TWI255338B

TWI255338B - Technique for detecting a defect of an object by area segmentation of a color image of the object

Info

Publication number: TWI255338B
Application number: TW094119560A
Authority: TW
Inventors: Yasushi Nagata; Atsushi Imamura; Hiroshi Sano
Original assignee: Dainippon Screen Mfg
Priority date: 2004-07-26
Filing date: 2005-06-14
Publication date: 2006-05-21
Also published as: KR20060053967A; JP2006038582A; KR100673423B1; US20060018534A1; CN1728160A; TW200604515A; CN100440249C

Description

55338 九、發明說明：【發明所屬之技術領域】本發明有關於利用影像之區域分割取得檢查對象物的缺陷之技術。【先前技術】在用以構成電子電路之印刷基板，設有層間之導通或零件之插入用的通孔（孔洞）。此種通孔的位置或形狀之異常，或通孔的阻塞等之異常，成為導通不良或零件插入不 φ 良之原因。因此，提案有各種影像檢查裝置用來檢測出現在該等通孔之異常（缺陷）（例如，參照專利文獻1 )。 [專利文獻1 ] 曰本專利特開平8 - 1 9 1 1 8 5號公報 [專利文獻2 ] 日本專利第2 5 0 0 9 6 1號公報但是，在利用該等影像檢時，對於被設在印刷基板之積或周圍長等之特徵量。因數目變多時，檢查所需之處 •影像檢查裝置進行通孔之缺之檢查對象物之缺陷檢測對【發明内容】查裝置檢測通孔之缺陷的情況各個通孔，需要分別抽出其面此’當被設在印刷基板之通孔理量會增大。此種問題在利用陷檢測時變為顯著，成為一般象的共同問題。 (發明所欲解決之問題）本發明用來解決上述先前技術之課題，其目的是抑制由於缺陷之檢測對象的形狀而造成缺陷之檢測處理量的增大0 (解決問題之手段） 5 312XP/發明說明書(補件)/94-10/941195 60

1255338 用來達成上述目的之至少一部份之本發明之方法，係用對具有多個色區域之檢查對象物進行攝影之彩色影像檢測與上述多個色區域中之特定區域有關之缺陷的方法其包含有如下步驟：（a )依照色別，對上述彩色影像進行域分割；（b )從上述區域分割之結果，取得表示上述特定域之形狀之被檢查影像；和（c )經由使上述被檢查影像、能與上述被檢查影像之至少一部份比對之比較影像進行對，用來檢測與上述特定區域有關之缺陷。依照此種構造時，使利用彩色影像之區域分割所產生被檢查影像和比較影像進行比對，可以用來檢測與特定域有關之缺陷。因此，即使在檢查對象物之缺陷檢測對之形狀為複雜之情況時，亦可以減小缺陷之檢測處理量亦可以使上述步驟（c)包含：（1 )取得上述比較影像，為表示上述特定區域之標準之形狀之影像的步驟；（2 )根上述被檢查影像和上述比較影像，取得比較結杲影像，以表示上述特定區域之形狀和上述標準之形狀之差異的驟；和（3 )經由評估上述比較結果影像，用來檢測與上述定區域有關之缺陷的步驟。依照此種構造時，因為可以根據特定區域之標準之形產生比較影像，所以比較影像之產生變為容易。亦可以使上述步驟（2 )包含經由進行上述被檢查影像上述比較影像之邏輯演算，用來取得上述比較結果影像步驟。依照此種構造時，比較結果影像之取得變為更容易。 312XP/發明說明書(補件)/94-10/9411956〇使，區區及比之區象〇作據用步特狀和之 6

