TWI330719B

TWI330719B - Optical lens system

Info

Publication number: TWI330719B
Application number: TW096115999A
Authority: TW
Inventors: David Shafer; Aurelian Dodoc; Heiko Feldmann; Johannes Zellner; Wilhelm Ulrich; Holger Walter; Ulrich Loering; Daniel Kraehmer; Gerhard Fuerter
Original assignee: Zeiss Carl Smt Ag
Priority date: 2006-05-05
Filing date: 2007-05-04
Publication date: 2010-09-21
Also published as: JP2009536373A; US20090080086A1; WO2007131161A2; CN101438196A; KR20090018918A; EP2021854A2; WO2007131161A3; TW200809424A; US7697211B2; CN101438196B; EP2101209A1; JP5522520B2; KR101402449B1

Description

1330719 九、發明說明：【交互參考相關申請資料】名稱為「光學透鏡系統」且於2006年5月5日申請的臨時申請案第60/798157號，以及名稱為「光學透鏡系統」且於2006年8月17日申請的臨時申請案第6〇/838213號，本申μ案主張其為本案之優先權文件。此二臨時申請案之全部内容在此列入參考。【發明所屬之技術領域】本發明揭露關於光學透鏡系統，且係關於微蝕刻及其製程。【先前技術】光學透鏡系統可被用於導引光學射線。光學透競系統可被用於成H统’自物端導引射線至成像區，藉此於成像區形成物端的影像。在某些應用當+，光學透鏡系統可被用於微蝕刻系統。例如’光學透鏡系統可被用於罩圖像投射至基板上的一光感應層（例如，一光阻j L發明内容】於某些形態中，本發明揭露特徵為成像的光學透鏡系統，其設計成具有相當低的縱向色像差（例#，相當低=主縱向色像差及次縱向色像差)。該光學：…

兩種不同材料形成的透鏡組。某些實施例揭露特 1057-8840-PF 5 1330719 =三種不’料形《的透餘。$些透鏡的設計與佈置被選擇不只用IX降低縱向色像差，並使得光學透鏡系統具有 :他較佳的成像特性’像是相對低的場曲像差、相對低的橫向色像差(例如，主橫向色像差及次橫向色像差）。實施利包括光學透鏡系統，被設計用以將采光原的i、h、及g 光譜線對應的波長成像。於一般的第一種形態中，本發明特徵在於揭露一光學透鏡系統，用以導引波長人的射線自物端區域至成像端區域，該光學透鏡系統具有一光轴。該光學透鏡系統包括具有沿光學透鏡系統之光轴設置的第一透鏡與第二透鏡的一第一透鏡組，具有沿光學透鏡系統之光軸設置的第一透鏡與第二透鏡的一第二透鏡組’具有沿光學透鏡系統之光軸 °又置的第一透鏡與第二透鏡一第三透鏡組，以及具有沿光學透鏡系統之光轴設置的第一透鏡與第二透鏡的一第四透鏡組。於各個第一、第二、第三及第四透鏡組中的第一及第二透鏡包含矽。該第一、第二、第三及第四透鏡組對稱的設置於和光軸垂直的平面上。第一透鏡組對於射線具有一第一色像差。第二透鏡組對於射線具有一第二色像差。第一色像差與第二色像差的相差値小於第二色像差的標號和第一色像差的標號相反。該光學透鏡系統構成微蝕刻光學透鏡系統的一部份。於一般的另一種形態中，本發明特徵在於揭露一種用以將射線自物端區域導引至成像端區域的光學透鏡系統，該光學透鏡系統具有一光軸。該光學透鏡系統包括具有沿 1057-8840-PF 6 1330719 光學透鏡系統之光軸設置的第一透鏡與第二透鏡的一第_ 透鏡組，以及具有沿光學透鏡系統之光軸設置的第一透鏡與第一透鏡的一第二透鏡組。第一透鏡組對於射線具有一第一色像差。第二透鏡組對於射線具有一第二色像差。射線具有波長λ，其中第一色像差與第二色像差的相差値小於 λ。光學透鏡系統將波長λ的射線成像於成像端區域，且第二色像差的標號和第一色像差的標號相反。該光學透鏡系統構成微钱刻光學透鏡系統的一部份，第一透鏡組於成像端區域將波長λ的影像曲率，減少至小於微银刻光學透鏡系統於成像端區域的焦距深度。於一般的另一種形態中，本發明特徵在於揭露一種用以將波長λ的射線自物端區域導引至成像端區域的光學透鏡系統，該光學透鏡系統具有一光軸。光學透鏡系統包括於物端區域與成像端區域之間沿光軸設置具有正光學屈光率的一第一透鏡組，於第一透鏡組與成像端區域之間沿光軸設置具有正光學屈光率的一第二透鏡組，於第二透鏡組與成像端區域之間沿光軸設置具有正光學屈光率的一第三透鏡組，於第三透鏡組與成像端區域之間沿光軸設置具有正光學屈光率的一第四透鏡組；其中第二透鏡組包括一第一雙透鏡與一第二雙透鏡，第一雙透鏡包括以第一材料形成的透鏡及以第二材料形成的透鏡，且第一及第二材料於入具有不同色散值，其中第三透鏡組包括一第一雙透鏡與一第二雙透鏡，第一雙透鏡包括以第三材料形成的透鏡及以第四材料形成的透鏡，且第三及第四材料於1具有不同色散

1057-8840-PF 7 1330719 值。第二透鏡組的第一與第二雙透鏡，關於垂直光轴的一平面，與第三透鏡組的第一與第二雙透鏡對稱設置。該光學透鏡系統構成微蝕刻投影系統的一部份。於一般的另一種形態中’本發明特徵在於揭露一種用以將波長λ的射線自物端區域導引至成像端區域的光學透鏡系統’該光學透鏡系統具有一光軸，光學透鏡系統包括於物端區域與成像端區域之間沿光軸設置具有正光學屈光率的一第一透鏡組，具有正光學屈光率第一值的一第二透鏡組且於第一透鏡組與成像端區域之間沿光軸設置，於第二透鏡組與成像端區域之間沿光轴設置具有正光學屈光率的一第三透鏡組，於第三透鏡組與成像端區域之間沿光轴設置具有正光學屈光率的一第四透鏡組；其中第二透鏡組包括以第一材料形成的透鏡、第二材料形成的透鏡以及第三材料形成的透鏡，且第一、第二及第三材料於1具有不同色散值。第二透鏡組的複數透鏡係關於光學透鏡系統的曈平面，與第三透鏡組的複數透鏡對稱設置。該光學透鏡系統構成微蝕刻投影系統的一部份。於一般的另一種形態中，本發明特徵在於揭露一種用以將波長λ與λ’的射線自物端區域導引至成像端區域的光學透鏡糸統’該光學透鏡系統具有一光軸。該光學透鏡系統包括於物端區域與成像端區域之間沿光軸設置的複數透鏡’其中佔光學透鏡系統的總數至少一半的透鏡是以炫融一氧化妙（fused silica)形成 ’ |λ — λ I ^ 20 nm » 並且該光學透鏡系統構成微蝕刻投影系統的一部份。

1057-8840-PF 1330719 於一般的另一種形態中，本發明特徵在於揭露一種用以將波長λ的射線自物端區域導引至成像端區域的光學透鏡系統，該光學透鏡系統具有一光軸。該光學透鏡系統包括於物端區域與成像端區域之間沿光軸設置的複數透鏡。該光學透鏡系統具有不大於0 2的最大數值孔徑 (numerical aperture)，小於0.33的Γ比值，以及光學透鏡系統構成微蝕刻投影系統的一部份。於一般的另一種形態中，本發明特徵在於系統包括配置用以發出具多種汞光譜線的射線的一汞光源，設置用以接收發射自汞光源的射線的一投影物鏡、以及配置用於將一晶圓相對於投影物鏡擺放定位的一平台。於操作期間，投影物鏡將射線自光源導引至晶圓上，照射於晶圓上的射線包括超過一種光譜線的能量。實施例可以包括一個或多個以下的優點。例如，光學透鏡系統揭露可被使用於微蝕刻設備中的一投影鏡頭，並且以超過單一波長的射線對晶圓曝光。因此，相對於將晶圓以光源的單一射線波長曝光的系統，以超過至少一波長的射線的光源可更有效率地使用。結果，相對於單一波長系統’可使用更高曝光能量。相反地，更高曝光能量可減少曝光時間並且增加微蝕刻裝置。實施例包括具有低色像差以及於大於一波長（例如兩個或三個波長）處的其他令人滿意的成像特徵，並且使用相對少量不同材料的元件。例如，實施例包括由僅有兩種不同材料構成的透鏡的光學透鏡系統。實施例亦揭露僅由三

1057-8840-PF 9 1330719 種不同材料構成透鏡。於實施例中，所有材料皆是容易商業取得並且各個透鏡的設計是可製造的。於某些實施例包括不同材料的透鏡’大部分透鏡可取自冑fJL易獲得的材料以充分可應用於微蝕刻投影物鏡的數量形成之。例如，於某些實施例中，融二氧化矽構成》一大部分（例如至少一半）的透鏡係以熔

風實施例亦包括對於透鏡熱效應具有相當低敏感性的光學透鏡系統。透鏡熱效應對於投影物鏡之成像特性產生的影響可藉由制透鏡排列而減輕，包括於射線非均質照射成像於該透鏡處減少透鏡數。對於熱效應減輕的敏感性， :於未主動控制下提供經濟的方法減少成像源錯誤而獲因此，本發明揭露的投影物鏡的商業實施設計，可適用於至少一個波長以上。本發明的其他特徵與優點將可藉由說明、圖式專利範圍而更易明白。月

L貫施方式J 第1圖是關S將射線自光源18導引至—物件料鏡純2的—實施例的概要圖式。光學透鏡系統2包 =第透鏡’！1。與一第二透鏡組】2，各個沿光系統2的光軸8設置。朵洛,。加兄光源〗8提供光源射線u 4沿光軸8，首先通過第_漣_ 亢/席面 %、第透鏡組〗〇，接著通過第二透鐘組12而行進至輸出面6。物姓丄处規物件16可被設置於鄰近輸出面6

1057-8840-PF 10 1330719 或其中’以便接收射線。輸出面6可以疋光學透鏡系統2的焦平面。或者，輸出面6可以是光學透鏡系統2的成像面，或關於光學透鏡系統2的其他形式的面光學透鏡系統2可形成微触刻光學透鏡系、統2的-部份（例如，微㈣光學投影透鏡系統之一部份）’其中光源面4係微蝕刻光學透鏡系統之物端面，以及輸出δ 6係、微姓刻光學透鏡系统之成像端面。設置於輸出面6或其中的物件16，可以是一基板，如一晶圓。光學透鏡系統2亦可包括一元件24，像是定義微蝕刻光學透鏡系統的孔徑的孔徑光闌（aperture st〇p)。元件 24可沿光軸8之位置設置，用以定義一開口。例如，於某些實施例中，元件24可被設置於第二透鏡組12内。於某些實施例中’元件2 4可被設置於鄰近輸出面6。於某些實施例中，光學透鏡系統亦可包括一開口（未顯不），像是可調的光罩或光圈，用以定義該微蝕刻光學透鏡系統的照明開口。例如’開口可對於微蝕刻光學透鏡系統供雙極照明、四極照明、ί衣狀照明或其他種形式的照明。由光源18提供的射線14包括射線波長成分之分布。此分布具有一中心波長λ以及最大半寬光譜頻寬八入之全寬。由於光學元件（例如每一元件對於λ具有不同的折射率）的色散’於光學系統内產生色像差。典型地，光源射線i 4 的頻寬Δλ越寬，於光學系統中的色像差高度越大。色像差可藉由光源射線14的光譜頻寬Δλ範圍内的三 1057-8840-PF 11 1330719 個波長單元’依序沿著光轴8的聚焦位置而描述之。與垂直光軸方向上的不同波長的聚焦位置變化之橫向色像差相比’這類色像差亦被歸屬為縱向色像差。此三個波長單元具有波長λΐ、λ2與λ3，其中λ1<λ2<λ3。例如，於某些實施例中，射線源可包括具有可見光及近UV的電磁光譜波長之射線’並且波長λΐ、λ2與λ3可對應於果原子光譜線的i、 h及g光譜線。汞光譜線的i光譜線之波長為365 〇1 、 h光譜線的波長為404. 65 nm且g光譜線的波長為435 84 nm 色像差的大小對應於沿光軸8，光源射線14的波長單元皆聚焦的聚焦區域的最大長度。例如，由於各種透鏡材料的波長相關色散特性，使得光源射線14的波長單元，其跨越一光譜頻寬Δλ，沿著光軸8聚焦於不同的位置。於光源射線14的波長單元中’―波長單元將藉由光學透鏡系統聚焦於光轴8上，較其他ί古, m 权丹他，反長早兀的聚焦位置更靠近透鏡系統的位置。另-波長單元將藉由光學透㈣統聚焦於光軸8上，較其他波長單元的聚焦位置更遠離光學系統的位置。光源射線14的波長單元的最近聚焦位置與最遠聚焦位置之間的光軸8上距離，就是光學透鏡系統對於光源：線 H的色像差値。光源射線14之中心波長^光轴8的聚隹位置定義輸出面6的位置’即位於聚焦區域内。色像差的符號以波長單元λ1與入3沿光軸且於透統焦距範圍内的相關佈置有I例如，透鏡材料的兄、學色散造成較短的波長射線單元聚早疋聚焦位置比較長的波長射

1057-8840-PF 12 1330719 線單元聚焦位置，於光轴8上更靠近透鏡系統。做為正的色像差中，色像差造成具有波長λ 1的射線沿光軸8的聚焦位置較具有波長λ3的射線沿光轴8的聚焦位置更靠近透鏡系統。相反地，負的色像差使得具有波長λ3的射線沿光轴 8的聚焦位置較具有波長λ 1的射線沿光軸8的聚焦位置更靠近透鏡系統。

各種色像差的形態可藉由在此揭露的光學系統修正之。第一種色像差形態為主色像差，即具有波長為人丨與入3 的射線單元之間沿光軸108的聚焦位置差。藉由選擇性地調制第一透鏡組10與第二透鏡組12對主色像差的貢獻，光學透鏡系統2可被配置用以修正主色像差。當主色像差被較佳地補正後，具有波長為λ1與人3的射線單元，藉由光學透鏡系統2沿光轴8聚焦於共同位置。。第二種色像差形態為第二色像差，為波長人丨與“的射線單元沿光轴108的共同聚焦位置與波長。沿光軸ι〇8的聚焦位置之間的差。經由適當的選擇材料、位置與透鏡，第二色像差亦可藉由光學透鏡系統2補正之。當第二2像差完善地補正後，具有波長λ1、λ2、的射線早兀藉由光學透鏡系統2沿光轴8聚焦於共同位置。更高階色像差亦可處理之，某此# 呆坚先學透鏡系統2的實施例可被配置用以解決這些更高階的像差。例如，於某些

實施例中，光學透鏡系統亦可對第三色像差補正。當第I 色像差被完善地補正後，具右四袖具有四個不同波長的射線單元藉由光學透鏡系統2沿光軸聚焦於共、um置。一般而言，透

1057-8840-PF 13 1330719 鏡系統的色像差包括主色像差、第二色像差及更高階色像差（如第三階色像差）。第一透鏡組ίο與第二透鏡組12被配置用以提供與輸出平面6有關的光學透鏡系統2的選擇色像差。第一透鏡組10包括一個或更多的透鏡。於第一透鏡組1〇中的各個透鏡產生色像差。第一透鏡組10中透鏡的尺寸、間隔及材料，對於第一透鏡組10可選擇的產生第一色像差的一特別數値。第二透鏡組12配置包括兩個或更多透鏡，對於第二透鏡組12產生第二色像差的一特別數值。於某些實施例中，第二透鏡組12中選擇透鏡的尺寸、間隔及材料，使得第一色像差與第二色像差的數值差小於光源射線丨4的波長（例如少於λ)。此外，第二透鏡組12被配置，使得第二色像差具有與第一色像差相反的符號。因此，第二色像差被選擇用以對第一色像差補正。於某些實施例中，整體色像差的數值可被選擇，使得具有波長λΐ、λ2、λ3的射線單元大體聚焦於共同的聚焦面’即輸出面6。於某些實施例中，只有波長λι、λ2、λ3 的近軸光線可聚焦於一共同聚焦面。於某些實施例中，光學透鏡系統2的色像差數值可隨著第一透鏡組10與第二透鏡組12之間於光轴8上的間距 d改變而變化。間距d可被選擇’以便使光學透鏡系統2 關於輸出面6產生色像差的特殊數值。例如，可以選擇d，使得光學透鏡系統2關於輸出面6的色像差數值，小於光源射線14的波長。於某些實施例中，d可為5公分或更多

1057-8840-PF 14 1330719 (例如，約為10公分或更多，約為 2〇公分或更多）。更分或更多，約為般而言，第一透鏡組10可且式透鏡。例如，於某些實施例中1 7配置且可包括各個或更多透鏡，如三個透鏡、四個透鏡組10可包括兩五個透鏡。於某些實施例中，例如^五個透鏡或超過口古__ /m ^ 透鏡組1 0可舍知 /、有-個透鏡。每一個透鏡可具有雙同時具有凹及凸表自。面'雙凸表面或第=透鏡組12亦可包括各式表面配置及包鏡。一般而言，第二透鏡組12可包種透如-侗凌扭匕括兩個或更多透鏡，例二個透鏡、四個透鏡、五個透鏡或超過五個透鏡。每— 個透鏡可具有雙凹表面、雙凸表 ^ 時具有凹及凸表面。、:'些實施例中’第一透鏡組中的透鏡最大直徑至少為第二透鏡組中的透鏡最大直㈣15倍。例如，第鏡組中的透鏡最大直徑至少為第二透鏡組中的透鏡最大直徑的2倍(或3倍，或4倍）。例如，可選擇第一透鏡組中的透鏡最大直徑，使得光學透鏡系統2適用於光源Μ輸出的最大光學場直徑。於某些實施例中，第一透鏡組1〇的主平面與第二透鏡組12的第一透鏡之間沿光軸8量得的距離，大於第一透= 組的焦距。例如，於2002年SPIE Press出版Michael ;

Kidger 所著 “Fundamental Optical Design” 的第 2 章所述的主平面。第一透鏡組10的主平面可決定如下：自光源面4的近軸光線’平行於光轴8行進，進入第—透鏡組1〇。 1057-8840-PF 15 1330719 第-透鏡組ίο將此光線聚焦，因此來自第一透鏡組1〇的，線以-角度與光轴8交會。光線與光軸8匯聚於一點。错由匯聚光線往後延伸且光源光線往前延伸兩光線的交會處所決定。通過交會點且與光轴8正交的平面即為光學系統的主平面。

第一透鏡組10的主平面30顯示於第i圖中。主平面 30與第二透鏡組12 @第一透鏡之間的距離p大於第一透鏡組10焦距f。一般而言’ p可至少大於f有5%(或至少大於f有10%、或至少大於f有20%、或至少大於f有4⑽、或至少大於f有60%、或至少大於f有。於某些實施例中，第一透鏡組1〇(沿光軸8量測）最靠近光源面4且面向光源面4的透鏡表面可為一凹面。此凹面可具有曲率半徑小於130 mm、或小於12〇咖、或小於 110 mm、或小於100 mm、或小於9〇随、或小於7〇 _、或小於50 mm。於其他實施例中，第—透鏡組1〇沿光2 8 最靠近光源面4且面向光源面4的透鏡表面可為一凸面於某些實施例中，例如，此凸面或凹面可具有曲率半和大於於1 3 0 mm。於某些實施例中，第一透鏡組1〇(沿光軸8量測）最靠近元件24且面向元件24的透鏡表面可為—ηηκ ’ u囱。此凹面可具有曲率半徑小於13 0 mm、或小於12 〇 mm .., μ mm、或小於11〇 mm、或小於100 mm、或小於90 mm、或小你、’ U ΠΠΠ、或小於50 mm »於其他實施例中，第一透鏡組1 〇沿光轴8最土近元件24且面向元件24的透鏡表面可為—凸面。於某 1057-8840-PF 16 1330719 實施例中，例如，此凸面或凹面可具有曲率半徑大於於i3〇 mm 〇 “於某些實施例中，第一透鏡組10可被分割為具有負屈光率的第一次透鏡組及具有正屈光率的第二次透鏡組。每一第一次透鏡組及第二次透鏡組可包括一個或更多透鏡。，一次透鏡組可被設置於第二次透鏡組的光學上游，也就是，第一次透鏡組可被設置於光源面4與第二次透鏡组間。

光源射線14可於與光軸8正交的一個方向或多個方向上進灯空間強度調制。g間強度調制可定義光源模式。例如，光源模式可為微蝕刻光罩或分劃板的影像。於某些實施例中，光學透鏡系統2可配置用以將來自光源面4的光源模式轉換至輸出面6，將光源模式的影像形成於輸出面6。例如，此影像可被用以曝光於一基板。一般而言，透鏡將來自光源面4的射線聚焦於輸出表，而非輸出面。—般而言，冑出表面為具有-曲率半徑的 f曲表面’其藉由透鏡的尺寸、材料及佈置而決定之。去光學透鏡系統配置用以將來自光源面4的光源模式轉：至’於輸出面6形成光源模式的影像，光源模式的影像可被形成於-彎曲的輸出表面。影像彎曲定義為，以平光軸8方向量測彎曲輸出表面上影像中心、位置與影像邊緩點位置的差額。於某些實施例中，第—透鏡組Μ 置，使得影像彎曲小於光學透⑽統2的聚焦深度；复在光源模式的影像聚焦清㈣圍0，以平行於光軸8的方

1057-8840-PF 17 1330719 向量測得的距離便為聚焦深度。

當光學透鏡系統2是一成像系統時，光學透鏡系統2 的放大係數Μ被定義為與光轴正交的平面上，光源面4的光源模式的大小與輸出面6的光源模式影像大小的比例。於某些實施例中，Μ可為丨。於某些實施例中，％可為大於 1。例如，Μ可至少大於2(或至少為3、至少為4、至少為 5、至少為1〇)。如在此所述，具有Μ大於i的光學透鏡系統2可縮小光學透鏡系統，例如於輸出面6的光源模式影像小於光源面4的光源模式。於某些實施例中，光學透鏡系統2可為遠心系統。即，光學透鏡系統2可被配置，使得對於光源面4沿光軸8藉由第一透鏡組10與第二透鏡組12於輸出面6產生光源射線14的衫像，其中當第一透鏡組j 〇與光源面4之間的距離改變時’光學透鏡线2的放大係數M大體不改變。對於光源面4沿光軸8藉由第一透鏡組丨〇與第二透鏡組i 2，使得可選擇相對於光源面4的輸出面6之位置，無須改變光學透鏡系統2的放大係數μ。 -於某些實把例中’光學透鏡系統2可包括一操縱器（未顯示）’以便調制系、統的放大係數Μ。縱器可為-驅㈣如電機驅動器，像是壓電驅動二: 轉軸的馬達並可於轴方向移動、或其他種型式驅動器），並與一個或多個可動元件輕接，並可調整光學透鏡系統2中的各個透鏡的位置。例如，操縱器可包括一透鏡座，配置用以支撐-個或多個透鏡，並可支撐一個或多個透鏡，並

