TW509950B - Efficient redundancy calculation system and method for various types of memory devices - Google Patents

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509950 A7 • _ B7 五、發明說明（1) 發明背景 r 1. 技術領域 本發明之揭露係有關測試及修補半導體記憶器，並特是 有關修補半導體記憶器用之有效計算及分析半導體記，憶器 之冗餘之系統及方法。 2. 相關技術說明 測試及修補半導體記憶器是提供可靠度及控制半導體記 憶器產品之品質之一重要部分。使用於動態隨機存取記憶 器（DRAM)裝置之一典型後段（back-end)測試流程通常包括： 1) 一晶片測試/冗餘計算。此包括測試在一晶片上之全 部記憶胞格（cell)以判定故障。其次判定是否故障能由利用 可用之冗餘元件而修復。 2) 熔斷。此包括由使用冗餘元件以修復此缺點。 3) 預燒測試。此包括一冗餘記憶胞格以確定正確功能性 之再測試。 ' 4) 最後組件測試。此包括驗收測試以保證產品品質。 5) 多晶片模組之建造。多數晶片是採用在電路板或模組 上並是組態成包括多個晶片。例如，可自兩個或以上之記 憶器晶片製造Simm/Dimm/Rimm。 6) 模組測試。模組是作整體測試，包括焊接接頭、接腳 等，以及記憶器晶片。 但是在熔斷後，晶片不能再作修復。此是有害的，其原 因包括： 1)在晶圓（wafer)測試中不能偵檢出全部誤失（例如單一胞 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .' ;線_ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 509950 A7 B7 五、發明說明（ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 格故障（BLC及/或HT)，字線故障（LPST)等）。 2) 在多晶片模組之封裝、預燒及建造期間將介入一些另 外誤失。 3) 由於自晶圓至組件至模組之過度測試防護帶，會使附 加之零件失落。 4) 模組之一個組件之一次誤失導致整個模組之廢棄，此 是可能發生在8或16個晶片之模組上。（此亦爲一種原因， 何以測試在建造模組前較後是更爲加強。） . 已有嘗試注意上述之問題。在美國專利第5,796,746號， 專利權人W.M. Farnworth等，專利名稱”積體電路模組中 測試積體電路裝置之裝置及方法”(Deviec and Method for Testing Integrated Cireuit Device in an Integrated Circuit Module)，其中提示在模組上晶片之修補之觀念。此分析觀 點在一測試器中被處理，其上之特別接腳（根據JEDEC規 格之未連接（NC)接腳）是使用於設定電氣熔線。 用於在晶片上誤失之位元圖象分析之觀念（及因此之冗 餘計算）是提示在1998年ITC之公中貝爾（Bell)實驗室之 Ilyoung Kim等所著之”埋入高密度SRAM之內建自我修 補”（Built in Self Repair for Embedded High Density SRAM)， 及1998年ITC公報中菲力浦（PhiHps)半導體公司之Ivo Schanstra等所著之”埋入記憶器中使用內建自我測試之半 導體製造過程監測"（Semiconductor Manufacturing Process Monitoring Using Built-In Self-Test for Embedded Memories)。此二篇論文是有關於SRAM，及這些論文之觀 -4- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 請。 先 閱 讀，“ 背 面 之 注 意 事 項 再 填

