13166¾¾ 93114363號中文說明書無劃線修正頁 修正日期:98年7月16日 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於電源裝置、測試裝置以及 特別是關於向電子元件供給電源電流的^ 【先前技術】 在CMOS半導體等電子元件中，在 電流會產生極大的變化。而且，我們已經知5 電壓發生，在進行電子元件缸作特_測 ^ 負何施加的電壓變動小(例如：參照專利文獻 時，向 專利文獻特開平7_333249號公報(第2—4頁，第Μ 圖） 隨著近年來細微化技術的提高， 低電壓化得到了發展，在電 件‘速化、 分却幢庚站，魏在電子件的電源電壓方面的變動 了。因此，在測試電子元件的測試裝置中， 而要更尚精度的電源裝置。 【發明内容】 、靜Ϊ ^目丨^發明的目的在於提供可崎決上述課題的電 ϋ專利置以及電源電壓穩定裝置。此目的是通過 且二中的獨立項中記载的特徵的組合實現的。而 即奸祕規定了本發明的更加有利的具體實施例。 賴電本發明的第1形態，是—種向電子元件供給 源裝置，其具備電流輪出部，用以輸出至少 t3電源電流的輸出電流、連接電阻，藉由電連 13808pif 1316607 從電源輪出部接收的電源電 r頻率成分，;電流輸 二電二以：定低通濾波器的輪出電壓與在連接電阻中接近 於電子7L件的端部的電位的電位差、 按迎 電流輸出部的輸出端，與連接電 :J值;”於 定出的電位差要小於預先規定的差二； 輸出部的輸出電流中一部分的部分電 A ”，、電Μ 定出的電位差大於預先規定的差值時二;部測 部接收部分電流。 曰如止從電流輸出 Μ ’還可以包括平滑電容^，在較 方向的上游把電源電流平滑化、元件側電容器丄 平滑電容器的靜電容量’在較連接電阻 ：’、： 把連接電阻向電子元件施加的電源電流平=方向的下游 此外，低雜波器、差值測定部、或者 的至少一部分設置在由電連接電流輸出部^負=中 線所組成的印刷電路板上，連接電阻可 =的配 形成的圖案。 *'、、Ρ刷電路板上 差值測定部具有以下幾部分：標準電壓 把低通滤波器的輸出電壓進行分壓，輸出第i的^ 或者小於第1的標準電壓的第2標準電 :電i 比較部’用以比較標準電壓輸出部與元個、 標準電壓設定部，根據比較部的輪出，當元件側端5電 13808pif 7 1316607 於ΐ-1 Ϊ準電壓時’使標準電壓輸出部輸出第2標準 電壓輸電位小於第2標準電壓時，使標準 的輸出，者」苐1払準電壓。並聯負荷部，根據比較部 到小於第部;!電位大於第1標準電壓後，在達 分1*、、*彳1之則的期間，從電流輸出部接收的部 端“==並聯電路以消耗，當元件側 壓之前的期門、^才示準電壓後，在達到大於第1標準電 ^可以停止向該並聯電路輸送部分電流。 低逮開關=聯’可以具有以下跡 輪出部會以低於』= =流的變化’電流 閉、盘古Ha翰出電机產生變化的應答速度的速度開 且虚低ϋ ’與連接電阻並聯，且與低速開關並聯， 差值洌定:二二：’以高於電流輸出部的應答速度，按照 的輸出開閉。而且’當低通據波 :=鳴電_等後，低速開關可以接通 輪出而進行開閉的開關，該電肝置=據差值測疋部的 她電流的測定誠中 _Λ 4日守間的時間測定部。時間測定部可以且借姑，或 =方(η為正錄)整除的㈣單位來計算^ 的η 亡時間或者斷開時間的計數器與把利用計數器叶丄、 = =的接通時間或者斷開時間換算為類比值的Μ = 此外，還可以具備根據時間測定部測定得到的接通時 138〇8pjf 1316607 間或者斷開時間，以及輸出電流的電流值，計算出在測定 時間中的電子元件的平均消耗電流的消耗電流計算部。而 且’並聯負荷部在開關接通狀態下會消耗與輸出電流等量 的部分電流，消耗電流計算部也可以通過在測定時間中的 輪出電流的平均值乘以斷開時間所佔測定時間的比例，計 算平均消耗電流。 ° 消耗電流計算部可以進一步根據開關在接通狀態下的 部分電流的電流值計算出平均消耗電流。消耗電流計算部 還可以藉由從測定時間中的輸出電流的平均值中減去開關 在接通狀態下的部分電流的電流值與接通時間佔測定期間 的比例的積，計算出平均消耗電流。 還可以具備消耗電流測定部，用以根據預先規定的測 定期間中的輸出電流及部分電流值，計算測定期間中電子 元件的平均消耗電流。 根據本發明的第2形態，是一種測定電子元件的測定 裝置，具有電流輸出部，用以輸出至少部分含有電子元件 應該接收的電源電流的輸出電流、連接電阻，藉由將電流 f出部與電子元件進行電連接，向電子元件供給從電流輸 出部接收的㈣電流、低通纽器，具有比電料件接收 的電源電流變化的解數低_止解，使高於截止頻率 的頻率成分降低’並使電流輸出部的輪㈣壓通過、差值 測疋部H狀低通濾、波器的輸出電壓與連接電阻中近 似於電子元件的元件側端部的電位之_電位差、並聯負 荷部，與電流輸出部的輪出端相對並與連接電阻並聯連 13808pif 9 1316607 接，當差值測定部測定的電位差小於預定值時 流輸出部的部分輸出電流，當差值測定部測定的電 於規定值時，會停止接收從電流輪出部傳送的部法、 圖案部’用以生成電子元件應該輪入的測試圖案、作= 出部，用以向接收電源電流的電子元件供 ;心 ;:===’根據電子元件輪= 根據本發明的第3形態，是—種穩定向電子元件供认 的電源裝置之電源電壓的電源電_絲置， 晋: 有電流輸出部，用以輸出至少—部分中包 電^阶 出電流、連接電阻，藉由將電流輸出部與電子 輸出部接收的電源電流U該 電源電壓穩疋裝置具備低職波器、，具有 二 變化的頻率數低的戴止頻率，使高於截止頻率 的=成力降低，並使電流輸出部的輸出電壓 = =子=定低通滤波器的輸出電壓與連接電阻中Ϊ 電流輸出部的輸出端相對並與連接電阻= ΐ 測定部測定的電位差小於預定值時，會消耗 =的：特徵群=:==徵完全列舉 13808pif 1316607 根據本，明’可以對於電子元件進行高精度的測試。 【實施方式】 以卞通，發明的實施形態來說明本發明，但是所涉及 的申請I利範圍的發明並不只限於以下的實施形態，而 且’此實綱彡態巾介_所有的特徵組合鱗蚊為發明 的解決爭段所必需的。 圖1表不的疋與本發明的一種實施形態相關的測試裝 置100的、结構實施例和電子元件50。電子元件5〇是一個 例如Lf等的測試物件設備pup。本例的測試裝置1〇〇 是以在高精度下對電子元件5〇進行測試為目的的。測試裝 置100具有控制部110、電源部106、圖案產生部1〇2、信 號輸入邛104以及判定部1〇8。控制部控制電源部 106、圖案產生部102、信號輸入部1〇4、以及判定部應。 電源部106是向電子元件5〇供給電源電流的電源裝 置。而且，在本例中，電源部1〇6會測定向電子元件5〇 供給的電源電流的大小，並將測定結果傳送至判定部丨〇 8。 