JP2009536373A - 光学レンズ系 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一般的に、一態様では、本発明は、複数の水銀輝線の放射を放出するように構成された水銀光源、水銀光源によって放出された放射を受光するように位置決めされた投影対物レンズ、及び投影対物レンズに対してウェーハを位置決めするように構成された台を含むシステムを特徴とする。作動中に、投影対物レンズは、光源からウェーハへ放射を方向付けし、ウェーハでの放射は、1つよりも多い輝線からのエネルギを含む。投影対物レンズに使用するための光学レンズ系を開示する。
【選択図】図6
Description
本出願は、2006年5月5日出願の「光学レンズ系」という名称の米国特許仮出願第60/798、157号に対する優先権を請求し、かつ2006年8月17日出願の「光学レンズ系」という名称の米国特許仮出願第60/838、213号に対する優先権を請求するものである。両方の米国特許仮出願の全内容は、引用によって本明細書に組み込まれている。
本発明の開示は、光学レンズ系、及び関連のマイクロリソグラフィシステム及び方法に関する。
一般的に、別の態様では、本発明は、複数の水銀輝線の放射を放出するように構成された水銀光源と、水銀光源によって放出された放射を受光するように位置決めされた投影対物レンズと、投影対物レンズに対してウェーハを位置決めするように構成された台とを含むシステムを特徴とする。作動中には、投影対物レンズは、光源からウェーハへと放射を方向付けし、ウェーハでの放射は、輝線の1つよりも多くからのエネルギを含む。
従って、1つよりも多くの波長で有用な投影対物レンズのための商業的に実用性のあるデザインを開示する。
他の特徴及び利点は、本明細書の説明、図面、及び特許請求の範囲から明らかになるであろう。
様々な図面の同じ参照記号は、同じ要素を表している。
光源18によって供給される光源放射14は、ある一定の分布の放射波長成分を含む。この分布は、中心波長λ及び半値全幅のスペクトル帯域幅Δλを有する。光学系では、色収差は、光学構成要素内での分散(例えば、各構成要素における屈折率のλによる変化)に起因して発生する。一般的に、光源放射14のスペクトル帯域幅Δλが大きい程、光学系における色収差のマグニチュードは増大する。
一部の実施形態では、光学レンズ系2の色収差のマグニチュードは、第1のレンズ群10と第2のレンズ群12の間の光軸8に沿った距離dに従って変更することができる。距離dは、出力平面6に対して光学レンズ系2の特定のマグニチュードの色収差を発生させるように選択することができる。例えば、dは、出力平面6に対する光学レンズ系2の色収差のマグニチュードが、約光源放射14の波長よりも短いように選択することができる。一部の実施形態では、dは、約5センチメートル又はそれよりも大きい(例えば、約10センチメートル又はそれよりも大きく、約15センチメートル又はそれよりも大きく、約20センチメートル又はそれよりも大きい)とすることができる。
また、第2のレンズ群12も様々な構成を有することができ、様々なレンズを含むことができる。一般的に、第2のレンズ群12は、2つ又はそれよりも多くのレンズ、例えば、3つのレンズ、4つのレンズ、5つのレンズ、又は5つよいも多くのレンズを含む。レンズの各々は、凹面、凸面、又は凹凸両方の表面を有することができる。
一部の実施形態では、光学レンズ系2は、光源パターンを光源平面4から出力平面6へと伝達し、出力平面6内に光源パターンの像を形成するように構成することができる。例えば、この像は、基板を露光するのに用いることができる。
一部の実施形態では、第1のレンズ群10及び第2のレンズ群12のレンズの寸法、材料、及び配置は、光学レンズ系2に特定の開口数をもたらすように選択することができる。例えば、光学レンズ系2の開口数は、出力平面6において少なくとも約0.1(例えば、少なくとも約0.15、少なくとも約0.2、少なくとも約0.25、少なくとも約0.5)とすることができる。
一部の実施形態では、長さLは、光源放射14の最大視野サイズの約20倍又はそれ未満である。例えば、長さLは、光源放射14の最大視野サイズの約16倍又はそれ未満(例えば、約14倍又はそれ未満、約12倍又はそれ未満、約10倍又はそれ未満、約8倍又はそれ未満、約6倍又はそれ未満)とすることができる。
一部の実施形態では、レンズ群10、12、20、及び22は、全て正のレンズ群である。レンズ群10は、入射瞳の像を形成するのに役立ち、一方、レンズ群12は、光源平面4に配置された物体の像を形成するのに役立つ。レンズ群13及び23は、負のレンズ群であり、同様に平面26に関して対称に位置決めされる。一般的に、レンズ群10、12、13、20、22、及び23は、各々1つ又はそれよりも多くのレンズを含むことができる。
レンズ群12及び20内の正−負のレンズダブレットの一方における負のレンズは、対称平面26のそれぞれの側の対称平面26の最も近くに位置決めすることができる。そのような配置を用いることで、より優れた色収差低減を達成することができると考えられる。更に、そのような配置は、光学レンズ系60内の瞳像を均一化することに寄与することができ、それによって系内の全光線束のより優れた対称性維持を達成することができると考えられる。
群Cと示した第3の群は、40よりも低いアッベ数を有する材料を含む。群C内の材料は、約1.56よりも高い屈折率を有する。群C内の材料は、LLF−6ガラス、LLF−1ガラス、又はLF−5ガラスのようなフリントガラスを含むことができる。
レンズ表面上の放射の断面強度分布を特徴付ける1つの手法は、各レンズ表面の放射の全開口CAに対する部分開口SAの比によるものである。レンズ表面における全開口CAは、物体領域における全ての視野点から照らされるレンズ区域を意味する。レンズ表面における部分開口SAは、物体領域における単一の視野点から照らされる最大レンズ区域を意味する。最大開口数NAmax及び最大物体サイズdmaxを有する光学レンズ系の物体43、レンズ44、及び絞り45を示している図4Aを参照すると、レンズ位置zにおける比SA/CAは、次式によって近似することができる。
一般的に、所定の投影対物レンズでは、SA/CA比は、投影対物レンズの開口数及び視野サイズに依存する。すなわち、可能な最大開口数NAmaxを有する所定のレンズ系が開口数NAまで絞り込まれ、最大視野サイズdmaxが視野サイズdまで縮小された場合には、比SA/CAは、典型的には変化する。この依存性を回避するために、所定の投影対物レンズに対して固有の新しい量が定義される。
一方、Γが大きい場合(例えば、Maが約0.31又はそれよりも大きいのように比較的大きい、及び/又はMbが0.85又はそれ未満のように比較的小さい場合)には、レンズのうちの多くの部分が、レンズ表面にわたって照明が比較的不均一である物体領域と瞳平面の間の中ほどにある中間のB区画内に配置される傾向を有する。この場合、光学レンズ系の結像特性に対するレンズ加熱効果は、比較的大きいであろう。
光学レンズ系の加熱を特徴付ける情報を提供するために、非点収差のような収差、焦点面偏差、及び他のパラメータを計算することができる。
レジスト(感光材料)の層が、ウェーハ77の表面上に置かれる。作動中には、光源71は、放射R71を照明系72に方向付けし、照明系72は、矢印R72で示すように、放射をレチクル76に方向付ける。光学レンズ系73は、矢印R73で示すように、放射を用いてレチクル76上のパターン像をレジスト層上に投影する。台75は、ウェーハ77を光学レンズ系73に対して移動し、レジスト層の異なる領域を放射に露光する。
一部の実施形態では、複数の基板を光源放射14に露光することができる。例えば、複数の基板は複数のダイとすることができ、複数のダイを放射に同時に露光することができるように、光源放射14の視野サイズは、十分に大きいものとすることができる。
結像光学レンズ系100の実施形態を図6に示している。光学レンズ系100は、対物面102から対称平面106を通じて像平面104へと光パターンを伝達するように構成される。光学レンズ系100は、第1のレンズ群110、第2のレンズ群112、第3のレンズ群114、及び第4のレンズ群116を含む。レンズ群のレンズの各々は、図示の座標系内のz軸に対して平行な軸108に対して回転対称である。光学レンズ系100は、0.20の最大開口数をもたらすように構成される。
