KR101344037B1 - 노광용 ｌｅｄ 광원 모듈, 노광용 ｌｅｄ 광원 장치 및 노광용 ｌｅｄ 광원장치 관리시스템 - Google Patents

노광용 ｌｅｄ 광원 모듈, 노광용 ｌｅｄ 광원 장치 및 노광용 ｌｅｄ 광원장치 관리시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 웨이퍼, 디스플레이 패널 등 다양한 크기와 종류의 노광 대상물 및 다양한 성질의 포토레지스트(Photo resist, PR)를 하나의 광원으로 노광할 수 있도록 LED(Light Emitting Diode)를 광원으로 하는 광원 유닛을 다수개 포함하는 단일 광원 모듈을 제공하고, 이를 효율적으로 제어 및 관리할 수 있는 장치 및 관리시스템을 제공함으로써, 노광 광원의 강도를 세밀하고 간편하게 조절하여 노광 대상물을 정확하고 빠르게 노광할 수 있으며, 장애에 대한 신속하고 간편한 처리가 가능한 노광용 LED 광원 모듈, 노광용 LED 광원 장치 및 노광용 LED 광원장치 관리시스템을 제공한다.

Description

노광용 ＬＥＤ 광원 모듈, 노광용 ＬＥＤ 광원 장치 및 노광용 ＬＥＤ 광원장치 관리시스템{ＬＥＤ light source module, ＬＥＤ light source apparatus and ＬＥＤ light source apparatus management system for exposure resist}
본 발명은 반도체 웨이퍼 또는 디스플레이 패널 노광용 광원 장치에 관한 것으로서, 특히 반도체 웨이퍼, 디스플레이 패널 등 다양한 크기와 종류의 노광 대상물 및 다양한 성질의 포토레지스트(Photo resist, PR)를 하나의 광원으로 노광할 수 있도록 LED(Light Emitting Diode)를 광원으로 하는 광원 유닛을 다수개 포함하는 단일 광원 모듈을 제공하고, 이를 효율적으로 제어 및 관리할 수 있는 장치 및 관리시스템을 제공함으로써, 노광 광원의 강도를 세밀하고 간편하게 조절하여 노광 대상물을 정확하고 빠르게 노광할 수 있으며, 장애에 대한 신속하고 간편한 처리가 가능한 노광용 LED 광원 모듈, 노광용 LED 광원 장치 및 노광용 LED 광원장치 관리시스템에 관한 것이다.
반도체(Semiconductor)에 사용되는 웨이퍼(Wafer) 및 PDP(Plasma Display Panel), LCD(liquid Crystal Display)등 평판디스플레이 장치(Flat panel Display : FPD)에 사용되는 기판의 제조공정에 있어서, 웨이퍼 및 기판의 표면에 코팅된 PR을 선택적으로 제거하는 노광작업은 웨이퍼 및 기판 등의 노광 대상물을 핸들링하기 위해 가장자리에 코팅된 PR을 제거하는 전처리 공정과, PR을 선택적으로 제거하여 미세패턴을 형성하는 포토리소그래피 공정 등이 있다.
이와 같이 웨이퍼나 기판의 노광을 위한 광원에는 초고압수은램프, 할로겐램프를 비롯하여 최근에 LED(Light Emitting Diode) 등이 사용된다.
이 중, 초고압수은램프, 할로겐램프 등 종래의 노광용 광원은 고압의 가스를 충전하고, 고전압의 양극과 음극을 공급하여 일어나는 아크방전에 의해 노광용 빛을 발생시킨다.
웨이퍼 및 기판의 가장자리를 노광하기 위해서는 필요한 만큼의 일정한 폭을 정확하게 노광하기 위한 균일한 프로파일을 갖는 빛이 노광영역에 제공되어야 하며, 마찬가지로 미세패턴을 형성하기 위해서는 균일한 프로파일과 더불어 충분한 강도를 갖는 빛이 최소한의 시간 동안 제공되어야 한다.
그러나 초고압수은램프, 할로겐램프 등과 같은 종래의 광원은 제조공정의 특성상 24시간 지속적으로 온 상태를 유지해야 함에도 램프의 수명이 짧기 때문에 빈번하게 정기적으로 교체해야 하는 문제점이 있다. 특히, 이러한 램프의 교체는 생산 라인을 정지시킨 상태로 약 1시간 정도 소요되기 때문에, 제품제조의 수율을 현저하게 저하시키게 된다.
또한, 수은 램프 등을 방전시키기 위해서는 고전압을 필요로 하고, 램프의 온/오프 시에 일정한 발광강도의 자외선을 방출하게 될 때까지 시간이 소요되는 문제점이 있었다.
또한, 수은 램프는 크기가 크고 무겁기 때문에 광원장치를 노광을 위한 위치로부터 이격된 위치에 배치하여야 하고, 이에 따라 노광 대상물이 위치한 노광 위치까지 램프에 의한 자외선을 집광하여 유도하기 위한 광케이블 등의 다양한 부속들이 필요하므로 비용이 고가가 될 수밖에 없는 문제점도 있다.
더욱이, 램프에 사용되는 수은이 인체에 유해한 물질인 오존(O3)를 발생시켜 제조라인의 작업환경을 악화시키고, 램프가 고온 고압 상태에서 가동되므로 보다 높은 폭발 우려가 상존하고 있으며, 수명이 다한 수은 램프의 교체 및 폐기시에는 수은과 같은 환경 오염 물질에 대한 처리가 곤란하다는 문제점도 유발한다.
따라서 최근 LED를 광원으로 이용한 노광장치가 개발되고 있는데, 대한민국 등록특허 제10-0960083호(2010. 05. 19. 등록) 및 공개특허 제10-2011-0058501호(2011. 06. 01. 공개) 등에 노광용 LED 및 이를 이용한 노광용 광원 장치에 대한 기술이 개시되어 있다.
선행기술에 의하면, 종래의 수은 램프 등을 이용한 기술에 비하여, 노광용 자외선 램프의 수명을 향상시킴으로써 노광용 자외선 램프의 교체에 따른 소요비용을 절감시키고 노광용 자외선 램프의 교체 시 공정 라인을 일정시간 멈추어야 하는 등의 손실을 방지할 수 있도록 LED를 광원으로 사용한다.
