571109 經濟部智慧財產局員工消費合作社印麥 A7 五、發明說明（1 ) 、 〔技術背景〕 本發明係關於半導體積體電路之檢查裝置及其檢查方法 以及口己錄此心旦‘式之記憶媒體，該半導體積體電路（例 如液时驅動用1C等）之構造係内藏複數個DA轉換器，將各 DA轉換器（輸出電壓，各由對應之輸出端子予以輸出者； 特別係關万；可在極短的時間内高精確度的執行上述各D a轉 換器之輸出電壓的測試之檢查裝置及其檢查方法以及記錄 此檢查程式之記憶媒體。 〔習知技術〕 隨著政晶面板之高精密化，該液晶面板所搭載之液晶驅 動為LSI亦進展爲多輸出化多灰階化。爲了進行此灰階顯示 ，液晶驅動器LSI之各輸出電路係内藏DA轉換器，輸出灰 階電壓。例如在6位元DA轉換器之情況可進行料灰階顯示 ’在8位το DA轉換器之情況可進行256灰階顯示。 在此種液晶驅動器LSI之測試中，如圖1所示，執行判別 各D A轉換器所輸出之各灰階電壓値是否全部在正常範圍内 (PASS)之測試。 圖2表示以m輸出之液晶驅動器LSI 51之測試爲例説明習 知測試方法的概念圖。 使用半導體測試裝置（測試器）52，向液晶驅動器Lsi Η 供給輸入信號，依内藏之各dA轉換器（未圖示），輸出第i 灰階之電壓電平。此第1灰階之電壓電平係經由各輸出端 子（輸出1、···、輸出m)，被導出至液晶驅動器LSI51外部， 各被輸入至測試器52之各輸出端子（V)。於測試器52中，將 -4- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21G X 297公爱)" ---------------------訂---------· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 571109 A7 B7 五、發明說明（2 部 智 慧 財 員 工 消 費 矩陣開關依序進行開.關控制，使用内藏之高精密度類比 電壓測足，器(未圖示），每次測定1輸出直至m輸出爲止。 、序測疋第1灰階之灰階電壓値，將其測定結果逐次儲存 於/内藏^資料記憶體（未圖示）。將處理此以灰階數分重覆 執仃最後將全輸出（m輸出卜全灰階分（η灰階）之資料 ，儲存於記憶體。於是，mXn個資料便被儲存於記憶體。 將儲存於此記憶體之資料，使用測試器52中内藏之演算裝 置（未圖示）進行演算處理，進行各輸出之各灰階電壓値的 測試。 於此種液晶驅動器LSI51之測試中，隨著多輸出化、多 灰階化（進展，資料取入呈增加，且資料處理時間增大， 測試時間大幅增大。又，隨著灰階數增加，各灰階電壓間 (電，差變微小’有必要對全灰階電壓値進行極高精密度 之測足，此更招致測試時間增大。 :此’因液晶驅動器LSI之多輸出化、多灰階化之進展 二量^ ’及必須對全灰階輸 出电壓進仃極高精密度之電壓測定，造成測 加，測試費用激增。 ^ 〔發明之揭示〕 本發明係㈣習知課題而研發者，其提供 路之檢查裝置及其檢查方法以及記綠其檢查程度之^= 體，其可在短時間進行高精密度之檢查。 ， 爲達成以上目的，本發明之要旨係如下述記載。 首先’本發明之第1要旨係爲_ 曰货5 Α種+導體積體電路之檢 讀 背 Sj 之、 吕丁 |_____ 一。_ 本紙張尺度綱巾關家鮮（CNTS)A4規格（21G X 297公爱
I 571109 A7 五、發明說明（3 B7 經 濟 部 智 慧 財 產 局 消 費 合 作 社 印 製 查裝置’其半導體積，兩改、 ' a弘各您構迻係内藏複數個DA轉換器 知孩各DA轉換器之輪出兩 ^ 私壓，各由對應的輸出端子予以 輸出者，其特徵在於具備： 丁 電壓測定機構，並# :目，丨令& 〇 ^ 輸、 DA轉換器對應的特定 〈各灰階的特定輸出電壓値，算出該特定 W値與㈣應的期望電壓値的敎差分電壓値者； 差動放大機構，其係於各灰 人丨自甲，將上述特定輸出端子 以外的上述各輸出端子所輸出之 ^场子 — 心合翱出電壓値，及上述特 疋輸出電壓値予以輸入，將各 分左刀％壓値予以算出並放大 有»及 ,比較判別機構，其係判別該差動放大機構所輸出之放大 差分電壓値是否在0應射請應的灰階之上料定差分電 壓値而設足的判別電壓範園内者。 弘 次之，本發明之第2要旨係 電路之檢查裝置，其中 …1要…導體積體 ^置差動放大機構，其係與上述特定輸出端子以外的輸 出端子的個數數目相同者； 該差動放大機構，其係被輸人由所對應之上述特定輸出 端子以外的輸出端子所輸出之輸出電壓値，並且共通 輸入上述特定輸出_電壓値者； 將來自上述差動放大機構之各放大 、 入左刀包壓，於上述比 較判別機構中’同時予以判別者。 