TW594047B - Light control device - Google Patents

Description

594047 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關構成爲由變位（位移）可動板，而由裝載 於該可動板之鏡（子）或遮光板的位移，以進行切換光徑或 限制光徑（控制所通過之光量）的構造之光控制裝置。 【先前技術】 圖1 A係顯示作爲習知的此種光控制裝置一例子的光（ 學）開關之構造者，該光開關係形成用於切換互相成平行 且相反來入射之兩個入射光Bi，B2的光徑用之2x2光開關 〇 在可動板11上裝載有作爲光控制手段之4個鏡12，而 該等鏡12係如圖1A所示，予配置成對於各入射光Bi，B2 成45 °之角度。 可動板11係由兩支支承（槓）桿I3來支承成能朝與可 動板11之面成垂直方向變位，而該等支承臂13係形成從成 方形板狀的可動板1 1之互成相對向側面突出，且在可動板 11周圍，延著其3邊各展延著。該等支承桿13前端係各連 結固定於包圍著可動板1 1之框體1 4上的固定部1 5。 可動板1 1下方係如圖1B所示，令固定電極16隔著預定 間隔來成相對向配置，而形成有該固定電極16之基台17乃 使其周緣與框體Μ接合。與固定電極16成相對向的可動板 11，將作爲可動電極來產生功能。 而構成如上述之結構的光（學）開關係施加電壓於可 動板11和固定電極16，而由靜電力吸引可動板11於固定電極 -5 - (2) (2)594047 16會朝下方位移（變位），且由去除電壓而會回歸於原來 位置。 因此，形成可由伴隨著可動板11的位移而變位之鏡12來 實施切換光徑，亦即當可動板Π位於圖1B所示的位置時， 入射光，B2會由鏡12而反射，形成如附有箭標記之實線般 行進，並在可動板11朝下方位移時，鏡12會從光徑脫離而入 射光Βι，B2不會被反射，以維持原狀行進。 圖2及圖3係顯示該光（學）開關之製造方法（製造） 者，光開關係使用二枚之基板來製造。圖2的步驟S卜S4係 顯示上側基板之處理過程，圖3的步驟S5，S6，S7係顯示下 側基板之處理過程。 於本例，對於上側基板係如圖2所示，將使用以配置矽 (Si)層22，23於Si〇2層21兩面所形成的多層構造之SOI (Silicon On Insulator，ΐ夕在絕緣體上）基板24。以下，將 依序說明（製造）過程。 步驟S 1 :予以形成熱氧化膜25，26於SOI基板24表 背兩面。 步驟S2:以照相平板印刷來形成可動板，支承桿，固 定部圖型於表面側之熱氧化膜25上，且按照該圖型予以蝕 刻熱氧化膜25，進而，以該熱氧化膜圖型作爲掩蔽來蝕刻 Si層22。另一方面，背面側之熱氧化膜26上係由照相平版 印刷來形成框體圖型，且按照該圖型來蝕刻熱氧化膜26。 步驟S3 :予以蝕刻去除表面側之熱氧化膜25，而塗佈 ，圖型型成厚膜抗蝕劑來形成鏡基體，且塗布Αιι膜於其 -6- (3) (3)594047 表面來形成鏡（子）12。 步驟S4:蝕刻背面側之Si層23，進而蝕刻Si02層21來 形成框體I4。由而會在由Si層23和Si02層21所形成之框體 14的Si02層21上，將有2個固定部15在位，使得藉由支承 桿13來裝載有鏡12的可動板1 1會形成被支承於該等固定部 1 5之狀態。 另一方面，下側基板則使用著Si基板27。以下，將 參照圖3來說明各過程。 