光学レンズ系100内のレンズの各々は、対物面102に対面する第1の表面、及び像平面104に対面する第2の表面を有する。各レンズの第1の表面は、「a」というラベル付けによって示している。例えば、レンズ118の第1の表面は、118aとラベル付けする。各レンズの第2の表面は、「b」というラベル付けによって示している。従って、レンズ118の第2の表面は、118bとラベル付けする。明瞭化のために、図6ではレンズの第1及び第2の表面に対応する全てのラベル付けを示してはいないが、各レンズは、それぞれ「a」及び「b」とラベル付けした第1及び第2の表面を含む。
レンズ130は、レンズ132から1.0mmの距離だけ分離される。レンズ132及び134は、軸108に沿って直近して存在する。レンズ134は、レンズ136から1.0mmの距離だけ分離される。第2のレンズ群112は、対称平面106から5.8mmの距離(例えば、軸108に沿って表面136bと対称平面106との間で測定された距離)だけ分離される。
第3のレンズ群114内のレンズの寸法、間隔、及び材料は、第2のレンズ群112内のレンズの寸法、間隔、及び材料と同様である。第3のレンズ群114内のレンズは、第2のレンズ群112と第3のレンズ群114が対称平面106に関して対称なレンズ配置を形成するように軸108に沿って位置決めされる。
第4のレンズ群116内のレンズの寸法、間隔、及び材料は、第1のレンズ群110内のレンズの寸法、間隔、及び材料と同様である。第4のレンズ群116内のレンズは、第1のレンズ群110と第4のレンズ群116が対称平面106に関して対称なレンズ配置を形成するように軸108に沿って位置決めされる。
光学レンズ系100内のレンズの表面のうちの一部は、非球面表面である。具体的には、表面118b、124a、126a、128b、130a、136b、138a、144b、146a、148b、150b、及び156aは、非球面表面である。光学レンズ系100内の他のレンズ表面は、球面表面である。表2Aでは、非球面表面を形状「AS」を有するものとして識別している。光学レンズ系100内のレンズの非球面表面に対して式1に対応する非球面定数を表2Bに示している。
第1のレンズ群110の主平面160を光学レンズ系100内に示している。主平面は、第1のレンズ群110と第2のレンズ群112の間に存在する。
光学レンズ系200内のレンズの各々は、対物面202に対面する第1の表面、及び像平面204に対面する第2の表面を有する。各レンズの第1の表面は、「a」というラベル付けによって示している。例えば、レンズ218の第1の表面は、218aとラベル付けする。各レンズの第2の表面は、「b」というラベル付けによって示している。従って、レンズ218の第2の表面は、218bとラベル付けする。明瞭化のために、図7ではレンズの第1及び第2の表面に対応する全てのラベル付けを示してはいないが、各レンズは、それぞれ「a」及び「b」とラベル付けした第1及び第2の表面を含む。
レンズ230は、レンズ232から1.0mmの距離だけ分離される。レンズ232及び234は、軸208に沿って直近して存在する。レンズ234は、レンズ236から1.0mmの距離だけ分離される。第2のレンズ群212は、対称平面206から6.0mmの距離(例えば、軸208に沿って表面236bと対称平面206との間で測定された距離)だけ分離される。
第3のレンズ群214内のレンズの寸法、間隔、及び材料は、第2のレンズ群212内のレンズの寸法、間隔、及び材料と同様である。第3のレンズ群214内のレンズは、第2のレンズ群212と第3のレンズ群214が対称平面206に関して対称なレンズ配置を形成するように、軸208に沿って位置決めされる。
第4のレンズ群216内のレンズの寸法、間隔、及び材料は、第1のレンズ群210内のレンズの寸法、間隔、及び材料と同様である。第4のレンズ群216内のレンズは、第1のレンズ群210と第4のレンズ群216が対称平面206に関して対称なレンズ配置を形成するように軸208に沿って位置決めされる。
光学レンズ系300内のレンズの各々は、対物面302に対面する第1の表面、及び像平面304に対面する第2の表面を有する。各レンズの第1の表面は、「a」というラベル付けによって示している。例えば、レンズ318の第1の表面は、318aとラベル付けする。各レンズの第2の表面は、「b」というラベル付けによって示している。従って、レンズ318の第2の表面は、318bとラベル付けする。明瞭化のために、図8ではレンズの第1及び第2の表面に対応する全てのラベル付けを示してはいないが、各レンズは、それぞれ「a」及び「b」とラベル付けした第1及び第2の表面を含む。
レンズ330は、レンズ332から1.0mmの距離だけ分離される。レンズ332は、レンズ334から1.3mmの距離だけ分離される。レンズ334は、レンズ336から0.1mmの距離だけ分離される。第2のレンズ群312は、対称平面306から5.0mmの距離(例えば、軸308に沿って表面336bと対称平面306との間で測定された距離)だけ分離される。
第3のレンズ群314は、対称平面306から5.0mmの距離(例えば、軸308に沿って対称平面306と表面338aとの間で測定された距離)だけ分離される。レンズ338は、レンズ340から0.1mmの距離だけ分離される。レンズ340は、レンズ342から1.3mmの距離だけ分離される。レンズ342は、レンズ344から1.0mmの距離だけ分離される。第3のレンズ群314は、第4のレンズ群316から127.3mmの軸308に沿って測定された距離d6(例えば、軸308に沿って表面344bと表面346aとの間で測定された距離)だけ分離される。
第3のレンズ群314内のレンズの寸法、間隔、及び材料は、第2のレンズ群312内のレンズの寸法、間隔、及び材料と同様である。第3のレンズ群314内のレンズは、第2のレンズ群312と第3のレンズ群314が対称平面306に関して対称なレンズ配置を形成するように、軸308に沿って位置決めされる。
第4のレンズ群316内のレンズの寸法、間隔、及び材料は、第1のレンズ群310内のレンズの寸法、間隔、及び材料と同様である。第4のレンズ群316内のレンズは、第1のレンズ群310と第4のレンズ群316が対称平面306に関して対称なレンズ配置を形成するように、軸308に沿って位置決めされる。
光学レンズ系300内のレンズの表面のうちの一部は、非球面表面である。具体的には、表面318a、324a、328a、330a、334b、340a、344b、346b、350b、及び356bは非球面表面である。光学レンズ系300内の他のレンズ表面は球面表面である。表4Aでは、非球面表面は、形状「AS」を有するものとして識別している。光学レンズ系300内のレンズの非球面表面に対して式1に対応する非球面定数を表4Bに示している。
光学レンズ系400内のレンズの各々は、対物面402に対面する第1の表面、及び像平面404に対面する第2の表面を有する。各レンズの第1の表面は、「a」というラベル付けによって示している。例えば、レンズ418の第1の表面は、418aとラベル付けする。各レンズの第2の表面は、「b」というラベル付けによって示している。従って、レンズ418の第2の表面は、418bとラベル付けする。明瞭化のために、図9ではレンズの第1及び第2の表面に対応する全てのラベル付けを示してはいないが、各レンズは、それぞれ「a」及び「b」とラベル付けした第1及び第2の表面を含む。
レンズ430は、レンズ432から1.0mmの距離だけ分離される。レンズ432は、レンズ434から1.0mmの距離だけ分離される。レンズ434は、レンズ436から1.5mmの距離だけ分離される。第2のレンズ群412は、対称平面406から1.0mmの距離(例えば、軸408に沿って表面436bと対称平面406との間で測定された距離)だけ分離される。
第3のレンズ群414は、対称平面406から1.0mmの距離(例えば、軸408に沿って対称平面406と表面438aとの間で測定された距離)だけ分離される。レンズ438は、レンズ440から1.5mmの距離だけ分離される。レンズ440は、レンズ442から1.0mmの距離だけ分離される。レンズ442は、レンズ444から1.0mmの距離だけ分離される。第3のレンズ群414は、第4のレンズ群416から97.9mmの軸408に沿って測定された距離d8(例えば、軸408に沿って表面444bと表面446aとの間で測定された距離)だけ分離される。
第3のレンズ群414内のレンズの寸法、間隔、及び材料は、第2のレンズ群412内のレンズの寸法、間隔、及び材料と同様である。第3のレンズ群414内のレンズは、第2のレンズ群412と第3のレンズ群414が対称平面406に関して対称なレンズ配置を形成するように、軸408に沿って位置決めされる。
