TWI272453B - Radiation-sensitive resin composition - Google Patents

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1272453 A7 B7 五、發明説明（彳) 發明領域 本發明係關於一種輻射敏感性樹脂組成物。更明確的 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 說本發明係關於一種輻射敏感性樹脂組成物，而彼適於作 爲化學放大光阻而可用於微製造，彼利用各種類型的輻射 線’例如’深紫外線如κ I* F激發器雷射或A r F激發器 雷射、X —射線如同步輻射線，或帶電粒子射線如電子束 〇 技藝背景說明 在由積體電路裝置製作代表的微製造領域中，爲了達 成較高的整合’已需求平版印刷術的技藝使能夠作微製造 而彼線寬在0 · 2 0 // m或更低。 慣常的平版印刷方法使用近紫外線如i -線作爲輻射 線。已知在此技藝中使用接近紫外線微製造線寬在次四分 之一微米或更低係非常困難的。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 因此，已硏究使用較短波長輻射線以使能夠微製造線 寬在0 · 2 0 // m或更低者。作爲較短波長的輻射線，可 舉列由汞燈線光譜及激發器雷射、X -射線、電子束、及 其類似者代表的深紫外線。在此類之中，K I· F激發器雷 射（波長：248nm)與ArF激發器雷射（波長： 1 9 3nm)已吸引一般的注意力。 作爲可用於較短波長輻射線的輻射敏感性樹脂組成物 ，已提出許多組成物而彼係利用介於其具有酸可解離的官 能基團的成分與於照射下（以下稱爲”曝光”）其可產生 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -4- 1272453 A7 _ ·_B7 __ 五、發明説明) 酸的光酸生產劑之間的化學放大效應。該組成物以下稱爲 化學放大輻射敏感性組成物。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 針對此化學放大輻射敏感性組成物，日本專利公告 No. 27660/1990揭示一組成物而其中包含 一聚合物而此聚合物內含羧酸的第三丁基酯類基團或酚的 第三丁基碳酸酯基團，與光酸生產劑。此組成物使用聚合 物釋放第三一丁基酯類基團或第三- 丁基碳酸酯基團之效 應，而彼係經由於曝光下產生酸之作用形成酸性的基團如 羧基基團或酚系羥基基團，此在光阻膜上提供一曝光的區 域而立即可溶解在鹼性的顯影劑之中。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 大部分的慣常的化學放大輻射敏感性組成物使用酚樹 脂作爲基底樹脂。以深紫外線用作輻射線而作曝光係由樹 脂中的芳香環吸收，且不能充分地到達光阻膜的較低層。 因此’輻射線劑量在光阻膜上層較高而在光阻膜較低層較 小。此導致在上層部分的光阻圖案較薄但向較低的部分的 光阻圖案較厚，從而於顯影之後形成梯形形狀。自該光阻 膜不能得到充分的解析度。在連續步驟如蝕刻步驟及離子 植入步驟中’該於顯影之後形成的梯形形狀不能給予所欲 求之尺寸準確性。此外，若在上層部分的光阻圖案之組態 不是長方形’於乾燥鈾刻期間光阻消失較快，使難以控制 蝕刻條件。 可經由增強輻射線穿透光阻膜的透明度，而改進光阻 圖案的形狀。例如，由於對深紫外線的優異透明度，由聚 甲基丙Μ酸甲酯代表的（甲基）丙烯酸酯樹脂係令人滿意 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -5 - 1272453 A7 B7 五、發明説明（3 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 的，基於輻射線透明度之觀點。日本專利申請案公開號 226461/1992提出一種使用甲基丙烯酸酯樹脂的化學放大輻 射敏感性組成物。然而，儘管有卓越的微加工性能，此組 成物展現僅不良的乾燥蝕刻抗性，由於彼不含芳香族環， 造成執行高準確性蝕刻的困難。此組成物如此不同時具有 輻射線透明度與乾燥蝕刻抗性兩者。 將脂肪族的環引入組成物中樹脂成分而取代芳香族環 之方法，係已知的作爲改進乾燥蝕刻抗性的方法，而未損 害光阻之輻射線透明度，此光阻係產自化學放大輻射敏感 性組成物。例如在日本專利申請案公開號2345 1 1/1 995中提 出’一種化學放大輻射敏感性組成物，使用帶有脂環族環 的（甲基）丙烯酸酯樹脂。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 然而，此組成物，包含其相對地容易地與慣常的酸解 離的基團（例如乙縮醛官能基團如四氫哌喃基基團）及其 相對地困難用酸解離的基團（例如第三-丁基官能基團如 第三一丁基酯類基團、第三-丁基碳酸酯基團），作爲酸 可解離的官能基團而用於樹脂成分中。其具有前者酸可解 離的官能基團的樹脂成分，展現作爲光阻的卓越基本特性 如優越的敏感性及卓越的圖案形狀，但彼問題在不良的貯 存穩定性，而樹脂成分其具有後者酸可解離的官能基團展 現損害的光阻特性，尤其是就敏感性及圖案形狀而言，儘 管彼擁有卓越的貯存穩定性。此外，在樹脂成分中包含脂 環族結構將增加樹脂的拒水性，造成對基質不良的黏著。 因此，已有須要發展化學放大輻射敏感性組成物，其 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -6 - 1272453 A7 _____B7 五、發明説明（4 ) (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 具有優越的由深紫外線代表的輻射線透明度，有突出的乾 燥蝕刻抗性、敏感性、解析度、及圖案形狀，具有優越的 貯存穩定性，且展現對基板充分的黏著。 據此，本發明目的之一在提供一種用於化學放大光阻 的輻射敏感性組成物，其可顯示敏感於輻射線如由K r F 激發器雷射與A r F激發器雷射代表的深紫外線，尤其是 展現優越的乾燥蝕刻抗性而未受各型的蝕刻氣體所影響， 其具有高的輻射線透明度，展現作爲光阻的卓越基本特性 如敏感性、解析度、及圖案形狀，其具有作爲組成物的卓 越的貯存穩定性，且展現對基板充分的黏著。 本發明槪要 依據本發明，上述目的可經由一種輻射敏感性樹脂組 成物予以達成，其包含： (A )含有酸可解離基團的樹脂，彼不溶或幾乎不可 溶於鹼中，且當酸可解離基團解離時，彼變爲鹼可溶解的 ，該樹脂包含下面重複單位（I)、重複單位（II)、 及重複單位（I I I 一 1)與（I I I 一 2)中之至少一 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 者

\)/ -適I j 尺 張 纸 i準 標 家 國 國 格 i釐 公 1272453 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明 其中A與B係獨立代表氫原子或具有丄一4個碳原子 的線性或分枝的烷基基團；X及γ係獨立代表氫原子、單 價內含氧的極性基團、或單價內含氮的極性基團，但是χ 及Υ中之至少一者代表單價內含氧的極性基團或單價內含 氮的極性基團，否則X及Υ合倂形成二羧基酐基團；及η 爲0至2之整數； w〇 十 HC~CH-)~ (II) R1 —(-C-CH2 ~)—

I c=o

I 〇 l2

R ⑴M) 其中R1代表氫原子或甲基基團；及R2代表由下式（ a )所示的基團； R3

I -OR3 (a)

I R3 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X297公釐） ------、訂------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -8 - 1272453 A7 B7 五、發明説明（6 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 其中R 3係個別地代表具有4 - 2 0個碳原子的單價脂 環烴基、其衍生物、或有1 - 4個碳原子的線性或分枝的 烷基基團，但是至少一個R3爲具有4 一 2 0個碳原子的單 價脂環烴基或其衍生物，或二個R 3與該二個r 3所鍵結的 碳原子合倂形成具有4 - 2 0個碳原子的二價脂環烴基或 其衍生物，剩下的一個R 3可爲具有1 - 4個碳原子的線性 或分枝的烷基基團或具有4 一 2 0個碳原子的單價脂環烴 基或其衍生物； R1 -(-c-ch24-

I

C=G i Ο ι c=o

I o H3C-C-CH3 ch3 (MI-2) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其中R1定義與如上之定義相同，及R4代表具有含有 3 — 1 5個碳原子之脂環骨架之二價烴基團；及 (B )光酸生產劑。 依據本發明，上述目的亦可經由一種輻射敏感性樹脂 組成物予以達成，其包含： (A )含有酸可解離基團的樹脂，彼不溶或幾乎不可 溶於鹼中，且當酸可解離基團解離時，彼變爲鹼可溶解的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -9- 1272453 Α7 Β7 五、發明説明 > 位 -~•單 I 複 I 重 C 及 位、 單 } 複I 重 I 面 C 下位 含單 包複 脂重 樹、 該） 位 單 複 重 與 者 i 少 至 之 中

(1-1 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 其中A /及Β /係獨立代表氫原子、具有1 一 4個碳 原子的線性或分枝的烷基基團，或具有2 〇或更低碳原子 數的酸可解離的基團，彼在酸存在下會解離出酸性的官能 基團，但是A /及B /中之至少一者代表酸可解離的基團 ，及i爲0至2之整數； I \^Τλ/.\\ y=\ X* γ· (1-2) 其中X 及Υ 係獨立代表氫原子、具有1一4個碳 原子的線性或分枝的烷基基團，或單價內含氧的極性基團 或單價內含氮的極性基團，但是X /及γ /中之至少一者· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2l〇X：297公釐） 訂 I έ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -10- 1272453 A7 B7 五、發明説明（8 ) 代表單價內含氧的極性基團或單價內含氮的極性基團，及 j爲0至2之整數； (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ow〇 十 H'C—C’H 十 (II) R1 —(-C-CH2 -)—

I c=o

I 〇 (IIM) 其中R 1及R 2其定義係相同於如上定義者； R1 -(-C-CH2-)-

I C=0

I 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

I C=0

I 〇 H3C-C-CH3

I CHa (m-2) 其中R1及R4其定義係相同於如上定義者；及 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -11 - 1272453 A7 B7 五、發明説明（9 ) (B )光酸生產劑； (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 發明之詳細說明及較佳的具體實施例 本發明將作詳細敘述。 成分（A ) 本發明之成分（A)爲含有酸可解離基團的樹脂，彼 係不溶的或幾乎不可溶於鹼中，且當酸可解離基團解離時 ，彼變爲驗可溶解的，其包含重複單位（I )、重複單位 (I I )、及重複單位（I I I — 1 )與（I I I — 2 ) 中之至少一者（以下稱爲''樹脂（A 1 )〃 ），或爲含有 酸可解離基團的樹脂，彼係不溶的或幾乎不可溶於鹼中， 且當酸可解離基團解離時，彼變爲鹼可溶解的，其包含重 複單位（I 一 1 )、重複單位（I 一 2 )、重複單位（ II)、及重複單位（I I I 一 1)與（I I I— 2)中 之至少一者（以下稱爲'、樹脂（A 2 ) 〃）。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 樹脂（A 1 )及樹脂（A 2 )提供本發明輻射敏感性 樹脂組成物，當此組成物用作爲光阻時其具有卓越的乾燥 蝕刻抗性及優越的輻射線透明度。 作爲可提供重複單位（I )的單體實施例，可提出由 下式（3 )(以下稱爲 '、原冰片烯衍生物（I )〃）所示 的原冰片烯衍生物： 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -12- 1272453 A7 B7 五、發明説明（10 )

