TW546540B - An agent for reducing the substrate dependence of resist and a resist composition - Google Patents

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546540 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（1 ) 發萌背景 本發明係關於用作半導體設備等等之製造用之化學倍 增式正-或負-操作光阻劑組成物之構成物之基材依存性改 善劑，含該改善劑之光阻劑組成物，及使用該光阻劑組成 物之圖案形成方法。 以具有248ΠΠΙ之較矩輸出波長之1UF激元雷射代替i-線 光源（365nm)近來已回作微影製程中所用曝曬之光源，由 於起微米製造技術之需求使得半導體設備之積集度提昇。 因此，需要在數百毫焦耳下曝曬之一般解析-抑制型光阻 劑基於例如下列之理由而變得無用：因為使用激元雷射代 替水銀蒸氣燈，因此無法得到高能量；旦光阻劑在2 48 n id 下強力吸光（換言之，其穿透性不良）。因此，需要使用即 使在248nm下仍具有高穿透性且在數十毫焦耳下曝曬亦可 形成圖案之化學倍增式光阻劑。 然而，化學倍增式光阻劑會受基材之影響，因為其反 應機構可溶解抑制化合物（如鹼不可溶化合物或鹼不可溶 聚合物）由於在圖案形成過程中之曝曬能量而變成鹼可溶 ，即二步驟反應機構，其中因曝曬能量之故自光敏感性化 合物產生酸，且由於所產生之酸造成化學反應，因此鹼不 可溶化合物或聚合物變成鹼可溶。即*曝曬劑量之降低增 強了基材之邊界表面部份中之曝曬劑最微量差異之影響， 及鹼性基材及自基材釋出之水之影響。因此，在使用化學 倍增式光阻劑製造設備中，使用特殊之基材（例如，T i N， B P S G，等等）欲得到良好輪廓之圖案變成不可能，此點極 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

訂

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 3 9 6 5 1 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 546540 A7 B7 五、發明説明（2 ) 不利，此種基材依存性係嚴重之問題。 為了解決此問題，曾提出含有有機羧酸之光阻劑組成 物（例如，JP-A 9-6001， JP-A 9-6002， JP-A 9-6003，及 歐洲專利公開第6 7 9 9 5 1號），且曾提出此光阻劑組成物改 善特殊基材上之圖案輪廓。然而，含有有機羧酸之該光阻 劑組成物係不利，因為使用有機羧酸引起化學反應，而降 低基材依存性，此光阻劑組成物係為強酸，因此在儲存過 程中會損害其效能特性。為了減輕此缺點，應添加比較中 和有機羧酸所需之量大之鹼性化合物，卻又導致產生如敏 感度減低等等之問題。 據此，需要發展即使在特殊基材上亦可得到具有極佳 輪廓之圖案*且具有極佳儲存安定性及滿意之產能之高敏 感性光阻劑組成物。 發明概要 依此狀況觀之，本發明欲解決之問題係提供一種在使 用光阻劑組成物當作化學倍增式正-或負-操作為光阻劑組 成物形成圖案時，即使在特殊基材上亦可得到其良好輪廊 之细微圖案，且具有極佳儲存安定性，使形成具高敏感度 之圖案成為可能之光阻劑組成物。 本發明係為了解決上述之問題，且包含下列數項： (1) 一種降低光阻劑基材依存性之改善劑，其包括在 分子中含有至少一種其-N Η -直接鍵至少一個係直接鍵結於 至少一種選自包含-c( = o)-，-C( = S)-，及-S〇2-之基之構 造之化合物， (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 2 3 9 6 5 1 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 546540 A7 B7 五、發明説明（3 ) (2 ) —種光阻劑組成物包括：可經由酸之作用變成驗 可溶之聚合物，Μ光化輻射照射時可產生酸之化合物，分 子中含有至少一種其- ΝΗ -直接鐽至少一個係直接鍵結於至 少一種選自包含- C( = 0)-，-C( = S)_，及-S〇2-基之構造之 化合物，及可溶解此三種成份之溶劑。 (3) —種光阻劑組成物包括：鹼可溶之聚合物，經由 酸之作用可變成鹼可溶之化合物，Μ光化輻射照射時可產 生酸之化合物，分子中含有至少一種其- ΝΗ -直接鐽至少一 個係直接鐽結於至少一種選自包含-C ( = 0 ) -，- C ( = S )-，及 - S〇2 -基之構造之化合物，可使此四種成份溶解之溶劑。 (4) 一種光阻劑組成物包括：鹼可溶聚合物，經由酸 之作用，可與聚合物交聯使其難於鹼之化合物，Μ光化輻 射照射可產生酸之化合物，分子中含有至少一種其-ΝΗ -直 接鐽至少一個係直接鍵結於至少一種選自包含-C ( = 0 )-， - C( = S)-，及-S〇2 -基之構造之化合物，可溶解此四種成份 之溶劑。 (5) —種形成圖案之方法，包括之步驟為以上述（2) 至（4)項之任一種光阻劑組成物塗佈半導體基材之步驟， 加熱該塗佈以形成光阻劑薄膜之步驟，經過光罩使光阻劑 薄膜曝曬於輻射之步驟，以及必要時，在加熱後，使光阻 劑薄膜Μ鹼性顯像溶液顯像之步驟。 附圖之簡要敘沭 第1圖為使用含本發明化合物之光阻劑組成物製得具 有良好輪廓之接觸孔之剖面圖。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） 3 3 9 6 5 1 546540 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（4 ) 第2圖為使用不含本發明化合物之光阻劑組成物製得 之具有不良輪廓之接觸孔之剖面圖。 第3圖為使用在23 °C下儲存2週後之舊有技藝光阻劑 組成物製得之具有不良輪廓之接觸孔之剖面圖。 第4圖為使用含有本發明化合物之光阻劑組成物製得 之具有良好輪廓之直線-反應間-圖案之剖面圖。 第5圖為使用不含本發明化合物之光阻劑組成物製得 之具有不良輪廓之直線-與空間-圖案之剖面圖。 第6圖為使用在23 °C下儲存2週後之舊有技藝光阻劑 組成物製得之具有不良輪廓之直線-與空間-圖案之剖面圖 0 較佯县體例之詳Μ敘沭 為了得到即使在特殊基材上亦可提供具有良好剖面之 细微圖案之化學放大型光阻劑組成物，本發明人等認真地 研究且因此發現分子中含有至少一種其- ΝΗ -直接鏈至少一 個係直接鍵結於至少一種選自包含_C( = 0)-，-C( = S)-，及 -S〇2-基之構造之化合物，對於防止傳統光阻劑物質對基 材依存性之問題明顯地有效（換言之，該化合物當作降低 基材依存性之改善劑非常地有效），且包括該化合物之光 阻劑組成物可達到上述之目的。因此，完成了本發明。 至於在分子中含有至少一種其- NH -直接鍵至少一個係 直接鍵結於至少一種選自包含- c( = o)-，-c( = s)-，及 - S〇2 -基之構造之化合物（此後簡稱為本發明之化合物）， 為環狀化合物及無環化合物。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、11

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 3 9 6 5 1 546540 經滴部中决標準局員_τ消費合作社印f Α7 Β7 五、發明説明（5 ) 至於本發明中所用之環狀化合物（此後簡稱為本發明 之化合物C )，可列舉如下式[1 ]，[ 2 ]或[3 ]表示之化合物：

X

II ，c\ ;A NH 山 、、〆

II

X 其中X為氧原子或硫原子；A為飽和或不飽和之5_或6 -員環 ，且可含有氧原子，氮原子或硫原子當作構成原子，且構 成環之碳原子可具有取代基： Η ,油\ [2]

，—、（D ;Ε >、一/ 、 , 其中X為氧原子或硫原子；D為可能含有氧原子，氮原子或 硫原子當作構成原子之飽和或不飽和5 -或6 -員環，且構成 環之碳原子可具有取代基，且硫原子可具有一或二個氧基 ;且Ε為含有碳原子當作構成原子之飽和或不飽和6 -員環 或稠環，且環Ε與環D形成稠環； Η 人 [3] 厂、;G、9 = 〇 \ J >>一人、 、〜Λ L ; 其中G為可含有氧原子當作構成原子之飽和或不飽和6 -至 8 -員環；J及L二者分別為苯環，且環J及環L分別與環G形 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 5 3 9 6 5 1 546540 A7 B7五、發明説明（6 ) 成稠環。 式[1]中，A為除了碳原子及氮原子外，尚可含有氧原 子、氮原子或硫原子當作構成原子之飽和或不飽和5-或6 -員環。構成環之碳原子可具有取代基。碳原子上之取代基 包含烷基、氧代基及氧亞胺基。烷基可為直線或分枝。其 較佳之實例為1至6個碳原子之烷基，如甲基、乙基、正_ 丙基、異丙基、正丁基、異丁基、特丁基、第二丁基、正 -戊基、異戊基、特戊基、1-甲基戊基、正己基及異己基 0 式[2]中，D為除了碳原子及氮原子外，可含有氧原子 、氮原子或硫原子當作構成原子之飽和或不飽和5 -或6 -員 環。構成環之碳原子可具有取代基。至於碳原子上之取代 基，可列舉者為氧代基及K式[4]表示之基：

經漓部中决標準局員Vi消贽合作社印f 其中Q為氫原子或烷基。 式[4]中，MQ表示之烷基可為直線或分枝。其較佳之 實例為1至6個碳原子之烷基、如甲基、乙基、正丙基、異 丙基、正丁基、異丁基、特丁基、第二丁基、正戊基、異 戊基、特戊基、1-甲基戊基、正己基及異己基。 構成環之硫原子可具有一個或二個氧代基。 至於ME表示之包括碳原子為構成原子之飽和或不飽 和6 -員環，可列舉者為苯環、環己烷環、環己烯環、環己 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 6 3 9 6 5 1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

546540 A7 B7五、發明説明（7 ) 二烯環，等等。 至於ME表示之稠環，可列舉者為萘環、憩環，等等 經漓部中次標準局員Jr.消費合作社印f 中 外 子 原8- 氮至 及6- 子和 原飽 碳不 除或 為和 G 1 ，之 子 3 t 原 式成 構 作 環 員 當 子 原 氧 有 含 可環

Μ 與 HU S 分 G

及 J 環 在 環 苯 各 之 表 代 環 稠 成 形 側 同 不 物 合 化 明 發 本

由 含 包 物 合 化 之 I-1 1X I-1 式 為 例 實 殊 特 之 G 之 C 物(C 合 酮 化雙 胺 甲 亞二 醯 , 之胺 生亞 衍醯 酸 二 元戊 二 及 系 胺 肪亞 脂醯 來 馬 胺 亞 醯 珀 琥 如 雙 乙 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 酮 Π a 氫 六 η 寧 丹 繞 啶 嘧 尿 a 因 海 啶 嘧 尿 氫二 代 氧二 啶 嘧 氧 四 脲 醯二 丙 脲 醯二 乙 Bi 三 式 等 等 酸 尿 紫 香 芳 由 含 包 物 合 化 之 胺 亞 醯 酞 如 物 合 化 胺 亞 醯 之 成 生 衍 酸 元二 系 胺 亞 醯 酞 氫 四 及 胺 亞 醯 萘 胺 亞 醯 基 羧二 萘

酮二 滿 睐 R3I 酮 酮 啉 唑 嗪 並 精含 0 諾 DI 酮 諾 pi 基 氫 酮 I 3 I 01 BS 並 苯 啶 胺 亞 醯 酞 酮 因 庚 噁 並 苯 η Θ 噁 並 苯 睬 1131 基 羥 並 苯 代 氧- 2 酮 啶 菲 苯睬 糖包並 2-P3I,，苯 ] 物二 合 氫 化 二 之 、 啶 胺 亞 醯 酞 基 苄 式 等 等 脲 醯 甲 苯 伸 酮 I 6 I 辛 唑 吖 ο Γ 氫 四 至 f-1 1~I I_ί 式Μ 等 等 Μ 示 表 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21 OX 297公釐） 7 3 9 6 5 1 546540 A7 B7 五、發明説明（8 ) 外之化合物，包含苯均四酸二醯亞胺及本達隆（ 物材 合 基 化低 胺降 亞可 醯亦 為量 例少 實加 好添 最使 之 即 C » 物胺 合亞 化醯 之酞 明及 發胺 本亞 ， 釀 中珀 其琥 如 物 合 化 環 無 之 用 所 中 明 發 ο 本 性於 存至 依 之 物 合 化 之 明 發 本 為 CM? 稱 簡 後 此 /V 物 生 衍 醯之 磺示 胺表 為1] - 2 者 t 舉式 列 Μ 可及 物 合 化