訂 線 B7 五、發明說明（3 ) 念皆限制於列冗餘。 所以，存在有需要用於修理半導體記憶器之半導體記憶 器之有效計算及分析冗餘之系統及方法。另外存在之需要， 用於封裝後之半導體記憶器修補。存在進一步之需要，用 於封裝後之多類形故障之修補，即是列故障，行故障，胞 格故障等等。 ‘ 發明簡述 根據本發明，半導體記憶器使用之析故障之方法包括： 提供包括至少一個記憶器晶片之記憶裝置。此至少一個記 憶器晶片包括一冗餘計算區域。此至少一個記憶器晶片被 測試以判定在每一記憶器晶片上誤失組件之故障位址。此 誤失組件之位址是輸入至冗餘計算區域以比較此放障位址 與儲存在冗餘計算區域中之先前故障位址以判定是否新的 故障已被發現。若匹配存在於先前故障位址與故障位址之 間，則匹配之故障位址被終止。不然此故障位址則被儲存 在冗餘計算區域中。其後基於已發現之新故障以判定是否 該至少一個記憶器晶片是可修復的。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在其他方法中，記憶器可包括一單一記憶器晶片及一封 裝之多晶片模組之一。測試至少一記憶器晶片之步驟可包 括使用內建之自我測試。組件可包括一單一記憶胞格，一 行及一列之一。此行及此列之每一個可包括多個裝置，例 如字元線，位元線等。本方法可在至少一個記憶器晶片中 在晶片中上執行。輸入步驟，係輸入誤失組件之位址至冗 餘計算區域，可包括之步驟爲輸入誤失組件之位址至比較 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 509950 A7 B7 五、發明說明（4) 器以比較當時發現之誤失組件位址與儲在累積器中之先前 故障位址。決定步驟係決定是否此至少一個記憶器晶片 基於已發現之新故障是可修復的，其執行可由累積在故障 位址與儲存故障位址間之匹配數，並將此匹配數與一臨界 値比較。如此，導致此匹配數等於臨界値之一匹配事件是 利用爲指定待修補之組件位址。 另一用於半導體記憶器之分析故障之方法吨括提供含有 至少一個記憶器晶片之記憶裝置。此至少一個記憶器晶片 包括一冗餘計算區域，而此冗餘計算區域是適用於接收誤 失組件之故障位址。冗餘計算區域包括：諸.比較器，用於 比較此故障位址與先前故障位址，以判定是否有新故障已 被發現；一記憶器，用於選擇地儲存故障位址；及決策邏 輯，用於判定是否此記憶裝置基於已發現之新故障是可修 復的。此至少一個之記憶器晶片被測試以判定在每一記憶 器晶片上之誤失組件之故障位址。誤失組件之位址皆是輸 入至冗餘計算區域以利用比較器比較此故障位址與儲存在 此冗餘計算區域內之先前故障位址。若匹配存在於先前故 障位址與此故障位址之間，此匹配之故障位址是被終止， 並將匹配計數增量。否則將故障位址儲存在冗餘計算區 域。若匹配計數滿足一臨界値，則指定一必需修補事件以 使用冗餘修補此組件。 在其他方法中，此記憶裝置可包括一單一記憶器晶片及 一封裝之多晶片模組中之一個，測試此至少一個記憶器晶 片之步驟可包括採用內建之自我測試。此組件可包括一單 -6- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 請 先 閱 讀 背， 之 注 | 事 項 再 填 _ m 頁 訂 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 509950 A7 -------B7_ 五、發明說明（5 ) 一記憶胞格，一行及一列之一個，其中行及列可包括多個 裝置。此方法可在此至少一個記憶器晶片上作晶片上執 行。輸入誤失組件之位址至冗餘計算區域之步驟可包括諸 步驟以輸入誤失組件之位址比較器以比較當時發現之誤失 組件位址與儲存在累積器中之先前故障位址。指定一必須 修補事件之步驟可包括諸步驟，以累積在故障位址與儲存 故障位址間之匹配數，並比較此匹配數與一臨界値，如此， 導致此匹配數等於此臨界値之匹配事件是利用爲指定待修 復之組件位址。 根據本發明之一分析半導體記憶器故障之系統包括：一 自我測試記憶裝置，包括有至少一個記憶器晶片，適用於 在此至少一個記憶器晶片上判定誤失組件之故障位址。此 至少一個記憶器晶片包括一冗餘計算區域。此冗餘計算區 域是適合作接收誤失組件之故障位址。此冗餘計算區域亦 包括：諸比較器，用於比較此故障位址與先前故障位址， 以判定是否新故障E經發現；‘一記憶器，用於選擇儲存故 障位址；及決策邏輯，用於判定是否記憶裝置基岭已發現 之新故障是可修復的。 在代替實施例中，記憶裝置可包括一單一記憶器晶片及 一封裝之多晶片模組之一個。此至少一個記憶器晶片可包 括內建之自我測試。此組件可包含一單一記憶胞格，一行 及一列之一個。此冗餘計算區域可包含另外之比較器以比 較在新故障位址與先前儲存之故障位址間之匹配數與一臨 界値用以指定一必須修補事件。冗餘計算區域可包含諸加 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂： ;線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 509950 A7 B7 五、發明說明（6) 法器，在當一匹配出現時以增量匹配數。此至少一個記憶 器晶片可包括多個冗餘計算區域，其是以管線流道 (pipelined)作儲存多個誤失組件之位址。此管線流道可包 括在諸冗餘計算區域間所配置之諸閂鎖以提供其間之同 步。 本發明之這些及其他目的，特徵及利益將自下文中本發 明之圖說實施例之詳細說明並與伴隨圖式相連解讀而成爲 明瞭。 本發明之揭露將參考卜面圖式而詳細提示下述之最佳實 施例。 圖式簡單說明 第1圖是根據本發明用於執行冗餘計算及分析之具有一 個可用冗餘行及一個可用冗餘列之一誤失記錄之方塊流程 圖。 第2圖是根據本發明用於執行冗餘計算及分析Μ乘N 冗餘之另一系統/方法之方塊流程圖。 第3圖是根據本發明用於執行冗餘計算及分析之一管線 流道系統之方塊圖。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第4圖是利用本發明之一封裝之多晶片記憶器爲模組之 方塊圖。 第5Α圖是利用本發明之一具有誤失晶粒之記憶器陣列 之圖。 第5 B圖是第5 A圖中之一面積5 B中所示之利用本發明 之一晶粒及單獨胞格之放大圖。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 509950 A7 B7 五、發明說明（ 較佳實施例詳細說明 本發明係關於測試及修補半導體記憶器。用於有效地計 算及分析半導體記憶益之几餘之系統及方法被提供以修補 半導體記憶器。本發明包括晶片上冗餘計算之實施，但是 晶片外之實施亦在預期中。本發明造成之％餘計算可實行 於封裝後之半導體記憶器，類如DRAMS之修補，及提供 完整冗餘分析至半導體記憶器，例如，埋入式DRAMS。 爲了加入冗餘計算能力至測試系統，所提供之冗餘方法 成本效益是非常有效率的，即是小、快及轲能力發現幾乎 全部之可能解答。因此，本方法滿意地有助於晶片上實施， 雖不僅限於此（例如具埋入式DRAM之邏_測試器可在一 晶片外實施被測試）。 本揭露中，提示兩種揭示性之方法。一種方法是有能力 解決一行加一列之冗餘，第二種更加通用之方法是有能力 解決NxM列/行之冗餘。雖第二種方法4能需要更多之 資源，但其提供，例如解答具有大量埋入式DRAM之邏輯 晶片。第一方法較佳地提供一非常簡潔的方法以修補封裝 之DRAM晶片，其典型的顯示非常小之誤尖數。這些方法 提供一智慧之誤失記錄。藉比較新誤失之位址與先前誤失 之那些位址，本發明是有能力在測試時，決定誤失之類型 (行或列）。