KR100625579B1

KR100625579B1 - 로봇 암 기구 및 로봇 장치

Info

Publication number: KR100625579B1
Application number: KR1020030026309A
Authority: KR
Inventors: 모리히로키; 와타나베데츠야; 오쿠노조헤이
Original assignee: 티에스 코포레이션 가부시키가이샤
Priority date: 2002-04-25
Filing date: 2003-04-25
Publication date: 2006-09-20
Also published as: TWI291915B; US7040852B2; US20030202872A1; JP2003311663A; CN100377846C; EP1356897A1; HK1058772A1; TW200305486A; KR20030084762A; EP1356897B1; CN1454751A; JP3804780B2

Abstract

본 발명의 로봇 암 기구는 제1 피처리물을 지지하고 취급하는 제1 핸들링 부재; 제2 피처리물을 지지하고 취급하는 제2 핸들링 부재; 제1 로봇 암으로서, 제1 암 링크 및 제2 암 링크를 포함하고 있고, 제2 암 링크의 제1 끝부는 제1 암 링크의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되어 있고, 제1 핸들링 부재가 제1 피처리물을 안정된 상태로 지지할 수 있도록 제2 암 링크의 제2 끝부가 제1 핸들링 부재에 연결되어 있는, 상기 제1 로봇 암; 제2 로봇 암으로서, 제1 암 링크 및 제2 암 링크를 포함하고 있고, 제2 암 링크의 제1 끝부는 제1 암 링크의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되어 있고, 제2 로봇 암의 제2 암 링크의 중심선과 제1 로봇 암의 제2 암 링크의 중심선 사이에 한정되는 미리 설정된 각도로 제2 암 링크가 제1 로봇 암의 제2 암 링크에 대하여 기울어져 있고, 제2 핸들링 부재가 제2 피처리물을 안정된 상태로 지지할 수 있도록 제2 암 링크의 제2 끝부가 제2 핸들링 부재에 연결되어 있는, 상기 제2 로봇 암; 제1 로봇 암과 제2 로봇 암의 제1 암 링크 중의 하나를 제1 로봇 암과 제2 로봇 암의 제1 암 링크 중의 다른 하나에 대하여 각운동될 수 있게 하는 로봇 암 운동 기구; 그리고 제1 로봇 암과 제2 로봇 암의 제1 암 링크 중의 하나가 제1 로봇 암과 제2 로봇 암의 제1 암 링크 중의 다른 하나에 대하여 각운동될 때 제2 로봇 암의 제2 암 링크의 중심선과 제1 로봇 암의 제2 암 링크의 중심선 사이에 한정되는 미리 설정된 각도를 실질적으로 고정된 상태로 유지시키는 각도 유지 기구를 포함하고 있다.

로봇 암 기구, 제1 핸들링 부재, 제2 핸들링 부재, 제1 암 링크, 제2 암 링크, 제1 로봇 암, 제2 로봇 암, 로봇 암 운동 기구, 각도 유지 기구

Description

로봇 암 기구 및 로봇 장치{ROBOT ARM MECHANISM AND ROBOT APPARATUS}

도 1 은 한가지 상태하에서의 본 발명에 의한 로봇 암 기구 및 로봇 장치의 제1 실시예의 개략도;

도 2 는 다른 상태하에서의 본 발명에 의한 로봇 암 기구 및 로봇 장치의 제1 실시예의 개략도;

도 3 은 본 발명에 의한 로봇 암 기구 및 로봇 장치의 제1 실시예의 사시도;

도 4 는 본 발명에 의한 로봇 암 기구 및 로봇 장치의 제1 실시예의 단면도;

도 5 는 본 발명에 의한 로봇 암 기구 및 로봇 장치의 제1 실시예의 변경 개략도;

도 6 은 본 발명에 의한 로봇 암 기구 및 로봇 장치의 제2 실시예의 개략도;

도 7 은 한가지 상태하에서의 본 발명에 의한 로봇 암 기구 및 로봇 장치의 제3 실시예의 개략도;

도 8 은 본 발명에 의한 로봇 암 기구 및 로봇 장치의 일부분을 형성하는 제1 각도 조절 기구의 제3 실시예의 사시도;

도 9 는 다른 상태하에서의 본 발명에 의한 로봇 암 기구 및 로봇 장치의 제3 실시예의 개략도;

도 10 은 한가지 상태하에서의 본 발명에 의한 로봇 암 기구 및 로봇 장치의 제4 실시예의 개략도;

도 11 은 다른 상태하에서의 본 발명에 의한 로봇 암 기구 및 로봇 장치의 제4 실시예의 개략도;

도 12 는 본 발명에 의한 로봇 암 기구 및 로봇 장치의 제4 실시예의 사시도;

도 13 은 본 발명에 의한 로봇 암 기구 및 로봇 장치의 제4 실시예의 단편적인 단면도;

도 14 는 도 13에서 원 "A"에 의해 에워싸여진 본 발명에 의한 로봇 암 및 로봇 장치의 제1 풀리와 그것의 주변 형성부의 제4 실시예의 단편적인 확대 단면도;

도 15 는 도 13에서 원 "B"에 의해 에워싸여진 본 발명에 의한 로봇 암 및 로봇 장치의 제1 및 제2 기어 형성부의 제4 실시예의 단편적인 확대 단면도; 그리고

도 16 은 종래의 로봇 암 기구의 개략도.

본 발명은 신축되는 암을 가진 로봇 암 기구에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 수축위치 및 신장위치를 취하도록 암을 구동시키기 위한 암 구동 기구를 편입한 로봇 암 기구에 관한 것이다.

지금까지, 로봇 암 기구가 워크 즉 피처리물을 취급하기 위해 로봇 암을 신 축시키도록 작동하는 반도체 생산 공정에 사용가능한 다양한 종래의 로봇 암 기구가 제안되어져 왔다. 이 피처리물은 예컨대 이송된 다음 로봇 암 기구에 의해 작업대에 언로딩되는 웨이퍼 및 다른 정밀 부품과 같은 워크를 포함할 수 있다.

이런 형태의 종래의 로봇 암 기구의 한가지 전형적인 예로서, 예를 들면 일본국 특허공개 제2002-222488호에 개시되고 도 16에 도시되어 있는 것과 같은 것이 있다. 이 종래의 로봇 암 기구(910)는 제1 핸들링 부재(951), 제2 핸들링 부재(952), 제1 로봇 암(910a), 및 제2 로봇 암(910b)을 포함하고 있는 것으로서 도 16에 도시되어 있다.

제1 핸들링 부재(951)는 제1 피처리물을 지지하고 취급하도록 작동하는 한편, 제2 핸들링 부재(952)는 제2 피처리물을 지지하고 취급하도록 작동한다. 제1 로봇 암(910a)은 제1 끝부, 제2 끝부, 제1 끝부와 제2 끝부 사이에 있는 길이방향의 중간부, 및 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가진 제1 암 링크(931)와, 제1 끝부, 제2 끝부, 제1 끝부와 제2 끝부 사이에 있는 길이방향의 중간부, 및 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가진 제2 암 링크(941)를 포함하고 있다.

제1 암 링크(931)의 제2 끝부는 제2 암 링크(941)의 제1 끝부에 피벗가능하게 연결되는 한편, 제2 암 링크(941)의 제2 끝부는 제1 핸들링 부재(951)에 연결되어, 제1 핸들링 부재(951)가 제1 피처리물을 안정된 상태로 지지하는 것을 가능하게 해준다.

제2 로봇 암(910b)은 제1 끝부, 제2 끝부, 제1 끝부와 제2 끝부 사이에 있는 길이방향의 중간부, 및 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가진 제1 암 링크(932)와, 제1 끝부, 제2 끝부, 제1 끝부와 제2 끝부 사이에 있는 길이방향의 중간부, 및 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가진 제2 암 링크(942)를 포함하고 있다.

제1 암 링크(941)는 제1 로봇 암(910a)의 제2 암 링크(941)의 중심선과 제2 로봇 암(910b)의 제2 암 링크(942)의 중심선 사이에 한정되는 미리 설정된 각도로 제2 암 링크(942)에 대해 경사져 있다. 제2 암 링크(932)의 제2 끝부는 제2 암 링크(942)의 제1 끝부에 피벗가능하게 연결되는 한편, 제2 암 링크(942)의 제2 끝부는 제1 핸들링 부재(952)에 연결되어, 제1 핸들링 부재(952)가 제1 피처리물을 안정된 상태로 지지하는 것을 가능하게 해준다. 이 종래의 로봇 암 기구(910)는 제1 로봇 암(910a)의 제2 암 링크(941)의 중심선과 제2 로봇 암(910b)의 제2 암 링크(942)의 중심선 사이에 한정되는 미리 설정된 각도를 고정된 상태로 유지시키기 위한 각도 유지 기구(960)를 더 포함하고 있다.

각도 유지 기구(960)는 제1 링크(961), 제2 링크(962), 제3 링크(963), 제4 링크(964), 제5 링크(965), 및 제6 링크(966)를 포함하고 있다. 제1 링크(961)는 제1 끝부와 제2 끝부를 가지고 있다. 제2 링크(962)는 제1 끝부, 제2 끝부, 및 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있다. 제2 링크(962)의 제1 끝부는 제1 로봇 암(910a)의 제2 암 링크(941)의 길이방향의 중간부에 피벗가능하게 연결되어 있다. 제2 링크(962)의 제2 끝부는, 제2 링크(962)의 중심선이 제1 로봇 암(910a)의 제1 암 링크(931)의 중심선과 평행한 관계에 있는 상태하에서, 제1 링 크(961)의 제1 끝부에 피벗가능하게 연결되어 있다.

제3 링크(963)는 제1 끝부, 제2 끝부, 및 제1 끝부, 제2 끝부 및 제1 끝부와 제2 끝부 사이에 있는 길이방향의 중간부를 통과하는 중심선을 가지고 있다. 제3 링크(963)의 제1 끝부는 제2 로봇 암(910b)의 제2 암 링크(942)의 길이방향의 중간부에 피벗가능하게 연결되어 있는 한편, 제3 링크(963)의 제2 끝부는, 제3 링크(963)의 중심선이 제2 로봇 암(910b)의 제1 암 링크(932)의 중심선과 평행한 관계에 있는 상태하에서, 제1 링크(961)의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되어 있다. 제4 링크(964)는 제1 끝부와 제2 끝부를 가지고 있다. 제4 링크(964)의 제1 끝부는 제1 로봇 암(910a)의 제1 암 링크(931)의 길이방향의 중간부에 피벗가능하게 연결되어 있다.

제5 링크는 제1 끝부와 제2 끝부를 가지고 있다. 제5 링크(965)의 제1 끝부는 제4 링크(964)의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되어 있는 한편, 제5 링크(965)의 제2 끝부는 제1 로봇 암(910b)의 제1 암 링크(932)의 길이방향의 중간부에 피벗가능하게 연결되어 있다. 제6 링크(966)는 제1 끝부와 제2 끝부를 가지고 있다. 제6 링크(966)의 제1 끝부는 제2 로봇 암(910b)의 제1 암 링크(932)의 길이방향의 중간부에 피벗가능하게 연결되어 있는 한편, 제6 링크(966)의 제2 끝부는 제3 링크(963)의 길이방향의 중간부에 피벗가능하게 연결되어 있다. 제6 링크(966)는, 제6 링크(966)의 제1 끝부가 제5 링크(965)의 제2 끝부에 연결되어 있는 상태하에서, 제5 링크(965)와 일체적으로 형성되어 있다. 제6 링크(966)의 중심선은 제2 로봇 암(910b)의 제2 암 링크(942)의 중심선과 평행한 관계에 있다.

각도 유지 기구(960)는 제1 로봇 암(910a)의 제1 암 링크(931)에 연결된 제1 구동축(921)과, 제2 로봇 암(910b)의 제2 암 링크(932)에 연결된 제2 구동축(922); 및 제3 링크(961)에 연결된 연결축(923)을 더 포함하고 있다.

종래의 로봇 장치(900)는 앞서 설명한 바와 같이 종래의 로봇 암 기구(910)와 도 16에 도시되지 않은 제1 및 제2 구동 모터를 포함하고 있다. 제1 구동 모터는 제1 구동축(921)을 피벗 모멘트 범위내에서 피벗축 주위로 시계방향 및 반시계방향으로 피벗시키도록 제1 구동축(921)을 구동하기 위해 작동한다. 제2 구동 모터는 제2 구동축(922)을 피벗 모멘트 범위내에서 피벗축 주위로 시계방향 및 반시계방향으로 피벗시키도록 제2 구동축(922)을 구동하기 위해 작동한다.

각도 유지 기구(960)는 제1 로봇 암(910a)의 제2 암 링크(941)의 중심선과 제2 로봇 암(910b)의 제2 암 링크(942)의 중심선 사이에 한정되는 미리 설정된 각도를 고정된 상태로 유지시키도록 작동하는 한편, 제1 및 제2 구동축(921, 922)은 각각 제1 및 제2 구동 모터에 의해 피벗축 주위로 시계방향 및 반시계방향으로 피벗되어, 제1 및 제2 로봇 암(910a, 910b)의 제1 암 링크(931, 932) 중의 하나를 제1 및 제2 로봇 암(910a, 910b)의 제1 암 링크(931, 932) 중의 다른 하나에 대해 각운동 시킨다.

그러나, 종래의 로봇 장치(900)는 제1 및 제2 구동축(921, 922)이 피벗축 주위로 시계방향 및 반시계방향으로 각각 피벗될 때 제2 및 제3 링크(962, 963)가 제1 및 제2 로봇 암(910a, 910b)의 제1 암 링크(931, 932)와 간섭하는 경향이 있다는 문제점에 부딛히게 된다. 이는 피벗 운동 범위가 제1 및 제2 로봇 암(910a, 910b)의 제2 링크(962), 제3 링크(963), 및 제1 암 링크(931, 932)의 직경, 제2 링크(962)의 중심선과 제1 로봇 암(910a)의 제1 암 링크(931)의 중심선 사이의 거리, 및 제3 링크(963)의 중심선과 제2 로봇 암(910a)의 제1 암 링크(932)의 중심선 사이의 거리에 상응하여 제한된다는 사실을 야기한다.

그러므로, 구조가 간단하고 소형화될 수 있는 로봇 암 기구 및 로봇 장치를 제공하는 것이 본원 발명의 한가지 목적이다.

생산원가가 저렴하게 될 수 있는 로봇 암 기구 및 로봇 장치를 제공하는 것이 본 발명의 또다른 목적이다.

로봇 암의 작동 신뢰성을 향상시켜, 제1 로봇 암의 제2 암 링크의 중심선과 제2 로봇 암의 제2 암 링크의 중심선 사이에 한정되는 미리 설정된 각도가, 제1 및 제2 구동축이 종래의 로봇 암의 피벗 운동 범위보다 넓은 피벗 운동 범위내에서 피벗축 주위로 시계방향 및 반시계방향으로 각각 피벗되는 동안에, 고정된 상태로 유지되는 것을 보장할 수 있는 로봇 암 기구 및 로봇 장치를 제공하는 것이 본 발명의 또다른 목적이다.

매우 청정한 공기 상태의 진공 작업실내에 어떤 먼지도 발생시키지 않을 수 있는 로봇 암 기구 및 로봇 장치를 제공하는 것이 본 발명의 또다른 목적이다.

