1291915 (1) 玖、發明說明 【發明所颺之技術領域】 本發明係關於一種具有可收縮且可伸長之臂部之機械 手機構，尤其係關於一種採用一臂驅動機構之機械手機構 ，該臂驅動機構係用以驅動臂部，俾使其呈現收縮及伸長 姿態。 【先前技術】 到目前爲止，在半導體製程中已有提出各種不同的習 知機械手機構，其中該機械手機構係可使臂部收縮及伸長 ，以握持工件，亦即，.待處理物件。這些物件係可包括， 例如，晶圓及其他精密零件，其可藉由機械手機構來加以 握持，然後卸載於一工作平台上。 此類習知的機械手機構之一典型的例子，係揭露在曰 本特許公開專利公告第2000-222488號中，且顯示在圖 I6中。此一顯示在圖16之習知機械手機構910係包含一 第一握持構件951、一第二握持構件952、一第一機械手 91〇a及一第二機械手910b。 第一握持構件95 1係用以支撐及握持一第一物件，而 第二握持構件952係用以支撐及握持一第二物件。第一機 械手910a包括一第一臂連桿93丨及一第二臂連桿941， 該桌一臂連桿9；31具有一第一端部、一第二端部、一插置 在第一端部與第二端部之間的縱向中間部以及一通過第一 端部及第二端部之縱向中心線，而該第二臂連桿941具有 -7- (2) 1291915 一第一端部、一第二端部、一插置在第一端部與第二端部 之間的縱向中間部以及一通過第一端部及第二端部之縱向 中心線。 第一臂連桿931之第二端部係樞接至第二臂連桿94 1 之第一端部，而第二臂連桿941之第二端部則係連接至第 一握持構件95 1，俾使該第一握持構件951能以一穩定姿 態來支撐該第一物件。 第二機械手910b包括一第一臂連桿932及一第二臂 連桿942，該第一臂連桿M2具有一第一端部、一第二端 部、一插置在第一端部與第二端部之間的縱向中間部以及 一通過第一端部及第二端部之縱向中心線，而該第二臂連 桿942具有一第一端部、一第二端部、一插置在第一端部 與第二端部之間的縱向中間部以及一通過第一端部及第二 端部之縱向中心線。 第二臂連桿941相對於第二臂連桿942係以一預設角 度而呈傾斜，其中該預設角度係界定在第一機械手910a 之第二臂連桿941之中心線與第二機械手910b之第二臂 連桿942之中心線之間。第一臂連桿932之第二端部係樞 接至第二臂連桿942之第一端部，而第二臂連桿9 42之第 二端部則係連接至第二握持構件952，俾使該第二握持構 件952能以一穩定姿態來支撐該第二物件。此習知機械手 機構尙包含一角度保持機構960，其係用以使該界定於第 一機械手910a之第二臂連桿94 1之中心線與第二機械手 9 10b之第二臂連桿942之中心線之間的預設角度可以大 (3) 1291915 致保持固定。 角度保持機構960包括一第一連桿961、一第二連桿 962、一第三連桿963、一第四連桿964、一第五連桿965 及一第六連桿966。第一連桿961具有一第一端部及一第 二端部。第二連桿962具有一第一端部、一第二端部及一 通過第一端部及第二端部之縱向中心線。第二連桿962之 第一端部係樞接至第一機械手910a之第二臂連桿941之 縱向中間部。第二連桿962之第二端部係在該第二連桿 962之中心線與第一機械手910a之第一臂連桿931之中 心線呈平行關係的狀態下而樞接至第一連桿96 1之第一端 第三連桿96 3具有一第一端部、一第二端部、一通過 第一端部及第二端部之縱向中心線以及一插置在該第一端 部與第二端部之間的縱向中間部。第三連桿9 6 3之第一端 部係樞接至第二機械手910b之第二臂連桿942·的縱向中 間部，且在第三連桿963之中心線與第二機械手910b之 第一臂連桿932之中心線呈平行關係的狀態下，該第三連 桿963之第二端部係樞接至第一連桿961之第二端部。第 四連桿964具有第一端部及第二端部。第四連桿964之第 一端部係樞接至第一機械手910a之第一臂連桿93 1之縱 向中間部。 第五連桿96 5具有一第一端部及一第二端部。第五連 桿965之第一端部係樞接至第四連桿964之第二端部，而 第五連桿965之第二端部係樞接至第二機械手910b之第 (4) 1291915 一臂連桿93 2之縱向中間部。第六連桿966具有一第一端 部及一第二端部。第六連桿9 66之第一端部係樞接至第二 機械手910b之第一臂連桿93 2的縱向中間部，而第六連 桿966之第二端部係樞接至第三連桿963之縱向中間部^ 在第六連桿9 66之第一端部連接至第五連桿965之第二端 部的狀態下，該第六連桿966係與第五連桿965 —體成型 。第六連桿966之中心線係與第二機械手9 10b之第二臂 連桿942之中心線大致呈平行的關係。 角度保持機構960尙包括一第一驅動軸桿921、一第 二驅動軸桿922及一連接軸桿923，該第一驅動軸桿921 係連接至第一機械手910a之第一臂連桿931，而該第二 驅動軸桿922係連接至第二機械手910b之第一臂連桿 93 2，該連接軸桿923則係連接至第一連桿961。 該習知機器人設備900係包含具有上述結構之習知的 機械手機構910，其中第一及第二驅動馬達未顯示於圖式 中。第一驅動馬達係用以驅動該第一驅動軸桿92 1，俾使 第一驅動軸桿92 1以樞轉軸爲中心而在一樞轉運動範圍內 沿順時針及逆時針方向轉動。第二驅動馬達係用以驅動該 第二驅動軸桿922，俾使第二驅動軸桿922以樞轉軸爲中 心而在一樞轉運動範圍內沿順時針及逆時針方向轉動。 在第一及第二驅動軸桿921及922由第一及第二驅動 馬達所驅動而分別以樞轉軸爲中心沿著順時針及逆時針方 向轉動，使該第一及第二機械手910&及910b之第一臂連 桿931及932其中一者相對於該第一及第二機械手910a -10 - (5) 1291915 及91〇b之第一臂連桿931及932之另一者呈有角度地移 動的同時，該角度保持機構960係可使該界定於第一機械 手910a之第二臂連桿941之中心線與第二機械手910b之 第二臂連桿942之中心線之間的預設角度大致保持固定。 然而，習知機器人設備900遭遇一問題，即當第一及 第二驅動軸桿92 1及922分別以樞轉軸爲中心而沿順時針 及逆時針方向樞轉時，該第二及第三連桿962及963可能 會分別妨礙到該第一及第二機械手910a及910b之第一臂 連桿93 1及94 1。這會造成該樞轉運動範圍受到限制，而 該限制因素係包括第二連桿962、第三連桿963及第一及 第二機械手910a及910b之第一臂連桿93 1及932的外徑 、第二連桿96 2之中心線與第一機械手910a之第一臂連 桿93 1中心線之間的距離，以及第三連桿963之中心線與 第一機械手910a之第一臂連桿931之中心線之間的距離 【發明內容】 因此，本發明之一目的係要提供一種機械手機構及機 器人設備，其在構造上相當簡單，且可縮減尺寸。 本發明之另一目的係要提供一種機械手機構及機器人 設備，其製造成本低廉。 本發明又一目的係要提供一種機械手機構及機器人設 備’其可增進機械手之操作可靠度，以確保在第一及第二 驅動軸桿及分別以樞轉軸爲中心而沿順時針及逆時針方向 -11 - (6) 1291915 樞轉，且樞轉範圍比習知機械手之樞轉運動範圍還寬的情 況下，該界定在第一機械手之每一短平行連桿中心線與第 二機械手之每一短平行連桿中心線之間的預設角度可大致 保持固定。 本發明再一目的係要提供一種機械手機構及機器人設 備，其並不會產生灰塵掉落在高純度空氣之真空工作腔室 中〇 依照本發明之第一樣態，其係提供一種機械手機構， 包含：一用以支撐及握持一第一物件之第一握持構件；一用 以支撐及握持一第二物件之第二握持構件；一第一機械手 ，其包括一第一臂連桿及一第二臂連桿，該第一臂連桿具 有一第一端部、一第二端部及一通過第一端部及第二端部 之中心線，而該第二臂連桿具有一第一端部、一第二端部 及一通過第一端部及第二端部之中心線，該第二臂連桿之 第一端部係樞接至第一臂連桿之第二端部，而第二臂連桿 之第二端部係連接至第一握持構件，俾使該第一握持構件 能以一穩定狀態來支撐該第一物件；一第二機械手，其包 括一第一臂連桿及一第二臂連桿，該第一臂連桿具有一第 一端部、一第二端部及一通過第一端部及第二端部之中心 線，而該第二臂連桿具有一第一端部、一第二端部及一通 過第一端部及第二端部之中心線，第二臂連桿之第一端部 係樞接至第一臂連桿之第二端部，該第二臂連桿相對於該 第一機械手的第二臂連桿係以一預設角度而呈傾斜，其中 該預設角度係界定在第二機械手之第二臂連桿中心線與第 (7) 1291915 一機械手之第二臂連桿中心線之間，且該第二臂連桿之第 二端部係連接至第二握持構件，以使該第二握持構件能以 一穩定狀態來支撐該第二物件；一機械手移動機構，其係 用以使該第一及第二機械手之第一臂連桿其中一者可相對 於第一及第二機械手之第一臂連桿的另一者形成有角度地 移動；以及一角度保持機構，其係用以當第一及第二機械 手之第一臂連桿其中一者相對於第一及第二機械手之第一 臂連桿的另一者形成有角度地移動時，該角度保持機構可 使該界定在第二機械手之第二臂連桿中心線與第一機械手 之第二臂連桿中心線之間的預設角度大致保持固定。 