 및, 하강시간과 목표하강시간과의 차이를 복수의 보정 비율로 보상하는 시간이 복수의 가(假) 시프트 시간으로서 구할 수 있고, 각 광변조 소자(121)에 대하여 복수의 가 시프트 시간을 순차 적용하면서 기록 매체(9)위에 있어서 부주사 방향으로 신장하는 선이 기록 매체(9)에 묘화된다. 이것으로써, 복수의 가 시프트 시간에 대응하는 복수의 부주사 방향으로 신장하는 선이 주주사 방향으로 배열된다.
도 24는 가 시프트 시간과 응답시간과의 관계를 나타내는 도면이다. 또, 세로축의 응답 시간은 가기준전압(751)에 따른 비교기(724)로부터의 출력을 나타내고, 기술과 같이 실제의 감광의 응답 시간에는 대응하지 않고 있다. 도 24에 있어서 부호U10으로 나타내는 선은, 가기준전압(751)에 따른 모든 광변조 소자(121)에 있어서의 상승시간을 나타내고 있고, 부호D10으로 나타내는 선은, 가기준전압(751)을 따른 모든 광변조 소자(121)에 있어서의 하강시간을 나타낸다. 또한, 부호U20은 가기준전압(751)에 따라서 구해진 가의 목표상승시간이며, 부호D20은 가의 목표하강시간을 나타낸다.
예컨대, 시험 묘화의 회수가 4회일 경우 (실제로는, 보다 많은 묘화회수가 설정된다.), 스텝S32에 있어서 0％、33％、67％、100 ％ 가 보정 비율로서 구해지고, 스텝S33에서 0％의 보정 비율이 선택되면, 스텝S34에서 상승시 및 하강시의 시프트 시간은 0으로 되고, 부호U10 및 D10으로 나타내는 상승시간 및 하강시간에서 동작 타이밍이 제어된다.
다음에, 스텝S33에서 33％의 보정 비율이 선택되면, 상승시의 시프트 시간 은, 미보정시의 상승시간(U10)과 가의 목표상승시간(U20)과의 차이 (즉, 최대 가시프트 시간)의 33％로 되고, 묘화시에 상승시간이 부호U11로 나타내는 것으로 되도록 상승 타이밍이 시프트 된다. 하강시의 시프트 시간도, 미보정시의 하강시간(D10)과 가(假)의 목표하강시간(D20)과의 차의 33％로 되고, 하강시간이 부호D11로 나타내는 것이 되도록 하강 타이밍이 시프트된다. ,
동일하게, 다음 스텝S33에서 67％의 보정 비율이 선택되면, 상승시간이 부호U12로 나타내는 것으로 되고, 하강시간이 부호D12로 나타내는 것으로 되고 나서 묘화가 행하여진다. 최후로, 100％의 보정 비율이 선택되어서, 상승시간이 부호U20에서 나타내는 것으로 되고, 하강시간이 부호D20에서 나타내는 것으로 되어 묘화가 행하여진다.
이상의 처리에 의해, 기록 매체(9)에는 각보정 비율의 경우의 가로만선이 묘화되는 것으로 된다. 그리고, 도 16의 스텝S225으로 되돌아가고, 육안으로 가로만선의 묘화상태가 확인된다. 도 25는 묘화회수가 11회로 설정되고, 10 ％ 걸러서 보정 비율이 변경된 경우의 기록 매체(9)를 예시하는 도면이다. 도 25에 있어서 부호900, 901, 902, 903, 904…910에서 나타내는 영역은 각각 보정 비율 0％、10％、20％、30％、40％…100％에서 얼룩판정용의 시험 패턴으로서 가로만선이 묘화된 영역을 나타낸다. 이와 같이, 하나의 기록 매체(9)에 복수의 보정 비율에 있어서의 가로만선을 묘화하는 것으로써, 보정 비율의 변화에 대한 묘화상태의 변화가 육안으로 파악하기 쉽게 된다.
또, 보정 비율은 한정된 범위 (예컨대, 10％∼90％）에서 변경되어도 좋다. 이 경우, 예컨대, 스텝S31에 있어서, 시험 묘화의 개시시의 보정 비율, 다음의 묘화를 할 때의 전회로부터의 보정 비율의 변경량, 시험 묘화의 회수 등의 정보가 연산부(24)에 입력된다.
유저가 육안에 의해 묘화결과를 확인해서 가장 적절한 묘화가 행하여진 영역의 보정 비율을 선택하면, 그 보정 비율 혹은 선택한 영역의 번호가 입력부(25)를 통해서 시프트 시간 결정부(242)에 입력되고 (도 16:스텝S225), 이것에 의거해서 최종적인 시프트 시간이 연산부(24)에서 결정되어 (스텝S226), 묘화가 행하여진다 (도 7:스텝S14). 그 결과, 광변조 소자(121)에 대하여 일정 기간의 묘화가 지시되었을 경우에, 클록 선택부(442a)에 의한 각 광변조 소자(121)의 동작 타이밍의 시프트에 의해 복수의 광변조 소자(121)가 실제로 기록 매체(9)위로 묘화를 하는 주주사 방향의 거리가 일정해지고, 적절한 화상기록이 실현된다. 또, 차회 이후의 묘화 때문에 시프트 시간은 보정 데이터의 일부인 상승 시프트 시간 테이블(222) 및 하강 시프트 시간 테이블(223)로서 메모리(243)에 보존되지만, 시프트 시간에 대신하여 최대 가시프트 시간 및 보정 비율이 보존되어도 좋다.