1057-8840-PF 18 1330719 且附著於一可動A。屮泳址一 °此透鏡座可以手動方式或自動方式f 光轴8移動。例如，此動方式此了動σ可藉由一電腦控制馬達動。電腦控制的可動a可以β ^ & ·«，運而移勤口了以疋被動的（例如於構建系統2期間）且/哎主叙沾丨l 次主動的（例如於操作光學透鏡系統2期間）。於某些實施例中，可選擇第-透鏡組10與第二透鏡组 12中的尺寸、㈣及透鏡佈置，以便對光學透鏡系統2提

供特殊的數值孔徑。例如， J 尤子逯鏡系統2於輸出面6的數值孔徑至少可為G.1(或至少^ 15、至少^ 2、至少為0_25、至少為〇 5)。於輸出面6處，、;，ι•盘伞紅β t — 口 /、先軸8正交的平面方向量測光源射線14的強度分布的最大丰其的智„ ^ „ ，叼取大牛问的全寬，即定義為光源射線 14的場尺寸。於某也管祐你丨中，甚丄设。丄示一貫施例中，最大場尺寸可為2〇 mm或更多（或為30 mm或更多、赤為c；n 斗' a夕 Ό A马50则1或更多、或為80 mm 或更多、或為90 mm或更多、或為1〇〇則ι或更多、或為 120 mm或更多）。於某些實施例中，光源射線“的強度分布於與光轴8正交的平面上’大體為圓形。於某些實施例中，光源射線14於橫向強度分布為非圓形，像是擴圓形。於光學透鏡系統2中兩透鏡之間沿光軸方向的最大間距定義為光學透鏡系統2的長度L»於某些實施例中，L可為10公尺或更少（或5公尺或更少、4公尺或更少、3公尺或更少、2公尺或更少、1公尺或更少）。於某些實施例中，長度L可為光源射線14的最大場尺寸的20倍或更少。例如，L可為光源射線14的最大場尺 1O57-8840-PF 19 明〇719 寸的16倍或更少（或14倍或更少、或12倍或更少或倍或更少、或8倍、或6倍或更少）。於光學透鏡系統2中的透鏡可具有球面表面或非球面表面。一般而言，非球面表面可具有尺寸，可選擇用以消除或減輕只有球面透鏡表面的光學透鏡系統的特定像差。例如，光學透鏡系統2可包括至少一透鏡，其具有非球面。於某些實施例十，光學透鏡系統2可包括具有一非球面的至少-個透鏡。於某些實施例中，光學透鏡系统2可包括至少兩個透鏡，每一個透鏡具有至少一個非球面。例如，第一透鏡組10中的至少一透鏡可具有非球面表面，第二透鏡組12中的至少—透鏡可具有非球面表面。透鏡的非球面表面可藉由以下公式說明： P(h) = --+ +c ,2λ + 2 ^ 1 I + “ 丨：. + C”h ，δ = ~ (1) 其中p(h)為是垂直光軸的平面到球面鏡的距離跟光軸垂直的距離h的函數，R是在鏡頭曲面頂點的半徑。參數cc非球面的是圓錐常數，參數^到^是非球面常數。於某些實施例中，光源18可配置用以提供寬頻的光源射線14。例如，光源射線14可具有電磁輻射的波長分布區域的光譜頻寬Δ A大約為〇.5 nm或更大（或者約為5⑽ 或更大、或者約10⑽或更大、約25抓或更大約5〇龍或更大、約7〇nra或更大）。在一些實施例中，光源i4包含 —個或多個光學濾、波元件’以便對於光源射線㈣擇特別中心波長且/或頻寬。濾波元件可以包含干涉濾鏡、像液晶調制器的光學調制器和其他執行光譜濾通功能的元件。

1057-8840-PF 20 1330719 在某些實施例中，光源射線14在電磁光譜的可見光區域中至少有一波長。或者，或除此之外，光源射線14在電磁光譜的紫外光範圍中至少有-波長。例如’光源射線14 的中心波長；ί可位於電磁光譜的紫外光區域，但是光源射線14可於電磁光譜的可見光區域中包含一個或多個的波長。或者，例如光源射線14的中心波長λ可位於電磁光譜的可見光區域，但是光源射線14可於電磁光譜的紫外光區域包含一個或多個的波長。一般而言，光源射線14的中心波長；I可以是約450 nm或更小（或者約400 nm或更小、約350 nm或更小、約3〇〇 nm或更小 '約25〇nm或更小、約200nm或更小）^在一些實施例中，光源射線丨4對於兩個或以上（如三個、四個、五個或更多）的不同波長，具有顯著的發光功率。例如，光源射線14可以包含對應於光源光譜線18的一個或更多波長的發光功率。舉例，光源射線 14對於汞光源的i_、h—、g_*譜線具有顯著的發光功率。光源18提供光源射線14。在一些實施例中，例如，光源18可以是汞蒸氣燈。在一些實施例中，光源18可以包含發光二極體（LEDs)。二極體可以全部具有相似的發光光s普’或者一部分或所有的二極體可以有不同的發光光諸°光譜可以呈互補’所以光源射線14全部光譜頻寬Αλ 可以大於任何個別的二極體射出頻寬λ ^在一些實施例中’光源18可以包含雷射系統，諸如寬頻雷射系統，產生適當光譜頻寬的光源射線14。在一些實施例中，光學鏡頭系統包含超過二個以上的

1057-8840-PF 21 1330719 1 2A圖是-成像光學透鏡系統要圖式，复^ 〃耳狍例之概八配置作為一成像光學透鏡系 5〇可配置當作一遠心Λ作么祀予透鏡系統所以弁成像系統（如，-雙遠心影像系統），〜面4與第一透鏡組丨〇之間的距 #輋读扭么u s J任不隨者兄系統50的放大倍率Μ改變情形下而變化。二了广透鏡組1〇與第二透鏡組12之外，光學透鏡组2〇C透與第四透鏡組22。第三透鏡

:。與第四透鏡組22分別包括沿光轴個透鏡。—船而丄哲一 J個：¾夕 s，第三透鏡組2〇的特性與特徵可與如上外:V第二透鏡組12的特性與特徵相似而產生關聯。此四透鏡組22的特性與特徵可與如上組10的特性與特徵相似而產生關聯。透鏡金站；某—實施例中’光學透鏡'系統50可為-對稱的透鏡 '、’ /、中第一、第二、第三及第四透鏡組10、H別、 22關於對稱面26對稱設置，對稱面係與光軸8垂直。於 ί稱的透鏡系統中’第二透鏡組】2中的各個透鏡具有相似對應的透鏡位於第三透鏡組2〇中’並且第二透鏡組η與第三透鏡組2°中的透鏡’係關於對稱面26延光軸8對稱排列》此外’第-透鏡組1G中的各個透鏡具有相似對應的透鏡位於第四透鏡組22中，並且第—透鏡組1()與第四透鏡組22中的透鏡’係關於對稱面26延光轴8對稱排列。相似透鏡具有相同設計且係以相同材料構成。參考第2B圖’於某些實施例中，光學透鏡系統6〇係 -成像光學透鏡系統’其包括六個透鏡組，分別標示為透

1057-8840-PF 22 1330719 鏡組10、13、12、20、23、22。光學读接么 .^ 9β 尤千透鏡系統60係關於十面26對稱設置。於某些實施例中，學透鏡系統60的瞳平面。對稱面^對應於光於某些實施例中，透鏡組10、12、2〇、22皆為正透鏡透鏡組Π)形成人瞳處的影像，同時透鏡組12於光源 :二：成物體的影像。透鏡組13與23皆為負透鏡組，亦 ;平面26對稱佈置。一般而言，透鏡組1〇、Μ、η、、22、23個別包括一個或多個透鏡。於某些實施例中’透鏡組10包括具有正屈光率的第一次透鏡組(含一個或多個透鏡)以及具有負屈光率的第二次透鏡組(含-個或多個透鏡）。將負的次透鏡組設置於光源面、4與正的：欠透鏡組之間，第—與第二:欠透鏡組可被設計成逆焦型(retrofocus)系統。相對於其他排列方式這樣的配置可減輕光學透㈣、統㈣像彎曲。作為對稱的透鏡系統，透鏡組22亦包括正的次透鏡組與負的次透鏡組相似於透鏡組10的第一與第二次透鏡組而對稱設置。此外’於某些實施例中，除了第一與第二次透鏡組之外，透鏡組10與22可包括一第三次透鏡組（含一個或多個透鏡）。於透鏡組10中，第三次透鏡組具有正的屈光率，第三次透鏡組可被設置於負的次透鏡組與光源面4之間。相對應地，透鏡組22中的第三次透鏡組可被設置於負的次透鏡組與輸出面6之間。於不使用非球面表面時，具有正屈光率的第三次透鏡組可減輕遠心誤差及其他場關聯性像差〇

1057-8840-PF 23 1330719 在邊緣光線相對遠離光軸8時’對於光學透鏡系統的部分只提供弱的色像差修正，可減輕光學透鏡系統6〇的色像差（含主且/或第二色像差）。於透鏡組12與2〇的範圍中，邊緣光線具有自光軸自垂直光轴8量測）起算最大距離。因此，可設計透鏡組12與2〇 ;使得此等鏡組對色像差只提供弱修正（或過多修正）。

於某些實施例中’透鏡組12與20包括至少一對正— 負透鏡（PN對），其中正透鏡顯示相對弱的色散，同時負透鏡顯示相對強的色散。於某些實施例中，透鏡組12與2〇可分別包括超過一對以上的正-負透鏡。透鏡組12與20中的一對正-負透鏡之一的負透鏡，可被設置靠近於對稱平面26,且分別於對稱平面26的兩側。相信可藉由使用此種佈置而改善並減輕色像差。此外，相信藉由使用此種佈置可用以提升光學透鏡系統6〇的曈= 像’可產生改善系統中所有光束的對稱維持。一般而言’光學透鏡系統2、50及60的透鏡，所選的材料係根據以下規格，如材料色散性、吸收特性、力、工特性、化學特性（如透度）及其他規格，像是商業可取得^ 光學透鏡系統中的不同透鏡可以不同材料製成。例 p例中，使用兩種或更多種不同透鏡材料以便減輕色像远鏡材料可叙而Q，透鏡材料的折射率範圍約在1 4至1 某些材料的折射率高於i.卜透鏡材料亦可以阿貝7數=

1057-8840-PF 24 1330719 為特徵，其反應整個波長範圍内的材料色散特性。何科的

阿背數V可以下列公式計算而得： v^JhzL «3-Wj 其中nl、n2、n3為材料於波長λΐ、λ2、λ3對應的折射率值，其中λ1<λ2<λ3。一般而言，較小的阿貝數表示材料具有相對較顯著的色散，且較高的阿貝數表示材料具有相〃較弱的色散。參考第3圖，適合於UV範圍的射線使用的透鏡材料，根據其阿貝數及折射率可被分類成三種不同的族群。第一族群’標示為族群A，包括具有阿貝數Vi範圍為4〇至7〇之間的材料。在此，阿貝數適用於波長λ1=365. 〇1 _、 λ2~404· 65、λ3 = 435. 84 nm，分別對應於汞光源的丨、h、g 光譜線。族群A的材料具有折射率範圍自146至156。族群A的材料包括冠冕玻璃（cr〇wnglasses)，像是熔融二氧化矽（fused Silica)及硼硅酸鹽玻璃（b〇r〇siUcate glasses)(即BK7玻璃）。其他包括K5玻璃、K7玻璃及FK5 破璃。第二族群，標示為族群B，包括具有阿貝數大於7〇的材料。族群B中的材料具有折射率小於1. 46。CaF2即為族群B中的一材料範例。第三族群，標示為族群c，包括具有阿貝數小於4〇的厂料族群c中的材料具有折射率大於1.56。族群C的材料匕括埏石玻璃，像是LLF-6玻璃、LLF-1玻璃或LF-5玻

1057-8840-PF 25 1330719 般而a，為了減輕色像差，有不同色散特性的至少兩種心，透鏡系統應包括具揭露的實施例中，至少 U此以下群構成。此外，藉由具有不^ 所不的兩種不同族透鏡，為了減輕像差 5散的至少三種材料構成的種材料二藉由具有不同色散特性的至少： ==透鏡而達成。因此，以下揭露的實施例包：

二=㈣㈣^透鏡。例如，實施例中包括至少— =="的材料所構成，至少一透鏡由族材=成’及至少一透鏡由族群c中的材料所構成。參考光學透鏡系統2,於某些實施統”的透鏡…/或透鏡組12中的丄== 構成’像是UV級的炼融二氧切。透鏡組10/ = 12中的某此锈透鏡組透梦系轉Γ 材料構成。一般而言，光學 =系統2的實施例’包括由族群6中的材料構成的至少 -透鏡以及由族群Α中的材料構成的至少—透鏡。例如，光學透鏡系統2可包括溶融二氧化石夕形成的至少— 及由LLF-1玻璃形成的至少一透鏡。兄於某些實施例中’透鏡組10可包括對於光源射線Η 的波長具有不同色散特性且不同材料所形成的兩個透鏡例如’透鏡組Π)中的至少—透鏡可由族群A中的材料（如熔融二氧化矽）所形成，以及第一透鏡組1〇中的至少另一透鏡可由族群C中的材料（如LLH玻璃）所形成。二實: 例中，以族群C的材料形成的透鏡被設置靠近光源平面/ 此外，於某些實施例中，透鏡組12可包括對於光源射 1057-8840-PF 26 1JJUV19 、線14的波長具有不同色散特性且不同材料所形成的兩個透兄例如，第二透鏡組12中的至少一透鏡可由族群A中的^料（如熔融二氧化矽）所形成，以及第二透鏡組12中的至乂另一透鏡可由族群c中的材料（如LLF i玻璃）所形成。於某些實施例中，第二透鏡、组1 2可包括至少一雙透鏡其中雙透鏡#第一透鏡具有—正屈光率且第二透鏡具負屈光率。如上所述的光學透鏡系統6〇，於某些實施例中正透鏡可以具有相對較弱的色散特性之材料所製成’例如族群A(如BK7)或族群B(如CaF2)中的材料，同時負透鏡可以具有相對較強的色散特性的材料所製成，如族群C(如LLF-1)中的材料β 於某些實施例中，製成透鏡的材料可對於光源射線14 的波長具有非常低的光學吸收特性。#由透鏡吸收的射線可導致透鏡的熱膨脹，對於透鏡材料的折射率與透鏡的形狀產生變化。藉由選擇輕微吸收光源射線14的波長的透鏡材料，例如二氧化矽與CaF2，可減輕由於透鏡熱膨脹產生的影響《像是二氧化矽與CaF2材料產生較像是LLFi玻璃更低的第二色散像差。因此，於光學透鏡系統12中例如，和包含超過第二色像差的透鏡系統相比，第一透鏡組1〇與第二透鏡組12之間的間隔可被減少。於某些實施例中，藉由只使用兩種不同材料形成的透鏡’光學透鏡系統2, 50或60可被配置使得色像差的值大約為光源射線14的一波長或更少。例如’光學透鏡系統可包括至少一透鏡以第Α組（例如熔融二氧化矽）中的材料形 1057-8840-PF 27 1330719 成’以及至少一透鏡以第C組（例如LLF-1玻璃）的材料形成。或者’於某些實施例中’藉由只使用三種不同材料形成的透鏡’光學透鏡系統2, 50或60可被配置使得色像差的值大約為光源射線14的一波長或更少。例如，光學透鏡系統可包括至少一透鏡以第A組（例如熔融二氧化矽）中的材料形成，至少一透鏡以第B組（例如CaF2)中的材料形成，以及至少一透鏡以第C組（例如llF- 1玻璃）的材料形成0 一般而言，光學透鏡系統2，50與60，各包括複數透鏡組，並且各複數透鏡組可包括一或多個透鏡。於各個範例中，透鏡組可被配置用以將光學透鏡系統形成的影像曲率，減少至小於光學透鏡系統的焦距深度。一般而言，揭露於第一與第二透鏡組1〇及12關聯性的尺寸且/或特性且 /或材料且/或特徵，可藉由其他透鏡組及其透鏡適當的共用之。

於某些實施例配置的光學透鏡系統，相當少的透鏡被設置的位置處，射線橫截面強度分佈纟體為非均質。種於透鏡表面呈現射線橫截面強度分佈的方法，是於每一透鏡表面，射線自士丨町深目_人孔徑SA至通光孔徑（Clear apert;ure)CA之比值俱&。认泳拉士仔知於透鏡表面的通光孔徑CA，對應於自物端區域的所有場駐昭科+ 丨’ ％點照射於透鏡的表面積。於透鏡表面的次孔徑SA ’對應於自物她目物端&域的早一場點照射於透鏡的最大面積。參考第4Α園 _ 圖八顯不具有最大數值孔徑

1057-8840-PF 28 1330719 NAmax與最大物體尺寸dmax顯示一物體43、一透鏡^及一光，45,於透鏡位置z處的SA/CA比值可近似於： CA RS(z) + HS(z) (3) 其中，HS(z)表示位置z處的邊緣光束的高度；RS(z)為位置Z處的最高場點的主光線的高度（參考

Optical Design，作者 M.j. Kidger，第 7 頁）。所有的值

^定義於子午面。例如，對於具有長度1與寬度w的矩形場，dmax應為。非矩形場亦可被計算。例如，對於圓形場，dmax對應於圓半徑。對於橢圓場，d·對應於半主軸上的半徑。—般而t，在此揭露的分析可應用於任何種場的尺寸與形狀。此外’參考第以圖，光闌杨設置於曈平面46且物體43設置於物端區域42。一般而言，對於小SA/CA比值（如〇.2或更小）而言，此透鏡鄰近物端區域設置。或者，假若sa/ca比值為卜透鏡被設置於瞳平面處。一般而言，對於特定的投影物鏡，SA/CA比値取決於投影物境的數值孔徑及場尺寸1，假若具有可極大數值孔徑NAmaX的特定透鏡系統縮小至數值孔徑NA且最大場尺寸d隠減少至場尺寸，則SA/CA比值將改變。為了避免此關聯性，對於特定的投影物鏡定義新的且獨一無二的值·· t ΝΑ 竺⑺一 f释） CA RS(z) + ^ HS(z) ⑷

對於每-透鏡表面將與丨SACA|，％值有關的平均化參數具體描述了光學透鏡系統。例如’光學透鏡系統可藉由厂值表 1057-8840-PF 29 1330719 現特徵，其定義為： Γ=κ • Μ» (5) .‘其中Ma為對於設置於物端區域與光學透鏡系統的瞳平面之間的透鏡，其小於〇.6的所有ISA/CAI，值的算術平均， Mb為對於設置於物端區域與光學透鏡系統的瞳平面之間的透鏡，其等於或大於0.6的所有|SA/CA|，值的算術平均。因此，Γ值對於光學透鏡系統内的透鏡提供幾何分布的量 # ㈣，且因此對照射於透鏡上的強度分布的可期待同質性之量測。

再參考第栳圖，可考慮光學透鏡系統於物端區域及瞳 r平面之間包括三個不同的區域。於第4B圖中顯示為區域 A、B及C。相對地，於瞳平面與成像端區域之間，光學透鏡系統包括區域C’ 、B’及A，。區域A與A，為透鏡具有相對較小的ISA/CAI’值（如小於〇· 35)。區域c與c，為透鏡具有相對較大的ISA/CAI，值（如大於〇.75)。區域B • 與B’為透鏡具有介於其中的ISA/CAI’值（如範圍介於 0. 35 與 0. 75 之間）。於某些實施例中’於物端區域與瞳平面之間，具有 ISA/CAI’值介於0. 35與〇. 75(或0. 4與〇. 7)範圍之間的表面’光學透鏡系統包括相對少的透鏡設置。例如，於物端區域及瞳平面之間’其表面具有ISA/CAI，值介於0.35 與0. 75範圍之間，光學透鏡系統可設置兩個或更少（如，一個）的透鏡。於某些實施例中，光學透鏡系統中相對少數量的透鏡 1057-8840-PF 30 1330719 包括貢獻於Mb的表面。換言之’於物端區域及曈平面之間設置相對少數量的透鏡，具有ISA/CAI，值等於或大於 0. 6。例如，光學透鏡系統可包括不多於4(如，3個或更少）個的透鏡且其具有貝獻於Mb的表面。於某些實施例中，於物端區域及瞳平面之間設置總透鏡數量的4〇%或更少的透鏡’其具有貢獻於Mb的表面。具有相對少數量的透鏡設置於射線的橫截面強度分佈 I大體不均勻的實施例’可避免由於射線產生的熱造成透鏡變化而產生的波前像差。例如，與其他系統相較，光學透鏡系統對於輸入全部能量範圍内可減輕畸變像差、像散 :像差且/或《星像差的變化；其中與影像、物端區域及瞳平 . 面相關沿光軸分佈的透鏡皆不同。 . 例如，當Γ值小時（如Ma相當小，像是約〇. 3或更小，且/或Mb才目當大時’像是約〇 · 9或更大），則傾向將透鏡鄰近物端區域且/或瞳平面設置。在此類例子中，透鏡之強度籲刀布將相田地均勻 <匕，並且透鏡的熱效應將依序相對地便小 0 另方面，於Γ值變大（如，當Ma值相當大，像是約為〇· 31或更大，且/或Mb值相當小時，像是約為〇. 85或更小）時’更多透鏡傾向設置於中間的區域B，即物端區域與瞳平面之間的中間部位；在此，通過透鏡表面的照明相對地不均勻。透鏡受熱效應對於光學透鏡系統的成像有相當大影響。何丨王嘗於某些實施例中，光學透鏡系統可具有小於〇. 33的Γ

