JP2003097920A - ビーム間隔測定装置およびビーム間隔測定方法 - Google Patents
ビーム間隔測定装置およびビーム間隔測定方法Info
- Publication number
- JP2003097920A JP2003097920A JP2001288727A JP2001288727A JP2003097920A JP 2003097920 A JP2003097920 A JP 2003097920A JP 2001288727 A JP2001288727 A JP 2001288727A JP 2001288727 A JP2001288727 A JP 2001288727A JP 2003097920 A JP2003097920 A JP 2003097920A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- beams
- slit
- interval
- filter
- moving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】一方向に複数のビームが平行に配列されたマル
チビームを用いて画像を記録する際、実際に画像記録を
行うことなく、所望の描画解像度を定量的に調整できる
ように、ビーム間の距離を定量的かつ正確に測定するビ
ーム間隔測定装置およびビーム間隔測定方法を提供す
る。 【解決手段】測定するビームの光束をスリット２４によ
り部分的に規制しつつ、このスリット２４を移動させ、
スリット２４の移動によって得られるビームの光量のう
ち、光量が最大となるスリット２４の位置を求めること
によって、少なくとも２つ以上のビーム間隔を算出す
る。また、スリット２４の替わりにリニアウェッジＮＤ
フィルタ３６を用いる。
チビームを用いて画像を記録する際、実際に画像記録を
行うことなく、所望の描画解像度を定量的に調整できる
ように、ビーム間の距離を定量的かつ正確に測定するビ
ーム間隔測定装置およびビーム間隔測定方法を提供す
る。 【解決手段】測定するビームの光束をスリット２４によ
り部分的に規制しつつ、このスリット２４を移動させ、
スリット２４の移動によって得られるビームの光量のう
ち、光量が最大となるスリット２４の位置を求めること
によって、少なくとも２つ以上のビーム間隔を算出す
る。また、スリット２４の替わりにリニアウェッジＮＤ
フィルタ３６を用いる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＣＴＰ（Computer
To Plate ）、イメージセッター、ＤＤＣＰ（Direct D
igital Color Proofer) 等の各種露光記録装置の露光記
録ヘッドから射出されるマルチビームの中の、少なくと
も２つ以上のビームの間隔を測定するビーム間隔測定装
置およびビーム間隔測定方法に関する。
To Plate ）、イメージセッター、ＤＤＣＰ（Direct D
igital Color Proofer) 等の各種露光記録装置の露光記
録ヘッドから射出されるマルチビームの中の、少なくと
も２つ以上のビームの間隔を測定するビーム間隔測定装
置およびビーム間隔測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】今日、印刷用ＣＴＰ等における露光記録
装置において、一方向に複数のビームが等間隔に平行に
配列されたマルチビームを用いて、効率よく感光材等の
記録媒体を走査露光することによって画像を記録するこ
とが行なわれている。このようなマルチビームを用いた
露光記録装置は、記録媒体にマルチビームを集束させる
光学系の倍率を調整することで、記録媒体に記録する画
像の描画解像度を変えることができるように構成されて
いる。そして、この光学系の倍率が所望の倍率となって
いるか否かの確認は、実際記録媒体にサンプル画像を露
光記録し、記録されたサンプル画像が所望の大きさで描
画されているか否かを確認することにより行なわれる。
また、記録媒体によっては、現像処理を行なわなければ
ならない。
装置において、一方向に複数のビームが等間隔に平行に
配列されたマルチビームを用いて、効率よく感光材等の
記録媒体を走査露光することによって画像を記録するこ
とが行なわれている。このようなマルチビームを用いた
露光記録装置は、記録媒体にマルチビームを集束させる