1255338 亦可以使上述邏輯演算係互斥邏輯和之演算。依照此種構造時，比較結果影像之取得變為更容易。亦可以使上述步驟（3 )包含經由評估上述比較結果影中之上述被檢查影像和上述比較影像不同之缺陷區域的積，用來檢測與上述特定區域有關之缺陷的步驟。依照此種構造時，根據比較結果影像使缺陷之檢測變容易。亦可以使上述步驟（3 )包含當上述特定區域之形狀之小與上述標準之形狀之大小不同的情況時，經由評估在述比較結果影像出現之線狀之區域的幅度，用來檢測與述特定區域有關之缺陷的步驟。依照此種構造時，由於特定區域之大小之異常造成之陷之檢測變為容易。亦可以使上述步驟（3 )包含經由評估上述比較結果影中之上述被檢查影像和上述比較影像不同之缺陷區域的目，用來檢測與上述特定區域有關之缺陷的步驟。依照此種構造時，由於特定區域之形狀的畸變造成缺之檢測變為容易。亦可以使上述步驟（2 )包含取得上述被檢查影像和上比較影像互異之相對移動量中上述被檢查影像和上述比影像之位置偏差成為最小的最佳移動量，同時依照上述佳移動量變更上述被檢查影像和上述比較影像之相對位的步驟。依照此種構造時，可以減小由於影像之位置偏差造成 312XP/發明說明書(補件)/94-10/94119560 像面為大上上缺像數陷述較 1=7 取置的 7 1255338 誤差。亦可以使上述步驟（C )包含：從上述區域分割之結果取得上述比較影像，作為表示與上述特定區域不同之色區域之形狀之影像的步驟；從上述比較影像，抽出具有上述特定區域所應有之特定形狀之對應區域的步驟；和使上述被檢查影像内之上述特定區域、及上述比較影像内之上述對應區域進行比對，用來檢測與上述特定區域有關之缺陷的步驟。

依照此種構造時，可以容易地檢測特定區域和其他區域之位置關係之有關的缺陷。亦可以使上述檢查對象物係印刷基板，上述特定區域係設在上述印刷基板上之通孔。依照此種構造時，可以使印刷基板之通孔的缺陷之檢測變為容易。另外，本發明可以各種態樣實現，例如，可以是物體之表面區域配置之取得方法和裝置，使用其取得結果之影像檢查方法和裝置，用以實現該等之各種方法或裝置之功能之電腦程式，記錄有該電腦程式之記錄媒體，或在包含有該電腦程式之載波内被具體化之資料信號等。【實施方式】其次，以下列之順序根據實施例說明用以實施本發明之最佳形態。 A. 第1實施例： B. 第2實施例： 8 312XP/發明說明書(補件)/94-10/941 ] 9560

1255338 c. 變化例： A.第1實施例：圖1是說明圖，用來表示作為本發明之一實施基板檢查裝置1 0 0之構造。該印刷基板檢查裝置有：光源2 0，用來照明印刷基板P C B ;攝影部3 ( 印刷基板P C B之影像進行攝影；和電腦4 0，用來全體之控制。在電腦4 0連接有外部記憶裝置5 0 各種資料或電腦程式。電腦4 0具有作為影像取得部2 1 0、區域分割新定區域抽出部2 3 0、比較影像取得部2 4 0和比較詞之功能。該等之各個部之功能之實現是經由以電月被收納在外部記憶裝置5 0之電腦程式。圖2是說明圖，用來表示沒有缺陷之印刷基板為「主基板」）之樣子。在印刷基板PCB之表面包體抗姓劑區域 R B R ’在基板基體上塗布有抗姓劑蝕劑區域 RPR，在銅佈線之圖案上塗布有抗蝕劑刷區域 R S G ’在基板基體上’絲網印刷有白色之金區域R G P，被施加鍍金；和基板基體區域R S B，體露出。另外，在印刷基板PCB設有7個之通孔在利用攝影部3 0 (圖1 )對該沒有缺陷之印刷基行攝影所獲得之影像，因為基體抗蝕劑區域R B R 之基板基體塗布綠色之抗钱劑，所以成為低党度域G D。另外，圖案抗蝕劑區域R P R因為抗蝕劑之之銅佈線圖案，所以成為亮度比基體抗蝕劑區域 3 ] 2XP/發明說明書(補件)/94-10/94119560 例之印刷 1 0 0具備 )，用來對進行裝置用以收納 ;2 2 0、特 Μ古部2 5 0 齒4 0實行 P C Β(亦稱 ^含有：基 ;圖案抗 ;絲網印文字；鍍使基板基 ΤΙΠ〜TH7 ° 板PCB進是在椋色之綠色區下為銅色 R B R南之 9 1255338 綠色區域G B。絲網印刷區域R S G、鐘金區域RGP、基板基體區域R S B分別成為表面材質之色之白色區域W Η、金色區域G L、棕色區域B R。另外，因為通孔Τ Η 1〜Τ Η 7是在基板開孔，所以成為黑色區域Β Κ。該主基板之影像在各個基板之檢查之前預先取得，被收納在外部記憶裝置5 0。