본 발명의 제1 양태에 의하면, 제1 피처리물을 지지하고 취급하기 위한 제1 핸들링 부재; 제2 피처리물을 지지하고 취급하기 위한 제2 핸들링 부재; 제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 갖고 있는 제1 암 링크 그리고 제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 갖고 있는 제2 암 링크를 포함하고 있는 제1 로봇 암; 제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 갖고 있는 제1 암 링크 그리고 제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 갖고 있는 제2 암 링크를 포함하고 있는 제2 로봇 암; 상기 제1 및 제2 로봇 암의 상기 제1 암 링크의 하나가 상기 제1 및 제2 로봇 암의 상기 제1 암 링크의 다른 하나에 대하여 각운동되도록 허용하기 위해 상기 제1 및 제2 로봇 암의 상기 제1 암 링크에 연결된 로봇 암 운동 기구; 상기 제1 및 제2 로봇 암의 상기 제1 암 링크의 하나가 상기 제1 및 제2 로봇 암의 상기 제1 암 링크의 다른 하나에 대하여 각운동 될 때, 상기 제2 로봇 암의 상기 제2 암 링크의 상기 중심선과 상기 제1 로봇 암의 상기 제2 암 링크의 상기 중심선 사이에 한정되는 상기 미리 설정된 각도를 고정된 상태로 유지하기 위해 상기 제1 및 제2 로봇 암의 상기 제2 암 링크에 연결된 각도 유지 기구;를 포함하고 있고, 상기 제1 로봇 암의 상기 제2 암 링크의 상기 제1 끝부는 상기 제1 암 링크의 상기 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되고, 상기 제1 로봇 암의 상기 제2 암 링크의 상기 제2 끝부는 상기 제1 핸들링 부재에 연결되어 상기 제1 핸들링 부재가 안정된 상태에서 상기 제1 피처리물을 지지하도록 허용하고, 상기 제2 로봇 암의 상기 제2 암 링크의 상기 제1 끝부는 상기 제1 암 링크의 상기 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되고, 상기 제2 로봇 암의 상기 제2 암 링크는 상기 제2 로봇 암의 상기 제2 암 링크의 상기 중심선과 상기 제1 로봇 암의 상기 제2 암 링크의 중심선 사이에 한정되는 미리 설정된 각도로 상기 제1 로봇 암의 상기 제2 암 링크에 대하여 경사지고, 상기 제2 로봇 암의 상기 제2 암 링크의 상기 제2 끝부는 상기 제2 핸들링 부재에 연결되어 상기 제2 핸들링 부재가 안정된 상태에서 상기 제2 피처리물을 지지하도록 허용하는, 로봇 암 기구가 제공된다.

본 발명의 제2 양태에 의하면, 제1 피처리물을 지지하고 취급하는 제1 핸들링 부재; 제2 피처리물을 지지하고 취급하는 제2 핸들링 부재; 제1 로봇 암으로서, 제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부 및 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있는 제1 암 링크와 제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부 및 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있는 제2 암 링크를 포함하고 있고, 상기 제2 암 링크의 상기 제1 끝부는 상기 제1 암 링크의 상기 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되어 있고, 상기 제1 핸들링 부재가 상기 제1 피처리물을 안정된 상태로 지지할 수 있도록 상기 제2 암 링크의 상기 제2 끝부가 상기 제1 핸들링 부재에 연결되어 있는, 상기 제1 로봇 암; 제2 로봇 암으로서, 제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부 및 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있는 제1 암 링크와 제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부 및 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있는 제2 암 링크를 포함하고 있고, 상기 제2 암 링크의 상기 제1 끝부는 상기 제1 암 링크의 상기 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되어 있고, 상기 제2 암 링크는 상기 제2 로봇 암의 상기 제2 암 링크의 상기 중심선과 상기 제1 로봇 암의 상기 제2 암 링크의 상기 중심선 사이에 한정되는 미리 설정된 각도를 가지고 있고, 상기 제2 핸들링 부재가 상기 제2 피처리물을 안정된 상태로 지지할 수 있도록 상기 제2 암 링크의 상기 제2 끝부가 상기 제2 핸들링 부재에 연결되어 있는, 상기 제2 로봇 암; 상기 제1 및 제2 로봇 암의 상기 제1 암 링크 중의 하나를 상기 제1 및 제2 로봇 암의 상기 제1 암 링크 중의 다른 하나에 대하여 각운동되도록 허용하기 위해 상기 제1 및 제2 로봇 암의 상기 제1 암 링크에 연결된 로봇 암 운동 기구; 그리고 상기 제1 로봇 암과 제2 로봇 암의 상기 제1 암 링크 중의 하나가 상기 제1 로봇 암과 제2 로봇 암의 상기 제1 암 링크 중의 다른 하나에 대하여 각운동될 때 상기 제2 로봇 암의 상기 제2 암 링크의 상기 중심선과 상기 제1 로봇 암의 상기 제2 암 링크의 상기 중심선 사이에 한정되는 미리 설정된 각도를 고정된 상태로 유지하기 위해 상기 제1 및 제2 로봇 암의 상기 제2 암 링크에 연결된 각도 유지 기구;를 포함하고 있는 로봇 암 기구를 포함하고 있는 로봇 장치가 제공된다. 이 로봇 장치는 상기 제1 로봇 암과 상기 제2 로봇 암의 제1 암 링크의 하나를 구동시키는 제1 구동 모터; 그리고 상기 제1 로봇 암과 상기 제2 로봇 암의 제1 암 링크의 다른 하나를 구동시키는 제2 구동 모터;를 더 포함하고 있다.

본 발명 및 그에 따른 많은 장점들은 첨부된 도면을 참조하여 설명되는 다음의 실시예의 설명으로부터 보다 잘 이해될 것이다.

(실시예)

본 발명에 의한 로봇 암 기구 및 로봇 장치의 실시예들이 도 1 내지 15를 참조하여 설명된다. 다음의 실시예의 설명 전체에 걸쳐, 동일한 참조부호 및 번호가 전체 도면에서 각각의 동일한 부재를 나타낸다.

본 발명에 의한 로봇 암 기구 및 로봇 장치의 제1 실시예의 구성이 도 1 내지 5를 참조하여 먼저 설명된다.

로봇 암 기구(110)는 제1 피처리물을 지지하고 취급하기 위한 제1 핸들링 부재(116), 및 제2 피처리물을 지지하고 취급하기 위한 제2 핸들링 부재(117)를 포함하고 있는 것으로서 도 1 및 2에 도시되어 있다. 제1 및 제2 핸들링 부재(116, 117)는 반도체를 생산하기 위해 사용되는 웨이퍼 및 다른 재료를 취급, 즉 유지 및 해제하기 위해 사용가능한 것으로 구성되어 있다. 제1 및 제2 핸들링 부재(116, 117)의 형태는 제1 및 제2 핸들링 부재(116, 117)에 의해 취급될 재료의 크기 및 형상에 의존한다.

로봇 암 기구(110)는 제1 로봇 암(110a) 및 제2 로봇 암(110b)을 더 포함하고 있다. 제1 로봇 암(110a)은 제1 끝부, 제2 끝부, 및 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가진 제1 암 링크(131)와, 제1 끝부, 제2 끝부 및 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가진 제2 암 링크(142)를 포함하고 있다. 제2 암 링크(142)의 제1 끝부는 제1 암 링크(131)의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되어 있는 한편, 제2 암 링크(142)의 제2 끝부는 제1 핸들링 부재(116)에 연결되어, 제1 핸들링 부재(116)가 제1 피처리물을 안정된 상태로 지지하는 것을 가능하게 해준다.

제2 로봇 암(110b)은 제1 끝부, 제2 끝부, 및 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가진 제1 암 링크(132)와, 제1 끝부, 제2 끝부 및 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가진 제2 암 링크(152)를 포함하고 있다. 제2 로봇 암(110b)의 일부분을 형성하는 제2 암 링크(152)는 제2 로봇 암(110b)의 제2 암 링크(152)의 중심선과 제1 로봇 암(110a)의 제2 암 링크(142)의 중심선 사이에 한정되는 미리 설정된 각도로 제1 로봇 암(110a)의 일부분을 형성하는 제2 암 링크(142)에 대해 경사져 있다.

제2 암 링크(152)의 제1 끝부는 제1 암 링크(132)의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되어 있는 한편, 제2 암 링크(152)의 제2 끝부는 제2 핸들링 부재(117)에 연결되어, 제2 핸들링 부재(117)가 제2 피처리물을 안정된 상태로 지지하는 것을 가능하게 해준다.

로봇 암 기구(110)는 제1 및 제2 로봇 암(110a, 110b)의 제1 암 링크(131, 132) 중의 하나가 제1 및 제2 로봇 암(110a, 110b)의 제1 암 링크(131, 132) 중의 다른 하나에 대해 각운동되도록 허용하는 로봇 암 운동 기구(170)를 더 포함하고 있다(도 3 참조). 로봇 암 기구(110)는, 제1 및 제2 로봇 암(110a, 110b)의 제1 암 링크(131, 132) 중의 하나가 제1 및 제2 로봇 암(110a, 110b)의 제1 암 링크(131, 132) 중의 다른 하나에 대해 각운동될 때, 제2 로봇 암(110b)의 제2 암 링크(152)의 중심선과 제1 로봇 암(110a)의 제2 암 링크(142)의 중심선 사이에 한정되는 미리 설정된 각도를 고정된 상태로 유지시키기 위한 각도 유지 기구(180)를 더 포함하고 있다.

로봇 암 운동 기구(170)는 제1 로봇 암(110a)의 제1 암 링크(131)와 제2 로봇 암(110b)의 제1 암 링크(132) 중의 하나에 연결된 제1 구동축(121)과, 제1 로봇 암(110a)의 제1 암 링크(131)와 제2 로봇 암(110b)의 제1 암 링크(132) 중의 다른 하나에 연결되며 피벗축(111)을 가지고 있고 피벗축(111) 주위로 피벗가능한 제2 구동축(122)을 포함하고 있고, 제1 구동축(121)은 중공의 형태로 만들어져 내부에 제2 구동축(122)을 피벗가능하게 수용하고 피벗축(111) 주위로 피벗가능하다.

각도 유지 기구(180)는 한쌍의 제1 평행 링크(143, 153) 및 한쌍의 제2 링크(161, 162)를 포함하고 있다. 제1 평행 링크(143, 153) 각각은 제1 끝부, 제2 끝부, 제1 끝부와 제2 끝부 사이에 개재된 길이방향의 중간부, 그리고 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있다. 제1 평행링크(143, 153) 중의 하나는 제1 평행 링크(143, 153)의 다른 하나와 길이가 동일하다. 제2 평행 링크(161, 162) 각각은 제1 끝부, 제2 끝부, 그리고 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있다. 제2 평행 링크(161, 162) 중의 하나는 제2 평행 링크(161, 162) 중의 다른 하나와 길이가 동일하다.

제1 평행 링크(143, 153) 중의 하나의 제2 끝부는 제2 평행 링크(161, 162) 중의 하나의 제1 끝부에 피벗가능하게 연결되어 있는 한편, 제2 평행 링크(161, 162) 중의 하나의 제2 끝부는 제1 평행 링크(143, 153) 중의 다른 하나의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되어 있다. 제1 평행 링크(143, 153)의 다른 하나의 제1 끝부는 제2 평행 링크(161, 162)의 다른 하나의 제1 끝부에 피벗가능하게 연결되어 있는 한편, 제2 평행 링크(161, 162)의 다른 하나의 제2 끝부는 제1 평행 링크(143, 153)의 하나의 제1 끝부에 피벗가능하게 연결되어 있다.

각도 유지 기구(180)는 더욱이 제1 평행 링크(143, 153)의 하나와 제2 암 링크(142) 사이에 개재된 제1 중간 링크(141)와, 제1 평행 링크(143, 153)의 다른 하나와 제2 암 링크(152) 사이에 개재된 제2 중간 링크(151)를 포함하고 있다. 제1 중간 링크(141)는 제1 끝부, 제2 끝부, 그리고 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있다. 제2 중간 링크(151)는 제1 끝부, 제2 끝부, 그리고 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있다.

제1 중간 링크(141)의 제1 끝부는 제1 로봇 암(110a)의 제1 암 링크(131)의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되어 있는 한편, 제1 중간 링크(141)의 제1 끝부가 제1 로봇 암(110a)의 제2 암 링크의 제1 끝부에 연결된 상태하에서 제1 중간 링크(141)는 제1 로봇 암(110a)의 제2 암 링크(142)와 일체로 형성되어 있다. 제1 중간 링크(141)의 제2 끝부가 제1 평행 링크(143, 153) 중의 하나의 길이방향의 중간부에 연결된 상태하에서, 제1 중간 링크(141)는 제1 평행 링크(143, 153) 중의 하나와 일체로 형성되어 있다.

제2 중간 링크(151)의 제1 끝부는 제2 로봇 암(110b)의 제1 암 링크(132)의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되어 있는 한편, 제2 중간 링크(151)의 제1 끝부가 제2 로봇 암(110b)의 제2 암 링크(152)의 제1 끝부에 연결된 상태하에서 제2 중간 링크(151)는 제2 로봇 암(110b)의 제2 암 링크(152)와 일체로 형성되어 있다. 제2 중간 링크(151)의 제2 끝부가 제1 평행 링크(143, 153) 중의 다른 하나의 길이방향 의 중간부에 연결된 상태하에서 제2 중간 링크(151)는 제1 평행 링크(143, 153) 중의 다른 하나와 일체로 형성되어 있다.

제1 및 제2 구동축(121, 122)이 각각 피벗축(111) 주위로 시계방향 및 반시계방향으로 피벗되어 제1 및 제2 로봇 암(110a, 110b)의 제1 암 링크(131, 132)의 하나가 제1 및 제2 로봇 암(110a, 110b)의 제1 암 링크(131, 132)의 다른 하나에 대하여 각운동 시키는 상태하에서, 각도 유지 기구(180)는 제2 로봇 암(110b)의 제2 암 링크(152)의 중심선과 제1 로봇 암(110a)의 제2 암 링크(152)의 중심선 사이에 한정되는 미리 설정된 각도를 고정된 상태로 유지하도록 작동된다.

제1 중간 링크(141)는 제1 로봇 암(110a)의 제1 암 링크(131)의 중심선과 제1 중간 링크(141)의 중심선과 사이에 한정되는 제1 경사각으로 제1 로봇 암(110a)의 일부분을 형성하는 제1 암 링크(131)에 대하여 경사져 있다. 제2 중간 링크(151)는 제2 로봇 암(110b)의 제1 암 링크(132)의 중심선과 제2 중간 링크(151)의 중심선 사이에 한정되는 제2 경사각으로 제2 로봇 암(110b)의 일부분을 형성하는 제1 암 링크(132)에 대하여 경사져 있다. 제1 및 제2 구동축(121, 122)이 피벗축(111) 주위로 시계방향 및 반시계방향으로 각각 피벗되어 제1 및 제2 로봇 암(110a, 110b)의 제1 암 링크(131, 132)의 중심선이 서로 축방향으로 정렬되는 상태하에서, 제1 로봇 암(110a)의 제1 암 링크(131)의 중심선과 제1 중간 링크(141)의 중심선 사이에 한정되는 제1 경사각은 제2 로봇 암(110b)의 제1 암 링크(132)의 중심선과 제2 중간 링크(151)의 중심선 사이에 한정되는 제2 경사각과 동일하다. 제1 중간 링크(141)는 제2 중간 링크(151)와 길이가 동일하다.

도 3 및 도 4에 도시되어 있는 바와 같이, 로봇 장치(100)는 제1 구동축(121)에 대하여 제1 로봇 암(110a)과 제2 로봇 암(110b) 중의 하나를 각운동 시키도록 피벗축(111) 주위로 제1 구동축(121)을 구동하기 위한 제1 구동모터(123), 그리고 제2 구동축(122)에 대하여 제1 로봇 암(110a)과 제2 로봇 암(110b) 중의 다른 하나를 각운동 시키도록 피벗축(111) 주위로 제2 구동축(122)을 구동하기 위한 제2 구동모터(124)를 더 포함하고 있다.

본 발명의 제1 실시예에 따른 로봇 장치(100)의 작동에서, 제1 구동축(121)이 제1 구동모터(170a)에 의해 구동되어 제1 구동축(121)이 피벗축(111)을 시계방향 및 반시계방향으로 피벗시키는 상태하에서, 제1 로봇 암(110a)은 제1 로봇 암(110a)의 제2 암 링크(142)의 중심선과 제2 로봇 암(110b)의 제2 암 링크(152)의 중심선 사이에 한정되는 고정된 미리 설정된 각도로 신축한다.

한편, 제2 구동축(122)이 제2 구동모터(170b)에 의해 구동되어 제2 구동축(122)이 피벗축(111)을 시계방향 및 반시계방향으로 피벗시키는 상태하에서, 제2 로봇 암(110a)은 제1 로봇 암(110a)의 제2 암 링크(142)의 중심선과 제2 로봇 암(110b)의 제2 암 링크(152)의 중심선 사이에 한정되는 고정된 미리 설정된 각도로 신축한다.