光学系の倍率を調整することで、記録媒体に記録する画
像の描画解像度を変えることができるように構成されて
いる。そして、この光学系の倍率が所望の倍率となって
いるか否かの確認は、実際記録媒体にサンプル画像を露
光記録し、記録されたサンプル画像が所望の大きさで描
画されているか否かを確認することにより行なわれる。
また、記録媒体によっては、現像処理を行なわなければ
ならない。
【０００３】このように、描画解像度はマルチビームの
間隔を光学系の倍率の調整によって容易に変えることが
できるものの、実際に所望の描画解像度となっているか
否かの確認は、上述したように実際にサンプル画像を露
光記録し、場合によっては、さらに、現像して確認する
作業を行なっている。そのため、サンプル画像を露光記
録するための時間が必要となる他、現像処理を必要とし
作業の工数が増え、描画解像度の変更に時間がかかると
いった問題があった。さらに、描画解像度の確認は、記
録されたサンプル画像の大きさ等の絵柄によって行なう
ため、確認する者の主観が入り易く定量的な確認はでき
ず、その確認は不安定であるといった問題もあった。
間隔を光学系の倍率の調整によって容易に変えることが
できるものの、実際に所望の描画解像度となっているか
否かの確認は、上述したように実際にサンプル画像を露
光記録し、場合によっては、さらに、現像して確認する
作業を行なっている。そのため、サンプル画像を露光記
録するための時間が必要となる他、現像処理を必要とし
作業の工数が増え、描画解像度の変更に時間がかかると
いった問題があった。さらに、描画解像度の確認は、記
録されたサンプル画像の大きさ等の絵柄によって行なう
ため、確認する者の主観が入り易く定量的な確認はでき
ず、その確認は不安定であるといった問題もあった。
【０００４】このような問題は、印刷分野における露光
記録装置のみならず、マルチビームを用いて正確に画像
を記録する記録装置に共通する問題である。
記録装置のみならず、マルチビームを用いて正確に画像
を記録する記録装置に共通する問題である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明は、上
記問題を解決するために、一方向に複数のビームが平行
に配列されたマルチビームを用いて画像を記録する際、
実際に画像記録を行い画像を描画する作業を伴うことな
く、所望の描画解像度を定量的に調整できるように、ビ
ーム間の距離を定量的かつ正確に測定するビーム間隔測
定装置およびビーム間隔測定方法を提供することを目的
とする。
記問題を解決するために、一方向に複数のビームが平行
に配列されたマルチビームを用いて画像を記録する際、
実際に画像記録を行い画像を描画する作業を伴うことな
く、所望の描画解像度を定量的に調整できるように、ビ
ーム間の距離を定量的かつ正確に測定するビーム間隔測
定装置およびビーム間隔測定方法を提供することを目的
とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、一方向に複数のビームが平行に配列され
たマルチビームの内、少なくとも２つ以上のビームの間
隔を測定するビーム間隔測定装置であって、前記マルチ
ビームの配列方向に移動する移動手段と、この移動手段
に載置固定され、測定するビームの光束を部分的に規制
するスリットと、前記移動手段に載置固定され、前記ス
リットを通過したビームを受光して検出信号を生成する
フォトディテクタと、前記移動手段で前記スリットと前
記フォトディテクタを移動させながら、前記フォトディ
テクタで生成される検出信号のうち、検出信号が最大と
なる前記スリットの位置を求めることによって、少なく
とも２つ以上のビーム間隔を算出するビーム間隔算出手
段とを有することを特徴とするビーム間隔測定装置を提
供する。
に、本発明は、一方向に複数のビームが平行に配列され
たマルチビームの内、少なくとも２つ以上のビームの間
隔を測定するビーム間隔測定装置であって、前記マルチ
ビームの配列方向に移動する移動手段と、この移動手段
に載置固定され、測定するビームの光束を部分的に規制
するスリットと、前記移動手段に載置固定され、前記ス
リットを通過したビームを受光して検出信号を生成する
フォトディテクタと、前記移動手段で前記スリットと前
記フォトディテクタを移動させながら、前記フォトディ
テクタで生成される検出信号のうち、検出信号が最大と