(3) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 其中A、B、X、Y、及η具有如式（I )中相同之 定義。 作爲在原冰片烯衍生物（I )中Α及Β的具有1 — 4 個碳原子的線性或分枝的烷基基團之實施例，可提出甲基 基團、乙基基團、正丙基基團、異丙基基團、正丁基基團 、2 —甲基丙基基團、1 一甲基丙基基團、第三一 丁基基 團、及其類似者。在此類之中，甲基基團及乙基基團爲較 佳的。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在原冰片烯衍生物（I )中X及Y的內含氧的極性基 團之實施例包括：羥基基團；羧基基團；具有1 - 8個碳 原子的線性、分枝、或環羥烷基如羥甲基基團、1 一羥乙 基基團、2 —羥乙基基團、1 一羥基丙基基團、2 -羥基 丙基基團' 3 -羥基丙基基團、1—羥基丁基基團、2 一 羥基丁基基團、3 -羥基丁基基團、4 -羥基丁基基團、 3 —羥基環戊基基團、及4 —羥基環己基；具有1 一 8個 碳原子的線性、分枝、或環狀烷氧基基團如甲氧基基團' 乙氧基基團、正丙氧基基團、異丙氧基基團、正丁氧基基 團、2 —甲基丙氧基基團、1 一甲基丙氧基基團、第三一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -13- 1272453 A7 B7 五、發明説明（Ή ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 丁氧基基團、環戊氧基基團、及環己氧基基團；具有2 -1 〇個碳原子的線性、分枝、或環狀烷氧基烷基基團如甲 氧基甲基基團、乙氧基甲基基團、正丙氧基甲基基團、異 丙氧基甲基基團、正丁氧基甲基基團、第三-丁氧基甲基 基團、環戊氧基甲基基團、及環己氧基甲基基團；具有2 - 1 0個碳原子的線性、分枝、或環狀烷氧基烷氧基基團 如1 一甲氧基乙氧基基團、1—乙氧基乙氧基基團、1 -正丙氧基乙氧基基團、1—正丁氧基乙氧基基團、1 -環 戊氧基乙氧基基團、1一環己氧基乙氧基基團、1-甲氧 基丙氧基基團、及1 -乙氧基丙氧基基團；具有2 - 9個 碳原子的線性或分枝的烷氧基羰基氧基基團如甲氧羰基氧 基基團、乙氧羰基氧基基團、正丙氧基羰基氧基基團、異 丙氧基羰基氧基基團、及正丁氧基羰基氧基基團；具有3 一 1 1個碳原子的線性、分枝、或環（1 一烷氧基烷氧基 )烷基基團如（1 一甲氧基乙氧基）甲基基團、（1 一乙 氧基乙氧基）甲基基團、（1 一正丙氧基乙氧基）甲基基 團、（1 一正丁氧基乙氧基）甲基基團、（1 一環戊氧基 乙氧基）甲基基團、（1 一環己氧基乙氧基）甲基基團、 (1 一甲氧基丙氧基）甲基基團、及（1 一乙氧基丙氧基 )甲基基團；具有3 - 1 0個碳原子的線性或分枝的烷氧 基羰基氧基烷基基團如甲氧羰基氧基甲基基團、乙氧羰基 氧基甲基基團、正丙氧基羰基氧基甲基基團、異丙氧基羰 基氧基甲基基團、及正丁氧基羰基氧基甲基基團；四氫呋 喃基氧基基團、四氫哌喃基氧基基團、四氫呋喃基氧基甲 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210x297公釐） _ 14- 1272453 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明（12 ) 基基團、四氫哌喃基氧基甲基基團；及其類似者。 於原冰片烯衍生物（I )中X及Y的含氮的極性基團 之貝施例包括氨基基團、具有2 - 9個碳原子的氛院基基 團如氰基甲基基團、1 一氰基乙基基團、2 一氰基乙基基 團、1 一氰基丙基基團、2 —氰基丙基基團、3 —氰基丙 基基團、1 一氰基丁基基團、2 -氰基丁基基團、3 -氰 基丁基基團、及4 -氰基丁基基團；及其類似者。 原冰片燏衍生物（I )之實施例包括：雙環〔2 . 2 • 1〕庚一 2 -烯衍生物如5 —羥基雙環〔2 · 2 ·工〕 庚一 2 -烯、 5 —羧基雙環〔2· 2.1〕庚一2— j#、 5 —羥甲基雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2 —燒、 （2 ^ —羥乙基）雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 2 — 烯、 5 -甲氧基雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2 一嫌、 5-乙氧基雙環〔2·2·1〕庚〜2-嫌、 5 —（1 —甲氧基乙氧基）雙環〔2 . 2 1〕庚 —2 —烯、 5 — （1 / —乙氧基乙氧基）雙環〔2 · 2 · 1；)庚 —2 -烯、 5 —（1 / —正丙氧基乙氧基）雙環〔2 · 2 · 1〕 庚一 2 -烯、 5 -（1 —正丁氧基乙氧基）雙環〔2. 2 1〕 庚一 2 —烯、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） ------------ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) *1Τ -15- 1272453 A7 B7 五、發明説明（13 ) 5 —（1 / 一環己氧基乙氧基）雙環〔2 · 2 · 1〕 庚一 2 —烯、 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 5 —甲氧羰基氧基雙環〔2 · 2 . 1〕庚一 2 —烯、 5—乙氧羰基氧基雙環〔2·2.1〕庚一2—烯、 5 -正丙氧基羰基氧基雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2- 烯、 5-正丁氧基羰基氧基雙環〔2·2·1〕庚一2— 烯、 5 — （1 / 一甲氧基乙氧基）甲基雙環〔2 · 2 · 1 〕庚一 2 -烯、 5 — (1 > —乙氧基乙氧基）甲基雙環〔2 .2 · 1 〕庚一 2 -烯、 5 —（1 / 一正丙氧基乙氧基）甲基雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2 —烯、 5 —（1 / 一正丁氧基乙氧基）甲基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 2 -稀、 5 —（1 > 一環己氧基乙氧基）甲基雙環〔2 · 2 · 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1〕庚—2 —烯、 5 -甲氧羰基氧基甲基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 2 — 烯、 5 —乙氧羰基氧基甲基雙環〔2 · 2 . 1〕庚一 2 — 烯、 5-正丙氧基羰基氧基甲基雙環〔2·2·1〕庚一 2 —烯、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -16- 1272453 A7 B7 五、發明説明（14 ) 5 —正丁氧基羰基氧基甲基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 2 —烯、 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 5-四氫呋喃甲醯基氧基雙環〔2.2·1〕庚一2 一嫌、 5 —四氫哌喃基氧基雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2 —烯 5—四氫呋喃甲醯基氧基甲基雙環〔2·2·1〕庚 —2 —烯、 5—四氫哌喃基氧基甲基雙環〔2·2·1〕庚一2 一燒、 5， 6—二羥基雙環〔2.2.1〕庚一2-烯、 5, 6 —二羧基雙環〔2 .2.1〕庚一 2 —烯、 5， 6 —二（羥甲基）雙環〔2 .2.1〕庚一 2 - 烯、 5， 6 —二（2> —羥乙基）雙環〔2.2.1〕庚 —2 —矯、 5， 6 —二甲氧基雙環〔2. 2.1〕庚—2 —烯、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 5， 6 —二乙氧基雙環〔2. 2.1〕庚—2 —烯、 5, 6 —二（1< 一甲氧基乙氧基）雙環〔2 .2. 1〕庚一 2 —烯、 5， 6 —二（I# 一乙氧基乙氧基）雙環〔2 .2. 1〕庚—2 —烯、 5， 6—二（1/一正丙氧基乙氧基）雙環〔2.2 .1〕庚—2 —烯、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -17- 1272453 A7 B7 五、發明説明（15 ) 5, 6 —二（1/ 一正丁氧基乙氧基）雙環〔2 .2 • 1〕庚—2 —嫌、 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 5， 6 —二（1> 一環己氧基乙氧基）雙環〔2 .2 • 1〕庚—2 —燒、 5， 6—二甲氧羰基氧基雙環〔2.2.1〕庚一2 —烯、 5, 6 —二乙氧羰基氧基雙環〔2 .2.1〕庚一 2 一烯、 5， 6—二一正丙氧基羰基氧基雙環〔2·2·1〕 庚-2 -烯、 5， 6—二一正丁氧基羰基氧基雙環〔2.2.1〕 庚一2 —烯、 5， 6 —二〔（1/ 一甲氧基乙氧基）甲基〕雙環〔 2 · 2 · 1〕庚—2 —燃、 5， 6 —二〔（1< 一乙氧基乙氧基）甲基〕雙環〔 2 · 2 · 1〕庚—2 —烯、 5， 6—二〔（1<一正丙氧基乙氧基）甲基〕雙環 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 〔2 · 2 · 1〕庚—2 —烯、 5， 6—二〔（1<一正丁氧基乙氧基）甲基〕雙環 〔2 · 2 · 1〕庚—2 - 烯、 5， 6—二〔（1<一環己氧基乙氧基）甲基〕雙環 〔2 · 2 . 1〕庚—2 —燦、 5， 6 —二（甲氧羰基氧基甲基）雙環〔2. 2.1 〕庚一 2 -烯、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ；297公釐） -18- 1272453 A7 B7 五、發明説明（16 ) 5， 6—二（乙氧羰基氧基甲基）雙環〔2.2.1 〕庚一 2 —烯、 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 5， 6 —二（正丙氧基羰基氧基甲基）雙環〔2 .2 • 1〕庚—2 —烯、 5， 6 —二（正丁氧基羰基氧基甲基）雙環〔2 .2 • 1〕庚—2 -烯、 5, 6 —二（四氫呋喃甲醯基氧基）雙環〔2 .2. 1〕庚—2 —烯、 5， 6 —二（四氫哌喃基氧基）雙環〔2. 2.1〕 庚一2 -烯、 5， 6 —二（四氫呋喃甲醯基氧基甲基）雙環〔2. 2 . 1〕庚一 2 —烯、 5， 6 —二（四氫哌喃基氧基甲基）雙環〔2 .2. 1〕庚—2 —烯、 5 —羥基一 5 —甲基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 2 —烯 、 5_羥基—5 -乙基雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2 —烯 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Λ 5 —羧基一 5 —甲基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 2 —烯 、 5 —羧基—5-乙基雙環〔2 · 2 . 1〕庚一 2 —烯 5 —羥甲基一5 —甲基雙環〔2 . 2 · 1〕庚一2 — 烯、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） -19- 1272453 A7 B7 五、發明説明（|7 ) 5 —羥甲基一5 —乙基雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2 — 烯、 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 5— （2 > —羥乙基）一5 —甲基雙環〔2 · 2 · 1 〕庚一 2 -烯、 5 —（2 > —羥乙基）一 5 —乙基雙環〔2 · 2 . 1 〕庚—2 -嫌、 5 —甲氧基一5 —甲基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 2 — 烯、 5 —甲氧基一5 —乙基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一2 — 烯、 5 —乙氧基一5 —甲基雙環〔2 · 2 . 1〕庚一 2 — 烯、 S —乙氧基一5 —乙基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 2 — 烯、 5 — （1 > 一甲氧基乙氧基）一 5 —甲基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 2 —烯、 5 —（1 / —乙氧基乙氧基）一 5 —甲基雙環〔2 · 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 2 · 1〕庚—2 —嫌、 5—(1/—正丙氧基乙氧基）一S—甲基雙環〔2 • 2 · 1〕庚一2 —烯、 5 —（ 1 / 一正丁氧基乙氧基）—5 —甲基雙環〔2 • 2 . 1〕庚—2 —矯、 5 —（1 / 一環己氧基乙氧基）一 5 —甲基雙環〔2 • 2 · 1〕庚—2 -烯、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -20- 1272453 A7 B7 五、發明説明（18 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 5 — 甲氧 m :基 氧 基 一 5 - -甲 基 雙 環 [ 2 • 2 • 1 ] 庚 — 2 一 烯 5 — 乙氧 m :基 氧 基 — 5 - -甲 基 雙 環 [ 2 • 2 • 1 ] 庚 — 2 — 烯 5 — 正丙 氧 !基 振 基 氧 基- -5 — 甲 基 雙 環 ( 2 • 2 • 1 ] 庚 — 2 —烯 、 5 — 正丁 氧 ，基 Y,山 猴 基 氧 基- -5 — 甲 基 雙 環 ( 2 • 2 • 1 ] 庚 — 2 一少希 5 — (1 〆 — 甲 氧 基 乙氧基 ) 甲 基 — 5 — 甲 基 雙 TS3. ( 2 • 2 • 1 ] 庚 — 2 —烯 5 — (1 - — 乙 氧 基 乙氧基 ) 甲 基 — 5 — 甲 基 雙 ( 2 • 2 傷 1〕 庚 — 2 —烯 、 5 — (1 — 正 丙 氧 基乙氧 基 ) 甲 基 — 5 — 甲 基 雙 rm 垣 ( 2 • 2 .1 庚 — 2 - -烯、 5 — (1 〆 — 正 丁 氧 基乙氧 基 ) 甲 基 — 5 — 甲 基 雙 rm [ 2 2 .1 ] 庚 一 2 - —烯、 5 —（ 1 / 一環己氧基乙氧基）甲基一5 —甲基雙環 2 2 庚 2 烯 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 庚 庚 氧烯氧嫌丙 2 甲，| 乙 I 正 I I 2 I 2 I 庚 LO | LO _ LO /—^ 5 I 基 甲 基 氧 基 羰 5 I 基 甲 基 氧 基 羰 基 甲 基 氧 基 羰 V3/ 、 基晞 氧 2 N-f 環 雙 基 甲 2 \_f 環 雙 基 甲 環 雙 基 甲 I 5 2 2 2 2 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -21 - 1272453 A7 B7 五、發明説明（19 ) 5—正丁氧基羰基氧基甲基一5—甲基雙環〔2.2 • 1〕庚—2 —儲、 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 5 —四氫呋喃甲醯基氧基一 5 —甲基雙環〔2 . 2 . 1〕庚—2 -烯、 5 —四氫哌喃基氧基一 5 —甲基雙環〔2 · 2 · 1〕 庚一 2 —烯、 5 —四氫呋喃甲醯基氧基甲基一 5 —甲基雙環〔2 . 2 · 1〕庚—2 — 儲、 5 —四氫哌喃基氧基甲基一5 —甲基雙環〔2 · 2 . 1〕庚一 2 —烯、 5 —羥基—6 —甲基雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2 —烯 、 5 —羥基一 6 -乙基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一2 —烯 、 5 —羧基一 6 —甲基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一2 —烯 5 —羧基一 6 -乙基雙環〔2 . 2 · 1〕庚一2 -烯 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 5 基 甲 羥 >3/ 環 雙 基 甲 - 6 庚 2 烯 烯 庚 5 基 甲 羥 \3y 烯 環 雙 基 乙 I 6 基 乙 羥 6 環 雙 基 甲 庚 2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -22- 1272453 A7 B7 五、發明説明) 5 — (2 / —羥乙基）—6 —乙基雙環〔2 · 2 · 1 〕庚—2 -録、 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 5 —甲氧基一 6 —甲基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 2 — 烯、 5 —甲氧基一 6 —乙基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一2 — 烯、 5 —乙氧基一6 —甲基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一2 — 烯、 5—乙氧基一6 —乙基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 2 — 烯、 5 —氰基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 2 —烯、 5 —氰基甲基雙環〔2.2. 1〕庚—2 —烯、 5 — (2/ —氰基乙基）雙環〔2 · 2 · 1〕庚一2 -烯、 5， 6 -二氰基雙環〔2· 2.1〕庚—2 —烯、 5， 6 —二（氰基甲基）雙環〔2. 2.1〕庚一 2 一烯、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 5， 6 —二（2 / -氰基乙基）雙環〔2. 2.1〕 庚—2 -烯、 5 —氰基一 5 —甲基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一2 —燃 5 —氰基一5 —乙基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 2 —烯 5 —氰基甲基一 5 —甲基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 1272453 A7 B7 五、發明説明（21 ) 一烯、 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 5 —氰基甲基—5 —乙基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 2 —烯、 5 —（2 / —氰基乙基）一5 —甲基雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2 —嫌、 5— (2 —氨基乙基）一 5 —乙基雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2 —烯、 5 —氰基一 6 —甲基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 2 —烯 5 —氰基一 6 —乙基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 2 —烯 、 5 —氰基甲基一6 —甲基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一2 —烯、 5 —氰基甲基一6 —乙基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一2 一烯、 5— (2〃 一氰基乙基）一6 —甲基雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2 —烯、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 5—(2/—氰基乙基）一6—乙基雙環〔2·2· 1〕庚—2 -烯，及 5， 6 —二羧基雙環〔2. 2.1〕庚一 2 —烯酐（ 海密（hymic )酐）； 四環〔4 · 4 · 0 · I2，5· l7，1。〕十二一3 —烯 衍生物如 8 —羥基四環〔4 · 4 · 0 · I2’5· I7，1。〕十二 一 24- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1272453 A7 B7五、發明説明（22 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 —3 —烯、 8 —羧基四環〔4 · 4 . 0 · I2，5· I7’1。〕十 一 3 —烯、 8 —羥甲基四環〔4 · 4 · 0 · 1 2，5 · 1 7，1 0〕 —一 3 -燃、 8— (2/ —羥乙基）四環〔4 · 4 · 0 · I2’5· 17’1°〕十二一3—烯、 8 —甲氧基四環〔4 · 4 · 0 · I2，5· I7’1。〕十 一 —3 -矯、 8 —乙氧基四環〔4 · 4 · 0 · I2，5· I7，1。〕十 二—3 —嫌、 8— (1 / —曱氧基乙氧基）四環〔4 · 4 · 0 · 1 2，5 · 1 7，1 °〕十二—3 —烯、 8 —（1 / —乙氧基乙氧基）四環〔4 · 4 · 0 · I2’5· l7，1。〕十二—3 —烯、 8— (1/ —正丙氧基乙氧基）四環〔4， .4.0 • 17，1。〕十二—3 —烯、 2 , 8 8 8 8 基一基 羰一 一羰 氧 氧 甲+乙 十 環 四 \)/ 基 氧 乙 基 氧 丁 正 4 4 ο 3 烯 環 四 \)y 基 、 氧烯 乙-丨 基3環 氧 一 3二㈣ 環十氧 4 4 ο 4 4 ο 3 烯 ο 4 4 \_f 環 四 基 氧 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -25- 1272453 Μ Β7 7,10 五、發明説明（23 十二—3 -燦 8 —正丙氧基羰基氧基四環〔4 · 4 · 0 · I2’5· 1 7 ’ 1 °〕十二—3 —烯、 8—正丁氧基羰基氧基四環〔4 · 4 . 0 . I2’ 5· I7，1。〕十二—3 —烯、 8 — （1 / —甲氧基乙氧基）甲基四環〔4 · 4 · 0 • 1 2，5 · 1 7，1 〇〕十二—3 —烯、 8 — （1 / —乙氧基乙氧基）甲基四環〔4 · 4 · 0 • 1 2 ’ 5 · 1 7，1 〇〕十二—3 —烯、 8 — (1 / —正丙氧基乙氧基）甲基四環〔4 · 4 · 0 · I2，5· I7，1〇〕十二—3 —烯、 8 — (1 / —正丁氧基乙氧基）甲基四環〔4 · 4 . 〇· I2，5· 17，1〇〕十二—3_ 烯、 8 —（1 / 一環己氧基乙氧基）甲基四環〔4. 4 . 0.12，5.17，1〇〕十二—3—烯、 8 —甲氧羰基氧基甲基四環〔4 · 4 · 0 · I2’5’· I7，1。〕十二—3 —烯、 8 —乙氧羰基氧基甲基四環〔4 · 4 · 0 · I2’5· l7，1Q〕+:—3—_、 8 —正丙氧基羰基氧基甲基四環〔4 . 4 · 0 . I2，5· 17，1()〕十二—3 —烯、 8 —正丁氧基羰基氧基甲基四環〔4 . 4 · 0 . I2,5· I7’1。〕十二一3 —烯、 8 —四氫呋喃甲醯基氧基四環〔4 · 4 . 0 · I2’ 5 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） ----------— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、-=， 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -26 - 1272453 A7 B7 五、發明説明（24 ) .17，1。〕十二—3 —烯、 8 —四氫哌喃基氧基四環〔4.4.0.12’5· 1 7，1 〇〕十二—3 —烯、 8 —四氫呋喃甲醯基氧基甲基四環〔4 · 4 . 0 . 1 2 ’ 5 · 1 7 ’ 1 〇〕十二一 3 —烯、 8 —四氫哌喃基氧基甲基四環〔4 · 4 · 0 · I2 • 17，1。〕十二一 3 —烯、 8, 9 —二羥基四環〔4·4·0·12，5·17, 〕十二—3 -烯、 8， 9 —二羧基四環〔4.4.0. I2，5· I7’ 〕十二一 3 —烯、 8， 9 —二（羥甲基）四環〔4.4.0. I2’ 5 17’1[)〕十二—3—烯、 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 8 9 二 環 四 基 乙 羥 、一Tts 3 烯 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 9. ? 8 1 8 ， 2 , 00 00 9 9 9 環 四 基 氧 甲 3 烯 環 四 基 氧 乙二 二 3 烯 氧 甲 氧 乙 基、基 氧烯氧 乙 I 乙 基 3 基 環 四 環 四 烯 環 四 基 氧 乙 基 氧 丙 正 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X；297公釐） -27- 1272453 A7 B7 五、發明説明（25 ) •〇· I2’5· I7’10〕十二一3 —烯、 8， 9 一二（丨/一正丁氧基乙氧基）四環〔4 .4 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) • 0 · 8, 9 —二（1> 一環己氧基乙氧基）四環〔4 .4 • 0 · I2,5. I7，1。〕十二—3 —烯、 8， 9 —二甲氧羰基氧基四環〔4.4.0 ·12’ 5 • 17，1〇〕十二—3—烯、 8， 9 —二乙氧羰基氧基四環〔4.4.0 ·12’ 5 • I7，"〕十二一 3 —烯、 8， 9一二一正丙氧基羰基氧基四環〔4.4·Ο- ΐ2，5· I7，1。〕十二—3— 烯、 8， 9一二一正丁氧基羰基氧基四環〔4.4.0. 8， 9一二〔（1^一甲氧基乙氧基）甲基〕四環〔 4.4.0. 12.5.17，1()〕十二—3—烯、 8, 9 —二〔（1> —乙氧基乙氧基）甲基〕四環〔 4.4.0. 12，5.17，1()〕十二一3—烯、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 8， 9 一二〔（1/ —正丙氧基乙氧基）甲基〕四環 〔4.4.0. I2，5· I7，1。〕十二一3-烯、 8， 9一二〔（1/一正丁氧基乙氧基）甲基〕四環 〔4.4.0.12，5.l7，1C)〕+:—3—-、 8， 9 一二〔（1> 一環己氧基乙氧基）甲基〕四環 〔4. 4·0· I2，5· I7，10〕十二—3 —烯、 8， 9一二（甲氧羰基氧基甲基）四環〔4.4.0 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -28 - 1272453 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（26 ) • I2,5· 17>1〇〕十二—3 —烯、 8, 9 —二（乙氧羰基氧基甲基）四環〔4 · 4 · 0 • I2,5· I7，1。〕十二—3 —烯、 8， 9 一二（正丙氧基羰基氧基甲基）四環〔4 .4 。0 · 1 2，5 · 1 7 ’ 1 °〕十二—3 —烯、 8， 9 一二（正丁氧基羰基氧基甲基）四環〔4 .4 • 0 · 1 2，5 · 1 7，1 °〕十二—3 —烯、 8， 9 一二（四氫呋喃甲醯基氧基）四環〔4.4· 0 · 1 2，5 · 1 7，1 〇〕十二—3 —烯、 8， 9 —二（四氫哌喃基氧基）四環〔4 .4.0. I2，5· I7’1。〕十二—3 —烯、 8， 9 —二（四氫呋喃甲醯基氧基甲基）四環〔4· 4 · 0 · I2,5· l7，1。〕十二—3 —烯、 8, 9 —二（四氫哌喃基氧基甲基）四環〔4.4. 0 · I2，5· I7，1〇〕十二—3 —烯、 8 —羥基一8 —甲基四環〔4 · 4 · 0 · I2，5· I7，1。〕十二—3 - 烯、 8 —經基一8 —乙基四環〔4 · 4 · 0 . I2’5 · 17’1Q〕十二一 3 —烯、 8 —羧基—8 —甲基四環〔4 . 4 . 0 · I2’5· 17’1(3〕十二—3-烯、 8 —竣基—8 —乙基四環〔4 · 4 · 0 · I2’5 · 17，1Q〕十二—3 - 烯、 8 —羥甲基一 8 —甲基四環〔4 . 4 ·〇· I2’5· 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-29- 1272453 A7 B7 五、發明説明（27 3 烯 ο 4 4 N_/ 環 四 基 乙 I 8 I 基 甲 1 工 I 8 3 烯 2 I 8 基 乙 羥 \3/ ο 4 4 N-f 環 四 基 甲 I 8 3 烯 2 I 8 基 乙 羥 ΛΤ7 ο 4 4 Ν_· 環 四 基 乙 I 8 基 氧 甲- 8 基 氧 甲 I 8 基 氧 乙 I 8 8 - 8 - 8 -- 3-3-3 、 4 烯[ I 環 3 四 - 基 二甲 烯 4 ο ο 4 4 \_f 環 四 基 乙 烯 ο 4 4 V_f 環 四 基 甲 烯 r—I ο 4 4 N_t 環 四 基 乙 I 8 I 基 氧 乙 I 8 3 烯 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 4 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 4 8 0 8 0 8 ο I ο -8 . 8 4 基 氧 乙 基 氧 甲 基 一 氧I 乙「 基10 氧’ 7 乙 基 一 氧本 乙「 基10 氧’ 7 丙1 正 基 氧 乙 基 氧 丁 正 基 氧 乙 基 氧 己 環 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21 OX29?公釐） 4 \_t 環 四 基 甲 I 8 3 3 烯 4 \_f 環 四 基 甲- 8 4 N—/ 環 四 基 甲 > _ 烯 8 3 烯 環 環 四 四 基 基 甲 、 甲 I 烯 -8 | 8 I 3 一 4 4 -30- 1272453 A7 B7 五、發明説明（28 ) • 4 · 〇 · I2’5· I7’1。〕十二—3 - 烯、 8 —甲氧羰基氧基—8 —甲基四環〔4 · 4 . 0 . (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 2 ' 5 . I7，1。〕十二—3 — 烯、 8 —乙氧碳基氧基—8 —甲基四環〔4 · 4 . 0 . 1 2，5 ·丄 7i 〇〕十二一 3 —烯、 8 —正丙氧基羰基氧基一 8 —甲基四環〔4 . 4 . 0 • I2’5· I7，1。〕十二—3 —烯、 8—正丁氧基羰基氧基一8—甲基四環〔4.4.〇 • 1 2，5 · 1 7，1 °〕十二—3 —烯、 8 — （ 1 一甲氧基乙氧基）甲基一 8 —甲基四環〔 4 · 4 · 0 · 1 2，5 · 1 7，1 °〕十二—3 -烯、 8 — (1 一乙學/基乙氧基）甲基一 8 —甲基四環〔 4.4.0.12，5.17，1°〕十二—3—烯、 8—(1>—正丙氧基乙氧基）甲基一8—甲基四環 〔4 ·4 · 0 · I2，5· I7’1。〕十二—3 - 烯、 8— ( 1 / —正丁氧基乙氧基）甲基一 8 —甲基四環 〔4 · 4 · 0 · I2,5· I7’10〕十二—3 —烯、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 8 —（1 1—環己氧基乙氧基）甲基一 8 —甲基四環 〔4 ·4·0· I2，5· I7，10〕十二—3 - 烯、 8 —甲氧羰基氧基甲基一8 —甲基四環〔4 . 4 · 0 • I2’5· I7，1。〕十二—3 —烯、 8—乙氧羰基氧基甲基一8—甲基四環〔4·4·0 8 —正丙氧基鑛基氧基甲基一 8 —甲基四環〔4 . 4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -31 - 1272453 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明h ) • Ο.Ι2,5·：^，1。〕十二一 3 —烯、 8 —正丁氧基羰基氧基甲基一8 —甲基四環〔4 . 4 •0.12’5.17，1°〕十二—3—烯、 8—四氫呋喃甲醯基氧基一8—甲基四環〔4.4· 0 · I2,5, iiu〕十二—3 —烯、 8 —四氫哌喃基氧基一 8 —甲基四環〔4 . 4 · Ο-ΐ2，5· I7， 10 〕 十二 — 3— 烯、 8—四氫呋喃甲醯基氧基甲基一8—甲基四環〔4. 4.0.12’5.17，1〇〕十二—3—烯、 8—四氫哌喃基氧基甲基一8—甲基四環〔4.4· 〇· 工"，"〕十二—3 一烯、 8 —羥基—9 —甲基四環〔4 · 4 · 0 · I2’5· 1 7 ’ 1 °〕十二—3 —烯、 8 —羥基一9 —乙基四環〔4 . 4 · 0 · I2’5· I7，1。〕十二—3 —烯、 8 —羧基—9 —甲基四環〔4 · 4 · 0 · I2’5. 17’1Q〕十二一 3 —烯、 8 —羧基—9 —乙基四環〔4.4.0.12’5· 1 7 ’ 1 °〕十二一 3 —烯、 8 —羥甲基一9 —甲基四環〔4 · 4 · 0 · I2’5· 17，1Q〕十二一 3 - 烯、 8 —羥甲基一9 —乙基四環〔4 · 4 · 0 · I2，5· 17，1()〕十二—3—烯、 8— (2 / —羥乙基）一9 —甲基四環〔4 · 4 · 0 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X297公釐） ------ IITAw (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -32- 1272453 A7 B7 五、發明説明（3〇 ) • 1 2 ’ 5 · 1 7 ’ 1 °〕十二—3 —烯、 8 — (2 > —羥乙基）一 9 一乙基四環〔4 . 4 · 0 8 —甲氧基一9 —甲基四環〔4 . 4 · 0 · I2’5· I7，1。〕十二—3 —烯、 8 —甲氧基一9 —乙基四環〔4 · 4 · 0 · I2’5. I7，"〕十二—3 —烯、 8 —乙氧基一9 —甲基四環〔4 · 4 · 0 · I2’5· 17，1Q〕十二—3 —烯、 8 —乙氧基—9—乙基四環〔4 · 4 · 0 · I2’5· I7，1。〕十二—3 —烯、 8 —氰基四環〔4 · 4 · 0 · I2,5· 17’1Q〕十二 -3 -烯、 8 —氰基甲基四環〔4 · 4 · 0 · I2，5· I7，1。〕 十二—3 -烯、 8— (2— —氰基乙基）四環〔4 · 4 · 0 · I2’5 • I7, 1〇〕十二—3 —烯、 8， 9 —二氰基四環〔4·4·〇·12，5·17，10 〕十二一 3 -烯、 8， 9 —二（氰基甲基）四環〔4.4.0 ·12’ 5 • 17，ι〇〕十二一 3 —烯、 8, 9 —二（2< —氰基乙基）四環〔4.4.0. I2’5· l7’1C)〕+:—3—-、 8 —氰基一8 —甲基四環〔4 . 4 · 0 · I2’5· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 L0 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -33- 1272453 A7 B7 五、發明説明（31 ) 17’1Q〕十二—3 —烯、 8 —氰基一8 —乙基四環〔4 · 4 · 0 · I2’5· 1 7，1 °〕十二—3 —烯、 8 —氰基甲基一 8 —甲基四環〔4 · 4 · 0 · I2’ 5 • I7，"〕十二—3 —烯、 8 —氰基甲基一8 —乙基四環〔4 ·4 · Ο ·12’ 5 • 1 7，1 ◦〕十二—3 —烯、 8 — (2 / —氰基乙基）一8 —甲基四環〔4 . 4 · 0 · I2，5· 十二—3 —烯、 8 ~~ ( 2 一氰基乙基）一8 —乙基四環〔4 . 4 . 0.12,5.17，1〇〕十二—3—烯、 8 —氰基一9 —甲基四環〔4 · 4 · 0 · I2’5 · 17，1()〕十二一3—烯、 8 —氰基一9 —乙基四環〔4 · 4 · 0 · I2’5· l7，1Q〕+:—3—_、