圖3是流程圖，用來表示第1實施例之各個印刷基板PCΒ 之檢查步驟。在步驟S 1 0 0，影像取得部2 1 0 (圖1 )從攝影部3 0 (圖1 )取得印刷基板P C B之彩色影像。另外，在對預先取得之影像實行步驟S 2 0 0以後之處理之情況時，在步驟 S 1 0 0從外部記憶裝置5 0 (圖1 )讀出影像資料。在步驟S 2 0 0，區域分割部 2 2 0 (圖1 )依照色別對所取得之彩色影像進行區域分割。依照色別之彩色影像之區域分割，例如，可以以下面所述之方式進行。首先，指定出現在影像之多個之區域，以表示各個區域之特徵之色作為代表色。然後，求得表示影像之各個像素之色和多個代表色之指定之色空間之距離之距離指標值。將各個像素分類給該距離指標值成為最小之代表色之區域，可以依照色別將彩色影像分割成為多個區域。另外，距離指標值例如可以利用使R G B色空間成為3次元優克利多（E u c 1 i d e a η )空間之優克利多距離，或 L * a * b *空間之色差△ Ε。另外，在步驟 S 2 0 0 進行之區域分割方法可以使用依照彩色影像之各個像素之色將各個像素分類給多個區域之區域分割方法，例如，可以利用日本專利特開2 0 0 2 - 2 5 9 6 6 7號公報所揭示之方法進行。 10 312XP/發明說明書(補件)/94-] 0/94119560 1255338 圖4 ( a )是說明圖，用來表示在通孔具有缺陷之印刷基板 PCB之彩色影像IM1。另外，圖4(b)是說明圖，用來表示將彩色影像 I Μ 1區域分割後之區域分割結果S R 1。如以下所說明之方式，在以彩色影像I Μ 1表示之印刷基板P C Β，在7個通孔ΤΗ1〜ΤΗ7中之6個通孔ΤΗ2〜ΤΗ7存在有缺陷。在通孔ΤΗ2之中心部存在有異物（金）。因此，在表示通孔Τ Η 2之黑色區域Β Κ之中心部出現有金色區域G L。通孔 Τ Η 3因為孔之直徑小於正常之孔之直徑，所以表示通孔Τ Η 3 φ 之黑色區域Β Κ小於表示沒有缺陷之通孔Τ Η1之黑色區域 Β Κ。通孔 Τ Η 4因為成為該孔被全閉塞之狀態（稱為「孔阻塞」），所以通孔ΤΗ4以亮度比周圍之金色區域GL低之金色區域GLa表示。通孔ΤΗ5因為成為其孔之一部份被抗蝕劑覆蓋之狀態（稱為「抗蝕劑覆蓋」），所以表示通孔 TH 5 之黑色區域Β K成為欠缺被抗蝕劑覆蓋之部份之半圓形。通孔Τ Η 6因為孔之直徑大於正常之孔之直徑，所以表示通孔 ΤΗ6之黑色區域ΒΚ大於表示通孔ΤΗ1之黑色區域ΒΚ。通孔 ® ΤΗ7之孔形狀具有扁平之畸變之缺陷。因此，表示通孔ΤΗ7 之黑色區域Β Κ與表示通孔Τ Η1之黑色區域Β Κ成為不同之形狀。利用在步驟S 2 0 0 (圖3 )進行之區域分割，彩色影像I Μ 1 被分割成為如圖4 ( b )之區域分割結果S R 1所示之6個區域 GD、GB、WH、GL、BR、BK。另夕卜，表示通孔TH4之彩色影像IM1之金色區域GLa之色接近表示鍍金區域RGP之金色區域G L之色。因此，在區域分割結果S R1，通孔Τ Η 4之部 11 312ΧΡ/發明說明書(補件)/94-10/94119560 1255338 份被分割在圖 3 域分割結從區域分 B K。然後為被檢查圖 5(a) 結果SR1 £ φ 圖5(a)所該被檢查成為黑色在圖3 來與被檢部2 4 0，拍記憶裝置比較影 ®產生。實^ 影像，進果。圖5 ( 5 ( c )所示 GD 、 GB 、比較影印刷基板 5 ( c )所示成為與周圍之鍍金區域RGP相同之區域GL。之步驟S 3 0 0，特定區域抽出部2 3 0 (圖1 )利用區果產生被檢查影像。實質上，特定區域抽出部2 3 0 割結果抽出表示印刷基板PCB之通孔之黑色區域，以表示被抽出之黑色區域BK之形狀之影像，作影像。表示對彩色影像I Μ 1進行區域分割後之區域分割 3另外，圖5 ( a )和圖4 ( b )相同。圖5 ( b )表示利用示之區域分割結果S R 1產生之被檢查影像T I 1。影像 T I 1是使區域分割結果 S R 1之黑色區域B K ，黑色區域BK以外成為白色之2值影像。之步驟S 4 0 0，比較影像取得部2 4 0 (圖1 )取得用查影像比對之比較影像。實質上，比較影像取得 L外部記憶裝置5 0讀出預先產生之被收納在外部 5 0 (圖1 )之比較影像，藉以取得比較影像。像可以利用與上述之步驟S 1 0 0〜S 3 0 0同樣之步驟質上，取得沒有缺陷之印刷基板P C B (圖2 )之彩色行該彩色影像之區域分割，用來取得區域分割結 :c )表示以此方式取得之區域分割結果S R Μ。如圖，區域分割結果 SRM 亦被分割成為 6個之區域 WH 、 GL 、 BR 、 ΒΚ ° 像之產生是經由從該區域分割結果 SR抽出表示 P C Β之通孔之黑色區域Β Κ。圖5 ( d )表示利用圖之區域分割結果S R Μ產生之比較影像Μ I 1。該比 12 312ΧΡ/發明說明書(補件)/94-10/94119560 1255338 較影像Μ I 1是2值影像，使區域分割結果S R Μ之黑色區域 ΒΚ成為黑色，使黑色區域ΒΚ以外之區域成為白色。另外，在第1實施例中是比較影像由沒有缺陷之印刷基板之影像產生，但是亦可以利用其他之方法產生比較影像。例如，亦可以對多個印刷基板進行攝影，根據表示通孔之黑色之出現頻度之積算值，產生比較影像。另外，亦可以利用通孔形成用之設計資料（C A D 資料）所含之通孔之位置和大小，用來產生比較影像。