依照本發明之第二樣態，其係提供一種機器人設備， 包含：一機械手機構，該機械手機構包含：一用以支撐及握 持一第一物件之第一握持構件；一用以支撐及握持一第二 物件之第二握持構件；一第一機械手，其包括一第一臂連 桿及一第二臂連桿，該第一臂連桿具有一第一端部、一第 二端部以及一通過第一端部及第二端部之中心線，而該第 二臂連桿具有一第一端部、一第二端部以及一通過第一端 部及第二端部之中心線，該第二臂連桿之第一端部係樞接 至第一臂連桿之第二端部，而第二臂連桿之第二端部係連 接至第一握持構件，俾使該第一握持構件能以一穩定狀態 來支撐該第一物件；一第二機械手，其包括一第一臂連桿 及一第二臂連桿，該第一臂連桿具有一第一端部、一第二 端部以及一通過第一端部及第二端部之中心線，而該第二 臂連桿具有一第一端部、一第二端部以及一通過第一端部 -13- (8) 1291915 及第二端部之中心線，第二臂連桿之第一端部係樞接至第 一臂連桿之第二端部，該第二臂連桿相對於該第一機械手 的第二臂連桿係以一預設角度而呈傾斜，其中該預設角度 係界定在第二機械手之第二臂連桿中心線與第一機械手之 第二臂連桿中心線之間，且該第二臂連桿之第二端部係連 接至第二握持構件，以使該第二握持構件能以一穩定狀態 來支撐該第二物件；一機械手移動機構，其係用以使該第 一及第二機械手之第一臂連桿其中一者可相對於第一及第 二機械手之第一臂連桿的另一者形成有角度地移動；以及 一角度保持機構，其係用以當第一及第二機械手之第一臂 連桿其中一者相對於第一及第二機械手之第一臂連桿的另 一者形成有角度地移動時，該角度保持機構可使該界定在 第二機械手之第二臂連桿中心線與第一機械手之第二臂連 桿中心線之間的預設角度大致保持固定；一第一驅動馬達 ，其係用以使該第一驅動軸桿以樞轉軸爲中心來樞轉，俾 使第一及第二機械手之其中一者可相對於第一驅動軸桿而 有角度地移動，以及一第二驅動馬達，其係用以使該第二 驅動軸桿以樞轉軸爲中心來樞轉，俾使該第一及第二機械 手之另一者可相對於第二驅動軸桿而有角度地移動。 【實施方式】 以下將參考圖1至圖15來說明本發明之機械手機構 及機器人設備之實施例。在以下之詳細說明中，所有圖式 中相同之元件符號及標號係用以標示相同之元件。 -14- 1291915 Ο) 首先將參考圖1至5來說明本發明第一實施例的機械 手機構及機器人設備的構造。 在圖1及2中所描示之機械手機構110係包含一用以 支撐及握持一第一物件之第一握持構件116，及一用以支 撐及握持一第二物件之第二握持構件117〇第一及第二握 持構件1 1 6及11 7係設計成可用於握持，亦即抓持及釋放 一晶圓或欲用於製造半導體之其他材料。第一及第二握持 構件1 1 6及1 1 7之外形設計係分別視欲由該第一及第二握 持構件1 1 6及1 1 7所握持之材料的尺寸及形狀而定。 機械手機構110尙包含一第一機械手ll〇a及一第二 機械手110b。第一機械手110a包括一第一臂連桿131及 一第二臂連桿142,該第一臂連桿131具有一第一端部、 一第二端部及一通過第一端部及第二端部之中心線，而該 第二臂連桿142具有一第一端部、一第二端部及一通過第 一端部及第二端部之中心線。第二臂連桿1 42之第一端部 係樞接至第一臂連桿131之第二端部，而第二臂連桿142 之第二端部係連接至第一握持構件1 1 6，俾使該第一握持 構件1 1 6能以一穩定狀態來支撐該第一物件。 第二機械手110b包括一第一臂連桿132及一第二臂 連桿152，該第一臂連桿132具有一第一端部、一第二端 部及一通過第一端部及第二端部之中心線，而該第二臂連 桿152具有一第一端部、一第二端部及一通過第一端部及 第二端部之中心線。構成第二機械手1 1 Ob部件的第二臂 連桿152相對於構成該第一機械手110a部件的第二臂連 (10) 1291915 桿142係以一預設角度而呈傾斜，其中該預設角度係界定 在第二機械手110b之第二臂連桿152中心線與第一機械 手1 l〇a之第二臂連桿142中心線之間。 第二臂連桿152之第一端部係樞接至第一臂連桿132 之第二端部，而第二臂連桿152之第二端部係連接至第二 握持構件1 1 7，以使該第二握持構件1 1 7能以一穩定狀態 來支撐該第二物件。 機械手機構110尙包含一機械手移動機構170，俾使 該第一及第二機械手ll〇a及ll〇b之第一臂連桿131及 132其中一者可相對於第一及第二機械手110a及110b之 第一臂連桿131及132的另一者形成有角度地移動。機械 手機構110尙包含一角度保持機構180，俾當第一及第二 機械手ll〇a及110b之第一臂連桿131及132其中一者相 對於第一及第二機械手ll〇a及110b之第一臂連桿131及 132的另一者形成有角度地移動時，該角度保持機構180 可使該界定在第二機械手ll〇b之第二臂連桿152中心線 與第一機械手ll〇a之第二臂連桿142中心線之間的預設 角度大致保持固定。 機械手移動機構170包括一第一驅動軸桿12 1及一第 二驅動軸桿122，該第一驅動軸桿121係連接至第一機械 手ll〇a之第一臂連桿131與第二機械手110b之第一臂連 桿132的其中一者，而該第二驅動軸桿122則係連接至第 一機械手ll〇a之第一臂連桿131與第二機械手ll〇b之第 一臂連桿132的另一者，該第二驅動軸桿122具有一樞轉 -16- (11) 1291915 軸111且能以該樞轉軸1 1 1爲中心而樞轉，且該第一驅動 軸桿121係形成中空形狀，俾將第二驅動軸桿122可樞轉 地收納於其中，並且能以樞轉軸111爲中心而樞轉。 角度保持機構180包括一對第一平行連桿143及153 與一對第二平行連桿161及162。第一平行連桿143及 153各具有一第一端部、一第二端部、一插置在該第一端 部與第二端部之間的縱向中間部以及一通過第一端部及第 二端部之中心線。該第一平行連桿143及153的長度係彼 此大致相等。第二平行連桿161及162各具有一第一端部 、一第二端部及一通過第一端部及第二端部之中心線。該 第二平行連桿161及162的長度係彼此大致相等。 該第一平行連桿143及153之其中一者的第二端部係 樞接至第二平行連桿161及162之其中一者的第一端部， 而第二平行連桿161及162之其中一者的第二端部則係樞 接至該第一平行連桿143及153之另一者的第二端部。第 一平行連桿1U及153之另一者的第一端部係樞接至第二 平行連桿161及162之另一者的第一端部，而第二平行連 桿161及162之另一者的第二端部則係樞接至第一平行連 桿M3及153之其中一者的第一端部。 角度保持機構180尙包括一插置在第二臂連桿142與 第一平行連桿I43及I53其中一者之間的第一中間連桿 1々1，以及一插置在第二臂連桿152與第一平行連桿143 及1 5 3另一者之間的第二中間連桿1 5 i。第一中間連桿 141具有一第一端部、一第二端部及一通過第一端部及第 -17- (12) 1291915 二端部之中心線。第二中間連桿1 5 1具有一第一端部、一 第二端部及一通過第一端部及第二端部之中心線。 第一中間連桿141之第一端部係樞接至第一機械手 110a之第一臂連桿131之第二端部，而在該第一中間連 桿141之第一端部連接至第一機械手ll〇a之第二臂連桿 142之第一端部的狀態下，該第一中間連桿Ml係與該第 一機械手ll〇a之第二臂連桿142 —體成型。該第一中間 連桿141係在該第一中間連桿141之第二端部連接至該第 一平行連桿143及153其中一者之縱向中間部的狀態下與 該第一平行連桿143及153之其中一者一體成型。 第二中間連桿151之第一端部係樞接至第二機械手 ll〇b之第一臂連桿132的第二端部，而該第二中間連桿 151係在該第二中間連桿151之第一端部連接至第二機械 手110b之第二臂連桿152之第一端部的狀態下與該第二 機械手ll〇b之第二臂連桿152 —體成型。該第二中間連 桿1 5 1係在第二中間連桿1 5 1之第二端部連接至第一平行 連桿1 43及1 53之另一者的縱向中間部的情況下與該第一 平行連桿143及153之另一者一體成型。 在該第一及第二驅動軸桿121及122以樞轉軸111爲 中心而分別沿順時針及逆時針方向樞轉而使該第一及第二 機械手110a及110b之第一臂連桿131及132的其中一者 相對於第一及第二機械手ll〇a及110b之第一臂連桿131 及132的另一者形成有角度地移動的狀態下，該角度保持 機構180便可用以使該界定在第二機械手ll〇b之第二臂 -18- (13) 1291915 連桿152中心線與第一機械手ll〇a之第二臂連桿142中 心線之間的預設角度大致保持固定。 第一中間連桿141相對於構成第一機械手ll〇a部件 之第一臂連桿131係以一第一傾斜角度而呈傾斜，其中該 第一傾斜角度係界定在第一中間連桿1 4 1之中心線與第一 機械手1 l〇a之第一臂連桿131的中心線之間。第二中間 連桿151相對於構成第二機械手n Ob部件之第一臂連桿 1 3 2係以一第二傾斜角度而呈傾斜，其中該第二傾斜角度 係界定在第二中間連桿151之中心線與第二機械手110b 之第一臂連桿132的中心線之間。