JP2002014281A - 両側テレセントリック投影光学系および該投影光学系を備えた露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ｈ線とｉ線とｇ線とに対して良好に３色色消
しされた、コントラストの高い解像度を有する、ほぼ等
倍の両側テレセントリック投影光学系。 【解決手段】 物体と像との間に配置された前方群Ｇｆ
と、前方群と像との間に配置されて、投影光学系の瞳面
に関して前方群とほぼ対称に構成された後方群Ｇｒと、
前方群と後方群との間に配置されて、瞳面に関してほぼ
対称に構成された中央群Ｇｃと、前方群と中央群との間
に配置された第１中間群Ｇｍｆと、後方群と中央群との
間に配置されて、瞳面に関して第１中間群とほぼ対称に
構成された第２中間群Ｇｍｒとを備えている。条件式
（１）〜（５）を満足する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、両側テレセントリ
ック投影光学系および該投影光学系を備えた露光装置に
関し、特に半導体素子、液晶表示素子、撮像素子（ＣＣ
Ｄなど）、薄膜磁気ヘッドなどのマイクロデバイスを製
造するためのリソグラフィ工程でマスクパターンをワー
ク上にほぼ等倍で転写するのに使用される露光装置に好
適な投影光学系に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の露光装置では、光源として、たと
えば超高圧水銀ランプを使用している。そして、超高圧
水銀ランプからの光のうち、特定の１つの輝線スペクト
ル（たとえばｇ線やｈ線やｉ線）の光を、バンドパスフ
ィルターを介して狭い半値幅の光に変換してマスクに照
射する。この場合、露光装置の投影光学系は、選択され
た１つの輝線スペクトル光の狭い波長帯で色消しされて
いる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、一括
的に露光すべき露光領域の大面積化が進むにつれて、光
源からの光エネルギを効率良く利用するために、露光光
として複数のスペクトル光を同時に利用することが望ま
れている。このように光源からの光エネルギを効率良く
利用することにより、光源の小型化やスループットの向
上を図ることができる。ただし、この場合、投影光学系
として、２つのスペクトル光に対して色消しされた光学
系すなわち２色色消し光学系、または３つのスペクトル
光に対して色消しされた光学系すなわち３色色消し光学
系（あるいは超色消し光学系）を実現する必要がある。

【０００４】従来技術では、２色色消し光学系や３色色
消し光学系が種々提案されているが、その色消し状態は
投影光学系として性能的に満足できるものではない。特
に、大面積の露光領域に対応可能な投影光学系では、そ
のスケールに応じて焦点距離が長くなり、焦点距離に比
例して軸上色収差の２次スペクトルが大きくなる。この
ため、従来のこの種の投影光学系では、ワークとしての
感光性基板に塗布されたレジスト上でシャープなエッジ
を得るのに必要なコントラストの高い解像度は実現され
ていない。

【０００５】本発明は、前述の課題に鑑みてなされたも
のであり、大面積の有効視野を確保しつつ、ｈ線の光と
ｉ線の光とｇ線の光とに対して良好に３色色消しされ
た、コントラストの高い解像度を有する、ほぼ等倍の両
側テレセントリック投影光学系を提供することを目的と
する。

【０００６】また、本発明は、大面積の有効視野を確保
しつつ、ｈ線の光とｇ線の光とに対してまたはｈ線の光
とｉ線の光とに対して良好に２色色消しされた、コント
ラストの高い解像度を有する、ほぼ等倍の両側テレセン
トリック投影光学系を提供することを目的とする。

【０００７】さらに、本発明は、上述の投影光学系を用
いて、大面積の露光領域に対応することができるととも
に、光源からの光エネルギを効率良く利用し、光源の小
型化やスループットの向上を図ることのできる露光装置
を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明では、物体側および像側の両側にほぼテレセ
ントリックな投影光学系において、前記物体と前記像と
の間に配置された前方群と、前記前方群と前記像との間
に配置されて、前記投影光学系の瞳面に関して前記前方
群とほぼ対称に構成された後方群と、前記前方群と前記
後方群との間に配置されて、前記瞳面に関してほぼ対称
に構成された中央群と、前記前方群と前記中央群との間
に配置された第１中間群と、前記後方群と前記中央群と
の間に配置されて、前記瞳面に関して前記第１中間群と
ほぼ対称に構成された第２中間群とを備え、前記前方群
の焦点距離をｆ１とし、前記投影光学系において前記物
体と前記瞳面との間に配置される光学素子からなる部分
光学系の合成焦点距離をｆとし、前記中央群内の正レン
ズのｇ線に対する屈折率をｎ_3gpとし、前記中央群内の
前記正レンズのｈ線に対する屈折率をｎ_3hpとし、前記
中央群内の前記正レンズのｉ線に対する屈折率をｎ_3ip
とし、前記中央群内の負レンズのｇ線に対する屈折率を
ｎ_3gnとし、前記中央群内の前記負レンズのｈ線に対す
る屈折率をｎ_3hnとし、前記中央群内の前記負レンズの
ｉ線に対する屈折率をｎ_3inとしたとき、 １．５＜ｆ１／ｆ＜９．０ ６１＜（ｎ_3hp−１）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＜８２ ０．６２＜（ｎ_3ip−ｎ_3hp）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＜０．６３ ４５＜（ｎ_3hn−１）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＜６２ ０．６２＜（ｎ_3in−ｎ_3hn）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＜０．６３ の条件を満足することを特徴とする投影光学系を提供す
る。

【０００９】本発明の好ましい態様によれば、前記第１
中間群内の正レンズのｇ線に対する屈折率をｎ_2gpと
し、前記第１中間群内の前記正レンズのｈ線に対する屈
折率をｎ_2hpとし、前記第１中間群内の前記正レンズの
ｉ線に対する屈折率をｎ_2ipとし、前記第１中間群内の
負レンズのｇ線に対する屈折率をｎ_2gnとし、前記第１
中間群内の前記負レンズのｈ線に対する屈折率をｎ_2hn
とし、前記第１中間群内の前記負レンズのｉ線に対する
屈折率をｎ_2inとしたとき、 ４５＜（ｎ_2hp−１）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＜８２ ０．６２＜（ｎ_2ip−ｎ_2hp）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＜０．６３ ２５＜（ｎ_2hn−１）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＜６２ ０．６２＜（ｎ_2in−ｎ_2hn）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＜０．６５ の条件を満足する。

【００１０】また、本発明の好ましい態様によれば、前
記前方群内の正レンズのｇ線に対する屈折率をｎ_1gpと
し、前記前方群内の前記正レンズのｈ線に対する屈折率
をｎ_{1 hp}とし、前記前方群内の前記正レンズのｉ線に対
する屈折率をｎ_1ipとし、前記前方群内の負レンズのｇ
線に対する屈折率をｎ_1gnとし、前記前方群内の前記負
レンズのｈ線に対する屈折率をｎ_1hnとし、前記前方群
内の前記負レンズのｉ線に対する屈折率をｎ_1inとした
とき、 ４５＜（ｎ_1hp−１）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＜８２ ０．６２＜（ｎ_1ip−ｎ_1hp）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＜０．６４ ３５＜（ｎ_1hn−１）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＜６２ ０．６２＜（ｎ_1in−ｎ_1hn）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＜０．６４ の条件を満足する。

【００１１】さらに、本発明の好ましい態様によれば、
前記前方群は、物体側から順に、負レンズと正レンズと
から構成され、前記第１中間群は、物体側から順に、正
レンズと正レンズと負レンズとから構成されている。あ
るいは、前記前方群は、物体側から順に、正レンズと負
レンズとから構成され、前記第１中間群は、物体側から
順に、正レンズと正レンズと負レンズとから構成されて
いることが好ましい。あるいは、前記前方群は、物体側
から順に、負レンズと正レンズと正レンズとから構成さ
れ、前記第１中間群は、物体側から順に、正レンズと正
レンズと負レンズとから構成されていることが好まし
い。あるいは、前記前方群は、物体側から順に、負レン
ズと正レンズと負レンズとから構成され、前記第１中間
群は、物体側から順に、正レンズと正レンズと正レンズ
と負レンズとから構成されていることが好ましい。ある
いは、前記前方群は、物体側から順に、正レンズと負レ
ンズと正レンズとから構成され、前記第１中間群は、物
体側から順に、正レンズと正レンズと正レンズと負レン
ズとから構成されていることが好ましい。あるいは、前
記前方群は、物体側から順に、正レンズと負レンズとか
ら構成され、前記第１中間群は、物体側から順に、正レ
ンズと正レンズと正レンズと負レンズとから構成されて
いることが好ましい。

【００１２】また、本発明の好ましい態様によれば、前
記中央群は、前記瞳面よりも前記物体側に配置された第
１中央サブ群と、前記瞳面よりも前記像側に配置された
第２中央サブ群とを有する。この場合、前記第１中央サ
ブ群は、物体側から順に、負レンズと正レンズと負レン
ズとから構成されていることが好ましい。あるいは、前
記第１中央サブ群は、物体側から順に、正レンズと負レ
ンズと正レンズとから構成されていることが好ましい。
あるいは、光学系の口径が大きくなると、前記第１中央
サブ群は、物体側から順に、正レンズと負レンズと正レ
ンズと負レンズとから構成されていることが好ましい。
そして、光学系全体の投影倍率を変化させるために、前
記第１中央サブ群および前記第２中央サブ群のうちの少
なくとも一方が光軸に沿って移動可能に構成されている
ことが好ましい。

【００１３】さらに、本発明の好ましい態様によれば、
前記中央群は、前記瞳面に配置された中央レンズを含む
奇数枚のレンズから構成されている。この場合、光学系
全体の投影倍率を変化させるために、前記中央群が光軸
に沿って移動可能に構成されていることが好ましい。

【００１４】また、本発明の好ましい態様によれば、光
学系全体の投影倍率を変化させるために、前記第１中間
群および前記第２中間群のうちの少なくとも一方が光軸
に沿って移動可能に構成されている。さらに、第１の光
学材料から形成されたレンズと、前記第１の光学材料と
は実質的に異なる光学特性を有する第２の光学材料から
形成されたレンズとだけから構成されていることが好ま
しい。

【００１５】また、本発明の別の局面によれば、上述の
投影光学系を介して、マスク上のパターンをワーク上へ
投影露光することを特徴とする露光装置を提供する。さ
らに、本発明の別の局面によれば、上述の投影光学系を
介して、マスク上のパターンをワーク上へ投影露光する
ことを特徴とする投影露光装方法を提供する。

【００１６】

【発明の実施の形態】本発明の投影光学系は、物体側お
よび像側の両側にほぼテレセントリックな光学系であっ
て、その瞳面に関してほぼ対称に構成された５つのレン
ズ群を備えている。すなわち、物体側から順に、前方群
Ｇｆと、第１中間群Ｇｍｆと、中央群Ｇｃと、第２中間
群Ｇｍｒと、後方群Ｇｒを備えている。ここで、投影光
学系の瞳面とは、主光線が光軸と交わる位置にある仮想
面であって、物体または像のフーリエ変換面として定義
される。したがって、瞳面に開口絞りが実際に配置され
ているといないとを問わない。

【００１７】具体的には、後方群Ｇｒは、瞳面に関して
前方群Ｇｆとほぼ対称に構成されている。また、第２中
間群Ｇｍｒは、瞳面に関して第１中間群Ｇｍｆとほぼ対
称に構成されている。一方、中央群Ｇｃは、それ自体が
瞳面に関してほぼ対称に構成された１つのレンズ群であ
ってもよいし、瞳面に関してほぼ対称に構成された２つ
のレンズ群から構成されていてもよい。すなわち、中央
群Ｇｃが１つのレンズ群で構成される場合、瞳面に配置
された中央レンズを含む奇数枚のレンズを有することに
なる。

【００１８】また、中央群Ｇｃが２つのレンズ群で構成
される場合、瞳面よりも物体側に配置された第１中央サ
ブ群Ｇｃｆと、瞳面よりも像側に配置されて瞳面に関し
て第１中央サブ群Ｇｃｆとほぼ対称に構成された第２中
央サブ群Ｇｃｒとを有することになる。この場合、本発
明の投影光学系は、その瞳面に関してほぼ対称に構成さ
れた６つのレンズ群を備えているということもできる。

【００１９】本発明では、上述の基本構成にしたがって
大面積の有効視野を確保した焦点距離の長い投影光学系
において、各レンズを形成する光学材料の分散比ν_hお
よび部分分散比θ_hをそれぞれ所定の範囲に設定するこ
とにより、ｈ線の光とｉ線の光とｇ線の光とに対する良
好な３色色消しを実現している。ここで、分散比ν_hお
よび部分分散比θ_hは、それぞれ次の式（ａ）および
（ｂ）で表される。

【００２０】 ν_h＝（ｎ_h−１）／（ｎ_i−ｎ_g） （ａ） θ_h＝（ｎ_i−ｎ_h）／（ｎ_i−ｎ_g） （ｂ） ここで、ｎ_hは基準波長光であるｈ線（λ＝４０４．７
ｎｍ）の光に対する屈折率であり、ｎ_iはｉ線（λ＝３
６５．０ｎｍ）の光に対する屈折率であり、ｎ_gはｇ線
（λ＝４３５．８ｎｍ）の光に対する屈折率である。

【００２１】以下、各条件式を参照して、本発明の投影
光学系の構成についてさらに詳細に説明する。本発明で
は、次の条件式（１）〜（５）を満足する。 １．５＜ｆ１／ｆ＜９．０ （１） ６１＜（ｎ_3hp−１）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＜８２ （２） ０．６２＜（ｎ_3ip−ｎ_3hp）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＜０．６３ （３） ４５＜（ｎ_3hn−１）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＜６２ （４） ０．６２＜（ｎ_3in−ｎ_3hn）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＜０．６３ （５）

【００２２】ここで、ｆ１は、前方群Ｇｆの焦点距離で
ある。また、ｆは、投影光学系において物体と瞳面との
間に配置される光学素子からなる部分光学系の合成焦点
距離である。換言すると、ｆは、瞳面を境界として投影
光学系を前群と後群とに分けた場合の前群の焦点距離で
ある。さらに、ｎ_3hp、ｎ_3ipおよびｎ_3gpは、中央群Ｇ
ｃ内の正レンズのｈ線、ｉ線およびｇ線に対する屈折率
である。また、ｎ_3hn、ｎ_3inおよびｎ_3gnは、中央群Ｇ
ｃ内の負レンズのｈ線、ｉ線およびｇ線に対する屈折率
である。

【００２３】条件式（１）は、前方群Ｇｆの焦点距離ｆ
１と前群の焦点距離ｆとの比について適切な範囲を規定
している。条件式（１）を満たすことにより、像面上で
の主光線の光軸に対する角度を許容値内に抑えることが
でき、投影光学系を実質的に両側テレセントリックに構
成することができる。具体的には、条件式（１）の下限
値を下回ると、主光線が像面側で光軸から離れる方向へ
の傾きが大きくなり過ぎる。条件式（１）の上限値を上
回ると、主光線が像面側で光軸に近づく方向への傾きが
大きくなり過ぎる。なお、本発明の効果をさらに良好に
発揮するには、条件式（１）の上限値を７．０に設定す
ることが好ましい。

【００２４】条件式（２）および（３）は、中央群Ｇｃ
内の正レンズの分散比ν_3hpおよび部分分散比θ_3hpにつ
いて適切な範囲を規定している。また、条件式（４）お
よび（５）は、中央群Ｇｃ内の負レンズの分散比ν_3hn
および部分分散比θ_3hnについて適切な範囲を規定して
いる。

【００２５】一般に、正レンズの分散比ν_hpの下限値が
レンズ群毎に（前方群Ｇｆと第１中間群Ｇｍｆと中央群
Ｇｃとで）異なるのは、主として軸上色収差を小さく抑
える作用への各レンズ群の寄与の度合いに関係があり、
瞳面に近いレンズ群ほど正レンズの分散比ν_hpの下限値
が大きく設定される。したがって、中央群Ｇｃでは、軸
上色収差を十分に小さく抑えるために、正レンズの分散
比ν_3hpの下限値を大きく設定している。また、各レン
ズ群において、正レンズの分散比ν_hpがその下限値を下
回ると、３色色消しと球面収差や非点収差の補正とのバ
ランスをとることが困難になる。一方、正レンズの分散
比ν_hpの上限値は、現存する光学材料の上限値に対応し
ている。

【００２６】さらに、負レンズの分散比ν_hnの下限値も
レンズ群毎に（前方群Ｇｆと第１中間群Ｇｍｆと中央群
Ｇｃとで）異なるのは、やはり主として軸上色収差の２
次スペクトルを小さく抑える作用への各レンズ群の寄与
の度合いに関係があり、一般には分散比ν_hが小さくな
るにつれて部分分散比θ_hの値が大きくなるので、瞳面
に近いレンズ群ほど負レンズの分散比ν_hnの下限値を小
さく設定することができない。したがって、中央群Ｇｃ
では、軸上色収差の２次スペクトルを十分に小さく抑え
るために、負レンズの分散比ν_3hnの下限値を小さく設
定している。

【００２７】また、一般に、部分分散比θ_hについて
は、正レンズの部分分散比θ_hpと負レンズの部分分散比
θ_hnとの差が小さいことが、軸上色収差の２次スペクト
ルを小さく抑えて３色色消しを促進する大きな作用を果
たすことになるが、瞳面に近いレンズ群ほど正レンズの
部分分散比θ_hpと負レンズの部分分散比θ_hnとの差を小
さく設定しなければならない。したがって、中央群Ｇｃ
では、軸上色収差の２次スペクトルを十分に小さく抑え
るために、正レンズの部分分散比θ_3hpと負レンズの部
分分散比θ_3hnとの差を小さく設定している。

【００２８】また、本発明では、次の条件式（６）〜
（１３）を満足することが望ましい。 ４５＜（ｎ_2hp−１）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＜８２ （６） ０．６２＜（ｎ_2ip−ｎ_2hp）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＜０．６３ （７） ２５＜（ｎ_2hn−１）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＜６２ （８） ０．６２＜（ｎ_2in−ｎ_2hn）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＜０．６５ （９）

【００２９】ここで、ｎ_2hp、ｎ_2ipおよびｎ_2gpは、第
１中間群Ｇｍｆ内の正レンズのｈ線、ｉ線およびｇ線に
対する屈折率である。また、ｎ_2hn、ｎ_2inおよびｎ_2gn
は、第１中間群Ｇｍｆ内の負レンズのｈ線、ｉ線および
ｇ線に対する屈折率である。したがって、条件式（６）
および（７）は、第１中間群Ｇｍｆ内（ひいては第２中
間群Ｇｍｒ内）の正レンズの分散比ν_2hpおよび部分分
散比θ_2hpについて適切な範囲を規定している。また、
条件式（８）および（９）は、第１中間群Ｇｍｆ内（ひ
いては第２中間群Ｇｍｒ内）の負レンズの分散比ν_2hn
および部分分散比θ_2hnについて適切な範囲を規定して
いる。

【００３０】さらに、本発明では、次の条件式（１０）
〜（１３）を満足することが望ましい。 ４５＜（ｎ_1hp−１）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＜８２ （１０） ０．６２＜（ｎ_1ip−ｎ_1hp）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＜０．６４ （１１） ３５＜（ｎ_1hn−１）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＜６２ （１２） ０．６２＜（ｎ_1in−ｎ_1hn）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＜０．６４ （１３）

【００３１】ここで、ｎ_1hp、ｎ_1ipおよびｎ_1gpは、前
方群Ｇｆ内の正レンズのｈ線、ｉ線およびｇ線に対する
屈折率である。また、ｎ_1hn、ｎ_1inおよびｎ_1gnは、前
方群Ｇｆ内の負レンズのｈ線、ｉ線およびｇ線に対する
屈折率である。したがって、条件式（１０）および（１
１）は、前方群Ｇｆ内（ひいては後方群Ｇｒ内）の正レ
ンズの分散比ν_1hpおよび部分分散比θ_1hpについて適切
な範囲を規定している。また、条件式（１２）および
（１３）は、前方群Ｇｆ内（ひいては後方群Ｇｒ内）の
負レンズの分散比ν_1hnおよび部分分散比θ_1hnについて
適切な範囲を規定している。

【００３２】前方群Ｇｆおよび第１中間群Ｇｍｆ（ひい
ては後方群Ｇｒおよび第２中間群Ｇｍｒ）では、瞳面か
らある程度離れるので、軸上色収差の２次スペクトルを
小さく抑える作用への寄与が比較的小さくなる。このた
め、前方群Ｇｆおよび第１中間群Ｇｍｆにおける正レン
ズの分散比ν_1hpおよびν_2hp、並びに負レンズの分散比
ν_1hnおよびν_2hnの下限値を比較的小さく設定すること
ができる。その結果、これらのレンズ群を構成する各レ
ンズの曲率半径を大きく設定することが可能となり、色
収差以外の諸収差補正の負担を軽減することができる。

【００３３】

【実施例】本発明の実施例を、添付図面に基づいて説明
する。各実施例において、本発明の投影光学系は、物体
側および像側の両側にほぼテレセントリックであって、
最も物体側に配置された前方群Ｇｆと、最も像側に配置
された後方群Ｇｒと、光学系の中央に配置された中央群
Ｇｃと、前方群Ｇｆと中央群Ｇｃとの間に配置された第
１中間群Ｇｍｆと、後方群Ｇｒと中央群Ｇｃとの間に配
置された第２中間群Ｇｍｒとから構成されている。

【００３４】ここで、第１７実施例を除く各実施例（第
１実施例〜第１６実施例）において、後方群Ｇｒは、投
影光学系の瞳面に関して前方群Ｇｆと対称に構成されて
いる。また、第２中間群Ｇｍｒは、瞳面に関して第１中
間群Ｇｍｆと対称に構成されている。さらに、第６実施
例および第７実施例を除く各実施例（第１実施例〜第５
実施例、および第８実施例〜第１７実施例）において、
中央群Ｇｃは、瞳面よりも物体側に配置された第１中央
サブ群Ｇｃｆと、瞳面よりも像側に配置されて瞳面に関
して第１中央サブ群Ｇｃｆと対称に構成された第２中央
サブ群Ｇｃｒとから構成されている。