又，本發明之第3要旨係第1或第2要旨之半導體積體電 路（檢查裝置’其中歧上述判別電壓範園之上限 -6 - 私坠 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) «裝 II---------線在 -U - 本纸張尺度適用中國國家標準（CNTS)A4規格（210 X 297公爱） 五、發明說明（4 ) 及下限電壓値，係將盥上 h m Ά ^ ^ ^ 、劝主电壓値對應而預先設定的 壓値及下限基準電壓値，僅增減與上述特定差 为廷壓値對應的一定値而設定者。 、：之，本發明之第4要旨係—種半導體積體電路之檢查 η、半導體積體電路之構造係内藏複數個DA轉換器， =各ΙΜ轉換器之輸“壓，各由對應的輸出端子予以輸 出者’其特徵在於： =定轉換器對應之特定輸出端子所輸出之各灰階 庳争^出電壓値予以測定；將該特定輸出電愿値與所對 尤m電壓値之特定差分電壓値予以算出； :::階中’將上述特定輸出端子以外之上述各輸出端 尸:的各輸出電壓値’及上述特定輸出電壓値予以輸 入，舲各差分電壓値予以算出並放大； =孩放大差分電壓値是否在因應於所對應的灰階之上 述特疋是分電壓值而設定的判別電壓範圍内。 、、又’本發明（第5要旨係一種半導體積體電路之檢查方 法二其半導體積體電路之構造係内藏複數個以轉換器，將 ΓΓ?:器之輸出電壓，各由對應的輸出端子予以輸 出者，其特徵在於： 將與料DA轉換器對應之料輸出端子所輸出之各灰階 ^特疋輸出電壓値予以測定；將該特定輸出電壓値與所對 Μ <期望電壓値之特定差分電壓値予以算出； 於=灰階中，將上述特定輸出端子以外之上述各輸出端 所車則出的各輸出電壓値，及上述特定輸出電壓値予以輸 5 571109 五、發明說明（ 入；將各差分電壓值予以算出並放大，· 在判別該放大差分電壓值是否在因應於所對應的灰階之 上述特定差分電壓值而妓的判別電壓範圍内時， 將對應於各輸出端子之放大差分電壓值予以平行的輸 入同時判別该放大差分電壓值是否在上述判別電壓範園 内0 /人之’本發明〈第6要旨係如第4或第5要旨之半導體積 &私路疋檢查万法’其中規定上述判別電壓範圍之上限電 壓值及下限電壓值，係將與上述期望電壓值對應而預先設 定的上限基準電壓值及下限基準電壓值，僅增減與上述特 定差分電壓值對應的一定值而設定者。 又，本發明之第7要旨係如前述第6要旨之半導體積體電 各之各X旦方法，其中判別上述特定輸出電壓值是否在上述 上限及下限基準電壓值所規定的基準電壓範圍内； 在上述特足輸出電壓值在上述基準電壓範圍外之情況， 將上述半導體積體電路視為不良品； 前述第6要旨之+導體積體電路之檢查方法其特徵為在 上述特足差分電壓值在上述基準電壓範圍内之情況，上述 放大差分電壓在上述判別電壓範圍内便視為良品，若在上 述判別電壓範圍外便視為不良品者。 /人之，本發明之第8要旨係如前述第4要旨之半導體積體 電檢查方法，其中半導體積體電路之各端子之輸出= 灰階變化時，即使上述判別電壓範圍之上限值及下限值變 化’上述判別電壓範圍之幅度亦為一定者。 又，本發明之第9要旨係如第5要旨之半導體積體電路之 -8 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21Q χ 297公爱） --------訂---------線 (請先閱讀背面t注意^項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（6 ) h查万法，其中半導體積體電路之各端子之輸出的灰階變 化時，即使上述判別電壓範圍之上限値及下限値變化，上 述判別電壓範圍之幅度亦爲一定者。 +次之’本發明之第1G要旨如前述第6要旨之半導體積體 電路之檢查方法，其中半導體積體電路之各端子之輸出的 灰階變化時，即使上述判別電壓範圍之上限値及下限値變 化，上述判別電壓範圍之幅度亦爲一定者。 又 +又：本發明之第叫旨係如前述第7要旨之半導體積體 電路之檢查方法，其中半導體積體電路之各端子之輸出的 灰階變化時，即使上述判別電壓範園之上限値及下限㈣ 化上述判別電壓範圍之幅度亦爲一定者。 /入〈’本發明《第12要旨係如前述第7要旨之 主 體:路，檢查方法，其中在判別出不良品爲止，將 別私壓範園 < 幅度予以階段性縮小者。 二：：明之第13要旨係如前述第12要旨之半導體積體 :!= 其中依據判別出不良品時之上述判別電 壓㈣的各輸出電壓之偏差，將半導體積體電 分類者。 