因此，必須予以儲存之ί:件是非常之少，因而 記錄能是小的。例如，若在一相同之行或列中有兩個誤失 被找出時，並不需儲存二者在記憶器中，皆由於能利用一 冗餘行或列之故。行及列之大小可由晶片設計人設定。例 -9- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 請 先 閱 讀, 背 之 注 意 事 項 再 填二 m 頁 訂 線 ' 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 509950 A7 ________________ B7 五、發明說明（8) 如，一行可包括4位元線，而一列可包括2字線（在記憶器 中乘3或二次方是通常使用的，即是1，2,4,8等）。一晶粒 可包括一行及一列之交點，而在本實例中-晶粒大小是 2 x4(二字線乘4位元線）◦冗餘元件可捆卷成包括幾個字 線及位元線。冗餘元件最佳是捆卷成品粒大小，即是2 X 4 冗餘元件。 本發明容許重複測試/修復裝置於組件及模組階層上直 至全部冗餘用完爲止。此有益地容許著重在模組測試，而 少於著重在組件測試。在某些品質階層上·甚至消除全部 之組件測試而在建構模組後即作預燒成爲可能。 因爲組件及模組測試器，特別是預燒測試器沒有能力作 任何冗餘分析，故本發明較佳利用晶片本材提供一有效率 及快速之冗餘計算。本發明現將基於幾種假設以揭示性術 語予以說明。大多數誤失皆假設是在晶_階層修復，僅遺 留一小數目之誤失至後來步驟。用於預燒組件及模組測 試之測試器是無能力作冗餘計算，雖在本發明之實施例可 利用如此作用。ABIST(內建自我測試buili-in self-test)功 能允許接達至冗餘元件在組件或模組階段丄。這些冗餘元 件由於插腳拘限不能用別的方法有效地定址。 本發明揭示性之描述，包括： 1) 使用電氣熔線以激洁冗餘單元； 2) 測試全部可用之冗餘於全部測試階段並使用BIST，致使 未使用之冗餘保留爲可用的； 3) 加強BIST，用一有效（簡單及細小）誤失門鎖記憶器及冗 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · --線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 509950 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（9) 餘計算器（將詳述於下）； 4) 加入測試模式或狀態，再根據內部冗餘补算之結果，用 於熔斷熔線；及 5) 加入IPL模式，用以確證熔斷已經成功（刪除再測試之需 要）。 應瞭解第1至3圖中顯示之元件可迓施旮不同形式之硬 體，軟體或二者之結合中。較佳地，G些兀件是實施在軟 體中，在一個或以上之適宜程式控制之半導體記憶晶片， 其具有處理器及記憶器之能力以及輸人/輸出界面。現詳 細參考圖式，其中同樣之參考數字係代表相似或同樣之元 件，在幾個視圖中均是如此。首先參考第i圖，其是顯示 爲執行晶片上之冗餘計算及分析之系統/方法之方塊流程 圖。例如DRAM,埋入DRAM，同步DRAM或同類之半導 體記憶器晶片被分割成幾個冗餘區域（domain)。一冗餘區 域是在晶片上之一區域，冗餘將在其上計灯而與其他區域 無關◦在一實例中，典型的64M之SDRAM裝置之四個區 塊在當使用冗餘元件時決未互相作用、在…64Mb裝置中， 包括2 X 2個1 Μ區段（每一個4 M b) Ζΐΰίι塊子集構成用於冗 餘區域之一良好選擇。此將分割一晶片成U 16個獨立之 域區。 用於冗餘計算之最小晶粒（grain)可包括小列之特徵。在 極端處，此可能是1區塊最小晶粒是1胞格。但由於冗餘 通常是爲較大寬度，例如，雙重字線（WL >及四重位元線 (BL)(例如，用於4Mb區段等），較佳足利川熔絲以修復幾 -11- i紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) # «- -1線. 509950 A7 B7 i、發明說明（1G) 個WLS,或幾個BLS。因此，較佳迠立即彳少誤失資訊送 至與冗餘相同長度及寬度之晶粒（即是例如2胞格X 4胞 格）。因此一行是定義爲等於一行冗餘之大」、，及一列是定 義爲等於一列冗餘之大小。如此，一晶粒g —行與一列之 交集。第5A及5B圖顯示一具有冗餘之y泣陣列之實例以 示範用於本發明晶粒大小。 以此，用於每一域區之一行及一列冗餘之系統/方法根 _本發明包括下列：累積器100包括在鬥.其有能力儲存 X/Y位址對，其是供應爲二誤失記錄。累沾器較佳包括暫 存器或其他記憶儲存裝置。此外，每一個累積器10〇具有 幾個亦能儲存之旗標，即η空白旗標（n_CmPty_flag)，已用 旗標（used—flag)，行旗標（row—flag),列旗⑶：column—flag) 。每一個累積器100是聯合於一對比較器102，允許誤失 之最小晶粒之現時X及y故障位址在同…時間被比較。 每一個累積器1 〇 〇能夠代表-單一胞!:ίΗ . —行，一列或 其他可指定之最小晶粒。當有一誤失事件Ε生時，現時xy 之位址是與在累積器1〇〇中儲存之xy位址相比較。若沒 有匹配發現，此位址被儲存，如由決策邏輯104所致動 者。考慮行及列之位址，若有一個xy匹W 則不作任何行 動。若有一 X匹配，則對應之累積器由決策邏輯104致能 以一 r〇w_flag作成行（亦除能未來之y匹配）之旗標（作成 行）。若有一 y匹配，則對應之累積器由決策邏輯1〇4致能 以一 C〇linnn_flag作成列（亦除能未來之X匹配）之旗標（作 成列）。在一實施例中，一域區被找出爲不能修補（不可能 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) #. 丨線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 509950 A7 B7 五、發明說明（π) 修復）是在若沒有記憶留作儲存一另加Ζ胞格，或若兩個 (本情況中）列或行被加旗標時。故障標準W較佳由在晶片 上提供之決策邏輯104所判定。決策邏和倂全部旗標及 缺失資訊，並輸出一單次誤失位元，指定以否晶片，匹段 等是可修復或不可修復的（n—fixable)。 在第1圖顯示之實施例中，累積器10G .:1—記錄記憶器 106將可能儲存二個單一胞格或單一晶粒誤失，一個單一 胞格/晶粒誤失及一個列誤失，一個單一胞格/晶粒誤失 及一個行誤失，或一個行加上一個列之误失（即交叉誤 失）。 有利益的是僅具兩個可用之冗餘，多於之DRAM組 件在此測試階段之誤失皆能修補。此外本#明之順序應用 容許修復較大數目之不相關的誤失。軟故0通常是明確作 特別測試，例如，HT誤失（單一胞格），LI)ST誤朱（字線）， BLC誤失（單一胞格）等。一測試程式可包活很多功能性測 試，其每一測試是在尋找不同類型之誤失·每一測試核對 整個陣列。測試程式通常自”簡易”測試開始，而後來進入 程式中之更嚴厲的測試，以每一測試測試！：同之限制。不 同之誤失機構能導致不同之限制違犯，及同故障可出現 在不同測試中。若冗餘計算是在每一測試沒執行，若存在 有足夠之冗餘兀件，則晶片能加以修補。卩:第1圖之實施 例中，一行及一列是足夠作修補之用。 下列符號是利用於諸圖式中，謹列如下以供參考。 n，m…匹配數。 -13- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · --線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 509950 r_ 9U116 胬讀委員㈣