なる前記スリットの位置を求めることによって、少なく
とも２つ以上のビーム間隔を算出するビーム間隔算出手
段とを有することを特徴とするビーム間隔測定装置を提
供する。
【０００７】ここで、前記スリットのフォトディテクタ
の配置側に、前記スリットを通過したビームを拡散する
拡散板を配するのが好ましい。
の配置側に、前記スリットを通過したビームを拡散する
拡散板を配するのが好ましい。
【０００８】また、本発明は、一方向に複数のビームが
平行に配列されたマルチビームの内、少なくとも２つ以
上のビームの間隔を測定するビーム間隔測定装置であっ
て、前記マルチビームの配列方向に移動する移動手段
と、この移動手段に載置固定され、透過位置によって透
過率が異なる透過率分布を有するＮＤフィルタと、前記
移動手段に載置固定され、前記フィルタを透過したビー
ムを受光して検出信号を生成するフォトディテクタと、
前記移動手段で前記ＮＤフィルタと前記フォトディテク
タを移動させながら前記フォトディテクタで得られる検
出信号の波形に基づいて、少なくとも２つ以上のビーム
間隔を算出するビーム間隔算出手段とを有することを特
徴とするビーム間隔測定装置を提供する。
平行に配列されたマルチビームの内、少なくとも２つ以
上のビームの間隔を測定するビーム間隔測定装置であっ
て、前記マルチビームの配列方向に移動する移動手段
と、この移動手段に載置固定され、透過位置によって透
過率が異なる透過率分布を有するＮＤフィルタと、前記
移動手段に載置固定され、前記フィルタを透過したビー
ムを受光して検出信号を生成するフォトディテクタと、
前記移動手段で前記ＮＤフィルタと前記フォトディテク
タを移動させながら前記フォトディテクタで得られる検
出信号の波形に基づいて、少なくとも２つ以上のビーム
間隔を算出するビーム間隔算出手段とを有することを特
徴とするビーム間隔測定装置を提供する。
【０００９】ここで、前記ＮＤフィルタのフォトディテ
クタの配置側に、前記ＮＤフィルタを通過したビームを
拡散する拡散板を配するのが好ましい。
クタの配置側に、前記ＮＤフィルタを通過したビームを
拡散する拡散板を配するのが好ましい。
【００１０】さらに、本発明は、一方向に複数のビーム
が平行に配列されたマルチビームの内、少なくとも２つ
以上のビームの間隔を測定するビーム間隔測定方法であ
って、測定するビームの光束をスリットにより部分的に
規制しつつ、このスリットを移動させ、このスリットの
移動によって得られるビームの光量の変化のうち、光量
が最大となるスリットの位置を求めることによって、少
なくとも２つ以上のビーム間隔を算出することを特徴と
するビーム間隔測定方法を提供する。
が平行に配列されたマルチビームの内、少なくとも２つ
以上のビームの間隔を測定するビーム間隔測定方法であ
って、測定するビームの光束をスリットにより部分的に
規制しつつ、このスリットを移動させ、このスリットの
移動によって得られるビームの光量の変化のうち、光量
が最大となるスリットの位置を求めることによって、少
なくとも２つ以上のビーム間隔を算出することを特徴と
するビーム間隔測定方法を提供する。
【００１１】また、本発明は、一方向に複数のビームが
平行に配列されたマルチビームの内、少なくとも２つ以
上のビームの間隔を測定するビーム間隔測定方法であっ
て、位置によって透過率が異なる透過率分布を有するＮ
Ｄフィルタを移動させ、このＮＤフィルタの移動によっ
て得られる透過したビームの光量の変化を求めることに
よって、少なくとも２つ以上のビーム間隔を算出するこ
とを特徴とするビーム間隔測定方法を提供する。
平行に配列されたマルチビームの内、少なくとも２つ以
上のビームの間隔を測定するビーム間隔測定方法であっ
て、位置によって透過率が異なる透過率分布を有するＮ
Ｄフィルタを移動させ、このＮＤフィルタの移動によっ
て得られる透過したビームの光量の変化を求めることに
よって、少なくとも２つ以上のビーム間隔を算出するこ
とを特徴とするビーム間隔測定方法を提供する。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明のビーム間隔測定装
置およびビーム間隔測定方法について、添付の図面に示
される好適実施例を基に詳細に説明する。
置およびビーム間隔測定方法について、添付の図面に示
される好適実施例を基に詳細に説明する。
【００１３】図１は、本発明のビーム間隔測定装置の一