刀級 /人之’本發明《第14要旨係一種記憶媒體，其係 =積體電路之檢查程式者，其特徵在於可執行以;檢： 壓在各!複數個DA轉換器，將該各DA轉㈣之輸出電 士應的輸出端子予以輸出之半導體積體電路時， 本紙張尺度適财關家蘇⑵Q X 297 & 將與特定DA轉換器對應之特定輸出端子所輸出之各^’ 571109 A7 五、發明說明（ B7 濟 部 智 慧 財 產 消 費 合 作 社 印 7特定輸出電壓値予以測定；將該特定輸 應之期望電壓値之特定差分電壓値予以算出； 所對 子所二：！中’將上述特足輸出端子以外之上述各輸出端 予所輸出的各輸出電壓値，及 上迷特疋輸出電壓値予以輸 入，私各差分電壓値予以算出並放大； 、判別4放大差分電壓値是否在因應於所對應的灰階之上 述特足差分電壓値而設定的判別電壓範圍内。 又，本發明之第15要旨係_種記憶媒體，其係記綠半導體積體電路之檢查程序者，其特徵在於可執行以下檢查方 法： 一 在檢查内藏複數個DA轉換器，將該各〇八轉換器電壓， 各由對應的輸出端子予以輸出之半導體積體電路時， 將與特定DA轉換器對應之特定輸出端子所輸出之各灰階 的特定輸出電壓値予以測定；將該特定輸出電壓値與所對 應之期望電壓値之特定差分電壓値予以算出； 於各灰階中，將上述特定輸出端子以外之上述各輸出端 子所輸出的各輸出電壓値，及上述特定輸出電壓値予以輸 入，將各差分電壓値予以算出並放大； 在判別該放大差分電壓値是否在因應於所對應的灰階之 上逑特足差分電壓値而設定的判別電壓範圍内時， 將對應於各輸出端子之放大差分電壓値予以平行的輸入 ，同時判別孩放大差分電壓値是否在上述判別電壓範圍内。 次t，本發明之第16要旨係如前述第14或第^要旨之記 憶媒體，其係記錄可執行半導體積體電路之檢查方法的檢 -10 --------itiT--------- (請先閱讀背面之>i意事項再填寫本頁〕 ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱一 571109 $ A7 五、發明說明（8 一 ^ ^者’其中規疋上述判別電壓範圍之上限電壓値及下 P艮電壓値，係將與上述期望電壓値對應而預先設定的上限 基準％壓値及下限基準電壓値，僅增減與上述特定差分電 I値對應的一定値而設定者。 又，本發明I第17要旨係如前述第16要旨之記憶媒體， 其係記錄可執行半導體積體電路之檢查方法的檢查程式者 其I判別上述特定輸出電壓値是否在上述上限及下限基 準電壓値所規定的基準電壓範圍内； 在上逑特疋輸出電壓値在上述基準電壓範圍外之情況， 將上述半導體積體電路視爲不良品； 」己:彔有半導體積體電路之檢查程式而可實行檢查方法之 前述第16要旨所記載之記憶媒體，在上述特定差分電壓値 在ϋ基準％壓範圍内之情況，上述放大差分電壓若在上 込判別％壓聋已圍内便視爲良品，若在上述判別電壓範圍外 便視爲不良品者。 又’本發明之第18要旨係如前述第14要旨之記憶媒體， 其係記錄可執行半導體積體電路之檢查方法的檢查程式者 ，其中半導體積體電路之各端子之輸出的灰階變化時，即 使上述判別電壓範圍之上限値及下限値變化，上述判別電 壓範圍之幅度亦爲一定者。 又’本發明之第19要旨係如前述第15要旨之記憶媒體， 其係記錄可執行半導體積體電路之檢查方法的檢查程式者 ’其中半導體積體電路之各端子之輸出的灰階變化時，即 使上述判別電壓範園之上限値及下限値變化，上述判別電 I________ -11 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2〗〇 χ 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) |裝--------訂----- 571109 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格咖χ 297公爱 A7 五、發明說明（ 壓範圍之幅度亦為一定者。 又’本發明之第2〇要旨俏a a 係如則述弟16要旨之記憶媒體， 其係記錄可執行半導體積髀兩 -、a %路 < 檢查方法的檢查程式 者，其中半導體積體電路之夂）山 <各啼子之輸出的灰階變化時， 即使上述判別電壓範圍之上 艮值及下限值變化，上述判別 電壓範圍之幅度亦為一定者。 又’本發明之第21要旨仿a a 曰係如則述罘Π要旨之記憶媒體， 其係記錄可執行半導體積髀兩 八%路疋檢查方法的檢查程式 者，其中半導體積體電路之夂 合又谷挪子之輸出的灰階變化時， 即使上述判別電壓筋圚$ μ 靶固之上限值及下限值變化，上述判 電壓範圍之幅度亦為一定者。 