JP2005217303A - 露光装置及びデバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 投影光学系と干渉計との距離が大きくなった場合であっても、投影光学系と干渉計との間に加わる振動を抑え、正確な位置計測を行うことができる露光装置を提供する。
【解決手段】 マスクRを通過した露光光或いは電子ビームEBを基板W上に投影結像させる投影光学系30と、マスクR及び/又は基板Wの位置を計測する干渉計23,48とを有する露光装置EXにおいて、投影光学系30或いは投影光学系30を支持する架台100と干渉計23,48とを固結する支持部材70,80と、支持部材70,80の剛性を補強する補強部材75とを備える。
【選択図】 図1
【解決手段】 マスクRを通過した露光光或いは電子ビームEBを基板W上に投影結像させる投影光学系30と、マスクR及び/又は基板Wの位置を計測する干渉計23,48とを有する露光装置EXにおいて、投影光学系30或いは投影光学系30を支持する架台100と干渉計23,48とを固結する支持部材70,80と、支持部材70,80の剛性を補強する補強部材75とを備える。
【選択図】 図1
Description
本発明は、高集積半導体回路素子の製造のためのリソグラフィ工程のうち、転写工程で用いられる露光装置に関する技術である。
超LSIの高集積化は日進月歩で進み、1G更には16GのDRAMの研究開発が活発に行われている。一方、超LSI高集積化のカギを握る縮小投影型露光装置は、主に露光光を短波長化して応えている。更に、解像度100nm以下を実現する露光装置として、電子ビーム(Electron Beam)を用いたEB露光装置が注目されている。EB露光装置は、特開2002−260987号公報等に示すように、電子銃から発生した電子ビームをレチクルに照射し、更に磁界の作用を利用した投影光学系により縮小してウエハ上に逐次露光する方式である。
特開2002−260987号公報
ところで、露光装置の高解像度化と共に、ウエハの大型化も進展しており、今後は直径300mmのウエハが主流となると予想されている。このため、ステージ装置が大型化し、ウエハやマスクの位置を計測する干渉計と投影光学系との距離が大きくなってきている。
しかしながら、投影光学系と干渉計との距離が大きくなると、両者間に振動が加わりやすくなる。このため、ウエハ或いはマスクの位置計測に誤差が生じてパターン不良が発生してしまうという問題がある。
しかしながら、投影光学系と干渉計との距離が大きくなると、両者間に振動が加わりやすくなる。このため、ウエハ或いはマスクの位置計測に誤差が生じてパターン不良が発生してしまうという問題がある。
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、投影光学系と干渉計との距離が大きくなった場合であっても、投影光学系と干渉計との間に加わる振動を抑え、正確な位置計測を行うことができる露光装置を提供することを目的とする。
本発明に係る露光装置、デバイスの製造方法では、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。
第1の発明は、マスク(R)を通過した露光光或いは電子ビーム(EB)を基板(W)上に投影結像させる投影光学系(30)と、マスク及び/又は基板の位置を計測する干渉計(23,48)と、を有する露光装置(EX)において、投影光学系或いは投影光学系を支持する架台(100)と干渉計とを固結する支持部材(70,80)と、支持部材の剛性を補強する補強部材(75)と、を備えるようにした。この発明によれば、干渉計と投影光学系とが強固に連結され、仮に投影光学系に振動が加わったとしても干渉計と投影光学系とが一体となって振動するので、電子ビームに対するマスク又は基板の位置を正確に計測することができる。
第1の発明は、マスク(R)を通過した露光光或いは電子ビーム(EB)を基板(W)上に投影結像させる投影光学系(30)と、マスク及び/又は基板の位置を計測する干渉計(23,48)と、を有する露光装置(EX)において、投影光学系或いは投影光学系を支持する架台(100)と干渉計とを固結する支持部材(70,80)と、支持部材の剛性を補強する補強部材(75)と、を備えるようにした。この発明によれば、干渉計と投影光学系とが強固に連結され、仮に投影光学系に振動が加わったとしても干渉計と投影光学系とが一体となって振動するので、電子ビームに対するマスク又は基板の位置を正確に計測することができる。
また、補強部材(75)が支持部材(70,80)の剛性を調整する剛性調整機構(75a,75b)を備えるものでは、支持部材の剛性を調整することにより、支持部材の振動を制震することができる。
また、支持部材(70,80)を変形させるアクチュエータ(77)を備えるものでは、能動的に支持部材の振動を制震することができる。
例えば、支持部材(70,80)の変形を検出する変形センサ(76)を備えるとともに、変形センサの検出結果に基づいてアクチュエータ(77)を駆動することができる。
また、ウエハ(W)に露光されたパターンの露光結果に基づいてアクチュエータ(77)を駆動することができる。
また、支持部材(70,80)の振動を検出する検出部(78)を備えるとともに、検出部の検出結果に基づいてアクチュエータ(77)を駆動することができる。
また、支持部材(70,80)を変形させるアクチュエータ(77)を備えるものでは、能動的に支持部材の振動を制震することができる。
例えば、支持部材(70,80)の変形を検出する変形センサ(76)を備えるとともに、変形センサの検出結果に基づいてアクチュエータ(77)を駆動することができる。
また、ウエハ(W)に露光されたパターンの露光結果に基づいてアクチュエータ(77)を駆動することができる。
また、支持部材(70,80)の振動を検出する検出部(78)を備えるとともに、検出部の検出結果に基づいてアクチュエータ(77)を駆動することができる。