【００３５】一方、第６実施例および第７実施例におい
て、中央群Ｇｃは、瞳面に配置されて瞳面に関して対称
な形状を有する中央レンズを含み、瞳面に関して対称に
構成された奇数枚（第６実施例および第７実施例では合
計５枚）のレンズから構成されている。以上のように、
第１７実施例を除く各実施例の投影光学系は、その瞳面
に関して対称に構成されており、等倍の投影倍率を有す
る。これに対し、第１７実施例では、瞳面を挟んで物体
側の部分光学系と像側の部分光学系とが瞳面に関して対
称的ではなく、１．２倍の投影倍率を有する投影光学系
となっている。

【００３６】また、各実施例において、前方群Ｇｆ、第
１中間群Ｇｍｆ、第２中間群Ｇｍｒ、および後方群Ｇｒ
のレンズ径は仕様により比較的大きくなるので、前方群
Ｇｆと第１中間群Ｇｍｆおよび第２中間群Ｇｍｒと後方
群Ｇｒとが比較的大きな間隔を隔てて配置されている。
一方、中央群Ｇｃのレンズ径は比較的小さくなるので、
第６実施例および第７実施例を除く各実施例（第１実施
例〜第５実施例、および第８実施例〜第１７実施例）で
は、各レンズを互いに貼り合わせて、第１中央サブ群Ｇ
ｃｆおよび第２中央サブ群Ｇｃｒをそれぞれ１つの３枚
接合レンズまたは４枚接合レンズで構成している。ま
た、第６実施例および第７実施例では、各レンズを互い
に貼り合わせて、中央群Ｇｃを１つの５枚接合レンズで
構成している。

【００３７】〔第１実施例〕図１は、第１実施例にかか
る投影光学系のレンズ構成を示す図である。なお、第１
実施例では、ｈ線の光とｉ線の光とｇ線の光とに対して
３色色消しされた投影光学系に本発明を適用している。
また、第１実施例の投影光学系は、２種類の光学材料か
ら形成されている。すなわち、基準波長光であるｈ線の
光に対して１．５３０２６４の屈折率を有する第１の光
学材料で形成されたレンズと、ｈ線に対して１．５０７
９４１の屈折率を有する第２の光学材料で形成されたレ
ンズとだけから構成されている。

【００３８】図１の投影光学系において、前方群Ｇｆ
は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカ
スレンズと、両凸レンズとから構成されている。また、
第１中間群Ｇｍｆは、物体側から順に、物体側に凸面を
向けた正メニスカスレンズと、物体側に凸面を向けた正
メニスカスレンズと、物体側に凸面を向けた負メニスカ
スレンズとから構成されている。さらに、第１中央サブ
群Ｇｃｆは、物体側から順に、両凹レンズと両凸レンズ
と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズとの貼り合
わせからなる１つの３枚接合レンズから構成されてい
る。

【００３９】したがって、瞳面に関する光学系の対称性
により、第２中央サブ群Ｇｃｒは、像側から順に、両凹
レンズと両凸レンズと像側に凹面を向けた負メニスカス
レンズとの貼り合わせからなる１つの３枚接合レンズか
ら構成されている。また、第２中間群Ｇｍｒは、像側か
ら順に、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズと、像
側に凸面を向けた正メニスカスレンズと、像側に凸面を
向けた負メニスカスレンズとから構成されている。さら
に、後方群Ｇｒは、像側から順に、像側に凸面を向けた
負メニスカスレンズと、両凸レンズとから構成されてい
る。

【００４０】次の表（１）に、第１実施例にかかる投影
光学系の諸元の値を掲げる。表（１）において、βは投
影倍率（全系の結像倍率）を、ＮＡは像側開口数（ただ
し物体側開口数も同じ）を、φ／２は像面上での有効視
野の半径を、ｆは前方群Ｇｆと第１中間群Ｇｍｆと第１
中央サブ群Ｇｃｆとからなる部分光学系のｈ線の光に対
する合成焦点距離を、ｆ１は前方群Ｇｆのｈ線の光に対
する焦点距離をそれぞれ表している。

【００４１】また、面番号は物体面からの各面の順序
を、ｒは各面の曲率半径（ｍｍ）を、ｄは各面の軸上間
隔すなわち面間隔（ｍｍ）を、ｎ_hはｈ線（λ＝４０
４．７ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_iはｉ線（λ＝
３６５．０ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_gはｇ線
（λ＝４３５．８ｎｍ）の光に対する屈折率をそれぞれ
示している。なお、第１５面の瞳面は、第１中央サブ群
Ｇｃｆと第１中央サブ群Ｇｃｒとの中間に位置する仮想
面である。

【００４２】

【表１】 （主要諸元） β＝−１ ＮＡ＝０．０５ φ／２＝１０７ｍｍ （光学部材諸元） 面番号 ｒ ｄ ｎ_h ｎ_i ｎ_g （物体面） 367.65144 1 1399.73860 15.70000 1.530264 1.536272 1.526703 2 463.36704 4.50000 3 536.19979 49.50000 1.507941 1.512432 1.505265 4 -395.92569 284.30261 5 173.56981 58.10000 1.507941 1.512432 1.505265 6 5487.71258 0.50000 7 128.72688 46.40000 1.507941 1.512432 1.505265 8 310.24746 7.70000 9 494.65284 11.60000 1.530264 1.536272 1.526703 10 80.39624 33.58829 11 -704.09756 7.40000 1.530264 1.536272 1.526703 12 59.54715 27.20000 1.507941 1.512432 1.505265 13 -71.31614 7.40000 1.530264 1.536272 1.526703 14 -4766.71581 1.80000 15 (瞳面) 1.80000 16 4766.71581 7.40000 1.530264 1.536272 1.526703 17 71.31614 27.20000 1.507941 1.512432 1.505265 18 -59.54715 7.40000 1.530264 1.536272 1.526703 19 704.09756 33.58829 20 -80.39624 11.60000 1.530264 1.536272 1.526703 21 -494.65284 7.70000 22 -310.24746 46.40000 1.507941 1.512432 1.505265 23 -128.72688 0.50000 24 -5487.71258 58.10000 1.507941 1.512432 1.505265 25 -173.56981 284.30261 26 395.92569 49.50000 1.507941 1.512432 1.505265 27 -536.19979 4.50000 28 -463.36704 15.70000 1.530264 1.536272 1.526703 29 -1399.73860 367.52841 30 （像面） （条件式対応値） ｆ＝３３３．７ｍｍ ｆ１＝６８４．８ｍｍ （１）ｆ１／ｆ＝２．０５ （２）ν_3hp＝（ｎ_3hp−１）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＝７０．９ （３）θ_3hp＝（ｎ_3ip−ｎ_3hp）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＝０．６２７ （４）ν_3hn＝（ｎ_3hn−１）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＝５５．４ （５）θ_3hn＝（ｎ_3in−ｎ_3hn）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＝０．６２８ （６）ν_2hp＝（ｎ_2hp−１）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝７０．９ （７）θ_2hp＝（ｎ_2ip−ｎ_2hp）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝０．６２７ （８）ν_2hn＝（ｎ_2hn−１）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＝５５．４ （９）θ_2hn＝（ｎ_2in−ｎ_2hn）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＝０．６２８ （１０）ν_1hp＝（ｎ_1hp−１）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＝７０．９ （１１）θ_1hp＝（ｎ_1ip−ｎ_1hp）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＝０．６２７ （１２）ν_1hn＝（ｎ_1hn−１）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＝５５．４ （１３）θ_1hn＝（ｎ_1in−ｎ_1hn）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＝０．６２８

【００４３】図２は、第１実施例において物体側から像
側へ光線追跡することにより得られた投影光学系の諸収
差図である。各収差図において、ＮＡは像側開口数を、
Ｙは像高を、ｈはｈ線（λ＝４０４．７ｎｍ）を、ｉは
ｉ線（λ＝３６５．０ｎｍ）を、ｇはｇ線（λ＝４３
５．８ｎｍ）をそれぞれ示している。また、非点収差図
において、実線はサジタル像面を示し、破線はメリディ
オナル像面を示している。さらに、歪曲収差図では、基
準波長光であるｈ線の光に対する歪曲収差を示してい
る。各収差図から明らかなように、第１実施例では、ｉ
線に対する焦点深度±０．０７３ｍｍ（±λ／（２・Ｎ
Ａ²）: λはｉ線の波長）に比して色収差が十分に小さ
く補正されており、良好な性能が確保されていることが
わかる。

【００４４】〔第２実施例〕図３は、第２実施例にかか
る投影光学系のレンズ構成を示す図である。なお、第２
実施例は、第１実施例と類似の構成を有し、ｈ線の光と
ｉ線の光とｇ線の光とに対して３色色消しされた投影光
学系に本発明を適用している。また、第２実施例の投影
光学系は、第１実施例と同様に、２種類の光学材料から
形成されている。しかしながら、第１実施例では第１中
央サブ群Ｇｃｆの屈折力配置が物体側から順に負・正・
負であるのに対し、第２実施例では物体側から順に正・
負・正である。

【００４５】図３の投影光学系において、前方群Ｇｆ
は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカ
スレンズと、両凸レンズとから構成されている。また、
第１中間群Ｇｍｆは、物体側から順に、物体側に凸面を
向けた正メニスカスレンズと、物体側に凸面を向けた正
メニスカスレンズと、物体側に凸面を向けた負メニスカ
スレンズとから構成されている。さらに、第１中央サブ
群Ｇｃｆは、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正
メニスカスレンズと両凹レンズと両凸レンズとの貼り合
わせからなる１つの３枚接合レンズから構成されてい
る。

【００４６】したがって、瞳面に関する光学系の対称性
により、第２中央サブ群Ｇｃｒは、像側から順に、像側
に凹面を向けた正メニスカスレンズと両凹レンズと両凸
レンズとの貼り合わせからなる１つの３枚接合レンズか
ら構成されている。また、第２中間群Ｇｍｒは、像側か
ら順に、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズと、像
側に凸面を向けた正メニスカスレンズと、像側に凸面を
向けた負メニスカスレンズとから構成されている。さら
に、後方群Ｇｒは、像側から順に、像側に凸面を向けた
負メニスカスレンズと、両凸レンズとから構成されてい
る。

【００４７】次の表（２）に、第２実施例にかかる投影
光学系の諸元の値を掲げる。表（２）において、βは投
影倍率（全系の結像倍率）を、ＮＡは像側開口数（ただ
し物体側開口数も同じ）を、φ／２は像面上での有効視
野の半径を、ｆは前方群Ｇｆと第１中間群Ｇｍｆと第１
中央サブ群Ｇｃｆとからなる部分光学系のｈ線の光に対
する合成焦点距離を、ｆ１は前方群Ｇｆのｈ線の光に対
する焦点距離をそれぞれ表している。

【００４８】また、面番号は物体面からの各面の順序
を、ｒは各面の曲率半径（ｍｍ）を、ｄは各面の軸上間
隔すなわち面間隔（ｍｍ）を、ｎ_hはｈ線（λ＝４０
４．７ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_iはｉ線（λ＝
３６５．０ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_gはｇ線
（λ＝４３５．８ｎｍ）の光に対する屈折率をそれぞれ
示している。なお、第１５面の瞳面は、第１中央サブ群
Ｇｃｆと第１中央サブ群Ｇｃｒとの中間に位置する仮想
面である。

【００４９】

【表２】 （主要諸元） β＝−１ ＮＡ＝０．０５ φ／２＝１０７ｍｍ （光学部材諸元） 面番号 ｒ ｄ ｎ_h ｎ_i ｎ_g （物体面） 367.63638 1 879.38652 15.60000 1.530264 1.536272 1.526703 2 501.32342 4.50000 3 580.82628 49.50000 1.507941 1.512432 1.505265 4 -534.48807 355.89743 5 167.10291 58.05000 1.507941 1.512432 1.505265 6 1422.02035 0.46440 7 128.65818 46.44000 1.507941 1.512432 1.505265 8 444.02746 7.70130 9 541.60478 11.61000 1.530264 1.536272 1.526703 10 76.54523 27.77980 11 -674.26643 13.61250 1.507941 1.512432 1.505265 12 -98.75643 14.85000 1.530264 1.536272 1.526703 13 54.91337 13.61250 1.507941 1.512432 1.505265 14 -2263.40296 1.80000 15 （瞳面） 1.80000 16 2263.40296 13.61250 1.507941 1.512432 1.505265 17 -54.91337 14.85000 1.530264 1.536272 1.526703 18 98.75643 13.61250 1.507941 1.512432 1.505265 19 674.26643 27.77980 20 -76.54523 11.61000 1.530264 1.536272 1.526703 21 -541.60478 7.70130 22 -444.02746 46.44000 1.507941 1.512432 1.505265 23 -128.65818 0.46440 24 -1422.02035 58.05000 1.507941 1.512432 1.505265 25 -167.10291 355.89743 26 534.48807 49.50000 1.507941 1.512432 1.505265 27 -580.82628 4.50000 28 -501.32342 15.60000 1.530264 1.536272 1.526703 29 -879.38652 367.60646 30 （像面） （条件式対応値） ｆ＝３６６．７ｍｍ ｆ１＝７３７．５ｍｍ （１）ｆ１／ｆ＝２．０１ （２）ν_3hp＝（ｎ_3hp−１）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＝７０．９ （３）θ_3hp＝（ｎ_3ip−ｎ_3hp）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＝０．６２７ （４）ν_3hn＝（ｎ_3hn−１）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＝５５．４ （５）θ_3hn＝（ｎ_3in−ｎ_3hn）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＝０．６２８ （６）ν_2hp＝（ｎ_2hp−１）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝７０．９ （７）θ_2hp＝（ｎ_2ip−ｎ_2hp）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝０．６２７ （８）ν_2hn＝（ｎ_2hn−１）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＝５５．４ （９）θ_2hn＝（ｎ_2in−ｎ_2hn）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＝０．６２８ （１０）ν_1hp＝（ｎ_1hp−１）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＝７０．９ （１１）θ_1hp＝（ｎ_1ip−ｎ_1hp）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＝０．６２７ （１２）ν_1hn＝（ｎ_1hn−１）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＝５５．４ （１３）θ_1hn＝（ｎ_1in−ｎ_1hn）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＝０．６２８

【００５０】図４は、第２実施例において物体側から像
側へ光線追跡することにより得られた投影光学系の諸収
差図である。各収差図において、ＮＡは像側開口数を、
Ｙは像高を、ｈはｈ線（λ＝４０４．７ｎｍ）を、ｉは
ｉ線（λ＝３６５．０ｎｍ）を、ｇはｇ線（λ＝４３
５．８ｎｍ）をそれぞれ示している。また、非点収差図
において、実線はサジタル像面を示し、破線はメリディ
オナル像面を示している。さらに、歪曲収差図では、基
準波長光であるｈ線の光に対する歪曲収差を示してい
る。各収差図から明らかなように、第２実施例では、第
１実施例と同様に、３色の色消しがバランス良くなされ
ており、良好な性能が確保されていることがわかる。

【００５１】〔第３実施例〕図５は、第３実施例にかか
る投影光学系のレンズ構成を示す図である。なお、第３
実施例は、第１実施例と類似の構成を有し、ｈ線の光と
ｉ線の光とｇ線の光とに対して３色色消しされた投影光
学系に本発明を適用している。また、第３実施例の投影
光学系は、第１実施例と同様に、２種類の光学材料から
形成されている。しかしながら、第１実施例では前方群
Ｇｆの屈折力配置が物体側から順に負・正であるのに対
し、第３実施例では物体側から順に正・負である。

【００５２】図５の投影光学系において、前方群Ｇｆ
は、物体側から順に、両凸レンズと、物体側に凹面を向
けた負メニスカスレンズとから構成されている。また、
第１中間群Ｇｍｆは、物体側から順に、物体側に凸面を
向けた正メニスカスレンズと、物体側に凸面を向けた正
メニスカスレンズと、物体側に凸面を向けた負メニスカ
スレンズとから構成されている。さらに、第１中央サブ
群Ｇｃｆは、物体側から順に、両凹レンズと両凸レンズ
と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズとの貼り合
わせからなる１つの３枚接合レンズから構成されてい
る。

【００５３】したがって、瞳面に関する光学系の対称性
により、第２中央サブ群Ｇｃｒは、像側から順に、両凹
レンズと両凸レンズと像側に凹面を向けた負メニスカス
レンズとの貼り合わせからなる１つの３枚接合レンズか
ら構成されている。また、第２中間群Ｇｍｒは、像側か
ら順に、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズと、像
側に凸面を向けた正メニスカスレンズと、像側に凸面を
向けた負メニスカスレンズとから構成されている。さら
に、後方群Ｇｒは、像側から順に、両凸レンズと、像側
に凹面を向けた負メニスカスレンズとから構成されてい
る。

【００５４】次の表（３）に、第３実施例にかかる投影
光学系の諸元の値を掲げる。表（３）において、βは投
影倍率（全系の結像倍率）を、ＮＡは像側開口数（ただ
し物体側開口数も同じ）を、φ／２は像面上での有効視
野の半径を、ｆは前方群Ｇｆと第１中間群Ｇｍｆと第１
中央サブ群Ｇｃｆとからなる部分光学系のｈ線の光に対
する合成焦点距離を、ｆ１は前方群Ｇｆのｈ線の光に対
する焦点距離をそれぞれ表している。

【００５５】また、面番号は物体面からの各面の順序
を、ｒは各面の曲率半径（ｍｍ）を、ｄは各面の軸上間
隔すなわち面間隔（ｍｍ）を、ｎ_hはｈ線（λ＝４０
４．７ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_iはｉ線（λ＝
３６５．０ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_gはｇ線
（λ＝４３５．８ｎｍ）の光に対する屈折率をそれぞれ
示している。なお、第１５面の瞳面は、第１中央サブ群
Ｇｃｆと第１中央サブ群Ｇｃｒとの中間に位置する仮想
面である。

【００５６】

【表３】 （主要諸元） β＝−１ ＮＡ＝０．０５ φ／２＝１０７ｍｍ （光学部材諸元） 面番号 ｒ ｄ ｎ_h ｎ_i ｎ_g （物体面） 367.65400 1 810.43216 49.50000 1.507941 1.512432 1.505265 2 -489.94016 4.50000 3 -429.52041 15.66000 1.530264 1.536272 1.526703 4 -559.16829 348.95844 5 168.44849 58.05000 1.507941 1.512432 1.505265 6 1391.54060 0.46440 7 123.00733 46.44000 1.507941 1.512432 1.505265 8 359.75135 7.70130 9 550.15630 11.61000 1.530264 1.536272 1.526703 10 76.03917 29.59413 11 -840.49466 7.42500 1.530264 1.536272 1.526703 12 58.80416 27.22500 1.507941 1.512432 1.505265 13 -92.62852 7.42500 1.530264 1.536272 1.526703 14 -1843.33722 1.80000 15 （瞳面） 1.80000 16 1843.33722 7.42500 1.530264 1.536272 1.526703 17 92.62852 27.22500 1.507941 1.512432 1.505265 18 -58.80416 7.42500 1.530264 1.536272 1.526703 19 840.49466 29.59413 20 -76.03917 11.61000 1.530264 1.536272 1.526703 21 -550.15630 7.70130 22 -359.75135 46.44000 1.507941 1.512432 1.505265 23 -123.00733 0.46440 24 -1391.54060 58.05000 1.507941 1.512432 1.505265 25 -168.44849 348.95844 26 559.16829 15.66000 1.530264 1.536272 1.526703 27 429.52041 4.50000 28 489.94016 49.50000 1.507941 1.512432 1.505265 29 -810.43216 367.67219 30 （像面） （条件式対応値） ｆ＝３６６．９ｍｍ ｆ１＝７３５．５ｍｍ （１）ｆ１／ｆ＝２．０ （２）ν_3hp＝（ｎ_3hp−１）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＝７０．９ （３）θ_3hp＝（ｎ_3ip−ｎ_3hp）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＝０．６２７ （４）ν_3hn＝（ｎ_3hn−１）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＝５５．４ （５）θ_3hn＝（ｎ_3in−ｎ_3hn）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＝０．６２８ （６）ν_2hp＝（ｎ_2hp−１）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝７０．９ （７）θ_2hp＝（ｎ_2ip−ｎ_2hp）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝０．６２７ （８）ν_2hn＝（ｎ_2hn−１）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＝５５．４ （９）θ_2hn＝（ｎ_2in−ｎ_2hn）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＝０．６２８ （１０）ν_1hp＝（ｎ_1hp−１）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＝７０．９ （１１）θ_1hp＝（ｎ_1ip−ｎ_1hp）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＝０．６２７ （１２）ν_1hn＝（ｎ_1hn−１）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＝５５．４ （１３）θ_1hn＝（ｎ_1in−ｎ_1hn）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＝０．６２８

【００５７】図６は、第３実施例において物体側から像
側へ光線追跡することにより得られた投影光学系の諸収
差図である。各収差図において、ＮＡは像側開口数を、
Ｙは像高を、ｈはｈ線（λ＝４０４．７ｎｍ）を、ｉは
ｉ線（λ＝３６５．０ｎｍ）を、ｇはｇ線（λ＝４３
５．８ｎｍ）をそれぞれ示している。また、非点収差図
において、実線はサジタル像面を示し、破線はメリディ
オナル像面を示している。さらに、歪曲収差図では、基
準波長光であるｈ線の光に対する歪曲収差を示してい
る。各収差図から明らかなように、第３実施例では、第
１実施例と同様に、３色の光に対する収差がバランス良
く補正されており、良好な性能が確保されていることが
わかる。

【００５８】〔第４実施例〕図７は、第４実施例にかか
る投影光学系のレンズ構成を示す図である。なお、第４
実施例は、第１実施例と類似の構成を有し、ｈ線の光と
ｉ線の光とｇ線の光とに対して３色色消しされた投影光
学系に本発明を適用している。しかしながら、第４実施
例では、ｈ線に対して１．４４１４９８の屈折率を有す
る蛍石およびｈ線に対して１．４６９６５８の屈折率を
有する石英を、第３の光学材料および第４の光学材料と
して導入している。すなわち、第４実施例の投影光学系
は、第１実施例とは異なり、４種類の光学材料から形成
されている。

