TW520623B - Method of applying a dry film resist to a printed circuit board and apparatus for the same - Google Patents

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520623 A7 五、發明說明（ [發明背景] 該本發明係直指一種自動輸送機式真空施加機及其操 作方法，而可用於施加諸如光阻蝕刻劑及焊接罩膜 mask)之乾膜光阻成形材料至印刷電路板或其他基板之表 面，以確保該乾膜之完全一致地環繞著凸出之電路配線及 不規則之表面結構。該施加機及方法具有特別用途，用以 在此施加操作已經使乾膜未堅硬地施加至最少其一表面、 如該基板邊界内之各別切開薄片之前，運送及施加真空、 熱量、及機械式壓力至印刷電路板或其他基板。 主成像光阻蝕刻層（primary imaging photoresists)及次 成像焊接罩膜（secondary imaging solder masks)係在印刷 電路板之製造中最為人所廣泛使用之可光電成像材料。主 要之成像光阻钱刻劑係用於產生該印刷電路配線圖本身， 反之知接罩膜係用於在將各零組件焊接至該電路板期間保 護該印刷電路配線圖。 主要光阻姓刻劑係一堅硬、暫時使用之不導電材料 層’該不導電材料層蓋住一覆蓋著銅之基板之金屬表面， 該基板稍後變成該印刷電路板。以產生一光阻印刷模版之 方式設計該光阻钱刻劑之圖案，以致圍繞該光阻印刷模版 形成該印刷電路配線。 更特別地是主要之光阻蝕刻劑典型係由一層可光電成 像成份所形成’該可光電成像成份係施加至覆蓋著銅之電 路板之表面。該可光電成像成份係藉著模板或印刷圖片設 計圖案之光化學輻射線曝光。於曝光之後，該可光電成像

請 先 閱 讀 背 之 注 意 事 項 再備 填7 寫裝 本 -頁 I 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1 91638 520623 A7 ----B7 五、發明說明（2 層係在-有機溶劑、似水、或半似水之溶液 =容液沖走該可光電成像層之已曝光或未曝光部份(:: ^可光電成像材料是否具正片作用或負片作用而 I、 後’藉I電錢或姓刻法形成該電路配線。力_血型之電、 在Γ缺之光阻㈣劑而變成該電路配線圖之區： 係藉者在其上面電鍍銅而由該電路板表面建立。在 訂 電鍍銅層之後’剩餘之光阻蝕刻劑係於有機溶劑、似水’ 或半似水之溶液中剝除，及然後於姓刻溶液中選擇性地除 去該最近曝光之金屬區域，只留下該原型鍍銅電路線。於 典型之蝕刻程序中，在蝕刻溶液内選擇性地移去該等缺乏 光阻蝕刻劑之區域中之金屬，而在剝除該主要光阻之後留 下該蝕刻金屬層之剩餘部份當作該電路配線。 在另一方面，焊接罩膜係一堅硬、永久不導電之材料 層，該材料層蓋住一印刷電路板或其他基板之表面，納入 該印刷電路配線圖本身之配線。設計該焊接罩膜之圖案以 >充分地蓋住該電路配線圖，除了那些意欲曝光之各部份， 例如用以焊接至另一零組件之各部份。 經濟部智慧財產局員工消費入口作社咿製 更特別地是焊接罩膜典型係由一層可光電成像成份所 开> 成，該可光電成像成份係施加至該印刷電路板之表面。 類似於主要之成像光阻，該可光電成像層係藉著模板或印 刷圖片設計圖案之光化學輻射曝光。於曝光之後，該可光 電成像層係在有機溶劑、似水、或半似水之溶液中顯像， 該溶劑或溶液沖走該可光電成像層之已曝光或未曝光部份 (再次依該可光電成像材料是否具正片作用或負片作用而 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 2 91638 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

520623 A7 ---- -__ 五、發明說明（3 ) 定）。然後例如藉著加熱及/或紫外光硬化留在該表面上之 該層部份，以便於該電路板之使用壽命期間形成一意欲保 護該印刷電路配線圖之堅硬、永久性焊接罩膜。 一種施加一層主要光阻或焊接罩膜至一電路板表面之 先前技藝方法係以液體形式施加該材料，然後允許其乾燥 或局部硬化該材料以形成半穩定層。然而，施加可光電成 像層至一電路板當作乾膜而非當作液體有著許多優點。特 別是乾膜上不會有有機溶劑，及因此免除來自該工作場所 之危險，及不須要保護現場工作環境及更一般性環境不受 到有機溶劑散發之裝置。 此一乾膜典型包含支承材料之覆蓋薄片，該支承材料 多少具有彈性’但其具有充分之硬度，以提供壓在該覆蓋 薄片一表面上之可光電成像成份層之結構。該覆蓋薄片可 能由聚酯材料製成，諸如聚對苯二甲酸乙二醇酯（ΡΕτ)材 料。為保護該可光電成像層及能夠使該乾膜滾動，吾人習 知對於可光電成像層之曝光表面將覆蓋著可移除之保護薄 片，例如聚乙烯薄片。 使用此乾膜之方法一般而言如下。在將乾膜施加於該 印刷電路板表面之前，立即由該可光電成像成份層移除該j 保護性聚乙浠薄片。這可譬如當該乾膜由捲盤展開時，藉 著使用自動剝離及捲起該保護薄片之裝置完成乾膜之施 加。該乾膜係施,加至該電路板之表面，使得該可光電成像 層直接接觸該電路板表面。然後使用加熱及機械式壓力（於 滾筒式層壓機之情況中）或真空、加熱及機械式壓力（於真 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公爱 - ^--------訂----- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 91638 A7

520623 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（5 ) 別是此不平部分通常歸因於凸出或高出該不導電材料之電 路板表面上方之電路配線。因此，吾人想要的是使施加至 該電路板之任何乾膜焊接罩獏能夠一致地環繞著該等直立 之電路配線，以使出現諸如短路等瑕疵之風險減至最小。 在另-方面，於施加主要之光阻期間，當在包含散入式零 ’、且件之夕層電路板之薄外部表面上建立電路配線圖時，因 該等零組件會在該外部表面上突出及留下痕跡，故通常導 致此等不平部份。吾人想要的是使施加至此一電路板之任 何光阻劑能夠與此等不規則之表面輪H以使形成諸 如工洞、斷離、或短路等瑕疲之風險減至最小。在電路板 製造上亦已有一項需求是由於目前使電子設備小型化之趨 勢，以減少印刷電路板之尺寸而同時增加其為特殊需要所 认计之性此，足使對於乾膜光阻劑之施加出現其他困難。 因為越來越多電路配線圖需要裝配至更小之表面上，在該 電路板上各電路線及其間之空間已經持續縮小。只有在高 度困難下及只有在假如該主要光阻充分地附著及完全地貼 合該印刷電路板之輪廓時，方可達成此細線及緊密隔開電 路配線圖之建立。否則將發生微小電路配線之欠缺及造成 斷離或短路。 吾人已經發展出若干改良式可光電成像乾膜及真空疊 層製程，以嘗試改良該乾膜對一印刷電路板之不規則表面 輪廓之貼合性，其相關範例譬如在美國專利第 4,889,790(發給羅斯等人）、4 992 354(發給亞克桑等人）、 及5，164,284(發給布萊喬立歐31^叫11〇等人）號中所揭露 木紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公爱） 91638 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) |裝--------訂----- 碌- 520623 A7 ------~__ 五、發明說明（6 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 者。這些專利中所揭露之製程涉及使用一乾膜將光阻成形 層施加至一印刷電路板，其中為其透明度、強度及彈性而 選擇之一“中間層，，係介入該支撐薄膜或覆蓋薄片及該可光 電成像層之間。該乾膜之中間層係選擇性地比黏著至該覆 蓋薄片更黏著於該可光電成像成份層，而在該可光電成像 層層疊至一印刷電路板之後允許移去該覆蓋薄片，以藉著 留在該可光電成像成份層上之中間層當作一“頂部覆蓋層，， 而辅助其貼合性。該頂部覆蓋層係為非黏性物質及能放置 接觸其他表面，諸如用於接觸印刷之印刷圖片。該頂部覆 蓋層亦具有一氧氣隔離物之作用，而在移去覆蓋薄片之後 允許該可光電成像成份層在該印刷電路板上保持未曝光達 一段時間。使用具有該“中間層，，或“頂部覆蓋層，，之乾膜使 得這些專利中所述之製程成為可能。 於每一情況中，為形成更一致之薄膜，首先剝離該保 護性聚乙烯薄片及將該可光電成像成份層之已曝光表面施 ϋ加至該印刷電路板之表面。使用真空、加熱及機械式壓力， 經濟部智慧財產局員工消費合作社V製 該乾膜係層疊至該印刷電路板之表面，並局部地貼合至該 可光電成像層。在約60秒之内及在發生該印刷電路板及乾 膜之實質冷卻之前，已移去該乾膜之覆蓋薄片，然後該可 光電成像成份層及壓在其上之頂部覆蓋層充分貼合於該印 刷電路板之表面形狀及在習知處理之前大體而言封裝該等 配線及表面輪廓。因為於該最後貼合步驟之前移去該覆蓋 薄片’特別是當施加薄可光電成像成份層至具有緊密隔開 配線之電路板上時，即可達成更好之貼合性。因為該頂