在該第一及第二驅動軸 桿121及122以樞轉軸1 11爲中心而分別沿順時針及逆時 針方向樞轉而使該第一及第二機械手ll〇a及110b之第一 臂連桿1 3 1及1 3 2的中心線彼此軸向對齊成一直線的狀態 下，該界定在第一中間連桿1 4 1之中心線與第一機械手 1 1 〇a之第一臂連桿1 3 1的中心線之間的第一傾斜角度係 大致相等於該界定在第二中間連桿1 5 1之中心線與第二機 械手ll〇b之第一臂連桿132的中心線之間的第二傾斜角 度。 在圖3及4所示之機器人設備1〇〇係包含具有上述結 構之機械手機構110、一第一驅動馬達123以及一第二驅 動馬達124，其中該第一驅動馬達123係用以使該第一驅 動軸桿1 2 1以樞轉軸1 1 1爲中心來樞轉，俾使第一及第二 機械手ll〇a及110b之其中一者可相對於第一驅動軸桿 121而有角度地移動，而該第二驅動馬達124係用以使該 (14) 1291915 第二驅動軸桿1 22以樞轉軸1 1 1爲中心來樞轉，俾使該第 一及第二機械手ll〇a及110b之另一者可相對於第二驅動 軸桿122而有角度地移動。 ’ 在依照本發明第一實施例之機器人設備100的操作中 ，在該第一驅動軸桿121由第一驅動馬達123所驅動而使 第一驅動軸桿1 2 1以樞轉軸1 1 1爲中心沿順時針及逆時針 方向樞轉的狀態下，該第一機械手110a會以大致固定之 預設角度來收縮及伸展，其中該預設角度係界定於第二機 · 械手ll〇b之第二臂連桿152中心線與第一機械手ll〇a之 第二臂連桿142中心線之間。 另一方面，在該第二驅動軸桿122由第二驅動馬達 124所驅動而使第二驅動軸桿122以樞轉軸1 1 1爲中心沿 順時針及逆時針方向樞轉的狀態下，該第二機械手11 〇b 會以大致固定之預設角度來收縮及伸展，其中該預設角度 係界定於第二機械手110b之第二臂連桿152中心線與第 一機械手ll〇a之第二臂連桿142中心線之間。 φ 由以上詳細說明可知，依照本發明第一實施例之機器 人設備1〇〇在該第一及第二驅動軸桿121及122分別以樞 轉軸1 1 1爲中心樞轉而使第一及第二機械手n〇a及nob , 之第一臂連桿131及I32的其中一者相對於第一及第二機 械手110a及110b之第一臂連桿131及132的另一者呈有 角度地移動的狀態下，其可以收縮及伸展該第一及第二機 械手110a及ll〇b。 依照本發明第一實施例之機器人設備i 〇〇，在該第一 -20- (15) 1291915 及第二驅動軸桿121及M2分別以樞轉軸1 1 1爲中心樞轉 而使第一及第二機械手ll〇a及110b之第一臂連桿13ι及 132的其中一者相對於第一及第二機械手11〇&及n〇b之 第一臂連桿131及132的另一者呈有角度地移動的狀態下 ，其可以使該界定於第二機械手ll〇b之第二臂連桿152 中心線與第一機械手ll〇a之第二臂連桿142中心線之間 的預設角度大致保持固定。 依照本發明第一實施例之機器人設備100,在該第一 及第二驅動軸桿1 2 1及1 22如同一軸桿以樞轉軸1 1 1爲中 心而樞轉的狀態下，其可使該第一及第二機械手ll〇a及 1 1 〇b以該樞轉軸1 1 1爲中心而樞轉。 如圖5所示，在第一中間連桿1 4 1之中心線垂直於第 一平行連桿I43及U3其中一者之中心線的狀態下，該第 一中間連桿141可以與第一平行連桿143及153之其中一 者一體成型。在另一方面，在第二中間連桿151之中心線 垂直於第一平行連桿143及153之另一者之中心線的狀態 下，該第二中間連桿151可以與第一平行連桿143及153 之另一者一體成型。 雖然以上已針對本發明第一實施例之機械手機構來加 以說明，然而此一實施例可以由本發明機械手機構之第二 至第四實施例所取代，以達成本發明之目的。以下將說明 該機械手機構之第二至第四實施例。 首先將參考圖6來說明本發明之機械手機構及機器人 設備的第二實施例的構造。 -21 - (16) 1291915 在圖6中所描示之機械手機構210係包含一用以支撐 及握持一第一物件之第一握持構件116、一用以支撐及握 持一第二物件之第二握持構件117、一第一機械手110a 及一第二機械手110b。 第一機械手ll〇a包括一第一臂連桿131及一第二臂 連桿142，該第一臂連桿131具有一第一端部、一第二端 部及一通過第一端部及第二端部之中心線，而該第二臂連 桿142具有一第一端部、一第二端部及一通過第一端部及 第二端部之中心線。第二臂連桿142之第一端部係樞接至 第一臂連桿1S1之第二端部，而第二臂連桿M2之第二端 部係連接至第一握持構件1 1 6，俾使該第一握持構件1 1 6 能以一穩定狀態來支撐該第一物件。 第二機械手110b包括一第一臂連桿132及一第二臂 連桿I52，該第一臂連桿I32具有一第一端部、一第二端 部及一通過第一端部及第二端部之中心線，而該第二臂連 桿152具有一第一端部、一第二端部及一通過第一端部及 第二端部之中心線。第二臂連桿1 52之第一端部係樞接至 第一臂連桿132之第二端部，而第二臂連桿152之第二端 部係連接至第二握持構件1 1 7，以使該第二握持構件i i 7 能以一穩定狀態來支撐該第二物件。構成第二機械手 110b部件的第二臂連桿152相對於構成該第一機械手 ll〇a部件的第二臂連桿142係以一預設角度而呈傾斜， 其中該預設角度係界定在第二機械手110b之第二臂連桿 1 5 2中心線與第一機械手1 1 〇 a之第二臂連桿1 4 2中心線 -22- (17) 1291915 之間。 機械手機構110尙包含一機械手移動機構27〇及一角 度保持機構280。該機械手移動機構270係使該第一及第 二機械手ll〇a及110b之第一臂連桿131及1；32其中一者 可相對於第一及第二機械手110a及110b之第一臂連桿 131及132的另一者形成有角度地移動。當第一及第二機 械手110a及110b之第一臂連桿131及132其中一者相對 於第一及第二機械手110a及110b之第一臂連桿131及 132的另一者形成有角度地移動時，該角度保持機構28〇 可使該界定在第二機械手110b之第二臂連桿152中心線 與第一機械手ll〇a之第二臂連桿142中心線之間的預設 角度大致保持固定。 該角度保持機構280包括一對平行連桿161及162、 一插置在第一機械手110a之第二臂連桿142與平行連桿 101及I62其中一者之間的第一中間連桿221、一插置在 第一機械手ll〇a之第二臂連桿142與平行連桿161及 162另一者之間的第二中間連桿222、一插置在第二機械 手ll〇b之第二臂連桿152與平行連桿161及162其中一 者之間的第三中間連桿23 1以及一插置在第二機械手 ll〇b之第二臂連桿152與平行連桿161及162另一者之 間的第四中間連桿232。平行連桿161及162皆具有一第 一端部、一第二端部及一通過第一端部及第二端部之中心 線。該平行連桿1 6 1及1 62之長度係大致彼此相同。 第一中間連桿22 1各具有一第一端部、一第二端部及 -23- (18) 1291915 一通過第一端部及第二端部之中心線 222各具有一第一端部、一第二端部及 第二端部之中心線。第三中間連桿23 i 、一第二端部及一通過第一端部及第二 第四中間連桿232各具有一第一端部、 過第一端部及第二端部之中心線。 第一中間連桿221之第一端部係彳 ll〇a之第一臂連桿131的第二端部， 221之第一端部連接至第一機械手ii〇a 之第一端部的狀態下，該第一中間連桿 手110a之第二臂連桿142 —體成型。 之第一端部係樞接至第一機械手ll〇a 的第二端部，且在第二中間連桿222之 一機械手ll〇a之第二臂連桿142之第 該第二中間連桿2U係與第一機械手1 142 —體成型。 第三中間連桿231之第一端部係^ ll〇b之第一臂連桿132的第二端部’ 231之第一端部連接至第二機械手ll〇b 之第一端部的狀態下’該第三中間連桿 手110b之第二臂連桿152 一體成型。 之第一端部係樞接至第二機械手110b 的第二端部，且在第四中間連桿232之 二機械手110b之第二臂連桿152之第 ，且第二中間連桿 一通過第一端部及 各具有一第一端部 端部之中心線，且 一第二端部及一通 隔接至第一機械手 且在第一中間連桿 之第二臂連桿142 221係與第一機械 第二中間連桿222 之第一臂連桿13 1 第一端部連接至第 一端部的狀態下， l〇a之第二臂連桿 區接至第二機械手 且在第三中間連桿 之第二臂連桿152 231係與第二機械 第四中間連桿2 3 2 之第一臂連桿132 第一端部連接至第 一端部的狀態下， (19) 1291915 該第四中間連桿23 2係與第二機械手110b之第二臂連桿 152 —體成型。 第一中間連桿22 1之長度大致相同於第四中間連桿 232之長度，而第二中間連桿222之長度大致相同於第三 中間連桿231之長度。第一中間連桿221比第二中間連桿 222還長。 