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X Η 〇 環 苯 或 基 烷 之 代 取 經 未 或 代 取 經 為 別 分 2 X 及 1 X 中 其 為 分 X 之 中 η 物 合 化 之 明 多發 許本 且為 ; 稱 數簡 整後 之此 3物Μ 1 i 合 化 該 子 原 硫 或 子 原 氧 為 別 式 為 者 舉 列 可 之 代 取 經 未 或 代 取 經 或 基 烷 ， 之 A»代 物取 合經 化未 之或 明代 發取 本經 於為 至RO 中 其 基 芳 物 合 化 之 示 表 \)/ 基 烷 或 子 原 氫 為 經肩部中次摞率局員_τ消費合作ii印？^ 式 中 Μ 線 直 為 可 基 烷 之 中 基 基 烷 之 子 原 碳 個 基 6 丙 基 甲 如 基 丁 異 基 丁 正 基 戊 特、 基 戊 基 己 環 烷至環 之 1 、 代為 取例 經實 未之 或佳 代較 取其 經 。 之狀 示環 表或 U枝 ί分 基 丙 異 基 丙 - 正 Λ 基 乙 基 丁 特 第 基 戊 環 基 戊 基 甲 異及 、 基 基己 戊異 正 、 、 基 基己 丁 正 溴 、 氯 如 例 /|\ 子 原 素 鹵、 基 羥 含 包 基 代 取 之 基 烧 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 8 3 9 6 5 1 經肩部中决標準局員X消費合作社印f 546540 A7 B7 五、發明説明（9 ) 氟、碘，等等），及烷氧基等等。烷氧基可為線性或分枝 。其較佳之實例為1至6個碳原子之烷氧基，如甲氧基、乙 氧基、正-丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、異丁氧基、特 丁氧基、第二丁氧基、正戊氧基、異戊氧基、正己氧基及 異己氧基。 MRo表示之經取代或未經取代之芳基中之芳基包含苯 環，萘基，等等。 芳基之取代基包含羥基，鹵素原子（例如，氯、溴、 氟、碘，等等），烷基，烷氧基，等等。烷基可為線性、 分枝或環狀。其較佳之實例為1至6個碳原子之烷基*如甲 基、乙基、正丙基、異丙基、環丙基、正丁基、異丁基、 特丁基、第二丁基、正戊基、異戊基、特戊基、1-甲基戊 基、環戊基、正己基、異己基、及環己基。烷氧基可為線 性或分枝。其較佳之實例為1至6個碳原子之烷氧基，如甲 氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、異丁氧 基、特丁氧基、第二丁氧基、正戊氧基、異戊氧基、正己 氧基、及異己氧基。 式R0S〇2HHR’中，MRf代表之烷基可為線性，分枝或 環狀。其較佳之實例為1至6個碳原子之烷基，如甲基、乙 基、正丙基、異丙基、環丙基、正丁基、異丁基、特丁基 、第二丁基、正戊基、異戊基、特戊基、1-甲基戊基、環 戊基、正己基、異己基及環己基。 式[21]中，各以乂1及爿2代表之經取代或未經取代之燒 基中之烷基可為線性或分枝。其較佳之實例為1至10個碳 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 9 3 9 6 5 1 546540 A7 B7五、發明説明（1 1 ) 其中R及Ri分別為氫原子或低级烷基；R2及R3分別為氫原 子，可被一或多個鹵素原子取代之烷基；或芳基，除了當 R2及R3二者均為氫原子外，R2及R3可結合形成伸烷基環； R4為可被一或多個鹵素原子取代之烷基，或芳烷基；R5為 氰基，酯化或未經酯化之羧基或經取代或未經取代之苯基 ；m及η’分別為自然數；且k為零或自然數，其條件為m> R 6 R6 R21 -(C —C H2)p —(C —C Η2)γ —— C H2)f~ R; 、11 [6] (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) R7

OH 經肩部中决標準局員Jr.消費合作社印製 其中R6為氫原子或低級烷基；R7為氫原子、低級烷基、低 級烷氧基、醯氧基、飽和之雜環氧基、或MR8〇-C〇-(CH2) Z-0-(其中Rs為烷基且Z為零或自然數）表示之基；R21為氫 原子或低級烷基；R22為氰基，經酯化或未經酯化之狻基 ，或經取代或未經取代之苯基，其條件為在R?為氫原子或 低級烷基之情況下，R22為烷氧基，5 -或6 -員之飽和雜環 基，或具有如R25S0-C0-(CH2)j0-(其中R25與低級烷基， 且j為0或1)表示之取代基之經取代苯基；P及r分別為自然 數；且f為0或自然數，其條件為p>f。 在式[5]中分別MR及1^代表之低級烷基及在式[2]中 分別MR6及R21代表之低級烷基可為線性或分枝，且包含 1至6個碳原子之烷基*如甲基、乙基、正丙基、異丙基、 正丁基、異丁基、特丁基、第二丁基、正戊基、異戊基、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 11 3 96 5 1 546540 A7 B7 素為 基基己 、 鹵例 丙戊異 氯 個實 異正、 含 多之 、、基 包 或佳 基基己 子 一較 丙丁正 原 被其 正二、 素 。可。 、第基 。齒 基之 狀基、戊基之 己表 環乙基 環癸中 異代或 、丁 、及基 及R4枝基特基基烧 基及 分甲、戊壬之 己R3, 如基基、表 正 ，性 ，丁 甲基代 、R2線基異1-辛R4 基M為烷、 、 、及 戊 各可之 基基基R3 丨基 中基子 丁戊庚 、 1Z甲 1 烷原 正特、R2 ](卜[5之碳、 、基個 ξ、 式代個基基己各 脑基在取10丙戊環Κ #3戊 子至環異、 "Γ特 原 1 、 、 基 五 經滴部中决摞準局員X消費合作社印f 溴、氟、碘等等。 R2及R3可結合形成之伸烷基環之較佳實例為具有3至 6個碳原子之伸烷基環，如伸丙基環、伸丁基環、伸戊基 環及伸己基環。MR4代表之芳烷基包含例如，苄基、苯乙基、苯基丙 基、甲基苄基、甲基苯乙基、乙基苄基，等等。 式[5]中，MR5代表之經酯化或未經酯化之羧基包含 羧基及具有例如，1至6個碳原子之烷基當作氫原子之取代 基之經取代之羧基，如甲基氧基羰基、乙基氧基羰基、丙 基氧基羰基、丁基氧基羰基、戊基氧基羰基、及己基氧基 羰基。 KRs代表之經取代或未經取代之苯基之取代基包含例 如，鹵素原子，如，氯、溴、氟、碘，較好為1至10個碳 原子之線性、分枝或環狀烷基，如甲基、乙基、正丙基、 異丙基、環丙基、正丁基、異丁基、特丁基、第二丁基、 正戊基、異戊基、特戊基、1-甲基戊基、環戊基、正己基 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 1 2 3 9 6 5 1 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

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經漓部中次標準局員,τ消費合作社印架 546540 A7 B7 五、發明説明（13) 、異己基、環己基、庚基、辛基、壬基及癸基；較好為1 至6個碳原子之線性或分枝烷氧基，如甲氧基、乙氧基、 正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、異丁氧基、特丁氧基、 第二丁氧基、正戊基氧基、異戊基氧基、正己基氧基及異 己基氧基；由羧酸衍生成之2至7個碳原子之線性、分枝或 環狀醯基，如乙醯基、丙醯基、正丁醯基、異丁醯基、正 戊醯基、特戊醢基、異戊醯基及環己烷碳醯基；5 -至6 -員 之飽和雜環氧基，如四氫呋喃氧基及四氫吡喃氧基；及K R25〇-C〇-(CH2：U〇 -代表之基，其中R25及j均如上述之定義 。式中，MR25代表之低級烷基可為線性、分枝或環狀， 且包含1至6個碳原子之烷基，如甲基、乙基、正丙基、異 丙基、環丙基、正丁基、異丁基、特丁基、第二丁基、環 丁基、正戊基、異戊基、特戊基、1-甲基戊基、環戊基、 正己基、異己基及環己基。MR25〇-C〇-(CH2)jO -表示之基 之特定實例為甲基氧基羰基氧基、乙基氧基羰基氧基、異 丙基氧基羰基氧基、特丁基氧基羰基氧基、異丁基氧基羰 基氧基、特戊基氧基羰基氧基、乙基氧基羰基甲基氧基、 特丁基氧基羰基甲基氧基、1-甲基環戊基氧基羰基甲基氧 基、1-甲基環己基氧基羰基甲基氧基，等等。 式[6]中，KR7代表之低级烷基之較佳實例為1至6個 碳原子之直線或分枝烷基。其特定之較佳實例為異丙基、 異丁基、特丁基、第二丁基、異戊基、特戊基、1-甲基戊 基、異己基，等等。 KR?代表之低級烷基之較佳實例為1至6個碳原子之線 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 1 3 3 9 6 5 1 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、-口

546540 A7 B7 五、發明説明（14) 性或分枝烷氧基，如甲氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧 基、正丁氧基、異丁氧基、特丁氧基、第二丁氧基、正戊 氧基、異戊氧基、正己氧基及異己氧基。 KR7代表之醜氧基之較佳實例為由羧酸衍生之2至7個 碳原子之線性、分枝或環狀醯氧基，如乙釀氧基、丙醯氧 基、正丁醯氧基、異丁醯氧基、正戊醯氧基、特戊醯氧基 、異戊醯氧基、及環己烷羰基氧基。 KR7代表之飽和雜環氧基較好為5 -或6 -員者，且包含 例如，四氫呋喃氧基、四氫吡喃氧基，等等。 至於MR7代表之R8〇-C〇-(CH2)z-〇 -基之R8，可列舉者 為1至10個碳原子之線性、分枝或環狀烷基，如甲基、乙 基、正丙基、異丙基、環丙基、正丁基、異丁基、特丁基 、第二丁基、正戊基、異戊基、1-甲基環己基、特戊基、 1-甲基戊基、環戊基、正己基、異己基、環己基、庚基、 辛基、壬基及癸基。1U0-C0-(CH2)z-0 -基之特定實例為甲 基氧基羰基氧基、乙基氧基羰基氧基、異丙基氧基羰基氧 基、異丁基氧基羰基氧基、特丁基氧基羰基氧基、特戊基 氧基羰基氧基、1-甲基環己基氧基羰基甲基氧基、特丁基 氧基羰基甲基氧基、1-甲基環戊基氧基羰基甲基氧基，等 等。 式[6]中，KR22代表之經酯化或未經酯化之羧基包含 羧基及具有例如1至6個碳原子之烷基當作氫原子之取代基 之經取代羧基，如甲基氧基羰基、乙基氧基羰基、丙基氧 基羰基、丁基氧基羰基、戊基氧基羰基、及己基氧基羰基 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁 _裝-

經肩部中次標準局员T消費合作社印f 本紙張尺度適用中國國家標準（（:NS ) A4規格（21 OX 297公釐） 14 3 9 6 5 1 546540 A7 經漓部中决標準局員-J消費合作社印來 B7五、發明説明（15 ) Ο KR22代表之經取代或未經取代之苯基之取代基包含 例如，鹵素原子，如，氯、溴、氟、碘，較好為1至10個 碳原子之線性、分枝或環狀烷基，如甲基、乙基、正丙基 、異丙基、環丙基、正丁基、異丁基、特丁基、第二丁基 、正戊基、異戊基、特戊基、1-甲基戊基、環戊基、正己 基、異己基、環己基、庚基、辛基、壬基及癸基；較好為 1至6個碳原子之線性或分枝烷氧基，如甲氧基、乙氧基、 正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、異丁氧基、特丁氧基、 第二丁氧基、正戊基氧基、異戊基氧基、正己基氧基及異 己基氧基；由羧酸衍生成之2至7個碳原子之線性、分枝或 環狀醯基，如乙醯基、丙醯基、正丁醯基、異丁醯基、正 戊醯基、特戊醯基、異戊醯基及環己烷碳醜基；5-至6-員 之飽和雜環氧基，如四氫呋喃氧基及四氫吡喃氧基；及Μ R25〇-C〇-(CH2；U〇 -代替之基，其中R25及j均如上述之定義 0 R22可為氰基、經酯化或未經酯化之羧基或經取代或 未經取代之苯基，但當R7為氫原子或低級烷基時，R22為 烷氧基、5-或6-員之飽和雜環基或具有MR25〇-CO(CH2)jO -(其中R25為低級烷基，其j為0或1)代表之取代基之經取 代基苯基。 式[5]化合物之特定實例為 聚[對- (1-甲氧基-卜甲基乙氧基）-苯乙烯/對-羥基苯 乙烯]，Γδ 本纸張尺度適用中國國家標绛（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 3 9 6 5 1 _裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