그러나 이러한 최근의 LED를 광원으로 하는 노광용 광원 장치들은 반도체 웨이퍼의 엣지부를 노광하는 경우와 디스플레이용 기판의 가장자리 및 미세패턴을 노광하는데 있어서 공급되어야 하는 빛의 강도가 서로 다르고 요구되는 파장이 사용된 PR에 따라 다양하기 때문에, 노광 대상물과 PR에 따라 별개의 광원 장치를 사용해야 하는 불편함이 있다.
또한, 전술한 선행기술들 중 일부에서는 PCB 기판에 LED 소자를 배열하고 LED에서 발생되는 불안정한 광원을 균일하게 변화시키기 위해 플라이아이 렌즈를 사용하고 있는데, 이와 같이, 어레이 형태의 LED 소자군에 의해 발생되는 광원은 각각의 LED 소자가 발생하는 빛이 상호간에 간섭을 일으켜 프로파일이 균일하지 않은 빛을 발생시키는 문제점이 있다.
따라서 전술한 바와 같이, 종래의 수은 램프 등을 이용한 노광용 광원장치의 문제점을 해결하고, 최근의 LED를 광원으로 이용한 노광용 광원장치의 문제점을 개선하기 위하여 본 발명을 창안하게 되었다.
이를 위한 본 발명의 목적은 반도체 웨이퍼, 디스플레이 패널 등 다양한 크기와 종류의 노광 대상물 및 다양한 성질의 PR를 하나의 광원으로 노광할 수 있는 노광용 LED 광원 모듈을 제공하는데 있다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 반도체 웨이퍼, 디스플레이 패널 등 다양한 크기와 종류의 노광 대상물 및 다양한 성질의 PR를 하나의 광원으로 노광할 수 있도록 LED를 광원으로 하는 광원 유닛을 다수개 포함하는 단일 광원 모듈을 효율적으로 제어하여 노광 광원의 강도를 세밀하고 간편하게 조절함으로써 노광 대상물을 정확하고 빠르게 노광할 수 있는 노광용 LED 광원 장치를 제공하는데 있다.
또한, 본 발명의 또 다른 목적은 웨이퍼, 디스플레이 패널 등 다양한 크기와 종류의 노광 대상물 및 다양한 성질의 PR를 하나의 광원으로 노광할 수 있도록 LED를 광원으로 하는 광원 유닛을 다수개 포함하는 단일 광원 모듈을 효율적으로 제어하는 노광용 LED 광원 장치를 원격에서 통합적으로 제어 및 관리하며, 이상 발생 시 신속하고 간편하게 처리할 수 있는 노광용 LED 광원장치 관리시스템을 제공하는데 있다.
상술한 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 노광용 LED 광원 모듈은, 공급 전류에 따라 강도가 제어된 빛을 발생시키는 하나 이상의 LED(Light Emitting Diode)를 포함하는 하나 이상의 노광용 LED 광원 유닛; 및 상기 LED로부터 발생되는 빛에 의해 노광되는 노광영역의 모양을 결정하는 단면을 가지며, 상기 LED 광원 유닛에서 방사되는 빛을 통합하고 상기 통합된 빛의 프로파일을 균일하게 정렬하여 상기 단면의 형태로 방출하는 로드렌즈(Rod lens);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이때, 본 발명에 따른 노광용 LED 광원 모듈의 상기 노광용 LED 광원 유닛은, 상기 하나 이상의 LED 광원 유닛으로부터 방출되는 빛을 각각 상기 로드렌즈에 전달하는 광섬유;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 노광용 LED 광원 모듈의 상기 노광용 LED 광원 유닛은, 상기 로드렌즈로부터 방출되는 빛을 받는 수광렌즈와, 상기 수광렌즈에서 받은 빛을 상기 노광영역에 모아주는 집광렌즈를 수용하여, 상기 로드렌즈로부터 방출되는 빛이 상기 노광영역에 도달하도록 가이드하는 가이드렌즈계;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 노광용 LED 광원 모듈의 상기 노광용 LED 광원 유닛은,상기 LED와, 상기 LED에서 발생된 빛의 전사패턴을 결정하는 슬릿이 형성된 마스크를 수용하며, 상기 LED에서 발생한 열을 방열하는 복수의 방열핀을 외주면에 형성한 경통; 및 상기 LED와 상기 마스크 사이에 위치하여, 상기 LED에서 발생된 빛을 집광하는 복수의 렌즈로 구성되는 집광광학계;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 노광용 LED 광원 모듈은, 상기 하나 이상의 노광용 LED 광원 유닛과, 상기 로드렌즈 및 상기 가이드렌즈계가 각각 분리 및 조립이 가능한 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 노광용 LED 광원 모듈의 상기 가이드렌즈계는, 상기 수광렌즈와 상기 집광렌즈의 거리를 조절하여 상기 노광영역의 크기 및 광밀도를 변경하는 것을 특징으로 한다.
이때, 본 발명에 따른 노광용 LED 광원 모듈의 상기 가이드렌즈계는, 상기 집광렌즈에서 집광된 빛의 강도를 조절하는 조리개를 더 구비한 것을 특징으로 한다.