第2の発明は、リソグラフィ工程を含むデバイスの製造方法において、リソグラフィ工程において第1の発明の露光装置(EX)を用いるようにした。この発明によれば、露光装置がマスク或いは基板の位置計測を正確に行うので、線幅不良等のないデバイスを製造することができる。
本発明によれば以下の効果を得ることができる。
第1の発明は、マスクを通過した露光光或いは電子ビームを基板上に投影結像させる投影光学系と、マスク及び/又は基板の位置を計測する干渉計と、を有する露光装置において、投影光学系或いは投影光学系を支持する架台と干渉計とを固結する支持部材と、支持部材の剛性を補強する補強部材と、を備えるようにした。これにより、干渉計と投影光学系とが強固に連結され、仮に投影光学系に振動が加わったとしても干渉計と投影光学系とが一体となって振動するので、電子ビームに対するマスク又は基板の位置を正確に計測することができる。特に、ステージ装置が大型化した場合であっても、露光不良を軽減することができる。
第1の発明は、マスクを通過した露光光或いは電子ビームを基板上に投影結像させる投影光学系と、マスク及び/又は基板の位置を計測する干渉計と、を有する露光装置において、投影光学系或いは投影光学系を支持する架台と干渉計とを固結する支持部材と、支持部材の剛性を補強する補強部材と、を備えるようにした。これにより、干渉計と投影光学系とが強固に連結され、仮に投影光学系に振動が加わったとしても干渉計と投影光学系とが一体となって振動するので、電子ビームに対するマスク又は基板の位置を正確に計測することができる。特に、ステージ装置が大型化した場合であっても、露光不良を軽減することができる。
第2の発明は、リソグラフィ工程を含むデバイスの製造方法において、リソグラフィ工程において第1の発明の露光装置を用いるようにした。これにより、露光装置がマスク或いは基板の位置計測を正確に行うことができるので、線幅不良等のないデバイスを製造することができる。特に、電子ビーム露光装置の場合には、微細なパターンを有するデバイスを効率よく製造することができる。
以下、本発明の露光装置、デバイスの製造方法の実施形態について図を参照して説明する。
図1は、電子ビーム露光装置EXの構成を示す模式図である。電子ビーム露光装置EXは、レチクル(マスク)Rとウエハ(基板)Wとを一次元方向に同期移動しつつ、電子ビームを用いてレチクルRに形成された回路パターンを投影光学系30を介してウエハW上の各ショット領域に転写するステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置、すなわちいわゆるスキャニング・ステッパである。
電子ビーム露光装置(露光装置)EXは、電子ビームEBを放出する電子銃5と、電子銃5から放出される電子ビームEBを所定の形状の電子ビームEBに形成してレチクルRを照射する照明光学系10と、レチクルRを保持するレチクルステージ20、レチクルRを通過した電子ビームEBをウエハW上に投射結像させる投影光学系30、ウエハWを保持するウエハステージ40、電子ビーム露光装置EXを統括的に制御する制御装置50等を備える。そして、これらの各装置は、本体フレーム100或いは基礎フレーム200上に防振ユニット300,400等を介して支持される。
なお、以下の説明において、投影光学系30の光軸AXと一致する方向をZ軸方向、Z軸方向に垂直な平面内でレチクルRとウエハWとの同期移動方向(走査方向)をY軸方向、Z軸方向及びY軸方向に垂直な方向(非走査方向)をX軸方向とする。更に、X軸、Y軸、及びZ軸まわり方向をそれぞれ、θX、θY、及びθZ方向とする。
図1は、電子ビーム露光装置EXの構成を示す模式図である。電子ビーム露光装置EXは、レチクル(マスク)Rとウエハ(基板)Wとを一次元方向に同期移動しつつ、電子ビームを用いてレチクルRに形成された回路パターンを投影光学系30を介してウエハW上の各ショット領域に転写するステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置、すなわちいわゆるスキャニング・ステッパである。
電子ビーム露光装置(露光装置)EXは、電子ビームEBを放出する電子銃5と、電子銃5から放出される電子ビームEBを所定の形状の電子ビームEBに形成してレチクルRを照射する照明光学系10と、レチクルRを保持するレチクルステージ20、レチクルRを通過した電子ビームEBをウエハW上に投射結像させる投影光学系30、ウエハWを保持するウエハステージ40、電子ビーム露光装置EXを統括的に制御する制御装置50等を備える。そして、これらの各装置は、本体フレーム100或いは基礎フレーム200上に防振ユニット300,400等を介して支持される。
なお、以下の説明において、投影光学系30の光軸AXと一致する方向をZ軸方向、Z軸方向に垂直な平面内でレチクルRとウエハWとの同期移動方向(走査方向)をY軸方向、Z軸方向及びY軸方向に垂直な方向(非走査方向)をX軸方向とする。更に、X軸、Y軸、及びZ軸まわり方向をそれぞれ、θX、θY、及びθZ方向とする。
電子銃5は、例えば、熱電子放射型のランタンヘキサボライト(LaB6)、タンタル(Ta)が用いられる。
照明光学系10は、ハウジング13内にコンデンサレンズ11と、2段の電磁偏向器あるいは静電偏向器からなる視野選択偏向器12等を備える。そして、電子銃5から射出された電子ビームEBは、コンデンサレンズ11で平行ビームとされ、その後、視野選択偏向器12によりXY平面内の主にX方向に偏向されて、レチクルRの所定の照射領域に導かれる。なお、視野選択偏向器12における偏向量は、後述する制御装置50により制御される。
この電子銃5及び照明光学系10は、本体フレーム100を構成する第2支持盤120の上面に固定された照明系支持部材14を介して支持される。