【００５９】具体的には、第１中間群Ｇｍｆおよび第２
中間群Ｇｍｒ内の２つの正レンズのうち、瞳面側の正レ
ンズを蛍石で形成している。また、第１中間群Ｇｍｆお
よび第２中間群Ｇｍｒ内の負レンズを石英で形成してい
る。さらに、第１中央サブ群Ｇｃｆおよび第２中央サブ
群Ｇｃｒ内の正レンズを蛍石で形成している。また、第
１中央サブ群Ｇｃｆおよび第２中央サブ群Ｇｃｒ内の２
つの負レンズを石英で形成している。

【００６０】図７の投影光学系において、前方群Ｇｆ
は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカ
スレンズと、両凸レンズとから構成されている。また、
第１中間群Ｇｍｆは、物体側から順に、物体側に凸面を
向けた正メニスカスレンズと、物体側に凸面を向けた正
メニスカスレンズと、物体側に凸面を向けた負メニスカ
スレンズとから構成されている。さらに、第１中央サブ
群Ｇｃｆは、物体側から順に、両凹レンズと両凸レンズ
と両凹レンズとの貼り合わせからなる１つの３枚接合レ
ンズから構成されている。

【００６１】したがって、瞳面に関する光学系の対称性
により、第２中央サブ群Ｇｃｒは、像側から順に、両凹
レンズと両凸レンズと両凹レンズとの貼り合わせからな
る１つの３枚接合レンズから構成されている。また、第
２中間群Ｇｍｒは、像側から順に、像側に凸面を向けた
正メニスカスレンズと、像側に凸面を向けた正メニスカ
スレンズと、像側に凸面を向けた負メニスカスレンズと
から構成されている。さらに、後方群Ｇｒは、像側から
順に、像側に凸面を向けた負メニスカスレンズと、両凸
レンズとから構成されている。

【００６２】次の表（４）に、第４実施例にかかる投影
光学系の諸元の値を掲げる。表（４）において、βは投
影倍率（全系の結像倍率）を、ＮＡは像側開口数（ただ
し物体側開口数も同じ）を、φ／２は像面上での有効視
野の半径を、ｆは前方群Ｇｆと第１中間群Ｇｍｆと第１
中央サブ群Ｇｃｆとからなる部分光学系のｈ線の光に対
する合成焦点距離を、ｆ１は前方群Ｇｆのｈ線の光に対
する焦点距離をそれぞれ表している。

【００６３】また、面番号は物体面からの各面の順序
を、ｒは各面の曲率半径（ｍｍ）を、ｄは各面の軸上間
隔すなわち面間隔（ｍｍ）を、ｎ_hはｈ線（λ＝４０
４．７ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_iはｉ線（λ＝
３６５．０ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_gはｇ線
（λ＝４３５．８ｎｍ）の光に対する屈折率をそれぞれ
示している。なお、第１５面の瞳面は、第１中央サブ群
Ｇｃｆと第２中央サブ群Ｇｃｒとの中間に位置する仮想
面である。

【００６４】

【表４】 （主要諸元） β＝−１ ＮＡ＝０．０５ φ／２＝１０７ｍｍ （光学部材諸元） 面番号 ｒ ｄ ｎ_h ｎ_i ｎ_g （物体面） 429.99451 1 1203.45218 15.66000 1.530264 1.536272 1.526703 2 470.00340 4.50000 3 505.89677 60.00000 1.507941 1.512432 1.505265 4 -491.84496 347.36636 5 180.81371 58.05000 1.507941 1.512432 1.505265 6 877.83296 0.46440 7 122.86945 46.44000 1.441498 1.444874 1.439477 8 366.94569 7.70130 9 360.06380 11.61000 1.469658 1.474552 1.466735 10 80.78027 37.69452 11 -2481.57057 7.42500 1.469658 1.474552 1.466735 12 51.21803 27.22500 1.441498 1.444874 1.439477 13 -138.29334 7.42500 1.469658 1.474552 1.466735 14 703.90545 1.80000 15 （瞳面） 1.80000 16 -703.90545 7.42500 1.469658 1.474552 1.466735 17 138.29334 27.22500 1.441498 1.444874 1.439477 18 -51.21803 7.42500 1.469658 1.474552 1.466735 19 2481.57057 37.69452 20 -80.78027 11.61000 1.469658 1.474552 1.466735 21 -360.06380 7.70130 22 -366.94569 46.44000 1.441498 1.444874 1.439477 23 -122.86945 0.46440 24 -877.83296 58.05000 1.507941 1.512432 1.505265 25 -180.81371 347.36636 26 491.84496 60.00000 1.507941 1.512432 1.505265 27 -505.89677 4.50000 28 -470.00340 15.66000 1.530264 1.536272 1.526703 29 -1203.45218 429.81833 30 （像面） （条件式対応値） ｆ＝３８０．２ｍｍ ｆ１＝７４７．３ｍｍ （１）ｆ１／ｆ＝１．９７ （２）ν_3hp＝（ｎ_3hp−１）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＝８１．８ （３）θ_3hp＝（ｎ_3ip−ｎ_3hp）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＝０．６２６ （４）ν_3hn＝（ｎ_3hn−１）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＝６０．１ （５）θ_3hn＝（ｎ_3in−ｎ_3hn）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＝０．６２６ （６）ν_2hp＝（ｎ_2hp−１）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝７０．９（物体側および像側 ） ν_2hp＝（ｎ_2hp−１）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝８１．８（瞳面側） （７）θ_2hp＝（ｎ_2ip−ｎ_2hp）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝０．６２７（物体側およ び像側） θ_2hp＝（ｎ_2ip−ｎ_2hp）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝０．６２６（瞳面側） （８）ν_2hn＝（ｎ_2hn−１）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＝６０．１ （９）θ_2hn＝（ｎ_2in−ｎ_2hn）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＝０．６２６ （１０）ν_1hp＝（ｎ_1hp−１）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＝７０．９ （１１）θ_1hp＝（ｎ_1ip−ｎ_1hp）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＝０．６２７ （１２）ν_1hn＝（ｎ_1hn−１）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＝５５．４ （１３）θ_1hn＝（ｎ_1in−ｎ_1hn）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＝０．６２８

【００６５】図８は、第４実施例において物体側から像
側へ光線追跡することにより得られた投影光学系の諸収
差図である。各収差図において、ＮＡは像側開口数を、
Ｙは像高を、ｈはｈ線（λ＝４０４．７ｎｍ）を、ｉは
ｉ線（λ＝３６５．０ｎｍ）を、ｇはｇ線（λ＝４３
５．８ｎｍ）をそれぞれ示している。また、非点収差図
において、実線はサジタル像面を示し、破線はメリディ
オナル像面を示している。さらに、歪曲収差図では、基
準波長光であるｈ線の光に対する歪曲収差を示してい
る。各収差図から明らかなように、第４実施例では、第
１実施例と同様に、３色の光に対する収差がバランス良
く補正されており、良好な性能が確保されていることが
わかる。

【００６６】〔第５実施例〕図９は、第５実施例にかか
る投影光学系のレンズ構成を示す図である。なお、第５
実施例は、第１実施例と類似の構成を有し、ｈ線の光と
ｉ線の光とｇ線の光とに対して３色色消しされた投影光
学系に本発明を適用している。しかしながら、第５実施
例では、屈折率が高く（ｈ線に対して１．６１９８５０
の屈折率）分散の小さい光学材料を、前方群Ｇｆおよび
後方群Ｇｒの負レンズに導入している。第５実施例の投
影光学系は、第１実施例とは異なり、４種類の光学材料
から形成されている。

【００６７】図９の投影光学系において、前方群Ｇｆ
は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカ
スレンズと、両凸レンズとから構成されている。また、
第１中間群Ｇｍｆは、物体側から順に、物体側に凸面を
向けた正メニスカスレンズと、物体側に凸面を向けた正
メニスカスレンズと、物体側に凸面を向けた負メニスカ
スレンズとから構成されている。さらに、第１中央サブ
群Ｇｃｆは、物体側から順に、両凹レンズと両凸レンズ
と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズとの貼り合
わせからなる１つの３枚接合レンズから構成されてい
る。

【００６８】したがって、瞳面に関する光学系の対称性
により、第２中央サブ群Ｇｃｒは、像側から順に、両凹
レンズと両凸レンズと像側に凹面を向けた負メニスカス
レンズとの貼り合わせからなる１つの３枚接合レンズか
ら構成されている。また、第２中間群Ｇｍｒは、像側か
ら順に、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズと、像
側に凸面を向けた正メニスカスレンズと、像側に凸面を
向けた負メニスカスレンズとから構成されている。さら
に、後方群Ｇｒは、像側から順に、像側に凸面を向けた
負メニスカスレンズと、両凸レンズとから構成されてい
る。

【００６９】次の表（５）に、第５実施例にかかる投影
光学系の諸元の値を掲げる。表（５）において、βは投
影倍率（全系の結像倍率）を、ＮＡは像側開口数（ただ
し物体側開口数も同じ）を、φ／２は像面上での有効視
野の半径を、ｆは前方群Ｇｆと第１中間群Ｇｍｆと第１
中央サブ群Ｇｃｆとからなる部分光学系のｈ線の光に対
する合成焦点距離を、ｆ１は前方群Ｇｆのｈ線の光に対
する焦点距離をそれぞれ表している。

【００７０】また、面番号は物体面からの各面の順序
を、ｒは各面の曲率半径（ｍｍ）を、ｄは各面の軸上間
隔すなわち面間隔（ｍｍ）を、ｎ_hはｈ線（λ＝４０
４．７ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_iはｉ線（λ＝
３６５．０ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_gはｇ線
（λ＝４３５．８ｎｍ）の光に対する屈折率をそれぞれ
示している。なお、第１５面の瞳面は、第１中央サブ群
Ｇｃｆと第２中央サブ群Ｇｃｒとの中間に位置する仮想
面である。

【００７１】

【表５】 （主要諸元） β＝−１ ＮＡ＝０．０５ φ／２＝１０７ｍｍ （光学部材諸元） 面番号 ｒ ｄ ｎ_h ｎ_i ｎ_g （物体面） 367.65736 1 1662.40705 15.66000 1.619850 1.627430 1.615390 2 476.82084 4.50000 3 508.20625 49.50000 1.498960 1.504040 1.495940 4 -403.00496 344.87271 5 167.74629 58.05000 1.507270 1.511850 1.504550 6 3501.22548 0.46440 7 129.32297 46.44000 1.507270 1.511850 1.504550 8 295.96916 7.70130 9 460.85812 11.61000 1.529730 1.535740 1.526190 10 81.43218 34.56763 11 -809.11136 7.42500 1.529730 1.535740 1.526190 12 55.03552 27.22500 1.507270 1.511850 1.504550 13 -59.37919 7.42500 1.529730 1.535740 1.526190 14 -11197.04351 1.80000 15 （瞳面） 1.80000 16 11197.04351 7.42500 1.529730 1.535740 1.526190 17 59.37919 27.22500 1.507270 1.511850 1.504550 18 -55.03552 7.42500 1.529730 1.535740 1.526190 19 809.11136 34.56763 20 -81.43218 11.61000 1.529730 1.535740 1.526190 21 -460.85812 7.70130 22 -295.96916 46.44000 1.507270 1.511850 1.504550 23 -129.32297 0.46440 24 -3501.22548 58.05000 1.507270 1.511850 1.504550 25 -167.74629 344.87271 26 403.00496 49.50000 1.498960 1.504040 1.495940 27 -508.20625 4.50000 28 -476.82084 15.66000 1.619850 1.627430 1.615390 29 -1662.40705 367.65624 30 （像面） （条件式対応値） ｆ＝３６１．３ｍｍ ｆ１＝７７１．５ｍｍ （１）ｆ１／ｆ＝２．１４ （２）ν_3hp＝（ｎ_3hp−１）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＝６９．５ （３）θ_3hp＝（ｎ_3ip−ｎ_3hp）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＝０．６２７ （４）ν_3hn＝（ｎ_3hn−１）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＝５５．５ （５）θ_3hn＝（ｎ_3in−ｎ_3hn）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＝０．６２９ （６）ν_2hp＝（ｎ_2hp−１）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝６９．５ （７）θ_2hp＝（ｎ_2ip−ｎ_2hp）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝０．６２７ （８）ν_2hn＝（ｎ_2hn−１）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＝５５．５ （９）θ_2hn＝（ｎ_2in−ｎ_2hn）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＝０．６２９ （１０）ν_1hp＝（ｎ_1hp−１）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＝６１．６ （１１）θ_1hp＝（ｎ_1ip−ｎ_1hp）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＝０．６２７ （１２）ν_1hn＝（ｎ_1hn−１）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＝５１．５ （１３）θ_1hn＝（ｎ_1in−ｎ_1hn）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＝０．６３０

【００７２】図１０は、第５実施例において物体側から
像側へ光線追跡することにより得られた投影光学系の諸
収差図である。各収差図において、ＮＡは像側開口数
を、Ｙは像高を、ｈはｈ線（λ＝４０４．７ｎｍ）を、
ｉはｉ線（λ＝３６５．０ｎｍ）を、ｇはｇ線（λ＝４
３５．８ｎｍ）をそれぞれ示している。また、非点収差
図において、実線はサジタル像面を示し、破線はメリデ
ィオナル像面を示している。さらに、歪曲収差図では、
基準波長光であるｈ線の光に対する歪曲収差を示してい
る。各収差図から明らかなように、第５実施例では、第
１実施例とは異なり、色収差の幅が焦点深度の限界に近
くなっているが、ある程度良好な性能が確保されている
ことがわかる。

【００７３】〔第６実施例〕図１１は、第６実施例にか
かる投影光学系のレンズ構成を示す図である。なお、第
６実施例は、第１実施例と類似の構成を有し、ｈ線の光
とｉ線の光とｇ線の光とに対して３色色消しされた投影
光学系に本発明を適用している。しかしながら、第１実
施例では中央群Ｇｃが間隔を隔てて配置された２つの３
枚接合レンズから構成されているのに対し、第６実施例
では中央群Ｇｃが１つの５枚接合レンズから構成されて
いる。また、第６実施例の投影光学系は、第１実施例と
同様に、２種類の光学材料から形成されている。

【００７４】図１１の投影光学系において、前方群Ｇｆ
は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカ
スレンズと、両凸レンズとから構成されている。また、
第１中間群Ｇｍｆは、物体側から順に、物体側に凸面を
向けた正メニスカスレンズと、物体側に凸面を向けた正
メニスカスレンズと、物体側に凸面を向けた負メニスカ
スレンズとから構成されている。さらに、中央群Ｇｃ
は、物体側から順に、両凹レンズと両凸レンズと両凹レ
ンズ（中央レンズ）と両凸レンズと両凹レンズとの貼り
合わせからなる１つの５枚接合レンズから構成されてい
る。

【００７５】したがって、瞳面に関する光学系の対称性
により、第２中間群Ｇｍｒは、像側から順に、像側に凸
面を向けた正メニスカスレンズと、像側に凸面を向けた
正メニスカスレンズと、像側に凸面を向けた負メニスカ
スレンズとから構成されている。さらに、後方群Ｇｒ
は、像側から順に、像側に凸面を向けた負メニスカスレ
ンズと、両凸レンズとから構成されている。

【００７６】次の表（６）に、第６実施例にかかる投影
光学系の諸元の値を掲げる。表（６）において、βは投
影倍率（全系の結像倍率）を、ＮＡは像側開口数（ただ
し物体側開口数も同じ）を、φ／２は像面上での有効視
野の半径を、ｆは前方群Ｇｆと第１中間群Ｇｍｆと中央
群Ｇｃの物体側半分とからなる部分光学系のｈ線の光に
対する合成焦点距離を、ｆ１は前方群Ｇｆのｈ線の光に
対する焦点距離をそれぞれ表している。

【００７７】また、面番号は物体面からの各面の順序
を、ｒは各面の曲率半径（ｍｍ）を、ｄは各面の軸上間
隔すなわち面間隔（ｍｍ）を、ｎ_hはｈ線（λ＝４０
４．７ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_iはｉ線（λ＝
３６５．０ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_gはｇ線
（λ＝４３５．８ｎｍ）の光に対する屈折率をそれぞれ
示している。なお、第１４面の瞳面は、中央群Ｇｃの中
央レンズである両凹レンズの中間に位置する仮想面であ
る。したがって、上述の中央群Ｇｃの物体側半分とは、
物体側から順に、両凹レンズと両凸レンズと像側に平面
（瞳面に一致）を向けた平凹レンズとの貼り合わせから
なる仮想的な３枚接合レンズである。

【００７８】

【表６】 （主要諸元） β＝−１ ＮＡ＝０．０５ φ／２＝１０７ｍｍ （光学部材諸元） 面番号 ｒ ｄ ｎ_h ｎ_i ｎ_g （物体面） 367.65002 1 1537.25181 15.70000 1.530264 1.536272 1.526703 2 464.99841 4.50000 3 535.10523 49.50000 1.507941 1.512432 1.505265 4 -398.98281 284.48111 5 171.84332 58.10000 1.507941 1.512432 1.505265 6 5116.76213 0.50000 7 128.30280 46.40000 1.507941 1.512432 1.505265 8 295.72920 7.70000 9 499.88034 11.60000 1.530264 1.536272 1.526703 10 79.98916 35.48049 11 -1000.20380 7.40000 1.530264 1.536272 1.526703 12 67.73042 27.20000 1.507941 1.512432 1.505265 13 -62.92300 7.40000 1.530264 1.536272 1.526703 14 （瞳面） 7.40000 1.530264 1.536272 1.526703 15 62.92300 27.20000 1.507941 1.512432 1.505265 16 -67.73042 7.40000 1.530264 1.536272 1.526703 17 1000.20382 35.48049 18 -79.98916 11.60000 1.530264 1.536272 1.526703 19 -499.88034 7.70000 20 -295.72920 46.40000 1.507941 1.512432 1.505265 21 -128.30280 0.50000 22 -5116.76210 58.10000 1.507941 1.512432 1.505265 23 -171.84332 284.48111 24 398.98281 49.50000 1.507941 1.512432 1.505265 25 -535.10523 4.50000 26 -464.99841 15.70000 1.530264 1.536272 1.526703 27 -1537.25180 367.64309 28 （像面） （条件式対応値） ｆ＝３３５．０ｍｍ ｆ１＝６８７．４ｍｍ （１）ｆ１／ｆ＝２．０５ （２）ν_3hp＝（ｎ_3hp−１）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＝７０．９ （３）θ_3hp＝（ｎ_3ip−ｎ_3hp）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＝０．６２７ （４）ν_3hn＝（ｎ_3hn−１）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＝５５．４ （５）θ_3hn＝（ｎ_3in−ｎ_3hn）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＝０．６２８ （６）ν_2hp＝（ｎ_2hp−１）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝７０．９ （７）θ_2hp＝（ｎ_2ip−ｎ_2hp）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝０．６２７ （８）ν_2hn＝（ｎ_2hn−１）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＝５５．４ （９）θ_2hn＝（ｎ_2in−ｎ_2hn）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＝０．６２８ （１０）ν_1hp＝（ｎ_1hp−１）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＝７０．９ （１１）θ_1hp＝（ｎ_1ip−ｎ_1hp）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＝０．６２７ （１２）ν_1hn＝（ｎ_1hn−１）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＝５５．４ （１３）θ_1hn＝（ｎ_1in−ｎ_1hn）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＝０．６２８

【００７９】図１２は、第６実施例において物体側から
像側へ光線追跡することにより得られた投影光学系の諸
収差図である。各収差図において、ＮＡは像側開口数
を、Ｙは像高を、ｈはｈ線（λ＝４０４．７ｎｍ）を、
ｉはｉ線（λ＝３６５．０ｎｍ）を、ｇはｇ線（λ＝４
３５．８ｎｍ）をそれぞれ示している。また、非点収差
図において、実線はサジタル像面を示し、破線はメリデ
ィオナル像面を示している。さらに、歪曲収差図では、
基準波長光であるｈ線の光に対する歪曲収差を示してい
る。各収差図から明らかなように、第６実施例では、第
１実施例と同様に、色収差が十分に小さく補正されてお
り、良好な性能が確保されていることがわかる。

【００８０】〔第７実施例〕図１３は、第７実施例にか
かる投影光学系のレンズ構成を示す図である。なお、第
７実施例は、第２実施例と類似の構成を有し、ｈ線の光
とｉ線の光とｇ線の光とに対して３色色消しされた投影
光学系に本発明を適用している。しかしながら、第２実
施例では中央群Ｇｃが間隔を隔てて配置された２つの３
枚接合レンズから構成されているのに対し、第７実施例
では第６実施例と同様に中央群Ｇｃが１つの５枚接合レ
ンズから構成されている。また、第７実施例の投影光学
系は、第２実施例や第６実施例と同様に、２種類の光学
材料から形成されている。

【００８１】図１３の投影光学系において、前方群Ｇｆ
は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカ
スレンズと、両凸レンズとから構成されている。また、
第１中間群Ｇｍｆは、物体側から順に、物体側に凸面を
向けた正メニスカスレンズと、物体側に凸面を向けた正
メニスカスレンズと、物体側に凸面を向けた負メニスカ
スレンズとから構成されている。さらに、中央群Ｇｃ
は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカ
スレンズと両凹レンズと両凸レンズ（中央レンズ）と両
凹レンズと像側に凹面を向けた正メニスカスレンズとの
貼り合わせからなる１つの５枚接合レンズから構成され
ている。

【００８２】したがって、瞳面に関する光学系の対称性
により、第２中間群Ｇｍｒは、像側から順に、像側に凸
面を向けた正メニスカスレンズと、像側に凸面を向けた
正メニスカスレンズと、像側に凸面を向けた負メニスカ
スレンズとから構成されている。さらに、後方群Ｇｒ
は、像側から順に、像側に凸面を向けた負メニスカスレ
ンズと、両凸レンズとから構成されている。