또한, 상술한 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 노광용 LED 광원 장치는, 공급 전류에 따라 강도가 제어된 빛을 발생시키는 하나 이상의 LED(Light Emitting Diode)를 포함하는 하나 이상의 LED 광원 유닛; 및 상기 LED로부터 발생되는 빛에 의해 노광되는 노광영역의 모양을 결정하는 단면을 가지며, 상기 LED 광원 유닛에서 방사되는 빛을 통합하고 상기 통합된 빛의 프로파일을 균일하게 정렬하여 상기 단면의 형태로 방출하는 로드렌즈(Rod lens);를 포함하는 LED 광원 모듈; 상기 LED 광원 모듈의 상기 LED 광원 유닛에 공급되는 전류의 크기를 각각 제어하여 상기 노광영역에 도달하는 빛의 강도를 결정하고, 상기 전류의 공급 및 중단을 제어하는 제어부; 상기 제어부의 제어에 따라 상기 LED 광원 유닛에 전류를 공급하는 전원 공급부; 상기 LED 광원 모듈의 각각의 동작상태 및 공급전류 값을 사용자에게 표시하는 표시부; 및 상기 LED 광원 유닛에 공급되는 전류의 크기를 제어하도록 상기 제어부에 사용자의 외부 명령을 입력하는 키조작부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이때, 본 발명에 따른 노광용 LED 광원 장치는, 상기 LED 광원 모듈 각각의 동작상태 및 공급전류 값을 외부의 운용단말에 전송하며, 상기 운용단말을 이용한 관리자의 조작 명령을 수신하기 위한 제1 통신부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 노광용 LED 광원 장치는, 노광장비의 상황에 따라 상기 LED 광원 유닛에 공급되는 전류를 공급 및 중단하도록 상기 노광장비로부터 장비상태신호를 수신하는 제2 통신부를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상술한 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 노광용 LED 광원장치 관리시스템은, 공급 전류에 따라 강도가 제어된 빛을 발생시키는 하나 이상의 LED(Light Emitting Diode)를 포함하는 하나 이상의 LED 광원 유닛; 및 상기 LED로부터 발생되는 빛에 의해 노광되는 노광영역의 모양을 결정하는 단면을 가지며, 상기 LED 광원 유닛에서 방사되는 빛을 통합하고 상기 통합된 빛의 프로파일을 균일하게 정렬하여 상기 단면의 형태로 방출하는 로드렌즈(Rod lens);를 포함하는 LED 광원 모듈과, 상기 LED 광원 모듈의 상기 LED 광원 유닛에 공급되는 전류의 크기를 각각 제어하여 상기 노광영역에 도달하는 빛의 강도를 결정하고, 상기 전류의 공급 및 중단을 제어하는 제어부와, 상기 제어부의 제어에 따라 상기 LED 광원 유닛에 전류를 공급하는 전원 공급부와, 상기 LED 광원 모듈의 각각의 동작상태 및 공급전류 값을 사용자에게 표시하는 표시부와, 상기 LED 광원 유닛에 공급되는 전류의 크기를 제어하도록 상기 제어부에 사용자의 외부 명령을 입력하는 키조작부 및 상기 LED 광원 모듈 각각의 동작상태 및 공급전류 값을 외부로 전송하는 제1 통신부를 포함하는 노광용 LED 광원 장치; 및 다수의 노광장비에 각각 설치되는 상기 노광용 LED 광원 장치들을 유/무선 통신망을 통해 원격으로 통합 제어 및 관리하는 중앙관리서버;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이때, 본 발명에 따른 노광용 LED 광원장치 관리시스템은, 상기 노광용 LED 광원 장치의 상기 제1 통신부로부터 전송된 상기 LED 광원 모듈 각각의 동작상태 및 공급전류 값을 표시하는 표시수단과, 상기 LED 광원 모듈 각각의 동작상태에 따라 상기 LED 광원 모듈 각각의 공급전류 값을 관리자가 설정할 수 있도록 제어데이터 및 제어명령을 입력받는 입력수단과, 상기 입력수단으로부터 입력된 제어데이터 및 제어명령에 따라 상기 노광용 LED 광원 장치를 이격된 위치에서 제어하는 제어수단을 구비하며, 상기 노광용 LED 광원 장치에 1:1로 접속되고 상기 유/무선 통신망을 통해 상기 중앙관리서버에 상기 노광용 LED 광원 장치들을 원격 접속시키는 운용단말;을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상술한 바와 같이 본 발명은, 종래의 수은 램프보다 수명이 길고, 크기가 작고 가벼우며, 저가이고, 사용이 간편한 장점이 있다.
또한, 본 발명은 LED 광원 유닛이 분리 및 조립이 가능하므로 광원의 신속한 교체가 가능하고 교체가 필요한 부분만 교체함으로써 소요비용을 절감하는 효과가 있다.
이에 따라, 본 발명은 교체주기가 길고, 필요 시 신속한 교체가 가능할 뿐만 아니라, 다수의 LED 광원 유닛을 단일 LED 광원으로 모듈화 함으로써 공정 라인을 멈추지 않고도 장애처리가 가능한 장점이 있으며, 공정 라인을 정지시키는 데 따른 손실을 방지할 수가 있다.
또한, 본 발명은 반도체 웨이퍼, 디스플레이 패널 등 다양한 크기와 종류의 노광 대상물 및 다양한 성질의 PR를 단일 광원 모듈로 노광할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명은 LED 광원의 노광 강도를 세밀하고 간편하게 조절할 수 있으므로, 노광 대상물을 정확하고 빠르게 노광할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명은 노광용 LED 광원 장치를 원격에서 통합적으로 제어 및 관리함으로써, 장애에 대한 신속하고 간편한 처리가 가능한 장점이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 노광용 LED 광원장치 관리시스템의 블록 구성도,
도 2는 본 발명에 따른 노광용 LED 광원 장치의 블록 구성도,
도 3은 본 발명에 따른 노광용 LED 광원 모듈의 블록 구성도,
도 4는 도 3의 노광용 LED 광원 모듈의 사시도,
도 5는 도 4의 노광용 LED 광원 모듈의 분리 사시도,
도 6a 내지 도 6c는 도 5의 노광용 LED 광원 모듈의 각 분리부의 단면도,
도 7은 도 6a의 광원부의 다른 실시예를 보인 사시도,
도 8은 본 발명에 따른 노광용 LED 광원 유닛의 단면도.
이하 본 발명의 바람직한 실시 예들의 상세한 설명이 첨부된 도면들을 참조하여 설명될 것이다. 도면들 중 동일한 구성들은 가능한 한 어느 곳에서든지 동일한 부호들을 나타내고 있음을 유의하여야 한다. 하기 설명에서 구체적인 특정 사항들이 나타나고 있는데, 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해 제공된 것이다. 그리고 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
후술될 상세한 설명에는 상술한 기술적 과제를 이루기 위한 본 발명에 있어서 대표적인 실시 예들을 제시할 것이다. 또한 본 발명의 설명의 편의를 위하여 실시 예들에 사용되는 LED의 개수, LED 구동에 사용되는 전압, 전류 및 주파수를 일정 범위 내로 한정하여 설명할 것이나, 이러한 개수 및 수치의 한정들이 본 발명의 범위를 한정하는 것은 아니며, 유사한 기술적 배경을 가지는 경우 해당 회로의 상황에 적절하게 변형되어 적용 가능함은 물론이다.