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546540 A7 B7 五、發明説明（16 ) 聚[對- (1-苯甲氧基-卜甲基乙氧基）-苯乙烯/對-羥基 苯乙烯]， 聚[對- (1-乙氧基乙氧基）-苯乙烯/對-羥基苯乙烯]， 聚[對- (1-甲氧基乙氧基）-苯乙烯/對-羥基苯乙烯]， 聚[對-1-正丁氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯]， 聚[對- (1,1-二甲基乙氧基）-1-甲基乙氧基苯乙烯/對 -羥基苯乙烯]， 聚[對- (1-甲氧基-1-甲基乙氧基）苯乙烯/對-羥基苯 乙烯/笨乙烯]， 聚[對- (1-甲氧基-1-甲基乙氧基）苯乙烯/對-羥基苯 乙烯/對-氯苯乙烯]， 聚[對- (1-甲氧基-卜甲基乙氧基）苯乙烯/對-羥基苯 乙烯/對-甲基苯乙烯]， 聚[對- (1-甲氧基-卜甲基乙氧基）苯乙烯/對-羥基苯 乙烯/對-甲基苯乙烯]， 聚[對- (1-甲氧基-卜甲基乙氧基）苯乙烯/對-羥基苯 乙烯/對-甲氧基苯乙烯]， 經滴部中决標準局員T-消費合作社印製 (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 聚[對- (1-甲氧基-卜甲基乙氧基）苯乙烯/對-羥基苯 乙烯/對-特丁氧基苯乙烯]， 聚[對- (1-甲氧基-卜甲基乙氧基）苯乙烯/對-羥基苯 乙烯/對-1-甲基環己氧基苯乙烯]， 聚[對- (1-甲氧基-1-甲基乙氧基）苯乙烯/對-羥基苯 乙烯/甲基丙烯酸甲酯]， 聚[對- (1-甲氧基-1-甲基乙氧基）苯乙烯/對-羥基苯 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 1 6 3 9 6 5 1 546540 A7 B7 五、發明説明（17 ) 乙烯/甲基丙烯酸第三丁酯]， 聚[對- (1-甲氧基-1-甲基乙氧基）苯乙烯/對-羥基苯 乙烯/丙烯腈]， 聚[對- (1-苯甲氧基·'卜甲基乙氧基）苯乙烯/對-羥基 苯乙烯/苯乙烯]， 聚[對- (1-苯甲氧基-1-甲基乙氧基）苯乙烯/對-羥基 苯乙烯/對-氯苯乙烯]， 聚[對- (1-苯甲氧基-1-甲基乙氧基）苯乙烯/對-羥基 苯乙烯/對-甲基苯乙烯]， 聚[對- (1-苯甲氧基-1-甲基乙氧基）苯乙烯/對-羥基 苯乙烯/對-乙氧基苯乙烯]， 聚[對-(1-苯甲氧基-卜甲基乙氧基）苯乙烯/對-羥基 苯乙烯/對-特丁氧基苯乙烯]， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/苯乙 烯）， 聚（對-1_乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-氯 苯乙烯）， 經漓部中次標準局員T-消費合作社印？木 (讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 聚（對-卜乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-甲 基苯乙烯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/間-甲 基苯乙烯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/甲基 丙烯酸甲酯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/甲基 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 1 7 3 9 6 5 1 546540 A7 B7 五、發明説明（18 ) 丙烯酸環己酯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基笨乙烯/對-羥基苯乙烯/甲基 丙烯酸特丁酯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/丙烯 腈）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-甲 氧基苯乙烯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-乙 氧基苯乙烯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-特 丁氧基苯乙烯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/丙烯 酸）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-甲 氧羰氧基苯乙烯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-乙 氧羰氧基苯乙烯）， 經肩部中决標準局貝,τ消贽合作社印繁 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-異 丙氧羰氧基苯乙烯）， 聚（對-1-甲氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-異 丁氧羰氧基苯乙烯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-異 丁氧羰氧基笨乙烯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-異 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 3？ Q β R 1 546540 A7 B7五、發明説明（19 ) 戊氧羰氧基苯乙烯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對_卜 經漓部中戎標準局員_τ消費合作社印f 乙 甲甲氯 甲乙特 1 基基烯 苯 · - · _ ~ - 甲甲丙 對 間對對 對對對 /////////// 烯烯 烯烯烯 烯烯烯 烯烯烯 乙乙 乙乙乙 乙乙乙 乙乙乙 苯 苯 苯 苯 苯 苯 苯 苯 苯 苯 苯 基基 基基基 基基基 基基基 羥羥 羥羥羥 羥羥羥 羥羥羥 I I I I . I 塞 I I I I 對對 對對對 對對對 對對對 /////////// 烯烯烯 烯烯 烯烯烯 烯烯烯 乙乙 乙乙乙 乙乙乙 乙乙乙 苯 苯 苯 苯 苯 苯 苯 苯 苯 苯 苯 基基 基基基 基基基 基基基 氧氧 氧氧氧 氧氧氧 氧氧氧 卜乙 乙 乙 乙 乙 乙 乙 乙，乙 乙 乙 稀基 基 基 基 基 基 基 基}基 基 基 乙氧 氧 氧 氧 氧 氧 氧，氧烯氧 氧，氧 苯甲 甲 甲 甲 甲 甲 甲} 甲乙甲 ，甲 }甲 基 11-1 1 1}1}1 稀 1 苯 1}1 酯 1 氧- -卜-卜· -稀-輝-乙卜氧1-酯 I 丁 I 己ί 5^5»5::闱乙闱乙5苯53595特闱 環聚 聚乙聚乙聚烯聚苯聚苯聚基聚環聚酸聚酸聚 氧 P 苯苯乙 基基氧 基烯烯 甲烯 基基苯 氧氧丁 甲丙丙 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 19 3 9 6 5 1 546540 經滴部中决摞準局員Η消費合作社印f A7 B7 五、發明説明（20 ) 腈）， 聚（對-1-正-丁氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對 -正-丁基苯乙烯）， 聚（對-1-異丁氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/鄰-甲氧基苯乙烯）， 聚{對- [1,1-二甲基乙氧基）-1-甲基乙氧基]苯乙烯/ 對-羥基苯乙烯/間-甲氧基苯乙烯}， 聚[對- (1,1-二甲基乙氧基）-1-甲基乙氧基苯乙烯/對 -羥基苯乙烯/鄰-甲基苯乙烯]， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-乙 醯氧基苯乙婦）， 聚（對-1-甲氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-特 戊醯氧基苯乙烯）， 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-環 己烷羰氧基苯乙烯）， 聚[間-1-(2 -氯乙氧基）乙氧基苯乙烯/間-羥基苯乙烯 /苯乙烯]， 聚[間-卜（2 -乙基己氧基）乙氧基苯乙烯/間-羥基苯乙 烯/間-甲基苯乙烯]， 聚[對- (1-甲氧基-卜甲基乙氧基）-0(-甲基苯乙烯/對 -羥基-α-甲基苯乙烯/苯乙烯]， 聚[對- (1-乙氧基-卜甲基乙氧基）苯乙烯/對-羥基苯 乙烯/對-甲基苯乙烯]， 聚（對-1-正丙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 2 0 3 9 6 5 1 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

546540 經漓部中决標準局員X消費合作社印來 A7 B7 五、發明説明（2]) 甲氧基苯乙烯）， 聚[對- (1-甲基-1-正丙氧基乙氧基）苯乙烯/對-羥基-苯乙烯/對-甲基苯乙烯]， 聚（間-1 -乙氧基丙氧基苯乙烯/間-羥基苯乙烯/間-特 丁氧基苯乙烯）， 聚（間-1-乙氧基丙氧基苯乙烯/間-羥基苯乙烯/對-甲 基苯乙烯）， 聚[間- (1-甲氧基-卜甲基乙氧基）苯乙烯/間-羥基苯 乙烯/間-特丁氧基苯乙烯）， 聚[對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-四 氫呋喃氧基苯乙烯]， 聚[對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-四 氫吡喃氧基苯乙烯]， 聚[對-1-甲氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-四 氫吡喃氧基笨乙烯]， 聚[對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-特 丁氧羰氧基苯乙烯]， 聚[對-1-甲氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對特 丁氧羰氧基苯乙烯], 聚[對- (1-甲氧基-卜甲基乙氧基）苯乙烯/對-羥基苯 乙烯/對-特丁氧羰氧基苯乙烯], 聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-乙 烯基苯氧乙酸特丁酯）， 聚（對-1-甲氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-乙 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 2 1 3 9 6 5 1 ▼裝-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11

546540 A7 B7五、發明説明（22 )烯基苯氧乙酸特丁酯），聚（對-1-甲氧基乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-乙 經漓部中次標準局員Τ-消費合作社印f 酯 己 環 氧 甲- 11 酸 乙 氧 苯 基 烯 間 I__I 聚 特 曙 間 / 烯 乙 笨 基 羥- 間 / 烯 乙 苯 基 氧 乙 基 氧 乙 間 / 烯 乙 苯 基 羥 I 間 / 烯 乙 苯 基 氧 乙 ],基 烯氧 乙乙 苯卜 基- 氧 羰聚 氧 丁 間 烯 乙 苯 基 氧聚 丁 特 間 特 I 間 / 烯 乙 苯 基 羥- 間 / 烯 乙 苯 基 氧 乙 基 氧 甲 苯 基 氧 乙 基 氧 乙 ix 間 / 烯 乙 苯 基 氧 乙 基 氧 ),乙 烯卜 乙-苯 基聚 氧 丁 對 / (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁 對 間 對 / 烯 乙 苯 基 氧 丁 烯),基 乙烯氧 苯乙甲 基笨卜 羥基ί--Ϊ 對 氧 一 丁聚 烯- 乙 間 等 等 \J/ 烯 烯 乙 笨 基 烯 氧 乙 丁 苯 特 基 - 羥 對 I / 烯 乙 苯 基 羥 烯 乙 苯 基 羥 1 為對 例/ 烯 實 :®乙 定苯 特* 基 之z氧 物 4 了 合 Ϊ J 特 化 · 61對 I-- (V 式聚 基 甲 1-間 /1 ίν 聚聚 特 烯 ， \7 乙烯 羥苯 4基 對羥 / I 烯對 本 氧基 己氧環， 訂 乙 苯

對對對對間對 /|\ ίν /|\ /IV /IV /1\ 聚聚聚聚聚聚 對 對 / / 烯烯 乙乙 苯苯 基基 氧氧 羰羰 氧氧 甲乙 烯 乙 苯 基 羥 烯 乙 苯 基 羥 烯烯 乙乙 苯苯 基基 羥羥 細 I 對對 / / 烯烯 乙乙 苯苯 基基 氧氧 羰羰 氧氧 丙丁 異異 烯烯 乙乙 苯苯 基基 羥 羥 I I 間對 / / 烯烯 乙乙 苯苯 基基 氧氧 羰羰 氧氧 丁 丁 異特 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 22 3 9 6 5 1 546540 A7 B7 五、發明説明（23 ) 聚（間-特丁氧羰氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）， 聚（對-異戊氧羰氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）， 聚（間-異戊氧羰氧基苯乙烯/間-羥基苯乙烯）， 聚（對-特戊氧羰氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）， 聚（對-乙醯氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）， 聚（對-異丁醯氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）， 聚（對-特戊醯氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）， 聚（對-環己烷羰氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）， 聚（對-第二丁氧羰氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）， 聚（對-四氫呋喃氧基苯乙烯/對_羥基苯乙烯）， 聚（對-四氫吡喃氧基苯乙烯/對-羥基笨乙烯）， 聚（間-四氫吡喃氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）， 聚（對-乙烯基苯氧乙酸特丁酯/對-羥基苯乙烯）， 聚（對-乙烯基苯氧乙酸1-甲基環己酯/對-羥基苯乙烯 ), 聚（苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-1-甲氧乙氧基苯乙烯） > 經满部中决標卑局員T-消贽合作社印f (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 聚（對-甲基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-1-甲氧乙氧基 苯乙烯）， 聚（對-甲氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-1-甲氧乙氧 基苯乙烯）， 聚（對-甲基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-1-乙氧乙氧基 苯乙烯）， 聚（間-甲基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-1-乙氧乙氧基 本紙張尺度適用中國國家標绛（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 23 3 9 6 5 1 經肩部屮次標準局員工消費合作社印f 546540 A7 B7 五、發明説明（24) 苯乙烯）， 聚（對-甲氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-1-乙氧乙氧 基苯乙烯）， 聚（對-特丁基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-1-乙氧乙氧 基苯乙烯）， 聚（對-特丁氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-1-乙氧乙 氧基苯乙烯）， 聚（苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-卜甲氧基_卜甲基乙氧 基苯乙烯）， 聚（對-甲基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-卜甲氧基-1 -甲基乙氧基苯乙烯）， 聚（對-甲氧基苯乙烯/對-羥基乙烯/對-甲氧基-1-甲 基乙氧基苯乙烯）， 聚（對-特丁基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-1-甲氧基-1-甲基乙氧基苯乙烯）， 聚（對-第三丁氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-1-甲氧 基-1-甲基乙氧基苯乙烯）， 聚（苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-1-苯甲氧基乙氧基苯 乙烯）， 聚（-甲基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-卜苯甲氧基乙氧 基苯乙婦）， 聚（對-甲氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-1-苯甲氧基 乙氧基苯乙烯）， 聚（對-特丁基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-1-苯甲氧基 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210 X 297公釐） 2 4 3 9 6 5 1 -------I— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂

546540 A7 B7五、發明説明（2 5 ) 乙氧基笨乙烯）， 聚（對-特丁氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯/對-1-苯甲氧 經鴻部中决標準局員,τ-消费合作社印f 氧 甲 - 1X 嫌 對 / 烯 乙 苯 基 羥 I 對 / 烯 乙 苯 基 氧 )0 氧 乙乙 苯- 基 氧聚 乙 基 對 氧 乙 雄 11- 對 / 烯 乙 苯 基 羥 對 / 烯 乙 苯 基 氧 ),羰 烯氧 乙乙 苯-基 氧聚 乙 基 對 對 / 烯 乙 苯 基 羥 I 對 / 烯 乙 苯 基 ),氧 烯羰 乙乙 苯¥ 基 < 氧聚 乙 基 烯 乙 苯 基 氧 乙對 基 ί pa聚 甲 特 基 氧 甲 對 / 烯 乙 苯 基 羥- 對 / 烯 乙 苯 基 氧 羰 氧 甲 乙- 1 - 對 / 烯 乙 苯 基 羥 I 對 / 烯 乙 苯 基 氧 ),羰 烯氧 乙丁 笨特基卜 I 對 氧 ί 乙聚 基 氧 對 / 烯 乙 苯 基 羥 _ 對 / 烯 乙 苯 基 ),氧 烯羰 乙氧 苯 丁 » ^ Ϊ 對 氧 -W 乙聚 基 氧 氧 甲 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 基 甲 烯 乙 苯 基 氧 乙 基對 /IV 聚 特 對 / 烯 乙 苯 基 羥 I 對 / 烯 乙 苯 基 氧 0 氧 對 / 烯 乙 苯 基 羥 I 對 / 烯 乙 ),苯 烯基 乙氧 苯醯 基乙 氧I J 對 乙 ί 基聚 氧 甲 苯 基 氧 乙 對 / 烯 乙 苯 基 羥 释 對 / 烯 乙 苯 基 氧 喃 Btt } 氫 烯四 长對 基聚 氧 乙 甲 乙- 1 I 對 / 烯 乙 苯 基 羥 響 對 / 烯 乙 苯 基 氧 ),喃 烯吡 乙氫 苯 四 *!- I 對 氧 一 乙聚 基 氧 甲- 11 I 對 / 烯 乙 苯 基 羥 I 對 / 烯 乙 苯 基 氧 ),喃 烯吡 乙氫 苯 四 基 -— 對 氧丨 乙聚 基 氧 本紙張尺度適用中國國家標绛（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 25 3 9 6 5 1

