TWI237279B - Method of layering green sheet and method of producing laminated ceramic electronic component - Google Patents

Description

1237279 五、發明說明（1) 【發明所屬之技術領域】 ^ ‘明係有關生胚薄板之層積方法及層積陶签帝^ 一 L的；造方法’更詳細說之係電生杯， ^接著電極轉印時，使該作業有效率薄板 【先前技術】 卞L适仃的方法。 層積陶瓷電容器等之層積陶瓷電子元件時^ ^ 準備由陶瓷粉末、黏人漸丨rh· ^ w 电丁凡仵時，通常 脂等）、可塑劑（鄰笨二;酉心』r丙烯J封脂、T縮駿樹 酸醋類）及有機溶劑（甲^ 、乙;;酵類、已二酸、麟 # - , fe) t ^ Α # ^(ΡΕΤ ^ ΡΡ 瓷生胚薄板。接著认加熱乾紐I ’剝離ΡΕΤ薄膜獲得陶 使之乾燥然I:之=面印刷内部電極 將該等生胚晶片Μ Ϊ層後斷4 M ^狀作為生胚晶片， 器等之電子元件Γ*Q ^ ，形成外部電極製造層積陶瓷電容 然而，在極薄的生胚薄板印刷内 有内部電極用糊膏中的冰劍蚀2剕内邛電極用糊貧時，會 或膨潤，電極糊膏滲入^ ^薄板的黏合劑成分溶解 路不良的發生原因。 /板中的不好情形，會成為短 接著於生胚體上形成電極’將之 良好地將電極從支持體 ^轉印方法。還有，為了 然後在上面形成電極的方法，^持體上先形成剝離層， 接著良好，在兩者之一止 + 、、了使生胚薄板與電極的 者及轉印黏著劑的方法也都 第5頁 2030-6399-PF(N2).ptd 1237279 五、發明說明（2) 被提出。 後將；i繞；電=::=面連續地轉印黏著劑之 ㈣性黏貼於支胚表面的黏著劑的 是會有在有面f二^广抑制黏貼’但 7時與使之移動的滚子之間產生滑動=，⑨支持體移 【發明内容】 碉動的問碭。 本發明有鑑於上述之實情， 有生胚薄板及/或電極層之屑 从於提供卷繞形成含 元件不會黏貼於支持薄板的^凡件的支持薄板時’層積 且，層積層積元件時，可以I 可以輕易地卷開，並 疋件剝離的生胚薄板之層積方、去、、上述支持薄板從層積 的係提供一種採用該生胚薄板之声還有，本發明的其他目 效率地製造層積陶莞電子元 9積方法，可以輕易且有 【實施方式】 -件的方法。 為了達成上述目的，本發 包括下列步驟： 之生胚薄板之層積方法， 在支持薄板的表面上’層積由 形成之層積元件，形成附有層積-电極層及/或生胚薄板 卷繞上述附有層積元件二支^件的支持薄板； 卷開上述卷體，將上述附^薄板，形成卷體·，以及 於應層積之層的上面，由上迷；㈢積元件的支持薄板放置 板，層積上述層積元件； "積元件撕下上述支持薄

2030-6399-PF(N2).ptd 1237279 五、發明說明（3) 等以板的裡面’有與上述層積元件的橫寬同 上的杈見的剝離容易化表面處理，而且，來& 刈離容易化表面處理的可以接著部分。 ’ '又 本發明之方法，在接著層層積於層積 巧效。也就是，在層積元件之表面形： 件ί;該層積元之支持薄“ ，為支持薄板之裡面的全面都要施加剝離容：：表^’ t裡面施加剝離容易化表面處理之情形，黏荖跋^持溥板 業。 ❹“有效率地進行支持薄板的剝離作考 ，本發明，由於可能黏著部分存在 面，在該裡面，可以容易 5於支持溥板之裡 持薄板剝離夾具。因此，：：：者：布(黏著薄板)等之支 #持薄板之裡面貼上黏著膠‘ 板時，在 率化。 作業（包含轉印及接著步驟）的效 還有，本發明之方法，於 述層積元件之橫寬同等以、f持溥板的裡面，施加與上 理。因此，即使卷繞附有 ，寬之剝離容易化表面處 積7L件之支持薄板，形成卷體