A7 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（7 ) 覆蓋層直接接觸用以接觸印刷之印刷圖片，及因為該頂部 覆盖層係遠比一覆蓋薄片或支承薄膜薄’且因此比支承薄 $更非是良好解析度之阻礙物’故亦可達成更好之解析 •於美國專利第4,946,524號（發給史探福等人）中，已揭 路一種施加機及用以施加一貼合之乾膜材料至一印刷電路 板表面、而同時允許移去該保護薄片、隨後以該施加之薄 膜處理該電路板、及排出該薄膜及該電路板之間所圍繞空 氧之製程。在真空層疊操作之前’當該電路板之表面覆蓋 著薄膜之-鬆弛薄片時，將使該乾臈及該印刷電路板表面 間所圍繞空氣之排出變容易。為此目的，美國專利第 4,946,524號之施加機係可操作至在前緣及後緣將該乾臈 釘至一電路板，而使該薄膜之中間部份鬆弛地施加該處。-該薄膜係釘至該電路板，而在該電路板表面周邊之範圍内 田作不連續之切割薄片。為方便故，已有此一乾膜薄片 鬆弛地施加至其表面或各表面之印刷電路板係稱為在下文 “預先層疊式”電路板。 為了採用先前用於同軸系統中連續式自動化操作之專 利所述製程，在美國專利第5,292,388號（發給康道爾等人） 中已揭露一種自動化輸送機式真空層疊機裝置。美國專利 第5,292,388號之裝置提供一種改良及有效率之機構，用 以自動地輸送及施加真空、加熱、及機械式壓力至預先層 疊式印刷電路板或基板，及克服於一自動化同軸系統中利 用習知批次式真空層疊機所遭遇之困難。該自動化輸送機 91638 ^ <—----1—— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 520623 A7 五、發明說明（8 式真空層疊機包含二主要部份，—真空層疊機及一輸入滾 筒式輸送機，該輸送機用於由前述之預先層疊式設備將預 先層疊式電路板餵入該真空層疊機。該真空層疊機特別包 括藉著已加熱之上方及下方壓盤界定之單一真空室，及一 放置在該壓盤之間用以將該印刷電路板移入及移出該真空 室區域之循環帶式輸送機。於操作時，欲真空層疊之預先 層疊式電路板（亦即已將該乾膜可光電成像材料鬆弛地施 加至其表面）係由該輸入滾筒式輸送機傳送至該循環皮 T，該循環皮帶把該電路板移入該已加熱之上方及下方壓 盤間之適當真空層疊位置。其後，舉起該下方壓盤以與該 上方壓盤形成密封嚙合，以便在該真空室中抓住該循環帶 式輸达機及停放在該循環皮帶上之預先層疊式電路板。其 次，將這些壓盤間之真空室内抽成真空，以抽空該乾臈及 該預先層疊式電路板表面間之所有空氣，隨後藉著施加熱 量及機械式壓力以使該乾膜貼合該電路板。當完成該處理 丨循環時，降低該下方壓盤及將該已層疊之電路板送離至隨 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合-作 社— 印 製 後之處理設備，而同時下一塊欲真空層疊之電路板將抵達 用於下一個真空層疊循環。 然而，此一輸送機式真空層疊裝置之操作已遭遇困 難如在美國專利第5,292，388號中所述❶特別地是，在 抽空該真空室之前過早將該乾膜釘至該電路板表面已經是 一項問題。該問題對於薄電路板（例如小於〇 25毫米）特別 普遍，因為他們對於快速加熱特別敏感。為確保該乾膜環 繞該電路配線及基板表面輪廓之完全貼合性，其必需在施 91638 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐 520623 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

520623 A7 -------5L_________ 五、發明說明（) 及機械式壓力之下施加一乾膜光阻劑或焊接罩膜至預先層 疊式印刷電路板或其他基板之改良式方法及裝置，藉㈣ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 去所有誘陷於該乾膜及該印刷電路板或基板表面間之空 氣、確保該乾膜之元全貼合環繞著該凸出之電路配線及 該基板表面輪靡。 本發明之另一目的係提供一種用以真空層疊預先層疊 式印刷電路板及基板之改良方法及裝置，該方法及裝置防 止在抽空該乾獏及該電路板或基板表面間之所有空氣之 前，過早地將該鬆弛地施加之預先層疊式乾燥薄膜釘至該 印刷電路板或基板表面。 本發明之又另一目的係提供一種用以真空層疊預先層 豐式印刷電路板及基板之改良方法及裝置，該印刷電路板 及基板係皆可於一同軸系統令及以完全自動化之連續方式 操作。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 為元成本發明之先前及其他目的，已提供一種層疊一 籲預先層疊式印刷電路板或其他基板之改良方法，而防止過 早將該乾膜光阻劑成形層釘至該電路板，該方法包括以下 之主要特色：（a)於具有二獨立（亦即雙重）真空層疊室之一 真空層豐機之第一真空層疊室内放置該電路板；（b)在周圍j 之溫度下於該第一真空室中抽真空達一段充分之時間，以 由該乾膜及該電路板或基板表面之間實質地抽空所有空 氣’及藉此放置該乾膜而與該電路板或基板之表面形成密 切接觸；（c)立即將該電路板放入該真空層疊機之第二獨立 真空層疊室内；及（d)於第二真空層疊室中施加充分之熱量

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本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 11 A7 B7 五、發明說明（11 ) 至在該電路板或基板上之龄膜 乏乾膜以造成該乾膜流動，及秋接 在該電路板或基板上施加充分之機械式麼力以藉此迫 已加熱之疊層緊密地貼合至該電路板或基板之表面輪摩Γ 前述步驟⑷至⑷最好係以同轴及連續自動化之方式 施行，以致能採用該方法用以使用於—製造印刷電路板工 完全自動化操作同軸系統。 步驟（b)及⑷亦最好以交替t順序施行，以允許至少一 預先層疊式電路板同時位於每一真空室内，這依序提供至 少兩倍製造生產力之增加。 為完成本發明之這些及其他目的，亦已提供一種改良 式乾膜光阻劑或焊接罩膜之真空層疊裝置，該裝置包含以 下之主要特色：以頭尾相接之關係提供二間獨立（亦即雙重） 之真空層疊室，該第一層疊室係在周圍之溫度下操作而同 時抽真空，以致減少該真空室内之空氣壓力及抽出該鬆弛 地施加之預先層疊式乾膜及該印刷電路板或基板表面間之 所有空氣，藉此放置該乾膜而與該基板之表面形成密切接 觸’而同時在貼合層疊操作之前防止該乾膜過早釘至或黏 附至該電路板，且在操作該第一層疊室之後立即操作該第 二層疊室，以致在加熱及機械式壓力之下層疊該事先抽空 之乾膜至該印刷電路板或基板，藉此確保該乾膜之完全貼 合環繞著該凸出之電路配線及該基板表面輪廓。 前述裝置最好更進一步具有以下之特徵··即其用以連 續操作之能力，及提供用以運送預先層疊式印刷電路板或 基板進入及移出該真空施加機之第一及第二真空層疊室之 91638

520623 A7 五、發明說明（12 ) ; '機’、亦較佳的是提供此一連續操作之輸送機式真空 施加機，以致其與自動輸入滾筒式輸送機相聯地操作，、用 以健入預Μ疊式印刷電路板或基板至該自動化輸送機 ^，以此一方式而允許至少一電路板或基板位於該真空層 疊，之每一真空室，而下-塊欲真空層疊之電路板或基板 '、文排在輸人滾筒式輸送機上之適當位置’並預備好開始 下人之真二層璺循裱。當在每一真空層疊室中完成該真 -層愛循壞時’該第二真空室中之印刷電路板係自動地送 出該真二層豐機，該第一真空室中之電路板係運送至該第 二真空室，1該預先安㈣欲Α空層4之新印刷電路板係 送入該第一真空室。 該自動化輸送機式真空施加機具有運送印刷電路板及 施加真空、加熱及機械式壓力至印刷電路板之特殊用途， 該等印刷電路板業已按照美國專利第4,946,524號中所述 製程預先層疊有光阻劑或焊接罩膜之乾膜，及按照美國專 利第 4,889,790、4,992,354、& 5，164,284 號中所述製程製 造者。 於處理期間，在需要真空層疊之同軸處理光阻或桿接 罩膜薄膜之自動化連續物流之整個配置中，本發明之輸送 機式乾膜光阻或焊接罩膜施加機係一重要零組件。 本發明Φξ：供Sb自動化該真空施加處理當作一同軸系統 之機構，而同時1)減少常見之層疊缺陷，諸如過早之光阻 黏著，2)實質地免除修理或重做已完成之印刷電路板之需 求，及3)增加至少兩倍之印刷電路板製造生產力。 » I I --- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · -線· 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合- 作· 社 印 製