도 1은 본 발명에 따른 노광용 LED 광원장치 관리시스템의 블록 구성도로서, 먼저 도 1을 참조하여 본 발명에 따른 노광용 LED 광원장치 관리시스템의 전체 구성에 대하여 설명한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 노광용 LED 광원장치 관리시스템은 노광대상물(10)을 노광하는 노광장비(20) 각각에 설치되어 있는 본 발명에 따른 노광용 LED 광원 모듈(110)을 포함하는 노광용 LED 광원 장치(100)들과, 이 노광용 LED 광원 장치(100)를 개별적으로 제어, 관리 및 운용하는 운용단말(200)들 및 유/무선 네트워크(30)를 통해 원격지에서 노광용 LED 광원장치(100)들을 전체적으로 관리하는 중앙관리서버(300)를 포함한다.
상기 노광대상물(10)은 다양한 크기와 종류의 반도체 웨이퍼 및 디스플레이 패널 등이 될 수 있다. 상기 노광대상물(10)은 포토레지스트리 공정을 통해 PR 막이 도포된 반도체 웨이퍼 또는 디스플레이 패널이다.
상기 노광장비(20)는 상기 노광대상물(10)의 표면에 도포된 ArF PR, DUV PR, I-Line PR 등의 다양한 PR을 제거하는데 사용되는 노광기로서, 하기에서 도 2를 참조하여 상세히 설명할 본 발명에 따른 노광용 LED 광원장치(100)가 각각 배치되어 노광대상물(10)을 노광한다.
상기 운용단말(200)은 PC형태의 컴퓨터 단말 또는 현장 관리자의 휴대형 모바일 단말이 될 수 있으며, 노광용 LED 광원 장치(100)들에 각각 유무선 연결된다.
상기 운용단말(200)은 대응하는 노광용 LED 광원 장치(100)로부터 전송된 자신의 LED 광원 모듈(110) 각각의 동작상태 및 공급전류 값을 표시하는 모니터 등의 표시수단을 구비한다. 또한, 운용단말(200)은 대응하는 LED 광원 장치(100)의 LED 광원 모듈(110) 각각의 동작상태에 따라 LED 광원 모듈(110) 각각의 공급전류 값을 관리자가 설정할 수 있도록 제어데이터 및 제어명령을 입력받는 키보드 등과 같은 입력수단을 구비한다. 이에 따라 운용단말(200)은 제어수단을 구비하여 입력수단으로부터 입력된 제어데이터 및 제어명령에 따라 노광용 LED 광원 장치(100)를 이격된 위치에서 제어한다. 상기 운용단말(200)은 본 발명에 따른 노광용 LED 광원 장치(100) 각각에 1:1로 접속되고 상기 유/무선 네트워크(30)을 통해 중앙관리서버(300)에 대응하는 노광용 LED 광원 장치(100)를 원격 접속시킨다. 한편, 상기 운용단말(200)은 선택적으로 사용될 수 있으며, 운용단말(200)이 사용되지 않는 경우에는 상기 노광용 LED 광원 장치(100)가 직접 유/무선 네트워크(30)를 통해 상기 중앙관리서버(300)에 접속한다.
상기 중앙관리서버(300)는 유/무선 네트워크(30)를 통해 접속된 운용단말(200) 및 노광용 LED 광원 장치(100)를 통합적으로 제어 및 관리하여, 관리자가 다수의 노광용 LED 광원 장치(100)들을 원격지에서도 종합적으로 상태를 파악하고 장애를 관리할 수 있도록 사용자 인터페이스를 제공한다.
본 발명에 따른 상기 노광용 LED 광원 장치(100)의 상세한 구성을 도 2에 도시하였다. 도 2는 본 발명에 따른 노광용 LED 광원 장치의 블록 구성도로서, 도시된 바와 같이, 장치의 구성부를 전체적으로 제어하는 제어부(120)와, 상기 제어부(120)의 제어에 따라 노광대상물(10)을 노광하는 노광용 LED 광원 모듈(110)과, 상기 제어부(120)의 제어에 따라 상기 노광용 LED 광원 모듈(110)에 지정된 전류를 공급하는 전원공급부(130)와, 상기 LED 광원 모듈(110)의 각각의 동작상태 및 공급전류 값을 사용자에게 표시하는 표시부(140)와, 상기 LED 광원 모듈(110)에 공급되는 전류의 크기를 제어하도록 상기 제어부(120)에 사용자의 외부 명령을 입력하는 키조작부(150)와, 상기 LED 광원 모듈(110) 각각의 동작상태 및 공급전류 값을 외부의 운용단말(200)에 전송하며, 상기 운용단말(200)을 이용한 관리자의 조작 명령을 수신하기 위한 제1 통신부(160) 및 노광장비(20)의 상황에 따라 상기 LED 광원 모듈(110)에 공급되는 전류를 공급 및 중단하도록 상기 노광장비(20)로부터 장비상태신호를 수신하는 제2 통신부(170)를 포함한다.
상기 노광용 LED 광원 모듈(110)은 전원공급부(130)의 공급 전류에 따라 강도가 제어된 빛을 발생시키는 하나 이상의 LED(Light Emitting Diode)를 포함하는 하나 이상의 LED 광원 유닛을 포함한다. 상기 노광용 LED 광원 모듈(110)에 대해서는 하기에서 도 3을 참조하여 상세히 설명한다.
상기 제어부(120)는 상기 노광용 LED 광원 모듈(110)의 LED 광원 유닛(111)에 공급되는 전류의 크기를 각각 제어하여 노광대상물(10)의 노광영역에 도달하는 빛의 강도를 결정하고, 상기 전원공급부(130)를 제어하여 전류의 공급 및 중단을 제어한다.