Hi 2030-6399-PF(N2).ptd 第7頁 1237279 五、發明說明（4) 時’層積元件之 體時，亦不會有 此’可以良好地 以貝獻在生胚薄 | ’本發明 &支持薄板之表 ，例如：硅處理 專。支持薄板並 上述可能黏 連續地或斷續地 分’係接著黏著 沿著支持薄板之 成。 施加上述剝 長方向連續地形 70件之支持薄板 板之裡面。 上述可能黏 形成在支持薄板 使只形成在支持 布等之夾具，但 是形成在兩側上 最好是在上 離容易化表面處 表面亦不會貼在支持薄板的裡面，卷開卷 層積元件之最表面層欠損等之意外。因 層積（包含轉印及接著步驟）層積元件， 板及/或電極層的薄層化及多層化。 ，剝離容易化表面處理，係為了能夠容易 面或裡面將層積元件剝離之表面處理， 、醇酸樹脂處理、三聚氰胺樹脂樹脂處理 ，特別被限定，列舉例如pET薄板等。 著部分，最好是沿著支持薄板之縱長 形成在上述支持薄板之裡面。可能黏著部 膠布等之剝離夾具之部分，該部分最好: 縱長方向連續地形成，不過也可斷續地^ T容易化表面處理之部分，最好是 f在上述支持薄板之裡面。卷繞附有層； 日、，層積7L件之表面連續地接觸於支持薄 著部分，於上述支持薄板之裡面， ::寬：向單側或兩側。可能黏著部 \之榼寬方向單側，也可以接著黏 為了使該接著更確實，可荽 者膠 。 ％員可此黏者部分最好 J支持薄板之表面的全面上，施 理。之後在支持薄板之表 ^这剝 衣囬上形成應被剝

2030-6399-PF(N2).ptd I麵

$ 8頁 1237279 沒有必要 之表面上 以上之剝 黏著部分 上述卷體 上述附有 從上述層 不用將從 層積層積 積會較容 層積元件 案之電極 極層之等 接著黏 也施加 離容易 具。不 4匕表面 下之部 之支持 在應層 ，層積 之支持 元件之 ，以及 圖案 圖案 ，切斷 層積元 積元件 卷體卷 元件， 易。 ，具有 層之間 級差別 五、發明說明（5) 離之層積元件， 過，在支持薄板 處理之橫寬同等 分亦可形成可能 最好是卷開 薄板，將切斷之 積之層的上面， 上述層積7C件。 薄板切斷即可只 支持薄板之後層 最好是上述 形成在該既定圖 層。為了解除電 層0 著膠布等之剝離夾 與裡面之剝離容易 化表面處理，在剩 上述附有層積元件 件之支持薄板放置 撕下上述支持薄板 開之附有層積元件 但在切斷附有層積 既定圖案之電極層 之二白部分之空白 ，最好是形成空白 本發明之層積陶瓷電子元件之製造方法，其特徵： 將使用上述之生胚薄板之層積方法所層積^声二 合劑處理且燒結。使用本發明之生胚“之層積 万凌Ik層積陶瓷電子元件，可以容易實現介電質層及/ 或内部電極層之薄層化及多層化。 曰 以下依據圖式之實施型態來說明本發明。 一首先’本發明之採用生胚薄板之層積方法所製造的電 子元件之某一實施型態，來說明有關層積陶瓷電容器的全 如第1圖所示，本實施型態之層積陶瓷電容器2，具有

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電極6及第2端子電極 及内部電極層12，該等 10之間。交互層積之一 容器素體4之第1端部的 連接。還有，交互層積 成在電容器素體4之第2 進行電連接。 如之後的詳細說明，如 a於陶兗生胚薄板l〇a。 限定，例如由鈦酸鈣、 質構成。各介電質層1〇 # m〜數百# m。特別是 下’再更好的是3 //m以 電容器素體（元件本體）4及第丨端 8電谷器素體4，具有介電質層1〇 内部電極層12交互層積在介電質層 方的内部電極層1 2，對於形成在^ 外側之第1端子電極6的内側進行電 之另一方的内部電極層丨2，對於形 端部的外側之第2端子電極8的内^ 本實施型態之内部電極層丨2， 第2〜12圖所示，形成轉印電極層12 介電質層10的材質，並無特別 鈦酸鋰及/或鈦酸鋇等之介電質材 的厚度，並無特別限定，一般為數 本實施型態最好是薄層化為5 # m以 下0 端子電極6及8的材質也無 銅合金、鎳及鎳合金等，另外 金專。端子電極6及8的厚度也 β m 〇 特別限定，通常是使用銅及 也可以使用銀及銀與鈀的合 無特別限定，通常為1 〇〜5 〇 電容器2的形狀及尺寸’對應目的及用途來 積6陶竟電/器2為長方體形狀的情形， 通吊為縱長〜5.6mm、最好是〇6〜3.㈣χ橫寬(〇 5.0mm、最好是〇.3 〜1·6ηπη)χ 厚度^ Q # 是0.3〜Unnn)。 旱度（〇.1〜1.9龍、最好 接著，說明本實施型態之層積陶竟電容器2的製造方