圖案產生部102會生成應該向電子元件5〇輸入的測試 圖案，並供給至信號輸入部1〇4。信號輸入部104向從電 源4 106接收電源電流的電子元件，利用例如延長規定 時間的方法’按照預歧定的時間供給測試圖案。 判定部108根據電子元件50按照測試圖案輸出的信 號’判定電子元件5〇 #良否。而且，在本例中，判定部 108根，電源部1Q6向電子元件5()施加的電源電流的大 小，判定電子元件50的良否。判定部1〇8可以具有計算電 13808pif 11 1316607 源電流的電源電流計算部的功能。根據本例，可以適當地 進行電子元件50的測試。測試裝置1〇〇可以具有測定電子 元件50接收的電源電流的電流測定裝置的功能。 圖2表示的是電源部1〇6的結構實施例與電子元件 50。電源部106具有大電流用電源2〇2、靜止電流測定用 電源204、複數的連接線206a、b、複數的電容器214、216、 開關208、以及複數的電阻21〇、212、218。而且，在本例 中，電子元件50作為電源電壓接收電容器216的終端電壓 Vo ° 在本例中，作為大電流用電源202的一部分的電流消 耗部306、複數的電容器214、216、開關208、以及複數 的電阻210、212、128被設置在使用者界面上。使用者界 面150是由把電流輸出部302與電子元件進行電連接的配 線所形成的印刷電路板的一例，例如，是·—種裁置電子元 件20的性能測試板。而且，測試裝置丨〇〇可以測定晶片狀 恶的電子元件50。此時，電子元件5〇與使用者界面15〇 可以通過例如測試卡進行連接。 大電流用電源202是第1電源供給部的一例，包含電 流輸出部302以及電流消耗部306。電流輸出部3〇2是向 電子元件50供給電力的裝置電源，例如通過按照控制部 110的指示輸出電壓，經過連接線206a、開關2〇8、電阻 210、以及電阻212，向電子元件施加至少為輸出電流的— 部分的第1電流iRl。在本例中，第i電流iR1為電子元 件50應該接收的電源電流i〇的一部分。 13808pif 12 1316607 田、肖耗部306為與本發明的電源電壓穩定裝置的一 穩疋電源#106向電子元件5〇供給的電源電壓。 :、’、定電源電壓’電流消耗部3〇6，例如按照控制部⑽ ^指:，使作為電流輸出部迎的輪出電流的部分電流江 ^向電子it件50與並聯電路並消耗。此時，大電流用電源 =2把攸輸出電流中去除部分電流IL的剩餘部分電流作為 第1電流iRl向電子元件5〇供給。 。。電流消耗部306根據電阻212產生的電壓，測定電容 器216的終端電壓Vq的降低。當測定出終端電壓％降低 時，電流消耗部306會停止部分電統的消耗。此時，大 電流用電源2G2通過把幾乎所有的輸出電流作為第1電流 iRW共給至電子元件50’來增加第i電流如。因此，根 據本例’可以保持電容II 216的終端電壓V。的穩定。而 且據此可以對於把終端電壓v〇作為電源電壓接收的 電子元件50進行高精度地測試。 、、靜止電流測定用電源204是第2電流供給部的一例， 通過设置在與開關208並聯電路之上的電阻218，向電子 元件供給小於第i電流iR1的第2電流iR2。而且，在本 例中’靜止電流測定用電源2〇4把輸出的第2電流iR2的 大小傳送至判定部1〇8。 複數的連接線206a、b，例如是一種同軸電纜，將電 流輸出部302及靜止電流測定用電源2〇4、與使用者界面 150進行電連接。在本例中，連接線2〇如將電流輸出部3〇2 與開關208進行電連接。連接線206b將靜止電流測定用電 13808pif 13 1316607 源204，電阻218進行電連接。 電容器214是平滑化電容器的， 毫a與電流輸出部地相連，另外 1通過連接線 器214會平滑化電流輪出部302所輪出的據此，電容 .電容_的這-端經過開關Ϊ 二 進行電連接。電容器214通過=:， 流1〇的一部分的第1電流iiu，在電阻 作為電源電 上游平滑化電源電流ί。。 M212之電流方向的 電容器216是元件側電容器的一例 2H的靜電容量。而且，電容器216的1通有過=電2= 電阻210、以及開關識，與電容器m進行電連接。據此， 電容器216，在電阻212之電流方向的下游平滑化第i電 流iIU。電容器216還可以平滑化電阻212向電子元件施 加的電源電流1〇。 開關208與電阻212串聯，設置在電容器214與電阻 21〇之間，當其接通時，弟1電流iRl會經過電阻21〇鱼 電阻212 ’從電容器214流向電容器216。在本例中，開關 208按照控制部11〇的指示，斷開或者接通。而且，當電 阻210兩端的電壓大於規定值時，儘管有控制部的指示， 開關208也會接通，第1電流iRl會流動。此時，可以防 止電容器216的終端電壓過低。 電阻210是第1電阻的一例，通過與開關208並聯， 可以限制大電流用電源202的輸出電流，使大電流用電源 202輸出第1電流iRl。而且，電阻210通過電阻212，與 13808pif 14 l3l66〇7 器216進行電連接，與開關208、電阻器216的一端 . 雷^連接。而且，據此，電阻21G與電容器214的一端、 兩谷器216的一端進行電連接，當開關208接通時，第1 机iRl從電容器214流向電容器216。 · 電阻212是連接電阻的—例，與電阻21〇串聯，設置 · 在電阻210與電子元件％之間。據此，電阻加將電流輸 出部302與電子元件5〇進行電連接，經過電阻21〇向電子 凡件50供給從開關2〇8接收的第】電流ifU。電阻可 以把從電流輸出部3〇2接收的第丨電流iR1作為電源電流 1〇的至少一部分，向電子元件50供給。 土而且，電阻212會向電流消耗部306施加根據第1電 流在兩端產生的電壓。此時，電阻212不是流動的電流的 絕對值，而是被用於測定電容器216的終端電壓的降低。 因此，電阻212可以為在使用者界面上形成的圖案電阻。 電阻212的電阻值，例如可以為5ιηΩ左右，例如可以是配 線的銅的厚度為35μιη，圖錢度為1Gmm，圖案長度為 l〇cm左右的圖案電阻。 _ 電阻218是第2電阻的一例，一端與電容器216的一 知j電連接，另一端通過連接線2〇6b ,與靜止電流測定用電 源204電連接。據此，電阻218把靜止電流測定用電源2〇4 與電谷态216的一端電連接。而且，電阻218具有比電阻 210更大的電阻值。據此，電阻218可以使靜止電流測定 用電源204輸出小於第1電流iRi的第2電流。根據本例， 可以適當地向電子元件50供給電源電流1〇。 13808pif 15 1316607 以下，關於電源部106及判定部108的工作情況進行 更加詳細地說明。在本例中，例如進行電子元件50的功能 測試時，開關208會處於接通狀態。此時’電源部106會 把第1電流iR1與第2電流1R2之和作為電源電流1〇，向 電子元件5〇供給。 