在第一及第二驅動軸桿121及122分別以樞轉軸111 爲中心而沿順時針及逆時針方向樞轉而使第一及第二機械 手210a及210b之第一臂連桿131及132中心線彼此對齊 成一直線的狀態下，該第一中間連桿22 1相對於第一機械 手2 1 0a之第一臂連桿1 3 1係以一第一傾斜角度而呈傾斜 ，其中該第一傾斜角度係由第一中間連桿22 1之中心線至 第一機械手210a之第一臂連桿131的中心線。在第一及 第二驅動軸桿1 2 1及1 22分別以樞轉軸1 1 1爲中心而沿順 時針及逆時針方向樞轉而使第一及第二機械手210a及 210b之第一臂連桿131及132中心線彼此對齊成一直線 的狀態下，該第二中間連桿222相對於第一機械手210a 之第一臂連桿1 3 1係以一第二傾斜角度而呈傾斜，其中該 第二傾斜角度係由第二中間連桿222之中心線至第一機械 手2 1 0 a之第一臂連桿1 3 1的中心線。 在第一及第二驅動軸桿121及122分別以樞轉軸111 爲中心而沿順時針及逆時針方向樞轉而使第一及第二機械 手210a及210b之第一臂連桿131及132中心線彼此對齊 成一直線的狀態下，該第三中間連桿23 1相對於第二機械 -25- (20) 1291915 手210b之第一臂連桿132係以一第三傾斜角度而呈傾斜 ’其中該第三傾斜角度係由第三中間連桿23 1之中心線至 第一機械手210b之第一臂連桿132的中心線。在第一及 第二驅動軸桿1 2 1及1 22分別以樞轉軸1 1 1爲中心而沿順 時針及逆時針方向樞轉而使第一及第二機械手210a及 2 10b之第一臂連桿13 1及132中心線彼此對齊成一直線 的狀態下，該第四中間連桿232相對於第二機械手210b 之第一臂連桿132係以一第四傾斜角度而呈傾斜，其中該 第四傾斜角度係由第四中間連桿232之中心線至第二機械 手2 10b之第一臂連桿132的中心線。 在第一及第二驅動軸桿121及122分別以樞轉軸111 爲中心而沿順時針及逆時針方向樞轉而使第一及第二機械 手210a及210b之第一臂連桿131及132中心線彼此對齊 成一直線的狀態下，由第一中間連桿22 1之中心線至第一 機械手210a之第一臂連桿131的中心線之第一傾斜角度 係大致相等於由第四中間連桿23 2之中心線至第二機械手 2 1 〇b之第一臂連桿1 3 2之中心線的第四傾斜角度。 在第一及第二驅動軸桿121及122分別以樞轉軸πι 爲中心而沿順時針及逆時針方向樞轉而使第一及第二機械 手210a及210b之第一臂連桿I3 1及I32中心線彼此對齊 成一直線的狀態下，由第二中間連桿222之中心線至第一 機械手210a之第一臂連桿131之中心線的第二傾斜角度 係大致相等於由第三中間連桿23 1之中心線至第二機械手 2 1 〇b之第一臂連桿1 3 2之中心線第三傾斜角度。 -26- (21) 1291915 在第一及第二驅動軸桿121及122分別以樞轉軸111 爲中心而沿順時針及逆時針方向樞轉而使第一及第二機械 手210a及210b之第一臂連桿131及132中心線彼此對齊 成一直線的狀態下，由第一中間連桿22 1之中心線至第一 機械手210a之第一臂連桿131之中心線的第一傾斜角度 係大於由第二中間連桿222之中心線至第一機械手210a 之第一臂連桿1 3 1之中心線的第二傾斜角度。 機器人設備200係包含具有上述結構之機械手機構 2 10、一第一驅動馬達123以及一第二驅動馬達124，其 中該第一驅動馬達123係用以使該第一驅動軸桿121以樞 轉軸111爲中心來樞轉，俾使第一及第二機械手210a及 210b之其中一者可相對於第一驅動軸桿121而有角度地 移動，而該第二驅動馬達124係用以使該第二驅動軸桿 122以樞轉軸111爲中心來樞轉，俾使該第一及第二機械 手210a及210b之另一者可相對於第二驅動軸桿122而有 角度地移動。 在依照本發明第二實施例之機器人設備200的操作中 ，在該第一驅動軸桿1 2 1由第一驅動馬達1 23所驅動而使 第一驅動軸桿1 2 1以樞轉軸1 1 1爲中心沿順時針及逆時針 方向樞轉的狀態下，該第一機械手210a會以大致固定之 預設角度來收縮及伸展，其中該預設角度係界定於第二機 械手ll〇b之第二臂連桿152中心線與第一機械手ll〇a之 第二臂連桿1 42中心線之間。另一方面，在該第二驅動軸 桿122由第二驅動馬達124所驅動而使第二驅動軸桿122 (22) 1291915 以樞轉軸111爲中心沿順時針及逆時針方向樞轉的狀態下 ，該第二機械手210b會以大致固定之預設角度來收縮及 伸展，其中該預設角度係界定於第二機械手n 〇b之第二 臂連桿152中心線與第一機械手110a之第二臂連桿ία 中心線之間。 由以上詳細說明可知，依照本發明第二實施例之機器 人設備200在該第一及第二驅動軸桿121及122分別以樞 轉軸111爲中心樞轉而使第一及第二機械手110a及110b 之第一臂連桿131及132的其中一者相對於第一及第二機 械手110a及110b之第一臂連桿131及132的另一者呈有 角度地移動的狀態下，其可以收縮及伸展該第一及第二機 械手210a及210b。 依照本發明第二實施例之機器人設備200，在該第一 及第二驅動軸桿1 2 1及1 22分別以樞轉軸1 1 1爲中心樞轉 而使第一及第二機械手210a及210b之第一臂連桿131及 132的其中一者相對於第一及第二機械手210a及210b之 第一臂連桿13 1及132的另一者呈有角度地移動的狀態下 ，其可以使該界定於第二機械手210b之第二臂連桿152 中心線與第一機械手2 10a之第二臂連桿142中心線之間 的預設角度大致保持固定。 依照本發明第二實施例之機器人設備200，在該第一 及第二驅動軸桿121及122如同一軸桿以樞轉軸111爲中 心而樞轉的狀態下，其可使該第一及第二機械手ll〇a及 1 1 〇b以該樞轉軸1 1 1爲中心而樞轉。 -28· (23) 1291915 以下將說明本發明之機械手機構及機器人設備之第三 實施例。 首先將參考圖7至9來說明機械手機構310的構造。 在圖7至9中所描示之機械手機構310係包含一用以 支撐及握持一第一物件之第一握持構件316，及一用以支 撐及握持一第二物件之第二握持構件317。第一及第二握 持構件3 1 6及3 1 7係設計成可用於握持，亦即抓持及釋放 一晶圓或欲用於製造半導體之其他材料。第一及第二握持 構件3 1 6及3 1 7之外形設計係分別視欲由該第一及第二握 持構件3 1 6及3 1 7所握持之材料的尺寸及形狀而定。 機械手機構310尙包含一第一機械手310a及一第二 機械手310b。第一機械手310a包括一第一臂連桿131、 一對短平行連桿341及342以及一對長平行連桿343及 3 44，該第一臂連桿131具有一第一端部、一第二端部及 一通過第一端部及第二端部之中心線，而該短平行連桿 341及3 42各具有一第一端部、一第二端部及一通過第一 端部及第二端部之中心線，且該短平行連桿341及342之 長度係彼此相等，而該長平行連桿343及344各具有一第 一端部、一第二端部及一通過第一端部及第二端部之中心 線，且該長平行連桿343及344之長度係彼此相等。長平 行連桿3 43及3 44相對於第一臂連桿13 1係以一第一傾斜 角度而呈傾斜，其中該第一傾斜角度係界定在每一長平行 連桿343及344之中心線與第一臂連桿131之中心線之間 (24) 1291915 第一臂連桿131之第二端部係樞接至長平行連桿343 及3 44之其中一者的第一端部，而長平行連桿3U及3 44 其中一者之第二端部係樞接至短平行連桿341及3 42其中 一者之第一端部。短平行連桿341及342之第二端部係樞 接至長平行連桿343及3 44另一者之第一端部，而長平行 連桿3 43及3 44之另一者之第二端部係樞接至短平行連桿 341及3 42之另一者的第一端部。短平行連桿341及342 之另一者之第二端部係樞接至長平行連桿3 43及3 44其中 一者之第一端部，而短平行連桿341及3 42之另一者之第 二端部係樞接至第一臂連桿1 3 1之第二端部。短平行連桿 341及342其中一者係連接至第一握持構件316，俾使第 一握持構件3 1 6能以一穩定狀態來支撐第一物件。 第二機械手310b包括一第一臂連桿132、一對短平 行連桿351及352以及一對長平行連桿353及354，該第 一臂連桿131具有一第一端部、一第二端部及一通過第一 端部及第二端部之中心線，而該短平行連桿3 5 1及3 5 2各 具有一第一端部、一第二端部及一通過第一端部及第二端 部之中心線，且該短平行連桿3 5 1及3 52之長度係彼此相 等，而該長平行連桿353及354各具有一第一端部、一第 二端部及一通過第一端部及第二端部之中心線，且該長平 行連桿3 5 3及3 54之長度係彼此相等。 短平行連桿341及342分別相對於第二機械手310b 之短平行連桿351及3 52係以一預設角度而呈傾斜，其中 該預設角度係界定在第一機械手310a之每一短平行連桿 -30- (25) 1291915 341及342中心線與第二機械手310b之每一短平行連桿 351及3 5 2中心線之間。 第一臂連桿132之第二端部係樞接至長平行連桿353 及354之其中一者的第一端部，而長平行連桿353及354 其中一者之第二端部係樞接至短平行連桿351及352其中 一者之第一端部。