JP2016528526A - Euv結像装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2013年6月17日付けで出願された先行の独国特許出願第10 2013 211 310.2号に基づき、当該出願からの優先権の利益を主張するものであり、当該出願の全内容を参照により本明細書に援用する。
102 ビーム整形系
104 照明系
106 投影系
108 EUV光源
110 コリメータ
112 モノクロメータ
114 EUV放射線
116 第1ミラー
118 第2ミラー
120 フォトマスク
122 ウェーハ
124 第3ミラー
126 第4ミラー
200 マウント
205 圧電アクチュエータ
210 レバー
215 光学素子
220 支持構造体
225 支点
230 測定領域
235 センサ機構
240 センサ
250 測定フレーム
300 ローレンツアクチュエータ
305 電磁コイル
310 プランジャ型電機子
315 光学素子
330 測定領域
335 センサ機構
340 センサ
350 制御デバイス
355 ストッパ要素
400 フレーム
405 エアマウント
410 ベース
420 セミアクティブシステム
425 第1支持構造体
430 アクティブシステム
435 第2支持構造体
440 反作用質量体
500 フレーム
505 エアマウント
510 ベース
530 アクティブシステム
535 第2支持構造体
Claims (18)
- EUV結像装置(100)であって、
基準構造体(250、400、500)と、
自己保持型アクチュエータである第1アクチュエータ(205)を用いて前記基準構造体(250、400、500)に対して作動可能な第1光学素子(215)と、
非自己保持型アクチュエータである第2アクチュエータ(300)を用いて前記基準構造体(250、400、500)に対して作動可能な第2光学素子(315)と
を備えたEUV結像装置。 - 請求項1に記載のEUV結像装置において、
前記第1光学素子(215)は近瞳配置であるEUV結像装置。 - 請求項1又は2に記載のEUV結像装置において、
前記第2光学素子(315)は近視野配置であるEUV結像装置。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載のEUV結像装置において、
前記第1光学素子(215)は、前記基準構造体(250、400、500)に取り付けられた第1支持構造体(425)に装着され、
前記第2光学素子(315)は、前記基準構造体(250、400、500)に取り付けられた第2支持構造体(435)に装着されるEUV結像装置。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載のEUV結像装置において、
前記第2光学素子(315)の作動中に発生した力を補償する少なくとも1つの反作用質量体(440)
をさらに備えたEUV結像装置。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載のEUV結像装置において、
前記第1光学素子(215)は、前記基準構造体(250、400、500)に取り付けられた第1支持構造体(425)に装着され、
前記第2光学素子(315)は、前記基準構造体(250、400、500)から機械的に分離された第2支持構造体(535)に装着されるEUV結像装置。 - 請求項1〜6のいずれか1項に記載のEUV結像装置において、
該EUV結像装置(100)は、前記第1アクチュエータ(205)の場所を補正するために、該第1アクチュエータ(205)を一定の間隔で又は外部信号に応答して作動させ、且つ
制御ループを用いて前記第2アクチュエータ(300)の場所を連続的に補正するよう構成されるEUV結像装置。 - 請求項1〜6のいずれか1項に記載のEUV結像装置において、
前記第1アクチュエータ(205)は、圧電アクチュエータ、磁気歪アクチュエータ、又はリニアモータであるEUV結像装置。 - 請求項1〜8のいずれか1項に記載のEUV結像装置において、
前記第2アクチュエータ(300)はローレンツアクチュエータであるEUV結像装置。 - 請求項1〜9のいずれか1項に記載のEUV結像装置において、
前記第1光学素子(215)及び前記第2光学素子(315)はミラー素子であるEUV結像装置。 - 請求項10に記載のEUV結像装置において、
近視野ミラー素子(315)が能動的に装着されるEUV結像装置。 - 請求項10又は11に記載のEUV結像装置において、
近瞳ミラー素子(215)が半能動的に装着されるEUV結像装置。 - 請求項1〜12のいずれか1項に記載のEUV結像装置において、
前記第2光学素子(315)の光感度は、前記第1光学素子(215)の光感度よりも高いEUV結像装置。 - 請求項1〜13のいずれか1項に記載のEUV結像装置において、
前記第1光学素子(215)の位置を該第1光学素子(215)上で直接求める第1センサデバイス(235)
をさらに備えたEUV結像装置。 - 請求項14に記載のEUV結像装置において、
前記第1光学素子(215)の位置は、前記第2光学素子(315)の位置決めのための基準として働くEUV結像装置。 - 請求項14又は15に記載のEUV結像装置において、
前記第2光学素子(315)の位置を求める第2センサデバイス(335)
をさらに備え、前記第1センサデバイス(235)は、前記第1光学素子(215)の位置を特定の時間間隔で又は外部信号に応答して求めるよう構成され、前記第2センサデバイス(335)は、前記第2光学素子(315)の位置を連続的に求めるよう構成されるEUV結像装置。 - 請求項1〜16のいずれか1項に記載のEUV結像装置において、
該EUV結像装置はEUVリソグラフィ装置(100)であるEUV結像装置。 - 請求項1〜17のいずれか1項に記載のEUV結像装置において、
該EUV結像装置はマスク計測装置であるEUV結像装置。
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