【００８３】次の表（７）に、第７実施例にかかる投影
光学系の諸元の値を掲げる。表（７）において、βは投
影倍率（全系の結像倍率）を、ＮＡは像側開口数（ただ
し物体側開口数も同じ）を、φ／２は像面上での有効視
野の半径を、ｆは前方群Ｇｆと第１中間群Ｇｍｆと中央
群Ｇｃの物体側半分とからなる部分光学系のｈ線の光に
対する合成焦点距離を、ｆ１は前方群Ｇｆのｈ線の光に
対する焦点距離をそれぞれ表している。

【００８４】また、面番号は物体面からの各面の順序
を、ｒは各面の曲率半径（ｍｍ）を、ｄは各面の軸上間
隔すなわち面間隔（ｍｍ）を、ｎ_hはｈ線（λ＝４０
４．７ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_iはｉ線（λ＝
３６５．０ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_gはｇ線
（λ＝４３５．８ｎｍ）の光に対する屈折率をそれぞれ
示している。なお、第１４面の瞳面は、中央群Ｇｃの中
央レンズである両凸レンズの中間に位置する仮想面であ
る。したがって、上述の中央群Ｇｃの物体側半分とは、
物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレ
ンズと両凹レンズと像側に平面（瞳面に一致）を向けた
平凸レンズとの貼り合わせからなる仮想的な３枚接合レ
ンズである。

【００８５】

【表７】 （主要諸元） β＝−１ ＮＡ＝０．０５ φ／２＝１０７ｍｍ （光学部材諸元） 面番号 ｒ ｄ ｎ_h ｎ_i ｎ_g （物体面） 394.99988 1 1315.54776 15.60000 1.530264 1.536272 1.526703 2 525.54619 4.50000 3 587.83790 49.50000 1.507941 1.512432 1.505265 4 -477.32750 363.87085 5 175.53614 58.10000 1.507941 1.512432 1.505265 6 1390.79443 0.50000 7 131.43877 46.40000 1.507941 1.512432 1.505265 8 493.92512 7.70000 9 588.66506 11.60000 1.530264 1.536272 1.526703 10 80.42228 36.76005 11 -786.74462 13.60000 1.507941 1.512432 1.505265 12 -107.52492 14.80000 1.530264 1.536272 1.526703 13 56.92098 13.60000 1.507941 1.512432 1.505265 14 （瞳面） 13.60000 1.507941 1.512432 1.505265 15 -56.92098 14.80000 1.530264 1.536272 1.526703 16 107.52492 13.60000 1.507941 1.512432 1.505265 17 786.74462 36.76005 18 -80.42228 11.60000 1.530264 1.536272 1.526703 19 -588.66506 7.70000 20 -493.92512 46.40000 1.507941 1.512432 1.505265 21 -131.43877 0.50000 22 -1390.79440 58.10000 1.507941 1.512432 1.505265 23 -175.53614 363.87085 24 477.32750 49.50000 1.507941 1.512432 1.505265 25 -587.83790 4.50000 26 -525.54619 15.60000 1.530264 1.536272 1.526703 27 -1315.54780 394.99611 28 （像面） （条件式対応値） ｆ＝３８０．０ｍｍ ｆ１＝７６０．７ｍｍ （１）ｆ１／ｆ＝２．００ （２）ν_3hp＝（ｎ_3hp−１）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＝７０．９ （３）θ_3hp＝（ｎ_3ip−ｎ_3hp）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＝０．６２７ （４）ν_3hn＝（ｎ_3hn−１）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＝５５．４ （５）θ_3hn＝（ｎ_3in−ｎ_3hn）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＝０．６２８ （６）ν_2hp＝（ｎ_2hp−１）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝７０．９ （７）θ_2hp＝（ｎ_2ip−ｎ_2hp）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝０．６２７ （８）ν_2hn＝（ｎ_2hn−１）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＝５５．４ （９）θ_2hn＝（ｎ_2in−ｎ_2hn）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＝０．６２８ （１０）ν_1hp＝（ｎ_1hp−１）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＝７０．９ （１１）θ_1hp＝（ｎ_1ip−ｎ_1hp）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＝０．６２７ （１２）ν_1hn＝（ｎ_1hn−１）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＝５５．４ （１３）θ_1hn＝（ｎ_1in−ｎ_1hn）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＝０．６２８

【００８６】図１４は、第７実施例において物体側から
像側へ光線追跡することにより得られた投影光学系の諸
収差図である。各収差図において、ＮＡは像側開口数
を、Ｙは像高を、ｈはｈ線（λ＝４０４．７ｎｍ）を、
ｉはｉ線（λ＝３６５．０ｎｍ）を、ｇはｇ線（λ＝４
３５．８ｎｍ）をそれぞれ示している。また、非点収差
図において、実線はサジタル像面を示し、破線はメリデ
ィオナル像面を示している。さらに、歪曲収差図では、
基準波長光であるｈ線の光に対する歪曲収差を示してい
る。各収差図から明らかなように、第７実施例では、第
２実施例と同様に、色収差が十分に小さく補正されてお
り、良好な性能が確保されていることがわかる。

【００８７】〔第８実施例〕図１５は、第８実施例にか
かる投影光学系のレンズ構成を示す図である。なお、第
８実施例では、上述の第１実施例〜第７実施例における
３色色消しとは異なり、ｈ線の光とｇ線の光とに対して
２色色消しされた投影光学系に本発明を適用している。
第８実施例の投影光学系は、５種類の光学材料から形成
されている。

【００８８】図１５の投影光学系において、前方群Ｇｆ
は、物体側から順に、両凸レンズと、物体側に凹面を向
けた負メニスカスレンズとから構成されている。また、
第１中間群Ｇｍｆは、物体側から順に、両凸レンズと、
物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズと、両凹レン
ズとから構成されている。さらに、第１中央サブ群Ｇｃ
ｆは、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニス
カスレンズと両凸レンズと物体側に凹面を向けた負メニ
スカスレンズとの貼り合わせからなる１つの３枚接合レ
ンズから構成されている。

【００８９】したがって、瞳面に関する光学系の対称性
により、第２中央サブ群Ｇｃｒは、像側から順に、像側
に凸面を向けた負メニスカスレンズと両凸レンズと像側
に凹面を向けた負メニスカスレンズとの貼り合わせから
なる１つの３枚接合レンズから構成されている。また、
第２中間群Ｇｍｒは、像側から順に、両凸レンズと、像
側に凸面を向けた正メニスカスレンズと、両凹レンズと
から構成されている。さらに、後方群Ｇｒは、像側から
順に、両凸レンズと、像側に凹面を向けた負メニスカス
レンズとから構成されている。

【００９０】次の表（８）に、第８実施例にかかる投影
光学系の諸元の値を掲げる。表（８）において、βは投
影倍率（全系の結像倍率）を、ＮＡは像側開口数（ただ
し物体側開口数も同じ）を、φ／２は像面上での有効視
野の半径を、ｆは前方群Ｇｆと第１中間群Ｇｍｆと第１
中央サブ群Ｇｃｆとからなる部分光学系のｈ線の光に対
する合成焦点距離を、ｆ１は前方群Ｇｆのｈ線の光に対
する焦点距離をそれぞれ表している。

【００９１】また、面番号は物体面からの各面の順序
を、ｒは各面の曲率半径（ｍｍ）を、ｄは各面の軸上間
隔すなわち面間隔（ｍｍ）を、ｎ_hはｈ線（λ＝４０
４．７ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_iはｉ線（λ＝
３６５．０ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_gはｇ線
（λ＝４３５．８ｎｍ）の光に対する屈折率をそれぞれ
示している。なお、第１５面の瞳面は、第１中央サブ群
Ｇｃｆと第２中央サブ群Ｇｃｒとの中間に位置する仮想
面である。

【００９２】

【表８】 （主要諸元） β＝−１ ＮＡ＝０．０５ φ／２＝１０７ｍｍ （光学部材諸元） 面番号 ｒ ｄ ｎ_g ｎ_h ｎ_i （物体面） 436.48403 1 1365.45799 55.00000 1.729417 1.735415 1.745646 2 -406.86992 8.25000 3 -361.56384 13.75000 1.545400 1.550541 1.559506 4 -903.09339 168.07314 5 238.53591 55.00000 1.729417 1.735415 1.745646 6-201809.02500 1.37500 7 175.51106 44.82500 1.615404 1.619860 1.627415 8 166.90770 21.45000 9 -3345.77750 6.87500 1.642085 1.650737 1.666331 10 148.47121 69.02205 11 1185.85443 8.25000 1.526703 1.530264 1.536272 12 80.73208 30.25000 1.505265 1.507941 1.512432 13 -119.22019 8.25000 1.526703 1.530264 1.536272 14 -1116.89660 5.50000 15 （瞳面） 5.50000 16 1116.89658 8.25000 1.526703 1.530264 1.536272 17 119.22019 30.25000 1.505265 1.507941 1.512432 18 -80.73208 8.25000 1.526703 1.530264 1.536272 19 -1185.85440 69.02205 20 -148.47121 6.87500 1.642085 1.650737 1.666331 21 3345.77747 21.45000 22 -166.90770 44.82500 1.615404 1.619860 1.627415 23 -175.51106 1.37500 24 201809.02500 55.00000 1.729417 1.735415 1.745646 25 -238.53591 168.07314 26 903.09339 13.75000 1.545400 1.550541 1.559506 27 361.56384 8.25000 28 406.86992 55.00000 1.729417 1.735415 1.745646 29 -1365.45800 436.40812 30 （像面） （条件式対応値） ｆ＝３７７．５ｍｍ ｆ１＝６９９．０ｍｍ （１）ｆ１／ｆ＝１．８５ （２）ν_3hp＝（ｎ_3hp−１）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＝７０．９ （３）θ_3hp＝（ｎ_3ip−ｎ_3hp）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＝０．６２７ （４）ν_3hn＝（ｎ_3hn−１）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＝５５．４ （５）θ_3hn＝（ｎ_3in−ｎ_3hn）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＝０．６２８ （６）ν_2hp＝（ｎ_2hp−１）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝４５．３（物体側および像側 ） ν_2hp＝（ｎ_2hp−１）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝５１．６（瞳面側） （７）θ_2hp＝（ｎ_2ip−ｎ_2hp）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝０．６３０（物体側およ び像側） θ_2hp＝（ｎ_2ip−ｎ_2hp）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝０．６２９（瞳面側） （８）ν_2hn＝（ｎ_2hn−１）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＝２６．８ （９）θ_2hn＝（ｎ_2in−ｎ_2hn）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＝０．６４３ （１０）ν_1hp＝（ｎ_1hp−１）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＝４５．３ （１１）θ_1hp＝（ｎ_1ip−ｎ_1hp）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＝０．６３０ （１２）ν_1hn＝（ｎ_1hn−１）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＝３９．０ （１３）θ_1hn＝（ｎ_1in−ｎ_1hn）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＝０．６３６

【００９３】図１６は、第８実施例において物体側から
像側へ光線追跡することにより得られた投影光学系の諸
収差図である。各収差図において、ＮＡは像側開口数
を、Ｙは像高を、ｈはｈ線（λ＝４０４．７ｎｍ）を、
ｇはｇ線（λ＝４３５．８ｎｍ）をそれぞれ示してい
る。また、非点収差図において、実線はサジタル像面を
示し、破線はメリディオナル像面を示している。さら
に、歪曲収差図では、基準波長光であるｈ線の光に対す
る歪曲収差を示している。

【００９４】表（８）の条件式対応値を参照すると、第
８実施例では、特に条件式（６）〜（１０）、（１２）
および（１３）の値を設定範囲内の限界に近い値に規定
している。しかしながら、各収差図から明らかなよう
に、第８実施例では、ｈ線の光およびｇ線の光に対して
色収差が十分に小さく補正されており、良好な性能が確
保されていることがわかる。

【００９５】〔第９実施例〕図１７は、第９実施例にか
かる投影光学系のレンズ構成を示す図である。なお、第
９実施例は、２色色消しされた投影光学系に本発明を適
用している点において第８実施例と類似しているが、第
８実施例とは異なりｈ線の光とｉ線の光とに対して２色
色消しされた投影光学系に本発明を適用している。第９
実施例の投影光学系は、６種類の光学材料から形成され
ている。

【００９６】図１７の投影光学系において、前方群Ｇｆ
は、物体側から順に、両凸レンズと、物体側に凹面を向
けた負メニスカスレンズとから構成されている。また、
第１中間群Ｇｍｆは、物体側から順に、物体側に凸面を
向けた正メニスカスレンズと、物体側に凸面を向けた正
メニスカスレンズと、両凹レンズとから構成されてい
る。さらに、第１中央サブ群Ｇｃｆは、物体側から順
に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズと両凸レ
ンズと物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズとの貼
り合わせからなる１つの３枚接合レンズから構成されて
いる。

【００９７】したがって、瞳面に関する光学系の対称性
により、第２中央サブ群Ｇｃｒは、像側から順に、像側
に凸面を向けた負メニスカスレンズと両凸レンズと像側
に凹面を向けた負メニスカスレンズとの貼り合わせから
なる１つの３枚接合レンズから構成されている。また、
第２中間群Ｇｍｒは、像側から順に、像側に凸面を向け
た正メニスカスレンズと、像側に凸面を向けた正メニス
カスレンズと、両凹レンズとから構成されている。さら
に、後方群Ｇｒは、像側から順に、両凸レンズと、像側
に凹面を向けた負メニスカスレンズとから構成されてい
る。

【００９８】次の表（９）に、第９実施例にかかる投影
光学系の諸元の値を掲げる。表（９）において、βは投
影倍率（全系の結像倍率）を、ＮＡは像側開口数（ただ
し物体側開口数も同じ）を、φ／２は像面上での有効視
野の半径を、ｆは前方群Ｇｆと第１中間群Ｇｍｆと第１
中央サブ群Ｇｃｆとからなる部分光学系のｈ線の光に対
する合成焦点距離を、ｆ１は前方群Ｇｆのｈ線の光に対
する焦点距離をそれぞれ表している。

【００９９】また、面番号は物体面からの各面の順序
を、ｒは各面の曲率半径（ｍｍ）を、ｄは各面の軸上間
隔すなわち面間隔（ｍｍ）を、ｎ_hはｈ線（λ＝４０
４．７ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_iはｉ線（λ＝
３６５．０ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_gはｇ線
（λ＝４３５．８ｎｍ）の光に対する屈折率をそれぞれ
示している。なお、第１５面の瞳面は、第１中央サブ群
Ｇｃｆと第２中央サブ群Ｇｃｒとの中間に位置する仮想
面である。

【０１００】

【表９】 （主要諸元） β＝−１ ＮＡ＝０．０５ φ／２＝１０７ｍｍ （光学部材諸元） 面番号 ｒ ｄ ｎ_i ｎ_h ｎ_g （物体面） 436.48403 1 1154.41259 55.00000 1.745646 1.735415 1.729417 2 -412.04862 8.25000 3 -356.48115 13.75000 1.559506 1.550541 1.545400 4 -834.63313 93.13010 5 238.86336 55.00000 1.745646 1.735415 1.729417 6 36052.10457 1.37500 7 175.55459 44.82500 1.627415 1.619860 1.615404 8 166.51805 21.45000 9 -4679.34444 6.87500 1.666331 1.650737 1.642085 10 152.92555 78.36163 11 1403.24770 8.25000 1.536272 1.530264 1.526703 12 70.50061 30.25000 1.512432 1.507941 1.505265 13 -108.80714 8.25000 1.536272 1.530264 1.526703 14 -1350.33276 5.50000 15 （瞳面） 5.50000 16 1350.33276 8.25000 1.536272 1.530264 1.526703 17 108.80714 30.25000 1.512432 1.507941 1.505265 18 -70.50061 8.25000 1.536272 1.530264 1.526703 19 -1403.24770 78.36163 20 -152.92555 6.87500 1.666331 1.650737 1.642085 21 4679.34444 21.45000 22 -166.51805 44.82500 1.627415 1.619860 1.615404 23 -175.55459 1.37500 24 -36052.10457 55.00000 1.745646 1.735415 1.729417 25 -238.86336 93.13010 26 834.63313 13.75000 1.559506 1.550541 1.545400 27 356.48115 8.25000 28 412.04862 55.00000 1.745646 1.735415 1.729417 29 -1154.41259 436.48957 30 （像面） （条件式対応値） ｆ＝３４７．６ｍｍ ｆ１＝６５３．２ｍｍ （１）ｆ１／ｆ＝１．８８ （２）ν_3hp＝（ｎ_3hp−１）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＝７０．９ （３）θ_3hp＝（ｎ_3ip−ｎ_3hp）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＝０．６２７ （４）ν_3hn＝（ｎ_3hn−１）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＝５５．４ （５）θ_3hn＝（ｎ_3in−ｎ_3hn）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＝０．６２８ （６）ν_2hp＝（ｎ_2hp−１）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝４５．３（物体側および像側 ） ν_2hp＝（ｎ_2hp−１）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝５１．６（瞳面側） （７）θ_2hp＝（ｎ_2ip−ｎ_2hp）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝０．６３０（物体側およ び像側） θ_2hp＝（ｎ_2ip−ｎ_2hp）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝０．６２９（瞳面側） （８）ν_2hn＝（ｎ_2hn−１）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＝２６．８ （９）θ_2hn＝（ｎ_2in−ｎ_2hn）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＝０．６４３ （１０）ν_1hp＝（ｎ_1hp−１）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＝４５．３ （１１）θ_1hp＝（ｎ_1ip−ｎ_1hp）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＝０．６３０ （１２）ν_1hn＝（ｎ_1hn−１）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＝３９．０ （１３）θ_1hn＝（ｎ_1in−ｎ_1hn）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＝０．６３６

【０１０１】図１８は、第９実施例において物体側から
像側へ光線追跡することにより得られた投影光学系の諸
収差図である。各収差図において、ＮＡは像側開口数
を、Ｙは像高を、ｈはｈ線（λ＝４０４．７ｎｍ）を、
ｉはｉ線（λ＝３６５．０ｎｍ）を、ｇはｇ線（λ＝４
３５．８ｎｍ）をそれぞれ示している。また、非点収差
図において、実線はサジタル像面を示し、破線はメリデ
ィオナル像面を示している。さらに、歪曲収差図では、
基準波長光であるｈ線の光に対する歪曲収差を示してい
る。

【０１０２】表（９）の条件式対応値を参照すると、第
９実施例では、特に条件式（６）〜（１０）、（１２）
および（１３）の値を設定範囲内の限界に近い値に規定
している。しかしながら、各収差図から明らかなよう
に、第９実施例では、ｈ線の光およびｉ線の光に対して
色収差が十分に小さく補正されており、良好な性能が確
保されていることがわかる。

【０１０３】〔第１０実施例〕図１９は、第１０実施例
にかかる投影光学系のレンズ構成を示す図である。な
お、第１０実施例では、ｈ線の光とｉ線の光とｇ線の光
とに対して３色色消しされた投影光学系に本発明を適用
している。また、第１０実施例の投影光学系は、３種類
の光学材料から形成されている。すなわち、基準波長光
であるｈ線の光に対して１．５３０２６４の屈折率を有
する第１の光学材料で形成されたレンズと、ｈ線に対し
て１．５０７９４１の屈折率を有する第２の光学材料で
形成されたレンズと、ｈ線に対して１．６１９８６０の
屈折率を有する第３の光学材料で形成されたレンズとか
ら構成されている。

【０１０４】図１９の投影光学系において、前方群Ｇｆ
は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカ
スレンズと、両凸レンズとから構成されている。また、
第１中間群Ｇｍｆは、物体側から順に、物体側に凸面を
向けた正メニスカスレンズと、物体側に凸面を向けた正
メニスカスレンズと、物体側に凸面を向けた負メニスカ
スレンズとから構成されている。さらに、第１中央サブ
群Ｇｃｆは、物体側から順に、両凹レンズと両凸レンズ
と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズとの貼り合
わせからなる１つの３枚接合レンズから構成されてい
る。

【０１０５】したがって、瞳面に関する光学系の対称性
により、第２中央サブ群Ｇｃｒは、像側から順に、両凹
レンズと両凸レンズと像側に凹面を向けた負メニスカス
レンズとの貼り合わせからなる１つの３枚接合レンズか
ら構成されている。また、第２中間群Ｇｍｒは、像側か
ら順に、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズと、像
側に凸面を向けた正メニスカスレンズと、像側に凸面を
向けた負メニスカスレンズとから構成されている。さら
に、後方群Ｇｒは、像側から順に、像側に凸面を向けた
負メニスカスレンズと、両凸レンズとから構成されてい
る。

【０１０６】次の表（１０）に、第１０実施例にかかる
投影光学系の諸元の値を掲げる。表（１０）において、
βは投影倍率（全系の結像倍率）を、ＮＡは像側開口数
（ただし物体側開口数も同じ）を、φ／２は像面上での
有効視野の半径を、ＴＬは物像点間距離を、ｆは前方群
Ｇｆと第１中間群Ｇｍｆと第１中央サブ群Ｇｃｆとから
なる部分光学系のｈ線の光に対する合成焦点距離を、ｆ
１は前方群Ｇｆのｈ線の光に対する焦点距離をそれぞれ
表している。

【０１０７】また、面番号は物体面からの各面の順序
を、ｒは各面の曲率半径（ｍｍ）を、ｄは各面の軸上間
隔すなわち面間隔（ｍｍ）を、ｎ_hはｈ線（λ＝４０
４．７ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_iはｉ線（λ＝
３６５．０ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_gはｇ線
（λ＝４３５．８ｎｍ）の光に対する屈折率をそれぞれ
示している。なお、第１５面の瞳面は、第１中央サブ群
Ｇｃｆと第１中央サブ群Ｇｃｒとの中間に位置する仮想
面である。