実施例であるビーム間隔測定装置１０を示す。図１は、
ビーム間隔測定装置１０の前面に、印刷用ＣＴＰ等にお
ける、一方向に複数のビームが平行に等間隔に配列され
たマルチビームＭb を射出する露光記録ヘッド１２を配
し、露光記録ヘッド１２のビーム間隔を測定している状
態を示している。
実施例であるビーム間隔測定装置１０を示す。図１は、
ビーム間隔測定装置１０の前面に、印刷用ＣＴＰ等にお
ける、一方向に複数のビームが平行に等間隔に配列され
たマルチビームＭb を射出する露光記録ヘッド１２を配
し、露光記録ヘッド１２のビーム間隔を測定している状
態を示している。
【００１４】ビーム間隔測定装置１０は、測定するビー
ムを受光する受光部１４と、受光部１４をマルチビーム
Ｍb の配列方向、すなわち、図中Ｘ方向に自在に移動可
能な移動機構１６と、ビーム間隔を算出する、本発明の
ビーム間隔算出手段に対応する制御・処理部１８とを有
する。
ムを受光する受光部１４と、受光部１４をマルチビーム
Ｍb の配列方向、すなわち、図中Ｘ方向に自在に移動可
能な移動機構１６と、ビーム間隔を算出する、本発明の
ビーム間隔算出手段に対応する制御・処理部１８とを有
する。
【００１５】受光部１４は、図２に示すように、内部空
間２０内で測定するビームを受光しこのビームの受光量
に応じて検出信号を生成するフォトディテクタ２２と、
フォトディテクタ２２の前面に配置し、測定するビーム
の光束を部分的に規制する、マルチビームＭb の配列方
向と直交する方向に延在したスリット２４とを有する。
スリット２４のスリット幅は特に制限されないが、ビー
ムの集束位置におけるビームスポット径によって適宜設
定される。例えば、ビームのスポット径が１０μｍの場
合、スリット幅を例えば２〜３μｍに設定し、スリット
２４によりビームの光束を部分的に規制する。
間２０内で測定するビームを受光しこのビームの受光量
に応じて検出信号を生成するフォトディテクタ２２と、
フォトディテクタ２２の前面に配置し、測定するビーム
の光束を部分的に規制する、マルチビームＭb の配列方
向と直交する方向に延在したスリット２４とを有する。
スリット２４のスリット幅は特に制限されないが、ビー
ムの集束位置におけるビームスポット径によって適宜設
定される。例えば、ビームのスポット径が１０μｍの場
合、スリット幅を例えば２〜３μｍに設定し、スリット
２４によりビームの光束を部分的に規制する。
【００１６】フォトディテクタ２２は、光導伝セル、フ
ォトダイオード、フォトトランジスタ、光電管や光電子
増倍管等公知のものが用いられる。生成された検出信号
は、制御・処理部１８に送られる。このような受光部１
４は、移動手段である基台２６上に載置固定され、移動
機構１６によって、Ｘ方向に自在に移動可能になってい
る。
ォトダイオード、フォトトランジスタ、光電管や光電子
増倍管等公知のものが用いられる。生成された検出信号
は、制御・処理部１８に送られる。このような受光部１
４は、移動手段である基台２６上に載置固定され、移動
機構１６によって、Ｘ方向に自在に移動可能になってい
る。
【００１７】移動機構１６は、Ｘ方向に延びるねじ軸２
８とガイドレール３０、３２とねじ軸２８に機械的に結
合された駆動モータ３４とを有する。ねじ軸２８は、基
台２６に設けられたナットと共にボールねじ機構を形成
し、駆動モータ３４によってねじ軸２８を回転すること
で、基台２６がＸ方向に移動する構成となっている。こ
れにより、マルチビームＭb の配列方向に受光部１４を
自在に移動することができる。
８とガイドレール３０、３２とねじ軸２８に機械的に結
合された駆動モータ３４とを有する。ねじ軸２８は、基
台２６に設けられたナットと共にボールねじ機構を形成
し、駆動モータ３４によってねじ軸２８を回転すること
で、基台２６がＸ方向に移動する構成となっている。こ
れにより、マルチビームＭb の配列方向に受光部１４を
自在に移動することができる。
【００１８】制御・処理部１８は、駆動モータ３４の駆
動を制御する駆動制御信号を生成するとともに、受光部
１４から送られてきた検出信号を受け取って、所定のビ
ーム間隔Ｄを算出する部分である。また、制御・処理部
１８は、駆動モータ３４を制御する制御駆動信号のパル
ス数をカウントすることによって、基台２６の移動距
離、すなわち、スリットの移動距離を求めることができ
るようになっており、受光部１４から送られてくる検出
信号とともに、検出信号のスリット２４の移動に伴う変