이상과 같이, 화상기록 장치(1)에서는 기록 매체(9)의 감광 재료의 감광 레벨이 미지일 경우에는, 가기준전압(751)에 의거해서 복수의 가 시프트 시간을 구하고, 시험 묘화를 하고 나서 최종적인 시프트 시간이 결정되기 때문에, 감광 레벨이 미지라도 비교적 용이하게 시프트 시간을 결정할 수가 있고, 적절하게 화상기록을 할 수 있다. 또한, 보통, 이상적인 기준전압을 구하려고 하면, 시행 착오적으로 기준전압을 바꾸거나 시프트 시간을 변경하면서 몇번이나 묘화를 하여 묘화결과를 확 인할 필요가 있으나, 상기 시험 묘화에서는 가기준전압(751)을 변경하는 일없이 1회의 묘화로 이상적인 시프트 시간을 얻을 수 있기 때문에, 적절한 묘화를 효율적으로 하는 것이 실현된다. 또, 보정 비율을 변화시키는 것은, 도 22에 있어서 복수대로의 이상기준전압(752)을 상정하는 것으로 동등하다고도 하여, 상기처리에서는, 감광 재료의 감광 레벨을 추측하면서 시험 묘화를 하고 있다고 파악할 수도 있다.
그런데, 이상기준전압(752)이 가기준전압(751)보다도 낮은 경우는, 상기 보정 비율을 변화시키는 수법은, 도 24에 나타낸 바와 같이 목표상승시간(U20)이 어느 광변조 소자(121)에 있어서도 가기준전압(751)에 따라 상승시간(U10)보다도 짧아지고, 목표하강시간(D20)이 어느 광변조 소자(121)에 있어서도 가기준전압(751)에 따른 하강시간(D10)보다도 길어지는 것이 필요하게 된다. 반대로, 이상기준전압(752)이 가기준전압(751)보다도 높은 경우는, 목표상승시간(U20)이 어느 광변조 소자(121)에 있어서도 상승시간(U10)보다도 길어져, 목표하강시간(D20)이 어느 광변조 소자(121)에 있어서도 하강시간(D10)보다도 짧아지는 것이 필요하게 된다.
대개 그 감광 레벨은 사전에 알 수 있기 때문에, 화상기록 장치(1)에서는 가기준전압(751)이 상기 조건을 만족시키도록 설정된다. 또, 가기준전압(751)이 상기 조건을 만족시키지 않는 것이 시험 묘화에서 판명된 경우는, 상기 조건이 채워지도록 가기준전압(751)이 재설정된다.
도 26은, 도 16의 스텝S213, S214에 있어서의 다른 동작을 나타내는 도면이다.도 26에서는 상승시간(U1)은 보정되지 않고, 하강시간(D1)이 부호D2에서에 나타낸 바와 같이 보정되고, 하강시의 시프트 시간을 화살표로 나타내고 있다.보정후의 하강시간(D2)의 광변조 소자(121)사이의 격차는 상승시간(U1)과 동일한 것으로 되고, 이것으로써, 가로만선을 묘화했을 때에, 부주사 방향으로 신장하는 각선은 약간 비뚤어지는 것이 되지만, 굵기는 일정하게 된다. 가로만선의 비뚤어짐은 사람이 인식할 수 없을 정도로 근소하기 때문에, 선의 굵기가 일정한 한, 묘화의 질에 대한 영향은 생기지 않는다. 그 결과, 하강 타이밍만을 시프트함으로써, 적절한 묘화를 할 수 있다.
또, 상승시간에만 시프트 시간이 설정되고, 하강시간을 그대로 함으로써, 일정한 굵기의 가로만선의 묘화가 실현되어도 좋다. 즉, 각 광변조 소자(121)에 접속된 구동 요소(120a)에 출력 개시 신호 및 출력 정지 신호의 어느 한편이 입력되고 나서부터의 각 광변조 소자의 동작 타이밍만이 시프트 되는 것으로써, 보다 용이하게 동작 타이밍을 보정할 수가 있다. 더욱 환언하면, 시프트 시간은, 상승시간과 하강시간과의 차와, 소정치(일정치)와 차를 보상하는 시간으로서 구해지는 것이라면, 목표상승시간이나 목표하강시간은 설정되지 않아도 좋다.
또한, 상승시간 또는 하강시간의 어느 한편만을 보정하는 수법, 즉, 각 광변조 소자(121)에 접속된 구동 요소(120a)에 출력 개시 신호 및 출력 정지 신호의 어느 한편만이 입력되고 나서부터의 동작 타이밍만을 시프트하는 수법은, 시험 묘화를 할 경우에 이용되어도 좋다. 이 경우, 상승시간과 하강시간의 차이가 소정치가 되는 최대 가시프트 시간이 상승시간 또는 하강시간의 어느 한쪽만에 대하여 구해지고, 최대 가시프트 시간에 복수의 보정 비율을 각각 곱함으로써 복수의 가 시프트 시간이 구하여진다. 바꾸어 말하면, 가 시프트 시간은, 상승시간과 하강시간과 의 차와, 소정치(일정치)와 차를 복수의 비율로 보상하는 시간으로서 구해지는 것이라면, 목표상승시간이나 목표하강시간은 설정되지 않아도 좋다.
