TWI820836B - 微影成像投影鏡頭 - Google Patents

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TWI820836B
TWI820836B TW111128655A TW111128655A TWI820836B TW I820836 B TWI820836 B TW I820836B TW 111128655 A TW111128655 A TW 111128655A TW 111128655 A TW111128655 A TW 111128655A TW I820836 B TWI820836 B TW I820836B
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吳昇澈
周昱宏
林宜樺
蘇元宏
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上暘光學股份有限公司
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  • Lenses (AREA)

Abstract

一種微影成像投影鏡頭，係適用於光阻特徵成像的單位放大透鏡系統， 具有多個透鏡元件及置於其中之一光欄，其係沿著一光軸排列，且包含分置於該多個透鏡元件前、後兩端之一像側與一物側；其特徵在於：個別靠近該物側與該像側之二個透鏡，其屈光度皆須為正；各該透鏡元件皆屬無膠合之單一透鏡；不同像高位置的主光線與該光軸之夾角＜1度，且不同物高位置的主光線與該光軸之夾角＜1度；以及在350〜450nm波長光線的投射下，據以提供精確放大倍率的成像效果。

Description

微影成像投影鏡頭
本發明係有關一種投影鏡頭，尤指以單位放大率與高解析度成像到基板之一種無光罩微影成像投影鏡頭。
按，微影製程（photolithography）是半導體元件製造製程中的一個重要步驟，該步驟利用曝光和顯影在光阻層上刻畫幾何圖形結構，然後通過蝕刻製程將光罩上的圖形轉移到基板上；換言之，微影製程就是將電路圖案，透過光罩及光阻「轉印」到晶圓上的過程。因此，微影製程需要非常精確地控制圖像的形狀與大小。
次按，用於製造半導體元件或類似產品的微影製程，通常的做法為使用投影曝光裝置來曝光光罩的圖案，並成像至塗布光阻的晶圓（或玻璃板或類似物品）上；且隨著半導體元件集積程度的增進，對於投影曝光裝置中的投影鏡頭，更加需要具有單位放大率與高解析度的功能。
緣是，本發明之主要目的，係在提供可將無光罩裝置，如搭配德州儀器(TI)之數位微型反射器(DMD)，以單位放大率與高解析度成像到基板上之一種微影成像投影鏡頭。
本發明之另一目的，係在提供基板之間具有長工作距離，且有助於控制圖像像差並降低製造成本之一種微影成像投影鏡頭。
為達上述目的，本發明所提供之微影成像投影鏡頭，係適用於光阻特徵成像的單位放大透鏡系統，其具有多個透鏡元件及置於其中之一光欄，係沿著一光軸排列，且包含一物側與一像側，係分置於該多個透鏡元件之前、後兩端；其特徵在於：個別靠近該物側與該像側之二個透鏡，其屈光度皆須為正；各該透鏡元件皆屬無膠合之單一透鏡；不同像高位置的主光線與該光軸之夾角＜1度，且不同物高位置的主光線與該光軸之夾角＜1度；以及在350〜450nm波長光線的投射下，據以提供精確放大倍率的成像效果。
前述之「光欄」構件，係指光學系統中能對光束起限制作用的長方形或圓形通光孔；一般用來控制光的強度、減少像差及增加聚焦的深度；光欄越小，像差越小，景深越大，像越清晰，但是明亮度則減弱。又，「無膠合之單一透鏡」，是指鏡頭中都屬單片的透鏡，並無使用膠黏劑將複數片透鏡予以結合的膠合透鏡；按，膠合透鏡的主要作用在減少色差及其他光學系統上的像差。
依據前揭特徵，本發明中靠近該物側之第一個透鏡與靠近該像側之第一個透鏡，至少一個為非雙凸透鏡。
依據前揭特徵，本發明中更包括一稜鏡，係設置於該物側前方，且該光欄前、後之負透鏡，需滿足30＜Vd＜50之阿貝數數值，而全部透鏡元件需滿足1.45＜Nd＜1.75之折射率數值，且數值孔徑介於0.08〜0.21。