第4のレンズ群416内のレンズの寸法、間隔、及び材料は、第1のレンズ群410内のレンズの寸法、間隔、及び材料と同様である。第4のレンズ群416内のレンズは、第1のレンズ群410と第4のレンズ群416が対称平面406に関して対称なレンズ配置を形成するように、軸408に沿って位置決めされる。
最大非点収差変動:263nm/W
ピーク−谷間焦点面偏差変化:481nm/W
ピーク−谷間像面湾曲変化:318nm/W
軸上非点収差変動:−62nm/W
最大歪曲変化:12nm/W
光学レンズ系400内のレンズの表面のうちの一部は、非球面表面である。具体的には、表面420b、422b、426b、428a、434b、440a、446b、448a、452a、及び454aは非球面表面である。光学レンズ系400内の他のレンズ表面は球面表面である。表5Aでは、非球面表面は、形状「AS」を有するものとして識別している。光学レンズ系400内のレンズの非球面表面に対して、式1に対応する非球面定数を表5Bに示している。
各レンズ表面に関する|SA/CA|’の値を表5Cに提供する。
光学レンズ系800は、レンズ群810、813、812、820、823、及び822を含む。レンズ群810、812、820、及び822は、正の屈折力を有する。レンズ群813及び823は、負の屈折力を有する。レンズ群のレンズの各々は、図示の座標系内のz軸に対して平行な軸808に対して回転対称である。
レンズ群813は、レンズ828及び830を含む。レンズ828及びレンズ830は両方とも、溶融シリカから形成される。
レンズ群814は、平面806に関してレンズ群812と対称に位置決めされる。従って、レンズ842、844、846、848、及び850は、それぞれ、レンズ840、838、836、834、及び832と同じ材料から形成され、かつ同じ形状である。
レンズ群816は、平面806に関してレンズ群810と対称に位置決めされる。従って、レンズ856、858、860、862、及び864は、それぞれ、レンズ826、824、822、820、及び818と同じ材料から形成され、かつ同じ形状である。
最大非点収差変動:153nm/W
ピーク−谷間焦点面偏差変化:270nm/W
ピーク−谷間像面湾曲変化:175nm/W
軸上非点収差変動:−37nm/W
最大歪曲変化:8.6nm/W
各レンズ表面に関する|SA/CA|’の値を表6Bに提供する。
光学レンズ系900は、0.22のMa値、0.88のMb値、及び0.26のΓ比を有する。
レンズ群910は、レンズ918、920、922、924、及び926を含む。レンズ918は、LLF−1ガラスから形成されるのに対して、レンズ群910内の全ての他のレンズは、溶融シリカから形成される。レンズ918は、レンズ920と共にPNダブレットを形成する。
レンズ群912は、レンズ932、934、936、938、及び940を含む。レンズ932、934、及び938は、CaF2から形成される。レンズ936は溶融シリカから形成され、レンズ940はBK7ガラスから形成される。レンズ934及び936は、第1のPNダブレットを形成する。レンズ938及び940は、PNの第2のダブレットを形成する。
レンズ群915は、平面906に関してレンズ群913と対称に位置決めされる。従って、レンズ952及び954は、それぞれ、レンズ930及び928と同じ材料から形成され、かつ同じ形状である。
レンズ群916は、平面906に関してレンズ群910と対称に位置決めされる。従って、レンズ956、958、960、962、及び964は、それぞれ、レンズ926、924、922、920、及び918と同じ材料から形成され、かつ同じ形状である。
光学レンズ系1000は、0.3のMa値、0.88のMb値、及び0.34のΓ比を有する。
レンズ群1010は、レンズ1018、1020、1022、1024、及び1026を含む。レンズ1018は、LLF−1ガラスから形成されるのに対して、レンズ群1010内の全ての他のレンズは、溶融シリカから形成される。レンズ1018は、レンズ1020と共にPNダブレットを形成する。
レンズ群1012は、レンズ1032、1034、1036、1038、及び1040を含む。レンズ1032、1034、及び1038は、CaF2から形成される。レンズ1036は溶融シリカから形成され、レンズ1040はLLF−1ガラスから形成される。レンズ1034及び1036は、第1のPNダブレットを形成する。レンズ1038及び1041は、PNの第2のダブレットを形成する。
レンズ群1015は、平面1006に関してレンズ群1013と対称に位置決めされる。従って、レンズ1052及び1054は、それぞれ、レンズ1030及び1028と同じ材料から形成され、かつ同じ形状である。
レンズ群1016は、平面1006に関してレンズ群1010と対称に位置決めされる。従って、レンズ1056、1058、860、1062、及び1064は、それぞれ、レンズ1026、1024、1022、1020、及び1018と同じ材料から形成され、かつ同じ形状である。
光学レンズ系1000内のレンズの表面のうちの一部は、非球面表面である。具体的には、表面1028b、1036b、1046a、及び1054aは非球面表面である。光学レンズ系1000内の他のレンズ表面は球面表面である。光学レンズ系1000内のレンズの非球面表面に対して式1に対応する非球面定数を表8Bに示している。
光学レンズ系1100は、0.28のMa値、0.88のMb値、及び0.32のΓ比を有する。
レンズ群1110は、レンズ1118、1120、1122、1124、及び1126を含む。レンズ1118は、LLF−1ガラスから形成されるのに対して、レンズ群1110内の全ての他のレンズは、溶融シリカから形成される。レンズ1118は、レンズ1120と共にPNダブレットを形成する。
レンズ群1112は、レンズ1132、1134、1136、1138、及び1140を含む。レンズ1132、1134、及び1138は、CaF2から形成される。レンズ1136は溶融シリカから形成される。レンズ1140はBK7ガラスから形成される。レンズ1134及び1136は、第1のPNダブレットを形成する。レンズ1138及び1140は、PNの第2のダブレットを形成する。
レンズ群1115は、平面1106に関してレンズ群1113と対称に位置決めされる。従って、レンズ1152及び1154は、それぞれ、レンズ1130及び1128と同じ材料から形成され、かつ同じ形状である。
レンズ群1116は、平面1106に関してレンズ群1110と対称に位置決めされる。従って、レンズ1156、1158、1160、1162、及び1164は、それぞれ、レンズ1126、1124、1122、1120、及び11l8と同じ材料から形成され、かつ同じ形状である。
光学レンズ系1100内のレンズの表面のうちの一部は、非球面表面である。具体的には、表面1128b、1136b、1146a、及び1154aは非球面表面である。光学レンズ系400内の他のレンズ表面は球面表面である。光学レンズ系1100内のレンズの非球面表面に対して、式1に対応する非球面定数を表9Bに示している。
光学レンズ系1200は、0.23のMa値、0.89のMb値、及び0.26のΓ比を有する。
レンズ群1210は、レンズ1218、1220、1222、1224、及び1226を含む。レンズ1218は、LLF−1ガラスから形成されるのに対して、レンズ群1210内の全ての他のレンズは、溶融シリカから形成される。レンズ1218は、レンズ1220と共にPNダブレットを形成する。
レンズ群1212は、レンズ1232、1234、1236、1238、及び1240を含む。レンズ1232、1234、及び1238は、CaF2から形成されるのに対して、レンズ1236及び1240は、溶融シリカから形成される。レンズ1234及び1236は、第1のPNダブレットを形成する。レンズ1238及び1240は、PNの第2のダブレットを形成する。
レンズ群1215は、平面1206に関してレンズ群1213と対称に位置決めされる。従って、レンズ1252及び1254は、それぞれ、レンズ1230及び1228と同じ材料から形成され、かつ同じ形状である。
レンズ群1216は、平面1206に関してレンズ群1210と対称に位置決めされる。従って、レンズ1256、1258、1260、1262、及び1264は、それぞれ、レンズ1226、1224、1222、1220、及び1218と同じ材料から形成され、かつ同じ形状である。
光学レンズ系1300は、0.25のMa値、0.89のMb値、及び0.28のΓ比を有する。