此時，大電流用電源202及靜止電流測定用電源204 會向電子元件50施加根據電阻210與電阻218的電阻值之 比的第1電流iRl及第2電流iR2。判定部1〇8可以根據 從靜止電流用電源204傳來的第2電流iR2的大小與該電 阻值之比’計算出第1電流iRl的大小。據此，當開關208 處於接通狀態時，判定部108會根據電阻21〇的電阻值與 電阻218的電阻值之比、以及靜止電流測定用電源2〇4輸 出的第2電流iR2，計算出電子元件50接收的電源電流 1 〇。判定部1 〇 8可以計算出在功能測試中電子元件5 〇接收 的電源電流1〇。 在這裏，例如如果希望根據大電流用電源2〇2輸出的 電⑺1·°十算出第1電流iRl的大小，有時會由於電容器214 的靜電容量的雜產生誤差。但是，在本财，靜止電流 測定用電源204不經過具有大的靜電容量的電容器214， 向電子元件5 0供給第2電流i R2。因此，靜止電流測定用 電源204可以南精度地測定輸出的第2電流说2，並傳送 ^判疋部108。所以’根據本例，可以高精度地計算出電 子元件50的電源電流1〇。 而且’例如在進行電子元件5〇的靜止電流測試(_ 13808pif 16 1316607 測試)時，開關208會處於斷開狀態。此時，電源部108會 把第2電流iR2作為電源電流1〇，向電子元件50供給。 因此，開關208斷開時，判定部108會把靜止電流測定用 電源204輸出的第2電流iR2作為電子元件50接收的電源 電壓1〇計算出來。據此，判定部108會根據靜止電流測定 用電源204輸出的第2電流iR2計算出電源電流1〇。而且， 判定部108可以根據計算出來的電源電流1〇判定電子元件 50是否良好。根據本例，可以對於電子元件50進行高精 度的測試。 而且，作為平滑化電源電流1〇的電容器，如果例如使 用1個電容器來替代電容器214及電容器216，那麼當電 容器的容量小時，伴隨著電源電流1〇變化的電容器的終端 電壓的變動會加大，造成電子元件50的電源電壓不穩定。 而且，電容器的容量大時，對於電容器的終端電壓產生變 化時的恢復，會花費很多時間，有時很難適當地保持電子 元件50的電源電壓。 但是，根據本例，通過在電子元件50的附近設置平滑 化電源電流1〇的電容器216與平滑化進行功能測試時的大 的第1電流iRl的電容器214，例如在進行功能測試時， 可以降低根據電源電流1〇的變動而產生的電源電壓的變 動。而且，在進行靜止電流測定等時，例如可以通過斷開 開關208，來進行電源電流1〇的高精度測定。 在這裏，例如把電子元件50的電源電壓設置為2V 時，如果電源電壓變動的允許範圍設定為5%，再考慮0.5 13808pif 17 1316607 的裕度’電源電壓的變動需要在50mV以下。此時，例如 將功能測試中的功能消耗量設定為1〇n秒、峰值設定為 1A、峰值電流的流動期間設定為4n秒、大電流用電源2〇2 使電流產生變化所用的應答時間設定為5μ秒，那麼，電 容器214的靜電容量例如可以為(〇 4Α*5/ζ秒)/50Μν=40/ζ f。而且，電容器216可以根據第i電流iIU與第2電流iR2 之比，具有例如電容器214的十分之一以下的靜電容量。 而且，大電流用電源202可以輸出與開關208的接通 電阻與電阻210的電阻值之和呈近似反比例的第1電流 iRl。靜止電流測定用電源204可以輸出與電阻218的電阻 值呈近似反比例的第2電流iR2。 開關208的接通電阻與電阻21〇的電阻值之和同電阻 218的電阻值之比，例如按照測定的電源電流1〇的範圍， 要預先做出規定。開關208的接通電阻與電阻21〇的電阻 值之和，例如可以為電阻218的電阻值的1/10以上。此時， 靜止電流測定用電源204會輸出小於第1電流的w〇 的第2電流iR2。將進行靜止電流測試時的電源電流1〇的 最大值設定為10mA時，為了把開關由接通切換至斷開時 產生的電壓變動控制在50mV，電阻218的電阻值，例如 也可以為 50mA/10mA=5U。 而且’電源部106還可以具有測定在電子元件的功 能測試中向電子元件50供給的、電子元件5〇所消耗的電 源電流1〇的消耗電流測定部1 〇〇〇。在這裏，利用消耗電 流測定部1 〇〇〇測定電子元件50所消耗的電源電流1〇時， 13808pif 18 1316607 控制部110會使靜止電流用電源綱停止輪 iR2。 不‘电机 本實施形態相關的電源部1〇6，會根據例如功能 中預先規定的|£測期間中的電流輪出部3()2的雷亡 值，計算出測定期間中的電子元件5()平均消耗的電流。^ 這裏，電源部106進-步還可以根據測定期間中的部 流IL的值’計算出電子元件5〇平均消耗的電流。 消耗電流測定部1000具有時間測定部1_和消耗雷 流計算部麵。時間測定部1〇1〇會在電子元件％的^ 消耗電流的測定期間中，測定電流消耗部3%消耗的 電流IL的_或者停止雜的日摘。雜電騎算部卿 根據時間測定部1〇!〇測定的、電流消耗部3〇6消耗部分電 流1L的時間或者停止消耗的時間，以及電路輸出部302 輸出電流的錢值計算並顯示⑴収期財的電子元件 平均消耗的電流。而且，消耗電流計算部购會顯示 ^電流消耗部3 06消耗部分電流i L的時間或者停止消耗的 %•間相對於測定期間的比例。 圖3疋表示測s式裝置1〇〇的操作實施例的時間圖。在 2例中’測試裝置100進行初期設定以及/或者功能測試與 :止電流測試。據此，測試裝置1〇〇會測定大電源電流ι〇 二向電^元件50後的靜止電流。而且，測試裝置100在進 行了此靜止電流測試後，會再次進行初期設定以及/或者功 能測試與靜止測試。 進行初期設定以及/或者功能測試時，開關208處於接 13808pif 19 1316607 通狀態，電子元件50會接收作為電源電流1〇的、第】電 流lR1和第1電流iR1的1/10左右大小的第2電流iR2。 而且’電子兀件50會接收例如與同步信號同時變動的電源 電流1〇。此時，電容器216的終端電壓v〇會與電源電流 1〇同步，按照電源電流1〇的增減與負的關係進行增減。 在進行靜止電流測定時，在切換開關2〇8之前，判定 部108會測定電源電流1〇。而且’如果電源電流&在規定 ^範圍内(正常）’控制部m會通過切斷開關，來切斷 1電肌1IU。此時’電子7C件5〇會把第2電流iR2作為 電源電流Ιο接收。而且’判定部1〇8在測定電子元件5〇 =電源電流Ϊ。之後’控制部則會再次接通開關· 此，測試裝置110會結束靜止電流測試。 而且，測試裝置100會再次進行初期設定以及/或者功 開始下-次的靜止電流測試。此時，在控制部110 ，開開關應之前，判定部顺仍然會測定電源電流10。 =晨’例如電源電流I。