步驟S5:予以形成熱氧化膜28，29於Si基板27表背 兩面。 步驟S 6 :由照相平版印刷來形成固定電極圖型於表面 側的熱氧化膜28上，並按照該圖型來蝕刻熱氧化膜28。 步驟S7:以熱氧化膜28圖型作爲掩蔽來鈾刻Si基板 2 7預定之量後，予以蝕刻去除熱氧化膜28。由而，會形成 突出於基台17的固定電極16。 經由如上述之製程的Si基板27和SOI基板24，將裝載 框體14於該基台17上，並由例如黏著來加以固定而成爲一體 ，以致可完成圖1A，圖1B所示的光開關。 如上述之光開關，予以構成爲，可動板作爲可動電極， 而由靜電驅動來位移（變位）可動板，由而可由裝載於可 動板之鏡或遮光板的位移而進行切換光徑或限制光徑之構造 的光控制裝置，乃在於習知者形成爲令可動板朝著其厚度方 向，亦即朝著與板面成垂直方向驅動位移者。 因此，用於靜電驅動可動板的對方固定電極需要與可動 (4) (4)594047 板的板面成相對向來配置，但要使如此配置之可動板（可 動電極）和固定電極由一枚（一片）基板來製造，實事上 極爲困難，爲此，如圖ΙΑ，1B，圖2及圖3所示，將採用所 謂使用二枚之基板來各別製造該等，並使用黏著等的手段來 接合成爲一體化之製造方法。 以致在習知技術，必需對於二枚基板各別地以照相平板 印刷來進行所謂之圖型形成或蝕刻的製程，以該狀況言，會 花費工日，又需要接合（黏著）工作，也會由該工作而花 費工日，使得製造成爲煩雜且麻煩。 【發明內容】 [發明揭示] 本發明之目的乃鑑於上述問題，擬提供一種能以少的製 程且以良好之精（確）度來製造的光控制裝置者。 依據本發明之光控制裝置，其特徵爲： 包括有：基體；具有互成相對向之側面的可動板；從上 述可動板之上述側面互相朝相反方向，且與上述可動板成平 行展延，而各前端固定於上述基體，以支承上述可動板朝其 板面之內方向可彈性位移的至少一對支承（槓）桿；用於 對於上述基體成相對性地朝上述可動板之板面內方向驅動該 可動板用的驅動手段；及配設於上述可動板上，而用於響應 於由上述驅動手段驅動上述可動板所形成之位移來控制入射 光束用的光控制手段， 而上述可動板，上述支承桿，上述基體及上述驅動手段 -8 - (5) (5)594047 係從一枚基板以蝕刻所形成。 上述驅動手段也可構成爲包括有突出形成於上述各兩側 面之可動平板電極，和與該等可動平板電極成相對向所配置 的固定平板電極。 或也可構成上述驅動手段包括有突出形成於上述各兩側 面的可動梳齒形電極，及與該等可動梳齒形電極成相對向所 配置之固定梳齒形電極。 上述光控制裝置也可構成爲上述成對之支承桿對於上述 側面具有預定之傾斜角度，且對於上述可動板的上述位移方 向成平行之中心線配置成對稱，而驅動手段乃在位移方向各 配置於可動板兩端，而支承桿可由該等驅動手段之驅動而產 生快速動作。 上述光控制裝置也可構成爲上述成對之支承桿對於上述 側面具有預定之傾斜角度，且對於上述可動板的上述位移方 向成平行之中心線配置成對%，而驅動手段係作成爲具有複 數之熱膨脹體和變換（轉換）該熱膨脹體的熱膨脹爲上述 位移方向的推壓力用之複數變換機構組，而可賦予正反兩方 向之推壓力於可動體，由而由變換機構來推壓可動體時，會 使支承桿產生彈簧動作，以驅動位移可動板。 上述光控制裝置也可構成爲上述光控制手段由鏡所構形 成，以變更入射光束之光徑，或上述光控制手段也可構成爲 由朝上述可動板的移動方向而變化透射率之遮光板所構成， 以控制入射光束的透射量。 