CN101438196B

CN101438196B - 用于微光刻的具有四个透镜组的对称物镜

Info

Publication number: CN101438196B
Application number: CN2007800163153A
Authority: CN
Inventors: 戴维·谢弗; 奥里莉恩·多多克; 海科·费尔德曼; 约翰尼斯·泽尔纳; 威廉·乌尔里克; 霍尔格·沃尔特; 乌尔里克·洛林; 丹尼尔·克雷默; 格哈特·富尔特
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 2006-05-05
Filing date: 2007-05-04
Publication date: 2011-03-02
Anticipated expiration: 2027-05-04
Also published as: EP2021854A2; WO2007131161A2; JP5522520B2; JP2009536373A; WO2007131161A3; KR20090018918A; US7697211B2; TW200809424A; CN101438196A; TWI330719B; EP2101209A1; KR101402449B1; US20090080086A1

Abstract

本发明特征在于一种用于微光刻的系统，该系统包括配置成发射多个汞发射谱线处的辐射的汞光源、设置成接收由汞光源发射的辐射的投影物镜以及配置成相对于投影物镜放置晶片的台。在操作期间，投影物镜将来自光源的辐射引导到晶片，其中在晶片处的辐射包括来自发射谱线中多于一条谱线的能量。用于所述投影物镜的光学透镜系统包括四个透镜组，每个透镜组具有两个包括二氧化硅的透镜，一方的第一和第二透镜组与另一方的第三和第四透镜组相对于与所述透镜系统的光轴垂直的平面对称放置。

Description

用于微光刻的具有四个透镜组的对称物镜

相关申请的交叉引用

本申请要求2006年5月5日提交的、申请号为60/798,157、名称为”OPTICAL LENS SYSTEM”的美国临时专利申请的优先权以及2006年8月17日申请的、申请号为No.60/838,213、名称为”OPTICAL LENS SYSTEM”的美国临时专利申请的优先权。这两个临时专利申请的全部内容以引用的方式合并于此。

技术领域

本公开涉及光学透镜系统和相关的微光刻系统及工艺(process)。

背景技术

光学透镜系统能够用来引导光辐射。光学透镜系统可以是成像系统，用于将来自物体的辐射引导到成像区域从而在成像区域形成物体的像。在一些应用中，光学透镜系统可以用于微光刻系统中。例如，光学透镜系统可以用于将掩模的像投影到基底上的光敏层(如，光刻胶)。

发明内容

在一些方面，本公开的特征是所设计的成像光学透镜系统具有相对小的轴向色差(比如，相对小的一级和/或二级轴向色差)。该光学透镜系统包括由至少两种不同材料形成的透镜。一些实施例的特征是由至少三种不同材料形成的透镜。每个透镜的布置和设计都被选择，使得除了低的轴向色差外，该光学透镜系统具有其他有利的成像特性，例如相对低的像面场曲率、相对低的垂轴色差(比如，第一级和/或第二级垂轴色差)。实施例包括设计成用于对与汞光源(mercury source)的i、h和g发射谱线对应的波长的辐射进行成像的成像光学系统。

通常，在第一方面，本发明的特征是将波长λ的辐射从物区域引导到像区域的光学透镜系统，该光学透镜系统具有光轴。该光学透镜系统包括：包括沿光学透镜系统的光轴放置的第一和第二透镜的第一透镜组、包括沿光学透镜系统的光轴放置的第一和第二透镜的第二透镜组、包括沿光学透镜系统的光轴放置的第一和第二透镜的第三透镜组以及包括沿光学透镜系统的光轴放置的第一和第二透镜的第四透镜组。第一、第二、第三和第四透镜组的每一个透镜组中的第一和第二透镜包括二氧化硅(silica)。第一、第二、第三和第四透镜组关于垂直于光轴的一个平面对称放置。第一透镜组具有对于辐射的第一色差。第二透镜组具有对于辐射的第二色差。第二色差值与第一色差值之间的差值小于大约λ。第二色差的符号与第一色差的符号相反。该光学透镜系统形成微光刻光学透镜系统的一部分。

通常，在另一方面，本发明的特征是将辐射从物区域引导到像区域的光学透镜系统，该光学透镜系统具有光轴。该光学透镜系统包括：包括沿光学透镜系统的光轴放置的第一和第二透镜的第一透镜组以及包括沿光学透镜系统的光轴放置的第一和第二透镜的第二透镜组。该第一透镜组具有对于辐射的第一色差。该第二透镜组具有对于辐射的第二色差。辐射包括波长λ，其中第二色差值与第一色差值之间的差值小于大约λ。光学透镜系统将波长λ的辐射成像到像区域，并且第二色差的符号与第一色差的符号相反。该光学透镜系统形成微光刻光学透镜系统的一部分，并且第一透镜组将像区域中波长λ的像的曲率减少到小于微光刻光学透镜系统的像区域中的微光刻光学透镜系统的焦深。

通常，在再一方面，本发明的特征是将波长λ的辐射从物区域引导到像区域的光学透镜系统，该光学透镜系统具有光轴。该光学透镜系统包括：在物区域和像区域之间沿光轴放置的具有正光焦度(positive optical power)的第一透镜组、在第一透镜组和像区域之间沿光轴放置的具有正光焦度的第二透镜组、在第二透镜组和像区域之间沿光轴放置的具有正光焦度的第三透镜组以及在第三透镜组和像区域之间沿光轴放置的具有正光焦度的第四透镜组，其中第二透镜组包括第一对(doublet)和第二对，并且第一对包括由第一材料形成的透镜和由第二材料形成的透镜，第一和第二材料在λ处具有不同的色散；并且其中第三透镜组包括第一对和第二对，且第一对包括由第三材料形成的透镜和由第四材料形成的透镜，第三和第四材料在λ处具有不同的色散。第二透镜组的第一和第二对与第三透镜组的第一和第二对相对于垂直于光轴的平面对称设置。该光学透镜系统形成微光刻投影系统的一部分。

通常，在再一方面，本发明的特征是将波长λ的辐射从物区域引导到像区域的光学透镜系统，该光学透镜系统具有光轴。该光学透镜系统包括：在物区域和像区域之间沿光轴放置的具有正光焦度的第一透镜组、在第一透镜组和像区域之间沿光轴放置的具有第一值的正光焦度的第二透镜组、在第二透镜组和像区域之间沿光轴放置的具有正光焦度的第三透镜组以及在第三透镜组和像区域之间沿光轴放置的具有正光焦度的第四透镜组，其中第二透镜组包括由第一材料形成的透镜、由第二材料形成的透镜和由第三材料形成的透镜，第一、第二和第三材料在λ处具有不同的色散。第二透镜组的透镜与第三透镜组的透镜相对于光学透镜系统的光瞳面对称放置。该光学透镜系统形成微光刻投影系统的一部分。

通常，在再一方面，本发明的特征是将波长λ和λ’的辐射从物区域引导到像区域的光学透镜系统，该光学透镜系统具有光轴。该光学透镜系统包括在物区域和像区域之间沿光轴放置的多个透镜，其中光学透镜系统的透镜总数中的至少一半是由熔融石英形成，|λ-λ′|≥20nm，并且光学透镜系统形成微光刻投影系统的一部分。

通常，在再一方面，本发明的特征是将波长λ的辐射从物区域引导到像区域的光学透镜系统，该光学透镜系统具有光轴。该光学透镜系统包括在物区域和像区域之间沿光轴放置的多个透镜。该光学透镜系统具有0.2或更小的最大数值孔径和小于0.33的Γ比，并且该光学透镜系统形成微光刻投影系统的一部分。

通常，在再一方面，本发明的特征是一种系统，该系统包括配置成发射多个汞发射谱线的辐射的汞光源、定位成接收汞光源发射的辐射的投影物镜以及配置成相对于该投影物镜放置晶片的台。在操作期间，投影物镜将来自光源的辐射引导到晶片，其中在晶片上的辐射包括来自发射谱线中的多于一个的发射谱线的能量。

实施例能够具有下面优点中的一个或多个。比如，在此公开的光学透镜系统能够用作光刻工具中的投影镜头，并且能够使晶片在多于一个波长的辐射下曝光。相应地，相对于仅在辐射源的一个发射波长的辐射下使晶片曝光的系统，可以更有效地使用发射多于一个波长的辐射的辐射源。因此，相对于该单波长系统而言能够使用更高的曝光能量。而更高的曝光能量能够降低曝光时间并且增加光刻工具的生产量。

实施例包括的设计在多于一个波长处(例如两个或三个波长)表现出低色差和其他期望的成像特性，且利用由相对少的不同材料形成的元件。比如，实施例包括的光学透镜系统由来自仅两种不同类型材料之一形成的透镜而构成。实施例还公开了包括由来自仅三种不同类型材料之一形成的透镜。在实施例中，材料是商业上可得到的并且各个透镜的设计是可加工的。在一些包括不同材料的透镜的实施例中，透镜的大部分能够由质量上足以用于光刻投影物镜且商业上容易得到的材料形成。例如，在一些实施例中，透镜的大部分(比如至少一半)能够用熔融石英形成。

实施例还包括对透镜热效应具有相对低的敏感度的光学透镜系统。通过透镜配置能够降低投影物镜的成像特性方面的透镜热效应，该透镜配置包括在成像辐射不均匀照明透镜的位置处减少透镜的数目。无需动态控制即可达到热效应敏感度的降低，这提供了经济的方法用于降低该成像误差源。

因而，本发明公开了在多于一个波长处有用的用于投影物镜的可商业应用的设计。

根据说明书、附图和权利要求，其他的特征和优点将更明显。

附图说明

图1是光学透镜系统的实施例的示意图；

图2A是光学透镜系统的实施例的示意图；

图2B是光学透镜系统的实施例的示意图；

图3是用于比较不同材料的折射率和阿贝数的图；

图4A是光学透镜系统的一部分的示意图；

图4B是光学透镜系统的实施例的示意图，示出了该透镜系统的不同区域；

图5是微光刻系统的实施例的示意图；

图6是成像光学透镜系统的实施例的示意图；

图7是成像光学透镜系统的实施例的示意图；

图8是成像光学透镜系统的实施例的示意图；

图9是成像光学透镜系统的实施例的示意图；

图10是成像光学透镜系统的实施例的示意图；

图11是成像光学透镜系统的实施例的示意图；

图12是成像光学透镜系统的实施例的示意图；

图13是成像光学透镜系统的实施例的示意图；

图14是成像光学透镜系统的实施例的示意图；

图15是成像光学透镜系统的实施例的示意图；

图16是成像光学透镜系统的实施例的示意图；

图17是成像光学透镜系统的实施例的示意图；

在各个附图中相似的参考符号表示相似的元件。

具体实施方式

图1是用于将来自源18的辐射引导到物16的光学透镜系统2的实施例的示意图。光学透镜系统2包括第一透镜组10和第二透镜组12，每一个透镜组都沿光学透镜系统2的光轴8放置。源18提供源辐射14，源辐射14沿光轴8从源平面4首先经过第一透镜组10、接着经过第二透镜组12传播到输出平面6。物16可以置于输出平面6的位置或其附近位置以接收该辐射。

输出平面6可以是光学透镜系统2的焦平面。替代地，输出平面6可以是光学透镜系统2的像平面或相对于光学透镜系统的其他类型的平面。例如，光学透镜系统2可以形成微光刻光学透镜系统的一部分(如，微光刻光学投影透镜系统的一部分)，其中源平面4是微光刻光学透镜系统的物平面，并且输出平面6是微光刻光学透镜系统的像平面。置于输出平面6或其附近的物16可以是诸如晶片的基底。

光学透镜系统2还可以包括用于限定微光刻光学透镜系统的孔径的诸如孔径光阑的元件24。元件24可以沿光轴8放置以限定孔径。例如，在一些实施例中，元件24可以置于第二透镜组12中。在一些实施例中，元件24可以置于与输出平面6相邻的位置。

在一些实施例中，光学透镜系统2还可以包括用于限定微光刻光学透镜系统的照明孔径的诸如可调整掩模或光圈的孔径(未示出)。例如，可以用孔径为微光刻光学透镜系统提供偶极照明、四极照明、环形照明或其他类型的照明。

经由源18提供的源辐射14包括辐射波长组分(component)的分布。该分布具有中心波长λ和半高全宽频谱带宽Δλ。在光学系统中出现的色差归因于光学部件的色散(例如，每一个组分中折射率随λ的变化)。通常，源辐射14的频谱带宽Δλ越大，则光学系统中的色差值越大。

可以根据源辐射14的频谱带宽Δλ内的三个波长组分沿光轴8的焦点位置来描述色差。与指的是不同波长的焦点位置在垂直光轴方向变化的垂轴色差形成对比，这种色差也可以被称为轴向色差。三个波长组分具有波长λ₁、λ₂和λ₃，使得λ₁<λ₂<λ₃。例如，在一些实施例中，源辐射可以包括具有在电磁频谱的可见和近紫外区域中的波长的辐射，并且波长λ₁、λ₂和λ₃可以与汞原子的发射频谱中的i、h和g频谱线相对应。汞频谱i谱线具有365.01nm的波长、h谱线具有404.65nm的波长并且g谱线具有435.84nm的波长。

色差值指的是焦点区域沿光轴8的最大长度，其中源辐射14中的各波长组分聚焦在该区域。例如，源辐射14中覆盖(span)频谱带宽Δλ的各波长组分由于多种透镜材料依赖波长的色散而聚焦在沿光轴8的不同位置。在源辐射14的各波长组分中，一个波长通过光学透镜系统被聚焦到沿光轴8的位置上，该位置相比任何其他波长组分的焦点位置更靠近透镜系统。另一波长组分通过光学系统被聚焦到沿光轴8的位置上，该位置相比任何其他波长组分的焦点位置更远离透镜系统。在源辐射14的各波长组分的最近和最远焦点位置之间沿光轴8的距离是光学透镜系统对于源辐射14的色差值。源辐射14的中心波长λ沿光轴8的焦点位置限定输出平面6的位置，该平面位于焦点区域中。

色差的符号指的是波长组分λ₁和λ₃沿光轴8以及在透镜系统的焦点区域中的相对次序。例如，透镜材料中正常的光学色散导致了较短波长的光学辐射组分比较长波长的光学辐射组分聚焦到沿光轴8更靠近透镜系统的位置。使得具有波长λ₁的辐射沿光轴8聚焦的位置比具有波长λ₃的辐射沿光轴8的焦点位置更靠近透镜系统的色差被称作为正色差。另一方面，负色差导致具有波长λ₃的辐射沿光轴8聚焦的位置比具有波长λ₁的辐射沿光轴8的焦点位置更靠近透镜系统。

各种类型的色差能够由在此所公开的光学系统进行校正。第一种类型的色差是一级色差，该一级色差指的是具有波长λ₁和λ₃的光学辐射组分之间沿光轴108的焦点位置的差别。通过选择性地调整第一透镜组10和第二透镜组12对一级色差的贡献，光学透镜系统2能够被配置成校正一级色差。当完全补偿一级色差时，具有波长λ₁和λ₃的光学辐射组分通过光学透镜系统2聚焦到沿光轴8的同一个位置。

第二种类型的色差是二级色差，该二级色差指的是波长λ₁和λ₃的共同焦点与具有波长λ₂的光学辐射之间沿光轴8聚焦位置的差。二级色差也可以经由光学透镜系统2通过对材料、距离和透镜尺寸的合适选择来进行补偿。当完全补偿二级色差时，具有波长λ₁、λ₂和λ₃的光学辐射组分经由光学透镜系统2能够聚焦到沿光轴8的共同位置。

也可能出现高级色差，并且光学透镜系统2的一些实施例能够配置为校正这些高级像差。例如，在一些实施例中，光学透镜系统2能够校正三级色差。当完全补偿三级色差时，具有四个不同波长的光学辐射组分每一个都经由光学透镜系统2聚焦到沿光轴8的共同位置。通常，透镜系统的色差包括一级色差、二级色差和高级色差(比如，三级色差)。

第一透镜组10和第二透镜组12配置为提供光学透镜系统2相对于输出平面6的被选择的色差。第一透镜组10包括一个或多个透镜。第一透镜组10中的各个透镜中的每一个都产生色差。选择第一透镜组10中的透镜的尺寸、间隔和材料以产生对于第一透镜组10的特定的第一色差值。第二透镜组12包括两个或多个透镜，这些透镜被配置以产生对于第二透镜组12的特定的第二色差值。在一些实施例中，选择第二透镜组12中的透镜的尺寸、间隔和材料以使得第一和第二色差值之间的差值小于源辐射14的波长(比如小于λ)。此外，配置第二透镜组12以使得第二色差具有与第一色差的符号相反的符号。即，第二色差可被选择以补偿第一色差。

在一些实施例中，可以选择总色差值以使得具有波长λ₁、λ₂和λ₃的光学辐射组分的每一个都大体上聚焦到共同的焦平面，比如输出平面6。在一些实施例中，仅具有波长λ₁、λ₂和λ₃的近轴光线能够聚焦到共同的焦平面。

在一些实施例中，光学透镜系统2的色差值能够根据第一透镜组10与第二透镜组12之间沿光轴8的距离而改变。距离d可被选择以产生光学透镜系统2相对于输出平面6的色差值。比如，d可被选择以使得光学透镜系统2相对于输出平面6的色差值小于源辐射14的波长。在一些实施例中，d可以是大约5厘米或更长(例如，大约10厘米或更长、大约15厘米或更长、大约20厘米或更长)。

通常，第一透镜组10能够具有各种配置并且可以包括多个透镜。例如，在一些实施例中，第一透镜组10可以包括两个透镜或更多的透镜，例如三个透镜、或四个透镜、或五个透镜、或多于五个透镜。在一些实施例中，例如，第一透镜组10可以仅具有一个透镜。每一个透镜可以具有凹面、凸面或具有凹面和凸面两者。

第二透镜组12也可以具有各种配置并且可以包括多个透镜。通常，第二透镜组12具有两个透镜或更多的透镜，例如三个透镜、四个透镜、五个透镜、或多于五个透镜。每一个透镜可以具有凹面、凸面或具有凹面和凸面两者。

在一些实施例中，第一透镜组中的透镜的最大直径是第二透镜组中的透镜的最大直径的至少约1.5倍大。例如，第一透镜组中的透镜的最大直径可以是第二透镜组中的透镜的最大直径的至少约2倍大(例如，至少约3倍、至少约4倍)。例如，第一透镜组中的透镜的最大直径可以被选择，以允许光学透镜系统2容纳源18所提供的大直径光学场(optical field)。

在一些实施例中，第一透镜组10的主平面与第二透镜组12的第一透镜之间沿光轴8测量的距离大于第一透镜组的焦距。例如在Michael J.Kidger，“Fundamental Optical Design”，Chapter　2，SPIE Press，2002中对主平面进行了描述。第一透镜组10的主平面根据下面来确定：来自源平面4的近轴光线平行于光轴8传播，并进入第一透镜组10。第一透镜组10聚焦光线，使得光线从第一透镜组10以与光轴8的一角度出射。该光线聚焦到光轴8上的点。通过向后投射聚焦光线和向前投射源光线，光线之间的交叉点被确定。延伸通过交点且垂直于光轴8的平面是光学系统的主平面。

图1所示为第一透镜组10的主平面30。主平面30与第二透镜组12的第一透镜之间的距离p大于第一透镜组10的焦距f。通常，p可以比f大至少约5％(例如，比f大至少约10％，比f大至少约20％，比f大至少约40％，比f大至少约60％，比f大至少约80％)。

在一些实施例中，第一透镜组10中的最靠近源平面4(沿光轴8测量)且面向源平面4的透镜的表面可以是凹面。该凹面可以具有小于130mm的曲率半径，比如小于120mm、小于110mm、小于100mm、小于90mm、小于70mm、小于50mm。在其他实施例中，第一透镜组10中沿光轴8最靠近源平面4且面向源平面4的该透镜的表面可以是凸面。例如在一些实施例中，凹或凸透镜表面的曲率半径可以大于130mm。

在一些实施例中，第一透镜组10中最靠近元件24(沿轴8测量)且面向元件24的透镜的表面可以是凹面。凹面可以具有小于130mm的曲率半径，例如小于120mm、小于110mm、小于100mm、小于90mm、小于70mm、小于50mm。在其他实施例中，第一透镜组10中沿光轴8最靠近元件24且面向元件24的该透镜的表面可以是凸面。例如在一些实施例中，凹或凸透镜表面的曲率半径可以大于130mm。