상기한 상세한 설명으로부터, 본 발명의 본 실시예에 따른 로봇 장치(100)는 제1 및 제2 구동축(121, 122)이 각각 피벗축 주위에서 피벗되어 제1 및 제2 로봇 암(110a, 110b)의 제1 암 링크(131, 132) 중의 하나를 제1 및 제2 로봇 암(110a, 110b)의 제1 암 링크(131, 132) 중의 다른 하나에 대하여 각운동 시키는 상태하에서, 제1 및 제2 로봇 암(110a, 110b)을 신축시킬 수 있다는 것은 이해될 것이다.

본 발명의 제1 실시예에 따른 로봇 장치(100)는 제1 및 제2 구동축(121, 122)이 각각 피벗축(111) 주위에서 피벗되어 제1 및 제2 로봇 암(110a, 110b)의 제1 암 링크(131, 132)의 하나를 제1 및 제2 로봇 암(110a, 110b)의 제1 암 링크(131, 132)의 다른 하나에 대하여 각운동 시키는 상태하에서, 제1 로봇 암(110a)의 제2 암 링크(142)의 중심선과 제2 로봇 암(110b)의 제2 암 링크(152)의 중심선 사이에 한정되는 미리 설정된 각도를 고정된 상태로 유지할 수 있다.

본 발명의 제1 실시예에 따른 로봇 장치(100)는 제1 및 제2 구동축(121, 122)이 하나의 축으로서 피벗축(111) 주위에서 피벗되는 상태하에서, 제1 및 제2 로봇 암(110a, 110b)을 피벗축(111) 주위에서 회전되도록 할 수 있다.

도 5에 도시된 바와같이, 제1 중간 링크(141)는 제1 중간 링크(141)가 제1 평행 링크(143, 153) 중의 하나의 중심선과 수직인 상태하에서, 제1 평행 링크(143, 153)의 하나와 일체로 형성될 수 있다. 한편, 제2 중간 링크(151)는 제2 중간 링크(151)가 제1 평행 링크(143, 153) 중의 다른 하나의 중심선과 수직인 상태하에서, 제1 평행 링크(143, 153)의 다른 하나와 일체로 형성될 수 있다.

상기 설명에서, 본 발명에 따른 로봇 암 기구의 제1 실시예에 관하여 설명하 였지만, 본 실시예는 본 발명의 목적을 달성하기 위해서 본 발명에 따른 로봇 암 기구의 제2 내지 제4 실시예로 대체될 수 있다. 로봇 암 기구의 제2 내지 제4 실시예를 이하 설명한다.

본 발명에 따른 로봇 암 기구와 로봇 장치의 제2 실시예의 구성을 도 6을 참조하여 먼저 설명한다.

로봇 암 기구(210)가 제1 피처리물을 지지하고 취급하기 위한 제1 핸들링부재(116), 제2 피처리물을 지지하고 취급하기위한 제2 핸들링부재(117), 제1 로봇 암(210a), 그리고 제2 로봇 암(210b)을 포함하여 도 6에 도시되어 있다.

제1 로봇 암(210a)은 제1 끝부, 제2 끝부, 그리고 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있는 제1 암 링크(131)와, 제1 끝부, 제2 끝부, 그리고 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있는 제2 암 링크(142)를 포함하고 있다. 제2 암 링크(142)의 제1 끝부는 제1 암 링크(131)의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되어 있는 한편, 제2 암 링크(142)의 제2 끝부는 제1 핸들링부재(116)가 안정된 상태로 제1 피처리물을 지지하도록 제1 핸들링부재(116)에 연결되어 있다.

제2 로봇 암(210b)은 제1 끝부, 제2 끝부, 그리고 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있는 제1 암 링크(132)와, 제1 끝부, 제2 끝부, 그리고 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있는 제2 암 링크(152)를 포함하고 있다. 제2 암 링크(152)의 제1 끝부는 제1 암 링크(132)의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되어 있는 한편, 제2 암 링크(152)의 제2 끝부는 제1 핸들링부재(117)가 안정된 상태로 제2 피처리물을 지지하도록 제1 핸들링부재(117)에 연결되어 있다. 제2 로봇 암(210b)의 일부분을 형성하는 제2 암 링크(152)는 제2 로봇 암(210b)의 제2 암 링크(152)의 중심선과 제1 로봇 암(210a)의 제2 암 링크(142)의 중심선 사이에 한정되는 미리 설정된 각도로 제1 로봇 암(210a)의 일부분을 형성하는 제2 암 링크(142)에 대하여 경사져 있다.

로봇 암 기구(210)는 로봇 암 운동 기구(도시 생략)와 각도 유지 기구(280)를 더 포함하고 있다. 로봇 암 운동 기구는 제1 및 제2 로봇 암(210a, 210b)의 제1 암 링크(131, 132) 중의 하나를 제1 및 제2 로봇 암(210a, 210b)의 제1 암 링크(131, 132) 중의 다른 하나에 대하여 각운동 시키도록 작동된다. 각도 유지 기구(280)는 제1 및 제2 로봇 암(210a, 210b)의 제1 암 링크(131, 132) 중의 하나가 제1 및 제2 로봇 암(210a, 210b)의 제1 암 링크(131, 132) 중의 다른 하나에 대하여 각운동 될 때 제1 로봇 암(210a)의 제2 암 링크(142)의 중심선과 제2 로봇 암(210b)의 제2 암 링크(152)의 중심선 사이에 한정되는 미리 설정된 각도를 고정된 상태로 유지하도록 작동된다.

각도 유지 기구(280)는, 한 쌍의 평행 링크(161, 162), 제1 로봇 암(210a)의 제2 암 링크(142)와 평행 링크(161, 162) 중의 하나 사이에 개재된 제1 중간 링크(221), 제1 로봇 암(210a)의 제2 암 링크(142)와 평행 링크(161, 162) 중의 다른 하나 사이에 개재된 제2 중간 링크(222), 제2 로봇 암(210b)의 제2 암 링크(152)와 평행 링크(161, 162) 중의 하나 사이에 개재된 제3 중간 링크(231), 및 제2 로봇 암(210b)의 제2 암 링크(152)와 평행 링크(161, 162) 중의 다른 하나 사이에 개재된 제4 중간 링크(232)를 포함한다. 평행 링크(161, 162)의 각각은 제1 끝부, 제2 끝부, 및 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있다. 평행 링크(161, 162) 중의 하나는 평행 링크(161, 162) 중의 다른 하나와 길이가 동일하다.

제1 중간 링크(221)는 제1 끝부, 제2 끝부, 및 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있는 한편, 제2 중간 링크(222)는 제1 끝부, 제2 끝부, 및 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있다. 제3 중간 링크(231)는 제1 끝부, 제2 끝부, 및 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있는 한편, 제4 중간 링크(232)는 제1 끝부, 제2 끝부, 및 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있다.

제1 중간 링크(221)의 제1 끝부는 제1 로봇 암(210a)의 제1 암 링크(131)의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되는 한편, 제1 중간 링크(221)는, 제1 중간 링크(221)의 제1 끝부가 제1 로봇 암(210a)의 제2 암 링크(142)의 제1 끝부에 연결되어 있는 상태에서, 제1 로봇 암(210a)의 제2 암 링크(142)와 일체적으로 형성된다. 제2 중간 링크(222)의 제1 끝부는 제1 로봇 암(210a)의 제1 암 링크(131)의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되는 한편, 제2 중간 링크(222)는, 제2 중간 링크(222)의 제1 끝부가 제1 로봇 암(210a)의 제2 암 링크(142)의 제1 끝부에 연결되어 있는 상태에서, 제1 로봇 암(210a)의 제2 암 링크(142)와 일체적으로 형성된다.

제3 중간 링크(231)의 제1 끝부는 제2 로봇 암(210b)의 제1 암 링크(132)의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되는 한편, 제3 중간 링크(231)는, 제3 중간 링크(231)의 제1 끝부가 제2 로봇 암(210b)의 제2 암 링크(152)의 제1 끝부에 연결되어 있는 상태에서, 제2 로봇 암(210b)의 제2 암 링크(152)와 일체적으로 형성된다. 제4 중간 링크(232)의 제1 끝부는 제2 로봇 암(210b)의 제1 암 링크(132)의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되는 한편, 제4 중간 링크(232)는, 제4 중간 링크(232)의 제1 끝부가 제2 로봇 암(210b)의 제2 암 링크(152)의 제1 끝부에 연결되어 있는 상태에서, 제2 로봇 암(210b)의 제2 암 링크(152)와 일체적으로 형성된다.

제1 중간 링크(221)는 제4 중간 링크(232)와 길이가 동일한 한편, 제2 중간 링크(222)는 제3 중간 링크(231)와 길이가 동일하다. 제1 중간 링크(221)는 제2 중간 링크(222)보다 길다.

제1 중간 링크(221)는, 제1 및 제2 구동축(121, 122)이 각각 피벗축(111) 주위로 시계방향 및 반시계방향으로 피벗되어 제1 및 제2 로봇 암(210a, 210b)의 제1 암 링크(131, 132)의 중심선이 서로 정렬되도록 하는 상태에서, 제1 로봇 암(210a)의 제1 암 링크(131)의 중심선 까지의 제1 중간 링크(221)의 중심선의 제1 경사각으로 제1 로봇 암(210a)의 제1 암 링크(131)에 대하여 경사져 있다. 제2 중간 링크(222)는, 제1 및 제2 구동축(121, 122)이 각각 피벗축(111) 주위로 시계방향 및 반시계방향으로 피벗되어 제1 및 제2 로봇 암(210a, 210b)의 제1 암 링크(131, 132)의 중심선이 서로 정렬되도록 하는 상태에서, 제1 로봇 암(210a)의 제1 암 링크(131)의 중심선 까지의 제2 중간 링크(222)의 중심선의 제2 경사각으로 제1 로봇 암(210a)의 제1 암 링크(131)에 대하여 경사져 있다.

제3 중간 링크(231)는, 제1 및 제2 구동축(121, 122)이 각각 피벗축(111) 주위로 시계방향 및 반시계방향으로 피벗되어 제1 및 제2 로봇 암(210a, 210b)의 제1 암 링크(131, 132)의 중심선이 서로 정렬되도록 하는 상태에서, 제2 로봇 암(210b)의 제1 암 링크(132)의 중심선 까지의 제3 중간 링크(231)의 중심선의 제3 경사각으로 제2 로봇 암(210b)의 제1 암 링크(132)에 대하여 경사져 있다. 제4 중간 링크(232)는, 제1 및 제2 구동축(121, 122)이 각각 피벗축(111) 주위로 시계방향 및 반시계방향으로 피벗되어 제1 및 제2 로봇 암(210a, 210b)의 제1 암 링크(131, 132)의 중심선이 서로 정렬되도록 하는 상태에서, 제2 로봇 암(210b)의 제1 암 링크(132)의 중심선 까지의 제4 중간 링크(232)의 중심선의 제4 경사각으로 제2 로봇 암(210b)의 제1 암 링크(132)에 대하여 경사져 있다.

제1 및 제2 구동축(121, 122)이 피벗축(111) 주위로 시계방향 및 반시계방향으로 각각 피벗되어 제1 및 제2 로봇 암(210a, 210b)의 제1 암 링크(131, 132)의 중심선이 서로 정렬되도록 하는 상태에서, 제1 로봇 암(210a)의 제1 암 링크(131)의 중심선에 대한 제1 중간 링크(221)의 중심선의 제1 경사각은 제2 로봇 암(210b)의 제1 암 링크(132)의 중심선에 대한 제4 중간 링크(232)의 중심선의 제4 경사각과 동일하다.

제1 및 제2 구동축(121, 122)이 피벗축(111) 주위로 시계방향 및 반시계방향으로 각각 피벗되어 제1 및 제2 로봇 암(210a, 210b)의 제1 암 링크(131, 132)의 중심선이 서로 정렬되도록 하는 상태에서, 제1 로봇 암(210a)의 제1 암 링크(131)의 중심선에 대한 제2 중간 링크(222)의 중심선의 제2 경사각은 제2 로봇 암(210b)의 제1 암 링크(132)의 중심선에 대한 제3 중간 링크(231)의 중심선의 제3 경사각과 동일하다.

제1 및 제2 구동축(121, 122)이 피벗축(111) 주위로 시계방향 및 반시계방향으로 각각 피벗되어 제1 및 제2 로봇 암(210a, 210b)의 제1 암 링크(131, 132)의 중심선이 서로 정렬되도록 하는 상태에서, 제1 로봇 암(210a)의 제1 암 링크(131)의 중심선에 대한 제1 중간 링크(221)의 중심선의 제1 경사각은 제1 로봇 암(210a)의 제1 암 링크(131)의 중심선에 대한 제2 중간 링크(222)의 중심선의 제2 경사각 보다 더 크다.

로봇 장치(200)는 제1 구동축(121)에 대하여 제1 로봇 암(210a)과 제2 로봇 암(210b) 중의 하나를 각운동 시키도록 피벗축(111) 주위로 제1 구동축(121)을 구동하기 위한 제1 구동 모터(도시 생략); 그리고 제2 구동축(122)에 대하여 제1 로봇 암(210a)과 제2 로봇 암(210b) 중의 다른 하나를 각운동 시키도록 피벗축(111) 주위로 제2 구동축(122)을 구동하기 위한 제2 구동 모터(도시 생략)를 더 포함한다.

본 발명의 제2 실시예에 따른 로봇 장치(200)의 작동에 있어서, 제1 로봇 암(210a)은, 제1 구동축(121)이 피벗축(111) 주위로 시계방향 및 반시계방향으로 피벗되도록 제1 구동축(121)이 제1 구동 모터에 의해 구동되는 상태하에서 제2 로봇 암(110b)의 제2 암 링크(152)의 중심선과 제1 로봇 암(110a)의 제2 암 링크(142)의 중심선 사이에 한정되는 고정된 미리 설정된 각도로 신축된다. 다른 한편으로, 제2 로봇 암(210b)은, 제2 구동축(122)이 피벗축(111) 주위로 시계방향 및 반시계방향으로 피벗되도록 제2 구동축(122)이 제2 구동 모터에 의해 구동되는 상태하에서 제2 로봇 암(110b)의 제2 암 링크(152)의 중심선과 제1 로봇 암(110a)의 제2 암 링크(142)의 중심선 사이에 한정되는 고정된 미리 설정된 각도로 신축된다.

상기의 상세한 설명으로부터, 본 발명의 제2 실시예에 따른 로봇 장치(200)는, 제1 및 제2 구동축(121, 122)이 각각 피벗축(111) 주위에서 피벗되어 제1 및 제2 로봇 암(110a, 110b)의 제1 암 링크(131, 132) 중의 하나가 제1 및 제2 로봇 암(210a, 210b)의 제1 암 링크(131, 132) 중의 다른 하나에 대하여 각운동되도록 하는 상태에서, 제1 및 제2 로봇 암(210a, 210b)을 신축시킬 수 있다는 것이 이해될 것이다.

본 발명의 제2 실시예에 따른 로봇 장치(200)는, 제1 및 제2 구동축(121, 122)이 각각 피벗축(111) 주위에서 피벗되어 제1 및 제2 로봇 암(210a, 210b)의 제1 암 링크(131, 132) 중의 하나가 제1 및 제2 로봇 암(210a, 210b)의 제1 암 링크(131, 132) 중의 다른 하나에 대하여 각운동되도록 하는 상태에서, 제2 로봇 암(110b)의 제2 암 링크(152)의 중심선과 제1 로봇 암(110a)의 제2 암 링크(142)의 중심선 사이에 한정되는 미리 설정된 각도를 고정된 상태로 유지시킬 수 있다.

본 발명의 제2 실시예에 따른 로봇 장치(200)는, 제1 및 제2 구동축(121)이 피벗축(111) 주위의 하나의 축으로서 피벗된 상태하에서, 제1 및 제2 로봇 암(210a 및 210b)이 피벗축(111) 주위로 회전되는 것을 허용할 수 있다.

이하의 설명은 본 발명에 따른 로봇 암 기구 및 로봇 장치의 제3 실시예에 관한 것이다.