520623 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（13 ) [圖示之簡單說明] 對於本發明之敘述，隨後將參考形成其規格之一部份 之各圖面附圖詳細敘述之，其中類似部份係標以相同之參 考號碼且其中： 第1圖係一機箱結構之側視圖，其中本發明之輸送機 式雙重層豐室真空施加機係坐落在該機箱内； 第2圖係一在比例上大於第i圖之概要透視圖，說明 用以經由該真空層疊機連續地供給預先層疊式印刷電路板 或基板之輸送機式真空施加機之輸送機系統； 第3至5及10圖係說明第丨及2圖施加機之各種特色 之片斷詳細視圖； 第6至9圖係一真空層疊機之橫截面視圖，該真空層 疊機可與該輸送機式真空施加機有利地一起使用，且說明 其一壓盤之操作順序； 第11至24圖係在比例上小於第2圖所示者之概要透 視圖’說明該輸送機式真空施加機當用於經由該真空層疊 機一次一塊地進給印刷電路板或基板時之功能循環；及， 第25圖係另一選擇性第二層疊室之概要透視圖，該第 一層璺至可使用於第1圖之輸送機式真空施加機中。 [元件符號之說明] 10 機架 17 輸送機式真空施加機 14 第一輸入輸機 14b " 16b 出口端點 -----------.—I—訂-—I----- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 13 91638 520623 A7 B7 ----------------------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) - _ .·' 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（14 ) 15、17 16 18 20 22 22a 24 _ 26 28 30 32 > 134 > 136 36 、 170 > 172 38 > 40 42 ^ 44 46 > 48 ^ 50 > 52 • 54、56、58、60、62、64、 66a ^ 68a 66 ^ 68 66b、66c、68a ' 68c 70 ^ 72 70a > 72a 74 ^ 76 78 80 鏈條耦合式滾筒 第二輸入輸送機 第一真空層疊組件 第二真空層疊組件 第一 3/4帶式輸送機 入口端點 第二3/4帶式輸送機 第一真空層疊機 第二真空層疊機 阻隔器 氣缸 光電元件 輸入滾筒 輸出滾同 鏈條 82、84、86、88 齒輪 夹棒 炎子 爽棒構件 皮帶 上方行程區段 開口 第一電動馬達 第二電動馬達 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 14 91638 520623 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（15 ) B7 90 > 94 > 98 > 100 -106 ^ 108 鏈條傳動 齒輪 92 > 112 電磁離合 器 102 >110 驅動軸 114 、116 〜 118、 120、 122、 124 馬達速控 制電位計 126 ^ 128 選擇器開 關 130 -132 軸承 138 ' 140 ^ 154 ^ 156 ' 162 > 164 凸輪 142 > 144 ^ 158 - 160、 166、 168 感測器 146 、148 下機台 150 、152 上機台 174 紅外線感 測器 176, ^ 176，， 彈性矽膠 橡勝鋪面 178, >178，， 頂面 180, ' 180，， 凹槽 182, ^ 182，， 矽膠橡膠 插槽 184, -184，， 密封方式 186, ' 186，， 真空幫浦 188, ' 188，， 充填插槽 190, \ 190，， > 192, ^ 192 ” 加熱器 194, 通道 196 導執 198 PLC 200， ^ 200a > 200b 預先層疊式印刷電路板 202 液壓缸 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 15 91638 520623 A7 風動衝撞機 下帶式輸送機 下帶式輸送機 間隔區 通道口 環狀皮帶 胃根據本發明之輸送機式真空施加機於真空層疊具各種 厚度及大小之印刷電路板及基板中具有特別之用途，典型 之厚度範圍約於0.1及3.2毫米之間，且大小範圍約於 25x38及60x71公分之間，該電路板或基板業已“預先層疊” 有乾膜主要光阻或焊接罩膜之一鬆弛薄片，並如前文所述 設有或沒有一“頂部覆蓋層，，。該輸送機式真空施加機之特 定功能係以一方式自動地施加真空、加熱及機械式壓力之 結合壓力，俾能避免過早釘住及如此完全地移除該乾膜及 藝該電路板或基板表面間之所有空氣，以確保該乾膜之積極 貼合環繞著已蝕刻或電鍍電路配線及不規則之基板表面輪 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（16 ) 204 206 208 210 、 212 214 、 216 218 [發明之詳細說明 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 廓。 參考第1及2圖，其中顯示一支撐結構或機架1〇，在 該機架1〇上根據本發明安裝有標以12之輸送機式真空施 加機。該輸送機式真空施加機12包含二部份。一部份包含 第一及第二輸入或進給輸送機14及16。另一部份包含第 一及第二真空層疊組件18及2〇。第一及第二真空層疊組 件18及20之每一組件分別包含第一與第二3/4帶式輸送 本紙張尺度綱中國國家鮮（CNS)A4祕（21G >^97^17 16 91638 520623 A7 B7 五 發明說明（ 17 機22及24及第一與第二真空層疊機26及28。 嫌如在第2圖中所示’該第一輸入輸送機14'第一 3" 送機22、第二輸入輸送機16、及第二Μ帶輸 Ή頭尾相接之M係延伸，以此順序，界定連續18 ”進入及排出每一真空組件18及2〇之路徑。 該第一及第二輸入輸送機14及16之每一個分別包含 多數鏈條輕合式滾筒15及17，該滾筒15及_伸越過 〇施加機12寬度方向達一段實質之距離。可調整之阻隔器 3/係定位供於該第-輸入輸送機14之出口端點14b及該 第3/4页式輸送機22之入口端點22a之間作垂直之移 如該阻隔态30延伸越過該施加機12之寬度方向及可藉 著個別相聯之氣缸32向上地移動，如在第2圖中所示。 私動係由下方或“未擋住，，位置至“上方，，位置，以檔住 印刷電路板之運送至該第一 3/4帶式輸送機22，該印刷電 路板係由前述指示在34之設備運送在該第一輸入輸送機 14上。 ^如在第2圖中所視，提供光電元件3 ό用以感測一印刷 電路板之抵達至5亥輸入輸送機14之出口端點14b，及用以 開始作動該氣缸32,俾能在該印刷電路板之未擋住及擋住 位置之間施行該阻隔器3()之移動。 該3/4帶式輸送機22及24之每一個分別包含一輸入 滾筒38及40及一輸出滾筒42及44，該等滾筒延伸越過 該施加機1 2之寬度。纏繞著每一對彼此配合之輸入及輸出 滾筒者係一對隔開之循環鏈條，其間之間隔係使得每一對 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 尽紙張尺度迥用〒國國家標準（cns)A4石^1“ 297公釐） 17 91638 Α7 Α7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（18 ) -- 鏈條46及48之一係位在施加 《Λ 加機12之一側，且每一對鏈條 及52之另一個係位在苴另 w ，、另一邊上。鏈條46及48係分 別與設在每一對應輸入滾筒3 Π 38及40之端點上之個別齒輪 54及56及設在每一對應齡λ % ”輸入滾筒42及44之端點上之齒 輪58及60咬合，如在第2圖令所示。類似鏈條50及52 糸與設在每一對應輸入滾筒及40及輸出滾筒42及44 之另一端點上之齒輪咬合。 面叛父。如此，如在第3圖中所示，鏈 條5 0及5 2係分別盘在贫山 ，、在4輸出滾筒42及44端點上之齒輪 62及64咬合。 如第3圖中所示，定位在每一相連鏈條46,50及48,52 對之間及在每-端點藉著合適之失子^及^牢靠地附著 至該處者係個別之皮帶70及72，每一皮帶延伸環繞著該 鏈條所形成迴圈達約四分之三之距離。每-夾子66及68 ^含-個別之夹棒66a及68a，該夾棒係分別在一端點牢 罪地附著至鏈條46及48及在另—端點附著至該鏈條5〇 及52。由每一夾棒66a及68a所攜帶及藉著合適之螺栓或 鉚釘牛罪地附著至該處者係長度較短之個別夾棒構件 及68b與66及68c，各個皮冑7〇及72之端點係捉住及保 留在該等夾棒構件之間。如此，如在第2圖中所最佳看見 者，每皮罗70及72在其中具有一相連孔口或開口 74 及76，該孔口 74及76之全寬與皮帶相同，其長度約為環 繞每一個別相聯帶式輸送機22及24迴圈之四分之一距 離。 II----· I I II---^ Μ I I------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 母一皮帶70及72可由很薄之玻璃纖維強化橡膠或鐵