546540 kl B7 五、發明説明（26 ) 氧基-1-甲基乙氧基苯乙烯）， 聚（對-乙烯基苯氧基乙酸1-甲基環己酯/對-羥基苯乙 烯/對-1-甲氧基乙氧基苯乙烯）， 聚（對-乙烯基苯氧基乙酸甲基環己酯/對-羥基笨 乙烯/對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯）， 聚（對-乙烯基苯氧基乙酸1-甲基環己酯/對-羥基苯乙 烯/對-1-甲氧基-1-甲基乙氧基苯乙烯），等。 本發明中所用之鹼可流性聚合物包含例如，聚（對-羥 基苯乙烯），聚（間-羥基苯乙烯），聚（3 -甲基-4-羥基苯乙 烯），聚（對-特丁氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）[對-特丁氧 基苯乙烯單元與對-羥基乙烯單元之比值限制於2或更低： 經漓部中决標準局員,τ消費合作社印f (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 8或更高（此比率下文Μ2Φ: 8个表示）],聚（對-1-乙氧基 乙氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）[對-1-乙氧基乙氧基苯乙 烯單元與對羥基苯乙烯單元之比值限制為24:8个],聚（ 對-特-丁氧基羰基氧基-笨乙烯/對-羥基苯乙烯）[對-特丁 氧基羰基氧基苯乙烯單元與對-羥基笨乙烯單元之比值限 制為2Φ:8个]，聚（對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯/對-特丁氧 基苯乙烯/對-羥基苯乙烯）[對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯單 元及對-特-丁氧基苯乙烯單元二者與對羥基苯乙烯單元之 比值之和限制為2小：8个]，聚（-1-乙氧棊乙氧基乙烯/苯 乙烯/對-羥基苯乙烯）[對-1-乙氧基乙氧基苯乙烯單元及 苯乙烯單元二者與對-羥基苯乙烯單元之比值之和為21 : 8个],等等。 本發明中所用之經由酸之作用可變成鹼可溶之化合物 本紙張尺度適用中國國家標準（^^8)/\4規格（210'乂 297公釐） 26 3 9 6 5 1 546540 A7 B7 五、發明説明（27) 包含例如，藉由K 一個或多個特丁氧基羰基，特丁基，1-甲氧基乙基，1-乙氧基乙基，四氫吡喃基，1-甲基環己基 氧基羰基甲基，等等對鹼溶性化合物之酚羥基之至少一部 份或全部加Μ保護而制得之鹼不可溶化合物。其特定實例 為2,2 -雙（4 -特丁氧基羰基氧基苯基）丙烷，2,2 -雙（4 -特 丁氧基苯基）丙烷，2,2 -雙（四氫吡喃氧基苯基）丙烷，2, 2-雙[4-(1-甲氧基乙氧基）苯基]丙烷，2,2-雙[4-(1-乙氧 基乙基氧基）苯基]丙烷，2,2-雙[4-(1_甲基環己基氧基羰 基甲基氧基）苯基丙烷],1,1,2-# (4-特丁氧基苯基）-2-甲基丙烷），1,1,2-¾ [4-(1-乙氧基乙氧基）苯基]-2-甲基 丙烷，1,1,2-叁（特-丁氧基羰基氧基苯基）-2-甲基丙烷， 等等。 至於可藉由本發明中所用之酸之作用，進行交聯成為 鹼幾乎不溶之聚合物之化合物，可列舉者為式[7]所示之 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) >裝·

、1T 化合物： 〇CH2〇R36

^37

[7] 〇ch2〇r36 經漓部中决標準局員-X消费合作社印製 其中R36為烷基；且R37為氫原子或式[8]所示之基： -0CH20R36 [8] 其中R：36如上述定義，及式[9]所示之化合物： 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） 27 3 9 6 5 1 546540 A7 B7 五、發明説明（28

N — C H2O R38 \ CH2OR38 CH20R38 [9] XCH2〇R38 其中R38為氫原子或烷基；且R39為氫原子或式[10]所示之 基： -N 一C H 2〇 R 38 IC Η 2〇 ^38 [10] (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁 _裝· 其中R38如上述之定義。 各式[7]及[8]中M R36表示之烷基及各式[9]及[10]中 KR38所示之烷基可為線性，分枝或環狀。各烷基之較佳 實例為1至6個碳原子之烷基，如甲基、乙基、正丙基、異 丙基、環丙基、正丁基、異丁基、特丁基、第二丁基、正 戊基、異戊基、特戊基、1-甲基戊基、環戊基、正己基、 異己基、及環己基。 可以經由酸之作用，與其交聯而成幾乎鹼不可溶之聚 合物之化合物其特定實例為： 1,2,4-蓥（環己基氧基甲氧基）苯，1,2,4-#(異丁氧 基甲氧基）苯，1,2,4-¾ (異丙氧基甲氧基）苯，1,3,5-叁（ 環己基氧基甲氧基）苯，1,3,5-# (異丁氧基甲氧基）苯， 1,3,5-¾ (異丙氧基甲氧基）苯，1,3-雙（環己基氧基甲氧 基）苯，1,3-雙（異丁氧基甲氧基）苯，1,3-雙（異丙氧基甲 氧基）苯，1,4-雙（環己基氧基甲氧基）苯，1,4-雙（異丁氧 、11

經消部中决摞準局員二消費合作社印f 本紙張尺度適用中國國家標绛（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 28 3 9 65 1 546540 A7 B7 五、發明説明（29 ) 基甲氧基）苯，1,4-雙（異丙氧基甲氧基）苯，2,4,6-S(N, N-二甲氧基甲基胺基）-1,3，5 -三嗪，2,4 -雙（Ν,Ν -二甲氧 基甲基胺基）-1,3,5 -三Β秦，等等。 本發明中所用之經由酸之作用可變成鹼溶性之聚合物 ,或鹼溶性聚合物可藉由使用有機過氧化物或偶氮化合物 當作聚合起始劑，進行自由基聚合反應，或使用正丁基鋰 或萘基鉀進行聚合，而製備聚合物，必要時尚可使製備之 聚合物進行化學反應。可變成鹼可溶之聚合物或鹼溶性聚 合物可由例如JP-A 4 - 2 1 1 2 5 8, JP-A 5 - 1 9 447 2等中揭示之 任一製程輕易地製得。 本發明中所用之可經由酸之作用變成鹼可溶之聚合物 ,或鹼溶性聚合物之重量平均分子量（Mw)通常為3 0 0 0至 50000,且較好為5000至30000( MGPC法，使用聚苯乙烯當 作標準）。聚合物之分散度（重量平均分子量對數且平均分 子量之比率）通常1.00至3,00,且較好為1.02至2.00。 本發明中所用之可經由酸之作用變成鹼溶性之聚合物 可輕易地藉由JP-A 4-88348等中揭示之方法製得。 經消部中决標準局貝工消費合作社印f (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明中所用之可經由酸之作用，藉由與其交聯，製 成幾乎為鹼不可溶之聚合物之化合物可輕易地MJP-A 6-83055等等中揭示之製程製得。 至於本發明中所用之酸產生劑，任何酸產生劑均可使 用，只要在光化輻射照射可產生酸，且在光阻劑圖案形成 時不會產生不良影響者即可。其特別好之實例為在接近 2 4 8 . 4 n m之光透射高至足夠維持光阻劑物質之高透射，或 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 29 3 9 6 5 1 546540 A7 B7 五、發明説明（31 ) 其中R16為烷基，未經取代之苯基，經取代之苯基或芳烷 基；R17及Ri8分別為氫原子、烷基、未經取代之苯基，經 取代之苯基或芳烷基；且R19為氟烷基，三氟甲基苯基， 甲基或甲苯基

〇一Q ·—R29 C-CH2—R32 〇 R30 [16]

Rai 其中R29為烷基，氟烷基，未經取代之苯基，經取代之苯 基或芳烷基；Q’為磺醯基或羰基；R3〇及R31分別為氫原子 ，甲基，甲氧基，硝基，氰基，羥基，或式[17]所示之基 R 3 3 -Q f - 0 [17] 其中R33為烷基，氟烷基，未經取代之苯基，經取代之苯 基或芳烷基，Q’為磺醯基或羰基；且R22為氫原子，甲基 或乙基

[18] (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 0S02R34 0S02R34 35 經漓部中决標準局員工消費合作社印f 基 烷 為 4 3 R 中 其 且 基 烷 芳 或 基 苯， 之基 代氧 取甲 經， , 基 基烷 苯氟 之 ， 代基 取甲 經 ， 未子 , 原 基氫 烷為 0 3 之 示 表 ο 1 R 或 9 R K 或 基 17燒 t之 式示 上 ο MR1 或或 9 > R 基 K 羥 ， , 中 基11 氰[1 , 式 基 硝 性 線 為 可 基 烷 之 基 烷 鹵為 至 基 烷 之 子 原 碳 個 基 之 示 表 例 實 佳 較 之 基 烷 各 ο 狀 環 或 枝 分 丙 異 r 基 丙 正 Λ 基 乙 基 甲 如 戊 正 基 丁 二 第、 基 丁 特、 基 丁 異 \ 基 丁 正 基 丙 環 r 基 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 31 3 9 6 5 1 546540 A7 經满部中决標準局舅工消費合作社印f B7五、發明説明（32 ) 基、異戊基、特戊基、1-甲基戊基、環戊基、正己基、異 己基、環己基、庚基、辛基、壬基及癸基。 鹵烷基之鹵素包含氯，溴，氟，碘，等等。 式[12]中，MRii表示之烷基或KRii表示之鹵烷基之 烷基可為線性或分枝。各烷基之較佳實例為1至5個碳原子 之烷基，如甲基，乙基，正丙基，異丙基，正丁基，異丁 基，特丁基，第二丁基，正戊基，異戊基，特戊基及1-甲 基戊基。MRii表示之鹵素原子或KRii表示之鹵烷基之鹵 素包含氯，溴，氟，碘等等。以Rii表示之烷氧基可高線 性或分枝。其較佳之實例為1至5個碳原之烷氧基，如甲氧 基，乙氧基，正丙氧基，異丙氧基，正丁氧基，異丁氧基 ，特丁氧基，第二丁氧基，正戊氧基及異戊氧基。M Ri2 表示之烷基或MRi2表示之鹵烷基之烷基可為線性，分枝 或環狀。各烷基之較佳實例為1至10個碳原子之烷基，如 甲基、乙基、正丙基、異丙基、環丙基、正丁基、異丁基 、特丁基、第二丁基、正戊基、異戊基、特戊基、1-甲基 戊基、環戊基、正己基、異己基、環己基、庚基、辛基、 壬基及癸基。鹵烷基之鹵素包含氯、溴、氟碘，等等。 式[13]中，MRi3表示之烷基或KRi3表示之鹵烷基之 烷基可為線性或分枝。各烷基之較佳實例為1至6個碳原子 之烷基，如甲基，乙基，正丙基，異丙基，正丁基，異丁 基，特丁基，第二丁基，正戊基，異戊基，特戊基及1-甲 基戊基，正己基及異己基。MRm表示之1至6個碳原子之 烷氧基可為線性或分枝。具較佳之實例為1至5個碳原子之 本紙張尺度適用中國國家標举（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 3 2 3 9 6 5 1 dw^丨丨 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) __. 546540 經#部中决標準局員-T-消費合作社印f A7 B7 五、發明説明（33 ) 烷氧基，如甲氧基，乙氧基，正丙氧基，異丙氧基，正丁 氧基，異丁氧基，特丁氧基，第二丁氧基，正戊氧基及異 戊氧基，正己氧基及異己氧基。KR13表示之鹵素原子或 MRis表示之鹵烷基之鹵素原子包含氯，溴，氟，碘，等 等。 式[1 4 ]中，M R ^ 4表示之烷基可為線性或分枝。其較 佳之實例為1至5個碳原子之烷基，如甲基，乙基，正丙基 ，異丙基，正丁基，異丁基，特丁基，第二丁基，正戊基 ,異戊基，特戊基及1-甲基戊基。R14所示之鹵素原子包 含氯，溴，氟，碘，等等。KRi5表示之烷基可為線性， 分枝或環狀。其較佳之實例為1至10個碳原子之烷基，如 甲基，乙基，正丙基，異丙基，環丙基，正丁基，異丁基 ,特丁基，第二丁基，正戊基，異戊基，特戊基，1-甲基 戊基，環戊基，正己基，異己基，環己基，庚基，辛基， 壬基及癸基。 以1^15表示之芳烷基包含例如，苄基，苯乙基，苯基 丙基，甲基苄基，甲基苯乙基，乙基苄基，等等。M Ri5 表示之烷氧基可為線性或分枝，且包含例如，1至6個碳原 子之烷氧基，如甲氧基，乙氧基，正丙氧基，異丙氧基， 正丁氧基，異丁氧基，特丁氧基，第二丁氧基，正戊氧基 ，異戊氧基，正己氧基，及異己氧基。 式[15]中，各MRl6, Rl7及Rl8表示之烷基可為線性， 分枝或環狀。其較佳之實例為1至8個碳原子之烷基，如甲 基，乙基，正丙基，異丙基，環丙基，正丁基，異丁基， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 3 3 3 9 6 5 1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

546540 A7 B7 五、發明説明（34 ) 特丁基，第二丁基，正戊基，異戊基，特戊基，1-甲基戊 基，環戊基，正己基，異己基，環己基，庚基及辛基。各 及R18表示之經取代苯基包含例如，甲苯基， 乙基苯基，特丁基苯基，氯苯基，等等。以各個R16,

Ri7及Rl8表示之芳烷基包含例如，苄基，苯乙基，苯基丙 基，甲基苄基，甲基苯乙基，乙基苄基，等等。MR19表 示之氟烷基之烷基可為線性或分枝。較佳之實例為1至8個 碳原子之烷基，如甲基，乙基，正丙基，異丙基，正丁基 ，異丁基，特丁基，第二丁基，正戊基，異戊基，特戊基 ,1-甲基戊基，正己基，異己基，庚基及辛基。當作氟烷 基取代基之氟原子之總數較好為1至17。 經Μ部中次標準局員,τ消費合作社印f (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 式[16]中，KR29表示之烷基可為線性，分枝或環狀 。其較佳之實例為1至6個碳原子之烷基，如甲基，乙基， 正丙基，異丙基，環丙基，正丁基，異丁基，特丁基，第 二丁基，正戊基，異戊基，環戊基，正己基及環己基。Μ R29表示之經取代苯基包含例如，甲苯基，乙基苯基，特 丁基苯基，氯苯基，等等。M R29表示之芳烷基包含例如， 苄基，苯乙基，苯基丙基，甲基苄基，甲基苯乙基，乙基 苄基，等等。MR29表示之氟烷基之烷基可為線性或分枝 。其較佳之實例為1至8個碳原子之烷基，如甲基，乙基， 正丙基，異丙基，正丁基，異丁基，特丁基，第二丁基， 正戊基，異戊基，正己基，庚基及辛基。當作氟烷基之取 代基之氟原子總數目較好為1至17。 式[1 7 ]中，M R 3 3表示之烷基可為線性，分枝或環狀 本紙張尺度適用中國國家標绛（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 34 3 9 6 5 1 546540 經消部中决標準局員JT-消費合作社印f A7 B7 五、發明説明（35 ) 。其較佳之實例為1至6個碳原子之烷基，如甲基，乙基， 正丙基，異丙基，正丁基，異丁基，特丁基，第二丁基， 正戊基，異戊基，環戊基，正己基及環己基。KR33表示 之經取代苯基包含例如，甲苯基，乙基苯基，特丁基苯基 ,氯苯基，等等。以r33表示之芳烷基包含例如，苄基， 苯乙基，苯基丙基，甲基苄基，甲基苯乙基，及乙基苄基 ,等等。M R33表示之氟基之烷基可為線性或分枝。其較 佳之實例為1至8個碳原子之烷基，如甲基，乙基，正丙基 ,異丙基，正丁基，異丁基，特丁基，第二丁基，正戊基 ,異戊基，正己基，庚基及辛基。當作氟烷基取代基之氟 原子總數較好為1至1 7。 式[18]中，M R34表示之烷基可為線性，分枝或環狀 。其較佳之實例為1至6個碳原子之烷基，如，甲基，乙基 ,正丙基，異丙基，正丁基，異丁基，特丁基，第二丁基 ,正戊基，異戊基，環戊基，正己基及環己基。KR34表 示之經取代苯基包含例如，甲苯基，乙基苯基，特丁基苯 基，氯苯基，等等。KR34表示之芳烷基包含例如，苄基， 苯乙基，苯基丙基，甲基苄基，甲基苯乙基，乙基苄基， 等等。分別KR34及R35表示氟烷基之烷基可為線性或分枝 。其較佳之實例為1至8個碳原子之烷基，如甲基，乙基， 正丙基，異丙基，正丁基，異丁基，特丁基，第二丁基， 正戊異，異戊基，正己基，庚基及辛基。當作氟烷基之取 代基之氟原子總數較好為1至17。 本發明中所用之酸產生劑之特別好之實例如下： 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 3 5 3 9 6 5 1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