8 —氰基甲基一9 —甲基四環〔4 . 4· 0 · l2’E • 17，ι。〕十二—3 —烯、 8 —氰基甲基一9 —乙基四環〔4 · 4 · 0 · 12’£ • I7」。〕十二—3 —烯、 8 — (2 / —氰基乙基）一9 —甲基四環〔4 · 4 . 〇· I2，5·工？，"〕十二—3 —烯、 8 —（2 氰基乙基）一9 —乙基四環〔4 · 4 · 0 · I2，5· I7，1。〕十二—3 —烯，及 8, 9 —二羧基四環〔4.4.0.12，5·；!7，11 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 Φ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -34- 1272453 A7 B7 五、發明説明（32 ) 〕十二一 3 —烯酐；及其類似者。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 在此類原冰片烯衍生物（I )中，以如下化合物爲較 佳的： 5 —羥基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 2 —烯、 5 —羥甲基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 2 —烯、 5— (1 乙氧基乙氧基）雙環〔2 · 2 · 1〕庚 —2 —烯、 5 —正丁氧基羰基氧基雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2 - 烯、 5— (1 / —乙氧基乙氧基）甲基雙環〔2 · 2 · 1 〕庚—2 —烯、 5—正丁氧基羰基氧基甲基雙環〔2·2.1〕庚一 2 —烯、 5， 6 —二羥基雙環〔2. 2.1〕庚—2 —烯、 5， 6 —二（羥甲基）雙環〔2 .2.1〕庚一 2 — 烯、 5， 6 —二（1> 一乙氧基乙氧基）雙環〔2 .2. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1〕庚—2 —烯、 5， 6-二一正丁氧基羰基氧基雙環〔2.2.1〕 庚一 2 -燃、 5, 6—二〔（1>一乙氧基乙氧基）甲基〕雙環〔 2 · 2 · 1〕庚—2 —嫌、 5， 6 -二（正丁氧基羰基氧基甲基）雙環〔2 .2 .1〕庚—2 -烯、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210Χ297公釐） - 35- 1272453 A7 B7 五、發明説明（33 ) 5 —羥基一5 —甲基雙環〔2 · 2 . 1〕庚—2 —烯 、 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 5 —羥甲基一5 —甲基雙環〔2 . 2 · 1〕庚一 2 — 烯、 5—(1/—乙氧基乙氧基）一5—甲基雙環〔2· 2.1〕庚—2 —嫌、 5 —正丁氧基羰基氧基一 5 —甲基雙環〔2 . 2 · 1 〕庚—2 —嫌、 5— (1 / —乙氧基乙氧基）甲基一 5 —甲基雙環〔 2.2.1〕庚一2 —烯、 5 —正丁氧基羰基氧基甲基—5 —甲基雙環〔2 . 2 • 1〕庚—2 — _、 5 —羥基一6 —甲基雙環〔2 . 2 . 1〕庚一 2 —烯 > 5 —羥甲基一 6 —甲基雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2 — 烯、 5 -氰基雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2 -烯、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 5 —氨基甲基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 2 —烯、 5 —氰基一 5 —甲基雙環〔2 . 2 · 1〕庚—2 —烯 、 5—氰基甲基一5—甲基雙環〔2·2·1〕庚一2 —烯、 5 —氰基一6 —甲基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 2 —烯 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -36- 1272453 A7 B7 五、發明説明（34 ) 5 —氰基甲基一 6 —甲基雙環〔2 . 2 · 1〕庚一 2 一烯、 5， 6 —二羧基雙環〔2.2.1〕庚一 2 —烯酐（ 海密（h y m i c )酐）、 8 —羥基四環〔4 · 4 · Ο · l2’ 5 . l7，1。〕十二 —3 —烯、 8 —羥甲基四環〔4 · 4 · Ο · I2，5· 17，1()〕十 一 一 3 —嫌、 8 ο 4 4 \_f 環 四 基 氧 乙 基 氧 乙 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 8 正 3 烯 8 8 正 環 環基-㈣ 四 氧3 W 基 乙一基 氧希基-h-氧 基細氧十基 羰一乙1羰 基| 一 1基 氧1 ，7,氧 4 4 ο ο 4 4 \_/ 環 四 基 甲 烯 4 4 ο 3 烯 8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ο 8 8 8 9 3 9 9 5 9 ο 4 4 N_f 環 四 基 羥 \3/ 烯

I 3 環 四 基 甲 羥 烯 4 4 〇 4 4 N_f 環 四 基 氧 乙 基 氧 乙 3 烯 ο 4 4 \_f 環 四 基 氧 基 羰 基 氧 丁 正 3 烯 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -37- 1272453 A7 B7 五、發明説明（35 ) 8， 9 —二〔（1> 一乙氧基乙氧基）甲基〕四環〔 4 · 4 · 0 . I2’5· l7’10〕十二—3 —烯、 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 8, 9 —二（正丁氧基羰基氧基甲基）四環〔4 . 4 • 0 · I2’5· I7，1。〕十二—3 —烯、 8 —經基一8 —甲基四環〔4 · 4 · 0 · I2’5· 17’1()〕十二—3—烯、 8 —羥甲基一8 —乙基四環〔4 · 4 · 0 · I2’5· 17’1()〕十二—3—烯、 8 — (1 / —乙氧基乙氧基）一8 —甲基四環〔4· 4 · 0 · 1 2，5 · 1 7，1 °〕十二—3 —烯、 8 —正丁氧基羰基氧基一 8 —甲基四環〔4 · 4 · 0 • 1 2，5 · 1 7，1 °〕十二—3 —烯、 8 — ( 1 > —乙氧基乙氧基）甲基一8 —甲基四環〔 8—正丁氧基羰基氧基甲基一8—甲基四環〔4.4 • 0 · I2,5· 17，1Q〕十二—3 —烯、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 8 —羥基—9 —甲基四環〔4 · 4 · 0 · I2’5· 17，1°〕十二—3—烯、 8 —羥甲基一9 —甲基四環〔4 · 4 . 0 · I2’5· I7，1。〕十二—3 - 烯、 8 —氰基四環 —3 —烯、 8 —氰基甲基四環〔4 · 4 · 0 · I2，5· 17’1Q〕 十二—3 —烯、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -38- 1272453

A7 B7 五、發明説明（36 ) 8 —氰基一8〜甲基四環〔4 · 4 · 〇 · 12，5· 1 7，1 Q〕十二一 3 —烯、 8—氰基甲基一8—甲基四環〔4·4·0·I2’5 • 17，ι。〕十二〜3 —烯、 8 一氰基一9〜甲基四環〔4 . 4 · 〇 · ι2，5· I7，1。〕十二一 3 —烯、 8 —氰基甲基一9 —甲基四環〔4 . 4 · 0 · I2，5 .17，1。〕十二〜3 —烯、及8， 9 —二羧基四環〔4· 4·〇·12’5·17，1()〕十二一 3 —烯酐。 重複單位（I )可個別地或合倂二或更多者而使用於 樹脂（A )。 作爲可提供樹脂（A 2 )中的重複單位（I 一 1 )的 單體之實施例，可提出由下式（4 )所示的原冰片烯衍生 物（I 一 1 )(以下稱爲、、原冰片烯衍生物（I — 1 ),,

K (4) 其中A / 、B，、及j之意義係相同於式（；[一 1 ) 所定義者。 作爲在原冰片烯衍生物（I 一 1 )中A /及B —的具 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I--------------訂-------9 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本百ς ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -39- 1272453 A7 B7 五、發明説明（37 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 有1 一 4個碳原子的線性或分枝的烷基基團之實施例，可 提出甲基基團、乙基基團、正丙基基團、異丙基基團、正 丁基基團、2 —甲基丙基基團、1—甲基丙基基團、第三 -丁基基團、及其類似者。 在此類之中，甲基基團及乙基基團爲較佳的。 作爲具有2 0或更低碳原子的酸可解離基團，其在酸 存在下會解離產生在原冰片烯衍生物（I - 1 )中由A > 或B /代表的而酸性的官能基團（以下稱爲''酸可解離的 有機基團（i ) 〃 ），以彼在酸存在下解離會產生羧基基 團者爲較佳的。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 酸可解離的有機基團（i )之實施例包括：（環）烷 氧基羰基基團如甲氧羰基基團、乙氧羰基基團、正丙氧基 羰基基團、異丙氧基羰基基團、正丁氧基羰基基團、2 -甲基丙氧基羰基、1 -甲基丙氧基羰基、第三-丁氧基羰 基基團、正戊氧基羰基基團、正己氧基鑛基基團、正庚基 氧基羰基基團、正辛基氧基羰基基團、正癸基氧基羰基基 團、環戊氧基羰基基團、環己氧基羰基基團、4 一第三-丁基環己氧基羰基基團、環庚基氧基羰基基團、及環辛基 氧基羰基基團；一種芳氧基羰基基團如苯氧基羰基基團、 4 -第三- 丁基苯氧基羰基基團、及1 -萘氧基羰基基團 ;芳烷基氧基羰基基團如苄氧基羰基基團、4 一第三-丁 基卞氧基擬基、本乙基氧基鑛基基團、及 4 _第三- 丁基苯乙基氧基羰基基團； 1 一（環）烷基氧乙氧羰基基團如1 一甲氧基乙氧羰 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -40- 1272453 A7 B7 五、發明説明（38 ) 基基團、1一乙氧基乙氧擬基基團、 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 一正丙氧基乙氧羰基基團、1 -異丙氧基乙氧羰基 基團、1一正丁氧基乙氧羰基基團、 1— (2 / —甲基丙氧基）乙氧羰基基團、 1 一（ 1 / —甲基丙氧基）乙氧羰基基團、 1一第三一丁氧基乙氧羰基基團、 1 一環己氧基乙氧羰基基團、及 1一（4/一第三一丁基環己氧基）乙氧羰基基團； 一種1-芳氧基乙氧羰基基團如1-苯氧基乙氧羰基 基團、 1一（4/一第三一丁基苯氧基）乙氧羰基基團、及 1一（1/一萘氧基）乙氧羰基基團； 一種1-芳烷基氧基乙氧羰基基團如 1一苄氧基乙氧羰基基團、 1 一（4 / 一第三一丁基苄氧基）乙氧羰基基團、 1一苯乙基氧基乙氧羰基基團、及 1 一（4 / 一第三一丁基苯乙基氧基）乙氧羰基基團 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 > (環）烷氧基羰基甲氧羰基基團如 甲氧羰基甲氧羰基基團、 乙氧羰基甲氧羰基基團、 正丙氧基羰基甲氧羰基基團、 異丙氧基羰基甲氧羰基基團、 正丁氧基羰基甲氧羰基基團、 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -41 - 1272453 A7 B7 五、發明説明（39 ) 2 —甲基丙氧基羰基甲氧羰基基團、 1一甲基丙氧基羰基甲氧羰基基團、 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 第三一丁氧基羰基甲氧羰基基團、 環己氧基羰基甲氧羰基基團、及 4 -第三一 丁基環己氧基羰基甲氧羰基基團； (環）烷氧基羰基甲基基團如甲氧羰基甲基基團、乙 氧羰基甲基基團、 正丙氧基羰基甲基基團、異丙氧基羰基甲基基團、 正丁氧基羰基甲基基團、2 -甲基丙氧基羰基甲基基 團、1一甲基丙氧基羰基甲基基團、 第三一 丁氧基羰基甲基基團、環己氧基羰基甲基基團 、及4 -第三-丁基環己氧基羰基甲基基團； 芳氧基羰基甲基基團如苯氧基羰基甲基基團、 4 一第三-丁基苯氧基羰基甲基基團、及1 -萘氧基 羰基甲基基團； 芳烷基氧基羰基甲基基團如苄氧基羰基甲基基團、 4 -第三一丁基苄氧基羰基甲基基團、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 苯乙基氧基羰基甲基基團、及4 -第三-丁基苯乙基 氧基羰基甲基基團； 2 —（環）烷氧基羰基乙基基團如 2 —甲氧羰基乙基基團、2 —乙氧羰基乙基基團、 2 —正丙氧基羰基乙基基團、2 -異丙氧基羰基乙基 基團、 • 2 —正丁氧基羰基乙基基團、 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -42- 1272453 A7 B7 五、發明説明（40 ) 2〜（2 —甲基丙氧基）鑛基乙基基團、 2 —（ 1 / 一甲基丙氧基）羰基乙基基團、 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 2 —第二一丁氧基鑛基乙基基團、2 —環己氧基鐵基 乙基基團、及2 —（4 / 一第三一丁基環己氧基羰基）乙 基基團； 2 —芳氧基羰基乙基基團如 2 —苯氧基鑛基乙基基團、 2〜（4 / 一第三一丁基苯氧基羰基）乙基基團、及 2 —（1 / 一萘氧基羰基）乙基基團； 2 —芳院基氧基鑛基乙基基團如2 —节氧基鑛基乙基 基團、 2 —（4 / —第三—丁基苄氧基羰基）乙基基團、 2 —苯乙基氧基羰基乙基基團、及 2 —（ 4，一第三一丁基苯乙基氧基羰基）乙基基團 四氫呋喃甲醯基氧基羰基基團；四氫哌喃基氧基羰基 基團；及其類似者。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在此類酸可解離的有機基團（i )之中，以具有式-COOR / (其中R /代表具有1 — 19個碳原子的（環 )烷基基團）或一C〇〇CH2C〇〇R〃 （其中R 〃代表 具有1 一 1 7個碳原子的（環）烷基基團）的基團爲較佳 的，而以1 -甲基丙氧基羰基基團、第三- 丁氧基羰基基 團、及第三- 丁氧基羰基甲氧羰基基團爲尤其較佳的。 在原冰片烯衍生物（I 一 1 )中i宜爲0或1。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -43- 1272453 A7 B7 五、發明説明Cn ) 原冰片烯衍生物（I - 1 )可個別地或合倂二或更多 個而使用於樹脂（A 2 )。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 原冰片烯衍生物（I - 1 )之實施例包括： 5 —甲氧鑛基雙環〔2 .2 · 1〕庚—2 —烯、 5 —乙氧羰基雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2 —烯、 5 —正丙氧基羰基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 2 —烯、 5 —異丙氧基羰基雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2 —燃、 5 —正丁氧基羰基雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2 -烯、 5 —（2 > —甲基丙氧基）羰基雙環〔2 · 2 · 1〕 庚一 2 —烯、 5 —（1 / 一甲基丙氧基）羰基雙環〔2 · 2 · 1〕 庚—2 -細、 5—第三一丁氧基羰基雙環〔2·2·1〕庚一2— 烯、 5 -環己氧基羰基雙環〔.2 · 2 · 1〕庚一 2 —烯、 5 —（4/ —第三一 丁基環己氧基）羰基雙環〔2 . 2 · 1〕庚—2 —烯、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 5 —苯氧基羰基雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2 —烯、 5 —（1 / —乙氧基乙氧基）羰基雙環〔2 · 2 · 1 〕庚一 2 —烯、 5 —（1 / 一環己氧基乙氧基）羰基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 2 —嫌、 5 —第三一丁氧基羰基甲氧羰基雙環〔2 . 2 · 1〕 庚一 2 —烯、 -44 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210x297公楚） 1272453 A7 B7 五、發明説明（42 環 雙 基 羰 基 氧 基 醯 甲 喃 呋 氫 四 庚 2 烯 環 雙 基 羰 基 氧 基 喃 哌 氫 四 庚 2 烯 環 雙 基 羰 氧 甲二 - 6 庚 2 烯 6 二 環 雙 基 羰 氧 乙 庚 2 烯 環 雙 基 羰 基 氧 丙 正 /(\二 庚 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 2 烯 環 雙 基 羰 基 氧 丙 異 Γ\二 庚 2 烯 環 雙 基 羰 基 氧 丁 正 X^\二 庚 2 烯 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 庚 2 - 2 - 2 6 16 1 ，庚 ，庚 LO y-^ LO /-\ 二 烯 烯 三 第 /(\二 I 6 5 烯 環 雙 \iy 基 羰 基 氧 丙 基 甲 環 雙 基 羰 基 氧 丙 基 甲 環 雙 \Jy 基 羰 基 氧 烯 6 二 庚 環 雙 \1/ 基 羰 基 氧 己 環 三 第 2 烯 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 2 2 庚 環 雙 \1/ 基 羰 基 氧 己 環 基 - 45- 1272453 A7 B7 五、發明説明（43 6 環 雙 N1/ 基 羰 基 氧 苯 庚 2 烯 6 環 雙 基 羰 氧 乙 基 氧 乙 庚 2 烯 6 二 環 雙 N)/ 基 羰 氧 乙 基 氧 己 環 、三烯 烯第 | | ( 2 2 二 | I 一 庚 庚 6 3 環 雙 \)y 基 羰 氧 甲 基 羰 基 氧 9 t—^ 5 15 6 庚 2 環 雙 基 羰 基 氧 基 醯 甲 喃 呋 氫 四 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 庚 一 I 氧烯氧烯丙 6 2 甲 | 乙一正 環 雙 \)y 基 羰 基 氧 基 喃 哌 、 氫 烯四 環 四 、 基 烯羰 環 四 基 羰 環 四 基 羰 基 氧 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 烯 環 四 基 羰 基 氧 丙 異 烯 環 四 基 羰 基 氧 丁 正 3 烯 環 四 基 羰 基 氧 丙 基 甲 3 烯 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -46-

#衣------、1T------9 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -47- 1272453 A7 B7 五、發明説明（45 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 8 8 5 8 8 8 8 0 8 9 9 9 9 9 9 9 環 四 基 羰 基 氧 丙 正 3 烯 環 四 \)y 基 羰 基 氧 丙 異二 3 烯 環 四 基 羰 基 氧 丁 正 /IV二 二 三 第 3 烯 環 四 基 羰 基 氧 丙 基 甲 烯 環 四 \1/ 基 羰 基 氧 丙 基 甲 二 烯 環 四 基 羰 基 氧 3 烯 環 四 \)/ 基 羰 基 氧 己 環 4 /ν' 三 第 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 烯 環 四 \)y 基 羰 基 氧 己 環 基 環 四 基 羰 基 氧 苯

rH 三 第 3 烯 [ 環 環 四 四 } ) 基 基、羰 羰烯氧 氧 I 乙 、 乙 3 基 烯基一氧 I 氧二己 3乙十環 3 烯 環 四 \ly 基 羰 氧 甲 基 羰 基 氧 3 烯 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -48- 1272453 A7 B7 五、發明説明（46 ) 8， 9 一 一（四氨咲喃基氧基鑛基）四環〔4 · 4 ·0 · I2,5·工？，"〕十二—3 —烯、 8， 9 一二（四氫哌喃基氧基羰基）四環〔4· 4. 0 · 1 2，5 ·丄7，i Q〕十二—3 —烯，及其類似者。 在此類原冰片烯衍生物（I 一 1 )中，以下化合物爲 較佳的= 5—第三一丁氧基羰基雙環〔2·2·1〕庚一2- 烯、 庚 三 、 第烯 - -5 2 2 2 N_f 環 雙 基 羰 氧 甲 基 羰 基 氧 三 第二 I 6 5 2 2 N_f 環 雙 \)y 基 羰 基 氧 庚 2 烯 5 6 二 三 第 2 \-f 環 雙 基 羰 氧 甲 基 羰 基 氧 2 庚 2 烯 三 第 I 8 ο 4 4 N—· 環 四 基 羰 基 氧 3 三 第 - 8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 8 9 二 環 四 } 及 基 基， 羰、羰烯 、TT^S 、rrts J-J/ 氧烯基 I 甲一氧 3 基 CO 丁 I 、羰一-二 M基二三十 一 氧十第1 4 4 ο 〇 4 4 N—f 環 四 4 單物 [ 的生 環 }衍 四 2 烯 \)y I 片 基。I 冰 羰烯{原 氧 I 位的 甲 3 單一7Γ 基 I 複所 羰二重} 基十供 5 氧 1 提丨 丁10中式 17,}下 三172由 第 .A 出(5 ( 0 二2’ 脂可 I 1 樹， 9 •在例 ，ο 爲施 8 •作實 4 之 • Μηρ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 衣------、訂------9 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -49- 1272453 A? B7 五、發明説明（47 ) (以下稱爲 ''原冰片烯衍生物（I 一 2 ) 〃）： (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