1237279 五、發明說明（7) 法之一例。 (1)首先，為了製造在燒結後構成如第i圖所示之介電 質層10之陶甍生胚薄板’準備介電質塗料（生胚薄板用塗 料）。 介電質塗料係由將介電質原料（陶竞粉體）及有機漆料 (vehicle )混練所得到之有機溶劑系塗料。 介電質原料可以從複合氧化物及氧化物之各種化a 物’例如碳酸鹽、石肖酸鹽、氫氧化物、有機金屬化合： 來適當^擇，可以混合使用。介電質原料通常是4 粒子以下，最好是ο.1〜3.0_左右的粉體。 且，為了形成極薄的生胚薄板，最好是能 厚度還細的粉體。 生胚溥板 有機漆料為溶解黏合劑樹脂於有 漆料之黏合劑樹脂，並無特別 便用有機 素、聚乙稀基丁縮路、丙稀= ;維 最好是使用聚乙烯基丁縮醛等之丁縮醛系黏5劑， 使用有機漆料之有機溶劑，並別；= 醇、乙醇、丁基卡必醇、丙酮、黧】限疋，例如萜品 黏合劑樹脂先至少在甲醇、乙醇、之有機溶劑。 種類以上的乙醇系溶劑溶解過遽成溶液兩：二U内之-加介電質粉體及其他的成分。高重人该浴液中最好添 溶解成溶劑，通常的方法的每阿么:的黏合劑樹脂很難 傾向。本實施型態的方法，將高重人塗料的分散性惡化的 於上述之好的溶解媒介，為=二度的黏合劑樹脂溶解 在该洛液中添加H粉體及其= 2030-6399-PF(N2).ptd 第11頁 麵 1237279 五、發明說明（8) 的成分，可以改善塗料分散性， 生。且，上述溶劑之外 卩制未溶解樹脂的發 度，且漆黏度隨時間變化之;=有=提高固形分濃 介電質塗料中，配合需 傾向。 塑劑、帶電除劑、介雷餅 a + j 3有攸各種分散劑、可 之添加物。 電貝、玻璃燒結料、絕緣體等所選擇 本實施型態，分散劑並益 稀基丁縮I系的非離子性分散劑，：好… (HLB)值為5〜6。分埒刺w "親水性•親油性平衡 5質量部以上U質量 質量部以下來添加。 疋0. 5質置部以上1. 〇 本實施型態，可塑劑最好是使用 (Dioctyl Phthalate(D0P))，直 二:西夂一”辛酉曰 質量部最好是4。質量部以上7。質黏合：樹脂_ 60皙詈邻。盥(U質里邛以下，更最好是40〜 60負里4肖其他的可塑劑比較，磷苯 在薄板強度及薄板的延展雙 ：敲-異辛“ 且’該可塑劑的含有量太少的話，薄 ;的延展變小’有可延展性變小的傾向。還有，含量過多 的話’可塑劑從薄板漏出(blee“ut)有3里夕 之可塑劑的偏析，有薄板之分散性低下的傾W生對核 黏合劑樹脂，其含量對於介電質粉體i 〇〇質量部最好 是I質量部以上6. 5質量部以下。黏合劑樹脂的含有量過少 的活有，專板強度低下且堆積（stack)性（層積時的接著 性）惡化的傾向。還有，黏合劑樹脂的含有曰量積過夺多的的話， 第12頁 2030-6399-PF(N2).ptd 1237279 五、發明說明（9) 有容易發生黏合劑樹脂的偏析及分散性變差的 表面光潔度有惡化的傾向。 、 ’專板 介電質塗料最好是含有帶電除劑，該帶 咪唑啉（Inudazoline)系帶電除劑。帶電除劑，/人旦好疋 於對於陶瓷粉體100質量部為〇. !〜質量部以上〇 ;二里旦對 ^下，更最好是0.25〜〇·5質量部。帶電除劑的增加貝γ 少的話，除去帶電的效果變，卜太多的話，薄板 太 潔度會惡化且有薄板強度惡化的傾向。除去帶電的^， ，活，仉陶瓷生胚薄板1 0a剝離支持體之載體薄板⑽ 容易發生靜電氣，容易有生胚薄板發生折皺等之意外、。 使用該介電質塗料，藉由刮刀法等，例如如第 不’在第2支持薄板之載體薄板3〇上，最好是形成厚声= 〇.5〜30 ^^更最好是〇.5〜1〇 ^左右的生胚薄板i〇a ^ = 胚薄板10a，形成在載體薄板3〇的表面後乾燥。生胚 10a的乾。燥溫度最好是5〇〜1〇(rc，乾燥時間最好是 分。乾燥後的生胚薄板丨〇a的厚度與乾燥前相比，收縮5〜 25%的厚度。乾燥後的生胚薄板的厚度最好是以下了 (2)有別於上述載體薄板3〇，如第2圖^)所示，另外 準備第1支持薄板之載體薄板20 ’而且形成剝離層22，而 且形成既定圖案之電極層12a，其中在沒有形成該電極層 12a之剝離層22的表面上形成實質與電極層12a相同厚户9 空白圖案層24。 載體薄板20及30，例如使用PET薄膜等，為了改善制 離性’最好是有施加剝離容易化表面處理。該等載體薄板 第13頁 2030-6399-PF(N2).ptd 1237279 五、發明說明（10) 20及30的厚度並無特別限定，最好是5〜1〇〇#m。該等載 體薄板2 0及3 0的厚度相同或不同皆可。 本實施型態如第2圖（A)所示，第1支持薄板之載體薄 板20表面20a全面施加有改善剝離性之剝離容易化表面處 理。有施加剝離容易化表面處理的部分作為全面處理部分 21a。在其表面，形成有電極層12a及空白圖案層24。且， 沒有形成電極層12a等之部分，定義為載體薄板2〇的裡 20b ° 、且*，剝離容易化表面處理，列舉於載體薄板2〇的表面 塗層硅等處理方法、表面塗層醇酸樹脂之方法、表面塗声 三聚氰胺樹脂之方法等。 日 載體薄板20的裡面20b，形成有部分施加剝離容易化 ，面處理之部分處理部分21b，及沒有表面處理之可能黏 著部分23。第2圖（B)之部分處理部分2ib的橫寬W1，對於 電極層12a及空白圖案層24的橫寬為同等以上的橫寬，比 載體薄板20的橫寬W窄，未處理部分之可能黏著部分23形 成在部分處理部分2 1 b的兩側。 y 可此黏著部分的橫寬最好是3〜30 mm，更最好是5〜 1 〇刪。且，本發明亦可沒有單側之可能黏著部分23。本 施型態之全面處理部分21a及部分處理21b，沿著載體薄 2〇之縱長方向X連續形成。