照明光学系10は、ハウジング13内にコンデンサレンズ11と、2段の電磁偏向器あるいは静電偏向器からなる視野選択偏向器12等を備える。そして、電子銃5から射出された電子ビームEBは、コンデンサレンズ11で平行ビームとされ、その後、視野選択偏向器12によりXY平面内の主にX方向に偏向されて、レチクルRの所定の照射領域に導かれる。なお、視野選択偏向器12における偏向量は、後述する制御装置50により制御される。
この電子銃5及び照明光学系10は、本体フレーム100を構成する第2支持盤120の上面に固定された照明系支持部材14を介して支持される。
レチクルステージ20は、レチクルRを保持するレチクル微動ステージと、レチクル微動ステージと一体に走査方向であるY軸方向に所定ストロークで移動するレチクル粗動ステージと、これらを移動させるリニアモータ等(いずれも不図示)を備える。そして、レチクル微動ステージには、矩形開口が形成されており、開口周辺部に設けられたレチクル吸着機構によりレチクルRが真空吸着等により保持される。
このレチクルステージ20は、本体フレーム100を構成する第2支持盤120の上面に非接触ベアリング21(気体静圧軸受け等)により、例えば数ミクロン程度のクリアランスを介して浮上支持される。
そして、レチクルステージ20の2次元的な位置及び回転角は、レチクルステージ20上の端部に固定された移動鏡22の位置変化を計測するレーザ干渉計23によって所定の分解能でリアルタイムに計測される。なお、レチクルステージ20のY方向の位置は、移動鏡22、レーザ干渉計23とほぼ直交するように配置された不図示の移動鏡とレーザ干渉計によって計測される。
なお、レーザ干渉計23は、後述する鏡筒35に支持部材80を介して固定保持される。支持部材80については、後述する。
このレチクルステージ20は、本体フレーム100を構成する第2支持盤120の上面に非接触ベアリング21(気体静圧軸受け等)により、例えば数ミクロン程度のクリアランスを介して浮上支持される。
そして、レチクルステージ20の2次元的な位置及び回転角は、レチクルステージ20上の端部に固定された移動鏡22の位置変化を計測するレーザ干渉計23によって所定の分解能でリアルタイムに計測される。なお、レチクルステージ20のY方向の位置は、移動鏡22、レーザ干渉計23とほぼ直交するように配置された不図示の移動鏡とレーザ干渉計によって計測される。
なお、レーザ干渉計23は、後述する鏡筒35に支持部材80を介して固定保持される。支持部材80については、後述する。
投影光学系30は、所定の投影倍率β(βは、例えば1/4)で縮小する縮小系が用いられる。偏向器31、投影レンズ32,33、コントラストアパーチャー34等を備える。そして、レチクルRを通過した電子ビームEBは偏向器31により所定量偏向された上で第一投影レンズ32に導かれる。その後、第一投影レンズ32により、レチクルRとウエハWの間を縮小率比で内分する点にクロスオーバで像を結んだ後、第二投影レンズ33を介してウエハW上の所定位置に投影倍率βで結像される。
これらの光学系部材は、鏡筒35内に収容される。そして、鏡筒35の外壁にはフランジ36が設けられ、本体フレーム100を構成する第1支持盤110に設けられた穴部113に挿入されて、フランジ36を介して支持される。なお、鏡筒35と第1支持盤110の間には、不図示のキネマティックマウントが設けられ、投影光学系30のあおり角を調整することができる。
また、第1支持盤110は、防振ユニット300を介して、基礎フレーム200上にほぼ水平に支持される。なお、防振ユニット300については、後述する。
これらの光学系部材は、鏡筒35内に収容される。そして、鏡筒35の外壁にはフランジ36が設けられ、本体フレーム100を構成する第1支持盤110に設けられた穴部113に挿入されて、フランジ36を介して支持される。なお、鏡筒35と第1支持盤110の間には、不図示のキネマティックマウントが設けられ、投影光学系30のあおり角を調整することができる。
また、第1支持盤110は、防振ユニット300を介して、基礎フレーム200上にほぼ水平に支持される。なお、防振ユニット300については、後述する。
ウエハステージ40は、ウエハWを保持するウエハホルダ41、ウエハWのレベリング及びフォーカシングを行うためにウエハホルダ41をZ軸方向、θX方向、及びθY方向の3自由度方向に微小駆動するウエハテーブル42、ウエハテーブル42をY軸方向に連続移動するとともにX軸方向にステップ移動するXYテーブル43、XYテーブル43をXY平面に沿った2次元方向に移動可能に支持するウエハ定盤44等を備える。
XYテーブル43の底面には、非接触ベアリングである複数のエアベアリング(エアパッド)46が固定されており、これらのエアベアリング46によってXYテーブル43がウエハ定盤44上に、例えば数ミクロン程度のクリアランスを介して浮上支持される。
また、ウエハ定盤44は、基礎フレーム200の支持盤210上に、防振ユニット400を介してほぼ水平に支持されている。なお、防振ユニット400については、後述する。
XYテーブル43の底面には、非接触ベアリングである複数のエアベアリング(エアパッド)46が固定されており、これらのエアベアリング46によってXYテーブル43がウエハ定盤44上に、例えば数ミクロン程度のクリアランスを介して浮上支持される。
また、ウエハ定盤44は、基礎フレーム200の支持盤210上に、防振ユニット400を介してほぼ水平に支持されている。なお、防振ユニット400については、後述する。
ウエハテーブル42のX方向の位置は、ウエハテーブル42上のX方向の端部に固定された移動鏡47の位置変化を計測するレーザ干渉計48によって所定の分解能でリアルタイムに計測される。なお、ウエハテーブル42のY方向の位置は、移動鏡47、レーザ干渉計48とほぼ直交するように配置された不図示の移動鏡とレーザ干渉計によって計測される。なお、これらレーザ干渉計48の少なくとも一方は、測長軸を2軸以上有する多軸干渉計であり、これらレーザ干渉計48の計測値に基づいてウエハテーブル42(ひいてはウエハW)のθZ方向の回転量及びレベリング量も求めることができる。