大於規定值時等的電源電流1〇 ==的範_(異常）’控制部11G會保持開關2 t通狀態’電子元件5〇會繼續把第1電流制及第2電流 ^作為電源電流I。接收。據此’即使當電子元件5〇的 =止電流大於靜止電相定㈣源2q4的電祕給能力 守’也可以進行適當地靜止電流測試。 、計並且上其他2例中’可以不先進行電源電流1〇的 t ’而疋按照圖中虛線所示’斷 果電源電流〗。產生異常情況，喊隨著電容器216的終端 13808pif 20 1316607 電壓Vo的降低，電阻210的兩端的電壓會增大，儘管有 控制部110的指示’但是開關208也會使第1電流jR1流 動。此時，也可以向電子元件50適當地供給電源電流1〇。 圖4表示的是電流消耗部306的詳細的結構。在本例 中’電流消耗部306具有低通濾波器402、差值測定部412、 以及並聯負荷部304。低通濾波器4〇2、差值測定部412、 以及並聯負荷部可以設置在使用者界面15〇(參照圖2)上。 低通濾波器402包括電阻與電容器。該電阻與電阻212 上的電阻210附近的電源一側的端部、與該電容器的一端 連接。而且，該電容器的另外一端接地。據此，低通淚波 器402經過電阻210接收電流輸出部302(參照圖2)的輸出 電壓，降低其高頻率成分，向差值測定部412供給。 而且’希望低通濾波器402具有與電子元件5〇接收的 電源電流1〇產生變化的頻率相比較低的截止頻率。此時， 低通濾波器402會降低高於截止頻率的頻率成分，並使電 流輸出部302的輸出電壓通過。而且，在本例中，低通淚 波器402會作為電流輸出部302的輸出電壓，接收電阻212 的電源一側端部的電壓Vi，並會把使電壓Vi的高頻率成 分降低的電壓Vp供給至差值測定部412。 差值測定部412包含電壓隨耦器404、標準電壓輸出 部406、比較部414、標準電壓設定部408、以及負荷驅動 部410。電壓隨耗器404是輸出電壓負返回的增幅器。電 壓隨耦器404正向接收低通濾波器402的輪出電壓，並把 與此輸出電壓相等的電壓施加至標準電壓輪出部406。 13808pif 21 1316607 標準電壓輸出部406具備電壓隨耦器404的輸出、和 與接地電位之間串聯的複數的電阻502、504、506。標準 電壓輸出部406把電阻502與電阻504之間的節點的電位 作為向比較部414施加的電壓輸出。據此，標準電壓輸出 部406會根據複數的電阻502、504、5〇6的電阻值比，輸 出把低通濾波器402的輸出電壓分壓後的標準電壓。 而且，標準電壓輸出部406在電阻504與電阻50ό之 間的節點接收標準電壓設定部408輸出的電壓。據此，標 準電壓輸出部406會按照標準電壓設定部4〇8輸出的電 壓，輸出第1標準電壓或者第2標準電壓中任何一個。 比較部414正向接收標準電壓輸出部4〇6輸出的標準 電壓，負向接收在電阻212上的接近於電子元件5〇的電子 =件一側端部的電位。據此，比較部414會比較該標準電 壓與電子元件一側端部的電位。差值測定部412可以利用 經過電壓隨耗器4〇4及標準電壓輸出部接收低通淚波 器402的輸出電壓，來測定低通濾波器4〇2與電阻 電子元件一側端部的電位之間的電位差。而且，比較 ^比較結果，通過例如整流子開啟輪出，向標準4 定部408施加。例如，在比較部414中，當正向輸设 位大於負向輸入的電位時，會開啟輸入，當正向輸入：電 位小於負向輸人的電位時，輸出會接地。 的電 牡不例甲 電容器216的一端連接。因此 % ItH- L\l 、J电十兀仟一側端部會今 ^ ^ 裝置—側端部的電位與逾 Μ 216的終端電壓ν〇相等。比較部414可以比較低^ 138〇8pif 22 1316607 濾波二的輪出電壓與終端電壓v〇。 不壓彀定部.具有穩壓電 電阻51G、518,電源508輸出複數的 端。電阻極與比較部414的輪出 406上的電阻5〇6的上^端4。1出端與標準電壓輸出部 開輸=懕當ί端電壓小於標準電壓時，比較部414會打 510、518，2此標準電壓設定部4〇8會經過複數的電阻 雷颳 °電阻506的上游端施加穩壓電源508輸出的 CC此^ ’標準電壓輸出部406會根據電壓隨轉器 的輸出電壓、複數的電阻502、504、506、510、518 的電阻值比以及穩壓電源508輸出的電壓Vcc，輸出第 標準電壓。 而且’當終端電壓大於標準電壓時，比較部414會將 輸出電壓接地，因此標準電壓設定部408會經過電阻518 將電阻506的上游端接地。此時，由於電阻506的上游端 的電位會降低，標準電壓輸出部406根據電壓隨耦器404 的輸出電壓、以及複數的電阻502、504、506、510、518 的電阻值比，輸出小於第1標準電壓的第2標準電壓。 據此，當電容器216的終端電壓Vo大於第1標準電 壓時’標準電壓設定部408會根據比較部414輸出的電壓’ 使標準電壓輸出部406輸出第2標準電壓。而且’當終端 電壓Vo小於第2標準電壓時，標準電壓設定部4〇8會使 標準電壓輸出部406輸出第1標準電壓。標準電壓輸出部 13808pif 23 1316607 406會根據標準電壓設定部48 的變化的標準電壓。 的輪出’輸出具有滯後現象 標準電壓設定部姻會向負荷,_部·
二與電阻518之間的節點部的電位Va。因此，電容器216 的終端電壓Vo小於標準電壓輸出部4%輸出的標準電壓 時，標準電壓設定部408會按照比較部414的輸出，向負 荷驅動部410施加Η信號。而且，終端電壓％大 電壓時’標準電壓設定部撕會向負荷驅動部410施加L 信號。據此，標準電壓設定部408會向負荷驅動部4i〇施 加比較部414的輸出電壓。 負荷驅動部410，例如是一個反向電路，它可以使經 過標準電壓設定部408接收的比較部414輸出的電壓產Z 反向’並向並聯負荷部304施加。據此，負荷驅動部41〇 會向並聯負荷部304施加按照電容器216的終端電壓ν〇 與標準電壓的比較結果的信號。在本例中，當終端電壓v〇 大於標準電壓時，負荷驅動部410會輸出Η信號；當終端 電壓Vo小於標準電壓時，負荷驅動部410會輸出l信號。 據此’差值測定部412會測定低通濾波器402的輸出電壓 與電容器216的終端電壓Vo之間的電位差，並將測定結 果傳送至並聯負荷部304。 而且，負荷驅動部410的輸出電壓會向時間測定部 1010供給。負荷驅動部410會根據負荷驅動部41〇輸出的 信號測定電流消耗部3 06消耗電流IL的時間或者停止消耗 的時間。 13808pif 24 1316607 並聯負荷部304包括低速開關512、電阻514、以及高 速開關516。低速開關512是一種與電流輸出部302的應 答速度相比低速開閉的開關，通過一端與連接線2〇6a相 ^ ’與電阻212並聯。據此，並聯負荷部3〇4與電流輸出 部302的輸出端相對，與電阻212並聯。