依據前揭特徵，本發明中該透鏡元件有10個，其屈光度自該像側至該物側依序為正、正、正、正、負、負、負、正、正、正，該光欄則置於該第五與該第六透鏡之間，且該第一至第五透鏡其整體焦距在35〜50mm之間，該第六至第十透鏡其整體焦距在67〜140mm之間，並據以產生焦距＞1000mm，且放大倍率達0.25〜0.75X之鏡頭。
依據前揭特徵，本發明中該透鏡元件有12個，其屈光度自該像側至該物側依序為正、正、負、正、正、負、負、正、正、負、正、正，該光欄則置於該第六與該第七透鏡之間，且該光欄前、後之透鏡元件相互對稱，而第一至第六透鏡其整體焦距在140〜165mm之間，該第七至第十二透鏡其整體焦距在72〜82mm之間，並據以產生焦距＞1000mm，且放大倍率達1.7〜2.3X之鏡頭。
依據前揭特徵，本發明中該透鏡元件有13個，其屈光度自該像側至該物側依序為正、正、正、負、負、負、正、正、正、負、正、正、正，該光欄則置於該第十一與該第十二透鏡之間，且該第一至第十一透鏡其整體焦距在186〜210mm之間，該第十二至第十三透鏡其整體焦距在78〜85mm之間，並據以產生焦距＞1000mm，且放大倍率達2.2〜2.7X之鏡頭。
依據前揭特徵，本發明中更包括一稜鏡，係設置於該物側前方，且該全部透鏡元件需滿足1.45＜Nd＜1.75之折射率數值，以及數值孔徑介於0.08〜0.21，並據以產生焦距＞1000mm之鏡頭，且該透鏡元件有13個，其屈光度自該像側至該物側依序為正、正、負、正、正、正、負、負、正、正、負、正、正。
依據前揭特徵，本發明中更包括一稜鏡，係設置於該物側前方，且該全部透鏡元件需滿足1.45＜Nd＜1.75之折射率數值，以及數值孔徑介於0.08〜0.21，並據以產生焦距＞500mm之鏡頭，且該透鏡元件有13個，其屈光度自該像側至該物側依序為正、正、正、負、負、正、正、負、正、正、負、正、正。
本發明的效益，在於當物、像端的主光線與光軸夾角小於1度時，將可滿足物、像端皆為遠心的雙遠心鏡頭，且鏡頭具有良好的像差、解析度高、同時景深大，而像距在一定範圍內能保持相當的放大率，且波長於350-450nm之間的光線具有良好的穿透率、以及無膠合鏡片也能提高其耐用性。
首先請參見圖1所示，為本發明第一實施例之微影成像投影鏡頭100，包含：一像側IS與一物側OS，該像側IS與該物側OS之間設有10個透鏡，係沿著一光軸LA排列，且該10個透鏡係自該像側IS依序為一具有正屈光度之第一透鏡G1、一具有正屈光度之第二透鏡G2、一具有正屈光度之第三透鏡G3、一具有正屈光度之第四透鏡G4、一具有負屈光度之第五透鏡G5、一具有負屈光度之第六透鏡G6、一具有負屈光度之第七透鏡G7、一具有正屈光度之第八透鏡G8、一具有正屈光度之第九透鏡G9、以及一具有正屈光度之第十透鏡G10；一全反射稜鏡TIR以及一玻璃蓋板CG，係設置於該第十透鏡G10與該物側OS之間，一光欄Stop，則設於該第五透鏡G5與該第六透鏡G6之間，且該第五透鏡G5、第六透鏡G6，皆為負屈光度之透鏡，其阿貝數分別為36.4與36.4，故滿足30＜Vd＜50的要求；而該第一透鏡G1〜第十透鏡G10的折射率則在1.49〜1.73之間，故滿足1.45＜Nd＜1.75的數值條件，且數值孔徑為介於0.08〜0.21之間；本發明中，各鏡面之曲率半徑(Radius)、厚度(Thickness)、折射率(Nd)、阿貝數(Vd)等參數值記載於表1欄位內，本發明中，不同像高位置的主光線與該光軸之夾角＜1度，且不同物高位置的主光線與該光軸之夾角＜1度，本實施例中不同像高IH所產生的像側主光角Image CRA及物側主光角Object CRA的數值分別記載於表2欄位內；再者，該第一透鏡G1至該第五透鏡G5其整體焦距為38.2mm，該第六透鏡G6至該第十透鏡G10其整體焦距為76.6mm；藉此，本實施例在350〜450nm波長光線的投射下，將據以產生鏡頭焦距為4045.8mm，且放大倍率達0.498X之投影成效。
  　 Radius Thickness Nd Vd