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值（如，0. 32或更小、0. 31或更小、0. 30或更小、0. 29或更小、0· 28或更小、0. 27或更小、0. 26或更小、0. 25或更小）。具有小於0. 33的Γ值的光學透鏡系統可具有好的透鏡受熱特性。換言之，具有小於0. 33Γ值的光學透鏡系統的成像像差變化量，對於輸入能量範圍内是相對地小。例如’於具有NAmax值為〇. 2、Γ值小於〇. 33的光學透鏡系統之實施例中’可對應一好的透鏡受熱特性《例如，於具有NAmax值為0. 16、Γ值小於〇. 28的光學透鏡系統之實施例中’可對應一好的透鏡受熱特性。一般而言’如前所述的’光學透鏡系統的受熱特性有賴於場的尺寸。於某些實施例中’與具有小的場尺寸的相似透鏡比較，光學透鏡系統中具有大的場尺寸的透鏡，應被配置為具有相當小的Γ值。參考表丄，Γ值的示例範圍提供光學透鏡系統具有不同的場尺寸（如，由dmax定義之）及不同NAmax。此等Γ值可對應具有好受熱特性的光學透鏡系統。例如，於實施例中，透鏡係相對於瞳平面對稱地設置，並且光學透鏡系統具有放大係數為一，對應於Nhax 值及場尺寸的Γ值可提供好的受熱特性。於光學透鏡系統中透鏡受熱對於成像特性的影響可藉由各種方式呈現之。例如，當射線能量函數以波長λ輸入光學透m此料可藉^種成像像差呈現。範例之一是像散像差對於輸入能量的整個範圍的變化。此可參考輸入能量沿與光軸垂直的以方向及與光轴垂直的y轴方向的直線上的聚焦位置的距離變化。於某些實施例中，對於

1057-8840-PF 32 1330719 操作波長之輸入射線能量增加至40W的成像端區域處，光學透鏡系統具有一最大像散像差變化4〇〇 nm/W或更少（如 300 nm/W或更少、250 nm/W或更少、200 nm/W或更少、 175 nm/W或更少、150 nm/W或更少、140 nm/W或更少）。另一範例說明透鏡受熱之影響，可藉由聚焦面上的峰谷值誤差’呈現變化。聚焦面上的峰谷誤差可參照，以關於z軸方向量測橫越場的聚焦位置最大變化量。於某些實施例中’對於操作波長之輸入射線能量增加至40W的成像端區域處’光學透鏡系統可具有峰谷聚焦面誤差變化量為 70 0 nm/W或更少（或者500 nm/W或更少、400 nm/W或更少、 300 nm/W或更少、290 nm/W或更少、280 nm/W或更少、 270 nm/W或更少、260 nm/W或更少）。另一參數，可提供數據說明透鏡受熱之效應影響光學透鏡系統之成像特性，即峰谷場彎曲變化。場彎曲可參照隨著場高度的聚焦位置變化。於某些實施例中，對於操作波長之輸入射線能量增加至40W的成像端區域處，光學透鏡系統可具有峰谷場彎曲變化量為600 nm/W或更少（或者 500 nm/W或更少、400 nm/W或更少、300 nm/W或更少、 280 nm/W或更少、260 nm/W或更少、250 nm/W或更少、 240 nm/W或更少、230 nm/W或更少）。透鏡受熱之效應亦可藉由光學透鏡系統的轴上像散像差變化呈現之。轴上像散像差可參照沿著與光轴交會的X 軸方向及與光軸交會的y軸方向的直線上的聚焦位置的距離變化，其中距離變化是沿著與光軸平行之方向量測。於 1057-8840-PF 33 1330719 某些實施例中’對於操作波長之輪入射線能量增加至4〇w 的成像端區域處，光學透鏡系統可具有最大軸上像散像差變化量為-120 nm/W或更少（或者-loo nm/W或更少、-80 nm/W 或更少、-70 nm/W 或更少、-60 nm/w 或更少、-55 nm/W 或更少、-52 nm/W或更少、-50 nm/W或更少、-48 nm/W 或更少、-45 nm/ff或更少）。在此，“最大”指的是變化量的絕對値。另一參數，可提供數據說明透鏡受熱之效應影響光學透鏡系統之成像特性，即最大畸變像差變化。畸變像差可參照’位於物端與成像端區域處，場點的相關位移變化。於某些實施例中’對於操作波長之輸入射線能量增加至40W 的成像端區域處，光學透鏡系統可具有最大畸變像差變化量為12 nm/W或更少（或者1〇 nm/W或更少、9 nm/W或更少、8 nm/W或更少、7 nm/W或更少、6 nm/W或更少、5 nm/W 或更少、4 nm/W或更少）》最大像散像差、聚焦面上的峰谷誤差、峰谷場彎曲變化、轴上像散像差及最大畸變像差，可利用電腦模擬決定光學透鏡系統。電腦模擬可如以下所述實施之。第一，使用光線追跡軟體（如，可商業取得的光線追畸軟體，像是 ORA出版的Code V)，確定照射每一透鏡表面之射線。此可藉由簡卓&十鼻光線通過表面而計算之。對於每一透鏡材料使用適當的吸收係數’依據射線照射而計算每一透鏡吸收射線的量。對於許多入射能量值，有限元素分析可用以對每一透

1057-8840-PF 34 1330719 鏡計算熱傳輸方程式，且計算熱對於透鏡產生的變化，例如折射率變化且/或表面形變。熱造成的變化導致干擾光學透鏡系統’對此可以執行額外的影像計算。例如，可以對於物端區域的不同方向結構及場點進行模擬預期的空間影像，而執行光線追跡。模擬空間影像係根據兩光線干涉計算部分同調問題，並且將系統的光學轉換函數代入計算。利用模擬的空間影像，除了可獲得系統的最佳焦點，還可對於不同結構將圖案朝X方向與y方向移動。像是像散像差、聚焦面誤差、及其他的像差皆可被計算’以便提供關於光學透鏡系統的受熱特徵資訊。光學透鏡系統2、50、60可被用於微蝕刻系統。例如，光予透鏡系統2、5 0且/或光學透鏡系統6 〇可形成微姓刻光學投影透鏡系統之一部分。可配置光學透鏡系統2、5 〇及6 0 ’使得光學透鏡系統之輸出平面6可與微飯刻系統的成像面重疊。於使用期間’如基板的物件16可被設置於或鄰近於輸出平面6’並且光源射線14可被導引至光學透鏡系統2且/或50，以便將射線曝光於基板上。參考第5圖，一示範性的微姓刻系統7 〇包括一光源 71、一照明系統7 2、設置於十字線平台7 4上的十字線7 6、光學透鏡系統73以及支樓晶圓77的平台75。晶圓77被設置於光學透鏡系統73的成像端區域。十字線76被設置於光學透鏡系統73的物端區域。一光阻層（光敏感材料）形成於晶圓77的表面^於操作期間，光源71導引射線R71至光源系統72，其導引射線 1057-8840-PF 35 1330719 至十子線76 ’如箭號R72所示。光學透鏡系統73將十字線77上的圖案影像，利用射線投影至光阻層上，如箭號 R73所示。平台75相對於光學透鏡系統73移動晶圓77，將光阻層的不同區域對射線進行曝光。實施例可以使用一般稱為“卜線，，微蝕刻工具，即使用汞光源的i光譜線。於此實施例中，光源透鏡系統可設 °十成對於汞光源的其他波長（如g與h光譜線）具有較小的色像差’允許i光譜線及其他波長的射線用以對基板曝光。額外的波長可提供更高的能量傳遞至關於系統的基板使得只有i光譜線的射線對基板曝光，提供更短的曝光時間，增加生產量。例如，微蝕刻系統7〇可每小時（wpH) 產出125個直徑30 mm的晶圓或更多（或者15〇 WHp或更多、Π5 WHP或更多、200 WHP或更多、225 WHP或更多、 250 WHP或更多）。於某些實施例中，多個基板可被光源射線丨4曝光。例如，多個基板可以是多個晶粒，並且光源射線丨4的場尺寸可以充分地大，使得多個晶粒可同時被射線曝光。我們將討論具有不同特性的光學透鏡系統的各種實施例像疋於輸出平面6處具有不同數值孔徑及不同材料特性。每一光學透鏡系統可被用於微蝕刻系統。如第6圖所示的成像光學透鏡系統1〇〇的實施例。光予透鏡系統100被配置將來自物端平面1〇2的光圖案，經由對稱面106移轉至成像平面1〇4。光學透鏡系統1〇〇包括第一透鏡組110、第二透鏡組112、第三透鏡組114及第 ^57-8840^ 36 1330719 四透鏡、、且116。於透鏡組中的每__透鏡皆對於&⑽是對稱的轴1 08為座標系統所示的ζ軸。光學透鏡系統⑽ 被配置提供最大數值孔徑〇.2。光干透鏡系統100具有Ma值〇. 31、Mb值0· 82及Γ比例值0. 38。光學透鏡系統1GG中的每_透鏡具有面對物端平面 1〇2之第一表面及面對成像平面ι〇4的第二表面。每一透鏡的第—表面標不“ a”冑號。例如’透鏡118的第-表面標示為118a。每一透鏡的第二表面標示“b”符號。因此，透鏡118的第二表面標示為U8b。於第6圖中不是所有對應透鏡的第-表面與第二表面的符號標示皆有清楚的目的，但是每一透鏡對第一表面與第二表面分別標示“a，，盘 “b” 。 '、第一透鏡組110包括透鏡118、12〇、122、124、126 及128。透鏡118、120及126皆以熔融二氧化矽形成。透鏡122、124及128皆以火石玻璃⑴int glass)材料像是LLF-1玻璃》於光學透鏡系統1〇〇中的透鏡厚度，皆沿著軸108量測。透鏡118具有厚度1〇〇 mnM透鏡12〇具有厚度10.0 mm。透鏡122具有厚度41 ! 。透鏡124具有厚度47. 3 mm。透鏡126具有厚度1〇〇 mme透鏡128具有厚度45. 2 ram ° 兩透鏡之間的間隔係沿著軸！ 08量測兩透鏡的面對面表面之間的距離。透鏡118與透鏡12〇之間間隔距離29 6 咖。透鏡120與透鏡122之間間隔距離3 6咖。透鏡122 1057-8840-PF 37 1330719 螓與透鏡124之間間隔距離1〇咖。透鏡124與透鏡i26之間間隔距離i.〇mm。透鏡126與透鏡128之 …轴刚量測，第一透鏡組⑴與第二透鏡組;;二間間隔距離（例如，沿轴1〇8量測表面128b與表面13〇&之間的距離）dl為171.2 mm。

第二透鏡組112包括透鏡13〇、132、134及136。透鏡132與136係以熔融二氧化矽形成。透鏡13〇與134係以火石玻璃形成，像是。透鏡13〇具有厚度1〇透鏡132具有厚度33.G mm。透鏡134具有厚度〇 _。透鏡136具有厚度20. 〇 mm。之間間隔距離1. 〇 mm。透鏡13 2 透鏡134與透鏡136之間間隔距透鏡130與透鏡132 與1 3 4係沿軸1 〇 8相鄰。離i.〇mm。第二透鏡* 112與對稱面1〇6之間間隔距離（例如，沿轴108量測表面13讥與對稱面1〇6之間的距離）為 5.8 mm ° 第三透鏡組114包括透鏡138、14〇、142及144。透鏡138與142係以熔融二氧化矽形成。透鏡14〇與144係以火石玻璃形成’像是LLF_卜透鏡138具有厚度2〇. 〇透鏡140具有厚度1() 〇 mm。透鏡142具有厚度33 〇賴。透鏡144具有厚度10.0龍。第三透鏡組114與對稱面106之間間隔距離（例如，沿轴1〇8量測對稱面106與表面138a之間的距離）為5. 8随。透鏡138 ”透鏡14〇之間間隔距離1 〇咖。透鏡Μ。與I" 係軸108相鄰。透鏡i42與透鏡！44之間間隔距離^〇

1057-8840-PF 38 1330719 mm。沿轴108量測，第三透鏡組114與第四透鏡組116之間間隔距離（例如，沿軸量測表面144b與表面146a之間的距離）d2為171. 2 mm。於第三透鏡組114中的透鏡的尺寸、間距及材料，和第二透鏡組112中的透鏡的尺寸、間距及材料相似。於第三透鏡組114中的透鏡係沿軸108設置，使得第二透鏡組 112與第三透鏡組114形成的透鏡佈置，是關於對稱面ι〇6 對稱的。第四透鏡組116包括透鏡146、148、150、152、154 及156。透鏡148、154及156皆以熔融二氧化矽形成。透鏡146、150及152皆以火石玻璃（flint glass)材料，像是LLF-1玻璃。透鏡146具有厚度45.2 mm。透鏡148具有厚度10.0 nun。透鏡150具有厚度47.3 mm。透鏡152且有厚度41.1 mm。透鏡154具有厚度1〇.〇 mm。透鏡156具有厚度10. 0 mm。透鏡146與透鏡148之間間隔距離ίο.0mm。透鏡148 與透鏡150之間間隔距離1.0 mm。透鏡150與透鏡152之間間隔距離1. 0 nun。透鏡152與透鏡1 54之間間隔距離3 6 mm。透鏡154與透鏡156之間間隔距離29. 6 mm。第四透鏡組116與成像面104之間間隔距離（例如，沿轴1〇8量測表面156b與成像面104之間的距離）為48. 1 mm。於第四透鏡組116中的透鏡的尺寸、間距及材料，和第一透鏡組110中的透鏡的尺寸、間距及材料相似。於第四透鏡組116中的透鏡係沿軸108設置，使得第—透鏡組 1057-8840-PF 39 1330719 110與第四透鏡組116形成的透鏡佈置，是關於對稱面1〇6 對稱的。透鏡資料，包括光學透鏡系統100中的每一透鏡的每 :表面之曲率半徑，顯示於表2A中。假如透鏡表面的曲率半徑之圓心是與物端面102位於同一側時，則透鏡表面之曲率半徑為負。假如透鏡表面的曲率半徑之圓心是與成像端面104位於同一側時，則透鏡表面之曲率半徑為正。

光學透鏡系統100中的某些透鏡表面為非球面表面。特別是，表面 U8b、124a、126a、128b、13〇a、136卜 i3h、 144b、146a、148b、l5〇b與156a為非球面表面。光學透鏡系統100 _的其他透鏡表面為球面表面。非球面表面於表2Α中會標示具有形狀“AS，，。光學透鏡系統1〇〇中的非球面透鏡表面’其對應公式i的非球面係數顯示於表Μ中。第-透鏡組11〇的主平面160顯示於光學透鏡系統1〇〇中。主平面位於第一透鏡組11〇與第二透鏡組ιΐ2之間。成像用的光學透鏡系統之另一實施例顯示於第7圖。光學透鏡系統200被配置將來自物端平面2〇2的光圖案，經由對稱® 206移轉至成像平面2〇4。光學透鏡系統· 包括第一透鏡組210、第二透鏡組212、第= τ 一遇鏡組214及第四透鏡組216。於透鏡組中的每一透鏡处規白對於軸2〇8是對稱的，軸208為座標系統所示的z轴。光學押尤予透鏡系統200 被配置提供最大數值孔徑〇16。光學透鏡系統200具有Ma值〇.28、Mb值〇 8 沮υ 8及Γ比例

值 0· 35。 1057-8840-PF 40 光學透鏡系統200中的每一透 202之第—砉而芬而料Λ、兄，、有面對物端平面表面及面對成像平面2〇4的第_表鏡的第一表表面。每一透〇、 4號。例如’透鏡218的第一表面示不為218a。每一透鏡的第_表 _ 、泰你〜表面標不b符號。因此，透鏡218的第-矣而择 ^ 第一表面標不為218卜於第7圖中，不是所有對應透鏡的第一表面盘第_ 衣〃第一表面的符號標示皆有清楚的目的’，但是每-透鏡對第-表面與第二表面分別標示“ a，，與 b 。 ’、第—透鏡組210包括透鏡218、22〇、222、224、226 及透鏡218、22〇及m皆以熔融二氧切形成。透鏡222、224及228皆以火石玻璃，像是破璃。於光學透鏡系統200中的透鏡厚度，皆沿著軸2〇8量測。透鏡 218具有厚度10·0隨。透鏡22〇具有厚度1〇〇咖。透鏡 222具有厚度38 4隨。透鏡224具有厚度43丨咖。透鏡 226具有厚度10.0 mm。透鏡228具有厚度4〇 3咖。兩透鏡之間的間隔係沿著軸2 0 8量測兩透鏡的面對面表面之間的距離》透鏡218與透鏡220之間間隔距離27. 1 顧°透鏡220與透鏡222之間間隔距離4. 〇關。透鏡222 與透鏡224之間間隔距離1.0 mm。透鏡224與透鏡226之間間隔距離1. 〇 nm。透鏡226與透鏡228之間間隔距離1. 0 随。沿軸208量測，第一透鏡組210與第二透鏡組212之間間隔距離（例如’沿轴208量測表面228b與表面230a之間的距離）d3為178· 2 ππη。第二透鏡組212包括透鏡230、232、234及236。透 1057-8840-PF 41

1330719 • V 鏡 232 與 236 筏·、，^ ’' 溶融一氧化石夕形成。透鏡230與234係以火石玻璃形成’像是LLF — 1。透鏡2別具有厚度1〇. 〇 mm。透鏡232具有厚度33. G mm。透鏡234具有厚度1G· 〇 mm。透鏡236具有厚度2〇〇随。透鏡230與透鏡232之間間隔距離1.〇 mm。透鏡232 與234係沿14 2Q8相鄰。透鏡234與透鏡236之間間隔距離1. 0 mm第一透鏡組212與對稱面2 0 6之間間隔距離（例如，沿轴208量測表面236b與對稱面206之間的距離）為 6. 0 mm。第二透鏡組214包括透鏡238、240、242及244。透鏡238與242係以熔融二氧化矽形成。透鏡24〇與244係以火石玻璃形成，像是LLF-卜透鏡238具有厚度20.0 mm。透鏡240具有厚度10. 0 mm。透鏡242具有厚度33. 0 mm。透鏡244具有厚度1〇.〇 mm ° 第三透鏡組214與對稱面206之間間隔距離（例如，沿轴208量測對稱面206與表面238a之間的距離）為6. 〇 mm。透鏡238與透鏡240之間間隔距離1. 〇 mm。透鏡240與242 係沿軸208相鄰。透鏡242與透鏡244之間間隔距離丨〇 mm °沿軸208量測，第三透鏡組214與第四透鏡組216之間間隔距離（例如，沿轴208量測表面244b與表面246a之間的距離）d4為178. 2 mm。於第三透鏡組214中的透鏡的尺寸、間距及材料，和第二透鏡組212中的透鏡的尺寸、間距及材料相似。於第三透鏡組214 _的透鏡係沿軸208設置，使得第二透鏡組 1057-8840-PF 42 1330719 • % 212與第三透鏡M 214形成的透鏡佈置，是關於對稱面· 對稱的。第四透鏡組216包括透鏡246、248、25〇、252、254 及256。透鏡248、254及256皆以熔融二氧化矽形成。透鏡246、250及252皆以火石玻璃形成，像是“卜丨玻璃。透鏡246具有厚度40_3 mm。透鏡248具有厚度1〇〇隨。透鏡250具有厚度43.1 mm。透鏡252具有厚度38. 4 mm。透鏡254具有厚度10.0 mm。透鏡256具有厚度ι〇〇咖。透鏡246與透鏡248之間間隔距離1〇〇mm。透鏡248 與透鏡250之間間隔距離1· 〇随。透鏡25〇與透鏡之間間隔距離i.〇mm。透鏡252與透鏡254之間間隔距離4 〇咖。透鏡254與透鏡256之間間隔距離27.ι随。第四透鏡組216與成像面204之間間隔距離（例如，沿轴2〇8量測表面256b與成像面204之間的距離）為54 9 mm。於第四透鏡組216中的透鏡的尺寸、間距及材料，和第一透鏡組210中的透鏡的尺寸、間距及材料相似。於第四透鏡組216中的透鏡係沿軸208設置，使得第一透鏡組 210與第四透鏡組216形成的透鏡佈置，是關於對稱面2〇6 對稱的。透鏡資料，包括光學透鏡系統200中的每一透鏡的每一表面之曲率半徑，顯示於表3A中。光學透鏡系統200中的某些透鏡表面為非球面表面。

特別是，表面 218b、224a、226a、228b、230a、236b、238a、 244b、246a、248b、250b與256a為非球面表面。光學透 1057-8840-PF 43 1330719

** I 鏡系統200中的其他透鏡表面為球面表面。非球面表面於表2At會標示具有形狀“AS” 。光學透鏡系統2〇〇中的非球面透鏡表面，其對應公式！的非球面係數顯示於表3β中。透鏡一般都以一種或多種光學材料形成，並吸收部份通過的光。經由某些透鏡對射線有明確的吸收量，會導致透鏡的熱膨脹，例如會產生幾何結構及透鏡的光學特性改變。例如，由於加熱或冷卻透鏡導致膨脹或收縮，某些透鲁鏡的聚焦特性會改變。於某些實施例中，形成透鏡的某些或全部材料，可根據其光學吸收特性而被選擇。例如，對於在電磁波光譜的UV部分操作的透鏡系、統，透鏡材料可相 -對選擇低uv吸收（例如，熔融二氧化石夕、m戈其他）而使用之。具有於UV光譜區域係相當低吸收的材料形成透鏡的成像光學透鏡系統3GG之實施例顯示於第8圖。光學透鏡系統300被配置將來自物端平面3〇2的光圖案，經由對稱面306移轉至成像平面3〇4。光學透鏡系統_包括第一透鏡組310、第二透鏡組312、第三透鏡組3H及第四透鏡組316。於透鏡組中的每-透鏡皆對於軸3Q8是對稱的，轴308為座標系統所示的2轴。光學透鏡系統3_ 提供最大數值孔徑0. 2。光學透鏡系統則具有1值〇.34、吡值〇例值0. 38。 302之叫％开，囱第一表面及面對成像平面304的第二表面。每一透

1057-8840-PF 44 1330719 • « =的第一表面標示‘、，，符號。例如，透鏡318的第一表面標示為318a。每一透鏡的第二表面標* “b”符號。因此，透鏡318的第二表面標示為31此。於第8圖中不是所有對應透鏡的第一表面與第二表面的符號標示皆有清楚的目的，但是每一透鏡對第一表面與第二表面分別標示“a”盥 “b” 。，、第一透鏡組310包括透鏡318、320、322 ' 324、326 及328。透鏡318、32〇、似、似及⑽皆以熔融二氧化矽形成。於光學透鏡系統3〇〇中的透鏡厚度，皆沿著軸3⑽ 量測。透鏡318具有厚度1〇〇麗。透鏡32〇具有厚度16 4 mm。透鏡322具有厚度42. 〇 mm。透鏡324具有厚度35 9 mm〇透鏡326具有厚度32. 6 mm。透鏡328具有厚度1〇〇麗。兩透鏡之間的間隔係沿著軸3〇8量測兩透鏡的面對面表面之間的距離。透鏡318與透鏡32〇之間間隔距離Μ. 6 _。透鏡320與透鏡322之間間隔距離i 〇咖。透鏡犯2 與透鏡324之間間隔距離1〇透鏡324與透鏡326之間間隔距離1. 0 mm。透鏡326與透鏡328之間間隔距離54. 5 mm。沿轴308量測，第一透鏡組31〇與第二透鏡組312之間間隔距離（例如，沿軸308量測表面328b與表面330a之間的距離）d5為127. 3 mm。第二透鏡組312包括透鏡33〇、332、334及336。透鏡330與334係以熔融二氧化矽形成。透鏡332與336係以氟化鈣形成。透鏡330具有厚度7 〇 mm。透鏡332具有厚度44.3難。透鏡334具有厚度7 〇 mm。透鏡336具有