在圖3之步驟S 5 0 0，比較評估部2 5 0 (圖1 )利用被檢查影像和比較影像，用來產生比較結果影像。實質上，經由獲得被檢查影像和比較影像之互斥邏輯和（E X c 1 u s i v e 0 R )，用來產生表示該2個影像之差異之比較結果影像。圖 5 ( b )所示之被檢查影像T I 1和圖5 ( d )所示之比較影像Μ I 1 之互斥邏輯和之比較結果影像，成為圖 5 ( e )所示之影像 R I 1。利用此種方式，比較結果影像 R I 1成為通孔之缺陷 D T 2〜D T 7以黑表示之2值影像。另外，在取得被檢查影像T I 1和比較影像Μ I 1之互斥邏輯和時，亦可以進行校正該2個之影像Τ I 1、Μ I 1之位置之偏差之處理。此處之校正之進行可以使2個影像Τ I 1、Μ I 1 之至少一方移動，取得2個影像Τ I 1、Μ I 1之位置偏差成為最小之相對移動量（稱為「搖動處理」），依照所取得之移動量，校正位置偏差。在此種情況，使2個影像ΤI 1、ΜI 1 之位置偏差成為最小之相對移動量，例如，可以成為比較結果影像R I 1之黑色之像素數成為最少之相對移動量。 13 312ΧΡ/發明說明補件)/94-10/94119560 1255338 在圖3之步驟S 6 Ο Ο，比較評估部2 5 0解析比較結果 R I 1，用來判斷每一個通孔之缺陷之有無。實質上，在通孔設定檢查區域，經由評估出現在檢查區域之缺陷積，用來判定缺陷之有無。圖5 ( f )表示設定有與通孔Τ Η 1〜Τ Η 7之各個對應之檢域I R 1〜I R 7之樣子。該等之檢查區域I R 1〜I R 7之獲得可以經由對比較影像Μ I 1中之表示通孔Τ Η 1〜Τ Η 7之黑進行變粗處理（膨脹處理）。另外，使用C A D資料所含 φ 個通孔之位置和大小，可以設定檢查區域。通孔之缺陷之有無之判斷基準可以採用以下所述者 (1)在各個之檢查區域中之缺陷面積超過缺陷基準之情況時，判斷為對應之通孔具有缺陷。 (2 )使用具有與檢查區域之位置對應之權重之面積，上述基準（1)之缺陷之面積。這時，缺陷之影響較大之區域之中心部之權重，最好大於檢查區域之外周部之；f (3)在缺陷為如同通孔TH3、TH6(圖4)之孔徑異常之胃時，根據出現在比較結果影像R I 1 (圖5 )之圓環D T 3 之幅度，判斷缺陷之有無。 (4 )在缺陷為如同通孔Τ Η 7 (圖4 )之畸變之情況時，出現在比較結果影像R I 1之缺陷之個數或缺陷之總面判斷缺陷之有無。在本實施例中是使用上述基準（1 )，但是亦可以使用 (1 )〜（4 )中之任意之 1 個以上之基準，用來進行判斷外，亦可以使用該等以外之判斷基準。 312XP/發明說明書(補件)/94-10/94119560 影像各個之面查區例如區域之各〇面積作為檢查 i重。情況 DT6 根據積，基準。另 14 1255338 如圖5(f)所示，在檢查區域IR2〜IR7，包陷之黑區域D T 2〜D T 7 (圖5 ( e ))。因此，比較斷為在與該等之檢查區域IR2〜IR7對應之通有缺陷。另外一方面，在檢查區域IR1未包之黑區域。因此，比較評估部2 5 0判斷為在與對應之通孔Τ Η 1沒有缺陷。依照此種方式之第1實施例時，使利用彩分割所產生之被檢查影像和比較影像進行比 φ 檢測通孔之缺陷。另外，在第1實施例中是對各個之通孔設但是亦可以設定包含多個通孔之檢查區域。不設定檢查區域’評估出現在比較結果影像總面積。但是，對各個之通孔設定檢查區域可以提高通孔之缺陷檢測之精確度，所以較 Β.第2實施例：圖6是流程圖，用來表示第2實施例之印胃檢查步驟。與圖3所示之第1實施例之流程是步驟S 4 0 0被替換成為步驟S 4 1 0、S 4 2 0，^ 換成為步驟 S 6 1 0，步驟S 5 0 0被省略。其他實施例相同。圖 7(a)表示以步驟S100取得之在通孔具基板PCB之彩色影像ΙΜ2。圖7(b)表示在步馬影像I Μ 2區域分割後之區域分割結果S R 2。如在以彩色影像I Μ 2表示之印刷基板P C Β，7個 312ΧΡ/發明說明補件)/94-10/94119560 含有表示有缺評估部2 5 0判孔ΤΗ2〜ΤΗ7具含有表示缺陷檢查區域I R 1 色影像之區域對，可以用來定檢查區域’ 另外，亦可以 R I 1之缺陷之之一方，因為好。刷基板PCB之圖之不同部份「驟S 6 0 0被替之部份與第1 有缺陷之印刷艮S 2 0 0將彩色圖7 ( a )所示，通孔Τ Η 1〜Τ Η 7 15 1255338 中之4個通孔TH3、TH4、TH6、TH7存在有缺陷。通孔T Η 3、丁 Η 6其位置分別偏左。通孔T Η 3之左端成為接合在棕色區域BR(基板基體區域RSB)，通孔ΤΗ6之左端成為接合在綠色區域 G D (基體抗蝕劑區域 R B R )之狀態（座斷）。另外，通孔T Η 4、T Η 7成為該孔被金或銅阻塞之孔之狀態。因此通孔ΤΗ4以亮度低於周圍之金色區域GL之金色區域GLa表示，通孔 ΤΗ7以亮度低於周圍之綠色區域GB 之綠色區域G B a表不。