G1 -64.70 6.00 1.73 54.7
　 -43.30 18.70 　 　
G2 218.30 14.90 1.5 81.6
　 -95.40 3.60 　 　
G3 36.50 12.10 1.49 70.6
　 -360.00 0.20 　 　
G4 35.80 14.60 1.52 64.2
　 191.40 1.00 　 　
G5 -198.30 2.90 1.62 36.4
　 21.60 7.10 　 　
Stop Inf. 11.50 　 　
G6 -19.40 4.00 1.62 36.4
　 -1989.30 4.80 　 　
G7 -104.70 4.10 1.62 36.4
　 220.10 0.30 　 　
G8 273.90 15.00 1.51 67.4
　 -39.90 0.80 　 　
G9 291.40 12.70 1.51 64.9
　 -60.50 51.20 　 　
G10 147.00 6.00 1.73 54.7
　 -534.30 94.00 　 　
TIR Inf. 38.00 1.64 60.2
　 Inf. 0.50 　 　
CG Inf. 3.00 1.49 70.2
　 Inf. 0.50 　 　
表1
IH (mm) Object CRA (度) Image CRA (度)
0 0 0
0.8 0.010 0.010
1.6 0.010 0.020
2.4 0.020 0.020
3.2 0.020 0.030
4 0.020 0.040
4.8 0.030 0.040
5.6 0.030 0.050
6.4 0.030 0.050
7.2 0.030 0.050
8 0.030 0.050
8.76 0.030 0.050
表2
圖2所示，為本發明第二實施例之微影成像投影鏡頭200，包含：一像側IS與一物側OS，該像側IS與該物側OS之間設有12個透鏡，係沿著一光軸LA排列，且該12個透鏡係自該像側IS依序為一具有正屈光度之第一透鏡G1、一具有正屈光度之第二透鏡G2、一具有負屈光度之第三透鏡G3、一具有正屈光度之第四透鏡G4、一具有正屈光度之第五透鏡G5、一具有負屈光度之第六透鏡G6、一具有負屈光度之第七透鏡G7、一具有正屈光度之第八透鏡G8、一具有正屈光度之第九透鏡G9、一具有負屈光度之第十透鏡G10、一具有正屈光度之第十一透鏡G11、以及一具有正屈光度之第十二透鏡G12；一玻璃蓋板CG，係設置於該第十二透鏡G12與該物側OS之間，一光欄Stop，則設於該第六透鏡G6與該第七透鏡G7之間，且該第六透鏡G6、第七透鏡G7，皆為負屈光度之透鏡，其阿貝數分別為36.2與36.2，故滿足30＜Vd＜50的要求；而該第一透鏡G1〜第十二透鏡G12的折射率則在1.48〜1.72之間，故滿足1.45＜Nd＜1.75的數值條件，且數值孔徑為介於0.08〜0.21之間；本發明中，各鏡面之曲率半徑(Radius)、厚度(Thickness)、折射率(Nd)、阿貝數(Vd)等參數值記載於表3欄位內，本發明中，不同像高位置的主光線與該光軸之夾角＜1度，且不同物高位置的主光線與該光軸之夾角＜1度，本實施例中不同像高IH所產生的像側主光角Image CRA及物側主光角Object CRA的數值分別記載於表4欄位內；再者，該第一透鏡G1至該第六透鏡G6其整體焦距為142.8mm，該第七透鏡G7至該第十二透鏡G12其整體焦距為73.2mm；藉此，本實施例在350〜450nm波長光線的投射下，將據以產生鏡頭焦距為7498.1mm，且放大倍率達1.95X之投影成效。
　 Radius Thickness Nd Vd
G1 Inf. 8.00 1.61 44.2
　 -183.10 37.61 　 　
G2 75.56 8.00 1.61 44.2
　 201.15 70.56 　 　
G3 -65.37 7.99 1.61 37.2
　 74.97 10.10 　 　
G4 108.71 8.00 1.48 70.2
　 -48.73 10.47 　 　