而且，低速開關 ^2 ’例如按照控制部11〇的指示開閉。在這裏，電流輸出 邛302的應答速度是指，例如相對於電子元件刈接收的電 源電流Ιο的變化’電流輸出部3〇2變化輸出電流的速度。 1速開關512 ’例如可以為Μ〇_τ等的半導體開關。此 低速開Μ ’例如可以經過電阻接收控制部11〇的輸出 SW 〇 _ ί阻514在低速開關512的下游與低速開關512串 部彻f*電ρ且512會經過高速開關516消耗從電流輸出 部302接收的電流。 在開關516在電阻514的下游，與電阻514串聯， 撼t線端接收負荷驅動部410的輪出的Ν型MOSFET。 ^ =開關516會根據差值測定部412的輸出開閉。 關516以高於電流輪出部搬的應答速度的 ==。當電容器216的終端電壓％大於標準電壓時， 问速開關516會接通。當故陣 高速開關训會斷開。高速；^f6VG小於標準電壓時’ 且與低軸512«關16可_阻212並聯， 阻Sit裏’低速開關512及高迷開關516接通時，在電 4中，電流輸出部302的部分輪出電纽會流動，並 13808pif 25 1316607 聯負荷部304會消耗該部分電流il。而且，例如高速開關 516接通時，並聯負荷部304會停止消耗部分電流IL。因 此、、’；i^電墨Vo降低時，電流消耗部會增大流向電 阻212的電流。據此’電流消耗部306會提高終端電壓Vo。 因此’在本例中’可以保持電子元件50的電源電壓的穩定。 例如’如果不使用電流消耗部3〇6，而向電子元件5〇 供給電流輪出部302輪出的電流，則電容器216的終端電 壓有時會根據電子元件50的電源電流1〇的變化增大。例 如，备電源電流1〇臨時增大時，終端電壓v〇有時會由於 負尖峰造成臨時地大幅度降低。當電源電流1〇臨時減少 日守’終端電壓Vo有時會由於負尖峰造成臨時地大幅度增 大。此時電子元件50的電源電壓有時會不穩定，很難進行 適當的測試。而且，由於近年來細微化技術的發達。例如 MOSFET的閘極耐壓有時會降低’電源電壓的峰突會產生 問題。 但是根據本例，通過使用電流消耗部3〇6，可以根據 電子元件50的電源電流ι〇的變化，適當地變化從電流輸 出部302向電容器215流動的電流。而且，據此，可以保 持電子元件50的電源電壓的穩定。 而且，由於在測試裝置上，需要多數的連接線2〇6， 所以，例如從封裝的限制方面來看，有時擴大連接線2〇6 的配線寬度是很困難的。而且，在電子元件5〇的附近配置 電流輸出部302，有時也很困難。此時，即使通過例如反 轉電谷器216的終端電壓Vo來校正電流輪出部302的輸 13808pif 26 1316607 出電壓’對於電流輸出部302的應答速度，也有例如建立 在，接線206的電感基礎上的限界。但是，根據本例，通 過高速開關516的接通與斷開的切換，可以適當、高速地 使電容器216接收的電流產生變化。 而且’電子元件50的電源電壓有時會與測試項目、電 =兀件50的品種相異。此時，需要使向比較部414施加的 ‘準電壓隨著電子元件50的電源電壓變化。在這裏，如果 把此標準電壓輸出至例如電流輸出部3〇2以外的電子元 件，由於例如測試裝置之間、使用者界面之間產生的誤差， 有k不能得到充分的精度。而且，如果另外設置校正誤差 的校正電路’會增大電路的規模。 但是，根據本例，標準電壓輸出部4〇6會根據電流輸 出部302的輸出電壓生成標準電壓。因此，根據本例，在 使電子元件50㈣源電塵產生變化時，也可以生成適當的 標準電壓。 而且，在本例中，差值測定部412會經過低通濾波器 4〇2接收電流輸出部302的輸出電壓。此時，即使電阻2 1電源側端部的電位Vi根據例如電源電流1〇的變化，臨 產生變化時，也可以穩定地生成標準電壓。在這裏，例 如低通濾波器402具有2kHz左右的戴止頻率時，電源側 端部的電位Vi變動100mV左右時，為了把輸出的變動控 制在ImV，低通濾波器402可以具有例如_4〇北左右的特 性。 此時，在本例中的RC —段結構的低通濾波器4〇2中， 13808pif 27 1316607 成為-地的頻率數成為2〇Hz，RC的時間常數丫為8m秒 左右。此時，例如變更向電子元件5 Q施加的電源電 由於達到使標準電_定在⑽左右的精度的務定時 間’例如6.9*T=55m秒左右，對測試時間的影響报小。、 而，，當電子元件50的電源電流1〇 $ 1A、電容器 216的靜電谷篁為3〇μί時，電容器216的終端電壓％，例 如l〇〇n秒就會降低3mV左右。此時，作為比較部414， 例如可以使用價格便宜的通用比較器。 此外，在其他實施例中，並聯負荷部3〇4可以包括. 例如可以利用開關等選擇的、複數的電阻514。此時，例 如控制部110可以按照例如電子元件5G的品種選擇一個電 阻514。低速開關512與高速開關516可以與選擇的電阻 514連接。而且，並聯負荷部304可以代替電阻514，包含 例如恒定電流電路。 圖5是表示電流消耗部306的工作情況的時間圖。在 士例中，電流輪出部302在時刻T1時開始工作 〇的電壓。據此’ t流消耗部3〇6開始卫作。而且，低通 的輪出電壓VP穩定後，在時刻T2，根據信號 、曼化低速開關512會接通，並聯負荷部3〇4開始 二耗部^電流IL。低速開關5i2可以在低通濾波器4〇2的 雨出電壓Vp與電流輸出部302的輸出電壓略等後， 接通狀態。 而且，低迷開關512可以利用例如通過電阻接收信號 sw，如圖中虛線部分所示，徐徐地接通。並聯負荷部3⑽ 138〇8pif 28 1316607 可以從時刻T2開始向時刻τ 而且，截止到_ Τ4心二你地〜大電流IL。 後，如果對於電子元件50開始測^速^關512穩定的時間 端電壓Vo會根據電子元件5〇的D ’於電容器216的終 開關516會根據終端電壓v = =化’高速 負荷部鮮;肖耗由此產生的:=l或f :開’並聯 耗部=可以穩定電子料如的電據此’電流消 速開關512的韁，， 會斷開’至時刻Τ8達到低 降至〇。而日間後’電流輸出部302會把輸出電壓 νρ降低後據這一點’低通濾波器402的輸出電壓 ^ t時刻T9 ’電流消耗部306工作結束。此外， 可以肖耗部3G6的工作—旦結束後，測試裝置100 例如專待低通濾波器402的穩定時間，開始下一次測 二根據本例’可以保持電子元件5〇的電源電流！〇的穩 〇 y *圖6是表示從時刻T4開始至τ5的電流消耗部3〇6的 千'、田工作情况實施例的時間圖。在此期間中，電容器216 、、、、';電壓Vo會根據電子元件5〇的工作情況，例如重複 進行增大及減少。 在這晨’標準電壓輸出部406會根據比較部414的輸 出Va ’輸出第1標準電壓VH或者第2標準電壓VL。例 如’如時刻T41所示，當終端電壓v〇降低第2標準電壓 L時’比較部414會把輸出Va反轉為Η信號。