還有，可能黏著部分23也沿著 載體薄板2 0之縱長方向X連續形成。 形成在載體薄板20的表面2 la之剝離層22，最好是含 有與第4圖之構成生胚薄板1〇a之介電質相同的介電質粒 第14頁 2030-6399-PF(N2).ptd 1237279 一 _— 五、發明說明（11) U有-該剝離層22 ’除了介電質粒子外含有黏合劑、 可塑劑、離型劑0介雷所 有的介電質抑；徑亦可與生胚薄板所含 百的；丨！貝粒子的粒徑相同，但最好是更小。 $ Μ =二施型態之剝離層22的厚度，最好是為電極層12a 好是設定為30%以下電極層的厚度最好是_以下，更最 剝離層2 2的塗敷方法並盔特 極薄，例如最好是使用線塗二且^ J必須形成為 法。且，剝離層的厚产的敷：或模具塗敷器之塗敷方 徑的線棒塗敷器來進；。擇不同之線棒直 度變薄，只要選擇小的線棒直徑即層敷厚 厚的的話，只要選擇粗的線棒直相=右要形成 丨。分。乾w度最好是50〜10。。。。乾燥時間最好是卜 剝離層2 2的黏合劑，例如由嫌 搭、聚乙稀醇縮丁縮酸（Pq1 e : Λ ^婦基丁縮 多稀、聚氨基甲酸醋、聚苯乙嫌 Btal)、聚乙婦醇、 形成之有機質， ：^：烯’以及由該等之共重合體 土肚厚扳1 0 a所含有之黏合劑相 最好是相同。 媚口 W相冋或不同皆可，但 剝離層2 2之可塑劑並盔特丨〜 醋、碟苯二甲酸二異辛0旨了己如鄰苯二甲酸 等。剝離層22含有之可塑劑，：=酸醋、乙二醇類 塑劑相同或不同皆可。 ，、生胚溥板l〇a所含有之可 第15頁 2030-6399-PF(N2).ptd 五、發明說明（12) 剝離層22之剝離劑並無特別限定，例如石蠟 ir，ra^ff^n):徵（wax)、娃_油等。剝離層22含有之剝離 g ，/、生胚薄板丨0a所含有之剝離劑相同或不同皆可。 # n Q離層2 2中含有黏合劑，對於介電質粒子1 〇 〇質量部 J 了疋2· 5〜20 0質量部，更最好是5〜3〇質量部，特別最 好疋8〜30質量部左右。 剝離層22中含有可塑冑，對於黏合劑量部為〇〜 量部，最好是2〇〜2〇〇質量部，更最好是50〜100質 η λ l離層2 2中含有剝離劑，對於黏合劑1 0 0質量部為〇〜 部、里部，最好是20〜50質量部，更最好是5〜20質量 一形成匐離層22於載體薄板20的表面後，如第2圖（a)所 ΐ極3=2』二1面’/既定圖案形成燒結後構成内部 電極層12之電極層12a。電極層12a的厚度最好是〇 V亦更可最好Λ%1、〜丨.0,左右。電極層12a的構成為單一 曰亦可或為2以上之組成相異之複數層亦可。 電極層1 2a例如藉由使用電極塗料之印刷法 形成方法，或蒸鍍、濺鍍等之薄膜法，可以形、 ， 肖由厚膜法之1種的網版印刷法或凹版印鮮 (gravure prinUng)，於剝離層22 的 二法 的情形，如下述來進行。 办成電極層12a 首先，準備電極塗料。電極塗料與由各種導 及合金形成之導電體材料、或形成燒結後之上述導電金體屬材 1237279 五、發明說明（13) 料之各種氧化物、有機 漆料混練調製。 、离化合物、或樹脂酸鹽等及有機 製造電極塗料時所佶 金或更是該等之混合物。、+導體材料，係使用Ni及…合 等，在形狀上並無特別限tu體材料為球狀、鱗片狀 可。還有，導體還有，混合該等形狀之物亦 最好是:使 維素有有合劑列舉例如乙基纖 聚乙烯醇、多烯、I蠢其^丁細醃、聚乙烯醇縮丁縮醛、 共重 之 體”〇=:::L黏心 何-醇、丁基卡必醇=任 劑含二量對於塗料全體最好是20〜55質量％ :右。。溶 ㈣二改善接Ϊ性’電極塗料最好可以含有可塑劑。可 二1牛例如鄰苯二甲酸丁酯苯甲醋（BBp :醋：己二酸、填酸醋、乙二醇類等。可塑劑/電本極-甲 ，對於黏合劑100質量部最好是1〇〜3〇〇質量 最好 〜2 0。質量部。且’可塑劑或黏著劑的 更最好 活’電極層12a的強度會有顯著低下的傾向。還有太：二 提：電極f 12a的轉印性’最好在電極塗料中添加可塑 及/或黏著劑，提升電極塗料的接著性及/或黏著性 以印刷法在剝離層22的表面形成既定圖案之電極塗料 第17頁 2030-6399-PF(N2).ptd 1237279 五、發明說明（14) 層之後，或之妯，在沒有形成電極層丨2 a的剝離層2 2的表 面，形成與電極層12a實質相同厚度的空白圖案層24。空 白圖案層2 4由與第4圖之；續士p； , 田，口之生胚溥板1 Oa相同的材質構成，以 同樣的=法形成。電極層12a及空白圖案層24配合需要乾 燥。乾燥溫度並無特別限定，但最好是7 〇〜丨2 〇 I， 時間最好是5〜15分。 导知' (3)別於上述载體薄板2〇及3〇，如第2圖（a)所示 準備第3支持薄板之載體薄板26。於該表面形成接著声 28 ’成為接著層轉印用薄板。載體曰 或30相同的薄板構成。 ，、戰體溥板20 比Ϊ f層28的組成，除了在沒有含有離型劑此點外，A 他^ ”剝離層22相同。也就是說，接著溆八 可=有；型劑。接著層28與構成生= ^ 一樣含有介電質粒子亦可，但在 ^ ^ 厚度薄的接著層的㈣，最好不粒子的粒徑 有，接著層28含有介電質粒"電貝粒子。還 徑最=:子…粒 者層28中含有可塑劑，對於黏合劑1〇〇 200質量部，最好是2〇〜2〇〇質 5里。為〇〜 量部。 又取計疋50〜1〇〇質 接著層28更含有帶電除 界面活性劑之中的一個，帶 在黏合劑（有機高分子材料） 是，接著層28中含有帶電除 劑，該帶電除劑含有咪唑啉系 電除劑的重量基準添加量最好 的重ϊ基準添加量以下。也就 劑，對於黏合劑1 0 〇質量部為〇