レンズ群1310は、レンズ1318、1320、1322、1324、及び1326を含む。レンズ1318は、LLF−1ガラスから形成されるのに対して、レンズ群1310内の全ての他のレンズは、溶融シリカから形成される。レンズ1318は、レンズ1320と共にPNダブレットを形成する。
レンズ群1312は、レンズ1332、1334、1336、1338、及び1340を含む。レンズ1332、1334、及び1338は、CaF2から形成される。レンズ1336は溶融シリカから形成され、レンズ1340はLLF−1から形成される。レンズ1334及び1336は、第1のPNダブレットを形成する。レンズ1338及び1340は、PNの第2のダブレットを形成する。
レンズ群1315は、平面1306に関してレンズ群1313と対称に位置決めされる。従って、レンズ1352及び1354は、それぞれ、レンズ1330及び1328と同じ材料から形成され、かつ同じ形状である。
レンズ群1316は、平面1306に関してレンズ群1310と対称に位置決めされる。従って、レンズ1356、1358、1360、1362、及び1364は、それぞれ、レンズ1326、1324、1322、1320、及び1318と同じ材料から形成され、かつ同じ形状である。
最大非点収差変動:150nm/W
ピーク−谷間焦点面偏差変化:273nm/W
ピーク−谷間像面湾曲変化:232nm/W
軸上非点収差変動:−52nm/W
最大歪曲変化:5nm/W
各レンズ表面に関する|SA/CA|’の値を表12Cに提供する。
光学レンズ系1700は、0.39のMa値、0.92のMb値、及び0.42のΓ比を有する。
最大非点収差変動:362nm/W
ピーク−谷間焦点面偏差変化:703nm/W
ピーク−谷間像面湾曲変化:583nm/W
軸上非点収差変動:−119nm/W
最大歪曲変化:9nm/W
各レンズ表面に関する|SA/CA|’の値を表13Cに提供する。
他の実施形態は、特許請求の範囲に説明している。
102 対物面
104 像平面
110 第1のレンズ群
112 第2のレンズ群
114 第3のレンズ群
116 第4のレンズ群
Claims (179)
- 光軸を有し、波長λの放射を物体領域から像領域へ方向付けるための光学レンズ系であって、
光学レンズ系の光軸に沿って位置決めされた第1及び第2のレンズを含む第1のレンズ群と、
光学レンズ系の前記光軸に沿って位置決めされた第1及び第2のレンズを含む第2のレンズ群と、
光学レンズ系の前記光軸に沿って位置決めされた第1及び第2のレンズを含む第3のレンズ群と、
光学レンズ系の前記光軸に沿って位置決めされた第1及び第2のレンズを含む第4のレンズ群と、
を含み、
前記第1、第2、第3、及び第4のレンズ群の各々における前記第1及び第2のレンズは、シリカを含み、
前記第1、第2、第3、及び第4のレンズ群は、前記光軸に直角な平面に関して対称に位置決めされ、
前記第1のレンズ群は、波長λの放射に対して第1の色収差を有し、
前記第2のレンズ群は、前記放射に対して第2の色収差を有し、
前記第2の色収差のマグニチュードと前記第1の色収差のマグニチュードの間の差は、約λよりも小さく、かつ
前記第2の色収差の符号は、前記第1の色収差の符号と反対であり、かつ
光学レンズ系が、マイクロリソグラフィ光学レンズ系の一部分を形成する、
ことを特徴とする光学レンズ系。 - 前記レンズの少なくとも1つは、フリントガラスを含むことを特徴とする請求項1に記載の光学レンズ系。
- 光軸を有し、放射を物体領域から像領域へ方向付けるための光学レンズ系であって、
光学レンズ系の光軸に沿って位置決めされた第1及び第2のレンズを含む第1のレンズ群と、
光学レンズ系の前記光軸に沿って位置決めされた第1及び第2のレンズを含む第2のレンズ群と、
を含み、
前記第1のレンズ群は、放射に対して第1の色収差を有し、
前記第2のレンズ群は、前記放射に対して第2の色収差を有し、
前記放射は、波長λを含み、
前記第2の色収差のマグニチュードと前記第1の色収差のマグニチュードの間の差は、約λよりも小さく、
光学レンズ系が、前記波長λの放射を像領域に結像し、かつ
前記第2の色収差の符号は、前記第1の色収差の符号と反対であり、かつ、
光学レンズ系が、マイクロリソグラフィ光学レンズ系の一部分を形成し、かつ前記第1のレンズ群は、前記像領域における前記波長λの像の湾曲をマイクロリソグラフィ光学レンズ系の該像領域における該マイクロリソグラフィ光学レンズ系の焦点深度よりも小さく低減する、
ことを特徴とする光学レンズ系。 - 光学レンズ系の前記光軸に沿って位置決めされた第1のレンズを含む第3のレンズ群と、
光学レンズ系の前記光軸に沿って位置決めされた第1及び第2のレンズを含む第4のレンズ群と、
を更に含むことを特徴とする請求項3に記載の光学レンズ系。 - 前記第3のレンズ群は、光学レンズ系の前記光軸に沿って位置決めされた第2のレンズを更に含むことを特徴とする請求項4に記載の光学レンズ系。
- 前記レンズ群は、前記光軸に直角な平面に関して対称に位置決めされることを特徴とする請求項4に記載の光学レンズ系。
- 前記平面は、瞳平面であることを特徴とする請求項6に記載の光学レンズ系。
- 中継結像系であることを特徴とする請求項4に記載の光学レンズ系。
- テレセントリック結像系であることを特徴とする請求項4に記載の光学レンズ系。
- 前記マイクロリソグラフィ光学レンズ系の像領域における前記放射に対する該マイクロリソグラフィ光学レンズ系の色収差のマグニチュードが、前記第1の色収差の前記マグニチュードよりも小さいことを特徴とする請求項1又は請求項3に記載の光学レンズ系。
- 前記波長λの放射を像領域に結像し、
前記第1のレンズ群は、前記像領域における前記波長λの像の湾曲を前記マイクロリソグラフィ光学レンズ系の該像領域における該マイクロリソグラフィ光学レンズ系の焦点深度よりも小さく低減する、
ことを特徴とする請求項1又は請求項3に記載の光学レンズ系。 - 前記第1のレンズ群内の前記レンズの少なくとも1つは、非球面表面を有することを特徴とする請求項1又は請求項3のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記第2のレンズ群内の前記レンズの少なくとも1つは、非球面表面を有することを特徴とする請求項12に記載の光学レンズ系。
- 前記第1及び第2のレンズ群の間の前記光軸に沿った最短距離は、約5センチメートル又はそれよりも大きいことを特徴とする請求項1又は請求項3のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記第1及び第2のレンズ群の間の前記光軸に沿った最短距離は、約10センチメートル又はそれよりも大きいことを特徴とする請求項1又は請求項3のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記第1及び第2のレンズ群の間の前記光軸に沿った最短距離は、約15センチメートル又はそれよりも大きいことを特徴とする請求項1又は請求項3のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記第1及び第2のレンズ群の間の前記光軸に沿った最短距離は、約20センチメートル又はそれよりも大きいことを特徴とする請求項1又は請求項3のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記第1のレンズ群内の前記レンズのうちの第1のものは、第1の材料で形成され、該第1のレンズ群内の該レンズのうちの第2のものは、第2の材料で形成され、該第1の材料は、第1の分散を有し、該第2の材料は、該第1の分散とは異なる第2の分散を有することを特徴とする請求項1又は請求項3に記載の光学レンズ系。
- 前記第2のレンズ群内の前記レンズのうちの第1のものは、第1の材料で形成され、該第2のレンズ群内の該レンズのうちの第2のものは、第2の材料で形成され、該第1の材料は、第1の分散を有し、該第2の材料は、該第1の分散とは異なる第2の分散を有することを特徴とする請求項18に記載の光学レンズ系。
- 前記第2のレンズ群内の前記レンズのうちの第1のものは、第1の材料で形成され、該第2のレンズ群内の該レンズのうちの第2のものは、第2の材料で形成され、該第1の材料は、第1の分散を有し、該第2の材料は、該第1の分散とは異なる第2の分散を有することを特徴とする請求項1又は請求項3に記載の光学レンズ系。
- 前記第2の色収差の前記マグニチュードは、前記第2のレンズ群内の前記レンズの各々の色収差のマグニチュードよりも大きいことを特徴とする請求項1又は請求項3に記載の光学レンズ系。
