JP2010256223A - 基板の実装状態検査方法および基板の実装状態検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧着部を微分干渉光学系を介して撮像した電子画像データから、電極パターンの画像の輝度よりも低輝度の暗画素群を抽出するステップと、前記暗画素群の重心に対して特定方向に存在する画素の中から最高輝度を持つ高輝度画素をサーチするステップと、前記高輝度画素を中心として複数の方向にサーチラインを設定し、前記複数のサーチライン上に存在する画素の中からそれぞれ輝度の最も低い低輝度画素をサーチするステップと、前記高輝度画素の輝度と前記複数の低輝度画素の輝度との差の和を求めるステップと、前記輝度差の和に基づいて前記暗画素群の種別を判断するステップとを備えた。
【選択図】図4
Description
このため、従来の検査方法では、微分干渉顕微鏡を介して撮像した電子画像データにおいてパネル電極に形成された窪みと導電性粒子による圧痕とを区別することができず、パネル電極内に所定の数以下の導電性粒子しか存在しない、すなわち、接続不良と判定すべきものであるにもかかわらず、パネル電極の窪みを導電性粒子と判断することで、本来の粒子数以上の導電性粒子が存在すると判定し、不良品を良品と判定してしまうという問題があった。
本発明の実施の形態1について、図1ないし図5を参照して説明する。
また、電極パターン21には、図2(b)に示すように電極パターン21の製造時に透明基板20と接する側に製造欠陥である窪み22が形成される。
図6および図7を参照して、本発明の実施の形態2における基板の実装状態検査方法について説明する。なお、実施の形態2における基板の実装状態検査装置は、実施の形態1と同じ構成であるので説明を省略する。
なお、図6は実装状態検査方法のフローチャートであり、図7(a)は電極パターン21上に導電性粒子71が存在する場合、図7(b)は電極パターン21に窪み22が存在する場合の実装状態検査方法の工程を示す工程図を示すものである。
輝度変化率=(高輝度画素δiの輝度と暗画素群の重心βの輝度との差/暗画素群の重心βと高輝度画素δiとの距離)
実施の形態1で示した基板の実装状態検査方法と実施の形態2で示した基板の実装状態検査方法とを組み合わせて基板の実装状態を検査してもよい。
Claims (10)
- 透明基板上に設けられた電極パターンに、導電性粒子を含む異方性導電材料を介して電子部品を実装した基板の実装状態検査方法であって、
(A)前記電極パターンと前記電子部品に設けられた電極との重なり部を、前記透明基板の裏面側から微分干渉光学系を介して撮像し、前記重なり部の電子画像データを取得するステップと、
(B)前記電子画像データから、前記電極パターンの画像の輝度よりも低輝度の暗画素群を抽出し、当該暗画素群の重心の位置を求めるステップと、
(C)前記暗画素群の重心を基点とし、特定方向に対して所定の距離内に存在する画素の中から最高輝度を持つ高輝度画素をサーチし、当該高輝度画素の位置および輝度を取得するステップと、
(D)前記高輝度画素を中心として、前記特定方向に対して±90度以下の角度を有する複数のサーチラインを設定し、前記高輝度画素から所定の距離内であって前記複数のサーチライン上に存在する画素の中からそれぞれ輝度の最も低い低輝度画素をサーチして、当該複数の低輝度画素の輝度を取得するステップと、
(E)前記高輝度画素の輝度と前記複数の低輝度画素の輝度との差の和を求めるステップと、
(F)前記輝度差の和と設定値とを比較することによって、前記暗画素群の種別を判別するステップと
を備えたことを特徴とする基板の実装状態検査方法。 - 前記ステップ(F)において、前記輝度差の和が前記設定値以下のときに前記暗画素群は前記電極パターンに形成された窪みであると判断し、前記輝度差の和が前記設定値よりも大きいときに前記暗画素群は前記導電性粒子であると判断することを特徴とする請求項1に記載の基板の実装状態検査方法。
- 透明基板上に設けられた電極パターンに、導電性粒子を含む異方性導電材料を介して電子部品を実装した基板の実装状態検査方法であって、
(P)前記電極パターンと前記電子部品に設けられた電極との重なり部を、前記透明基板の裏面側から微分干渉光学系を介して撮像し、前記重なり部の電子画像データを取得するステップと、
(Q)前記電子画像データから、前記電極パターンの画像の輝度よりも低輝度の暗画素群を抽出し、当該暗画素群の重心の位置および輝度を求めるステップと、
(R)前記暗画素群の重心を基点として、特定方向および前記特定方向の反対方向に対して±90度以下の角度を有する複数のサーチラインを設定し、前記重心から所定の距離内であって前記複数のサーチライン上に存在する画素の中から輝度の最も高い高輝度画素を前記複数のサーチライン毎にサーチして、複数の前記高輝度画素の位置と輝度を取得するステップと、
(S)前記暗画素群の重心の位置および輝度と、複数の前記高輝度画素の位置と輝度とに基づいて、前記複数のサーチライン方向の輝度変化率を求めるステップと、
(T)前記輝度変化率の中から最大の輝度変化率を求めるステップと、
(U)前記特定方向以外の方向に設定された前記サーチライン方向の輝度変化率の中から最大の輝度変化率を求めるステップと、
(V)前記ステップ(U)で求めた輝度変化率と前記ステップ(V)で求めた輝度変化率との差を求めるステップと、
(W)前記輝度変化率の差と設定値とを比較することによって、前記暗画素群の種別を判別するステップと
を備えたことを特徴とする基板の実装状態検査方法。 - 前記ステップ(W)において、前記輝度変化率の差が前記設定値以下のときに前記暗画素群は前記電極パターンに形成された窪みであると判断し、前記輝度差の和が前記設定値よりも大きいときに前記暗画素群は前記導電性粒子であると判断することを特徴とする請求項3に記載の基板の実装状態検査方法。
- 前記特定方向は、前記微分干渉光学系の観察像においてコントラストの強弱が変化する方向であることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の基板の実装状態検査方法。
- 前記所定の距離は、前記暗画素群の大きさに基づいて定められたことを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の基板の実装状態検査方法。
- 透明基板上に設けられた電極パターンに、導電性粒子を含む異方性導電材料を介して電子部品を実装した基板の実装状態検査装置であって、
微分干渉光学系と、
前記電極パターンと前記電子部品に設けられた電極との重なり部を、前記透明基板の裏面側から前記微分干渉光学系を介して撮像し、電子画像データにする撮像手段と、
前記電子画像データに対し、請求項1に記載のステップ(B)ないしステップ(F)を実行する画像処理手段と
を備えたことを特徴とする基板の実装状態検査装置。 - 透明基板上に設けられた電極パターンに、導電性粒子を含む異方性導電材料を介して電子部品を実装した基板の実装状態検査装置であって、
微分干渉光学系と、
前記電極パターンと前記電子部品に設けられた電極との重なり部を、前記透明基板の裏面側から前記微分干渉光学系を介して撮像し、電子画像データにする撮像手段と、
前記電子画像データに対し、請求項3に記載のステップ(Q)ないしステップ(W)を実行する画像処理手段と
を備えたことを特徴とする基板の実装状態検査装置。 - 前記特定方向は、前記微分干渉光学系の観察像においてコントラストの強弱が変化する方向であることを特徴とする請求項7または請求項8に記載の基板の実装状態検査装置。
- 前記所定の距離は、前記暗画素群の大きさに基づいて定められたことを特徴とする請求項7ないし請求項9のいずれか1項に記載の基板の実装状態検査装置。
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