9LPE 發明說明C2 ) continue_flag ···在位址間無相等且現時區塊或記憶器是 充滿的，繼續至下一區域。 make_row，make_col···暗指必需修補，宣告登錄是一個 行或列。 st or e_flag···越過在記錄中之最後登錄而無相等，儲存位 址及不繼續。 n-empty_flag···區塊空白旗標。 M···每個冗餘域區中最大可修補之行數。 N···每個冗餘域區中最大可修補之列數。 參考第2圖顯示根據本發明之另一系統/方法之方塊/ 流程圖等。第2圖之系統/方法於在若每個域區有多過一 行或一列是需要修補時特別是有用。但是必需之資源相應 地升高。 一結合記憶器200儲存xy對加上旗標，與第1圖之累 積器1〇〇相似。xy對是在晶片、區域、區段等中之誤失的 最小晶粒之位址。不論何時一 xy對是提示至記憶器200, 即是一誤失位址是登入x[a]，y[a]時，若其中沒有儲存完全 相等之xy時，則記憶器200儲存此位址。另外，X匹配數 m[a]及y匹配數n[a]是由自每一個比較器202輸入結果至 決策邏輯204而產生（此是與一正常結合記憶器之主要不 同）。若X匹配數（m或m[])是較大於M，由於無論如何其 沒有充足之列冗餘以修復元件，此新元件成爲一行登錄。 同樣情形對y匹配（η或n[])亦是有效。若其較N爲多，則 新元件成爲一列登錄。在完成一測試後，多餘的單一胞格 509950 A7 B7 _ 五、發明說明（13) . 登錄（被後來之行或列登錄覆蓋）必須予以除，而剩餘事 件必充分的指定至剩餘之冗餘元件，其是爲M(冗餘行 殘留）及N(冗餘列殘留）。比較器208是採N以分別比較xy 匹配數（m[]及n[])與Μ及N。 fail _flag(continue —flag)包括因故障而観續處理或放棄 處理之資訊。若遭遇X及/或y匹配，m η皆由加法器 211增量。Μ及Ν亦均裤輸入及被設定：晶片之設計而 定（即是可用冗餘之數目）。若出現匹配，、:：決策邏輯204 經store/make(作儲存）ro w/make(作行）之歹.:¾通知及致能記 憶器200。若記憶器或暫存器200是未淸|:::;非空白），則 n-empty _flag(n空白旗標）是TRUF(真、。若此旗標是 FALSE(僞），貝[J記憶器200被淸除或是空丨：.待通過之次一 誤失位址即被儲存在此。若n_emPty_flag d· TRUE，則此 誤失位址被通過（至一次一區塊210，見第3圖），或者此位 址被終止（此位址是相對於儲存之位址如比彳:器202所判定 的）。 在最壤情況之情節中，記憶器陣列必影S 2*M*N之大 小。由於決策邏輯204因X及y匹配之再加上第1圖 之邏輯104所需之任務而成爲更複雜，需要管線流道 (pipeline)以達成所需之速度（見第3 。同樣Abook keeping@,亦即維持追踪可用之冗餘成爲史j|j複雜。 參考第2圖及第3圖，顯示於第2圖之心塊21 0爲管線 流道201。在每一區塊210之間一閂鎖211用於提供充分 之延遲及/或鄰近匹塊間之同步以容許在&塊210間之資 -15- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · -·線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 509950 Α7 Β7 五、發明說明（M) 訊之適合管線流道。第一閂鎖212a接收;B -行及列之xy 位址資訊。fail__flag(continue_flag)包括Η:於因故障以繼 續處理或放棄處理之資訊。m及η是初始零並是若遭遇 X及/或y匹配時在每一區塊210中均被增1。Μ及Ν亦 是輸入及是視晶片之設計而設定（即是可！Π疋餘數）。一閂 鎖213是配置在區塊212ΜΑΧ(最大）之後·並是使用於儲 存故障總和之add_flag(加上誤失）。一另1j;:之閂鎖214是 顯示爲指定根據本發明可利用更多區塊怍多重管線流道 系統。 每一區塊210儲存一個xy位址。故障Γ址χ[]及y □是 輸入至管線流道201並在堆疊向下漂移以K尋匹配數或試 找尋第一個未佔用之區塊210。（例如办:：d憶器200中 n_emppty_flag是FALSE) ◦若一位址匹f彳i:4找到，匹配數 被增量及誤失位址被終止。反之此位址:v遞至次一區塊 210及處理繼續下去。一位址匹配之決定倘若儲存之位 址是如輸入之位址者相同之位址，或一位h匹配之決定是 倘若誤失之x(y)位址描述…誤失之行（列）1:此位址是儲存 在描述一行（列）之記憶器中，即是相同之彳」(⑴故障）。 當故障位址已計數（N-1)個x-match(x匹ft:)或（M-1)個 y-match時測量下之裝置需作修補（must-rup:.ur)。這些匹配 之數目是計數在m□及η□中，其是在管線：道中與其誤失 位址向下轉移。當第Nth(或Mth)匹配扒Q出時（η=Ν或 m = M), —列或一行則必須被修補。在Μ火Ν出現時之現 時儲存之位址即被轉換至一需修補之一列穴行位址，以使 -16- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) . --線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 509950 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（15) 一冗餘可利用於此修補。 在BIST中加入此能力以作冗餘分析妃·:用於使用在第 1圖之系統/方法之較小數目之可用冗餘第1圖之實施 工具是頗爲簡單及有效率（例如，僅約需UU)個閘）。此容 許多數半導體記憶組件在製造過程之後段.即是在封裝期 ' 間，誤失之修補。