利用在步驟S 2 0 0 (圖6 )進行之區域分割，彩色影像I Μ 2 被分割成為如區域分割結果 SR2所示之 6個之區域GD、 GB、WH、GL、BR、ΒΚ。另外，表示通孔ΤΗ4之金色區域GLa 之色因為與表示鍍金區域RGP之金色區域GL之色接近，所以通孔T Η 4被分割成為與其周圍相同之金色區域G L。同樣地，通孔Τ Η 7被分割成為與其周圍相同之綠色區域G Β。在圖6之步驟S 3 0 0，特定區域抽出部2 3 0 (圖1 )利用區域分割結果產生被檢查影像。實質上，特定區域抽出部2 3 0 從區域分割結果抽出表示印刷基板PCB之通孔之黑色區域 Β Κ。然後，使表示被抽出之黑色區域Β Κ之形狀之影像成為被檢查影像。圖8 ( a )表示對彩色影像I Μ 2進行區域分割之區域分割結果SR2。另外，圖8(a)和圖7(b)相同。圖8(b)表示在步驟 S 3 0 0 (圖6 )，利用圖8 ( a )所示之區域分割結果S R 2產生之被檢查影像Τ I 2。該被檢影像Τ I 2是2值影像，使區域分割結果SR2之黑色區域BK成為黑色，使黑色區域BK以外 16 312XP/發明說明書(補件)/94-10/941〗9560 1255338 成為白色。在被檢查影像Τ I 2出現5個之與通孔Τ Η 1〜 ΤΗ5、ΤΗ6對應之區域。在圖6之步驟S 4 1 0，比較影像取得部2 4 0從圖8 ( a ) 之區域分割結果S R 2，分別抽出不是黑色區域B K之色 GB、GD、GL。圖8(c)表示第1比較影像MI2a，用以表區域分割結果S R 2抽出之綠色區域G B之形狀。在該比像ΜI 2 a，被抽出之綠色G B以斜線表示。同樣地，圖所示之第2比較影像Μ I 2 b和圖8 ( e )所示之第3比較 φ Μ I 2 c之斜線區域分別表示被抽出之綠色區域G D和金域G L 〇在步驟 S 4 2 0，比較影像取得部 2 4 0從 3個之比較 Μ I 2 a〜Μ I 2 c分別抽出圓形之區域。在圖8 ( c )抽出通孔之位置之圓形區域。同樣地，從圖8 (d)所示之第2比像Μ I 2 b和圖8 ( e )所示之第3比較影像Μ I 2 c，分別抽孔Τ Η 1和通孔Τ Η 2之位置之圓形區域。另外，「圓形之區域」是指外形閉合成為圓形，而且 β圓之差在指定範圍内之區域。在第2實施例中，抽出比較影像Μ I 2 a〜Μ I 2 c之沒有斜線之區域之最大直徑R 圍長1成為指定關係（例如，2 · 8 S 1 / R S 3 . 4 )之區域，該圓形區域。但是，亦可以利用其他之方法抽出圓形β 在此種情況，可以根據沒有斜線之區域的周圍長、重半徑、縱橫比、面積、正圓度等，抽出圓形區域。在步驟S 6 1 0，進行以此方式從3個比較影像Μ I 2 a -抽出之圓形之區域和從被檢查影像 Τ I 2抽出之通孔 312XP/發明說明補件)/94-10/94119560 TH3、所示區域示從較影 8(d) 影像色區影像 TH5 較影出通與正各個和周作為 k域。心、 Μ I 2c 之比 17