1057-8840-PF 45 UJU/19 9 兄330與透鏡332之間間隔距離1〇咖。透鏡332 、透鏡334之間間隔距離1. 3 mm。透鏡334與透鏡336之 ^間隔距離h 0 mm。第二透鏡組312與對稱面306之間間 3離（例如，沿軸308量測表面336b與對稱面306之間的距離）為5. mm ° 第三透鏡組314包括透鏡338、340、342及344。透

鏡咖與342係以氟化妈形成。透鏡340肖344係以炼融 "夕开^成。透鏡338具有厚度31.9 mm。透鏡340具厚又7.0 mm。透鏡342具有厚度44.3 mm。透鏡344具有厚度7. 〇 mm。第一透鏡組314與對稱面3 0 6之間間隔距離（例如，沿軸308量測對稱面3〇6與表面338a之間的距離）為5, 〇㈣。透鏡338與透鏡340之間間隔距離o.i mm。透鏡340與透鏡342之間間隔距離1. 3 mm。透鏡342與透鏡344之間間隔距離1. 0 mm。沿軸308量測，第三透鏡組314與第四透鏡組316之間間隔距離（例如，沿轴308量測表面344b與表面346a之間的距離）d6為127. 3 mm。於第三透鏡組314中的透鏡的尺寸、間距及材料，和第二透鏡組312中的透鏡的尺寸、間距及材料相似。於第三透鏡組314中的透鏡係沿軸308設置，使得第二透鏡組 312與第三透鏡組314形成的透鏡佈置，是關於對稱面3〇6 對稱的。第四透鏡組316包括透鏡346、348、350、352、354 1057-8840-PF 46 1330719 • * 及 356。透鏡 346、348、350、352、354 及 356 皆以熔融一氧化矽形成。透鏡346具有厚度ίο. 〇 mm。透鏡348具有厚度32. 6 mm。透鏡350具有厚度35· 9 mm。透鏡352具有厚度42.〇111111»透鏡354具有厚度164 111111〇透鏡356具有厚度10. 0 mm。透鏡346與透鏡348之間間隔距離54· 5 mm。透鏡348 與透鏡350之間間隔距離1.0 mm。透鏡350與透鏡352之間間隔距離1. 〇 mm。透鏡352與透鏡354之間間隔距離1. 〇 mm °透鏡354與透鏡356之間間隔距離25. 6 mm。第四透鏡組316與成像面304之間間隔距離（例如，沿軸3〇8量測表面356b與成像面304之間的距離）為45.0 mm。於第四透鏡組316中的透鏡的尺寸、間距及材料，和第一透鏡組310中的透鏡的尺寸、間距及材料相似。於第四透鏡組31 6中的透鏡係沿軸308設置，使得第一透鏡組 310與第四透鏡組316形成的透鏡佈置，是關於對稱面3〇6 對稱的。透鏡資料，包括光學透鏡系統300中的每一透鏡的每一表面之曲率半徑，顯示於表4A中》假如透鏡表面的曲率半徑之圓心是與物端面302位於同一側時，則透鏡表面之曲率半徑為負。假如透鏡表面的曲率半徑之圓心是與成像端面304位於同一側時，則透鏡表面之曲率半徑為正。光學透鏡系統300中的某些透鏡表面為非球面表面。特別是，表面 318a、324a、328a、330a、334b、340a、344b、 346b、350b與356b為非球面表面。光學透鏡系統3〇〇中

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* I 的其他透鏡表面為球面表面。非球面表面於表4A中會標示具有形狀“ AS” 。光學透鏡系統3〇〇中的非球面透鏡表面’其對應公式1的非球面係數顯示於表4B中。於某些實施例中，可使用超過兩種不同材料形成透鏡。例如’於某些實施例巾，系統的整體長度於系統設計時可被限制（如此，透鏡系統可被用於微蝕刻光學透鏡系統的某些應用中）。可各別地或組合地使用三種或更多種的材料形成透鏡，以便提供具有適當配置色特性的光學透鏡系統0 具有以三種㈣巾的一種形成透鏡的成冑{學透鏡系統400之實施例範例，顯示於第g圖當中。光學透鏡系統 4〇〇中的大部分透鏡係以熔融二氧化矽、氟化鈣為材料形成。該等材料對於電磁波光普的uv部分具有相當低的吸收。然而，光學透鏡系、统400亦包括兩個以llfi玻璃或其他火石玻璃材料形成的透鏡。此二透鏡，一般位於透鏡糸統_的光路徑上的第—個與最後—個透鏡，對於透鏡系統400提供特殊的色差特性。光學透鏡系，統400被配置將來自物端平案，經由對稱面傷移轉至成像平面= = 是旋轉且416°於透鏡組中的每一透鏡皆對於轴408 疋 ί稱的’ ϋ 408為平行於座標系統所示的2轴學透鏡系& 4GG被配置提供最大數值孔徑Q 2 學透鏡系統_係遠心系統，具有放大係數為i及二5

1057-8840-PF 48 1330719 - « 對於光學透鏡系統400的dmax 為52 ram x 66職。因此為 42 mm。光學透鏡系統400具有Ma值〇.33、奶值〇.92ar比例值0. 36。

光學透鏡系統400中的每一透鏡具有面對物端平面 402之第&面及面對成像平面404的第二表面。每一透鏡的第-表面標示“a”符號。例如，透鏡418的第一表面標示為418a。每一透鏡的第二表面標示“ b ”符號。因此，透鏡418的第二表面標示為418b。於第9圖中，不是所有對應透鏡的第-表面與第二表面的符號標示皆有清楚的目的，但是每-透鏡對第一表面與第二表面分別標示，，盘 “b” 。〆、第一透鏡組410包括透鏡418、42〇、422、424、426 及428。透鏡418係以LLF1玻璃材料形成。透鏡42〇、422、 424、426及428皆以溶融二氧化梦形成。於光學透鏡系統 _ 400中的透鏡厚度，皆沿著軸4〇8量測。透鏡418具有厚度13.0麗。透鏡420具有厚度1〇.〇咖。透鏡422具有厚度47.4關。透鏡424具有厚度33· 〇龍。透鏡桃具有厚度32. 8 mm °透鏡428具有厚度1〇〇 mm。兩透鏡之間的間隔係沿著軸4〇8量測兩透鏡的面對面表面之間的距離。透鏡418與透鏡42〇之間間隔距離5 ι 随。透鏡420與透鏡422之間間隔距離16 5mm。透鏡422 與透鏡424之間間隔距離！.〇 mm。透鏡424與透鏡426之間間隔距離Ι.Οπππ。透鏡426與透鏡428之間間隔距離91 8 1057-8840-PF 49 1330719 • · mm。沿軸408莖測，第一透鏡組41〇與第二透鏡組412之間間隔距離（例如，沿轴408量測表面428b與表面43〇a之 ' 間的距離）d7為97. 9 mm » 第二透鏡組412包括透鏡43〇、432、434及436。透鏡430與434係以熔融二氧化矽形成。透鏡432與436係以氟化鈣形成。透鏡430具有厚度7 〇龍。透鏡432具有厚度50.1 mm。透鏡434具有厚度7 〇 mn^透鏡436具有厚度 32. 0 mm。鲁透鏡430與透鏡432之間間隔距離1. 0 mm。透鏡432 與透鏡434之間間隔距離1. 〇 _。透鏡434與透鏡436之 •間間隔距離1. 5 mm。第二透鏡組412與對稱面406之間間 •隔距離（例如，沿軸408量測表面436b與對稱面406之間的距離）為1. 〇 mm。第三透鏡組414包括透鏡438、44〇、442及444。透鏡438與442係以氟化鹤形成。透鏡44〇與444係以熔融 φ 二氧化矽形成。透鏡438具有厚度32.0關。透鏡440具有厚度7.0 urn。透鏡442具有厚度50·丨mm。透鏡444具有厚度7. 〇 mm。第三透鏡組414與對稱面4 〇 6之間間隔距離（例如，沿軸408量測對稱面4〇6與表面438a之間的距離）為i · 〇咖。透鏡438與透鏡440之間間隔距離丨.5襲。透鏡44〇與透鏡442之間間隔距離！. 〇龍。透鏡442與透鏡444之間間隔距離1，0關。沿轴408量測，第三透鏡組414與第四透鏡且416之間間隔距離（例如，沿轴Mg量測表面444b與

1057-8840-PF 50 1330719 表面446a之間的距離）(18為97. 9 mm。於第三透鏡組414中的透鏡的尺寸、間距及材料，和第二透鏡組412中的透鏡的尺寸、間距及材料相似。於第二透鏡組414中的透鏡係沿軸408設置，使得第二透鏡組 412與第三透鏡組414形成的透鏡佈置，是關於對稱面4〇6 對稱的。第四透鏡組416包括透鏡446、448、450、452、454 及456。透鏡446、448、450、452及454係以熔融二氧化石夕形成。透鏡456係以LLF-1玻璃材料形成。透鏡446具有厚度10.0 mm。透鏡448具有厚度32.8 mm。透鏡450具有厚度33.00 mm。透鏡452具有厚度47.4 mm。透鏡454 具有厚度10.0 mm。透鏡456具有厚度13.0 mm。透鏡446與透鏡448之間間隔距離91.5 mm。透鏡448 與透鏡450之間間隔距離1.0 mm。透鏡450與透鏡452之間間隔距離1. 〇 mm。透鏡452與透鏡454之間間隔距離16 5 ㈣。透鏡454與透鏡456之間間隔距離5. 1 mm。第四透鏡組416與成像面404之間間隔距離（例如，沿轴4〇8量測表面456b與成像面404之間的距離）為40.0 mm。於第四透鏡組416中的透鏡的尺寸、間距及材料，和第一透鏡組410中的透鏡的尺寸、間距及材料相似。於第四透鏡組416中的透鏡係沿軸408設置，使得第一透鏡組 410與第四透鏡組416形成的透鏡佈置，是關於對稱面4〇6 對稱的。光學透鏡400的電腦模擬顯示，對於輸入功率於〇至 1057-8840-PF 51 1330719 φ « 263 nm/W ; 481 nm/W ； 318 nm/W ； -62 nm/W ； 12 nm/W ； 40W範圍内’顯示透鏡受熱導致像差：最大像散變化聚焦面上的峰谷值誤差峰谷場彎曲變化軸上像散像差最大畸變像差透鏡資料，包括光學透鏡系統4〇〇中的每一透鏡的每

一表面的曲率半徑，顯示於表5A中。假如透鏡表面的曲率中心與如同物端平面402的透鏡表面位於同一側，則透鏡表面的曲率半徑為負。假如透鏡表面的曲率中心與如同成像平面404的透鏡表面位於同一側，則透鏡表面的曲率半徑為正。於光學透鏡系統400中的某些透鏡表面為非球面。特別是，表面 420b、422b、426b、428a、434b、440a、446b、 448a、452a及454a為非球面。光學透鏡系統4〇〇中的其 φ 他透鏡表面為球面表面。於表5A中，非球面表面以具有形狀AS”標示之。對於光學透鏡系統4〇〇中非球面透鏡表面對應公式1的非球面係數顯示於表5B中。關於每一透鏡的ISA/CAI，值顯示於表5C中。參考第10圖，具有六個透鏡組的成像光學透鏡系統的範例，為光學透鏡系統800。光學透鏡系統8〇〇配置用以將物端平面802上的物經由對稱面8〇6，即對應於光學透鏡系統800的瞳平面，成像於成像平面光學透鏡系統具有焦距1448 mm，並於成像平面8〇4具有最大數值孔 1057-8840-PF 52 1330719 * 徑0· 16。此外，光學透鏡系統goo為遠心的並具有放大係麩為1。 • 光學透鏡系統800具有Ma值0. 33、Mb值〇. 92及Γ比例值0. 36。光學透鏡系統800具有透鏡組810、813、812、820、 823及822。透鏡組81〇、812、820及822具有正光學屈光率。透鏡组813及823具有負光學屈光率。透鏡組中的每一透鏡係關於轴808旋轉對稱的，此軸808即平行於座標 φ 系統中顯示的z軸。透鏡Μ 810包括透鏡818、820、822、824及826。透鏡818係以LLF-1玻璃材料形成，同時透鏡組810中的其 • #透鏡係以熔融二氧化矽形成。透鏡818與透鏡820共同 . 形成一 ΡΝ雙膠合透鏡。透鏡組813包括透鏡828與830。透鏡828與830皆以熔融二氧化矽形成。透鏡組812包括透鏡832 ' 834、836、838及840。透鏡832、834及838係以氟化鈣材料形成，同時透鏡836及 840係以炫融二氧化石夕形成。透鏡834與836形成第一 ΡΝ 雙膠合透鏡。透鏡838與840形成第二ρν雙谬合透鏡。透鏡組814係關於平面806對稱於透鏡組812設置。因此，透鏡842、844、846、848及850如同透鏡84〇、838、 836、834及832，分別以相同的材料形成並具有相同的形狀。透鏡組815係關於平面806對稱於透鏡組813設置。 1057-8840-PF 53 1330719 • * 因此，透鏡852及854如同透鏡83〇及828，分別以相同的材料形成並具有相同的形狀。透鏡組816係關於平面806對稱於透鏡組81〇設置。因此，透鏡856、858、860、862及864如同透鏡826、824、 822、820及818,分別以相同的材料形成並具有相同的形狀0

光學透鏡800的電腦模擬顯示，對於輸入功率於〇至 40W範圍内，顯示透鏡受熱導致像差： 153 nm/W ； 270 nm/W ； 175 nm/W ； -37 nm/W ； 8. 6 nm/W ；最大像散變化聚焦面上的峰谷值誤差峰谷場彎曲變化軸上像散像差最大畸變像差透鏡資料，包括光學透鏡系統800中的每一透鏡的每一表面的曲率半徑，顯示於表6At。每一透鏡面對物端平面802的表面標示a符號，以及每一透鏡面對成像平面 804的表面標示“b”符號。假如透鏡表面的曲率中心與如同物端平面802的透鏡表面位於同一側，則透鏡表面的曲率半徑為負。假如透鏡表面的曲率中心與如同成像平面8〇4 的透鏡表面位於同一側，則透鏡表面的曲率半徑為正。光學透鏡系統800的每一透鏡表面為球面。表6a中標示“厚度的棚位，為沿著光軸808，於成像平面8〇4方向上量測相鄰透鏡表面之間的距離。折射率係針對波長365 nm設計。表中標示DS表示為“假想表面”，其係虛擬表面，用

1057-8840-PF 54 1330719 * « 以模擬系統並取出資料。關於母個透鏡表面的I SA/CA | ’值提供於表6B中。參考第11圖，具有六個透鏡組的成像光學透鏡系統的範例，為光學透鏡系統9〇〇。光學透鏡系統900配置用以將物端平面902上的物經由對稱面9〇6，即對應於光學透鏡系統900的曈平面，成像於成像平面9〇4。光學透鏡系統具有焦距1433 mm，並於成像平面9〇4具有最大數值孔徑0.16°此外’光學透鏡系統9〇〇為遠心的並具有放大係數為1。光學透鏡系統900具有Ma值0.22、Mb值0.88及Γ比例值0. 26。光學透鏡系統900具有透鏡組91〇、913、912、920、 923及922。透鏡組910、912、920及922具有正光學屈光率。透鏡組913及923具有負光學屈光率。透鏡組中的每一透鏡係關於軸908旋轉對稱的，此轴9〇8即平行於座標糸統中顯示的z轴。透鏡組910包括透鏡918、920、922、924及926。透鏡918係以LLF-1玻璃材料形成，同時透鏡組91〇中的其餘透鏡係以熔融二氧化矽形成。透鏡918與透鏡92〇共同形成一 PN雙膠合透鏡。透鏡組913包括透鏡928與930。透鏡928與930皆以熔融二氧化矽形成。

透鏡组912包括透鏡932、934、936、938及940。透鏡932、934及938係以氟化鈣材料形成。透鏡936係以熔 1057-8840-PF 55 1330719 • * 融二氧化矽形成’且透鏡940係以BK7玻璃形成。透鏡934 與936形成第一 PN雙膠合透鏡。透鏡938與940形成第二 ' PN雙膠合透鏡。透鏡組914係關於平面9 0 6對稱於透鏡組912設置。因此’透鏡942、944、946、948及950如同透鏡940、938、 93 6、934及932，分別以相同的材料形成並具有相同的形狀。透鏡組915係關於平面9 0 6對稱於透鏡組g 13設置。因此’透鏡952及954如同透鏡930及928，分別以相同的材料形成並具有相同的形狀。 - 透鏡組916係關於平面9 〇 6對稱於透鏡組91 〇設置。 .因此’透鏡 956、958、960、962 及 964 如同透鏡 926、924、 • 922 ' 920及918，分別以相同的材料形成並具有相同的形狀。透鏡資料’包括光學透鏡系統900中的每一透鏡的每 φ 一表面的曲率半徑，顯示於表7中。每一透鏡面對物端平面902的表面標示“a”符號，以及每一透鏡面對成像平面 904的表面標示“b”符號《假如透鏡表面的曲率中心與如同物端平面902的透鏡表面位於同一側’則透鏡表面的曲率半徑為負。假如透鏡表面的曲率中心與如同成像平面9〇4 的透鏡表面位於同一側，則透鏡表面的曲率半徑為正。光學透鏡系統900的每一透鏡表面為球面。表7中標示‘‘厚度的攔位，為沿著光軸908，於成像平面9〇4方向上量測相鄰透鏡表面之間的距離。折射率係針對波長3 W $ 1057-8840-PF 56 1330719 參考第12圖’具有六個透鏡組的成像光學透鏡系統的範例’為光學透鏡系統1 000。光學透鏡系統1〇〇〇配置用以將物端平面1 002上的物經由對稱面1 006，即對應於光子透鏡系統1000的曈平面，成像於成像平面1〇〇4。光學透鏡系統具有焦距1375 ram,並於成像平面1〇〇4具有最大數值孔徑〇. 2。此外，光學透鏡系統1 000為遠心的並具有放大係數為1。光學透鏡系統1〇〇〇具有Ma值〇. 3、Mb值0· 88及Γ比例值0. 3 4。光予透鏡系統1〇〇〇具有透鏡組1〇1〇、1〇13、1〇12、 1020 1〇23 及 1022。透鏡組 1〇1〇、1〇12、1〇2〇及 1〇22 具有正光學屈光率。透鏡組1〇13及1〇23具有負光學屈光率。透鏡組中的每一透鏡係關於軸1 008旋轉對稱的，此軸1〇〇8 即平行於座標系統中顯示的z轴。透鏡組 1010 包括透鏡 1〇18、1 020、1〇22、1024 及 1026。

，同時透鏡組1 01 0中透鏡1018與透鏡1〇2〇透鏡組1013包括透鏡1028與1 030。透鏡1 028與1030 皆以熔融二氧化矽形成。透鏡1032、1034及1〇38係以係以熔融二氧化矽形成，透鏡組 1012 包括透鏡 1032、1 034、1 036、1 038 及 1〇4〇係以氟化鈣材料形成。透鏡1 〇 3 6 且透鏡1 040係以LLF-1玻璃形

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1330719 * I 成。透鏡1034與1036形成第一 PN雙膠合透鏡。透鏡1〇38 與1040形成第二pn雙膠合透鏡。透鏡組1014係關於平面1 006對稱於透鏡組1〇12設置。因此，透鏡1042、1044、1 046、1048及1 050如同透鏡1040、1 038、1 036、1 034及1 032,分別以相同的材料形成並具有相同的形狀。透鏡組1015係關於平面1〇〇6對稱於透鏡組1〇13設置。因此，透鏡1 052及1 054如同透鏡1〇3〇及1〇28，分別以相同的材料形成並具有相同的形狀。透鏡組1016係關於平面1 〇〇 6對稱於透鏡組丨〇丨〇設置。因此，透鏡1 056、1 058、1 060、1 062及1〇64如同透鏡1026、1024、1022、1020及1018，分別以相同的材料形成並具有相同的形狀。透鏡資料，包括光學透鏡系統1〇00中的每一透鏡的每表面的曲率半徑，顯示於表8A中。每一透鏡面對物端平面1 002的表面標示“ a，’符號，以及每一透鏡面對成像平面1004的表面標示“ b”符號。假如透鏡表面的曲率中心與如同物端平面1002的透鏡表面位於同一側，則透鏡表面的曲率半徑為負。假如透鏡表面的曲率中心與如同成像平面1 〇〇4的透鏡表面位於同一側，則透鏡表面的曲率半徑為正表8A中標示厚度的欄位，為沿著光軸1 〇〇8，於成像平面1004方向上量測相鄰透鏡表面之間的距離。折射率係針對波長365 nm設計。光學透鏡系統1000中，某些透鏡的表面為非球面表

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• I 面。特別是’表面1028b、1036b、1046a及1054a為非球 •面表面。光學透鏡系統1 000中的其餘透鏡表面為球面表面。光學透鏡系統1 〇〇〇中的非球面透鏡表面，其對應公式 1的非球面係數顯示於表8B中。參考第13圖，具有六個透鏡組的成像光學透鏡系統的範例為光學透鏡系統110 0。光學透鏡系統11 〇〇配置用以將物端平面丨丨02上的物經由對稱面丨丨〇6，即對應於光籲學透鏡系統11〇〇的瞳平面’成像於成像平面1104。光學透鏡系統具有焦距1375 mm，並於成像平面1〇〇4具有最大數值孔徑0. 2。此外，光學透鏡系統丨丨〇〇為遠心的並具有放大係數為1。光學透鏡系統1100具有Ma值0.28、Mb值0.88及Γ 比例值0. 32。光學透鏡系統11 0 〇具有透鏡組1 i j 〇、n j 3、1 i j 2、 1120、1123 及 1122。透鏡組 πιο、1112、1120 及 1122 具 φ 有正光學屈光率。透鏡組1113及1123具有負光學屈光率。透鏡組中的每一透鏡係關於軸11〇8旋轉對稱的，此軸11〇8 即平行於座標系統中顯示的z轴。透鏡組 1110 包括透鏡 1118、112〇、1122、1124 及 1126。透鏡1118係以LLF-1玻璃材料形成，同時透鏡組111〇中的其餘透鏡係以溶融二氧化石夕形成。透鏡1118與透鏡112〇共同形成一 PN雙膠合透鏡。透鏡組1113包括透鏡1128與1130。透鏡1128與1130