假設一多晶片模組包括X個單獨之晶片， 則不能修復模組之數目是可達不能修復組数目之8倍。 此意指在模組建構之先，跳越這些測試紀.行的，只要不 能修復之晶片數是特別小則可。 要逹成此，可目δ需要允g午較局之冗餘數 弟2圖及/或 第3圖之系統/方法之廉價代替可以是採^第1圖之系.統 以順序在每一單獨測試後修復晶片。若测:;Λ流程以寬鬆之 測試開始並繼續至較嚴緊之角落，更多故「r將在流程之更 下游找到。由於較困難之誤失，已在前|ίΠ 復。單一之行 或列冗餘之可用率可足夠於修復如其判定問題，並即繼 續至次一步驟。 · 使用第2圖及第3圖之系統/方法可·能：[經濟，而空間 上較第1圖之系統/方法昂貴。然而，第2 _及第3圖之 系統/方法提供能使用之較筒冗餘數之利:.。有利的是此 容許晶圚階層修復而不需任何測試器之支。由於冗餘分 析是晶圓階層測試器之最ι?ΐ價部分，故卩巧特別有吸引 力。此是特別有利於埋入記憶器，其是必使用邏輯測試 器者。另外，在埋入裝置中較在單純記位中較能價廉地 實施複雜之邏輯。 -17- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) #· . --線· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 509950 A7 B7 五、發明說明（1 ) 要保持成本降低，較佳是山選定敏感的^餘域區以保持 2*M*N是小的。例如，現時之64M裝置彳」H.:記憶區塊。每 一區塊可僅具有4個獨立域Μ，例如有1 2 ff及8列之冗 餘。此是一高數字。 本發明之實施較佳是能夠仏一個週期（約內比較一列 位址（約8位元）。就一行位址（約10位元）;u論，相同速度 爲期望者（爲簡化計），雖並不需如此。捉m -新的字線則 要更多時間。就一 dr AM而論，本發明:行及列比較器 220亦能分享以減小存取時冏。有利的妃、佗一實施例中， X位址能在y位址之前沿管線流道201 Η :發送。一新的 y位址將能在呈現之最後X位址觸發一詒出，而一新的X 位址簡單地設定其値並等待仏一輸入或_ Γ:操作中之次一 y之觸發。在此方式中，X位址能在y之旧％發送沿管線流 道向下並儲存比較之結果（每Μ塊210有i丨|.彳位元）。其後， 若一誤失出現，則y位址被發送沿管線流;:!·向下，使用如 X位址之相同匯流排及相同之比較器。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 丨線· 參考第4圖圖示之一封裝之多晶片模紹320。用在64M 晶片300之4個區塊302上，每一區塊之r集304包括 2x2之1M區段（每一個4Mb),其是指定U—採用本發明 之冗餘域區。此將分割晶片300成爲16個獨立之域區。 一個晶片上區域（冗餘計算/分析區域）3iU、是採用根據本 發明提供用於計算/分析冗餘之系統。晶丨V 300是顯示爲 封裝多晶片模組3 2 0之一^部分。 一旦模組或組件已通過最後測試，就沒有另加之測試 -18- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 509950 A7 ____ B7 五、發明說明（17) 閘。若基於最後測試結果所作成之修復_ :ί些修複必須予 以確認。運作同樣之測試是.種可能性此可能性是昂貴 的（重測試全部分）或導致邏fi困難（再測修復之部分）。 另一種可能性是證明修復晶jV /模組是顧丨:/E工作中（經常 係暗指一故障比率是較對用P保證之比率I )低）。第三種可 能性包括加入特別試測模式以允許確認;Π老遣氣熔線之成 功。由於冗餘元件經歷全部測試流程，Pi M之功能性不需 弟一次之證明。此容I午產m之品質有._ : : 再測試之流 程。其他可能性亦在預料中、兩個揭示丨;.匕軟體程式是包 括在附件中以不範上述第1 |M|及第2圖描：丨;之實施工具。 各種類型之記憶裝置之有效冗餘計算充泛方法之較佳 實施例已作描述（此是意欲作爲解說而非;：丨別）。應注意精 於本技術之人士依上述教導ιιί作若干修」.泛變化。因此應 瞭解如伴隨之申請專利範圍各項描繪是；长發明之範圍與 精神內，本發明揭露之特殊:Π:施例中可ί 3改。藉專利法 規之特別要求，本發明已作如此之詳細。專利證書所 保護之要求及請求是列舉於伴隨之申請功:叫範圍中。 附件 用於本發明之方法實施工④之巴斯哎:PASCAL)程式語 言之實例： 共有二個PASCAL函數： [1] Add_New_Fail，其在當一祈誤失被找丨：$漠擬誤失記錄 之行爲；不論何時檢出一誤失時經常被；叫。 [2] Analyze—Log， 其校正是杏解答有效力.及排序（方法B) -19 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) ------- -T - --------訂----------線喔· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -ϋ ϋ ϋ ϋ n ϋ ϋ ϋ ϋ n 1 I I I —.1 n _ 509950 A7 五、發明說明（ 與找尋極小誤失晶粒數之及列；在·：；卩·單一晶粒皆 由行或列取代，致使熔線稅序不需予以：：总。 無論何時檢出一誤失時，函數Add+NewJ^l部是要被呼 叫。 在溶斷則，函數Analyse__L〇g 士要被呼叫 本說明不是最佳化的並僅足作解說目的 可滿意的。由於測試是自冗餘單兀之外驅 程式迴圈說明。未包括在這此函數之內老 冗餘元件之使用之內務管理有很多可能 DRAM之詳細實施而定。 方法A(第1圖）之Pascal柷式說明： (假定諸初設之値是0或是僞） MODULE RedundancyA; 各種變化皆是 ，故不能以一 耑用於預防壤 變化是依賴