제어부(120)는 노광장비(20)로부터 입력되는 노광용 LED 광원 모듈(110)의 온/오프 제어명령 또는 노광대상물(10)에 조사되는 광원의 강도 측정결과를 수신하여, 노광용 LED 광원 모듈(110)을 온/오프 하거나 강도를 조절하기 위한 PWM 신호를 생성하여 출력한다.
상기 제1통신부(160)는 노광장비(20)로부터 인가되는 노광용 LED 광원 모듈(110)의 제어명령 또는 측정결과를 수신하기 위하여 노광설비(20)와 통신하기 위하여 구비된 것으로 D-sub, Idc, Gpib, Gpio 포트 등으로 구현될 수 있다.
상기 제2통신부(170)는 운영단말(200)로부터의 노광용 LED 광원 모듈(110) 제어명령을 수신하고, 노광용 LED 광원 모듈(110)의 동작에 관한 각종 정보를 운영단말(200)에 전송하기 위하여 RS232, RS485 포트 등으로 구현될 수 있으며, 전송된 정보 및 데이터들은 운영단말(200)에 저장 및 유지되고, 원격지의 중앙관리서버(300)로 전송된다.
상기 키조작부(150)는 하나 또는 복수의 키 또는 터치 스크린 등에 의해 이루어지며, 노광용 LED 광원 장치(100)의 온/오프 및 노광용 LED 광원 모듈(110)의 개별적인 온/오프와, 발생하는 빛의 강도 제어를 위한 조작을 수행한다.
상기 표시부(140)는 상기 키조작부(150)에 의해 이루어진 사용자의 조작, 노광용 LED 광원 장치(100)의 각 구성부의 동작 상황, 노광장비(20)로부터의 제어명령 등을 시각적으로 표시한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 표시부(140)는 LCD 패널뿐만 아니라 녹색 LED 및 빨간색 LED를 포함할 수 있으며, 어느 하나 또는 복수의 LED의 온/오프, 지속적인 발광 및 점멸에 대한 제어정보를 표시할 수 있다.
도 3은 본 발명에 따른 노광용 LED 광원 모듈의 블록 구성도이고, 도 4는 도 3의 노광용 LED 광원 모듈의 사시도이며, 도 5는 도 4의 노광용 LED 광원 모듈의 분리 사시도이다. 또한, 도 6a 내지 도 6c는 도 5의 노광용 LED 광원 모듈의 각 분리부의 단면도이고, 도 7은 도 6a의 광원부의 다른 실시예를 보인 사시도이다.
이하 도 3 내지 도 7을 참조하면, 먼저 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 노광용 LED 광원 모듈(110)은 그 역할에 따라 크게 광원부(110a), 렌즈부(110b) 및 마스크부(110c)로 구분할 수 있으며, 도 5에 도시된 바와 같이, 분리 및 결합이 가능하다. 여기서, 광섬유(113)는 LED 광원 유닛(111)의 변형에 따라 생략 가능하며, 이 경우 LED 광원 유닛(111)들은 각각 개별적인 다수의 유닛들로 구성되지 아니하고 필요한 개수의 LED만이 로드렌즈(115)에 직접 연결되어 LED에서 방출되는 빛이 직접 로드렌즈(115)로 입사된다.
먼저, 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 노광용 LED 광원 모듈(110)을 구성하는 광원부(110a)는 다수의 노광용 LED 광원 유닛(111)과, 광원부 바디(112) 내에서 다수의 노광용 LED 광원 유닛(111) 각각으로부터 방출되는 빛을 하나로 모드는 다수의 광섬유(113, Optical Fiber)를 포함한다. 렌즈부(110b)는 로드렌즈(114, Rod Lens)를 포함하고, 마스크부(110c)는 하기에서 도 6c를 참조하여 설명할 가이드렌즈계(Guide Lens)를 구성한다. 도 3에 도시한 본 발명에 따른 노광용 LED 광원 모듈(110)의 결합 및 분리 사시도를 도 4 및 도 5에 각각 도시하였고, 도 6a 내지 도 6c에 노광용 LED 광원 모듈(110)의 각 분리부에 대한 상세한 단면도를 도시하였으며, 도 7에 도 6a에 나타낸 노광용 LED 광원 모듈(110)의 광원부(110a)에 대한 다른 실시예를 도시하였다.
본 발명에 따른 노광용 LED 광원 모듈(110)의 노광용 LED 광원 유닛(111)은 공급 전류에 따라 강도가 제어된 빛을 발생시키는 하나 이상의 LED(Light Emitting Diode)를 포함한다. 상기 노광용 LED 광원 유닛(111)에 대한 상세한 설명은 도 8을 참조하여 하기에서 상세히 설명한다.
먼저 도 6a 를 참조하면, 광원부(110a)는 다수의 노광용 LED 광원 유닛(111)들을 상부에 수용하며, 각각의 유닛으로부터 방출되는 빛을 한 곳에 모으기 위한 광섬유(113)가 광원부 바디(112)에 내장된다. 상기 광원부(110a)는 도 7에 도시된 바와 같이, 원형의 광원부 바디(112)로 구현할 수도 있으며, 다수의 노광용 LED 광원 유닛(111)들이 원형으로 배치된다.
도 6b를 참조하면, 로드렌즈(114)는 상기 노광용 LED 광원 유닛(111)의 LED로부터 발생되는 빛에 의해 노광되는 노광대상물(10)의 노광영역의 모양을 결정하는 단면을 가지며, 상기 LED 광원 유닛(111)에서 방사되는 빛을 통합하고 상기 통합된 빛의 프로파일을 균일하게 정렬하여 상기 단면의 형태로 방출한다. 상기 로드렌즈(114)는 균질화 로드(Homogenizing rod)라고도 하며, 단면이 원형, 삼각형, 사각형, 육각형, 양단의 직경이 서로 다른 테이퍼진 형태로 다양한 형태로 사용되며, 빛의 전반사의 원리를 이용하여 중심이 밝고 주변부가 어두운 LED 광원을 균일하게 만든다.