而且’在 138〇8pif 29 1316607 ^時刻T41略晚的時刻T42時，並聯負荷部3〇4會根據負 :驅動部410的輸出，停止消耗部分電流比。此時，從電 流輪出部302流向電容器216的電流會增大，電容器216 的終端電壓Vo會上升。 此時，例如，當終端電壓Vo小於第2標準電壓VL後， 至大於第1標準電壓VH的期間，並聯負荷部304可以停 士在與電阻212並聯的電路中流動部分電流扎。當差值測 疋部412測定出的電位差大於預先規定的值時，並聯負荷 部304可以停止從電流輸出部3〇2接收部分電流α。、 而且，例如，如時刻T43所示，當終端電壓v〇升高 第1標準電壓VH日寺，比較部4H會把輸出Va反轉為L 仏旎’在比時刻TO稍晚的時刻Μ中，並聯負荷部綱 會按照負荷驅動部410的輸出開始消耗部分電流江。此 時，從電流輸出部302流向電容器216的電流會減少，電 容器216的終端電壓Vo會降低。 此時，並聯負荷部304可以根據比較部414的輸出， 在電容器216的終端電壓V〇大於第丨標準電壓^後，至 小於第2標準電壓VL的期間，通過在與電阻212並聯的 電路中流動來雜部分電流IL。當差值測以卩412測定出 的電位差小於預先規定的值時，並聯負荷部3〇4可以消耗 部分電流IL。 據此，電流消耗部306可以在適當的範圍内穩定電容 器216的終端電壓Vo。因此，根據本例，可以保持穩定的 電子元件50的電源電壓。 13808pif 30 1316607 所示而中’測試結束後’例如，，^ 耗部分電流1l。據此，可以防止終 圖:為表示靜止電流測定用電源2〇4的結構實施例。 ’靜止電流測定用電源綱具有增幅器602、電 谷裔604、增幅器606以及複數的電阻。 电 m2 Π通過電阻_進行負反轉，經過電阻_ 1 合從控制部11G正向接收的電壓的輸 =電堡。據此，增幅器602會輪出根據控制部11〇指示的 電屋。電容器604通過與電阻_並聯，防止增幅器6〇2 的振蕩。 增幅器606與複數的電阻構成差動增幅器（減法電 路）。增幅器606經過電阻正向接收控制部n〇向增幅器 ⑹2施加的電壓，經過電阻負向接收增幅器觀輸出的電 壓。而且，增幅器606會把正向及負向分別接受的電壓的 差值傳送至判定部1〇8。 在這裏，被負反轉的增幅器602的負向輸入的電位與 從控制部110正向接收的電位相等。因此，電阻6〇8會流 出控制部11〇向增幅器602施加的電壓、以及與增幅器6〇2 輸出電壓的差值成比例的電流。據此，靜止電流測定用電 源204會向連接線206b輸出與此差值成比例的輸出電流。 根據本例’由於增幅器606會把此差值傳送至判定部 108 ’判定部1〇8可以根據此差值以及電阻6〇8的電阻值， 13808pif 31 1316607 計算出靜止電流測定用電源204的輪出電流。 圖8表示的是為開關208的結構的實施例。在本 開關208具有MOSFET702、電阻7〇4以及複數的二_ 7〇6、。MOSFE·在錄端子及源極端子與電容， 214以及電阻210連接，處於接通時，會經過電阻2ι〇丄 電阻212向電容器216施加從電容器214接受的電流。 且，MOSFET702的閘極接線端會經過電阻7〇4與控制呷 連接。據此，可以按照控制部110的指示， 速度接通或者斷開MOSFET702。而且，據此，可以二如 在電容器216的終端電壓Vo上’防止尖峰狀的雜訊產生。 在這裏，例如MOSFET702的閘電容為4〇〇〇pF時，如 果電阻704的電阻值為100Ω，該柵電容及電阻7〇4的電阻 值k成的RC電路的時間常數r =0.4μ秒左右，如果把穩定 日π間设疋為1〇 r來考慮，可以在4#秒左右的時間進;^開 關208的接通與斷開的切換。 而且，MOSFET702是處於接通狀態時，把電容器214 與電容器216進行電連接的MOS電晶體的一例。而且， 電阻704是一端與MOSFET702的門接線端電連接，另外 一端接收控制電阻704的控制信號的閘電阻的一例。 二極體706在MOSFET702的源極端子與沒極端子之 間，與從電容器214向電容器216方向的相反方向上連接。 據此’例如電流輸出部302(參照圖2)降低輸出電壓時，二 極體706會迅速向電容器216放電。 二極體708在電容器214與電阻212之間，與 13808pif 32 1316607 MOSFET702以及電阻210並聯，與從電容器214向電容 器216的方向相反方向上順向連接。據此，例如電阻21〇 的兩端的電壓大於二極體708的臨界電壓時，二極體708 會不根據MOSFET702的狀態’使電流從電容器214流向 電容器216。據此，二極體708可以防止電容器216的終 端電壓過度降低。根據本例，可以適當地連接電流輸出部 302與電容器216。二極體708，例如可以為蕭特基二極體。 並且，如利用圖3的說明，在靜止電流的測定之前，在測 疋電源電流1〇的結構中，例如也可以省略二極體7〇8。 圖9表示的是電源部1〇6的結構的其他實施例與電子 t件50。在本例中，電源部1〇6具有大電流用電源2〇2、 靜止電流測定用電源2〇4、複數的連接線2〇6a〜c、複數的 電容器2M、複數的開關·、252、254、以及複數的電阻 210、218。而且’除了以下說明的幾點以外，由於在圖9 中’、附帶與圖2相同的符號的結構具有與圖2中的結構同 —或者同樣的功能，所以省略說明。 狄项時，經過連接線2%c 和大電流用電源202雷诖桩。
冤連接開關252在接通時’經過連 接線206c與電容器J ++一 T 電用電源2〇2電連接。開關 _ ^ 以按照控制部110的指示，接通或者斷 開0 雷經過開關252或者開關254，接形 ，益216的、、、端電壓Vp或者電容器μ的終端· V〇，並使此類的輪出電壓產生變化。此時，大電流 13808pif 33 1316607 202可以高精度地輸出電壓。而且，在本例中，根據靜止 電流測定用地電源204輪出的第2電流iR2，可以高精度 地計算出電源電流1〇。因此，根據本例，可以對於電子元 件50進行高精度地測試。 圖10表示的是電源部1 〇6的結構的更多的實例以及電 子元件50。在本例中’電源部1〇6具有大電流用電源2〇2、 複數的連接線206a〜d、複數的電容器214、216、以及電 阻212。而且，除了以下說明的幾點以外，由於在圖1〇中， 附帶與圖2相同的符號的結構具有與圖2中的結構同一或 者同樣的功能，所以省略說明。 在本例中’連接線206b與電流輸出部302中的接地端 子、使用者界面150中的接地端子電連接。據此，電流輸 出部302與使用者界面15〇進行高精度地、共同接地。而 且，連接線206c與電容器216的一端、電流輸出部302 電連接。連接線206與電子元件5〇的接地端子、電流輸出 部302電連接。 