X· V (5) 其中X / 、Y / 、及j之意義係相同於式（I 一 2 ) 所定義者。 作爲在原冰片烯衍生物（I — 2 )中X /及Y /的具 有1 - 4個碳原子的線性或分枝的烷基基團之賓施例，可 提出甲基基團、乙基基團、正丙基基團、異丙基基團、正 丁基基團、2 —甲基丙基基團、1 一甲基丙基基團、第三 -丁基基團、及其類似者。 在此類之中，甲基基團及乙基基團爲較佳的。 作爲在原冰片烯衍生物（I 一 2 )中X >及Y /的單 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 價內含氧的極性基團及單價內含氮的極性基團之實施例， 可提出作爲在原冰片烯衍生物（I )中的X及Y的單價內 含氧的極性基團及單價內含氮的極性基團之實施例之基團 。在原冰片烯衍生物（I 一2 )中，X /及Y /兩者可爲 內含氧的極性基團或其中含氮的極性基團，或X /與Y / 之一者可爲內含氧的極性基團，及另一者可爲含氮的極性 基團。 在原冰片烯衍生物（I 一 2 )中的j宜爲〇或1。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -50- 1272453 A7 B7 五、發明説明ς8 ) 原冰片烯衍生物（I - 2 )可個別地或合倂二或更多 個而使用於樹脂（A 2 )。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 原冰片烯衍生物（I 一 2 )之實施例包括： 5 —羥基雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2 -烯、 5 —羥甲基雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2 —烯、 5 — (2< -羥乙基）雙環〔2 .2 · 1〕庚—2 — 烯、 5 —羥基一 6 —甲基雙環〔2 .2. 1〕庚一 2 -烯 、 5 —羥甲基一6 —甲基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一2 — 火希、 5— (2 / —羥乙基）一6 —甲基雙環〔2 · 2 · 1 〕庚—2 —烯、 5 —羥基一6 —乙基雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2 -烯 、 5 —羥甲基一6 —乙基雙環〔2 · 2 . 1〕庚一2 — 烯、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 5— (2 / —羥乙基）一 6 —乙基雙環〔2 · 2 · 1 〕庚一 2 -烯、 5-氰基雙環〔2·2.1〕庚一2-烯、 5 —氰基甲基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 2 —烯、 5— (2 / —氰基乙基）雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 2 —烯、 5 —氰基一 6 —甲基雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2 —烯 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -51 - 1272453 A7 B7 五、發明説明（49 ) > (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 5 —氰基甲基一 6 —甲基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 2 —燃、 5 — (2 / —氰基乙基）—6 —甲基雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2 —烯、 5 —氰基—6 —乙基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一2 —烯 、 5—氰基甲基一6—乙基雙環〔2·2·1〕庚一2 —少希、 5 — (2 / —氰基乙基）一6 —乙基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 2 -烯、 5， 6 -二氰基雙環〔2.2· 1〕庚一 2 —烯、 5， 6 —二（氰基甲基）雙環〔2 .2.1〕庚一 2 —矯、 5， 6 —二（2> —氰基乙基）雙環〔2. 2.1〕 庚一2 -烯、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 8 —羥基四環〔4 · 4 · 0 · I2’5· I7，1。〕十二 —3 -少希λ 8 —羥甲基四環〔4 · 4 · 0 . I2’5· 17，1Q〕十 —^ — 3 -燦、 8— (2/ —羥乙基）四環〔4 · 4 · 0 . I2’5· I7 ’η〕十二—3 -烯、 8 —翔基一9 一甲基四環〔4 · 4 · 0 · I2’5 . 17，1Q〕十二一 3 - 烯、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -52 - 1272453 A7 B7 五、發明説明feo ) 8 —羥甲基一9 —甲基四環〔4 · 4 . 0 · I2’5· 17，1D〕十二—3 —烯、 8— (2^ —羥乙基）一 9 —甲基四環〔4.4.0 • I2，5· I7，1。〕十二—3 —烯、 8 —羥基一9 —乙基四環〔4 · 4 . 0 ·12，5· 17，1Q〕十二一 3 -烯、 8 —羥甲基一 9 —乙基四環〔4 · 4 · 0 · I2’5· l7，1Q〕+=—3~^t、 8 — (2 / —羥乙基）一9 —乙基四環〔4 · 4 · 0 • 1 2，5 · 1 7，1 °〕十二—3 —烯、 8 —氰基四環〔4 · 4 · 0 · I2，5· I7’1。〕十二 —3 —嫌、 8 —氰基甲基四環〔4 · 4 · 0 . I2’5· I7，10〕 十二一 3 —烯、 8 —（2 / —氰基乙基）四環〔4· 4 · 0 . I2’5 • 17，1〇〕十二一 3 —烯、 8 —氰基一9 —甲基四環〔4 · 4 · 0 · I2，5. 17，1Q〕十二一 3 —烯、 8 —氰基甲基一 9 —甲基四環〔4 · 4 · 0 · I2’ 5 • 17，1。〕十二—3 —烯、 8 —（2 / —氰基乙基）一 9 一甲基四環〔4 . 4 · 0 · I2，5· 2^,10〕十二—3 一烯、 8 —氰基—9 —乙基四環〔4 · 4 · 0 · I2’5· I7，1。〕十二一 3 - 烯、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -53- 1272453 A7 B7 五、發明説明（51 ) 8 —氰基甲基一9 —乙基四環〔4 · 4 · 0 · I2’5 • 17，1〇〕十二一 3 —烯、 8 — （2 / —氰基乙基）一 9 —乙基四環〔4.4· 0 · I2,5· 十二—3一 烯、 8， 9 —二氰基四環〔4.4.0 ·12，5· I7’ 10 〕十二一 3 —嫌、 8， 9一二（氰基甲基）四環〔4.4.0.I2’5 • I7，"〕十二一 3 —烯、 8， 9 —二（2/ —氰基乙基）四環〔4.4.0· 1 2 ’ 5 · 1 7，1 ◦〕十二—3 —烯，及其類似者。 在此類原冰片烯衍生物（I - 2 )之中，以下化合物 爲較佳的： 5 -羥基雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2 —烯、 5 —羥甲基雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2 —烯、 5 —羥基一6 —甲基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 2 —烯 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 2 2 Ν_f 環 雙 基 甲 I 6- 基 甲 羥- 5 庚 2 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 烯 烯 2 •環 雙 .t基 2 環甲 [雙 -環基e 雙甲一 基基基 氰氰氰 I I -5 5 5 2 2 庚 2 庚 2 2 烯庚 、 I ] 烯 2L] 2 烯 2 2 \_f 環 雙 基 甲 I 6 I 基 甲 基 氰 I 5 庚 2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -54- 1272453 A7 B7 五、發明説明ς2 ) 8 -羥基四環〔4 · 4 · 0 · I2’5· 17，1()〕十二 一 3 -嫌、 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 8 —羥甲基四環〔4 · 4 · 0 · I2,5· I7，1。〕十 二一 3 —烯、 8 —羥基一9 一甲基四環〔4·4· 0.12’5· 1 〕十二一 3 —燒、 8 —羥甲基一 9 —甲基四環〔4。4 · 0 · Γ2’5· I7，1。〕十二一 3 —烯、 8 —氰基四環〔4 · 4 · 0 · I2，5· I7，1。〕十二 —3 -烯、 8 — 氰基甲基四環〔4 · 4 · 0 · I2，5· I7，10〕 十二—3 -烯、 8 —氰基一9 —甲基四環〔4 · 4 · 0 · I2，5· 1 〕十一 一 3 — t希，及 8 —氰基甲基一9 —甲基四環〔4 · 4 · 0 · I2，5 • I7，"〕十二—3 —烯。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 由式（I I )所示的重複單位（I I )係源自順丁烯 二酸酐。順丁烯二酸酐展現與下列者良好的可共聚合性： 原冰片烯衍生物（I )、原冰片烯衍生物（I 一 1 )、及 原冰片烯衍生物（I 一 2 )。因此，經由將順丁烯二酸酐 與此類原冰片烯衍生物共聚合，可調整生成的樹脂（A 1 )及樹脂（A 2 )中的分子量至所欲求之値。 由式（I I I — 1 )所示的重複單位（；[I ! 一 i ) 係源自一化合物，其中在（甲基）丙烯酸上羧基基團的氫 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -55- 1272453 A7 B7 五、發明説明（53 ) 原子被保護基團R 2取代（以下孩· ％ ^ μ ^ I以卜彳冉爲（甲基）丙烯酸衍生 物（I I I — 1)夕）0 由式 Γτ τ τ 出瓦（I I I〜2 )所示的重複 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 單位（I I I 一 2 )係源自一化合物，其中在（甲基）丙 烯酸上羧基基團的氫原子被基團一R4—z(其中ζ代表保 護基團（第二一丁氧基羰基基團））取代（以下稱爲'、（ 甲基）丙嫌酸衍生物（1 I I 一 2 ) 〃 ）。在重複單位（ I I I 一 1)及（I I 1一2)兩者中的保護基團藉由酸 生產劑（Β )產生的酸之作而解離形成烷羰基團（carb〇kyl group) ’從而提供具有鹼溶解性的樹脂（a丨）及樹脂（ A 2 )。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在（甲基）丙烯酸衍生物（I I I 一 1)中，作爲r3 的具有4 一 2 0個碳原子的單價脂環烴基與由基團R2中的 二個R3共同鍵結形成的具有4 一 2 0個碳原子的二價脂環 烴基之實施例，可提出源自原冰片烷、三環癸烷、四環十 二烷、金剛烷、或環烷如環丁烷、環戊烷、環己烷、環庚 烷、及環辛烷的脂環烴基團；可提供經具有1 - 8個碳原 子的線性、分枝、或環烷基基團如甲基基團、乙基基團、 正丙基基團、異丙基基團、正丁基基團、2 -甲基丙基基 團、1—甲基丙基基團、及第三-丁基基團；及其類似者 中至少一者取代的脂環烴基。 在此類單價與二價脂環烴基中，較佳者爲源自原冰片 烷、三環癸烷、四環十二烷、或金剛烷的環族烴基團、經 上述烷基基團取代的上述脂環烴基。 作爲單價或二價脂環烴基之衍生物的實施例，可提出 -56- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇><297公釐） 1272453 A7 B7 五、發明説明（54 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 具有一或多個取代基如羥基的基團；羧基基團；具有1 -4個碳原子的線性或分枝的羥烷基基團如羥甲基基團、1 一羥乙基基團、2 —羥乙基基團、1 一羥基丙基基團、2 -羥基丙基基團、3 -羥基丙基基團、1 -羥基丁基基團 、2 —羥基丁基基團、3 -羥基丁基、及4 一羥基丁基； 具有1 一 4個碳原子的線性或分枝的烷氧基基團如甲氧基 基團、乙氧基基團、正丙氧基基團、異丙氧基基團、正丁 氧基基團、2 —甲基丙氧基基團、1 一甲基丙氧基基團、 及第三一 丁氧基基團；氰基基團；具有2 - 5個碳原子的 線性或分枝的氰烷基基團如氰基甲基基團、1 一氰基乙基 基團、2 —氰基乙基基團、1 一氰基丙基基團、2 —氰基 丙基基團、3 -氰基丙基基團、1 一氰基丁基基團、2 - 氰基丁基、3 -氰基丁基、及4 -氰基丁基；及其類似者 0 在此類取代基中，較佳者爲羥基基團、羧基基團、羥 甲基基團、氰基基團、及其類似者。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 作爲基團R 2中的R 3的具有1 一 4個碳原子的線性或 分枝的烷基基團之實施例，可提出甲基基團、乙基基團、 正丙基基團、異丙基基團、正丁基基團、2 -甲基丙基基 團、1—甲基丙基基團、第三一丁基基團、及其類似者。 在此類之中，甲基基團及乙基基團爲較隹的。 由下式（i i i — l)至（i i i 一 98)所示的化 合物可作爲（甲基）丙烯酸衍生物（I I I 一 1 )較佳的 實施例。 ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） — -57- 1272453 A7 B7 五、發明説明（55 η2< .3c

-3 OCH Ηιι 1 CICIOIC

"3 CICICIO ο κ Η3<

H3C

3 Ηο Η II CICIOIC 3 ο Η 11 CIC1CIOI 一 C -2 δ

H3C \)y 1 -2) "3) \^/ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -58- 1272453 A7 B7 五、發明説明 •3 ch3 h2c=ch h2c 二 c

h2c 二 9" 9=〇 CH, H2C=C έ二 ο I

(Hi-7)

(iii-8) h2c=ch c=o I o

ch3 h2c=cc=o I

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

H2C=CH c二 o H3C-0 一 CH

(ΠΜ1) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -59- 1272453 A7 B7 五、發明説明（57 CH„ H2C=CH H2C 二(p

c=o IO ?=〇

H2C=CH

I •3

c=o IO

h2c=cc=o I

9H3 H2C=CH h2c=ch h2c=cc=o Io H3C-C-CH3 H3C-C-CH3 CH〇 h2c=c9=0 c=o? ? H3C-C-CH3 h3c-c~ch3 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

N

N

\—/ 1 ii-2 N3) CNiii-2

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -60- 1272453 Μ Β7 五、發明説明（58

ii-26 S'

CN ii-29 ii-30 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

H

-3 OCH

H H3

3 OCH

2 H Ή H5oc2 —Γ_ CICICIO—Λ^ν-

H2C H5 oC2 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

H

rotm I H H3 oCH· CT?oi30 I H2 H3 -3 o c

^—^ — 01x^3 ^ 2C H -5 oc2 Η2 Η3 Η5οc2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -61 - 1272453 A7 B7 五、發明説明（59 h2c=ch

(iii-39) ch3 h2c=c h2c=ch c=o c=〇 I I o o

(iii-40)

c2h5 (iii-41)

c2h5 (iiM2) CH〇 h2c=c h2c=ch

(iii-43) c=o Io -CH3 (iii-44) h2c=ch c=o Io -c2h5

c2h5 (iii-46) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (iii-45)

H2C=CH

h2c=ch c=o I o (iii-47) (iii-48) -c2h5 ch3 h2o=c c二 o

I o -c2h5 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

H2C=CH

h2c=ch c=o I (iii-51) (iii-52)

c2h5 (iii-54) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -62- 1272453 A7 B7 五、發明説明k ) H2C=CHc=o I Ο ch3 h2c=cc=o 雷ο CH, H2C 二〒H C=0 h2c=c Λ -ch3 ^Q-ch3 o C—o Io

iO -C2H5 ^p-C2H5 (Hi-55) (iii-57)

H2C=CH c=o Io ch3 h2c=c c二 o

H2C=CH 0二 O CH〇 H2C=0 o

O c=o to (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -CH, ~CH〇 -c2h5 -c2h5

HO

HO

HO

HO CH, h2c=ch C=0

H2C=C

O -CH^ c=o I O -CH^ h2c=ch c=o Io ch3 h2c=cc=o Io -c2h5 -c2h5

OH

OH

OH

OH 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 i-65) 1-66)

8) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -63- 1272453 A7 B7 五、發明説明h CH, h2c=ch h2c=c

(iii-71) c=o I o h2c=chc=o I o

(iii-72) (Hi-73)

c2h5 (iii-74)

(iii-75) 3 HO.

(iii-76) (iii-77) CH3 Η2〇=〇Η Η2〇=ο 9=0 c=〇 Q όC2H5 ΗΟ^ίΤΊ~°2Η5 (iii-78) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T

O CH〇 CHo h2c=ch c=o -CH〇 h2c=c h2c=ch h2c=c ?=0 c=o c=o ? 6 1 o drCHs 分Hs ^C2HS Ν(Ρ (iii-80) (iii-81) (iii-82) (iii-79) 4, 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 h2c=ch c二 o I o -CH,

H2C 二 C

c=o I O -ChU h2c=ch -c2h5 CN (iii-83) CN (iii-84) ?h3 h2c=c c=o I o -c2h5 CN (iii-86) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格{ 210X297公釐） -64- 1272453 A7 B7 五、發明説明ς2 I η2ο^η c^o c^o Q 6

c2h5 (iii-87) (iii-88) (iii-89)

:c2h5 (iii-90) ch3 h2c=ch h2c=c c=o c=〇 6 6 h2c=ch

c2h5 (iii-91) (iii-92) (iii-93)

c2h5 (iii-94) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 h2c=ch

(iii-95) (iii-96) h2c=ch c=o I 0 nc.

(iii-97) 'C2H5 NC. ch3 h2c=c o

c2h5 (iii-98) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在由上列式（i i i — 1)至（i i i— 98)所示 的（甲基）丙烯酸衍生物（I I I 一 1 )之中，尤其較佳 者爲由下列式中所示的化合物 (i i i — 1 ) 、（iii— 2) 、（iii— 7) 8)、（iii— 9)、（iii-l〇) 、（iii — 11) 、 （iii — 12) 、 （iii — 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -65- 1272453 A7 B7 五、發明説明b ) 13)、（iii — 14)、（iii — 17)、( iii-18)、（iii - I9)、（iii 一 20) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、（iii— 21)、（iii 一 22)、(iii-2 3 )、（ i i i — 2 4 )、（ i i i 一 2 7 )、（ iii- 28)、（iii - 29)、（i ii - 30) 、（iii — 31)、（iii 一 32)、（iii — 35)、（iii-36)、（iii—43)、（ iii— 44) 、（iii 一 47) 、（iii —48) 、（iii— 55)、（iii— 56)、（iii 一 57)、（iii- 58)、（iii -59)、( iii-60)、（iii-71)、（iii-72) 、（iii—75)、（iii—76) (iii—7 9 )、（iii—80) 、（iii 一 91) 、（iii 一 9 2) 、（iii 一 95) 、（iii— 96)、及其類 似者。 (甲基）丙烯酸衍生物（I I I 一 1 )係個別地或合 倂二或更多個而包含在樹脂（A 1 )及（A2)中。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 作爲在（甲基）丙烯酸衍生物（I I I — 2 )中的R 4 的具有含有3 — 1 5個碳原子脂環骨架的二價烴基團之實 施例可提出源自原冰片烷、三環癸烷、四環十二烷、金剛 烷、或環烷如環丁烷、環戊烷、環己烷、環庚烷、及環辛 烷的脂環烴基；被具有2 - 8個碳原子的線性、分枝、$ 環烷基基團中之至少一者取代的上述脂環烴基，取代s 甲基基團、乙基基團、正丙基基團、異丙基基團、； 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -66 - 1272453 A7 B7 五、發明説明（64 ) 基團、2 —甲基丙基基團、1 一甲基丙基基團、及第三一 丁基基團；及其類似者。 在此類脂環烴基中，較佳者爲源自原冰片烷的、三環 癸烷、四環十二烷、或金剛烷的脂環烴基、經上述上述烷 基基團者，及其類似者取代的脂環烴基。 作爲R 4較佳的實施例，可提出由下列式（6 )至（ 2 0 )所示之化合物及其類似者。注意，在此類基團中二 種鍵結手（-）之一^可鍵結至第二-丁氧基鑛基基團。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