【０１０８】

【表１０】 （主要諸元） β＝−１ ＮＡ＝０．０５ φ／２＝１０７ｍｍ ＴＬ＝１４２４．８ｍｍ （光学部材諸元） 面番号 ｒ ｄ ｎ_h ｎ_i ｎ_g （物体面） 226.95726 1 6866.16962 15.00000 1.619860 1.627415 1.615404 2 428.14237 3.60000 3 461.21949 60.00000 1.507941 1.512432 1.505265 4 -256.86789 269.94864 5 121.30803 37.20000 1.507941 1.512432 1.505265 6 4033.84776 0.30000 7 86.31048 29.70000 1.507941 1.512432 1.505265 8 270.89914 4.90000 9 392.75708 7.40000 1.530264 1.536272 1.526703 10 54.84546 29.47749 11 -415.75923 4.70000 1.530264 1.536272 1.526703 12 104.54154 17.40000 1.507941 1.512432 1.505265 13 -43.16584 4.70000 1.530264 1.536272 1.526703 14 -3608.92886 1.10000 15 (瞳面) 1.10000 16 3608.92886 4.70000 1.530264 1.536272 1.526703 17 43.16584 17.40000 1.507941 1.512432 1.505265 18 -104.54154 4.70000 1.530264 1.536272 1.526703 19 415.75923 29.47749 20 -54.84546 7.40000 1.530264 1.536272 1.526703 21 -392.75708 4.90000 22 -270.89914 29.70000 1.507941 1.512432 1.505265 23 -86.31048 0.30000 24 -4033.84776 37.20000 1.507941 1.512432 1.505265 25 -121.30803 269.94864 26 256.86789 60.00000 1.507941 1.512432 1.505265 27 -461.21949 3.60000 28 -428.14237 15.00000 1.619860 1.627415 1.615404 29 -6866.16962 226.95949 30 （像面） （条件式対応値） ｆ＝２７１．０ｍｍ ｆ１＝５６９．９ｍｍ （１）ｆ１／ｆ＝２．１０ （２）ν_3hp＝（ｎ_3hp−１）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＝７０．９ （３）θ_3hp＝（ｎ_3ip−ｎ_3hp）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＝０．６２７ （４）ν_3hn＝（ｎ_3hn−１）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＝５５．４ （５）θ_3hn＝（ｎ_3in−ｎ_3hn）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＝０．６２８ （６）ν_2hp＝（ｎ_2hp−１）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝７０．９ （７）θ_2hp＝（ｎ_2ip−ｎ_2hp）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝０．６２７ （８）ν_2hn＝（ｎ_2hn−１）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＝５５．４ （９）θ_2hn＝（ｎ_2in−ｎ_2hn）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＝０．６２８ （１０）ν_1hp＝（ｎ_1hp−１）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＝７０．９ （１１）θ_1hp＝（ｎ_1ip−ｎ_1hp）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＝０．６２７ （１２）ν_1hn＝（ｎ_1hn−１）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＝５１．６ （１３）θ_1hn＝（ｎ_1in−ｎ_1hn）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＝０．６２９

【０１０９】図２０は、第１０実施例において物体側か
ら像側へ光線追跡することにより得られた投影光学系の
諸収差図である。各収差図において、ＮＡは像側開口数
を、Ｙは像高を、ｈはｈ線（λ＝４０４．７ｎｍ）を、
ｉはｉ線（λ＝３６５．０ｎｍ）を、ｇはｇ線（λ＝４
３５．８ｎｍ）をそれぞれ示している。また、非点収差
図において、実線はサジタル像面を示し、破線はメリデ
ィオナル像面を示している。さらに、歪曲収差図では、
基準波長光であるｈ線の光に対する歪曲収差を示してい
る。各収差図から明らかなように、第１０実施例では、
物像点間距離ＴＬが約１４２４ｍｍで第１実施例〜第９
実施例に比して大幅にコンパクト化されているにもかか
わらず、ｉ線に対する焦点深度±０．０７３ｍｍ（±λ
／（２・ＮＡ²）: λはｉ線の波長）に比して色収差が
十分に小さく補正されており、良好な性能が確保されて
いることがわかる。

【０１１０】〔第１１実施例〕図２１は、第１１実施例
にかかる投影光学系のレンズ構成を示す図である。な
お、第１１実施例は、第１０実施例と類似の構成を有
し、ｈ線の光とｉ線の光とｇ線の光とに対して３色色消
しされた投影光学系に本発明を適用している。しかしな
がら、第１１実施例の投影光学系は、第１０実施例とは
異なり、２種類の光学材料から形成されている。また、
第１１実施例の投影光学系では、物像点間距離ＴＬが第
１０実施例の約７０％程度であり、第１０実施例よりも
さらにコンパクト化されている。

【０１１１】図２１の投影光学系において、前方群Ｇｆ
は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカ
スレンズと、両凸レンズとから構成されている。また、
第１中間群Ｇｍｆは、物体側から順に、物体側に凸面を
向けた正メニスカスレンズと、物体側に凸面を向けた正
メニスカスレンズと、物体側に凸面を向けた負メニスカ
スレンズとから構成されている。さらに、第１中央サブ
群Ｇｃｆは、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負
メニスカスレンズと両凸レンズと両凹レンズとの貼り合
わせからなる１つの３枚接合レンズから構成されてい
る。

【０１１２】したがって、瞳面に関する光学系の対称性
により、第２中央サブ群Ｇｃｒは、像側から順に、像側
に凸面を向けた負メニスカスレンズと両凸レンズと両凹
レンズとの貼り合わせからなる１つの３枚接合レンズか
ら構成されている。また、第２中間群Ｇｍｒは、像側か
ら順に、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズと、像
側に凸面を向けた正メニスカスレンズと、像側に凸面を
向けた負メニスカスレンズとから構成されている。さら
に、後方群Ｇｒは、像側から順に、像側に凸面を向けた
負メニスカスレンズと、両凸レンズとから構成されてい
る。

【０１１３】次の表（１１）に、第１１実施例にかかる
投影光学系の諸元の値を掲げる。表（１１）において、
βは投影倍率（全系の結像倍率）を、ＮＡは像側開口数
（ただし物体側開口数も同じ）を、φ／２は像面上での
有効視野の半径を、ＴＬは物像点間距離を、ｆは前方群
Ｇｆと第１中間群Ｇｍｆと第１中央サブ群Ｇｃｆとから
なる部分光学系のｈ線の光に対する合成焦点距離を、ｆ
１は前方群Ｇｆのｈ線の光に対する焦点距離をそれぞれ
表している。

【０１１４】また、面番号は物体面からの各面の順序
を、ｒは各面の曲率半径（ｍｍ）を、ｄは各面の軸上間
隔すなわち面間隔（ｍｍ）を、ｎ_hはｈ線（λ＝４０
４．７ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_iはｉ線（λ＝
３６５．０ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_gはｇ線
（λ＝４３５．８ｎｍ）の光に対する屈折率をそれぞれ
示している。なお、第１５面の瞳面は、第１中央サブ群
Ｇｃｆと第１中央サブ群Ｇｃｒとの中間に位置する仮想
面である。

【０１１５】

【表１１】 （主要諸元） β＝−１ ＮＡ＝０．０５ φ／２＝１０７ｍｍ ＴＬ＝１００５．１ｍｍ （光学部材諸元） 面番号 ｒ ｄ ｎ_h ｎ_i ｎ_g （物体面） 165.00318 1 837.98650 7.80000 1.530264 1.536272 1.526703 2 239.27109 2.80000 3 250.45177 80.00000 1.507941 1.512432 1.505265 4 -241.66286 144.11192 5 88.47956 28.70000 1.507941 1.512432 1.505265 6 745.96339 0.20000 7 62.26573 22.90000 1.507941 1.512432 1.505265 8 185.03124 3.80000 9 274.79415 5.70000 1.530264 1.536272 1.526703 10 39.72125 20.04671 11 796.22831 3.60000 1.530264 1.536272 1.526703 12 32.53172 13.40000 1.507941 1.512432 1.505265 13 -49.73795 3.60000 1.530264 1.536272 1.526703 14 340.85892 0.90000 15 （瞳面） 0.90000 16 -340.85892 3.60000 1.530264 1.536272 1.526703 17 49.73795 13.40000 1.507941 1.512432 1.505265 18 -32.53172 3.60000 1.530264 1.536272 1.526703 19 -796.22831 20.04671 20 -39.72125 5.70000 1.530264 1.536272 1.526703 21 -274.79415 3.80000 22 -185.03124 22.90000 1.507941 1.512432 1.505265 23 -62.26573 0.20000 24 -745.96339 28.70000 1.507941 1.512432 1.505265 25 -88.47956 144.11192 26 241.66286 80.00000 1.507941 1.512432 1.505265 27 -250.45177 2.80000 28 -239.27109 7.80000 1.530264 1.536272 1.526703 29 -837.98650 164.99083 30 （像面） （条件式対応値） ｆ＝１８２．８ｍｍ ｆ１＝３９８．７ｍｍ （１）ｆ１／ｆ＝２．１８ （２）ν_3hp＝（ｎ_3hp−１）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＝７０．９ （３）θ_3hp＝（ｎ_3ip−ｎ_3hp）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＝０．６２７ （４）ν_3hn＝（ｎ_3hn−１）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＝５５．４ （５）θ_3hn＝（ｎ_3in−ｎ_3hn）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＝０．６２８ （６）ν_2hp＝（ｎ_2hp−１）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝７０．９ （７）θ_2hp＝（ｎ_2ip−ｎ_2hp）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝０．６２７ （８）ν_2hn＝（ｎ_2hn−１）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＝５５．４ （９）θ_2hn＝（ｎ_2in−ｎ_2hn）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＝０．６２８ （１０）ν_1hp＝（ｎ_1hp−１）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＝７０．９ （１１）θ_1hp＝（ｎ_1ip−ｎ_1hp）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＝０．６２７ （１２）ν_1hn＝（ｎ_1hn−１）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＝５５．４ （１３）θ_1hn＝（ｎ_1in−ｎ_1hn）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＝０．６２８

【０１１６】図２２は、第１１実施例において物体側か
ら像側へ光線追跡することにより得られた投影光学系の
諸収差図である。各収差図において、ＮＡは像側開口数
を、Ｙは像高を、ｈはｈ線（λ＝４０４．７ｎｍ）を、
ｉはｉ線（λ＝３６５．０ｎｍ）を、ｇはｇ線（λ＝４
３５．８ｎｍ）をそれぞれ示している。また、非点収差
図において、実線はサジタル像面を示し、破線はメリデ
ィオナル像面を示している。さらに、歪曲収差図では、
基準波長光であるｈ線の光に対する歪曲収差を示してい
る。各収差図から明らかなように、第１１実施例では、
物像点間距離ＴＬが約１００５ｍｍで第１０実施例の約
７０％程度までコンパクト化されているにもかかわら
ず、３色の色消しがバランス良くなされており、良好な
性能が確保されていることがわかる。

【０１１７】〔第１２実施例〕図２３は、第１２実施例
にかかる投影光学系のレンズ構成を示す図である。な
お、第１２実施例は、ｈ線の光とｉ線の光とｇ線の光と
に対して３色色消しされた投影光学系に本発明を適用し
ている。また、第１２実施例の投影光学系は、第１０実
施例と同様に、３種類の光学材料から形成されている。
しかしながら、第１０実施例では前方群Ｇｆの屈折力配
置が物体側から順に負・正であるのに対し、第１２実施
例では物体側から順に負・正・正の３枚構成である。

【０１１８】図２３の投影光学系において、前方群Ｇｆ
は、物体側から順に、両凹レンズと、両凸レンズと、両
凸レンズとから構成されている。また、第１中間群Ｇｍ
ｆは、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニス
カスレンズと、物体側に凸面を向けた正メニスカスレン
ズと、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズとから
構成されている。さらに、第１中央サブ群Ｇｃｆは、物
体側から順に、両凸レンズと両凹レンズと物体側に凸面
を向けた正メニスカスレンズとの貼り合わせからなる１
つの３枚接合レンズから構成されている。

【０１１９】したがって、瞳面に関する光学系の対称性
により、第２中央サブ群Ｇｃｒは、像側から順に、両凸
レンズと両凹レンズと像側に凸面を向けた正メニスカス
レンズとの貼り合わせからなる１つの３枚接合レンズか
ら構成されている。また、第２中間群Ｇｍｒは、像側か
ら順に、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズと、像
側に凸面を向けた正メニスカスレンズと、像側に凸面を
向けた負メニスカスレンズとから構成されている。さら
に、後方群Ｇｒは、像側から順に、両凹レンズと、両凸
レンズと、両凸レンズとから構成されている。

【０１２０】次の表（１２）に、第１２実施例にかかる
投影光学系の諸元の値を掲げる。表（１２）において、
βは投影倍率（全系の結像倍率）を、ＮＡは像側開口数
（ただし物体側開口数も同じ）を、φ／２は像面上での
有効視野の半径を、ＴＬは物像点間距離を、ｆは前方群
Ｇｆと第１中間群Ｇｍｆと第１中央サブ群Ｇｃｆとから
なる部分光学系のｈ線の光に対する合成焦点距離を、ｆ
１は前方群Ｇｆのｈ線の光に対する焦点距離をそれぞれ
表している。

【０１２１】また、面番号は物体面からの各面の順序
を、ｒは各面の曲率半径（ｍｍ）を、ｄは各面の軸上間
隔すなわち面間隔（ｍｍ）を、ｎ_hはｈ線（λ＝４０
４．７ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_iはｉ線（λ＝
３６５．０ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_gはｇ線
（λ＝４３５．８ｎｍ）の光に対する屈折率をそれぞれ
示している。なお、第１７面の瞳面は、第１中央サブ群
Ｇｃｆと第１中央サブ群Ｇｃｒとの中間に位置する仮想
面である。

【０１２２】

【表１２】 （主要諸元） β＝−１ ＮＡ＝０．０５ φ／２＝１０７ｍｍ ＴＬ＝１０８８．３ｍｍ （光学部材諸元） 面番号 ｒ ｄ ｎ_h ｎ_i ｎ_g （物体面） 156.84020 1 -627.89737 10.00000 1.619860 1.627415 1.615404 2 337.32710 7.00000 3 499.39390 36.00000 1.507941 1.512432 1.505265 4 -514.65618 0.50000 5 378.01049 38.50000 1.507941 1.512432 1.505265 6 -369.05431 186.53673 7 105.75679 28.70000 1.507941 1.512432 1.505265 8 5598.11230 0.20000 9 61.99666 22.90000 1.507941 1.512432 1.505265 10 113.83516 3.80000 11 132.84867 5.70000 1.530264 1.536272 1.526703 12 42.28959 15.26956 13 383.41353 12.20000 1.507941 1.512432 1.505265 14 -58.13004 2.00000 1.530264 1.536272 1.526703 15 34.34979 8.00000 1.507941 1.512432 1.505265 16 189.31633 10.00000 17 （瞳面） 10.00000 18 -189.31633 8.00000 1.507941 1.512432 1.505265 19 -34.34979 2.00000 1.530264 1.536272 1.526703 20 58.13004 12.20000 1.507941 1.512432 1.505265 21 -383.41353 15.26956 22 -42.28959 5.70000 1.530264 1.536272 1.526703 23 -132.84867 3.80000 24 -113.83516 22.90000 1.507941 1.512432 1.505265 25 -61.99666 0.20000 26 -5598.11230 28.70000 1.507941 1.512432 1.505265 27 -105.75679 186.53673 28 369.05431 38.50000 1.507941 1.512432 1.505265 29 -378.01049 0.50000 30 514.65618 36.00000 1.507941 1.512432 1.505265 31 -499.39390 7.00000 32 -337.32710 10.00000 1.619860 1.627415 1.615404 33 627.89737 156.84019 34 （像面） （条件式対応値） ｆ＝２０６．４ｍｍ ｆ１＝４６６．０ｍｍ （１）ｆ１／ｆ＝２．２６ （２）ν_3hp＝（ｎ_3hp−１）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＝７０．９ （３）θ_3hp＝（ｎ_3ip−ｎ_3hp）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＝０．６２７ （４）ν_3hn＝（ｎ_3hn−１）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＝５５．４ （５）θ_3hn＝（ｎ_3in−ｎ_3hn）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＝０．６２８ （６）ν_2hp＝（ｎ_2hp−１）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝７０．９ （７）θ_2hp＝（ｎ_2ip−ｎ_2hp）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝０．６２７ （８）ν_2hn＝（ｎ_2hn−１）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＝５５．４ （９）θ_2hn＝（ｎ_2in−ｎ_2hn）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＝０．６２８ （１０）ν_1hp＝（ｎ_1hp−１）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＝７０．９ （１１）θ_1hp＝（ｎ_1ip−ｎ_1hp）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＝０．６２７ （１２）ν_1hn＝（ｎ_1hn−１）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＝５１．６ （１３）θ_1hn＝（ｎ_1in−ｎ_1hn）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＝０．６２９

【０１２３】図２４は、第１２実施例において物体側か
ら像側へ光線追跡することにより得られた投影光学系の
諸収差図である。各収差図において、ＮＡは像側開口数
を、Ｙは像高を、ｈはｈ線（λ＝４０４．７ｎｍ）を、
ｉはｉ線（λ＝３６５．０ｎｍ）を、ｇはｇ線（λ＝４
３５．８ｎｍ）をそれぞれ示している。また、非点収差
図において、実線はサジタル像面を示し、破線はメリデ
ィオナル像面を示している。さらに、歪曲収差図では、
基準波長光であるｈ線の光に対する歪曲収差を示してい
る。各収差図から明らかなように、第１２実施例では、
物像点間距離ＴＬが約１０８８ｍｍで第１０実施例の約
７６％程度までコンパクト化されているにもかかわら
ず、第１０実施例と同様に、３色の光に対する収差がバ
ランス良く補正されており、良好な性能が確保されてい
ることがわかる。

【０１２４】〔第１３実施例〕図２５は、第１３実施例
にかかる投影光学系のレンズ構成を示す図である。な
お、第１３実施例は、ｈ線の光とｉ線の光とｇ線の光と
に対して３色色消しされた投影光学系に本発明を適用し
ている。しかしながら、第１３実施例では、物像点間距
離ＴＬを１０００ｍｍ以下に抑えた上で性能の劣化を防
ぐために、前方群Ｇｆ（および後方群Ｇｒ）を３枚構成
とし、第１中間群Ｇｍｆ（および第２中間群Ｇｍｒ）を
４枚構成としている。

【０１２５】図２５の投影光学系において、前方群Ｇｆ
は、物体側から順に、両凹レンズと、両凸レンズと、物
体側に凹面を向けた負メニスカスレンズとから構成され
ている。また、第１中間群Ｇｍｆは、物体側から順に、
物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズと、物体側に
凸面を向けた正メニスカスレンズと、物体側に凸面を向
けた正メニスカスレンズと、物体側に凸面を向けた負メ
ニスカスレンズとから構成されている。さらに、第１中
央サブ群Ｇｃｆは、物体側から順に、両凹レンズと両凸
レンズと両凹レンズとの貼り合わせからなる１つの３枚
接合レンズから構成されている。

【０１２６】したがって、瞳面に関する光学系の対称性
により、第２中央サブ群Ｇｃｒは、像側から順に、両凹
レンズと両凸レンズと両凹レンズとの貼り合わせからな
る１つの３枚接合レンズから構成されている。また、第
２中間群Ｇｍｒは、像側から順に、像側に凸面を向けた
正メニスカスレンズと、像側に凸面を向けた正メニスカ
スレンズと、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズ
と、像側に凸面を向けた負メニスカスレンズとから構成
されている。さらに、後方群Ｇｒは、像側から順に、両
凹レンズと、両凸レンズと、像側に凹面を向けた負メニ
スカスレンズとから構成されている。

【０１２７】次の表（１３）に、第１３実施例にかかる
投影光学系の諸元の値を掲げる。表（１３）において、
βは投影倍率（全系の結像倍率）を、ＮＡは像側開口数
（ただし物体側開口数も同じ）を、φ／２は像面上での
有効視野の半径を、ＴＬは物像点間距離を、ｆは前方群
Ｇｆと第１中間群Ｇｍｆと第１中央サブ群Ｇｃｆとから
なる部分光学系のｈ線の光に対する合成焦点距離を、ｆ
１は前方群Ｇｆのｈ線の光に対する焦点距離をそれぞれ
表している。

【０１２８】また、面番号は物体面からの各面の順序
を、ｒは各面の曲率半径（ｍｍ）を、ｄは各面の軸上間
隔すなわち面間隔（ｍｍ）を、ｎ_hはｈ線（λ＝４０
４．７ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_iはｉ線（λ＝
３６５．０ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_gはｇ線
（λ＝４３５．８ｎｍ）の光に対する屈折率をそれぞれ
示している。なお、第１９面の瞳面は、第１中央サブ群
Ｇｃｆと第２中央サブ群Ｇｃｒとの中間に位置する仮想
面である。