도 27은, 본 발명의 제2의 실시형태에 관한 화상기록 장치(1a)의 외관을 나타내는 사시도이며, 도 28은 화상기록 장치(1a)의 기계적 주요부 및 기능 구성을 나타내는 도면이다. 또, 도 28중의 전체제어부(21), 신호처리부(22), 신호생성부(23), 연산부(24) 및 입력부(25)는, 제1의 실시형태와 같은 것이며, 도 27중의 제어 유닛(20)내에 설치되어 있다.
화상기록 장치(1a)는, 유리 마스크나TFT(Thin Film Transistor)액정 패널 등의 제조용의 유리 기판(9a)에 마스크나 배선 등의 패턴의 화상을 기록하는 (노광에 의해 묘화한다) 장치이며, 화상기록 장치(1a)에서는 감광 재료가 도포된 유리 기판(9a)이 화상의 정보가 기록되는 물리적인 재료인 광의의 기록 매체로 되어 있다. 화상기록 장치(1a)는, 유리 기판(9a)을 (+Z)측의 면상에 유지하는 테이블(72)을 구비하고, 테이블(72)의 유리 기판(9a)과는 반대측에는 테이블(72)을 Y방향(주주사 방향)으로 이동하는 테이블 이동 기구(85)가 기대(74)상에 설치된다. 기대(74)위에는, 테이블(72)의 위치를 검출하는 위치 검출 모듈(85a) (position detecting module)이 설치된다. 테이블(72)의 윗쪽에는 유리 기판(9a)를 향해서 빛을 출사하는 광학 헤드(10a)가 배치되고, 광학 헤드(10a)는 헤드 이동 기구(86)에 의해 부주사 방향인 X방향으로 이동가능하게 지지된다. 즉, 주주사 방향 및 부주사 방향은 테이블(72)에 평행이며, 테이블 이동 기구(85) 및 헤드 이동 기구(86)가, 주주사 방향으로 테이블(72)을 공간광변조기(12)(도 28참조)를 포함하는 광학 헤드(10a)에 대하여 일정한 속도로 이동하는 동시에 주주사 방향으로 수직한 부주사 방향에도 이동하는 이동 기구로 되어 있다. 또한, 도 27에 나타낸 바와 같이 기대(74)에는 테이블(72)을 올라타도록 해서 프레임(75)이 설치되고, 헤드 이동 기구(86)는 프레임(75)에 고정된다.
도 27에 나타낸 바와 같이, 화상기록 장치(1a)에서는, 광원(11a)이 프레임(75)위에 설치되고, 도시 생략의 광섬유를 통해서 광원(11a)으로부터의 광이 광학 헤드(10a)의 내부에 도입된다. 본 실시형태에 있어서의 유리 기판(9a)의 (+Z)측의 주면 위에는 자외선의 조사에 의해 감광하는 감광 재료(레지스트)의 막이 미리 형성되어 있다. 광학 헤드(10a)의 구성은, 광원(11a)이 외부에 설치되는 점을 제외하고, 도 2의 광학 헤드(10)와 동일하게 된다. 또, 도 28에 나타낸 바와 같이, 광학 헤드(10a)내에 설치된 공간광변조기(12)의 복수의 광변조 소자(121)(도 3참조)의 배열 방향은, X방향인 부주사 방향으로 일치하고 있지만, 복수의 광변조 소자(121)의 배열 방향은 광학 헤드(10a)의 Y방향인 주주사 방향과 교차하는 방향이면, 부주사 방향과 반드시 일치하지 않아도 좋다. 즉, 제1의 실시형태와 같이, 유리 기판(9a)의 이동 방향인 주주사 방향은, 빛이 조사되는 위치의 배열 방향에 대하여 교차하는 방향이면 좋다.
도 27 및 도 28에 나타낸 바와 같이, 테이블(72)위에는, 유리 기판(9a)과 포개지지 않는 위치이며 테이블(72)의 (-Y)측 또한 (-X)측의 구석에 검출부(71a)가 배치된다. 검출부(71a)는, 광학 헤드(10a)로부터 (-Z)방향으로 출사되는 빛을 수광 한다는 점을 제외하고, 도 8의 검출부(71)와 동일한 구조를 갖는다. 검출부(71a)의 슬릿(712)(도 8참조)에 형성되어 있는 간격의 폭(코 변조 소자(121)의 배열 방향에 대응하는 방향의 폭)은, 제1의 실시형태와 같이, 하나의 광변조 소자(121)의 상의 부주사 방향의 폭의 반(半)으로 된다. 또, 검출부(71a)의 분해능은 간격의 폭에 역비례해서 향상하기 때문에, 간격의 폭은 하나의 광변조 소자(121)의 상의 부주사 방향의 폭의 반(半)미만이여도 좋다.
화상기록 장치(1a)가, 유리 기판(9a)상의 감광 재료에 화상을 기록하는 동작은, 도 1의 화상기록 장치(1)와 비교해서 유리 기판(9a)위에 있어서의 빛의 조사 위치의 이동 경로가 다른 점을 제외하고, 도 7과 동일하다. 구체적으로는, 우선, 스텝S11에 있어서 보정 데이터가 보존되어 있는지 아닌지 확인되고 (스텝S11), 보존되어 있는 보정 데이터를 수정하는 일없이 사용이 가능할 경우는, 묘화가 행하여진다 (스텝OS12∼S14).
노광하려고 하는 유리 기판(9a)의 감광 재료에 대응하는 보정 데이터가 보존되어 있지 않은 경우는 (스텝S11), 광량측정(스텝S16)이 행해져서 광량 보정(스텝S19)으로 이행하고, 보정 데이터가 보존되어 있는지 확인이 필요한 경우는 (스텝S12), 광량측정(스텝S17)이 행하여져서 보정이 필요없으면 묘화가 행해지고 (스텝S18, S13, S14), 보정이 필요할 경우는 광량 보정(스텝S19)으로 이행한다.