なお、レーザ干渉計48は、鏡筒35に支持部材70を介して固定保持される。支持部材70については、後述する。
なお、レーザ干渉計48は、鏡筒35に支持部材70を介して固定保持される。支持部材70については、後述する。
制御装置50は、電子ビーム露光装置EXを統括的に制御するものであり、各種演算及び制御を行う演算部の他、各種情報を記録する記憶部や入出力部等を備える。
そして、例えば、レチクルステージ20及びウエハステージ40に設けられたレーザ干渉計23,48の検出結果に基づいてレチクルR及びウエハWの位置を制御して、レチクルRに形成されたパターンの像をウエハW上のショット領域に転写する露光動作を繰り返し行う。
また、入出力部から入力される露光データと、レーザ干渉計23,48が検出するレチクルステージ20及びウエハステージ40の位置情報とに基づいて、視野選択偏向器12及び偏向器31による電子ビームEBの偏向量を演算し、求めた偏向量に基づいて視野選択偏向器12及び偏向器31による電子ビームEBの偏向量が制御される。
なお、入出力部の入力装置としては、露光データの作成装置で作成した磁気情報を読み取るもの、レチクルRやウエハWに登録された露光情報をこれらの搬入の際に読み取るもの等がある。
そして、例えば、レチクルステージ20及びウエハステージ40に設けられたレーザ干渉計23,48の検出結果に基づいてレチクルR及びウエハWの位置を制御して、レチクルRに形成されたパターンの像をウエハW上のショット領域に転写する露光動作を繰り返し行う。
また、入出力部から入力される露光データと、レーザ干渉計23,48が検出するレチクルステージ20及びウエハステージ40の位置情報とに基づいて、視野選択偏向器12及び偏向器31による電子ビームEBの偏向量を演算し、求めた偏向量に基づいて視野選択偏向器12及び偏向器31による電子ビームEBの偏向量が制御される。
なお、入出力部の入力装置としては、露光データの作成装置で作成した磁気情報を読み取るもの、レチクルRやウエハWに登録された露光情報をこれらの搬入の際に読み取るもの等がある。
本体フレーム(架台)100は、投影光学系30を支持する第1支持盤110と、投影光学系30の上方に配置されるレチクルステージ20等を支持する第2支持盤120と、第1支持盤110と第2支持盤120との間に立設する複数の支柱130とから構成される。第1支持盤110は、上述したように、円筒状の投影光学系30の外径よりもやや大きく形成された穴部113を備える。なお、第1支持盤110或いは第2支持盤120と複数の支柱130とは、締結手段等で連結される構造である場合の他、一体に形成される場合であってもよい。
そして、上述したように、本体フレーム100は、防振ユニット300を介して基礎フレーム200上に支持される。
そして、上述したように、本体フレーム100は、防振ユニット300を介して基礎フレーム200上に支持される。
基礎フレーム200は、その上面に防振ユニット400を介してウエハステージ40を支持する支持盤210と、支持盤210上に立設するとともに防振ユニット300を介して本体フレーム100を支持する複数の支柱220とから構成される。なお、支持盤210と支柱220とは、締結手段等で連結される構造であっても、一体に形成される構造であってもよい。
そして、基礎フレーム200は、クリーンルームの床面F上に足部215を介して略水平に設置される。
そして、基礎フレーム200は、クリーンルームの床面F上に足部215を介して略水平に設置される。
防振ユニット300は、第1支持盤110の各コーナーに配置され、内圧が調整可能なエアマウント310とボイスコイルモータ320とが基礎フレーム200の支柱220上に配置されたアクティブ防振台である。なお、図1においては、X方向に配置された防振ユニット300のみを図示しており、Y方向に配置された防振ユニットは図示を省略している。
防振ユニット400は、ウエハ定盤44の各コーナーに配置され、図1に示すように、内圧が調整可能なエアマウント410とボイスコイルモータ420とが支持盤210上に配置されたアクティブ防振台である。なお、図1においては、X方向に配置された防振ユニット400のみを図示しており、Y方向に配置された防振ユニットは図示を省略している。
また、防振ユニット300,400が支持する対象である本体フレーム100及びウエハステージ40には、それぞれ位置加速度センサ330,430が設置される。これらの位置加速度センサ330,430は、本体フレーム100及びウエハステージ40の位置及び加速度を検出するものであり、それぞれの検出結果は制御装置50に出力される。
そして、防振ユニット300は、本体フレーム100上に設置した位置加速度センサ330の検出結果に基づいて駆動され、基礎フレーム200を介して本体フレーム100(ひいては投影光学系30)に伝わる振動が制震される。同様に、防振ユニット400は、ウエハ定盤44上に設置した位置加速度センサ430の検出結果に基づいて駆動され、基礎フレーム200を介してウエハステージ40(ひいてはウエハW)に伝わる振動が制震される。
防振ユニット400は、ウエハ定盤44の各コーナーに配置され、図1に示すように、内圧が調整可能なエアマウント410とボイスコイルモータ420とが支持盤210上に配置されたアクティブ防振台である。なお、図1においては、X方向に配置された防振ユニット400のみを図示しており、Y方向に配置された防振ユニットは図示を省略している。
また、防振ユニット300,400が支持する対象である本体フレーム100及びウエハステージ40には、それぞれ位置加速度センサ330,430が設置される。これらの位置加速度センサ330,430は、本体フレーム100及びウエハステージ40の位置及び加速度を検出するものであり、それぞれの検出結果は制御装置50に出力される。