在一些实施例中，第一透镜组10可以被分划成具有负光焦度(opticalpower)的第一透镜子组和具有正光焦度的第二透镜子组。第一和第二透镜子组中的每一个都例如可以具有一个或多个透镜。第一透镜子组可以在光学上放置于自第二透镜子组的上游，即，第一透镜子组可以放置于源平面4与第二透镜子组之间。

源辐射14可以在横穿光轴8的一个或多个方向上具有空间强度调制。空间强度调制可以界定源图案。例如，源图案可以是微光刻掩模或掩模母版(reticle)的像。

在一些实施例中，光学透镜系统2可被配置以将源图案从源平面4传输到输出平面6，以在输出平面6形成源图案的像。例如该像可以用作曝光基底。

通常，透镜将来自源平面4的辐射聚焦到输出表面而不是输出平面。输出表面通常是具有一曲率半径的曲面，该曲率半径根据透镜的尺寸、材料和布置来确定。当配置光学透镜系统2以将来自源平面4的源图案传输从而在输出平面6形成源图案的像时，源图案的像可以在弯曲的输出面中形成。像的曲率被定义为沿与光轴8平行的方向测量的、弯曲的输出面中像的中心位置与弯曲的输出面中像的边缘上的点位置之间的差。在一些实施例中，可以配置第一透镜组10以使得像的曲率小于光学系统2的焦深，其中焦深是沿平行于光轴8的方向测量的、在其内源图案的像是清晰的距离。

当光学透镜系统2是成像系统时，光学透镜系统2的放大系数(magnification factor)M定义为在与光轴8横穿的平面内、源平面4中源图案的尺寸与在输出平面6中源图案的像的对应尺寸的比。在一些实施例中，M可以是1。在一些实施例中，M可以大于1。例如，M可以是至少大约2(比如，至少大约3、至少大约4、至少大约5、至少大约10)。如此处所使用的、具有M大于1的光学透镜系统2是缩小光学透镜系统，比如输出平面6中的源图案的像小于源平面4中的源图案。

在一些实施例中，光学透镜系统2可以是远心的。即，可以配置光学透镜系统2以使得沿光轴8相对于源平面4平移第一透镜组10和第二透镜组12以在输出平面6中产生源辐射14的像，其中光学透镜系统2的放大系数M基本上不会随着第一透镜组10与源平面4之间距离的改变而改变。通过沿光轴8相对于源平面4平移第一透镜组10和第二透镜组12，可以选择输出平面6相对于源平面4的位置，而不会显著地改变光学透镜系统2的放大系数M。

在一些实施例中，光学透镜系统2可以具有操纵装置(未示出)以调整系统的放大系数M。在一些实施例中，操纵装置可以是耦接到一个或多个可移动部件的致动器(比如，诸如压电致动器的机电致动器、具有可在轴向方向上移动的旋转轴的电机或其他类型的致动器)，该可移动部件可以用来调整光学透镜系统2中的各个透镜的位置。例如，操纵装置可以包括配置成支撑一个或更多的透镜且附着于可移动台的透镜架(lens mount)。透镜架可以被设置以支撑第一透镜组10或第二透镜组12的一个或更多的透镜。透镜架可以沿光轴8的方向或者手动或者以自动的方式平移。例如，可移动台可以通过由计算机控制的电机来平移。可移动台的计算机控制可以是被动的(比如，在构建光学透镜系统2的期间)和/或主动的(比如，在光学透镜系统2的操作期间)。

在一些实施例中，可以选择第一透镜组10和第二透镜组12中的透镜的尺寸、材料和布置以提供用于光学透镜系统2的特定的数值孔径。比如，光学透镜系统2在输出平面6中的数值孔径可以是至少大约0.1(比如，至少大约0.15、至少大约0.2、至少大约0.25、至少大约0.5)。

源辐射14的场尺寸定义为源辐射14在输出平面6中、沿在与光轴8横穿的平面中的方向测量的强度分布的半高全宽。在一些实施例中，最大场尺寸可以是大约10毫米或更大。比如，最大场尺寸可以是大约20毫米或更大(比如，大约30毫米或更大、大约50毫米或更大、大约80毫米或更大、大约90毫米或更大、大约100毫米或更大、大约120毫米或更大)。在一些实施例中，源辐射14在与光轴8横穿的平面中具有的强度分布大致是圆形。例如在其他实施例中，源辐射14的横向强度分布具有诸如椭圆形的非圆形形状。

光学透镜系统2的长度L定义为光学透镜系统2中任意两个透镜之间沿光轴8的最大距离。在一些实施例中，L可以是大约10米或更短(比如，大约5米或更短、大约4米或更短、大约3米或更短、大约2米或更短、大约1米或更短)。

在一些实施例中，长度L是源辐射14的最大场尺寸的大约20倍或更少。比如，L可以是辐射源14的最大场尺寸的大约16倍或更少(比如，大约14倍或更少、大约12倍或更少、大约10倍或更少、大约8倍或更少、大约6倍或更少)。

光学透镜系统2中的透镜可以具有球面或非球面。通常，与仅具有球透镜面的光学透镜系统相比，非球面可以具有选择以消除或减少特定的成像像差的尺度(dimension)。例如，光学透镜系统2可以包括至少一个具有非球面的透镜。在一些实施例中，光学透镜系统2可以包括至少两个透镜，这两个透镜中的每一个都具有至少一个非球面。例如，第一透镜组10中的至少一个透镜可以具有非球面，并且第二透镜组12中的至少一个透镜可以具有非球面。透镜的非球面可以通过下面的方程进行描述：

P (h) = \frac{δ \cdot h \cdot h}{1 + \sqrt{1 - (1 + CC) \cdot δ \cdot δ \cdot h \cdot h}} + C_{1} h^{4} + . . . + C_{n} h^{2 n + 2}, δ = \frac{1}{R} - - - (1)

其中，P(h)是非球面离垂直于光轴的平面的距离且是离光轴的垂直距离h的函数，并且R是透镜在其顶点处的曲率半径。参数CC是非球面的二次曲面常数(conic constant)，并且参数C₁至C_n为非球面常数。

在一些实施例中，源18可以被配置为提供宽带源辐射14。例如，源辐射14可以具有大约0.5纳米或更宽的频谱带宽Δλ的电磁辐射的波长分布(比如，大约5纳米或更宽、大约10纳米或更宽、大约25纳米或更宽、大约50纳米或更宽、大约70纳米或更宽)。在一些实施例中，源14可以包括一个或多个滤光器元件，以选择特定的中心波长和/或用于源辐射14的带宽。滤光器元件可以包括相干滤光器、诸如液晶调制器的光学调制器和其他实现频谱过滤功能的元件。

在一些实施例中，源辐射14可以具有在电磁频谱的可见区域中的至少一个波长。替代地，或附加地，源辐射14可以具有在电磁频谱的紫外区域中的至少一个波长。比如，源辐射14的中心波长λ可以是在电磁频谱的紫外区域中，但是源辐射14也可以包括在电磁频谱的可见区域中的一个或更多的波长。替代地，例如源辐射14的中心波长λ可以是在电磁频谱的可见区域中，但是源辐射14也可以包括在电磁频谱的紫外区域中的一个或更多的波长。通常，源辐射14的中心波长λ可以是大约450nm或更短(比如，大约400nm或更短、大约350nm或更短、大约300nm或更短、大约300nm或更短、大约250nm或更短、大约200nm或更短)。在一些实施例中，源辐射14在两个或更多(比如，3个、4个、5个或更多)的分离波长上具有显著的功率(power)。例如，源辐射14可以在两个或更多个对应于源18的发射谱线的波长上具有显著的功率。作为一个示例，源辐射14可以在汞源的i、h和g发射谱线上具有显著的功率。

源18提供源辐射14。在一些实施例中，源18例如可以是汞蒸汽灯。在一些实施例中，源18可以包括发光二极管(LED)。这些二极管都可以具有相似的光发射频谱，或者替代地，一些或者所有的二极管可以具有不同的发射频谱。频谱是可以互补的，因而源辐射14的总频谱带宽△λ可以大于单个二极管中的任一个的发射带宽。在一些实施例中，源18可以包括诸如宽带激光系统的激光系统，用于产生具有合适频谱带宽的源辐射14。

在一些实施例中，光学透镜系统包括多于两个的透镜组。图2A是配置作为成像光学透镜系统的成像光学透镜系统50的实施例的示意图。光学透镜系统50被配置为将从源平面4中的空间位置形成的源辐射14传送到输出平面6中的对应的空间位置。在一些实施例中，光学透镜系统50可以配置为远心成像系统(比如，双远心成像系统)，从而可以改变源平面4与第一透镜组10之间的距离g而不会改变光学透镜系统50的放大系数M。

除了第一透镜组10和第二透镜组12之外，光学透镜系统50还包括第三透镜组20和第四透镜组22。第三透镜组20和第四透镜组22中的每一个都可包括一个或更多的沿光轴8放置的透镜。通常，第三透镜组20的特性和特征可以与上述连同第二透镜组12所描述的特性和特征相似。另外，第四透镜组22的特性和特征可以与上述连同第一透镜组10所描述的特性和特征相似。

在一些实施例中，光学透镜系统50可以是对称透镜系统，其中第一透镜组10、第二透镜组12、第三透镜组20和第四透镜组22关于对称平面26对称放置，该对称平面26垂直于光轴8。在对称透镜系统中，第二透镜组12中的每一个透镜具有与第三透镜组20中的透镜对应的相似透镜，并且第二透镜组12和第三透镜组20中的透镜沿光轴8相对于对称平面26对称设置。此外，第一透镜组10中的每一个透镜具有与第四透镜组22中的透镜对应的相似透镜，并且第一透镜组10和第四透镜组22中的透镜沿光轴8相对于对称平面26对称设置。相似透镜具有相同的设计并且用相同的材料形成。

参考图2B，在一些实施例中，光学透镜系统60是包括6个透镜组的成像光学透镜系统，指示为透镜组10、13、12、20、23和22。光学透镜系统60相对于平面26对称。在一些实施例中，对称平面26对应于光学透镜系统60的光瞳平面。

在一些实施例中，透镜组10、12、20和22都是正透镜组。透镜组10帮助形成入射光瞳的像，而透镜组12帮助形成放置于源平面4的物体的像。透镜组13和23是负透镜组，同样相对于平面26对称放置。通常，透镜组10、12、13、20、22和23中的每一个都可以包括一个或更多的透镜。

在一些实施例中，透镜组10包括具有正光焦度的第一透镜子组(比如，一个或更多的透镜)和具有负光焦度的第二透镜子组(比如，一个或更多的透镜)。第一和第二透镜子组可以设计成负焦距系统，并且负透镜子组放置于源平面4与正透镜子组之间。可以认为相对于其他布置，这样的布置可以减少光学透镜系统的像面弯曲。当然作为对称透镜系统，透镜组22还包括相对于透镜组10的第一和第二透镜子组对称放置的正和负透镜子组。

此外，在一些实施例中，透镜组10和22可以包括除了第一和第二透镜子组之外的第三透镜子组(比如，一个或更多的透镜)。第三透镜子组可以具有正光焦度，并且在透镜组10中，第三透镜子组可以放置于负透镜子组与源平面4之间。相应地，透镜组22中的第三透镜子组可以放置于负透镜子组与输出平面6之间。可以认为，具有正光焦度的第三透镜子组可以帮助减少远心误差以及其他基于视场的像差而不使用非球面。

可以认为，通过在光学透镜系统的其中边缘光线位于相对远离光轴8的部分中提供色差的略微校正，可以减少光学透镜系统60的色差(比如，一级色差和/或二级色差)。典型地，在光学透镜系统60中，在透镜组12和20的区域中，边缘光线具有离光轴8的最大距离(垂直于光轴8测量)。从而，可以设计透镜组12和20以使得这些组仅提供色差的略微校正(或过校正)。

在一些实施例中，透镜组12和20包括至少一个正-负透镜对(positive-negative lens doublet)(PN对)，其中正透镜显示相对弱的色散，而负透镜显示相对强的色散。在一些实施例中，透镜组12和20的每一个可以包括多于一个(比如，2个、3个、4个、多于4个)的正-负透镜对。

在透镜组12和20的这些正-负透镜对的一个中的负透镜可以在对称平面26相应侧放置成最靠近对称平面26。可以认为，利用这样的布置可以获得改进的色差减少。此外，可以认为，这样的布置可以为调整光学透镜系统60中的光瞳像做出贡献，这可以导致系统中所有光束的对称性的改善的保留。

通常，光学透镜系统2、50和60中的透镜是用基于诸如材料的色散、吸收特性、机械特性、化学特性(如纯净度)的标准以及诸如商业可用性的其他标准而选择的材料来形成。光学透镜系统中的不同透镜可以用不同的材料形成。例如，在实施例中，可以使用两种或更多种不同透镜材料以便减少色差。

可以根据透镜材料在特定波长下的折射率来表征透镜材料的特征。通常，透镜材料具有在大约1.4至大约1.7范围内的折射率，尽管一些材料的折射率高于1.7。透镜材料也可以根据阿贝(Abbé)数V来表征其特征，阿贝数提供在波长范围内材料的色散特性。材料的阿贝数可以依照下面的公式计算：

V = \frac{n_{2} - 1}{n_{3} - n_{1}} - - - (2)

其中，n₁、n₂和n₃是材料在波长λ₁、λ₂和λ₃处的折射率值，其中λ₁<λ₂<λ₃。通常，较低的阿贝数表示材料具有相对强的色散，并且较高的阿贝数表示材料具有相对弱的色散。

参考图3，适用于UV中辐射的透镜材料可以基于它们的阿贝数和折射率分类成三个不同的组。第一组指定为组A，包括具有阿贝数V_i在40至70范围内的材料。这里，对于分别对应于汞源的i、h、g发射谱线的波长λ₁＝365.01nm、λ₂＝404.65nm和λ₃＝435.84nm计算阿贝数。组A中的材料具有的折射率在1.46至1.56范围内。组A中的材料可包括诸如熔融石英(SiO₂)和硼硅酸盐玻璃(如BK7玻璃)的冕玻璃。其他示例包括K5玻璃、K7玻璃和FK5玻璃。

第二组指定为组B，包括具有阿贝数大于70的材料。组B中的材料具有小于1.46的折射率。CaF₂是组B中材料的示例。

第三组指定为组C，包括具有阿贝数小于40的材料。组C中的材料具有大于1.56的折射率。组C中的材料可以包括诸如LLF-6玻璃、LLF-1玻璃或者LF-5玻璃的燧石玻璃(flint glass)。

一般地，为了减少色差，光学透镜系统应该包括用至少两种具有不同色散的材料形成的透镜。因而，下面公开的实施例包括至少一个来自图3所示两个不同组的透镜。此外，可以认为，使用至少三种具有不同色散的材料形成的透镜可以获得色差的进一步减少。因而，下面公开的实施例可以包括由三种不同材料形成的透镜。例如，实施例可包括至少一个由来自组A中的材料形成的透镜、至少一个由来自组B中的材料形成的透镜以及至少一个由来自组C中的材料形成的透镜。

参考光学透镜系统2，在一些实施例中，光学透镜系统2中的透镜组10和/或透镜组12内的一些透镜可以用诸如UV级熔融石英的石英材料形成。第一透镜组10和/或第二透镜组12中的一些透镜可以由来自组C的材料形成。一般地，光学透镜系统2的实施例可以包括至少一个由组B中的材料形成的透镜和至少一个由组A中的材料形成的透镜。例如，光学透镜系统2可以包括至少一个由熔融石英形成的透镜和至少一个由LLF-1玻璃形成的透镜。

在一些实施例中，透镜组10可以包括由不同材料形成的且相对于源辐射14的波长具有不同色散的两个透镜。例如，透镜组10中的至少一个透镜可以是由组A中的材料(比如，熔融石英)形成的透镜，并且透镜组10中的至少一个其它的透镜可以是由组C中的材料(比如LLF-1玻璃)形成的透镜。在实施例中，由组C中的材料形成的透镜可以放置在较靠近源平面4的位置。

此外，在一些实施例中，透镜组12可以包括由不同材料形成的且相对于源辐射14的波长具有不同色散的两个透镜。例如，第二透镜组12中的至少一个透镜可以是由组A中的材料(比如，熔融石英)形成的透镜，并且第二透镜组12中的至少一个其它透镜可以是由组C中的材料(比如LLF-1玻璃)形成的透镜。在一些实施例中，第二透镜组12可以包括至少一个透镜对，其中透镜对的第一透镜具有正光焦度并且透镜对的第二透镜具有负光焦度。如上关于光学透镜系统60的描述，在一些实施例中，正透镜可以由具有相对弱色散的材料形成，例如组A中的材料(比如BK7)或组B中的材料(比如CaF₂)；而负透镜可以由具有相对强色散的材料形成，例如组C中的材料(比如LLF-1玻璃)。

在一些实施例中，用于透镜的材料可以对于源辐射14中的波长具有非常低的光学吸收。透镜材料的辐射吸收可以导致透镜热膨胀，产生透镜材料的折射率的改变以及透镜在形状上的改变。通过选择诸如二氧化硅和CaF₂的微弱吸收源辐射14中的波长的透镜材料，由于透镜的热膨胀产生的影响可以减少。相比于诸如LLF-1玻璃的材料，诸如二氧化硅和CaF₂的材料产生较少的二级色差。因而，相比于包含较多二级色差的透镜系统，在光学透镜系统2中，例如可以减少第一透镜组10和第二透镜组12之间的间隔d。

在一些实施例中，可以配置光学透镜系统2、50或60，使得利用仅由两种不同材料形成的透镜，色差的值可大约为源辐射14的波长值或更小。例如，光学透镜系统可以包括至少一个由来自组A的材料(比如，熔融石英)形成的透镜，以及至少一个由来自组C的材料(如，LLF-1玻璃)形成的透镜。

替代地，在一些实施例中，可以配置光学透镜系统2、50、或60，使得利用仅三种不同材料形成的透镜色差的值可大约为源辐射14的波长值或更小。例如，光学透镜系统可以包括至少一个由来自组A的材料(比如，熔融石英)形成的透镜、至少一个由来自组B的材料(比如，CaF₂)形成的透镜以及至少一个由来自组C的材料(如，LLF-1玻璃)形成的透镜。

通常，光学透镜系统2、50、和60中的每一个都包括多个透镜组，并且多个透镜组中的每一个都可以包括一个或多个透镜。在每一种情况下，可以配置透镜组以将经由光学透镜系统形成的像的曲率减少到小于该光学透镜系统的焦深。第一透镜组10和第二透镜组12相关所公开的尺寸和/或特性和/或材料和/或特征通常可以同样适当地由在此的其他透镜组和透镜共享。

在一些实施例中，可以配置光学透镜系统以使得相对少的透镜位于辐射的横截面强度分布显著不均匀的位置。

一种表征透镜表面上辐射的横截面强度分布的方法是根据每一个透镜表面的辐射的子孔径SA与通光孔径CA的比。透镜表面的通光孔径CA指的是由从物区域的所有场点(field point)被照明的透镜的面积。透镜表面的子孔径SA指的是由从物区域的单个场点被照明的透镜的最大面积。参照图4A，示出了光学透镜系统的物43、透镜44和光阑45，该光学透镜系统具有最大的数值孔径NA_max和最大的物尺寸d_max，在透镜位置z处的SA/CA的比可以近似为：

\frac{SA}{CA} (z) \approx \frac{RS (z)}{RS (z) + HS (z)} - - - (3)

这里，HS(z)表示位置z处边缘光线的高度，RS(z)表示HS(z)与位置z处最高场点的主光线的高度之间的差(例如参见“Fundamental Optical Design”，M.J.Kidger著，p.7)。全部参量在子午面内定义。对于具有长度l以及宽度w的方形场，例如，d_max根据而得出。也可以设想非矩形的场。例如，对于圆形场，d_max与圆形半径相对应。对于椭圆形的场，d_max与沿半长轴的半径相对应。一般而言，这里所公开的分析可以应用到任意的场大小和形状。此外，注意到在图4A中，光阑45位于光瞳平面46，且物43位于物区域42。