로봇 암 기구(300)의 구성을 도 7 내지 도 9를 참조하여 설명한다.

로봇 암 기구(300)는, 제1 피처리물을 지지하고 취급하기 위한 제1 핸들링 부재(316), 및 제2 피처리물을 지지하고 취급하기 위한 제2 핸들링 부재(317)를 포함하고 있는 것으로서, 도 7 내지 도 9에 도시되어 있다. 제1 및 제2 핸들링 부재(316, 317)는 반도체를 생산하기 위해 사용되는 웨이퍼 및 다른 재료를 취급, 즉 유지 및 해제하기 위해 사용가능한 것으로 구성되어 있다. 제1 및 제2 핸들링 부재(316, 317)의 형태는 제1 및 제2 핸들링 부재(316, 317)에 의해 취급될 재료의 크기 및 형상에 의존한다.

로봇 암 기구(310)는 제1 로봇 암(310a) 및 제2 로봇 암(310b)을 더 포함하고 있다. 제1 로봇 암(310a)은 제1 끝부, 제2 끝부, 및 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가진 제1 암 링크(131)와, 제1 끝부, 제2 끝부, 및 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 각각 가지고 있으며 길이가 서로 같은 한 쌍의 짧은 평행 링크(341, 342), 및 제1 끝부, 제2 끝부, 및 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 각각 가지고 있으며 길이가 서로 같은 한 쌍의 길다란 평행 링크(343, 344)를 포함하고 있다. 길다란 평행 링크(343, 344)는 길다란 평행 링크(343, 344)의 각각의 중심선과 제1 암 링크(131) 사이에 한정되는 제2 각도로 제1 암 링크(131)에 대하여 경사져 있다.

제1 암 링크(131)의 제2 끝부는 길다란 평행 링크(343, 344) 중의 하나의 제1 끝부에 피벗가능하게 연결되는 한편, 길다란 평행 링크(343, 344) 중의 하나의 제2 끝부는 짧은 평행 링크(341, 342) 중의 하나의 제1 끝부에 피벗가능하게 연결된다. 짧은 평행 링크(341, 342) 중의 하나의 제2 끝부는 길다란 평행 링크(343, 344) 중의 다른 하나의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되는 한편, 길다란 평행 링크(343, 344) 중의 다른 하나의 제1 끝부는 짧은 평행 링크(341, 342) 중의 다른 하나의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결된다. 짧은 평행 링크(341, 342) 중의 다른 하나의 제1 끝부는 길다란 평행 링크(343, 344) 중의 하나의 제1 끝부에 피벗가능하게 연결되는 한편, 짧은 평행 링크(341, 342) 중의 다른 하나의 제1 끝부는 제1 암 링크(131)의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결된다. 짧은 평행 링크(341, 342) 중의 하나는 제1 핸들링 부재(316)에 연결되어, 제1 핸들링 부재(316)가 제1 피처리물을 안정된 상태로 지지하는 것을 가능하게 해준다.

제2 로봇 암(310b)은 제1 끝부, 제2 끝부, 및 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가진 제1 암 링크(132)와, 제1 끝부, 제2 끝부, 및 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 각각 가지고 있으며 길이가 서로 같은 한 쌍의 짧은 평행 링크(351, 352), 및 제1 끝부, 제2 끝부, 및 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 각각 가지고 있으며 길이가 서로 같은 한 쌍의 길다란 평행 링크(353, 354)를 포함하고 있다.

짧은 평행 링크(341, 342)는 제1 로봇 암(310a)의 짧은 평행 링크(341, 342)의 각각의 중심선과 제2 로봇 암(310b)의 짧은 평행 링크(351, 352)의 각각의 중심선 사이에 한정되는 미리 설정된 각도로 제2 로봇 암(310b)의 짧은 평행 링크(351, 352)에 대하여 각각 경사져 있다. 길다란 평행 링크(353, 354)는 길다란 평행 링크(353, 354)의 각각의 중심선과 제1 암 링크(132) 사이에 한정되는 제2 각도로 제1 암 링크(132)에 대하여 각각 경사져 있다.

제1 암 링크(132)의 제2 끝부는 길다란 평행 링크(353, 354) 중의 하나의 제1 끝부에 피벗가능하게 연결되는 한편, 길다란 평행 링크(353, 354) 중의 하나의 제2 끝부는 짧은 평행 링크(351, 352) 중의 하나의 제1 끝부에 피벗가능하게 연결된다. 짧은 평행 링크(351, 352) 중의 하나의 제2 끝부는 길다란 평행 링크(353, 354) 중의 다른 하나의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되는 한편, 길다란 평행 링크(353, 354) 중의 다른 하나의 제1 끝부는 짧은 평행 링크(351, 352) 중의 다른 하나의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결된다. 짧은 평행 링크(351, 352) 중의 다른 하나의 제1 끝부는 길다란 평행 링크(353, 354) 중의 하나의 제1 끝부에 피벗가능하게 연결되는 한편, 짧은 평행 링크(351, 352) 중의 다른 하나의 제1 끝부는 제1 암 링크(131)의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결된다. 짧은 평행 링크(351, 352) 중의 하나는 제2 핸들링 부재(317)에 연결되어, 제2 핸들링 부재(317)가 제1 피처리물을 안정된 상태로 지지하는 것을 가능하게 해준다.

로봇 암 기구(310)는 제1 및 제2 로봇 암(310a, 310b)의 제1 암 링크(131, 132) 중의 하나가 제1 및 제2 로봇 암(310a, 310b)의 제1 암 링크(131, 132) 중의 다른 하나에 대하여 각운동되는 것을 가능하게 해주기 위한 로봇 암 운동 기구(370)(도 8 참조), 그리고 제1 및 제2 로봇 암(310a, 310b)의 제1 암 링크(131, 132) 중의 하나가 제1 및 제2 로봇 암(310a, 310b)의 제1 암 링크(131, 132) 중의 다른 하나에 대하여 각운동될 때, 제2 로봇 암(310b)의 짧은 평행 링크(351, 352)의 각각의 중심선과 제1 로봇 암(310a)의 짧은 평행 링크(341, 342)의 각각의 중심선 사이에 한정되는 미리 설정된 각도를 고정된 상태로 유지시키기 위한 각도 유지 기구(380)를 더 포함한다.

각도 유지 기구(380)는 길이가 서로 같은 한 쌍의 제1 평행 링크(143, 153) 및 길이가 서로 같은 한 쌍의 제2 평행 링크(161, 162)를 포함하고, 한 쌍의 제1 평행 링크(143, 153)의 각각은 제1 끝부, 제2 끝부, 제1 끝부와 제2 끝부 사이에 개재된 길이방향의 중간부, 그리고 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있고, 한 쌍의 제2 평행 링크(161, 162)의 각각은 제1 끝부, 제2 끝부, 그리고 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있다.

제1 평행 링크(143, 153) 중의 하나의 제1 끝부는 제2 평행 링크(161, 162) 중의 하나의 제1 끝부에 피벗가능하게 연결되는 한편, 제2 평행 링크(161, 162) 중의 하나의 제2 끝부는 제1 평행 링크(143, 153) 중의 다른 하나의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결된다. 제1 평행 링크(143, 153) 중의 다른 하나의 제1 끝부는 제2 평행 링크(161, 162) 중의 다른 하나의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되는 한편, 제2 평행 링크(161, 162) 중의 다른 하나의 제1 끝부는 제1 평행 링크(143, 153) 중의 하나의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결된다.

각도 유지 기구(380)는 제1 평행 링크(143, 153) 중의 하나와 제1 암 링크(131) 사이에 개재된 제1 중간 링크(141)와, 제1 평행 링크(143, 153) 중의 다른 하나와 제2 암 링크(152) 사이에 개재된 제2 중간 링크(151)를 포함하고, 제1 중간 링크(141)는 제1 끝부, 제2 끝부, 그리고 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있고, 제2 중간 링크(151)는 제1 끝부, 제2 끝부, 그리고 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있다.

제1 중간 링크(141)의 제1 끝부는 제1 로봇 암(310a)의 제1 암 링크(131)의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결된다. 제1 중간 링크(141)는, 제1 중간 링크(141)의 제1 끝부가 제1 로봇 암(310a)의 짧은 평행 링크(341, 342) 중의 다른 하나의 제1 끝부에 연결된 상태에서, 제1 로봇 암(310a)의 짧은 평행 링크(341, 342) 중의 하나와 일체로 형성되는 한편, 제1 중간 링크(141)는, 제1 중간 링크(141)의 제2 끝부가 제1 평행 링크(143, 153) 중의 하나의 길이방향의 중간부에 연결되는 상태하에서, 제1 평행 링크(143, 153) 중의 하나와 일체로 형성된다.

제2 중간 링크(151)의 제1 끝부는 제2 로봇 암(310b)의 제1 암 링크(132)의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결된다. 제2 중간 링크(151)는, 제2 중간 링크(151)의 제1 끝부가 제2 로봇 암(310b)의 짧은 평행 링크(351, 352) 중의 다른 하나의 제2 끝부에 연결된 상태에서, 제2 로봇 암(310b)의 짧은 평행 링크(351, 352) 중의 다른 하나와 일체로 형성되는 한편, 제2 중간 링크(151)는, 제2 중간 링크(151)의 제2 끝부가 제1 평행 링크(143, 153)의 다른 하나의 길이방향의 중간부에 연결되는 상태하에서, 제1 평행 링크(143, 153)의 다른 하나와 일체로 형성된다.

로봇 암 운동 기구(370)는, 제1 및 제2 로봇 암(310a, 310b)의 제1 암 링크(131, 132) 중의 하나에 연결된 제1 구동축(121), 제1 및 제2 로봇 암(310a, 310b)의 제1 암 링크(131, 132) 중의 다른 하나에 연결되며 피벗축(111)을 가지고 있고 피벗축(111) 주위로 피벗가능한 제2 구동축(122)를 포함하고 있다. 제1 구동축(121)은 제2 구동축(122)을 안에 피벗가능하게 수용하는 중공형상의 형태로 만들어지고 피벗축(111) 주위로 피벗가능하다.

각도 유지 기구(380)는, 제1 및 제2 구동축(121, 122)이 피벗축(111) 주위로 시계방향 및 반시계방향으로 각각 피벗되어 제1 및 제2 로봇 암(310a, 310b)의 제1 암 링크(131, 132) 중의 하나가 제1 및 제2 로봇 암(310a, 310b)의 제1 암 링크(131, 132) 중의 다른 하나에 대하여 각운동되는 상태에서, 제2 로봇 암(310b)의 짧은 평행 링크(351, 352)의 각각의 중심선과 제1 로봇 암(310a)의 짧은 평행 링크(341, 342)의 각각의 중심선 사이에 한정되는 미리 설정된 각도를 고정된 상태로 유지시키도록 작동한다.

제1 중간 링크(141)는 제1 로봇 암(310a)의 제1 암 링크(131)의 중심선과 제1 중간 링크(141)의 중심선 사이에 한정되는 제1 경사각으로 제1 로봇 암(310a)의 제1 암 링크(131)에 대하여 경사져 있는 한편, 제2 중간 링크(151)는 제2 로봇 암(310b)의 제1 암 링크(132)의 중심선과 제2 중간 링크(151)의 중심선 사이에 한정되는 제2 경사각으로 제2 로봇 암(310b)의 제2 암 링크(132)에 대하여 경사져 있다. 제1 및 제2 구동축(121, 122)이 피벗축(111) 주위로 시계방향 및 반시계방향으로 각각 피벗되어 제1 및 제2 로봇 암(310a, 310b)의 제1 암 링크(131, 132)의 중심선이 서로 축방향으로 정렬되는 상태에서, 제1 로봇 암(310a)의 제1 암 링크(131)의 중심선과 제1 중간 링크(141)의 중심선 사이에 한정되는 제1 경사각은 제2 로봇 암(310b)의 제1 암 링크(132)의 중심선과 제2 중간 링크(151)의 중심선 사이에 한정되는 제2 경사각과 동일하다. 제1 중간 링크(141)는 제2 중간 링크(151)와 길이가 동일하다.

로봇 암 기구(310)는, 제1 및 제2 구동축(121, 122)이 피벗축(111) 주위로 시계방향 및 반시계방향으로 각각 피벗되어 제1 및 제2 로봇 암(310a, 310b)의 제1 암 링크(131, 132) 중의 하나가 제1 및 제2 로봇 암(310a, 310b)의 제1 암 링크(131, 132) 중의 다른 하나에 대하여 각운동되는 상태에서, 제1 핸들링 부재(316)를 소정의 제1 직선(316a)을 따라 직선으로 운동시키도록, 제1 로봇 암(310a)의 제1 암 링크(131)의 중심선과 제1 중간 링크(141)의 중심선 사이에 한정되는 제1 경사각에 대응하여, 제1 암 링크(131)와 길다란 평행 링크(343, 344)의 각각의 중심선 사이에 한정되는 제1 각도를 조절하기 위한 제1 각도 조절 기구(390a)를 더 포함한다.

로봇 암 기구(310)는, 제1 및 제2 구동축(121, 122)이 피벗축(111) 주위로 시계방향 및 반시계방향으로 각각 피벗되어 제1 및 제2 로봇 암(310a, 310b)의 제1 암 링크(131, 132) 중의 하나가 제1 및 제2 로봇 암(310a, 310b)의 제1 암 링크(131, 132) 중의 다른 하나에 대하여 각운동되는 상태에서, 제2 핸들링 부재(317)를 소정의 제2 직선(317a)을 따라 직선으로 운동시키도록, 제2 로봇 암(310b)의 제1 암 링크(132)의 중심선과 제2 중간 링크(151)의 중심선 사이에 한정되는 제2 경사각에 대응하여, 제1 암 링크(132)와 길다란 평행 링크(353, 354)의 각각의 중심선 사이에 한정되는 제2 각도를 조절하기 위한 제2 각도 조절 기구(390a)를 더 포함한다.

제1 각도 조절 기구(390a)는 제1 끝부 및 제2 끝부를 가지고 있는 제1 링크(361), 제1 끝부 및 제2 끝부를 가지고 있는 제2 링크(362), 제1 끝부 및 제2 끝부를 가지고 있는 제3 링크(363), 제1 끝부 및 제2 끝부를 가지고 있는 제4 링크(364), 제1 끝부, 제2 끝부 및 제1 끝부와 제2 끝부 사이에 개재된 길이방향의 중간부를 가지고 있는 제5 링크(365), 제1 끝부 및 제2 끝부를 가지고 있는 제6 링크(366)를 포함한다.

제1 링크(361)는 제4 링크(364)와 길이가 동일하다. 제2 링크(362)는 제5 링크(365)와 길이가 동일하다. 제6 링크(366)는 제1 링크(361)와 길이가 동일하다.

제1 링크(361)는, 제1 링크(361)의 제1 끝부가 제1 로봇 암(310a)의 짧은 평행 링크(341, 342) 중의 하나의 제1 끝부에 연결된 상태에서, 제1 로봇 암(310a)의 짧은 평행 링크(341, 342) 중의 하나와 일체로 형성된다. 제2 링크(362)는, 제2 링크(362)의 제1 끝부가 제1 로봇 암(310a)의 제1 암 링크(131)의 제2 끝부에 연결된 상태에서, 제1 로봇 암(310a)의 제1 암 링크(131)와 일체로 형성된다. 제3 링크(363)는, 제3 링크(362)의 제1 끝부가 제1 로봇 암(310a)의 길다란 평행 링크(343, 344) 중의 하나의 제1 끝부에 연결된 상태에서, 제1 로봇 암(310a)의 길다란 평행 링크(343, 344) 중의 하나와 일체로 형성된다.

제4 링크(364)의 제1 끝부는 제2 링크(362)의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결된다. 제5 링크(365)의 제1 끝부는 제1 링크(361)의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결된다. 제5 링크(365)의 제2 끝부는 제4 링크(364)의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결된다. 제6 링크(366)의 제1 끝부는 제3 링크(363)의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결된다. 제6 링크(366)의 제2 끝부는 제5 링크(365)의 길이방향의 중간부에 피벗가능하게 연결된다.