G5 33.39 6.11 1.48 70.2
　 652.98 0.68 　 　
G6 -135.21 5.46 1.62 36.2
　 34.15 1.37 　 　
Stop Inf. 1.51 　 　
G7 -30.43 1.00 1.62 36.2
　 200.32 1.32 　 　
G8 -51.13 7.98 1.72 54.1
　 -40.18 0.20 　 　
G9 97.16 4.72 1.48 70.2
　 -48.30 37.21 　 　
G10 -95.10 8.00 1.52 52.7
　 132.42 18.06 　 　
G11 -489.56 7.68 1.62 36.4
　 -67.73 0.20 　 　
G12 86.57 7.99 1.48 70.2
　 -242.91 106.55 　 　
CG Inf. 3.00 1.48 70.2
　 Inf. 0.50 　 　
表3
IH (mm) Image CRA (度) Object CRA (度)
0 0 0
1 0.001 0.000
2 0.003 0.001
3 0.005 0.002
4 0.007 0.004
5 0.012 0.007
6 0.017 0.011
7 0.024 0.017
8 0.034 0.026
9 0.046 0.036
10 0.060 0.049
11 0.078 0.066
12 0.100 0.086
12.65 0.116 0.100
表4
圖3所示，為本發明第三實施例之微影成像投影鏡頭300，包含：一像側IS與一物側OS，該像側IS與該物側OS之間設有13個透鏡，係沿著一光軸LA排列，且該13個透鏡係自該像側IS依序為一具有正屈光度之第一透鏡G1、一具有正屈光度之第二透鏡G2、一具有正屈光度之第三透鏡G3、一具有負屈光度之第四透鏡G4、一具有負屈光度之第五透鏡G5、一具有負屈光度之第六透鏡G6、一具有正屈光度之第七透鏡G7、一具有正屈光度之第八透鏡G8、一具有正屈光度之第九透鏡G9、一具有負屈光度之第十透鏡G10、一具有正屈光度之第十一透鏡G11、一具有正屈光度之第十二透鏡G12、以及一具有正屈光度之第十三透鏡G13；一稜鏡Prism及一玻璃蓋板CG，係設置於該第十三透鏡G13與該物側OS之間，一光欄Stop，則設於該第十一透鏡G11與該第十二透鏡G12之間，而該第一透鏡G1〜第十三透鏡G13的折射率則在1.46〜1.62之間，故滿足1.45＜Nd＜1.75的數值條件，且數值孔徑為介於0.08〜0.21之間；本發明中，各鏡面之曲率半徑(Radius)、厚度(Thickness)、折射率(Nd)、阿貝數(Vd)等參數值記載於表5欄位內，本發明中，不同像高位置的主光線與該光軸之夾角＜1度，且不同物高位置的主光線與該光軸之夾角＜1度，本實施例中不同像高IH所產生的像側主光角Image CRA及物側主光角Object CRA的數值分別記載於表6欄位內；再者，該第一透鏡G1至該第十一透鏡G11其整體焦距為202.8mm，該第十二透鏡G12至該第十三透鏡G13其整體焦距為82.8mm；藉此，本實施例在350〜450nm波長光線的投射下，將據以產生鏡頭焦距為1327mm，且放大倍率達2.52X之投影成效。
　 Radius Thickness Nd Vd
G1 -159.82 7.17 1.62 36.36
　 -100.8 117.81 　 　
G2 133.82 12.13 1.62 36.36
　 -206.1 0.24 　 　
G3 42.71 11.37 1.62 36.36
　 78.213 12.85 　 　
G4 122.64 6.00 1.62 36.36
　 24.053 13.05 　 　
G5 -59.863 6.00 1.62 36.36
　 267.54 5.90 　 　
G6 -24.713 5.51 1.62 36.36
　 -147.98 1.44 　 　
G7 -76.888 8.23 1.50 75.54
　 -32.344 0.20 　 　
G8 178.56 8.39 1.50 81.60