又’本發明之第22要旨係如前述第17要旨之記憶媒體， 其係記錄可執行半導體積體電路之檢查方法的檢查程式 者〃中在判別出不良品為止，將上述判別電壓範圍之幅 度予以階段性縮小者。 又’本發明之第23要旨係如前述第以要旨之記憶媒體， 其係記錄可執行半導體積體電路之檢查方法的檢查程式 者-中依據判別出不良品時之上述判別電壓範圍的各輸 出電壓之偏差，將半導體積體電路予以分級分類者。 ,,依相關之本發明之半導體積體電路的檢查裝置及檢查方 法首先，依電壓測足機構，高精密度的測定特定DA轉換 器所輸出之與該特定DA轉換器對應的特定輸出端子所輸出 《複數灰階電壓的電壓值，又，算出各载電壓值與對應 期望電壓值（偏差電壓值（數位值）。此偏差電壓值被儲存 12- -------------------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 571109 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（1〇 ) 於檢查器内部之記憶體。次之，上述特定端子以外之各輸 出端子所輸出之各DA轉換器的輸出電壓，各於差動放大器 中’與上述特定DA轉換器之輸出電壓比較。其比較結果， 即，來自差動放大器之放大差分電壓被輸入至比較判定機 構（比較益）。於比較器中，判定來自上述差動放大器之放 大差分電壓是否在特定之電壓範園（㈣電壓範圍）内。規 定此特定電壓範圍之上限電壓値及下限電壓値，對於與由 上述特定輸出端子所輸出之灰階電壓値等於期望電壓値之 情況對應而設定之上限及下限基準電壓値，被增減與上述 偏差電壓値對應的電壓値而設定。依此，成爲電壓比較基 準《上述之上限電壓値及下限電壓値，被因應於特定DA轉 換器所輸出之各灰階電壓與期望値電壓之偏差而修正，可 正確的進行各灰階電壓之檢查。 依相關之本發明之半導體積體電路的檢查裝置及檢查方 法，即使在檢查多輸出化、多灰階化之液晶驅動器[Μ等半 導體積體電路，依比較器之各放大差分電壓之同時判定， 及依僅對特定輸出端子所輸出之特定DA轉換器的輸出電壓 實施高精確度的電壓測定即可，可期大幅縮短檢查時間， 可大幅削減檢查成本。又，依羞動放大器之差動放大動作 (將各輸入電壓間之電位差以特定倍率（如〗〇〇倍或其以上之 倍率）予以放大），可期提升後段的比較器之比較動作之精 確度’可進行高精確度之檢度。 〔圖式説明〕 圖1爲説明習知檢查裝置用之電壓波形圖。 -13- 本纸張尺度過用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 χ 297公釐） . 一^裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 五、發明說明（11) 圖2為習知檢查裝置之構造圖。 圖3為本發明之液晶驅 之方塊圖。 詻LSI扣且裝置之第1實施形態 圖4為說明第丨奋 t 圖5為第!實施二广之動作用之電壓波形圖。 九<比較器之電路構造圖。 圖6為第1實施形態之檢杳 m Ί ^ ^ —裝置的私查動作流程圖。 圖7為本發明之液晶驅 之方塊圖。 力斋LSIfe旦裝置之第2實施形態 圖8為在第3實施形態中， 動的判定之說明圖。 ❹依據上限值及下限值之變 :9為第3實施形態之檢查裝置的檢查動作流程圖。 〔發明之具體實施例〕 ” 乂下基於本發明之實施形態，詳細說明本發明。 弟1實施形態 Μ圖3表不本發明之液晶驅動器⑶檢查裝置之第1實施形 :的万塊圖。於圖3中，表示進行m輸出、n灰階之半導體 W包路所成〈液晶驅動器lsi之試驗的情況。又，圖4為 、十圖3所TF私查裝置之動作說明所供給之電壓波形圖。 ，晶驅動器LSI丨之具有m個輸出端子3]、…、3-m。各輸 叫f 1 各連接於液晶驅動器[SI 1所内藏之DA轉換 器W、…、2-m之輸出端子。各DA轉換器W、…、各輸出n 灰階之灰階電壓。 設DA轉換器2-1為特定DA轉換器，設與其連接之第1輸 出端子3-1所輸出之電壓為特定輸出電壓（特定灰階電壓） -14- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規;2977^| 571109 五、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 發明說明（12 。