【０１２９】

【表１３】 （主要諸元） β＝−１ ＮＡ＝０．０５ φ／２＝１０７ｍｍ ＴＬ＝９６９．７ｍｍ （光学部材諸元） 面番号 ｒ ｄ ｎ_h ｎ_i ｎ_g （物体面） 141.64115 1 -1169.76192 10.00000 1.619860 1.627415 1.615404 2 245.76829 2.80000 3 256.39146 80.00000 1.507941 1.512432 1.505265 4 -174.99860 0.50000 5 -244.10431 17.80000 1.619860 1.627415 1.615404 6 -376.66601 78.38983 7 285.60846 30.00000 1.507941 1.512432 1.505265 8 50337.32070 0.50000 9 100.63995 35.00000 1.507941 1.512432 1.505265 10 345.06190 0.20000 11 81.75488 30.00000 1.507941 1.512432 1.505265 12 172.97115 3.80000 13 145.38268 8.00000 1.530264 1.536272 1.526703 14 48.71837 24.71494 15 -1616.48044 3.60000 1.530264 1.536272 1.526703 16 24.08147 13.40000 1.507941 1.512432 1.505265 17 -49.42373 3.60000 1.530264 1.536272 1.526703 18 375.29846 0.90000 19 （瞳面） 0.90000 20 -375.29846 3.60000 1.530264 1.536272 1.526703 21 49.42373 13.40000 1.507941 1.512432 1.505265 22 -24.08147 3.60000 1.530264 1.536272 1.526703 23 1616.48044 24.71494 24 -48.71837 8.00000 1.530264 1.536272 1.526703 25 -145.38268 3.80000 26 -172.97115 30.00000 1.507941 1.512432 1.505265 27 -81.75488 0.20000 28 -345.06190 35.00000 1.507941 1.512432 1.505265 29 -100.63995 0.50000 30 -50337.32070 30.00000 1.507941 1.512432 1.505265 31 -285.60846 78.38983 32 376.66601 17.80000 1.619860 1.627415 1.615404 33 244.10431 0.50000 34 174.99860 80.00000 1.507941 1.512432 1.505265 35 -256.39146 2.80000 36 -245.76829 10.00000 1.619860 1.627415 1.615404 37 1169.76192 141.44639 38 （像面） （条件式対応値） ｆ＝１６８．９ｍｍ ｆ１＝９０７．１ｍｍ （１）ｆ１／ｆ＝５．３７ （２）ν_3hp＝（ｎ_3hp−１）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＝７０．９ （３）θ_3hp＝（ｎ_3ip−ｎ_3hp）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＝０．６２７ （４）ν_3hn＝（ｎ_3hn−１）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＝５５．４ （５）θ_3hn＝（ｎ_3in−ｎ_3hn）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＝０．６２８ （６）ν_2hp＝（ｎ_2hp−１）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝７０．９ （７）θ_2hp＝（ｎ_2ip−ｎ_2hp）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝０．６２７ （８）ν_2hn＝（ｎ_2hn−１）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＝５５．４ （９）θ_2hn＝（ｎ_2in−ｎ_2hn）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＝０．６２８ （１０）ν_1hp＝（ｎ_1hp−１）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＝７０．９ （１１）θ_1hp＝（ｎ_1ip−ｎ_1hp）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＝０．６２７ （１２）ν_1hn＝（ｎ_1hn−１）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＝５１．６ （１３）θ_1hn＝（ｎ_1in−ｎ_1hn）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＝０．６２９

【０１３０】図２６は、第１３実施例において物体側か
ら像側へ光線追跡することにより得られた投影光学系の
諸収差図である。各収差図において、ＮＡは像側開口数
を、Ｙは像高を、ｈはｈ線（λ＝４０４．７ｎｍ）を、
ｉはｉ線（λ＝３６５．０ｎｍ）を、ｇはｇ線（λ＝４
３５．８ｎｍ）をそれぞれ示している。また、非点収差
図において、実線はサジタル像面を示し、破線はメリデ
ィオナル像面を示している。さらに、歪曲収差図では、
基準波長光であるｈ線の光に対する歪曲収差を示してい
る。各収差図から明らかなように、第１３実施例では、
物像点間距離ＴＬが約９７０ｍｍで１０００ｍｍ以下に
コンパクト化されているにもかかわらず、３色の光に対
する収差がバランス良く補正されており、良好な性能が
確保されていることがわかる。

【０１３１】〔第１４実施例〕図２７は、第１４実施例
にかかる投影光学系のレンズ構成を示す図である。な
お、第１４実施例は、ｈ線の光とｉ線の光とｇ線の光と
に対して３色色消しされた投影光学系に本発明を適用し
ている。しかしながら、第１４実施例では、物像点間距
離ＴＬを１０５０ｍｍ程度に抑えた上で性能の劣化を防
ぐために、第１３実施例と同様に、前方群Ｇｆ（および
後方群Ｇｒ）を３枚構成とし、第１中間群Ｇｍｆ（およ
び第２中間群Ｇｍｒ）を４枚構成としている。

【０１３２】図２７の投影光学系において、前方群Ｇｆ
は、物体側から順に、両凸レンズと、両凹レンズと、両
凸レンズとから構成されている。また、第１中間群Ｇｍ
ｆは、物体側から順に、両凸レンズと、物体側に凸面を
向けた正メニスカスレンズと、物体側に凸面を向けた正
メニスカスレンズと、物体側に凸面を向けた負メニスカ
スレンズとから構成されている。さらに、第１中央サブ
群Ｇｃｆは、物体側から順に、両凹レンズと両凸レンズ
と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズとの貼り合
わせからなる１つの３枚接合レンズから構成されてい
る。

【０１３３】したがって、瞳面に関する光学系の対称性
により、第２中央サブ群Ｇｃｒは、像側から順に、両凹
レンズと両凸レンズと像側に凹面を向けた負メニスカス
レンズとの貼り合わせからなる１つの３枚接合レンズか
ら構成されている。また、第２中間群Ｇｍｒは、像側か
ら順に、両凸レンズと、像側に凸面を向けた正メニスカ
スレンズと、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズ
と、像側に凸面を向けた負メニスカスレンズとから構成
されている。さらに、後方群Ｇｒは、像側から順に、両
凸レンズと、両凹レンズと、両凸レンズとから構成され
ている。

【０１３４】次の表（１４）に、第１４実施例にかかる
投影光学系の諸元の値を掲げる。表（１４）において、
βは投影倍率（全系の結像倍率）を、ＮＡは像側開口数
（ただし物体側開口数も同じ）を、φ／２は像面上での
有効視野の半径を、ＴＬは物像点間距離を、ｆは前方群
Ｇｆと第１中間群Ｇｍｆと第１中央サブ群Ｇｃｆとから
なる部分光学系のｈ線の光に対する合成焦点距離を、ｆ
１は前方群Ｇｆのｈ線の光に対する焦点距離をそれぞれ
表している。

【０１３５】また、面番号は物体面からの各面の順序
を、ｒは各面の曲率半径（ｍｍ）を、ｄは各面の軸上間
隔すなわち面間隔（ｍｍ）を、ｎ_hはｈ線（λ＝４０
４．７ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_iはｉ線（λ＝
３６５．０ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_gはｇ線
（λ＝４３５．８ｎｍ）の光に対する屈折率をそれぞれ
示している。なお、第１９面の瞳面は、第１中央サブ群
Ｇｃｆと第２中央サブ群Ｇｃｒとの中間に位置する仮想
面である。

【０１３６】

【表１４】 （主要諸元） β＝−１ ＮＡ＝０．０５ φ／２＝１０７ｍｍ ＴＬ＝１０５０．１ｍｍ （光学部材諸元） 面番号 ｒ ｄ ｎ_h ｎ_i ｎ_g （物体面） 152.27740 1 598.63022 55.00000 1.507941 1.512432 1.505265 2 -252.52729 1.70000 3 -415.18902 10.00000 1.619860 1.627415 1.615404 4 198.12150 4.00000 5 216.33170 45.00000 1.507941 1.512432 1.505265 6 -927.59326 103.31734 7 324.72199 30.00000 1.507941 1.512432 1.505265 8 -560.35672 0.50000 9 94.05647 35.00000 1.507941 1.512432 1.505265 10 461.10773 0.20000 11 89.72930 28.40000 1.507941 1.512432 1.505265 12 98.91194 4.80000 13 221.00805 8.00000 1.530264 1.536272 1.526703 14 53.53117 25.37828 15 -436.10033 3.60000 1.530264 1.536272 1.526703 16 28.53554 13.40000 1.507941 1.512432 1.505265 17 -48.61423 3.60000 1.530264 1.536272 1.526703 18 -654.69886 0.90000 19 （瞳面） 0.90000 20 654.69886 3.60000 1.530264 1.536272 1.526703 21 48.61423 13.40000 1.507941 1.512432 1.505265 22 -28.53554 3.60000 1.530264 1.536272 1.526703 23 436.10033 25.37828 24 -53.53117 8.00000 1.530264 1.536272 1.526703 25 -221.00805 4.80000 26 -98.91194 28.40000 1.507941 1.512432 1.505265 27 -89.72930 0.20000 28 -461.10773 35.00000 1.507941 1.512432 1.505265 29 -94.05647 0.50000 30 560.35672 30.00000 1.507941 1.512432 1.505265 31 -324.72199 103.31734 32 927.59326 45.00000 1.507941 1.512432 1.505265 33 -216.33170 4.00000 34 -198.12150 10.00000 1.619860 1.627415 1.615404 35 415.18902 1.70000 36 252.52729 55.00000 1.507941 1.512432 1.505265 37 -598.63022 152.27444 38 （像面） （条件式対応値） ｆ＝１９０．２ｍｍ ｆ１＝８７４．２ｍｍ （１）ｆ１／ｆ＝４．６０ （２）ν_3hp＝（ｎ_3hp−１）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＝７０．９ （３）θ_3hp＝（ｎ_3ip−ｎ_3hp）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＝０．６２７ （４）ν_3hn＝（ｎ_3hn−１）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＝５５．４ （５）θ_3hn＝（ｎ_3in−ｎ_3hn）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＝０．６２８ （６）ν_2hp＝（ｎ_2hp−１）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝７０．９ （７）θ_2hp＝（ｎ_2ip−ｎ_2hp）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝０．６２７ （８）ν_2hn＝（ｎ_2hn−１）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＝５５．４ （９）θ_2hn＝（ｎ_2in−ｎ_2hn）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＝０．６２８ （１０）ν_1hp＝（ｎ_1hp−１）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＝７０．９ （１１）θ_1hp＝（ｎ_1ip−ｎ_1hp）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＝０．６２７ （１２）ν_1hn＝（ｎ_1hn−１）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＝５１．６ （１３）θ_1hn＝（ｎ_1in−ｎ_1hn）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＝０．６２９

【０１３７】図２８は、第１４実施例において物体側か
ら像側へ光線追跡することにより得られた投影光学系の
諸収差図である。各収差図において、ＮＡは像側開口数
を、Ｙは像高を、ｈはｈ線（λ＝４０４．７ｎｍ）を、
ｉはｉ線（λ＝３６５．０ｎｍ）を、ｇはｇ線（λ＝４
３５．８ｎｍ）をそれぞれ示している。また、非点収差
図において、実線はサジタル像面を示し、破線はメリデ
ィオナル像面を示している。さらに、歪曲収差図では、
基準波長光であるｈ線の光に対する歪曲収差を示してい
る。各収差図から明らかなように、第１４実施例では、
第１３実施例と比較すると色収差がやや大きく発生して
いるが、良好な性能が確保されていることがわかる。

【０１３８】〔第１５実施例〕図２９は、第１５実施例
にかかる投影光学系のレンズ構成を示す図である。な
お、第１５実施例は、ｈ線の光とｉ線の光とｇ線の光と
に対して３色色消しされた投影光学系に本発明を適用し
ている。しかしながら、第１５実施例では、ＮＡ＝０．
１で他の実施例よりも明るい光学系において性能の劣化
を防ぐために、第１中間群Ｇｍｆ（および第２中間群Ｇ
ｍｒ）を４枚構成とし、第１中央サブ群Ｇｃｆ（および
第２中央サブ群Ｇｃｒ）を４枚構成としている。

【０１３９】図２９の投影光学系において、前方群Ｇｆ
は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカ
スレンズと、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズ
とから構成されている。また、第１中間群Ｇｍｆは、物
体側から順に、両凸レンズと、物体側に凸面を向けた正
メニスカスレンズと、物体側に凸面を向けた正メニスカ
スレンズと、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ
とから構成されている。さらに、第１中央サブ群Ｇｃｆ
は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカ
スレンズと両凹レンズと両凸レンズと物体側に凹面を向
けた負メニスカスレンズとの貼り合わせからなる１つの
４枚接合レンズから構成されている。

【０１４０】したがって、瞳面に関する光学系の対称性
により、第２中央サブ群Ｇｃｒは、像側から順に、像側
に凹面を向けた正メニスカスレンズと両凹レンズと両凸
レンズと像側に凹面を向けた負メニスカスレンズとの貼
り合わせからなる１つの４枚接合レンズから構成されて
いる。また、第２中間群Ｇｍｒは、像側から順に、両凸
レンズと、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズと、
像側に凸面を向けた正メニスカスレンズと、像側に凸面
を向けた負メニスカスレンズとから構成されている。さ
らに、後方群Ｇｒは、像側から順に、像側に凹面を向け
た正メニスカスレンズと、像側に凹面を向けた負メニス
カスレンズとから構成されている。

【０１４１】次の表（１５）に、第１５実施例にかかる
投影光学系の諸元の値を掲げる。表（１５）において、
βは投影倍率（全系の結像倍率）を、ＮＡは像側開口数
（ただし物体側開口数も同じ）を、φ／２は像面上での
有効視野の半径を、ＴＬは物像点間距離を、ｆは前方群
Ｇｆと第１中間群Ｇｍｆと第１中央サブ群Ｇｃｆとから
なる部分光学系のｈ線の光に対する合成焦点距離を、ｆ
１は前方群Ｇｆのｈ線の光に対する焦点距離をそれぞれ
表している。

【０１４２】また、面番号は物体面からの各面の順序
を、ｒは各面の曲率半径（ｍｍ）を、ｄは各面の軸上間
隔すなわち面間隔（ｍｍ）を、ｎ_hはｈ線（λ＝４０
４．７ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_iはｉ線（λ＝
３６５．０ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_gはｇ線
（λ＝４３５．８ｎｍ）の光に対する屈折率をそれぞれ
示している。なお、第１８面の瞳面は、第１中央サブ群
Ｇｃｆと第２中央サブ群Ｇｃｒとの中間に位置する仮想
面である。

【０１４３】

【表１５】 （主要諸元） β＝−１ ＮＡ＝０．１ φ／２＝１０７ｍｍ ＴＬ＝１８７１．５ｍｍ （光学部材諸元） 面番号 ｒ ｄ ｎ_h ｎ_i ｎ_g （物体面） 158.20332 1 -268.41466 58.00000 1.507941 1.512432 1.505265 2 -185.29187 1.00000 3 -256.49692 20.00000 1.530264 1.536272 1.526703 4 -368.67166 437.59036 5 1182.94392 30.00000 1.507941 1.512432 1.505265 6 -801.88131 1.00000 7 200.36357 55.00000 1.507941 1.512432 1.505265 8 23118.96772 0.40000 9 162.96840 40.00000 1.507941 1.512432 1.505265 10 369.09427 9.30000 11 697.60912 12.30000 1.530264 1.536272 1.526703 12 104.84458 52.41474 13 -344.07138 18.80000 1.507941 1.512432 1.505265 14 -106.16560 5.00000 1.530264 1.536272 1.526703 15 126.08641 30.00000 1.507941 1.512432 1.505265 16 -103.66165 5.00000 1.530264 1.536272 1.526703 17 -790.86649 1.72913 18 （瞳面） 1.72913 19 790.86649 5.00000 1.530264 1.536272 1.526703 20 103.66165 30.00000 1.507941 1.512432 1.505265 21 -126.08641 5.00000 1.530264 1.536272 1.526703 22 106.16560 18.80000 1.507941 1.512432 1.505265 23 344.07138 52.41474 24 -104.84458 12.30000 1.530264 1.536272 1.526703 25 -697.60912 9.30000 26 -369.09427 40.00000 1.507941 1.512432 1.505265 27 -162.96840 0.40000 28 -23118.96772 55.00000 1.507941 1.512432 1.505265 29 -200.36357 1.00000 30 801.88131 30.00000 1.507941 1.512432 1.505265 31 -1182.94392 437.59036 32 368.67166 20.00000 1.530264 1.536272 1.526703 33 256.49692 1.00000 34 185.29187 58.00000 1.507941 1.512432 1.505265 35 268.41466 158.09409 36 （像面） （条件式対応値） ｆ＝４０５．０ｍｍ ｆ１＝２５２３．６ｍｍ （１）ｆ１／ｆ＝６．２３ （２）ν_3hp＝（ｎ_3hp−１）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＝７０．９ （３）θ_3hp＝（ｎ_3ip−ｎ_3hp）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＝０．６２７ （４）ν_3hn＝（ｎ_3hn−１）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＝５５．４ （５）θ_3hn＝（ｎ_3in−ｎ_3hn）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＝０．６２８ （６）ν_2hp＝（ｎ_2hp−１）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝７０．９ （７）θ_2hp＝（ｎ_2ip−ｎ_2hp）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝０．６２７ （８）ν_2hn＝（ｎ_2hn−１）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＝５５．４ （９）θ_2hn＝（ｎ_2in−ｎ_2hn）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＝０．６２８ （１０）ν_1hp＝（ｎ_1hp−１）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＝７０．９ （１１）θ_1hp＝（ｎ_1ip−ｎ_1hp）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＝０．６２７ （１２）ν_1hn＝（ｎ_1hn−１）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＝５５．４ （１３）θ_1hn＝（ｎ_1in−ｎ_1hn）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＝０．６２８

【０１４４】図３０は、第１５実施例において物体側か
ら像側へ光線追跡することにより得られた投影光学系の
諸収差図である。各収差図において、ＮＡは像側開口数
を、Ｙは像高を、ｈはｈ線（λ＝４０４．７ｎｍ）を、
ｉはｉ線（λ＝３６５．０ｎｍ）を、ｇはｇ線（λ＝４
３５．８ｎｍ）をそれぞれ示している。また、非点収差
図において、実線はサジタル像面を示し、破線はメリデ
ィオナル像面を示している。さらに、歪曲収差図では、
基準波長光であるｈ線の光に対する歪曲収差を示してい
る。各収差図から明らかなように、第１５実施例では、
ＮＡ＝０．１と光学系が明るくなった分だけ諸収差が小
さくなっており、良好な性能が確保されていることがわ
かる。

【０１４５】〔第１６実施例〕図３１は、第１６実施例
にかかる投影光学系のレンズ構成を示す図である。な
お、第１６実施例は、ｈ線の光とｉ線の光とｇ線の光と
に対して３色色消しされた投影光学系に本発明を適用し
ている。また、第１６実施例では、第１５実施例と同様
に、ＮＡ＝０．１と明るい光学系において性能の劣化を
防ぐために、第１中間群Ｇｍｆ（および第２中間群Ｇｍ
ｒ）を４枚構成とし、第１中央サブ群Ｇｃｆ（および第
２中央サブ群Ｇｃｒ）を４枚構成としている。しかしな
がら、第１６実施例では、第１５実施例とは異なり、前
方群Ｇｆ（および後方群Ｇｒ）を３枚構成としている。

【０１４６】図３１の投影光学系において、前方群Ｇｆ
は、物体側から順に、両凹レンズと、両凸レンズと、物
体側に凹面を向けた負メニスカスレンズとから構成され
ている。また、第１中間群Ｇｍｆは、物体側から順に、
両凸レンズと、両凸レンズと、物体側に凸面を向けた正
メニスカスレンズと、物体側に凸面を向けた負メニスカ
スレンズとから構成されている。さらに、第１中央サブ
群Ｇｃｆは、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正
メニスカスレンズと両凹レンズと両凸レンズと物体側に
凹面を向けた負メニスカスレンズとの貼り合わせからな
る１つの４枚接合レンズから構成されている。

【０１４７】したがって、瞳面に関する光学系の対称性
により、第２中央サブ群Ｇｃｒは、像側から順に、像側
に凹面を向けた正メニスカスレンズと両凹レンズと両凸
レンズと像側に凹面を向けた負メニスカスレンズとの貼
り合わせからなる１つの４枚接合レンズから構成されて
いる。また、第２中間群Ｇｍｒは、像側から順に、両凸
レンズと、両凸レンズと、像側に凸面を向けた正メニス
カスレンズと、像側に凸面を向けた負メニスカスレンズ
とから構成されている。さらに、後方群Ｇｒは、像側か
ら順に、両凹レンズと、両凸レンズと、像側に凹面を向
けた負メニスカスレンズとから構成されている。

【０１４８】次の表（１６）に、第１６実施例にかかる
投影光学系の諸元の値を掲げる。表（１６）において、
βは投影倍率（全系の結像倍率）を、ＮＡは像側開口数
（ただし物体側開口数も同じ）を、φ／２は像面上での
有効視野の半径を、ＴＬは物像点間距離を、ｆは前方群
Ｇｆと第１中間群Ｇｍｆと第１中央サブ群Ｇｃｆとから
なる部分光学系のｈ線の光に対する合成焦点距離を、ｆ
１は前方群Ｇｆのｈ線の光に対する焦点距離をそれぞれ
表している。

【０１４９】また、面番号は物体面からの各面の順序
を、ｒは各面の曲率半径（ｍｍ）を、ｄは各面の軸上間
隔すなわち面間隔（ｍｍ）を、ｎ_hはｈ線（λ＝４０
４．７ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_iはｉ線（λ＝
３６５．０ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_gはｇ線
（λ＝４３５．８ｎｍ）の光に対する屈折率をそれぞれ
示している。なお、第２０面の瞳面は、第１中央サブ群
Ｇｃｆと第２中央サブ群Ｇｃｒとの中間に位置する仮想
面である。