제2 각도 조절 기구(390b)는 제1 끝부 및 제2 끝부를 가지고 있는 제1 링크(371), 제1 끝부 및 제2 끝부를 가지고 있는 제2 링크(372), 제1 끝부 및 제2 끝부를 가지고 있는 제3 링크(373), 제1 끝부 및 제2 끝부를 가지고 있는 제4 링크(374), 제1 끝부, 제2 끝부 및 제1 끝부와 제2 끝부 사이에 개재된 길이방향의 중간부를 가지고 있는 제5 링크(375), 제1 끝부 및 제2 끝부를 가지고 있는 제6 링크(376)를 포함한다.

제1 링크(371)는 제4 링크(374)와 길이가 동일하다. 제2 링크(372)는 제5 링크(375)와 길이가 동일하다. 제6 링크(376)는 제1 링크(371)와 길이가 동일하다.

제1 링크(371)는, 제1 링크(371)의 제1 끝부가 제2 로봇 암(310b)의 짧은 평행 링크(351, 352) 중의 다른 하나의 제1 끝부에 연결된 상태에서, 제2 로봇 암(310b)의 짧은 평행 링크(351, 352) 중의 다른 하나와 일체로 형성된다. 제2 링크(372)는, 제2 링크(372)의 제1 끝부가 제2 로봇 암(310b)의 제1 암 링크(132)의 제2 끝부에 연결된 상태에서, 제2 로봇 암(310b)의 제1 암 링크(132)와 일체로 형성된다. 제3 링크(373)는, 제3 링크(372)의 제1 끝부가 제2 로봇 암(310b)의 길다란 평행 링크(353, 354) 중의 하나의 제2 끝부에 연결된 상태에서, 제2 로봇 암(310b)의 길다란 평행 링크(353, 354) 중의 하나와 일체로 형성된다.

제4 링크(374)의 제1 끝부는 제2 링크(372)의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결된다. 제5 링크(375)의 제1 끝부는 제1 링크(371)의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결된다. 제5 링크(375)의 제2 끝부는 제4 링크(374)의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결된다. 제6 링크(376)의 제1 끝부는 제3 링크(373)의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결된다. 제6 링크(376)의 제2 끝부는 제5 링크(375)의 길이방향의 중간부에 피벗가능하게 연결된다.

로봇 장치(300)는 제1 구동축(121)에 대하여 제1 로봇 암(310a)과 제2 로봇 암(310b) 중의 하나를 각운동 시키도록 피벗축(111) 주위로 제1 구동축(121)을 구동하기 위한 제1 구동 모터(123)(도 8 참조), 그리고 제2 구동축(122)에 대하여 제1 로봇 암(310a)과 제2 로봇 암(310b) 중의 다른 하나를 각운동 시키도록 피벗축(111) 주위로 제2 구동축(122)을 구동하기 위한 제2 구동 모터(124)를 더 포함한다.

상기의 상세한 설명으로부터, 본 발명의 제3 실시예에 따른 로봇 장치(300) 는, 제1 및 제2 구동축(121, 122)이 각각 피벗축 주위에서 피벗되어 제1 및 제2 로봇 암(310a, 310b)의 제1 암 링크(131, 132) 중의 하나가 제1 및 제2 로봇 암(310a, 310b)의 제1 암 링크(131, 132) 중의 다른 하나에 대하여 각운동되는 상태에서, 제1 및 제2 로봇 암(310a, 310b)을 신축시킬 수 있다는 것이 이해될 것이다.

본 발명의 제3 실시예에 따른 로봇 장치(300)는, 제1 및 제2 구동축(121, 122)이 각각 피벗축(111) 주위에서 하나의 축으로서 피벗되는 상태에서 제1 및 제2 로봇 암(310a, 310b)이 회전되게 할 수 있다.

이하의 설명은 본 발명에 따른 로봇 암 기구 및 로봇 장치의 제4 실시예에 관한 것이다.

로봇 암 기구(410)의 구성을 도 10 내지 도 15를 참조하여 설명한다.

로봇 암 기구(410)는, 제1 피처리물을 지지하고 취급하기 위한 제1 핸들링 부재(316), 제2 피처리물을 지지하고 취급하기 위한 제2 핸들링 부재(317)를 포함하는 것으로서, 도 10에 도시되어 있다. 제1 및 제2 핸들링 부재(316, 317)는 반도체를 생산하기 위해 사용되는 웨이퍼 및 다른 재료를 취급, 즉 유지 및 해제하기 위해 사용가능한 것으로 구성되어 있다. 제1 및 제2 핸들링 부재(316, 317)의 형태는 제1 및 제2 핸들링 부재(316, 317)에 의해 취급될 재료의 크기 및 형상에 의존한다. 제1 핸들링 부재(316)는 제2 핸들링 부재(317)와 형태가 다를 수 있다.

제1 로봇 암(410a)은 제1 끝부, 제2 끝부, 및 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가진 제1 암 링크(131)와, 제1 끝부, 제2 끝부, 및 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 각각 가지고 있으며 길이가 서로 같은 한 쌍의 짧은 평행 링크(341, 342), 제1 끝부, 제2 끝부, 및 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 각각 가지고 있으며 길이가 서로 같은 한 쌍의 길다란 평행 링크(343, 344)를 포함하고 있다. 길다란 평행 링크(343, 344)는 길다란 평행 링크(343, 344)의 각각의 중심선과 제1 암 링크(131) 사이에 한정되는 제1 각도로 제1 암 링크(131)에 대하여 경사져 있다.

제1 암 링크(131)의 제2 끝부가 길다란 평행 링크(343, 344)의 하나의 제1 끝부에 피벗가능하게 연결되는 한편, 길다란 평행 링크(343, 344)의 하나의 제2 끝부가 짧은 평행 링크(341, 342)의 하나의 제1 끝부에 피벗가능하게 연결된다. 짧은 평행 링크(341, 342)의 하나의 제2 끝부가 길다란 평행 링크(343, 344)의 다른 하나의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되는 한편, 길다란 평행 링크(343, 344)의 다른 하나의 제1 끝부가 짧은 평행 링크(341, 342)의 다른 하나의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결된다. 짧은 평행 링크(341, 342)의 다른 하나의 제1 끝부가 길다란 평행 링크(343, 344)의 하나의 제1 끝부에 피벗가능하게 연결된다. 짧은 평행 링크(341, 342)의 하나는 제1 핸들링 부재(316)에 연결되어 제1 핸들링 부재(316)가 안정된 상태로 제1 피처리물을 지지하게 한다.

제2 로봇 암(410b)은 제1 끝부, 제2 끝부, 및 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 구비한 제1 암 링크(132), 제1 끝부, 제2 끝부, 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 각각 가지고 있으며 길이가 서로 같은 한쌍의 짧은 평행 링크(351, 352), 그리고 제1 끝부, 제2 끝부, 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 각각 가지고 있으며 길이가 서로 같은 한쌍의 길다란 평행 링크(353, 354)를 포함하고 있다.

짧은 평행 링크(341, 342)는 제1 로봇 암(410a)의 각각의 짧은 평행 링크(341, 342)의 중심선과 제2 로봇 암(410b)의 각각의 짧은 평행 링크(351, 352)의 중심선 사이에 한정된 미리 설정된 각도로 제2 로봇 암(410b)의 짧은 평행 링크(351, 352)에 대하여 각각 경사지게 된다. 길다란 평행 링크(353, 354)는 제1 암 링크(132)와 길다란 평행한 각각의 링크(353, 354)의 중심선 사이에 한정된 제2 각도로 제1 암 링크(132)에 대하여 각각 경사지게 된다.

제1 암 링크(132)의 제2 끝부가 길다란 평행 링크(353, 354)의 하나의 제1 끝부에 피벗가능하게 연결되는 한편, 길다란 평행 링크(353, 354)의 하나의 제2 끝부가 짧은 평행 링크(351, 352)의 하나의 제1 끝부에 피벗가능하게 연결된다. 짧은 평행 링크(351, 352)의 하나의 제2 끝부가 길다란 평행 링크(353, 354)의 다른 하나의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되는 한편, 길다란 평행 링크(353, 354)의 다른 하나의 제1 끝부가 짧은 평행 링크(351, 352)의 다른 하나의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결된다. 짧은 평행 링크(351, 352)의 다른 하나의 제1 끝부가 길다란 평행 링크(353, 354)의 하나에 피벗가능하게 연결된다. 짧은 평행 링크(351, 352)의 하나는 제2 핸들링 부재(317)에 연결되어 제2 핸들링 부재(317)가 안정된 상태에서 제1 피처리물을 지지하게 한다.

로봇 암 기구(410)는 제1 및 제2 로봇 암(410a, 410b)의 하나의 제1 암 링크(131, 132)가 제1 및 제2 로봇 암(410a, 410b)의 다른 하나의 제1 암 링크(131, 132)에 대하여 각운동되도록 허용하는 로봇 암 운동 기구(470)(도 12 참조), 그리고 제1 및 제2 로봇 암(410a, 410b)의 하나의 제1 암 링크(131, 132)가 제1 및 제2 로봇 암(410b, 410b)의 다른 하나의 제1 암 링크(131, 132)에 대하여 각운동 될 때 제2 로봇 암(410b)의 각각의 짧은 평행 링크(351, 352)의 중심선과 제1 로봇 암(410a)의 각각의 짧은 평행 링크(341, 342)의 중심선 사이에 한정된 미리 설정된 각도를 고정된 상태로 유지하기 위한 각도 유지 기구(480)를 더 포함한다.

삭제

각도 유지 기구(480)는 제1 평행 링크(343, 353)의 하나와 제1 암 링크(131) 사이에 개재하고, 제1 끝부, 제2 끝부, 및 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 갖고 있는 제1 중간 링크(421), 그리고 제1 평행 링크(353, 354)의 다른 하나와 제2 암 링크(132) 사이에 개재하고, 제1 끝부, 제2 끝부, 및 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 갖고 있는 제2 중간 링크(431)를 더 포함하고 있다.

제1 중간 링크(421)의 제1 끝부는 제1 로봇 암(410a)의 제1 암 링크(131)의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결된다. 제1 중간 링크(421)는 제1 중간 링크(421)의 제1 끝부가 제1 로봇 암(410a)의 짧은 평행 링크(341, 342)의 하나의 제2 끝부에 연결된 상태하에서 제1 로봇 암(410a)의 제2 암 링크(142)의 짧은 평행 링크(341, 342)의 하나와 일체로 형성된다.

제2 중간 링크(431)의 제1 끝부는 제2 로봇 암(410b)의 제1 암 링크(132)의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결된다. 제2 중간 링크(431)는 제2 중간 링크(431)의 제1 끝부가 제2 로봇 암(410b)의 짧은 평행 링크(351, 352)의 하나의 제2 끝부 연결되는 상태하에서 제2 로봇 암(410b)의 짧은 평행 링크(351, 352)의 하나의 제2 끝부와 일체로 형성되는 한편, 제2 중간 링크(431)는 제2 중간 링크(431)의 제2 끝부가 제1 평행 링크(353, 354)의 다른 하나의 길이방향의 중간부에 연결되는 상태하에서 제1 평행 링크(353, 354)의 다른 하나와 일체로 형성된다.

로봇 암 운동 기구(470)는 제1 및 제2 로봇 암(410a, 410b)의 제1 암 링크(131, 132)의 하나에 연결되는 제1 구동축(121), 그리고 제1 및 제2 로봇 암(410a, 410b)의 제1 암 링크(131, 132)의 다른 하나에 연결되며 피벗축(111)을 구비하고 피벗축(111) 주위로 피벗가능한 제2 구동축(122)을 포함하고 있다. 제1 구동축(121)은 중공 형상의 형태로 만들어져 그 안에 제2 구동축(122)을 피벗가능하게 수용하고 피벗축(111) 주위로 피벗가능하다.

제1 및 제2 구동축(121, 122)이 피벗축(111) 주위로 시계방향 및 반시계방향으로 각각 피벗되어 제1 및 제2 로봇 암(410a, 410b)의 제1 암 링크(131, 132)의 하나가 제1 및 제2 로봇 암(410a, 401b)의 제1 암 링크(131, 132)의 다른 하나에 대하여 각운동 시키는 상태하에서 각도 유지 기구(480)는 제1 로봇 암(410a)의 각각의 짧은 평행 링크(341, 342)의 중심선과 제2 로봇 암(410b)의 각각의 짧은 평행 링크(351, 352)의 중심선 사이에 한정되는 미리 설정된 각도를 고정된 상태로 유지하도록 작동된다.

제1 중간 링크(421)가 제1 로봇 암(410a)의 제1 암 링크(131)의 중심선과 제1 중간 링크(421)의 중심선 사이에 한정되는 제1 경사각으로 제1 로봇 암(410a)의 제1 암 링크(131)에 대하여 경사지는 한편, 제2 중간 링크(431)가 제2 중간 링크(431)의 중심선과 제2 로봇 암(410b)의 제1 암 링크(132)의 중심선 사이에 한정되는 제2 경사각으로 제2 로봇 암(410b)의 제1 암 링크(132)에 대하여 경사진다. 제1 및 제2 구동축(121, 122)이 피벗축(111) 주위로 시계방향 및 반시계방향으로 각각 피벗되어 제1 및 제2 로봇 암(410a, 410b)의 제1 암 링크(131, 132)의 중심선을 축선방향으로 서로 정렬시키는 상태하에서 제1 중간 링크(421)의 중심선과 제1 로봇 암(410a)의 제1 암 링크(131)의 중심선 사이에 한정되는 제1 경사각이 제2 로봇 암(410b)의 제1 암 링크(132)의 중심선과 제2 중간 링크(431)의 중심선 사이에 한정되는 제2 경사각과 동일하다. 제1 중간 링크(421)는 제2 중간 링크(431)의 길이와 동일하다.

삭제

각도 유지 기구(480)는 제1 끝부, 제2 끝부, 그리고 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 갖고 있는 제1 피벗축(447)(도 13 및 14 참조), 관통 보어가 형성되어 있고 그 안에 제1 피벗축(447)이 수용되는 제1 풀리(441), 제1 끝부, 제2 끝부, 그리고 제1 끝부와 제2 끝부를 통과하는 중심선을 갖고 있는 제2 피벗축(448), 관통 보어가 형성되어 있고 그 안에 제2 피벗축(448)이 수용되는 제2 풀리(442), 그리고 제1 풀리(441)와 제2 풀리(442) 사이에 구동력을 전달하도록 제1 풀리(441)와 제2 풀리(442)에 걸쳐진 구동 벨트(444)를 더 포함하고 있다.

제1 풀리(441)는 제1 피벗축(447)과 일체로 형성된다. 제1 피벗축(447)의 제1 끝부가 제3 중간 링크(4431)의 제1 끝부에 피벗가능하게 연결되는 한편, 제1 피벗축(447)의 제2 끝부가 제1 중간 링크(421)의 제2 끝부에 연결되는 상태하에서 제1 피벗 축(447)은 제1 중간 링크(421)와 일체로 형성된다. 제2 풀리(442)는 제2 피벗축(448)과 일체로 형성된다. 제2 피벗축(448)의 제1 끝부가 제3 중간 링크(443)의 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되는 한편, 제2 피벗축(448)의 제2 끝부가 제2 중간 링크(431)의 제2 끝부에 연결되는 상태하에서 제2 피벗축(448)은 제2 중간 링크(431)와 일체로 형성된다.

제1 및 제2 구동축(121, 122)이 피벗축(111) 주위로 시계방향 및 반시계방향으로 각각 피벗되어 제1 및 제2 로봇 암(410a, 410b)의 제1 암 링크(131, 132)의 하나가 제1 및 제2 로봇 암(410a, 410b)의 제1 암 링크(131, 132)의 다른 하나에 대하여 각운동 시키는 상태하에서 각도 유지 기구(480)는 제1 로봇 암(410a)의 짧은 평행 링크(351, 352) 각각의 연장선과 제2 로봇 암(410b)의 짧은 평행 링크(351, 352)의 각각의 연장선 사이에 한정되는 미리 설정된 각도를 고정된 상태로 유지시키도록 작동된다.