五、發明說明（15) ;2二質。量部，最好是2。〜，質量部，更最好是〜⑽ 比生二一左右，且最好是 著層28的厚度最好在生的平均粒徑薄。還有，接 接者層28的厚度太薄的話，接著力合低下 : 話’依存該接著層的厚戶焯 一 太厗的 生間隙，該體積分之件本體的内部容易產 領刀 < 靜電電容會有顯著低下的傾 接著層28藉由例如棒狀塗敷 V浸/塗敷器法、輕觸塗敷器以=成ΐ 第3支持薄板之载體薄板26的表面 成在 溫度並無特別限定 > 乾燥 是工〜5分。 仁竑好疋至咖〜8〇 C，乾燥時間最好 i，：L=: 實施型態係採用轉印法。也就 將載體薄板26之接著層28壓在電極 層12a及空白圖案層24的表面，之後藉由剝下載 電桎 26 ’將接者層28轉印在電極層心及空白圖案層24的表

:表ΐ :接著層28的轉印亦可施加於第4圖之生胚薄板W 轉印時的加熱溫度最好是4〇〜；[00。。，還有，加 =是0 2 15MPa。加壓為壓力機之加壓或壓純之加壓 白可’但最好是藉由一對軋輥來施加。 之後，將形成在第4圖之載體薄板3〇的表面之生胚薄 1237279 五、發明說明（16) ---- 板10a，經由接著層28，轉印在電極層12a及空白圖案層24 的上面。該轉印時的加熱及加壓為壓力機之加壓•加熱或 壓光輥之加壓•加熱皆可，但最好是藉由一對軋輥來施 加。該加熱溫度及加壓力與轉印接著層28時相同。 之後，如第5圖所示，轉印接著層28於生胚薄板1〇a的 表面。此時的轉印與第3圖接著層28的轉印相同。接著， 如第6圖所示，撕下載體薄板26的話，可以獲得層積元件 U1形成之附有層積元件之載體薄板2〇。層積元件…，最表 面有接著層28形成，内部具有生胚薄板1〇a及電極層12a之 5層的層積構造。 該層積元件U1的表面形成之載體薄板2〇，如第7圖所 不’被卷轉成卷體R。卷體R容易搬送及保管。被卷轉成卷 體R之附有層積元件之載體薄板2〇，如第8圖所示重疊。 也就是，如第8圖所示，形成在載體薄板2〇的表面之 層積元件υι的最上面之位置的接著層28，接觸形成在位置 於该上面之載體薄板2 〇的裡面2 〇 b之部分處理部分2 1 b，沒 有接觸可能黏著部分2 3。部分處理部分2 1 b係施加了剝離 谷易化表面處理之部分，接著層2 8即使接觸也不會接著。 因此，如第7圖所示，由卷體β可以容易卷開附有層積 元件之載體薄板2 0。而且，即使卷開附有層積元件之載體 薄板20 ’含有接著層28之層積元件U1之一部分也不會貼在 載體薄板2 0的裡面。 (5)搬送或保管卷體R後，卷開附有層積元件之載體薄 板2 0 ’配合需要將該薄板2 〇切斷成必要的長度，藉由轉印