광량측정(스텝S16, S17)에서는, 테이블 이동 기구(85) 및 헤드 이동 기구(86)가 구동되어서 광학 헤드(10a)가 검출부(71a)에 대향하는 위치까지 이동하고, 헤드 이동 기구(86)에 의해 광학 헤드(10a)를 부주사 방향으로 저속으로 이동하면서 슬릿(712)을 통해서 제1의 실시형태와 동일하게 각 광변조 소자(121)로부터 출사되는 빛의 양이 순차 측정된다. 즉, 헤드 이동 기구(86)가 슬릿(712)을 광변조 소자(121)에 대하여 이동하는 슬릿 이동 기구로 되어 있다.
광량측정후에 광량 보정(스텝S19)이 행하여지면, 더욱이, 시프트 시간의 결정(스텝S2)이 행해져서 묘화로 이행한다 (스텝S14). 광량 보정 및 시프트 시간의 결정의 처리는, 제1의 실시형태와 동일하다.
유리 기판(9a)에 대한 묘화(노광에 의한 기록) (스텝S14)에서는, 우선, 테이블 이동 기구(85)에 의해 테이블(72)이 공간광변조기(12)를 포함하는 광학 헤드(10a)에 대하여 (-Y)방향으로 이동하고, 이것으로써, 유리 기판(9a)에 있어서의 광학 헤드(10a)로부터의 빛의 조사 위치가 유리 기판(9a)에 대하여 (+Y)방향으로 연속적으로 이동한다 (즉, 주주사한다). 테이블(72)의 이동과 병행되고, 위치 검출 모듈(85a)로부터의 신호에 동기해서 묘화가 행해지고, 이 때, 전체 제어부(21) 및 신호처리부(22)에 의해 구동 전압 테이블(221)(도 6참조)을 따른 광량 보정, 및, 상승 시프트 시간 테이블(222) 및 하강 시프트 시간 테이블(223)을 따른 상승시 및 하강시의 동작 타이밍의 시프트가 행하여진다. 이것으로써, 공간광변조기(12)의 상의 크기에 대응한 폭의 Y방향에 긴 띠상 영역(스와스)에 적절한 묘화가 행하여진다.
조사 위치가 유리 기판(9a)의 (+Y)측의 단부까지 도달하면, 광학 헤드(10a)가 띠상 영역의 X방향의 폭에 상당하는 거리만큼 부주사 방향(X방향)으로 이동하는 동시에 테이블(72)의 이동 방향이 반전된다. 그리고, 왕로(往路)에서 묘화된 띠상 영역의 옆에 접하는 새로운 띠상 영역에 테이블(72)의 귀로에 있어서의 묘화가 행 하여진다. 그리고, 화상기록 장치(1a)에서는, 테이블(72)이 Y방향으로 왕복하면서 광학 헤드(10a)가 X방향으로 간헐적으로 이동하는 것으로써, 평면모양의 유리 기판(9a)의 전체에 화상이 기록된다.
이상과 같이, 화상기록 장치(1a)에서는, 유리 마스크나 TFT액정 패널 등의 제조용의 유리 기판(9a)에 대하여 빛을 조사할 때에, 각 광변조 소자(121)로부터의 광량을 균일하게 하는 동시에, 상승시간 및 하강시간을 균일하게 하는 것으로써, 기록된 화상의 질을 향상할 수가 있다.
이상으로, 본 발명의 실시형태에 대해서 설명해 왔지만, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니고 여러가지 변형이 가능하다.
기록 매체(9) 및 유리 기판(9a)는 광학 헤드(10), 10a에 대하여 상대적으로 이동가능하면 다른 수법에 의해 이동되어도 좋다. 또한, 화상의 정보를 유지하는 기록 매체는, 프린트배선기판이나 반도체기판등의 감광성 재료가 도포된,혹은, 감광성을 갖는 다른 재료여도 좋다.
상기 실시형태에서는, 0차광이 묘화에 있어서의 신호광으로 되나, 1 차 회절광이 신호광으로 되어도 좋다. 또한, 휘어있지 않은 상태의 가요(可撓)리본(121a)과 고정 리본(121b)과의 상대적 위치 관계가 상기 실시형태와는 달라서, 가요리본(121a)이 휜 상태에서 0차광이 출사되는 광변조 소자(121)를 이용할 수 있어도 좋다. 이것들의 경우에 있어서도 광변조 소자(121)의 동작 타이밍을 시프트 함으로써, 적절한 화상기록이 실현된다.
가요리본(121a) 및 고정 리본(121b)은 띠모양의 반사면으로서 파악할 수 있 는 것이라면, 엄밀한 의미에서의 리본 형상일 필요는 없다. 예컨대, 블록 형상의 상면이 고정 리본의 반사면으로서의 역할을 다 해도 좋다.
광변조 소자(121)는 회절격자형으로 한정되지 않고, 다채널이면 액정 셔터 등이어도 좋다. 또한, 광변조 소자(121)는 광을 반사하는 것으로 한정되지 않고, 예컨대, 레이져 어레이가 광변조 소자(121)로서의 역할을 다 해도 좋다. 이것들의 경우에 있어서도 각 소자로부터의 빛의 조사에 의한 상승시간 및 하강시간의 격차를 동작 타이밍의 시프트에 의해 보정함으로써, 적절한 화상기록이 실현된다. 또, 상기 동작 타이밍의 보정은, 광량 보정시에, 즉, 신호광의 강도가 변경되었을 때에, 상승시간 및 하강시간이 변화되는 광변조 소자에 특히 적합하다.