삭제

제1 각도 조절 기구(450)는 제1 끝부 및 제2 끝부를 구비한 제1 기어축(445a), 관통 보어가 형성되어 있고 그 안에 제1 기어축(445a)이 수용되는 제1 기어(451), 제1 끝부와 제2 끝부를 구비한 제2 기어축(445b), 관통 보어가 형성되어 있고 그 안에 제2 기어축(445b)이 수용되는 제2 기어(452)를 포함한다. 제1 기어(451)가 제1 기어축(445a)과 일체로 형성되는 한편, 제1 기어축(445a)의 제1 끝부는 제1 로봇 암(410a)의 제1 암 링크(131)의 제1 끝부와 일체로 형성된다. 제2 기어(452)는 제2 기어축(445b)과 일체로 형성된다. 제2 기어축(445b)의 제1 끝부가 제1 로봇 암(410a)의 길다란 평행 링크(343, 344)의 하나의 제2 끝부와 일체로 형성되는 한편, 제2 기어축(445b)의 제2 끝부는 제1 로봇 암(410a)의 짧은 평행 링크(341, 342)의 다른 하나에 피벗가능하게 연결된다.

유사하게 제2 각도 조절 기구(460)는 제1 기어축(446a), 제1 기어축(446a)이 수용되는 제1 기어(461), 제2 기어축(446b), 제2 기어축(446b)이 수용되는 제2 기어(462)를 포함한다. 제1 기어(461)는 제1 기어축(446a)과 일체로 형성되는 한편, 제1 기어축(446a)은 제2 로봇 암(410b)의 제1 암 링크(132)의 제2 끝부와 일체로 형성된다. 제2 기어(462)는 제2 기어축(446b)과 일체로 형성된다. 제2 기어축(446b)은 제2 로봇 암(410b)의 길다란 평행 링크(353, 354)의 다른 하나와 일체로 형성되는 한편, 제2 기어축(446b)은 제2 로봇 암(410b)의 짧은 평행 링크(351, 352)의 다른 하나에 피벗가능하게 연결된다.

로봇 장치(400)는 제1 구동축(121)에 대하여 제1 로봇 암(410a)과 제2 로봇 암(410b)의 하나를 각운동 시키도록 제1 구동축(121)을 피벗축(111) 주위로 구동하기 위한 제1 구동 모터(123); 그리고 제2 구동축(122)에 대하여 제1 로봇 암(410a)과 제2 로봇 암(410b)의 다른 하나를 각운동 시키도록 제2 구동축(122)을 피벗축(111) 주위로 구동하기 위한 제2 구동 모터(124)를 더 포함하고 있다.

상기의 상세한 설명으로부터, 제1 및 제2 구동축(121, 122)이 피벗축(111) 주위로 각각 피벗되어 제1 및 제2 로봇 암(410a, 410b)의 제1 암 링크(131, 132)의 하나가 제1 및 제2 로봇 암(410a, 410b)의 제1 암 링크(131, 132)의 다른 하나에 대하여 각운동되도록 하는 상태하에서 본 발명의 제4 실시예에 따른 로봇 장치(400)는 제1 및 제2 로봇 암(410a, 410b)을 신축할 수 있다는 것을 알 수 있다.

본 발명의 제4 실시예에 따른 로봇 장치(400)는 제1 및 제2 구동축(121, 122)이 피벗축(111) 주위에 하나의 축으로서 각각 피벗되는 상태하에서 피벗축(111) 주위로 제1 및 제2 로봇 암(410a, 410b)을 회전되도록 허용한다.

본 발명은 실시예와 관련하여 설명되었고, 당업자는 본 발명의 여러 변경 및 수정이 첨부된 청구범위의 보호 범위내에서 가능하다는 것을 알 수 있다.

상기 설명으로 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 따른 로봇 암 기구 및 로봇 장치는 구조상 간단하고 소형화가 가능하다. 본 발명에 따른 로봇 암 기구 및 로봇 장치는 제조비용이 저렴하다. 본 발명에 따른 로봇 암 기구 및 로봇 장치는 로봇 암의 작동 신뢰성을 향상시켜, 제1 및 제2 구동축이 종래의 로봇 암의 피벗 운동 범위보다 넓은 피벗 운동 범위내에서 피벗축 주위로 시계방향 및 반시계방향으로 각각 피벗되는 동안에 제1 로봇 암의 제2 암 링크의 중심선과 제2 로봇 암의 제2 암 링크의 중심선 사이에 한정되는 미리 설정된 각도가 고정된 상태로 유지되는 것을 보장한다. 본 발명에 따른 로봇 암 기구 및 로봇 장치는 매우 청정한 공기 상태의 진공 작업실내에 먼지를 발생시키지 않는다.

Claims

제1 피처리물을 지지하고 취급하기 위한 제1 핸들링 부재(116);

제2 피처리물을 지지하고 취급하기 위한 제2 핸들링 부재(117);

제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 갖고 있는 제1 암 링크(131) 그리고 제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 갖고 있는 제2 암 링크(142)를 포함하고 있는 제1 로봇 암(110a);

제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 갖고 있는 제1 암 링크(132) 그리고 제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 갖고 있는 제2 암 링크(152)를 포함하고 있는 제2 로봇 암(110b);

상기 제1 및 제2 로봇 암(110a, 110b)의 상기 제1 암 링크(131, 132)의 하나가 상기 제1 및 제2 로봇 암(110, 110b)의 상기 제1 암 링크(131, 132)의 다른 하나에 대하여 각운동 하도록 허용하기 위하여 상기 제1 및 제2 로봇 암(110a, 110b)의 상기 제1 암 링크에 연결된 로봇 암 운동 기구(170);

상기 제1 및 제2 로봇 암(110a, 110b)의 상기 제1 암 링크(131, 132)의 하나가 상기 제1 및 제2 로봇 암(110a, 110b)의 상기 제1 암 링크(131, 132)의 다른 하나에 대하여 각운동 할 때, 상기 제2 로봇 암(110b)의 상기 제2 암 링크(152)의 상기 중심선과 상기 제1 로봇 암(110a)의 상기 제2 암 링크(142)의 상기 중심선 사이에 한정되는 미리 설정된 각도를 고정된 상태로 유지하기 위해 상기 제1 및 제2 로봇 암(110a, 110b)의 상기 제2 암 링크에 연결된 각도 유지 기구(180);를 포함하고 있고,

상기 제1 로봇 암의 상기 제2 암 링크(142)의 상기 제1 끝부는 상기 제1 암 링크(131)의 상기 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되고, 상기 제1 로봇 암의 상기 제2 암 링크(142)의 상기 제2 끝부는 상기 제1 핸들링 부재(116)에 연결되어 상기 제1 핸들링 부재(116)가 안정된 상태에서 상기 제1 피처리물을 지지하도록 허용하고,

상기 제2 로봇 암의 상기 제2 암 링크(152)의 상기 제1 끝부는 상기 제1 암 링크(132)의 상기 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되고, 상기 제2 로봇 암의 상기 제2 암 링크(152)는 상기 제2 로봇 암(110b)의 상기 제2 암 링크(152)의 상기 중심선과 상기 제1 로봇 암(110a)의 상기 제2 암 링크(142)의 중심선 사이에 한정되는 미리 설정된 각도를 가지며, 상기 제2 로봇 암의 상기 제2 암 링크(152)의 상기 제2 끝부는 상기 제2 핸들링 부재(117)에 연결되어 상기 제2 핸들링 부재(117)가 안정된 상태에서 상기 제2 피처리물을 지지하도록 허용하는 것을 특징으로 하는 로봇 암 기구.
제 1 항에 있어서, 상기 각도 유지 기구(180)는

제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부 사이에 개재된 길이방향의 중간부, 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 각각 가지고 있고, 제1 평행 링크(143, 153)의 하나가 상기 제1 평행 링크(143, 153)의 다른 하나와 길이가 동일한 한쌍의 제1 평행 링크(143, 153),

제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 각각 가지고 있고, 제2 평행 링크(161, 162)의 하나가 상기 제1 평행 링크(161, 162)의 다른 하나와 길이가 동일한 한쌍의 제2 평행 링크(161, 162),

하나의 상기 제2 암 링크(142)와 하나의 상기 제1 평행 링크(143, 153) 사이에 개재된 제1 중간 링크(141),

다른 하나의 상기 제2 암 링크(152)와 다른 하나의 상기 제1 평행 링크(143, 153) 사이에 개재된 제2 중간 링크(151)를 포함하고 있고,

상기 제1 평행 링크(143, 153)의 하나의 상기 제2 끝부는 상기 제2 평행 링크(161, 162)의 하나의 상기 제1 끝부에 피벗가능하게 연결되고, 상기 제2 평행 링크(161, 162)의 하나의 상기 제2 끝부는 상기 제1 평행 링크(143, 153)의 다른 하나의 상기 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되고, 상기 제2 평행 링크(143, 153)의 다른 하나의 상기 제2 끝부는 상기 제1 평행 링크(161, 162)의 다른 하나의 상기 제1 끝부에 피벗가능하게 연결되고, 상기 제2 평행 링크(161, 162)의 다른 하나의 상기 제2 끝부는 상기 제1 평행 링크(143, 153)의 하나의 상기 제1 끝부에 피벗가능하게 연결되고,

상기 제1 중간 링크(141)는 제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있고, 상기 제1 중간 링크(141)의 상기 제1 끝부는 상기 제1 로봇 암(110a)의 상기 제1 암 링크(131)의 상기 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되고, 상기 제1 중간 링크(141)의 상기 제1 끝부가 상기 제1 로봇 암(110a)의 상기 제2 암 링크(142)의 상기 제1 끝부에 연결되는 상태하에서 상기 제1 중간 링크(141)는 상기 제1 로봇 암(110a)의 상기 제2 암 링크(142)와 일체로 형성되고, 상기 제1 중간 링크(141)의 상기 제2 끝부가 상기 제1 평행 링크(143, 153)의 하나의 상기 길이방향의 중간부에 연결되는 상태하에서 상기 제1 중간 링크(141)는 상기 제1 평행 링크(143, 153)의 하나와 일체로 형성되고,

상기 제2 중간 링크(151)는 제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있고, 상기 제2 중간 링크(151)의 상기 제1 끝부는 상기 제2 로봇 암(110b)의 상기 제1 암 링크(132)의 상기 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되고, 상기 제2 중간 링크(151)의 상기 제1 끝부가 상기 제2 로봇 암(110b)의 상기 제2 암 링크(152)의 상기 제1 끝부에 연결되는 상태하에서 상기 제2 중간 링크(151)는 상기 제2 로봇 암(110b)의 상기 제2 암 링크(152)와 일체로 형성되고, 상기 제2 중간 링크(151)의 상기 제2 끝부가 상기 제1 평행 링크(143, 153)의 다른 하나의 상기 길이방향의 중간부에 연결되는 상태하에서 상기 제2 중간 링크(151)는 상기 제1 평행 링크(143, 153)의 다른 하나와 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 로봇 암 기구.
제 2 항에 있어서, 상기 로봇 암 운동 기구(170)는 상기 제1 및 제2 로봇 암(110a, 110b)의 상기 제1 암 링크(131, 132)의 하나에 연결된 제1 구동축(121), 상기 제1 및 제2 로봇 암(110a, 110b)의 상기 제1 암 링크(131, 132)의 다른 하나에 연결된 제2 구동축(122)을 포함하고 있고, 상기 제2 구동축(122)은 피벗축(111)을 가지고 있고 상기 피벗축(111) 주위로 피벗가능하고, 상기 제1 구동축(121)은 상기 제2 구동축(122)을 그 안에 피벗가능하게 수용하도록 중공 형태로 만들어지고 상기 피벗축(111) 주위로 피벗가능한 것을 특징으로 하는 로봇 암 기구.
제 3 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 구동축(121, 122)이 상기 피벗축(111) 주위에 시계방향 및 반시계방향으로 각각 피벗되어 상기 제1 및 제2 로봇 암(110a, 110b)의 상기 제1 암 링크(131, 132)의 하나를 상기 제1 및 제2 로봇 암(110a, 110b)의 상기 제1 암 링크(131, 132)의 다른 하나에 대하여 각운동 시키는 상태하에서, 상기 각도 유지 기구(180)는 상기 제2 로봇 암(110b)의 상기 제2 암 링크(152)의 상기 중심선과 상기 제1 로봇 암(110a)의 상기 제2 암 링크(142)의 상기 중심선 사이에 한정되는 미리 설정된 각도를 고정된 상태로 유지하도록 작동하는 것을 특징으로 하는 로봇 암 기구.
제 2 항에 있어서, 상기 제1 중간 링크(141)는 상기 제1 중간 링크(141)의 상기 중심선과 상기 제1 로봇 암(110a)의 상기 제1 암 링크(131)의 상기 중심선 사이에 한정되는 제1 경사각으로 상기 제1 로봇 암(110a)의 상기 제1 암 링크(131)에 대하여 경사지고, 상기 제2 중간 링크(151)는 상기 제2 중간 링크(151)의 상기 중심선과 상기 제2 로봇 암(110b)의 상기 제2 암 링크(132)의 상기 중심선 사이에 한정되는 제2 경사각으로 상기 제2 로봇 암(110a)의 상기 제1 암 링크(131)에 대하여 경사지고, 상기 제1 및 제2 로봇 암(110a, 110b)의 상기 제1 암 링크(131, 132)의 상기 중심선이 축선방향으로 서로 정렬되는 상태하에서 상기 제1 중간 링크(141)의 상기 중심선과 상기 제1 로봇 암(110a)의 상기 제1 암 링크(131)의 상기 중심선 사이에 한정되는 상기 제1 경사각은 상기 제2 중간 링크(151)의 상기 중심선과 상기 제2 로봇 암(110b)의 상기 제1 암 링크(132)의 상기 중심선 사이에 한정되는 제2 경사각과 동일한 것을 특징으로 하는 로봇 암 기구.
제 2 항에 있어서, 상기 제1 중간 링크(141)는 상기 제2 중간 링크(151)와 길이가 동일한 것을 특징으로 하는 로봇 암 기구.
제 1 항에 있어서, 상기 각도 유지 기구(180)는

제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 각각 가지고 있고, 평행 링크(161, 162)의 하나가 상기 평행 링크(161, 162)의 다른 하나와 길이가 동일한 한쌍의 평행 링크(161, 162),

상기 제1 로봇 암(210a)의 상기 제2 암 링크(142)와 하나의 상기 평행 링크 (161, 162)사이에 개재된 제1 중간 링크(221),

상기 제1 로봇 암(110a)의 상기 제2 암 링크(142)와 다른 하나의 상기 평행 링크(161, 162) 사이에 개재된 제2 중간 링크(222),

상기 제2 로봇 암(210b)의 상기 제2 암 링크(152)와 하나의 상기 평행 링크(161, 162) 사이에 개재된 제3 중간 링크(231),

상기 제2 로봇 암(210b)의 상기 제2 암 링크(152)와 다른 하나의 상기 평행 링크(161, 162) 사이에 개재된 제4 중간 링크(232)를 포함하고 있고,

상기 제1 중간 링크(221)는 제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있고, 상기 제1 중간 링크(221)의 상기 제1 끝부는 상기 제1 로봇 암(210a)의 상기 제1 암 링크(131)의 상기 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되고, 상기 제1 중간 링크(221)의 상기 제1 끝부가 상기 제1 로봇 암(210a)의 상기 제2 암 링크(142)의 상기 제1 끝부에 연결되는 상태하에서 상기 제1 중간 링크(221)는 상기 제1 로봇 암(210a)의 상기 제2 암 링크(142)와 일체로 형성되고,

상기 제2 중간 링크(222)는 제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있고, 상기 제2 중간 링크(222)의 상기 제1 끝부는 상기 제1 로봇 암(210a)의 상기 제1 암 링크(131)의 상기 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되고, 상기 제2 중간 링크(222)의 상기 제1 끝부가 상기 제1 로봇 암(210a)의 상기 제2 암 링크(142)의 상기 제1 끝부에 연결되는 상태하에서 상기 제2 중간 링크(222)는 상기 제1 로봇 암(210a)의 상기 제2 암 링크(142)와 일체로 형성되고,