- 前記第2のレンズ群は、凸レンズ及び凹レンズを含むレンズのダブレットを含むことを特徴とする請求項1又は請求項3に記載の光学レンズ系。
- 前記凸レンズは、クラウンガラスを含み、前記凹レンズは、フリントガラスを含むことを特徴とする請求項22に記載の光学レンズ系。
- 前記凸レンズ及び前記凹レンズは、離間していることを特徴とする請求項22に記載の光学レンズ系。
- 前記第2の色収差の前記符号は、前記第2のレンズ群内の少なくとも1つのレンズの色収差の符号と反対であることを特徴とする請求項1又は請求項3のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記第1のレンズ群は、約130mm又はそれ未満の曲率半径を備えた凹面を有するレンズを含むことを特徴とする請求項1又は請求項3に記載の光学レンズ系。
- 前記波長λの放射を像領域に結像し、前記レンズの前記凹面が、該像領域から該レンズの反対側であることを特徴とする請求項26に記載の光学レンズ系。
- 絞りを更に含み、前記レンズの前記凹面が、該絞りと該レンズの同じ側であることを特徴とする請求項26に記載の光学レンズ系。
- 前記第1のレンズ群は、正の屈折力を有する第1のレンズ小群、及び負の屈折力を有する第2のレンズ小群を含むことを特徴とする請求項1又は請求項3に記載の光学レンズ系。
- 前記波長λの放射を像領域に結像し、前記第2のレンズ小群が、前記第1のレンズ小群と該像領域の間に位置決めされることを特徴とする請求項29に記載の光学レンズ系。
- 前記第1のレンズ群は、焦点距離及び主平面を有し、該主平面と前記第2のレンズ群の間の最短距離は、該第1のレンズ群の該焦点距離よりも長いことを特徴とする請求項1又は請求項3のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記光軸を横切る方向の前記第1のレンズ群の最大寸法は、該光軸を横切る方向の前記第2のレンズ群の最大寸法よりも約1.5又はそれよりも大きい倍数だけ大きいことを特徴とする請求項1又は請求項3のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記第1の色収差は、前記放射に対する前記第1のレンズ群内の前記レンズのうちの1つの色収差のマグニチュードよりも小さいマグニチュードを有することを特徴とする請求項1又は請求項3のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 光軸を有し、波長λの放射を物体領域から像領域へ方向付けるための光学レンズ系であって、
正の屈折力を有し、物体領域と像領域の間に光軸に沿って位置決めされた第1のレンズ群と、
正の屈折力を有し、前記第1のレンズ群と前記像領域の間に前記光軸に沿って位置決めされ、第1のダブレット及び第2のダブレットを含み、該第1のダブレットが第1の材料から形成されたレンズ及び第2の材料から形成されたレンズを含み、該第1及び第2の材料がλにおいて異なる分散を有する第2のレンズ群と、
正の屈折力を有し、前記第2のレンズ群と前記像領域の間に前記光軸に沿って位置決めされ、第1のダブレット及び第2のダブレットを含み、該第1のダブレットが第3の材料から形成されたレンズ及び第4の材料から形成されたレンズを含み、該第3及び第4の材料がλにおいて異なる分散を有する第3のレンズ群と、
正の屈折力を有し、前記第3のレンズ群と前記像領域の間に前記光軸に沿って位置決めされた第4のレンズ群と、
を含み、
前記第2のレンズ群の前記第1及び第2のダブレットは、前記光軸に直角な平面に関して前記第3のレンズ群内の前記第1及び第2のダブレットと対称に配置され、かつ
光学レンズ系が、マイクロリソグラフィ投影システムの一部分を形成する、
ことを特徴とする光学レンズ系。 - 前記対称平面は、光学レンズ系の瞳平面であることを特徴とする請求項34に記載の光学レンズ系。
- 前記平面に位置決めされた絞りを更に含むことを特徴とする請求項34に記載の光学レンズ系。
- 前記第2のレンズ群内の各レンズは、前記第3のレンズ群内に同一設計の対応するレンズを有し、該第2及び第3のレンズ群の該レンズは、前記光軸に直角な前記平面に関して対称に配置されることを特徴とする請求項34に記載の光学系。
- 前記第1の材料から形成された前記レンズは、負のレンズであることを特徴とする請求項34に記載の光学系。
- 前記第1の材料から形成された前記レンズは、メニスカスレンズであることを特徴とする請求項34に記載の光学系。
- 前記第1の材料は、クラウンガラスであることを特徴とする請求項34に記載の光学レンズ系。
- 前記第1の材料は、λ1=365nm、λ2=405nm、及びλ3=436nmに対して40≦V1≦70であるアッベ数V1を有することを特徴とする請求項34に記載の光学レンズ系。
- 前記第1の材料は、SiO2、FK5、K7、BK7、及びK5から成る群から選択されることを特徴とする請求項34に記載の光学レンズ系。
- 前記第3の材料は、クラウンガラスであることを特徴とする請求項34に記載の光学レンズ系。
- 前記第3の材料は、SiO2、FK5、K7、BK7、及びK5から成る群から選択されることを特徴とする請求項34に記載の光学レンズ系。
- 前記第3の材料は、λ1=365nm、λ2=405nm、及びλ3=436nmに対して40≦V3≦70であるアッベ数V3を有することを特徴とする請求項34に記載の光学レンズ系。
- 前記第1の材料は、前記第3の材料と同じであることを特徴とする請求項34に記載の光学レンズ系。
- 前記第2の材料から形成された前記レンズは、正のレンズであることを特徴とする請求項34に記載の光学レンズ系。
- 前記第2の材料は、CaF2であることを特徴とする請求項34に記載の光学レンズ系。
- 前記第2の材料は、λ1=365nm、λ2=405nm、及びλ3=436nmに対して70<V2であるアッベ数V2を有することを特徴とする請求項34に記載の光学レンズ系。
- 前記第4の材料は、CaF2であることを特徴とする請求項34に記載の光学レンズ系。
- 前記第4の材料は、λ1=365nm、λ2=405nm、及びλ3=436nmに対して70<V4であるアッベ数V4を有することを特徴とする請求項34に記載の光学レンズ系。
- 前記第2の材料は、前記第4の材料と同じであることを特徴とする請求項34に記載の光学レンズ系。
- 前記第2のレンズ群の前記第2のダブレットは、前記第1の材料から形成されたレンズ及び第5の材料から形成されたレンズを含み、該第1、第2、及び第5の材料は、λにおいて異なる分散を有することを特徴とする請求項34に記載の光学レンズ系。
- 前記第5の材料は、フリントガラスであることを特徴とする請求項53に記載の光学レンズ系。
- 前記第5の材料は、LLF1、LLF5、及びLLF6から成る群から選択されることを特徴とする請求項53に記載の光学レンズ系。
- 前記第5の材料は、λ1=365nm、λ2=405nm、及びλ3=436nmに対してV5<40であるアッベ数V5を有することを特徴とする請求項53に記載の光学レンズ系。
- 前記第3のレンズ群の前記第2のダブレットは、前記第3の材料から形成されたレンズ及び第6の材料から形成されたレンズを含み、該第3、第4、及び第6の材料は、λにおいて異なる分散を有することを特徴とする請求項53に記載の光学レンズ系。
- 前記第6の材料は、LLF1、LLF5、及びLLF6から成る群から選択されることを特徴とする請求項57に記載の光学レンズ系。
- 前記第6の材料は、λ1=365nm、λ2=405nm、及びλ3=436nmに対してV6<40であるアッベ数V6を有することを特徴とする請求項57に記載の光学レンズ系。
- 前記第5の材料は、前記第6の材料と同じであることを特徴とする請求項57に記載の光学レンズ系。
- 前記第1のレンズ群内の各レンズは、前記第4のレンズ群内と同一設計の対応するレンズを有し、該第1及び第4のレンズ群内の該レンズは、前記光軸に直角な前記平面に関して対称に配置されることを特徴とする請求項34に記載の光学系。
- 前記第1のレンズ群は、第5の材料から形成されたレンズを含み、前記第1、第2、及び第5の材料は、λにおいて異なる分散を有することを特徴とする請求項34に記載の光学レンズ系。
- 前記第5の材料は、フリントガラスであることを特徴とする請求項62に記載の光学レンズ系。
- 前記第5の材料は、LLF1、LLF5、及びLLF6から成る群から選択されることを特徴とする請求項62に記載の光学レンズ系。