2030-6399-PF(N2).ptd 第20頁 五、發明說明（17) 法層積層積元件U1:具體來說’首先，如第9圖所示，在

I型5i〇 = ί :、f Γ :外裝用生胚薄板40 (將沒有電極層形 成之生胚薄板複數層層積之屋的M 夕姑.兮从a曰積之与的層積體）所形成之載體薄 板6 0。之後，在該外裝用生胚舊刼 積元件m。 用生胚/專板4〇的上面，依序層積層 在層積元件U1層積時，蔣展 ― 板20的裡面20b㉟向上面，將声mU1戶斤形成之載體薄 生胚薄板40的上面。為了施將加層//㈣的接著層28麼在 .ffl , ^收马了鉍加加壓力於生胚薄板20，亦可 使用上型5 2，亦可將上刮w垃奋 下型50的方向。 生胚薄板40的裡面並壓向 之後，如第10圖所示，险 裡面20b，貼上作為剝離央且:气上型52，在生胚薄板2〇的 在生胚薄板2〇的裡面文C布(黏著薄請。 表面處理之可能黏著部分2 Ί，；子有未施加剝離容易化 上生胚薄板20的裡面。 以黏著膠布70可以方便貼 之後，將黏著膠布7 〇往 胚薄板20皆往上卷，如第丨丨哥卷的話’黏著膠布70及生 件U1剝離。反覆第9圖〜第i ^所不’生胚薄板20從層積元

Ui多數層積在外裝用生圖之動作，可以將層積元件 件U1，形成必要的層積數之f40的上面。多數層積層積元 後，在最上部層積外奘田丄胚薄板10a及電極層12a之 壓。 胃卜裝用生胚薄板40 ’然後進行最終加 最終加壓時的壓力最 度最好是40〜l〇〇°c。 疋0〜200MPa。還有，加熱溫 ^ ’將層積體切斷成既定尺寸， W279

保持溫度 保持時間 冷卻速度 時間 :100 1300 C、特別是1150 〜1250。。 〇· 5〜8小時、特別是1〜3小時 5〇〜500 C /時間、特別是200〜300 °C / 加濕之N2與Η,的混合氣體等 氣氣氣體 10-2p:以下匕？堯結9時之空氣氣氛中的氧分壓’最好在 / 特別疋10-2〜10—8pa下進行。超過上述範圍的 層會有氧化的傾向，還有，氧分壓太過低的 向U電極層的電極材料會引起異常燒結，冑中斷的傾 結=====度