【０１５０】

【表１６】 （主要諸元） β＝−１ ＮＡ＝０．１ φ／２＝１０７ｍｍ ＴＬ＝１７７４．７ｍｍ （光学部材諸元） 面番号 ｒ ｄ ｎ_h ｎ_i ｎ_g （物体面） 179.99987 1 -693.14915 17.00000 1.530264 1.536272 1.526703 2 487.99841 16.00000 3 666.48488 58.00000 1.507941 1.512432 1.505265 4 -224.36895 1.00000 5 -325.61780 20.00000 1.530264 1.536272 1.526703 6 -748.29632 342.96979 7 1635.82565 30.00000 1.507941 1.512432 1.505265 8 -649.05926 1.00000 9 186.17566 55.00000 1.507941 1.512432 1.505265 10 -6562.52723 0.40000 11 164.70103 40.00000 1.507941 1.512432 1.505265 12 347.14775 9.30000 13 1273.14064 12.30000 1.530264 1.536272 1.526703 14 102.29354 43.82516 15 -382.81685 18.80000 1.507941 1.512432 1.505265 16 -100.56370 5.00000 1.530264 1.536272 1.526703 17 172.45841 30.00000 1.507941 1.512432 1.505265 18 -89.18657 5.00000 1.530264 1.536272 1.526703 19 -736.87550 1.72913 20 （瞳面） 1.72913 21 736.87550 5.00000 1.530264 1.536272 1.526703 22 89.18657 30.00000 1.507941 1.512432 1.505265 23 -172.45841 5.00000 1.530264 1.536272 1.526703 24 100.56370 18.80000 1.507941 1.512432 1.505265 25 382.81685 43.82516 26 -102.29354 12.30000 1.530264 1.536272 1.526703 27 -1273.14064 9.30000 28 -347.14775 40.00000 1.507941 1.512432 1.505265 29 -164.70103 0.40000 30 6562.52723 55.00000 1.507941 1.512432 1.505265 31 -186.17566 1.00000 32 649.05926 30.00000 1.507941 1.512432 1.505265 33 -1635.82565 342.96979 34 748.29632 20.00000 1.530264 1.536272 1.526703 35 325.61780 1.00000 36 224.36895 58.00000 1.507941 1.512432 1.505265 37 -666.48488 16.00000 38 -487.99841 17.00000 1.530264 1.536272 1.526703 39 693.14915 180.00297 40 （像面） （条件式対応値） ｆ＝３８４．４ｍｍ ｆ１＝２５９０．９ｍｍ （１）ｆ１／ｆ＝６．７４ （２）ν_3hp＝（ｎ_3hp−１）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＝７０．９ （３）θ_3hp＝（ｎ_3ip−ｎ_3hp）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＝０．６２７ （４）ν_3hn＝（ｎ_3hn−１）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＝５５．４ （５）θ_3hn＝（ｎ_3in−ｎ_3hn）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＝０．６２８ （６）ν_2hp＝（ｎ_2hp−１）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝７０．９ （７）θ_2hp＝（ｎ_2ip−ｎ_2hp）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＝０．６２７ （８）ν_2hn＝（ｎ_2hn−１）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＝５５．４ （９）θ_2hn＝（ｎ_2in−ｎ_2hn）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＝０．６２８ （１０）ν_1hp＝（ｎ_1hp−１）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＝７０．９ （１１）θ_1hp＝（ｎ_1ip−ｎ_1hp）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＝０．６２７ （１２）ν_1hn＝（ｎ_1hn−１）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＝５５．４ （１３）θ_1hn＝（ｎ_1in−ｎ_1hn）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＝０．６２８

【０１５１】図３２は、第１６実施例において物体側か
ら像側へ光線追跡することにより得られた投影光学系の
諸収差図である。各収差図において、ＮＡは像側開口数
を、Ｙは像高を、ｈはｈ線（λ＝４０４．７ｎｍ）を、
ｉはｉ線（λ＝３６５．０ｎｍ）を、ｇはｇ線（λ＝４
３５．８ｎｍ）をそれぞれ示している。また、非点収差
図において、実線はサジタル像面を示し、破線はメリデ
ィオナル像面を示している。さらに、歪曲収差図では、
基準波長光であるｈ線の光に対する歪曲収差を示してい
る。各収差図から明らかなように、第１６実施例では、
第１５実施例と同様に、諸収差が十分に小さく補正され
ており、良好な性能が確保されていることがわかる。

【０１５２】〔第１７実施例〕図３３は、第１７実施例
にかかる投影光学系のレンズ構成を示す図である。な
お、第１７実施例は、ｈ線の光とｉ線の光とｇ線の光と
に対して３色色消しされた投影光学系に本発明を適用し
ている。しかしながら、第１７実施例では、前述したよ
うに、瞳面を挟んで物体側の部分光学系と像側の部分光
学系とが瞳面に関して対称的ではなく、１．２倍の投影
倍率を有する投影光学系となっている。

【０１５３】図３３の投影光学系において、前方群Ｇｆ
は、物体側から順に、両凹レンズと、両凸レンズと、物
体側に凹面を向けた負メニスカスレンズとから構成され
ている。また、第１中間群Ｇｍｆは、物体側から順に、
両凸レンズと、物体側に凸面を向けた正メニスカスレン
ズと、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズと、物
体側に凸面を向けた負メニスカスレンズとから構成され
ている。さらに、第１中央サブ群Ｇｃｆは、物体側から
順に、両凹レンズと両凸レンズと両凹レンズとの貼り合
わせからなる１つの３枚接合レンズから構成されてい
る。

【０１５４】一方、第２中央サブ群Ｇｃｒは、像側から
順に、両凹レンズと両凸レンズと両凹レンズとの貼り合
わせからなる１つの３枚接合レンズから構成されてい
る。また、第２中間群Ｇｍｒは、像側から順に、両凸レ
ンズと、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズと、像
側に凸面を向けた正メニスカスレンズと、像側に凸面を
向けた負メニスカスレンズとから構成されている。さら
に、後方群Ｇｒは、像側から順に、両凹レンズと、両凸
レンズと、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズとか
ら構成されている。以上のように、第１７実施例では、
前方群Ｇｆ、第１中間群Ｇｍｆおよび第１中央サブ群Ｇ
ｃｆが、瞳面に関して、後方群Ｇｒ、第２中間群Ｇｍｒ
および第２中央サブ群Ｇｃｒと凹凸形状的にはそれぞれ
対称に構成されている。

【０１５５】次の表（１７）に、第１７実施例にかかる
投影光学系の諸元の値を掲げる。表（１７）において、
βは投影倍率（全系の結像倍率）を、ＮＡは像側開口数
を、φ／２は像面上での有効視野の半径を、ＴＬは物像
点間距離をそれぞれ表している。

【０１５６】また、面番号は物体面からの各面の順序
を、ｒは各面の曲率半径（ｍｍ）を、ｄは各面の軸上間
隔すなわち面間隔（ｍｍ）を、ｎ_hはｈ線（λ＝４０
４．７ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_iはｉ線（λ＝
３６５．０ｎｍ）の光に対する屈折率を、ｎ_gはｇ線
（λ＝４３５．８ｎｍ）の光に対する屈折率をそれぞれ
示している。なお、第１９面の瞳面は、第１中央サブ群
Ｇｃｆと第２中央サブ群Ｇｃｒとの中間に位置する仮想
面である。

【０１５７】上述のように、第１７実施例では、瞳面を
挟んで物体側の部分光学系と像側の部分光学系とが瞳面
に関して対称的ではないので、以下、本実施例における
条件式対応値の表現について説明する。本実施例では、
前方群Ｇｆの焦点距離をｆｏ１とし、瞳面を挟んで物体
側の部分光学系（物体面と瞳面との間に配置される光学
素子からなる部分光学系）の合成焦点距離をｆｏとす
る。また、後方群Ｇｒの焦点距離をｆｕ１とし、瞳面を
挟んで像側の部分光学系（像面と瞳面との間に配置され
る光学素子からなる部分光学系）の合成焦点距離をｆｕ
とする。

【０１５８】また、瞳面を挟んで物体側の部分光学系に
おいて、前方群Ｇｆ内の正レンズのｇ線に対する屈折率
をｎ_o1gpとし、前方群Ｇｆ内の前記正レンズのｈ線に対
する屈折率をｎ_o1hpとし、前方群Ｇｆ内の前記正レンズ
のｉ線に対する屈折率をｎ_{o1 ip}とし、前方群Ｇｆ内の負
レンズのｇ線に対する屈折率をｎ_o1gnとし、前方群Ｇｆ
内の前記負レンズのｈ線に対する屈折率をｎ_o1hnとし、
前方群Ｇｆ内の前記負レンズのｉ線に対する屈折率をｎ
_o1inとする。そして、前方群Ｇｆ内の前記正レンズの分
散比をν_o1hpとし、その部分分散比をθ_o1hpとする。同
様に、前方群Ｇｆ内の前記負レンズの分散比をν_o1hnと
し、その部分分散比をθ_o1hnとする。

【０１５９】さらに、瞳面を挟んで物体側の部分光学系
において、第１中間群Ｇｍｆ内の正レンズのｇ線に対す
る屈折率をｎ_o2gpとし、第１中間群Ｇｍｆ内の前記正レ
ンズのｈ線に対する屈折率をｎ_o2hpとし、第１中間群Ｇ
ｍｆ内の前記正レンズのｉ線に対する屈折率をｎ_o2ipと
し、第１中間群Ｇｍｆ内の負レンズのｇ線に対する屈折
率をｎ_o2gnとし、第１中間群Ｇｍｆ内の前記負レンズの
ｈ線に対する屈折率をｎ_o2hnとし、第１中間群Ｇｍｆ内
の前記負レンズのｉ線に対する屈折率をｎ_o2inとする。
そして、第１中間群Ｇｍｆ内の前記正レンズの分散比を
ν_o2hpとし、その部分分散比をθ_o2hpとする。同様に、
第１中間群Ｇｍｆ内の前記負レンズの分散比をν_o2hnと
し、その部分分散比をθ_o2hnとする。

【０１６０】また、瞳面を挟んで物体側の部分光学系に
おいて、第１中央サブ群Ｇｃｆ内の正レンズのｇ線に対
する屈折率をｎ_o3gpとし、第１中央サブ群Ｇｃｆ内の前
記正レンズのｈ線に対する屈折率をｎ_o3hpとし、第１中
央サブ群Ｇｃｆ内の前記正レンズのｉ線に対する屈折率
をｎ_o3ipとし、第１中央サブ群Ｇｃｆ内の負レンズのｇ
線に対する屈折率をｎ_o3gnとし、第１中央サブ群Ｇｃｆ
内の前記負レンズのｈ線に対する屈折率をｎ_o3hnとし、
第１中央サブ群Ｇｃｆ群内の前記負レンズのｉ線に対す
る屈折率をｎ_o3inとする。そして、第１中央サブ群Ｇｃ
ｆ内の前記正レンズの分散比をν_o3hpとし、その部分分
散比をθ_o3hpとする。同様に、第１中央サブ群Ｇｃｆ内
の前記負レンズの分散比をν_o3hnとし、その部分分散比
をθ_o3hnとする。

【０１６１】さらに、瞳面を挟んで像側の部分光学系に
おいて、後方群Ｇｒ内の正レンズのｇ線に対する屈折率
をｎ_u1gpとし、後方群Ｇｒ内の前記正レンズのｈ線に対
する屈折率をｎ_u1hpとし、後方群Ｇｒ内の前記正レンズ
のｉ線に対する屈折率をｎ_{u1 ip}とし、後方群Ｇｒ内の負
レンズのｇ線に対する屈折率をｎ_u1gnとし、後方群Ｇｒ
内の前記負レンズのｈ線に対する屈折率をｎ_u1hnとし、
後方群Ｇｒ内の前記負レンズのｉ線に対する屈折率をｎ
_u1inとする。そして、後方群Ｇｒ内の前記正レンズの分
散比をν_u1hpとし、その部分分散比をθ_u1hpとする。同
様に、後方群Ｇｒ内の前記負レンズの分散比をν_u1hnと
し、その部分分散比をθ_u1hnとする。

【０１６２】また、瞳面を挟んで像側の部分光学系にお
いて、第２中間群Ｇｍｒ内の正レンズのｇ線に対する屈
折率をｎ_u2gpとし、第２中間群Ｇｍｒ内の前記正レンズ
のｈ線に対する屈折率をｎ_u2hpとし、第２中間群Ｇｍｒ
内の前記正レンズのｉ線に対する屈折率をｎ_u2ipとし、
第２中間群Ｇｍｒ内の負レンズのｇ線に対する屈折率を
ｎ_u2gnとし、第２中間群Ｇｍｒ内の前記負レンズのｈ線
に対する屈折率をｎ_{u2 hn}とし、第２中間群Ｇｍｒ内の前
記負レンズのｉ線に対する屈折率をｎ_u2inとする。そし
て、第２中間群Ｇｍｒ内の前記正レンズの分散比をν
_u2hpとし、その部分分散比をθ_u2hpとする。同様に、第
２中間群Ｇｍｒ内の前記負レンズの分散比をν_u2hnと
し、その部分分散比をθ_u2hnとする。

【０１６３】さらに、瞳面を挟んで像側の部分光学系に
おいて、第２中央サブ群Ｇｃｒ内の正レンズのｇ線に対
する屈折率をｎ_u3gpとし、第２中央サブ群Ｇｃｒ内の前
記正レンズのｈ線に対する屈折率をｎ_u3hpとし、第２中
央サブ群Ｇｃｒ内の前記正レンズのｉ線に対する屈折率
をｎ_u3ipとし、第２中央サブ群Ｇｃｒ内の負レンズのｇ
線に対する屈折率をｎ_u3gnとし、第２中央サブ群Ｇｃｒ
内の前記負レンズのｈ線に対する屈折率をｎ_u3hnとし、
第２中央サブ群Ｇｃｒ群内の前記負レンズのｉ線に対す
る屈折率をｎ_u3inとする。そして、第２中央サブ群Ｇｃ
ｒ内の前記正レンズの分散比をν_u3hpとし、その部分分
散比をθ_u3hpとする。同様に、第２中央サブ群Ｇｃｒ内
の前記負レンズの分散比をν_u3hnとし、その部分分散比
をθ_u3hnとする。

【０１６４】

【表１７】 （主要諸元） β＝−１．２ ＮＡ＝０．０５ φ／２＝１０７ｍｍ ＴＬ＝８８８．９ｍｍ （光学部材諸元） 面番号 ｒ ｄ ｎ_h ｎ_i ｎ_g （物体面） 118.03344 1 -686.32773 8.30000 1.619860 1.627415 1.615404 2 208.08019 2.30000 3 217.68991 66.70000 1.507941 1.512432 1.505265 4 -143.55226 0.40000 5 -182.35612 14.80000 1.619860 1.627415 1.615404 6 -252.21567 65.30000 7 291.30650 25.00000 1.507941 1.512432 1.505265 8 -2267.25052 0.40000 9 86.02534 29.20000 1.507941 1.512432 1.505265 10 451.75452 0.20000 11 68.81712 25.00000 1.507941 1.512432 1.505265 12 144.13386 3.20000 13 154.08071 6.70000 1.530264 1.536272 1.526703 14 41.38470 20.60000 15 -1134.94525 3.00000 1.530264 1.536272 1.526703 16 23.08380 11.20000 1.507941 1.512432 1.505265 17 -32.59775 3.00000 1.530264 1.536272 1.526703 18 534.09299 0.75000 19 （瞳面） 0.90000 20 -532.65934 3.60000 1.530264 1.536272 1.526703 21 57.40164 13.40000 1.507941 1.512432 1.505265 22 -25.31489 3.60000 1.530264 1.536272 1.526703 23 576.47119 24.71494 24 -48.58457 8.00000 1.530264 1.536272 1.526703 25 -139.66783 3.80000 26 -178.78415 30.00000 1.507941 1.512432 1.505265 27 -82.04037 0.20000 28 -318.06578 35.00000 1.507941 1.512432 1.505265 29 -98.49875 0.50000 30 12654.75646 30.00000 1.507941 1.512432 1.505265 31 -340.98660 78.38983 32 417.84759 17.80000 1.619860 1.627415 1.615404 33 276.40993 0.50000 34 180.41357 80.00000 1.507941 1.512432 1.505265 35 -263.59362 2.80000 36 -253.52331 10.00000 1.619860 1.627415 1.615404 37 1380.75324 141.64115 38 （像面） （条件式対応値） ｆｏ＝１４２．１ｍｍ ｆｏ１＝７６４．０ｍｍ ｆｕ＝１７４．０ｍｍ ｆｕ１＝８０８．８ｍｍ （１）ｆｏ１／ｆｏ＝５．３８ ｆｕ１／ｆｕ＝４．６５ （２）ν_o3hp＝（ｎ_o3hp−１）／（ｎ_o3ip−ｎ_o3gp）＝７０．９ ν_u3hp＝（ｎ_u3hp−１）／（ｎ_u3ip−ｎ_u3gp）＝７０．９ （３）θ_o3hp＝（ｎ_o3ip−ｎ_o3hp）／（ｎ_o3ip−ｎ_o3gp）＝０．６２７ θ_u3hp＝（ｎ_u3ip−ｎ_u3hp）／（ｎ_u3ip−ｎ_u3gp）＝０．６２７ （４）ν_o3hn＝（ｎ_o3hn−１）／（ｎ_o3in−ｎ_o3gn）＝５５．４ ν_u3hn＝（ｎ_u3hn−１）／（ｎ_u3in−ｎ_u3gn）＝５５．４ （５）θ_o3hn＝（ｎ_o3in−ｎ_o3hn）／（ｎ_o3in−ｎ_o3gn）＝０．６２８ θ_u3hn＝（ｎ_u3in−ｎ_u3hn）／（ｎ_u3in−ｎ_u3gn）＝０．６２８ （６）ν_o2hp＝（ｎ_o2hp−１）／（ｎ_o2ip−ｎ_o2gp）＝７０．９ ν_u2hp＝（ｎ_u2hp−１）／（ｎ_u2ip−ｎ_u2gp）＝７０．９ （７）θ_o2hp＝（ｎ_o2ip−ｎ_o2hp）／（ｎ_o2ip−ｎ_o2gp）＝０．６２７ θ_u2hp＝（ｎ_u2ip−ｎ_u2hp）／（ｎ_u2ip−ｎ_u2gp）＝０．６２７ （８）ν_o2hn＝（ｎ_o2hn−１）／（ｎ_o2in−ｎ_o2gn）＝５５．４ ν_u2hn＝（ｎ_u2hn−１）／（ｎ_u2in−ｎ_u2gn）＝５５．４ （９）θ_o2hn＝（ｎ_o2in−ｎ_o2hn）／（ｎ_o2in−ｎ_o2gn）＝０．６２８ θ_u2hn＝（ｎ_u2in−ｎ_u2hn）／（ｎ_u2in−ｎ_u2gn）＝０．６２８ （１０）ν_o1hp＝（ｎ_o1hp−１）／（ｎ_o1ip−ｎ_o1gp）＝７０．９ ν_u1hp＝（ｎ_u1hp−１）／（ｎ_u1ip−ｎ_u1gp）＝７０．９ （１１）θ_o1hp＝（ｎ_o1ip−ｎ_o1hp）／（ｎ_o1ip−ｎ_o1gp）＝０．６２７ θ_u1hp＝（ｎ_u1ip−ｎ_u1hp）／（ｎ_u1ip−ｎ_u1gp）＝０．６２７ （１２）ν_o1hn＝（ｎ_o1hn−１）／（ｎ_o1in−ｎ_o1gn）＝５１．６ ν_u1hn＝（ｎ_u1hn−１）／（ｎ_u1in−ｎ_u1gn）＝５１．６ （１３）θ_o1hn＝（ｎ_o1in−ｎ_o1hn）／（ｎ_o1in−ｎ_o1gn）＝０．６２９ θ_u1hn＝（ｎ_u1in−ｎ_u1hn）／（ｎ_u1in−ｎ_u1gn）＝０．６２９

【０１６５】図３４は、第１７実施例において物体側か
ら像側へ光線追跡することにより得られた投影光学系の
諸収差図である。各収差図において、ＮＡは像側開口数
を、Ｙは像高を、ｈはｈ線（λ＝４０４．７ｎｍ）を、
ｉはｉ線（λ＝３６５．０ｎｍ）を、ｇはｇ線（λ＝４
３５．８ｎｍ）をそれぞれ示している。また、非点収差
図において、実線はサジタル像面を示し、破線はメリデ
ィオナル像面を示している。さらに、歪曲収差図では、
基準波長光であるｈ線の光に対する歪曲収差を示してい
る。各収差図から明らかなように、第１７実施例では、
投影倍率が１．２倍で瞳面に関して対称な光学系ではな
いため、歪曲収差がやや大きく発生しているものの諸収
差が良好に補正されており、良好な性能が確保されてい
ることがわかる。

【０１６６】なお、上述の各実施例では、中央群Ｇｃを
１つまたは２つの接合レンズで構成しているが、レンズ
を互いに貼り合わせることなく、わずかな間隔を隔てて
配置することもできる。たとえば、第６実施例および第
７実施例を除く各実施例において、第１中央サブ群Ｇｃ
ｆおよび第２中央サブ群Ｇｃｒを互いに間隔を隔てて配
置された複数枚のレンズで構成することができる。ま
た、第６実施例および第７実施例において、中央群Ｇｃ
を互いに間隔を隔てて配置された奇数枚のレンズで構成
することができる。

【０１６７】また、第６実施例および第７実施例を除く
各実施例では、中央群Ｇｃを第１中央サブ群Ｇｃｆと第
２中央サブ群Ｇｃｒとで構成しているが、第１中央サブ
群Ｇｃｆの最も像側のレンズと第２中央サブ群Ｇｃｒの
最も物体側のレンズとを接合するための中央レンズを付
設して中央群Ｇｃを１つの接合レンズ、すなわち奇数枚
のレンズからなる１つの接合レンズに統合することもで
きる。この場合、さらに１つの接合レンズに統合された
奇数枚のレンズをわずかな間隔を隔てて分離配置するこ
ともできる。

【０１６８】また、第１７実施例を除く各実施例では、
瞳面に関して完全に対称な等倍光学系に本発明を適用し
ているが、第１７実施例では、瞳面よりも物体側の部分
光学系の合成焦点距離と像側の部分光学系の合成焦点距
離との比を１．２に設定することにより、本発明にした
がって１．２倍の投影倍率を有する投影光学系を実現し
ている。したがって、第１７実施例の構成を物像間で逆
転させた変形例では、本発明にしたがって約０．８倍の
投影倍率を有する投影光学系を実現することもできる。

【０１６９】さらに、上述の各実施例において、最も物
体側に配置された前方群Ｇｆと最も像側に配置された後
方群Ｇｒとを除く他のレンズ群を移動させることよっ
て、投影倍率をある程度変更することができる。すなわ
ち、第１７実施例を除く各実施例では、基準状態におい
て等倍の投影光学系を、たとえば０．９倍〜１．１倍の
範囲に亘って投影倍率を変更することができる。また、
第１７実施例では、基準状態において１．２倍の投影光
学系を、たとえば１．１倍〜１．３倍の範囲に亘って投
影倍率を変更することができる。さらに、第１７実施例
の変形例では、基準状態において０．８の投影光学系
を、たとえば０．７倍〜０．９倍の範囲に亘って投影倍
率を変更することができる。

【０１７０】具体的には、第６実施例および第７実施例
を除く各実施例において、第１中央サブ群Ｇｃｆおよび
第２中央サブ群Ｇｃｒのうちの少なくとも一方を光軸に
沿って移動させて投影倍率を変更する。また、第６実施
例および第７実施例では、中央群Ｇｃを光軸に沿って移
動させて投影倍率を変更する。さらに、各実施例では、
第１中間群Ｇｍｆおよび第２中間群Ｇｍｒのうちの少な
くとも一方を光軸に沿って移動させて投影倍率を変更す
る。