此特定灰階電壓被輸入至檢查器4 (檢查裝置）上所設入 鬲精確度電壓測定器5。第1輸出端子3-〗所依序輸出之n灰 階的各特定灰階電壓，在電壓測定器5中，其電壓値被高 精確度的測定，以數位數輸出。又，在各灰階，算出所測 定之特定灰階電壓値（數位數）及理想値（期望電壓値：數 位値）之差（圖4所示之Δνΐ、Δν2等）。此特定差分電壓値 係儲存於檢查器4所設之記憶體（未圖示）。 第2輸出端子3-2至第m輸出端子3-m爲止之各輸出端子所 輸出之各灰階電壓，各被輸入至差動放大器6_丨、··.、 之一方之輸入端子。又，於差動放大器6-1、.··、卜㈣·〗）之 另一方之輸入端子被共通的輸入由上述第丨輸入端子所 輸出之各特定灰階電壓。各差動放大.........6(.0係 將液晶驅動器LSI之第2輸出端子3_2、…、第m輸出端子、(瓜^) 所輸出之各灰階電壓與第1輸出端子之3β1所輸出之灰階電 壓之間之偏差電壓，以特定的倍率（例如1〇〇倍或其以上的 倍率）放大位之放大差分電壓，予以輸出。依此差動放大 器之偏差電壓値之放大處理，可實現後段的比較器之高精 確度的比較判定。 各差動放大器6-1、…、6-(m-l)所輸出之放大差分電壓， 各被輸入至檢查器4所設之比較器7。比較器7係爲比較判別 機構，同時被進行被輸入之來自各差動放大器6β1、·.. 、 1)之放大差分電壓，各是否在特定之電壓範圍内之判定， 將表示其判別結果的信號予以輸出。即，將表示全~ @輸 入電壓皆在特定電壓範園内，或何者之輸入電壓係在 ^ -15- ^ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）
|裝---- V J · n ϋ I ϋ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 571109 A7 B7 五、發明說明（13、 部 智 慧 員 工 消 費 電壓範圍外之判別結果予以輸出。 此比較器7之電路構造圖示於圖5。圖5中，叫及匕 1 .....以加·1)及仏㈦·1)各為電壓比較器，13].....13_ (ηι·1)及14係為邏輯積電路又 厭r圓、 、a纟又，VQHl(1=1〜η)係為特定電 壓範圍<上限的上限電壓值，觀ι (同）係為特定電壓 之下限的下限壓值。 黾壓比較器11-1、···、11 f 、久 ΙΙ-(ηι-Ι)各將來自差動放大器6_ 1上、之放大差+電壓與上述上限電壓值V⑽作比 較’ ^前者比後者低，則輸出”Η"電平信號，又若前者比 後者南，則輸出’’ L "電平信號。 ρ同樣的，電壓比較器叫、…、12切）各將來自差動放 大益疋放大差分電壓與上述下限電壓值v〇Hi作比較，若前 者比後者高，則輸出·，Η.,電平信號，又，若前者比後者低 則輸出n L π電平信號。 依相關構造，被輸入之各差動放大器6-1、…、卜㈦…之 放大差刀私壓右全邵在特足電壓範圍内，則邏輯積電路Μ <輸出成為”Η ”電平，若任一者之放大差分電壓在特定電 壓範園外，則邏輯積電路14之輸出成為，，L”電平。 此比較器7之上述上限電壓值v〇Hi及下限電壓值，係 基於在各灰階預先設定之基準上限電壓值v〇Hsi (丨=1〜…， 及基準下限電壓值V0LSi (i=1〜n)而設定。即，基準上限電 壓值VOHSi (i=l〜n)及基準下限電壓值v〇Lsi (i=i〜叫係如 圖4所示，係因應於各灰階之理想值而預先設定，將依此 基準上限電壓值及基準下限電壓值所規定之範圍，做為基 -16- 土 項 頁 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱一
I 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 571109 A7 B7 五、發明說明（14) 〜 準電壓範圍。上限電壓値VOHi及下限電壓値VOLi各係設定 於施以以下修正後之値。 VOHi = VOHSi 士 A Vi ·(差動放大器之放大率） VOLi = VOLSi 士 AVi ·(差動放大器之放大率） 設上限電壓値VOHi及下限電壓値VOLi所規定之範圍爲判 定電塵範圍。又，上述基準上限電壓値及基準下限電壓値 ，對於全部之灰階電壓（自第1灰階的灰階電壓至第η灰階之 灰階電壓爲止之全灰階電壓），設定共通的電壓値亦可。 又，判定電壓範圍之幅度係爲一定之故，判別放大差動 電壓之比較器7之判定電壓爲一定値即可，不需繁雜之設 定。 以下説明此檢查裝置之動作。圖6表示此檢查裝置之檢 查動作的流程圖。 