通常，对于小的SA/CA比(如，0.2或更小)，透镜位于物区域的附近位置。替代地，如果SA/CA比为1，则透镜位于光瞳平面中。

通常，对于给定的投影物镜，SA/CA比依赖于投影物镜的数值孔径和场大小。即，如果给定的具有可能的最大数值孔径NA_max的透镜系统被缩小光圈到数值孔径NA，并且如果最大场大小d_max被减少到场大小d，则比SA/CA通常改变。为了避免这种依赖性，定义一个新的参量，该参量对于给定的透镜物镜是唯一的：

| \frac{SA}{CA} (z) |' = \frac{\frac{{NA}_{\max}}{NA} RS (z)}{\frac{{NA}_{\max}}{NA} RS (z) + \frac{d_{\max}}{d} HS (z)} - - - (4)

光学透镜系统可以由与每一个透镜面的|SA/CA|′的值相关的平均参数来表征。比如，光学透镜系统可以由称为Γ比率的参数来表征，Γ比率由下式确定：

Γ = \frac{M_{a}}{M_{b}}, - - - (5)

其中M_a是对于放置在光学透镜系统的物区域与光瞳平面之间的透镜的所有小于0.6的|SA/CA|′值的算术平均。M_b是对于放置在光学透镜系统的物区域与光瞳平面之间的透镜的所有等于或大于0.6的|SA/CA|′值的算术平均。从而，Γ比率提供光学透镜系统中的透镜的几何分布估量，并且因此也提供在透镜上的强度分布所期望的均匀性的估量。

在一些实施例中，光学透镜系统可以包括相对少的位于物区域与光瞳平面之间的透镜，这些透镜具有|SA/CA|′值在0.35到0.75的范围内(例如在从0.4至0.7的范围内)的表面。例如，光学透镜系统可以包括两个或更少的(例如一个或零个)位于物区域与光瞳平面之间的透镜，这些透镜具有|SA/CA|′值在0.35到0.75的范围内的表面。

在一些实施例中，光学透镜系统中相对少的数量的透镜可以包括贡献于Mb的表面。换句话说，位于物区域与光瞳平面之间的相对少的数量的透镜具有的|SA/CA|′值等于或大于0.6。例如，光学透镜系统可以包括不超过4个(例如3个或更少，两个或更少)具有贡献于M_b的表面的透镜。在一些实施例中，位于物区域与光瞳平面之间的透镜总数的40％或更少(比如，35％或更少，30％或更少，25％或更少，20％或更少)的透镜具有贡献于M_b的表面。

认为在辐射的横截面强度分布基本上不均匀的位置处放置相对很少的透镜的实施例可以呈现减少的归因于透镜中的由于辐射升温的变化而产生的波前像差。例如，相对于其中透镜沿光轴相对于像区域和物区域以及光瞳平面的分布不同的其他系统，这样的光学透镜系统可以在输入功率范围内呈现减少的失真、像散和/或慧差的变化。

例如，在Γ小(例如，其中M_a相对较小，比如大约0.3或更小，和/或M_b相对较大，比如0.9或更大)的地方，透镜于是倾向于位于靠近物区域和/或靠近光瞳平面的地方。在这种情况下，在透镜上的强度分布将相对地均匀，并且因此透镜升温效应将相对较小。

另一方面，在Γ大(例如，其中M_a相对较大，比如大约0.31或更大，和/或M_b相对较小，比如0.85或更小)的地方，透镜的较大部分倾向于位于中间地带B中，该中间地带B是在物区域和光瞳平面之间且其中穿过透镜表面的照明相对不均匀的中间位置。在此，在光学透镜系统的成像特性方面透镜升温效应可以相对较大。

在一些实施例中，光学透镜系统可以具有小于0.33的Γ比率(比如，0.32或更小、0.31或更小、0.30或更小、0.29或更小、0.28或更小、0.27或更小、0.26或更小、0.25或更小)。具有Γ比率小于0.33的光学透镜系统可以具有好的透镜升温特性。换句话说，在具有Γ比率小于0.33的光学透镜系统中，成像像差的变化可以在输入功率的范围内相对地小。例如，在其中光学透镜系统具有0.2的NA_max的实施例中，小于0.33的Γ比率可以相应于好的透镜升温特性。在其中光学透镜系统具有0.16的NA_max的实施例中，例如，小于0.28的Γ比率可以相应于好的透镜升温特性。

一般而言，如前所述，光学透镜系统的升温特性依赖于场的大小。在一些实施例中，具有大的场尺寸的光学透镜系统中的透镜应该被设置成与相似的具有较小的场尺寸的透镜相比具有相对小的Γ值，以给光学透镜系统提供好的升温特性。参照表1，对于具有不同场尺寸(由d_max给出)和不同NA_max的光学透镜系统提供Γ比率的示例性范围。这些Γ比率可以对应于具有好的升温特性的光学透镜系统。例如，在透镜关于光瞳平面对称设置且光学透镜系统具有1倍放大倍率的实施例中，这些对于对应的NA_max值和场尺寸的Γ比率范围可以提供好的升温特性。

光学透镜系统中成像特性方面的镜头升温效应可以通过多种方式来表征。例如，该效应可以通过根据成像像差的变化来表征，这些成像像差为波长λ处输入到光学透镜系统的辐射功率的函数。这样的示例是像散在输入功率的范围内的变化。这指的是沿同光轴交叉的x方向延伸的线的焦点位置与沿同光轴交叉的y方向延伸的线的焦点位置之间的距离随输入功率的变化。在一些实施例中，对于在工作波长处高达40W的输入辐射功率，光学透镜系统在像区域可以具有400nm/W或更少的最大像散变化(例如，300nm/W或更少、250nm/W或更少、200nm/W或更少、175nm/W或更少、160nm/W或更少、150nm/W或更少、140nm/W或更少)。

如何表征透镜升温效应的进一步的示例为峰-谷焦平面偏离(peak-to-valley focal plane deviation)中的变化。峰-谷焦平面偏离指的是横过场的相对于z轴测量的焦点位置的最大变化。在一些实施例中，对于在工作波长处高达40W的输入辐射功率，光学透镜系统在像区域可以具有700nm/W或更少的峰-谷焦平面偏离变化(比如，500nm/W或更少、400nm/W或更少、300nm/W或更少、290nm/W或更少、280nm/W或更少、270nm/W或更少、260nm/W或更少)。

另一个可以提供透镜升温效应如何影响光学透镜系统的成像特性的信息的参数是峰-谷场曲率的变化。场曲率指的是焦点位置随场高度的变化。在一些实施例中，对于在工作波长处高达40W的输入辐射功率，光学透镜系统在像区域可以具有600nm/W或更少的峰-谷场曲率变化(比如，500nm/W或更少、400nm/W或更少、300nm/W或更少、280nm/W或更少、260nm/W或更少、250nm/W或更少、240nm/W或更少、230nm/W或更少)。

透镜升温效应还可以由光学透镜系统的轴上像散(on-axis astigmatism)的变化来表征。轴上像散指的是沿同光轴交叉的x方向延伸的直线的焦点位置与同光轴交叉的y方向延伸的直线的焦点位置之间的距离，其中该距离是在轴上测量的。在一些实施例中，对于在工作波长处高达40W的输入辐射功率，光学透镜系统在像区域可以具有-120nm/W或更少的最大轴上像散变化(例如：-100nm/W或更少、-80nm/W或更少、-70nm/W或更少、-60nm/W或更少、-55nm/W或更少、-52nm/W或更少、-50nm/W或更少、-48nm/W或更少、-45nm/W或更少)。在此，术语“最大”是指变化的绝对值。

可以提供透镜升温效应如何影响光学透镜系统成像特性的信息的再一个参数是最大失真的变化。失真指的是场点在物和像区域的相对位移的变化。在一些实施例中，对于在工作波长处高达40W的输入辐射功率，光学透镜系统在像区域具有12nm/W或更少的最大失真变化(例如：10nm/W或更少、9nm/W或更少、8nm/W或更少、7nm/W或更少、6nm/W或更少、5nm/W或更少、4nm/W或更少)。

利用计算机模拟可确定用于光学透镜系统的最大像散、峰-谷焦平面偏离、峰-谷场曲率、轴上像散和最大失真。如下可以实现计算机模拟。首先，利用光线追迹软件(比如，诸如来自ORA、Pasadena、CA的CodeV的商业可用的光线追迹软件)来确定每一个透镜表面上的辐射负载(radiation load)。这是通过简单地计算穿过表面的光线来实现的。对于每一种透镜材料使用恰当的吸收系数，可以基于辐射负载计算由每一个透镜吸收的辐射量。

对于许多不同的入射功率值，可以利用有限元分析以求解对于每一个透镜的热传输方程，并计算透镜中热量引入的变化，例如折射率的变化和/或表面变形。热量引入的变化导致受扰的光学透镜系统，对于该系统可以执行另外的成像计算。例如，可执行用于期望的Arial图像(arial image)的光线追迹可以对于物区域处不同取向的结构和对于物区域中不同的场点来模拟。Arial图像的模拟是基于考虑部分相关的问题的双光束干涉，并且考虑系统的光学传递函数。利用模拟的Arial图像，人们可以确定系统的最佳焦点，也可以确定对于不同结构在x和y方向的图案移动。

可以计算诸如像散、焦平面偏离以及其他参数的像差，以提供表征光学透镜系统的加热的信息。

光学透镜系统2、50和60可以用于微光刻系统。例如，光学透镜系统2、50和/或光学透镜系统60可以形成微光刻光学投影透镜系统的一部分。可以配置光学透镜系统2、50和60以使得光学透镜系统的输出平面6与微光刻系统的像平面相符。在使用期间，诸如基底的物16可以放置在输出平面6的位置或与其靠近，并且源辐射14可以直接经过光学透镜系统2和/或50以使基底曝光于辐射。

参照图5，示例性的微光刻系统70包括源71、照明系统72、放置在掩模母版台74上的掩模母版76、光学透镜系统73以及支撑晶片77的台75。晶片77放置于光学透镜系统73的像区域。掩模母版76放置于光学透镜系统73的物区域。

抗蚀剂层(光敏材料)布置在晶片77的表面上。在操作期间，如箭头R72所示，源71将辐射R71引入到照明系统72，照明系统72将辐射引入到掩模母版76。如箭头R73所示，光学透镜系统73利用辐射将掩模母版76的图案的像投影到抗蚀剂层上。台75相对于光学透镜系统73移动晶片77，使得抗蚀剂层的不同区域曝光于辐射。

实施例可以在称之为“I线”的光刻工具中使用，该光刻工具利用汞源的i谱线。在这样的实施例中，光学透镜系统可被设计以使得在汞源的其他波长处(如，在g和h谱线处)具有低的色差，允许使用i谱线和其他波长的辐射使基底曝光。相对于使基底仅受i谱线辐射曝光的系统，另外的波长可以提供传递到基底的较高的功率，用于允许更短的曝光时间和增加的生产量。例如，微光刻系统70可以具有每小时大约125片或更多的30mm直径的晶片(wafer per hour)(WPH)的生产量(例如，大约150WPH或更多、大约175WPH或更多、大约200WPH或更多、大约225WPH或更多、大约250WPH或更多)。

在一些实施例中，可以使多个基底曝光于源辐射14。例如，多个基底可以是多个管芯(die)，并且源辐射14的场尺寸可以足够大以便使多个管芯可以同时曝光于该辐射。

下面我们讨论具有诸如在输出平面6中不同数值孔径和不同透镜材料的不同特性的光学透镜系统的各种实施例。这些光学透镜系统中的每一个都可以用在微光刻系统中。

图6示出了成像光学透镜系统100的一个实施例。光学透镜系统100被配置成将光图案(light pattern)从物平面102经过对称平面106传送到像平面104。光学透镜系统100包括第一透镜组110、第二透镜组112、第三透镜组114和第四透镜组116。透镜组中的每一个透镜关于轴线108旋转对称，该轴线平行于所示坐标系统中的z轴。光学透镜系统100被配置成提供0.2的最大数值孔径。

光学透镜系统100具有0.31的M_a值、0.82的M_b值以及0.38的Γ比率。

光学透镜系统100中的每一个透镜都具有面向物平面102的第一表面和面向像平面104的第二表面。每一个透镜的第一表面用“a”标注表示。例如，透镜118的第一表面标注为118a。每一个透镜的第二表面用“b”标注表示。因而，透镜118的第二表面标注为118b。为了清晰示出的目的，没有在图6中示出与透镜第一表面和第二表面对应的所有标注，但每个透镜都包括分别标注“a”的第一表面和“b”的第二表面。

第一透镜组110包括透镜118、120、122、124、126和128。透镜118、120和126由熔融石英形成。透镜122、124和128由诸如LLF-1玻璃的燧石玻璃形成。光学透镜系统100中的透镜的厚度沿轴线108测量。透镜118具有10.0mm的厚度。透镜120具有10.0mm的厚度。透镜122具有41.1mm的厚度。透镜124具有47.3mm的厚度。透镜126具有10.0mm的厚度。透镜128具有45.2mm的厚度。

两个透镜之间的间隔是沿轴线108在两个透镜的相对表面之间测量的。透镜118与透镜120间隔29.6mm的距离。透镜120与透镜122间隔3.6mm的距离。透镜122与透镜124间隔1.0mm的距离。透镜124与透镜126间隔1.0mm的距离。透镜126与透镜128间隔1.0mm的距离。第一透镜组110与第二透镜组112间隔沿轴线108测量的171.2mm的距离d1(例如，沿轴线108测量的表面128b与130a之间的距离)。

第二透镜组112包括透镜130、132、134和136。透镜132和136由熔融石英形成。透镜130和134由诸如LLF-1玻璃的燧石玻璃形成。透镜130具有10.0mm的厚度。透镜132具有33.0mm的厚度。透镜134具有10.0mm的厚度。透镜136具有20.0mm的厚度。

透镜130与透镜132间隔1.0mm的距离。透镜132和134沿轴线108紧挨着。透镜134与透镜136间隔1.0mm的距离。第二透镜组112与对称平面106间隔5.8mm的距离(例如，沿轴线108测量的表面136b与对称平面106之间的距离)。

第三透镜组114包括透镜138、140、142和144。透镜138和142由熔融石英形成。透镜140和144由诸如LLF-1玻璃的燧石玻璃形成。透镜138具有20.0mm的厚度。透镜140具有10.0mm的厚度。透镜142具有33.0mm的厚度。透镜144具有10.0mm的厚度。

第三透镜组114与对称平面106间隔5.8mm的距离(例如，沿轴线108测量的对称平面106与表面138a之间的距离)。透镜138与透镜140间隔1.0mm的距离。透镜140和142沿轴线108紧挨着。透镜142与透镜144间隔1.0mm的距离。第三透镜组114与第四透镜组116间隔沿轴线108测量的171.2mm的距离d₂(例如，沿轴线108测量的表面144b与146a之间的距离)。

第三透镜组114中的透镜的尺寸、间隔和材料与第二透镜组112中的透镜的尺寸、间隔和材料相似。第三透镜组114中的透镜沿轴线108放置，使得第二透镜组112和第三透镜组114构成关于对称平面106对称的透镜布置。

第四透镜组116包括透镜146、148、150、152、154和156。透镜148、154和156由熔融石英形成。透镜146、150和152由诸如LLF-1玻璃的燧石玻璃形成。透镜146具有45.2mm的厚度。透镜148具有10.0mm的厚度。透镜150具有47.3mm的厚度。透镜152具有41.1mm的厚度。透镜154具有10.0mm的厚度。透镜156具有10.0mm的厚度。

透镜146与透镜148间隔1.0mm的距离。透镜148与透镜150间隔1.0mm的距离。透镜150与透镜152间隔1.0mm的距离。透镜152与透镜154间隔3.6mm的距离。透镜154与透镜156间隔29.6mm的距离。第四透镜组116与像平面104间隔48.1mm的距离(例如，沿轴线108测量的表面156b与像平面104之间的距离)。

第四透镜组116中的透镜的尺寸、间隔和材料与第一透镜组110中的透镜的尺寸、间隔和材料相似。第四透镜组116中的透镜沿轴线108放置使得第一透镜组110和第四透镜组116构成关于对称平面106对称的透镜布置。

表2A示出了透镜数据，包括光学透镜系统100中的每个透镜的每个表面的曲率半径。如果透镜表面的曲率中心和物平面102在透镜表面的同一侧，则透镜表面的曲率半径为负。如果透镜表面的曲率中心和像平面104在透镜表面的同一侧，则透镜表面的曲率半径为正。

光学透镜系统100中的透镜的一些表面是非球面。具体地，表面118b、124a、126a、128b、130a、136b、138a、144b、146a、148b、150b和156a是非球面。光学透镜系统100中的其它透镜表面是球面。在表2A中，以具有形状“AS”标识非球面。表2B示出了用于光学透镜系统100中的透镜的非球面的相应于方程1的非球面常数。

在光学透镜系统100中示出了第一透镜组110的主平面160。主平面位于第一透镜组110与第二透镜组112之间。

图7示出了成像光学透镜系统的另一实施例。光学透镜系统200配置成将光图案从物平面202经过对称平面206传送到像平面204。光学透镜系统200包括第一透镜组210、第二透镜组212、第三透镜组214和第四透镜组216。透镜组中的每一个透镜均关于轴线208对称设置，该轴线平行于所示坐标系统中的z轴。光学透镜系统200配置为提供0.16的最大数值孔径。

光学透镜系统200具有0.28的M_a值、0.8的M_b值以及0.35的Γ比率。

光学透镜系统200中的每一个透镜都具有面向物平面202的第一表面和面向像平面204的第二表面。每一个透镜的第一表面用“a”标注表示。例如，透镜218的第一表面标注为218a。每一个透镜的第二表面用“b”标注表示。因而，透镜218的第二表面标注为218b。为了清晰示出的目的，没有在图7中示出与透镜第一表面和第二表面对应的所有标注，但每个透镜都包括分别标注为“a”的第一表面和“b”的第二表面。

第一透镜组210包括透镜218、220、222、224、226和228。透镜218、220和226由熔融石英形成。透镜222、224和228由诸如LLF-1玻璃的燧石玻璃形成。光学透镜系统200中的透镜的厚度是沿轴线208测量的。透镜218具有10.0mm的厚度。透镜220具有10.0mm的厚度。透镜222具有38.4mm的厚度。透镜224具有43.1mm的厚度。透镜226具有10.0mm的厚度。透镜228具有40.3mm的厚度。

两个透镜之间的间隔是沿轴线208在两个透镜的相对表面之间测量的。透镜218与透镜220间隔27.1mm的距离。透镜220与透镜222间隔4.0mm的距离。透镜222与透镜224间隔1.0mm的距离。透镜224与透镜226间隔1.0mm的距离。透镜226与透镜228间隔1.0mm的距离。第一透镜组210与第二透镜组212间隔沿轴线208测量的178.2mm的距离d₃(例如，沿轴线208测量的表面228b与230a之间的距离)。

第二透镜组212包括透镜230、232、234和236。透镜232和236由熔融石英形成。透镜230和234由诸如LLF-1玻璃的燧石玻璃形成。透镜230具有10.0mm的厚度。透镜232具有33.0mm的厚度。透镜234具有10.0mm的厚度。透镜236具有20.0mm的厚度。

透镜230与透镜232间隔1.0mm的距离。透镜232和234沿轴线208紧挨着。透镜234与透镜236间隔1.0mm的距离。第二透镜组212与对称平面206间隔6.0mm的距离(例如，沿轴线208测量的表面236b与对称平面206之间的距离)。

第三透镜组214包括透镜238、240、242和244。透镜238和242由熔融石英形成。透镜240和244由诸如LLF-1玻璃的燧石玻璃形成。透镜238具有20.0mm的厚度。透镜240具有10.0mm的厚度。透镜242具有33.0mm的厚度。透镜244具有10.0mm的厚度。

第三透镜组214与对称平面206间隔6.0mm的距离(例如，沿轴线208测量的对称平面206与表面238a之间的距离)。透镜238与透镜240间隔1.0mm的距离。透镜240和242沿轴线208紧挨着。透镜242与透镜244间隔1.0mm的距离。第三透镜组214与第四透镜组216间隔沿轴线208测量的178.2mm的距离d₄(例如，沿轴线208测量的表面244b与246a之间的距离)。

第三透镜组214中的透镜的尺寸、间隔和材料与第二透镜组212中的透镜的尺寸、间隔和材料相似。第三透镜组214中的透镜沿轴线208放置，使得第二透镜组212和第三透镜组214构成关于对称平面206对称的透镜布置。