又上述光控制裝置也可構成爲上述驅動手段係由突出形 -9- (6) (6)594047 成於上述各兩側面之可動平板電極，及與該等可動平板電極 成相對向配置的固定平板電極所構成，或也可由突出形成於 上述各兩側面之可動梳齒形電極，及與可動梳齒形電極成相 對對向配置的固定梳齒形電極所構成。 上述光控制裝置也可構成爲將使用以配置矽層於Si02 層兩面所形成之多層基板一方作爲上述基板，而在另一方 矽層形成光纖固定用V溝。 【實施方式】 將參照圖式來說明本發明之實施例。 圖4係顯示作爲依據本發明的光控制裝置之一實施例的 光開關構造。於本例，光開關係作成爲與圖ΙΑ，1B所示之 習知的光開關同樣之2x 2光開關，由配置Si層22，23於Si02 層21兩面所形成之多層構造的SOI基板24所形成者。再 者，於圖4中係顯示對於。〇2層21予以分離以位於上側之 Si層22所形成的部分。 圖5係顯示從上面觀看由下側之Si層23所形成的部分之 構造，首先，將參照圖5來說明該下側部分的構造。 可動板3 1係作成爲方形板狀，而從互成相對向之側面 31a，31b，成對之寬度狹窄之支承桿32，以形成位於同一直 線上且朝相反方向突出展延。支承桿32係與可動板31板面 31c成平行，且與側面31a，3 lb成垂直伸延。於本例係從各 側面31a，31b各突出2支，而配設有兩對之支承桿32。 該等支承桿32前端係連結固定於各配置在左右的基體33 —1 〇— (7) ，而可動板3 1係形成藉由兩對之支承桿3 2可朝X方向位移狀 來對於基體33成中間支承的構造。再者，以下，將以如圖5 中所示，令與可動板3 1板面3 1 c及側面3 1 a，3 1 b爲平行之方 向作爲X，而與側面31a，31b爲垂直方向作爲Y。 在於可動板3 1之X方向一端側的兩側面3 1 a，3 1 b，形成 有可動梳齒形電極34各朝Y方向突出，而該等可動梳齒形電 極34係由朝Y方向展延之基部34a，及以等間隔朝Y方向排列 於該基部34a且朝X方展延之梳齒34b所構成。 而與可動梳齒形電極34成相對向所配置的固定梳齒形電 極35係由朝Y方向展延之基部35a，及以等間隔朝Y方向排列 且朝X方向展延之梳齒所形成，並配置爲與兩個可動梳齒形 電極34互相嚙合著。在本例，將由該等之可動梳齒形電極34 和固定梳齒形電極35來構成可由靜電驅動來使可動板3 1朝X 方向位移用之驅動手段。 另一方，在上側Si層22係如圖4所示形成開口 36於中央 ，而再在該開口 36之Y方向兩側，形成有光纖固定用的V溝 各2條朝Y方向展延。在於該等V溝37，雖未在圖示予以顯示 ，各裝載固定有例如具備有透鏡於端部之光纖，亦即，配置 位於同一直線上而成對的兩對光纖。 而作爲位於開口 36內之光控制手段的4個鏡38，該基體 乃由Si層22所形成，且藉由Si02層21來裝載於由Si層23所形 成的可動板31上。該等鏡38係配置成對於入射光成45°角度 〇 圖6A，6B係顯示在具有如上述之構造的光開關之切換 —11一 (8) (8)594047 光徑的狀態者，將施加電壓於成圖6A狀態之可動梳齒形電 極34和固定梳齒形電極35之間，就可由靜電力而成如圖6B所 示可動梳齒形電極34會被固定梳齒形電極吸取，由而支承臂 32產生彎曲，可動板31朝X方向位移，而實施切換光徑。 接著，將參照圖7之步驟S1〜S9來說明該光開關的製作 方法。