상기 제3 중간 링크(231)는 제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있고, 상기 제3 중간 링크(231)는 상기 제2 중간 링크(222)와 길이가 동일하고, 상기 제3 중간 링크(231)의 상기 제1 끝부는 상기 제2 로봇 암(210b)의 상기 제1 암 링크(132)의 상기 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되고, 상기 제3 중간 링크(231)의 상기 제1 끝부가 상기 제2 로봇 암(210b)의 상기 제2 암 링크(152)의 상기 제1 끝부에 연결되는 상태하에서 상기 제3 중간 링크(231)는 상기 제2 로봇 암(210b)의 상기 제2 암 링크(152)와 일체로 형성되고,

상기 제4 중간 링크(232)는 제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있고, 상기 제4 중간 링크(232)는 상기 제2 중간 링크와 길이가 동일하고, 상기 제4 중간 링크(232)는 상기 제3 중간 링크(231)보다 길이가 더 길고, 상기 제4 중간 링크(232)의 상기 제1 끝부는 상기 제2 로봇 암(210b)의 상기 제1 암 링크(132)의 상기 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되고, 상기 제2 중간 링크(232)의 상기 제1 끝부가 상기 제2 로봇 암(210b)의 상기 제2 암 링크(152)의 상기 제1 끝부에 연결되는 상태하에서 상기 제4 중간 링크(232)는 상기 제2 로봇 암(210b)의 상기 제2 암 링크(152)와 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 로봇 암 기구.
제1 피처리물을 지지하고 취급하기 위한 제1 핸들링 부재(316);

제2 피처리물을 지지하고 취급하기 위한 제2 핸들링 부재(317);

제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 갖고 있는 제1 암 링크(131),

제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 각각 갖고 있고, 짧은 평행 링크(341, 342)의 하나가 상기 짧은 평행 링크(341, 342)의 다른 하나와 길이가 동일한 한쌍의 짧은 평행 링크(341, 342),

제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 각각 갖고 있고, 길다란 평행 링크(343, 344)의 하나가 상기 길다란 평행 링크(343, 344)의 다른 하나와 길이가 동일한 한쌍의 길다란 평행 링크(343, 344)를 포함하고 있는 제1 로봇 암(310a, 41a);

제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 갖고 있는 제1 암 링크(132),

제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 각각 갖고 있고, 짧은 평행 링크(351, 352)의 하나가 상기 짧은 평행 링크(351, 352)의 다른 하나와 길이가 동일한 한쌍의 짧은 평행 링크(351, 352),

제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 각각 갖고 있고, 길다란 평행 링크(353, 354)의 하나가 상기 길다란 평행 링크(353, 354)의 다른 하나와 길이가 동일한 한쌍의 길다란 평행 링크(353, 354)를 포함하고 있는 제2 로봇 암(310b, 410b);

상기 제1 및 제2 로봇 암(310a, 340b; 410a, 410b)의 상기 제1 암 링크(131, 132)의 하나가 상기 제1 및 제2 로봇 암(310a, 340b; 410a, 410b)의 상기 제1 암 링크(131, 132)의 다른 하나에 대하여 각운동 하도록 허용하기 위해 상기 제1 및 제2 로봇 암(310a, 340b; 410a, 410b)의 상기 제1 암 링크에 연결된 로봇 암 운동 기구(370);

상기 제1 및 제2 로봇 암(310a, 340b; 410a, 410b)의 상기 제1 암 링크(131, 132)의 하나가 상기 제1 및 제2 로봇 암(310a, 340b; 410a, 410b)의 상기 제1 암 링크(131, 132)의 다른 하나에 대하여 각운동 할 때, 상기 제2 로봇 암(310b, 410b)의 상기 짧은 평행 링크(351, 352)의 각각의 상기 중심선과 상기 제1 로봇 암(310a, 410a)의 상기 짧은 평행 링크(351, 352)의 각각의 상기 중심선 사이에 한정되는 미리 설정된 각도를 고정된 상태로 유지하기 위해 상기 제1 및 제2 로봇 암(310a, 340b; 410a, 410b)의 상기 두 쌍의 길다란 평행 링크에 연결된 각도 유지 기구(380);를 포함하고 있고,

상기 제1 로봇 암의 상기 길다란 평행 링크(343, 344)는 상기 길다란 평행 링크(343, 344)의 각각의 상기 중심선과 상기 제1 암 링크(131) 사이에 한정되는 제1 각도로 상기 제1 암 링크(131)에 대하여 각각 경사지고, 상기 제1 암 링크(131)의 상기 제2 끝부는 상기 길다란 평행 링크(343, 344)의 하나의 상기 제1 끝부에 피벗가능하게 연결되고, 상기 길다란 평행 링크(343, 344)의 하나의 상기 제2 끝부는 상기 짧은 평행 링크(341, 342)의 하나의 상기 제1 끝부에 피벗가능하게 연결되고, 상기 짧은 평행 링크(341, 342)의 하나의 상기 제2 끝부는 상기 길다란 평행 링크(343, 344)의 다른 하나의 상기 제1 끝부에 피벗가능하게 연결되고, 상기 길다란 평행 링크(343, 344)의 다른 하나의 상기 제2 끝부는 상기 짧은 평행 링크(341, 342)의 다른 하나의 상기 제1 끝부에 피벗가능하게 연결되고, 상기 짧은 평행 링크(341, 342)의 다른 하나의 상기 제2 끝부는 상기 길다란 평행 링크(343, 344)의 하나의 상기 제1 끝부에 피벗가능하게 연결되고, 상기 짧은 평행 링크(341, 342)의 다른 하나의 상기 제2 끝부는 상기 제1 암 링크(131)의 상기 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되고, 상기 짧은 평행 링크(341, 342)의 하나는 상기 제1 핸들링 부재(316)에 연결되어 상기 제1 핸들링 부재(316)가 안정된 상태에서 상기 제1 피처리물을 지지하도록 허용하고,

상기 제2 로봇 암의 상기 짧은 평행 링크(341, 342)는 상기 제1 로봇 암(310a 410a)의 상기 짧은 평행 링크(341, 342)의 각각의 상기 중심선과 상기 제2 로봇 암(310b, 410b)의 상기 짧은 평행 링크(351, 352)의 각각의 상기 중심선 사이에 미리 설정된 각도를 가지고 있고,

상기 제2 로봇 암의 상기 길다란 평행 링크(353, 354)는 상기 길다란 평행 링크(353, 354)의 각각의 상기 중심선과 상기 제1 암 링크(132) 사이에 한정되는 제2 각도로 상기 제1 암 링크(132)에 대하여 각각 경사지고, 상기 제1 암 링크(132)의 상기 제2 끝부는 상기 길다란 평행 링크(353, 354)의 하나의 상기 제1 끝부에 피벗가능하게 연결되고, 상기 길다란 평행 링크(353, 354)의 하나의 상기 제2 끝부는 상기 짧은 평행 링크(351, 352)의 하나의 상기 제1 끝부에 피벗가능하게 연결되고, 상기 짧은 평행 링크(351, 352)의 하나의 상기 제2 끝부는 상기 길다란 평행 링크(353, 354)의 다른 하나의 상기 제1 끝부에 피벗가능하게 연결되고, 상기 길다란 평행 링크(353, 354)의 다른 하나의 상기 제2 끝부는 상기 짧은 평행 링크(351, 352)의 다른 하나의 상기 제1 끝부에 피벗가능하게 연결되고, 상기 짧은 평행 링크(351, 352)의 다른 하나의 상기 제2 끝부는 상기 길다란 평행 링크(353, 354)의 하나에 피벗가능하게 연결되고, 상기 짧은 평행 링크(341, 342)의 다른 하나의 상기 제2 끝부는 상기 제1 암 링크(131)의 상기 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되고, 상기 짧은 평행 링크(351, 352)의 하나는 상기 제2 핸들링 부재(317)에 연결되어 상기 제2 핸들링 부재(317)가 안정된 상태에서 상기 제1 피처리물을 지지하도록 허용하는 것을 특징으로 하는 로봇 암 기구.
제 8 항에 있어서, 상기 각도 유지 기구(380)는

제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부 사이에 개재된 길이방향의 중간부, 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 각각 가지고 있고, 제1 평행 링크(143, 153)의 하나가 상기 제1 평행 링크(143, 153)의 다른 하나와 길이가 동일한 한쌍의 제1 평행 링크(143, 153),

제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 각각 가지고 있고, 제2 평행 링크(161, 162)의 하나가 상기 제1 평행 링크(161, 162)의 다른 하나와 길이가 동일한 한쌍의 제2 평행 링크(161, 162),

하나의 상기 로봇 암의 다른 하나의 상기 짧은 암 링크와 상기 각도 유지 기구(380)의 하나의 상기 제2 평행 링크(143, 153) 사이에 개재된 제1 중간 링크(141),

다른 하나의 상기 로봇 암(310a, 310b)의 다른 하나의 상기 짧은 평행 링크(341, 342)와 상기 각도 유지 기구(380)의 다른 하나의 상기 제1 평행 링크(143, 153) 사이에 개재된 제2 중간 링크(151)를 포함하고 있고,

상기 제1 평행 링크(143, 153)의 하나의 상기 제1 끝부는 상기 제2 평행 링크(161, 162)의 하나의 상기 제1 끝부에 피벗가능하게 연결되고, 상기 제2 평행 링크(161, 162)의 하나의 상기 제2 끝부는 상기 제1 평행 링크(143, 153)의 다른 하나의 상기 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되고, 상기 제2 평행 링크(143, 153)의 다른 하나의 상기 제2 끝부는 상기 제1 평행 링크(161, 162)의 다른 하나의 상기 제1 끝부에 피벗가능하게 연결되고, 상기 제2 평행 링크(161, 162)의 다른 하나의 상기 제1 끝부는 상기 제1 평행 링크(143, 153)의 하나의 상기 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되고,

상기 제1 중간 링크(141)는 제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있고, 상기 제1 중간 링크(141)의 상기 제1 끝부는 상기 제1 로봇 암(310a)의 상기 제1 암 링크(131)의 상기 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되고, 상기 제1 중간 링크(141)는 상기 제1 로봇 암(310a)의 상기 짧은 평행 링크(341, 342)의 하나와 일체로 형성되고, 상기 제1 중간 링크(141)의 상기 제2 끝부가 상기 각도 유지 기구(380)의 상기 제1 평행 링크(143, 153)의 하나의 상기 길이방향의 중간부에 연결되는 상태하에서 상기 제1 중간 링크(141)는 상기 각도 유지 기구(380)의 상기 제1 평행 링크(143, 153)의 하나와 일체로 형성되고,

상기 제2 중간 링크(151)는 제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있고, 상기 제2 중간 링크(151)의 상기 제1 끝부는 상기 제2 로봇 암(310b)의 상기 제1 암 링크(132)의 상기 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되고, 상기 제2 중간 링크(151)는 상기 제2 로봇 암(310b)의 짧은 평행 링크(351, 352)의 하나와 일체로 형성되고, 상기 제2 중간 링크(151)의 상기 제2 끝부가 상기 각도 유지 기구(380)의 상기 제1 평행 링크(143, 153)의 다른 하나의 상기 길이방향의 중간부에 연결되는 상태하에서 상기 제2 중간 링크(151)는 상기 각도 유지 기구(380)의 상기 제1 평행 링크(143, 153)의 다른 하나와 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 로봇 암 기구.
제 8 항에 있어서, 상기 로봇 암 운동 기구(370; 470)는 상기 제1 및 제2 로봇 암(310a, 310b; 410a, 410b)의 상기 제1 암 링크(131, 132) 중의 하나에 연결된 제1 구동축(121)과, 상기 제1 및 제2 로봇 암(310a, 310b; 410a, 410b)의 상기 제1 암 링크(131, 132) 중의 다른 하나에 연결된 제2 구동축(122)을 포함하고 있고, 상기 제2 구동축(122)은 피벗축(111)을 가지고 있으며 상기 피벗축(111) 주위로 피벗가능하고, 상기 제1 구동축(121)은 상기 제2 구동축(122)을 피벗가능하게 수용하도록 중공 형태로 만들어져 있으며 상기 피벗축(111) 주위로 피벗가능한 것을 특징으로 하는 로봇 암 기구.
제 10 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 구동축(121, 122)이 각각 상기 피벗축(111) 주위로 시계방향 및 반시계방향으로 피벗되어 제1 및 제2 로봇 암(310a, 310b; 410a, 410b)의 제1 암 링크(131, 132) 중의 하나가 제1 및 제2 로봇 암(310a, 310b; 410a, 410b)의 제1 암 링크(131, 132) 중의 다른 하나에 대하여 각운동되도록 하는 상태하에서 상기 각도 유지 기구(380; 480)는 상기 제2 로봇 암(310b, 410b)의 상기 짧은 평행 링크(351, 352) 각각의 상기 중심선과 상기 제1 로봇 암(310a, 410a)의 상기 짧은 평행 링크(341, 342) 각각의 상기 중심선 사이에 한정되는 미리 설정된 각도를 고정된 상태로 유지시키도록 작동하는 것을 특징으로 하는 로봇 암 기구.
제 9 항에 있어서, 상기 제1 중간 링크(141)는 상기 제1 중간 링크(141)의 상기 중심선과 상기 제1 로봇 암(310a, 410a)의 상기 제1 암 링크(131)의 상기 중심선 사이에 한정되는 제1 경사각으로 상기 제1 로봇 암(310a, 410a)의 상기 제1 암 링크(131)에 대하여 기울어져 있고;

상기 제2 중간 링크(151)는 상기 제2 중간 링크(151)의 상기 중심선과 상기 제2 로봇 암(310b, 410b)의 상기 제1 암 링크(132)의 상기 중심선 사이에 한정되는 제2 경사각으로 상기 제2 로봇 암(310b, 410b)의 상기 제1 암 링크(131)에 대하여 기울어져 있고;

제1 및 제2 로봇 암(310a, 310b; 410a, 410b)의 상기 제1 암 링크(131, 132)의 상기 중심선이 서로 축방향으로 정렬되는 상태하에서 상기 제1 중간 링크(141)의 상기 중심선과 상기 제1 로봇 암(310a, 410a)의 상기 제1 암 링크(131)의 상기 중심선 사이에 한정되는 상기 제1 경사각은 상기 제2 중간 링크(151)의 상기 중심선과 상기 제2 로봇 암(310b, 410b)의 상기 제1 암 링크(132)의 상기 중심선 사이에 한정되는 제2 경사각과 동일한 것을 특징으로 하는 로봇 암 기구.
제 9 항에 있어서, 상기 제1 중간 링크(141)는 상기 제2 중간 링크(151)와 길이가 동일한 것을 특징으로 하는 로봇 암 기구.
제 8 항에 있어서, 상기 각도 유지 기구(480)는

제1 끝부, 제2 끝부 및 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있는 제1 중간 링크(421),

제1 끝부, 제2 끝부 및 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있는 제2 중간 링크(431),

제1 끝부와 제2 끝부를 가지고 있으며 상기 제1 중간 링크(421)와 상기 제2 중간 링크(431) 사이에 개재된 제3 중간 링크(443),

제1 끝부, 제2 끝부 및 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있는 제1 피벗축(447),

상기 제1 피벗축(447)을 수용하는 관통 보어가 형성되어 있고 상기 제1 피벗축(447)과 일체로 형성되는 제1 풀리(441),

제1 끝부, 제2 끝부 및 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있는 제2 피벗축(448),

상기 제2 피벗축(448)을 수용하는 관통 보어가 형성되어 있고 상기 제2 피벗축(448)과 일체로 형성되는 제2 풀리(442), 및

상기 제1 풀리(441)와 상기 제2 풀리(442) 사이에서 구동력을 전달하기 위해 상기 제1 풀리(441)와 상기 제2 풀리(442) 상에 팽팽하게 설치되어 있는 구동 벨트(444)를 포함하고 있고,

상기 제1 중간 링크(421)의 상기 제1 끝부는 상기 제1 로봇 암(410a)의 상기 제1 암 링크(131)의 상기 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되고, 상기 제1 중간 링크(141)는 상기 제1 로봇 암(410a)의 다른 하나의 상기 짧은 평행 링크(341, 342)와 일체로 형성되고,

상기 제2 중간 링크(431)의 상기 제1 끝부는 상기 제2 로봇 암(410b)의 상기 제1 암 링크(132)의 상기 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되고, 상기 제2 중간 링크(431)는 상기 제2 로봇 암(410b)의 다른 하나의 상기 짧은 평행 링크(351, 352)와 일체로 형성되고,