- 前記第5の材料は、λ1=365nm、λ2=405nm、及びλ3=436nmに対してV5<40であるアッベ数V5を有することを特徴とする請求項62に記載の光学レンズ系。
- 前記第5の材料から形成された前記レンズは、前記物体領域から前記像領域への前記放射の経路における最初のレンズであることを特徴とする請求項62に記載の光学レンズ系。
- 前記第4の群は、第6の材料から形成されたレンズを含み、前記第3、第4、及び第6の材料は、λにおいて異なる分散を有することを特徴とする請求項62に記載の光学レンズ系。
- 前記第6の材料は、LLF1、LLF5、及びLLF6から成る群から選択されることを特徴とする請求項67に記載の光学レンズ系。
- 前記第6の材料は、λ1=365nm、λ2=405nm、及びλ3=436nmに対してV6<40であるアッベ数V6を有することを特徴とする請求項67に記載の光学レンズ系。
- 前記第6の材料から形成された前記レンズは、前記物体領域から前記像領域への前記放射の経路における最後のレンズであることを特徴とする請求項67に記載の光学レンズ系。
- 前記第5の材料は、前記第6の材料と同じであることを特徴とする請求項67に記載の光学レンズ系。
- 前記第1のレンズ群と前記第2のレンズ群の間に前記光軸に沿って位置決めされた第5のレンズ群を更に含むことを特徴とする請求項34に記載の光学レンズ系。
- 前記第5のレンズ群は、負の屈折力を有することを特徴とする請求項72に記載の光学レンズ系。
- 前記放射が、Dmaxを光学レンズ系におけるビームの最大直径として0.8Dmax又はそれ未満である最大直径D5を有するビームを前記第5のレンズ群に形成するように構成されていることを特徴とする請求項72に記載の光学レンズ系。
- 前記放射が、Dmaxを光学レンズ系におけるビームの最大直径として0.5Dmax又はそれ未満である最大直径D5を有するビームを前記第5のレンズ群に形成するように構成されていることを特徴とする請求項72に記載の光学レンズ系。
- 前記第3のレンズ群と前記第4のレンズ群の間に前記光軸に沿って位置決めされた第6のレンズ群を更に含むことを特徴とする請求項72に記載の光学レンズ系。
- 前記第6のレンズ群は、負の屈折力を有することを特徴とする請求項76に記載の光学レンズ系。
- 前記第5のレンズ群内の各レンズは、前記第6のレンズ群内と同一設計の対応するレンズを有し、該第5及び第6のレンズ群内の該レンズは、前記光軸に直角な前記平面に関して対称に配置されることを特徴とする請求項76に記載の光学系。
- 光軸を有し、波長λの放射を物体領域から像領域へ方向付けるための光学レンズ系であって、
正の屈折力を有し、物体領域と像領域の間に光軸に沿って位置決めされた第1のレンズ群と、
第1の値の正の屈折力を有し、前記第1のレンズ群と前記像領域の間に前記光軸に沿って位置決めされ、第1の材料から形成されたレンズ、第2の材料から形成されたレンズ、及び第3の材料から形成されたレンズを含み、該第1、第2、及び第3の材料がλにおいて異なる分散を有する第2のレンズ群と、
正の屈折力を有し、前記第2のレンズ群と前記像領域の間に前記光軸に沿って位置決めされた第3のレンズ群と、
正の屈折力を有し、前記第3のレンズ群と前記像領域の間に前記光軸に沿って位置決めされた第4のレンズ群と、
を含み、
前記第2のレンズ群内の前記レンズは、光学レンズ系の瞳平面に関して前記第3のレンズ群のレンズと対称に配置され、かつ
光学レンズ系が、マイクロリソグラフィ投影システムの一部分を形成する、
ことを特徴とする光学レンズ系。 - 光軸を有し、波長λ及びλ’の放射を物体領域から像領域へ方向付けるための光学レンズ系であって、
物体領域と像領域の間に光軸に沿って位置決めされた複数のレンズ、
を含み、
光学レンズ系のレンズの全数の少なくとも半分が、溶融シリカから形成され、
|λ−λ’|≧20nmであり、かつ
光学レンズ系が、マイクロリソグラフィ投影システムの一部分を形成する、
ことを特徴とする光学レンズ系。 - 0.2又はそれ未満の最大開口数及び0.33未満のΓ比を有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、又は請求項80のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 光軸を有し、波長λの放射を物体領域から像領域へ方向付けるための光学レンズ系であって、
物体領域と像領域の間に光軸に沿って位置決めされた複数のレンズ、
を含み、
光学レンズ系が、0.2又はそれ未満の最大開口数及び0.33未満のΓ比を有し、かつ
光学レンズ系が、マイクロリソグラフィ投影システムの一部分を形成する、
ことを特徴とする光学レンズ系。 - 前記物体領域と前記像領域の間に前記光軸に沿って位置決めされたレンズの全数が、30又はそれ未満であることを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記物体領域と前記像領域の間に前記光軸に沿って位置決めされたレンズの全数が、28又はそれ未満であることを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記物体領域と前記像領域の間に前記光軸に沿って位置決めされたレンズの全数が、26又はそれ未満であることを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記物体領域と前記像領域の間に前記光軸に沿って位置決めされたレンズの全数が、24又はそれ未満であることを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記物体領域と前記像領域の間に前記光軸に沿って位置決めされ、溶融シリカから形成されていないレンズの全数が、14又はそれ未満であることを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記物体領域と前記像領域の間に前記光軸に沿って位置決めされ、溶融シリカから形成されていないレンズの全数が、12又はそれ未満であることを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記物体領域と前記像領域の間に前記光軸に沿って位置決めされ、溶融シリカから形成されていないレンズの全数が、10又はそれ未満であることを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記マイクロリソグラフィの光学レンズ系の倍率が、1であることを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記マイクロリソグラフィの光学レンズ系の倍率が、1よりも大きいことを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記マイクロリソグラフィの光学レンズ系の倍率が、少なくとも約2であることを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記マイクロリソグラフィの光学レンズ系の倍率が、少なくとも約3であることを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記マイクロリソグラフィの光学レンズ系の倍率が、少なくとも約4であることを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 少なくとも約0.1の前記像領域での最大開口数を有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 少なくとも約0.15の前記像領域での最大開口数を有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 少なくとも約0.2の前記像領域での最大開口数を有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記像領域での前記放射の視野サイズが、約10ミリメートル又はそれよりも大きいことを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記像領域での前記放射の視野サイズが、約20ミリメートル又はそれよりも大きいことを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記像領域での前記放射の視野サイズが、約30ミリメートル又はそれよりも大きいことを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記レンズの少なくとも1つは、シリカを含むことを特徴とする請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記レンズの少なくとも1つは、フリントガラスを含むことを特徴とする請求項101に記載の光学レンズ系。