　 -68.825 0.40 　 　
G9 54.186 8.21 1.50 81.59
　 -766.1 4.13 　 　
G10 724.26 2.50 1.62 36.36
　 48.695 3.82 　 　
G11 133.09 6.35 1.50 81.60
　 -120.08 0.20 　 　
Stop Inf. 76.89 　 　
G12 Inf. 6.54 1.62 36.36
　 -137.46 0.20 　 　
G13 114.63 7.97 1.62 36.36
　 -369.75 31.74 　 　
Prism Inf. 42.50 1.46 67.83
　 Inf. 0.00 　 　
CG Inf. 3.00 1.49 70.42
　 Inf. 0.50 　 　
表5
IH (mm) Image CRA (度) Object CRA (度)
0 0 0
1 0.010 0.039
2 0.019 0.076
3 0.027 0.109
4 0.034 0.136
5 0.039 0.155
6 0.041 0.164
7 0.041 0.159
8 0.037 0.139
9 0.029 0.100
10 0.017 0.039
11 0.000 0.049
12 0.023 0.167
12.6 0.040 0.255
表6
圖4所示，為本發明第四實施例之微影成像投影鏡頭400，包含：一像側IS與一物側OS，該像側IS與該物側OS之間設有13個透鏡，係沿著一光軸LA排列，且該13個透鏡係自該像側IS依序為一具有正屈光度之第一透鏡G1、一具有正屈光度之第二透鏡G2、一具有負屈光度之第三透鏡G3、一具有正屈光度之第四透鏡G4、一具有正屈光度之第五透鏡G5、一具有正屈光度之第六透鏡G6、一具有負屈光度之第七透鏡G7、一具有負屈光度之第八透鏡G8、一具有正屈光度之第九透鏡G9、一具有正屈光度之第十透鏡G10、一具有負屈光度之第十一透鏡G11、一具有正屈光度之第十二透鏡G12、以及一具有正屈光度之第十三透鏡G13；一稜鏡Prism及一玻璃蓋板CG，係設置於該第十三透鏡G13與該物側OS之間，一光欄Stop，則設於該第七透鏡G7與該第八透鏡G8之間，而該第一透鏡G1〜第十三透鏡G13的折射率則在1.46〜1.62之間，故滿足1.45＜Nd＜1.75的數值條件，且數值孔徑為介於0.08〜0.21之間；本發明中，各鏡面之曲率半徑(Radius)、厚度(Thickness)、折射率(Nd)、阿貝數(Vd)等參數值記載於表7欄位內，本發明中，不同像高位置的主光線與該光軸之夾角＜1度，且不同物高位置的主光線與該光軸之夾角＜1度，本實施例中不同像高IH所產生的像側主光角Image CRA及物側主光角Object CRA的數值分別記載於表8欄位內；再者，該第一透鏡G1至該第七透鏡G7其整體焦距為145.47mm，該第八透鏡G8至該第十三透鏡G13其整體焦距為51.5mm；藉此，本實施例在350〜450nm波長光線的投射下，將據以產生鏡頭焦距為1011mm，且放大倍率達2.52X之投影成效。
　 Radius Thickness Nd Vd
G1 -3063.851 11.57 1.52 64.1
　 -115.42 1.00 　 　
G2 78.86 12.64 1.52 64.1
　 367.06 66.91 　 　
G3 -105.24 8.00 1.51 65.5
　 28.70 4.55 　 　
G4 -216.14 7.85 1.50 81.4
　 -69.34 0.20 　 　
G5 173.22 5.04 1.52 64.1
　 -173.22 0.20 　 　
G6 31.87 8.00 1.52 64.1
　 43.97 1.51 　 　
G7 Inf. 2.00 1.62 36.4
42.22 1.78 　 　
Stop Inf. 2.96 　 　
G8 -24.17 8.00 1.62 36.4
　 -58.72 1.01 　 　
G9 -46.80 8.00 1.50 81.6