短平行連桿351及352之第二端部係樞 接至長平行連桿353及3 54另一者之第一端部，而長平行 連桿353及3 54之另一者之第二端部係樞接至短平行連桿 351及352之另一者的第一端部。短平行連桿351及3 52 之另一者之第二端部係樞接至長平行連桿353及3 54其中 一者之第一端部，而短平行連桿351及3 52之另一者之第 二端部係樞接至第一臂連桿1 32之第二端部。短平行連桿 351及352其中一者係連接至第二握持構件317，俾使第 二握持構件3 1 7能以一穩定狀態來支撐第二物件。 機械手機構310尙包含一機械手移動機構3 70,俾使 該第一及第二機械手310a及310b之第一臂連桿131及 132其中一者可相對於第一及第二機械手310a及310b之 第一臂連桿131及132的另一者形成有角度地移動，且尙 包含一角度保持機構3 80，俾當第一及第二機械手310a 及310b之第一臂連桿131及132其中一者相對於第一及 第二機械手310a及31 Ob之第一臂連桿131及132的另一 者形成有角度地移動時，該角度保持機構3 80可使該界定 在該第二機械手310b之每一短平行連桿351及352之中 心線與第一機械手310a之每一短平行連桿351及3 52之 -31 - (26) 1291915 中心線之間的預設角度大致保持固定。 角度保持機構380包括一對第一平行連桿143及in 與一對第二平行連桿161及162，第一平行連桿143及 153各具有一第一端部、一第二端部、一插置在該第一端 部與第二端部之間的縱向中間部以及一通過第一端部及第 一端部之中心線’且該第一^平彳了連桿143及153的長度係 彼此大致相等，而該第二平行連桿161及162各具有一第 一端部、一第二端部及一通過第一端部及第二端部之中心 線，且該第二平行連桿1 6 1及1 62的長度係彼此大致相等 〇 該第一平行連桿143及153之其中一者的第二端部係 樞接至第二平行連桿161及162之其中一者的第一端部， 而第二平行連桿161及162之其中一者的第二端部則係樞 接至該第一平行連桿143及153之另一者的第二端部。第 一平行連桿143及153之另一者的第二端部係樞接至第二 平行連桿161及162之另一者的第一端部，而第二平行連 桿161及162之另一者的第二端部則係樞接至第一平行連 桿M3及153之其中一者的第一端部。 角度保持機構3 80尙包括一插置在第一臂連桿131與 第一平行連桿143及153其中一者之間的第一中間連桿 141，以及一插置在第二臂連桿152與第一平行連桿143 及1 53另一者之間的第二中間連桿1 5 1，該第一中間連桿 141具有一第一端部、一第二端部及一通過第一端部及第 二端部之中心線，而第二中間連桿1 5 1具有一第一端部、 -32 - (27) 1291915 一第二端部及一通過第一端部及第二端部之中心線。 第一中間連桿141之第一端部係樞接至第一機械手 31〇a之第一臂連桿131之第二端部。在該第一中間連桿 141之第一端部連接至第一機械手310a之短平行連桿341 及342其中一者之第一端部的狀態下，該第一中間連桿 141係與該第一機械手310a之短平行連桿341及3 42之 其中一者一體成型，且該第一中間連桿141係在該第一中 間連桿141之第二端部連接至該第一平行連桿143及153 其中一者之縱向中間部的狀態下與該第一平行連桿143及 153之其中一者一體成型。 第二中間連桿151之第一端部係樞接至第二機械手 310b之第一臂連桿132的第二端部。該第二中間連桿151 係在該第二中間連桿151之第一端部連接至第二機械手 3 10b之短平行連桿351及3 52其中一者之第二端部的狀 態下與該第二機械手310b之短平行連桿351及3 52之其 中一者的第二端部一體成型，且該第二中間連桿151係在 第二中間連桿151之第二端部連接至第一平行連桿143及 153之縱向中間部的狀態下與該第一平行連桿143及153 之另一者一體成型。 機械手移動機構3 70包括一第一驅動軸桿121及一第 二驅動軸桿122’該第一*驅動軸桿121係連接至第一^機械 手310a之第一臂連桿131與第二機械手310b之第一臂連 桿132的其中一者，而該第二驅動軸桿122則係連接至第 一機械手310a之第一臂連桿131與第二機械手310b之第 (28) 1291915 一臂連桿132的另一者，該第二驅動軸桿122具有一樞轉 軸111且能以該樞轉軸111爲中心而樞轉，且該第一驅動 軸桿121係形成中空形狀，俾將第二驅動軸桿122可樞轉 地收納於其中，並且能以樞轉軸1 1 1爲中心而樞轉。 在該第一及第二驅動軸桿121及122以樞轉軸111爲 中心而分別沿順時針及逆時針方向樞轉而使該第一及第二 機械手310a及310b之第一臂連桿131及132的其中一者 相對於第一及第二機械手310a及310b之第一臂連桿131 及132的另一者形成有角度地移動的狀態下，該角度保持 機構3 80便可用以使該界定在第一機械手310a之每一短 平行連桿341及342中心線與第二機械手310b之每一短 平行連桿3 5 1及3 52中心線之間的預設角度大致保持固定 〇 第一中間連桿Ml相對於構成第一機械手310a部件 之第一臂連桿131係以一第一傾斜角度而呈傾斜，其中該 第一傾斜角度係界定在第一中間連桿1 4 1之中心線與第一 機械手3 1 〇a之第一臂連桿1 3 1的中心線之間，而第二中 間連桿15 1相對於構成第二機械手310b部件之第一臂連 桿1 32係以一第二傾斜角度而呈傾斜，其中該第二傾斜角 度係界定在第二中間連桿1 5 1之中心線與第二機械手 3 l〇b之第一臂連桿132的中心線之間。在該第一及第二 驅動軸桿1 2 1及1 22以樞轉軸1 1 1爲中心而分別沿順時針 及逆時針方向樞轉而使該第一及第二機械手310a及31〇b 之第一臂連桿13 1及132的中心線彼此軸向對齊成一直線 (29) 1291915 的狀態下，該界定在第一中間連桿141之中心線與第一機 械手310a之第一臂連桿131的中心線之間的第一傾斜角 度係大致相等於該界定在第二中間連桿1 5 1之中心線與第 二機械手310b之第一臂連桿132的中心線之間的第二傾 斜角度。該第一中間連桿141之長度係大致相等於第二中 間連桿1 5 1之長度。 機械手機構310尙包含一第一角度調整機構3 90a， 其係相應於界定在第一中間連桿1 4 1中心線與第一機械手 3 10a之第一臂連桿131之中心線之間的第一傾斜角度， 而調整界定在每一長平行連桿343及344中心線與第一臂 連桿1 3 1之間的第一角度，俾使第一握持構件3 1 6在第一 及第二驅動軸桿1 2 1及1 22分別以樞轉軸1 1 1爲中心而沿 順時針及逆時針方向樞轉而使第一及第二機械手310a及 310b之第一臂連桿131及132其中一者相對於第一及第 二機械手310a及310b之第一臂連桿131及132的另一者 呈有角度地移動的狀態下，沿著一預定第一直線316a而 大致呈直線移動。 機械手機構310尙包含一第二角度調整機構390b， 其係用以相應於界定在第二中間連桿1 5 1中心線與第二機 械手3 10b之第一臂連桿132中心線之間的第二傾斜角度 ，而調整界定在每一長平行連桿3 5 3及3 54中心線與第一 臂連桿1 3 2之間的第二角度，俾使第二握持構件3 1 7在第 一及第二驅動軸桿121及122分別以樞轉軸1 1 1爲中心而 沿順時針及逆時針方向樞轉而使第一及第二機械手3 1 0a -35- (30) 1291915 及310b之第一臂連桿13〗及132其中一者相對於第一及 第二機械手310a及310b之第一臂連桿131及132的另一 者呈有角度地移動的狀態下，沿著一預定第二直線317a 而大致呈直線移動。 第一角度調整機構3 90a包括一具有一第一端部及一 第二端部之第一連桿36 1、一具有一第一端部及一第二端 部之第二連桿362、一具有一第一端部、一第二端部及一 插置在第一端部與第二端部之間之縱向中間部之第三連桿 3 63、一具有一第一端部及一第二端部之第四連桿364、 一具有一第一端部及一第二端部之第五連桿365及一具有 一第一端部及一第二端部之第六連桿3 66。 第一連桿361之長度大致相等於第四連桿3 64之長度 。第二連桿3 62之長度大致相等於第五連桿365之長度。 第六連桿3 66之長度大致相等於第一連桿361之長度。 在第一連桿361之第一端部連接至第一機械手310a 之短平行連桿341及342其中一者之第一端部的狀態下， 該第一連桿361係與第一機械手310a之短平行連桿341 及342其中一者一體成型。在第二連桿362之第一端部連 接至第一機械手310a之第一臂連桿131之第一端部的狀 態下，該第二連桿362係與第一機械手310a之第一臂連 桿131 —體成型。在第三連桿3 63之第一端部連接至第一 機械手310a之長平行連桿343及3 44其中一者之第一端 部的狀態下，該第三連桿3 63係與第一機械手3 10a之長 平行連桿343及344其中一者一體成型。 (31) 1291915 第四連桿3 64之第一端部係樞接至第二連桿362之第 二端部。第五連桿365之第一端部係樞接至第一連桿361 之第二端部。第五連桿365之第二端部係樞接至第四連桿 3 64之第二端部。第六連桿366之第一端部係樞接至第三 連桿3 63之第二端部。第六連桿366之第二端部係樞接至 第五連桿3 65之縱向中間部。 第二角度調整機構390b包括一具有一第一端部及一 第二端部之第一連桿371、一具有一第一端部及一第二端 部之第二連桿372、一具有一第一端部、一第二端部及一 插置在第一端部與第二端部之間之縱向中間部之第三連桿 373、一具有一第一端部及一第二端部之第四連桿3 74、 一具有一第一端部及一第二端部之第五連桿375及一具有 一第一端部及一第二端部之第六連桿3 76。 第一連桿371之長度大致相等於第四連桿374之長度 。第二連桿3 72之長度大致相等於第五連桿3 75之長度。 第六連桿3 76之長度大致相等於第一連桿371之長度。 在第一連桿371之第一端部連接至第二機械手310b 之短平行連桿351及3 52其中一者之第一端部的狀態下， 該第一連桿371係與第二機械手310b之短平行連桿351 及352其中一者一體成型。在第二連桿3 72之第一端部連 接至第二機械手310b之第一臂連桿131之第一端部的狀 態下，該第二連桿3 72係與第二機械手310b之第一臂連 桿131 —體成型。在第三連桿373之第一端部連接至第二 機械手310b之長平行連桿353及354其中一者之第一端 (32) 1291915 部的狀態下，該第三連桿3 73係與第二機械手310b之長 平行連桿353及354其中一者一體成型。 第四連桿3 74之第一端部係樞接至第二連桿372之第 二端部。第五連桿375之第一端部係樞接至第一連桿371 之第二端部。第五連桿3 75之第二端部係樞接至第四連桿 374之第二端部。第六連桿376之第一端部係樞接至第三 連桿373之第二端部。第六連桿376之第二端部係樞接至 第五連桿3 7 5之縱向中間部。 機器人設備3 00係包含具有上述結構之機械手機構 310、一第一驅動馬達123以及一第二驅動馬達124，其 中該第一驅動馬達123係用以使該第一驅動軸桿121以樞 轉軸1 1 1爲中心來樞轉，俾使第一及第二機械手3 1 0a及 310b之其中一者可相對於第一驅動軸桿121而有角度地 移動，而該第二驅動馬達124係用以使該第二驅動軸桿 1 22以樞轉軸1 1 1爲中心來樞轉，俾使該第一及第二機械 手3 10a及3 10b之另一者可相對於第二驅動軸桿122而有 角度地移動。 由以上詳細說明可知，依照本發明第三實施例之機器 人設備3 00在該第一及第二驅動軸桿121及122分別以樞 轉軸1 1 1爲中心樞轉而使第一及第二機械手3 10a及310b 之第一臂連桿131及132的其中一者相對於第一及第二機 械手310a及310b之第一臂連桿131及132的另一者呈有 角度地移動的狀態下，其可以收縮及伸展該第一及第二機 械手3 10a及3 10b。 -38- (33) 1291915 依照本發明第三實施例之機器人設備3 00，在該第一 及第二驅動軸桿121及122如同一軸桿以樞轉軸111爲中 心而樞轉的狀態下，其可使該第一及第二機械手310a及 3 1 〇 b以該樞轉軸1 1 1爲中心而樞轉。 以下將說明本發明之機械手機構及機器人設備之第四 實施例。 首先將參考圖10至15來說明機械手機構410的構造 〇 在圖10中所描示之機械手機構410係包含一用以支 撐及握持一第一物件之第一握持構件316，及一用以支撐 及握持一第二物件之第二握持構件317。第一及第二握持 構件3 1 6及3 1 7係設計成可用於握持，亦即抓持及釋放一 晶圓或欲用於製造半導體之其他材料。第一及第二握持構 件3 1 6及3 1 7之外形設計係分別視欲由該第一及第二握持 構件316及317所握持之材料的尺寸及形狀而定，且該第 一握持構件3 1 6之形狀可以與第二握持構件3 1 7不同。 第一機械手410a包括一第一臂連桿131、一對短平 行連桿341及342以及一對長平行連桿343及3 44，該第 一臂連桿131具有一第一端部、一第二端部及一通過第一 端部及第二端部之中心線，而該短平行連桿341及342各 具有一第一端部、一第二端部及一通過第一端部及第二端 部之中心線，且該短平行連桿341及342之長度係彼此相 等，而該長平行連桿3U及3 44各具有一第一端部、一第 二端部及一通過第一端部及第二端部之中心線，且該長平 -39- (34) 1291915 行連桿343及3 44之長度係彼此相等。長平行連桿343及 344相對於第一臂連桿131係以一第一傾斜角度而呈傾斜 ，其中該第一傾斜角度係界定在每一長平行連桿343及 _ 3 44之中心線與第一臂連桿1 3 1之中心線之間。 . 第一臂連桿131之第二端部係樞接至長平行連桿343 及3 44之其中一者的第一端部，而長平行連桿343及3 44 其中一者之第二端部係樞接至短平行連桿341及342其中 一者之第一端部。短平行連桿341及3 42之第二端部係樞 φ 接至長平行連桿343及3 44另一者之第一端部，而長平行 連桿343及3 44之另一者之第二端部係樞接至短平行連桿 341及3 42之另一者的第一端部。短平行連桿341及3 42 之另一者之第二端部係樞接至長平行連桿343及344其中 一者之第一端部，而短平行連桿341及3 42之另一者之第 二端部係樞接至第一臂連桿1 3 1之第二端部。短平行連桿 341及342其中一者係連接至第一握持構件316，俾使第 一握持構件3 1 6能以一穩定狀態來支撐第一物件。 馨 第二機械手410b包括一第一臂連桿132、一對短平 行連桿351及352以及一對長平行連桿353及354，該第 一臂連桿131具有一第一端部、一第二端部及一通過第一 . 端部及第二端部之中心線，而該短平行連桿3 5 1及3 5 2各 具有一第一端部、一第二端部及一通過第一端部及第二端 部之中心線，且該短平行連桿3 5 1及3 52之長度係彼此相 等，而該長平行連桿353及354各具有一第一端部、一第 二端部及一通過第一端部及第二端部之中心線，且該長平 -40 - (35) 1291915 行連桿3 5 3及3 54之長度係彼此相等。 短平行連桿34 1及342分別相對於第二機械手410b 之短平行連桿3 5 1及3 5 2係以一預設角度而呈傾斜，其中 該預設角度係界定在第一機械手410a之每一短平行連桿 34 1及342中心線與第二機械手410b之每一短平行連桿 35 1及3 52中心線之間。 第一臂連桿132之第二端部係樞接至長平行連桿353 及354之其中一者的第一端部，而長平行連桿353及354 其中一者之第二端部係樞接至短平行連桿351及3 52其中 一者之第一端部。短平行連桿351及352之第二端部係樞 接至長平行連桿353及3 54另一者之第一端部，而長平行 連桿353及3 54之另一者之第二端部係樞接至短平行連桿 35 1及3 52之另一者的第一端部。短平行連桿351及352 之另一者之第二端部係樞接至長平行連桿3 5 3及3 54其中 一者之第一端部，而短平行連桿351及3 52之另一者之第 二端部係樞接至第一臂連桿1 32之第二端部。短平行連桿 35 1及3 52其中一者係連接至第二握持構件317，俾使第 二握持構件3 1 7能以一穩定狀態來支撐第二物件。 機械手機構410尙包含一機械手移動機構470，俾使 該第一及第二機械手410a及410b之第一臂連桿131及 132其中一者可相對於第一及第二機械手410a及410b之 第一臂連桿131及132的另一者形成有角度地移動，且尙 包含一角度保持機構3 80，俾當第一及第二機械手410a 及410b之第一臂連桿131及132其中一者相對於第一及 (36) 1291915 第二機械手410a及410b之第一臂連桿131及132的另一 者形成有角度地移動時，該角度保持機構4 80可使該界定 在該第一機械手410a之每一短平行連桿341及342之中 心線與第二機械手410b之每一短平行連桿351及3 52之 中心線之間的預設角度大致保持固定。 角度保持機構480包括一對第一平行連桿143及153 與一對第二平行連桿161及162，第一平行連桿143及 153各具有一第一端部、一第二端部、一插置在該第一端 部與第二端部之間的縱向中間部以及一通過第一端部及第 一 2而部之中心線’且該桌一平fj連桿143及153的長度係 彼此大致相等，而該第二平行連桿161及162各具有一第 一端部、一第二端部及一通過第一端部及第二端部之中心 線，且該第二平行連桿1 6 1及1 62的長度係彼此大致相等 〇 該第一平行連桿143及153之其中一者的第二端部係 樞接至第二平行連桿1 6 1及1 62之其中一者的第一端部， 而第二平行連桿161及162之其中一者的第二端部則係樞 接至該第一平行連桿143及153之另一者的第二端部。第 一平行連桿143及153之另一者的第二端部係樞接至第二 平行連桿1 6 1及1 62之另一者的第一端部，而第二平行連 桿161及162之另一者的第二端部則係樞接至第一平行連 桿143及153之其中一者的第一端部。 