化、すなわち、スリット２４の移動に伴う受光量の変化
を得ることができる。また、駆動モータ３４に、ロータ
リーエンコーダを設け、駆動モータ３４の回転に応じて
パルス信号を発生させ、このパルス信号を制御・処理部
１８でカウントすることにより、スリットの移動距離を
求めるように構成してもよい。
動を制御する駆動制御信号を生成するとともに、受光部
１４から送られてきた検出信号を受け取って、所定のビ
ーム間隔Ｄを算出する部分である。また、制御・処理部
１８は、駆動モータ３４を制御する制御駆動信号のパル
ス数をカウントすることによって、基台２６の移動距
離、すなわち、スリットの移動距離を求めることができ
るようになっており、受光部１４から送られてくる検出
信号とともに、検出信号のスリット２４の移動に伴う変
化、すなわち、スリット２４の移動に伴う受光量の変化
を得ることができる。また、駆動モータ３４に、ロータ
リーエンコーダを設け、駆動モータ３４の回転に応じて
パルス信号を発生させ、このパルス信号を制御・処理部
１８でカウントすることにより、スリットの移動距離を
求めるように構成してもよい。
【００１９】このようなビーム間隔測定装置１０で、例
えば、マルチビームＭb の端のビームから他端のビーム
までのビーム間隔Ｄを算出する場合、受光部１４をマル
チビームＭb の端から他端まで移動することによって、
図３に示すような検出信号の波形を得、この波形の中の
端に位置するピークの最大となる位置と、他端に位置す
るピークの最大となる位置との間隔を求めることによっ
て、ビーム間隔Ｄを算出する。ビームの光束をスリット
２４を用いて規制するので、正確にビームの中心を求め
ることができる。これにより、ビーム間隔Ｄを正確に知
ることができるので、ビーム間隔Ｄ内に位置するビーム
数から、描画解像度を正確に求めることができる。
えば、マルチビームＭb の端のビームから他端のビーム
までのビーム間隔Ｄを算出する場合、受光部１４をマル
チビームＭb の端から他端まで移動することによって、
図３に示すような検出信号の波形を得、この波形の中の
端に位置するピークの最大となる位置と、他端に位置す
るピークの最大となる位置との間隔を求めることによっ
て、ビーム間隔Ｄを算出する。ビームの光束をスリット
２４を用いて規制するので、正確にビームの中心を求め
ることができる。これにより、ビーム間隔Ｄを正確に知
ることができるので、ビーム間隔Ｄ内に位置するビーム
数から、描画解像度を正確に求めることができる。
【００２０】上記例は、スリット２４を用いて、集束す
るビームの光束を部分的に規制することによって、正確
にビーム間隔Ｄを算出するものであるが、スリット２４
の替わりに、位置によって透過率が異なる透過率分布を
有するＮＤフィルタを用いてもよい。
るビームの光束を部分的に規制することによって、正確
にビーム間隔Ｄを算出するものであるが、スリット２４
の替わりに、位置によって透過率が異なる透過率分布を
有するＮＤフィルタを用いてもよい。
【００２１】図４は、ＮＤフィルタとして、リニアウェ
ッジＮＤフィルタ３６を用いて、ビーム間のビーム間隔
Ｄ’を測定する例を示している。ここで、リニアウェッ
ジＮＤフィルタ３６は、透過率が位置によって直線的に
変化するＮＤフィルタである。図４に示す測定からフォ
トディテクタ２２によって得られる検出信号は、リニア
ウェッジＮＤフィルタ３６の透過率分布に応じた波形を
持ち、図５に示すように２つのピークを持つ。このよう
な検出信号から例えば、２つのピーク検出信号レベルが
５０％の位置における間隔を求めることで、ビーム間隔
Ｄ’を算出することができる。
ッジＮＤフィルタ３６を用いて、ビーム間のビーム間隔
Ｄ’を測定する例を示している。ここで、リニアウェッ
ジＮＤフィルタ３６は、透過率が位置によって直線的に
変化するＮＤフィルタである。図４に示す測定からフォ
トディテクタ２２によって得られる検出信号は、リニア
ウェッジＮＤフィルタ３６の透過率分布に応じた波形を
持ち、図５に示すように２つのピークを持つ。このよう
な検出信号から例えば、２つのピーク検出信号レベルが
５０％の位置における間隔を求めることで、ビーム間隔
Ｄ’を算出することができる。
【００２２】また、スリット２４やリニアウェッジＮＤ
フィルタ３６に対してフォトディテクタ２２の配置側
に、例えば、スリット２４やリニアウェッジＮＤフィル
タ３６の背面に、スリット２４やリニアウェッジＮＤフ