1255338 對，用來判斷缺陷之有無。實質上，當在比較影像存與通孔對應之圓形區域之情況時，判斷為該通孔沒陷，當未存在有與通孔對應之圓形區域之情況時，判在該通孔具有缺陷。在圖8之實例中，在從被檢查影像抽出之通孔Τ1Π〜TH3、TH5、TH6中，在通孔TH1、TH2 存在有與比較影像Μ I 2 a〜Μ I 2 c之任一個對應之圓形區因此，判斷為在通孔丁 Η 1、Τ Η 2、Τ Η 5沒有缺陷。另外面，在通孔ΤΗ3、ΤΗ6未存在有對應之圓形區域。因此斷為在通孔 Τ Η 3、Τ Η 6具有缺陷。依照此種方式，在實施例中，只有圖8 ( b )所示之被檢查影像Τ I 2之一部通孔Τ Η 1〜Τ Η 3、Τ Η 5、Τ Η 6與比較影像Μ I 2 a〜Μ I 2 c比對另外，從被檢查影像 ΤI 2抽出之通孔和從比較 Μ I 2 a〜Μ I 2 c 抽出之圓形區域之比對是使各個位置進較，當其距離在指定之距離基準值（例如，5個像素）之情況時，可以判斷為通孔與圓形區域對應。但是，以利用其他之方法進行比對。例如，產生用以表示從影像Μ I 2 a〜Μ I 2 c抽出之圓形區域之影像，進行該影像檢查影像之邏輯演算，可以用來進行通孔和圓形區域對。在此種情況，經由獲得只有比較影像Μ I 2 a之圓形區域為0之影像，和被檢查影像ΤI 2之邏輯積，可以獲得表示被檢查影像Τ I 2之通孔Τ Η 5之區域被替換成色（0 )之影像。順序地進行該獲得之影像，和只有比較 MI2b、MI2c之圓形内之區域成為0之影像之邏輯積，獲得如圖8 ( ί )所示之表示具有缺陷之通孔Τ Η 3、Τ Η 6 312ΧΡ/發明說明書(補件)/94-10/94119560 在有有缺斷為 .ΤΙ2 、ΤΗ5 域。一方，判第 2 份之〇影像行比以下亦可比較和被之比内之用來為白影像可以之影 18