角度保持機構480尙包括一插置在第一臂連桿131與 第一平行連桿143及153其中一者之間的第一中間連桿 -42 - (37) 1291915 141，以及一插置在第二臂連桿152與第一平行連桿143 及1 5 3另一者之間的第二中間連桿1 5 1，該第一中間連桿 141具有一第一端部、一第二端部及一通過第一端部及第 二端部之中心線，而第二中間連桿151具有一第一端部、 一第二端部及一通過第一端部及第二端部之中心線。 第一中間連桿141之第一端部係樞接至第一機械手 41〇a之第一臂連桿131之第二端部。在該第一中間連桿 141之第一端部連接至第一機械手410a之短平行連桿341 及3 42其中一者之第一端部的狀態下，該第一中間連桿 Ml係與該第一機械手310a之短平行連桿341及3 42之 其中一者一體成型，且該第一中間連桿141係在該第一中 間連桿141之第二端部連接至該第一平行連桿143及153 其中一者之縱向中間部的狀態下與該第一平行連桿143及 153之其中一者一體成型。 第二中間連桿151之第一端部係樞接至第二機械手 410b之第一臂連桿132的第二端部。該第二中間連桿151 係在該第二中間連桿151之第一端部連接至第二機械手 410b之短平行連桿351及3 52其中一者之第二端部的狀 態下與該第二機械手410b之短平行連桿351及3 52之其 中一者的第二端部一體成型，且該第二中間連桿1 5 1係在 第二中間連桿151之第二端部連接至第一平行連桿143及 153之縱向中間部的狀態下與該第一平行連桿143及153 之另一者一體成型。 機械手移動機構470包括一第一驅動軸桿121及一第 (38) 1291915 二驅動軸桿122，該第一驅動軸桿121係連接至第一機械 手410a之第一臂連桿131與第二機械手410b之第一臂連 桿132的其中一者，而該第二驅動軸桿122則係連接至第 一機械手41〇a之第一臂連桿131與第二機械手410b之第 一臂連桿132的另一者，該第二驅動軸桿122具有一樞轉 軸111且能以該樞轉軸111爲中心而樞轉，且該第一驅動 軸桿1 2 1係形成中空形狀，俾將第二驅動軸桿1 22可樞轉 地收納於其中，並且能以樞轉軸1 1 1爲中心而樞轉。 在該第一及第二驅動軸桿121及122以樞轉軸111爲 中心而分別沿順時針及逆時針方向樞轉而使該第一及第二 機械手410a及410b之第一臂連桿131及132的其中一者 相對於第一及第二機械手410a及410b之第一臂連桿131 及132的另一者形成有角度地移動的狀態下，該角度保持 機構480便可用以使該界定在第一機械手410a之每一短 平行連桿34 1及342中心線與第二機械手41〇b之每一短 平行連桿3 5 i及3 52中心線之間的預設角度大致保持固定 〇 第一中間連桿141相對於構成第一機械手410a部件 之第一臂連桿1 3 1係以一第一傾斜角度而呈傾斜，其中該 第一傾斜角度係界定在第一中間連桿1 4 1之中心線與第一 機械手410a之第一臂連桿13ι的中心線之間，而第二中 間連桿151相對於構成第二機械手410b部件之第一臂連 桿1 3 2係以一第二傾斜角度而呈傾斜，其中該第二傾斜角 度係界定在第二中間連桿i 5 1之中心線與第二機械手 -44- (39) 1291915 410b之第一臂連桿132的中心線之間。在該第一及第二 驅動軸桿1 2 1及1 22以樞轉軸1 1 1爲中心而分別沿順時針 及逆時針方向樞轉而使該第一及第二機械手410a及410b 之第一臂連桿131及132的中心線彼此軸向對齊成一直線 的狀態下，該界定在第一中間連桿1 4 1之中心線與第一機 械手4 1 〇a之第一臂連桿1 3 1的中心線之間的第一傾斜角 度係大致相等於該界定在第二中間連桿1 5 1之中心線與第 二機械手410b之第一臂連桿132的中心線之間的第二傾 斜角度。該第一中間連桿141之長度係大致相等於第二中 間連桿1 5 1之長度。 機械手機構410尙包含一第一角度調整機構390a， 其係相應於界定在第一中間連桿141中心線與第一機械手 4 10a之第一臂連桿131之中心線之間的第一傾斜角度， 而調整界定在每一長平行連桿343及344中心線與第一臂 連桿1 3 1之間的第一角度，俾使第一握持構件3 1 6在第一 及第二驅動軸桿1 2 1及1 22分別以樞轉軸1 1 1爲中心而沿 順時針及逆時針方向樞轉而使第一及第二機械手410a及 410b之第一臂連桿131及132其中一者相對於第一及第 二機械手410a及410b之第一臂連桿131及132的另一者 呈有角度地移動的狀態下，沿著一預定第一直線3 1 6a而 大致呈直線移動。 機械手機構410尙包含一第二角度調整機構3 90b， 其係用以相應於界定在第二中間連桿1 5 1中心線與第二機 械手41〇b之第一臂連桿132中心線之間的第二傾斜角度 -45- (40) 1291915 ，而調整界定在每一長平行連桿353及354中心線與第一 臂連桿132之間的第二角度，俾使第二握持構件317在第 一及第二驅動軸桿121及122分別以樞轉軸1 1 1爲中心而 沿順時針及逆時針方向樞轉而使第一及第二機械手4 1 Oa 及410b之第一臂連桿131及132其中一者相對於第一及 第二機械手410a及410b之第一臂連桿131及132的另一 者呈有角度地移動的狀態下，沿著一預定第二直線317a 而大致呈直線移動。 角度保持機構3 80包括一插置在第二臂連桿142與第 一平行連桿143及153其中一者之間的第一中間連桿141 、一插置在第二臂連桿152與第一平行連桿143及153另 一者之間的第二中間連桿1 5 1，以及一插置在第一中間連 桿1 4 1與第二中間連桿1 5 1之間的第三中間連桿1 7 1。第 一中間連桿141具有一第一端部、一第二端部及一通過第 一端部及第二端部之中心線。第二中間連桿1 5 1具有一第 一端部、一第二端部及一通過第一端部及第二端部之中心 線。第三中間連桿1 7 1具有一第一端部及一第二端部。 第一中間連桿141之第一端部係樞接至第一機械手 410a之第一臂連桿131之第二端部，而在該第一中間連 桿141之第一端部連接至第一機械手410a之第二臂連桿 142之第一端部的狀態下，該第一中間連桿141係與該第 一機械手410a之第二臂連桿142 —體成型。該第二中間 連桿151係樞接至第二機械手410b之第一臂連桿132的 第二端部，而該第二中間連桿1 5 1係在第二中間連桿1 5 1 (41) 1291915 之第一端部連接至第二機械手410b之第二臂連桿152之 第一端部的狀態下與該第二機械手410b之第二臂連桿 152 —體成型。 角度保持機構4 80尙包括一具有一第一端部、一第二 端部及一通過第一端部及第二端部之中心線之第一樞轉軸 447、一形成一穿孔以將第一樞轉軸447收納於其中之第 一滑輪441、一具有一第一端部、一第二端部及一通過第 一端部及第二端部之中心線之第二樞轉軸448、一形成一 穿孔以將第二樞轉軸448收納於其中之第二滑輪442，以 及一拉張於第一滑輪441及第二滑輪442上以在第一滑輪 441與第二滑輪442之間傳送驅動力之驅動皮帶444。 第一滑輪441係與第一樞轉軸447 —體成型。第一樞 轉軸447之第一端部係樞接至第三中間連桿171之第二端 部，且該第一樞轉軸447係在第一樞轉軸447之第二端部 連接至第一中間連桿141之第二端部的狀態下與該第一中 間連桿141 一體成型。第二滑輪442係與第二樞轉軸448 一體成型。第二樞轉軸448之第一端部係樞接至第三中間 連桿171之第二端部，而第二樞轉軸448係在該第二樞轉 軸448之第二端部連接至第二中間連桿151之第二端部的 狀態下與第二中間連桿1 5 1 —體成型。 在該第一及第二驅動軸桿12 1及122以樞轉軸111爲 中心而分別沿順時針及逆時針方向樞轉而使該第一及第二 機械手410a及410b之第一臂連桿131及132的其中一者 相對於第一及第二機械手410a及410b之第一臂連桿131 -47- (42) 1291915 及132的另一者形成有角度地移動的狀態下，該角度保持 機構380便可用以使該界定在第二機械手410b之每一短 平行連桿351及352中心線與第一機械手41〇a之每一短 平行連桿34 1及342中心線之間的預設角度大致保持固定 〇 第一中間連桿141相對於構成第一機械手410a部件 之第一臂連桿1 3 1係以一第一傾斜角度而呈傾斜，其中該 第一傾斜角度係界定在第一中間連桿1 4 1之中心線與第一 機械手410a之第一臂連桿131的中心線之間。第二中間 連桿151相對於構成第二機械手410b部件之第一臂連桿 1 32係以一第二傾斜角度而呈傾斜，其中該第二傾斜角度 係界定在第二中間連桿151之中心線與第二機械手410b 之第一臂連桿1 32的中心線之間。 