首先，第1灰階之灰階電壓係以可被第1輸出端子3-1輸 出之方式，設定輸出狀態（S1)，使液晶驅動器LSI 1動作。 此時，第1輸出端子3 - 1所輸出之特定灰階電壓係被輸入至 檢查器4之電壓測定器5，測定共値（S2)。在上述測定動作 之過程，比較特定灰階電壓値是否在基準電壓範圍内（S3) 。若檢查出特定灰階電壓値在基準電壓範圍外，於該點使 檢查動作結束，將對象LSI視爲不良品予以處理（S4)。 若檢查出特定灰階電壓値在基準電壓範圍内，則計算電 壓測定値與第1灰階之特定灰階電壓之理想値的差（測定値 -理想値）（S5)，將其結果（Δνΐ)儲存於記憶體（S6)。判斷是 否已爲第η灰階（S7)，在成爲第η灰階爲止進入下一灰階之 -17- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------------訂---------線 0^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 571109 五、發明說明（15) 測疋（S8)。在執行第n灰階之灰階電壓之測定為止時，次 1執仃自第2輸出端子3_2至第m輸出端子3_爪為止之各 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 輪出端子所輸出之各灰階電壓的檢查。此乃係依下述方式 進行。 以將第1灰階之灰階電壓由全部的輸出端子3心、…、3 (m 1作出之方式，设定控制液晶驅動器ST〗叩9)。此時， 由第1輸出端子3-1所輸出之灰階電壓係被共通的輸入各差 動=大器6]、…、6_(心1)之一方之輸入端子。又，第2輸 出端子3_2、…、第爪輸出端子3_m所輸出之各灰階電壓係被 ，入各對應的差動放大器6_1、…、6-(πΜ)之另一方的輸入 端子。基於該等各輸入電壓，差動放大器W、…、卜加屮 之仏出液曰曰驅動器LSI 1之第2輸出端子以後之各輸出端 子所輸出之第1灰階之灰階電壓，與同第丨輸出端子所輸出 之第1灰階之特定灰階電壓之差（S10)。將所檢測出之差分 電壓值由各差動放大器以特定之倍率（例如丨〇 〇倍或其以上 之倍率）丁以放大（S11)，該放大差分電壓被平行輸入至檢 查器4之比較器7 〇 將規定判定電壓範圍之上限電壓值V〇H1及下限電壓值 VOL1設定為以下之值（S12)。即.，將特定電壓測定值與第夏 灰階之特定灰階電壓之理想值的差（△▽；!)，自記憶體予以 讀出，設定上限電壓值VOH1及下限電壓值VOL1。 V0H1=V0HS1土 AV1 ·(差動放大器之放大率） V0L1=V0LS1 土 AV卜（差動放大器之放大率） 於比較器7中，判別差分放大值是否各在上述判定電壓 -18- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐 571109 Α7 Β7 五、發明說明（16 ) 範圍内（S13)。於比較器7之判別中，在邏輯積電路^之輸 出A L電平，某輸出電壓被判定在上述判定電壓範圍外 t情況下，於茲時點結束檢查動作，將檢查對象之[幻視爲 不良品予以處理（S14)。另一方面，在邏輯積電路14之輸出 爲·’ H”電平，全部的輸出電壓皆被判定在上述判定電壓範 圍内I情況下，判別是否已爲第n灰階（S15)。在此情況因 並非第η灰階之故，進入第2灰階之灰階電壓檢查（si6)。 次，以將第2灰階之灰階電壓由全部的輸出端子3_丨、… 、3-(nM)輸出之方式，設定控制液晶驅動器LSI i(s9)。此 時，第1輸出端子3-1所輸出之特定灰階電壓係被共通的輸 入各差動放大器6]、···、之一方的輸入端子。又， 第2輸出端子3·2.....第m輸出端子3_m所輸出之各灰階電 壓’各被輸入至對應的差動放大器卜丨、…、卜加…之另一 方之輸入端子。基於該等各輸入電壓，差動放大器64、… 、6-(m_l)檢測出液晶驅動器LSI !之第2輸出端子以後之各 輸出端子所輸出之第2灰階的灰階電壓，與由同第i輸出端 子所輸出之第2灰階的特定灰階電壓之差（sl〇)。將所檢測 出之差分電壓値由各差動放大器以特定之倍率（例如1〇〇倍 或其以上之倍率）予以放大（S11)，將此放大差分電壓平行 輸入至檢查器4之比較器7。 將規定判定電壓範圍之上限電壓値v〇H 2及下限電壓値 VOL 2各設定爲以下之値（S12)。即，將特定電壓測定値與 第1灰階之特定灰階電壓之理想値的差（Δν2)，自記憶體予 以讀出，設定上限電壓値V0H 2及下限電壓値v〇l 2。 ____19_ 本纸張尺度適用中關家標準（CNS)A4規格⑵Q χ 297公髮） ----- ------!看 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁} 訂---- 線Φ. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 571109 A7 B7 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 五、發明說明（17 ) VOH2-V〇HS2±AV2·(差動放大器之放大率） VOL2-V〇LS2±AV2·(差動放大器之放大率） —、匕幸又器7中，判別差分放大値是否各在上述判定電壓 範圍内（S13)。於比較器7之判射，在邏輯積電路w之輸 出爲”L”電平’某輸出電壓被判定在上述判定電壓範圍外之 情況下’於該時點結束檢查動作，將檢查對象之⑶視爲不 良予以處理（SM) °另—方面，在邏輯積電路14之輸出爲 W電平’全部的輸出電壓皆被判定在上述判定電壓範圍 内〈，況下’判別是否已爲第η灰階（S15)。在此情況下因 並非罘η灰階之故，進入第3灰階之灰階電壓檢查（§16)。 以下同樣的作法執行到第n灰階之灰階電壓檢查爲止， 精此便可執行液晶驅動器LSI内藏之各〇八轉換器所輸出之 各灰階電壓之檢查。 又，於上述實施形態中，雖係以第i輸出端子所輸出之 特足灰階電壓作爲比較用基準電壓，但當然亦可用其他輸 出端子所輸出之灰階電壓作爲特定灰階電壓。 第2實施形態 圖7表示本發明之液晶驅動器LSI檢查裝置之第2實施形 悲的方塊圖。此檢查裝置41，並不設置個差動放大器 ’而係如圖7所示，設置1個差動放大器61、及由1組電壓 比較器111、112與1個邏輯積電路m所成之比較器71，並 且在液晶驅動器LSI之第2至第m爲止之各輸出端子3-2、… 、3-m，與差動放大器61之間，設置輸入切換電路8。如此 了依輸入切換電路8使差動放大器61逐次執行比較動作 ------------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 571109 A7 B7 五、發明說明（18 ) ; 。在此情況下，在邏輯積電路131之輸出爲’· L”電平之時點 ，結束檢查，將對象之LSI視爲不良品予以處理。另一方面 ，在結束了自第2輸出端子至第m輸出端子爲止之檢查， 邏輯積電路之輸出全部爲” Η ”電平時，判定爲良品。又， 差動放大器之個數亦可爲2個或（m-2)個以下之任意個數。 第3實施形態 第3實施形態之檢查裝置雖在構造上與第1實施形態相同 ，但檢查方法相異。於圖3中，由具有複數個DA轉換器之 液晶驅動器所輸出之灰階電壓波形圖（圖4 )，對理想電壓 値發生偏差電壓AVI、AV2。此係在液晶驅動器内之各個 DA轉換器輸出電壓中發生偏差電壓。此偏差電壓之檢查在 液晶驅動器之試驗中亦非常重要。 習知方式係以高精確度類比電壓測定器進行各灰階電壓 之電壓測定，於檢查器進行演算求取偏差電壓之偏差値， 但依本實施形態，則係如圖3所示，爲了要將差動放大器 6-1.....6-(m-l)所輸出之差分電壓輸入至比較器7進行比 較判定，比較器7之VH、VL電壓可於經常爲一定的電壓進 行試驗。惟，使此VH、VL電壓各別變化，求取在VH側自 PASS狀態型化至FAIL狀態之値，.以及在VL側自PASS狀態變 化至FAIL狀態之値的電壓差。 以下示出實際數値作爲具體例予以詳述。 第3實施形態之檢查方法如圖8所示，對理想値設定 VOH= 2V、VOL= 1V，判別是否在此範圍内，但本實施形態 可更進一步掌握裝置之實力。 -21 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------------衣--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 571109 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（19 ) - 首先，將VOH= 2 V以每次例如〇. 1 v使其逐次變動，檢測 出成爲FAIL的點。即對理想値，接腳（PIN)間之電壓偏差的 最大値係爲FAIL點。圖8之2接腳爲不良的最大値的情況， VOH= 1.80 V爲 FAIL點。 同樣的將VOL= IV以每次〇·1 V使其逐次變動，檢測出成 爲FAIL的點。