經滴部中次標準局員T-消費合作社印f 546540 A7 B7 五、發明説明（36) 式[11]之酸產生劑包含，例如， 1 -環己基磺醜基-1-(1,1-二甲基乙基磺醯基）重氮甲烷， 雙（1,1-二甲基乙基磺醯基）重氮甲烷，雙（1-甲基乙基磺 醯基）重氮甲烷，雙（環己基磺醯基）重氮甲烷，1-環己基 磺醯基-卜環己基羰基-卜重氮甲烷，1-重氮-卜環己基磺 醯基-3,3 -二甲基丁 - 2-嗣，1-重氮-1-甲基確醯基-4-苯基 丁 - 2-酮，1-重氮-1-(1,1-二甲基乙基磺醯基）-3,3-二甲 基-2-丁麵，1-乙醯基-1-(1-甲基乙基磺醯基）重氮甲烷， 等。 式[12]之酸產生劑包含，例如， 雙（對-甲苯磺醯基）重氮甲，雙（2,4-二甲基苯磺醯基）重 氮甲烷，甲基磺醯基-對-甲苯磺醯基重氮甲烷，雙（對-特 -丁基苯基磺醯基）重氮甲烷，雙（對-氯苯磺醯基）重氮甲 烷，環己基磺醯基-對-甲苯磺醯基重氮甲烷，等等。 式[14]之酸產生劑包含例如， 1-對甲苯磺醯基-1-環己基羰基重氮甲烷，1-重氮-1-(對-甲苯磺醯基）-3,3 -二甲基丁 - 2-麵，1-重氮-1-苯磺醯-3, 3-二甲基丁 - 2-酮，1-重氮-1-(對-甲苯磺醯基）-3-甲基丁 - 2-酮，等等。 式[15]之酸產生劑包含，例如三苯棊銃♦三氟甲烷磺 酸塩，三苯基銃•全氟辛烷磺酸塩，二苯基-對-甲苯基銃 •全氟辛烷磺酸塩，鏊（對-甲苯基）銃♦全氟辛烷磺酸塩， S (對-氯苯）銃♦三氟甲烷磺酸塩，鏊（對-甲苯基）銃♦三 氟甲烷磺酸塩，三甲基硫•三氟甲烷磺酸塩，二甲基苯基 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 36 3 9 6 5 1 546540 經消部中次標準局员Η消費合作社印來 A7 B7 五、發明説明（37 ) 硫♦三氟甲烷磺酸塩，二甲基-對-甲苯基銃-三氟甲烷磺 酸塩，二甲基-對-苯基銃-全氟辛烷酸塩，等等。 [式1 6 ]之酸產生劑包含，例如， 2,6-二-三氟甲磺醯氧基苯乙酮，2,6-二-三氟甲烷磺醯氧 基苯丙酮，2,3,4 - -三氟甲烷磺醯氧基苯乙酮，2,6 -二- 甲烷醯氧基苯乙酮，2,6-二-甲烷磺醯氧基苯丙詷，2,3, 4-鑫-甲烷磺醯氧基苯乙酮，2-三氟甲烷磺醯氧基苯乙酮， 2 -甲烷磺醯氧基苯乙嗣，2-正丁烷磺醯氧基苯乙嗣，2,6-二-正丁烷磺醯氧基苯乙2,3,4-#-正丁磺醯氧基苯乙 2,6-二-全氟丙烷羧基苯乙嗣，2,3,4-S-全氟丙烷羧 基苯乙酮，2,6-二-對甲苯磺醯氧基苯乙酮，2,6-二-對-甲苯磺醯基苯丙酮，2,6-二-三氟乙醯氧基苯乙嗣，2-三 氟乙醯氧基-6-甲氧基苯乙酮，6-羥基-2-全氟丁烷磺醯氧 基苯乙2-三氟乙醯氧基-6-硝基苯乙酮，2,3, 4-¾ -三 氟乙醯氧基苯乙嗣，2,6-二-全氟丙醢氧基苯乙酮，等等 0 式[18]之酸產生劑包含，例如， 1,2,3-銮-甲磺醯氧基苯，1,2,3-S-對-甲苯磺醯氧基笨， 1,2,3-鑫-三氟甲烷磺醯氧基笨，1,2,3-叁-全氟丁烷磺 醯氧基笨，1,2,3-¾ -環己基磺醯氧基笨，1,2-二-甲烷磺 醯氧基-3-硝基苯，2,3 -二-甲烷磺醢氧基酚，1,2,4-# -對甲苯磺醯氧基苯，1，2,4-雲-甲烷磺醯氧基苯，1,2,4-蓥-三氟甲烷磺醯氧基苯，1,2,4-# -環己基磺醯氧基苯， 1,2-二-正丁烷磺醯氧基-3-硝基苯，1,2,3-S-全氟辛烷 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 3 7 3 9 6 5 1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

546540 A7 B7 五、發明説明（38 ) 磺醯氧基苯，1,2-二-全氟丁烷磺醯氧基酚，等等。 本發明中所用之酸產生劑可藉由例如JP-A 4-210960, JP-A 4-211258, JP-A 5-2496682,等等中所揭示之任一 種方法製得。 本發明之光阻劑組成物中，所使用之本發明化合物之 量通常為0.01至10重量份，較好為0.1至1.0重量份（相對 於100重量份之（a)經由酸之作用可變成鹼可溶之聚合物（ 此項簡稱為聚合物成份（i)), (b)鹼溶性聚合物及經由酸 之作用可變成鹼溶性之聚合物之總量（此總量此項簡稱為 聚合物成份（ii),或（c)鹼溶性聚合物及經由酸之作用， 可經由使聚合物交聯成幾乎鹼不可溶之化合物之總量（此 總量此後簡稱之為聚合物成份（iii))。 當經由酸之作用可變成鹼可溶之化合物，或經由酸之 作用，可使聚合物與其交聯成為幾乎鹼不溶之化合物與鹼 溶性聚合物共同使用於本發明中時，所使用之化合物之量 相對於100重量份之鹼可溶聚合物，一般為10至50重量份， 較好為1 5至4 0重量份。 經滴部中决標準局員,τ消贽合作社印f (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明之光阻劑組成物中所使用之酸產生劑之量相對 於100重量份之聚合物成份（i),聚合物成份（ii),或聚合 物成份（iii), 一般為1至30重量份，較好為1至20重量份 〇 本發明中，可使用任何溶劑，只要可溶解上述之聚合 物成份（i)至（iii),酸產生器及本發明之化合物之任一種 者即可。通常，較好使用具有良好成膜性質之溶劑。溶劑 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21 OX 297公釐） 38 3 9 6 5 1 546540 A7 B7 五、發明説明（39 ) 之特別好之實例為甲基溶纖素乙酸酯，乙基溶纖素乙酸酯 ，丙二醇單甲基醚乙酸酯，丙二醇單乙基醚乙酸酯，乳酸 乙酯，丙酸_甲酯，丙酬酸乙酯，3 -甲氧基丙酸甲酯，N-甲基- 咯烷酮，2 -庚環己酮，二乙二醇簞乙基醚， 二乙二醇二甲基醚，等等。 本發明中所用溶劑之量較好比任何一種聚合物成份（ i )至（i i i )之總量量多2至2 0倍，更好為3至1 0倍。 通常，本發明之光阻劑組成物主要係由四種成份組成 ,即上述之聚合物成份（i)至（iii)之任一種，酸產生劑， 本發明之化合物及溶劑。必要時，該光阻劑組成物除了此 四種成份外亦可包含敏感性調整劑，界面活性劑，紫外線 吸收劑，可塑劑，助溶劑，等等。 經部中决標準局員,τ消費合作社印f (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 至於必要時在本發明之光組劑組成物中所用之敏慼性 調整劑，可列舉者為聚（乙烯吡啶，聚-(乙烯吡啶/甲基丙 烯酸甲酯），吡啶，Ν,Ν -雙（2 -羥基乙基）苯胺，單烷基胺（ 此烷基包含1至12個碳原子之線性，分枝或環狀烷基，其 特定之實例為2 -甲基環己基胺，4 -特-丁基環己基胺，等 等），二烷基胺（此烷基包含1至12個碳原子之線性，分枝 或環狀烷基，其特別好之實例為二環己基胺，二-正-辛基 胺，等等），三烷基胺（此烷基包含1至12個碳原子之線性 、分枝或環狀烷基，其特別好之實例為三乙基胺，三-正-丙基胺，三-正-丁基胺，三己基胺，三辛基胺，二環己基 甲基胺，二辛基甲基胺，二甲基辛基胺，等等），單-，二 -或三-烷醇胺，其特別好之實例為三乙醇胺，三異丙醇胺 本紙張尺度適用中國國家標準（cns ) Α4規格（2ΐ〇χ 297公釐） 7^ 3 9 6 5 1 546540 經肩部中次標準局貝Η消費合作社印f A7 B7 五、發明説明（40 ) ，等等），四烷基銨氫氧化物（此烷基包含1至12個碳原子 之線性，分枝或環狀烷基，其特別好之實例為四甲基銨氫 氧化物，四-正-丁基銨氫氧化物，等等）。敏感性調整劑 並不限於此等化合物。 必要時所使用之敏感性調整劑之量，對每100重量份 之聚合物成份（i)至UU)之任一種較好為0.001至10重量 份，更好為0.01至5重量份。 至於本發明之光阻劑組成物中於必要時所使用之界面 活性劑，可列舉者為非離子性界面活性劑，例如聚乙二醇 二硬脂酸酯，聚乙二醇二月桂酸酯，聚（乙二醇），聚（丙 二酵），聚氧乙烯硬脂醮醚，聚氧乙烯基醚，等等，陽雛 子界面活性劑及陰離子界面活性劑。 此等界面活性劑之中，由形成光阻劑薄膜之觀點言之 ,較適用之界面活性劑之特定實例為含氟之非離子性界面 活性劑，如Fluorad(商標名，SUMITOMO 3M股份有限公司） ,S ϋ R F L 0 N (商標名，旭玻璃股份有限公司），U N I D Y N E (商 標名，DAIKIN工業股份有限公司），MEGAPAC(商標名，大 日本油墨及化學工業股份有限公司），EFT0N (商標名， T0HKEMPR0DUCTS股份有限公司）。 必要時所用界面活性劑之量，對每100重量份之聚合 物成份（i)至（iii)之任一種較好為〇·〇〇1至10重量份，且 更好為0.01至5重量份。 至於本發明中之光阻劑組成物中，必要時使用之紫外 線吸收劑，可列舉者為9重氮芴，9-(2 -甲氧基乙氧基甲基 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標绛（（:NS ) A4規格（210X 297公釐） 40 3 9 6 5 1 546540 經满部中次#準局員Τ,消费合作社印繁 Α7 Β7 五、發明説明（41) )憩，9-(2 -乙氧基乙氧基甲基）憩，9 -芴酮，2-羥基咔唑， 鄰萘醌叠氮化物，4 -重氮-1,7 -二苯基戊烷-3,5 -二酮，等 等。 必要時所用紫外線吸收劑之量較好為0.001至10重量 份，更好為（K01至5重量份（對每100重量份之聚合物成份（ i)至（iii)之任一種而言）。 至於本發明之充阻劑組成物中，必要時所用之可塑劑 ，可列舉者為二-正-丁基苯二酸酯，雙（2 -乙基己基）苯二 酸酯，己二酸二丁酯，二乙二醇二苯甲酸酯，油酸丁酯 ,乙醯基蓖麻甲酯，氯化鏈烷，環氧硬脂酸烷酯，等等。 必要時所用之可塑劑之量較好為0.001至10重量份， 更好為0.01至5重量份（為每100重量份之聚合物成份（i)至 (iii)之任一種而言）。 至於本發明之光阻劑組成物中必要時所用之助溶劑， 可列舉者為N, N0二甲基甲醯胺，Ν,Ν -二甲基乙醯胺，等等 Ο 必要時使用之助溶劑之量較好為0.01至20重量份，更 好為0.1至10重量份（對每100重量份之聚合物成份（i)至（ iii)之任一種而言）。 圖案係藉由使用本發明之光阻劑組成物形成，例如如 下列般。 本發明之光阻劑組成物係旋轉塗佈在S i 0 2 ,多結晶矽 ,BPSG, TEOS , TiN, SiN等等半導體基材上，接着50°C 至120¾之熱板上烤焙0.5至2分鐘，得到0,5至2微米厚之 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） 41 3 9 6 5 1 546540 A7 B7 五、發明説明（42 ) 光阻劑薄膜。接着，光阻劑到薄膜選擇性地曝曬於經過光 罩之輻射（例如，KrF準分子雷射光束（248·4ηπι), 300nm或 更低之深紫外光，電子束，軟X -射線，等等）下，且接着 必要時，可在50至130 °C之熱板上酸後烤焙0.5至2分鐘。 隨後，光阻劑膜藉由混拌法、浸漬法，噴灑法，等等，Μ 鹼性顯像溶液顯像，將曝曬之部份溶解，而形成正圖案。 上述各種顯像法之任一種中所用之鹼性顯像溶液之鹼 包含例如，四甲基銨氫氧化物，膽鹼一四乙醇胺，Κ0Η, Ha〇H,等等。其濃度較好為0」至10重量％,更好為0.5至 5重量谇，界面活性劑等可加於鹼性顯像液中。 經漓部中决標準局員_τ消費合作社印f 裝-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