ィルタ３６を通過したビームを拡散する拡散板３８を配
してもよい。このように拡散板３８を配することによ
り、ビームを拡散させることができ、フォトディテクタ
２２の受光面の広い範囲で受光させることができる。従
って、受光面の狭い範囲で受光した場合受光する位置に
よって検出信号が僅かに異なるといった受光面のローカ
リティを低減することができる。
フィルタ３６に対してフォトディテクタ２２の配置側
に、例えば、スリット２４やリニアウェッジＮＤフィル
タ３６の背面に、スリット２４やリニアウェッジＮＤフ
ィルタ３６を通過したビームを拡散する拡散板３８を配
してもよい。このように拡散板３８を配することによ
り、ビームを拡散させることができ、フォトディテクタ
２２の受光面の広い範囲で受光させることができる。従
って、受光面の狭い範囲で受光した場合受光する位置に
よって検出信号が僅かに異なるといった受光面のローカ
リティを低減することができる。
【００２３】上記例では、いずれも、マルチビームＭb
の両端のビームのみを射出させて、２つのビーム間のビ
ーム間隔を測定するが、本発明では、マルチビームＭb
の両端のビームの間隔の測定であってもよいし、マルチ
ビームＭb の中から所定のビーム本数毎に選択されたビ
ーム間の、２つ以上のビーム間隔であってもよい。な
お、上記方法で求められたビーム間隔が所望のビーム間
隔になっているか調べ、所望のビーム間隔となっていな
い場合は、露光記録ヘッド１２の光学系を調整して倍率
を調整する。これにより、正確かつ定量的な、しかも安
定した描画解像度の調整を行なうことができる。
の両端のビームのみを射出させて、２つのビーム間のビ
ーム間隔を測定するが、本発明では、マルチビームＭb
の両端のビームの間隔の測定であってもよいし、マルチ
ビームＭb の中から所定のビーム本数毎に選択されたビ
ーム間の、２つ以上のビーム間隔であってもよい。な
お、上記方法で求められたビーム間隔が所望のビーム間
隔になっているか調べ、所望のビーム間隔となっていな
い場合は、露光記録ヘッド１２の光学系を調整して倍率
を調整する。これにより、正確かつ定量的な、しかも安
定した描画解像度の調整を行なうことができる。
【００２４】以上、本発明のビーム間隔測定装置および
ビーム間隔測定方法について詳細に説明したが、本発明
は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しな
い範囲において、各種の改良や変更を行ってもよいのは
もちろんである。
ビーム間隔測定方法について詳細に説明したが、本発明
は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しな
い範囲において、各種の改良や変更を行ってもよいのは
もちろんである。
【００２５】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明
は、マルチビームのビーム間隔を測定するので、サンプ
ル画像を露光記録する必要がなく、サンプル画像の露光
記録のために記録媒体を用いる必要がない。さらに、現
像処理等も行なう必要もないので、描画解像度の変更に
伴う処理工数を低減することができ、光学系の倍率調整
に伴う露光記録全体の処理時間を短縮することができ
る。さらに、算出されたビーム間隔によって、定量的
に、しかも安定的に描画解像度を調整することができ
る。
は、マルチビームのビーム間隔を測定するので、サンプ
ル画像を露光記録する必要がなく、サンプル画像の露光
記録のために記録媒体を用いる必要がない。さらに、現
像処理等も行なう必要もないので、描画解像度の変更に
伴う処理工数を低減することができ、光学系の倍率調整
に伴う露光記録全体の処理時間を短縮することができ
る。さらに、算出されたビーム間隔によって、定量的
に、しかも安定的に描画解像度を調整することができ
る。
【図１】 本発明のビーム間隔測定装置の一例の概略を
示す概略図である。
示す概略図である。
【図２】 図１に示すビーム間隔測定装置の要部を説明
する図である。
する図である。
【図３】 本発明のビーム間隔測定装置で得られる検出
信号の一例を示す図である。
信号の一例を示す図である。
【図４】 本発明のビーム間隔測定装置の他の例の要部
を説明する図である。
を説明する図である。
【図５】 図４に示されるビーム間隔測定装置で得られ
る検出信号の一例を示す図である。