또한, 2차원의 공간광변조기가 채용되어도 좋고, 이 경우, 광변조 소자(121)의 각1차원의 배열에 대하여, 상기 실시형태에 있어서의 복수의 광변조 소자(121)에 대한 보정이 적용된다.
연산부(24)의 기능 구성은, 일부 또는 전부가 전용의 전기적 회로로서 구축되어도 좋다.
상기 실시형태에서는 보정전의 상승시간 및 하강시간에 의거해서 각 광변조 소자(121)에 대한 시프트 시간을 구하고 있지만, 상승시 및 하강시의 포토 센서(711)로부터의 출력의 상태 (예컨대, 시간에 대한 출력의 변화의 비율)에 의거해서 시프트 시간이 구해져도 좋다. 일반적으로 표현하면, 광변조 소자(121)에 신호광의 출력 개시를 지시하는 출력 개시 신호가 이 광변조 소자(121)에 접속된 구동 요소(120a)에 입력되고 나서부터의 광검출기인 포토 센서(711)의 출력, 및, 신호광 의 출력 정지를 지시하는 출력 정지 신호가 입력되고 부터의 포토 센서(711)의 출력에 의거하여, 출력, 개시 신호 또는 출력 정지 신호가 구동 요소(120a)에 입력되고 부터의 이 광변조 소자(121)의 동작 타이밍의 시프트 시간이 구해지는 것으로써, 출력을 제어하는 신호에 대하여 동작 타이밍을 시간적으로 보정해서 적절한 묘화가 실현된다고 할 수 있다.
상기 실시형태에서는, 각 광변조 소자(121)로부터의 광량및 상승시간 및 하강시간은 슬릿(712)을 부주사 방향으로 이동하는 것으로써 측정되지만, 슬릿이외의 기구에 의해, 예컨대, 부주사 방향으로 긴 복수의 수광소자를 갖는 CCD,혹은, 2차원에 수광소자가 배열된 CCD에 의해 측정되어도 좋다.
또한, 상기 실시형태에서는, 도 16의 스텝S212∼S214에 있어서, 모든 광변조 소자(121)에 대하여 응답시간의 측정을 하고 나서 시프트 시간을 구하고 있으나, 응답시간의 측정 및 시프트 시간의 결정은 광변조 소자(121)마다 순차 행하여져도 좋고, 이 경우, 광변조 소자(121)로부터 빛을 검출하는 스텝S212에 대하여 시프트 시간을 구하는 스텝S214이 거의 병행하여 (즉, 소자마다 번갈아) 행해지게 된다.
본 발명에 의하면, 시프트부를 설치하는 것으로써, 장치를 복잡화하는 일없이, 일정기간의 묘화가 지시되었을 경우에 복수의 광변조 소자가 실제로 기록 매체 상에 묘화를 하는 주주사 방향의 거리를 동일하게 할 수가 있고, 적절한 화상기록이 실현된다.

Claims (19)

  1. 광의 조사에 의해 기록 매체에 화상을 기록하는 화상기록 장치이며,
    일렬로 배열된 복수의 광변조 소자를 갖는 공간광변조기와,
    상기 복수의 광변조 소자로부터의 신호광에 의해 화상이 기록되는 기록 매체를 유지하는 유지부와,
    상기 복수의 광변조 소자로부터의 빛이 조사되는 위치의 배열 방향에 대하여 교차하는 주주사(主走査) 방향으로 상기 유지부를 상기 공간광변조기에 대하여 일정한 속도로 상대적으로 이동하는 동시에 상기 주주사 방향으로 교차하는 부주사 (副走査)방향으로도 상대적으로 이동하는 이동 기구와,
    상기 공간광변조기 및 상기 이동 기구를 제어해서 기록 매체에의 화상기록을 하는 제어부와, 상기 복수의 광변조 소자의 각 광변조 소자로부터의 빛을 검출하는 광검출기(photo detector)와,
    상기 각 광변조 소자에 신호광의 출력 개시를 지시하는 출력 개시 신호(output start signal)가 상기 각 광변조 소자에 접속된 구동 요소에 입력되고 나서부터의 상기 광검출기에 의해 출력되는 상기 각 광변조 소자로부터의 신호광의 광량 변화 및, 신호광의 출력 정지를 지시하는 출력 정지 신호(output stop signal)가 입력되고 나서부터의 상기 광검출기에 의해 출력되는 상기 각 광변조 소자로부터의 신호광의 광량 변화에 근거하여, 출력 개시 신호 또는 출력 정지 신호가 상기 구동 요소에 입력되고 부터의 상기 각 광변조 소자의 동작 타이밍의 시프트 시간을 결정하는 시프트 시간 결정부(shift-time determining part)를 구비하고,
    상기 구동요소가, 화상기록시에 출력 개시 신호 또는 출력 정지 신호가 상기 구동 요소에 입력되었을 때의 상기 각 광변조 소자의 동작 타이밍을 상기 시프트 시간을 따라서 시프트하는 시프트부(shift section)를 구비하고,
    상기 복수의 광변조 소자에 각각 접속된 복수의 구동 요소에 입력되는 출력 개시 신호와 출력 정지 신호 사이의 기간이 같은 경우에, 상기 시프트부에 의한 상기 각 광변조 소자의 동작 타이밍의 시프트에 의해, 상기 복수의 광변조 소자의 각각으로부터의 신호광의 광량이 기록매체의 감광 레벨을 초과하고 있는 기간을 동일하게 하는 화상기록장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 시프트 시간 결정부가,
    기준전압을 발생하는 회로와,
    상기 광검출기로부터의 출력과 상기 기준전압을 비교하는 비교기와,