【０１７１】こうして、投影倍率を等倍から変更した状
態において、投影光学系はその瞳面に関してほぼ対称に
構成された状態になる。換言すると、本発明において、
「瞳面に関してほぼ対称」に構成された状態とは、投影
倍率を等倍から変更した状態を含むものとする。なお、
本出願の発明者は、投影倍率を等倍から若干変更して
も、収差バランスの安定度が実質的に失われることがな
いことを検証している。

【０１７２】図３５は、本発明による投影光学系を、半
導体デバイス、液晶表示素子、プラズマディスプレイパ
ネルやプラズマアドレス液晶ディスプレイ等の表示デバ
イス、薄膜磁気へッド等のデバイス、及びプリント配線
基板などの製造におけるフォトリソグラフィ工程で用い
られる投影露光装置に適用した実施形態を示す図であ
る。

【０１７３】図３５において、光源１１は、ｇ線（波
長：４３６ｎｍ）、ｈ線（波長：４０４ｎｍ）、及びｉ
線（波長：３６５ｎｍ）を含む光を供給する超高圧水銀
灯である。この光源１１は、ランプ駆動回路３１によっ
て高電圧が印加されて点灯する。光源１１は、楕円鏡１
２の第一焦点位置近傍に位置決めされており、光源１１
からの光は、光路折り曲げ鏡１３を介した後、楕円鏡１
２の第二焦点位置に集光して、そこに光源像を形成す
る。

【０１７４】この光源像形成位置の近傍には、露光光
（照明光）のＯＮ／ＯＦＦを行うためのシャッタ１４が
設けられており、このシャッタ１４は、シャッタ駆動部
３２を介して駆動される。そして、光源像からの光は、
光源像形成位置近傍に前側焦点が位置決めされたインプ
ットレンズ群１５を通過することによってほぼ平行光束
に変換される。この平行光束中には、光源１１からの光
からｇ線、ｈ線及びｉ線の波長域を選択して通過させる
波長選択フィルタ１６が配置されている。

【０１７５】波長選択フィルタ１６を介した光は、複数
の棒状レンズ素子を２次元マトリックス状に集積して形
成されたフライアイレンズ１７に入射する。このフライ
アイレンズ１７の射出面近傍には、各々の棒状レンズ素
子により集光された光源像の集合体、すなわち面光源
（２次光源）が形成される。この面光源形成位置には、
所定の開口径を有する照明開口絞り１８が配置されてい
る。

【０１７６】照明開口絞り１８からの光は、前群１９及
び後群２０を有し、面光源形成位置近傍に前側焦点が位
置決めされたコンデンサレンズ系により集光され、マス
クＭ上の照明領域を重畳的に照明する。なお、図３５の
例では、コンデンサレンズ系の前群１９及び後群２０の
間に光路折り曲げ鏡２１が配置されている。

【０１７７】さて、上述の如き照明光学系（１１〜２
１）により照明されたマスクＭ上の回路パターンからの
光は、投影光学系ＰＬを介して感光性材料が表面上に塗
布されたワークＷに達し、ワークＷ上には投影光学系Ｐ
Ｌによる回路パターン像が形成される。

【０１７８】なお、図３５の投影露光装置を半導体デバ
イス製造のリソグラフィ工程で用いる場合、ワークＷと
してウエハを用い、液晶表示素子やプラズマディスプレ
イパネル（ＰＤＰ）等の表示デバイス製造の製造のリソ
グラフィ工程で用いる場合、ワークＷとしてガラス基板
を用い、磁気へッド製造のリソグラフィ工程で用いる場
合、ワークＷとしてローバーと呼ばれるバー形状の基板
が用いられ、プリント配線基板のリソグラフィ工程で用
いる場合、ワークＷとしてエポキシ樹脂等の樹脂基板が
用いられる。

【０１７９】なお、図３５の例では、マスクＭとして矩
形状の基板に回路パターンが形成されたものを用い、ワ
ークＷとして板状の基板を用いたが、本発明はこのよう
なマスク及び基板を扱う投影露光装置のみへの適用には
限られない。例えば、基板及びワークの少なくとも一方
として帯状のフィルムを用いても良い。このような投影
露光装置は、例えばＴＡＢ（Tape Automated Bonding）
方式の電子部品の実装に使用されるフィルム回路基板の
製造に用いられるフィルム露光装置が知られている。

【０１８０】さて、このワークＷはワークステージＷＳ
により保持され、ワークステージＷＳは、投影光学系Ｐ
Ｌの光軸方向（Ｚ方向）、この光軸と直交する平面（Ｘ
Ｙ平面）内方向、光軸を中心とした回転方向（θｚ方
向）、及びＸＹ軸を中心とする回転方向（θｘ，θｙ方
向）におけるワークＷの位置を調整可能にする。このワ
ークＷの位置は、ワークステージ駆動部３３による駆動
により調整される。また、ワークステージＷＳの光軸直
交平面内方向の位置は、エンコーダまたは干渉計等の測
長装置を備えたワークステージ位置検出部３４により常
時モニタされ、この位置情報は制御ユニット３０へ伝達
される。なお、上記のランプ駆動回路３１、シャッタ駆
動部３２、ワークステージ駆動部３３は、制御ユニット
３０により制御される。

【０１８１】さて、図３５の投影露光装置には、マスク
アライメント系３５及びワークアライメント系３６が設
けられている。マスクアライメント系３５は、ワークス
テージＷＳに設けられた基準マークに対するマスクＭの
位置ずれを検出する。また、ワークアライメント系３６
は、上記基準マークに対するワークアライメント系３６
の位置ずれとワークアライメント系３６の位置に対する
ワークＷ上のアライメントマークの位置とを検出する。

【０１８２】これらのマスクアライメント系３５及びワ
ークアライメント系３６は制御部３０に接続されてお
り、制御部３０は、基準マークに対するマスクＭの位置
ずれの情報、基準マークに対するワークアライメント系
３６の位置ずれの情報、ワークアライメント系３６の位
置に対するワークＷ上のアライメントマークの位置ずれ
の情報などに基づいて、マスクＭとワークＷとの位置ず
れ量を求め、この位置ずれを補正するようにワークステ
ージ駆動部３３を駆動して、マスクＭとワークＷとのア
ライメントを行う。

【０１８３】また、投影光学系ＰＬのワークＷ近傍の位
置には、ワークＷのＺ方向の位置及びθｘ，θｙ方向の
傾きを検出するためのＡＦ／ＡＬ系３７が設けられてい
る。このＡＦ／ＡＬ系３７も制御部３０に接続されてい
る。

【０１８４】また、投影光学系ＰＬを構成するレンズ素
子のうちの一部のレンズ素子（またはレンズ群）は、ワ
ークの伸縮に応じて投影光学系ＰＬの倍率を微調整する
ために光軸方向へ移動可能である。レンズ駆動部３８
は、光軸方向へ移動可能なレンズ素子（群）を駆動す
る。なお、レンズ素子の光軸方向への移動量（レンズ駆
動部３８の駆動量）は、制御部３０により制御される。

【０１８５】さて、例えばキーボードやマスクＭ上のバ
ーコードを読み取るバーコードリーダを有する入力部３
９は、制御部３０に接続されている。この入力部３９に
より、例えば、露光量や投影倍率等の露光条件に関する
情報が入力される。従って、制御部３０は、入力部３９
からの露光条件に関する情報に基づいて、シャッタ駆動
部３２やレンズ駆動部３８を駆動して、所望の露光量の
制御や、所望の投影倍率の設定を行う。

【０１８６】図３５の投影露光装置の露光動作の一例に
ついて簡単に説明すると、まず、入力部３９を介して露
光条件に関する情報を入力する。そして、レジスト（感
光性材料）が塗布されたワークＷを制御部３０により制
御される搬送装置（不図示）によりワークステージＷＳ
上に載置する。その後、マスクアライメント系３５及び
ワークアライメント系３６を用いてマスクＭに対するワ
ークＷの位置を検出し、ワークステージＷＳを駆動して
マスクＭとワークＷとの位置決めを行う。

【０１８７】次に、ＡＦ／ＡＬ系３７によりワークＷの
表面の位置・姿勢を検出し、ワークステ一ジＷＳを駆動
してワークＷの表面を投影光学系ＰＬの像面と合致させ
る。なお、入力部３９へ入力される露光条件に関する情
報中に投影倍率の変更に関する情報が含まれている場合
には、レンズ駆動部３８を用いて投影光学系ＰＬ中の一
部のレンズの位置を変位させ、投影倍率の変更を行う。
このように、マスクＭとワークＷとのアライメントが終
了すると、シャッタ駆動部３２によりシャッタ１４を開
き、マスクＭを照明して、マスクＭ上のパターン像をワ
ークＷ上に転写する。

【０１８８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明では、大面
積の有効視野を確保しつつ、ｈ線の光とｉ線の光とｇ線
の光とに対して良好に３色色消しされた、コントラスト
の高い解像度を有する、ほぼ等倍あるいは０．７倍〜
１．３倍の両側テレセントリック投影光学系を実現する
ことができる。あるいは、大面積の有効視野を確保しつ
つ、ｈ線の光とｇ線の光とに対してまたはｈ線の光とｉ
線の光とに対して良好に２色色消しされた、コントラス
トの高い解像度を有する、ほぼ等倍の両側テレセントリ
ック投影光学系を実現することができる。

【０１８９】また、本発明の投影光学系を露光装置に適
用すると、大面積の露光領域に対応することができると
ともに、光源からの光エネルギを効率良く利用し、光源
の小型化やスループットの向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例にかかる投影光学系のレンズ構成を
示す図である。

【図２】第１実施例において物体側から像側へ光線追跡
することにより得られた投影光学系の諸収差図である。

【図３】第２実施例にかかる投影光学系のレンズ構成を
示す図である。

【図４】第２実施例において物体側から像側へ光線追跡
することにより得られた投影光学系の諸収差図である。

【図５】第３実施例にかかる投影光学系のレンズ構成を
示す図である。

【図６】第３実施例において物体側から像側へ光線追跡
することにより得られた投影光学系の諸収差図である。

【図７】第４実施例にかかる投影光学系のレンズ構成を
示す図である。

【図８】第４実施例において物体側から像側へ光線追跡
することにより得られた投影光学系の諸収差図である。

【図９】第５実施例にかかる投影光学系のレンズ構成を
示す図である。

【図１０】第５実施例において物体側から像側へ光線追
跡することにより得られた投影光学系の諸収差図であ
る。

【図１１】第６実施例にかかる投影光学系のレンズ構成
を示す図である。

【図１２】第６実施例において物体側から像側へ光線追
跡することにより得られた投影光学系の諸収差図であ
る。

【図１３】第７実施例にかかる投影光学系のレンズ構成
を示す図である。

【図１４】第７実施例において物体側から像側へ光線追
跡することにより得られた投影光学系の諸収差図であ
る。

【図１５】第８実施例にかかる投影光学系のレンズ構成
を示す図である。

【図１６】第８実施例において物体側から像側へ光線追
跡することにより得られた投影光学系の諸収差図であ
る。

【図１７】第９実施例にかかる投影光学系のレンズ構成
を示す図である。

【図１８】第９実施例において物体側から像側へ光線追
跡することにより得られた投影光学系の諸収差図であ
る。

【図１９】第１０実施例にかかる投影光学系のレンズ構
成を示す図である。

【図２０】第１０実施例において物体側から像側へ光線
追跡することにより得られた投影光学系の諸収差図であ
る。

【図２１】第１１実施例にかかる投影光学系のレンズ構
成を示す図である。

【図２２】第１１実施例において物体側から像側へ光線
追跡することにより得られた投影光学系の諸収差図であ
る。

【図２３】第１２実施例にかかる投影光学系のレンズ構
成を示す図である。

【図２４】第１２実施例において物体側から像側へ光線
追跡することにより得られた投影光学系の諸収差図であ
る。

【図２５】第１３実施例にかかる投影光学系のレンズ構
成を示す図である。

【図２６】第１３実施例において物体側から像側へ光線
追跡することにより得られた投影光学系の諸収差図であ
る。

【図２７】第１４実施例にかかる投影光学系のレンズ構
成を示す図である。

【図２８】第１４実施例において物体側から像側へ光線
追跡することにより得られた投影光学系の諸収差図であ
る。

【図２９】第１５実施例にかかる投影光学系のレンズ構
成を示す図である。

【図３０】第１５実施例において物体側から像側へ光線
追跡することにより得られた投影光学系の諸収差図であ
る。

【図３１】第１６実施例にかかる投影光学系のレンズ構
成を示す図である。

【図３２】第１６実施例において物体側から像側へ光線
追跡することにより得られた投影光学系の諸収差図であ
る。

【図３３】第１７実施例にかかる投影光学系のレンズ構
成を示す図である。

【図３４】第１７実施例において物体側から像側へ光線
追跡することにより得られた投影光学系の諸収差図であ
る。

【図３５】半導体デバイスなどの製造におけるフォトリ
ソグラフィ工程で用いられる投影露光装置に対して本発
明による投影光学系を適用した実施形態を示す図であ
る。

【符号の説明】

Ｇｆ 前方群 Ｇｍｆ 第１中間群 Ｇｃ 中央群 Ｇｃｆ 第１中央サブ群 Ｇｃｒ 第２中央サブ群 Ｇｍｒ 第２中間群 Ｇｒ 後方群 １１ 光源 １２ 楕円鏡 １４ シャッタ １５ インプットレンズ群 １６ 波長選択フィルタ １７ フライアイレンズ １８ 開口絞り １９，２０ コンデンサレンズ系 Ｍ マスク ＰＬ 投影光学系 Ｗ ワーク ＷＳ ワークステージ ３０ 制御ユニット ３１ ランプ駆動回路 ３２ シャッタ駆動部 ３３ ワークステージ駆動部

フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H087 KA21 NA02 PA12 PA14 PA15 PA19 PB16 PB18 PB20 QA02 QA07 QA12 QA14 QA17 QA19 QA21 QA22 QA25 QA26 QA32 QA34 QA37 QA39 QA41 QA42 QA45 QA46 RA32 5F046 BA03 CA02 CA07 CB12 CB25 DA13

Claims (19)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 物体側および像側の両側にほぼテレセン
   トリックな投影光学系において、 前記物体と前記像との間に配置された前方群と、 前記前方群と前記像との間に配置されて、前記投影光学
   系の瞳面に関して前記前方群とほぼ対称に構成された後
   方群と、 前記前方群と前記後方群との間に配置されて、前記瞳面
   に関してほぼ対称に構成された中央群と、 前記前方群と前記中央群との間に配置された第１中間群
   と、 前記後方群と前記中央群との間に配置されて、前記瞳面
   に関して前記第１中間群とほぼ対称に構成された第２中
   間群とを備え、 前記前方群の焦点距離をｆ１とし、前記投影光学系にお
   いて前記物体と前記瞳面との間に配置される光学素子か
   らなる部分光学系の合成焦点距離をｆとし、前記中央群
   内の正レンズのｇ線に対する屈折率をｎ_3gpとし、前記
   中央群内の前記正レンズのｈ線に対する屈折率をｎ_3hp
   とし、前記中央群内の前記正レンズのｉ線に対する屈折
   率をｎ_3ipとし、前記中央群内の負レンズのｇ線に対す
   る屈折率をｎ_3gnとし、前記中央群内の前記負レンズの
   ｈ線に対する屈折率をｎ_3hnとし、前記中央群内の前記
   負レンズのｉ線に対する屈折率をｎ_3inとしたとき、 １．５＜ｆ１／ｆ＜９．０ ６１＜（ｎ_3hp−１）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＜８２ ０．６２＜（ｎ_3ip−ｎ_3hp）／（ｎ_3ip−ｎ_3gp）＜０．６３ ４５＜（ｎ_3hn−１）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＜６２ ０．６２＜（ｎ_3in−ｎ_3hn）／（ｎ_3in−ｎ_3gn）＜０．６５ の条件を満足することを特徴とする投影光学系。
2. 【請求項２】 前記第１中間群内の正レンズのｇ線に対
   する屈折率をｎ_2gpとし、前記第１中間群内の前記正レ
   ンズのｈ線に対する屈折率をｎ_2hpとし、前記第１中間
   群内の前記正レンズのｉ線に対する屈折率をｎ_2ipと
   し、前記第１中間群内の負レンズのｇ線に対する屈折率
   をｎ_2gnとし、前記第１中間群内の前記負レンズのｈ線
   に対する屈折率をｎ_2hnとし、前記第１中間群内の前記
   負レンズのｉ線に対する屈折率をｎ_2inとしたとき、 ４５＜（ｎ_2hp−１）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＜８２ ０．６２＜（ｎ_2ip−ｎ_2hp）／（ｎ_2ip−ｎ_2gp）＜０．６３ ２５＜（ｎ_2hn−１）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＜６２ ０．６２＜（ｎ_2in−ｎ_2hn）／（ｎ_2in−ｎ_2gn）＜０．６５ の条件を満足することを特徴とする請求項１に記載の投
   影光学系。
3. 【請求項３】 前記前方群内の正レンズのｇ線に対する
   屈折率をｎ_1gpとし、前記前方群内の前記正レンズのｈ
   線に対する屈折率をｎ_1hpとし、前記前方群内の前記正
   レンズのｉ線に対する屈折率をｎ_1ipとし、前記前方群
   内の負レンズのｇ線に対する屈折率をｎ_1gnとし、前記
   前方群内の前記負レンズのｈ線に対する屈折率をｎ_1hn
   とし、前記前方群内の前記負レンズのｉ線に対する屈折
   率をｎ_{1 in}としたとき、 ４５＜（ｎ_1hp−１）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＜８２ ０．６２＜（ｎ_1ip−ｎ_1hp）／（ｎ_1ip−ｎ_1gp）＜０．６４ ３５＜（ｎ_1hn−１）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＜６２ ０．６２＜（ｎ_1in−ｎ_1hn）／（ｎ_1in−ｎ_1gn）＜０．６４ の条件を満足することを特徴とする請求項１または２に
   記載の投影光学系。
4. 【請求項４】 前記前方群は、物体側から順に、負レン
   ズと正レンズとから構成され、 前記第１中間群は、物体側から順に、正レンズと正レン
   ズと負レンズとから構成されていることを特徴とする請
   求項１乃至３のいずれか１項に記載の投影光学系。
5. 【請求項５】 前記前方群は、物体側から順に、正レン
   ズと負レンズとから構成され、 前記第１中間群は、物体側から順に、正レンズと正レン
   ズと負レンズとから構成されていることを特徴とする請
   求項１乃至３のいずれか１項に記載の投影光学系。
6. 【請求項６】 前記前方群は、物体側から順に、負レン
   ズと正レンズと正レンズとから構成され、 前記第１中間群は、物体側から順に、正レンズと正レン
   ズと負レンズとから構成されていることを特徴とする請
   求項１乃至３のいずれか１項に記載の投影光学系。
7. 【請求項７】 前記前方群は、物体側から順に、負レン
   ズと正レンズと負レンズとから構成され、 前記第１中間群は、物体側から順に、正レンズと正レン
   ズと正レンズと負レンズとから構成されていることを特
   徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の投影光
   学系。
8. 【請求項８】 前記前方群は、物体側から順に、正レン
   ズと負レンズと正レンズとから構成され、 前記第１中間群は、物体側から順に、正レンズと正レン
   ズと正レンズと負レンズとから構成されていることを特
   徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の投影光
   学系。
9. 【請求項９】 前記前方群は、物体側から順に、正レン
   ズと負レンズとから構成され、 前記第１中間群は、物体側から順に、正レンズと正レン
   ズと正レンズと負レンズとから構成されていることを特
   徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の投影光
   学系。
10. 【請求項１０】 前記中央群は、前記瞳面よりも前記物
    体側に配置された第１中央サブ群と、前記瞳面よりも前
    記像側に配置された第２中央サブ群とを有することを特
    徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の投影光
    学系。
11. 【請求項１１】 前記第１中央サブ群は、物体側から順
    に、負レンズと正レンズと負レンズとから構成されてい
    ることを特徴とする請求項１０に記載の投影光学系。
12. 【請求項１２】 前記第１中央サブ群は、物体側から順
    に、正レンズと負レンズと正レンズとから構成されてい
    ることを特徴とする請求項１０に記載の投影光学系。
13. 【請求項１３】 前記第１中央サブ群は、物体側から順
    に、正レンズと負レンズと正レンズと負レンズとから構
    成されていることを特徴とする請求項１０に記載の投影
    光学系。
14. 【請求項１４】 光学系全体の投影倍率を変化させるた
    めに、前記第１中央サブ群および前記第２中央サブ群の
    うちの少なくとも一方が光軸に沿って移動可能に構成さ
    れていることを特徴とする請求項１０乃至１３のいずれ
    か１項に記載の投影光学系。
15. 【請求項１５】 前記中央群は、前記瞳面に配置された
    中央レンズを含む奇数枚のレンズから構成されているこ
    とを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の
    投影光学系。
16. 【請求項１６】 光学系全体の投影倍率を変化させるた
    めに、前記中央群が光軸に沿って移動可能に構成されて
    いることを特徴とする請求項１５に記載の投影光学系。
17. 【請求項１７】 光学系全体の投影倍率を変化させるた
    めに、前記第１中間群および前記第２中間群のうちの少
    なくとも一方が光軸に沿って移動可能に構成されている
    ことを特徴とする請求項１乃至１６のいずれか１項に記
    載の投影光学系。
18. 【請求項１８】 第１の光学材料から形成されたレンズ
    と、前記第１の光学材料とは実質的に異なる光学特性を
    有する第２の光学材料から形成されたレンズとだけから
    構成されていることを特徴とする請求項１乃至１７のい
    ずれか１項に記載の投影光学系。
19. 【請求項１９】 請求項１乃至１８のいずれか１項に記
    載の投影光学系を介して、マスク上のパターンをワーク
    上へ投影露光することを特徴とする露光装置。