VAR X，Y (*廣域變:1; ARRAY I (*誤失記」 1 | OF INTEGER; 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 509950 A7A7 %7 五、發明說明（叫）

Row—Flag, Col_Flag/ N_Emp t y_Flag, BOOLEAN; ( *記錄用旗標* )

ARRAY [0 ..1] OF N—Fixable_Flag(*廣域程序” PROCEDURE Add New Fail BOOLEAN； <若此値是真， 乃是壞運* ) (請先閱讀背面_之注意事項再填寫本頁) > I -------訂·--------丨- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 r y ： integer) (*χ及y是晶粒位址，即是行/列位址減去幾個位元*) VAR X—match, y—match, make_row, make_col, put—fail add—fail BEGIN(*找尋匹配*) x_match [0]:=N_Empty—Flag [0]； y_match [0]:= N_Empty—Flag [0]； x—match [1]:= N_Empty_Flag [1]； y—match [1]:= N_Empty一Flag [1]； ARRAY [〇 BOOLEAN; BOOLEAN;

1] OF

(X[0] = x) OR Col_Flag[0] ) AND (Y[〇] = y) OR Row一Flag [0] ) AND (X[l] = x) OR C〇l_Flag[l] ) AND (Y[l] = y) OR Row_Flag [1] ) AND (*若無匹配找出：何處存放x/y ? *) 一^一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 509950 A7 B7 五、發明說 y—match[0]〇R y—match[1] put_fail [0] N_Empty一Flag [0]； put_fail [1] N_Empty_Flag [1]； )；

：=NOT ( x—match [0] OR x—match[1] OR add—fail AND NOT NOT put—failed [0] AND add—fail AND NOT (*若匹配找到：宣告行或列？ *) make_c〇l [0] make_row [0] make_col [1] make row [1] x—match [0] AND NOT y 一match[0]; y一match [0] AND NOT x__match[0]； x 一match [1] AND NOT x—match[1]; y—match [1] AND NOT y—match[1]; (*仍有記憶可用於儲存χ/y ? ” N一Flexible—Flag:= N一Fixable—Flag OR ( add_fail AND NOT (put_fail [0]〇R put—fail [1]))； ， (*執行轉換成行/列*)

Col一Flag [0] Row—Flag [0] Col__Flag [1] Row—Flag [1]

Col一Flag [0] Row一Flag [〇] Col一Flag / [1] Row一Flag [1] OR make_col [0]； OR make_row [0]； OR make_col [1]； OR make row [1]； Ί*--------------------訂---------線-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

(* 儲存 x/y*) IF put一fail [0] THEN BEGIN X[0] ：= x； Y[〇] ：= y； END; IF put一fail [1] THEN BEGIN • ii- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 509950 A7 B7 五、發明說明（U ) X [1] ： = X； Y[1] ：= y; END; (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) END Add—New—Fail; PROCEDURE Analyze_Log()

BEGIN (*此線校正是否是一無效解答，即是已找出一雙列或一 雙行解答* ) N—Fixable_Flag = N一Fixable—Flag 〇R(Row一Flag[0] AND Row一Flag[1])〇R(Col一Flag[0]AND Col_Flag [1])； (*是的，是行優先；亦可能是實施爲列優先*) IF ( * NOT Row_Flag [1] ) THEN Row—Flag [0] - TRUE/ ELSE Col—Flag [0) = TRUE； IF ( NOT Col_Flag [0] ) THEN Col_Flag [1] = TRUE / ELSE Row—Flag [1] = TRUE; END Analyze一Log. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 END RedundancyA； 方法B(第2圖及第3圖）之Pascal程式說明： (假定諸初設之値是〇或是FALSE) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 509950 A7 _B7___ 五、發明說明（22) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