そして、防振ユニット300は、本体フレーム100上に設置した位置加速度センサ330の検出結果に基づいて駆動され、基礎フレーム200を介して本体フレーム100(ひいては投影光学系30)に伝わる振動が制震される。同様に、防振ユニット400は、ウエハ定盤44上に設置した位置加速度センサ430の検出結果に基づいて駆動され、基礎フレーム200を介してウエハステージ40(ひいてはウエハW)に伝わる振動が制震される。
次に、上述したレーザ干渉計23,48を鏡筒35に固定保持する支持部材70,80について図を参照して説明する。なお、支持部材70と支持部材80とは、略同一の構成であるため、ここでは支持部材70についてのみ説明する。また、支持部材70,80のそれぞれは、X方向及びY方向に1つずつ設置されるが、ここではX方向に取り付けられる支持部材70について説明する。
図2は支持部材70を示す模式図、図3は補強部35を示す模式図である。
支持部材70は、図2(a)に示すように、鏡筒35の下端からX方向に延設された水平部材71と、水平部材71の先端から下方(Z方向)に延びる鉛直部材72とから構成され、側面から見ると略L字形に形成された部材である。
X方向に延設される水平部材71は、ウエハステージ40のストロークに応じて、その長さが決められる。また、鉛直部材72は、ウエハステージ40上の移動鏡47の位置に応じて、その長さが決められる。すなわち、鉛直部材72の先端に固着されたレーザ干渉計48からの測定光がウエハステージ40上の移動鏡47に到達するように、水平部材71及び鉛直部材72の長さが決められる。
そして、水平部材71には、図2(b)に示すような二股部71a,bが形成され、その二股部71a,bが鏡筒35を挟むようにして鏡筒35の外周面に固着される。
図2は支持部材70を示す模式図、図3は補強部35を示す模式図である。
支持部材70は、図2(a)に示すように、鏡筒35の下端からX方向に延設された水平部材71と、水平部材71の先端から下方(Z方向)に延びる鉛直部材72とから構成され、側面から見ると略L字形に形成された部材である。
X方向に延設される水平部材71は、ウエハステージ40のストロークに応じて、その長さが決められる。また、鉛直部材72は、ウエハステージ40上の移動鏡47の位置に応じて、その長さが決められる。すなわち、鉛直部材72の先端に固着されたレーザ干渉計48からの測定光がウエハステージ40上の移動鏡47に到達するように、水平部材71及び鉛直部材72の長さが決められる。
そして、水平部材71には、図2(b)に示すような二股部71a,bが形成され、その二股部71a,bが鏡筒35を挟むようにして鏡筒35の外周面に固着される。
また、水平部材71には、支持部材70の剛性を補強する補強部75が設けられる。補強部75は、水平部材71と第1支持盤110との間に設けられ、水平部材71の上下方向(Z方向)の剛性を向上させて、水平部材71の上下方向の変形(振幅)を抑制するものである。
補強部75として、例えば、図3(a)に示すようなバネ・ダンパ装置75a、或いは図3(b)に示すような電磁気アクチュエータ75bが設けられる。また、図3(c)に示すようなリブ部材75cであってよい。
そして、バネ・ダンパ装置(剛性調整機構)75aのバネ定数や動粘性係数を調整することにより、水平部材71の上下方向の振動を効果的に制震することができる。また、電磁気アクチュエータ(剛性調整機構)75bの電磁力を調整することにより、水平部材71の振動を効果的に制震することができる。或いは、リブ部材75cにより水平部材71の剛性が向上し、上下方向の変形量を抑えることができる。
補強部75として、例えば、図3(a)に示すようなバネ・ダンパ装置75a、或いは図3(b)に示すような電磁気アクチュエータ75bが設けられる。また、図3(c)に示すようなリブ部材75cであってよい。
そして、バネ・ダンパ装置(剛性調整機構)75aのバネ定数や動粘性係数を調整することにより、水平部材71の上下方向の振動を効果的に制震することができる。また、電磁気アクチュエータ(剛性調整機構)75bの電磁力を調整することにより、水平部材71の振動を効果的に制震することができる。或いは、リブ部材75cにより水平部材71の剛性が向上し、上下方向の変形量を抑えることができる。
補強部75として、バネ・ダンパ装置75aや電磁気アクチュエータ75bを用いた場合には、水平部材71にひずみゲージ等の変形検出センサ76を設置して、水平部材71の変形量を計測する。これにより、変形検出センサ76の計測結果に基づいて、バネ・ダンパ装置75aのバネ定数及び動粘性係数や、電磁気アクチュエータ75bの電磁力を最適化することができる。
更に、水平部材71の上面或いは下面には、ユニモルフ或いはバイモルフ型圧電アクチュエータ等の変形アクチュエータ77が設けられる。これにより、水平部材71が上下方向に反るように変形させることが可能となる。
また、支持部材70の上下方向の振動を測定するために、水平部材71の先端に位置加速度センサ(検出部)78を設けられる。これにより、水平部材71の振動を計測することができる。なお、第1支持盤110に設けられた位置加速度センサ330による振動との差異を求めることにより、鏡筒35とレーザ干渉計48との相対的な振動を検出することも可能となる。
そして、支持部材70、特に水平部材71が上下方向に振動した場合には、位置加速度センサ78の計測結果に基づいて、鏡筒35とレーザ干渉計48との相対的な振動を打ち消すように変形アクチュエータ77を駆動する。これにより、支持部材70の上下方向の振動を能動的に制震することができる。
なお、鏡筒35の振動を正確に計測するために、位置加速度センサ330に替えて、鏡筒35に位置加速度センサを直接設置することが好ましい。また、投影光学系30が分割形の場合には、鏡筒35の上端及び下端のそれぞれに位置加速度センサを設けることが好ましい。