第四透镜组216包括透镜246、248、250、252、254和256。透镜248、254和256由熔融石英形成。透镜246、250和252由诸如LLF-1玻璃的燧石玻璃形成。透镜246具有40.3mm的厚度。透镜248具有10.0mm的厚度。透镜250具有43.1mm的厚度。透镜252具有38.4mm的厚度。透镜254具有10.0mm的厚度。透镜256具有10.0mm的厚度。

透镜246与透镜248间隔1.0mm的距离。透镜248与透镜250间隔1.0mm的距离。透镜250与透镜252间隔1.0mm的距离。透镜252与透镜254间隔4.0mm的距离。透镜254与透镜256间隔27.1mm的距离。第四透镜组216与像平面204间隔54.9mm的距离(例如，沿轴线208测量的表面256b与像平面204之间的距离)。

第四透镜组216中的透镜的尺寸、间隔和材料与第一透镜组210中的透镜的尺寸、间隔和材料相似。第四透镜组216中的透镜沿轴线208放置，使得第一透镜组210和第四透镜组216构成关于对称平面206对称的透镜布置。

表3A示出了透镜数据，包括光学透镜系统200中的每个透镜的每个表面的曲率半径。

光学透镜系统200中的透镜的一些表面是非球面。具体地，表面218b、224a、226a、228b、230a、236b、238a、244b、246a、248b、250b和256a是非球面。光学透镜系统200中的其它透镜表面是球面。在表3A中，以具有形状“AS”标识非球面。表3B示出了用于光学透镜系统300中的透镜的非球面的相应于方程1的非球面常数。

透镜通常由一种或多种吸收流经其中的光的一部分的光学材料形成。经由特定透镜的辐射的显著吸收量可以导致透镜热膨胀，该热膨胀可以产生透镜的几何和光学特性的变化。例如，一些透镜的聚焦特性可以由于透镜的加热或冷却产生的膨胀或收缩而改变。在一些实施例中，一些或全部的形成透镜的材料可以部分地基于它们的光学吸收特性来选择。例如，对于设计成工作在电磁频谱UV部分的透镜系统，可以使用具有相对低UV吸收的透镜材料(例如，诸如熔融石英、氟化钙和其他的材料)。

图8示出了成像光学透镜系统300的实施例，该成像光学透镜系统包括由在频谱的UV区域中具有相对低的吸收的材料形成的透镜。该光学透镜系统300配置成将光图案从物平面302经过对称平面306传送到像平面304。光学透镜系统300包括第一透镜组310、第二透镜组312、第三透镜组314和第四透镜组316。透镜组中的每一个透镜都关于轴线308旋转对称，该轴线平行于所示坐标系统中的z轴。光学透镜系统300配置为提供0.20的最大数值孔径。

光学透镜系统300具有0.34的M_a值、0.89的M_b值以及0.38的Γ比率。

光学透镜系统300中的每一个透镜都具有面向物平面302的第一表面和面向像平面304的第二表面。每一个透镜的第一表面用“a”标注表示。例如，透镜318的第一表面标注为318a。每一个透镜的第二表面用“b”标注表示。因而，透镜318的第二表面标注为318b。为了清晰示出的目的，没有在图8中示出与透镜第一表面和第二表面对应的所有标注，但每个透镜都包括分别标注为“a”的第一表面和“b”的第二表面。

第一透镜组310包括透镜318、320、322、324、326和328。透镜318、320、322、324和326由熔融石英形成。光学透镜系统300中的透镜的厚度是沿轴线308测量的。透镜318具有10.0mm的厚度。透镜320具有16.4mm的厚度。透镜322具有42.0mm的厚度。透镜324具有35.9mm的厚度。透镜326具有32.6mm的厚度。透镜328具有10.0mm的厚度。

两个透镜之间的间隔是沿轴线308在两个透镜的相对表面之间测量的。透镜318与透镜320间隔25.6mm的距离。透镜320与透镜322间隔1.0mm的距离。透镜322与透镜324间隔1.0mm的距离。透镜324与透镜326间隔1.0mm的距离。透镜326与透镜328间隔54.5mm的距离。第一透镜组310与第二透镜组312间隔沿轴线308测量的127.3mm的距离d₅(例如，沿轴线308测量的表面328b与330a之间的距离)。

第二透镜组312包括透镜330、332、334和336。透镜330和334由熔融石英形成。透镜332和336由氟化钙形成。透镜330具有7.0mm的厚度。透镜332具有44.3mm的厚度。透镜334具有7.0mm的厚度。透镜336具有31.9mm的厚度。

透镜330与透镜332间隔1.0mm的距离。透镜332与透镜334间隔1.3mm的距离。透镜334与透镜336间隔0.1mm的距离。第二透镜组312与对称平面306间隔5.0mm的距离(例如，沿轴线308测量的表面336b与对称平面306之间的距离)。

第三透镜组314包括透镜338、340、342和344。透镜338和342由氟化钙形成。透镜340和344由熔融石英形成。透镜338具有31.9mm的厚度。透镜340具有7.0mm的厚度。透镜342具有44.3mm的厚度。透镜344具有7.0mm的厚度。

第三透镜组314与对称平面306间隔5.0mm的距离(例如，沿轴线308测量的对称平面306与表面338a之间的距离)。透镜338与透镜340间隔0.1mm的距离。透镜340与透镜342间隔1.3mm的距离。透镜342与透镜344间隔1.0mm的距离。第三透镜组314与第四透镜组316间隔沿轴线108测量的127.3mm的距离d₆(例如，沿轴线308测量的表面344b与346a之间的距离)。

第三透镜组314中的透镜的尺寸、间隔和材料与第二透镜组312中的透镜的尺寸、间隔和材料相似。第三透镜组314中的透镜沿轴线308放置，使得第二透镜组312和第三透镜组314构成关于对称平面306对称的透镜布置。

第四透镜组316包括透镜346、348、350、352、354和356。透镜346、348、350、352、354和356由熔融石英形成。透镜346具有10.0mm的厚度。透镜348具有32.6mm的厚度。透镜350具有35.9mm的厚度。透镜352具有42.0mm的厚度。透镜354具有16.4mm的厚度。透镜356具有10.0mm的厚度。

透镜346与透镜348间隔54.5mm的距离。透镜348与透镜350间隔1.0mm的距离。透镜350与透镜352间隔1.0mm的距离。透镜352与透镜354间隔1.0mm的距离。透镜354与透镜356间隔25.6mm的距离。第四透镜组316与像平面304间隔45.0mm的距离(例如，沿轴线308测量的表面356b与像平面304之间的距离)。

第四透镜组316中的透镜的尺寸、间隔和材料与第一透镜组310中的透镜的尺寸、间隔和材料相似。第四透镜组316中的透镜沿轴线308放置，使得第一透镜组310和第四透镜组316构成关于对称平面306对称的透镜布置。

表4A示出了透镜数据，包括光学透镜系统300中的每个透镜的每个表面的曲率半径。如果透镜表面的曲率中心与物平面302在透镜表面的同一侧，则透镜表面的曲率半径为负。如果透镜表面的曲率中心与像平面304在透镜表面的同一侧，则透镜表面的曲率半径为正。

光学透镜系统300中的透镜的一些表面是非球面。具体地，表面318a、324a、328a、330a、334b、340a、344b、346b、350b和356a是非球面。光学透镜系统300中的其它透镜表面是球面。在表4A中，以具有形状“AS”标识非球面。表4B示出了用于光学透镜系统300中透镜的非球面的相应于方程1的非球面常数。

在一些实施例中，可以使用由多于两种的不同材料形成的透镜。例如，在特定实施例中，可以在系统设计期间对系统总长进行约束(例如，使得在特定应用中，透镜系统可以用作微光刻光学透镜系统)。三种或更多(例如，四种或更多、五种或更多、六种或更多、十种或更多)的材料可以单独使用或者组合使用来形成透镜，以提供具有适当配置的颜色(chromatic)特性的光学透镜系统。

图9示出了具有由三种不同材料中的一种形成的透镜的成像光学透镜系统400的实施例的例子。光学透镜系统400中的大部分透镜由熔融石英或氟化钙形成。这些材料在电磁频谱的UV区域中具有相对低的吸收。然而，光学透镜系统400还包括2个由LLF-1玻璃或其他燧石玻璃形成的透镜。这2个透镜(通常为沿透镜系统400的光学路径的第一个和最后一个透镜)给透镜系统400提供特定的颜色特性。

光学透镜系统400配置为将光图案从物平面402经过对称平面406传送到像平面404。光学透镜系统400包括第一透镜组410、第二透镜组412、第三透镜组414和第四透镜组416。透镜组中的每一个透镜都关于轴线400旋转对称，该轴线平行于所示坐标系统中的z轴。光学透镜系统400配置为提供0.20的最大数值孔径。此外，光学透镜系统400是远心的，具有放大倍率为1且场大小为52mm×66mm。因此，光学透镜系统400的d_max为42mm。

光学透镜系统400具有0.33的M_a值、0.92的M_b值以及0.36的Γ比率。

光学透镜系统400中的每一个透镜都具有面向物平面402的第一表面和面向像平面404的第二表面。每一个透镜的第一表面用“a”标注表示。例如，透镜418的第一表面标注为418a。每一个透镜的第二表面用“b”标注表示。因而，透镜418的第二表面标注为418b。为了清晰示出的目的，没有在图9中示出与透镜第一表面和第二表面对应的所有标注，但每个透镜都包括分别标注为“a”的第一表面和“b”的第二表面。

第一透镜组410包括透镜418、420、422、424、426和428。透镜418由LLF1玻璃形成。透镜420、422、424、426和428由熔融石英形成。光学透镜系统400中的透镜的厚度是沿轴线408测量的。透镜418具有13.0mm的厚度。透镜420具有10.0mm的厚度。透镜422具有47.4mm的厚度。透镜424具有33.0mm的厚度。透镜426具有32.8mm的厚度。透镜428具有10.0mm的厚度。

两个透镜之间的间隔是沿轴线408在两个透镜的相对表面之间测量的。透镜418与透镜420间隔5.1mm的距离。透镜420与透镜422间隔16.5mm的距离。透镜422与透镜424间隔1.0mm的距离。透镜424与透镜426间隔1.0mm的距离。透镜426与透镜428间隔91.8mm的距离。第一透镜组410与第二透镜组412间隔沿轴线408测量的97.9mm的距离d₇(例如，沿轴线408测量的表面428b与430a之间的距离)。

第二透镜组412包括透镜430、432、434和436。透镜430和434由熔融石英形成。透镜432和436由氟化钙形成。透镜430具有7.0mm的厚度。透镜432具有50.1mm的厚度。透镜434具有7.0mm的厚度。透镜436具有32.0mm的厚度。。

透镜430与透镜432间隔1.0mm的距离。透镜432与透镜434间隔1.0mm的距离。透镜434与透镜436间隔1.5mm的距离。第二透镜组412与对称平面406间隔1.0mm的距离(例如，沿轴线408测量的表面436b与对称平面406之间的距离)。

第三透镜组414包括透镜438、440、442和444。透镜438和442由氟化钙形成。透镜440和444由熔融石英形成。透镜438具有32.0mm的厚度。透镜440具有7.0mm的厚度。透镜442具有50.1mm的厚度。透镜444具有7.0mm的厚度。

第三透镜组414与对称平面406间隔1.0mm的距离(例如，沿轴线408测量的对称平面406与表面438a之间的距离)。透镜438与透镜440间隔1.5mm的距离。透镜440与透镜442间隔1.0mm的距离。透镜442与透镜444间隔1.0mm的距离。第三透镜组414与第四透镜组416间隔沿轴线408测量的97.9mm的距离d₈(例如，沿轴线408测量的表面444b与446a之间的距离)。

第三透镜组414中的透镜的尺寸、间隔和材料与第二透镜组412中的透镜的尺寸、间隔和材料相似。第三透镜组414中的透镜沿轴线408放置，使得第二透镜组412和第三透镜组414构成关于对称平面406对称的透镜布置。

第四透镜组416包括透镜446、448、450、452、454和456。透镜446、448、450、452和454由熔融石英形成。透镜456由LLF-1玻璃形成。透镜446具有10.0mm的厚度。透镜448具有32.8mm的厚度。透镜450具有33.0mm的厚度。透镜452具有47.4mm的厚度。透镜454具有10.0mm的厚度。透镜456具有13.0mm的厚度。

透镜446与透镜448间隔91.8mm的距离。透镜448与透镜450间隔1.0mm的距离。透镜450与透镜452间隔1.0mm的距离。透镜452与透镜454间隔16.5mm的距离。透镜454与透镜456间隔5.1mm的距离。第四透镜组416与像平面404间隔40.0mm的距离(例如，沿轴线408测量的表面456b与像平面404之间的距离)。

第四透镜组416中的透镜的尺寸、间隔和材料与第一透镜组410中的透镜的尺寸、间隔和材料相似。第四透镜组416中的透镜沿轴线408放置，使得第一透镜组410和第四透镜组416构成关于对称平面406对称的透镜布置。

光学透镜400的计算机模拟表明了下面的对于输入功率从0一直到40W范围的透镜升温所引致的像差：

最大像散变化： 263nm/W；

峰-谷焦平面偏离变化： 418nm/W；

峰-谷场曲率变化： 318nm/W；

轴上像散变化： -62nm/W；

最大失真变化： 12nm/W

表5A示出了透镜数据，包括光学透镜系统400中每个透镜的每个表面的曲率半径。如果透镜表面的曲率中心与物平面402在透镜表面的同一侧，则透镜表面的曲率半径为负。如果透镜表面的曲率中心与像平面404在透镜表面的同一侧，则透镜表面的曲率半径为正。

光学透镜系统400中的透镜的一些表面是非球面。具体地，表面420b、422b、426b、428a、434b、440a、446b、448a、452a和454a是非球面。光学透镜系统400中的其它透镜表面是球面。在表5A中，以具有形状“AS”标识非球面。图5B示出了用于光学透镜系统400中透镜的非球面的相应于方程1的非球面常数。

表5C提供了对于每一透镜表面的|SA/CA|′值。

参照图10，具有6个透镜组的成像光学透镜系统的示例为光学透镜系统800。光学透镜系统800配置成将在物平面802的物经过对称平面806成像到像平面804，对称平面806相应于光学透镜系统800的光瞳平面。光学透镜系统具有1448mm的焦距，并提供在像平面804处0.16的最大数值孔径。此外，光学透镜系统800是远心的且具有的放大倍率为1。

光学透镜系统800具有0.22的M_a值、0.88的M_b值以及0.25的Γ比率。

光学透镜系统800包括透镜组810、813、812、820、823和822。透镜组810、812、820和822具有正光焦度。透镜组813和823具有负光焦度。透镜组中的每一个透镜都关于轴线808旋转对称，该轴线平行于所示坐标系统中的z轴。

透镜组810包括透镜818、820、822、824和826。透镜818由LLF-1玻璃形成，而透镜组810中的所有其他透镜都由熔融石英形成。透镜818与透镜820一起构成PN对。

透镜组813包括透镜828和830。透镜828和透镜830均由熔融石英形成。

透镜组812包括透镜832、834、836、838和840。透镜832、834和838由CaF₂形成，而透镜836和840由熔融石英形成。透镜834和836形成第一PN对。透镜838和840形成第二PN对。

透镜组814与透镜组812相对于平面806对称设置。从而，透镜842、844、846、848和850由相同的材料形成，且分别与透镜840、838、836、834和832具有相同的形状。

透镜组815与透镜组813相对于平面806对称设置。从而，透镜852和854由相同的材料形成，且分别与透镜830和828具有相同的形状。

透镜组816与透镜组810相对于平面806对称设置。从而，透镜856、858、860、862和864由相同的材料形成，且分别与透镜826、824、822、820和818具有相同的形状。

光学透镜800的计算机模拟表明了下面的对于输入功率从0一直到40W范围的透镜升温所引致的像差：

最大像散变化： 153nm/W；

峰-谷焦平面偏离变化： 270nm/W；

峰-谷场曲率变化： 175nm/W；

轴上像散变化： -37nm/W；

最大失真变化： 8.6nm/W

表6A示出了透镜数据，包括光学透镜系统800中每个透镜的每个表面的曲率半径。每一透镜面向物平面802的表面用字母“a”来标明，并且每一透镜面向像平面804的表面用字母“b”来标明。如果透镜表面的曲率中心与物平面802在透镜表面的同一侧，则透镜表面的曲率半径为负。如果透镜表面的曲率中心与像平面804在透镜表面的同一侧，则透镜表面的曲率半径为正。光学透镜系统800中的每一透镜表面都是球面。表6A的标明为“厚度”的列指从该表面到在像平面804的方向上的相邻透镜表面、沿光轴808测量的距离。所提供的折射率值对于波长365nm。标注DS的表条目表示“虚拟面(dummy surface)”，该“虚拟面”是在模拟系统以提取数据时所用的虚面。

表6B中提供了对于每一透镜表面的|SA/CA|′值。

参照图11，具有6个透镜组的成像光学透镜系统的示例为光学透镜系统900。光学透镜系统900配置成将在物平面902的物经过对称平面906成像到像平面904，对称平面906相应于光学透镜系统900的光瞳平面。光学透镜系统具有1433mm的焦距，并提供在像平面904处0.16的最大数值孔径。此外，光学透镜系统900是远心的且具有的放大倍率为1。

光学透镜系统900具有0.22的M_a值、0.88的M_b值以及0.26的Γ比率。

光学透镜系统900包括透镜组910、913、912、920、923和922。透镜组910、912、920和922具有正光焦度。透镜组913和923具有负光焦度。透镜组中的每一个透镜都关于轴线908旋转对称，该轴线平行于所示坐标系统中的z轴。

透镜组910包括透镜918、920、922、924和926。透镜918由LLF-1玻璃形成，而透镜组910中的所有其他透镜都由熔融石英形成。透镜918与透镜920一起构成PN对。

透镜组913包括透镜928和930。透镜928和透镜930均由熔融石英形成。

透镜组912包括透镜932、934、936、938和940。透镜932、934和938由CaF₂形成，而透镜936由熔融石英形成且透镜940由BK7玻璃形成。透镜934和936形成第一PN对。透镜938和940形成第二PN对。

透镜组914与透镜组912相对于平面902对称设置。从而，透镜942、944、946、948和950由相同的材料形成，且分别与透镜940、938、936、934和932具有相同的形状。

透镜组915与透镜组913相对于平面906对称设置。从而，透镜952和954由相同的材料形成，且分别与透镜930和928具有相同的形状。

透镜组916与透镜组910相对于平面906对称设置。从而，透镜956、958、960、962和964由相同的材料形成，且分别与透镜926、924、922、920和918具有相同的形状。

表7示出了透镜数据，包括光学透镜系统900中每个透镜的每个表面的曲率半径。每一透镜面向物平面902的表面用字母“a”来标明，并且每一透镜面向像平面904的表面用字母“b”来标明。如果透镜表面的曲率中心与物平面902在透镜表面的同一侧，则透镜表面的曲率半径为负。如果透镜表面的曲率中心与像平面904在透镜表面的同一侧，则透镜表面的曲率半径为正。光学透镜系统900中的每一透镜表面都是球面。表7的标明为“厚度”的列指从该表面到在像平面904的方向上的相邻透镜表面、沿光轴908测量的距离。所提供的折射率值针对波长365nm。

参照图12，具有6个透镜组的成像光学透镜系统的示例为光学透镜系统1000。光学透镜系统1000配置成将在物平面1002的物经过对称平面1006成像到像平面1004，对称平面1006对应于光学透镜系统1000的光瞳平面。光学透镜系统具有1375mm的焦距，并提供在像平面1004处0.2的最大数值孔径。此外，光学透镜系统1000是远心的且具有的放大倍率为1。

光学透镜系统1000具有0.3的M_a值、0.88的M_b值以及0.34的Γ比率。

光学透镜系统1000包括透镜组1010、1013、1012、1020、1023和1022。透镜组1010、1012、1020和1022具有正光焦度。透镜组1013和1023具有负光焦度。透镜组中的每一个透镜都关于轴线1008旋转对称，该轴线平行于所示坐标系统中的z轴。

透镜组1010包括透镜1018、1020、1022、1024和1026。透镜1018由LLF-1玻璃形成，而透镜组1010中的所有其他透镜都由熔融石英形成。透镜1018与透镜1020一起形成PN对。

透镜组1013包括透镜1028和1030。透镜1028和透镜1030均由熔融石英形成。

透镜组1012包括透镜1032、1034、1036、1038和1040。透镜1032、1034和1038由CaF₂形成。透镜1036由熔融石英形成且透镜1040由LLF-1玻璃形成。透镜1034和1036形成第一PN对。透镜1038和1040形成第二PN对。