此情況下，對理想値，接腳間偏差的最小値 成爲FAIL點。圖8中，1接腳爲不的最小値之情況， VOL=1.20 V 爲 FAIL點。 此處檢測出之VOH= 1·8 V及VOL= 1·2 V係爲接腳間之電 壓偏差’依此値可依用途進行分級分類。 以圖9説明此檢查動作。圖9爲表示此檢查裝置之檢查動 作之流程圖。 S 1〜S 13係進行與第i實施形態所説明之相同的處理， 故予以省略説明於檢查器4之比較器7中，各進行差分電壓 値是否在判定電壓範圍内之判別（S13)，在邏輯積電路Μ t輸出爲"H”電平，全部的輸出電壓（差分放大値）被判定 係在上述判定電壓範圍内之情況，將判定電壓範圍僅縮小 特定的値，設定判定電壓範圍（S25)。再回到s 13差分放大 値是否在判定電壓範圍内之判別。如此，1至邏輯積電路 14之輸出成爲”L”電平（判定爲不良）爲止，重覆進行s η及 S 25,將判定電壓範圍每次縮小〇1 v，逐漸階段性的予以 縮小。 甘於s 13之判定中，邏輯積電路17之輸出成爲"L"電平， 某差分電壓値被判定在上述判定電壓範園外之情況= ___ —___ - 22 - ‘紙張尺細⑽χ 297 公ί") ---------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 571109 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
五、發明說明（2〇 ) 輸出端子所輸出之輸出電壓的電壓偏差予以抽出（S 21)。 接著基於已進行判定之判定電壓範圍内所抽出的電壓偏差 進仃液晶驅動器LSI之分級分類22)。確認是否爲第η灰 1% (S 23) ’若非η灰階則再回到s 13。 以上説明係每次以〇1¥逐次變動，但若使此變動量較小 ’則可更加提升測定的精確度。 又，亦可作成執行圖6或圖9之檢查處理的程式，將其記 憶於記憶媒體，基於此使cpu執行。 如上所詳述，依本發明之半導體積體電路的檢查裝置及 法，係將特定輸出電壓値與對應的期望電壓値的特定差分 私壓値予以算出，將因應上述特定差分電壓値而設定之判 疋電壓範圍予以設定之故，電壓比較之基準判定電壓範圍 被因應於特定DA轉換器所輸出之特定輸出電壓與期望値電 壓之偏差而修正，可精確的進行各灰階電壓之檢查。 又，依差動放大器之差動放大動作，可期提升比較判定 機構的比較動作的精確度，可進行高精確度的檢查。 依本發明之半導體積體電路之檢查裝置及檢查方法，即 使在檢查多輸出化、多灰階化的液晶驅動器LSI等之半導體 積體電路，依比較判定機構之各放大差分電壓的同時判定 ，可提供在短時間即可進行高精確度的檢查之檢查裝置， 可大幅減少檢查成本。 依本發明之半導體積體電路之檢查裝置及檢查方法，係 將上限基準電壓値及下限基準電壓値，增減與上述特定差 分電壓値對應的一定値，以設定規定判定電壓範圍之上限 ---------------------訂---------線Φ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 571109 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（21 電壓値及下限電壓値之故，電壓比較之基準 :因應於特定DA轉換器所輸出之特定輸出電壓與 4〈偏差而修正’可精確的進行各灰 依本發明之半導體積體電路之檢查方法，可^查於 ^ ^ m -rr h λχ 因應於基 判：丰二广望電壓値之偏差而修正之判定在範圍， 一體電路之良莠之故’可高精確 進行艮莠判定。 7 依本發明之半導體積體電路之檢查方法，儘管灰階變動 ，判定電壓範圍之幅度仍爲—定之故，不需變動比較判定 機構之判定電壓，不需繁雜的設定。 依本發明之半導體積體電路之檢查方法，直至判定出不 —良品爲止，階段性的逐步縮小上述判定電壓範圍的幅度，、 猎此可使比較判定機構的判定基準逐步接近理想値，可得 知所檢查之半導體積體電路之實力。 亏 又可依輸出電壓之偏差値將裝置的實力予以分類，可擴 大所搭載之液晶面板的用途，此外依此亦可提升良品率， 而有助液晶驅動器之價格降低。依分級分類，即使原來爲 不良品的裝置，可用於偏差大亦無妨之用途上，作爲平價 裝置予以供給。 ' -24· _ --------訂-----—線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺巾關家鮮（CNS)A4祕 χ 297公i