また、支持部材70の上下方向の振動を測定するために、水平部材71の先端に位置加速度センサ(検出部)78を設けられる。これにより、水平部材71の振動を計測することができる。なお、第1支持盤110に設けられた位置加速度センサ330による振動との差異を求めることにより、鏡筒35とレーザ干渉計48との相対的な振動を検出することも可能となる。
そして、支持部材70、特に水平部材71が上下方向に振動した場合には、位置加速度センサ78の計測結果に基づいて、鏡筒35とレーザ干渉計48との相対的な振動を打ち消すように変形アクチュエータ77を駆動する。これにより、支持部材70の上下方向の振動を能動的に制震することができる。
なお、鏡筒35の振動を正確に計測するために、位置加速度センサ330に替えて、鏡筒35に位置加速度センサを直接設置することが好ましい。また、投影光学系30が分割形の場合には、鏡筒35の上端及び下端のそれぞれに位置加速度センサを設けることが好ましい。
続いて、以上のような構成を備えた電子ビーム露光装置EX、特に支持部材70,80の制震方法について説明する。
まず、ウエハWが各種アライメント処理を経て、ウエハステージ40上に精度よく戴置される。そして、アライメント結果に基づいて、ウエハステージ40を移動させ、ウエハWのファーストショット(第1番目のショット領域)の露光処理が開始される。
露光処理では、電子銃5から射出されて断面正方形状(例えば1mm角)に整形された電子ビームEBが、視野選択偏向器12により光学系の光軸AXから所定距離だけ偏向せしめられてレチクルRの照射領域に導かれる。照射領域への電子ビームEBの照射に伴って、その領域に形成されたパターンに対応した形状のパターン像が第1投影レンズ32及び第2投影レンズ33を介してウエハWの対応部に所定の縮小率(例えば1/4)で結像投影される。1回のショット(照射)毎に、ウエハW上で250μm角の領域(エリア)を一括で転写する。そして、投影時にはサブフィールドを単位として電子ビームEBの照射が繰り返され、各サブフィールド内のパターン像がウエハW上の異なる被転写サブフィ−ルドに順次投影される。
これらの一連の動作を、レチクルRとウエハWを4:1の速度で同期を取りながら移動させ、電子ビームEBをレチクルR上で20mm幅(ウエハW上では1/4倍の5mm幅)にて電磁偏向で振りながら(走査しながら)、回路パターンを露光する。
このように、電子ビーム露光装置EXでは、電子ビームEBの偏向幅の大きさとも相まって、露光時間を大幅に短縮し、スループットを飛躍的に向上することができる。
まず、ウエハWが各種アライメント処理を経て、ウエハステージ40上に精度よく戴置される。そして、アライメント結果に基づいて、ウエハステージ40を移動させ、ウエハWのファーストショット(第1番目のショット領域)の露光処理が開始される。
露光処理では、電子銃5から射出されて断面正方形状(例えば1mm角)に整形された電子ビームEBが、視野選択偏向器12により光学系の光軸AXから所定距離だけ偏向せしめられてレチクルRの照射領域に導かれる。照射領域への電子ビームEBの照射に伴って、その領域に形成されたパターンに対応した形状のパターン像が第1投影レンズ32及び第2投影レンズ33を介してウエハWの対応部に所定の縮小率(例えば1/4)で結像投影される。1回のショット(照射)毎に、ウエハW上で250μm角の領域(エリア)を一括で転写する。そして、投影時にはサブフィールドを単位として電子ビームEBの照射が繰り返され、各サブフィールド内のパターン像がウエハW上の異なる被転写サブフィ−ルドに順次投影される。
これらの一連の動作を、レチクルRとウエハWを4:1の速度で同期を取りながら移動させ、電子ビームEBをレチクルR上で20mm幅(ウエハW上では1/4倍の5mm幅)にて電磁偏向で振りながら(走査しながら)、回路パターンを露光する。
このように、電子ビーム露光装置EXでは、電子ビームEBの偏向幅の大きさとも相まって、露光時間を大幅に短縮し、スループットを飛躍的に向上することができる。
このような露光処理が行われる際には、レチクルステージ20及びウエハステージ40が高速に移動するため、電子ビーム露光装置EX全体に振動が加わる。したがって、支持部材70,80にも振動が加わる。
ところが、この振動により支持部材70,80が変形すると、レーザ干渉計23,48と投影光学系30(電子ビームEB)との相対位置が変化し、レーザ干渉計23,48を用いたレチクルR及びウエハWの位置決めに誤差が生じ、露光不良が発生してしまう。特に、レチクルステージ20及びウエハステージ40のストロークが大きくなってきているので、支持部材70,80が長尺化して変形しやすくなり、この誤差が無視できなくなっている。
ところが、この振動により支持部材70,80が変形すると、レーザ干渉計23,48と投影光学系30(電子ビームEB)との相対位置が変化し、レーザ干渉計23,48を用いたレチクルR及びウエハWの位置決めに誤差が生じ、露光不良が発生してしまう。特に、レチクルステージ20及びウエハステージ40のストロークが大きくなってきているので、支持部材70,80が長尺化して変形しやすくなり、この誤差が無視できなくなっている。
しかしながら、支持部材70,80には補強部75が設けられているため、電子ビーム露光装置EXに振動が加わった場合であっても、支持部材70,80の剛性が向上しているので、支持部材70,80は振動しづらくなっている。したがって、投影光学系30とレーザ干渉計23,48とが略一体となって振動するが、レーザ干渉計23,48と投影光学系30と(電子ビームEB)との相対位置は略一定に維持される。これにより、レーザ干渉計23,48を用いたレチクルR及びウエハWの位置決めが正確に行われ、露光不良の発生が抑えられる。
仮に、支持部材70,80が変形して露光不良が発生した場合には、バネ・ダンパ装置75aの各種係数、電磁気アクチュエータ75bによる電磁力を変化させて、支持部材70,80の剛性を更に向上させれば、容易に露光不良を改善させることができる。