즉, 여러 개의 LED에서 나오는 빛을 직접 또는 상기 광섬유(113)를 사용하여, 한곳에서 발광하는 것처럼 제작하고, 로드렌즈(114)를 통하여 결상하게 되면, 파이버 코어를 노광영역에 결상하게 된다. 상술한 테이퍼 진 로드렌즈는 입사되는 빛의 발산 각도를 줄여 주는 효과를 얻을 수 있으며, 사각 & 육각 로드렌즈는 각도를 줄여주는 효과는 없으나 빛을 섞어주는 역할을 할 수 있다.
상기 광섬유(113)는 상기 하나 이상의 LED 광원 유닛(111)으로부터 방출되는 빛을 각각 상기 로드렌즈(114)에 전달한다. 광섬유(113)는 각각의 LED에서 방출되는 빛을 상기 로드렌즈(114)에 집광시키기 위하여 광섬유 다발을 이용한다. 이에 따라, 어레이 형태의 LED에서 LED와 LED 사이에 존재하는 빈 공간에 따라 집광이 어려웠던 문제점을 해결하여 방출되는 빛을 균일한 하나의 광원으로 집광시킬 수 있다.
상기 가이드부(110c)는 로드렌즈(114)의 출사면을 노광대상물(10)의 원하는 노광영역에 결상시키는 가이드 기능을 수행하는 바 가이드렌즈계라고 칭할 수 있으며, 이의 역할은 로드렌즈(114)로부터 균일하게 분포된 빛을 원하는 크기로 원하는 위치에 전송시켜 주는 역할을 하게 된다.
가이드렌즈계는 렌즈의 수차 특성 및 광학적 요인들에 의해 상의 품질이 결정되므로 좋은 품질의 상을 얻기 위해 복수개의 다양한 렌즈를 사용하여 최적의 결상조건을 얻기 위한 설계되며, 도 6c 에 그 상세한 구조를 도시하였다.
도 6c를 참조하면, 가이드부(110c)는 로드렌즈(114)로부터 방출되는 빛을 받는 수광렌즈(115)와, 상기 수광렌즈(115)에서 받은 빛을 노광영역에 모아주는 집광렌즈(116)를 수용하여, 로드렌즈(114)로부터 방출되는 빛이 노광영역에 도달하도록 가이드한다. 가이드렌즈계의 크기는 로드렌즈(114) 출사면의 크기와 목표 노광영역의 크기에 따라 배율이 정해지며, (로드렌즈 크기/노광영역 면적)으로 구해진다. 가이드부(110c)는 상기 수광렌즈(115)와 집광렌즈(116)의 거리를 조절하여 노광영역의 크기 및 광밀도를 변경할 수도 있다.
또한, 가이드부(110c)는 집광렌즈(116)로부터 집광된 빛의 양을 조절하는 조리개(117)를 더 구비할 수 있으며, 하부에 슬릿(119)을 구비한 마스크(118)를 구비하여 최종적으로 노광영역에 도달하는 빛의 전사패턴을 결정할 수 있다.
상기 노광용 LED 광원 유닛(111)은 도 3 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 노광용 LED 광원 모듈(110)에 다수개 구비되고, 개별적으로 공급전류가 제어됨으로써, 본 발명에 따른 노광용 LED 광원 모듈(110)의 출력을 제어하여 365nm, 405nm, 430nm, 460nm, 465nm 등 다양한 파장대역에서 반응하는 각종 PR을 요구되는 깊이로 노광할 수 있도록 한다. 이에 따라, 본 발명에 따른 노광용 LED 광원 모듈(110)은 단일 모듈을 사용하여 교체 없이 다양한 크기와 형태를 갖는 반도체 웨이퍼 및 디스플레이 패널에서 요구되는 다양한 출력을 조합할 수 있으므로, 다양한 PR에 대하여 요구되는 깊이와 폭으로 노광이 가능하다.
상기 노광용 LED 광원 유닛(111)은 도 8에 도시된 바와 같이, LED(11)와, 상기 LED(11)에서 발생된 빛의 전사패턴을 결정하는 슬릿이 형성된 마스크(13)를 수용하며, 상기 LED(11)에서 발생한 열을 효율적으로 방열하는 복수의 방열핀(17a, 17b)을 외주면에 형성한 경통(15) 및 LED(11)와 마스크(13) 사이에 위치하여, LED(11)에서 발생된 빛을 집광하는 복수의 렌즈로 구성되는 집광광학계(19)를 포함한다.
도 8은 본 발명에 따른 노광용 LED 광원 유닛의 단면도로서 도면을 참조하면, LED(11)는 365nm 또는 385nm 파장의 빛을 방출하는 LED일 수 있다.
경통(15)은 내부에 수용하고 있는 LED(11), 마스크(13) 및 집광광학계(19) 별로분리 조립이 가능한 형태로 구현되며, 후단부에는 외부로부터 LED(11)를 구동하기 위한 전원을 입력 받기 위한 전원 케이블(미 도시함)이 배치된다.
집광광학계(19)는 복수의 렌즈로 이루어질 수 있으며, LED(11)에서 방출하는 빛을 집광하기 위한 렌즈들 및 집광된 자외선의 빔프로파일을 원하는 형태로 변형시키기 위한 빔프로파일 변형 렌즈 등을 포함한다. 빔프로파일 변형렌즈에 의해 변형된 빔프로파일은 발광된 자외선의 손실을 최소화하기 위하여, 슬릿의 형태와 거의 일치하도록 변형되는 것이 바람직하다.
여기서, LED(11)에서 발생하는 빛은 방향성을 갖지 않고 확산되기 때문에, 이러한 빛을 효율적으로 집광하여 이상적으로 작은 하나의 점으로 만들수 없기 때문에, 기하광학(Ray Optics)적인 관점에서 광선을 집광하기 위하여 복잡한 비구면 렌즈나 다수의 렌즈의 조합이 적용된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 노광용 LED 광원 모듈, 노광용 LED 광원 장치 및 노광용 LED 광원장치 관리시스템은 다수의 LED 광원 유닛을 단일 LED 광원으로 모듈화 함으로써 공정 라인을 멈추지 않고도 반도체 웨이퍼, 디스플레이 패널 등 다양한 크기와 종류의 노광 대상물 및 다양한 성질의 PR를 노광할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 노광용 LED 광원 모듈, 노광용 LED 광원 장치 및 노광용 LED 광원장치 관리시스템은 LED 광원의 노광 강도를 세밀하고 간편하게 조절할 수 있으므로, 노광 대상물을 정확하고 빠르게 노광할 수 있으며, 원격에서 통합적으로 제어 및 관리함으로써, 장애에 대한 신속하고 간편한 처리가 가능하다.