520623 A7 五、發明說明（19 ) 弗龍塗附之玻璃纖維製成。吾人想要該皮帶之總厚度範圍 在0.013至0.025公分之間，以當於每一真空層疊機“及 28中抽真空時確保有一完全之密封。這是為何於該直空声 疊製程期間將每一皮帶7〇及72之上方行程區段7〇a及Ma 捉住於每一真空層疊機26及28之上方及下方廢盤之間。|| 第％動馬達78提供動力驅動該第一輸入輸送機μ 之鏈條連結滾筒及與之相關之該第—3/4帶式輸送機 第二電動馬達80提供動力驅動該第二輸入輸送機Μ之鏈 條連結滾筒及與之相關之該第二3/4帶式輸送機Μ。馬達 78與80各自包含一直流雷勒民、去、1 動馬達以提供分離齒輪82與84 與80與88動力，各別驅動該齒 菌輪代表之輸入輸送機14 及16以及帶式輸送機22與24。 如第2圖所示，馬達78择驻士此从 ^ 〇n ^ ^ ,咏 係精由齒輪82與鏈條傳動齒 輪90連接到該第一輸入輪送機 似斗认 ^ 微4亚以電磁離合器92提 供該輸入輸送機14選擇或相連驄叙 κ ^…•一 運驅動。馬達80係藉由齒輪丨^ 86與鏈條傳動齒輪94連接到 X 口 苐—輸入輸送機16，並以 電磁離0¾ 96提供該輸入輸送 A ^ ^ 選擇或相連驅動0離 合器92供能化與去能化控制該 勤離 輪入輸送機14鏈條連 接齒輪的運轉。同樣的，離合器9 ^ 一 μ 供肊化與去能化控制該 第輸入輸送機16鏈條連接齒輪的運轉。 …'達37/8二藉/齒輪 =:二:機22輸出滾筒42之該驅動軸心 «又於該鏈條傳動齒輪盘1〇2門 — H a ^ a1之電磁離合器104提供 該第 3/4帶式輸送機22择祚夕、眩加 ^ 、擇性控制。馬達80同 本紙張尺度適用帽國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱 91638 520623 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 社 印 製 A7 -、發明說明（20 ) 樣藉·由齒輪86與鏈條傳動齒輪106及108連接到該第二 贡式輸送機24輪出滾筒44之該驅動軸11〇。同樣的， 設於該鏈條傳動齒㉟1〇8與11〇間之電磁離合器US提供 該第一 3/4 τ式輸送機24操作之選擇性控制。 这馬達78及80各為一變速馬達，從穿 過馬達速度控制電位計114、116與118，以及i2〇、i22 和一 124並各自對應選擇器開關126與128之直流電源u 圖丁擇供此。如第2圖所示，於速度約3公尺/分驅鸯 、， 微4及16，於速度約9公尺/分驅動該輸入朝 送機14，1 6鱼3 Μ漁々认、、，η -、3/4贡式輸迗機22及24，而在速度3〇公 尺分僅驅動該3/4帶式輸送機22及24。同樣的，該輸Λ 汉10 各自獨立驅動該3/4帶式輸送機22及 24。然而，在相同的驅動時間時，該輸送機μ、μ、 及24之速度亦絕對相同。 為達到提供該第一與第二3/4帶式輸送機22及24之 該3/4皮帶70與72張力的目的，需解除真空製程之預設 點，如第2圖所示，藉由個別兩處氣缸134與136固定據 轉該3/4冑式輸送機22貞24各自之該輸入滾輪㈣及4( 之轴承130與132，轉換成較短距離排列並離開該對應真 空層疊機26及28。 " 〃 為感測當以該帶式輸送機22及24將預先層疊式印刷 電路板移至用以進行該真空層疊作業中個別接合之真空層 疊機26及28相對特定位置，最好配合參照第2圖及第4曰 圖所示，凸輪138及140各自連接感測器142及i44。凸 氏張尺度適用中關家標準規格⑽χ 297公爱〉 91638 -----------------------JL叮--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁，> 520623 A7 五、發明說明（21 ) 輪138與140係固定於該所屬對膺 瑗Μ p卞應之％鏈46及48並於該 送=2:該環鏈Μ及48係環繞於各自結合之帶式輸 迗機22及24。而對應之感測器142盥 _ Μ ”上44則固定於各自 所屬凸輪138及140所在該施加機12 炙機架10任一適宜 位置上。 當預先層疊式印刷電路板位於用以進行該真空声最作 =中個別接合之真空層疊機26及28相對特^位置時^該 帶式輸送機22及24皮帶70及72内連通口 74與％立即 置於適當位置，亦即，垂直於該真空層疊機，最好配合參 照第2圖所示，該第一和第二真空層疊機％及28個別之 該下機台146及148穿過各自該皮帶70與72之連通口 74 與7 6’上移至各自所屬該真空層疊機26與28之上機台15〇 及152，以進行印刷電路板真空層疊作業，之後，個別停 留在該第一與弟一真空層豐機26及28區域内該皮帶7〇 及72之該上運轉平台7 0a及70b表面上。 該第'^及苐一帶式輸送機22與24各自之起始位置係 位於該第一輸入輸送機14或第二輸送機16印刷電路板之 轉接處上方，該印刷電路板會個別於真空層疊機2(5及28 之層疊範圍内滑動，同時，該通道口 74及76滑動至各該 真空層疊機26及28下方之垂直位置。為求方便起見，該 皮帶70及72個別起始位置以下即通稱作該帶式輸送機22 及24之”設定點’’位置。 為感測到該帶式輸送機22及24之設定點位置，凸輪 154及156係個別固定於該環鏈50及52，且所屬感測器 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝

· I I I I 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 21 91638 520623 B7 五、發明說明（22 ) 158與160亦如第2圖及第5圖所示，固定於該施加機η 之該機架10上。

為使該帶式輸送機22及24對於各自設定點位置提供 接近的訊號預測，以便該帶式輸送機22及24能夠針對該 設定點位置相當快速地往復操作，亦設有各個凸輪162及 164與感測器166及168得以緩衝各帶式輸送機μ及μ 對於該設定點位置之速度，如第2圖及第5圖所示。 為偵測製備完成之印刷電路板及基板於該帶式輸送機 22及24出口端點之狀況，於輸出端亦個別設有光電管 及172，如第2圖所示。 亦如第2圖所示，當印刷電路板或基板從該第二層疊 機28輸出時，該紅外線感測器174可提供該印刷電路板或 基板進行溫度感應。該製備完成印刷電路板或基板之溫度 以感測器174感應後再以適宜方法顯示或呈現，有助於該 第二真空層疊機28 t該加熱方法之控制，以防止該印刷電 路板或基板於真空層疊時產生過熱或其他損傷。 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消_ 費 合 作一 社 印 製 由於用於預先層疊式印刷電路板之該乾膜薄片在真空 層疊時，溫度介於30至15(rc時具有高流動特性，該真空 層疊作業亦可於此溫度範圍内實施。 如第6圖至第9圖所示，在該輸送真空層疊機I]裡使 用該真空層豐機26及28較為有利。該真空層疊機26及 28可視為整體雙室式機構之一部份，如第2圖所示，或者， 一如預設，分離之兩真空層疊單元排列呈雙層關係。個別 的真空層疊機26及28雖係個別構成且根據本發明（如下 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 22 91638 請 先 閱 讀 背 面 之 注 意 事 項 再 f *書裝 頁 ij 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 520623 A7 ---------- B7__ 五、發明說明（23 ) 述）係操作於不同模組，但為實施區分功能合併真空層疊 作業，以確保該乾臈完全貼合至該基板表面。 參照第6圖（該符號（，）係用於標註前面連接該第一 層$機26之元件，（”）係用於標註前面連接該第一声最 28之元件）該層疊機26及28各包含一上固定機台15〇及 152且各有一相對應可滑動之下機台146及148。與各該上 機。150及152連接者係為一彈性矽膠橡膠鋪面 176如第6，8及9圖所示，該鋪面於該真空室區域形成 一頂面178’，178”。該下機台146及148具有一可供預先 層疊式印刷電路板或基板置於矽膠橡膠插槽182,，182，，以 進行真空層疊作業之凹槽180，，18〇”。當該下機台146及 148向上滑動到接觸該上機台15〇及152時，密封方式 184’，184”係以密封圈環繞該下機台U6及148周圍以嚴 密密封該凹槽180,，180，，，並以真空幫浦186,，186，，排除 空氣。如第ό圖所示，一個以上之充填插槽188,，188，，可 容納不同厚度之印刷電路板，亦即，可調整該印刷電路板 至該凹槽180，，180”内最適當位置以達到最佳真空層疊作 業之程序。 上機台與下機台皆含設加熱器’具代表性者各為上機 台150及152之加熱器190, ’ 190”，與下機台146及ι48 之加熱器192 ’’ 192”。如下所述，該機台加熱器開關係依 據該層疊機操作之預設模式。 印刷電路板先行經過預先層疊處理，亦即，於該印^ 電路板單面或雙面預先鬆弛處理使之具有乾膜光阻或焊接 ^--------1----1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 考 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 23 91638 520623 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（24 ) 罩膜，如前所述，根據本發明，該真空層疊機26及28進 行真空層疊處理係以下列程序： (1) 首先將真空層疊板置於該矽膠橡膠插槽182，頂端 上之該第真空層疊機26下機台146之凹槽180,中。此 舉有助於解除已輸送至該第一冑空室178，該印刷電路板表 面之第一輸送機皮帶7〇的張力。 (2) 該下機台148向上滑動，如第8圖所示，以密封圈 A7 184’密封該凹槽180,與該舖面176，以形成該第一真空室 178 。值得注意的是真空層疊台該印刷電路板上之該皮帶 70亦设於該上機台150與下機台146之間。 (3) 配合該機台加熱器19〇，及192，枕木，以真空幫浦 186’供能啟動真空製程循環，藉以排除該真空室，内之 空氣。在此步驟中，該第一真空層疊機26上機台15〇之通 道194,關帛，因此空氣無法從該上機自15〇與該鋪面176, 間之區域排出。該注意的是，此製程步驟係於周圍溫度下 操作，需避免預先層疊料早釘入該印刷電路板上。 (4) 當第一真空循環完成後，釋出該第一真空室之真 空’使大氣壓力之空氣進入’該下機台146向下滑動與該 上機台分離。該皮帶7G之張力重新恢復以供該印刷電 路板輸送至第二真空層疊室進行真空層叠程序。 (5) 該印刷電路板立即移至該第二真空層㈣μ並置 於料膠橡膠插槽頂部τ機台148之凹槽副，，内。同樣 的，此舉有助於解除已輸送至該第—真空室Μ，，該印刷電 路板表面之第一輸送機皮帶72的張力。 --------^---------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