また、変形アクチュエータ77を駆動して、支持部材70,80の振動(変形)を能動的に抑えてもよい。具体的には、水平部材71の先端に設けた位置加速度センサ78により支持部材70の上下方向の振動を測定する。同時に、第1支持盤110に設けた位置加速度センサ330により鏡筒35の上下方向の振動を測定する。そして、制御装置50において、位置加速度センサ78と位置加速度センサ330との差異を求める。これにより、支持部材70の単独の上下振動を求める。更に、制御装置50から変形アクチュエータ77に対して、支持部材70の単独の上下振動と逆位相の振動を指令する。これにより、支持部材70の上下方向の振動が打ち消されるので、支持部材70の単独の上下振動を能動的に制震することができる。
したがって、支持部材70,80の振動が低減され、レーザ干渉計23,48と投影光学系30と(電子ビームEB)との相対位置は略一定となり、レーザ干渉計23,48を用いたレチクルR及びウエハWの位置決めを正確に行うことが可能となる。
また、変形アクチュエータ77を駆動して、支持部材70,80の振動(変形)を能動的に抑えてもよい。具体的には、水平部材71の先端に設けた位置加速度センサ78により支持部材70の上下方向の振動を測定する。同時に、第1支持盤110に設けた位置加速度センサ330により鏡筒35の上下方向の振動を測定する。そして、制御装置50において、位置加速度センサ78と位置加速度センサ330との差異を求める。これにより、支持部材70の単独の上下振動を求める。更に、制御装置50から変形アクチュエータ77に対して、支持部材70の単独の上下振動と逆位相の振動を指令する。これにより、支持部材70の上下方向の振動が打ち消されるので、支持部材70の単独の上下振動を能動的に制震することができる。
したがって、支持部材70,80の振動が低減され、レーザ干渉計23,48と投影光学系30と(電子ビームEB)との相対位置は略一定となり、レーザ干渉計23,48を用いたレチクルR及びウエハWの位置決めを正確に行うことが可能となる。
以上、説明したように、本発明に係る電子ビーム露光装置EXによれば、レーザ干渉計23,48と投影光学系30とが支持部材70,80及び補強部75等により強固に連結されるので、仮に投影光学系30に振動が加わったとしてもレーザ干渉計23,48と投影光学系30との相対位置は、略一定に維持される。したがって、電子ビームEBに対するレチクルR又はウエハWの位置を正確に計測することができ、電子ビーム露光装置EXによるデバイス製造時の露光不良の発生を抑えることができる。
なお、上述した実施の形態において示した動作手順、あるいは各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲においてプロセス条件や設計要求等に基づき種々変更可能である。本発明は、例えば以下のような変更をも含むものとする。
本発明が適用される露光装置としては、マスクを用いる構成には限らない。
マスクを用いずに直接基板上にパターンを形成する構成としてもよい。
EB露光装置には、限らない。電子ビームに替えて、g線(436nm)、i線(365nm)、KrFエキシマレーザ(248nm)、ArFエキシマレーザ(193nm)、F2レーザ(157nm)やX線を用いることができる。
さらに、投影光学系の倍率は縮小系のみならず等倍および拡大系のいずれでもよい。
マスクを用いずに直接基板上にパターンを形成する構成としてもよい。
EB露光装置には、限らない。電子ビームに替えて、g線(436nm)、i線(365nm)、KrFエキシマレーザ(248nm)、ArFエキシマレーザ(193nm)、F2レーザ(157nm)やX線を用いることができる。
さらに、投影光学系の倍率は縮小系のみならず等倍および拡大系のいずれでもよい。
また、マスクと基板とを静止した状態でマスクのパターンを露光し、基板を順次ステップ移動させるステップ・アンド・リピート型の露光装置を用いてもよい。
また、本発明が適用される露光装置として、投影光学系を用いることなくマスクと基板とを密接させてマスクのパターンを露光するプロキシミティ露光装置を用いてもよい。
また、本発明が適用される露光装置として、投影光学系を用いることなくマスクと基板とを密接させてマスクのパターンを露光するプロキシミティ露光装置を用いてもよい。
また、露光装置の用途としては半導体デバイス製造用の露光装置に限定されることなく、例えば、角型のガラスプレートに液晶表示素子パターンを露光する液晶用の露光装置や、薄膜磁気ヘッドを製造するための露光装置にも広く適当できる。
また、投影光学系としては、電子レンズおよび偏向器からなる電子光学系を用いる場合の他、エキシマレーザなどの遠紫外線を用いる場合は硝材として石英や蛍石などの遠紫外線を透過する材料を用い、F2レーザやX線を用いる場合は反射屈折系または反射系の光学系を用いる(このとき、レチクルも反射型タイプのものを用いる)。
また、ウエハステージやレチクルステージにリニアモータを用いる場合は、エアベアリングを用いたエア浮上型およびローレンツ力またはリアクタンス力を用いた磁気浮上型のどちらを用いてもいい。また、ステージは、ガイドに沿って移動するタイプでもよいし、ガイドを設けないガイドレスタイプでもよい。さらに、ステージの駆動装置として平面モ−タを用いる場合、磁石ユニット(永久磁石)と電機子ユニットのいずれか一方をステージに接続し、磁石ユニットと電機子ユニットの他方をステージの移動面側(ベース)に設ければよい。
ウエハステージの移動により発生する反力は、特開平8−166475号公報に記載されているように、フレーム部材を用いて機械的に床(大地)に逃がしてもよい。
また、ウエハステージの移動により発生する反力は、カウンタマスをウエハステージの移動方向と逆方向に移動させることにより相殺させてもよい。
また、ウエハステージの移動により発生する反力は、カウンタマスをウエハステージの移動方向と逆方向に移動させることにより相殺させてもよい。
レチクルステージの移動により発生する反力は、特開平8−330224号公報に記載されているように、フレーム部材を用いて機械的に床(大地)に逃がしてもよい。