- 前記レンズの少なくとも1つは、溶融シリカを含むことを特徴とする請求項101に記載の光学レンズ系。
- 前記物体領域と前記像領域の間に前記光軸に沿って位置決めされたレンズの全数の少なくとも半分が、溶融シリカから形成されることを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記物体領域と前記像領域の間に前記光軸に沿って位置決めされたレンズの全数の少なくとも60%が、溶融シリカから形成されることを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記物体領域と前記像領域の間に前記光軸に沿って位置決めされたレンズの全数の少なくとも70%が、溶融シリカから形成されることを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記レンズのうちの第1のものは、第1の材料で形成され、該レンズのうちの第2のものは、第2の材料で形成され、該第1の材料は、第1の分散を有し、該第2の材料は、該第1の分散とは異なる第2の分散を有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記マイクロリソグラフィの光学レンズ系の前記光軸に沿った長さが、約10メートル又はそれ未満であることを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記マイクロリソグラフィの光学レンズ系の前記光軸に沿った長さが、約5メートル又はそれ未満であることを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記マイクロリソグラフィの光学レンズ系の前記光軸に沿った長さが、約4メートル又はそれ未満であることを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記マイクロリソグラフィの光学レンズ系の前記光軸に沿った長さが、約3メートル又はそれ未満であることを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記マイクロリソグラフィの光学レンズ系の前記光軸に沿った長さが、約2メートル又はそれ未満であることを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記放射は、約0.5ナノメートル又はそれよりも大きい半値全幅を有する電磁放射の波長の分布を有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記放射は、約5ナノメートル又はそれよりも大きい半値全幅を有する電磁放射の波長の分布を有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記放射は、約10ナノメートル又はそれよりも大きい半値全幅を有する電磁放射の波長の分布を有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記放射は、約25ナノメートル又はそれよりも大きい半値全幅を有する電磁放射の波長の分布を有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記放射は、約50ナノメートル又はそれよりも大きい半値全幅を有する電磁放射の波長の分布を有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記放射は、可視波長範囲及びUV波長範囲から成る群から選択された波長範囲内の少なくとも1つの波長を有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記放射は、約350ナノメートルから約450ナノメートルの波長を有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- λが、450nm又はそれ未満であることを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 20nm<|λ−λ’|である異なる波長λ及びλ’の放射を前記像領域内の前記光軸上の共通点に結像することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 10nm<|λ−λ’’|及び10nm<|λ’−λ’’|であるλ’’の放射を前記光軸上の前記共通点に結像することを特徴とする請求項121に記載の光学レンズ系。
- λ、λ’、及びλ’’が、光源の輝線に対応することを特徴とする請求項122に記載の光学レンズ系。
- λが、365nmであり、λ’が、405nmであり、かつλ’’が、436nmであることを特徴とする請求項122に記載の光学レンズ系。
- 前記レンズの少なくとも1つは、非球面表面を有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記レンズの少なくとも2つの各々は、非球面表面を有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記マイクロリソグラフィの光学レンズ系の照明開口を形成するための要素を更に含むことを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記要素は、双極照明、四重極照明、又は環状照明を形成することを特徴とする請求項127に記載の光学レンズ系。
- 前記複数のレンズのうちの40%を超えないものが、0.6又はそれよりも大きい全開口に対する部分開口の比を有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 前記複数のレンズのうちの8つを超えないレンズが、0.6又はそれよりも大きい全開口に対する部分開口の比を有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 0.32又はそれ未満のΓ比を有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 0.28又はそれ未満のΓ比と0.16又はそれ未満の最大開口数とを有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 0.25又はそれ未満のΓ比と0.16又はそれ未満の最大開口数とを有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 0.33又はそれ未満のΓ比と0.2又はそれ未満の最大開口数とを有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 0.02≦NAmax<0.07である最大開口数NAmaxを有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 7mm≦dmax≦16mmである最大像視野寸法dmaxと0.23<Γ≦0.33であるΓ比とを有することを特徴とする請求項135に記載の光学レンズ系。
- 16mm≦dmax≦27mmである最大像視野寸法dmaxと0.16<Γ≦0.23であるΓ比とを有することを特徴とする請求項135に記載の光学レンズ系。
- 27mm≦dmax≦36mmである最大像視野寸法dmaxと0.12<Γ≦0.16であるΓ比とを有することを特徴とする請求項135に記載の光学レンズ系。
- 36mm≦dmax≦42mmである最大像視野寸法dmaxと0.11<Γ≦0.12であるΓ比とを有することを特徴とする請求項135に記載の光学レンズ系。
- 0.07≦NAmax<0.13である最大開口数NAmaxを有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 7mm≦dmax≦16mmである最大像視野寸法dmaxと0.35<Γ≦0.47であるΓ比とを有することを特徴とする請求項140に記載の光学レンズ系。
- 16mm≦dmax≦27mmである最大像視野寸法dmaxと0.25<Γ≦0.35であるΓ比とを有することを特徴とする請求項140に記載の光学レンズ系。