透镜组1014与透镜组1012相对于平面1006对称设置。从而，透镜1042、1044、1046、1048和1050由相同的材料形成，且分别与透镜1040、1038、1036、1034和1032具有相同的形状。

透镜组1015与透镜组1013相对于平面1006对称设置。从而，透镜1052和1054由相同的材料形成，且分别与透镜1030和1028具有相同的形状。

透镜组1016与透镜组1010相对于平面1006对称设置。从而，透镜1056、1058、1060、1062和1064由相同的材料形成，且分别与透镜1026、1024、1022、1020和1018具有相同的形状。

表8A示出了透镜数据，包括光学透镜系统1000中每个透镜的每个表面的曲率半径。每一透镜面向物平面1002的表面用字母“a”来标明，并且每一透镜面向像平面1004的表面用字母“b”来标明。如果透镜表面的曲率中心与物平面1002在透镜表面的同一侧，则透镜表面的曲率半径为负。如果透镜表面的曲率中心与像平面1004在透镜表面的同一侧，则透镜表面的曲率半径为正。表8A的标明为“厚度”的列指从该表面到在像平面1004的方向上的相邻透镜表面、沿光轴1008测量的距离。所提供的折射率值针对波长365nm。

光学透镜系统1000中的透镜的一些表面是非球面。具体地，表面1028b、1036b、1046b和1054a是非球面。光学透镜系统1000中的透镜的其他表面是球面。表8B示出了用于光学透镜系统1000中的透镜的非球面的相应于方程1的非球面常数。

参照图13，具有6个透镜组的成像光学透镜系统的示例为光学透镜系统1100。光学透镜系统1100配置成将在物平面1102的物经过对称平面1106成像到像平面1104，对称平面1106相应于光学透镜系统1100的光瞳平面。光学透镜系统具有1375mm的焦距，并提供在像平面1104处0.2的最大数值孔径。此外，光学透镜系统1100是远心的且具有的放大倍率为1。

光学透镜系统1100具有0.28的M_a值、0.88的M_b值以及0.32的Γ比率。

光学透镜系统1100包括透镜组1110、1113、1112、1120、1123和1122。透镜组1110、1112、1120和1122具有正光焦度。透镜组1113和1123具有负光焦度。透镜组中的每一个透镜都关于轴线1108旋转对称，该轴线平行于所示坐标系统中的z轴。

透镜组1110包括透镜1118、1120、1122、1124和1126。透镜1118由LLF-1玻璃形成，而透镜组1110中的所有其他透镜都由熔融石英形成。透镜1118与透镜1120一起形成PN对。

透镜组1113包括透镜1128和1130。透镜1128和透镜1130均由熔融石英形成。

透镜组1112包括透镜1132、1134、1136、1138和1140。透镜1132、1134和1138由CaF₂形成。透镜1136由熔融石英形成。透镜1140由BK7玻璃形成。透镜1134和1136形成第一PN对。透镜1138和1140形成第二PN对。

透镜组1114与透镜组1112相对于平面1106对称设置。从而，透镜1142、1144、1146、1148和1150由相同的材料形成，且分别与透镜1140、1138、1136、1134和1132具有相同的形状。

透镜组1115与透镜组1113相对于平面1106对称设置。从而，透镜1152和1154由相同的材料形成，且分别与透镜1130和1128具有相同的形状。

透镜组1116与透镜组1110相对于平面1106对称设置。从而，透镜1156、1158、1160、1162和1164由相同的材料形成，且分别与透镜1126、1124、1122、1120和1118具有相同的形状。

表9A示出了透镜数据，包括光学透镜系统1100中每个透镜的每个表面的曲率半径。每一透镜面向物平面1102的表面用字母“a”来标明，并且每一透镜面向像平面1104的表面用字母“b”来标明。如果透镜表面的曲率中心与物平面1102在透镜表面的同一侧，则透镜表面的曲率半径为负。如果透镜表面的曲率中心与像平面1104在透镜表面的同一侧，则透镜表面的曲率半径为正。表9A的标明为“厚度”的列指从该表面到在像平面1104的方向上的相邻透镜表面、沿光轴1108测量的距离。所提供的折射率值针对波长365nm。

光学透镜系统1100中的透镜的一些表面是非球面。具体地，表面1128b、1136b、1146b和1154a是非球面。光学透镜系统1100中的透镜的其他表面是球面。图9B示出了用于光学透镜系统1100中透镜的非球面的相应于方程1的非球面常数。

参照图14，具有6个透镜组的成像光学透镜系统的示例为光学透镜系统1200。光学透镜系统1200配置成将在物平面1202的物经过对称平面1206成像到像平面1204，对称平面1206对应于光学透镜系统1200的光瞳平面。光学透镜系统具有1526mm的焦距，并提供在像平面1204处0.16的最大数值孔径。此外，光学透镜系统1200是远心的且具有的放大倍率为1。

光学透镜系统1200具有0.23的M_a值、0.89的M_b值以及0.26的Γ比率。

光学透镜系统1200包括透镜组1210、1213、1212、1220、1223和1222。透镜组1210、1212、1220和1222具有正光焦度。透镜组1213和1223具有负光焦度。透镜组中的每一个透镜都关于轴线1208旋转对称，该轴线平行于所示坐标系统中的z轴。

透镜组1210包括透镜1218、1220、1222、1224和1226。透镜1218由LLF-1玻璃形成，而透镜组1210中的所有其他透镜都由熔融石英形成。透镜1218与透镜1220一起形成PN对。

透镜组1213包括透镜1228和1230。透镜1228由熔融石英形成，透镜1230由LLF-1玻璃形成。

透镜组1212包括透镜1232、1234、1236、1238和1240。透镜1232、1234和1238由CaF₂形成，而透镜1236和1240由熔融石英形成。透镜1234和1236构成第一PN对。透镜1238和1240构成第二PN对。

透镜组1214与透镜组1212相对于平面1206对称设置。从而，透镜1242、1244、1246、1248和1250由相同的材料形成，且分别与透镜1240、1238、1236、1234和1232具有相同的形状。

透镜组1215与透镜组1213相对于平面1206对称设置。从而，透镜1252和1254由相同的材料形成，且分别与透镜1230和1228具有相同的形状。

透镜组1216与透镜组1210相对于平面1206对称设置。从而，透镜1256、1258、1260、1262和1264由相同的材料形成，且分别与透镜1226、1224、1222、1220和1218具有相同的形状。

表10示出了透镜数据，包括光学透镜系统1200中每个透镜的每个表面的曲率半径。每一透镜面向物平面1202的表面用字母“a”来标明，并且每一透镜面向像平面1204的表面用字母“b”来标明。如果透镜表面的曲率中心与物平面1202在透镜表面的同一侧，则透镜表面的曲率半径为负。如果透镜表面的曲率中心与像平面1204在透镜表面的同一侧，则透镜表面的曲率半径为正。光学透镜系统1200中的每一个透镜表面都是球面。表10的标明为“厚度”的列指从该表面到在像平面1204的方向上的相邻透镜表面、沿光轴1208测量的距离。所提供的折射率值针对波长365nm。

参照图15，具有6个透镜组的成像光学透镜系统的示例为光学透镜系统1300。光学透镜系统1300配置成将在物平面1302的物经过对称平面1306成像到像平面1304，对称平面1306对应于光学透镜系统1300的光瞳平面。光学透镜系统具有1522mm的焦距，并提供在像平面1304处0.16的最大数值孔径。此外，光学透镜系统1300是远心且具有的放大倍率为1。

光学透镜系统1300具有0.25的M_a值、0.89的M_b值以及0.28的Γ比率。

光学透镜系统1300包括透镜组1310、1313、1312、1320、1323和1322。透镜组1310、1312、1320和1322具有正光焦度。透镜组1313和1323具有负光焦度。透镜组中的每一个透镜都关于轴线1308旋转对称，该轴线平行于所示坐标系统中的z轴。

透镜组1310包括透镜1318、1320、1322、1324和1326。透镜1318由LLF-1玻璃形成，而透镜组1310中的所有其他透镜都由熔融石英形成。透镜1318与透镜1320一起形成PN对。

透镜组1313包括透镜1328和1330。透镜1328和透镜1330两者都由熔融石英形成。

透镜组1312包括透镜1332、1334、1336、1338和1340。透镜1332、1334和1338由CaF2形成。透镜1336由熔融石英形成且透镜1340由LLF-1形成。透镜1334和1336形成第一PN对。透镜1338和1340形成第二PN对。

透镜组1314与透镜组1312相对于平面1306对称设置。从而，透镜1342、1344、1346、1348和1350由相同的材料形成，且分别与透镜1340、1338、1336、1334和1332具有相同的形状。

透镜组1315与透镜组1313相对于平面1306对称设置。从而，透镜1352和1354由相同的材料形成，且分别与透镜1330和1328具有相同的形状。

透镜组1316与透镜组1310相对于平面1306对称设置。从而，透镜1356、1358、1360、1362和1364由相同的材料形成，且分别与透镜1326、1324、1322、1320和1318具有相同的形状。

表11示出了透镜数据，包括光学透镜系统1300中每个透镜的每个表面的曲率半径。每一透镜面向物平面1302的表面用字母“a”来标明，并且每一透镜面向像平面1304的表面用字母“b”来标明。如果透镜表面的曲率中心与物平面1302在透镜表面的同一侧，则透镜表面的曲率半径为负。如果透镜表面的曲率中心与像平面1304在透镜表面的同一侧，则透镜表面的曲率半径为正。光学透镜系统1300中的每一个透镜表面都是球面。表11的标明为“厚度”的列示从该表面到在像平面1304的方向上的相邻透镜表面、沿光轴1308测量的距离。所提供的折射率值针对波长365nm。

参照图16，成像光学透镜系统的另一示例为光学透镜系统1600。光学透镜系统1600配置为将在物平面1602的物经过对称平面1606成像到像平面1604，对称平面1606对应于光学透镜系统1600的光瞳平面。光学透镜系统具有1948mm的焦距，并提供在像平面1604处0.2的最大数值孔径。此外，光学透镜系统1600是远心的、具有的放大倍率为1且场大小为52mm×66mm。因此，用于Γ比率计算的最大场尺寸为

d_{\max} = \sqrt{{(52 / 2)}^{2} + {(66 / 2)}^{2}} = 42 mm .

光学透镜系统1600具有0.28的M_a值、0.88的M_b值以及0.32的Γ比率。

光学透镜1600的计算机模拟表明了下面的对于输入功率从0一直到40W范围的透镜升温所引致的像差：

最大像散变化： 150nm/W；

峰-谷焦平面偏离变化： 273nm/W；

峰-谷场曲率变化： 232nm/W；

轴上像散变化： -52nm/W；

最大失真变化： 5nm/W

光学透镜系统1600包括透镜1618、1620、1622、1624、1626、1628、1630、1632、1634、1636、1638、1640、1642、1644、1648、1650、1652、1654和1656。表12A示出了透镜组成和透镜数据，包括光学透镜系统1600中每个透镜的每个表面的曲率半径。每一透镜面向物平面1602的表面由字母“a”来标明，并且每一透镜面向像平面1604的表面用字母“b”来标明。如果透镜表面的曲率中心与物平面1602在透镜表面的同一侧，则透镜表面的曲率半径为负。如果透镜表面的曲率中心与像平面1604在透镜表面的同一侧，则透镜表面的曲率半径为正。表12A标明为“厚度”的列指从该表面到在像平面1604的方向上的相邻透镜表面、沿光轴1608测量的距离。所提供的折射率值针对波长365nm。

光学透镜系统1600中的透镜的一些表面是非球面。具体地，表面1620b、1622b、1626b、1628a、1634b、1640a、1646b、1648a、1652a和1654a是非球面。光学透镜系统1600中的其他透镜表面是球面。在表12B中，以具有形状“AS”标识非球面。图12B示出了用于光学透镜系统1600中的透镜的非球面的相应于方程1的非球面常数。

表12C提供了对于每一透镜表面的|SA/CA|′值。

参照图17，成像光学透镜系统的另一示例为光学透镜系统1700。光学透镜系统1700配置成将在物平面1702的物经过对称平面1706成像到像平面1704，对称平面1706对应于光学透镜系统1700的光瞳平面。光学透镜系统1700提供在像平面1704处0.16的最大数值孔径。此外，光学透镜系统1700是远心的、具有的放大倍率为1并且场尺寸为52mm×66mm。因此，d_max为42mm。

光学透镜系统1700具有0.39的M_a值、0.92的M_b值以及0.42的Γ比率。

光学透镜1700的计算机模拟表明了下面的对于输入功率从0一直到40W范围的透镜升温所引致的像差：

最大像散变化： 362nm/W；

峰-谷焦平面偏离变化： 703nm/W；

峰-谷场曲率变化： 583nm/W；

轴上像散变化： -119nm/W；

最大失真变化： 9nm/W

光学透镜系统1700包括透镜1718、1720、1722、1724、1726、1728、1730、1732、1734、1736、1738、1740、1742、1744、1748、1750、1752、1754、1756、1758和1760。表13A示出了透镜组成和透镜数据，包括光学透镜系统1700中每个透镜的每个表面的曲率半径。每一透镜面向物平面1702的表面用字母“a”来标明，并且每一透镜面向像平面1704的表面用字母“b”来标明。如果透镜表面的曲率中心与物平面1702在透镜表面的同一侧，则透镜表面的曲率半径为负。如果透镜表面的曲率中心与像平面1704在透镜表面的同一侧，则透镜表面的曲率半径为正。表13A标明为“厚度”的列指从该表面到在像平面1704的方向上的相邻透镜表面、沿光轴1708测量的距离。所提供的折射率值针对波长365nm。

光学透镜系统1700中的透镜的一些表面是非球面。具体地，表面1720b、1730a、1738b、1740a、1748b和1758a是非球面。光学透镜系统1700中的其他透镜表面是球面。在表13B中，以具有形状“AS”标识非球面。图13B示出了用于光学透镜系统1700中的透镜的非球面的相应于方程1的非球面常数。

在表13C中提供了对于每一透镜表面的|SA/CA|′值。

其他实施例在所附的权利要求中。

表1

表面

曲率半径(mm)

形状

厚度(mm)

材料

折射率

半径(mm)

102

0.00000000e+00

4.81220577e+01

空气

1.00000000e+00

4.200e+01

118a

-1.37163991e+02

1.00000000e+01

SILUV

1.47455005e+00

5.000e+01

118b

2.68046442e+03

AS

2.96404134e+01

空气

1.00000000e+00

5.800e+01

120a

-7.04402373e+01

9.99991191e+00

SILUV

1.47455005e+00

5.600e+01

120b

-1.05369956e+03

3.58048026e+00

空气

1.00000000e+00

8.200e+01

122a

-7.23118004e+02

4.11079582e+01

LLF1

1.57932005e+00

9.000e+01

122b

-1.15979087e+02

1.00000000e+00

空气

1.00000000e+00

9.500e+01

124a

4.21912949e+02

AS

4.73423762e+01

LLF1

1.57932005e+00

1.100e+02

124b

-1.86155801e+02

1.00000000e+00

空气

1.00000000e+00

1.100e+02

126a

-5.18615573e+02

AS

1.00000000e+01

SILUV

1.47455005e+00

1.070e+02

126b

4.69166378e+02

1.00000000e+00

空气

1.00000000e+00

1.070e+02

128a

1.28407790e+02

4.51525616e+01

LLF1

1.57932005e+00

1.020e+02

128b

7.86664518e+02

AS

1.71244007e+02

空气

1.00000000e+00

9.600e+01

130a

-1.36979166e+02

AS

1.00000000e+01

LLF1

1.57932005e+00

4.500e+01

130b

1.54365594e+02

1.00000000e+00

空气

1.00000000e+00

4.500e+01

132a

1.00838829e+02

3.30000000e+01

SILUV

1.47455005e+00

4.500e+01

132b

-6.83500721e+01

0.00000000e+01

空气

1.00000000e+00

4.500e+01

134a

-6.83500721e+01

1.00000000e+01

LLF1

1.57932005e+00

4.500e+01

134b

1.54346348e+02

1.00000000e+00

空气

1.00000000e+00

4.500e+01

136a

1.15721725e+02

2.00000000e+01

SILUV

1.47455005e+00

4.500e+01

136b

-1.43444316e+02

AS

1.16200856e+01

空气

1.00000000e+00

4.500e+01

138a

1.43444316e+02

AS

2.00000000e+01

SILUV

1.47455005e+00

4.500e+01

138b

-1.15721725e+02

1.00000000e+00

空气

1.00000000e+00

4.500e+01

140a

-1.54346348e+02

1.00000000e+01

LLF1

1.57932005e+00

4.500e+01

140b

6.83500721e+01

0.00000000e+00

空气

1.00000000e+00

4.500e+01

142a

6.83500721e+01

3.30000000e+01

SILUV

1.47455005e+00

4.500e+01

142b

-1.00838829e+02

1.00000000e+00

空气

1.00000000e+00

4.500e+01

144a

-1.54346348e+02

1.00000000e+01

LLF1

1.57932005e+00

4.500e+01

144b

1.36979166e+02

AS

1.71244007e+02

空气

1.00000000e+00

4.500e+01

146a

-7.86664518e+02

AS

4.51525616e+01

LLF1

1.57932005e+00

9.600e+01

146b

-1.28407790e+02

1.00000000e+00

空气

1.00000000e+00

1.020e+02

148a

-4.69166378e+02

1.00000000e+01

SILUV

1.47455005e+00

1.070e+02

148b

5.18615573e+02

AS

1.00000000e+00

空气

1.00000000e+00

1.070e+02

150a

1.86155801e+02

4.73423762e+01

LLF1

1.57932005e+00

1.100e+02

150b

-4.21912949e+02

AS

1.00000000e+00

空气

1.00000000e+00

1.100e+02

152a

1.15979087e+02

4.11079582e+01

LLF1

1.57932005e+00

9.500e+01

152b

7.23118004e+02

3.58048026e+00

空气

1.00000000e+00

9.000e+01

154a

1.05369956e+03

9.99991191e+00

SILUV

1.47455005e+00

8.200e+01

154b

7.04402373e+01

2.96404134e+01

空气

1.00000000e+00

5.600e+01

156a

-2.68046442e+03

AS

1.00000000e+01

SILUV

1.47455005e+00

5.800e+01

156b

1.37163991e+02

4.81224477e+01

空气

1.00000000e+00

5.000e+01

表2A

表面	118b	124a	126a	128b	130a
						CC	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00
C₁	-2.70066387e-07	-6.84722869e-08	4.63743763e-08	8.03142288e-08	-1.37530444e-07
						C₂	3.78396235e-11	-4.25228527e-13	3.17941021e-12	1.24159547e-12	1.83982401e-12
C₃	2.48445426e-16	1.52283147e-16	-5.11975502e-17	-3.59789562e-17	1.37522279e-15
						C₄	4.23149777e-19	-4.67204568e-21	7.60852057e-22	2.49994642e-21	1.02582272e-18
C₅	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00
						C₆	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00
C₇	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00
						C₈	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00
C₉	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00

表面	136b	138a	144b	146a	148b
						CC	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00
C₁	1.38417562e-07	-1.38417562e-07	1.37530444e-07	-8.03142288e-08	-4.63743763e-08
						C₂	2.71948361e-11	-2.71948361e-11	-1.83982401e-12	-1.24159547e-12	-3.17941021e-12
C₃	4.53134967e-15	-4.53134967e-15	-1.37522279e-15	3.59789562e-17	5.11975502e-17
						C₄	-5.47235420e-19	5.47235420e-19	-1.02582272e-18	-2.49994642e-21	-7.60852057e-22
C₅	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00
						C₆	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00
C₇	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00
						C₈	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00
C₉	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00

表面	150b	156a
						CC	0.00000000e+00	0.00000000e+00
C₁	6.84722869e-08	2.70066387e-07
						C₂	4.25228527e-13	-3.78396235e-11
C₃	-1.52283147e-16	-2.48445426e-16
						C₄	4.67204568e-21	-4.23149777e-19
C₅	0.00000000e+00	0.00000000e+00

C₆	0.00000000e+00	0.00000000e+00
			C₇	0.00000000e+00	0.00000000e+00
C₈	0.00000000e+00	0.00000000e+00
			C₉	0.00000000e+00	0.00000000e+00

表2B

表面

曲率半径(mm)