る検出信号の一例を示す図である。
【図６】 （ａ）および（ｂ）は、本発明のビーム間隔
測定装置の他の例の要部を説明する図である。
測定装置の他の例の要部を説明する図である。
１０ ビーム間隔測定装置
１２ 露光記録ヘッド
１４ 受光部
１６ 移動機構
１８ 制御・処理装置
２０ 内部空間
２２ フォトディテクタ
２４ スリット
２６ 基台
２８ ねじ軸
３０，３２ ガイドレール
３４ 駆動モータ
３６ リニアウェッジＮＤフィルタ
３８ 拡散板
Claims (6)
- 【請求項１】一方向に複数のビームが平行に配列された
マルチビームの内、少なくとも２つ以上のビームの間隔
を測定するビーム間隔測定装置であって、 前記マルチビームの配列方向に移動する移動手段と、 この移動手段に載置固定され、測定するビームの光束を
部分的に規制するスリットと、 前記移動手段に載置固定され、前記スリットを通過した
ビームを受光して検出信号を生成するフォトディテクタ
と、 前記移動手段で前記スリットと前記フォトディテクタを
移動させながら、前記フォトディテクタで生成される検
出信号のうち、検出信号が最大となる前記スリットの位
置を求めることによって、少なくとも２つ以上のビーム
間隔を算出するビーム間隔算出手段とを有することを特
徴とするビーム間隔測定装置。 - 【請求項２】前記スリットのフォトディテクタ配置側
に、前記スリットを通過したビームを拡散する拡散板を
配したことを特徴とする請求項１に記載のビーム間隔測
定装置。 - 【請求項３】一方向に複数のビームが平行に配列された
マルチビームの内、少なくとも２つ以上のビームの間隔
を測定するビーム間隔測定装置であって、 前記マルチビームの配列方向に移動する移動手段と、 この移動手段に載置固定され、位置によって透過率が異
なる透過率分布を有するＮＤフィルタと、 前記移動手段に載置固定され、前記フィルタを透過した
ビームを受光して検出信号を生成するフォトディテクタ
と、 前記移動手段で前記ＮＤフィルタと前記フォトディテク
タを移動させながら前記フォトディテクタで得られる検
出信号の波形に基づいて、少なくとも２つ以上のビーム
間隔を算出するビーム間隔算出手段とを有することを特
徴とするビーム間隔測定装置。 - 【請求項４】前記ＮＤフィルタのフォトディテクタの配
置側に、前記ＮＤフィルタを通過したビームを拡散する
拡散板を配したことを特徴とする請求項３に記載のビー
ム間隔測定装置。 - 【請求項５】一方向に複数のビームが平行に配列された
マルチビームの内、少なくとも２つ以上のビームの間隔
を測定するビーム間隔測定方法であって、 測定するビームの光束をスリットにより部分的に規制し
つつ、このスリットを移動させ、 このスリットの移動によって得られるビームの光量の変
化のうち、光量が最大となるスリットの位置を求めるこ
とによって、少なくとも２つ以上のビーム間隔を算出す
ることを特徴とするビーム間隔測定方法。 - 【請求項６】一方向に複数のビームが平行に配列された
マルチビームの内、少なくとも２つ以上のビームの間隔
を測定するビーム間隔測定方法であって、 位置によって透過率が異なる透過率分布を有するＮＤフ
ィルタを移動させ、 このＮＤフィルタの移動によって得られる透過したビー
ムの光量の変化を求めることによって、少なくとも２つ
以上のビーム間隔を算出することを特徴とするビーム間
隔測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001288727A JP2003097920A (ja) | 2001-09-21 | 2001-09-21 | ビーム間隔測定装置およびビーム間隔測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001288727A JP2003097920A (ja) | 2001-09-21 | 2001-09-21 | ビーム間隔測定装置およびビーム間隔測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003097920A true JP2003097920A (ja) | 2003-04-03 |
Family
ID=19111323