電流輸出部302包括複數的電壓隨耦器804、8〇6、增 幅為802、以及複數的電阻。電壓隨耦器8〇4經過連接線 2j6c與電容器216連接，向增幅器的負向輸入施加與電容 器216的端子電壓Vo相等的電壓。電壓隨耦器 806通過 連接線206d，與電子元件50的接地端子連接，向增幅器 802的正向輸入施加與電子元件5〇的接地端子產生的電壓 相等的電壓。 增幅器802經過電阻正向接收控制部11〇輸出的電 13808pif 34 1316607 壓’並把此類電壓經過電阻向連接線206a輸出。在這裏， 增幅器802利用經過電壓隨麵器804及電麈随耦器806接 收符合輸出電壓的在電容器216中生成的終端電壓Vo及 電子元件50的接地端子的電壓。因此，根據本例，可以高 精度地控制增幅器802的輸出電壓。而且，在本例中，利 用電流消耗部306也可以穩定地保持電容器216的終端電 壓Vo。因此，根據本例，可以對於電子元件5〇進行高精 度地測試。 圖11表示的是時間測定部1〇1〇的結構。與本實施形 態相關的時間測定部1010通過測定電子元件5〇的平均消 耗電流的測定期間中高速開關516的斷開後的斷開時間， 來測定電流消耗部3 〇 6停止消耗部分電流！ L的時間。 時間測定部1010具有邏輯電路1110、計數器、 暫存器1130、DA變換器114〇。邏輯電路111〇在高速開 關斷開期間’向計數器112G供給例如賴裝置⑽的標準 時鍾等的同步信號。更加具體來說，邏輯電路111〇輸=電 流消耗部3〇6内的負荷驅動部剔輸出信號的反轉值與同 步信號^邏輯積。據此’邏輯電路111〇在負荷驅動部楊 輪出L信號期間、即高速開關516斷開期間，向計數器112〇 供給同步信號。 °σ 什數為1120根據高速開關516斷開期間從邏輯電路 mo供給的同步信號，統計在測定期間中的高速開關 的斷開時間。更加具體來說，控制部11G會在測定期間開 始之前向計數器1120輸入重置信號。接到重置信號後，計 13808pif 35 1316607 ^ U20會對統計值進行初始化。然漫，控制部n〇在測 ^間中’向開始/停止信號供給H邏輯。接到h邏輯後， 1120啟_計功能’統計從邏輯電路niG供給的 问步信號。而且，控制部11〇在測定期間結束後，會 信號作為L邏輯。接到L邏輯後，計數器謂停 止統計。 錚J ti l數器112 〇輪出的統計值作為資料登 収結束時進行儲存，作為資料輸出信 輸出。更加具體來說’暫存器咖在測定期間 值開號由H邏輯變化為L邏輯時儲刪 輪出。 或者復數位心作為資料輸出信號Do da變換器把計數器、112〇統計的 子的的:速開關516的斷開時間轉換為類比值。 2的η -欠方(n A j部110把測定期間設定為同步信號的 時間除以2的t二二 =數器112〇會按照測定 統計值中從定時間，把 定期間的高速門^3麼統計值可以作為相對於測 替的斷開時間所㈣比例使用。 气上隋況’如果把邏輯電跟m/A： a & , 動部410輪出的作號盥 U〇作為輪出負荷驅 H、门步仏遗的邏輯積的邏輯電路 13808pif 36 1316607 (AND邏輯）’那麼可以測定高速開關516的接通 代高速開關516的斷開時間。
圖12表示的是消耗電流計算部1020的結構實施例。 消耗電流計算部1020根據利用時間測定部1〇1〇测定的高 速開關516的接通時間或者斷開時間與電流輸出部3犯= 出電流的電流值，計算並顯示出在功能測試中的測定時間 中的電子設備50的平均消耗電流。在本例中的消耗電流計 算部1020，在高速開關516接通的狀態下，可以在並聯負 荷部304肖耗與電流輸出部302的輸出電流等量的部分電 流IL時使用。 本例中的消耗電流計算部1〇2〇可以通過測定期間中 的電流輸出部302的輸出電流的平均值乘以相對於測定期 間的南速開關的斷開時間所佔的比例，計算出平均消耗電 流。消耗電流計算部1020含有乘法器1200、顯示部Π10 和電壓計1220。
乘法計算器1200從電流輸出部302輸入測定期間中的 電流輸入部的輸出電流的平均值，而且，經過暫存器 1130輸入計數器1120的統計值。乘法計算器12〇〇通過測 定期間中的輸出電流的平均值與測定期間中的高速開關 516的斷開時間所佔的比例相乘，計算出電子元件50的平 均消耗電流。顯示部1210顯示乘法計算器1200計算出的 電子元件50的平均消耗電流。 電壓計1220測量、顯示DA變換器1140輸出的類比 信號的電壓。在這裏，消耗電流測定部1000的使用者會讀 13808pif 37 1316607 取DA變換n 1140的輸出電壓，計算出其在測定期間中的 ，大統計值(2的η次方)對應的Da變換器的輸出電 壓^所佔的比例’同時’如果讀取電流輸出部3〇2的輸出 電壓的平均值，相根據這絲值，麟法計算器mo -樣’ rj*算出電子元件5〇的平均消耗電流。在這裏，由於 DA雙換杰114〇與電壓計122〇可以通過i根類比信號連 接，與配線相比’可以簡單地實現數位信號。 圖13表示在利用圖11與圖12中表示的時間測定部 i0= f消耗電流計算部1020，測定電子元件50的平均消 耗電^時的測定_中的電流消耗部306的讀情況的實 壯ΐ本例t，並聯負荷部304在高速開關516處於接 "、下、’祕與電流輸出部302的輸出電流IDPS等 二電&種狀態可以在電子請50沒有工作 時的消耗電流幾乎為〇Α時得到。 作。ίΓΓ ^ 3在測定期間中進行符合功能測試的工 一，二二D子兀件5〇輪入的電源電流1〇如圖13所 I作二、认及从之間變動，根據電子元件50的 負荷驅動部·的輸出c產生變化。而且’ 通或者斷開的任二；:16可以適當地切換至接 > 术抑制終端電壓Vo的變動。 奸t m6處於純崎㈣，部分電祕會成為 二=UPS相同的值(在本例中為2A)。另一方面， 在尚速開關516處於斷開的狀態時，部分電流亿為〇A。 13808pif 38 1316607 所以，電子元件50的電源電流Ιο的平均值，即電子元件 50的平均消耗電流可以根據以下的公式（1)計算。 1〇的平均值=IDPS的平均值 間） x(高速開關516的斷開時間/測定护 ⑴ 文 所以’消耗電流計算部1020通過測定期間中的輸出 流IDPS的平均值與測定期間中的高速開關516的斷開 間所佔的比例相乘，可以計算出電子元件5〇的平均消耗電 流。而且，消耗電流測定部1000的使用者可以從電流輸出 β 302 3買取輸出電流IDPS的平均值’從電愿計1220钱取 高速開關5]ό的斷開時間的比例’計算電子元件5〇的平 消耗電流。 = 圖14表示消耗電流計算部1020的結構的其他實施 例。與本例相關的消耗電流計算部丨020會根據時間測定^ 1 〇 10測定的高速開關516的接通時間或者斷開時間、輸出 電流的電流值、高速開關516處於接通狀態中的並聯負荷 部304的部分電流的電流值’計算並顯示出功能測試的測 定時間中的電子元件5 0的平均消耗電流。