91638 520623 A7 五、發明說明（25 ) (6) 該第二真空層疊機28之下機台148進行加熱程序 需向上滑動，如第8圖所示，以密封圈184”密封該凹槽18〇，， 與該鋪面176”以形成該第二真空室178”。值得注意的是真 空層疊台該印刷電路板上之該皮帶72亦設於此程序中加 熱之該上機台150與該下機台146之間。 (7) 以真空幫浦186”供能啟動該第二真空製程循環，藉 以排除該真空室178，，内以及該上機台152與該鋪面I%” 間之區域之空氣。 (8) 為a又疋該第二真空製程循環第一階段結束時間，如 第9圖所示，於該上機台152内設有第二平台或，，壓下，，該 鋪面176”。該上機台152内之開口通道194，，提供大氣壓力 空氣或壓縮空氣（例如i至5巴）進入該鋪面176，，與該上 機台152間之空隙。該印刷電路板壓縮程序係以機械式壓 力壓平當時受熱完成之乾膜，以確定該乾臈環繞著凸出之 電=配線或基板表面結構。以此裝置可有效壓平乾膜，而 不需在第二真空室進行抽真空排除膜内空氣。 〃（9)當第二真空循環完成時，可引人大氣遷力空氣解除 該第二真空室178”真空，此時藉由加熱下機台148向下滑 動而與該加熱上平台分離，該皮帶70之張力詞恢復以供 該印刷電路板輸送至下一程序。 值得注意的是’根據本發明，如第1〇圖所示，雖鈇， 已預設可調整之導執196可供該輸人輸送機14及16相 接=該預先層疊板仍需藉由同軸系統之前置設備集中輸 运機式真空施加機12進行真空層疊作業。 91638 訂 ΐ紙張尺Μ射關冢辟（CNS)A4祕（細; 023 023

五、發明說明（26 ) 本發明改良型輪送機式真空施加機12之功能循環可 ^排除氣體作#進行之前，該乾膜過早釘住或黏附至 遠印刷電路板，如第1^至24圖所示。 該程序之第一步，如第U圖所示，先前設備以3公尺 之、運廷速度將預先層疊室印刷電路板2〇〇輸送至該輸 :•送機14。該滑動式阻隔器3〇在該，，上，，板閉鎖位置。 該帶式輸送機22藉由離合器1〇4從該鏈條驅動齒輪以處 分離，保持靜止狀態。 接β第一步驟，如第12圖所示，以該阻隔板30將該 「刷甩路板200阻隔停止於該輸入輸送機14之出口端處 14b且各板2〇〇間相互移動排列完成。如之前注意的，係 利用先刖设備或接連於該輸入輸送機14之可調式導執將 j印刷電路板200集中到該輸送機14上。藉由該電磁離合 态^之作動，使該第一輸入輸送機14停頓，以儘快將出 口端14b之該印刷電路板2〇〇以該光電管刊感測完成。 如同第2圖參考數198所示，以可程式邏輯控制器 (pLC )控制時，藉由該程序第三步内之氣缸32將該阻隔 器3〇向下驅動，以釋出該印刷電路板2〇〇，如第2圖所示。 之後立即啟動該輸入輸送機14及該第一帶式輸送機22， 以運轉速度9公尺/分之直流電馬達78適當供能，快速承 載該印刷電路板200至該第一帶式輸送機22之該皮帶70 上，隨即進入該第一真空層疊機26之第一真空室中。 該程序之第四步，如第14圖所示，當位於第一真空室 178之該印刷電路板200與該下機台146之該凹槽18〇正 -------------裳·------—訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用令國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 26 91638 520623 A7 ______ B7 五、發明說明（27 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 交垂直時，凸輪138及所屬感測器142提供訊息使該第一 真1層豐機26之該帶式輸送機7〇與該輸入輸送機14停 機。該阻隔器30藉由該第一真空室方向上，氣缸134之往 復動作，替換氣缸32及該輸入輪送機22之該輸入滾筒38 運作而向上滑動，以釋放該皮帶70之張力。該輸入輸送機 14啟動時運轉速度為3公尺/分。該第一帶式輸送機22藉 由離合器104從該鏈條驅動齒輪84處分離，保持靜止狀 離〇 如第15圖所示，此程序第五步，係將該第一層疊機 26之該下機台146以風動衝撞機垂直向上滑動。該下機台 146向上穿過該皮帶70之連通口 74，然後該連通口 74與 該下機台146垂直排列。真空幫浦186，在周圍溫度下，於 真空製程第一階段執行預設時間，據此，於此階段中，該 機台加熱器190,與192,無法於該真空室内加熱，該加熱器 維持備機狀態。同時，新一批待真空層疊之預先層疊式印 刷電路板200a已輸送至該輸入輸送機14並阻停於阻隔器 30處，如第15圖上部位置所示。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 該程序第六步係如第16圖所示，此為真空程序第一階 段完成後實施。藉由閥門作用引導大氣壓力空氣進入該真 空室178,，以解除該第一真空室之真空狀態。該下機台之 所以下降係藉由該液壓缸202下移並穿過該第一帶式輸送 機22之皮帶70通道口 74。同時，新一批板2〇如亦已於 阻隔器上排列完成且該第一輸入輸送器亦呈停機狀態。 第17圖係顯示該程序之第七步驟，該輸入帶式滾筒 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 χ 297公釐） 27 91638 520623 A7 五、發明說明（28 ) 38藉由往復移動之氣缸134往回滑動至該輸入輪送機μ 出口端14b，以重新恢復該第一帶式輸送機22皮帶7〇之 — II · 11 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 張力。新一批板200a已就緒該輸入輸送機14上阻隔器3〇 之待排列位置。 如第18圖所示，表示該程序之第八步驟，該電磁離合 器96，1〇4及112之驅動係兩層疊機26及28之該帶式輸 送機22與24啟動時連帶該輸入輸送機16一同運轉。該第 一帶式輪送機14藉由離合器92從該鏈條驅動齒輪9〇處分 離，保持靜止狀態。並以該PLC 198調控該兩馬達78及 8〇同步供能，該兩帶式輸送機22及24與輸入輸送機16 啟動轉速為9公尺/分，將對部分作業完成板2〇〇從該第一 真空層疊機26真空室進入該第二真空層疊機28真空室之 快速卸載及裝載產生影響。當該第二真空室之該印刷電路 板200恰位於該下機台148之凹槽正上方時，凸輪14〇與 ，·線· 所屬感測器144會提供訊號使該帶式輸送機72與輸入輸送 機1 6停機。 ' 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 此程序之弟九步驟’如第19圖所示，該部分作業板 200儘快完成並阻斷該第一皮帶70，接著以光電計17〇進 行感测’該T式輸送機之速度提昇到公尺/分，使該 皮帶70得以快速滑動至設定點，進而裝載新一批位於該輸 入輸送機14出口端14b之待測板200a。於該設定點數公 分之前，該帶式輸送機22之轉速以減到3公尺/分，到達 該設定點以前，該帶式輸送機22已呈現停止狀態。同時， 配合該部分作業完成板200導入該第二真空室178”，該第 Μ氏張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格⑵〇 X 297公爱· 28 91638 520623 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 該程序第11步係如第21圖所示，此為完成 疊程序之最終步驟。藉由闕門作用引導大氣壓力空氣= 該真空室178”，以解除該第二真空室17