形状

厚度(mm)

材料

折射率

半径(mm)

202

0.00000000e+00

5.48734864e+01

空气

1.00000000e+00

4.200e+01

218a

-1.32698774e+02

1.00000000e+01

SILUV

1.47455005e+00

5.000e+01

218b

3.77198602e+03

AS

2.70834077e+01

空气

1.00000000e+00

5.800e+01

220a

-7.21732606e+01

9.99996966e+00

SILUV

1.47455005e+00

5.600e+01

220b

-2.89920496e+04

3.98757605e+00

空气

1.00000000e+00

8.200e+01

222a

-1.46846778e+03

3.84242606e+01

LLF1

1.57932005e+00

9.000e+01

222b

-1.19832810e+02

1.00000000e+00

空气

1.00000000e+00

9.500e+01

224a

4.19926570e+02

AS

4.31299293e+01

LLF1

1.57932005e+00

1.100e+02

224b

-1.82888071e+02

1.00000000e+00

空气

1.00000000e+00

1.100e+02

226a

-5.96372972e+02

AS

1.00000000e+01

SILUV

1.47455005e+00

1.070e+02

226b

4.78340357e+02

1.00000000e+00

空气

1.00000000e+00

1.070e+02

228a

1.29506584e+02

4.02559245e+01

LLF1

1.57932005e+00

1.020e+02

228b

7.72708728e+02

AS

1.78237690e+02

空气

1.00000000e+00

9.600e+01

230a

-1.30731779e+02

AS

1.00000000e+01

LLF1

1.57932005e+00

4.500e+01

230b

1.56194513e+02

1.00000000e+00

空气

1.00000000e+00

4.500e+01

232a

1.01942142e+02

3.30000000e+01

SILUV

1.47455005e+00

4.500e+01

232b

-7.03869787e+01

0.00000000e+00

空气

1.00000000e+00

4.500e+01

234a

-7.03869787e+01

1.00000000e+01

LLFI

1.57932005e+00

4.500e+01

234b

1.56194244e+02

1.00000000e+00

空气

1.00000000e+00

4.500e+01

236a

1.15464365e+02

2.00000000e+01

SILUV

1.47455005e+00

4.500e+01

236b

-1.39754365e+02

AS

1.20152969e+01

空气

1.00000000e+00

4.500e+01

238a

1.39754365e+02

AS

2.00000000e+01

SILUV

1.47455005e+00

4.500e+01

238b

-1.15464365e+02

1.00000000e+00

空气

1.00000000e+00

4.500e+01

240a

-1.56194244e+02

1.00000000e+01

LLF1

1.57932005e+00

4.500e+01

240b

7.03869787e+01

0.00000000e+00

空气

1.00000000e+00

4.500e+01

242a

7.03869787e+01

3.30000000e+01

SILUV

1.47455005e+00

4.500e+01

242b

-1.01942142e+02

1.00000000e+00

空气

1.00000000e+00

4.500e+01

244a

-1.56194244e+02

1.00000000e+01

LLF1

1.57932005e+00

4.500e+01

244b

1.30731779e+02

AS

1.78237690e+02

空气

1.00000000e+00

4.500e+01

246a

-7.72708728e+02

AS

4.02559245e+01

LLF1

1.57932005e+00

9.600e+01

246b

-1.29506584e+02

1.00000000e+00

空气

1.00000000e+00

1.020e+02

248a

-4.78340357e+02

1.00000000e+01

SILUV

1.47455005e+00

1.070e+02

248b

5.96372972e+02

AS

1.00000000e+00

空气

1.00000000e+00

1.070e+02

250a

1.82888071e+02

4.31299293e+01

LLF1

1.57932005e+00

1.100e+02

250b

-4.19926570e+02

AS

1.00000000e+00

空气

1.00000000e+00

1.100e+02

252a

1.19832810e+02

3.84242606e+01

LLF1

1.57932005e+00

9.500e+01

252b

1.46846778e+03

3.98757605e+00

空气

1.00000000e+00

9.000e+01

254a

2.89920496e+04

9.99996966e+00

SILUV

1.47455005e+00

8.200e+01

254b

7.21732606e+01

2.70834077e+01

空气

1.00000000e+00

5.600e+01

256a

-3.77198602e+03

AS

1.00000000e+01

SILUV

1.47455005e+00

5.800e+01

256b

1.32698774e+02

5.48737146e+01

空气

1.00000000e+00

5.000e+01

表3A

表面	218b	224a	226a	228b	230a
						CC	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00
C₁	-2.59722980e-07	-6.91914714e-08	5.14143149e-08	8.41397300e-08	-1.35581207e-07
						C₂	3.38879598e-11	-5.90320344e-13	3.67036624e-12	9.10627316e-13	1.21285787e-13
C₃	6.85692115e-16	1.54142948e-16	-4.07951568e-17	-4.00030551e-17	1.47150542e-15
						C₄	2.33900113e-19	-4.59059241e-21	2.26633961e-22	3.79483434e-21	1.09033148e-18
C₅	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00
						C₆	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00
C₇	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00
						C₈	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00
C₉	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00

表面	236b	238a	244b	246a	248b
						CC	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00
C₁	1.46017945e-07	-1.46017945e-07	1.35581207e-07	-8.41397300e-08	-5.14143149e-08
						C₂	2.90569192e-11	-2.90569192e-11	-1.21285787e-13	-9.10627316e-13	-3.67036624e-12
C₃	3.60737279e-15	-3.60737279e-15	-1.47150542e-15	4.00030551e-17	4.07951568e-17
						C₄	-1.79224288e-19	1.79224288e-19	-1.09033148e-18	-3.79483434e-21	-2.26633961e-22
C₅	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00
						C₆	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00
C₇	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00
						C₈	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00
C₉	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00	0.00000000e+00

表面	250b	256a
						CC	0.00000000e+00	0.00000000e+00
C₁	6.91914714e-08	2.59722980e-07
						C₂	5.90320344e-13	-3.38879598e-11
C₃	-1.54142948e-16	-6.85692115e-16
						C₄	4.59059241e-21	-2.33900113e-19
C₅	0.00000000e+00	0.00000000e+00

表3B

表面

曲率半径(mm)

形状

厚度(mm)

材料

折射率

半径(mm)

302

0.00000000e+00

4.49992248e+01

空气

1.00000000e+00

42.0

318a

-9.83948989e+01

AS

1.00000000e+01

SILUV

1.47455005e+00

48.8

318b

-7.91219829e+02

2.56155587e+01

空气

1.00000000e+00

54.9

320a

-8.19665406e+01

1.63923290e+01

SILUV

1.47455005e+00

56.9

320b

-1.38852318e+02

9.99737823e-01

空气

1.00000000e+00

69.1

322a

1.73825469e+04

4.19957437e+01

SILUV

1.47455005e+00

80.5

322b

-1.21336650e+02

1.00000000e+00

空气

1.00000000e+00

83.6

324a

2.06680985e+02

AS

3.58975943e+01

SILUV

1.47455005e+00

90.4

324b

-4.90301169e+02

1.00000000e+00

空气

1.00000000e+00

90.1

326a

1.25668844e+02

3.25531005e+01

SILUV

1.47455005e+00

83.7

326b

4.21023390e+02

5.44862022e+01

空气

1.00000000e+00

80.6

328a

-2.43990350e+02

AS

9.99994016e+00

SILUV

1.47455005e+00

63.5

328b

1.25682286e+02

1.27344813e+02

空气

1.00000000e+00

57.5

330a

-1.67071132e+02

AS

7.00000000e+00

SILUV

1.47455005e+00

54.1

330b

2.38307401e+02

9.99336534e-01

空气

1.00000000e+00

56.2

332a

1.16024868e+02

4.43493562e+01

CAFUV

1.44491323e+00

59.1

332b

-9.98311300e+01

1.32955642e+00

空气

1.00000000e+00

58.9

334a

-9.75816342e+01

7.00000000e+00

SILUV

1.47455005e+00

58.4

334b

1.71980397e+02

AS

9.92401525e-02

空气

1.00000000e+00

58.6

336a

1.41179057e+02

3.19385563e+01

CAFUV

1.44491323e+00

59.3

336b

-1.83456627e+02

9.99949351e+00

空气

1.00000000e+00

59.5

338a

1.83456627e+02

3.19385563e+01

CAFUV

1.44491323e+00

59.5

338b

-1.41179057e+02

9.92401525e-02

空气

1.00000000e+00

59.3

340a

-2.38537153e+02

AS

7.00000000e+00

SILUV

1.47455005e+00

58.6

340b

9.75816342e+01

1.32955642e+00

空气

1.00000000e+00

58.4

342a

9.98311300e+01

4.43493562e+01

CAFUV

1.44491323e+00

58.9

342b

-1.16024868e+02

9.99336534e-01

空气

1.00000000e+00

59.1

344a

-2.38307401e+02

7.00000000e+00

SILUV

1.47455005e+00

56.2

344b

1.67071132e+02

AS

1.27344813e+02

空气

1.00000000e+00

54.1

346a

-1.25682286e+02

9.99994016e+00

SILUV

1.47455005e+00

57.5

346b

2.43990350e+02

AS

5.44862022e+01

空气

1.00000000e+00

63.4

348a

-4.21023390e+02

3.25531005e+01

SILUV

1.47455005e+00

80.6

348b

-1.25668844e+02

1.00000000e+00

空气

1.00000000e+00

83.7

350a

4.90301169e+02

3.58975943e+01

SILUV

1.47455005e+00

90.0

350b

-2.06680985e+02

AS

1.00000000e+00

空气

1.00000000e+00

90.4

352a

1.21336650e+02

4.19957437e+01

SILUV

1.47455005e+00

83.6

352b

-1.73825469e+04

9.99737823e-01

空气

1.00000000e+00

80.5

354a

1.38852318e+02

1.63923290e+01

SILUV

147455005e+00

69.1

354b

8.19665406e+01

2.56155587e+01

空气

1.00000000e+00

56.9

356a

7.91219829e+02

1.00000000e+01

SILUV

1.47455005e+00

54.9

356b

9.83948989e+01

AS

4.49992248e+01

空气

1.00000000e+00

48.7

表4A

表面	318a	324a	328a	330a	334b
						CC	0	0	0	0	0
C₁	0	0	0	0	0
						C₂	2.258341e-07	-4.343082e-08	-1.081026e-07	7.094568e-08	2.595889e-07
C₃	-1.906710e-11	2.018085e-12	1.989980e-11	-2.286484e-11	-5.680232e-12
						C₄	-1.035766e-14	-1.405321e-16	2.177477e-16	-1.299277e-15	2.061329e-15
C₅	1.016534e-17	9.500322e-21	-4.577578e-19	1.212881e-18	-1.011288e-18
						C₆	-8.969855e-21	-8.651639e-25	1.639235e-22	-6.679002e-22	5.301579e-22
C₇	4.078566e-24	6.341420e-29	-4.432664e-26	1.663016e-25	-1.619427e-25
						C₈	-1.018593e-27	-2.847522e-33	6.815710e-30	-1.330706e-29	2.641944e-29

C₉	1.015099e-31	2.625852e-38	-4.293616e-34	-1.189795e-33	-1.801675e-33

表面	340a	344b	346b	350b	356b
						CC	0	0	0	0	0
C₁	0	0	0	0	0
						C₂	-2.595889e-07	-7.094568e-08	1.081026e-07	4.343082e-08	-2.258341e-07
C₃	5.680232e-12	2.286484e-11	-1.989980e-11	-2.018085e-12	1.906710e-11
						C₄	-2.061329e-15	1.299277e-15	-2.177477e-16	1.405321e-16	1.035766e-14
C₅	1.011288e-18	-1.212881e-18	4.577578e-19	-9.500322e-21	-1.016534e-17
						C₆	-5.301579e-22	6.679002e-22	-1.639235e-22	8.651639e-25	8.969855e-21
C₇	1.619427e-25	-1.663016e-25	4.432664e-26	-6.341420e-29	-4.078566e-24
						C₈	-2.641944e-29	1.330706e-29	-6.815710e-30	2.847522e-33	1.018593e-27
C₉	1.801675e-33	1.189795e-33	4.293616e-34	-2.625852e-38	-1.015099e-31

表4B

表面

曲率半径(mm)

形状

厚度(mm)

材料

折射率

半径(mm)

402

0.00000000e+00

4.00000000e+01

空气

1.00000000e+00

42.0

418a

-9.99525336e+01

1.30292896e+01

LLF1

1.57932005e+00

47.7

418b

-6.99294764e+01

5.11329958e+00

空气

1.00000000e+00

49.3

420a

-8.02102778e+01

9.95050863e+00

SILUV

1.47455005e+00

49.2

420b

-640160814e+02

AS

1.65290658e+01

空气

1.00000000e+00

54.6

422a

-8.86316450e+01

4.73916027e+01

SILUV

1.47455005e+00

54.7

422b

-1.46202017e+02

AS

1.00000000e+00

空气

1.00000000e+00

74.0

424a

2.56009461e+02

3.29982438e+01

SILUV

1.47455005e+00

85.5

424b

-2.88346747e+02

1.00000000e+00

空气

1.00000000e+00

85.9

426a

1.59513715e+02

3.28094100e+01

SILUV

1.47455005e+00

84.6

426b

-4.85046273e+02

AS

9.17604655e+01

空气

1.00000000e+00

83.1

428a

-4.04768357e+02

AS

9.99454097e+00

SILUV

1.47455005e+00

57.6

428b

1.13338203e+02

9.79115943e+01

空气

1.00000000e+00

53.8

430a

-2.21127325e+02

7.00000000e+00

SILUV

1.47455005e+00

57.0

430b

2.55071101e+02

9.80230573e-01

空气

1.00000000e+00

594

432a

1.26103272e+02

5.00977095e+01

CAFUV

1.44491323e+00

62.5

432b

-1.11045143e+02

1.04715898e+00

空气

1.00000000e+00

62.6

434a

-1.08188037e+02

7.00000000e+00

SILUV

147455005e+00

62.4

434b

2.30990432e+02

AS

146516574e+00

空气

1.00000000e+00

63.5

436a

1.58316130e+02

3.19746840e+01

CAFUV

1.44491323e+00

64.5

436b

-1.63517428e+02

1.99718204e+00

空气

1.00000000e+00

64.8

438a

1.63517428e+02

3.19746840e+01

CAFUV

1.44491323e+00

64.7

438b

-1.58316130e+02

1.46516574e+00

空气

1.00000000e+00

64.5

440a

-2.30990432e+02

AS

7.00000000e+00

SILUV

147455005e+00

63.5

440b

1.08188037e+02

1.04715898e+00

空气

1.00000000e+00

62.4

442a

1.11045143e+02

5.00977095e+01

CAFUV

1.44491323e+00

62.6

442b

-1.26103272e+02

9.80230573e-01

空气

1.00000000e+00

62.5

444a

-2.55071101e+02

7.00000000e+00

SILUV

1.47455005e+00

59.4

444b

2.21127325e+02

9.79115943e+01

空气

1.00000000e+00

56.9

446a

-1.13338203e+02

9.99454097e+00

SILUV

1.47455005e+00

53.8

446b

4.04768357e+02

AS

9.17604655e+01

空气

1.00000000e+00

57.6

448a

4.85046273e+02

AS

3.28094100e+01

SILUV

147455005e+00

83.1

448b

-1.59513715e+02

1.00000000e+00

空气

1.00000000e+00

84.6

450a

2.88346747e+02

3.29982438e+01

SILUV

1.47455005e+00

85.9

450b

-2.56009461e+02

1.00000000e+00

空气

1.00000000e+00

85.5

452a

146202017e+02

AS

4.73916027e+01

SILUV

1.47455005e+00

74.0

452b

8.86316450e+01

1.65290658e+01

空气

1.00000000e+00

54.7

454a

6.40160814e+02

AS

9.95050863e+00

SILUV

147455005e+00

54.6

454b

8.02102778e+01

5.11329958e+00

空气

1.00000000e+00

49.2

456a

6.99294764e+01

1.30292896e+01

LLF1

1.47455005e+00

49.3

456b

9.99525336e+01

4.00000000e+01

空气

1.00000000e+00

47.7

表5A

表面	420b	422b	426b	428a	434b
						CC	0	0	0	0	0
C₁	0	0	0	0	0
						C₂	-1.471278e-07	1.384667e-08	1.140753e-07	3.904134e-08	1.621903e-07
C₃	3.821584e-11	-1.188191e-11	5.572952e-12	-4.020572e-12	3.015132e-12
						C₄	-1.751915e-15	-3.194922e-16	-1.323554e-15	-1.378776e-15	2.608037e-16
C₅	4.078997e-19	6.538807e-20	1.078720e-19	4.212583e-19	-1.233553e-19
						C₆	-2.208901e-22	-2.254772e-24	-4485745e-24	-6.438074e-23	2.455384e-23
C₇	1.730620e-26	-3.678634e-28	9.755013e-29	5.710778e-27	-2.090486e-27
						C₈	0	0	0	0	0
C₉	0	0	0	0	0

表面	440a	446b	448a	452a	454a
						CC	0	0	0	0	0
C₁	0	0	0	0	0
						C₂	-1.621903e-07	-3.904134e-08	-1.140753e-07	-1.384667e-08	1.471278e-07
C₃	-3.015132e-12	4.020572e-12	-5.572952e-12	1.188191e-11	-3.821584e-11
						C₄	-2.608037e-16	1.378776e-15	1.323554e-15	3.194922e-16	1.751915e-15
C₅	1.233553e-19	-4.212583e-19	-1.078720e-19	-6.538807e-20	-4.078997e-19
						C₆	-2.455384e-23	6.438074e-23	4.485745e-24	2.254772e-24	2.208901e-22
C₇	2.090486e-27	-5.710778e-27	-9.755013e-29	3.678634e-28	-1.730620e-26
						C₈	0	0	0	0	0
C₉	0	0	0	0	0

表5B

表面	\|SA/CA\|′	表面	\|SA/CA\|′
				418a	0.17	438a	1.00
418b	0.19	438b	0.95
				420a	0.21	440a	0.95
420b	0.23	440b	0.94
				422a	0.27	442a	0.93
422b	0.33	442b	0.86
				424a	0.35	444a	0.85
424b	0.36	444b	0.84
				426a	0.37	446a	0.58
426b	0.39	446b	0.56
				428a	0.56	448a	0.39
428b	0.58	448b	0.37

430a	0.84	450a	0.36
				430b	0.85	450b	0.33
432a	0.86	452a	0.33
				432b	0.93	452b	0.27
434a	0.94	454a	0.23
				434b	0.95	454b	0.21
436a	0.95	456a	0.19
				436b	1.00	456b	0.17

表5C

表面曲率半径厚度材料折射率半径(mm)

(mm) (mm)