再者，Si層23係顯示梳齒34b，35b部分之剖面，Si層 22係顯示V溝37部分的剖面。 步驟S1:予以形成熱氧化膜25，26於SOI基板24的表 背兩面。 步驟S2:由照相平版印刷及蝕刻來形成貫穿孔41於背 面側之熱氧化膜26的所需要之地方。 步驟S3:予以生成Aii/Ci·膜於背面側，予以蝕刻加工成 電極襯墊形狀。再者，該電極襯墊42雖未顯示於圖4及圖5， 及配設於基體33及固定梳齒形電極35的基部35a。 步驟S4:由照相平版印刷來形成可動板，支承桿，基 體，可動梳齒形電極，固定梳齒形電極之圖型於背面側的熱 氧化膜26上。 步驟S5 :由照相平版印刷來形成光纖固定用之V溝，開 口，鏡的圖型於表面側之熱氧化膜25上，且按照該圖型來鈾 刻熱氧化膜25。 步驟S6:由進行深的乾式蝕刻且熱氧化膜圖型26作爲 掩蔽來蝕刻背面側之Si層23。 步驟S7:由K0H之濕式蝕刻且熱氧化膜圖型25作爲掩蔽 來蝕刻表面側的Si層22。 -12- (9) (9)594047 步驟S8:以塗敷Αιι膜43於鏡基體表面來形成鏡38。 步驟S9:實施Si02之濕式蝕刻。由而，基體33及固定 梳齒形電極35基部35&上之3丨02層21，鏡38下面的8丨02層 21，電極襯墊42部分之熱氧化膜26以外的Si02會以蝕刻去 除，由而可完成圖4所示之光開關。 如以上所說明，本例係形成驅動可動板3 1成與其板面 31c平行來實施切換光徑者，且對於一枚基板實施一次之照 相平版印刷，蝕刻，就可形成支承於支承臂32的可動板31及 用於驅動位移可動板3 1用之可動梳齒形電極34和固定梳齒形 電極35所形成的驅動手段者。 因此，較使用二枚基板來作成令可動板朝垂直方向於其 板面驅動位移之構造的習知光開關，能以更少的程序來製造 光開關。 又由於形成由實施靜電驅動可動板用之固定電極和可動 電極所形成的驅動手段（以照相平版印刷，蝕刻來實施） ，能同時予以進行，以致能以良好精度來製成該等，因此， 要形成如顯示於本例之互相會嚙合之高精度梳齒形電極也可 容易地來進行。 再者，在本例，將製造可動體及驅動手段用之基板採用 了矽基板，該矽基板係形成SOI基板一方作爲Si層，且對於 另一方Si層用於形成光纖固定用的v溝或鏡用者，因此，形 成能使成立體性配置之該等可動板或V溝及鏡予以簡易且作 成爲小型來構造者。 圖8係顯示替代可動梳齒形電極34和固定梳齒形電極35 -13- (10) (10)594047 ’而採用成相對向配置可動平板電極51與固定平板電極52之 例子者，亦即，也可替代梳齒形電極來使用如此之平板電極 作爲驅動手段。 再者，在於如此之平板型的相對向電極時，倘若可動電 極和固定電極形成接觸時之凡得瓦（Van der Waal’s)力大 於支承臂32的彈性恢復（回行）力時，會產生恒久（長久） 性之黏貼（即使無施加電壓，可動電極不會回歸於原來位 置的現象）。爲了迴避該情況之產生，雖需要在可動電極 並不會吸著於固定電極的範圍內施加電壓，以實施非接觸驅 動，但該時，對於切換光束之光徑所需要的驅動距離D，有 需要令可動電極和固定電極間成爲其3倍之3D以上，而以如 此之狀態下，要驅動僅有距離D所需要的驅動電壓係需要較 接觸驅動有約5.2倍之高的驅動電壓。 對於該狀況，梳齒型之相對向電極係能在容易進行位置 控制下來形成非接觸驅動，且以低電壓來驅動之處，可謂極 爲有利。 