A7 B7 五、發明說明（29 ) 二帶式輸送機24之該輸入滾筒40亦以於該第二真空室方 向上往復移動之氣缸136替代，以解除該皮帶72之張力。 該程序第十步驟，如第20圖所示，該第二真空層疊機 28之下機台148係以風動衝撞機2〇4垂直向上滑動。該下 機台148向上穿過該皮帶72之連通口 76，然後該連通口 76與該下機台148垂直排列。真空幫浦186，，在周圍溫度 下，於真空製程第一階段執行預設時間，經過一小段時間， 再行下壓動作，如第9圖所示。該印刷電路板2〇〇於這段 抽真空期間受到該上機台152與下機台148之加熱器19〇，， 及192”個別加熱。需知悉，該第二真空製程作業期間，真 空作業並非係將該膜與該印刷電路板2〇〇表面間之空氣抽 除，當兩階段操作之第一階段完成時，尚需藉由下壓動作 創造一良好狀態以供該印刷電路板2⑽進行機械式施壓。 同時，該阻隔器30藉由氣缸32驅使下移，以釋出該第一 真空層疊機26入口處待機之預先層疊板2〇〇a。之後隨即 將該輸入輸送機14與該第一帶式輸送機22兩者以適當接 合之電磁離合器92及104進行啟動，並以操作轉速9公尺 /分之馬達78供能，以裝載該新板2〇〇a至該第一帶式輸送 機22之皮帶7G上，並送人該第—真空室中。待該印刷電 路板2_滑動至該第一真空室適當位置後，凸輪138與所 屬感測器142會提供訊號使該帶式輸送機22停機。 兵工至/δ之真空狀態。該 ~91638 " ------------AW· ^--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 經濟部智慧財產局員工消費八D作社印製 A7 B7 五、發明說明（30 ) — 下機台148之所以下降係 帶式輪送機24之皮帶76、雨首液壓缸下移並穿過該第 滑動，…一 同時，該阻隔器30向上

月動以該真工至方向之氧ill A 送機’、 作用替代該第一帶式輸 运機22之輸入滾筒蛊畜去 ^ ^ ^ 〇轧32作用，以重新恢復該皮帶7〇 =張力。然後，以運轉速度3公尺/分啟動該輸入輸送機 I於該皮帶7G保持靜止狀態下，接收新-批預先層疊 板。 一參照第22圖係表示該程序第十二步驟，該輸入滾筒 40猎由往復移動之教紅& 不夕莉 < 虱缸136彺回滑動至該輸入輸送機16 出口端16b，以重新恢復該第二帶式輪送機^皮帶”之 張力。同樣的，該第一層疊機之該下機台146垂直向上滑 動穿過該皮帶70之連通口 74。周圍排氣方式與第五步驟 所提方法相同。同時，新一批預先式層疊板2〇〇b亦已送達 該第一輸入輸送機14上。 第十二步如第23圖所示，驅動該電磁離合器96及 以啟動該第二帶式輸送機24。之後，以該plc控制該馬 達80供能，該帶式輸送機24啟動速度為9公尺/分，將對 部分作業完成板200快速卸載產生影響。同時，該第一真 空室之周圍真空程序當時已經完成。因此，可藉由閥門作 用提供大氣壓力空氣導入該真空室，以解除該第一真空室 178’之真空狀態。該下機台146之所以下降係藉由該液壓 缸下移並穿過該皮帶70通道口 74。新一批板200b亦已於 該阻隔器30上排列完成且該輸入輸送器14亦呈停機狀 態0 -------------^--------t---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 30 91638 520623

五、發明說明（31 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 此程序第十四步驟如第24圖所示，該部分作業板2〇〇 儘快完成並阻斷該第二皮帶72，接著以光電計172進行感 測，該第二帶式輸送機24之速度提昇到30公尺/分，使該 皮帶72得以快速滑動至設定點以接收新一批待測板 200a。該作業完成板2〇〇離開該第二真空層疊機28時，以 紅外線感測器1 74讀取該作業完成板之溫度。同時，該第 一帶式輸送機22之輸入滚筒38藉由往復移動之氣缸134 往回滑動至該第一輸入輸送機14之出口端146，以重新恢 復該皮帶70之張力。新一批板2〇〇b亦就緒於該輸入輸送 器14上該阻隔器30之排列位置。以重覆進行如第18圖所 示第八步驟開始之作業循環。 該感測開關包含有凸輪138，140，154，156，162與 164，以及該凸輪各自所屬之感測器142，144，158，16〇， 166及168，且依其所接開關，各感測器如習知各有其型 態；以及，一無觸點開關。更具體而言，該凸輪包含一金 屬實體及其感測器，依狀況不同，亦包含一固定其上且可 感應週遭該金屬凸輪滑動，進而產生電訊號之電子裝置， 以回應由該金屬實體感測到之滑動狀況。 該可程序邏輯控制器198用於調控該輸送式真空施加 機12之操作程序’係由商業上如Saia、三菱或其他廠牌 所知機型之微處理機控制器。該控制器198可反應該光電 計36, 170及172與鄰接開觀感測器142, 144, 158, 160， 166及168從最初開始產生之各項訊息，該可程序控制數 據係包含幾項重要控制真空層疊製程各階段時間之功能。 1 裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 31 91638 520623 A7 五、發明說明（32 此控制功能包括兮# (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) μ虱缸32，134及136，與該風動衝撞機 加與2〇4’和該電磁離合器92,96，1〇4及112，以及用 以個別調控遠馬達速度控制電位計ιΐ4，⑴與US及 I20, 122及124之選擇器開關126與128等之適當流程運 作為便於圖不，第2圖中介於該PLC 198與幾項控制裝 置間之路控僅以虛線表示。雖未顯示，亦可得知該虛線係 包含習知技藝中何為所需，與轉換裝置如以電力操作風動 閥門控制各項氣紅及該風動衝撞機，以及以電性繼電方式 鬲達速度進而調控控制器開關。既然該電路係熟知該 項技‘者所悉知，為避免圖示過於複雜，因此從該光電計 及該感測裔至該PLC 198各輸入端（未圖示）之電路連接 不再以圖示表示。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 參照第25圖係為一替代實施例，該第二真空層疊機’ 28係包含一雙執輸送帶系統，以進一步絕緣該加熱上下機 台之抽氣板。此雙執輸送帶系統於同名專利，同樣申請人 及相同申睛日之義大利申請案中有更詳盡的描述。配合參 考貧料，該申請案子下揭如下。該雙軌輸送帶式真空層疊 機之必要特徵如第25圖所示，具有兩條獨立帶式輸送系 統，典型為一下帶式輸送機2〇6肖一上帶式輸送機2〇8。 該下V式輸送機206係位於施以加熱或機械式壓力處理之 第二層疊機28之真空室内，以供該預先層疊板滑進及滑 出。該下帶式輸送機包含一環狀皮帶及兩間隔區間21〇及 212，其上以該通道口 214及216間間隔放置該印刷電路 板。該兩間隔區間設置關係為，當下皮帶一區間載送該印 520623 A7 五、發明說明（33 ) 刷電路板進入該真空室區域 L Μ崎’另一區間則反之 區間進行冷卻。而上帶,於 用处 該下帶式輸送機之上方相^ 坺於 上方相隔開，該上帶式輸送機 環狀皮帶218以及至少雨徊卩^广 J a 3 r々 夕兩個區隔區間已交互替換該直空官 區域之進出，當上皮帶一P 一工 區間進入該真空室區域時，、 另一區間則反之載出前沭F p弓 一 ^ 刖迷&間進行冷卻。於操作中，火# 下皮帶之一區（如冷卻丙、彼碑4 e 备該 7部區）伴Ik該印刷電路板滑 空層疊區域進行真空層聂砗，兮卜士册 王孩真 、二層噠時，該上皮帶之一區（如冷 亦換位至該真空室區域，如同其他未經周圍冷卻之直 區域滑動情形-樣。此舉得使該真空層疊板一開堇= 於上下皮帶冷卻區之中，以作為熱防護 ：配置

U 月 lj W EL 疊循環加熱之機台餘熱發散時，造成該乾膜加熱、工曰 早黏附至該印刷電路板上。 …、。、而過 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 訂---------^ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 參紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