皆以熔融二氧化矽形成。 1057-8840-PF 59 1330719 » 透鏡組 1112 包括透鏡 1132、1134、1136、lug 及 114〇。透鏡1132、1134及1138係以氟化鈣材料形成。透鏡1136 係以熔融二氧化矽形成，且透鏡丨丨4〇係以Βκ7玻璃形成。透鏡1134與1136形成第一 ΡΝ雙膠合透鏡。透鏡1138與 1140形成第二ΡΝ雙膠合透鏡。透鏡組1114係關於平面11 〇 6對稱於透鏡組丨丨丨2設置。因此，透鏡1142、1144、1146、1148及1150如同透鏡1140、1138、1136、1134及1132，分別以相同的材料形成並具有相同的形狀。透鏡組1115係關於平面11 〇 6對稱於透鏡組丨丨丨3設置。因此，透鏡1152及1154如同透鏡1130及1128，分別以相同的材料形成並具有相同的形狀。透鏡組111 6係關於平面11 〇6對稱於透鏡組〗丨丨〇設置。因此，透鏡1156、1158、1160、1162及1164如同透鏡1126、1124、1122、1120及1118，分別以相同的材料形成並具有相同的形狀。透鏡資料，包括光學透鏡系統1100中的每一透鏡的每一表面的曲率半徑，顯示於表gA中。每一透鏡面對物端平面1102的表面標示“a，，符號，以及每一透鏡面對成像平面11 04的表面標示“ b”符號。假如透鏡表面的曲率中心與如同物端平面11 〇2的透鏡表面位於同一側，則透鏡表面的曲率半徑為負。假如透鏡表面的曲率中心與如同成像平面11 04的透鏡表面位於同一側，則透鏡表面的曲率半徑為正。表9A中標示“厚度”的欄位，為沿著光軸11〇8，於

1057-8840-PF 60 丄成像平面1104方向上量測相鄰透鏡表面之間的距離。折射率係針對波長365 nm設計。光子透鏡系統11〇〇中，某些透鏡的表面為非球面表面。特別是，表面1128b、U咖、1146^1154a為非球面表面。光學透鏡“ 11G()中的其餘透鏡表面為球面表面。光學透鏡系統11QG中的非球面透鏡表面，其對應公式 1的非球面係數顯示於表9b中。

〃參考第14圖’具有六個透鏡組的成像^學透鏡系統的範例為光學透鏡系、統！ 2〇〇。光學透鏡系统i 2QQ配置用以將物端平面1202上的物經由對稱面12〇6，即對應於光學透鏡系，统12GG的瞳平面，成像於成像平自12{)4。光學透鏡系統具有焦距1 526 mm，並於成像平面i2〇4具有最大數值孔徑0. 16。此外，光學透鏡系統12〇〇為遠心的並具有放大係數為1。

光學透鏡系統1200具有Ma值〇.23、Mb值0.89及Γ 比例值0. 26。光學透鏡系統1200具有透鏡組121〇、1213、1212、 1 220、1223 及 1222。透鏡組 121〇、1212、1 220 及 1 222 具有正光學屈光率。透鏡組1213及1223具有負光學屈光率。透鏡組中的每一透鏡係關於轴12〇8旋轉對稱的，此軸12〇8 即平行於座標系統中顯示的z袖。透鏡組 1210 包括透鏡 1218、1220、1222、1224 及 1 226。透鏡1218係以LLF-1玻璃材料形成，同時透鏡組1210中的其餘透鏡係以熔融二氧化矽形成。透鏡1218與透鏡1220

1057-8840-PF 61 1330719 *" » 共同形成一 PN雙膠合透鏡。透鏡組1213包括透鏡1228與1230。透鏡1228係以炼融二氧化矽形成。透鏡1230係以LLF-1玻璃形成。

透鏡組 1212 包括透鏡 1232、1234、1 236、1238 及 1240。透鏡1232、1234及1238係以氟化鈣材料形成，同時透鏡 1236及1240皆以熔融二氧化矽形成。透鏡1234與1236 形成第一 PN雙膠合透鏡。透鏡1 238與1 240形成第二PN 雙膠合透鏡。透鏡.纟且1214係關於平面1 2 0 6對稱於透鏡組1212設置。因此’透鏡1242、1244、1246、1248及1250如同透鏡1240、1238、1236、1234及1232，分別以相同的材料形成並具有相同的形狀。透鏡組121 5係關於平面1 2 0 6對稱於透鏡組1213設置。因此，透鏡1252及1254如同透鏡1230及1228，分別以相同的材料形成並具有相同的形狀。透鏡組1216係關於平面1 2 0 6對稱於透鏡組121 〇設置鏡形。因此’透鏡 1 256、1258、1 260、1262 及 1264 如同透 1226' 1224、1222、1 220及1218’分別以相同的材料成並具有相同的形狀。透鏡資料，包括光學透鏡系統1 200中的每—透鏡的每 -表面的曲率半徑，顯示於表10中。每—透鏡面對物端平面1202的表面標* “a”符號’以及每—透鏡面對成像平面1 204的表面標示“b”符號。假如透鏡表面的曲率中心與如同物端平面12〇2的透鏡表面位於同—側，則透鏡表面

1057-8840-PF 62 1330719 ( 的曲率半徑為負。假如透鏡表面的曲率中心與如同成像平面1 204的透鏡表面位於同一側，則透鏡表面的曲率半徑為正。光學透鏡系統1200的每一透鏡表面為球面。表1〇中標示“厚度”的欄位，為沿著光軸12〇8,於成像平面12〇4 方向上量測相鄰透鏡表面之間的距離。折射率係針對波長 36 5 nm設計。參考第15圖，具有六個透鏡組的成像光學透鏡系統的範例為光學透鏡系統1300。光學透鏡系統13〇〇配置用以將物端平面1 302上的物經由對稱面13〇6，即對應於光學透鏡系統1300的瞳平面，成像於成像平面13〇4。光學透鏡系統具有焦距1522 mm，並於成像平面1304具有最大數值孔徑0· 16❶此外，光學透鏡系統13〇〇為遠心的並具有放大係數為1。光學透鏡系統1300具有Ma值〇· 25、Mb值〇. 89及Γ 比例值0. 28。光學透鏡系統1300具有透鏡組ι31〇、1313、1312、 1320、1323 及 1322。透鏡組 1310、1312、1320 及 1322 具有正光學屈光率。透鏡組1313及1323具有負光學屈光率。透鏡組中的每一透鏡係關於軸13〇8旋轉對稱的此軸13〇8 即平行於座標系統中顯示的z軸。透鏡、组 1310 包括透鏡 1318、1 320、1 322、1324 及 1326。透鏡1318係以LLF-1破螭材料形成，同時透鏡組131〇中的其餘透鏡係以熔融二氧化矽形成。透鏡1318與透鏡132〇共同形成一 PN雙膠合透鏡。

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1330719 • I 透鏡組1313包括透鏡1328與1330e透鏡1328與1330 係以熔融二氧化矽形成。透鏡組 1312 包括透鏡 1332、1334、1 336、1338 及 134〇。透鏡1332、1334及1 338係以氟化弼材料形成。透鏡1336 係以熔融二氧化矽形成，且透鏡134〇係以LLF — 丨形成。透鏡1334與1336形成第一 PN雙膠合透鏡。透鏡1338與134〇形成第二PN雙膠合透鏡。透鏡組1314係關於平面1 306對稱於透鏡組1312設置因此’透鏡1342、1344、1346、1348及1350如同透鏡1340、1338、1336、1 334及1332，分別以相同的材料形成並具有相同的形狀。透鏡組1315係關於平面1306對稱於透鏡組1313設置。因此，透鏡1 352及1354如同透鏡1330及1328，分別以相同的材料形成並具有相同的形狀。透鏡組1316係關於平面1306對稱於透鏡組131〇設置。因此，透鏡1356、1358、1360、1362及1 364如同透鏡1 326、1324、1322、1320及1318’分別以相同的材料形成並具有相同的形狀。透鏡資料’包括光學透鏡系統1300中的每一透鏡的每一表面的曲率半徑，顯示於表u中。每一透鏡面對物端平面1302的表面標示“a，，符號，以及每一透鏡面對成像平面I304的表面標示“b”符號。假如透鏡表面的曲率中心與如同物端平面1302的透鏡表面位於同一側，則透鏡表面的曲率半徑為負。假如透鏡表面的曲率中心與如同成像平

1057-8840-PF 64 1330719 面1304的透鏡表面位於同一側，則透鏡表面的曲率半徑為正。光學透鏡系統1300的每一透鏡表面為球面。表u中標示“厚度”的棚位，為沿著光軸i謂，於成像平面觀方向上量測相鄰透鏡表面之間的距離。折射率係針對波長 36 5 nm設計。參考第16圖，光學透鏡系統的另一成像範例為光學透鏡系統1600»光學透鏡系統1 600配置用以將物端平面丨6〇2 上的物經由對稱面1606,即對應於光學透鏡系統16〇〇的曈平面，成像於成像平面1604。光學透鏡系統具有焦距 1948 mm，並於成像平面1604具有最大數值孔徑〇 2。此外’光學透鏡系統16 〇〇為遠心的並具有放大係數為】，以及場尺寸為52 mm X 6 6 mm。因此，對於計算r比例的最大场尺寸 ’ dmax = yj(52/2)2 +(66/2)2 =42 mm。光學透鏡系統1600具有Ma值0_ 28、Mb值〇. 88及Γ 比例值0. 32。

光學透鏡1600的電腦模擬顯示，對於輸入功率於〇至 40W範圍内’顯示透鏡受熱導致像差：最大像散變化 150 nm/W ; 聚焦面上的峰谷值誤差 273 nm/W ; 峰谷場彎曲變化 232 nm/W ; 轴上像散像差 -52 nm/W ; 最大畸變像差 5 nm/W。光學透鏡系統1600包括透鏡1618、1620、1622、1624、 1626、1628、1630、1632' 1634、1636、1638、1640、1642、 1057-8840-PF 65 1330719 • » 1644、1648、1650、1652、1654 及 1656。透鏡資料，包括光學透鏡系統1 600中的每一透鏡的每一表面的曲率半徑以及透鏡成分，顯示於表12A中。每一透鏡面對物端平面 1602的表面標示“ a，，符號，以及每一透鏡面對成像平面 1604的表面標示“b，，符號。假如透鏡表面的曲率中心與如同物端平面1602的透鏡表面位於同一側，則透鏡表面的曲率半径為負。假如透鏡表面的曲率中心與如同成像平面 1604的透鏡表面位於同一側，則透鏡表面的曲率半徑為正。表12A中標示“厚度，，的攔位，為沿著光軸16〇8，於成像平面1604方向上量測相鄰透鏡表面之間的距離。折射率係針對波長3 6 5 n m設計。光學透鏡系統1600中，某些透鏡的表面為非球面表面。特別是，表面 1620b、1 622b、1 626b、1628a、1634b、 1640a、1646b、1648a、1652a 及 1654a 為非球面表面。光學透鏡系統1600中的其餘透鏡表面為球面表面。非球面表面於表12B中會標示具有形狀“AS”。光學透鏡系統⑽〇中的非球面透鏡表面，其對應公式〗的非球面係數顯示於表12B中。 ' 關於每一透鏡的ISA/CAI，值顯示於表12c中。參考第17圖，光學透鏡系統的另一成像範例為光學透鏡系統1700。光學透鏡系統17〇〇配置用以將物端平面pm 上的物經由對稱面1 706,即對應於光學透鏡系統17〇〇的曈平面，成像於成像平面1704。光學透鏡系統於成像平面 1704具有最大數值孔徑0.16。此外，光學透鏡系統丨7〇〇 1O57-8840-PF 66 1330719

• I 為遠心的並具有放大係數為i，以及場尺寸為52 mm X 66 mm。因此，dmax 為 42 mm。光學透鏡系統Π00具有心值〇.39、叽值〇 92&Γ 比例值0. 42。光學透鏡1700的電腦模擬顯示，對於輸入功率於〇至 40W範圍内’顯示透鏡受熱導致像差： 362 nm/W ；最大像散變化

» υ u nin/ π 9 583 nm/W ； -119 nm/W ；

nm/W 聚焦面上的峰谷值誤差峰谷場彎曲變化軸上像散像差最大畸變像差光學透鏡系統1700包括透鏡1718、1 720、1 722、1 724、 Π26、1728、1730、1732、1734、1 736、1 738、1740、1 742、 1744 、 1748 、 1750 、 1752 、 1754 、 1756 、 1758 及 1760 。透鏡資料，包括光學透鏡系統1700中的每一透鏡的每一表面的曲率半徑以及透鏡成分，顯示於表13A中。每一透鏡面對物端平面1702的表面標示“a”符號，以及每一透鏡面對成像平面1704的表面標示“b”符號。假如透鏡表面的曲率中心與如同物端平面1 702的透鏡表面位於同一側，則透鏡表面的曲率半徑為負。假如透鏡表面的曲率中心與如同成像平面1704的透鏡表面位於同一側，則透鏡表面的曲率半徑為正。表13A中標示“厚度，，的攔位，為沿著光軸 1708’於成像平面1704方向上量測相鄰透鏡表面之間的距離。折射率係針對波長365 nm設計。

1057-8840-PF 67 1330719 • t 光學透鏡系統1 700中，某些透鏡的表面為非球面表面。特別是，表面 1720b、1730a、1 738b、174〇a、174讣及1 758a為非球面表面。光學透鏡系統17〇〇中的其餘透鏡表面為球面表面。非球面表面於表⑽中會標示具有形狀 AS 。光學透鏡系統170〇中的非球面^ ^ ^ /V -V 1 ΛΑ ^ . 开艰面透鏡表面’其對應么式1的非球面係數顯示於表13B中。關於每-透鏡的_丨，I顯示於表…中。其他實施例揭露於以下申請專利範圍中。

1057-8840-PF 68 1330719 • \ 場尺寸 0. 02<NA»ax<0. 07 0. 07<NA«ax<0. 13 0· 13<NAnax〈0· 18 0. 18<NA«ax<0. 25 7 mm<dmax<16 mm 0.23<Γ<0. 33 0. 35<Γ<0. 47 0. 43<Γ<0. 55 0.46<Γ<0. 57 16mm<dmax<27mra 0.16<Γ<0. 23 0. 25<Γ<0. 35 0. 33<Γ<0. 43 0. 38<Γ<0.46 27mm<dmax<36mm 0. 12<Γ<0. 16 0. 19<Γ<0. 25 0. 27<Γ<0. 33 0.31<Γ<0. 38 36mm<dmax<42mm 0. 11<Γ<0. 12 0. 18<Γ<0. 19 0. 25<Γ<0. 27 0. 29<Γ<0. 31 表1 69

1057-8840-PF 表面曲率半徑(圓）形狀厚度（mm) 材料折射率半口徑(mm) 102 0.00000000e+00 4.81220577e+01 AIR 1.00000000e+00 4.200e+01 118a -1.37163991e+02 1.00000000e+01 SILUV 1.47455005e+00 5.000e+01 118b 2.68046442e+03 AS 2.96404134e+01 AIR 1.00000000e+00 5.800e+01 120a -7.04402373e+01 9.99991191e+00 SILUV 1.47455005e+00 5. 600e+01 120b -1.05369956e+03 3.58048026e+00 AIR 1.00000000e+00 8.200e+01 122a -7.23118004e+02 4.11079582e+01 LLF1 1.57932005e+00 9.000e+01 122b -1.15979087e+02 1.00000000e+00 AIR 1.00000000e+00 9.500e+01 124a 4.21912949e+02 AS 4.73423762e+01 LLF1 1.57932005e+00 1.100e+02 124b -1.86155801e+02 1.00000000e+00 AIR 1.00000000e+00 1.100e+02 126a -5.18615573e+02 AS 1.00000000e+01 SILUV 1.47455005e+00 1.070e+02 126b 4.69166378e+02 1.00000000e+00 AIR 1. 00000000e+00 1.070e+02 128a 1.28407790e+02 4.51525616e+01 LLF1 1. 57932005e+00 1.020e+02 128b 7.86664518e+02 AS 1.71244007e+02 AIR 1.00000000e+00 9.600e+01 130a -1.36979166e+02 AS 1.00000000e+01 LLFl 1.57932005e+00 4.500e+01 130b 1.54365594e+02 1.00000000e+00 AIR 1.00000000e+00 4. 500e+01 132a 1.00838829e+02 3.30000000e+01 SILUV 1.47455005e+00 4,500e+01 132b -6.83500721e+01 0.00000000e+01 AIR 1.00000000e+00 4.500e+01 134a -6. 83500721e+01 l.OOOOOOOOe+Ol LLFl 1.57932005e+00 4.500e+01 134b 1.54346348e+02 1.00000000e+00 AIR 1.00000000e+00 4.500e+01 136a 1.15721725e+02 2.00000000e+01 SILUV 1.47455005e+00 4.500e+01 136b -1.43444316e+02 AS 1.16200856e+01 AIR 1.00000000e+00 4.500e+01 138a 1.43444316e+02 AS 2.00000000e+01 SILUV 1.47455005e+00 4.500e+01 138b -1.15721725e+02 1.00000000e+00 AIR 1.00000000e+00 4.500e+01 140a -1. 54346348e+02 1.00000000e+01 LLFl 1. 57932005e+00 4. 500e+01 140b 6.83500721e+01 0.OOOOOOOOe+OO AIR 1.00000000e+00 4.500e+01 142a 6.83500721e+01 3.30000000e+01 SILUV 1.47455005e+00 4.500e+01 142b -1.00838829e+02 1.00000000e+00 AIR 1.00000000e+00 4.500e+01 144a -1.54346348e+02 1.00000000e+01 LLFl 1. 57932005e+00 4.500e+01 144b 1.36979166e+02 AS 1.71244007e+02 AIR 1.00000000e+00 4.500e+01 146a -7.86664518e+02 AS 4.51525616e+01 LLFl 1.57932005e+00 9.600e+01 146b -1. 28407790e+02 1.00000000e+00 AIR 1.00000000e+00 1.020e+02 148a -4. 69166378e+02 1.00000000e+01 SILUV 1.47455005e+00 1.070e+02 148b 5.18615573e+02 AS 1.00000000e+00 AIR 1.00000000e+00 1.070e+02 150a 1.86155801e+02 4. 73423762e+01 LLFl 1.57932005e+00 1.100e+02 150b -4.21912949e+02 AS 1.00000000e+00 AIR 1.00000000e+00 1.100e+02 152a 1.15979087e+02 4.11079582e+01 LLFl 1.57932005e+00 9.500e+01 152b 7.23118004e+02 3.58048026e+00 AIR 1.00000000e+00 9.000e+01 154a 1.05369956e+03 9.99991191e+00 SILUV 1.47455005e+00 8.200e+01 154b 7.04402373e+01 2.96404134e+01 AIR 1.00000000e+00 5.600e+01 156a -2.68046442e+03 AS 1.00000000e+01 SILUV 1.47455005e+00 5. 800e+01 156b 1.37163991e+02 4.81224477e+01 AIR 1.00000000e+00 5.000e+01

表2A

1057-8840-PF 70 1330719 * %

表面 118b 124a 126a 128b 130a cc 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 Cl -2.70066387e-07 -6.84722869e-08 4.63743763e-08 8.03142288e-08 -1. 37530444e-07 C2 3.78396235e-ll -4.25228527e-13 3.17941021e_12 1.24159547e-12 1.83982401e-12 C3 2.48445426e-16 1.52283147e-16 -5.11975502e-17 -3.59789562e-17 1.37522279e-15 C4 4.23149777e-19 -4. 67204568e-21 7.60852057e-22 2.49994642e-21 1.02582272e-18 C5 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇0e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 C6 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 0.00000000e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 C7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 C8 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 0. 00000000e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 C9 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 0.00000000e+00 0.OOOOOOOOe+OO 表面 136b 138a 144b 146a 148b cc 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 Cl 1.38417562e-07 -1.38417562e-07 1.37530444e-〇7 -8.03142288e-08 -4.63743763e-08 C2 2.71948361e-ll -2. 71948361e-ll -1.83982401e-12 -1.24159547e-12 -3.17941021e-12 C3 4.53134967e-15 -4. 53134967e-15 -1.37522279e-15 3.59789562e-17 5.11975502e-17 C4 -5.47235420e-19 5.47235420e-19 -1.02582272e-18 -2.49994642e-21 -7.60852057e-22 C5 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 C6 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 C7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 0.OOOOOOOOe+OO C8 0.00000000e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 0.00000000e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 C9 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 0.00000000e+00 0.00000000e+00 表面 150b 156a CC 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 Cl 6.84722869e-08 2.70066387e-07 C2 4.25228527e-13 -3.78396235e-ll C3 -1.52283147e-16 -2.48445426e-16 C4 4.67204568e-21 -4.23149777e-19 C5 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 C6 0.00000000e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 C7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 C8 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 C9 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00