상기 제1 피벗축(447)의 상기 제1 끝부는 상기 제3 중간 링크(443)의 제2 끝부에 피벗식으로 연결되어 있고, 상기 제1 피벗축(447)은 상기 제1 피벗축(447)의 상기 제2 끝부가 상기 제1 중간 링크(421)의 제2 끝부에 연결되는 상태하에서 상기 제1 중간 링크(421)와 일체로 형성되고,

상기 제2 피벗축(448)의 상기 제1 끝부는 상기 제3 중간 링크(443)의 제2 끝부에 피벗식으로 연결되어 있고, 상기 제2 피벗축(448)은 상기 제2 피벗축(448)의 상기 제2 끝부가 상기 제2 중간 링크(431)의 제2 끝부에 연결되는 상태하에서 상기 제2 중간 링크(431)와 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 로봇 암 기구.
제 14 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 로봇 암(410a, 410b)의 상기 제1 암 링크(131, 132) 중의 하나가 상기 제1 및 제2 로봇 암(410a, 410b)의 상기 제1 암 링크(131, 132) 중의 다른 하나에 대하여 각운동되도록 하는 상태하에서 상기 각도 유지 기구(480)는 상기 제2 로봇 암(410b)의 상기 짧은 평행 링크(351, 352)의 각각의 상기 중심선과 상기 제1 로봇 암(410a의 상기 짧은 평행 링크(341, 342)의 각각의 상기 중심선 사이에 한정되는 미리 설정된 각도를 고정된 상태로 유지시키도록 작동하는 것을 특징으로 하는 로봇 암 기구.
제15 항에 있어서, 상기 제1 중간 링크(421)는 상기 제1 중간 링크(421)의 상기 중심선과 상기 제1 로봇 암(410a)의 상기 제1 암 링크(131)의 상기 중심선 사이에 한정되는 제1 경사각으로 상기 제1 로봇 암(410a)의 상기 제1 암 링크(131)에 대하여 기울어져 있고;

상기 제2 중간 링크(431)는 상기 제2 중간 링크(431)의 상기 중심선과 상기 제2 로봇 암(410b)의 상기 제1 암 링크(132)의 상기 중심선 사이에 한정되는 제2 경사각으로 상기 제1 로봇 암(410a)의 상기 제1 암 링크(131)에 대하여 기울어져 있고;

제1 및 제2 로봇 암(410a, 410b)의 상기 제1 암 링크(131, 132)의 상기 중심선이 서로 축방향으로 정렬되는 상태하에서 상기 제1 경사각은 상기 제2 경사각과 동일한 것을 특징으로 하는 로봇 암 기구.
제 14 항에 있어서, 상기 제1 중간 링크(421)는 상기 제2 중간 링크(431)와 길이가 동일한 것을 특징으로 하는 로봇 암 기구.
제 9 항 또는 제 14 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 로봇 암(310a, 310b)의 상기 제1 암 링크(131, 132) 중의 하나가 상기 제1 및 제2 로봇 암(310a, 310b; 410a, 410b)의 상기 제1 암 링크(131, 132) 중의 다른 하나에 대하여 각운동되도록 하는 상태하에서 상기 제1 핸들링 부재(316)를 소정의 제1 직선을 따라서 직선으로 운동시키도록 상기 제1 중간 링크(141; 421)의 상기 중심선과 상기 제1 로봇 암(310a, 410a)의 상기 제1 암 링크(131)의 상기 중심선 사이에 한정되는 상기 제1 경사각에 따라 상기 길다란 평행 링크(343, 344)의 각각의 상기 중심선과 상기 제1 암 링크(131) 사이에 한정되는 상기 제1 각도를 조절하는 제1 각도 조절 기구와(390a; 450);

상기 제1 및 제2 로봇 암(310a, 310b; 410a, 410b)의 상기 제1 암 링크(131, 132) 중의 하나가 상기 제1 및 제2 로봇 암(310a, 310b; 410a, 410b)의 상기 제1 암 링크(131, 132) 중의 다른 하나에 대하여 각운동되도록 하는 상태하에서 상기 제2 핸들링 부재(317)를 소정의 제2 직선(317a)을 따라서 직선으로 운동시키도록 상기 제2 중간 링크(151; 431)의 상기 중심선과 상기 제2 로봇 암(310b, 410b)의 상기 제1 암 링크(132)의 상기 중심선 사이에 한정되는 상기 제2 경사각에 따라 상기 길다란 평행 링크(353, 354)의 각각의 상기 중심선과 상기 제1 암 링크(132) 사이에 한정되는 상기 제2 각도를 조절하는 제2 각도 조절 기구(390b; 460);를 더 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 로봇 암 기구.
제 18 항에 있어서, 상기 제1 각도 조절 기구(390a)는 제1 끝부와 제2 끝부를 가지고 있는 제1 링크(361), 제1 끝부와 제2 끝부를 가지고 있는 제2 링크(362), 제1 끝부와 제2 끝부를 가지고 있는 제3 링크(363), 제1 끝부와 제2 끝부를 가지고 있는 제4 링크(364), 제1 끝부와 제2 끝부 및 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부 사이에 개재된 길이방향의 중간부를 가지고 있는 제5 링크(365), 그리고 제1 끝부와 제2 끝부를 가지고 있는 제6 링크(366)를 포함하고 있고, 상기 제1 링크(361)는 상기 제4 링크(364)와 길이가 동일하고, 상기 제2 링크(362)는 상기 제5 링크(365)와 길이가 동일하며, 그리고 상기 제6 링크(366)는 상기 제1 링크(361)와 길이가 동일하고;

상기 제1 링크(361)는 상기 제1 링크(361)의 상기 제1 끝부가 상기 제1 로봇 암(310a)의 상기 짧은 평행 링크(341, 342) 중의 하나의 상기 제1 끝부에 연결되어 있는 상태하에서 상기 제1 로봇 암(310a)의 상기 짧은 평행 링크(341, 342) 중의 하나와 일체로 형성되어 있고;

상기 제2 링크(362)는 상기 제2 링크(362)의 상기 제1 끝부가 상기 제1 로봇 암(310a)의 상기 제1 암 링크(131)의 상기 제1 끝부에 연결되어 있는 상태하에서 상기 제1 로봇 암(310a)의 상기 제1 암 링크(131)와 일체로 형성되어 있고;

상기 제3 링크(363)는 상기 제3 링크(363)의 상기 제1 끝부가 상기 제1 로봇 암(310a)의 상기 길다란 평행 링크 중(343, 344)의 하나의 상기 제1 끝부에 연결되어 있는 상태하에서 상기 제1 로봇 암(310a)의 상기 길다란 평행 링크(343, 344) 중의 하나와 일체로 형성되어 있고;

상기 제4 링크(364)의 상기 제1 끝부는 상기 제2 링크(362)의 상기 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되어 있고;

상기 제5 링크(365)의 상기 제1 끝부는 상기 제2 링크(361)의 상기 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되어 있고, 상기 제5 링크(365)의 상기 제2 끝부는 상기 제4 링크(364)의 상기 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되어 있고;

상기 제6 링크(366)의 상기 제1 끝부는 상기 제3 링크(363)의 상기 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되어 있고, 상기 제6 링크(366)의 상기 제2 끝부는 상기 제5 링크(365)의 상기 길이방향의 중간부에 피벗가능하게 연결되어 있고;

상기 제2 각도 조절 기구(390b)는 제1 끝부와 제2 끝부를 가지고 있는 제1 링크(371), 제1 끝부와 제2 끝부를 가지고 있는 제2 링크(372), 제1 끝부와 제2 끝부를 가지고 있는 제3 링크(373), 제1 끝부와 제2 끝부를 가지고 있는 제4 링크(374), 제1 끝부와 제2 끝부 및 상기 제1 끝부와 상기 제2 끝부 사이에 개재된 길이방향의 중간부를 가지고 있는 제5 링크(375), 그리고 제1 끝부와 제2 끝부를 가지고 있는 제6 링크(376)를 포함하고 있고, 상기 제1 링크(371)는 상기 제4 링크(374)와 길이가 동일하고, 상기 제2 링크(372)는 상기 제5 링크(375)와 길이가 동일하며, 그리고 상기 제6 링크(376)는 상기 제1 링크(371)와 길이가 동일하고;

상기 제1 링크(371)는 상기 제1 링크(371)의 상기 제2 끝부가 상기 제2 로봇 암(310b)의 상기 짧은 평행 링크(351, 352) 중의 하나의 상기 제1 끝부에 연결되어 있는 상태하에서 상기 제2 로봇 암(310b)의 상기 짧은 평행 링크(351, 352) 중의 하나와 일체로 형성되어 있고;

상기 제2 링크(372)는 상기 제2 링크(372)의 상기 제1 끝부가 상기 제2 로봇 암(310b)의 상기 제1 암 링크(131)의 상기 제1 끝부에 연결되어 있는 상태하에서 상기 제2 로봇 암(310b)의 상기 제1 암 링크(131)와 일체로 형성되어 있고;

상기 제3 링크(373)는 상기 제3 링크(373)의 상기 제1 끝부가 상기 제2 로봇 암(310b)의 상기 길다란 평행 링크(353, 354) 중의 하나의 상기 제1 끝부에 연결되어 있는 상태하에서 상기 제2 로봇 암(310b)의 상기 길다란 평행 링크(353, 354) 중의 하나와 일체로 형성되어 있고;

상기 제4 링크(374)의 상기 제1 끝부는 상기 제2 링크(372)의 상기 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되어 있고;

상기 제5 링크(375)의 상기 제1 끝부는 상기 제1 링크(371)의 상기 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되어 있고, 상기 제5 링크(375)의 상기 제2 끝부는 상기 제4 링크(374)의 상기 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되어 있으며; 그리고

상기 제6 링크(376)의 상기 제1 끝부는 상기 제3 링크(373)의 상기 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되어 있고, 상기 제6 링크(376)의 상기 제2 끝부는 상기 제5 링크(375)의 상기 길이방향의 중간부에 피벗가능하게 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 로봇 암 기구.
제 18 항에 있어서, 상기 제1 각도 조절 기구(490a)는 제1 끝부와 제2 끝부를 가지고 있는 제1 기어축(445a), 상기 제1 기어축(445a)을 수용하는 관통 보어가 형성되어 있는 제1 기어(451), 제1 끝부와 제2 끝부를 가지고 있는 제2 기어축(445b), 상기 제2 기어축(445b)을 수용하는 관통 보어가 형성되어 있는 제2 기어(452)를 포함하고 있고,

상기 제1 기어(451)는 상기 제1 기어축(445a)과 일체로 형성되어 있고, 상기 제1 기어축(445a)의 상기 제1 끝부는 상기 제1 로봇 암(410a)의 상기 제1 암 링크(131)의 상기 제1 끝부와 일체로 형성되어 있고,

상기 제2 기어(452)는 상기 제2 기어축(445b)과 일체로 형성되어 있고, 상기 제2 기어축(445b)의 상기 제1 끝부는 상기 제1 로봇 암(410a)의 상기 길다란 평행 링크(343, 344) 중의 하나의 상기 제2 끝부와 일체로 형성되어 있고, 상기 제2 기어축(445b)의 상기 제2 끝부는 상기 제1 로봇 암(410a)의 상기 짧은 평행 링크(341, 342) 중의 하나에 피벗식으로 연결되어 있고;

상기 제2 각도 조절 기구(490b)는 제1 끝부와 제2 끝부를 가지고 있는 제1 기어축(446a), 상기 제1 기어축(446a)을 수용하는 관통 보어가 형성되어 있는 제1 기어(461), 제1 끝부와 제2 끝부를 가지고 있는 제2 기어축(446b), 상기 제2 기어축(446b)을 수용하는 관통 보어가 형성되어 있는 제2 기어(462)를 포함하고 있고,

상기 제1 기어(461)는 상기 제1 기어축(446a)과 일체로 형성되어 있고, 상기 제1 기어축(446a)의 상기 제1 끝부는 상기 제2 로봇 암(410b)의 상기 제1 암 링크(132)의 상기 제1 끝부와 일체로 형성되어 있고,

상기 제2 기어(462)는 상기 제2 기어축(446b)과 일체로 형성되어 있고, 상기 제2 기어축(446b)의 상기 제1 끝부는 상기 제2 로봇 암(410b)의 상기 길다란 평행 링크(353, 354) 중의 하나의 상기 제2 끝부와 일체로 형성되어 있고, 상기 제2 기어축(446b)의 상기 제2 끝부는 상기 제2 로봇 암(410b)의 상기 짧은 평행 링크(351, 352) 중의 하나에 피벗식으로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 로봇 암 기구.
로봇 장치로서,

제1 피처리물을 지지하고 취급하는 제1 핸들링 부재(116); 제2 피처리물을 지지하고 취급하는 제2 핸들링 부재(117); 제1 로봇 암(110a)으로서, 제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부 및 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있는 제1 암 링크(131)와 제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부 및 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있는 제2 암 링크(142)를 포함하고 있고, 상기 제2 암 링크(142)의 상기 제1 끝부는 상기 제1 암 링크(131)의 상기 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되어 있고, 상기 제1 핸들링 부재(116)가 상기 제1 피처리물을 안정된 상태로 지지할 수 있도록 상기 제2 암 링크(142)의 상기 제2 끝부가 상기 제1 핸들링 부재(116)에 연결되어 있는, 상기 제1 로봇 암(110a); 제2 로봇 암(110b)으로서, 제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부 및 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있는 제1 암 링크(132)와 제1 끝부, 제2 끝부, 상기 제1 끝부 및 상기 제2 끝부를 통과하는 중심선을 가지고 있는 제2 암 링크(152)를 포함하고 있고, 상기 제2 암 링크(152)의 상기 제1 끝부는 상기 제1 암 링크(132)의 상기 제2 끝부에 피벗가능하게 연결되어 있고, 상기 제2 암 링크(152)는 상기 제2 로봇 암(110b)의 상기 제2 암 링크(152)의 상기 중심선과 상기 제1 로봇 암(110a)의 상기 제2 암 링크(142)의 상기 중심선 사이에 한정되는 미리 설정된 각도를 가지고 있고, 상기 제2 핸들링 부재(117)가 상기 제2 피처리물을 안정된 상태로 지지할 수 있도록 상기 제2 암 링크(152)의 상기 제2 끝부가 상기 제2 핸들링 부재(117)에 연결되어 있는, 상기 제2 로봇 암(110b); 상기 제1 및 제2 로봇 암(110a, 110b)의 상기 제1 암 링크(131, 132) 중의 하나를 상기 제1 및 제2 로봇 암(110a, 110b)의 상기 제1 암 링크(131, 132) 중의 다른 하나에 대하여 각운동하도록 허용하기 위해 상기 제1 및 제2 로봇 암(110a, 110b)의 상기 제1 암 링크(131, 132)에 연결된 로봇 암 운동 기구(170); 그리고 상기 제1 및 제2 로봇 암(110a, 110b)의 상기 제1 암 링크(131, 132) 중의 하나가 상기 제1 및 제2 로봇 암(110a, 110b)의 상기 제1 암 링크(131, 132) 중의 다른 하나에 대하여 각운동될 때 상기 제2 로봇 암(110b)의 상기 제2 암 링크(152)의 상기 중심선과 상기 제1 로봇 암(110a)의 상기 제2 암 링크(142)의 상기 중심선 사이에 한정되는 상기 미리 설정된 각도를 고정된 상태로 유지하기 위해 상기 제1 및 제2 로봇 암(110a, 110b)의 상기 제2 암 링크(142, 152)에 연결된 각도 유지 기구(180);를 포함하고 있는 로봇 암 기구(110);

상기 제1 로봇 암(110a)과 상기 제2 로봇 암(110b)의 상기 제1 암 링크(131, 132)의 하나를 제1 구동축(121)에 대하여 각운동하도록 구동시키는 제1 구동 모터(123); 그리고

상기 제1 로봇 암(110a)과 상기 제2 로봇 암(110b) 중의 다른 하나를 제2 구동축(122)에 대하여 각운동하도록 피벗축(111) 주위로 상기 제2 구동축(122)을 구동시키는 제2 구동 모터(124);를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 로봇 장치.