於上述實施例，雖說明了裝載鏡於可動板上，而由可動 板之位移來位移鏡子，以進行切換光徑的例子，但本發明並 不限定於如此之光開關而已，也可適用於替代鏡子而使能朝 X方向成連續性或階段性地變化透射率的遮光板作爲光控制 手段來裝載於可動板上，而以朝X方向位移遮光板來進行限 制光徑（控制所通過的光量）之所謂可變光衰減器（VOA) 等之光控制裝置。 然而，於上述之使用靜電力的驅動手段時，可動板之位 14- (11) (11)594047 移因僅由電壓施加狀態下才能保持，爲此，爲了保持位移可 動板的狀態下之光徑，就必要持續地予以施加電壓。又爲此 ，具有所謂停電時等之產生驅動電源側之障礙時，會成爲無 法保持光徑的問題。 而圖9及圖示係顯示爲了對付如此之問題，而對於圖4及 圖5所示之構造，作成爲具有保持可動可動板位置功能（以 下，將稱爲閂鎖功能）的構造者。 於本例，兩對之支承桿32係如圖10所示，形成對於可動 板31側面31a，3 lb具有預定傾斜角展延，且成對之支承臂乃 對於平行於可動板3 IX方向的中心線形成對稱。 亦即，以傾斜支承桿32成如此，而作成爲對於驅動距離 可令所儲存於支承桿32之能量會具有峰値（尖峰）的Bistable (雙穩定） 之構造者。 如圖11A所示，平行於Y方向的支承桿時，會伴隨著X方 向之驅動量增減，而會使所儲存於支承桿的能量形成單調增 加，單調減少，且如此之支承桿時，爲了保持所期盼之驅動 量，有必需持續地從外部施加與在該位置的支承桿之能量相 配的能量。 而對於該狀況，在對於Y方向成傾斜所配置之支承桿時 ，將如圖11B所示會對於驅動量的增減，產生峰値於儲存在 支承桿之能量，由而只要從外部施加會超過峰値之能量時， 即使停止施加來自外部之能量，也可成爲保持一定位置者。 亦即，只要賦予會超過峰値之能量時，支承桿會產生快速動 作，而成穩定地保持預定之驅動位置。 -15- (12) (12)594047 再者，爲使具有如此之預定傾斜角度的支承桿32進行彈 簧動作而使可動板31朝X方向位移，乃需要正反兩方向之力 (靜電吸取力），爲此，如圖9及圖10所示，於本例也會在可 動板X方向另一端側與一端側同樣，予以配置由可動梳齒形 電極34和固定梳齒形電極35所形成的驅動手段。 圖12A，12B係顯示由配置於該等可動板31之X方向兩側 的驅動手段來驅動位移可動板3 1，而進行切換光徑之狀態者 〇 以上，驅動手段雖以例顯示由相對向電極所形成，且由 靜電力來驅動可動板的構造，但也可利用靜電力以外之力來 位移可動板。 圖1 3及圖1 4係作爲一例顯示具備利用熱膨脹的驅動手段 之光開關者，於本例，支承桿32係與圖9及圖10所示之光開 關同樣對於Y方向形成傾斜著，而可進行彈簧動作者。再者 ，於圖13乃省略由圖9所示之SOI基板24上側的Si層22構成 爲同樣部之圖示。又圖14係顯示從上面觀看以圖13所示之下 側Si層23所構成的部分構造。 以下，將參照圖14來說明有關驅動手段之構造。 於本例，驅動位移可動板3 1用的驅動手段係由熱膨脹體 61，及轉換該熱膨脹體61的熱膨脹成爲朝X方向按壓力用之 變換機構62所形成，且具備4組的該等組，而由各2組之驅動 手段來使在X方向之正反方向按壓（推壓）力形成可朝X方 向賦予朝Y方向突出形成於可動板31兩側面31a，31b的按壓 部71者。 -16- (13) (13)594047 熱膨脹體61係朝Y方向展延，其基端係連結固定於固定 電極63。 