1. 第891 1 7255號專利申請案 申請專利範圍修正本 <91年12月12日) 1· 一種用於真空層疊一乾膜光阻形成層至預先層疊式印刷 電路板或其他基板（20 0 )上以避免該乾膜過早釘入該 印刷電路板或基板之方法，係包括： (a) 於具有兩獨立真空層疊室（18,2〇)真空層疊 機（12 )之第一真空層疊室上設置該印刷電路板或基 板； (b) 於周圍溫度下描述該第一真空室（Μ)之真空 狀怨’以提供足夠時間大致排除該乾膜與該印刷電路板 或基板表面間之所有空氣，並將該乾膜完整密合於該印 刷電路板或基板表面； (a) 將該印刷電路板或基板置入該真空層疊機之第 二真空層疊室（20)，且該第二真空層疊室係與該第一 真空層疊室獨立；以及， 經濟部中央標準局員工福利委員會印製 (b) 於前述第二真空層疊室（20)内該印刷電路板 或基板之乾膜上施加足夠熱，使該乾膜得以充分流動， 之後並於该印刷電路板或基板上施加充足之機械式壓 力，以確保該受熱層疊緊密附著於該印刷電路板戍美板 表面結構。 2.如申請專利範圍第1項之方法，其中，步驟（^)至（d) 係同軸操作。 3·如申請專利範圍第2項之方法，其中，步驟（a)至（d) 91638 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210 X 297公釐） 52〇623 係採連續自動化方式操作。 4. 如申請專利範圍第3項之方法，其中，步驟（b)與⑷ 係採替換程序以提供至少一種預先層疊板或基板同時 置入各個真空室内。 5. 如申請專利範圍第3項之方法，其中，係包含一自動化 程序操作： (a)於第一滑動帶式輸送機（22)入口端上放置第 一塊印刷電路板或基板（2〇〇a)，滑動進入該第一真空 層疊室（18)，該第一室係定義為一上機台（15〇)與1 下機台（146)滑動進人密封接合，該第—帶式輸送機 具有-環狀皮帶（7G)，該具張力皮帶上有—連通口 (74)’且該特徵係具有一起始或設定點位置，當該印 刷電路板或基板滑移到該上下機台間之該第一真空室 區域之環狀皮帶上’該通道口#滑到該印刷電路板與該 下機台間並排列該印刷電路板呈一直列； (b) 感測該真空層疊機該第一真空室（18)内該印 經濟部中央標準局員Η福利委員會印製 刷電路板之位置’並將滑動中之該第—帶式輸送機停機 (22)； (c) 解除該第一帶式輸送機之該環狀皮帶張力 (70); " (d) 抬高該不機台〇46)穿過該環狀皮帶之連通口 (74)與該上機台（150)密封接合即將該印刷電路板 或基板（200)夾設於該第一真空室（18)中，且該印 刷電路板或基板係置於至少該環狀皮帶之該部分上. 本織1張尺度適用中國國家標準（CNS) Α4規格（210 X 297公釐） 91638 H3 (e) 於周圍溫度下抽除該第一真空室之空氣（Μ)， 抽除8^間需足以將該鬆弛狀施加預先層疊式乾膜與該 印刷電路板或基板表面間之空氣全部去除，之後，舖設 邊乾膜完全貼合於該印刷電路板或基板表面； (f) 當前述抽氣作用完成後，提供大氣壓力空氣進 入該第一真空室（18); (g) 下移該下機台（146)穿過該環狀皮帶之連通口 (74)； (h) 重新恢復該彈性皮帶（7〇)之張力使該抽氣完 成之印刷電路板或基板滑離該第一真空室（18 ); (I) 該印刷電路板或基板（2〇〇a)運離該第一真空 至（1 8 )後’即進入第二滑動式輸入輸送機（24 )，以 /月進真空層疊機之第二真空層疊室（20)，該第二室與 该第一室（18 )係以同軸方式排列，該第二室係定義為 一上機台（152)與一下機台（148)滑動進入密封接合， 該第二帶式輪送機具有一環狀皮帶（72)，該具張力皮 ▼上有一連通口（76)，且該特徵係具有一起始或設定 經濟部中央標準局員工福利委員會印製 點位置’當該印刷電路板或基板滑移到該上下機台間之 该第一真空室區域之環狀皮帶上，該通道口會滑到該印 刷電路板與該下機台（148 )間並排列該印刷電路板呈 一直列； (J) 連續滑動該第一環狀皮帶（70)至該起始或設 定點位置以接收新一批運達該第一真空室（1 8 )入口端