⑹ ⑺ ⑻ ⑼ （10) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） -67- 1272453 A7 B7 五、發明説明（65 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 在此類基團中，尤其較佳的基團係由分子式（6 )、 (7)、 （10)、 （11)、（12)、及（15)展 示者。 樹脂（A 1 )及（A 2 )可進一步包含一或多個重複 單位，其係源自其它可聚合的不飽和單體（此後稱爲 ''其 它單體（α ) 〃 ）。 該其它單體（α )包括下列實施例： 雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 2 —烯，5 -甲基雙環〔2 • 2 · 1〕庚—2 —烯、 5 —乙基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 2 —烯、 四環〔4 · 4 · 0 · I2’5· I7，1。〕十二一3 —烯 、 8 —甲基四環〔4· 4 · 0 · I2，5· I7，10〕十二 —3 -嫌、 8 —乙基四環〔4 · 4 · 0 · I2’5· 17，1D〕十二 —3 —烯、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 8 —氟四環〔4 · 4 · 0 · I2，5· l7，1。〕十二一 3 —燒、 8 —氟甲基四環〔4 · 4 · 0 · I2，5· I7，10〕十 二-3 —烯、 8 —二氟甲基四環〔4 · 4 · 0 · I2’5· I7，10〕 十—^一 3 -烯、 8 —三氟甲基四環〔4 · 4 · 0 · I2，5· I7，10〕 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ：297公釐） -68- 1272453 Α7 Β7 五、發明説明（β6 ) 十二一 3 -烯、 8 —五氟乙基四環〔4·4·0·12’5·17’ 十二一 3 -烯、 8， 8™二氟四環〔4·4·0·12，5·17, 十二一 3 -烯、 8， 9 —二氟四環〔4·4·0·12’5·17, 十二一 3 —烯、 8， 8 —雙（三氟甲基）四環〔4.4.0. 1 • I7，"〕十二—3 —烯、 8， 9 —雙（三氟甲基）四環〔4.4. 0.1 • 17，1。〕十二—3 —烯、 8 —甲基一8 —三氟甲基四環〔4 · 4 · 0 · 1 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 .1 7， 1 0 ] 十二 -一 3 - 橋 、 8， 8 ： ，9 - -三氟四環 〔4 . 4.0. 1 2 ,5 • 1 7， 1 0 ]-i 3 —燔 、 8， 8 ，9 -三（三氟甲基） 四環 (4 4 • 0 • 1 2 ’ 5 1 7,10 〕十二 — 3 一燃 、 8， 8 ，9 ,9 - 四 氟 四環 [4 . 4 • 0 • 1 2 , 5 1 7 ' 1 0 ]— 3 —嫌 、 8， 8 ，9 ,9 一 四 ( 三氟 甲基） 四 rm [ 4 參 4 .〇 .1 2， £ 1 7 ’ "〕十 二 — 3 - 烯、 8， 8 -二 氟—9 9 9 —雙 (三氟 甲 基 ) 四 ( 4 · 4 · 0 · 1 2， 5 .1 7 1 1 0 ] 十二 -3 - 烯 % 8， 9 -二 氟一8 9 —雙 (三氟 甲 基 ) 四 環 [ 4 · 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -69- 1272453 A7 B7 五、發明説明（67 3 烯 , Γ -丄 , 8 . 8 環 四 基 甲 氟 三 I 9 I 氟 三 3 烯 環 四 基 氧 甲 氟 三 I 9 I 氟 三 I 9 烯 8 環 四 基 氧 丙 正- 氟 三 I 9 I 氟 三 4 基 乙 氟 五- 8 I 氟 I 8 四 華 甲 氟 三 ， ( 烯雙 - -3 9 環 十 烯 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 9 氟 基 丙 異 - 氟 七 四 基 甲 氟 三 環 十 烯 氯 環 四 氟 三 I 9 9 3 9 氯 9 烯雙 環 四 基 、 甲烯 氟一 三 3 8 2 2 環 四 N)/ 基 氧 乙 羰 V3/ 氟 三 烯 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 烯 基 甲 2 基 氧 乙 羰 氟 三 環 四 烯 環 三 、 烯 二 戊 環 \_· N-1 \-f 環 環環 三三三 6 5 8 癸 烯 癸 8 9 烯烯 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -70- 1272453 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明（e8 ) 三環〔6 · 2 · 1 · 01，8〕十二—4 —烯、 四環〔4 . 4 · 0 · I2，5· ι7,ι〇· 〇ι，6〕十二 一 3 —烯、 8—甲基四環〔4.4.0.12，5.17，1〇· 〇ι，6〕十二一 3 - 烯、 8 — 亞乙基四環〔4 · 4 · 〇 · I2,5· ι7，ΐ2〕十 一 —3 —嫌、 8 —亞乙基四環〔4 · 4 · 〇 · 12,5 ·工7，10·〇 1，6〕十二—3 一烯、 五環〔6 · 5 · 1 · I3’6· 〇2，7· 〇9，13〕十五 —4 —烯、 五環〔7 . 4 · 〇 · I2，5. I9，！2· 〇8，13〕十 五一 3 —烯； 單官能性單體如（甲基）丙烯酸酯如（甲基）丙烯酸 原冰片酯、（甲基）丙烯酸異冰片酯、 (甲基）丙烯酸三環癸酯、（甲基）丙烯酸四環癸酯 、（甲基）丙烯酸二環戊烯酯、（甲基）丙烯酸金剛烷酯 、（甲基）丙嫌酸金剛院基甲酯、（甲基）丙嫌酸1一甲 基金剛烷酯、（甲基）丙烯酸甲酯、（甲基）丙烯酸乙酯 、（甲基）丙烯酸正丙酯、（甲基）丙烯酸正丁酯、（甲 基）丙烯酸2—羥基乙酯、（甲基）丙烯酸2—羥基丙酯 ' (甲基）丙烯酸3 -羥基丙酯、（甲基）丙烯酸環丙酯 、（甲基）丙烯酸環戊酯、（甲基）丙烯酸環己酯、（甲 基）丙烯酸環己烯酯、（甲基）丙烯酸4 -甲氧基環己酯 本紙張尺度通用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） ------ 本IT" (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -71 - 1272453 Α7 Β7 五、發明説明（69 ) 、 (甲基）丙烯酸2—環丙基氧基羰基乙酯、 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (甲基）丙烯酸2—環戊氧基羰基乙酯、 (甲基）丙烯酸2 —環己氧基羰基乙酯、 (甲基）丙烯酸2 -環己烯基氧基羰基乙酯，及 (甲基）丙烯酸2 —（ 4 / 一甲氧基環己基）氧基羰 基乙酯； 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 α —羥甲基丙烯酸酯如α —羥甲基丙烯酸甲酯、α — 羥甲基丙烯酸乙酯、α -羥甲基丙烯酸正丙酯、及α —羥 甲基丙烯酸正丁酯；乙烯基酯類如乙酸乙烯酯、丙酸乙烯 酯，及丁酸乙烯酯；不飽和腈化合物如（甲基）丙烯腈、 ^ 一氯丙烯腈、巴豆腈、順式丁烯二腈、反式丁烯二腈、 中康腈、蒸餾檸檬酸腈、及分解烏頭腈；不飽和醯胺化合 物如（甲基）丙烯醯胺、Ν, Ν —二甲基（甲基）丙烯醯 胺、巴豆醯胺、順丁烯二醯胺、反丁烯二醯胺、中康醯胺 、蒸餾檸檬醯胺、及分解烏頭醯胺；其它其中含氮的乙烯 基化合物如Ν —乙烯基一 ε —己內醯胺、Ν —乙烯基吡咯 烷酮、2 —乙烯基吡啶、3 —乙烯基吡啶、4 一乙烯基吡 啶、及Ν —乙烯基咪唑；不飽和羧酸如（甲基）丙烯酸、 巴豆酸、順丁烯二酸、反丁烯二酸、分解烏頭酸、蒸餾檸 檬酸、及甲基反丁烯二酸；不飽和羧酸的內含羧基基團的 酯類如（甲基）丙烯酸2 —羧基乙酯、（甲基）丙烯酸2 一羧基丙酯、（甲基）丙烯酸3—羧基丙酯、（甲基）丙 烯酸4一羧基丁酯、（甲基）丙烯酸4_羧基環己酯、（ 本紙張尺度逍用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -72- 1272453 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明％ ) 甲基）丙烯酸羧基三環癸酯、及（甲基）丙烯酸羧基四環 癸酯；以及那些化合物其中將上述不飽和羧酸中的羧基基 團或不飽和羧酸的內含羧基基團的酯類中的羧基基團，經 轉換而成爲酸可解離的有機基團（i i )，如稍後記述者 (以下稱爲 ''內含其它酸可解離基團的單體〃）；及多官 能基單體如亞甲基二醇二（甲基）丙烯酸酯、乙二醇二（ 甲基）丙烯酸酯、丙二醇二（甲基）丙烯酸酯、 1， 6 —己烷二醇二（甲基）丙烯酸酯、2， 5 —二 甲基一2， 5 —己烷二醇二（甲基）丙烯酸酯、1， 8 — 辛烷二醇二（甲基）丙烯酸酯、1， 9 一壬烷二醇二（甲 基）丙烯酸酯、1， 4 一雙（2 —羥基丙基）苯二（甲基 )丙烯酸酯、1， 3 -雙（2 —羥基丙基）苯二（甲基） 丙烯酸酯、1， 2 —金剛烷二醇二（甲基）丙烯酸酯、1 ，3 —金剛烷二醇二（甲基）丙烯酸酯、1， 4 一金剛烷 二醇二（甲基）丙烯酸酯、及三環癸基二羥甲基二（甲基 )丙烯酸酯。 作爲酸可解離的有機基團（i i )之實施例，可提出 那些基團其中羧基基團上的氫原子被取代以經取代甲基基 團、1 一經取代的乙基基團、1 -分枝的烷基基團、矽烷 基基團、甲鍺烷基基團、烷氧基羰基基團、醯基基團、環 狀酸可解離的基團（排除當化合物其中在（甲基）丙烯酸 中羧基基團上的氫原子段取代以環狀酸可解離的基團、彼 爲（甲基）丙烯酸衍生物（I I I ))、及其類似者。 作爲經取代甲基基團之實施例，可提出甲氧基甲基基 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ' " -73- I ITAw. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1272453 Α7 Β7 五 、發明説明^ ® '甲基硫甲基基團、乙氧基甲基基團、乙基硫甲基基團 ' 2 一甲氧基乙氧基甲基基團、苄氧基甲基基團、苄基硫 甲基基團、苯甲醯甲基、4 —溴苯甲醯甲基基團、4 一甲 氧基苯甲醯甲基基團、 4 一甲基硫苯甲醯甲基基團、α —甲基苯甲醯甲基基 團 '環丙基甲基基團、苄基基團、聯苯基甲基基團、三苯 甲基基團、4〜溴苄基基團、4 一硝基苄基基團、4 一甲 氧基节基基團、4 一甲基硫苄基基團、4 -乙氧基苄基、 4 一乙基硫苄基、向日葵基基團、甲氧羰基甲基基團、乙 基甲基基團、正丙氧基羰基甲基基團、異丙氧基羰基 甲基基團、正丁氧基羰基甲基基團、第三一 丁氧基羰基甲 基基團、及其類似者。 作爲1 一經取代的甲基基團之實施例，可提出1 一甲 氧基乙基基團、1 一甲基硫乙基基團、1， 1—二甲氧基 乙基基團、1一乙氧基乙基基團、 1 一乙基硫乙基基團、1, 1 一二乙氧基乙基基團、 1 一苯氧基乙基基團、1 一苯基硫乙基基團、 1， 1 一二苯氧基乙基基團、1 一苄氧基乙基基團、 1 一节基硫乙基基團、1 一環丙基乙基基團、 1 一苯基乙基基團、1， 1 一聯苯基乙基基團、 1 一甲氧羰基乙基基團、1 -乙氧羰基乙基基團、 1一正丙氧基羰基乙基基團、1-異丙氧基羰基乙基 基團、1-正丁氧基羰基乙基基團、 1 -第三-丁氧基羰基乙基基團、及其類似者。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） ------?τ------9 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -74- 1272453 A7 __B7_ 五、發明説明（72 ) 作爲1 一分枝的烷基基團之實施例，可提出異丙基基 團、1—甲基丙基、第三—丁基基團、1， 1 一二甲基丙 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 基、1 一甲基丁基基團、1， 1—二甲基丁基基團、及其 類似者。 作爲矽烷基基團之實施例，可提出三甲基矽烷基基團 、乙基二甲基矽烷基基團、甲基二乙基矽烷基基團、三乙 基矽烷基基團、異丙基二甲基矽烷基基團、甲基二-異丙 基矽烷基基團、三異丙基矽烷基基團、第三-丁基二甲基 矽烷基基團、甲基二-第三-丁基矽烷基基團、三第三一 丁基矽烷基基團、苯基二甲基矽烷基基團、甲基聯苯基矽 烷基基團、苯基矽烷基基團、及其類似者。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 作爲甲鍺院基基團之實施例，可提出三甲基甲鍺院基 基團、乙基二甲基甲鍺烷基基團、甲基二乙基甲鍺烷基基 團、三乙基甲鍺烷基基團、異丙基二甲基甲鍺烷基基團、 甲基二一異丙基甲鍺烷基基團、三異丙基甲鍺烷基基團、 第三一丁基二甲基甲鍺烷基基團、甲基二一第三一丁基甲 鍺烷基基團、三第三-丁基甲鍺烷基基團、苯基二甲基甲 鍺烷基基團、甲基聯苯基甲鍺烷基基團、苯基甲鍺烷基基 團、及其類似者。 作爲烷氧基羰基基團之實施例，可提出甲氧羰基基團 、乙氧羰基基團、異丙氧基羰基基團、第三-丁氧基羰基 基團、及其類似者。 作爲醯基基團之實施例，可提出乙醯基基團、丙醯基 基團、丁醯基基團、庚醯基基團、己醯基基團、戊醯基基 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X297公釐） -75- 1272453 A7 B7 五、發明説明（73 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 團、三甲基乙醯基基團、異戊醯基基團、月桂醯基基團、 肉豆蔻醯基基團、軟脂醯基基團、硬脂醯基基團、草醯基 基團、丙二醯基基團、丁二醯基團、戊二醯基基團、己二 醯基基團、向日葵基基團、皮脂醯基、壬二醯基基團、皮 脂醯基基團、丙烯醯基基團、丙炔醯基基團、甲基丙烯醯 基基團、巴豆醯基基團、油醯基基團、順丁烯二醯基基團 、延胡索醯基基團、甲延胡索醯基基團、樟腦醯基基團、 苯甲基基團、酞醯基基團、異酞醯基基團、對酞醯基基團 、萘甲醯基基團、甲苯甲醯基基團、氫化阿托醯基團、阿 托醯基團、桂皮醯基基團、呋喃甲醯基基團、噻吩甲醯基 基團、菸鹼醯基基團、異菸鹼醯基基團、對-甲苯磺醯基 基團、甲磺醯基基團、及其類似者。 作爲環狀酸可解離的基團之實施例，可提出3 -酮基 環己基基團、四氫哌喃基基團、四氫呋喃基團、四氫硫哌 喃基基團、四氫硫呋喃基團、3 -溴四氫哌喃基基團、 4一甲氧基四氫哌喃基基團、 2 —酮基一 4 一甲基四氫哌喃基基團、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 一甲氧基四氫硫哌喃基基團、 3 —四氫噻吩一 1 , 1 一二氧化物基團、及其類似者 〇 重複單位（I )在樹脂（A1)中之含量通常在20 一 7 Omo 1%，較佳者在20 — 6 0 mo 1%，而更佳 者在在2 5 - 6 0 m ο 1 %，以重複單位的總量計。重複 單位（I I)在樹脂（A1)中之含量通常在5 — 70 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X；297公釐） -76- 1272453 Α7 Β7 五、發明説明（74 ) mo 1%，較佳者在1〇 一 50 mo 1%，而更佳者在 1 〇 - 4 5 m ο 1 %，以重複單位的總量計。重複單位（ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) I I I 一 1)或重複單位（I I I— 2)，或兩者，在樹 脂（A1)中之含量通常在5 — 70mo 1%，較佳者在 l〇 — 5〇mo 1%，而更佳者在 10 — 45mo 1%， 以重複單位的總量計。 若重複單位（I )之含量少於2 0 m ο 1 %，光阻的 乾燥蝕刻抗性將傾向降低。若含量超過7 0 m ο 1 % ’光 阻的可顯影性與對基板的黏著將傾向於降低。若重複單位 (I I )之含量少於5 m ◦ 1 %，光阻對基板之黏著將傾 向降低。若含量超過7 0 m ο 1 %，光阻的乾燥蝕刻抗性 將傾向降低。若重複單位（I I I 一 1 )或重複單位（ I I I 一 2 )之含量，或兩者，少於5 m ο 1 %，光阻的 解析度及乾燥蝕刻抗性將傾向於降低。若含量超過7 〇 m ο 1 %，光阻的可顯影性與耐熱性將傾向於降低。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 源自其它單體的重複單位（α )之含量通常在1 0 mo 1%或更低，較佳者在8mo 1%或更低，而更佳者 在5mo 1%或更低。 在樹脂（A2)中重複單位（I 一 1)之含量通常在 10 — 6〇mo 1%，較佳者在 1〇 — 5〇m〇 1%’ 而 更佳者在1 〇 — 4 5 m ο 1 % ’以重複單位的總量計。若 重複單位（I 一 1 )之含量少於1 0 m 0 1 %，光阻的解 析度將傾向降低。若含量超過6 0 m ο 1 %，生成的光阻 膜可能排斥顯影劑，從而降低彼可顯影性。 本紙張尺用中國國家標準（CNS)A4規格（210X297公董巧 " 1272453 A7 B7 五、發明説明（75 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 在樹脂（A2)中重複單位（I 一 2)之含量通常在 10 — 6〇ηιο 1%’ 較佳者在 10 — 5〇mo 1%，而 更佳者在1 0 - 4 5 m ο 1 %，以重複單位的總量計。若 重複單位（I 一 2)之含量少於1 Omo 1%，生成的光 阻膜可能排斥顯影劑’從而降低彼可顯影性。若含量超過 6 0 m ο 1 %，生成的光阻膜可能由於顯影劑而膨潤。 在樹脂（A2)中重複單位（I I )之含量通常在 10 — 5〇mo 1%，較佳者在 15 — 45mo 1%，而 更佳者在1 5 - 4 0 m ο 1 %，以重複單位的總量計。若 重複單位（I I )之含量少於1 0 m ο 1 %，生成的光阻 膜對基板之黏著性傾向降低。若含量超過5 0 m ο 1 %， 生成的光阻膜可能展現不充分的輻射線透明度，從而損害 圖案形狀。 經濟部智慧財產局員工消費合作柏印製 在樹脂（A 2 )中，重複單位（I I I — 1 )或重複 單位（I I I — 1)之含量，或兩者，通常在1〇 - 50 mo 1%，較佳者在10 — 45mo 1%，而更佳者在 1 5 - 4 5 m ο 1 %，以重複單位的總量計。若含量少於 1 0 m ο 1 %，光阻的解析度將傾向降低。若含量超過 5 ◦ m ο 1 %，光阻的乾燥蝕刻抗性將傾向降低。 其它重複單位之含量通常在1 Om ο 1 %或更低，且 較佳者在5mo 1%或更低。 樹脂（A 1 )之製備可經由共聚合原冰片烯衍生物（ I )、順丁烯二酸酐、及（甲基）丙烯酸衍生物（I I I 一 1 )及/或（甲基）丙烯酸衍生物（I I I 一 2 )，如 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X297公釐） -78- 1272453 Α7 Β7 五、發明説明（76 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 須要，合倂以其它單體（α )，使用自由基聚合起始劑如 過氧化氫、二烷基過氧化物、二醯基過氧化物、或偶氮基 化合物。樹脂（A 2 )之製備可經由在適當溶劑之中，共 聚合原冰片烯衍生物（I 一 1 )、原冰片烯衍生物（I -2 )、順丁烯二酸酐、及（甲基）丙烯酸衍生物（I I I 一 1 )及（甲基）丙烯酸衍生物（I I I 一 2 )中至少一 種，如須要可合倂以其它單體（a )，使用自由基聚合起 始劑如過氧化氫、二烷基過氧化物、二醯基過氧化物、或 偶氮基化合物。 作爲使用於共聚合這些成分的溶劑之實施例有烷如正 戊烷、正己烷、正庚烷、正辛烷、正壬烷，及正癸烷；環 烷如環己烷、環庚烷、環辛烷、萘烷、及原冰片烷；芳香 族烴如苯，甲苯、二甲苯、乙基苯、及異丙苯；鹵化的烴 如氯丁烷、溴己烷、二氯乙烷、六亞甲基二溴化物、及氯 苯；飽和羧酸酯類如乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯 、及丙酸甲酯；醚類如四氫呋喃、二甲氧基乙烷、及二乙 氧基乙烷；及其類似者。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 此類溶劑可個別地使用或合倂二或更多個而使用。 執行共聚合之溫度通常4 0 - 1 2 0°C，且較佳者 5 0 — 9 0 °C，而執行1 一 4 8小時，且較佳者執行1 一 2 4小時。 樹脂（A 1 )及樹脂（A 2 )的由凝膠滲透層析法（ G P C )測定的聚苯乙烯爲基礎的重量平均分子量（以下 稱爲 ''Μη")通常在 3， 000 - 300, 000，較 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -79- 1272453 A7 B7 五、發明説明h ) 佳者在4， 000 — 200， 000，而更佳者在 4， 000 — 100， 000。若樹脂（A)之Mw 少於 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 3， 0 0 0，光阻的耐熱性將傾向降低。若M w超過 3 0 0， 0 0 0，光阻的可顯影性將傾向降低。 較佳者樹脂（A 1 )及樹脂（A 2 )幾乎不含雜質如 鹵素或金屬。該雜質含量愈小，光阻則有愈佳的敏感性、 解析度、加工穩定性、圖案形狀、及其類似者。樹脂（ A 1 )及樹脂（A 2 )之純化係使用例如，化學的純化方 法如以水清洗或液體-液體萃取，或化學的純化方法與物 理純化方法之組合如超過濾或離心。 本發明中，可使用一種類型的樹脂（A 1 )或樹脂（ A 2 )，或二或更多不同類型的其選自許多樹脂（A1) 及（A 2 )樹脂的任意組合。 成分（B ) 本發明成分（B )爲其於曝光下可生產酸的光酸生產 劑（以下稱爲 ''酸生產劑（B ) 〃 ）。經由於曝光下產生 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 酸之作用，此酸生產劑（B )將導致在樹脂（A )中酸可 解離的基團發生解離。結果，光阻膜曝光的部分變得立即 可溶解在鹼性的顯影劑之中，從而形成正性色調光阻圖案 〇 作爲酸生產劑（B )之實施例，可提出鑰鹽類，內含 鹵素的化合物，重氮基酮化合物、颯化合物、磺酸鹽化合 物、及其類似者。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X 297公釐） - 80- 1272453 A7 B7 五、發明説明（78 ) 酸生產劑（B )之實施例如下。 鑰鹽鹽類： (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 作爲鐵鹽類之實施例，可提出碘鎗鹽類、锍鹽類（其 中包括四氫噻吩鐵鹽類）、鱗鹽類、重氮鑰鹽鹽、嘧錠鹽 、及其類似者。 較佳的鐵鹽類特定之實施例包括：聯苯基碘鏺三氟甲 院擴酸鹽、聯苯基确鐵九氯-正丁院礦酸鹽、聯苯基碑鐵 全氟-正辛烷磺酸鹽、聯苯基碘鐵芘磺酸鹽、聯苯基碘鎗 正十二基苯磺酸鹽、聯苯基碘鐵六氟銻酸鹽、聯苯基碘鏺 萘磺酸鹽、聯苯基碘鐵1 0 -樟腦磺酸鹽、 1 一（3， 5 —二甲基—4 —羥基苯基）四氫噻吩鐵 三氟甲烷磺酸鹽、1 一（3， 5 —二甲基一 4 —羥基苯基 )四氫噻吩鐵九氟一正丁烷磺酸鹽、 1 一（3， 5 —二甲基一 4 —羥基苯基）四氫噻吩鐵 全氟-正辛烷磺酸鹽、 1 一（4 一甲氧基苯基）四氫噻吩鑰三氟甲烷磺酸鹽 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 一（4 一甲氧基苯基）四氫噻吩鑰九氟—正丁烷磺 酸鹽、 1一（4一甲氧基苯基）四氫噻吩鑰全氟-正辛烷磺 酸鹽、 1 一（2, 4 —二甲氧基苯基）四氫噻吩鑰三氟甲烷 磺酸鹽、 1 - ( 2 , 4 一二甲氧基苯基）四氫噻吩鏺九氟一正 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -81 - 1272453 A7 B7 五、發明説明（79 ) 丁烷磺酸鹽、 1 一（ 2， 4 一 一甲氧基苯基）四氫噻吩鐵全拿 辛烷磺酸鹽、 雙（4 -第三一丁基苯基）碘鐵三氟甲烷磺酸鹽、 雙（4 一第三-丁基苯基）碘鑰九氟-正丁烷磺酸鹽 正 雙（4 一第三-丁基苯基）碘鐵全氟-正辛烷磺酸鹽 雙（4 一第 雙（4 一第 雙（4 一第 雙（4 —第 雙（4 一第 -丁基苯基）碘鐵芘磺酸鹽、 -丁基苯基）碘鏺正十二基苯磺酸鹽、 -丁基苯基）碘鐵六氟銻酸鹽、 一丁基苯基）碘鑰萘磺酸鹽、 一 丁基苯基）蛾鐵1 0 - f早腦is酸鹽、 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 三苯基锍三氟甲烷磺酸鹽、 三苯基銃九氟-正丁烷磺酸鹽、 三苯基锍全氟-正辛烷磺酸鹽、 三苯基銃芘磺酸鹽、 三苯基銃正十二基苯磺酸鹽、 三苯基銃六氟銻酸鹽、 三苯基銃萘磺酸鹽、 三苯基銃1 0 -樟腦磺酸鹽、 環己基·2—酮基環己基•甲基銃 三氟甲烷磺酸鹽、 環己基- 2 —酮基環己基一甲基銃 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ規格（210X297公釐） -82- A7 B7 1272453 五、發明説明（80 ) 九氟-正丁烷磺酸鹽、 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 環己基·2—酮基環己基•甲基銃 全氟-正辛烷磺酸鹽、 二環己基一 2 -酮基環己基锍 三氟甲烷磺酸鹽、 二環己基一 2 -酮基環己基銃 九氟-正丁烷磺酸鹽、 二環己基一 2 —酮基環己基銃 全氟-正辛烷磺酸鹽、 2 —酮基環己基二甲基銃三氟甲烷磺酸鹽、 2 —酮基環己基二甲基疏九氟-正丁院磺酸鹽、 2 —酮基環己基二甲基銃全氟-正辛烷磺酸鹽、 4 一羥基苯基一苯基一甲基銃對一甲苯磺酸鹽、 4一羥基苯基•苄基•甲基銃對-甲苯磺酸鹽、 1一萘基二甲基銃三氟甲烷磺酸鹽、 1 一奈基一甲基疏九氯—正丁院礦酸鹽、 1一萘基二甲基銃全氟-正辛烷磺酸鹽、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 一萘基二乙基銃三氟甲烷磺酸鹽、 1 一奈基一乙基硫九氯-正丁院礦酸鹽、 1一萘基二乙基銃全氟-正辛烷磺酸鹽、 4 一氰基一 1 一萘基二甲基锍三氟甲烷磺酸鹽、 4 一氧基一 1 一蔡基—^甲基硫九氣一正丁院礦酸鹽、 4 一氰基一 1 一萘基二甲基锍全氟一正辛烷磺酸鹽、 4 一硝基一 1 一萘基二甲基銃三氟甲烷磺酸鹽、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格.（2ΐ〇χ297公釐） -83- 1272453 A7 B7 五、發明説明（81 ) 4 —硝基一 1 一萘基二甲基銃九氟一正丁烷磺酸鹽、 4 一硝基一 1 一萘基二甲基锍全氟一正辛烷磺酸鹽、 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 4 一甲基一 1 一萘基二甲基锍三氟甲烷磺酸鹽、 4 一甲基一 1 一萘基二甲基毓九氟一正丁烷磺酸鹽、 4 一甲基一 1 一萘基二甲基銃全氟一正辛烷磺酸鹽、 4 一羥基一 1 一萘基二甲基銃三氟甲烷磺酸鹽、 4 -經基一 1 一蔡基—^甲基硫九氯一正丁院礦酸鹽、 4 一羥基一 1 一萘基二甲基銃全氟一正辛烷磺酸鹽、 4 —氰基一 1 一萘基二乙基銃三氟甲烷磺酸鹽、 4 一氰基一 1 一萘基二乙基锍九氟一正丁烷磺酸鹽、 4 一氰基一 1 一萘基二乙基銃全氟一正辛烷磺酸鹽、 4 一硝基一 1 一萘基二乙基銃三氟甲烷磺酸鹽、 4 一硝基一 1 一萘基二乙基銃九氟一正丁烷磺酸鹽、 4 —硝基一 1 一萘基二乙基銃全氟一正辛烷磺酸鹽、 4 一甲基一 1 一萘基二乙基銃三氟甲烷磺酸鹽、 4一甲基一1一萘基二乙基銃九氟一正丁烷磺酸鹽、 4 一甲基一 1 一萘基二乙基銃全氟一正辛烷磺酸鹽、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 一羥基一 1 一萘基二乙基銃三氟甲烷磺酸鹽、 4 一羥基一 1 一萘基二乙基銃九氟一正丁烷磺酸鹽、 4 一羥基一 1 一萘基二乙基銃全氟一正辛烷磺酸鹽、 4 -羥基一 1 一萘基四氫噻吩鏺三氟甲烷磺酸鹽、 4 一甲氧基一 1 一萘基四氫噻吩鐵三氟甲烷磺酸鹽、 4 -乙氧基一 1 一萘基四氫噻吩鏺三氟甲烷磺酸鹽、 4 -正丙氧基一 1 -萘基四氫噻吩鑰三氟甲烷磺酸鹽 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X29*7公釐） -84- 1272453 A7 B7 五、發明説明L ) 4 一異丙氧基- 1 -萘基四氫噻吩鑰三氟甲烷磺酸鹽 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 4 一正丁氧基-1 -萘基四氫噻吩鑰三氟甲烷磺酸鹽 4 一第三一丁氧基- 1 一萘基四氫噻吩鎗三氟甲烷磺 酸鹽、 4 -羥基一 1 一萘基四氫噻吩鑰九氟-正丁烷磺酸鹽 、 4 -羥基一 1 -萘基四氫噻吩鑰全氟-正辛烷磺酸鹽 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -85- 1272453 A7 B7 五、發明説明（83 ) 酸鹽、 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 4 一異丙氧基一 1 一萘基四氫噻吩鐵全氟-正辛烷磺 酸鹽、 4 一正丁氧基一 1 一萘基四氫噻吩鏺九氟-正丁院擴 酸鹽、 4 一正丁氧基- 1 一萘基四氫噻吩鑰全氟-正辛烷磺 酸鹽、 4 一第三—丁氧基一 1 -萘基四氫噻吩鑰九氟-正丁 烷磺酸鹽、 4 一第三一丁氧基一 1 一萘基四氫噻吩鑰全氟-正辛 烷磺酸鹽、 4 一甲氧基甲氧基一 1 一萘基四氫噻吩鑰三氟甲烷磺 酸鹽、 4 一甲氧基甲氧基一 1 一萘基四氫噻吩鑰九氟-正丁 烷磺酸鹽、 4 一甲氧基甲氧基一 1 -萘基四氫噻吩鑰全氟-正辛 烷磺酸鹽、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 一乙氧基乙氧基一 1 一萘基四氫噻吩鏺二氟甲院擴 酸鹽、 4 一乙氧基乙氧基一 1 —萘基四氫噻吩鏺九氟-正丁 烷磺酸鹽、 4 一乙氧基乙氧基一 1 —萘基四氫噻吩鑰全氟-正辛 烷磺酸鹽、 4一（1/一甲氧基乙氧基）一1一萘基四氫噻吩鏺 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -86- 1272453 A7 B7 五、發明説明（g4 ) 三氟甲烷磺酸鹽、 4 一 （1 / —甲氧基乙氧基）一1 一萘基四氫噻吩_ 九氟-正丁烷磺酸鹽、 4一（1/一甲氧基乙氧基）一1一萘基四氫噻吩鏺 全氟-正辛烷磺酸鹽、 4—(2/—甲氧基乙氧基）一1一萘基四氫噻吩鏺 三氟甲烷磺酸鹽、 4 一（2 / —甲氧基乙氧基）一1 一萘基四氫噻吩鏠 九氟-正丁烷磺酸鹽、 4— (2 — —甲氧基乙氧基）一 1 一萘基四氫噻吩鑰 全氟-正辛烷磺酸鹽、 4 -甲氧羰基氧基- 1 一萘基四氫噻吩鏺三氟甲烷磺 酸鹽、 4 -甲氧羰基氧基- 1 -萘基四氫噻吩鑰九氟-正丁 烷磺酸鹽、 4 -甲氧羰基氧基- 1 -萘基四氫噻吩鏺全氟-正辛 烷磺酸鹽、 4 -乙氧羰基氧基- 1 -萘基四氫噻吩鐵三氟甲烷磺 酸鹽、 4 -乙氧羰基氧基-1 —萘基四氫噻吩鑰九氟—正丁 烷磺酸鹽、 4 -乙氧羰基氧基- 1 -萘基四氫噻吩鏺全氟一正辛 烷磺酸鹽、 4 -正丙氧基羰基氧基- 1 -萘基四氫噻吩鑰三氟甲 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -87- 1272453 A7 B7 五、發明説明（85 ) 烷磺酸鹽、 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 4 -正丙氧基鑛基氧基一 1 -萘基四氫噻吩鐵九氟一 正丁烷磺酸鹽、 4 一正丙氧基羰基氧基一 1 -萘基四氫噻吩鑰全氟一 正辛烷磺酸鹽、 4 -異丙氧基羰基氧基一 1 -萘基四氫噻吩鏺三氟甲 烷磺酸鹽、 4 -異丙氧基羰基氧基一 1 -萘基四氫噻吩鑰九氟-正丁烷磺酸鹽、 4 一異丙氧基羰基氧基一 1 -萘基四氫噻吩鑰全氟-正辛烷磺酸鹽、 4 -正丁氧基羰基氧基一 1 -萘基四氫噻吩鐵三氟甲 烷磺酸鹽、 4 -正丁氧基羰基氧基一 1 -萘基四氫噻吩鏺九氟-正丁烷磺酸鹽、 4 -正丁氧基羰基氧基一 1 一萘基四氫噻吩鏺全氟-正辛烷磺酸鹽、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 -第三-丁氧基羰基氧基- 1 -萘基四氫噻吩鎩三 氟甲烷磺酸鹽、 4 -第三-丁氧基羰基氧基- 1 -萘基四氫噻吩鏺九 氟-正丁烷磺酸鹽、 4 -第三-丁氧基羰基氧基- 1 一萘基四氫噻吩鏺全 氟-正辛烷磺酸鹽、 4一（2/—四氫呋喃基氧基）一1一萘基四氫噻吩 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -88- 1272453 A7 B7 五、發明説明（86 ) 鑰三氟甲烷磺酸鹽、 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 4_(2 —四氫呋喃基氧基）一1一萘基四氫噻吩 鑰九氟一正丁烷磺酸鹽、 4— (2 / —四氫呋喃基氧基）一 1—萘基四氫噻吩 鐵全氟-正辛烷磺酸鹽、 4一（2 —四氫哌喃基氧基）一1一蔡基四氫嚷吩 鑰三氟甲烷磺酸鹽、 4一（2 —四氨峨喃基氧基）一1一蔡基四氯噻吩 鑰九氟-正丁烷磺酸鹽、 4一（2/—四氫哌喃基氧基）一1一萘基四氫噻吩 鑰全氟-正辛烷磺酸鹽、 4 一苄氧基一 1 一萘基四氫噻吩鏺三氟甲烷磺酸鹽、 4 -苄氧基- 1 -萘基四氫噻吩鑰九氟-正丁烷磺酸 鹽、 4 -苄氧基- 1 -萘基四氫噻吩鑰全氟-正辛烷磺酸 鹽' 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1一（1/一萘基乙醯甲基）四氫噻吩鑰三氟甲烷磺 酸鹽、 1一（1/一萘基乙醯甲基）四氫噻吩鑰九氟一正丁 烷磺酸鹽、1 一（ 1 / 一萘基乙醯甲基）四氫噻吩鑰全氟 -正辛烷磺酸鹽、及其類似者。 內含鹵素的化合物： 作爲內含鹵素的化合物之實施例，可提出內含鹵烷基 基團的烴化合物、內含鹵烷基基團的雜環基的化合物、及 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -89- 1272453 A7 B7 五、發明説明（g7 ) 其類似者。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 作爲較佳的內含鹵素的化合物特定之實施例，可提出 (三氯甲基）一 S —三嗪衍生物如 苯基雙（三氯甲基）一 S -三嗪、 4 一甲氧基苯基雙（三氯甲基）一 s —三嗪，及 1 —萘基雙（三氯甲基）—s -三曝、 1， 1 一雙（4 —氯苯基）一2， 2, 2 —三氯乙 烷、及其類似者。 重氮基酮化合物： 作爲重氮基酮化合物之實施例，可提出1， 3-二酮 基- 2 -重氮基化合物、重氮基苯并醌化合物、重氮基萘 并醌化合物、及其類似者。 作爲較佳的重氮基酮化合物特定之實施例，可提出 1， 2-萘并醌二疊氮基一4一磺醯基氯化物、 1， 2—萘并醌二疊氮基一5-磺醯基氯化物、 1， 2-萘并醌二疊氮基一4一磺酸鹽或 2， 3， 4， 4/ —四羥基苯甲酮之1, 2 —萘并醌 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 二疊氮基一5-磺酸鹽、 1， 2—萘并醌二疊氮基一4一磺酸鹽或 1, 1， 1 一三（4 / 一羥基苯基）乙烷之1， 2 — 萘并醌二疊氮基一 5 —磺酸鹽、及其類似者。 颯化合物： 作爲颯化合物之實施例，可提出/3 -酮基礪、/3 -磺 醯基礪、此類化合物之α -重氮基化合物，及其類似者。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） -90- 1272453 A7 _____B7_五、發明説明<β8 ) 作爲較佳的楓化合物特定之實施例，可提出4 -三苯 甲醯甲基颯、2， 4， 6—三甲苯基苯甲醯甲基颯、雙（ 苯基磺醯基）甲烷，及其類似者。 磺酸鹽化合物： 作爲磺酸鹽化合物之實施例，可提出烷基磺酸鹽、烷 基醯亞胺磺酸鹽、鹵烷基磺酸鹽、芳基磺酸鹽、亞胺基磺 酸鹽、及其類似者。 作爲較佳的》化合物特定之實施例，可提出二苯乙二 酮甲苯磺醯鹽、焦掊酚的三（三氟甲烷磺酸鹽）、硝基苄 基一 9， 1 0 —二乙氧基蒽一2 —磺酸鹽、三氟曱烷磺酸 鹽磺醒基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 5 -烯—2， 3—二氰 胺、九氟一正丁烷磺醯基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一5 —烯 ——2， 3 -二氰胺， 全氟一正辛烷磺醯基雙環〔2·2·1〕庚一5-烯 —2， 3 —二氰胺、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Ν Ν Ν 鹽 、 酸 鹽磺 酸烷 磺丁 院正 甲 I 氟氟 三九 胺胺 亞亞 醯醯 白 白 ϊ ΗΛ 琥琥 基基 羥羥 氟 全 胺 亞酸 醯羧 珀二 琥萘 基一 羥 8 鹽 酸 磺 烷 辛 正 似 類 其 及 鹽 酸 磺 烷 甲 氟 三 胺 亞 醯 1 ITAw. (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 者 的 佳 較 爲 其 尤 物 合 化 下 以 中 N)y B κ(ν 劑 產 生 酸 類 另 1S 此 在 鹽 、 酸 鹽磺 酸烷 磺 丁 烷正 甲 i 氟氟 三九 鐵鏺 碘碘 基基 苯苯 準 標 家 國 國 中 一用 適 尺 I張 一紙 本 I釐 公 97 2 1272453 A7 B7 五、發明説明（89 ) 聯苯基碘鑰全氟-正辛烷磺酸鹽、 1 一（3， 5 —二甲基一 4 一羥基苯基）四氫噻吩鏺 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 三氟甲烷磺酸鹽、 * 1 一（3， 5 —二甲基一 4 一羥基苯基）四氫噻吩鐵 九氟-正丁烷磺酸鹽、 1 一（3， 5 —二甲基一 4 一羥基苯基）四氫噻吩鑰 全氟一正辛院磺酸鹽、 雙（4 一第三一丁基苯基）碘鏺三氟甲烷磺酸鹽、 雙（4 一第三-丁基苯基）碘鐵九氟一正丁烷磺酸鹽 雙（4 一第三—丁基苯基）碘鑰全氟一正辛烷磺酸鹽 三苯基銃三氟甲烷磺酸鹽、 三苯基銃九氟-正丁烷磺酸鹽、 三苯基銃全氟一正辛烷磺酸鹽、 環己基- 2 —酮基環己基-甲基锍三氟甲烷磺酸鹽、 環己基一 2 -酮基環己基-甲基銃九氟一正丁烷磺酸 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 鹽、 環己基· 2 —酮基環己基-甲基銃全氟-正辛烷磺酸 鹽、 二環己基· 2 -酮基環己基銃三氟甲烷磺酸鹽、 二環己基- 2 -酮基環己基銃九氟-正丁烷磺酸鹽、 二環己基一 2 -酮基環己基銃全氟一正辛烷磺酸鹽、 2 —酮基環己基二甲基銃三氟甲烷磺酸鹽、 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -92- 1272453 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明feo ) 4 一羥基一 1 一萘基二甲基銃三氟甲烷磺酸鹽、 4 一羥基一 1 -萘基四氫噻吩鐵三氟甲烷磺酸鹽、 4 -羥基- 1 一萘基四氫噻吩鐵九氟-正丁烷磺酸鹽 、 4 一經基- 1 一萘基四氫噻吩鑰全氟一正辛院磺酸鹽 、 1 一（ 1 / 一萘基乙醯甲基）四氫噻吩鐵三氟甲烷磺 酸鹽、 1 一（ 1 / 一萘基乙醯甲基）四氫噻吩鑰九氟一正丁 烷磺酸鹽、 1 一（1 > 一萘基乙醯甲基）四氫噻吩鐵全氟—正辛 院磺酸鹽、 1 一（3， 5 —二甲基一 4 一羥基苯基）四氫噻吩鑰 三氟甲烷磺酸鹽、 1— (3， 5 —二甲基一 4 一羥基苯基）四氫噻吩鏺 九氟-正丁烷磺酸鹽、 1 一（3， 5 —二甲基一 4 一羥基苯基）四氫噻吩_ 全氟-正辛烷磺酸鹽、 三氟甲烷磺酸鹽磺醯基雙環〔2 . 2 · 13庚一 5 一 燒一 2， 3 —二氰胺、 九氟一正丁烷磺醯基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 5 -烯 —2， 3 -二氰胺、 全氟一正辛烷磺醯基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 5 —烯 —2， 3 —二氰胺、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -----1----衣IT (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -93 - 1272453 A7 B7 五、發明説明（91 ) N -羥基琥珀醯亞胺三氟甲烷磺酸鹽、 N -羥基琥珀醯亞胺九氟-正丁烷磺酸鹽、 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) N -羥基琥珀醯亞胺全氟-正辛烷磺酸鹽、 1， 8-萘二羧酸醯亞胺三氟甲烷磺酸鹽、 1, 8 —萘二殘酸醯亞胺九氟一正丁烷磺酸鹽、1， 8 -萘二羧酸醯亞胺全氟-正辛烷磺酸鹽、及其類似者。 本發明中，酸生產劑（B )可個別地使用或合倂二或 更多種而使用。 用於本發明中酸生產劑（B )之用量通常在〇 . 1 -1 〇重量份，且較佳者在0 · 5 — 7重量份，以1 0 0份 以重量計的樹脂（A 1 )或樹脂（厶2)計，基於確保光 阻的敏感性與可顯影性之觀點。若酸生產劑（B )之用量 少於0 · 1重量份，光阻的敏感性與可顯影性將傾向於降 低。若用量超過1 0重量份，可能無法得到長方形光阻圖 案，由於對輻射線減小的透明度。 添加劑 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 宜在本發明輻射敏感性樹脂組成物中加入酸擴散控制 劑。此酸擴散控制劑係用以控制於曝光下自酸生產劑（B )所產生酸在光阻膜中之擴散，以阻礙在未受影響區域不 希望得到的化學的反應。 加入該酸擴散控制劑可改良生成的輻射敏感性樹脂組 成物之貯存穩定性及光阻解析度。此外，加入酸擴散控制 劑可防止由於在曝光後延遲（P E D )之改變下使光阻圖 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -94- 1272453 Α7 Β7 五、發明説明k ) 案中線寬發生變化，此曝光延遲爲於曝光開始之後而在顯 影之前的時間消逝期間，藉以得到具有明顯優越加工穩定 性的組成物。 作爲酸擴散控制劑，於形成光阻圖案的曝光期間或加 熱爲期間其鹼性不改變之內含氮的有機化合物爲較佳的。 作爲該其中含氮的有機化合物之實施例，可提出由下 式（2 1 )所示之化合物（以下稱爲、'其中含氮的化合物 (a ) 〃 ）、在分子中帶有二個氮原子的化合物（以下稱 爲 > 其中含氮的化合物（b )〃）、帶有至少三個氮原子 的聚合物（以下稱爲、、其中含氮的化合物（c )〃 ）、其 中內含醯胺基團的化合物，尿素化合物、其中內含氮原子 的雜環基化合物、及其類似者： R6