　 -31.07 0.20 　 　
G10 115.17 10.37 1.50 81.6
　 -59.46 33.03 　 　
G11 418.09 2.00 1.52 64.1
　 73.00 5.83 　 　
G12 165.69 11.71 1.50 81.6
　 -80.58 0.98 　 　
G13 53.90 10.64 1.50 81.6
　 204.65 45.68 　 　
Prism Inf. 42.50 1.46 67.8
　 Inf. 0.01 　 　
CG Inf. 3.00 1.49 70.4
　 Inf. 0.49 　 　
表7
IH (mm) Image CRA (度) Object CRA (度)
0 0 0
1 0.018 0.049
2 0.034 0.096
3 0.050 0.138
4 0.062 0.174
5 0.072 0.200
6 0.077 0.213
7 0.077 0.211
8 0.071 0.191
9 0.058 0.149
10 0.035 0.077
11 0.003 0.024
12 0.041 0.166
12.6 0.073 0.272
表8
圖5所示，為本發明第五實施例之微影成像投影鏡頭500，包含：一像側IS與一物側OS，該像側IS與該物側OS之間設有13個透鏡，係沿著一光軸LA排列，且該13個透鏡係自該像側IS依序為一具有正屈光度之第一透鏡G1、一具有正屈光度之第二透鏡G2、一具有正屈光度之第三透鏡G3、一具有負屈光度之第四透鏡G4、一具有負屈光度之第五透鏡G5、一具有正屈光度之第六透鏡G6、一具有正屈光度之第七透鏡G7、一具有負屈光度之第八透鏡G8、一具有正屈光度之第九透鏡G9、一具有正屈光度之第十透鏡G10、一具有負屈光度之第十一透鏡G11、一具有正屈光度之第十二透鏡G12、以及一具有正屈光度之第十三透鏡G13；一稜鏡Prism及一玻璃蓋板CG，係設置於該第十三透鏡G13與該物側OS之間，一光欄Stop，則設於該第七透鏡G7與該第八透鏡G8之間，而該第一透鏡G1〜第十三透鏡G13的折射率則在1.46〜1.62之間，故滿足1.45＜Nd＜1.75的數值條件，且數值孔徑為介於0.08〜0.21之間；本發明中，各鏡面之曲率半徑(Radius)、厚度(Thickness)、折射率(Nd)、阿貝數(Vd)等參數值記載於表9欄位內，本發明中，不同像高位置的主光線與該光軸之夾角＜1度，且不同物高位置的主光線與該光軸之夾角＜1度，本實施例中不同像高IH所產生的像側主光角Image CRA及物側主光角Object CRA的數值分別記載於表10欄位內；再者，該第一透鏡G1至該第七透鏡G7其整體焦距為168.3mm，該第八透鏡G8至該第十三透鏡G13其整體焦距為71mm；藉此，本實施例在350〜450nm波長光線的投射下，將據以產生鏡頭焦距為739mm，且放大倍率達2.52X之投影成效。
　 Radius Thickness Nd Vd
G1 -92.24 8.00 1.50 81.48
　 -70.95 114.02 　 　
G2 179.01 11.30 1.62 36.36
　 -203.90 4.32 　 　
G3 59.01 10.62 1.62 36.36
　 158.78 25.30 　 　
G4 Inf. 8.00 1.62 36.36
　 24.69 10.24 　 　
G5 -23.81 6.93 1.62 36.36
　 1841.04 2.42 　 　
G6 -120.57 8.58 1.50 81.48
　 -2.99E+01 0.20 　 　
G7 64.35 9.22 1.50 81.59
　 -64.35 13.62 　 　
Stop Inf. 13.51 　 　
G8 -91.07 2.50 1.62 36.36
　 70.23 2.78 　 　
G9 Inf. 6.92 1.50 81.48
　 -57.29 0.20 　 　
G10 65.38 7.80 1.50 81.48
　 -249.95 6.01 　 　