    샘플링 클록을 발생하는 클록 발생 회로(clock generating circuit)와,
    상기 샘플링 클록을 카운트함으로써, 상기 각 광변조 소자에 접속된 상기 구동 요소에 출력 개시 신호가 입력되고 나서 상기 비교기에 의해 상기 광검출기로부터의 출력이 상기 기준전압을 초과한 것이 검출될 때까지의 상승시간(rise time)과, 상기 구동 요소에 출력 정지 신호가 입력되고 나서 상기 비교기에 의해 상기 광검출기로부터의 출력이 상기 기준전압을 하회(下回)하는 것이 검출될 때까지의 하강시간(fall time)을 취득하는 카운터를 구비하고,
    상기 각 광변조 소자에 접속된 상기 구동 요소에 출력 개시 신호가 입력되고 나서 기록매체의 감광이 개시될 때까지의 시간과 상기 상승시간이 같고, 상기 구동 요소에 출력 정지 신호가 입력되고 나서 상기 기록매체의 감광이 정지될 때까지의 시간과 상기 하강시간이 같으며,
    상기 시프트 시간 결정부에 있어서, 상기 각 광변조 소자의 상기 시프트 시간이, 상기 복수의 광변조 소자의 각각의 상승시간과 하강시간의 차를 동일하게 하는 시간으로 하여 결정되는 화상기록장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 시프트 시간 결정부가,
    기준 전압을 발생하는 회로와,
    상기 광검출기로부터의 출력과 상기 기준전압을 비교하는 비교기와,
    샘플링 클록을 발생하는 클록 발생 회로(clock generating circuit)와,
    상기 샘플링 클록을 카운트함으로써, 상기 각 광변조 소자에 접속된 상기 구동 요소에 출력 개시 신호가 입력되고 나서 상기 비교기에 의해 상기 광검출기로부터의 출력이 상기 기준전압을 초과한 것이 검출될 때까지의 상승시간(rise time)과, 상기 구동 요소에 출력 정지 신호가 입력되고 나서 상기 비교기에 의해 상기 광검출기로부터의 출력이 상기 기준전압을 하회(下回)하는 것이 검출될 때까지의 하강시간(fall time)을 취득하는 카운터를 구비하고,
    상기 시프트 시간 결정부가, 상기 각 광변조 소자의 상기 상승시간과 상기 하강시간의 차와, 일정치의 차에 복수의 보정 비율(correction ratio)을 곱하는 것에 의해 복수의 가(假) 시프트 시간 (provisional shift time)을 구하고,
    상기 제어부 및 상기 시프트부에 의해, 상기 각 광변조 소자에 대하여 상기 복수의 가 시프트 시간을 순차 적용하면서 기록 매체상에서 상기 부주사 방향으로 신장하는 선이 상기 기록 매체에 묘화되고,
    육안에 의해 묘화결과인 주주사 방향에 배열된 복수의 부주사 방향의 신장하는 선을 확인하고, 상기 복수의 보정 비율 중, 상기 선의 주주사 방향의 폭이 일정하게 되는 묘화가 행하여진 보정비율이 상기 시프트 시간 결정부에 입력되고, 상기 보정 비율에 근거하여 상기 각 광변조 소자의 상기 시프트 시간이 결정되는 화상기록장치.
  6. 제 2항 또는 제 5항에 있어서,
    상기 각 광변조 소자가 기계적으로 빛을 변조하는 소자이며, 상기 각 광변조 소자에 접속된 상기 구동 요소에의 출력 개시 신호 및 출력 정지 신호가 입력되고 나서 일정 기간의 사이, 상기 비교기로부터의 출력의 변화가 무시되는 것을 특징으로 하는 화상 기록 장치.
  7. 제 2항 또는 제 5항에 있어서,
    상기 각 광변조 소자에 있어서, 신호광의 강도가 증대되었을 때에 상기 상승시간 및 상기 하강시간이 증대하고, 신호광의 강도가 감소되었을 때에 상기 상승시간 및 상기 하강시간이 감소하는 화상기록장치.
  8. 제 1항, 제 2항 또는 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 각 광변조 소자가, 띠형상의 고정 반사면과 가요(可撓)반사면이 번갈아 배열된 회절격자형의 광변조 소자인 것을 특징으로 하는 화상기록장치.
  9. 제 1항, 제 2항 또는 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 시프트부가, 상기 각 광변조 소자에 접속된 상기 구동 요소에 출력 개시 신호 및 출력 정지 신호의 어느 한편이 입력되고 나서부터의 상기 각 광변조 소자의 동작 타이밍만을 시프트하는 것을 특징으로 하는 화상기록장치.
  10. 제 1항, 제 2항 또는 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유지부가, 중심축이 상기 부주사 방향에 평행하며, 외측면에 기록 매체를 유지하는 유지 드럼이며,
    상기 이동 기구가, 상기 중심축을 중심으로 상기 유지 드럼을 회전하는 기구와, 상기 공간광변조기를 상기 중심축에 평행으로 이동하는 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 화상기록장치.