當含有本發明化合物之化學倍增光阻劑材料用在特殊 之基材（其上由於存有大量鹼性化合物於基材中因此會得 到不能令人滿意之圖案輪廊），上時，由於鹼性化合物之 作用受到抑制，因此可得到安定且良好之圖案輪廓。以往 有使用抑制鹼性化合物作用之有機羧酸或磺酸化合物之方 法。然而，此等方法包含下列問題：為了維持光組劑組成 物之儲存安定性，鹼性化合物之用量應大於中和該酸所需 之量，因此光阻劑之敏感性降低，且因此損害實際上之利 用性。 上述之問題亦可使用本發明之化合物充份地解決。 本發明參考下列之實例及比較例更詳细地說明，其並 非用於限制、只作為說明作用。 實例及比較例中所用之某些聚合物及酸產生劑已可藉 由例如 JPH210960(USP.5216135) ; JP-A4-211258(USP· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 42 3 9 6 5 1 546540 A7 B7 五、發明説明（44 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 將依據上述配方之光阻劑組成物旋轉塗佈在Μ硼及磷 摻雜在矽晶圓上形成之氧化矽藻膜製得之半導體基材（ BPSG基材）上，且在90°C之煎板上烤焙90秒，得到1微米厚 之光阻劑薄膜。接著，光阻劑藻膜選擇性地曝曬於經過光 罩之248.4nm之KrF準分子雷射光束（NA:0,55)下再於105°C 之熱板上後烤培9 0秒。隨後，光阻劑薄膜藉由混拌法，K 鹼性顯相溶液（2.38¾之四甲基銨氫氧化物水溶液）顯相60 秒，只溶解光阻劑薄膜曝曬部份，因此得到正圖案。如第 1圖中所示，所得之正圖案具有良好輪廓，其接觸孔之解 析度為0.25/im。此例中，曝曬劑量為38fflj/cm2。 當依上述配方之光阻劑組成物在23 °C下儲存3個月後 ，再依上述之相同方式形成圖案，在曝曬劑量為38inJ/Cin2 下形成具有良好輪廓之〇.25/iin接觸孔。因此，可確認光 阻劑組成物之儲存安定性。 g例2至29 依表1至1 2中所示之各則配方製備光阻劑組成物。 經螭部中次標準局员工消費合作社印f 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規枱（210X 297公釐） 44 3 9 6 5 1 546540 7 Β 明説 明 發五 2 表 經螭部中次標準局負JT消贽合作社印製 實例5 聚（對-特-丁氧基羧基苯乙烯/對羥基苯乙烯） (Mw: 8000，分散度：1.10) 4 ♦ 5g 雙（環己基磺醯基）重氮甲烷 0.3g 對（對-甲苯磺醯）重氮甲烷 0 · 05g 含氟之非離子性界面活性劑 (市售產物） 0· 03g 三辛基胺 0 · 05g 丙二醇單甲基醚乙酸酯 23g 酞醯亞胺 0.03g 實例6 聚（特-丁基對-乙烯基苯氧基苯乙烯/對 -羥基笨乙 烯）（Mw:15000，分散度：1·05) 4· 5g 雙（環己基磺醯基）重氮甲烷 0.3g 雙（2，4_二甲基苯磺醯基）重氮甲烷 0 · lg 含氟之非離子性界面活性劑 (市售產物） 0· 03g 三辛基胺 0 · 05g 丙二醇單甲基醚乙酸酯 23g 馬來醯亞胺 0 · Olg 實例7 聚[對- (1-甲基-1-甲氧基乙氧基）苯乙烯/對-羥基 苯乙稀](Mw:20000，分散度：1·05) 4 · 5g 雙（環己基磺醯基）重氮甲烷 0.3g 雙（對-甲苯磺醯基）重氮甲烷 0 · 05g 含氟之非離子性界面活性劑 (市售產物） 0.03g 四丁基銨氫氧化物 (K 05g 丙二醇單甲基醚乙酸酯 23g 酞醯亞胺 ——.--- . .. -......... 0 · 02g 本紙張尺度述用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） ▼裝！ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T Λ 46 39651 546540 A7 B7 五、發明説明（47) 表3 經漓部中决標準局員Η消贽合作社印粼 實例8 聚[對-(1-乙氧基乙氧基）苯乙烯/對 -羥基笨乙烯] (Mw: 20000，分散度：1,05) 4.5g 雙（環己基磺醯基）重氮甲烷 0 * 3g 含氟之非離子性界面活性劑 (市售產物） 0.03g 二環己基甲基胺 0 · 05g 丙二醇單甲基醚乙酸酯 23g 琥珀醯亞胺 O.Olg 實例9 聚[對_(1_乙氧基乙氧基）苯乙烯/對 -羥基苯乙烯] (Mw:15000，分散度：1.10) 4.5g 雙（環己基磺醯基）重氮甲烷 0♦ 3g 含氟之非離子性界面活性劑 (市售產物） 0 · 03g 9-重氮結 0.018g 二辛基甲基胺 0,05g 2-庚画 23g 琥珀醯亞胺 O.Olg 實例10 聚[對-(1-乙氧基乙氧基）苯乙烯/對 -羥基苯乙烯] (Mw:8000，分散度：1.05) 4.5g 雙（環己基磺醯基）重氮甲烷 0 . 3g 含氟之非離子性界面活性劑 (市售產物） 0· 03g 四丁基胺氫氧化物 0 ♦ 05g 9- (2-甲氧基乙氧基甲基）蔥 O.Olg 丙二醇單甲基醚乙酸酯 23g 酞醯亞胺 0· 02g 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） _裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) *11 47 39651 546540 經部中次標準局員h消费合作社印繁 五、發明説咬 A7 B7 48) 表4 聚[對-(1-乙氧基乙氧基）苯乙烯/對-特-丁氧基羰 基氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯] (Mw: 8000，分散度：1.85) 4.5g 雙（對-甲苯磺醯基）重氮甲烷 〇.3g 正-己烷磺醯氧基琥珀醯亞胺 O.lg 含氟之非離子性界面活性劑 (市售產品） 0.03g 四丁基銨氫氧化物 0,05g 2 -庚酮 23g 琥珀醯亞胺 O.Olg 實例12 聚[對-(卜乙氧基乙氧基）苯乙烯/對-特-丁氧基苯 乙烯/對-羥基苯乙烯] (Mw:20000，分散度：1.80) 4.5g 雙（環己基磺醯基）重氮甲烷 0.25g 三苯基銃-三氟甲烷磺酸酯 0,03g 含氟之非離子性界面活性劑 (市售產物） 0.05g 四丁基銨氫氧化物 0.05g 丙二醇單甲基醚乙酸酯 23g 琥珀醯亞胺 O.Olg (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標绛（CNS ) A4規格（210X297公釐） 48 39651 54654〇 五 A7 —___________發明説明（49) 表5 經鴻部中决標準局員Η消費合作社印則水 —S_ 寶例13 聚[對-(1-乙氧基乙氧基）苯乙烯/對-特 -丁氧基苯 乙烯/對-羥基苯乙烯] (Mw: 15000，分散度：1,85) 4.5g 雙（環己基磺醯基）重氮甲烷 0 . 3g 含氧之非離子性界面活性劑 (市售產物） 0 · 03g 四丁基銨氫氧化物 0.03g 2-庚酮 23g 琥珀醯亞胺 O.Olg 實例14 聚[對-(1-甲氧基乙氧基）苯乙烯/對-特 -丁氧基苯 乙烯/對-羥基笨乙烯] (Mw: 20000，分散度：1.90) 4,5g 雙（1,卜二甲基乙基磺醸基）重氮甲烷 0 · 25g 雙（對-甲苯磺醯基）重氮甲烷 0 · 05g 含氟之非離子性界面活性劑 (市售產物） 0· 03g 三辛基胺 0 ♦ 05g 丙二醇單甲基醚乙酸酯 23g 酞醯亞胺 (K02g (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210Χ 297公釐） 49 39651 546540 A7 B7 五、發明説明（5G) 表6 經漓部中决標準局員X消费合作社印？木 實例15 聚-[對乙氧基乙氧基）苯乙烯/對-1 -四氫吡喃 基氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯] (Mw: 20000，分散度：1.85) 4.5g 雙（環己基磺醯基）重氮甲烷 0 ♦ 25g 雙（苯磺醯基）重氮甲烷 0 · 05g 含氟之非離子性界面活性劑 (市售產物） 0.03g 三辛基胺 0 · 05g 丙二醇單甲基醚乙酸酯 23g 琥泊醯亞胺 O.Olg 實例16 聚[對- (1-乙氧基乙氧基）苯乙烯/對-特- 丁氧基苯 乙烯/對-羥基苯乙烯] (Mw: 20000，分散度：1·95) 4.5g 雙（環己基磺醯基）重氮甲烷 0 ♦ 25g 雙（對-甲苯磺醯基）重氮甲烷 0 · 05g 含氟之非雛子性界面活性劑 (市售產物） 0 · 05g 二辛基甲基胺 0 ♦ 05g 二乙二醇二甲基醚 23g 琥珀醯亞胺 O.Olg 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 50 39651 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 546540 i五 A7 B7 經滴部中次標準局员X消贽合作社印^ 發明説明（5]) 表7 實例17 聚[對-(1-四氫吡喃基氧基）/苯乙烯/對-特-丁氧基 乙烯/對-羥基苯乙烯] (Mw: 15000，分散度：1.05) 4.5g 三苯基銃-三氟甲烷磺酸塩 O.lg 雙（苯磺醯基）重氮甲烷 O.lg 含氟之非雛子性界面活性劑 (市售產物） 0.03g 三辛基胺 0. 05g 2-庚酮 23g 酞醯亞胺 O.Olg 實例18 聚[對_(1_乙氧基乙氧基）苯乙烯/對-羥基苯乙烯] (Mw: 15000，分散度：1.10) 4,5g 聚（對-特-丁氧基羰基氧基笨乙烯/對-羥基苯乙烯] (Mv: 15000，分散度：1·05) 雙（環己基磺醯基）重氮甲烷 雙（2,4-二甲基苯磺醯基）重氮甲烷 含氟之非離子性界面活性劑 (市售產物） 三辛基胺 丙二醇單甲基醚乙酸酯 馬來醯亞胺 1.5g 丨· 25g 、05g •. 03g L 05g 30g ).01 g (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（（:NS ) A4規格（210X 297公釐） 51 39651 54654〇 A7 B7 五 '發明説明（52 經淖部中决標準局員,τ消贽合作社印來 表8 '--- 寶例19 聚[對-(1-乙氧基乙氧基）苯乙烯/對一 羥基笨乙烯] (Mw: 20000，分散度：1.80) 4 · 5g 聚（對-特-丁氧基苯乙烯/對-羥基苯乙烯） (Mw: 8000，分散度：1.95) 1 · 5g 雙（環己基磺醯基）重氮甲烷 0 · 3g 辛烷磺釀氧基琥珀醯亞胺 0.3g 含氟之非離子性界面活性劑 (市售產品） 0 · 03g 三辛基胺 0 ♦ 05g 2-庚酮 30g 酞醯亞胺 0 ♦ 01 g 實例20 聚[對-1-乙氧基乙氧基）苯乙烯/對-羥基苯乙烯] (Mw: 20000，分散度：1.85) 4 · 5g 聚（對-特-丁氧基羰基氧基苯乙烯/對 -羥基苯乙烯） (Mv: 8000，分散度：1.85) 1 · 5g 雙（環己基磺醯基）重氮甲烷 0 · 25g 雙（2,4-二甲苯磺醯基）重氮甲烷 0 · 05g 含氟之非離子性界面活性劑 (市售產物） 0 · 03g 三辛基胺 0 · 05g 二乙二醇二甲基醚 30g 馬來醯亞胺 0 · 01 g 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） 52 39651 ▼裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 40 5 46 5 Β7 明 説明發 、 五 9 表 經鴻部屮决標準局員工消贽合作社印f 實例21 聚[對-(卜乙氧基乙氧基）苯乙烯/對-羥基苯乙烯] (Mw: 20000，分散度：1.05) 4.5g 雙（環己基磺醯基）重氮甲烷 0.3g 含氟之非離子性界面活性劑 (市售產物） （K05g 四丁基銨氫氧化物 0.05g 環己酮 23g 琥珀醯亞胺 O.Olg 實例22 聚（對_羥基苯乙烯） (Mw: 8000，分散度：1.85) 4,5g 2,2-雙[4-(1-乙氧基乙氧基）苯基]丙烷 l,5g 雙（環己基磺醯基）重氮甲烷 （K3g 非離子性界面活性劑（市售產物） 0.03g 二環己基甲基胺 0.05g 丙二醇單甲基醚乙酸酯 30g 琥珀醢亞胺 O.Olg 實例23 聚[對-(卜乙氧基乙氧基）苯乙烯/對-羥基苯乙烯] (Mw: 20000，分散度：1·90) 4.5g 雙（環己基磺醯基）重氮甲烷 〇.3g 雙（對-甲苯磺醯基）重氮甲烷 〇.15g 含氟之非離子性界面活性劑 (市售產物） 0.05g 三-正-丙基胺 〇.〇5g 丙二醇單甲基醚乙酸酯 23g 二乙醯胺 0.02g 本紙張尺度適用中國國家標举（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 53 39651 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