Add_Fail說明一管流道之誤力記錄·每…？鐘脈衝等於一 次，Add_Flag呼叫，若無誤失d處理，月丨」1是 FALSE，不然就是TRUE。 MODULE RedundancyB ；

CONST MM ? ? ? (*可用之行冗餘數、 NN ? ? ? (*可用之列冗餘數” MAX ???(*可用之記錄登錄* :

(*應爲2*M*N大小I

VAR (*廣域變數*) M = MM INTEGER; N=NN INTEGER; (*下列變數皆假定初設爲0或爲false": X，Y ARRAY[0..MAX]〇F INTI: : KR; (* 誤失言己錄 (暫存器η

Row_Flag，Col—Flag，N—Empty —Flag，ARRA V I 0 · .MAX] OF Β〇〇Ι」:ΛΝ;(*言己錄用旗 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 509950 A7 B7 五、發明說明（） x，y ARRAY |Ο..ΜΑΧ+Γ) OF INTEGER; (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (*部分之t丨線流道；I() I;▲新誤失*) m，n ARRAY | ()·.ΜΑΧ+1 )丨 INTEGER; (*部分之f?線流道；l:(M輕常是〇*) Continue_Flag ARRAY [0..MAX+1I Oi BOOLEAN; (*部分之ΐ?線流道；Μ::·常是TRUE*) Overflow_Flag，N_Fixable l lag BOOL 若這些 阶是TRUE.，運氣欠佳*) (*廣域程序5υ

PROCEDURE Add_New_Fail (x,y :IN i ! G ER; fail_flag: BOOLEAN (*χ及y皆是晶粒位址·即行/列：址減去幾個位 元*) (*若位址代表一誤失·則failj'h;浯TRUE，不 然就是FASE*)

VAR 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 x_match5 y_match make row，make col， store, increment—m，increment —η H ^ ' LEAN; BEGIN x[0]:=x; y[〇]：=y; 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 509950 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（Η ) η[〇] ：=〇 ； πι [0] ： = 0 ；

FOR a：=MAX TO 0 DO (*此迴圈是設定代表一管線流道*)

BEGIN (*有比較的嗎？ *)

store ：= ( NOT N一Empty—Flag[a] AND

Continue__Flag [a-1] )； IF store THEN BEGIN X[a] ：= x[a]; Y[a] ：= y [a]； N—Empty 一Flag[[a] ：= TRUE；

Continue—Flag[a+1]:= FALSE; END；

If ( NOT store)

BEGIN (*找尋匹配*) x一match := ( (X [a] = x [a])〇R Col—Flag[a] ) AND N _Empty—Flag[a]; y一match := ( (Y[a]. = y [a]) OR Row—Flag[a] ) AND N—Empty一Flag[a]; (* x及y匹配*)

Continue—Flag [a+1] ： =Continue__Flag [a] AND NOT (x—match AND y—match); (*x或y匹配*) (*有匹配上則增量計數器*) increment—m ；= .( Continue_Flag[a] and x_match[a].)； 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐) Ί*---*----------------訂---------線------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 509950 A7 B7 五、發明說明（K ) ( Continue一Flag [a] and increment_n ；= y—match[a])； IF increment一m THEN m[a+l] ：= m[a] +1; ELSE m[a+l] ： = m [a]； If increment一n THEN n[a+l] := n[a] +1； ELSE n[a+l] ：= n [a]； (*能判定行/列否？（必須修補）*) make—row = (m[a+1] >= M)； make_c〇l = (n [a+1] >= N)； row_flag[a] = make_row； col一flag[a] = make_col； Continue一Flag[a+1] := Continue_Flag[a+1] AND NOT ( make_row OR make_col )； t END; 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 END; (*迴圈/管線流道*) Overflow—Flag := Continue__Flag [MAX] / END Add_New Fail;

Overflow一Flag

OR -----*---------------I ^ · I I I-------AWI (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 509950 A7 _B7 五、發明說明（26) 符號之說明 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 100....... 繋積器 102....... ,比較器 1 04,204 —決策邏輯 106....... .記錄記憶器 200....... .記憶器 201...... .管線流道 202,208,220....比較器 210,302 ....區塊 211...... .加法器 212,213,214....閂鎖 300...... .晶片 304...... .子集 306...... .晶片上區域 320...... .封裝多晶片模組 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂： --線· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

1. 509950 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 1. 一種半導體記憶器用之分析故障之方法，由下列步驟組 成： 提供一包括至少一個記憶器晶片之記憶裝置，該至少 一個記憶器晶片包括一冗餘計算區域； 測試該至少一個記憶器晶片，以判定每一個記憶器晶 片上之誤失組件之故障位址； 輸入該誤失組件之位址至該冗餘計算區域，以比較該 故障位址與儲存在該冗餘計算區域中之先前故障位址而 判定是否已發現新的故障； 若一匹配存在於先前故障位址與該故障位址之間，則 終止該匹配之故障位址，不然則儲存該故障位址於該冗 餘§十算區域中， 基於該已發現之新故障，判定是否該至少一個記憶器 晶片是可修復的。 2. 如申請專利範圍第1項之方法，其中該記憶裝置包括一 單一記憶器及一封裝多晶片模組之一個。 3. 如申請專利範圍第1項之方法，其中測試該至少一個記 憶器晶片之步驟包括採用內建之自我測試。 4. 如申請專利範圍第1項之方法，其中該組件包括一單一 記憶胞格，一行及一列之一個。 5. 如申請專利範圍第4項之方法，其中該行包括多個裝 置。 6. 如申請專利範圍第4項之方法，其中該列包括多個裝 置。 -29 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