802 0.000000 31.000000 空气 1.00000000 42.000

DS 0.000000 0.738915 空气 1.00000000 47.104

818a -1386.716234 19.227955 LLF1 1.57931548 47.094

818b -121.305114 1.699229 空气 1.00000000 48.257

820a -130.174964 6.998303 SIO2 1.47458786 48.093

820b 272.791152 28.886226 空气 1.00000000 49.823

822a -90.045309 28.917045 SIO2 1.47458786 51.585

822b -135.363404 1.360964 空气 1.00000000 62.382

824a 6155.057669 29.275288 SIO2 1.47458786 67.306

824b -139.550094 0.899164 空气 1.00000000 69.286

826a 401.571842 21.383701 SIO2 1.47458786 69.707

826b -460.590884 167.119731 空气 1.00000000 69.251

828a -222.584826 11.633677 SIO2 1.47458786 45.497

828b 178.118622 32.259267 空气 1.00000000 44.909

830a -73.302848 11.982081 SIO2 1.47458786 45.802

830b -1891.079945 0.933695 空气 1.00000000 53.893

832a 934.771604 35.031495 CAF2 1.44491236 55.374

832b -93.530438 0.899071 空气 1.00000000 58.778

834a 2332.011485 30.112767 CAF2 1.44491236 60.039

834b -148.096624 7.469957 空气 1.00000000 60.545

836a -110.309788 6.997917 SIO2 1.47458786 60.126

836b -232.642067 0.898370 空气 1.00000000 61.828

838a 277.876744 29.983730C AF2 1.44491236 62.202

838b -152.278510 2.307181 空气 1.00000000 61.662

840a -150.671145 6.996035 SIO2 1.47458786 60.892

840b -745.217397 0.488251 空气 1.00000000 60.113

DS 0.000000 0.000000 空气 1.00000000 59.936

DS 0.000000 0.488251 空气 1.00000000 59.936

842a 745.217397 6.996035 SIO2 1.47458786 60.237

842b 150.671145 2.307181 空气 1.00000000 61.017

844a 152.278510 29.983730C CAF2 1.44491236 61.789

844b -277.876744 0.898370 空气 1.00000000 62.324

846a 232.642067 6.997917 SIO2 1.47458786 61.943

846b 110.309788 7.469957 空气 1.00000000 60.231

848a 148.096624 30.112767 CAF2 1.44491236 60.647

848b -2332.011485 0.899071 空气 1.00000000 60.140

850a 93.530438 35.031495 CAF2 1.44491236 58.869

850b -934.771604 0.933695 空气 1.00000000 55.478

852a 1891.079945 11.982081 SIO2 1.47458786 53.989

852b 73.302848 32.259267 空气 1.00000000 45.863

854a -178.118622 11.633677 SIO2 1.47458786 44.972

854b 222.584826 167.119731 空气 1.00000000 45.556

856a 460.590884 21.383701 SIO2 1.47458786 69.292

856b -401.571842 0.899164 空气 1.00000000 69.746

858a 139.550094 29.275288 SIO2 1.47458786 69.320

858b -6155.057669 1.360964 空气 1.00000000 67.341

860a 135.363404 28.917045 SIO2 1.47458786 62.406

860b 90.045309 28.886226 空气 1.00000000 51.600

862a -272.791152 6.998303 SIO2 1.47458786 49.838

862b 130.174964 1.699229 空气 1.00000000 48.104

864a 121.305114 19.227955 LLF1 1.57931548 48.267

864b 1386.716234 0.738915 空气 1.00000000 47.102

DS 0.000000 31.000000 空气 1.00000000 47.112

804 0.000000 0.000000 空气 1.00000000 42.002

表6A

表面	\|SA/CA\|′	表面	\|SA/CA\|′
				818a	0.11	842a	0.99
818b	0.11	842b	0.99
				820a	0.15	844a	0.95
820b	0.15	844b	0.95
				822a	0.17	846a	0.94
822b	0.24	846b	0.92
				824a	0.28	848a	0.89
824b	0.28	848b	0.89
				826a	0.31	850a	0.83
826b	0.31	850b	0.83
				828a	0.33	852a	0.81
828b	0.69	852b	0.71
				830a	0.71	854a	0.69
830b	0.81	854b	0.33
				832a	0.83	856a	0.31
832b	0.83	856b	0.31

834a	0.89	858a	0.28
				834b	0.89	858b	0.28
836a	0.92	860a	0.24
				836b	0.94	860b	0.17
838a	0.95	862a	0.15
				838b	0.95	862b	0.15
840a	0，99	864a	0，11
				840b	0，99	864b	0，11

表6B

表面曲率半径厚度材料折射率半径(mm)

(mm) (mm)

902 0.000000 31.000000 空气 1.00000000 42.000

DS 0.000000 -0.052414 空气 1.00000000 47.184

918a 5049.159359 19.405392 LLF1 1.57923042 47.212

918b -135.041281 0.899619 空气 1.00000000 48.254

920a -166.620099 6.999679 SIO2 1.47458786 48.091

920b 240.984838 28.710190 空气 1.00000000 49.173

922a -89.999203 29.913324 S1O2 1.47458786 50.683

922b -151.740549 0.899136 空气 1.00000000 61.567

924a -3003.828750 27.312859 SIO2 1.47458786 65.347

924b -139.016314 2.212690 空气 1.00000000 67.431

926a 456.789285 26.478155 SIO2 1.47458786 68.347

926b -287.360963 145.855106 空气 1.00000000 68.034

928a -169.244521 7.191640 SIO2 1.47458786 45.075

928b 182.330024 30.672386 空气 1.00000000 44.831

930a -79.043244 10.296350 SIO2 1.47458786 45.903

930b 758.586589 1.864795 空气 1.00000000 53.575

932a 602.238753 33.160633 CAF2 1.44491236 54.789

932b -104.420400 1.256671 空气 1.00000000 58.436

934a 15343.026605 29.509667 CAF2 1.44491236 60.922

934b -119.107703 9.505350 空气 1.00000000 61.974

936a -110.634076 14.322295 SIO2 1.47458786 60.657

936b -254.500321 7.729440 空气 1.00000000 63.391

938a 301.147710 34.000543 CAF2 1.44491236 64.396

938b -153.984686 2.482179 空气 1.00000000 63.912

940a -150.762017 7.023992 BK7 1.53626700 63.207

940b -367.549175 6.850325 空气 1.00000000 63.128

DS 0.000000 0.000000 空气 1.00000000 61.862

DS 0.000000 6.850325 空气 1.00000000 61.862

942a 367.549175 7.023992 BK7 1.53626700 63.128

942b 150.762017 2.482179 空气 1.00000000 63.207

944a 153.984686 34.000543 CAF2 1.44491236 63.911

944b -301.147710 7.729440 空气 1.00000000 64.395

946a 254.500321 14.322295 SIO2 1.47458786 63.391

946b 110.634076 9.505350 空气 1.00000000 60.656

948a 119.107703 29.509667 CAF2 1.44491236 61.973

948b -15343.026605 1.256671 空气 1.00000000 60.921

950a 104.420400 33.160633 CAF2 1.44491236 58.435

950b -602.238753 1.864795 空气 1.00000000 54.788

952a -758.586589 10.296350 SIO2 1.47458786 53.573

952b 79.043244 30.672386 空气 1.00000000 45.902

954a -182.330024 7.191640 SIO2 1.47458786 44.830

954b 169.244521 145.855106 空气 1.00000000 45.074

956a 287.360963 26.478155 SIO2 1.47458786 68.029

956b -456.789285 2.212690 空气 1.00000000 68.341

958a 139.016314 27.312859 SIO2 1.47458786 67.425

958b 3003.828750 0.899136 空气 1.00000000 65.341

960a 151.740549 29.913324 SIO2 1.47458786 61.562

960b 89.999203 28.710190 空气 1.00000000 50.679

962a -240.984838 6.999679 SIO2 1.47458786 49.169

962b 166.620099 0.899619 空气 1.00000000 48.087

964a 135.041281 19.405392 LLF1 1.57923042 48.250

964b -5049.159359 -0.052414 空气 1.00000000 47.207

DS 0.000000 31.000000 空气 1.00000000 47.179

904 0.000000 0.000000 空气 1.00000000 42.004

表7

表面曲率半径厚度材料折射率半径(mm)

(mm) (mm)

1002 0.000000 31.000000 空气 1.00000000 42.000

DS 0.000000 2.064129 空气 1.00000000 48.692

1018a -714.483756 32.318968 LLF1 1.57923042 48.778

1018b -102.459806 8.526314 空气 1.00000000 51.968

1020a -105.305325 7.021587 SIO2 1.47458786 51.212

1020b 336.481472 28.089807 空气 1.00000000 54.246

1022a -109.269539 29.828747 SIO2 1.47458786 56.410

1022b -180.351479 0.898273 空气 1.00000000 68.304

1024a -1965.401386 32.962557 SIO2 1.47458786 72.884

1024b -128.914358 0.898605 空气 1.00000000 75.336

1026a 175.630563 29.241898 SIO2 1.47458786 77.015

1026b -1970.532738 122.727577 空气 1.00000000 75.736

1028a -127.514984 6.998827 SIO2 1.47458786 51.960

1028b 142.262522 27.886577 空气 1.00000000 52.268

1030a -128294477 6.985983 SIO2 1.47458786 53.639

1030b -8693.312028 2.583224 空气 1.00000000 59.776

1032a 370.184114 35.353675 CAF2 1.44491236 64.121

1032b -122.567730 0.896552 空气 1.00000000 66.768

1034a -1865.188090 32.094770C CAF2 1.44491236 68.898

1034b -115.779082 8.691016 空气 1.00000000 69.769

1036a -101.998197 6.997042 SIO2 1.47458786 68.450

1036b 315.525402 3.235522 空气 1.00000000 74.753

1038a 314.026847 48.494379 CAF2 1.44491236 75.821

1038b -117.310257 0.891835 空气 1.00000000 77.488

1040a -214.048188 8.330389 LLF1 1.57923042 75.068

1040b -245.512561 0.481755 空气 1.00000000 75.546

DS 0.000000 0.000000 空气 1.00000000 74.130

DS 0.000000 0.481755 空气 1.00000000 74.130

1042a 245.512561 8.330389 LLF1 1.57923042 75.546

1042b 214.048188 0.891835 空气 1.00000000 75.068

1044a 117.310257 48.494379 CAF2 1.44491236 77.489

1044b -314.026847 3.235522 空气 1.00000000 75.821

1046a -315.525402 6.997042 SIO2 1.47458786 74.754

1046b 101.998197 8.691016 空气 1.00000000 68.450

1048a 115.779082 32.094770C CAF2 1.44491236 69.770

1048b 1865.188090 0.896552 空气 1.00000000 68.899

1050a 122.567730 35.353675 CAF2 1.44491236 66.769

1050b -370.184114 2.583224 空气 1.00000000 64.121

1052a 8693.312028 6.985983 SIO2 1.47458786 59.777

1052b 128.294477 27.886577 空气 1.00000000 53.640

1054a -142.262522 6.998827 SIO2 1.47458786 52.269

1054b 127.514984 122.727577 空气 1.00000000 51.961

1056a 1970.532738 29.241898 SIO2 1.47458786 75.740

1056b -175.630563 0.898605 空气 1.00000000 77.019

1058a 128.914358 32.962557 SIO2 1.47458786 75.339

1058b 1965.401386 0.898273 空气 1.00000000 72.887

1060a 180.351479 29.828747 SIO2 1.47458786 68.307

1060b 109.269539 28.089807 空气 1.00000000 56.413

1062a -336.481472 7.021587 SIO2 1.47458786 54.249

1062b 105.305325 8.526314 空气 1.00000000 51.215

1064a 102.459806 32.318968 LLF1 1.57923042 51.971

1064b 714.483756 2.064129 空气 1.00000000 48.781

DS 0.000000 31.000000 空气 1.00000000 48.695

1004 0.000000 0.000000 空气 0.00000000 42.003

表8A

常数/表面 1028b 1036b 1046a 1054a

CC 0 0 0 0

C1 1.385482e-07 3.132832e-08 -3.132832e-08 -1.385482e-07

C2 8.632193e-12 -1.100556e-12 1.100556e-12 -8.632193e-12

C3 -3.842467e-16 1.921077e-17 -1.921077e-17 3.842467e-16

C4 -1.972976e-19 -8.639391e-21 8.639391e-21 1.972976e-19

C5 2.360589e-23 1.290805e-24 -1.290805e-24 -2.360589e-23

C6 -5.264560e-27 -6.807570e-29 6.807570e-29 5.264560e-27

C7 0.000000e+00 0.000000e+00 0.000000e+00 0.000000e+00

C8 0.000000e+00 0.000000e+00 0.000000e+00 0.000000e+00

C9 0.000000e+00 0.000000e+00 0.000000e+00 0.000000e+00

表8B

表面曲率半径厚度材料折射率半径(mm)

(mm) (mm)

1102 0.000000 31.000000 空气 1.00000000 42.000

DS 0.000000 1.085991 空气 1.00000000 48.670

1118a -1074.953079 20.088390 LLF1 1.57931548 48.666

1118b -118.099773 10.319949 空气 1.00000000 50.183

1120a -127.174617 6.998791 SIO2 1.47458786 49.878

1120b 264.036905 27.735334 空气 1.00000000 52.505

1122a -111.004381 29.912785 SIO2 1.47458786 54.779

1122b -209.615108 0.899258 空气 1.00000000 67.124

1124a -2354.298761 33.297268 SIO2 1.47458786 71.314

1124b -124.332341 0.899107 空气 1.00000000 73.944

1126a 229.098524 28.325494 SIO2 1.47458786 76.189

1126b -541.124133 131.560464 空气 1.00000000 75.455

1128a -155.658339 6.998803 SIO2 1.47458786 52.550

1128b 193.514951 31.900420 空气 1.00000000 52.538

1130a -82.534830 10.807916 SIO2 1.47458786 53.238

1130b -1636.143905 2.529714 空气 1.00000000 63.231

1132a 934.469453 37.477816 CAF2 1.44491236 66.398

1132b 107.665507 0.897636 空气 1.00000000 69.402

1134a -601.835449 31.283513 CAF2 1.44491236 71.599

1134b -114.555018 5.922061 空气 1.00000000 72.617

1136a -102.993837 6.998457 SIO2 1.47458786 72.035

1136b -237.160165 0.899542 空气 1.00000000 76.019

1138a 229.843953 44.798197 CAF2 1.44491236 78.312

1138b -152.565575 5.374336 空气 1.00000000 77.788

1140a -141.400299 6.996843 BK7 1.53626700 75.850

1140b -410.001369 0.491920 空气 1.00000000 75.907

DS 0.000000 0.000000 空气 1.00000000 75.161

DS 0.000000 0.491920 空气 1.00000000 75.161

1142a 410.001369 6.996843 BK7 1.53626700 75.907

1142b 141.400299 5.374336 空气 1.00000000 75.850

1144a 152.565575 44.798197 CAF2 1.44491236 77.789

1144b -229.843953 0.899542 空气 1.00000000 78.313

1146a 237.160165 6.998457 SIO2 1.47458786 76.019

1146b 102.993837 5.922061 空气 1.00000000 72.035

1148a 114.555018 31.283513 CAF2 1.44491236 72.617

1148b 601.835449 0.897636 空气 1.00000000 71.599

1150a 107.665507 37.477816 CAF2 1.44491236 69.403

1150b -934.469453 2.529714 空气 1.00000000 66.399

1152a 1636.143905 10.807916 SIO2 1.47458786 63.231

1152b 82.534830 31.900420 空气 1.00000000 53.239

1154a -193.514951 6.998803 SIO2 1.47458786 52.539

1154b 155.658339 131.560464 空气 1.00000000 52.550

1156a 541.124133 28.325494 SIO2 1.47458786 75.457

1156b -229.098524 0.899107 空气 1.00000000 76.192

1158a 124.332341 33.297268 SIO2 1.47458786 73.946

1158b 2354.298761 0.899258 空气 1.00000000 71.317

1160a 209.615108 29.912785 SIO2 1.47458786 67.127

1160b 111.004381 27.735334 空气 1.00000000 54.781

1162a -264.036905 6.998791 SIO2 1.47458786 52.508

1162b 127.174617 10.319949 空气 1.00000000 49.880

1164a 118.099773 20.088390 LLF1 1.57931548 50.185

1164b 1074.953079 1.085991 空气 1.00000000 48.669

DS 0.000000 31.000000 空气 1.00000000 48.672

1104 0.000000 0.000000 空气 1.00000000 42.002

表9A

常数/表面 1128b 1136b 1146a 1154a

CC 0 0 0 0

C1 3.367069e-08 2.187427e-09 -2.187427e-09 -3.367069e-08

C2 -2.130639e-12 -1.705387e-13 1.705387e-13 2.130639e-12

C3 2.373851e-16 -4.255783e-17 4.255783e-17 -2.373851e-16

C4 -6.778203e-19 1.915530e-21 -1.915530e-21 6.778203e-19

C5 2.002439e-22 -1.032764e-24 1.032764e-24 -2.002439e-22

C6 -3.257132e-26 -2.394367e-29 2.394367e-29 3.257132e-26

C7 0.000000e+00 0.000000e+00 0.000000e+00 0.000000e+00

C8 0.000000e+00 0.000000e+00 0.000000e+00 0.000000e+00

C9 0.000000e+00 0.000000e+00 0.000000e+00 0.000000e+00

表9B

表面曲率半径厚度材料折射率半径(mm)

(mm) (mm)

1202 0.000000 34.000000 空气 1.00000000 42.000

DS 0.000000 0.129009 空气 1.00000000 47.717

1218a -2822.625506 19.779989 LLF1 1.57931548 47.671

1218b -111.432935 4.292833 空气 1.00000000 48.678

1220a -112.313771 6.983415 SIO2 1.47458786 48.197

1220b 263.662579 29.009885 空气 1.00000000 50.079

1222a -91.049421 16.611623 SIO2 1.47458786 51.862

1222b -155.044025 0.876111 空气 1.00000000 59.456

1224a -2105.236338 26.377392 SIO2 1.47458786 63.429

1224b -126.111515 0.886241 空气 1.00000000 65.520

1226a 514.537706 22.633438 SIO2 1.47458786 67.129

1226b -248.337642 163.426725 空气 1.00000000 67.160

1228a -124.641106 6.987651 SIO2 1.47458786 45.553

1228b 152.690677 31.238755 空气 1.00000000 46.463

1230a -80.796014 12.165293 LLF1 1.57931548 48.249

1230b -99.544326 17.929417 空气 1.00000000 53.292

1232a -495.858897 21.966586 CAF2 1.44491236 61.406

1232b -128.239150 12.130589 空气 1.00000000 63.448

1234a 3242.978846 30.070885 CAF2 1.44491236 65.975

1234b -118.360906 2.375005 空气 1.00000000 66.449

1236a -116.506616 6.987333 SIO2 1.47458786 65.842

1236b -994.982554 0.956154 空气 1.00000000 67.523

1238a 222.776965 38.034869 CAF2 1.44491236 68.456

1238b -148.207715 2.336758 空气 1.00000000 67.877

1240a -143.867700 6.951350 SIO2 1.47458786 67.098

1240b -882.424034 0.362841 空气 1.00000000 66.310

DS 0.000000 0.000000 空气 1.00000000 66.049

DS 0.000000 0.362841 空气 1.00000000 66.049

1242a 882.424034 6.951350 SIO2 1.47458786 66.310

1242b 143.867700 2.336758 空气 1.00000000 67.098

1244a 148.207715 38.034869 CAF2 1.44491236 67.876

1244b -222.776965 0.956154 空气 1.00000000 68.455

1246a 994.982554 6.987333 SIO2 1.47458786 67.522

1246b 116.506616 2.375005 空气 1.00000000 65.841

1248a 118.360906 30.070885 CAF2 1.44491236 66.448

1248b -3242.978846 12.130589 空气 1.00000000 65.974

1250a 128.239150 21.966586 CAF2 1.44491236 63.446

1250b 495.858897 17.929417 空气 1.00000000 61.405

1252a 99.544326 12.165293 LLF1 1.57931548 53.291

1252b 80.796014 31.238755 空气 1.00000000 48.247

1254a -152.690677 6.987651 SIO2 1.47458786 46.461

1254b 124.641106 163.426725 空气 1.00000000 45.551

1256a 248.337642 22.633438 SIO2 1.47458786 67.152

1256b -514.537706 0.886241 空气 1.00000000 67.120

1258a 126.111515 26.377392 SIO2 1.47458786 65.512

1258b 2105.236338 0.876111 空气 1.00000000 63.420

1260a 155.044025 16.611623 SIO2 1.47458786 59.448

1260b 91.049421 29.009885 空气 1.00000000 51.856

1262a -263.662579 6.983415 SIO2 1.47458786 50.072

1262b 112.313771 4.292833 空气 1.00000000 48.190

1264a 111.432935 19.779989 LLF1 1.57931548 48.670

1264b 2822.625506 0.129009 空气 1.00000000 47.664

DS 0.000000 34.000000 空气 1.00000000 47.710

1204 0.000000 0.000000 空气 1.00000000 42.007

表10

表面曲率半径厚度材料折射率半径(mm)

(mm) (mm)