在該第一及第二驅動軸桿121及122以樞轉軸111爲 中心而分別沿順時針及逆時針方向樞轉而使該第一及第二 機械手410a及410b之第一臂連桿131及132的中心線彼 此軸向對齊成一直線的狀態下，該界定在第一中間連桿 141之中心線與第一機械手410a之第一臂連桿131的中 心線之間的第一傾斜角度係大致相等於該界定在第二中間 連桿151之中心線與第二機械手410b之第一臂連桿132 的中心線之間的第二傾斜角度。該第一中間連桿1 4 1之長 度係大致相等於第二中間連桿1 5 1之長度。 第一角度調整機構490a包括一具有一第一端部及一 第二端部之第一齒輪軸桿445a、一形成有一貫孔以將第 (43) 1291915 一齒輪軸桿445a收納於其中之第一齒輪451、一具有一 第一端部及一第二端部之第二齒輪軸桿445b以及一形成 有一貫孔以將第二齒輪軸桿445b收納於其中之第二齒輪 452。第一齒輪451係與第一齒輪軸桿445a —體成型，且 第一齒輪軸桿445a之第一端部係與第一機械手410a之第 一臂連桿131之第一端部一體成型。第二齒輪452係與第 二齒輪軸桿445 b —體成型。第二齒輪軸桿445b之第一端 部係與第一機械手410a之長平行連桿343及344其中一 者之第二端部一體成型，且該第二齒輪軸桿445b之第二 端部係樞接至該第一機械手410a之短平行連桿341及 342之其中一者。 第二角度調整機構490b包括一具有一第一端部及一 第二端部之第一齒輪軸桿446a、一形成有一貫孔以將第 一齒輪軸桿446a收納於其中之第一齒輪461、一具有一 第一端部及一第二端部之第二齒輪軸桿446b以及一形成 有一貫孔以將第二齒輪軸桿446b收納於其中之第二齒輪 462。第一齒輪461係與第一齒輪軸桿4 46a —體成型，且 第一齒輪軸桿446a之第一端部係與第二機械手410b之第 一臂連桿132之第一端部一體成型。第二齒輪462係與第 二齒輪軸桿446b —體成型。第二齒輪軸桿446b之第一端 部係與第二機械手410b之長平行連桿3 5 3及3 54其中一 者之第二端部一體成型，且該第二齒輪軸桿446b之第二 端部係樞接至該第二機械手410b之短平行連桿351及 3 52之其中一者。 -49- (44) 1291915 機器人設備400係包含具有上述結構之機械手機構 410、一第一驅動馬達123以及一第二驅動馬達124，其 中該第一驅動馬達123係用以使該第一驅動軸桿121以樞 轉軸111爲中心來樞轉，俾使第一及第二機械手410a及 410b之其中一者可相對於第一驅動軸桿121而有角度地 移動，而該第二驅動馬達124係用以使該第二驅動軸桿 122以樞轉軸111爲中心來樞轉，俾使該第一及第二機械 手410a及410b之另一者可相對於第二驅動軸桿122而有 角度地移動。 由以上詳細說明可知，依照本發明第四實施例之機器 人設備400在該第一及第二驅動軸桿121及122分別以樞 轉軸111爲中心樞轉而使第一及第二機械手410a及410b 之第一臂連桿131及132的其中一者相對於第一及第二機 械手410a及410b之第一臂連桿131及132的另一者呈有 角度地移動的狀態下，其可以收縮及伸展該第一及第二機 械手410a及410b。 依照本發明第四實施例之機器人設備400,在該第一 及第二驅動軸桿1 2 i及1 2 2如同一軸桿以樞轉軸1 1 1爲中 心而樞轉的狀態下，其可使該第一及第二機械手410a及 4 10b以該樞轉軸1 1 1爲中心而樞轉。 由以上之說明可知，依照本發明之機械手機構及機器 人設備在構造上相當簡單，且可縮減尺寸。依照本發明之 機械手機構及機器人設備的製造成本低廉。依照本發明之 機械手機構及機器人設備可增進機械手之操作可靠度，以 -50- (45) 1291915 確保在第一及第二驅動軸桿及分別以樞轉軸爲中心而沿順 時針及逆時針方向樞轉，且樞轉範圍比習知機械手之樞轉 運動範圍還寬的情況下，該界定在第一機械手之每一短平 行連桿中心線與第二機械手之每一短平行連桿中心線之間 的預設角度可大致保持固定。依照本發明之機械手機構及 機器人設備並不會產生灰塵掉落在高純度空氣之真空工作 腔室中。 雖然本發明已針對實施例說明如上，然而習於此技者 可由本說明內容瞭解到上述實施例仍可具有各種不同的修 飾及改變，然而這些修飾及改變皆涵蓋於隨附之申請專利 範圍中。 【圖式簡單說明】 本發明及其許多伴隨之優點，當配合隨附之圖式來閱 讀以上之詳細說明時，便可獲得更深入之瞭解，其中： 圖1係本發明之機械手機構及機器人設備之第一實施 例在其一狀態下的槪要示意圖； 圖2係本發明之機械手機構及機器人設備之第一實施 例在其另一狀態下的槪要示意圖； 圖3係本發明之機械手機構及機器人設備之第一實施 例的立體視圖； 圖4係本發明之機械手機構及機器人設備之第一實施 例的截面視圖； 圖5係本發明之機械手機構及機器人設備之第一實施 (46) 1291915 例的槪要示意圖； 圖6係本發明之機械手機構及機器人設備之第一實施 例的槪要示意圖； 圖7係本發明之機械手機構及機器人設備之第三實施 例在其一狀態下的槪要示意圖； 圖8係構成本發明機械手機構及機器人設備之部件之 第一角度調整機構之第三實施例的立體視圖； 圖9係本發明之機械手機構及機器人設備之第三實施 例在其另一狀態下的槪要示意圖； 圖10係本發明之機械手機構及機器人設備之第四實 施例在其一狀態下的槪要示意圖； 圖11係本發明之機械手機構及機器人設備之第四實 施例在其另一狀態下的槪要示意圖； 圖12係本發明之機械手機構及機器人設備之第四實 施例的立體視圖； 圖13係本發明之機械手機構及機器人設備之第四實 施例的斷面圖； 圖14係構成本發明第四實施例之機械手機構及機器 人設備部件之第一滑輪及其附近（由圖13之圓圈A所包圍 之部分）的放大斷面圖； 圖15係構成本發明第四實施例之機械手機構及機器 人設備部件之第一及第二齒輪（由圖13之圓圈B所包圍 之部分）的放大斷面圖；以及 圖16係習知機械手機構之槪要示意圖。 -52- (47)1291915 元件符號對照 表 100 機器人 設 備 110 機械手 機 構 110a 第- -機 械 手 1 10b 第二 二機 械 手 111 樞轉軸 116 第- -握 持 構 件 117 第: 二握 持 構 件 12 1 第- -驅 動 軸 桿 122 第二驅 動 軸 桿 123 第- -驅 動 馬 達 124 第二驅 動 馬 達 13 1 第- -臂 連 桿 132 第- -臂 連 桿 141 第一 -中 間 連 桿 142 第二 二臂 連 桿 143 第一 -平 行 連 桿 15 1 第: 二中 間 連 桿 152 第二 二臂 連 桿 153 第- -平 行 連 桿 161 第: 二平 行 連 桿 162 第二 二平 行 連 桿 170 機械手 移 動 機 1 80 角度保 持 機 構
-53- (48)1291915 2 10 機 械 手 機 構 210a 第 —* 機 械 手 2 10b 第 二 機 械 手 22 1 第 一 中 間 連 桿 222 第 二 中 間 連 桿 23 1 第 三 中 間 連 桿 232 第 四 中 間 連 桿 270 機 械 手 移 動 機構 280 角 度 保 持 機 構 300 機 器 人 設 備 3 10 機 械 手 機 構 3 10a 第 一 機 械 手 3 10b 第 二 機 械 手 3 16 第 一 握 持 構 件 3 16a 第 一 直 線 3 17 第 二 握 持 構 件 3 17a 第 二 直 線 34 1 短 平 行 連 桿 342 短 平 行 連 桿 343 長 平 行 連 桿 344 長 平 行 連 桿 3 5 1 短 平 行 連 桿 3 52 短 平 行 連 桿 3 53 長 平 行 連 桿
-54- (49)1291915 354 長平行連桿 361 第一連桿 362 第二連桿 363 第三連桿 364 第四連桿 365 第五連桿 366 第六連桿 370 機械手移動機構 371 第一連桿 372 第二連桿 3 73 第三連桿 374 第四連桿 3 75 第五連桿 3 76 第六連桿 3 80 角度保持機構 3 90a 第一角度調整機構 3 90b 第二角度調整機構 400 機器人設備 4 10 機械手機構 4 10a 第一機械手 4 10b 第二機械手 44 1 第一滑輪 442 第二滑輪 444 驅動皮帶 (50) 1291915 4 4 5a 第一齒輪軸桿 4 4 5b 第二齒輪軸桿 4 4 6a 第一齒輪軸桿 446b 第二齒輪軸桿 ， 4 4 7 第一樞轉軸 448 第二樞轉軸 4 5 1 第一齒輪 452 第二齒輪 翁 4 6 1 第一齒輪 4 6 2 第二齒輪 470 機械手移動機構 480 角度保持機構 900 機器人設備 9 10 機械手機構 9 10a 第一機械手 91〇b第二機械手 ® 9 2 1 第一驅動軸桿 922 第二驅動軸桿 9 2 3 連接軸桿 ^ 931 第一臂連桿 93 2 第一臂連桿 941 第二臂連桿 942 第二臂連桿 95 1 第一握持構件 -56- 1291915 (51) 952 第二握持構件 960 角度保持機構 96 1 第一連桿 962 第二連桿 963 第三連桿 964 第四連桿 965 第五連桿 966 第六連桿