JP3799614B2 - 露光装置 - Google Patents
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Description
露光装置は半導体の微細化に伴い複雑化かつ大型化する傾向にあるが、実験室レベルで利用できる簡易で安価な装置に対する需要が増してきた。DMDを利用したマスクを利用しない白黒2値の露光技術が、特許文献1及び特許文献2に提案されている。また露光装置において重要である露光光の位置による不均一性を除き露光面での面内分布を均一にするため、特許文献3には外部に照明光を均一にするためフライアイレンズを利用した2値露光方法が開示されている。しかし、多階調の露光において、所望の露光値を得るためには照明光の均一性を階調の分解能以下にしなければならず、表示装置などの人間が見るものとはその要求精度が著しく異なる。フライアイレンズなどによる光学的な照明光の均一化手段では白黒の2階調の露光では十分であっても階調が高くなると均一化する効果が十分ではない。たとえば256階調の分解能で多階調の露光を行う場合には照明光の面内分布で0.4%の誤差以内の均一性が必要になる。白黒の2階調のリソグラフィ装置が特許文献4に開示されている。また特許文献5にはDMDを平行な光束で照明し、ダミー光学系上に設けた光検出器からの検出信号を利用して均一に露光する2階調露光装置が開示されている。しかし、前記露光では検出点がまばらなので多階調の露光を行う上でその階調に見合う分解能を確保するための均一性の確保が難しい。収束する光や拡大するひかりでDMDを照明すると露光面における焦点位置がずれるので、完全な平行性が要求される。焦点がずれる様子を図15に極端な収束光で照明した場合の例に示す。これは照明光軸に対してDMDが傾いているために起こる現象であり、平行性が悪化すると露光の解像度が露光面内一定にならない状況を呈する。現状では高圧水銀ランプに代表される点光源とはみなし得ない大きさのある光源を利用しているので完全な平行性を持たせることは困難である。またレーザーを利用すると平行性は確保されるが、可干渉性が高いので空間光変調器の画素が二次元アレイを構成しているので、その格子が露光面に干渉パターンを発生しノイズの原因となる。
前記DMDの各マイクロミラー毎に前記感光材の露光位置で露光光学系の光強度の面内分布を測定するモニタ光学系と、
前記モニタ光学系で測定した前記露光光学系の光強度の面内分布を均一にする補正テーブルN(x,y)、前記モニタ光学系の照明ムラを均一にする補正テーブルM(x,y)を記憶した記憶手段と、
感光材を除去して得られる設計値の深さと光量の関係を表す感度曲線、および感光材の露光パターンのテーブルG(x,y)を入力し、該テーブルG(x,y)を前記感度曲線を参照して感度補正露光パターンのテーブルR(x,y)に変換すると共に、前記DMDの各マイクロミラー毎に対応した照明ムラを均一にし感光材の直線性を補正した制御値のテーブルS(x,y)=R(x,y)×N(x,y)×M(x,y)を求める制御値算出手段と、
前記制御値算出手段で求めた制御値により前記DMDの各マイクロミラー毎を制御する空間光変調器制御手段と、
を備えていることを特徴とする。
このような平面光源1の配置は、DMD30の全べてのマイクロミラーに平面光源1を結像させることができる。
レジストなどの感光材は一般的に照射される光量に対して線型には反応しない。また膜厚が厚くなると散乱や吸収のため非線形性が著しくなる。利用する所定の厚さの感光材に光量I(w.sec)を変化させて光を照射し、所定の現像過程を経て、感光材が除去される深さL(μ)を測定する。このデータから所望の除去深さLを得るのに必要な光量Iを対応させる変換テーブルR(L)を作成する。変換テーブルR(L)を参照することによって、設計値のテーブルG(x,y)の要素Lを必要な光量Iに変換する。変換された新たなテーブルR(x,y)とする。
S(x,y)=R(x,y)×N(x,y)
ここで、×は要素ごとの掛け算を表す。
S(x,y)= R(x,y)×M(x,y)
ここで、×は要素ごとの掛け算を表す。
S(x,y)=R(x,y)×ND(x,y)×M(x,y)
S(x,y)=R(x,y)×NL(x,y)×M(x,y)
また、本実施例では感光材の感度補正をR(x,y)として利用したが、他に光量による成膜効率の補正、或は光量によるエッチング効率の補正も同様に行うことができる。
1.DMDのマイクロミラー毎の制御値に応じたパルス幅変調(PWM)で各マイクロミラーを制御することにより、画素毎に制御値の露光量を得ることができる。
2.DMDのマイクロミラー毎の制御値に応じたオン時間で各マイクロミラーを制御することにより、画素毎に制御値の露光量を得ることが出来る。特別なハードウエア(PWM装置)に依存することがなく、高い分解能での制御がしやすい。
3.テレセントリック照明光学系が平面光源とDMDとをシャインプルーフの関係を満足する様に設置されたことにより、照明光軸に対して傾いて設置されているDMDに対して、DMDのすべてのマイクロミラーに対して、平面光源を所定の角度で結像させることができる。
4.反射型液晶パネルの液晶セル毎の制御値に相当する印加電圧で各液晶セルを制御することにより、画素毎に制御値の露光量を得ることができる。
5.反射型液晶パネルの液晶セル毎の制御値に相当する時間だけ所定の電圧を印加して各液晶セルを制御することにより、画素毎に制御値の露光量を得ることができると共に、高い分解能での制御がしやすい。
6.平面光源をLED光源にすることにより、放電型のランプに比べて発光位置の変動がなく、しかも長寿命で交換を要しない。
7.平面光源が、照明された薄膜散乱体とすることにより、ロッドインテグレータより安価に平面光源を得ることができる。
8.平面光源が照明光軸にオフセット角を持って設置されたロッドインテグレータの斜めにカットされた光射出端にすることにより、シャインプルーフの関係を満足し、光軸に対して傾いているDMDに結像するための平面光源を作ることができる。またオフセット角を持って設置することで光を効率よく利用することができる。
Claims (2)
- 多階調の露光パターンを発生させるDMDと、第一のレンズと開口しぼりと第二のレンズからなるテレセントリック光学系で構成され、前記DMDを照明する照明光学系と、前記テレセントリック光学系により前記DMDとシャインフルーフの条件を満足するよう前記テレセントリック光学系の光軸に対して所定の角度斜めに傾けて設置された平面光源と、前記露光パターンを感光材に結像する投影光学系とからなり、前記照明光学系の光軸が前記DMDに垂直な投影光学系の光軸に対して該DMDの各マイクロミラーの傾動角の2倍の角度だけ傾いて設定された露光光学系と、
前記DMDの各マイクロミラー毎に前記感光材の露光位置で露光光学系の光強度の面内分布を測定するモニタ光学系と、
前記モニタ光学系で測定した前記露光光学系の光強度の面内分布を均一にする補正テーブルN(x,y)、前記モニタ光学系の照明ムラを均一にする補正テーブルM(x,y)を記憶した記憶手段と、
感光材を除去して得られる設計値の深さと光量の関係を表す感度曲線、および感光材の露光パターンのテーブルG(x,y)を入力し、該テーブルG(x,y)を前記感度曲線を参照して感度補正露光パターンのテーブルR(x,y)に変換すると共に、前記DMDの各マイクロミラー毎に対応した照明ムラを均一にし感光材の直線性を補正した制御値のテーブルS(x,y)=R(x,y)×N(x,y)×M(x,y)を求める制御値算出手段と、