表2B

1057-8840-PF 71 1330719 • \

表面曲率半徑(mm) 形狀厚度（圓）材料折射率半口徑(mm) 202 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 5.48734864e+01 AIR 1.00000000e+00 4.200e+01 218a -1.32698774e+02 1.00000000e+01 SILUV 1.47455005e+00 5.000e+01 218b 3.77198602e+03 AS 2. 70834077e+01 AIR 1.00000000e+00 5.800e+01 220a -7.21732606e+01 9.99996966e+00 SILUV 1.47455005e+00 5.600e+01 220b -2. 89920496e+04 3. 98757605e+00 AIR 1.00000000e+00 8.200e+01 222a -1.46846778e+03 3.84242606e+01 LLF1 1.57932005e+00 9.OOOe+Ol 222b -1.19832810e+02 1.00000000e+00 AIR 1.00000000e+00 9.500e+01 224a 4.19926570e+02 AS 4.31299293e+01 LLF1 1.57932005e+00 1.100e+02 224b -1.82888071e+02 l.OOOOOOOOe+OO AIR 1.00000000e+00 1.100e+02 226a -5. 96372972e+02 AS 1.00000000e+01 SILUV 1.47455005e+00 1.070e+02 226b 4.78340357e+02 1.00000000e+00 AIR 1.00000000e+00 1.070e+02 228a 1.29506584e+02 4.02559245e+01 LLF1 1.57932005e+00 1.020e+02 228b 7.72708728e+02 AS 1.78237690e+02 AIR 1.00000000e+00 9.600e+01 230a -1.30731779e+02 AS 1. 00000000e+01 LLF1 1.57932005e+00 4.500e+01 230b 1.56194513e+02 1.00000000e+00 AIR 1.00000000e+00 4.500e+01 232a 1.01942142e+02 3. 30000000e+01 SILUV 1.47455005e+00 4.500e+01 232b -7.03869787e+01 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 AIR 1.00000000e+00 4.500e+01 234a -7.03869787e+01 1.00000000e+01 LLF1 1.57932005e+00 4.500e+01 234b 1.56194244e+02 1.00000000e+00 AIR 1.00000000e+00 4.500e+01 236a 1.15464365e+02 2. 00000000e+01 SILUV 1.47455005e+00 4.500e+01 236b -1.39754365e+02 AS 1.20152969e+01 AIR 1.00000000e+00 4.500e+01 238a 1.39754365e+02 AS 2. 00000000e+01 SILUV 1.47455005e+00 4.500e+01 238b -1.15464365e+02 1.00000000e+00 AIR 1.00000000e+00 4.500e+01 240a -1.56194244e+02 l.OOOOOOOOe+Ol LLF1 1.57932005e+00 4.500e+01 240b 7.03869787e+01 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 AIR 1.00000000e+00 4.500e+01 242a 7.03869787e+01 3. 30000000e+01 SILUV 1.47455005e+00 4.500e+01 242b -1.01942142e+02 1.00000000e+00 AIR 1.00000000e+00 4.500e+01 244a -1.56194244e+02 1.00000000e+01 LLF1 1.57932005e+00 4.500e+01 244b 1.30731779e+02 AS 1.78237690e+02 AIR 1.00000000e+00 4.500e+01 246a -7.72708728e+02 AS 4. 02559245e+01 LLF1 1.57932005e+00 9.600e+01 246b -1.29506584e+02 1.00000000e+00 AIR 1.00000000e+00 1.020e+02 248a -4. 78340357e+02 1.00000000e+01 SILUV 1.47455005e+00 1.070e+02 248b 5.96372972e+02 AS 1.00000000e+00 AIR 1.00000000e+00 1.070e+02 250a 1.82888071e+02 4.31299293e+01 LLF1 1.57932005e+00 1.100e+02 250b -4.19926570e+02 AS 1. 00000000e+00 AIR 1.00000000e+00 1.100e+02 252a 1.19832810e+02 3. 84242606e+01 LLF1 1.57932005e+00 9. 500e+01 252b 1.46846778e+03 3. 98757605e+00 AIR 1.00000Q00e+00 9.OOOe+Ol 254a 2.89920496e+04 9. 99996966e+00 SILUV 1.47455005e+00 8.200e+01 254b 7.21732606e+01 2. 70834077e+01 AIR 1.00000000e+00 5.600e+01 256a -3. 77198602e+03 AS 1. 00000000e+01 SILUV 1.47455005e+00 5.800e+01 256b 1. 32698774e+02 5.48737146e+01 AIR 1.00000000e+00 5.OOOe+Ol 表3a

1057-8840-PF 72 1330719 • »

表面 218b 224a 226a 228b 230a cc 0.00000000e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 Cl -2.59722980e-07 -6.91914714e-08 5.14143149e-08 8.41397300e-08 -1.35581207e-07 C2 3.38879598e-ll -5.90320344e-13 3.67036624e-12 9.10627316e-13 1.21285787e-13 C3 6.85692115e-16 1.54142948e-16 -4.07951568e-17 -4.00030551e-17 1.47150542e-15 C4 2.33900113e-19 -4.59059241e-21 2.26633961e-22 3.79483434e-21 1.09033148e-18 C5 0.00000000e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 C6 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 C7 0.00000000e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 C8 0.00000000e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 C9 0.00000000e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 表面 236b 238a 244b 246a 248b CC 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 Cl 1.46017945e-07 -1.46017945e-07 1.35581207e-07 -8.41397300e-08 -5.14143149e-08 C2 2.90569192e-ll -2.90569192e-ll -1.21285787e-13 -9.10627316e-13 -3. 67036624e-13 C3 3. 60737279e-15 -3.60737279e-15 -1.47150542e-15 4.00030551e-17 4.07951568e-17 C4 -1.79224288e-19 1.79224288e-19 -1.09033148e-18 -3.79483434e-21 -2.26633961e-22 C5 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 C6 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 C7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 C8 0.00000000e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 C9 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 0.00000000e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 表面 250b 256a CC 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 Cl 6.91914714e-08 2.59722980e-07 C2 5.90320344e-13 -3.38879598e-ll C3 -1.54142948e-16 -6.85692115e-16 C4 4.59059241e-21 -2.33900113e-19 C5 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 C6 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 C7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 C8 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 C9 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00

表3B

1057-8840-PF 73 表面曲率半徑(刪）形狀厚度（mm) 材料折射率半口徑(mm) 302 0.00000000e+00 4.49992248e+01 AIR 1.00000000e+00 42.0 318a -9.83948989e+01 AS 1.00000000e+01 SILUV 1.47455005e+00 48.8 318b -7.91219829e+02 2.56155587e+01 AIR 1.00000000e+00 54.9 320a -8.19665406e+01 1.63923290e+01 SILUV 1.47455005e+00 56.9 320b -1.38852318e+02 9.99737823e-01 AIR 1.00000000e+00 69.1 322a 1.73825469e+04 4.19957437e+01 SILUV 1.47455005e+00 80.5 322b -1.21336650e+02 1.00000000e+00 AIR 1.00000000e+00 83.6 324a 2. 06680985e+02 AS 3.58975943e+01 SILUV 1.47455005e+00 90.4 324b -4.90301169e+02 1.00000000e+00 AIR 1.00000000e+00 90.1 326a 1.25668844e+02 3.25531005e+01 SILUV 1.47455005e+00 83.7 326b 4. 21023390e+02 5.44862022e+01 AIR 1.00000000e+00 80.6 328a -2.43990350e+02 AS 9.99994016e+00 SILUV 1.47455005e+00 63.5 328b 1.25682286e+02 1.27344813e+02 AIR 1.00000000e+00 57.5 330a -1.67071132e+02 AS 7.00000000e+00 SILUV 1.47455005e+00 54.1 330b 2. 38307401e+02 9.99336534e-01 AIR 1.00000000e+00 56.2 332a 1.16024868e+02 4.43493562e+01 CAFUV 1.44491323e+00 59.1 332b -9.98311300e+01 1.32955642e+00 AIR 1.00000000e+00 58.9 334a -9.75816342e+01 7.00000000e+00 SILUV 1.47455005e+00 58.4 334b 1. 71980397e+02 AS 9.92401525e-02 AIR 1.00000000e+00 58.6 336a 1.41179057e+02 3.19385563e+01 CAFUV 1.44491323e+00 59.3 336b -1.83456627e+02 9.99949351e+00 AIR 1.00000000e+00 59.5 338a 1.83456627e+02 3.19385563e+01 CAFUV 1.44491323e+00 59.5 338b -1.41179057e+02 9. 92401525e-02 AIR 1.00000000e+00 59.3 340a -2.38537153e+02 AS 7. 00000000e+00 SILUV 1.47455005e+00 58.6 340b 9. 75816342e+01 1.32955642e+00 AIR 1.00000000e+00 58.4 342a 9. 98311300e+01 4.43493562e+01 CAFUV 1.44491323e+00 58.9 342b -1.16024868e+02 9. 99336534e-01 AIR 1.00000000e+00 59.1 344a -2.38307401e+02 7.00000000e+00 SILUV 1.47455005e+00 56.2 344b 1.67071132e+02 AS 1. 27344813e+02 AIR 1.00000000e+00 54.1 346a -1.25682286e+02 9.99994016e+00 SILUV 1.47455005e+00 57.5 346b 2. 43990350e+02 AS 5. 44862022e+01 AIR 1.00000000e+00 63.4 348a -4.21023390e+02 3.25531005e+01 SILUV 1.47455005e+00 80.6 348b -1.25668844e+02 l.OOOOOOOOe+OO AIR 1.00000000e+00 83.7 350a 4.90301169e+02 3. 58975943e+01 SILUV 1.47455005e+00 90.0 350b -2. 06680985e+02 AS 1.00000000e+00 AIR 1.00000000e+00 90.4 352a 1. 21336650e+02 4.19957437e+01 SILUV 1.47455005e+00 83.6 352b -1.73825469e+04 9. 99737823e-01 AIR 1.00000000e+00 80.5 354a 1.38852318e+02 1.63923290e+01 SILUV 1.47455005e+00 69.1 354b 8.19665406e+01 2.56155587e+01 AIR 1.00000000e+00 56.9 356a 7. 91219829e+02 1.00000000e+01 SILUV 1.47455005e+00 54.9 356b 9. 83948989e+01 AS 4. 49992248e+01 AIR 1.00000000e+00 48.7

表4A

1057-8840-PF 74 表面 318a 324a 328a 330a 334b cc 0 0 0 0 0 Cl 0 0 0 0 0 C2 2.258341e-07 -4.343082e-08 -1.081026e-07 7.094568e-08 2.595889e-07 C3 -1.906710e-ll 2.018085e-12 1.989980e-ll -2.286484e-ll -5.680232e-12 C4 -1.035766e-14 -1.405321e-16 2.177477e-16 -1.299277e-15 2.061329e-15 C5 1.016534e-17 9.500322e-21 -4.577578e-19 1.212881e-18 -1.011288e-18 C6 -8.969855e-21 -8.651639e-25 1.639235e-22 -6.679002e-22 5.301579e-22 C7 4.078566e-24 6.341420e-29 -4.432664e-26 1.663016e-25 -1.619427e-25 C8 -1.018593e-27 -2.8475226-33 6.815710e-30 -1.330706e-29 2.641944e-29 C9 1.015099e-31 2.625852e-38 -4. 293616e-34 -1.189795e-33 -1.801675e-33 表面 340a 344b 346b 350b 356b CC 0 0 0 0 0 Cl 0 0 0 0 0 C2 -2.595889e-07 -7.094568e-08 1.081026e-07 4.343082e-08 -2.258341e-07 C3 5.680232e-12 2.286484e-ll -1.989980e-ll -2.018085e-12 1.906710e-ll C4 -2.061329e-15 1.299277e-15 -2.177477e-16 1.405321e-16 1.035766e-14 C5 1.011288e-18 -1.212881e-18 4.577578e-19 -9.500322e-21 -1.016534e-17 C6 -5.301579e-22 6.679002e-22 -1.639235e-22 8.651639e-25 8. 969855e-21 C7 1.619427e-25 -1. 663016e-25 4.432664e-26 -6.341420e-29 -4.078566e-24 C8 -2.641944e-29 1.330706e-29 -6.815710e-30 2.847522e-33 1.018593e-27 C9 1.801675e-33 1.189795e-33 4.293616e-34 -2.625852e-38 -1.015099e-31

表4B

1057-8840-PF 75 表面曲率半徑(ram) 形狀厚度（mm) 材料折射率半口徑(mm) 402 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+00 4.00000000e+01 AIR 1.00000000e+00 42.0 418a -9.99525336e+01 1.30292896e+01 LLF1 1.57932005e+00 47.7 418b -6. 99294764e+01 5.11329958e+00 AIR 1.00000000e+00 49.3 420a -8.02102778e+01 9.95050863e+00 SILUV 1.47455005e+00 49.2 420b -6.40160814e+02 AS 1.65290658e+01 AIR 1.00000000e+00 54.6 422a -8. 86316450e+01 4.73916027e+01 SILUV 1.47455005e+00 54.7 422b -1.46202017e+02 AS 1.00000000e+00 AIR 1.00000000e+00 74.0 424a 2.56009461e+02 3. 29982438e+01 SILUV 1.47455005e+00 85.5 424b -2.88346747e+02 1.00000000e+00 AIR 1.00000000e+00 85.9 426a 1.59513715e+02 3. 28094100e+01 SILUV 1.47455005e+00 84.6 426b -4.85046273e+02 AS 9.17604655e+01 AIR 1.00000000e+00 83.1 428a -4.04768357e+02 AS 9.99454097e+00 SILUV 1.47455005e+00 57.6 428b 1.13338203e+02 9.79115943e+01 AIR l.OOOOOOOOe+OO 53.8 430a -2.21127325e+02 7.00000000e+00 SILUV 1.47455005e+00 57.0 430b 2.55071101e+02 9.80230573e-01 AIR 1.00000000e+00 59.4 432a 1.26103272e+02 5. 00977095e+01 CAFUV 1.44491323e+00 62.5 432b -1.11045143e+02 1.04715898e+00 AIR 1.OOOOOOOOe+OO 62.6 434a -1.08188037e+02 7.00000000e+00 SILUV 1.47455005e+00 62.4 434b 2.30990432e+02 AS 1.46516574e+00 AIR 1.OOOOOOOOe+OO 63.5 436a 1.58316130e+02 3.19746840e+01 CAFUV 1.44491323e+00 64.5 436b -1.63517428e+02 1.99718204e+00 AIR 1.OOOOOOOOe+OO 64.8 438a 1. 63517428e+02 3.19746840e+01 CAFUV 1.44491323e+00 64.7 438b -1.58316130e+02 1.46516574e+00 AIR 1.OOOOOOOOe+OO 64.5 440a -2.30990432e+02 AS 7.00000000e+00 SILUV 1.47455005e+00 63.5 440b 1.08188037e+02 1.04715898e+00 AIR 1.OOOOOOOOe+OO 62.4 442a 1.11045143e+02 5. 00977095e+01 CAFUV 1.44491323e+00 62.6 442b -1.26103272e+02 9.80230573e-01 AIR 1.OOOOOOOOe+OO 62.5 444a -2.55071101e+02 7.00000000e+00 SILUV 1.47455005e+00 59.4 444b 2.21127325e+02 9. 79115943e+01 AIR 1.OOOOOOOOe+OO 56.9 446a -1.13338203e+02 9.99454097e+00 SILUV 1.47455005e+00 53.8 446b 4. 04768357e+02 AS 9.17604655e+01 AIR 1.OOOOOOOOe+OO 57.6 448a 4. 85046273e+02 AS 3, 28094100e+01 SILUV 1.47455005e+00 83.1 448b -1.59513715e+02 1.00000000e+00 AIR 1.OOOOOOOOe+OO 84.6 450a 2.88346747e+02 3.29982438e+01 SILUV 1.47455005e+00 85.9 450b -2.56009461e+02 1.00000000e+00 AIR 1.OOOOOOOOe+OO 85.5 452a 1.46202017e+02 AS 4.73916027e+01 SILUV 1.47455005e+00 74.0 452b 8.86316450e+01 1.65290658e+01 AIR 1.OOOOOOOOe+OO 54.7 454a 6.40160814e+02 AS 9.95050863e+00 SILUV 1.47455005e+00 54.6 454b 8.02102778e+01 5.11329958e+00 AIR 1.OOOOOOOOe+OO 49.2 456a 6. 99294764e+01 1.30292896e+01 LLF1 1.57932005e+00 49.3 456b 9.99525336e+01 4.00000000e+01 AIR 1.OOOOOOOOe+OO 47.7

表5A

1057-8840-PF 76 表面 420b 422b 426b 428a 434b cc 0 0 0 0 0 Cl 0 0 0 0 0 C2 -1.471278e-07 1.384667e-08 1.140753e-07 3.904134e-08 1.621903e-07 C3 3.821584e-ll -1.188191e-ll 5.572952e-12 -4.020572e-12 3.015132e-12 C4 -1.751915e-15 -3.194922e-16 -1.323554e-15 -1.378776e-15 2.608037e-16 C5 4.078997e-19 6.538807e-20 1.078720e-19 4.212583e-19 -1.233553e-19 C6 -2.208901e-22 -2.254772e-24 -4.485745e-24 -6.438074e-23 2.455384e-23 C7 1.730620e-26 -3.678634e-28 9.755013e-29 5.710778e-27 -2.090486e-27 C8 0 0 0 0 0 C9 0 0 0 0 0 表面 440a 446b 448a 452a 454a CC 0 0 0 0 0 Cl 0 0 0 0 0 C2 -1.621903e-07 -3. 904134e-08 -1.140753e-07 -1.384667e-08 1.471278e-07 C3 -3.015132e-12 4.020572e-12 -5.572952e-12 1.188191e-ll -3.821584e-ll C4 -2.608037e-16 1.378776e-15 1.323554e-15 3.194922e-16 1.751915e-15 C5 1.233553e-19 -4.212583e-19 -1.078720e-19 -6.538807e-20 -4.078997e-19 C6 -2.455384e-23 6.438074e-23 4.485745e-24 2.254772e-24 2.208901e-22 C7 2.090486e-27 -5.710778e-27 -9.755013e-29 3.678634e-28 -1.730620e-26 C8 0 0 0 0 0 C9 0 0 0 0 0

表5B

1057-8840-PF 77 1330719 * t 表面 ISA/CAI’ 表面 ISA/CAI’ 418a 0.17 438a 1.00 418b 0.19 438b 0. 95 420a 0.21 440a 0. 95 420b 0.23 440b 0.94 422a 0.27 442a 0.93 422b 0.33 442b 0. 86 424a 0. 35 444a 0.85 424b 0. 36 444b 0.84 426a 0. 37 446a 0.58 426b 0. 39 446b 0. 56 428a 0.56 448a 0. 39 428b 0.58 448b 0.37 430a 0. 84 450a 0.36 430b 0.85 450b 0. 33 432a 0.86 452a 0. 33 432b 0. 93 452b 0.27 434a 0. 94 454a 0.23 434b 0.95 454b 0.21 436a 0.95 456a 0.19 436b 1.00 456b 0.17

表5C

78

1057-8840-PF 表面曲率半徑(ram) 厚度（圓）材料折射率半口徑（圓） 802 0.000000 31.000000 AIR 1.00000000 42.000 DS 0.000000 0.738915 AIR 1.00000000 47.104 818a -1386.716234 19.227955 LLF1 1.57931548 47.094 818b -121.305114 1.699229 AIR 1.00000000 48.257 820a -130.174964 6.998303 SI02 1.47458786 48. 093 820b 272.791152 28.886226 AIR 1.00000000 49. 823 822a -90. 045309 28.917045 SI02 1.47458786 51.585 822b -135. 363404 1.360964 AIR 1.00000000 62.382 824a -135.363404 1.360964 SI02 1.47458786 67. 306 824b -139.550094 0.899164 AIR 1.00000000 69.286 826a 401.571842 21.383701 SI02 1.47458786 69.707 826b -460.590884 167.119731 AIR 1.00000000 69. 251 828a -222.584826 11.633677 SI02 1.47458786 45. 497 828b 178.118622 32.259267 AIR 1.00000000 44. 909 830a -73.302848 11.982081 SI02 1.47458786 45. 802 830b -1891.079945 0.933695 AIR 1.00000000 53.893 832a 934.771604 35.031495 CAF2 1.44491236 55.374 832b -93. 530438 0.899071 AIR 1.00000000 58.778 834a 2332.011485 30.112767 CAF2 1.44491236 60. 039 834b -148.096624 7.469957 AIR 1.00000000 60. 545 836a -110.309788 6.997917 SI02 1.47458786 60.126 836b -232.642067 0.898370 AIR 1.00000000 61.828 838a 277.876744 29.983730 CAF2 1.44491236 62.202 838b -152.278510 2.307181 AIR 1.00000000 61.662 840a -150.671145 6.996035 SI02 1.47458786 60.892 840b -745. 217397 0.488251 AIR 1.00000000 60.113 DS 〇.〇〇〇〇〇〇 0.000000 AIR 1.00000000 59. 939 DS 〇.〇〇〇〇〇〇 0.488251 AIR 1.00000000 59. 939 842a 745.217397 6.996035 SI02 1.47458786 60. 237 842b 150.671145 2.307181 AIR 1.00000000 61.017 844a 152. 278510 29.983730 CAF2 1.44491236 61.789 844b -277.876744 0.898370 AIR 1.00000000 62.324 846a 232.642067 6.997917 SI02 1.47458786 61.943 846b 110.309788 7.469957 AIR 1.00000000 60.231 848a 148.096624 30.112767 CAF2 1.44491236 60. 647 848b -2332.011485 0.899071 AIR 1.00000000 60.140 850a 93.530438 35.031495 CAF2 1.44491236 58.869 850b -934. 771604 0.933695 AIR 1.00000000 55.478 852a 1891.079945 11.982081 SI02 1.47458786 53.989 852b 73.302848 32.259267 AIR 1.00000000 45. 863 854a -178.118622 11.633677 SI02 1.47458786 44.972 854b 222.584826 167.119731 AIR 1.00000000 45.556 856a 460.590884 21.383701 SI02 1.47458786 69.292 856b -401.571842 0.899164 AIR 1.00000000 69.746 858a 139.550094 29.275288 SI02 1.47458786 69.320 858b -6155. 057669 1.360964 AIR 1.00000000 67.341 860a 135.363404 28.917045 SI02 1.47458786 62. 406 860b 90.045309 28.886226 AIR 1.00000000 51.600 862a -272. 791152 6.998303 SI02 1.47458786 49.838 862b 130.174964 1.699229 AIR 1.00000000 48.104 864a 121.305114 19.227955 LLF1 1.57931548 48.267 864b 1386.716234 0.738915 AIR 1.00000000 47.102 DS 0.000000 0.000000 AIR 1.00000000 47.112 804 0.000000 0.000000 AIR 1.00000000 42.002

表6A

1057-8840-PF 79 1330719 * 摯表面 ISA/CAI，表面 ISA/CAI， 818a 0.11 842a 0. 99 818b 0.11 842b 0.99 820a 0.15 844a 0. 95 820b 0.15 844b 0. 95 822a 0.17 846a 0.94 822b 0. 24 846b 0. 92 824a 0.28 848a 0.89 824b 0. 28 848b 0.89 826a 0.31 850a 0.83 826b 0.31 850b 0.83 828a 0.33 852a 0.81 828b 0.69 852b 0.71 830a 0.71 854a 0.69 830b 0.81 854b 0.33 832a 0.83 856a 0.31 832b 0.83 856b 0.31 834a 0.89 858a 0.28 834b 0.89 858b 0.28 836a 0.92 860a 0.24 836b 0. 94 860b 0.17 838a 0.95 862a 0.15 838b 0.95 862b 0.15 840a 0. 99 864a 0.11 840b 0. 99 864b 0.11