  11. 제 1항, 제 2항 또는 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유지부가, 기록 매체인 기판을 유지하는 테이블이며, 상기 이동 기구가, 상기 테이블에 평행한 상기 주주사 방향 및 상기 부주사 방향으로 상기 공간광변조기를 상기 테이블에 대하여 상대적으로 이동하는 것을 특징으로 하는 화상기록장치.
  12. 광의 조사에 의해 기록 매체에 화상을 기록하는 화상기록 방법에 있어서,
    a) 일렬로 배열된 복수의 광변조 소자로부터 신호광을 출력하면서 상기 복수의 광변조 소자로부터의 광이 조사되는 위치의 배열 방향에 대하여 교차하는 주주사 방향으로 일정한 속도로 기록 매체를 상기 복수의 광변조 소자에 대하여 상대적으로 이동하는 동시에 상기 주주사 방향으로 교차하는 부주사 방향으로도 상대적으로 이동하는 공정과,
    b) 상기 a) 공정의 앞에, 상기 복수의 광변조 소자의 각 광변조 소자로부터의 빛을 광검출기에 의해 검출하는 공정과,
    c) 상기 b) 공정과 병행하여, 또는, 상기 b)공정의 뒤에, 상기 각 광변조 소자에 신호광의 출력 개시를 지시하는 출력 개시 신호가 상기 각 광변조 소자에 접속된 구동 요소에 입력되고 부터의 상기 광검출기에 의해 출력되는 상기 각 광변조 소자로부터의 신호광의 광량변화 및, 신호광의 출력 정지를 지시하는 출력 정지 신호가 입력되고 부터의 상기 광검출기에 의해 출력되는 상기 각 광변조 소자로부터의 신호광의 광량 변화에 근거하여, 출력 개시 신호 또는 출력 정지 신호가 상기 구동 요소에 입력되고 부터의 상기 각 광변조 소자의 동작 타이밍의 시프트 시간을 결정하는 공정을 구비하고,
    상기 a) 공정에 있어서, 출력 개시 신호 또는 출력 정지 신호가 입력되고 나서부터의 상기 각 광변조 소자의 동작 타이밍이 상기 시프트 시간에 따라서 시프트 되고,
    상기 복수의 광변조 소자에 각각 접속된 복수의 구동 요소에 입력되는 출력 개시 신호와 출력 정지 신호 사이의 기간이 같은 경우에, 상기 각 광변조 소자의 동작 타이밍의 시프트에 의해, 상기 복수의 광변조 소자의 각각으로부터의 신호광의 광량이 기록매체의 감광레벨을 초과하고 있는 기간을 동일하게 하는 화상기록방법.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 c) 공정에 있어서, 상기 각 광변조 소자에 접속된 상기 구동 요소에 출력 개시 신호가 입력되고 나서 상기 광검출기로부터의 출력이 기준전압을 초과한 것이 검출될 때까지의 상승시간과, 상기 구동 요소에 출력 정지 신호가 입력되고 나서 상기 광검출기로부터의 출력이 상기 기준전압을 하회(下回)하는 것이 검출될 때까지의 하강시간이 취득되고,
    상기 각 광변조 소자에 접속된 상기 구동 요소에 출력 개시 신호가 입력되고 나서 기록매체의 감광이 개시될 때까지의 시간과 상기 상승시간이 같고, 상기 구동 요소에 출력 정지 신호가 입력되고 나서 상기 기록매체의 감광이 정지될 때까지의 시간과 상기 하강시간이 같으며,
    상기 c) 공정에서, 상기 각 광변조 소자의 상기 시프트 시간이, 상기 복수의 광변조 소자의 각각의 상승시간과 하강시간의 차를 동일하게 하는 시간으로 하여 결정되는 화상기록방법.
  14. 삭제
  15. 제 12항에 있어서,
    상기 c) 공정에 있어서, 상기 각 광변조 소자에 접속된 상기 구동 요소에 출력 개시 신호가 입력되고 나서 상기 광검출기로부터의 출력이 기준전압을 초과한 것이 검출될 때까지의 상승시간과, 상기 구동 요소에 출력 정지 신호가 입력되고 나서 상기 광검출기로부터의 출력이 상기 기준전압을 하회(下回)하는 것이 검출될 때까지의 하강시간이 취득되고,
    상기 c) 공정이,
    상기 각 광변조 소자의 상기 상승시간과 상기 하강시간의 차와, 일정치의 차에 복수의 보정 비율을 곱하는 것에 의해 복수의 가(假) 시프트 시간을 구하는 공정과,
    상기 각 광변조 소자에 대하여 상기 복수의 가 시프트 시간을 순차 적용하면서 기록 매체상에 있어서 상기 부주사 방향으로 신장하는 선을 상기 기록 매체에 묘화하는 공정과,
    육안에 의해 묘화결과인 주주사 방향에 배열된 복수의 부주사 방향의 신장하는 선을 확인하고, 상기 복수의 보정 비율 중, 상기 선의 주주사 방향의 폭이 일정하게 되는 묘화가 행하여진 하나의 보정비율을 선택하는 공정과,
    선택된 보정 비율에 근거하여 상기 각 광변조 소자의 상기 시프트 시간을 결정하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 화상기록방법.
  16. 제 13항 또는 제 15항에 있어서,
    상기 각 광변조 소자에 있어서, 신호광의 강도가 증대되었을 때에 상기 상승시간 및 상기 하강시간이 증대하고, 신호광의 강도가 감소되었을 때에 상기 상승시간 및 상기 하강시간이 감소하는 화상기록방법.