G11 -168.11 2.50 1.62 36.36
　 92.58 22.96 　 　
G12 -101.28 7.80 1.62 36.36
　 -55.28 0.20 　 　
G13 69.17 10.49 1.62 36.36
　 -646.22 39.15 　 　
Prism Inf. 42.50 1.46 67.83
　 Inf. 0.10 　 　
CG Inf. 3.00 1.49 70.42
　 Inf. 0.40 　 　
表9
IH (mm) Image CRA (度) Object CRA (度)
0 0 0
1 0.016 0.070
2 0.032 0.138
3 0.046 0.198
4 0.058 0.250
5 0.066 0.286
6 0.071 0.305
7 0.070 0.302
8 0.064 0.271
9 0.051 0.207
10 0.028 0.096
11 0.003 0.063
12 0.046 0.288
12.6 0.077 0.458
表10
綜上所述，本發明所揭示之技術手段，確具「新穎性」、「進步性」、「環保性」及「可供產業利用」等發明專利要件，祈請  鈞局惠賜專利，以勵發明，無任德感。
惟，上述所揭露之圖式、說明，僅為本發明之較佳實施例，大   凡熟悉此項技藝人士，依本案精神範疇所作之修飾或等效變化，仍應包括在本案申請專利範圍內。
100:第一實施例之投影鏡頭
200:第二實施例之投影鏡頭
300:第三實施例之投影鏡頭
400:第四實施例之投影鏡頭
500:第五實施例之投影鏡頭
CG:玻璃蓋板
G1:第一透鏡
G2:第二透鏡
G3:第三透鏡
G4:第四透鏡
G5:第五透鏡
G6:第六透鏡
G7:第七透鏡
G8:第八透鏡
G9:第八透鏡
G10:第十透鏡
G11:第十一透鏡
G12:第十二透鏡
G13:第十三透鏡
IS:像側
LA:光軸
OS:物側
Stop:光欄
TIR:全反射稜鏡
圖1 係本發明第一實施例之透鏡結構圖。 圖2 係本發明第二實施例之透鏡結構圖。 圖3 係本發明第三實施例之透鏡結構圖。 圖4 係本發明第四實施例之透鏡結構圖。 圖5 係本發明第五實施例之透鏡結構圖。
100:第一實施例之投影鏡頭
CG:玻璃蓋板
G1:第一透鏡
G2:第二透鏡
G3:第三透鏡
G4:第四透鏡
G5:第五透鏡
G6:第六透鏡
G7:第七透鏡
G8:第八透鏡
G9:第八透鏡
G10:第十透鏡
IS:像側
LA:光軸
OS:物側
Stop:光欄
TIR:全反射稜鏡

Claims (10)

  1. 一種微影成像投影鏡頭，具有至少10個、至多13個之多個透鏡元件及一置於其中之一光欄，係沿著一光軸排列，且包含一物側與一像側，係分置於該多個透鏡元件之前、後兩端；其特徵在於：個別靠近該物側與該像側之二個透鏡，其屈光度皆須為正；各該透鏡元件皆屬無膠合之單一透鏡；不同像高位置的主光線與該光軸之夾角<1度，且不同物高位置的主光線與該光軸之夾角<1度；以及並在350~450nm波長光線的投射下，據以提供精確放大倍率的成像效果。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之微影成像投影鏡頭，其中，靠近該物側之第一個透鏡與靠近該像側之第一個透鏡，至少一個為非雙凸透鏡。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之微影成像投影鏡頭，其中，更包括一稜鏡，係設置於該物側前方，且該光欄前、後之負透鏡，需滿足30<Vd<50之阿貝數數值，而全部透鏡元件需滿足1.45<Nd<1.75之折射率數值，且數值孔徑介於0.08~0.21。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之微影成像投影鏡頭，其中，該透鏡元件有10個，其屈光度自該像側至該物側依序為正、正、正、正、負、負、負、正、正、正，該光欄則置於該第五與該第六透鏡之間，且該第一至第五透鏡其整體焦距在35~50mm之間，該第六至第十透鏡其整體焦距在67~140mm之間，並據以產生焦距>1000mm，且放大倍率達0.25~0.75X之鏡頭。