1237279 五、發明說明（19) 熱處理時的保持溫度或最⑽ 、 於介電質材料的氧化不完全'皿二二上述砣圍的話’由 且與介電質==也Π，1氧化，容量低下並 氧分壓為比燒結時之還原向。熱處理時的 a〜丨Pa，更最好S1〇-HPa還分壓，最好是 介電質層!。之再氧化會困難，超過上圍：話」 述之條件。 其他的熱處理條件最好是下 保持時間：0〜6小時、特別是2〜5小時 冷卻速度：5 0〜5 0 0 °c / b4問 ^ 時間 c/時間、特別是100〜30(TC/ 氣氛氣體：加濕之N2氣體等 且，加濕N2氣體及混合氣體等時， 即可。在這情形，水溫最好是〇〜75 t 使用‘化态等 劑處理、燒結及熱處理，各自連浐每一右。還有脫黏合 亦可。將該等連續實行的情形，最二了亦可，或獨立實行 後，不要冷卻來變更氣氛氣體，合劑處理之 止持續升溫進行燒結，然後冷卻，到之保持溫度為 度時變更氣氛氣體進行熱處理。另一達…、處理之保持溫 行的情形，燒結時，最好是在Ν氣體面、’將忒等獨立實 氛氣體下升溫到脫黏合劑處理時之保2持:濕之^氣體之氣 氛氣體並且持績升溫，在冷卻到逵♦ 又之後、炎更氣 後，最好是再度變更Ν2氣體或加濕之N2m之^持=度之 2礼體虱巩氣體持續 I麵 m 2030-6399-PF(N2).ptd 第23頁 1237279 五、發明說明（20) ::二P之ί有二熱，理時，在N2氣體氣氛氣體下升溫到保持 肌度之後，亦可變更氣氛氣體，熱處 i保持 為加濕之乂氣體氣氛氣體。 亦可作 =樣所得到之燒結體（元件本體4)，例如施加 磨、喷砂等之端面研磨’烙上端子電極用塗料 端诗研 極6、8。端子電極用塗料的燒結條件，例如最 ：：： =料之混合氣體中，於6⑽〜，進㈣分鐘〜力=、 時左右。而且，配合需要藉由在端子電極6、8 j =形成焊墊層。且端子電極用塗料，用與上述電極 相同的來調製即可。 室料 :而:ΪΪΪΓ製造之本發明之層積陶瓷電容器係藉由焊錫 專而構裝於印刷電路基板上等，使用於各種電子機械等。 本實施型態之層積陶瓷電容器的製造方法的話， 不？壞或3形生胚薄板10a，能夠在生胚薄板10a之表面， 呈谷易且尚精度地轉印乾式型式之電極層12a。 而且，在本實施型態的製造方法，電極層或生胚薄板 之表面，藉由轉印法而形成接著層28，透過該接著層以而 層⑴，接著在生胚薄板1Ga之表面。在藉由形成接 者層28而將電極層12a來接著及轉印於生胚薄板i〇a之表面 時三可以不需要高磨力或熱#，進行在更低產及更低溫之 接著。，此，即使是在生胚薄板丨〇a極為薄之狀態下，可 以不破壞生胚薄板l〇a，能夠良好地層積電極層12a及生胚 薄板1 0 a，也不會發生短路不良等。 而且還有，在本實施型態，於電極層12a或生胚薄板 第24頁 2030-6399-PF(N2).ptd 1237279 五、發明說明（21) 1二之表面不用直接用塗敷法等形成接著層28，因 胚成並Λ著層28的成分不會滲入電極層i2a或生 =10a，並且可以形成極薄的接著。 产2度，可以變？為0.02〜°.3㈣左右。接細的厚 ^ 薄，由於接著層28的成分不會滲入電極層12a或生 :=l0a，所以相當有接著力，而且，電極層心或生胚 潯板10a的組成不會有壞影響之疑慮。 特別是依據本實施型態的話，由於可能黏著部分23 ，於支持薄板之載體薄板20的裡面2〇b上，該裡面2〇b，如 圖所示，可以容易裝上黏著膠布（黏著薄板）7〇等之剝 離夾具。因此，從層積元件W撕下載體薄板2〇時，將黏 膠布70貼在載體薄板20的裡面2〇b， 步驟）的效率化。 還有，在本實施型態的方法，於載體薄板2〇的裡面 2〇b，如第8圖所示，施加與層積元件u;l之橫寬同等以上之 k寬W1之剝離谷易化表面處理。因此，即使卷繞附有層積 元件之載體薄板20，形成卷體r時，層積元件jji之表面的、 接著層28亦不會貼在載體薄板2〇的裡面2〇b。因此，卷開 卷體R時，亦不會有層積元件U1之最表面層欠損等之意 外。因此，可以良好地層積（包含轉印及接著步驟）層積元 件υι，可以貢獻在介電質層10及/或内部電極層12的薄層 化及多層化。 曰 且，本發明並無限定在上述之實施型態，在本發明的 2030-6399-PF(N2).ptd 第25頁 1237279 五、發明說明（22) 範圍内可以進行種種改變。 例如本發明的方法並無限定在層積陶竟電容器的製造 :法，也可以適用作為其他的層積型電子元件的製造方 成在=二=實施型態，如第6圖及第7圖所示，形 =㈣之表面之層積元㈣為5層 層積元件U1並無限定為5層，幾層都可以。 載體薄板20之表面之層積元件^丨在 ^ y 層、内部電極層12a之單層件接 生胚薄板心之單 組合亦可。 镬者層28之單層，或該等之 如上述之說明依據本發明的 /或電極層之層積元件所形成％ έ有生胚薄板及 會貼上支持薄板的裡面，可以六，薄板時，層積元件不 元件時…從層積元件輕易；離支以薄：且，層積層積 2030-6399-PF(N2).ptd 第26頁 1237279 圖式簡單說明 第1圖為依照本發明之某一實施型能 電容器的概略剖視圖。 心所传之層積陶莞 第2圖的圖2(A)為表示製造第1圖之層 抑 步驟的要部剖視圖，圖2(B)為圖2(A)之支持舊—沾谷裔之 面圖。 又符溥板的要部背 示圖2(A)的連續步驟的要部剖視圖。 第圖的連續步驟的要部剖視圖。 ^5圖為表示第4圖的連續步驟的要部剖 f6圖為表示第4圖的連續步驟的要部剖視；。 第7圖為表示第6圖之附有声積元件 二 步驟的概略圖。 S 、 、支持薄板之卷繞 第8圖為表示卷繞後之支 視圖。 且狀態的要部剖 =圖為表示層:元件之層積方法的。 ^圖為表示第9圖的連續步驟的概略圖。 第11圖為表示第9圖的連續步驟的概略圖。 符號說明 電容器素體； 8〜第2端子電極； 1 0 a〜生胚薄板； 12a〜既定圖案之電極層； 20a〜載體薄板2〇的表二·’ 2〜層積陶瓷電容器； 6〜第1端子電極； 1 0〜介電質層； 1 2〜内部電極層； 2 〇〜載體薄板； 2〇b〜載體薄板2〇的裡面