前記制御値算出手段で求めた制御値により前記DMDの各マイクロミラー毎を制御する空間光変調器制御手段と、
を備えていることを特徴とする露光装置。 - 請求項1において、平面光源が照明光軸にオフセット角を持って設置されたロッドインテグレータの斜めにカットされた光射出端であることを特徴とする露光装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2003/002330 WO2004077533A1 (ja) | 2003-02-28 | 2003-02-28 | 露光装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2004077533A1 JPWO2004077533A1 (ja) | 2006-06-08 |
JP3799614B2 true JP3799614B2 (ja) | 2006-07-19 |
Family
ID=32923119
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004568764A Expired - Fee Related JP3799614B2 (ja) | 2003-02-28 | 2003-02-28 | 露光装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3799614B2 (ja) |
WO (1) | WO2004077533A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101849653B1 (ko) | 2016-07-27 | 2018-04-24 | 주식회사 리텍 | Dmd에 수직하게 조사광을 입사시키는 노광광학계 |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20060164711A1 (en) * | 2005-01-24 | 2006-07-27 | Asml Holding N.V. | System and method utilizing an electrooptic modulator |
US7403265B2 (en) | 2005-03-30 | 2008-07-22 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method utilizing data filtering |
JP2006337834A (ja) * | 2005-06-03 | 2006-12-14 | Fujifilm Holdings Corp | 露光装置及び露光方法 |
JP5025157B2 (ja) * | 2005-09-29 | 2012-09-12 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 画像記録装置および画像記録方法 |
DE102006019963B4 (de) * | 2006-04-28 | 2023-12-07 | Envisiontec Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines dreidimensionalen Objekts durch schichtweises Verfestigen eines unter Einwirkung von elektromagnetischer Strahlung verfestigbaren Materials mittels Maskenbelichtung |
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US20130207544A1 (en) * | 2011-09-30 | 2013-08-15 | Pinebrook Imaging Technology, Ltd. | Illumination system |
KR101344037B1 (ko) * | 2011-10-19 | 2013-12-24 | 주식회사 인피테크 | 노광용 led 광원 모듈, 노광용 led 광원 장치 및 노광용 led 광원장치 관리시스템 |
JP2014006433A (ja) * | 2012-06-26 | 2014-01-16 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | パターン描画装置 |
JP6471900B2 (ja) * | 2015-03-26 | 2019-02-20 | ウシオ電機株式会社 | 光源装置、露光装置 |
JP6593623B2 (ja) * | 2015-03-30 | 2019-10-23 | 株式会社ニコン | 空間光変調器の設定方法、駆動データの作成方法、露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法 |
CN108227406B (zh) * | 2018-02-12 | 2020-04-03 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 光刻机照明系统的微反射镜阵列配置方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0837139A (ja) * | 1994-07-21 | 1996-02-06 | Sony Corp | 露光照明装置 |
JP3303595B2 (ja) * | 1995-03-24 | 2002-07-22 | キヤノン株式会社 | 照明装置及びそれを用いた観察装置 |
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-
2003
- 2003-02-28 JP JP2004568764A patent/JP3799614B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2003-02-28 WO PCT/JP2003/002330 patent/WO2004077533A1/ja active Application Filing
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR101849653B1 (ko) | 2016-07-27 | 2018-04-24 | 주식회사 리텍 | Dmd에 수직하게 조사광을 입사시키는 노광광학계 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2004077533A1 (ja) | 2004-09-10 |
JPWO2004077533A1 (ja) | 2006-06-08 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120512 Year of fee payment: 6 |
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