表6B 80

1057-8840-PF 表面曲率半徑(mm) 厚度（mm) 材料折射率半口徑（圃） 902 0.000000 31.000000 AIR 1.00000000 42.000 DS 0.000000 -0.052414 AIR 1.00000000 47.184 918a 5049.159359 19.405392 LLF1 1.57923042 47.212 918b -135.041281 0.899619 AIR 1.00000000 48.254 920a -166. 620099 6.999679 SI02 1.47458786 48.091 920b 240.984838 28.710190 AIR 1.00000000 49.173 922a -89.999203 29.913324 SI02 1.47458786 50. 683 922b -151.740549 0.899136 AIR 1.00000000 61.567 924a -3003. 828750 27.312859 SI02 1.47458786 65. 347 924b -139.016314 2.212690 AIR 1.00000000 67. 431 926a 456.789285 26.478155 SI02 1.47458786 68.347 926b -287.360963 145. 855106 AIR 1.00000000 68.034 928a -169.244521 7.191640 SI02 1.47458786 45.075 928b 182.330024 30.672386 AIR 1.00000000 44.831 930a -79.043244 10.296350 SI02 1.47458786 45. 903 930b 758.586589 1.864795 AIR 1.00000000 53. 575 932a 602.238753 33.160633 CAF2 1.44491236 54. 789 932b -104.420400 1.256671 AIR 1.00000000 58.436 934a 15343. 026605 29.509667 CAF2 1.44491236 60.922 934b -119.107703 9.505350 AIR 1.00000000 61.974 936a -110.634076 14.322295 SI02 1.47458786 60.657 936b -254.500321 7.729440 AIR 1.00000000 63. 391 938a 301.147710 34.000543 CAF2 1.44491236 64.396 938b -153.984686 2.482179 AIR 1.00000000 63.912 940a -150.762017 7.023992 BK7 1.53626700 63.207 940b -367.549175 6.850325 AIR 1.00000000 63.128 DS 0.000000 0.000000 AIR 1.00000000 61.862 DS 0.000000 6.850325 AIR 1.00000000 61.862 942a 367.549175 7.023992 BK7 1.53626700 63.128 942b 150.762017 2.482179 AIR 1.00000000 63.207 944a 153.984686 34.000543 CAF2 1.44491236 63.911 944b -301.147710 7.729440 AIR 1.00000000 64.395 946a 254.500321 14.322295 SI02 1.47458786 63.391 946b 110. 634076 9.505350 AIR 1.00000000 60.656 948a 119.107703 29.509667 CAF2 1.44491236 61.973 948b -15343.026605 1.256671 AIR 1.00000000 60.921 950a 104.420400 33.160633 CAF2 1.44491236 58. 435 950b -602.238753 1.864795 AIR 1.00000000 54.788 952a -758.586589 10.296350 SI02 1.47458786 53.573 952b 79.043244 30.672386 AIR 1.00000000 45.902 954a -182.330024 7.191640 SI02 1.47458786 44. 830 954b 169.244521 145.855106 AIR 1.00000000 45.074 956a 287.360963 26.478155 SI02 1.47458786 68.029 956b -456.789285 2.212690 AIR 1.00000000 68.341 958a 139.016314 27.312859 SI02 1.47458786 67.425 958b 3003.828750 0.899136 AIR 1.00000000 65.341 960a 151.740549 29.913324 SI02 1.47458786 61.562 960b 89.999203 28.710190 AIR 1.00000000 50.679 962a -240.984838 6.999679 SI02 1.47458786 49.169 962b 166.620099 0.899619 AIR 1.00000000 48.087 964a 135.041281 19.405392 LLF1 1.57923042 48.250 964b -5049.159359 -0.052414 AIR 1.00000000 47.207 DS 0.000000 31.000000 AIR 1.00000000 47.179 904 0.000000 0.000000 AIR 1.00000000 42.004 表7

1057-8840-PF 81 表面曲率半徑（酬）厚度（mm) 材料折射率半口徑(_) 1002 〇.〇〇〇〇〇〇 31.000000 AIR 1.00000000 42.000 DS 0.000000 2.064129 AIR 1.00000000 48. 692 1018a -714.483756 32.318968 LLF1 1.57923042 48.778 1018b -102.459806 8.526314 AIR 1.00000000 51.968 1020a -105.305325 7.021587 SI02 1.47458786 51.212 1020b 336.481472 28.089807 AIR 1.00000000 54. 246 1022a -109.269539 29.828747 SI02 1.47458786 56.410 1022b -180.351479 0.898273 AIR 1.00000000 68.304 1024a -1965.401386 32.962557 SI02 1.47458786 72. 884 1024b -128.914358 0.898605 AIR 1.00000000 75.336 1026a 175.630563 29.241898 SI02 1.47458786 77.015 1026b -1970. 532738 122.727577 AIR 1.00000000 75. 736 1028a -127.514984 6.998827 SI02 1.47458786 51.960 1028b 142.262522 27.886577 AIR 1.00000000 52.268 1030a -128.294477 6.985983 SI02 1.47458786 53.639 1030b -8693. 312028 2.583224 AIR 1.00000000 59. 776 1032a 370.184114 35.353675 CAF2 1.44491236 64.121 1032b -122.567730 0.896552 AIR 1.00000000 66. 768 1034a -1865.188090 32.094770 CAF2 1.44491236 68. 898 1034b -115.779082 8.691016 AIR 1.00000000 69.769 1036a -101.998197 6.997042 SI02 1.47458786 68.450 1036b 315.525402 3.235522 AIR 1.00000000 74. 753 1038a 314.026847 48.494379 CAF2 1.44491236 75. 821 1038b -117.310257 0.891835 AIR 1.00000000 77.488 1040a -214.048188 8.330389 LLF1 1.57923042 75.068 1040b -245.512561 0.481755 AIR 1.00000000 75. 546 DS 0.000000 〇.〇〇〇〇〇〇 AIR 1.00000000 74.130 DS 0.000000 0.481755 AIR 1.00000000 74.130 1042a 245.512561 8.330389 LLF1 1.57923042 75.546 1042b 214.048188 0.891835 AIR 1.00000000 75.068 1044a 117.310257 48.494379 CAF2 1.44491236 77.489 1044b -314.026847 3.235522 AIR 1.00000000 75.821 1046a -315.525402 6.997042 SI02 1.47458786 74. 754 1046b 101.998197 8.691016 AIR 1.00000000 68.450 1048a 115.779082 32.094770 CAF2 1.44491236 69. 770 1048b 1865.188090 0.896552 AIR 1.00000000 68.899 1050a 122.567730 35.353675 CAF2 1.44491236 66.769 1050b -370.184114 2.583224 AIR 1.00000000 64.121 1052a 8693.312028 6.985983 SI02 1.47458786 59. 777 1052b 128.294477 27.886577 AIR 1.00000000 53. 640 1054a -142. 262522 6.998827 SI02 1.47458786 52.269 1054b 127.514984 122.727577 AIR 1.00000000 51.961 1056a 1970.532738 29.241898 SI02 1.47458786 75.740 1056b -175.630563 0.898605 AIR 1.00000000 77.019 1058a 128.914358 32.962557 SI02 1.47458786 75.339 1058b 1965.401386 0.898273 AIR 1.00000000 72.887 1060a 180.351479 29.828747 SI02 1.47458786 68.307 1060b 109.269539 28.089807 AIR 1.00000000 56.413 1062a -336.481472 7.021587 SI02 1.47458786 54.249 1062b 105.305325 8.526314 AIR 1.00000000 51.215 1064a 102.459806 32.318968 LLF1 1.57931548 51.971 1064b 714.483756 2.064129 AIR 1.00000000 48.781 DS 0.000000 31.000000 AIR 1.00000000 48.695 1004 0.000000 0.000000 AIR 1.00000000 42.003

表8A

1057-8840-PF 82 1330719 • * 常數/表面 1028b 1036b 1046a 1054a CC 0 0 0 0 Cl 1.385482e-07 3.132832e-08 -3.132832e-08 -1.385482e-07 C2 8.632193e-12 -1.100556e-12 1.100556e-12 -8.632193e-12 C3 -3. 842467e-16 1.921077e-17 -1. 921077e-17 3.842467e-16 C4 -1.972976e-19 -8.639391e-21 8. 639391e-21 1.972976e-19 C5 2.360589e-23 1.290805e-24 -1.290805e-24 -2.360589e-23 C6 -5. 264560e-27 -6.807570e-29 6.807570e-29 5.264560e-27 C7 0.000000e+00 0.000000e+00 0.000000e+00 0.000000e+00 C8 0.000000e+00 0.000000e+00 0.000000e+00 0.000000e+00 C9 0.000000e+00 0.000000e+00 0.000000e+00 0.000000e+00

表8B

83

1057-8840-PF 1330719 * ♦

表面曲率半徑(圓）厚度（nun) 材料折射率半口徑(mm) 1102 〇.〇〇〇〇〇〇 31.000000 AIR 1.00000000 42.000 DS 0.000000 1.085991 AIR 1.00000000 48. 670 1118a -1074.953079 20.088390 LLF1 1.57931548 48.666 1118b -118.099773 10.319949 AIR 1.00000000 50.183 1120a -127.174617 6.998791 SI02 1.47458786 49.878 1120b 264.036905 27.735334 AIR 1.00000000 52.505 1122a -111.004381 29.912785 SI02 1.47458786 54.779 1122b -209.615108 0.899258 AIR 1.00000000 67.124 1124a -2354.298761 33.297268 SI02 1.47458786 71.314 1124b -124.332341 0.899107 AIR 1.00000000 73. 944 1126a 229.098524 28.325494 SI02 1.47458786 76.189 1126b -541.124133 131.560464 AIR 1.00000000 75.455 1128a -155. 658339 6.998803 SI02 1.47458786 52.550 1128b 193.514951 31. 900420 AIR 1.00000000 52.538 1130a -82.534830 10. 807916 SI02 1.47458786 53. 238 1130b -1636.143905 2. 529714 AIR 1.00000000 63.231 1132a 934.469453 37. 477816 CAF2 1.44491236 66. 398 1132b -107.665507 0. 897636 AIR 1.00000000 69.402 1134a -601.835449 31.283513 CAF2 1.44491236 71.599 1134b -114.555018 5.922061 AIR 1.00000000 72.617 1136a -102.993837 6.998457 SI02 1.47458786 72.035 1136b -237.160165 0.899542 AIR 1.00000000 76.019 1138a 229.843953 44.798197 CAF2 1.44491236 78.312 1138b -152.565575 5.374336 AIR 1.00000000 77. 788 1140a -141.400299 6.996843 BK7 1.53626700 75.850 1140b -410. 001369 0.491920 AIR 1.00000000 75.907 DS 0.000000 〇.〇〇〇〇〇〇 AIR 1.00000000 75.161 DS 0.000000 0.491920 AIR 1.00000000 75.161 1142a 410.001369 6.996843 BK7 1.53626700 75.907 1142b 141.400299 5.374336 AIR 1.00000000 75.850 1144a 152.565575 44.798197 CAF2 1.44491236 77.789 1144b -229.843953 0.899542 AIR 1.00000000 78.313 1146a 237.160165 6.998457 SI02 1.47458786 76.019 1146b 102.993837 5.922061 AIR 1.00000000 72.035 1148a 114.555018 31.283513 CAF2 1.44491236 72.617 1148b 601.835449 0.897636 AIR 1.00000000 71.599 1150a 107.665507 37. 477816 CAF2 1.44491236 69. 403 1150b -934.469453 2.529714 AIR 1.00000000 66. 399 1152a 1636.143905 10.807916 SI02 1.47458786 63. 231 1152b 82.534830 31.900420 AIR 1.00000000 53.239 1154a -193.514951 6.998803 SI02 1.47458786 52.539 1154b 155.658339 131.560464 AIR 1.00000000 52.550 1156a 541.124133 28.325494 SI02 1.47458786 75. 457 1156b -229.098524 0.899107 AIR 1.00000000 76.192 1158a 124.332341 33.297268 SI02 1.47458786 73. 946 1158b 2354.298761 0.899258 AIR 1.00000000 71.317 1160a 209.615108 29.912785 SI02 1.47458786 67.127 1160b 111.004381 27.735334 AIR 1.00000000 54. 781 1162a -264.036905 6.998791 SI02 1.47458786 52.508 1162b 127.174617 10.319949 AIR 1.00000000 49. 880 118.099773 20.088390 LLF1 1.57931548 50.185 1164b 1074.953079 1.085991 AIR 1.00000000 48.669 DS 0.000000 31.000000 AIR 1.00000000 48. 672 1104 0.000000 0.000000 AIR 1.00000000 42.002

表9A

1057-8840-PF 84 1330719 • ♦

常數/表面 1028b 1036b 1046a 1054a CC 0 0 0 0 Cl 3.367069e-08 2.187427e-09 -2.187427e-09 -3.367069e-08 C2 -2.130639e-12 -1.705387e-13 1.705387e-13 2.130639e-12 C3 2.373851e-16 -4.255783e-17 4.265783e-17 -2.373851e-16 C4 -6.778203e-19 1.915530e-21 -1.915530e-21 6.778203e-19 C5 2.002439e-22 -1. 032764e-24 1.032764e-24 -2.002439e-22 C6 -3.257132e-26 -2. 394367e-29 2.394367e-29 3.257132e-26 C7 0.000000e+00 0. OOOOOOe+OO 0.OOOOOOe+OO 0. OOOOOOe+OO C8 0.000000e+00 0. 000000e+00 0.OOOOOOe+OO 0.OOOOOOe+OO C9 0. 000000e+00 0. OOOOOOe+OO 0.OOOOOOe+OO 0. OOOOOOe+OO

表9B 85

1057-8840-PF 1330719

表面曲率半徑（酬）厚度（mm) 材料折射率半口徑（圓） 1202 0.000000 34.000000 AIR 1.00000000 42.000 DS 0.000000 0.129009 AIR 1.00000000 47.717 1218a -2822. 625506 19.779989 LLF1 1.57931548 47. 671 1218b -111.432935 4.292833 AIR 1.00000000 48.678 1220a -112.313771 6.983415 SI02 1.47458786 48.197 1220b 263.662579 29.009885 AIR 1.00000000 50.079 1222a -91.049421 16.611623 SI02 1.47458786 51.862 1222b -155. 044025 0.876111 AIR 1.00000000 59.456 1224a -2105.236338 26.377392 SI02 1.47458786 63. 429 1224b -126.111515 0.886241 AIR 1.00000000 65.520 1226a 514.537706 22.633438 SI02 1.47458786 67.129 1226b -248.337642 163.426725 AIR 1.00000000 67.160 1228a -124.641106 6.987651 SI02 1.47458786 45.553 1228b 152.690677 31.238755 AIR 1.00000000 46.463 1230a -80. 796014 12.165293 LLF1 1.57931548 48.249 1230b -99.544326 17.929417 AIR 1.00000000 53.292 1232a -495.858897 21.966586 CAF2 1.44491236 61.406 1232b -128.239150 12.130589 AIR 1.00000000 63.448 1234a 3242. 978846 30.070885 CAF2 1.44491236 65. 975 1234b -118.360906 2.375005 AIR 1.00000000 66.449 1236a -116.506616 6.987333 SI02 1.47458786 65.842 1236b -994.982554 0.956154 AIR 1.00000000 67.523 1238a 222.776965 38.034869 CAF2 1.444912 68.456 1238b -148.207715 2.336758 AIR 1.00000000 67. 877 1240a -143.867700 6.951350 SI02 1.47458786 67. 098 1240b -882.424034 0.362841 AIR 1.00000000 66.310 DS 0 0 AIR 1.00000000 66.049 DS 0 0.362841 AIR 1.00000000 66.049 1242a 882.424034 6.951350 SI02 1.47458786 66.310 1242b 143.867700 2.336758 AIR 1.00000000 67. 098 1244a 148.207715 38.034869 CAF2 1.44491236 67. 876 1244b -222.776965 0.956154 AIR 1. 00000000 68.455 1246a 994. 982554 6.987333 SI02 1. 47458786 67.522 1246b 116.506616 2.375005 AIR 1.00000000 65.841 1248a 118.360906 30.070885 CAF2 1. 44491236 66. 448 1248b -3242. 978846 12.130589 AIR 1.00000000 65. 974 1250a 128.239150 21.966586 CAF2 1.44491236 63. 446 1250b 495.858897 17. 929417 AIR 1.00000000 61.405 1252a 99.544326 12.165293 LLF1 1.57931548 53.291 1252b 80.796014 31.238755 AIR 1.00000000 48.247 1254a -152.690677 6.987651 SI02 1. 47458786 46.461 1254b 124.641106 163.426725 AIR 1.00000000 45.551 1256a 248.337642 22.633438 SI02 1.47458786 67.152 1256b -514.537706 0.886241 AIR 1.00000000 67.120 1258a 126.111515 26.377392 SI02 1. 47458786 65.512 1258b 2105.236338 0.876111 AIR 1.00000000 63.420 1260a 155.044025 16.611623 SI02 1.47458786 59. 448 1260b 91.049421 29.009885 AIR 1.00000000 51.856 1262a -263.662579 6.983415 SI02 1.47458786 50. 072 1262b 112.313771 4.292833 AIR 1.00000000 48.190 1264a 111.432935 19.779989 LLF1 1.57931548 48.670 1264b 2822.626506 0.129009 AIR 1.00000000 47. 664 DS 0.000000 34.000000 AIR 1.00000000 47.710 1204 0.000000 0.000000 AIR 1.00000000 42.007 表ίο

1057-8840-PF 86 表面曲率半徑(ram) 厚度（mm) 材料折射率半〇徑（mm) 1302 0.000000 34.000000 AIR 1.00000000 42.000 DS 0.000000 0.467159 AIR 1.00000000 47.783 1318a -1785.908234 18.692487 LLF1 1. 57923042 47.754 1318b -119.190867 8.319861 AIR 1.00000000 48. 792 1320a -123.985300 6.927511 SI02 1.47458786 48.130 1320b 220.658080 29.122679 AIR 1.00000000 50.048 1322a -95.784025 38. 778204 SI02 1.47458786 52.043 1322b -147. 539869 0.793173 AIR 1.00000000 66.205 1324a 2466.384582 29.377437 SI02 1.47458786 71.606 1324b -148.054271 0.856573 ATR 1.00000000 73.329 1326a 447.173248 22.796444 SI02 1.47458786 73.986 1326b -356.283964 173.838552 AIR 1.00000000 73. 655 1328a -177.042387 8.188143 SI02 1.47458786 45.684 1328b 212.704934 27.637678 AIR 1.00000000 45.331 1330a -81.128231 7.144835 SI02 1.47458786 45.982 1330b 552.956939 1.174463 AIR 1.00000000 52.222 1332a 398.409595 29.376607 CAF2 1.44491236 53.284 1332b -99.244661 0.871867 AIR 1.00000000 55.519 1334a 1504.45849 27.725727 CAF2 1.44491236 57. 085 1334b -100.775118 2.691105 AIR 1.00000000 57. 477 1336a -97.251847 6.897972 SI02 1.47458786 56.82 1336b -339. 226928 0.800439 AIR 1.00000000 58.163 1338a 497.34785 20.951171 CAF2 1.44491236 58.309 1338b -253. 759354 6.364884 AIR 1.00000000 58.035 1340a -160.262958 11.460067 LLF1 1.57923042 57.695 1340b -182.498637 0.245522 AIR 1.00000000 58.360 DS 0.000000 〇.〇〇〇〇〇〇 AIR 1.00000000 57. 234 DS 0.000000 0. 245522 AIR 1.00000000 57. 234 1342a 182.498637 11.460067 LLF1 1.57923042 58.360 1342b 160.262958 6. 364884 AIR 1.00000000 57.694 1344a 253.759354 20.951171 CAF2 1.44491236 58.034 1344b -497. 347850 0.800439 AIR 1.00000000 58.309 1346a 339.226928 6.897972 SI02 1.47458786 58.163 1346b 97. 251847 2.691105 AIR 1.00000000 56.819 1348a 100.775118 27. 725727 CAF2 1.44491236 57. 476 1348b -1504.45849 0.871867 AIR 1.00000000 57. 084 1350a 99.244661 29.376607 CAF2 1.44491236 55.517 1350b -398.409595 1.174463 AIR 1.00000000 53.282 1352a -552.956939 7.144835 SI02 1.47458786 52.220 1352b 81.128231 27.637678 AIR 1.00000000 45. 981 1354a -212.704934 8.188143 SI02 1.47458786 45.329 1354b 177.042387 173.838552 AIR 1.00000000 45.682 1356a 356.283964 22.796444 SI02 1.47458786 73.646 1356b -447.173248 0.856573 AIR 1.00000000 73.978 1358a 148.054271 29.377437 SI02 1.47458786 73.320 1358b -2466. 384582 0.793173 AIR 1.00000000 71.596 1360a 147. 539869 38.778204 SI02 1.47458786 66.197 1360b 95.784025 29.122679 AIR 1.00000000 52.037 1362a -220. 658080 6.927511 SI02 1.47458786 50.041 1362b 123. 985300 8.319861 AIR 1.00000000 48.124 1364a 119.190867 18.692487 LLF1 1.57923042 48.785 1364b 1785. 908234 0.467159 AIR 1.00000000 47.747 DS 0.000000 34.000000 AIR 1.00000000 47. 776 1304 0.000000 0.000000 AIR 1.00000000 42.007 表11