  5. 如申請專利範圍第3項所述之微影成像投影鏡頭，其中， 該透鏡元件有12個，其屈光度自該像側至該物側依序為正、正、負、正、正、負、負、正、正、負、正、正，該光欄則置於該第六與該第七透鏡之間，且該光欄前、後之透鏡元件相互對稱，而第一至第六透鏡其整體焦距在140~165mm之間，該第七至第十二透鏡其整體焦距在72~82mm之間，並據以產生焦距>1000mm，且放大倍率達1.7~2.3X之鏡頭。
  6. 如申請專利範圍第3項所述之微影成像投影鏡頭，其中，該透鏡元件有13個，其屈光度自該像側至該物側依序為正、正、正、負、負、負、正、正、正、負、正、正、正，該光欄則置於該第十一與該第十二透鏡之間，且該第一至第十一透鏡其整體焦距在186~210mm之間，該第十二至第十三透鏡其整體焦距在78~85mm之間，並據以產生焦距>1000mm，且放大倍率達2.2~2.7X之鏡頭。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之微影成像投影鏡頭，其中，更包括一稜鏡，係設置於該物側前方，且該全部透鏡元件需滿足1.45<Nd<1.75之折射率數值，以及數值孔徑介於0.08~0.21，並據以產生焦距>1000mm之鏡頭。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之微影成像投影鏡頭，其中，更包括一稜鏡，係設置於該物側前方，且該全部透鏡元件需滿足1.45<Nd<1.75之折射率數值，以及數值孔徑介於0.08~0.21，並據以產生焦距>500mm之鏡頭。
  9. 如申請專利範圍第7項所述之微影成像投影鏡頭，其中，該透鏡元件有13個，其屈光度自該像側至該物側依序為正、正、負、正、正、正、負、負、正、正、負、正、正。
  10. 如申請專利範圍第8項所述之微影成像投影鏡頭，其中，該透鏡元件有13個，其屈光度自該像側至該物側依序為正、正、正、負、 負、正、正、負、正、正、負、正、正。
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200402557A (en) * 2002-07-11 2004-02-16 Canon Kk Projection optical system, exposure apparatus and device fabrication method
US20110013070A1 (en) * 2008-02-12 2011-01-20 Konica Minolta Opto, Inc. Lens unit, image capturing lens, image capturing device and portable terminal
CN103278913A (zh) * 2013-05-15 2013-09-04 中国科学院光电技术研究所 一种非球面光刻耦合物镜

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200402557A (en) * 2002-07-11 2004-02-16 Canon Kk Projection optical system, exposure apparatus and device fabrication method
US20110013070A1 (en) * 2008-02-12 2011-01-20 Konica Minolta Opto, Inc. Lens unit, image capturing lens, image capturing device and portable terminal
CN103278913A (zh) * 2013-05-15 2013-09-04 中国科学院光电技术研究所 一种非球面光刻耦合物镜

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