2030-6399-PF(N2).ptd 第27頁 1237279 圖式簡單說明 21a - -全面處理部分； 21b 〜部分處理部分 22〜 剝離層； 23 - -可能黏著部分 24〜 空白圖案層； 26 - -載體薄板； 28〜 接著層； 30 - -載體薄板； 4 0〜 生胚薄板； 50 - <下型； 52〜 上型； 60〜 載體薄板； 70〜 黏著膠布。 2030-6399-PF(N2).ptd 第28頁

Claims (1)

1. Ϊ237279 六、申請專利範圍 1· 一種生胚薄板之層 在支持薄板的表面上，、方法，包括下列步驟： 形成之層積元件，形成.f積由電極層及/或生胚薄板 卷繞上述附有層積元I層積元件的支持薄板； 卷開上述卷體，將上的支持薄板，形成卷體；以及 於應層積之層的上面，由上\附有層積元件的支持薄板放置 板，層積上述層積元件；述層積元件撕下上述支持薄 且上述支持薄板的裡面 等以上的橫寬的剝離容易化^有與上述層積元件的橫寬同 剝離容易化表面處理的可^面處理，而且，形成有沒有 2. 如申請專利範圍 接著部分。 法，其中上述可以接著部、所。述_的生胚薄板之層積方 或間斷地形成在上述支…/;σ者支持薄板的縱向連續地 3. 如申請專利範以：的裡面。 、 法，其中上述剥離容易化、斤述的生胚薄板之層積方 向形成在上述支持薄板的^ ^理的部分係ϋ續地沿著縱 4·如申請專利範圍第丨~3 之層積方法’其中上述可 著 項所述的生胚薄板 裡面’形成在支持薄板的横向=上述支持薄板的 5.如申請專利範圍第二之側或兩侧。 之層積方法，…上述支3持員薄之板任-項所述的生庇薄^ :離容易化表面處理的寬同等以上的剥 6·如申料利範㈣1〜3項之任-項所述的生胚薄板 2030-6399-PF(N2).ptd 第29頁 Ϊ237279

   之層積方法 上。 其中接著層係層積在 上述層積元件的表 面 7 ·如申請專利範圍第j〜3項之任一 之層積方法，其中在上述支持薄板的搜員面所=鳴 板’並使用該接著薄板將上述支持薄丄# :接者薄 下。 汉甶上述層積元件撕 8 ·如申請專利範圍第1〜3項之任一 、 之層積方法’其中卷開上述卷體，切斷 '所述的生胚薄板 的支持薄板，所切斷的上述附有層積元述附有層積元件 置在應層積之層的上面，從上述層積$件的支持薄板係放 板，層積上述層積元件。 疋件撕下上述支持薄 9 ·如申請專利範圍第1〜3項之任_工 之層積方法，其中上述層積元件係，怠、斤述的生胚薄板 層，以及空白圖案層形成在該既定=有既定圖案的電極 白部分。 /、的電極層之間之空 10· —種層積陶瓷電子元件的製造 凊專利範圍第卜3項之任一項所述的，，將使用如申 所層積的層積體進行脫黏合劑處理薄板之層積方法 乂結。

   2030-6399-PF(N2).ptd 第30頁