1255338 像。依照此種方式之第2實施例時，使彩色影像之區所產生之被檢查影像和比較影像比對，可以用來檢之缺陷。另外，在第2實施例中是使比較影像取得部2 4 0 分割結果S R 2抽出之區域之形狀，成為正常之通孔之圓形，但是亦可以使從區域分割結果抽出之區域成為其他之形狀。抽出之區域之形狀一般可以成為被檢查影像之特定之區域之形狀。 C.變化例：另外，本發明並不只限於上述實施例或實施形態脫離其主旨之範圍内可以以各種態樣實施，例如可下面所述之方式之變化。 C 1 .變化例1 : 上述第1和第2實施例所說明之2個缺陷檢測步只是可以單獨實行，亦可以使2個之缺陷檢測步驟進行。這時，例如，亦可以利用第2實施例之缺陷驟，檢測第1實施例之缺陷檢測步驟未檢測到之缺反地，亦可以利用第1實施例之缺陷檢測步驟，核實施例之缺陷檢測步驟未檢測到之缺陷。最好是組個之缺陷檢測步驟，因為可以使缺陷之檢測精確度步地提高。另外，在此種情況，彩像影像之區域分以在最初之缺陷檢測時只進行1次。 C 2 .變化例2 : 312XP/發明說明書(補件)/94-10/941195 60 域分割測通孔從區域之形狀之形狀出現在，在不以具有驟，不順序地檢測步陷。相測第2 合該 2 更進一割亦可 19 1255338 本發明之缺陷之檢測並不只限於印刷基板之通孔，假如成為缺陷之檢測對象之特定之區域，以影像之特定之色區域表示時，可以檢測與任意之物體之特定區域有關之缺陷。例如，亦可以適用在機械零件等之形狀之缺陷或印刷在物體之文字等之缺陷之檢測。 C 3 .變化例3 :

在第1實施例中，如圖5 ( b )、（ d )所示，比較影像Μ I 1 與被檢查影像Τ I 1之全部進行比對，藉以產生影像。另外一方面，在第2實施例中，如圖8 (b)、（ c )所示，使從綠色區域G B抽出之比較影像Μ I 2 a與被檢查影像Τ I 2之一部份進行比對，藉以產生影像。由該等之實施例可以理解，在本發明中，可以使用與被檢查影像之至少一部份進行比對所獲得之影像作為比較影像。【圖式簡單說明】圖1是說明圖，用來表示本發明之一實施例之印刷基板檢查裝置1 0 0之構造。圖2是說明圖，用來表示沒有缺陷之印刷基板PCB之樣子。圖3是流程圖，用來表示第1實施例之印刷基板PCB之檢查步驟。圖4 ( a )、（ b )是說明圖，用來表示印刷基板P C B之彩色影像I Μ 1和其區域分割結果S R 1。圖5 ( a )〜（f )是說明圖，用來表示第1實施例之印刷基板 PCB之檢查之樣子。 20 312XP/發明說明書(補件)/94-10/94119560 1255338 圖6是流程圖，用來表示第2實施例之印刷基板PCB之檢查步驟。圖7 ( a )、（ b )是說明圖，用來表示印刷基板P C B之彩色影像I Μ 2和其區域分割結果S R 2。圖8 ( a )〜（f )是說明圖，用來表示第2實施例之印刷基板 PCB之檢查之樣子。【主要元件符號說明】 1 00 印刷基板檢查裝置

20 30 40 50 2 10 220 230 240 250 PCB 光源攝影部電腦外部記憶裝置影像取得部區域分割部特定區域抽出部比較影像取得部比較評估部印刷基板 21 312XP/發明說明書(補件)/94-10/941195 60