また、本発明が適用される露光装置は、本願特許請求の範囲に挙げられた各構成要素を含む各種サブシステムを、所定の機械的精度、電気的精度、光学的精度を保つように、組み立てることで製造される。これら各種精度を確保するために、この組み立ての前後には、各種光学系については光学的精度を達成するための調整、各種機械系については機械的精度を達成するための調整、各種電気系については電気的精度を達成するための調整が行われる。各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度が確保される。なお、露光装置の製造は温度およびクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。
また、半導体デバイスは、デバイスの機能・性能設計を行う工程、この設計ステップに基づいたマスク(レチクル)を製作する工程、シリコン材料からウエハを製造する工程、前述した実施形態の露光装置によりレチクルのパターンをウエハに露光するウエハ処理工程、デバイス組み立て工程(ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程を含む)、検査工程等を経て製造される。
R レチクル(マスク)
W ウエハ(基板)
EB 電子ビーム
EX 電子ビーム露光装置
23,48 レーザ干渉計(干渉計)
30 投影光学系
70 支持部材
75 補強部
75a バネ・ダンパ装置(剛性調整機構)
75b 電磁気アクチュエータ(剛性調整機構)
77 変形アクチュエータ(アクチュエータ)
78 位置加速度センサ(検出部)
80 支持部材
100 本体フレーム(架台)
W ウエハ(基板)
EB 電子ビーム
EX 電子ビーム露光装置
23,48 レーザ干渉計(干渉計)
30 投影光学系
70 支持部材
75 補強部
75a バネ・ダンパ装置(剛性調整機構)
75b 電磁気アクチュエータ(剛性調整機構)
77 変形アクチュエータ(アクチュエータ)
78 位置加速度センサ(検出部)
80 支持部材
100 本体フレーム(架台)
Claims (7)
- マスクを通過した露光光或いは電子ビームを基板上に投影結像させる投影光学系と、前記マスク及び/又は前記基板の位置を計測する干渉計と、を有する露光装置において、
前記投影光学系或いは前記投影光学系を支持する架台と前記干渉計とを固結する支持部材と、
前記支持部材の剛性を補強する補強部材と、を備えることを特徴とする露光装置。 - 前記補強部材は、前記支持部材の剛性を調整する剛性調整機構を備えることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記支持部材を変形させるアクチュエータを備えることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の露光装置。
- 前記支持部材の変形を検出する変形センサを備えるとともに、前記変形センサの検出結果に基づいて前記アクチュエータを駆動することを特徴とする請求項3に記載の露光装置。
- 前記ウエハに露光されたパターンの露光結果に基づいて前記アクチュエータを駆動することを特徴とする請求項3に記載の露光装置。
- 前記支持部材の振動を検出する検出部を備えるとともに、前記検出部の検出結果に基づいて前記アクチュエータを駆動することを特徴とする請求項3に記載の露光装置。
- リソグラフィ工程を含むデバイスの製造方法において、前記リソグラフィ工程において請求項1から請求項6のうちいずれか一項に記載の露光装置を用いることを特徴とするデバイスの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004024227A JP2005217303A (ja) | 2004-01-30 | 2004-01-30 | 露光装置及びデバイスの製造方法 |
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ID=34906981
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011158739A1 (ja) * | 2010-06-15 | 2011-12-22 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子装置 |
JP2012054500A (ja) * | 2010-09-03 | 2012-03-15 | Nikon Corp | 露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 |
JP2013051058A (ja) * | 2011-08-30 | 2013-03-14 | Hitachi High-Technologies Corp | Zステージ装置及び荷電粒子線装置 |
JP2014099564A (ja) * | 2012-11-15 | 2014-05-29 | Canon Inc | 露光装置及びデバイス製造方法 |
CN104793465A (zh) * | 2014-01-16 | 2015-07-22 | 上海微电子装备有限公司 | 投影曝光装置 |
-
2004
- 2004-01-30 JP JP2004024227A patent/JP2005217303A/ja not_active Withdrawn
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JP2012003892A (ja) * | 2010-06-15 | 2012-01-05 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子装置 |
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