I R5 - N-R7 (21) 其中R 5、R 6、及R 7個別地代表氫原子、經取代或 未取代的烷基基團、經取代或未取代的芳基基團、或g $ 代或未取代的芳烷基基團。 其中含氮的化合物（a )之實施例包括：單（環丨@ 胺類如正己胺、正庚胺，正辛胺、正壬胺、正癸胺、及王震 己胺；二（環）烷胺類如二一正丁胺、二一正戊胺、〜 ——.— 正己胺、二一正庚胺、二一正辛胺、二一正壬胺、二〜正 癸胺、環己基甲胺、及二環己胺；三（環）烷胺類如Ξ乙 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21〇Χ：297公釐） ---------—I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -95- 1272453 Α7 Β7 五、發明説明（93 ) 胺、S正丙胺、三正丁胺、三正戊胺、三正己胺、三正庚 胺、^正辛胺、三正壬胺、三正癸胺、環己基二甲胺、甲 基二環己胺、及三環己胺；芳香族胺類如苯胺、N -甲基 苯胺、N， N—二甲基苯胺、2—甲基苯胺、3—甲基苯 胺、4 一甲基苯胺、4 一硝基苯胺、聯苯胺、苯胺、及工 一萘胺；及其類似者。之實施例其中含氮的化合物（b ) 包括乙二胺、Ν， Ν， Ν'， N，一四甲基伸乙基二胺、 伸丁基二胺、六亞甲基二胺、4， 4/一二氨基聯苯基甲 院、4， 一二氨基聯苯基醚，4， 4—一二氨基苯甲 酮、4， 4/ —二氨基聯苯胺、2， 2 -雙（4/ 一氨基 本基）丙院、2 -（3 > -氨基苯基）—2 — (4： / -氨 基苯基）丙烷、2 -（4 / 一氨基苯基）一 2— (3 羥基苯基）丙烷、2 — (4 / —氨基苯基）一 2 —（4 一 一羥基苯基）丙烷、1， 4一雙〔1>一（4〃一氨基苯 基）一1，一甲基乙基〕苯、1， 3 一雙〔1-— (4" 一氨基苯基）一 1 / 一甲基乙基〕苯、及其類似者。 其中含氮的化合物（c )之實施例包括聚乙烯亞胺、 聚烯丙胺、2 -二甲氨基乙基丙烯醯胺之聚合物、及其類 似者。 其中含醯胺基團的之實施例化合物包括其中含Ν -第 三一丁氧基羰基基團的氨基化合物如 Ν—第三—丁氧基羰基二一正辛胺、 Ν —第二—丁氧基鑛基一一正壬胺、 Ν—第三一丁氧基羰基二一正癸胺、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閎讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -96-

N N N N N 剛烷胺 N 院、 N N 1272453 A7 B7 五、發明説明L ) 一第三一丁氧基羰基二環己胺、 一第三一丁氧基羰基一1一金剛烷胺、 一第三一 丁氧基羰基一 N -甲基一 1 —金剛烷胺、 ,N —二一第二—丁氧基羯基一 1 一金剛院胺、 ，N —二一第三一 丁氧基羰基一 N —甲基一 1 一金 一第三一丁氧基羰基一4， 一二氨基聯苯基甲 ，N/ —二一第三一 丁氧基羰基六亞甲基二胺、 ，N， N ^ , N / —四第三一 丁氧基羰基六亞甲基 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 N， N 庚烷、 N， N / - 辛烷、 N， N ^ - 壬烷、 N， N / - 基癸烷、 N，N / -基十二烷、 N， N / - 基聯苯基甲烷、 N -第三一丁氧基羰基苯咪唑 第三一 丁氧基羰基一 1, 7 —二氨基 第三—丁氧基羰基—1， 8 —二氨基 一第三一丁氧基羰基一1， 9一二氨基 第三一丁氧基羰基一1， 10-二氨 第三—丁氧基羰基一 1， 12 —二氨 第三一丁氧基羰基—4， 4 氨 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -97 - 1272453 A7 ___B7 五、發明説明（95 ) N —第三一 丁氧基鑛基一 2 —甲基苯咪π坐、及 N —第三一 丁氧基鑛基- 2 -苯基苯咪唑；甲醯胺、 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) N —甲基甲醯胺、N， N —二甲基甲醯胺、乙醯胺、 N—甲基乙醯胺、N， N—二甲基乙醯胺、丙醯胺、 苯甲醯胺、卩比略院酮、N -甲基卩比略院酮；及其類似者。 尿素化合物之實施例包括尿素、甲基尿素、1， 1 一 二甲基尿素、1， 3_二甲基尿素、1， 1， 3， 3 —四 甲基尿素、1， 3—聯苯基尿素、三正丁基硫脲、及其類 似者。 其中含氮的雜環基的化合物之實施例包括··咪唑如咪 唑、苯咪唑、4 一甲基咪唑及4 一甲基一 2 -苯基咪唑； 吡啶如吡啶、2 —甲基吡啶、4 一甲基吡啶、2 —乙基吡 π定、4 —乙基卩比卩定、2 -苯基卩比π定、4 —苯基卩比卩定、2 -甲基一 4 —苯基卩比n定、尼古丁、薛鹼酸、蔽驗酿胺、嗤啉 、4 一羥基喹啉、8 —氧基喹啉、及吖啶；哌嗪如哌嗪、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 一（ 2 / —羥乙基）哌嗪；吡畊、吡唑、噠嗪、喹茗啉 、嘌呤、吡咯啶、六氫吡啶、嗎福啉、4 -甲基嗎福啉、 1， 4 —二甲基哌嗪、1， 4 一二吖雙環〔2. 2 .2〕 辛烷；及其類似者。 在此類其中含氮的有機化合物中，其中含氮的有機化 合物（a )與其中含氮的雜環基的化合物爲較佳的。在其 中含氮的有機化合物（a )之中，三（環）烷胺類尤其較 佳的。在其中含氮的雜環基的化合物之中，吡啶及哌嗪爲 尤其較佳的。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X297公釐） -98- 1272453 A7 __B7_ 五、發明説明（96 ) 此酸擴散控制劑可個別地使用或合倂二或更多個而使 用。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 所加入酸擴散控制劑之用量通常在1 5重量份或更低 ，較佳者在1 0重量份或更低，而更佳者在5重量份或更 低，以1 0 0份以重量計的樹脂（A 1 )或樹脂（a 2 ) 計。若酸擴散控制劑用量超過1 5重量份，作爲光阻的經 曝光的區域之敏感性及可顯影性將傾向於降低。若用量少 於0 · 0 0 1重量份，作爲光阻的圖案形狀或尺寸準確性 可能降低，取決於加工條件。 可在本發明輻射敏感性樹脂組成物中加入脂環族添加 劑而進一步改良乾燥蝕刻抗性、圖案形狀、對基板之黏著 性了及其類似者。 該脂環族添加劑之實施例包括：金剛烷衍生物如第三 -丁基1 一金剛烷羧酸酯、第三-丁基3 -金剛烷羧酸酯 、二一第三一丁基1， 3 —金剛烷二羧酸酯、第三一丁基 1 一金剛烷乙酸酯、第三一丁基3 —金剛烷乙酸酯、及二 —第三一丁基1， 3 -金剛院二乙酸酯；去氧膽酸酯如第 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 三-丁基去氧膽酸酯、第三- 丁氧基羰基甲基去氧膽酸酯 、2 —乙氧基乙基去氧膽酸酯、2 —環己氧基乙基去氧膽 酸酯、3 —酮基環己基去氧膽酸酯、四氫哌喃基去氧膽酸 酯、及甲羥戊酸內酯去氧膽酸酯；石膽酸酯如第三-丁基 石膽酸酯、第三- 丁氧基羰基甲基石膽酸酯、2 —乙氧基 乙基石膽酸酯、2 -環己氧基乙基石膽酸酯、3 -酮基環 己基石膽酸酯、四氫哌喃基石膽酸酯、及甲羥戊酸內酯石 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ；297公釐） -99- 1272453 A7 B7 五、發明説明（97 ) 膽酸酯；及其類似者。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 此類脂環族添加劑可個別地使用或合倂二或更多個而 使用。 此脂環族添加劑之加入用量通常爲5 0重量份或更低 ，且較佳者在3 0重量份或更低，以1 〇 〇份重量的樹脂 計（A 1 )或樹脂（A 2 )計。若脂環族添加劑用量超過 5 0重量份，此光阻的耐熱性將傾向降低。 可在本發明輻射敏感性樹脂組成物中加入改良可施用 性，可顯影性，或其類似者的界面活性劑。