Claims

.如申請專利範圍第 1255338 十、申請專利範圍： 1 . 一種檢測方法，係使用對具有多個色區域之檢查物進行攝影之彩色影像，檢測與上述多個色區域中之區域有關之缺陷的方法，其包含有如下步驟： (a )依照色別，對上述彩色影像進行區域分割； (b )從上述區域分割之結果，取得表示上述特定區域狀之被檢查影像，和 (c )經由使上述被檢查影像、及能與上述被檢查影像少一部份比對之比較影像進行比對，用來檢測與上述區域有關之缺陷。 2.如申請專利範圍第 1項之方法，其中，上述步馬包含： (1 )取得上述比較影像，作為表示上述特定區域之標狀之影像的步驟； (2 )根據上述被檢查影像和上述比較影像，取得用以上述特定區域之形狀和上述標準形狀之差異之比較結像的步驟；和 (3 )經由評估上述比較結果影像，用來檢測與上述特域有關之缺陷的步驟。項之方法，其中，上述步焉包含經由進行上述被檢查影像和上述比較影像之邏算，用來取得上述比較結果影像之步驟。 4 .如申請專利範圍第3項之方法，其中，上述邏輯係互斥邏輯和之演算 312XP/發明說明書(補件)/94-10/941195 60 對象特定之形之至特定 Kc) 準形表示果影定區 “2) 輯演演算 22 1255338 5 .如申請專利範圍第 4項之方法，其中，上述步驟（3 ) 包含經由評估上述比較結果影像中之上述被檢查影像和上述比較影像不同之缺陷區域的面積，用來檢測與上述特定區域有關之缺陷的步驟。 6 .如申請專利範圍第 4項之方法，其中，上述步驟（3 ) 包含當上述特定區域形狀之大小與上述標準形狀之大小不同之情況時，經由評估在上述比較結果影像出現之線狀區域之幅度，用來檢測與上述特定區域有關之缺陷的步驟。

7 .如申請專利範圍第 4項之方法，其中，上述步驟（3 ) 包含經由評估上述比較結果影像中之上述被檢查影像和上述比較影像不同之缺陷區域的數目，用來檢測與上述特定區域有關之缺陷的步驟。 8 .如申請專利範圍第 2項之方法，其中，上述步驟（2 ) 包含取得上述被檢查影像和上述比較影像互異之相對移動量中，上述被檢查影像和上述比較影像之位置偏差成為最小的最佳移動量，同時依照上述最佳移動量變更上述被檢查影像和上述比較影像之相對位置的步驟。 9.如申請專利範圍第 1項之方法，其中，上述步驟（c) 包含：從上述區域分割之結果取得上述比較影像，作為表示與上述特定區域不同之色區域之形狀之影像的步驟；從上述比較影像，抽出具有上述特定區域所應有之特定形狀之對應區域的步驟；和使上述被檢查影像内之上述特定區域、及上述比較影像 23 312XP/發明說明書(補件)/94-10/94119560 1255338 内之上述對應區域進行比對，用來檢測與上述特定區域有關之缺陷的步驟。 1 0 .如申請專利範圍第1至9項中任一項之方法，其中，上述檢查對象物係印刷基板，上述特定區域係設在上述印刷基板上之通孔。 1 1 . 一種檢測裝置，係使用對具有多個色區域之檢查對象物進行攝影之彩色影像，檢測與上述多個色區域中之特定區域有關之缺陷的裝置，其具備有：

區域分割部，其依照色別對上述彩色影像進行區域分割；被檢查影像取得部，其從上述區域分割之結果，取得表示上述特定區域之形狀的被檢查影像；和缺陷檢測部，其經由使上述被檢查影像、及與上述被檢查影像之至少一部份比對之比較影像進行比對，用來檢測與上述特定區域有關之缺陷。 1 2 .如申請專利範圍第1 1項之裝置，其中，上述缺陷檢測部包含：標準形狀影像取得部，其取得上述比較影像，作為表示上述特定區域之標準形狀之影像；比較結果影像取得部，其根據上述被檢查影像和上述比較影像，取得用以表示上述特定區域形狀與上述標準形狀之差異的比較結果影像；和比較結果影像評估部，其經由評估上述比較結果影像，用來檢測與上述特定區域有關之缺陷。 1 3 .如申請專利範圍第1 1項之裝置，其中，上述缺陷檢 24 312XP/發明說明書(補件)/9Φ 10/941195 6〇 1255338 測部包含：非特定區域影像取得部，其從上述區域分割之結果，取得上述比較影像，作為表示與上述特定區域不同之色區域之形狀的影像；對應區域抽出部，其從上述比較影像，抽出具有上述特定區域所應有之特定形狀之對應區域；和影像比對部，其使上述被檢查影像内之上述特定區域、及上述比較影像内之上述對應區域進行比對，用來檢測與 φ 上述特定區域有關之缺陷。 1 4.如申請專利範圍第1 1至1 3項中任一項之裝置，其中，上述檢查對象物係印刷基板，上述特定區域係設在上述印刷基板上之通孔。

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