在本例中的消耗 電流計算部1020可以在高速開關516處於接通狀態時，並 聯負荷部304消耗與電流輸出部3〇2的輸出電流不同的部 分電流IL時使用。 在本例中的消耗電流計算部1〇2〇通過從測定期間中 的輸出電流的平均值中減去高速開關5〗6處於接通狀態時 的部分電流的電流值和測定時間中接通時間所佔比^的 13808pif 39 1316607 邻Hi平觸耗電流。與本__、;肖耗電流計算 ^咸法計算器_、乘法計算器_、顯科 1220縣2 mG。在這裏’由於顯示部121G及電壓計 _ 圖12中所示的顯示部1210及電壓計1220相 同的功此與結構，所以省略說明。 的斷==算器1400通過從測定時間中減去高速開關516 =斷開Ν·間’來計算出高速開關516的接通時間。進一步 ^體說明’減法計算器剛通過從測定時間的迴圈數量的 次方中減去高速開關516斷開的迴圈數量、即通過 暫存器1130供給的統計值，來計算出高速開關516接通的 ，圈數量。在這裏，減法計算器〗的輸出，也可以作為 相對於測定期間的高速開關516的接通時間所佔的比例使 用0 乘法a十算器1410計算高速開關S1G處於接通狀態中的 部分電流IL的電流值與減法計算器14〇〇輸出的、相對於 測定期間的高速開關516的接通時間所佔的比例的乘積。、 減法計算器1420會從測定期間中的電流輸出部3〇2的輪 電流IDPS的平均值中減去乘法計算器141〇輸出的積。 圖15表示利用圖11及圖13表示的時間測定部1〇1〇 及消耗電流計算部1020測定電子元件5〇的平均消耗電节 時的測定期間中的電流消耗部306的工作情況。在本ς 中，並聯負荷部304’在高速開關516處於接通的狀態下， 消耗小於電流輸出部302的輸出電流IDps的部分電流 IL。此狀態可以在即使電子元件5〇沒有工作時消耗電流^ 13808pif 40 1316607 為〇A時得到。 結果電期間中，按照功能測試進行工作。 如圖15所示，例 懕垃w 八之間熒動，電容器216的終端雷 心心二子s元二。了的二作情況變化。而且，負荷驅動部 的任何可以適當地切換至接通或者斷開 的任個’來抑制終端電壓νο的變動。 阿迷開關516處於接通的狀態時 小於輸出電流H)PS(在本例中A 刀電"，]L會成為 2A)。另p 例中為3A)的值（在本例中為 分H 速開關516處於斷開的狀態時，部 會成為0Α。所以，電奸件5〇的平均消耗電流 了以根據以下的公式(2)計算。 1〇的平均值=iDps的平均值 斷開時間/測定時間_接通時=Χ[1-(高逮開關516的 為（令、^於[1_(同速開關516的斷開時間/測定時間 以消耗電流 中減去高速開關二 值與相對於測定«的接下的部分電流IL的電流 出雷早W : 時間所佔比例的積，可以計算 画的使財而且’ _流測定部 的平均值，從電壓計122：^出!702讀取輸出電流idps 卞 α貝取咼速開關516的斷開時間所 13808pif 1316607 邻’根據通些值及南速開關516處於接通狀態下的 心的電録計料電子元件5㈣平㈣耗電流。 w t 所示㈣麵，即使在功能測 :ϋ當地接通用於抑制電子元件50的電源電塵變動的 關训的情況下，也可以根據電流輸出部搬的輸 ，:、、南速開關516的接通時間或者斷開時間、以及/ 5回逑開關516處於接通時的部分電流，計算出電子元 ^ =的平均雜電流。據此，即使在從電流輸出部搬 ^出-定的輸出電流’伴隨著電子^件％的工作，適去 地消耗部分電流的環境中，也可以適當地測定出電子元^ 50的平均消耗電流。 以上是利用實施的形態介紹了本發明，但是本發明的 技術範圍並不只限於上述實施形態所記載的範圍^上 實施形態巾，可崎行多樣的變化或者實施改良，這—點 本技術領域具有通常知識者都應明瞭。這些變化或者實施 的改良包含在本發明的技術範圍内，這—點從申請 = 圍的記載中可以明瞭。 ^ 產業上利用的可能性 利用本發明，可以對於電子元件，進行高精度地測 【圖式簡單說明】 圖1為表示與本發明的一個實施形態相關的測試 100的結構實施例的圖。 、 圖2為表示電源部1〇6結構實施例的圖。 圖3為表示測試裝置1〇〇工作實施例的時間圖。 13808pif 42 1316607 圖4為表示電流消耗部306的詳細構成實施例的圖。 圖5為表示電流消耗部306的工作情況實施例的時間 圖。 圖6為表示電流消耗部306的詳細工作情況實施例的 時間圖。 圖7為表不靜止電流測定用電源204的結構實施例的 圖。 圖8為表示開關208的結構實施例的圖。 圖9為表示電源部106的結構的其他實施例的圖。 圖10為表示電源部106結構的其他實施例的圖。 圖11為表示時間測定部1010的結構的圖。 圖12為表示消耗電流計算部1020的結構實施例的圖。 圖13為表示測定期間中電流消耗部306的工作情況實 施例的時間圖。 圖14為表示消耗電流計算部1020的結構的其他實施 例的圖。 圖15為表示測定期間中電流消耗部306的工作情況的 其他實施例的時間圖。 【主要元件符號說明】 50 :電子元件 100 :測試裝置 102 :圖案產生部 104 :信號輸入部 106 :電源部 13808pif 43 1316607 108 :判定部 110 :控制部 150 :使用者界面 202 .大電流用電源 204 :靜止電流測定用電源 206a :連接線 206b :連接線 208 :開關 210 :電阻 212 :電阻 214 :電容器 216 :電容器 218 :電阻 252 :開關 302 :電流輸出部 304 :並聯負荷部 306 :電流消耗部 402 :低通濾波器 404 :電壓隨耦器 406 :標準電壓輸出部 408 :標準電壓設定部 410 :負荷驅動部 412 :差值測定部 414 :比較部 13808pif 44 1316607 502 :電阻 504 :電阻 506 :電阻 508 :穩壓電源 510 :電阻 512 :低速開關 514 :電阻 516 :高速開關 518 :電阻 602 :增幅器 604 :電容器 606 :增幅器 608 :電阻
702 ： MOSFET 704 :電阻 706 :二極體 708 :二極體 802 :增幅器 804 :電壓隨耦器 806 :電壓隨耦器 1000 :消耗電流測定部 1010 :時間測定部 1020 :消耗電流計算部 1110 :邏輯電路 13808pif 1316607 1120 :計數器 1130 :暫存器 1140 : DA變換器 1200 :乘法器 1210 :顯示部 1220 :電壓計 1400 :減法器 1410 :乘法器 1420 :減法器 13808pif 46