한편 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며 후술하는 특허청구의 범위뿐 아니라 이 특허청구의 범위와 균등한 것들에 의해서 정해져야 한다.

Claims (12)

  1. 공급 전류에 따라 강도가 제어된 빛을 발생시키는 하나의 LED(Light Emitting Diode)와, 상기 LED에서 발생된 빛의 전사패턴을 결정하는 슬릿이 형성된 마스크를 수용하며, 상기 LED에서 발생한 열을 방열하는 복수의 방열핀을 외주면에 형성한 경통 및 상기 LED와 상기 마스크 사이에 위치하여, 상기 LED에서 발생된 빛의 출력 및 균일도 조정을 위해 조절 가능한 복수의 렌즈로 구성되는 집광광학계를 포함하며, 상기 LED, 마스크 및 집광과학계가 각각 분리 및 조립이 가능한 복수의 노광용 LED 광원 유닛;
    상기 LED로부터 발생되는 빛에 의해 노광되는 노광영역의 모양을 결정하는 단면을 가지며, 상기 LED 광원 유닛에서 방사되는 빛을 통합하고 상기 통합된 빛의 프로파일을 균일하게 정렬하여 상기 단면의 형태로 방출하는 로드렌즈(Rod lens);
    상기 복수의 LED 광원 유닛으로부터 방출되는 빛을 각각 상기 로드렌즈에 전달하는 광섬유; 및
    상기 로드렌즈로부터 방출되는 빛을 받는 수광렌즈와, 상기 수광렌즈에서 받은 빛을 상기 노광영역에 모아주는 집광렌즈를 수용하여, 상기 로드렌즈로부터 방출되는 빛이 상기 노광영역에 도달하도록 가이드하는 가이드렌즈계;를 포함하는 노광용 LED 광원 모듈.
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  5. 제 1항에 있어서, 상기 노광용 LED 광원 모듈은,
    상기 복수의 노광용 LED 광원 유닛과, 상기 로드렌즈 및 상기 가이드렌즈계가 각각 분리 및 조립이 가능한 것을 특징으로 하는 노광용 LED 광원 모듈.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 가이드렌즈계는,
    상기 수광렌즈와 상기 집광렌즈의 거리를 조절하여 상기 노광영역의 크기 및 광밀도를 변경하는 것을 특징으로 하는 노광용 LED 광원 모듈.
  7. 제 6항에 있어서, 상기 가이드렌즈계는,
    상기 집광렌즈에서 집광된 빛의 강도를 조절하는 조리개를 더 구비한 것을 특징으로 하는 노광용 LED 광원 모듈.
  8. 공급 전류에 따라 강도가 제어된 빛을 발생시키는 하나의 LED(Light Emitting Diode)와, 상기 LED에서 발생된 빛의 전사패턴을 결정하는 슬릿이 형성된 마스크를 수용하며, 상기 LED에서 발생한 열을 방열하는 복수의 방열핀을 외주면에 형성한 경통 및 상기 LED와 상기 마스크 사이에 위치하여, 상기 LED에서 발생된 빛의 출력 및 균일도 조정을 위해 조절 가능한 복수의 렌즈로 구성되는 집광광학계를 포함하며, 상기 LED, 마스크 및 집광과학계가 각각 분리 및 조립이 가능한 복수의 LED 광원 유닛; 상기 LED로부터 발생되는 빛에 의해 노광되는 노광영역의 모양을 결정하는 단면을 가지며, 상기 LED 광원 유닛에서 방사되는 빛을 통합하고 상기 통합된 빛의 프로파일을 균일하게 정렬하여 상기 단면의 형태로 방출하는 로드렌즈(Rod lens); 상기 복수의 LED 광원 유닛으로부터 방출되는 빛을 각각 상기 로드렌즈에 전달하는 광섬유; 및 상기 로드렌즈로부터 방출되는 빛을 받는 수광렌즈와, 상기 수광렌즈에서 받은 빛을 상기 노광영역에 모아주는 집광렌즈를 수용하여, 상기 로드렌즈로부터 방출되는 빛이 상기 노광영역에 도달하도록 가이드하는 가이드렌즈계;를 포함하는 LED 광원 모듈;
    상기 LED 광원 모듈의 상기 LED 광원 유닛에 공급되는 전류의 크기를 각각 제어하여 상기 노광영역에 도달하는 빛의 강도를 결정하고, 상기 전류의 공급 및 중단을 제어하는 제어부;
    상기 제어부의 제어에 따라 상기 LED 광원 유닛에 전류를 공급하는 전원 공급부;
    상기 LED 광원 모듈의 각각의 동작상태 및 공급전류 값을 사용자에게 표시하는 표시부; 및
    상기 LED 광원 유닛에 공급되는 전류의 크기를 제어하도록 상기 제어부에 사용자의 외부 명령을 입력하는 키조작부;를 포함하는 노광용 LED 광원 장치.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 LED 광원 모듈 각각의 동작상태 및 공급전류 값을 외부의 운용단말에 전송하며, 상기 운용단말을 이용한 관리자의 조작 명령을 수신하기 위한 제1 통신부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 노광용 LED 광원 장치.
  10. 제 8항에 있어서,
    노광장비의 상황에 따라 상기 LED 광원 유닛에 공급되는 전류를 공급 및 중단하도록 상기 노광장비로부터 장비상태신호를 수신하는 제2 통신부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 노광용 LED 광원 장치.