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001288727A Withdrawn JP2003097920A (ja) | 2001-09-21 | 2001-09-21 | ビーム間隔測定装置およびビーム間隔測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003097920A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005203697A (ja) * | 2004-01-19 | 2005-07-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | マルチビーム露光装置 |
-
2001
- 2001-09-21 JP JP2001288727A patent/JP2003097920A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005203697A (ja) * | 2004-01-19 | 2005-07-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | マルチビーム露光装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7248338B2 (en) | Multi beam exposing device and exposing method using the same | |
| KR100821415B1 (ko) | 패턴 묘화 장치 및 블록 수 결정 방법 | |
| EP1311108B1 (en) | Method for correcting the beam intensity in an image recording apparatus using a multi-channel light modulator | |
| KR20040111029A (ko) | 화소위치 특정방법, 화상어긋남 보정방법 및 화상형성장치 | |
| JP2005266779A (ja) | 露光装置及び方法 | |
| JP2005203697A (ja) | マルチビーム露光装置 | |
| KR20100093696A (ko) | 노광 장치와 이를 이용한 빔 위치 측정 및 주소 지정 방법 | |
| JP5025157B2 (ja) | 画像記録装置および画像記録方法 | |
| US6191803B1 (en) | Multiple light beam scanning optical system | |
| JP3254392B2 (ja) | 評価チャート及び画像記録装置 | |
| KR101204732B1 (ko) | 묘화 장치 및 방법 | |
| JP3229001B2 (ja) | 走査光学装置 | |
| KR20080016494A (ko) | 묘화 위치 측정 방법 및 장치, 그리고 묘화 방법 및 장치 | |
| JP2006047958A (ja) | 露光装置および露光方法 | |
| JP2003097920A (ja) | ビーム間隔測定装置およびビーム間隔測定方法 | |
| US5079430A (en) | Ultraviolet radiation projector and optical image forming apparatus | |
| JP2006030966A (ja) | 描画方法および装置 | |
| US5477438A (en) | Light source unit emitting a laser beam | |
| US6809331B2 (en) | X-ray image reader | |
| KR20080014983A (ko) | 묘화 방법 및 장치 | |
| JP2005106831A (ja) | 光ビーム診断デバイス及び方法 | |
| JP2002022426A (ja) | ３次元画像入力装置 | |
| JP3004407B2 (ja) | 回転多面鏡の回転検出機構 | |
| JP2503408B2 (ja) | 透過原稿画像読取装置 | |
| JP2003098087A (ja) | 蛍光ビーズ又は蛍光ドットアレーの検出方法及び装置並びにｄｎａ検査方法及び装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20081202 |