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546540 A7 B7 表 經满部中次標準局員,τ-消费合作社印f 實例24 聚[對_(1-乙氧基乙氧基）苯乙烯/對 -羥基苯乙烯] (Mw: 15000，分散度：1.95) 4 · 5g 雙（環己基磺醯基）重氮甲烷 0 ♦ 3g 含氟之非離子性界面活性劑 (市售產物） 0 ♦ 03g 四丁基銨氫氧化物 0 ♦ 05g 丙二酵單甲基醚乙酸酯 23g 二乙醯脲 0 ♦ 02g 實例25 聚[對- (1-甲基-1-甲氧基乙氧基）苯乙烯/對-羥基 苯乙烯](Mw: 20000，分散度：1·25) 4-5g 雙（環己基磺醯基）重氮甲烷 0 · 3g 雙（對-甲苯磺醯基）重氮甲烷 0.05g 含氟之非離子性界面活性劑 (市售產物） 0,03g 四丁基銨氫氧化物 0 · 05g 丙二醇單甲基醚乙酸酯 23g 二苯甲醯脲素 0 ♦ 02g 實例26 聚[對-(1-乙氧基乙氧基）苯乙烯/對 -羥基苯乙烯] (Mw: 20000，分散度：1,05) 4.5g 雙（環己基磺醯基）重氮甲烷 0 · 3g 含氟之非離子性界面活性劑 (市售產物） 0 · 03g 二環己基甲基胺 0 * 05g 丙二醇單甲基醚乙酸酯 23g 甲烷磺醯胺 0 · 01 g 本紙張尺度適用中國國家標绛（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 54 39651 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

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546540 A7 B7 五、發明説明（55 ) 經碘部中次標準局員二消费合作社印f 表11 實例27 聚[對-四氫吡喃基氧基苯乙烯/對 -羥基苯乙烯] (Mw: 15000，分散度：1.10) 4.5g 雙（環己基磺醯基）重氮甲烷 0 · 3g 含氟之非離子性界面活性劑 (市售產物） 0.03g 二辛基甲基胺 0 · 05g 9-重氮芴 O.Olg 2-庚晒 23g 對甲苯磺醜胺 O.Olg 實例28 聚[對乙氧基乙氧基）苯乙烯/對 -特-丁氧基苯乙 烯/對-羥基苯乙烯] (Mw: 15000，分散度：1.85) 4.5g 雙（環己基磺醯基）重氮甲烷 0 . 3g 含氟之非離子性界面活性劑 (市售產物） 0 ♦ 03g 四丁基銨氫氧化物 0 · 03g 2-庚嗣 23g 苯磺醯胺 O.Olg |裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

11T 本紙張尺度過用中國國家標準（CNS ) A4規格（2】0X297公釐） 55 39651 546540 A7 B7 五、發明説明（56 ) 表12 實例29 聚[對-(1-乙氧基乙氧基）苯乙烯/對- 羥基苯乙烯] (Mw: 20000，分散度：1 .05) 4 · 5g 聚（對-特-丁氧基羰基氧基苯乙烯/對 -羥基苯乙烯） (Mw: 8000，分散度：1.85) 1. 5g 雙（環己基磺醯基）重氮甲烷 0· 25g 雙（2,4-二甲基苯磺醯基）重氮甲烷 0 · 05g 含氟之非離子性界面活性劑 (市售產物） 0 · 03g 三辛基胺 0 ♦ 05g ^ -ττΑ 一乙一酵 30g N-苯甲醯苯醯胺 0-01g II (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 圖案之形成Μ與實例1相同之方式進行，但係分別使 用依表1至1 2所示之各別配方製備之光阻劑組成物。所得 之結果列於表13及14中。 ▲ 經肩部中决摞率局员T-消費合作社印來 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 5 6 3 9 6 5 1 546540 A7 B7 五、發明説明（57 ) 表1 3 經肩部中决標準局員,τ消费合作社印f 實例 編號 曝曬 (m J / c m 2 ) 解析度 (u inC/H) 圖案之 輪廓 儲存 安定性 2 54 0.35 良 良 3 46 0,35 良 良 4 33 0.25 良 良 5 52 0 . 45 良 良 6 50 0 . 40 良 良 7 35 0 · 25 良 良 8 38 1 0*25 良 良 9 38 0.25 良 良 10 36 '0.25 良 良 11 40 0.30 良 良 12 40 0,30 良 良 13 40 0.30 良 良 14 40 0.30 良 良 15 38 0.30 良 良 16 36 0.25 良 良 17 38 0.35 良 良 18 38 0.30 良 良 19 38 0.25 良 良 20 38 0.25 良 良 21 38 0.25 良 良 22 44 0.35 良 良 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 3 9 6 5 1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

546540 A7 B7 五、發明説明（58 ) 表1 4 實例 編號 曝曬 (m J / c in 2 ) 解析度 (u inC/H ) 圖案之 輪廓 儲存 安定性 23 38 0.25 良 良 24 38 0.25 良 良 25 35 0.25 良 良 26 38 0.25 良 良 27 38 0.25 良 良 28 40 0.30 良 良 29 35 0.30 良 良 -------裝— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

1T 比_.較…胤丄 經漓部中次標準局員,τ消贽合作社印f 光阻劑組成物係依照下列配方（其與實例1之光阻劑組 成物之配方相同，但刪掉本發明之化合物）製備。除了使 用如此製備之光阻劑組成物外，依實例1中所述之相同方 式形成圖案： 聚[對- (1-乙氧基乙氧基）苯乙烯/對-羥基苯乙烯] (Mw: 20000 ，分散度：1,90) 4.5g 雙（環己基磺醯基）重氮甲烷 0.3g 雙（對-甲苯磺醯基）重氮甲烷 0.15g 含氟之非離子性界面活性劑 (市售產物） 0 · 05g 本紙張尺度適用中國國家標绛（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 58 3 9 6 5 1 546540 A7 B7 五、發明説明（59 ) 三-正-丙基胺 0 , 05g 丙二醇單甲基醚乙酸酯 23g 結果，0.25α in之接觸孔可在38mJ/Cm2之曝曬劑量下 解析，但如第2圖所示，在光阻劑薄膜底部之圖案具有地 腳其輪廓不能令人滿意。 比較例2 使用已知之技術，依照下列配方製備光阻劑組成物， 且依實例1中所述相同之方式形成圖案，但係使用此光阻 劑： 聚[對- (1-乙氧基乙氧基）苯乙烯/對-羥基苯乙烯] (Mw:20000，分散度：1.90) 4 . 5g (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 磺 基 己 環 /IV 雙 烧 甲 氮 fi S \1/ 基 烷 1 3 劑 甲 性 氮 重活 > 面 基界 醯性 磺子 苯離 甲非0 ^ 雙含 物 產 售 市 胺 基 丙 I 正 -三 酯 酸 乙 醚 基 甲 單 醇 經漓部中决標準局負_τ.消費合作社印繁 酸果 楊结 水 之 廓 輪 週 2 存 儲 瓜 8 3 在 好 良 有 具 到 得 析 解 可 下 量 劑 曬 曝 之 下 OC 3 2 在 物 成 組 劑 阻 光 當 而 然 顯 在 時 案 圖 成 形 式 方 同 相 之 述 所 〇 中 孔 1 觸例 接實 丨依 再 之 望 期 到 得 法 無 此 因 解 溶 遭 亦 份 之 所 曬 中 曝 圖 經 3 未第 中如 程 ’ 過案 像圖 良 不 性 定 安 存 儲 其 此 因 本紙張尺度適用中國國家標绛（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 9 5 3 9 6 5 1 經漓部中决標準局员T,消贽合作社印來 546540 A7 B7 五、發明説明（6G) 依照與比較例2相同之配方製備光阻劑組成物，但增 加三-正-丙基胺之量至O.lg。除使用該光阻劑組成物外， 餘均依實例3中所述相同之方式形成圖案。 當光阻劑組成物於剛製備後，或在2 3 °C下儲存一個月 後用於形成圖案，此光阻劑組成物可提供具有良好輪廓之 0.25/ini接觸孔，但其敏感度低，因此曝曬劑量為 llOmJ/cin2 ° 卜上較例4 依比較例3相同之配方製備光阻劑組成物，但使用苯 二酸取代水楊酸。圖案係依實例3中所述相同之方式形成 ，但使用該光阻劑組成物。 即使在2 3 °C下儲存1個月後使用，光阻劑組成物亦可 提供0.25/iin之接觸孔，但其敏感度低，因此曝曬劑量為 llOmJ/cm2，如同比較例3之光阻劑組成物。 g例30 依照下列配方製備光阻劑組成物 聚[對-（1-乙氧基乙氧基）苯乙烯/對-羥基苯乙烯] (Mw : 2 0 0 0 0，分散度：1 . 90) 4·5g 雙（環己基磺醯基）重氮甲烷 〇.3g 雙（對-甲苯磺醯基）重氮甲烷 0.15g 含氟之非離子性界面活性劑 (市售產物） 0 · 05g 三-正-丙基胺 0,05g 丙二醇單甲基醚乙酸酯 23g (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規枱（210X 297公釐） 60 3 9 6 5 1 546540 經鴻部屮次標準局員,τ消費合作私印來 Α7 Β7 五、發明説明（61) 酞醯亞胺 0 . 02g 上述之成份經混合溶解，且所得之溶液經過具有0 . 2 微米孔隙之過滤器過濾。使用如此製得之光阻劑組成物， 依下列之方式形成圖案。 將依據上述配方之光阻劑組成物旋轉塗佈在氮化鈦基 材（T i N基材）上，且在9 Ο Ί0之熱板上烤焙9 0秒，得到1微米 厚之光阻劑薄膜。接著，光阻劑薄膜選擇性地曝曬於經過 光罩之248.4nm之KrF準分子雷射光束（NA: 0.55)下，再於 1 0 5 1C之熱板上後烤焙9 0秒。隨後，光阻劑薄膜藉由混拌 法，Μ鹼性顯相溶液（2.38¾之四甲基銨氫氧化物水溶液） 顯相6 0秒，只溶解出光阻劑薄膜之曝曬部份，因此得到正 圖案。如第1圖中所示，所得之正圖案呈現0.2/im線空間 之解析度並具有良好輪廊。此例中，曝曬劑量為 30mJ/cin2 ° 當依上述配方之光阻劑組成物在2 3 °C下儲存3個月後 ，再依上述之相同方式形成圖案，在曝曬劑最為 30mJ/cm2下形成0.20/iin之線空間之解析度。且具有良好 輪廓之圖案。因此確認該光阻劑組成物之儲存安定性。 窨例3 ΐ革4 3 依據表1 5至2 0中所示之各別配方製得光阻劑組成物。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 6 1 3 9 6 5 1 546540 A7 B7 五、發明説明（62) 表15 經邊部中决#率局員h消费合作社印如卞 實例31 聚[對-(卜乙氧基乙氧基）苯乙烯/對- -羥基苯乙烯] (Mw: 15000，分散度：1.95) 4 * 5g 雙（環己基磺醯基）重氮甲烷 0.3g 含氟之非離子性界面活性劑 (市售產物） 0 · 03g 四丁基銨氫氧化物 0 · 05g 丙二醇單甲基醚乙酸酯 23g 琥珀醯亞胺 0.02g 實例32 聚[對- (1-甲基-1-甲氧基乙氧基）苯乙烯/對-羥 基苯乙烯](Mw: 20000，分散度：1·05) 4.5g 雙（環己基磺醯基）重氮甲烷 0 · 3g ;雙（對-甲苯磺醯基）重氮甲烷 0 · 05g 含氟之非離子性界面活性劑 (市售產物） 0 · 03g 四丁基銨氫氧化物 0 · 05g 丙二醇單甲基醚乙酸酯 23g 酞醯亞胺 0.02g 實例33 聚[對-(1-乙氧基乙氧基）苯乙烯/對 -羥基苯乙烯] (Mw: 20000，分散度：1·05) 4 ♦ 5g 雙（環己基磺醯基）重氮甲烷 0 · 3g 含氟之非離子性界面活性劑 (市售產物） 0 · 03g 二環己基甲基胺 0 · 05g 丙二醇單甲基醚乙酸酯 23g 琥珀醯亞胺 O.Olg 本紙張尺度適用中國國家標绛（CNS ) A4規格（210X297公釐） 62 39651 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 546540 Α7 Β7 五、發明説明（63) 經肩部屮决標绛局舅Jr消贽合作社印來 表16 實例34 聚[對-乙氧基乙氧基）苯乙烯/對-羥基苯乙烯] (Mw: 15000，分散度：1.95) 4.5g 雙（環己基磺醯基）重氮甲烷 0.3g 含氟之非離子性界面活性劑 (市售產物） 0 · 03g 二辛基甲基胺 0 · 05g 9-重氮芴 0-01g 2-庚酮 23g 酞醯亞胺 O.Olg 實例35 聚[對- (1-乙氧基乙氧基）苯乙烯/對-特 -丁氧基苯 乙烯/對-羥基笨2烯] (Mw: 15000，分散度 1.85) 4.5g 含氟之非離子性界面活性劑 (市售產物） 0 · 03g 四丁基銨氫氧化物 0 · 03g 2-庚酮 23g 琥珀醯亞胺 0 · 02g (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規枱（2i〇x 297公釐） 39651 546540 A7 B7 經肩部中次標卑局貞_τ消費合作社印來 五、發明説明（64 ) 表17 實例36 聚[對-(1-乙氧基乙氧基）苯乙烯/對 -羥基 苯乙烯] (Mw: 20000，分散度：1.85) 4.5g 聚（對•特-丁氧基羰基氧基苯乙特/對-羥 基苯乙烯] (Mw: 8000，分散度：1.85) 1. 5g 雙（環已基磺醯基）重氮甲烷 0 · 25g 雙（2· 4-二甲基苯磺醯基）重氮甲烷 0 · 05g 含氟之非麗子性界面活性劑 (市售產物） 0 · 03g 三辛基胺 0 · 05g 二乙二醇二甲基醚 30g 酞醯亞胺 0 ♦ 01 g 實例37 聚[對-(1-乙氧基乙氧基）苯乙烯/對 -羥基 苯乙烯] (Mw: 20000，分散度：190) 4.5g 雙（環已基磺醯基）重氮甲烷 0 . 3g 雙（對-甲苯磺醯基）重氮甲烷 0· 15g 含氟之非離子性界而活性劑 (市售產物） 0.05 三-正-丙基胺 0 · 05g 丙二醇單甲基醚乙酸酯 23g 二乙醯胺 0.02g (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11