  17. 제 12항, 제 13항 또는 제 15항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 각 광변조 소자가, 띠 형상의 고정 반사면과 가요(可撓)반사면이 번갈아 배열된 회절격자형의 광변조 소자인 것을 특징으로 하는 화상기록방법.
  18. 제 12항, 제 13항 또는 제 15항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 c) 공정에 있어서, 상기 각 광변조 소자에 접속된 상기 구동 요소에 출력 개시 신호 및 출력 정지 신호의 어느 한쪽이 입력되고 나서부터의 상기 각 광변조 소자의 동작 타이밍만이 시프트 되는 것을 특징으로 하는 화상기록방법.
  19. 제 2항 또는 제 5항에 있어서,
    상기 광검출기와 상기 공간광변조기의 사이에 있어서의 상기 복수의 광변조 소자의 결상위치(image forming position)에 배치되어, 상기 부주사 방향에 있어서 하나의 광변조 소자의 상의 폭보다도 좁은 폭의 간격이 형성된 슬릿과,
    상기 슬릿을 상기 부주사 방향으로 상기 공간광변조기에 대하여 상대적으로 이동하는 슬릿 이동 기구를 더 구비하고,
    상기 슬릿이 상기 복수의 광변조 소자에 대하여 상대적으로 이동하면서, 상기 간격이 상기 복수의 광변조 소자의 상기 각 광변조 소자의 상(像) 안을 이동하는 사이에 상기 각 광변조 소자의 신호광의 출력의 개시 및 정지가 적어도 1회 행하여지는 것에 의해 상기 복수의 광변조 소자의 각각의 상기 상승시간 및 상기 하강시간이 순차 취득되는 화상기록장치.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101005420B1 (ko) 2008-03-28 2010-12-30 다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤 화상 기록 장치 및 화상 기록 방법
US8081204B2 (en) 2008-03-28 2011-12-20 Dainippon Screen Mfg Co., Ltd. Image recording apparatus and image recording method

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101909850B1 (ko) * 2007-11-06 2018-10-18 가부시키가이샤 니콘 조명 광학계, 노광 장치 및 노광 방법
US20090147651A1 (en) * 2007-12-07 2009-06-11 Vitali Prisacar Single beam system for writing data using energy distribution patterns
JP5113583B2 (ja) * 2008-03-28 2013-01-09 大日本スクリーン製造株式会社 空間光変調器のキャリブレーション方法
JP5124400B2 (ja) * 2008-09-09 2013-01-23 大日本スクリーン製造株式会社 露光パワーのキャリブレーション方法
JP6056770B2 (ja) * 2011-12-20 2017-01-11 株式会社ニコン 基板処理装置、デバイス製造システム、及びデバイス製造方法
EP3548295B1 (en) * 2016-12-02 2021-08-25 Videojet Technologies Inc. A system and method for laser marking substrates

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0691928A (ja) * 1992-09-14 1994-04-05 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 複数ビーム走査記録装置
JPH06316106A (ja) * 1993-04-01 1994-11-15 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 画像記録装置
JP2004004525A (ja) 2002-03-25 2004-01-08 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 画像記録装置

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5668588A (en) 1993-04-01 1997-09-16 Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. Spiral scanning image recording apparatus and image recording method
SE9800665D0 (sv) * 1998-03-02 1998-03-02 Micronic Laser Systems Ab Improved method for projection printing using a micromirror SLM
JP2001150730A (ja) 1999-11-29 2001-06-05 Noritsu Koki Co Ltd 画像形成装置および画像形成方法
US6282012B1 (en) 1999-12-10 2001-08-28 Eastman Kodak Company Method for damping ribbon elements in a micromechanical grating device by selection of actuation waveform
JP3904861B2 (ja) 2000-08-21 2007-04-11 株式会社ソニー・コンピュータエンタテインメント 画像処理方法及び装置、コンピュータプログラム
TW589862B (en) 2001-12-11 2004-06-01 Pixart Imaging Inc Image capturing device and method
JP3690598B2 (ja) * 2002-03-19 2005-08-31 大日本スクリーン製造株式会社 画像記録装置
JP3799614B2 (ja) * 2003-02-28 2006-07-19 株式会社林創研 露光装置
TWI231606B (en) 2003-11-10 2005-04-21 Shih-Hsien Tseng Image pickup device and a manufacturing method thereof
US7061586B2 (en) * 2004-03-02 2006-06-13 Asml Netherlands Bv Lithographic apparatus and device manufacturing method
TWI234396B (en) 2004-05-10 2005-06-11 Jau-Hung Jang Image capturing/storage device to capture a specific targe image and method thereof
JP3640391B1 (ja) * 2004-08-27 2005-04-20 株式会社林創研 照明光学装置
CN100542820C (zh) 2005-09-29 2009-09-23 大日本网目版制造株式会社 图像记录设备和图像记录方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0691928A (ja) * 1992-09-14 1994-04-05 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 複数ビーム走査記録装置
JPH06316106A (ja) * 1993-04-01 1994-11-15 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 画像記録装置
JP2004004525A (ja) 2002-03-25 2004-01-08 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 画像記録装置
EP1349107B1 (en) * 2002-03-25 2005-11-30 Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. Image recording apparatus and image recording method

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101005420B1 (ko) 2008-03-28 2010-12-30 다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤 화상 기록 장치 및 화상 기록 방법
US8081204B2 (en) 2008-03-28 2011-12-20 Dainippon Screen Mfg Co., Ltd. Image recording apparatus and image recording method

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