作爲界面活性劑之實施例，可提出非離子性界面活性 劑如聚氧伸乙基月桂基醚、聚氧伸乙基硬脂基醚、聚氧伸 乙基油醯醚、聚氧伸乙基正辛基苯基醚、聚氧伸乙基正壬 基苯基醚、聚乙二醇二月桂酸酯、聚乙二醇二硬脂酸酯； 商購之產物如K P 3 4 1 (由Shin-Etsu Chemical公司製作） 、Polyflow No. 75、No· 95(由 Kyoeisha Chemical 公司製作） 、FTOP EF301 、 EF303 、 EF352(由 TOHKEM PRODUCT 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 CORPORATION 製作）、MEGAFAC F171、F173(由 Dainippon Ink and Chemicals 公司製作、Fluorard FC430、FC431(由 Sumitomo 3M 公司製作）、八5&1^〇1^1(1八〇710、311^1〇113-382 、 SC-101 、 SC-102 、 SC-103 、 SC-104 、 SC-105 、 SC-106( 由Asahi Glass公司製作）；及其類似者。 此類界面活性劑可個別地使用或合倂二或更多個而使 用。 加入的界面活性劑之用量通常在2重量份或更低，以 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -100- 1272453 A7 B7 五、發明説明（98 ) 1 〇 0份重量的樹脂計（樹脂（A 1 )或（A 2 ))及酸 生產劑（B )的總量計。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 作爲其它添加劑，可提出模糊抑制劑、黏著促進劑、 貯存安定劑、消泡劑、及其類似者。 製備組成物溶液 將本發明輻射敏感性樹脂組成物製備成爲組成物溶液 ’係經由將組成物溶解在溶劑之中而使總固體含量壓5 -5 Owt%，且較佳者在1 〇 — 2 5wt%，且過濾組成 物’例如使用帶有孔徑在約〇 . 2 // m之濾膜。 使用於製備組成物溶液的溶劑之實施例包括：線性的 或分枝的酮如2 — 丁酮、2 —戊酮、3 -甲基一 2 — 丁酮 、2 —己酮、4 —甲基一2 —戊酮、3 —甲基一2 —戊酮 、3， 3_二甲基一 2 - 丁酮、2 —庚酮、及2 —辛酮； 環酮如環戊酮、3 —甲基環戊酮、環己酮、2 —甲基環己 酮、2， 6 —二甲基環己酮、及異佛爾酮；丙二醇單烷基 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 醚乙酸酯如丙二醇單甲基醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯 、丙二醇單-正丙基醚乙酸酯、丙二醇單-異丙醚乙酸酯 、丙二醇單一正丁基醚乙酸酯、丙二醇單-異丁基醚乙酸 酯、丙二醇單-第二丁基醚乙酸酯、及丙二醇單一第三-丁基醚乙酸酯；2 -羥基丙酸烷酯如2 -羥基丙酸甲酯、 2 —羥基丙酸乙酯、2 -羥基丙酸正丙酯、2 —羥基丙酸 異丙酯、2 —羥基丙酸正丁酯、2 —羥基丙酸異丁酯、2 一羥基丙酸第二丁酯、及2 —羥基丙酸第三丁酯；3 —烷 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -101 - 1272453 A7 B7 五、發明説明（99 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 氧基丙酸烷酯如3 -甲氧基丙酸甲酯、3 —甲氧基丙乙酯 、3 —乙氧基丙酸甲酯、及3 —乙氧基丙酸乙酯；正丙醇 、異丙醇、正丁醇、第三一丁醇、環己醇、乙二醇單甲基 醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單一正丙基醚、乙二醇單一正 丁基醚、二甘醇乙醚、二甘醇乙醚、二甘醇二一正丙基醚 、二甘醇二一正丁基醚、乙二醇單甲基醚乙酸酯、乙二醇 單乙醚乙酸酯、乙二醇單一正丙基醚乙酸酯、丙二醇單-甲基醚、丙二醇單乙基醚、丙二醇單一正丙基醚、甲苯、 二甲苯、2 —羥基一2 —甲基丙酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯 、羥基乙酸乙酯、2 —羥基一 3 —甲基丁酸甲酯、3 —甲 氧基乙酸丁酯、3 —甲基一 3 —甲氧基乙酸丁酯、3 —甲 基一 3 一甲氧基丙酸丁酯、3 —甲基一 3 —甲氧基丁酸丁 酯、乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸正丁酯、乙醯乙酸甲酯 、乙醯乙酸乙酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、N —甲基吡 咯烷酮、N， N —二甲基甲醯胺、N， N—二甲基乙醯胺 、苄基乙醚、二—正己基醚、二甘醇單甲基醚、二甘醇單 乙醚、己酸、辛酸、1—辛醇、1 一壬醇、苄醇、苄基乙 酸酯、苯甲酸乙酯、二乙基草酸鹽、二乙基順丁烯二酸酯 、r 一 丁內酯、碳酸乙烯酯、碳酸丙烯酯；及其類似者。 此類溶劑可個別地使用或合倂二或更多個而使用。在 此類溶劑之中，線性的或分枝的酮、環酮、丙二醇單烷基 醚乙酸酯、2 -羥基丙酸烷酯、及3 -烷氧基丙酸烷酯爲 較佳的。 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210X297公釐） ~ 1272453 A7 B7 五、發明説明（100) 形成光阻圖案 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明輻射敏感性樹脂組成物尤其是適於作爲化學放 大的正性色調光阻。 在此化學放大的正性色調光阻中，樹脂（A )中的酸 可解離的基團，係經由於曝光下自酸生產劑（B )產生之 酸的作用而解離。結果，光阻經曝光部分在鹼性的顯影劑 之中的溶解度增加，藉以使經曝光的部分溶於鹼性的顯影 劑中並移除，以得到正性色調光阻圖案。 形成自本發明輻射敏感性樹脂組成物光阻圖案，係經 由將此組成物溶液施用例如基板如經塗覆以鋁的矽晶圓或 晶圓上，此係使用適合的施塗方法如旋轉塗覆、澆鑄塗覆 、及滾動塗覆以形成光阻膜。然後視需要地將此光阻膜預 烘烤（以下稱爲” P B ” ）且曝光以形成預先決定的光阻 圖案。當以輻射線可使用於曝光，適當地選擇深紫外線、 X —射線、電子束、或其類似者，取決於酸生產劑（B ) 的類型。尤其宜使用A r F激發器雷射（波長：1 9 3 nm)或KrF激發器雷射（波長：248nm)。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本發明中，於曝光之後宜執行曝光後烘烤（以下稱爲 '' P E B 〃 ）： P E B可使在樹脂（A )中酸可解離的基 團確保平順地解離。P E B加熱溫度通常在3 0 - 2 〇 Q °C，且較佳者在5 0 - 1 7 0 °C，雖然此加熱條件之變化 取決於輻射敏感性樹脂組成物中的組成。 爲了發揮本發明輻射敏感性樹脂組成物的潛在能力， 可在基板上形成有機或無機抗反射膜如揭示於日本專利公 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格{ 210X297公釐） -103- 1272453 A7 B7 五、發明説明（101 ) (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 告Ν ο · 1 2 4 5 2 / 1 9 9 4者。此外，此保護膜可形 成在光阻膜上如揭示於日本專利公告No · 188598 / 1 9 9 3或其類似者，以預防在環境大氣下鹼性的雜質 或其類似者的效應。此類技藝可使用合倂。 然後將此經曝光的光阻膜作顯影以形成預先決定光阻 圖案。 作爲使用於顯影的顯影劑之實施例，宜使用鹼性的水 溶液而彼之製備可經由溶解至少一項鹼性化合物如氫氧化 鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、矽酸鈉、扁矽酸鈉、水溶性氨水 、乙胺、正丙胺、二乙胺、二-正丙胺、三乙胺、甲基二 乙胺、乙基二甲胺、三乙醇胺、四甲基銨氫氧化物、吡咯 ，六氫吡啶、膽鹼，1， 8 —二吖雙環一〔5 · 4 · 0〕 ——7 —十一烷烯、及1， 5 —二吖雙環—〔4 · 3 · 0〕 一 5 —壬烯。 此鹼性的水溶液之濃度通常在1 〇 w t %或更低。若 驗性的水溶彳仪之濃度超過1 〇 w t %，則未曝光區域可溶 於顯影劑中。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 可在其內含鹼性的水溶液的顯影劑中加入有機溶劑或 其類似者。 作爲有機溶劑之實施例可提出酮如丙酮、2 — 丁酮、 3 —甲基一 2 —戊酮、環戊酮、環己酮、3 —甲基環戊酮 、及2， 6 —二甲基環己酮；醇類如甲醇、乙醇、正丙醇 、異丙醇、正丁醇、第三一丁醇、環戊醇、環己醇、1， 4 —己烷二醇、及1， 4 —己烷二羥甲基；醚類如四氫呋 ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） — -104 - 1272453 A7 B7 五、發明説明C|〇2 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 喃及二鸣烷；酯類如乙酸乙酯、乙酸正丁酯，及乙酸異戊 酯；芳香族烴如甲苯及二甲苯；酚、丙酮基丙酮、二甲基 甲醯胺；及其類似者。 此類有機溶劑可個別地使用或合倂二或更多個而使用 〇 此有機溶劑之用量較佳者在1 Ο Ο V ο 1 %鹼性的水 溶液。若用量有機溶劑超過1 0 0 v 〇 1 %，曝光的區域 可保持未顯影，由於彼可顯影性的降低。 此外，可在其中內含鹼性水溶液的顯影劑中，以適合 的用量加入界面活性劑或其類似者。 於使用其中內含鹼性水溶液的顯影劑對此光阻膜作顯 影之後，一般用水作清洗。 實施例 本發明之具體實施例將經由實例而更詳細地作敘述。 然而，此類實施例不應解釋作本發明的限制。在實施例中 ，份及％分別地意指重量份及w t %，除非特別說明。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在實施例與比較例中各組成物之測量與評估係執行如 下。 M w * M w之測量係，於下列條件之下，由凝膠滲透層析法 (GPC)，使用GPC管柱（由Tosoh公司製作， G2000HXLx2，G3000HXLxl， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ -105- 1272453 A7 B7 五、發明説明（103 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) G 4 0 〇 〇 H x L X 1 )，於以下條件之下。流速：1 · Ο 毫升/分鐘，溶離液：四氫呋喃，管柱溫度：4 0 °C，標 準參考材料：單分散聚苯乙烯輻射線透明度： 將組成物溶液施用於石英板上，且在熱板上於9 0 t 將塗層作後烘烤6 0秒，以得到厚度在1 // m的光阻膜。 光阻膜之輻射線透明度係由波長1 9 3 n m之吸光度計算 ，且採用此波長作爲深U V射線區域的透明度標準。 相對蝕刻速率： 以旋轉塗覆將組成物溶液施用於矽晶圓上且乾燥以形 成厚度在0 · 5//m之光阻膜。然後，使用Pinnacle 8000 (由Ρ Μ T公司製作）對光阻膜作乾燥蝕刻且採用C F 4、 C 12、及Ar作爲蝕刻氣體，流速在75 s c cm且輸出 在2， 5 0 0 W，於氣體壓力在2 . 5毫陶爾之下，以測 量蝕刻速率。相對蝕刻速率計算使用爲發現値對甲酚酚醛 清漆樹脂膜蝕刻速率之比例。蝕刻速率愈小，乾燥蝕刻抗 性愈佳。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 敏感性： 在此所用之基板係採用在表面上形成膜厚度在5 2 0 A的深UV 3 0 (由Brewer Science製作）的砂晶圓（ A R C )，與在表面上形成矽氧氮化物膜以展現在波長 1 9 3 n m具抗反射效應的矽晶圓（S i〇N )。將組成 物溶液施用於各基板上且在熱板上於展示於表2的條件之 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -106- 1272453 A7 B7 五、發明説明（104) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 下作後烘烤以得到厚度在0 · 4 // m及〇 · 2 // m的光阻 膜。由光罩圖案使用A r F激發器雷射曝光裝置（由製作 Nikon公司，鏡頭開孔：0 · 55，波長：193 n m )將此膜曝光。於展示在表2中條件之下進行P E B 之後，於2 5 °C在3 8 %四甲基銨氫氧化物水溶液之中（ 實施例）或2 . 3 8 X 1 / 5 0 %四甲基銨氫氧化物水溶 液中（比較例1 )將此光阻膜顯影1分鐘，用水清洗並乾 燥以形成正性色調光阻圖案。當形成線-與-空間（ 1 L 1 S )圖案線寬在0 · 1 8 # m之最佳劑量作爲敏感 性標準。 解析度： 在最佳劑量下在光阻圖案可解析的最小尺寸作爲一光 阻膜解析度之標準。 有缺陷的顯影= 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 有缺陷的顯影之評估係經由以下步驟，使用光學顯微 鏡及K L A缺陷檢驗裝置（由KLA-TENCOR JAPAN公司製 作），觀察是否存在有缺陷的顯影。 使用K L A缺陷檢驗裝置的評估步驟： 在一片晶圓上，使用K L A缺陷檢驗裝置觀察有缺陷 的簇及非成簇之總數，其係經由排列模式自疊置參考影像 及映像點的差異而計數，而裝置的敏感度係設定在偵測缺 陷尺寸0 · 15// m或更大者。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） - 107- 1272453 A7 ___B7__ 五、發明説明（1〇5 ) 圖案形狀： (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 針對線寬在0 · 2 0 // m的線與空間圖案（1 L 1 S )，使用掃描式電子顯微鏡測量在長方形橫切面上底面L i 與上側L2的尺寸。其滿足公式、、〇 · 85SL2/L1S 1 〃且爲直線的圖案形狀係評估爲〜良好的〃。未滿足上 述條件至少一項的圖案形狀評估爲 ''不佳〃。 合成實施例1 在一燒瓶中注入6 6 . 6 g的8 —羥甲基四環〔4· 4 · 0 · I2’5· I7，1。〕十二—3 —烯、34 · 3g 的 順丁烯二酸酐、7 0 · 3 g的由上列式（i i i — 4 8 ) 所示的甲基丙烯酸衍生物（I I I 一 1 ) 、1 5 g的偶氮 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 基雙異丁腈、及1 7 1 g的乙酸正丁酯。在氮氣下於70 °C將此混合物聚合6小時。於聚合之後，將此反應溶液冷 卻至室溫且倒至大的量異丙醇/正己烷混合溶液中。將沈 澱樹脂過濾且用少量之正己烷清洗。然後在真空下將此樹 脂乾燥以得到白色樹脂其M w在8， 5 0 0。 此樹脂爲由下式（5 — 1) 、（5 — 2)、及（5 - 3 )所示的重複單位之共聚物，其比例分別爲3 5 m ο 1 %、3 5 m ο 1 %、及3 0 m ο 1 %。此樹脂稱爲''樹脂 (A 1 - 1 )"。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -108- 1272453 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（106) CH, 十 HC—CH 十 七一CH2-)~ C=0

(5-2) Ο iuCH3 (5-3) 合成實施例2 以如合成實施例1相同方法得到一種其M w在 8， 2 0 0的白色樹脂，除了使用3 8 · 6 g的5 —羥基 雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2 —烯、39 · 2g的順丁烯二 酸酐、4 9 . 7 g的展示於上列式（i i i 一 5 0 )的甲 基丙烯酸衍生物（I I I 一 1 )、1 3 g的8 -第三一丁 氧基羰基四環〔4 · 4 · 0 · I2，5· I7，1。〕十二—3 一烯、15g的偶氮基雙異丁腈、及21lg的乙酸正丁 酯作爲生料。 此樹脂爲）由下式（6 — 1) 、（6 — 2) 、（6 - 3 )、及（6 - 4 )所示的重複單位之共聚物，其比例分 別爲 35mo 1%、40mo 1%、20mo 1%、及 5 m ο 1 %。此樹脂稱爲 ''樹脂（A 1 — 2 ) 〃 。 -HC 一 CH- ----------II (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -HC—CH-

(6-1) (6-2) ch3 -C—CH2-j— —^-HC—CH- c=o / \ I 0

(6-4) COOC(CH3)3 (6-3) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -109- 1272453 A7 _.__B7__ 五、發明説明（107 ) 合成實施例3 以如合成實施例1相同方法得到一種其M w在 16， 0 0 0的白色樹脂，除了使用8 1 · 8 g的8 —羥 甲基一8 —甲基四環〔4 · 4 · 0 · I2’5. 17,1〇〕十 二一3 -烯、3 9 · 2 g的順丁烯二酸酐、3 9 · 7 g的 展示於上列式（i i i 一 4 7丙烯酸衍生物（I I I 一 1 ))、5 · lg 的 2 ，5 —二甲基 一2，5 —己烷二醇二 丙烯酸酯，1 5 g的偶氮基雙異丁腈、及249 g的乙酸 正丁酯作爲生料。 此樹脂爲由下式（7 - 1 ) 、（ 7 — 2 ) 、（ 7 — 3 )、及（7 — 4 )所示的重複單位之共聚物，其比例分別 I40mol%、40m〇i%、i8mol%&2 m ο 1 %。此樹脂稱爲、、樹脂（a 1 — 3 )。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) S 十十 H\c—c’吐十^CH+ CH ⑶ n—r\ 、八 _丄 / 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

CHoOH (7-1) (7-2)

C=0 O iO~CH3

o=c I o H3C—C一 CH -fH2i

I CH '2 ch2 -?一 ch3 0 1 c=o iC—CHt (7-3) (7-4) 合成實施例4 以如合成實施例1相同方法得到一種其M w在 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2i〇x297公爱） -110- 1272453 A7 B7 五、發明説明（108 ) 5 , 4 0 0的白色樹脂，除了使用 四環〔4 · 4 · 0 · 4 g的順丁烯二酸酐 8 • 9 g的8 —羥基 十二—3 -烯、 g的展示於上列式 (i i i 一 5 1 )的丙烯酸衍生物（I I I 一 1 )、 9 · 7g的5 —第三—丁氧基羰基雙環〔2 · 2 · 1〕庚 一 2 —烯、30g的偶氮基雙異丁腈、及156 g的四氫 呋喃作爲生料 此樹脂爲由下式（8 2 8-3 )、及（8 — 4 )所示的重複單位之共聚物，其比例分別 爲 30mo 1%、35mo 1%，3〇mo 1%、及 5 m ο 1 %。此樹脂稱爲''樹脂（A 1 - 4 ) 〃 。

Cp 十十 HC - CH-)--(-HC—CH2-^--^IC一 C 叶 9=° ^ -CH3 COOC(CH3)3

(8-1)

HO (8-2) (8-3) (8-4) ------------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 合成實施例5 以如合成實施例1相同方法得到一種其M W在 7， 0 0 0的白色樹脂，除了使用5 5 · 8 g的海密（ hymic )酐、3 3 · 3 g的順丁烯二酸酐、7 9 · 4 g的展 示於上列式 i i i — 9 的丙烯酸衍生物 I I 一 、及1 6 9 g的乙酸正丁酯作爲生料。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -111 - 1272453 A7 B7 五、發明説明（1C)9) % 此樹脂爲由下式 1 ) (9 — 2 )、及（9 — 所示的重複單位之共聚物，其比例分別爲3 4 m ο 1 3 4 m ο 1 %、及3 2 m ο 1 %。此樹脂稱爲''樹脂 (A 1 — 5 ) 〃