- 27mm≦dmax≦36mmである最大像視野寸法dmaxと0.19<Γ≦0.25であるΓ比とを有することを特徴とする請求項140に記載の光学レンズ系。
- 36mm≦dmax≦42mmである最大像視野寸法dmaxと0.18<Γ≦0.19であるΓ比とを有することを特徴とする請求項140に記載の光学レンズ系。
- 0.13≦NAmax<0.18である最大開口数NAmaxを有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 7mm≦dmax≦16mmである最大像視野寸法dmaxと0.43<Γ≦0.55であるΓ比とを有することを特徴とする請求項145に記載の光学レンズ系。
- 16mm≦dmax≦27mmである最大像視野寸法dmaxと0.33<Γ≦0.43であるΓ比とを有することを特徴とする請求項145に記載の光学レンズ系。
- 27mm≦dmax≦36mmである最大像視野寸法dmaxと0.27<Γ≦0.33であるΓ比とを有することを特徴とする請求項145に記載の光学レンズ系。
- 36mm≦dmax≦42mmである最大像視野寸法dmaxと0.25<Γ≦0.27であるΓ比とを有することを特徴とする請求項145に記載の光学レンズ系。
- 0.02≦NAmax<0.25である最大開口数NAmaxを有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 7mm≦dmax≦16mmである最大像視野寸法dmaxと0.46<Γ≦0.57であるΓ比とを有することを特徴とする請求項150に記載の光学レンズ系。
- 16mm≦dmax≦27mmである最大像視野寸法dmaxと0.38<Γ≦0.46であるΓ比とを有することを特徴とする請求項150に記載の光学レンズ系。
- 27mm≦dmax≦36mmである最大像視野寸法dmaxと0.31<Γ≦0.38であるΓ比とを有することを特徴とする請求項150に記載の光学レンズ系。
- 36mm≦dmax≦42mmである最大像視野寸法dmaxと0.29<Γ≦0.31であるΓ比とを有することを特徴とする請求項150に記載の光学レンズ系。
- 40Wまでの入力放射電力に対して前記像領域において400nm/W又はそれ未満の最大非点収差変動を有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 40Wまでの入力放射電力に対して前記像領域において200nm/W又はそれ未満の最大非点収差変動を有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 40Wまでの入力放射電力に対して前記像領域において150nm/W又はそれ未満の最大非点収差変動を有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 40Wまでの入力放射電力に対して前記像領域において700nm/W又はそれ未満のピーク−谷間焦点面偏差変動を有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 40Wまでの入力放射電力に対して前記像領域において290nm/W又はそれ未満のピーク−谷間焦点面偏差変動を有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 40Wまでの入力放射電力に対して前記像領域において280nm/W又はそれ未満のピーク−谷間焦点面偏差変動を有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 40Wまでの入力放射電力に対して前記像領域において600nm/W又はそれ未満のピーク−谷間像面湾曲変動を有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 40Wまでの入力放射電力に対して前記像領域において400nm/W又はそれ未満のピーク−谷間像面湾曲変動を有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 40Wまでの入力放射電力に対して前記像領域において300nm/W又はそれ未満のピーク−谷間像面湾曲変動を有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 40Wまでの入力放射電力に対して前記像領域において−120nm/W又はそれ未満の最大軸上非点収差変動を有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 40Wまでの入力放射電力に対して前記像領域において−70nm/W又はそれ未満の最大軸上非点収差変動を有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 40Wまでの入力放射電力に対して前記像領域において−55nm/W又はそれ未満の最大軸上非点収差変動を有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 40Wまでの入力放射電力に対して前記像領域において10nm/W又はそれ未満の最大歪曲変動を有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 40Wまでの入力放射電力に対して前記像領域において8nm/W又はそれ未満の最大歪曲変動を有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 40Wまでの入力放射電力に対して前記像領域において6nm/W又はそれ未満の最大歪曲変動を有することを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 半導体基板を前記像領域に位置決めするための台を更に含むことを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- 純粋に屈折性のレンズ系であることを特徴とする請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82のいずれか1項に記載の光学レンズ系。
- マイクロリソグラフィ処理中に請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82に記載の光学レンズ系を通して放射を方向付けし、基板を該放射に露光する段階、
を含むことを特徴とする方法。 - 集積回路を製造する方法であって、
請求項1、請求項3、請求項34、請求項79、請求項80、又は請求項82に記載の光学レンズ系に対してウェーハを位置決めする段階と、
前記光学レンズ系を用いて前記ウェーハ上の感光層をパターン化された放射に露光する段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - マイクロリソグラフィ処理中に放射に複数のダイを同時に露光する段階、
を含み、
前記放射は、約0.5ナノメートル又はそれよりも大きい半値全幅を有し、前記ダイは、マイクロリソグラフィ投影対物レンズを用いて該放射に露光される、
ことを特徴とする方法。 - マイクロリソグラフィ投影対物レンズを用いてマイクロリソグラフィ処理中に放射に基板を露光する段階、
を含み、
前記放射は、10ミリメートル又はそれよりも大きい少なくとも1つの寸法を有する前記基板の表面の区域を露光し、該放射は、約0.5ナノメートル又はそれよりも大きい半値全幅を有する電磁放射の波長の分布を有する、
ことを特徴とする方法。 - 前記基板の前記表面の前記区域は、約52mm×66mmの区域を有することを特徴とする請求項175に記載の方法。
- 前記波長分布は、365nm、405nm、及び436nmを含むことを特徴とする請求項175に記載の方法。
- 複数の水銀輝線で放射を放出するように構成された水銀光源と、
前記水銀光源によって放出された放射を受光するように位置決めされた投影対物レンズと、
前記投影対物レンズに対してウェーハを位置決めするように構成された台と、
を含み、
作動中に、前記投影対物レンズは、前記光源から放射を、1つよりも多い前記輝線からのエネルギを該放射が含む前記ウェーハへ方向付ける、
ことを特徴とするマイクロリソグラフィシステム。 - 前記放射は、i−、g−、及びh−輝線からのエネルギを含むことを特徴とする請求項178に記載のマイクロリソグラフィシステム。
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