1057-8840-PF 87 1330719 • >

表面曲率半徑（mm) 形狀厚度（圓）材料折射率半口徑（圓） 1602 0 4,00E+01 AIR 1,000000E+00 47,71 1618a -9, 25E+01 1.20E+01 LLF1 1,579320E+00 49, 42 1618b -7, 03E+01 Ι,ΟΙΕ+ΟΟ AIR Ι,ΟΟΟΟΟΟΕ+ΟΟ 49, 44 1620a -6, 94E+01 Ι,ΟΟΕ+01 SI02 1.474550E+00 59,42 1620b 6,83E+02 AS 1,12E+01 AIR 1,000000E+00 59, 56 1622a -1.82E+02 3,82E+01 SI02 1.474550E+00 75, 23 1622b -2,98E+02 AS 1,OOE+OO AIR Ι,ΟΟΟΟΟΟΕ+ΟΟ 84, 99 1624a 5,28E+02 3,19E+01 SI02 1.474550E+00 85, 89 1624b -1，88E+02 1,OOE+OO AIR 1,OOOOOOE+OO 89, 76 1626a 1.53E+02 3,99E+01 SI02 1.474550E+00 89, 03 1626b -2,98E+02 AS 1.28E+02 AIR 1,000000E+00 55,20 1628a -2,75E+02 AS Ι,ΟΟΕ+01 SI02 1.474550E+00 52,43 1628b 1.27E+02 8,58E+01 AIR 1,000000E+00 56,79 1630a -4,30E+02 7,OOE+OO SI02 1.474550E+00 58,42 1630b 2,02E+02 3.34E+00 AIR 1,000000E+00 61,83 1632a 1.21E+02 4,01E+01 CAF2 1,444913E+00 61,79 1632b -1,12E+02 9,99E-01 AIR Ι,ΟΟΟΟΟΟΕ+ΟΟ 61,60 1634a -1.09E+02 7,00E+00 SI02 1.474550E+00 62,14 1634b 2,24E+02 AS 1,00E+00 AIR Ι,ΟΟΟΟΟΟΕ+ΟΟ 63,01 1636a 1.51E+02 2,98E+01 CAF2 1,444913E+00 63,15 1636b -1，80E+02 9,99E-01 AIR 1,OOOOOOE+OO 61,55 1606 0,OOE+OO 9,99E-01 AIR 1,000000E+00 63.15 1638a 1.80E+02 2,98E+01 CAF2 l,444913E+00 63,01 1638b -1.51E+02 1,00E+00 AIR Ι,ΟΟΟΟΟΟΕ+ΟΟ 62,14 1640a -2,24E+02 AS 7,00E+00 SI02 1.474550E+00 61,60 1640b 1,09E+02 9,99E-01 AIR Ι,ΟΟΟΟΟΟΕ+ΟΟ 61,79 1642a 1,12E+02 4.01E+01 CAF2 1,444913E+00 61,83 1642b -1,12E+02 3,34E+00 AIR 1,OOOOOOE+OO 58,43 1644a -2.02E+02 7,00E+00 SI02 1.474550E+00 56, 79 1644b 4,30E+02 8,58E+01 AIR Ι,ΟΟΟΟΟΟΕ+ΟΟ 52, 43 1646a -1.27E+02 1.00E+01 SI02 1.474550E+00 55, 20 1646b 2, 75E+02 AS 1.28E+02 AIR Ι,ΟΟΟΟΟΟΕ+ΟΟ 89, 03 1648a 2, 98E+02 AS 3,99E+01 SI02 1,474550Ε+00 89, 76 1648b -1.53E+02 1,OOE+OO AIR Ι,ΟΟΟΟΟΟΕ+ΟΟ 85, 89 1650a 1.88E+02 3,19E+01 SI02 M74550E+00 84, 99 1650b -5.28E+02 1,OOE+OO AIR Ι,ΟΟΟΟΟΟΕ+ΟΟ 75, 23 1652a 2,09E+02 AS 3,82E+01 SI02 1,474550Ε+00 59, 56 1652b 1,82Ε+02 1,12E+01 AIR Ι,ΟΟΟΟΟΟΕ+ΟΟ 59,42 1654a -6,83E+02 AS Ι,ΟΟΕ+01 SI02 1.474550Ε+00 49, 44 1654b 6,94E+01 Ι,ΟΙΕ+ΟΟ AIR Ι,ΟΟΟΟΟΟΕ+ΟΟ 49, 42 1656a 7,03E+01 1.20E+01 LLF1 1.579320Ε+00 47,71 1656b 9,25E+01 4,00E+01 AIR Ι,ΟΟΟΟΟΟΕ+ΟΟ 42, 03

表12A

1057-8840-PF 88 1330719 • »

表面 1620b 1622b 1626b 1628a 1634b cc 0,00000E+00 0,00000E+00 0,00000E+00 0,00000E+00 0,OOOOOE+OO Cl 0,00000E+00 0,00000E+00 0,00000E+00 0,00000E+00 0,OOOOOE+OO C2 -3,11300E-07 6,43956E-08 9, 00458E-08 2,63248E-08 1.61340E-07 C3 3.61315E-11 -6,76882E-12 4,69245E-12 -5.89732E-12 4,63435E-12 C4 7,37165E-15 -2,06270E-15 3,89533E-17 -1.30451E-16 5,75454E-16 C5 -1.84065E-18 -1.24987E-19 -7.45216E-20 1.77321E-19 -1.96788E-19 C6 3,93145E-22 5,04495E-23 6,31654E-24 -8,04090E-23 3,99005E-23 C7 -4,02537E-26 -4,59886E-27 -1.89918E-28 1.15920E-26 -3,54400E-27 C8 0,00000E+00 0,00000E+00 0,00000E+00 0,00000E+00 0,OOOOOE+OO C9 0,00000E+00 0,00000E+00 0,00000E+00 0,00000E+00 0,OOOOOE+OO 表面 1640a 1646b 1648a 1652a 1654a CC 0,00000E+00 0,00000E+00 0,00000E+00 0,OOOOOE+OO 0,OOOOOE+OO Cl 0,00000E+00 0,00000E+00 0, 00000E+00 0,OOOOOE+OO 0, OOOOOE+OO C2 -1.61340E-07 -2,63248E-08 -9,00458E-08 -6,43956E-08 3,11300E-07 C3 -4,63435E-12 5, 89732E-12 -4,69245E-12 6,76882E-12 -3,61315E-11 C4 -5, 75454E-16 1.30451E-16 -3,89533E-17 2,06270E-15 -7,37165E-15 C5 1.96788E-19 -1.77321E-19 7.45216E-20 1.249875E-19 1,84065E-18 C6 3, 99005E-23 8,04090E-23 -6.31654E-24 -5,04495E-23 -3,93145E-22 C7 3, 54400E-27 -1,15920E-26 l,89918E-28 4,59886E-27 4,02547E-26 C8 0,00000E+00 0,00000E+00 0,00000E+00 0,OOOOOE+OO 0,OOOOOE+OO C9 0,00000E+00 0,00000E+00 0,OOOOOE+OO 0,OOOOOE+OO 0,OOOOOE+OO

表12B

89

1057-8840-PF 1330719 » % 表面 ISA/CAI’ 表面 ISA/CAI’ 1618a 0,16 1638a 1,00 1618b 0,19 1638b 0,95 1620a 0,19 1640a 0, 95 1620b 0,21 1640b 0,93 1622a 0, 24 1642a 0,93 1622b 0,28 1642b 0, 87 1624a 0,29 1644a 0,86 1624b 0,31 1644b 0, 84 1626a 0,32 1646a 0,60 1626b 0, 35 1646b 0,58 1628a 0, 58 1648a 0,34 1628b 0, 60 1648b 0,31 1630a 0,84 1650a 0,31 1630b 0,86 1650b 0,28 1632a 0,87 1652a 0,28 1632b 0,93 1652b 0, 24 1634a 0, 94 1654a 0,21 1634b 0, 95 1654b 0,19 1636a 0,95 1656a 0,19 1636b 1,00 1656b 0,16

表12C

90

1057-8840-PF 1330719

表面曲率半徑(mm) 形狀厚度（mm) 材料折射率半口徑（mm) 1702 0 4,00E+01 AIR 1,000000E+00 50, 00 1718a 1.31E+02 2,46E+01 LLF1 1,579320E+00 51, 18 1718b -1, 37E+02 6,00E-01 AIR Ι,ΟΟΟΟΟΟΕ+ΟΟ 50,97 1720a -1，35E+02 Ι,ΟΟΕ+ΟΙ SI02 1.474550E+00 50,80 1720b 7,89E+01 AS 3,85E+01 AIR Ι,ΟΟΟΟΟΟΕ+ΟΟ 48,21 1722a -6,16E+01 3,98E+01 SI02 1.474550E+00 48,39 1722b -1，23E+03 l,00E+00 AIR 1,000000E+00 76, 17 1724a -1.85E+03 3,98E+01 LLF1 1,579320E+00 77,41 1724b -1, 20E+02 l,00E+00 AIR Ι,ΟΟΟΟΟΟΕ+ΟΟ 81,42 1726a 3, 61E+02 3,36E+01 LLF1 1.579320E+00 89, 03 1726b -4, 46E+02 1,00E+00 AIR Ι,ΟΟΟΟΟΟΕ+ΟΟ 89,19 1728a 1.24E+02 4,00E+01 LLF1 1.579320E+00 84, 83 1728b 2, 84E+03 5,36E+00 AIR 1,OOOOOOE+OO 81,99 1730a -1.71E+03 AS 1.50E+01 SI02 l,474550E+00 81,99 1730b 1.30E+02 1.52E+02 AIR 1,000000E+00 69,02 1732a -1,11E+03 7,00E+00 LLF1 1.579320E+00 42,18 1732b 8,78E+01 1,00E-01 AIR Ι,ΟΟΟΟΟΟΕ+ΟΟ 40,21 1734a 7,10E+01 2,50E+01 SI02 1.474550E+00 40,59 1734b -8,67E+01 2,07E+00 AIR 1,000000E+00 40,27 1736a -7,78E+01 7,00E+00 LLF1 1,579320E+00 39,51 1736b 1.09E+02 Ι,ΟΟΕ-ΟΙ AIR 1,000000E+00 38, 02 1738a 7,84E+01 1,57E+01 SI02 1.474550E+00 38,42 1738b -2,47E+02 AS 1,00E+00 AIR 1.444913E+00 38, 04 1706 0,00E+00 1,OOE+OO AIR Ι,ΟΟΟΟΟΟΕ+ΟΟ 37,57 1740a 2,47E+02 AS 1.57E+01 SI02 1.474550E+00 38, 04 1740b -7,84E+01 1,00E-01 AIR Ι,ΟΟΟΟΟΟΕ+ΟΟ 38,42 1742a -1,09E+02 7,00E+00 LLF1 1.579320E+00 38,02 1742b 7,78E+01 2,07E+00 AIR Ι,ΟΟΟΟΟΟΕ+ΟΟ 39,51 1744a 8,67E+01 2,50E+01 SI02 1.474550E+00 40,27 1744b -7,10E+01 1,00E-01 AIR Ι,ΟΟΟΟΟΟΕ+ΟΟ 40,59 1746a -8,78E+01 7, 00E+00 LLF1 1.579320Ε+00 40,21 1746b 1,11E+03 1, 52E+02 AIR Ι,ΟΟΟΟΟΟΕ+ΟΟ 42,18 1748a -1，30E+02 1.50E+01 SI02 1,474550Ε+00 69, 02 1748b 1.71E+03 AS 5,36E+00 AIR Ι,ΟΟΟΟΟΟΕ+ΟΟ 81,99 1750a -2, 84E+03 4,00E+01 LLF1 1.579320Ε+00 81,99 1750b -1.24E+02 1,00E+00 AIR Ι,ΟΟΟΟΟΟΕ+ΟΟ 84,83 1752a 4,46E+02 3,36E+01 LLF1 1.579320Ε+00 89,19 1752b -3,61E+02 1, 00E+00 AIR Ι,ΟΟΟΟΟΟΕ+ΟΟ 89, 03 1754a 1,20E+02 3, 98E+01 LLF1 1.579320Ε+00 81,42 1754b 1.85E+03 1,00E+00 AIR Ι,ΟΟΟΟΟΟΕ+ΟΟ 77,41 1756a 1.23E+03 3, 98E+01 SI02 1.474550Ε+00 76,17 1756b 6,16E+01 3, 85E+01 AIR Ι,ΟΟΟΟΟΟΕ+ΟΟ 48,39 1758a -78,931653 AS 1.00E+01 SI02 1.474550Ε+00 48,21 1758b 135,26309 6,00E-01 AIR Ι,ΟΟΟΟΟΟΕ+ΟΟ 50,802 1760a 137,492089 24,607034 LLF1 1.579320Ε+00 50,972 1760b -131,087892 40 AIR Ι,ΟΟΟΟΟΟΕ+ΟΟ 51,177

表13A

1057-8840-PF 91 1330719

表面 1720b 1730a 1738b 1740a 1748b cc 0, OOOOOOE+OO 0,OOOOOOE+OO 0,OOOOOOE+OO 0,OOOOOOE+OO 0,OOOOOOE+OO Cl 0, OOOOOOE+OO 0,OOOOOOE+OO 0,OOOOOOE+OO 0,OOOOOOE+OO 0,OOOOOOE+OO C2 -5,348304E-07 -7,891070E-08 3,669874E-07 -3,669874E-07 7,891070E-08 C3 3,874388E-11 4.407850E-12 7,729112E-11 -7,729112E-11 -4.407850E-12 C4 -5,668205E-15 1.421355E-16 1.275249E-14 1.275249E-14 -1.421355E-16 C5 -3,960233E-19 -2,853409E-20 -1.768252E-18 1,768252E-18 2,853409E-20 C6 2,902361E-22 1.535014E-24 8,963552E-22 -8.963552E-22 -1.535014E-24 C7 -3,561952E-26 -4,083660E-29 -4,833046E-25 4,833046E-25 4,083660E-29 C8 0,OOOOOOE+OO 0,OOOOOOE+OO 0,OOOOOOE+OO 0,OOOOOOE+OO 0,OOOOOOE+OO C9 0,000000E+00 0,OOOOOOE+OO 0,OOOOOOE+OO 0,OOOOOOE+OO 0, OOOOOOE+OO 表面 1758a CC 0,000000E+00 Cl 0,OOOOOOE+OO C2 5, 34830E-07 C3 -3,87439E-11 C4 5,66820E-15 C5 3, 96023E-19 C6 -2,90236E-22 C7 3, 56195E-26 C8 0,OOOOOOE+OO C9 0,OOOOOOE+OO

表13B

1057-8840-PF 92 1330719 • % 表面 ISA/CAI’ 表面 ISA/CAI’ 1718a 0.19 1740a 1.00 1718b 0.23 1740b 0. 95 1720a 0.23 1742a 0.95 1720b 0.27 1742b 0.93 1722a 0.36 1744a 0.92 1722b 0. 42 1744b 0.87 1724a 0. 42 1746a 0. 86 1724b 0.44 1746b 0.84 1726a 0. 45 1748a 0.52 1726b 0. 46 1748b 0.50 1728a 0. 47 1750a 0.49 1728b 0.51 1750b 0.47 1730a 0. 52 1752a 0. 46 1730b 0.52 1752b 0.45 1732a 0. 84 1754a 0. 44 1732b 0.86 1754b 0.42 1734a 0.86 1756a 0.42 1734b 0. 93 1756b 0.36 1736a 0.93 1758a 0. 26 1736b 0.95 1758b 0. 23 1738a 0.95 1760a 0.23 1738b 1.00 1760b 0.18

表13C

93

1057-8840-PF 1330719 4 » 雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明’㈣熟習此技㈣，在不脫離本I明之精神和範圍内，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之^護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。【圖式簡單說明】第1圖是光學透鏡系統的一實施例的概要圖式；第2A圖是光學透鏡系統的一實施例的概要圖式；第2B圖是光學透鏡系統的一實施例的概要圖式；第3圖是對於不同材料比較折射率與阿貝（Abbe)值的圖式；第4A圖是光學透鏡系統的一部分的概要圖式；第4B圖是光學透鏡系統的一實施例的概要圖式，顯示該透鏡系統的不同區域；第5圖是微蝕刻系統的一實施例的概要圖式；第6圖是成像光學透鏡系統的一實施例的概要圖式；第7圖是成像光學透鏡系統的一實施例的概要圖式；第8圖是成像光學透鏡系統的一實施例的概要圖式；第9圖是成像光學透鏡系統的一實施例的概要圖式；第10圖是成像光學透鏡系統的一實施例的概要圖式；第11圖是成像光學透鏡系統的一實施例的概要圖式；第12圖是成像光學透鏡系統的一實施例的概要圖式；第13圖是成像光學透鏡系統的一實施例的概要圖式；第14圖是成像光學透鏡系統的一實施例的概要圖式； 1057-8840-PF 94 1330719 一 *

I 第15圖是成像光學透鏡系統的一實施例的概要圖式；第16圓是成像光學透鏡系統的一實施例的概要圖 • 式；及 • 第17圖是成像光學透鏡系統的一實施例的概要圖式；於不同的圖式中，相同的參考符號標示相同的元件。【主要元件符號說明】 2、50、60、73、100、200、300、400、800、900、1000、 ® 1100 ' 1 200 > 1 300……光學透鏡系統 4......光源面 . 6......輸出面 ‘ 8、108、208、308、408、808、908、1008、1108、1208、 • 13 08......光軸 10、110、210、310、410......第一透鏡組 12、112、212、312、412......第二透鏡組 18 ' 71......光源籲 20、114、214、314、414......第三透鏡組 22、116、216、316、416......第四透鏡組 26 、 106 、 206 、 306 、 406 、 806 、 906 、 1006 、 1106 、 1 206、1 306……對稱面 43 ......物體 44 ......透鏡 45 ......光闌 46 ......瞳平面 1057-8840-PF 95 1330719 - ^ 70......微蝕刻系統 72......照明系統 74、75......平台 76......十字線 7 7......晶圓 102、202、302、40 2、802、902、1002、1102、1202、 1302......物端平面 104、204、304、404、804、904、1004、1104、1204、 1304......成像端平面 810、813、812、820、823、822、910、913、912、914、 915、916、1010、1013、1012、1014、1015、1016、1110、 1113、1112、1114、1115、1116、1210、1213、1212、1214、 1215 、 1216 、 1310 、 1313 、 1312 、 1314 、 1315 、 1316…… 透鏡組

1057-8840-PF 96

Claims

1330719 十 ^ 案號:96丨丨5999 99年5月4日修正·替換頁十、申請專利範圍： 1 . 一種光學透鏡系統，導引射線自一物端區域至_成像端區域’該光學透鏡系統具有一光軸，該光學透鏡系統包含：一第—透鏡組，包括沿該光學透鏡系統之該光軸設置的一第一透鏡與一第二透鏡；以及一第二透鏡組’包括沿該光學透鏡系統之該光軸設置的一第一透鏡與一第二透鏡；

其中：該第一透鏡組對於該射線具有一第一色像差；該第二透鏡組對於該射線具有一第二色像差；該射線包括一波長入；該第二色像差的數值與該第一色像差的數值的差小於 λ ; 該光學透鏡系統將波長λ的該射線成像於該成像端區域；以及該第二色像差的符號與該第一色像差的符號相反；以及其中該光學透鏡系統構成一微蝕刻光學透鏡系統之— 部分’該第一透鏡組減少位於該成像端區域處且波長λ的影像的彎曲’使得上述影像彎曲小於該微蝕刻光學透鏡系統於該成像端區域中的聚焦深度。 2. 如申請專利範圍第1項所述的光學透鏡系統，其中該 1057-8840-PF 97 1330719 案號:96 Π 5999 99年5月4日修正-替換頁微蝕刻光學透鏡系統的該成像端區域中，該微蝕刻光學透鏡系統對於該射線的一色像差的數值小於該第一色像差的數值。 — -· 3- 如申請專利範圍第1項所述的光學透鏡系統，其中於該第一透鏡組中的該些透鏡的至少一具有一非球面表面。 4· 如申請專利範圍第3項所述的光學透鏡系統，其中於該第二透鏡組中的該些透鏡的至少一具有一非球面表面。 5·如申請專利範圍第1項所述的光學透鏡系統，其中該第一與該第二透鏡組之間沿著該光軸的一最小間距大於或等於5公分。 6.如申清專利範圍第1項所述的光學透鏡系統，其中該第二透鏡組包含一雙透鏡，其包含一凸透鏡與一凹透鏡。 7 ·如申凊專利範圍第6項所述的光學透鏡系統，其中該凸透鏡包含一冠冕玻璃且該凹透鏡包含一火石玻璃。 8·如申凊專利範圍第6項所述的光學透鏡系統，其中該凸透鏡與該凹透鏡為間隔分開。 9 .如申°月專利辜已圍第1項所述的光學透鏡系統，其中該 1057-8840-PF 98 1330719 go ., 案號:96丨丨5999 綠一、牛5月4日修正-替換頁第二色像差的符號係與該第二透鏡組中的至少—透鏡的一色像差的符號相反。 ίο.如申請專利範圍第上項所述的光學透鏡系g其中該第一透鏡組包含一透鏡，該透鏡具有一凹表面，且該凹= 面的曲率半徑等於或小於丨3〇。 1/·如申請專利範圍第丨項所述的光學透鏡系統，其中該第一透鏡組包含一第一次透鏡組與一第二次透鏡組，該第一次透鏡組具有一正屈光率，且該第二次透鏡組具有一負屈光率。 ' 12.如申請專利範圍第i項所述的光學透鏡系統，其中該第透鏡組具有一焦距與一主平面，該主平面與該第二透鏡、、且之間的一最短距離大於該第一透鏡組的該焦距。 13 ·如申請專利範圍第1項所述的光學透鏡系統，其中該第一透鏡組在與該光軸正交的一方向上的一最大尺寸至少為該第二透鏡組在與該光軸正交的一方向上的一最大尺寸的1.5倍。 1 4·如申請專利範圍第1項所述的光學透鏡系統，其中該第一色像差的數值小於該第一透鏡組中的該些透鏡之—對於該射線的一色像差的數值。 1057-8840-PF 99 1330719 99 年 5 月 4 1 5 .如申請專利範圍第1項所述的光學透鏡系統，其中該光學透鏡系統具有一最大數值孔徑與一 Γ比值，該最大數值孔徑小於或等於〇 · 2，且該Γ比值小於0.3 3。 1 6.如申請專利範圍第1項所述的光學透鏡系統，其中於該物端區域與該成像端區域之間’沿該光軸設置的該些透鏡的總數等於或小於30個。 17.如申請專利範圍第1項所述的光學透鏡系統，其中於該物端區域與該成像端區域之間，沿該光轴設置的該些透鏡的總數等於或小於24個。 1 8.如申請專利範圍第丨項所述的光學透鏡系統，其中該微蝕刻光學透鏡系統的一放大係數為i。 1 9.如申請專利範圍第！項所述的光學透鏡系統，其中沿該光轴設置於該物端區域與該成像端區域之間的該些透鏡的總數的至少一半係以熔融二氧化矽形成。 20.如申請專利範圍第！項所述的光學透鏡系統，其中該些透鏡之第一透鏡係以一第一種材料構成該些透鏡之；二透鏡係以H材料構成，該第—種材料具有一第一 1057-8840-PF 100 uju/i.y 案鏡:96丨丨5999 年7月2丨日修正-替換頁色散值’且該第二種材料二色散值。 ΪΓ —— 奸年,丨” 替換頁| 具有不同於該第一色散值的第 2 1 ·如申請專利範圍第丨射線所具有之至少-波長^述的光學透鏡系·统’其中該糸、擇自具有可見光波長範圍及紫外光波長範圍所組成的族群中。 22·如申請專利範圍第1項所述的光學透鏡系統’其中該些透鏡的至少一具有一非球面表面。 23.如f請專利範圍第i項所述的光學透鏡系統，其中該些透鏡的至少二的每一個具有一非球面表面。 24. 如申請專利範圍第i項所述的光學透鏡系統，其中形成該光學透鏡系統的該些透鏡的數目的不超過4〇%具有一次孔徑相對於淨孔徑的比值，該比值大於或等於〇 6。 25. 如申請專利範圍第1項所述的光學透鏡系統，其中該光學透鏡系統具有一 Γ比值，且該Γ比值等於或小於0.32。 26·如申請專利範圍第1項所述的光學透鏡系統，其中該光學透鏡糸統係一完全折射透鏡系統。 1057-S840-PF 101