變換機構62係由具備按壓突起64於L字狀之臂65，及在 X方向令位置少許錯開所突設之寬度狹窄的連結部66，67所 形成，而一方連結部66連結於熱膨脹體61前端，另一方連結 部67係連結固定於固定電極68。再者，臂65之連結部66所突 設的部分Ρ形成爲力點，而連結部67所突設之部分Q，將會 作爲支點來產生作用。 構成爲如上述之驅動手段係以施加電壓於固定電極63， 68間來流電流於熱膨脹體61，而由焦耳熱來使熱膨脹體61產 生膨脹。 而由該熱膨脹會推動力點Ρ，由而臂65會朝支點Q周圍 轉動，致使按壓突起64大致朝X方向位移，且推壓突設於可 動板31的按壓部71。 而由該按壓力，支承桿32會產生快速動作，且從圖15Α 所示之狀態位移成圖15Β所示之狀態，由而可令可動體31產 生位移者。 再者，當要使可動體31朝反方向位移時，就施加電壓於 會對於可動體31賦予反方向推力力用側之固定電極63，68間 〇 按壓突起64的位移量係假定支點Q和力點Ρ間的距離爲b ，L字狀臂65之設有按突起64的邊長爲L時，會對於熱膨脹 體61之熱膨脹量a，獲得對應於L/b之比的大之位移量。 再者，於本例，支承臂32係如圖13及圖14所示，藉由阻 (14) (14)594047 擋（制動）部73來固定於基體33，由而成爲更容易產生彈 簧動作。 [發明之效果] 如以上所說明，依據本發明，可動板乃作成與基板面成 平行位移者，而驅動位移可動板用之驅動手段係形成與要形 成可動板用的基板以同一基板所形成，因而，能由一次之照 相平板印刷，蝕刻來形成該等。 因此，能以少的程序且以良好精度來製造由位移可動板 而使裝載於該動板之鏡或遮光板產生位移，以作爲要實施切 換光徑或控制光量的構造之可變光衰減器等的光控制裝置。 再者，將驅動手段由可動梳齒形電極和固定梳齒形電極 所構成時，就可容易地實施位置控制且可迴避黏著，且能意 圖驅動電壓成爲低電壓。 又令支承桿對於可動板側面形成少許傾斜，就能使支承 桿會產生彈簧動作，且可構成爲具有閂鎖（鎖定）功能之 裝置。並一旦位移了可動板之後，並不需要保持該狀態用的 電源供應，因此，可增進對於例如驅動電源的可靠性。 【圖式簡單說明】 圖1 A係顯示習知光開關之構造的平面圖。 圖1B係在圖1A之IB- 1B線剖面圖。 圖2係說明圖1A，圖1B所示之光開關的製程前半用之圖 -18- (15) (15)594047 圖3係說明光開關的製程後半用之圖。 圖4係顯示本發明的實施例之分解斜視（立體）圖。 圖5係顯示由圖4之下側Si層所形成的部分構造之平面圖 〇 圖6A係顯示圖4所示之光開關的光徑切換動作之圖。 圖6B係顯示圖4所示之光開關的光徑切換動作之圖。 圖7係說明圖4所示之光開關的製程用之圖。 圖8係說明本發明之其他實施例用的圖。 圖9係以分離顯示本發明之再另一實施例的斜視圖。 圖10係顯示由圖9之下側Si層所形成的部分構造之平面 圖。 圖11A係顯示圖5之實施例時的驅動量和支承桿所儲存 之能量的關係用曲線圖。 圖11B係顯示圖9之實施例時的驅動量和支承桿所儲存 之能量的關係用曲線圖。 圖12A係顯示圖9所示之光開關的光徑切換動作之一方 狀態的圖。 圖12B係顯示光徑切換動作之另一方狀態的圖。 圖1 3係本發明之其他實施例的省略一部分之斜視圖。 圖14係圖13之平面圖。 圖15A係說明朝一方側驅動位移圖13所示之光開關.可動 板的狀態用之部分平面圖。 圖15B係說明朝另一方側驅動位移光開關的可動板狀態 用之部分平面圖。 -19- (16)594047 [主要元件對照表] 11 可動板 12 鏡（子） 13 支承（槓）桿 14 框體 15 固定部 16 固定電極 17 基台 21 SiCh 層 23， 23 矽 （Si)層 24 SOI基板 25 熱氧化膜 26 熱氧化膜 27 Si基板 28，29 熱氧化膜 31 可動板 31a ， 31b 側面 31c 板面 32 支承桿 33 基體 34 可動梳齒形電極 34a 基部 34b 梳齒 35 固定梳齒形電極 35a 基部 35b 梳齒 36 開口 37 V溝 38 鏡 41 貫穿孔 42 電極襯墊 43 Au膜 51 可動平板電極 52 固定壓板電極 61 熱膨脹體 62 變換機構 63 固定電極 64 按壓（推壓）突起 65 L字狀臂 66， 67 連接部 68 固定電極 71 按壓部 72 阻擋部 B】， B2 入射光 P 力點 Q 支點 -20-

Claims (1)

1. (1) (1)594047 拾、申請專利範圍 1. 一種光控制裝置，其特徵爲： 包括：基體；具有互成相對向之側面的可動板；從上述 可動板之上述側面互相朝相反方向，且與上述可動板成平行 展延，而各前端固定於上述基體，以支承上述可動板朝其板 面之內方向可彈性位移的至少一對支承（槓）桿；用於對 於上述基體成相對性地朝上述可動板的板面內方向驅動該可 動板用的驅動手段；及配設於上述可動板上，而用於響應於 由上述驅動手段驅動可動板所形成之位移來控制入射光束用 的光（學）控制手段， 而上述可動板、上述支承桿、上述基體及上述驅動手段 係從一枚（一片）基板以蝕刻所形成。 2. 如申請專利範圍第1項之光控制裝置，其中上述驅動 手段包括有：突出形成於上述各兩側面之可動平板電極； 及與該等可動平板電極成相對向所配置之固定平板電極。 3. 如申請專利範圍第1項之光控制裝置，其中上述驅動 手段包括有：突出形成於上述各兩側面之可動梳齒形電極 ;及與該等可動梳齒形電極成相對向所配置之固定梳齒形 電極。 4 .如申請專利範圍第2或3項之光控制裝置，其中上述 成對之支承桿對於上述側面具有預定之傾斜角度，且對於上 述可動板的上述位移方向成平行之中心線配置成對稱， 而驅動手段係在上述位移方向各配置於上述可動板之兩 端，而支承桿可由該等驅動手段之驅動而產生快速動作。 -21- (2) (2)594047 5·如申請專利範圍第1項之光控制裝置，其中上述成對 之支承桿對於上述側面具有預定之傾斜角度，且對於上述可 動板的上述位移方向成平行之中心線配置成對稱， 而驅動手段係作成爲具有複數之熱膨脹體和變換該熱膨 脹體的熱膨脹爲上述位移方向的按壓力用之複數變換機構組 ，而可賦予正反兩方向之推壓力於可動體， 以致構成爲由上述變換機構來推壓上述可動體而使上述 支承桿產生快速動作，以驅動位移可動板之構造。 6.如申請專利範圍第1、2、3或5項之光控制裝置，其 中上述光控制手段係包括有上述可動板會在預定之位置予以 朝預定方向改變上述光束的光徑用之鏡（子）。 7·如申請專利範圍第1、2、3或5項之光控制裝置，其 中上述光控制手段係包括有會在上述可動板的移動方向予以 變化光透射率用的遮光板。 8.如申請專利範圍第1、2、3或5項之光控制裝置，其 中上述基板係作成矽基板，且該矽基板係作成配置矽層於 H Si〇2層之兩面所形成的多層基板之~方矽層，而形成有光纖 固定用V溝於另一方之上述矽層。 -,22-