1302 0.000000 34.000000 空气 1.00000000 42.000

DS 0.000000 0.467159 空气 1.00000000 47.783

1318a- 1785.908234 18.692487 LLF1 1.57923042 47.754

1318b -119.190867 8.319861 空气 1.00000000 48.792

1320a -123.985300 6.927511 SIO2 1.47458786 48.130

1320b 220.658080 29.122679 空气 1.00000000 50.048

1322a -95.784025 38.778204 SIO2 1.47458786 52.043

1322b -147.539869 0.793173 空气 1.00000000 66.205

1324a 2466.384582 29.377437 SIO2 1.47458786 71.606

1324b -148.054271 0.856573 空气 1.00000000 73.329

1326a 447.173248 22.796444 SIO2 1.47458786 73.986

1326b -356.283964 173.838552 空气 1.00000000 73.655

1328a -177.042387 8.188143 SIO2 1.47458786 45.684

1328b 212.704934 27.637678 空气 1.00000000 45.331

1330a -81.128231 7.144835 SIO2 1.47458786 45.982

1330b 552.956939 1.174463 空气 1.00000000 52.222

1332a 398.409595 29.376607 CAF2 1.44491236 53.284

1332b -99.244661 0.871867 空气 1.00000000 55.519

1334a 1504.458490 27.725727 CAF2 1.44491236 57.085

1334b -100.775118 2.691105 空气 1.00000000 57.477

1336a -97.251847 6.897972 SIO2 1.47458786 56.820

1336b -339.226928 0.800439 空气 1.00000000 58.163

1338a 497.347850 20.951171 CAF2 1.44491236 58.309

1338b -253.759354 6.364884 空气 1.00000000 58.035

1340a -160.262958 11.460067 LLF1 1.57923042 57.695

1340b -182.498637 0.245522 空气 1.00000000 58.360

DS 0.000000 0.000000 空气 1.00000000 57.234

DS 0.000000 0.245522 空气 1.00000000 57.234

1342a 182.498637 11.460067 LLF1 1.57923042 58.360

1342b 160.262958 6.364884 空气 1.00000000 57.694

1344a 253.759354 20.951171 CAF2 1.44491236 58.034

1344b -497.347850 0.800439 空气 1.00000000 58.309

1346a 339.226928 6.897972 SIO2 1.47458786 58.163

1346b 97.251847 2.691105 空气 1.00000000 56.819

1348a 100.775118 27.725727 CAF2 1.44491236 57.476

1348b -1504.458490 0.871867 空气 1.00000000 57.084

1350a 99.244661 29.376607 CAF2 1.44491236 55.517

1350b -398.409595 1.174463 空气 1.00000000 53.282

1352a -552.956939 7.144835 SIO2 1.47458786 52.220

1352b 81.128231 27.637678 空气 1.00000000 45.981

1354a -212.704934 8.188143 SIO2 1.47458786 45.329

1354b 177.042387 173.838552 空气 1.00000000 45.682

1356a 356.283964 22.796444 SIO2 1.47458786 73.646

136b -447.173248 0.856573 空气 1.00000000 73.978

1358a 148.054271 29.377437 SIO2 1.47458786 73.320

1358b -2466.384582 0.793173 空气 1.00000000 71.596

1360a 147.539869 38.778204 SIO2 1.47458786 66.197

1360b 95.784025 29.122679 空气 1.00000000 52.037

1362a -220.658080 6.927511 SIO2 1.47458786 50.041

1362b 123.985300 8.319861 空气 1.00000000 48.124

1364a 119.190867 18.692487 LLF1 1.57923042 48.785

1364b 1785.908234 0.467159 空气 1.00000000 47.747

DS 0.000000 34.000000 空气 1.00000000 47.776

1304 0.000000 0.000000 空气 1.00000000 42.007

表11

表面

曲率半径(mm)

形状

厚度(mm)

材料

折射率

半径(mm)

1602

0

4,00E+01

空气

1,000000E+00

47,71

1618a

-9,25E+01

1,20E+01

LLF1

1,579320E+00

49,42

1618b

-7,03E+01

1,01E+00

空气

1,000000E+00

49,44

1620a

-6,94E+01

1,00E+01

SIO2

1,474550E+00

59,42

1620b

6,83E+02

AS

1,12E+01

空气

1,000000E+00

59,56

1622a

-1,82E+02

3,82E+01

SIO2

1,474550E+00

75,23

1622b

-2,09E+02

AS

1,00E+00

空气

1,000000E+00

84,99

1624a

5,28E+02

3,19E+01

SIO2

1,474550E+00

85,89

1624b

-1,88E+02

1,00E+00

空气

1,000000E+00

89,76

1626a

1,53E+02

3,99E+01

SIO2

1,474550E+00

89,03

1626b

-2,98E+02

AS

1,28E+02

空气

1,000000E+00

55,20

1628a

-2,75E+02

AS

1,00E+01

SIO2

1,474550E+00

52,43

1628b

1,27E+02

8,58E+01

空气

1,000000E+00

56,79

1630a

-4,30E+02

7,00E+00

SIO2

1,474550E+00

58,42

1630b

2,02E+02

3,34E+00

空气

1,000000E+00

61,83

1632a

1,21E+02

4,01E+01

CAF2

1,444913E+00

61,79

1632b

-1,12E+02

9,99E-01

空气

1,000000E+00

61,60

1634a

-1,09E+02

7,00E+00

SIO2

1,474550E+00

62,14

1634b

2,24E+02

AS

1,00E+00

空气

1,000000E+00

63,01

1636a

1,51E+02

2,98E+01

CAF2

1,444913E+00

63,15

1636b

-1,80E+02

9,99E-01

空气

1,000000E+00

61,55

1606

0,00E+00

9,99E-01

空气

1,000000E+00

63,15

1638a

1,80E+02

2,98E+01

CAF2

1,444913E+00

63,01

1638b

-1,51E+02

1,00E+00

空气

1,000000E+00

62,14

1640a

-2,24E+02

AS

7,00E+00

SIO2

1,474550E+00

61,60

1640b

1,09E+02

9,99E-01

空气

1,000000E+00

61,79

1642a

1,12E+02

4,01E+01

CAF2

1,444913E+00

61,83

1642b

-1,21E+02

3,34E+00

空气

1,000000E+00

58,43

1644a

-2,02E+02

7,00E+00

SIO2

1,474550E+00

56,79

1644b

4,30E+02

8,58E+01

空气

1,000000E+00

52,43

1646a

-1,27E+02

1,00E+01

SIO2

1,474550E+00

55,20

1646b

2,75E+02

AS

1,28E+02

空气

1,000000E+00

89,03

1648a

2,98E+02

AS

3,99E+01

SIO2

1,474550E+00

89,76

1648b

-1,53E+02

1,00E+00

空气

1,000000E+00

85,89

1650a

1,88E+02

3,19E+01

SIO2

1,474550E+00

84,99

1650b

-5,28E+02

1,00E+00

空气

1,000000E+00

75,23

1652a

2,09E+02

AS

3,82E+01

SIO2

1,474550E+00

59,56

1652b

1,82E+02

1,12E+01

空气

1,000000E+00

59,42

1654a

-6,83E+02

AS

1,00E+01

SIO2

1,474550E+00

49,44

1654b

6,94E+01

1,01E+00

空气

1,000000E+00

49,42

1656a

7,03E+01

1,20E+01

LLF1

1,579320E+00

47,71

1656b

9,25E+01

4,00E+01

空气

1,000000E+00

42,03

表12A

表面	1620b	1622b	1626b	1628a	1634b
						CC	0,00000E+00	0,00000E+00	0,00000E+00	0,00000E+00	0,00000E+00
C1	0,00000E+00	0,00000E+00	0,00000E+00	0,00000E+00	0,00000E+00
						C2	-3,11300E-07	6,43956E-08	9,00458E-08	2,63248E-08	1,61340E-07
C3	3,61315E-11	-6,76882E-12	4,69245E-12	-5,89732E-12	4,63435E-12
						C4	7,37165E-15	-2,06270E-15	3,89533E-17	-1,30451E-16	5,75454E-16
C5	-1,84065E-18	-1,24987E-19	-7,45216E-20	1,77321E-19	-1,96788E-19
						C6	3,93145E-22	5,04495E-23	6,31654E-24	-8,04090E-23	3,99005E-23
C7	-4,02537E-26	-4,59886E-27	-1,89918E-28	1,15920E-26	-3,54400E-27
						C8	0,00000E+00	0,00000E+00	0,00000E+00	0,00000E+00	0,00000E+00
C9	0,00000E+00	0,00000E+00	0,00000E+00	0,00000E+00	0,00000E+00

表面	1640a	1646b	1648a	1652a	1654a
						CC	0,00000E+00	0,00000E+00	0,00000E+00	0,00000E+00	0,00000E+00
C1	0,00000E+00	0,00000E+00	0,00000E+00	0,00000E+00	0,00000E+00
						C2	-1,61340E-07	-2,63248E-08	-9,00458E-08	-6,43956E-08	3,11300E-07
C3	-4,63435E-12	5,89732E-12	-4,69245E-12	6,76882E-12	-3,61315E-11
						C4	-5,75454E-16	1,30451E-16	-3,89533E-17	2,06270E-15	-7,37165E-15
C5	1,96788E-19	-1,77321E-19	7,45216E-20	1,24987E-19	1,84065E-18
						C6	3,99005E-23	8,04090E-23	-6,31654E-24	-5,04495E-23	-3,93145E-22
C7	3,54400E-27	-1,15920E-26	1,89918E-28	4,59886E-27	4,02537E-26
						C8	0,00000E+00	0,00000E+00	0,00000E+00	0,00000E+00	0,00000E+00
C9	0,00000E+00	0,00000E+00	0,00000E+00	0,00000E+00	0,00000E+00

表12B

表面	\|SA/CA\|′	表面	\|SA/CA\|′
				1618a	0,16	1638a	1,00
1618b	0,19	1638b	0,95
				1620a	0,19	1640a	0,95
1620b	0,21	1640b	0,93
				1622a	0,24	1642a	0,93
1622b	0,28	1642b	0,87
				1624a	0,29	1644a	0,86
1624b	0,31	1644b	0,84
				1626a	0,32	1646a	0,60
1626b	0,35	1646b	0,58
				1628a	0,58	1648a	0,34
1628b	0,60	1648b	0,31
				1630a	0,84	1650a	0,31
1630b	0,86	1650b	0,28
				1632a	0,87	1652a	0,28
1632b	0,93	1652b	0,24
				1634a	0,94	1654a	0,21
1634b	0,95	1654b	0,19
				1636a	0,95	1656a	0,19
1636b	1,00	1656b	0,16

表12C

表面

曲率半径(mm)

形状

厚度(mm)

材料

折射率

半径(mm)

1702

0

4,00E+01

空气

1,000000E+00

50,00

1718a

1,31E+02

2,46E+01

LLF1

1,579320E+00

51,18

1718b

-1,37E+02

6,00E-01

空气

1,000000E+00

50,97

1720a

-1,35E+02

1,00E+01

SIO2

1,474550E+00

50,80

1720b

7,89E+01

AS

3,85E+01

空气

1,000000E+00

48,21

1722a

-6,16E+01

3,98E+01

SIO2

1,474550E+00

48,39

1722b

-1,23E+03

1,00E+00

空气

1,000000E+00

76,17

1724a

-1,85E+03

3,98E+01

LLF1

1,579320E+00

77,41

1724b

-1,20E+02

1,00E+00

空气

1,000000E+00

81,42

1726a

3,61E+02

3,36E+01

LLF1

1,579320E+00

89,03

1726b

-4,46E+02

1,00E+00

空气

1,000000E+00

89,19

1728a

1,24E+02

4,00E+01

LLF1

1,579320E+00

84,83

1728b

2,84E+03

5,36E+00

空气

1,000000E+00

81,99

1730a

-1,71E+03

AS

1,50E+01

SIO2

1,474550E+00

81,99

1730b

1,30E+02

1,52E+02

空气

1,000000E+00

69,02

1732a

-1,11E+03

7,00E+00

LLFI

1,579320E+00

42,18

1732b

8,78E+01

1,00E-01

空气

1,000000E+00

40,21

1734a

7,10E+01

2,50E+01

SIO2

1,474550E+00

40,59

1734b

-8,67E+01

2,07E+00

空气

1,000000E+00

40,27

1736a

-7,78E+01

7,00E+00

LLF1

1,579320E+00

39,51

1736b

1,09E+02

1,00E-01

空气

1,000000E+00

38,02

1738a

7,84E+01

1,57E+01

SIO2

1,474550E+00

38,42

1738b

-2,47E+02

AS

1,00E+00

空气

1,444913E+00

38,04

1706

0,00E+00

1,00E+00

空气

1,000000E+00

37，57

1740a

2,47E+02

AS

1,57E+01

SIO2

1,474550E+00

38,04

1740b

-7,84E+01

1,00E-01

空气

1,000000E+00

38,42

1742a

-1,09E+02

7,00E+00

LLF1

1,579320E+00

38,02

1742b

7,78E+01

2,07E+00

空气

1,000000E+00

39,51

1744a

8,67E+01

2,50E+01

SIO2

1,474550E+00

40,27

1744b

-7,10E+01

1,00E-01

空气

1,000000E+00

40,59

1746a

-8,78E+01

7,00E+00

LLF1

1,579320E+00

40,21

1746b

1,11E+03

1,52E+02

空气

1,000000E+00

42,18

1748a

-1,30E+02

1,50E+01

SIO2

1,474550E+00

69,02

1748b

1,71E+03

AS

5,36E+00

空气

1,000000E+00

81,99

1750a

-2,84E+03

4,00E+01

LLF1

1,579320E+00

81,99

1750b

-1,24E+02

1,00E+00

空气

1,000000E+00

84,,83

1752a

4,46E+02

3,36E+01

LLF1

1，579320E+00

89,19

1752b

-3,61E+02

1,00E+00

空气

1,000000E+00

89,03

1754a

1,20E+02

3,98E+01

LLF1

1,579320E+00

81,42

1754b

1,85E+03

1,00E+00

空气

1,000000E+00

77,41

1756a

1,23E+03

3,98E+01

SIO2

1,474550E+00

76,17

1756b

6,16E+01

3,85E+01

空气

1,000000E+00

48,39

1758a

-78,931653

AS

1,00E+01

SIO2

1,474550E+00

48,21

1758b

135,26309

6,00E-01

空气

1,000000E+00

50,802

1760a

137,492089

24,607034

LLF1

1,579320E+00

50,972

1760b

-131,087892

40

空气

1,000000E+00

51,177

表13A

表面	1720b	1730a	1738b	1740a	1748b
						CC	0,000000E+00	0,000000E+00	0,000000E+00	0,000000E+00	0,000000E+00
C1	0,000000E+00	0,000000E+00	0,000000E+00	0,000000E+00	0,000000E+00
						C2	-5,348304E-07	-7,891070E-08	3,669874E-07	-3,669874E-07	7,891070E-08
C3	3,874388E-11	4,407850E-12	7,729112E-11	-7,729112E-11	-4,407850E-12
						C4	-5,668205E-15	1,421355E-16	1,275249E-14	1,275249E-14	-1,421355E-16
C5	-3,960233E-19	-2,853409E-20	-1,768252E-18	1,768252E-18	2,853409E-20
						C6	2,902361E-22	1,535014E-24	8,963552E-22	-8,963552E-22	-1,535014E-24
C7	-3,561952E-26	-4,083660E-29	-4,833046E-25	4,833046E-25	4,083660E-29
						C8	0,000000E+00	0,000000E+00	0,000000E+00	0,000000E+00	0,000000E+00
C9	0,000000E+00	0,000000E+00	0,000000E+00	0,000000E+00	0,000000E+00

表面	1758a
						CC	0,00000E+00
C1	0,00000E+00
						C2	5,34830E-07
C3	-3,87439E-11
						C4	5,66820E-15
C5	3,96023E-19
						C6	-2,90236E-22
C7	3,56195E-26
						C8	0,00000E+00
C9	0,00000E+00

表13B

表面	\|SA/CA\|′	表面	\|SA/CA\|′
				1718a	0.19	1740a	1.00
1718b	0.23	1740b	0.95
				1720a	0.23	1742a	0.95
1720b	0.27	1742b	0.93
				1722a	0.36	1744a	0.92
1722b	0.42	1744b	0.87
				1724a	0.42	1746a	0.86
1724b	0.44	1746b	0.84
				1726a	0.45	1748a	0.52
1726b	0.46	1748b	0.50
				1728a	0.47	1750a	0.49
1728b	0.51	1750b	0.47
				1730a	0.52	1752a	0.46
1730b	0.52	1752b	0.45
				1732a	0.84	1754a	0.44
1732b	0.86	1754b	0.42
				1734a	0.86	1756a	0.42
1734b	0.93	1756b	0.36
				1736a	0.93	1758a	0.26
1736b	0.95	1758b	0.23
				1738a	0.95	1760a	0.23
1738b	1.00	1760b	0.18

表13C

Claims

1.一种用于将辐射从物区域引导到像区域的光学透镜系统，所述光学透镜系统具有光轴，所述光学透镜系统包括：

包括沿所述光学透镜系统的光轴设置的第一透镜和第二透镜的第一透镜组；以及

包括沿所述光学透镜系统的光轴设置的第一透镜和第二透镜的第二透镜组；

其中：

所述第一透镜组具有对于所述辐射的第一色差；

所述第二透镜组具有对于所述辐射的第二色差；

所述辐射包括波长λ；

所述第二色差的值与所述第一色差的值之间的差小于λ；

所述光学透镜系统将波长为λ的辐射成像到像区域；以及

所述第二色差的符号与所述第一色差的符号相反；以及

其中，所述光学透镜系统形成微光刻光学透镜系统的一部分，并且所述第一透镜组将像区域中波长为λ的像的曲率减少到小于微光刻光学透镜系统的像区域中的所述微光刻光学透镜系统的焦深。

2.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，对于所述微光刻光学透镜系统的像区域中的辐射的所述微光刻光学透镜系统的色差的值小于所述第一色差的值。

3.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，所述第一透镜组中的至少一个透镜具有非球面。

4.根据权利要求3所述的光学透镜系统，其中，所述第二透镜组中的至少一个透镜具有非球面。

5.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，所述第一透镜组和第二透镜组之间沿所述光轴的最小距离为五厘米或更多。

6.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，所述第二透镜组包括透镜对，该透镜对包括凸透镜和凹透镜。

7.根据权利要求6所述的光学透镜系统，其中，所述凸透镜包括冕玻璃并且所述凹透镜包括燧石玻璃。

8.根据权利要求6所述的光学透镜系统，其中，所述凸透镜和所述凹透镜分开。

9.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，所述第二色差的符号与所述第二透镜组中的至少一个透镜的色差的符号相反。

10.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，所述第一透镜组包括具有曲率半径为130mm或更小的凹面的透镜。

11.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，所述第一透镜组包括第一透镜子组和第二透镜子组，所述第一透镜子组具有正光焦度，并且所述第二透镜子组具有负光焦度。

12.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，所述第一透镜组具有焦距和主平面，其中所述主平面与所述第二透镜组之间的最短距离大于所述第一透镜组的焦距。

13.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，所述第一透镜组在横截所述光轴的方向上的最大尺寸是所述第二透镜组在横截所述光轴的方向上的最大尺寸的1.5倍或更多。

14.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，所述第一色差的值小于所述第一透镜组中的一个透镜对于辐射的色差的值。

15.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，所述光学透镜系统具有0.33或更小的Г比率以及0.2或更小的最大数值孔径，Г比率由下式确定：

Γ = \frac{M_{a}}{M_{b}},

其中M_a是对于放置在所述光学透镜系统的物区域与光瞳平面之间的透镜的所有小于0.6的|SA/CA|′值的算术平均，M_b是对于放置在所述光学透镜系统的物区域与光瞳平面之间的透镜的所有等于或大于0.6的|SA/CA|′值的算术平均，透镜表面的通光孔径CA指的是由从物区域的所有场点被照明的透镜的面积，透镜表面的子孔径SA指的是由从物区域的单个场点被照明的透镜的最大面积。

16.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，在所述物区域与所述像区域之间沿所述光轴设置的透镜的总数是30或更少。

17.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，在所述物区域与所述像区域之间沿所述光轴放置的透镜的总数是24或更少。

18.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，所述微光刻光学透镜系统的放大系数为1。

19.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，在所述物区域与所述像区域之间沿所述光轴设置的所述透镜的总数的至少一半的透镜由熔融石英形成。

20.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，所述透镜中的第一个由第一材料形成，所述透镜中的第二个由第二材料形成，所述第一材料具有第一色散，并且所述第二材料具有与所述第一色散不同的第二色散。

21.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，所述辐射具有选自由可见波长范围和UV波长范围构成的组的波长范围内的至少一个波长。

22.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，所述透镜的至少之一具有非球面。

23.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，所述透镜的至少两个透镜的每一个都具有非球面。

24.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，所述多个透镜中的不超过40％的透镜具有0.6或更大的子孔径与通光孔径比。

25.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，所述光学透镜系统具有0.32或更小的Г比率，Г比率由下式确定：

Γ = \frac{M_{a}}{M_{b}},

26.根据权利要求1所述的光学透镜系统，其中，所述光学透镜系统是纯折射透镜系统。