   91638 520623 (k) 感測該真空層疊機該第一真空室（18 )内該抽 氣完成印刷電路板或基板（200a)之位置，並將滑動中 之該第二帶式輸送機停機（24); (l) 解除該第二帶式輸送機（74)之該環狀皮帶（72) 張力； (m) 抬高第二真空室之該下機台（ι48)穿過該環狀 皮帶之連通口（76)與該上機台（152)密封接合即將 該印刷電路板或基板（2〇〇)夾設於該第一真空室（18) 中’且該印刷電路板或基板係置於至少該環狀皮帶之該 部分上； (η)抽除該第一真空室之空氣（2〇); (〇)加熱該第二真空室之該上機台〇52)與該下機 台（148)至該印刷電路板或基板上該層疊呈現高度流 動特性之溫度； (Ρ)致使該上機台（152)施加機械式壓力至該印刷 電路板或基板上，以迫使該受熱層疊確保緊密附著於該 印刷電路板或基板表面結構上； 經濟部中央標準局員工福利委員會印製 (Q)當前述層疊作業完成後，提供大氣壓 入該第二真空室（20); ^ (r) 下移該下機台（148)穿過該第二帶式輪送機 (24)該環狀皮帶（72)之連通口（76); (s) 重新恢復該第二帶式輸送機之該彈性皮帶（72 ) 之張力使該層疊完成印刷電路板或基板滑離該真空層 疊機（12) ; ' 91638 本紙張尺度_巾關家鮮(CNS)A4ii*\ 210 X 297^7 520623 (t)將該印刷電路板或基板運離該真空層疊機； 且 (U)連續滑動該第二環狀皮帶（72)至該起始或設 定點位置以接收新一批從該第一真空室（18)出口運達 該第二真空室（20)入口端之該印刷電路板或基板。 6·如申請專利範圍第5項之方法，其中，更包含： (v) 於該第一輸入輸送機（7〇)入口端放置第二預 先層璺式印刷電路板或其他基板（2〇〇b) ·，以及， (w) 重複步驟（a)至（^。 7_如申請專利範圍第6項之方法，其中，（v)步驟中該第 一預先層豐式印刷電路板或基板（2〇〇b )係置於該第一 輸送帶（70)入口端，夫辦μ + LLrn + 大體上在此同時，該第一印刷養 路板或基板正進行（m)步驟，使該各自真空室（18, 2〇)内之真空層疊循環得以實施替換程序'，以致各真空 至可同時提供一片預先層疊板進行作業。 8.如申請專利範圍第5項之方法，其中，於（a)步驟之 前更包含下列步驟： 經濟部中央標準局員工福利委員會印製 (a· i )以第一輸入輸送機（】〕 〜例V i 4 )將預先層疊式印刷 板或基板由前置設備輸送至該裳 ^ ^ 心王邊弟一 π式輸送機（22); (a· i i )於該第一帶式給人仏、、，μ t 一抑 八鞠入輸运機出口端提供一阻 隔器（3 0 )以阻隔該印刷電路扭+並 格扳或基板滑動並可排列該 電路板或基板； (a · i i i )感測該第一輪入心笔彼 询八輸达機（1 4 )出口端上該 印刷電路板或基板之出現訊萝 一__荒亚使滑動中之該第一輸 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格 5 91638 MU623 H3 入輸送機停機；以及， (a. 1V)調節該第一輸入輸送機出口端之阻隔器 (30 )至非停機或非閉鎖位置；以及， (a_ v )將該印刷電路板由 | ^、 輸入輸达機輸送至 4弟一輸运帶（70 )之入口端以滑翻兮m； 而，月動该印刷電路板或基 板進入該弟一真空室。 =申請專利範圍第5項之方法，其中，該乾膜係為一焊 接罩膜或一基本影像光阻。 •用於真工層® 一乾膜光阻形成層於_預先層疊式印刷 電路板或其他基板以防止該乾膜過早釘入該印刷電路 板或基板之裝置，該裝置係包括： (I〗)-具有兩獨立真空層疊室（18, 20)之真空層疊機 °亥第真空層豐室（18)於周圍溫度下操作，當達 到該鬆弛施加預先層疊式乾膜與該印刷電路板或基板 表面間之空氣完全排除之真空狀態後，置入該乾膜緊密 黏附於該印刷電路板或基板上，不致於空氣尚未去除完 經濟部中央標準局員工福利委員會印製 全前發生該乾膜過早黏附於該印刷電路板或基板表 面；以及， 該第二真空層疊室（20)於熱與機械式壓力下操 作，層疊該抽氣完成之乾膜至該印刷電路板或基板上， 以確保該乾膜完全貼合至該印刷電路板或基板之該表 面結構上。 11 ·如申請專利範圍第1 〇項之裝置，其中，該第一及第 6 1、紙張尺度適用中國國家標準（CNS) x 297公董） 91638 H3 真工層豐至（1 8，20 )係呈上下雙層（端端）設置關 係。 1 2·如申凊專利範圍第n項之裝置，&中，該第〆及第二 ”玉層宜室（18，2〇 )係採一連續式自動化操作模式進 行輸送。 13·如申請專利範圍第12項之裝置，其中，該第^及第二 真空層疊室（18, 20)係採替換程序操.作。 ，申請專利範圍第13項之裝置，其中，該第二真空層 $至（20)係包含—雙軌輸送帶系統。 15::請專利範圍第14項之裝置，&中，該第一真空層 豐室（18 )具有—相對呈靜止狀態之上機台（150)與 下機〇 ( 146 )，該下機台（146)可向上滑動並與該 機〇 (150)始'封接合以形成該第—真空室區域，並 另有一第一帶式輪送機（22); 經濟部中央標準局員工福利委員會印製 該第一帶式輸送機配合該第一真空層疊室（18)操 作關聯性/有一入口端（22a)及一出口端，因此/、 當預先層疊板或基板由設置點滑動至該入口端時，該板 係滑進该上下機台（丨5〇，丨46 )間之該第一真空室區域， 該第-帶式輸送機包括一具張力之環狀皮帶（7〇)，該 皮帶於該第一帶式輪送機入口端（22a)配置有該板或 基板（200)，並於該第一帶式輸送機入口端置有一連通 口（ 74 )’因此，當該板滑入該上下機台間之該第一真 空室中，該連通口即滑入該板或基板與該下機台之間； 其中，該裝置更包括： 本紙張尺度適用中國國豕標準（CNS ) A4規袼（210 X 297公釐） 7 91638 一第一馬達（78)，該馬達使載有置於第一帶式輸 送機（22)入口端該板或基板（2〇〇)之該皮帶（70) 得以運轉，以進入該第一真空室（丨8 )區域之該板或基 板位置； 設置一第一感測器（1 42 )提供一訊號以感應承载 该板或基板之該皮帶於該第一真空室區域内滑動之位 置’以中止該第一馬達（7 8 )驅動之滑動動作； 一第一張力調整器（134)，係用於解除該第一帶式 輸送機（22)上該環狀皮帶（70)之張力； 一第一起落機構（202)，係用以將該第一真空室之 下機台向上抬起，穿過該皮帶（70)之連通口（ 74 )而 與上機台密封接合，以夾置該板或基板以及部分該皮帶 (7 0 )，且至少位於該第一真空室内該板或基板上方之 皮帶部分； 一第一真空幫浦（186，），用於抽除該第一真空室 (18)之空氣； 經濟部中央標準局員工福利委員會印製 其中，該第二真空層疊室（20)具有一相對呈靜止 狀態之上機台（152)與一下機台（148)，該下機台（148) 可向上滑動並與該上機台（152)密封接合以形成該第 二真空室區域，並另有一第二帶式輸送機（24); 该第二帶式輸送機配合該第二真空層疊室（20)操 作關聯性，置有一入口端及一出口端，因此，當預先層 疊板或基板（2 0 〇 )由設置點滑動至該入口端時，該板 係滑進該上下機台（1 52, 1 48 )間之該第二真空室區域， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210 X297公釐） 8 91638 "亥第二帶式輸送機包括一具張力之環狀皮帶（72)，該 皮％於該第一帶式輸送機入口端配置有該板或基板，並 於读第一帶式輸送機入口端置有一連通口（76)，因此， 當該板滑入該上下機台間之該第二真空室中，該連通口 即滑入該板或基板與該下機台之間； 一第二馬達（80)，該馬達使載有置於第二帶式輸 送機入口端該板或基板之該皮帶得以運轉，以進入該第 二真空室（20)區域之該板或基板位置； 一第二感測器（1 44 )提供一訊號以感應承載該板 或基板之該皮帶（72 )於該第二真空室區域内滑動之位 置’以中止該第一馬達（8 〇 )驅動之滑動動作； 一第二張力調整器（136)，係用於解除該第二帶式 輪送機（24)上該環狀皮帶（72 )之張力； 經濟部中央標準局員工福利委員會印製 一第一起落機構（204)，係用以將該第二真空室之 下機台（148)向上抬起，穿過該皮帶（72)之連通口 (76)而與該上機台（152)密封接合，以夾置該板或 基板以及部分該皮帶，且至少位於該第二真空室内該板 或基板上方之皮帶部分； 一第二真空幫浦（1 86”），用於抽除該第二真空室 之空氣； 一加熱器（190，，，192，，）用以加熱該第二真空層疊 室之該上機台（152)與該下機台（148)，升溫至該板 層疊之該乾膜具有高度流動特性之溫度； 一機械式壓力，該第二真空層疊機該上機台（152) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規袼（210 X 297公釐） 91638 520623 施加機械式壓力至該板，確保該乾膜完全黏附至該板或 基板表面；以及， 一控制器（1 98 )，可反應該第一感測器（J 42 )提 供之訊號以控制該第一馬達（78 )，該第一張力調節哭 (134)，第一起降機構（202 )與第一真空幫浦（186，）， 亦可反應該第二感測器（144 )提供之訊息以控制該第 二馬達（80)，第二張力調節器（136)，第二起降機構， 第二真空幫浦（186，，），加熱器（190，，，192，，）與機械式 施壓。 16·如申請專利範圍第15項之裝置，其中，該兩真空層疊 室（18，20)各包括： 一連接該真空室與該真空幫浦間之第一通道，藉由 該控制器（1 98 )控制該通道排除該真空室之空氣；以 及， 一連接该真空室與大氣S力空氣間之第二通道，藉 由該控制器控制該通道以提供大氣壓力空氣進入該真 空室，於各真空室内完成該真空層疊循環； 經濟部中央標準局員工福利委員會印製 隨後該控制器作用驅動該起降機構（2 0 2，2 0 4 )使 該下機台（146，148)穿越該皮帶（70，72)之連通口 (7 4，7 6 )下降，以驅動該張力調節器（1 3 4，13 6 )重 新恢復該皮帶張力，然後啟動該馬達（7 8，8 0 )將作業 完成板（2 0 0 )個別運離該真空室區域。 1 7.如申請專利範圍第1 6項之裝置，其中，該第二真空室 之該上機台（152)係包含一大致上無法穿透空氣之隔 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210 X 297公釐） 10 91638 520623 ---- H3 板（1 76”），並於該第二真空室形成該頂蓬，更包含有： 一連接該真空幫浦（186，）與介於該隔板與該上機I 台間隙間之第三通道（194,），藉由該控制器（198)控 制該通道排除該間隙内之空氣；以及， 一連接介於該隔板與該上機台間隙與空氣之第四 通道（194”），藉由該控制器控制該通道以提供大氣壓 力空氣或壓縮空氣進入該間隙，大氣壓力空氣進入該真 空至之如需經過該第二通道，致使該隔板下壓並於該板 上施加機械式壓力至該層疊以確保該層疊緊密黏附於 該板或基板之表面結構上。 1 8 ·如申請專利範圍第1 5項之裝置，其中，該裝置更包含： 一第三感測器（1 7 0 )提供一訊號用以感應該板 (200 )移離該第一帶式輸送機（22)之出口端，以驅 使該第一馬達（80)繼續滑動該皮帶至該帶式輸送機設 定點位置； 經濟部中央標準局員工福利委員會印製 一第四感測器（1 6 6 )提供一訊號用以感應該皮帶 接近該第一帶式輸送機之設定點位置，以驅使該第一馬 達減速，使該皮帶滑向該設定點位置； 一第五感測器（1 58 )提供一訊號用以感應往該第 一帶式輸送機設定點位置滑動之該皮帶，以驅使該第一 馬達到達該設定點位置時，使該第一帶式輸送機連同該 皮帶一同停機； ^第六感測器（1 7 2 )提供一訊號用以感應該板 ( 200 )移離該第二帶式輸送機（24)之出口端，以驅 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210 x 297公釐） 11 91638 520623 H3 使該第二馬達（18 0 )繼續滑動該皮f ( 7 2 )至該帶式 輪送機設定點位置； 一第七感測器（168)提供一訊號用以感應該皮帶 接近該第二帶式輸送機之没疋點位置’以驅使該弟二馬 達減速，使該皮帶滑向該設定點位置’以及’ 一第八感測器（160)提供一訊號用以感應往該帶 式輸送機設定點位置滑動之該皮帶’以驅使該第二馬達 到達該設定點位置時，使該第二帶式輸送機連同該皮帶 一同停機。 1 9_如申請專利範圍第1 5項之裝置，其中，該裝置更包含： 一紅外線感測器（1 74 )設於該第二真空室出口端 以測試從該第二真空室運出之該層疊完成板溫度，以提 供一訊號驅動該機台加熱器，增減該第二室之層疊溫 度。 經濟部中央標準局員工福利委員會印製 20·如申請專利範圍第15項之裝置，其中，該裝置更包含： 一與該第一真空層疊室呈雙層（端對端）排列之第 一輸入輸送機，於該控制器（1 98 )控制下係以該第一 馬達（78)驅動，該第一輸入輪送機具有一入口端及一 出口端，用以將來自前置設備之預先層疊板輸送至該第 一帶式輸送機（22)之該入口端； 一位於該第一輸入輸送機出口端之第一滑動式阻 隔器⑶）’該阻隔器具有—板閉鎖位置，且於該板閉 鎖位置内配合該第一阻隔器係有—板非閉鎖位置；以 及， 適用中國國家 i?75Ts) --- 12 91638 520623 H3 一光感測器（36 )係用以感測該第一輸入輸送機出 口端之印刷電路板或基板（2〇〇)，該光感測器感應到印 刷電路板或基板出現該第一輸入輪送機出口端時係產 生-訊號，以驅使該控制器阻停該第—帶式輸送機滑 動’並調節該阻隔器進入非閉鎖位置，之後 驅動該第-馬達啟動該第一輸入輸送機盘 」:曰 輸送機，以承載進入該第一帶式輪 ’、弟一▼式 路板或基板。 、入口端之印刷電 經濟部中央標準局員工福利委員會印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規袼（210 x 297公釐） 91638 13