   經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 509950 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 7 ·如申請專利範圍第1項之方法，其中該方法是在該至少 一個記憶器晶片上作晶片上執行。 8.如申請專利範圍第1項之方法，其中該輸入該誤失組件 之位址至該冗餘計算區域之步驟包括之步驟爲輸入該誤 失組件之位址至比較器以比較現時發現之該誤失組件之 位址與儲存在累積器中之先前故障位址。 9·如申請專利範圍第1項之方法，其中基於該已發現之新 故障，判定是否該至少一個記憶器晶片是可修複的之步 驟是由累積在故障位址與儲存故障位址間之匹配數及比 較該匹配數與一臨界値而執行，如此導致該匹配數等於 該臨界値之匹配事件是採用於指定待修補組件之位址。 10·—種半導體記憶器用之分析故障之方法，由下列步驟組 成： 提供一包括至少一個記憶器晶片之記憶裝置，該至少 一個記憶器晶片包括一冗餘計算區域，該冗餘計算區域 適合於接收誤失組件之故障位址，該冗餘計算區域之組 成爲： 諸比較器，用於比較該故障位址與先前故障位址以判 定是否新故障已被發現； 一記憶器，用於選擇地儲存諸故障位址， 決策邏輯，用於在基於已發現之該新故障以判定是否 該記憶裝置是可修復的； 測試該至少一個記憶器晶片以判定在每一個記憶器晶 片上之誤失組件之故障位址； -30 - 紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐Γ" " (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂： 線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 509950 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 輸入該誤失組件之位址至該冗餘計算區域，藉採用該 比較器以比較該故障位址與儲存在該冗餘計算區域之先 前故障位址； 若在該先前故障位址與該故障位址間存在有一匹配， 則終止該匹配之故障位址及增量一匹配計數，不然則儲 存該故障位址於該冗餘計算區域；及 右該匹配|十數符合一*臨界値，則指定一'必須修補事件 以使用冗餘來修補該組件。 11·如申請專利範圍第10項之方法，其中該記憶裝置包括 一‘單一 ιΗ憶器晶片及一'封裝之多晶片模組之一*個。 12. 如申請專利範圍第10項之方法，其中該測試該至少一 個記憶器晶片之步驟包括採用內建之自我測試。 13. 如申請專利範圍第10項之方法，其中該組件包括一單 一記憶胞格，一行及一列之一個。 14. 如申請專利範圍第13項之方法，其中該行包括多個裝 置。 1 5 ·如申請專利範圍第1 3項之方法，其中該列包括多個裝 置。 16.如申請專利範圍第10項之方法，其中該方法是在該至 少一個記憶器晶片上作晶片上之執行。 1 7 ·如申請專利範圍第1 0項之方法，其中該輸入該誤失組 件之位址至該冗餘計算區域之步驟包括之步驟爲：輸入 該誤失組件之位址至該比較器以比較現時發現之該誤失 組件之位址與儲存在累積器中之該先前故障位址。 -31 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐^ ~ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

   509950 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 18.如申請專利範圍第10項之方法，其中該指定一必須修 補事件之步驟包括之步驟爲：累積在故障位址與儲存之 故障位址間之匹配數，並比較該匹配數與一臨界値，如 此導致該匹配數等於該臨界値之一匹配事件是採用以指 定該待修補組件之位址。 19·一種半導體記憶器用之分析故障之系統，其組成爲： 一自我測試記憶裝置，包括至少一個記憶器晶片，適 合於判定在該至少一個記憶器晶片上之誤失組件之故障 位址，該至少一個記憶器晶片包括一冗餘計算區域； 該冗餘計算區域適合於接收誤失組件之故障位址，該 冗餘計算區域之組成爲： 比較器，用於比較該故障位址與先前故障位址以判定 是否新故障已被發現； 一記憶器，用於選擇地儲存諸故障位址， 決策邏輯，用於在基於已發現之新故障而是否該記憶 裝置是可修復的。 20.如申請專利範圍第19之系統，其中該記憶裝置包括一 單一記憶器晶片及一封裝之多晶片模組之一個。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ί線_ 21 ·如申請專利範圍第1 9項之系統，其中該至少一個記憶 器晶片包括內建之自我測試。 22. 如申請專利範圍第19項之系統，其中該組件包括一單 一記憶胞格，一行及一列之一個。 23. 如申請專利範圍第19項之系統，其中該冗餘計算區域 包括另外的比較器以比較在新故障位址與先前儲存之故 -32 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 509950 A8 B8 C8 _ D8 六、申請專利範圍 障位址間之匹配數與一臨界値，用以指定一必須修補事 件。 24·如申請專利範圍第19項之系統，其中該冗餘計算區域 包括加法器，當一匹配出現時增量該匹配數。 25. 如申請專利範圍第19項之系統，其中該至少一個記憶 器晶片包括多個冗餘計算區域，其皆是管線流道以儲存 多個誤失組件之位址。 26. 如申請專利範圍第25項之系統，其中該管線流道包括 諸閂鎖，配置在該諸冗餘計算區域之間以提供其間之同 步。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂· --線- -J. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -33 - ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A^規格（210 x 297公爱）