V

\ Ό C=0 I 0 h3c—έ - ch3

(9-3) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (9-2) (9-1) 合成實施例6 以如合成實施例1相同方法得到一種其M w在 9， 700的白色樹脂，除了使用55. 6g的8 —氰基 十二—3 -烯 2 9 · 4 g的順丁烯二酸酐，9 3 · 7 g的丙烯酸衍生物 I I I - 1 展示於上列式 i i i — 4 g 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 的偶氮基雙異丁腈、及1 7 9 g的乙酸正丁酯作爲生料 此樹脂爲由下式 0-1 10-2 及（ 1 0 — 3 )所示的重複單位之共聚物，其比例分別爲3 0 mo 1%、30mo 1%、及 40mo 1%。此樹脂稱爲 、、樹脂（A 1 — 6 )"。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） - 112- 1272453 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（110

~(~HC~-CH-)- ~[-HC—CH2-)~ c=o

(10-2) (10-3) 合成實施例7 以如合成實施例1相同方法得到一種其M w在 7， 7 〇 〇的白色樹脂，除了使用3 5 · 2 g的8 —羥基 四環〔4 · 4 · 0 · I2，5· I7，1。〕十二—3 - 烯、 3 4 · 3 g的順丁烯二酸酐、7 0 · 2 g的展示於上列式 (i i i 一 4 8 )的甲基丙烯酸衍生物（I I I 一 1 )， 14 · lg 的雙 ί哀〔2 · 2 · 1〕庚一 2 —稀、15g 的 偶氮基雙異丁腈、及2 3 1 g的乙酸正丁酯作爲生料。 此樹脂爲由下式（11 — 1) 、（11 — 2)、（ 11 — 3)、及（11 一 4)所示的重複單位之共聚物， 其比例分別爲2 0 m ο 1 %、3 5 m ο 1 %、 3 0 m ο 1 %、及1 5 m ο 1 %。此樹脂稱爲〜樹脂（ A 1 - 7 )"。 〇\/〇、/〇

-HC—CH- (11-2) (11-3) CH^ c=o ~ch3 (11-4) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公釐） -113- 1272453 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（川） 合成實施例8 以如合成實施例1相同方法得到一種其M w在 8, 000的白色樹脂，除了使用55.9g的8 1 / —乙氧基乙氧基）四環〔4 · 4 · 0 · I2，5· 1 7 ’ 1 σ〕十二—3 -烯、3 1 · 9 g的順丁烯二酸酐、 82 · 0g的展示於上列式（i i i 一 48)的甲基丙烯 酸衍生物（I I I — 1 ) 、9 · 4 g的雙環〔2 · 2 · 1 〕庚一2-烯、15g的偶氮基雙異丁腈、及269g的 乙酸正丁酯作爲生料。 此樹脂爲由下式（12 — 1) 、(12-2)、( 1 2 — 3 )、及（1 2 - 4 )所示的重複單位之共聚物’ 其比例分別爲2 2 · 5 m ο 1 %、3 2 · 5 m ο 1 %、 3 5 m ο 1 %，及1 〇 m ο 1 %。此樹脂稱爲、、樹脂（ A 1 - 8 ) 〃 。 W〇 \ / ch3 十十 HC--- H r h3c-ch 〇c2h5 (12-1) (12-2) (12-3) 合成實施例9 以如合成實施例1相同方法得到一種其M w在

(12-4) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) tr 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2ι〇Χ297公董） -114 - 1272453 A7 B7 五、發明説明（112 ) 9， 2 0 0的白色樹脂，除了使用6 2 . 0 g的8 —（ 1 / —乙氧基乙氧基）四環〔4 · 4 · 0 · I2’5· 1 7 ’ 1 °〕十二一 3 -烯、2 9 · 4 g的順丁烯二酸酐、 8 8 . 0 g的展示於上列式（i i i 一 4 7 )的丙烯酸衍 生物（I I I 一 1) 、9 · 7g的8 —正丁氧基羰基四環 〔4 . 4 · 0 · I2，5· I7，1。〕十二—3 —烯、15g 的偶氮基雙異丁腈、及2 8 4 g的乙酸正丁酯作爲生料。 此樹脂爲由下式（13 — 1) 、（13 — 2)，( 13-3)、及（1 3 - 4 )所示的重複單位之共聚物， 其比例分別爲 25mo 1%、30ηι〇 1%、40mo 1 %、及5 m ο 1 % 〇此樹脂稱爲'、樹脂（a 1 — 9 )夕。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -fHC-CH^--(-HC-CH^——^HC-CH2^——^HC~CH c=o 7 、Q # h3c-ch 〇c2h5 (13 -1) (13-2) (13-3) 合成實施例1 〇 以如合成實施例1相同方法得到一種其M W在 7， 9 0 0的白色樹脂，除了使用3 5 · 2 g的8 —羥基 四環〔4 · 4 · 〇 · I2，5· I7，1。〕十二—3 —烯、 3 4 · 3 g的順丁烯一酸酐、7 〇 · 2 g的展示於上列式 (i i i 一 3 6 )的甲基丙烯酸衍生物（I丨I 一 1 )、 本ίΛ張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公董)

COO(CH2)3CH3 (13-4) -115- 1272453 A7 B7 五、發明説明（113) 工4 · ig的雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2 —烯、15g的 偶氮基雙異丁腈、及2 3 1 g的乙酸正丁酯作爲生料。 此樹脂爲由下式 4 (14-2) 14〜3)、及（14一4)所示的重複單位之共聚物 其比例分別爲20mo 1%、35mo 1%、30mo %、及1 5 m ο 1 %。此樹脂稱爲、、樹脂（A 1 — 1 〇 CH, (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

(14-1)

c=o I O (14-2) (14-3) (14-4) 合成實施例1 1 以如合成實施例1相同方法得到一種其M w在 8， 300的白色樹脂，除了使用35.2g的8 羥基 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 四環〔4 3 4.3 4.0. 2 , 十二一 3 —火希 g的順丁烯二酸酐、7 0 . 2 g的展示於上列式 (i i i 一 4 4 )的甲基丙烯酸衍生物（I I I 一 1 )， 14 · lg 的雙環〔2 · 2 · 1〕庚—2 —烯、15g 的 偶氮基雙異丁腈、及2 g的乙酸正丁酯作爲生料 此樹脂爲由下式（15—1) 、 （15—2)、( 15-3)、及（15-4)所示的重複單位之共聚物 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X：Z97公釐） -116- 1272453 A7 __._♦ B7 五、發明説明（114 ) 其比例分別爲2 0 m ο 1 %、3 5 m 〇丄％、3 〇 m 〇 %、及1 5 m 〇 1 %。此樹脂稱爲、'樹脂（A丨一丄工

(15-1)

(15-3) (15-2) (15 - 4) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 合成實施例1 2 以如合成實施例1相同方法得到一種其M W在 8， 300的白色樹脂，除了使用35. 2g的8 —羥基 四環〔4 4 . 0 2 ， 十二一 3 -烯 4 (i i i g的順丁烯二酸酐、7 0 · 2 g的展示於上列式 一 4 7 )的丙烯酸衍生物（I I I 一 1 )、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

2 2 N_f 環 雙 的 g 1± 4 IX 膳 C TJ3爲 異脂 雙樹 基此 氮 0 1 爲m C 別 5 及分 1 、 例及 ) 比 、 庚 2 烯 的 g 5 料 生 爲 作 酯 丁 正 酸 乙 的 g 1± 3 2 及 6 1 6 2 6 4 I ο 6 2 ο 物 Ο 2 聚m 共 ο 之 3 位 、A 單%c 複1 重 ο 的m 示 5 爲 所 3 稱 式、脂 下 ％ 樹 *•1 此 ) ο ο m % 匕曰 月 樹 \\ 1 3 其% 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -117- 1272453 A7 B7 五、發明説明（jw HC—CH- (16 -1) 十ρ-ς^)---C’H+ 十H?—Ch2十十

(16-4) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 合成實施例1 3 以如合成實施例1相同方法得到一種其M w在的白色 樹月曰8， 300 ’除了使用62 · lg的8 -羥基四環〔 4 · 4 · 0 ·工2’5· l7’i〇〕十二—3 —烯、34· 5 g的順丁烯二酸酐，1 〇 3 · 4 g的展示於上列式（ i i i — 5 5 )的甲基丙烯酸衍生物（I I I — 1 )、 21.6g的2， 2 > —二甲偶氮基雙（2 —丙酸甲酯） 、及2 0 0 g的四氫呋喃作爲生料。 此樹脂爲由下式（17 — 1) 、(17-2)、及（ 1 7 - 3 )所示的重複單位之共聚物，其比例分別爲3 0 mo 1%、30mo 1%、及 4〇mo 1%。此樹脂稱爲 、、樹脂（A 1 — 1 3 ) 。 -(-HC—-(-HC—CH-)- h3c-

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (17-1) (17-2) (17-3) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -118- 1272453 A7 B7 五、發明説明（彳16 ) 合成實施例1 4 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 以如合成實施例1相同方法得到一種其M w在 8 , 500的白色樹脂，除了使用59· 3g的8 -甲基 —8 —羥基四環〔4 · 4 · 0 · I2’5· I7，1。〕十二— 3 —烯、2 8 · 5 g的順丁烯二酸酐、1 2 3 · 7 g的由 下式（i i i - a)所示的甲基丙烯酸衍生物（I I I 一 2) 、15g的偶氮基雙異丁腈、及212g的乙酸正丁 酯作爲生料。 此樹脂爲由下式（1 8 — 1 ) 、（ 1 8 — 2 )、及（ 1 8 — 3 )所示的重複單位之共聚物，其比例分別爲2 9 m ο 1 %、2 9 m ο 1 %、及 4 2 m ο 1 %。此樹脂稱爲 '樹脂（A 2 — 1 )"。 CHa C=CH2 6=0

I 0 ch2 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -119- 1272453 A7 _____. —_B7 五、發明説明（117 ) 十 H'C—cV}-

CH3+9 一 ch2 十 c=o I 〇 I ch2 (18-1) (18-2) ( ch3 C—ο—c 一ch3 II I 〇 ch3 (18-3) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 合成實施例1 5 以如合成實施例1相同方法得到一種其M W在 8， 200的白色樹脂，除了使用ΐ5· 5g的5 —第三 一丁氧基羰基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 2 —烯、47 · 6 g 的 8 —羥基四環〔4 · 4 · 0 · I2，5 · 17,1〇〕十二 一 3 —烯、3 4 · 3 g的順丁烯二酸酐，9 1 · 9 g的由 下式（i i i 一 b )所示的甲基丙烯酸衍生物（I I〗— 2) 、15g的偶氮基雙異丁腈、及I89g的乙酸正丁 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 酯作爲生料。 此樹脂爲由下式（19—1) 、 （19—2)、( 19一3)、及（19一4)所示的重複單位之共聚物， 其比例分別爲 8mo 1%、27mo 1%、35mo 1% 、及3 0 m ο 1 %。此樹脂稱爲、、樹脂（A 2 - 2 ) 〃 。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） - 120- 1272453 A7 B7 五、發明説明（118 ) HOCH2 c=o

I 0

C-0-C-CH3 II 1 0 CH3 (iii-b)

计广十々-弋十+H'C - -fHC-CH2+ ^ ?h3 W γ Λ ch3 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) c-o-c-ch3 / Λ ο ch3 v—^ch3 ch2oh 卞 ch3 0 ch3 (1M) (19-2) (19-3) (19-4) 實施例1 一 2 0及比較例1 評估其中內含展示於表1中各組成物成分的溶液。其 評估結果展示於表3及4。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如下除了樹脂（A1 — 1)至（A1 — 16)、（ A2 — 1)、及（A2 — 2)的成分展示於表1中。 其它樹脂 a — 1 :甲基丙烯酸第三一丁酯/甲基丙烯酸甲酯/ 甲基丙烯酸共聚物（共聚合莫耳比二4 0/4 0/2 0， M w - 2 0 , 〇〇〇) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -121 - 1272453 A7 B7 五、發明説明（119) 酸生產劑（B ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) B — 1 :三苯基銃三氟甲烷磺酸鹽 B — 2 :三苯基銃九氟-正丁烷磺酸鹽 B — 3 : 4 —正丁氧基一 1 一蔡基四氫噻吩鐵九氟一 正丁烷磺酸鹽 B — 4 :雙（4 一第三一丁基苯基）碘鑰九氟—正丁 烷磺酸鹽 B — 5 :三氟甲烷磺醯基雙環〔2 · 2 · 1〕庚一 5 —燒一 2， 3 —二氰胺 B — 6:1— (3， 5 —二甲基一 4 —羥基苯基）四 氫噻吩基九氟-正丁烷磺酸鹽 酸擴散控制劑 C — 1 :三正辛胺 C 一 2 :甲基二環己胺 C — 3 : 1 — ( 2 / —羥乙基）哌嗪 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 C 一 4 : 4 —羥基喹啉 C 一 5 ·· N —第三一 丁氧基羰基二環己胺 C 一 6 : N —第三-丁氧基羰基一 2 —苯基苯咪唑 C — 7:雙（2 —二甲氨基乙基） 其它添加劑 D—1:第三一丁基去氧膽酸酯（參見以下式（20 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐] "" -122- 1272453 A7 B7 五、發明説明（12〇 )

D — 2:二第三一丁基1， 3 —金剛烷二羧酸酯 D — 3 :第三一 丁氧基羰基甲基去氧膽酸酯 溶劑 E — 1 : 2 —庚酮 E — 2 : 2 —羥基丙酸乙酯 E—3:丙二醇單乙醚乙酸酯 E—4:乙基4一乙氧基丙酸酯 E — 5 :環己酮 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X：297公釐） -123- 1272453 A7 B7 121 五、發明説明（ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 I撇 00 V—✓ φ i 锲 ώ ^-S o o m〇 寸 — cN m ώ ώ 豸 i〇 CSJ ώ cn ώ /--s m v〇 ώ CO v〇 m ώ csi ώ ^-S /^Ν Ο ο m Ο 寸— CS CO ώ ώ ο ο ΓΟ Ο 寸1~t cN m ώ ώ -«V ο ο cn 〇 寸一 <Ν m ώ ώ o o mo 寸 — CS CO ώ ώ ώ JO ώ m ώ ^-N o o mo 寸— ^ 〇Q ώ ώ m un ώ o o mo 寸 — >W^ —CN ώ ώ ώ VO ώ 〆^ o o CO O 寸— —寸 ώ ώ >—✓ r-H ώ m 呂二 00 {AJ S Η • *—Η 's^ τ Η ά 1 Η r· < ά T 丨》< »丨丨H Q »—H i—H 1 Q T —< Q οο ά t ^ Ν^* ，-Η ά ίο r-H Ν—✓ f—< ά ___, y—i ά ο ά O > ( Q ν〇 ♦—< m Q CN s Q οί Q ίο ώ ¥ ά Ο S 1 Q 1—Η 1 α S m 勒S m ^ 經 〇 3 cn Ο CSJ ώ CO d ό CO 〇 ό m 〇 3 m 〇 〇 寸 u CO o 寸 ό CO ο CN1 ώ Ο ο OJ ό m Ο ο CSI ύ m O O 04 ό A Ο Ο CO ό ο d ¥ ό o o cn ύ CO 〇 ύ On 〇 V-) ώ Co C^* 〇 〇 o o i〇 Ό ύ ώ οΓ Ο ν〇 ύ m Ο ό cn 〇 ό m Ο Ο ό m - 趑 i〇 ώ ιο ώ ίο ψ 1 < ·__ I PQ /^N CN CO 1 PQ ✓-\ wn CO ^ o PQ PQ cn ^ d V-^ 03 v〇 PQ ώ ίο ¥ ώ Ό S ώ Co S ώ ν〇 PQ N v〇 04 1 PQ VO ώ (η 04 ώ (P) s PQ PQ ✓-s CO ? PQ /^N cn cn 1 PQ m ώ ίο S PQ ^S v〇 ώ ^-Ν ίο ώ Dm ^ ccn> M g O r-Ή 1 r- 4 < 1 τ—Η 1 Η < ο < οί < I CO 寸 < σ\ 1 r-H < OQ α\ I ί < < ίο οο οο < S 〇\ < S Ο < § ί—Η 1 f—Η < s ψ H I f—< < VO 00 oo < oo oo oo < oo oo CTN < ί〇 ΟΟ m < s 03 < § Οί C S < 握 佩 CSJ U m m 辑: « 寸 IK vn S 辑 u VO 5 辑 U 卜 δ * ΟΟ w 〇\ m 援 ο 舾 m 辑 w CN 辑 U m 莩 u 寸 m 翼 v〇 5 辑 U Ό 辑: IK * οο 翠 w ON 辑 m s 辑 w (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T .▲丨 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -124- 1272453 A7 B7 五、發明説明（122 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 CNI g g PQ pq & PLh P o t—H o 寸 o CO ο CO o cn o 对 o 寸 Ο 寸 ο cn o 寸 o 寸 o CO ο 寸 ο CO ο m Ο cn Ο CO ο CO o 寸 〇 寸 o CO si g i g g § g g 窆 g S g g PQ Ph ✓^s P 130 o cn o cn r-H o csi o 寸 o csi T—i o cn o CO ο CO o cn ο CO Ο m O CO ο cn o CO 130 ο cn O cn o cn Si u U (Y, 2 〇 CJ U p^； u o 〇 u (V, o u O (V丨 Ο ο Ρ> o Ο o cz u u U P> o < < < C < < oo < < < < < < c < Mh < c < c < tt 9 s ^ 寸 〇 寸· o (N1 〇 CNl 〇 寸 〇 寸 C3> 寸 〇 寸 〇 寸 〇 寸 〇 寸 〇 寸 Ο 寸 Ο 寸 〇 寸 〇 寸 〇 寸 〇 寸 〇 寸 〇 寸 〇 寸 〇 r-H CSI cn 寸 卜 οο ON o r—H 贅 i CO CO 寸 ν〇 卜 oo 〇\ r—< 爆 m m m 習 辑 摆 辑 習 辑 辑 辑 辑 習 滔 辑 鎰 u u U IK IK IK Μ IK U U u |i( Ιϋ IK IK U IK u M IK JLJ J-λ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -125- 1272453 A7 B7 五、發明説明（123 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 S s s 嫌 囫 s £ s s s s s § s S s g s g g & & & & & & & & & & & {Εέ( {¢( 賊 -0¾ {¢( {¢( {¢( -0¾ {¢( {¢( Μ ^ un ν〇 tn un v〇 wo ΙΟ un VO wn wo uo oo 裳^ Ο 〇 〇 〇 Ο 〇 〇 〇 〇 o 〇 〇 〇 〇 Ο ο Ο Ο ο 110 120 〇 σ\ 120 ο \ < 〇 σ\ 100 120 130 120 130 120 130 110 120 ο σ\ 100 Ο ON 140 條 m V-t r-H 1 i C<I r-H cn r-( CO r-H CN r-H CO τ··Η cn r—H Csl csi r-H C<1 r-H csi r~i r—ί i—H r—H r-H C<1 r—H C<1 τ—Η ΐ1 r ~ i y—H τ—Η τ < r- c〇 m 嫉 cs ψ' ^ τ—i H cn cn r—Η 寸 CO τ i τ—H ! A CO H CO Csl Τ—Η Ο r-H τ—Η r—* v · ^ r-H r—f \ < \ < r—ΐ r—ί r—( t~1 r—H r—H 1 f r—ΐ \ t ΐ—( ί < ι H r—< <N 寸 PLh o r—i t Ή 1-( r—i cn r-H CO T—< τ < r—Η CO r—H CO ΐ1 i"«1 ii CO r—H r—H ΐ—H r—H τ—H T—H t—H r~i f—< CS r—( 寸 r—< T'-'i r—ί r—H r—< τ—( r—H CO 糊 射線 明度 ε a cn ON VO Ό oo cn CN 卜 \D Ό oo oo v〇 VO oo V〇 〇 卜 V H 〇 r-H ON V£) oo Ο 卜 〇 CT\ Ό Csl Ό 魍 1~1 V H CN cn 寸 ν〇 VO 卜 oo ON o i~A C<1 CO 寸 v〇 ν〇 卜 〇〇 T—( m m m 辑 擇 辑 辑 擇 辑 習 辑 鎰 u IK IK * u IK u |ι( u IK u Μ IK u IK JJ J-Λ 1 衣1T— IAW.(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -126- 1272453 A7 B7 五、發明説明（124 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 寸嗽 圖案形狀 良好的 良好的 有缺陷 的顯影 〇 〇 解析度 (β m) \〇 〇 \〇 〇 敏感性 (J/m2) 〇 寸 相對蝕 刻速率 m V < cn 輻射線透明度 (1 9 3 n m %) \〇 cn vo 實施例19 實施例20 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -127- 1272453 A7 __ ·_B7_ 五、發明説明（125 ) 本發明輻射敏感性樹脂組成物適用於作爲化學放大光 阻’彼顯示在活化的輻射線如由K I· F激發器雷射或 A r F激發器雷射代表的深紫外線之下之敏感性，尤其是 展現優越的乾燥蝕刻抗性而未受各型的蝕刻氣體所影響， 其具有高的輻射線透明度，展現作爲光阻的卓越基本特性 .如敏感性、解析度、及圖案形狀，其具有作爲組成物的卓 越的貯存穩定性，且展現對基板充分的黏著。此輻射敏感 性樹脂組成物可適當地用於製造變得愈來愈小的半導體裝 置。 明顯地，基於上述教示，本發明可能有許多改良及變 化。因此須暸解，在所附的申請專利範圍之中，除了如在 此特定記述者以外可執行本發明。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇χ：297公釐） - 128-

Claims (1)

1272453 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 申請曰期 89年 9月15日 案 號 89119006 類 別 (以上各欄由本局填註） 霧銎專利説明書 中 文 發明 新型' 發明 創作 人 三、申請人 英文 姓 名 國 籍 住、居所 姓 名 (名稱） 國 籍 住、居所 (事務所） 代表人 姓 名 ¢4)樨田徹 (9 下川努 (9 日本 (4)日本國三重縣四日市市中部一七--^四 (9 曰本國三重縣鈴鹿市住吉三丁目1:-三六 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） •裝_ 、11 -線· 1272453 (由本局填寫) 承辦人代碼 大 類 I P C分類 本案已向： 國（地區）申請專利，申請日期： 案號： ，□有□無主張優先權 ,^- r^i 曰曰曰 曰曰曰 7 3 6 ix il IX 月月月 9 0 1 ii ii 年年年 9 9 9 9 9 9 9 9 9 111 11 -264110 0有主張優先權 11-291291 0有主張優先權 11 -325222 0有主張優先權 有關微生物已寄存於： ，寄存日期： ，寄存號碼： (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁各欄) .裝· 訂— 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） - 3-