本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) Λ4規枱（210Χ 297公釐）64 39651 546540 經滅部中次標準局員JT.消費合作私印來 A7 B7 五、發明説明（65) 表18 實 例 38 聚 [對- ()-乙氧基乙氧基） 苯乙 烯 /對 -羥 基 苯 乙烯 ] (M w ： 1 5000 ，分 散 度 1 . 95) 4 . 5g 雙 (環已基磺醯基） 重 氮 0 . 3 g 含 氟之 非離子性 界 而 活 性 劑 (市售產物） 0 . 03g 四 丁基 銨氫氧化 物 (K 05g 丙 二醇 單甲基醚 乙 酸 酯 23 g 二 乙醯 脲 0 . 02g 實 例 39 聚 [對- ()-甲基- 1 - 甲 氧 基 乙氧 基 )苯 乙烯[ (M W： 20000 ，分 散 度 : 1 . 05) 4 . 5 g 雙 (環已基磺醯基） 重 氮 甲 烷 0 . 3 g 雙 (對- 甲苯磺醯 基 )重氮甲烷 0 . 05g 含 氟之 非離子性 界 面 活 性 劑 (市售產物） 0 . 03g 四 丁基 銨氫氧化 物 0 . 05g 丙 二醇 單甲基醚 乙 酸 酯 23 g 二 苯甲 醯脲 0 . 02g 實 例 40 聚 [對- ()-乙氧基乙氧基） 苯乙 烯 /對 -羥 基 苯 乙烯 ] (M w * 2 0 0 0 0，分 散 度 ：1 .05) 4 . 5 g 雙 (環已基磺醯基） 重 氮 甲 燒 0 . 3 g 含 氟之 非離子性 界 面 活 性 劑 (市售產物） 0 . 03g 二 環已 基甲基胺 0 . 05g 丙 二醇 單甲基醚 乙 酸 酯 23 1 g 甲 烷磺 醯胺 0 . Olg 本紙張尺度適用中國國家標绛（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 65 39651 546540 A7 B7 五、發明説明（66 ) 表19 經泌部屮决標準局負,τ消費合作私印f 實 例 41 聚 [對四氫吡喃基氧基笨乙烯/對 -羥 基苯] 乙 烯] (M w: 15000，分 散 度 ：1 .1 0) 4 , 5g 雙 (環已基磺醢基） 重 氮 甲 燒 0 . 3 g 含 氟之非離子性 界 面 活 性 劑 (市售產物） 0 . 03g 二 辛基甲基胺 0 . 05g 9- 重氮結 0 . Olg 2- 庚詷 23 g 對 -甲苯磺醯胺 0 . Olg 實 例 42 聚 [對- ()-乙氧基乙氧基） 笨乙烯 /對 -特 丁 氧 基苯乙烯/對- 羥 基 苯 乙 烯] (M w· 15000，分 散 度 1 . 85 4 . 5g 雙 (環已基磺醯基）重 氮 甲 烷 0 . 3 g 含 氟之非離子性 界 面 活 性 劑 (市售產物） 0 . 03g 四 丁基銨氫氧化 物 0 . 03g 2- 庚酮 23 g 苯 磺醯胺 0 . Olg (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標绛（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 66 3 9 6 5 1 546540 A7 B7 五、發明説明（67 表2 0 實例43 聚 [對-()- 乙 氧基 乙氧 基）笨 乙 烯 /對 -羥 基 苯 乙烯] (M w ： 2 0 0 0 0 > ，分散之1 .05) 4 . 5g 聚 (對-特- 丁 氧基 羰基 氧基） 苯 乙 烯/ 對_ 羥 基 苯乙烯 (M w ： 8 0 0 0 分散 度： 1.85) 1 . 5g 雙 (環已基 碌 釀基 )重氮甲烷 0 . 25g 雙 (2 · 4-二 甲 基苯 磺醯 基）重 氮 甲 燒 0 . 0 5 g 含 氟之非離子性界面活性劑 (市售產 物 ) 0 . 03g 三 辛基胺 0 . 05g 二 乙二醇 30 g N - 苯甲醯苯醯胺 0 . Olg (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 钞滅部中决標準局员_τ消費合作社印f 使可 別。 分物 但成 ， 組 行劑 進阻 式光 方之 同備 相 自 之 方 中配 o y 3 另 例個 實之。 依示中 係所21 成中表 形20於 之 至 示 案15果 圖表結 依之 用 得 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) Λ4規格（21 OX 297公釐） 3 9 6 5 1 546540 A7 B7五、發明説明（69 ) 聚[對- () -乙氧基乙氧基）苯乙烯/對-羥基苯乙烯] 經鴻部中次摞率局舄,τ消费合作社印f (Mw: 20000，分散度：1.90 4.5g 雙（環已基磺醯基）重氮甲烷 〇,3g 雙（對-甲苯磺釀基）重氮甲烷 0.15g 含氟之非離子性界面活性劑 (市售產物） 0· 05g 三-乙-丙基胺 0·0 5 g 丙二醇單甲基醚乙酸酯 23g 編號，（K20w«i之直線空間可在30mJ/cm2之曝曬劑量 下解析，但圖案如第5圖中可示，在光阻劑薄膜之府部具 有地腳，不能令人滿意輪靡。 fch較例6 光阻劑組成物係使用已知之技術，依照下列之配方制 備，且依實例30中所述相同之方式形成圖案，但係使用該 光阻劑： 聚[對- () -乙氧基乙氧基）苯乙烯/對-羥基苯乙烯] (Mw: 20000，分散度：1.90) 4,5g 雙 之 氟 雙含 烷劑 甲烷性 氮甲活 重氮面 V) 基}生 醯基?1 磺醯 S 基® Ϊ 已甲 環對 物 產 售 市 酯 酸 乙 醚 胺基 基甲 丙單 醇 乙二 三 丙 酸 楊 水 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 3 9 6 5 1 (請先閱讀背面之注意事項㈣填寫本頁) 546540 A7 五、發明説明（7〇 ) 結果、在32fflJ/cin2之曝曬劑量下可解析得到具有良好 輪廓之0 . 2 0直線空間。然而、當光阻劑組成物在2 3 °C下儲 存2週，再以實例30中所述之相同方式形成圖案時，顯像 之過程中未經曝曬之部份亦遭溶解，因此無法得到期望之 圖案、如第6圖中所示。因此其儲存安定性不良。

-MJL 依照此比較例6中相同之配方制備光阻劑組成物、但 增加三-乙-丙基胺之量至O.lg。除使用該光阻劑組成物外 、餘均依實例30中所述相同之方式形成圖案。 當光阻組成物於剛製備說後，或在2 3 υ下儲存一個月 後用於形成圖案，此光阻劑組成物可提供具有良好輪廊 0.20/uiu線空間，但其敏感度低，因此曝曬劑量為72mJ/ cm 2 〇 經4部中决標準局員T-消費合作社印餐 卜上較例8 依此較例6相同之配方製備光阻劑組成物，但使用苯 二酸取代水楊酸。圖案僅依實例30中所述相同之方式形成 ，但使用該光阻劑組成物。 即使在2 3 °C下儲存1個月後使用，光阻劑組成物亦可 提供具良好輪廓之0.20mJ/ii«直線空間，但其敏感度低， 因此曝曬劑量為72niJ/cin2如同比較例7之光阻劑組成物。 由以上各點可清楚地看出，當本發明之光阻劑組成物 用在特殊材上（如T i N基材或B P S G基材），當作曝曬於深紫 外線（300ιηπι或更低）或KrF準分子雷射光束（248.4mm)之光 阻劑物質時，該光阻劑組成物可提供四分之一微米圖案之 本紙張尺度適州中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 70 3 9 6 5 1 546540 ΑΊ Β7 五、發明説明（U ) 良好輪廓，而不會造成地腳，同封維持高解析度之高敏感 度因此，本發明在半導體工業等等，形成極組圖案方面極 有價值。 本發明之化合物可有效的作為基材依存性改善劑，特 別是在使用曝紫外線或KrF準分子雷射光束形成圖案時。 其對於使用電子束，X-射線，ArF準分子電射光束之形成 圖案時亦足以使用。 經滅部中次標準局員,τ消費合作社印繁 ΊΧ 7 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規枱（210Χ 297公釐） 3 9 6 5 1

Claims (1)

1. 546540 ____ ， Η3 經濟部中央標準局員工福利委員會印制衣 灣丨 I " <到8710 5 77 8:號專利申請案 申請專利範圍修正本 (91年3月6曰） 一種降低光阻劑基材依存性之改善劑，包括在分子中含 有一至四種其- NH-直接鍵之一或二個鍵係直接鍵結於 一至三種選自-C( = 0)-，-C( = S)-，及-so2-基之構造之化 合物； 其中該化合物包括一至七種選自下列（1)至（7)之化 合物： (1> 一種由脂肪系二元酸所衍生之醯亞胺化合物，該 醯亞胺化合物爲琥珀醯亞胺、馬來醯亞胺、戊二醯亞胺、 二甲雙酮、二乙雙酮、繞丹寧、海因、尿嘧啶、二氫尿 嘧啶、2，4-二氧代六氫- I，3,5-三嗪、乙二醯脲、丙二醯 脲、四氧嘧啶、紫尿酸等等； (2)—種以下式[2】表示由芳香系二元酸所衍生之醯 亞胺化合物： Η 人 ^ DXQ=X [2]ί Ε 、、一/ 其中X爲氧原子或硫原子；D爲可含有氧原子、氮原子 或硫原子當作構成原子之飽和或不飽和5_或6 -員環，且 構成環之碳原子可具有取代基，而硫原子可具有一或二 個氧基，且E爲含有碳原子當作構成原子之飽和或不飽 和6-員環或稠環，且環E與環D形成稠環； 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) Α4規格（ 210 X 297公釐） 1 39651 546540 H3 (3>—種以下式[3】表示之化合物： Η •人 [3] G、C = 0 / * j \ J ;〉一〆S · 、〜Λ t ; χ y 其中G爲可含有氧原子當作構成原子之飽和或不飽和 6-至8-員環；J及L二者分別爲苯環，且環J及環L分 別與環G形成稠環； (4) 苯均四酸二醯亞胺； (5) 本達隆（bentazone); (6) 磺醯胺衍生物；及 (7) —種以下式[21】表示之化合物：

   [21] 其中乂1及X2分別爲經取代或未經取代之烷基或苯基； η爲1至3之整數；且在數個η中之X分別爲氧原子或 硫原子。 經濟部中央標准 員工福利委員會印制π 2·如申請專利範圍第〖項之改善劑，其中由芳香系二元酸 衍生之醯亞胺化合物爲酞醯亞胺、四氫酞醯亞 胺、1，8_萘醯亞胺、或2,3 -萘二醯亞胺者。 3·如申請專利範圍第i項之改善劑，其中磺醯胺衍生物爲 r〇so2nhr’所示之化合物，其中R()爲經取代或未經取 代之院基' 或經取代或未經取代之芳基；且R，爲氫原子 或烷基者。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) Α4規格⑺(）χ撕公餐） 2 39651 546540 H3 4·如申請專利範圍第3項之改善劑，其中磺酸胺衍生物爲 甲苯磺醯胺、苯磺醯胺、或甲烷磺醯胺者。 5·如申請專利範圍第1項之改善劑，其中以式【21】表示之 化合物爲Ν-苯醯基苯醯胺或二乙醯胺者。 6· —種光阻劑組成物，包括：U)經由酸之作用可變成鹼可 溶之聚合物，（b)以光化幅射照射可以產生酸之化合物， (c)如申請專利範圍第1項所述分子中含有一至四種其-N H-直接鍵之一或二個鍵係直接鏈結於一至三種選自-c( = o)-，-C( = S)-，及-so2-基之構造之化合物，及（d)可 溶解此三種成份之溶劑；其中相對於重量份聚合物 (a)，化合物（c)之量爲0.01至10重量份。 經濟部中央標準局員工福利委員會印制衣 7. —種光阻劑組成物，包括：（a)鹼可溶之聚合物，（b)經 由酸之作用可變成鹼可溶之化合物，（c)可以光化輻射照 射時產生酸之化合物，（d)如申請專利範圍第1項所述分 子中含有一至四種其-NH-直接鍵之一或二個鍵係直接 鍵結於一至三種選自-c( = o)·，-C( = S)-，及-so2•基之構 造之化合物，及（e)可溶解此四種成份之溶劑；其中相對 於1〇〇重量份聚合物（a)及化合物（b)之總量，化合物（d> 之量爲0.01至10重量份。 8. —種光阻劑組成物，包括：U)鹼可溶之聚合物，（b>可 經由與酸之作用，與其交聯使該聚合物難溶於鹼之化合 物，（〇可以在光化輻射照射時產生酸之化合物，（d>如 申請專利範圍第1項所述分子中含有一至四種其-NH-直 接鍵之一或二個鍵係直接鍵結於一至三種選自-c( = o>-， -C( = S)-，及-S02-基之構造之化合物，及（〇可溶解此四 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210 X 297公f 3 39651 546540 ___ H3 經濟部中央標準局員工福利委員會印製 . 種成份之溶劑；其中相對於100重量份聚合物（a>及化合 物（b>之總量，化合物（d)之量爲0.01至10重量份。 9·如申請專利範圍第6至8項任一項之光阻劑組成物，其 中如申請專利範圍第1項之化合物包括由脂肪系二元酸 所衍生之醯亞胺化合物者。 10·如申請專利範圍第6至8項任一項之光阻劑組成物，其 中如申請專利範圍第1項之化合物包括由芳香系二元酸 所衍生之醯亞胺化合物者。 11·如申請專利範圍第9項之光阻劑組成物，其中由脂肪系 二元酸衍生之醯亞胺化合物爲琥珀醯亞胺、馬來醯亞胺 或戊二醯亞胺者。 I2·如申請專利範谓第10項之光阻劑組成物，其中由芳香 系二元酸衍生之醯亞胺化合物爲酞醯亞胺、1，2,3,6-四氫 酞醯亞胺、1，8-萘醯亞胺、或2,3-萘二醯亞胺者。 13·如申請專利範圍第6至8項任一項之光阻劑組成物，其 中磺醯胺衍生物爲r〇so2nhr’所示之化合物，其中R〇 爲經取代或未經取代之烷基、或經取代或未經取代之芳 基；且R’爲氫原子或烷基者。 I4·如申請專利範圍第I3項之光阻劑組成物，其中磺酸胺 衍生物爲甲苯磺醯胺、苯磺醯胺、或甲烷磺醯胺者。 15·如申請專利範圍第6至8項任一項之光阻劑組成物，其 中以式【21】表示之化合物爲N-苯醯基苯醯胺或二乙醯胺 者0 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（ 210 X 297公釐） 39651