  11. 공급 전류에 따라 강도가 제어된 빛을 발생시키는 하나 이상의 LED(Light Emitting Diode)와, 상기 LED에서 발생된 빛의 전사패턴을 결정하는 슬릿이 형성된 마스크를 수용하며, 상기 LED에서 발생한 열을 방열하는 복수의 방열핀을 외주면에 형성한 경통 및 상기 LED와 상기 마스크 사이에 위치하여, 상기 LED에서 발생된 빛의 출력 및 균일도 조정을 위해 조절 가능한 복수의 렌즈로 구성되는 집광광학계를 포함하며, 상기 LED, 마스크 및 집광과학계가 각각 분리 및 조립이 가능한 복수의 LED 광원 유닛; 및 상기 LED로부터 발생되는 빛에 의해 노광되는 노광영역의 모양을 결정하는 단면을 가지며, 상기 LED 광원 유닛에서 방사되는 빛을 통합하고 상기 통합된 빛의 프로파일을 균일하게 정렬하여 상기 단면의 형태로 방출하는 로드렌즈(Rod lens); 상기 복수의 LED 광원 유닛으로부터 방출되는 빛을 각각 상기 로드렌즈에 전달하는 광섬유; 및 상기 로드렌즈로부터 방출되는 빛을 받는 수광렌즈와, 상기 수광렌즈에서 받은 빛을 상기 노광영역에 모아주는 집광렌즈를 수용하여, 상기 로드렌즈로부터 방출되는 빛이 상기 노광영역에 도달하도록 가이드하는 가이드렌즈계;를 포함하는 LED 광원 모듈과, 상기 LED 광원 모듈의 상기 LED 광원 유닛에 공급되는 전류의 크기를 각각 제어하여 상기 노광영역에 도달하는 빛의 강도를 결정하고, 상기 전류의 공급 및 중단을 제어하는 제어부와, 상기 제어부의 제어에 따라 상기 LED 광원 유닛에 전류를 공급하는 전원 공급부와, 상기 LED 광원 모듈의 각각의 동작상태 및 공급전류 값을 사용자에게 표시하는 표시부와, 상기 LED 광원 유닛에 공급되는 전류의 크기를 제어하도록 상기 제어부에 사용자의 외부 명령을 입력하는 키조작부 및 상기 LED 광원 모듈 각각의 동작상태 및 공급전류 값을 외부로 전송하는 제1 통신부를 포함하는 노광용 LED 광원 장치; 및
    다수의 노광장비에 각각 설치되는 상기 노광용 LED 광원 장치들을 유/무선 통신망을 통해 원격으로 통합 제어 및 관리하는 중앙관리서버;를 포함하는 노광용 LED 광원장치 관리시스템.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 노광용 LED 광원 장치의 상기 제1 통신부로부터 전송된 상기 LED 광원 모듈 각각의 동작상태 및 공급전류 값을 표시하는 표시수단과, 상기 LED 광원 모듈 각각의 동작상태에 따라 상기 LED 광원 모듈 각각의 공급전류 값을 관리자가 설정할 수 있도록 제어데이터 및 제어명령을 입력받는 입력수단과, 상기 입력수단으로부터 입력된 제어데이터 및 제어명령에 따라 상기 노광용 LED 광원 장치를 이격된 위치에서 제어하는 제어수단을 구비하며, 상기 노광용 LED 광원 장치에 1:1로 접속되고 상기 유/무선 통신망을 통해 상기 중앙관리서버에 상기 노광용 LED 광원 장치들을 원격 접속시키는 운용단말;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 LED 광원장치 관리시스템.
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101532352B1 (ko) * 2013-10-30 2015-06-29 주식회사 인피테크 노광용 led 광원 장치 및 노광용 led 광원장치 관리시스템
US10234769B2 (en) 2017-05-22 2019-03-19 Cymer, Llc Monitoring system for an optical lithography system
JP6921150B2 (ja) * 2019-07-24 2021-08-18 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 追加露光装置およびパターン形成方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007194583A (ja) * 2005-12-21 2007-08-02 Ａｒｋ Ｔｅｃｈ株式会社 周辺露光用光源装置
JP2007273456A (ja) * 2006-03-01 2007-10-18 Texmag Gmbh Vertriebs Ges Gmbh 線光発光装置
JP2010114054A (ja) 2008-11-05 2010-05-20 Tozai Denko Co Ltd 光源装置

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000260684A (ja) * 1999-03-08 2000-09-22 Nikon Corp 露光装置、及び照明装置
JP2001135560A (ja) * 1999-11-04 2001-05-18 Nikon Corp 照明光学装置、該照明光学装置を備えた露光装置、および該露光装置を用いたマイクロデバイス製造方法
US7022960B2 (en) * 2002-02-12 2006-04-04 Konica Corporation Photographic film image reading apparatus with film density detection
JP2005353927A (ja) * 2004-06-14 2005-12-22 Dainippon Screen Mfg Co Ltd パターン描画装置
US6945674B2 (en) * 2002-07-16 2005-09-20 Ccs, Inc. Light irradiating unit
JP4119329B2 (ja) * 2002-07-16 2008-07-16 シーシーエス株式会社 光照射装置
WO2004077533A1 (ja) * 2003-02-28 2004-09-10 Kabushiki Kaisha Hayashi Soken 露光装置
JP2007292999A (ja) * 2006-04-25 2007-11-08 Y E Data Inc 露光装置の光源
CN201159832Y (zh) * 2008-02-27 2008-12-03 芯硕半导体（中国）有限公司 具有超高强度led光源的无掩膜直写光刻机
JP5345443B2 (ja) * 2009-04-21 2013-11-20 株式会社日立ハイテクノロジーズ 露光装置、露光光照射方法、及び表示用パネル基板の製造方法
KR101073671B1 (ko) * 2009-11-26 2011-10-14 (주)와이티에스 노광용 ｌｅｄ 램프 및 이를 이용한 노광장치

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007194583A (ja) * 2005-12-21 2007-08-02 Ａｒｋ Ｔｅｃｈ株式会社 周辺露光用光源装置
JP2007273456A (ja) * 2006-03-01 2007-10-18 Texmag Gmbh Vertriebs Ges Gmbh 線光発光装置
JP2010114054A (ja) 2008-11-05 2010-05-20 Tozai Denko Co Ltd 光源装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170019632A (ko) 2015-08-12 2017-02-22 주식회사 인피테크 대면적 패턴 노광용 led어레이광원모듈 및 그 제어장치

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